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JPH10233544A - Pulse picker - Google Patents

Pulse picker

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JPH10233544A
JPH10233544A JP3653297A JP3653297A JPH10233544A JP H10233544 A JPH10233544 A JP H10233544A JP 3653297 A JP3653297 A JP 3653297A JP 3653297 A JP3653297 A JP 3653297A JP H10233544 A JPH10233544 A JP H10233544A
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JP
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pulse
light
output
optical
picker
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Hironori Takahashi
宏典 高橋
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Hamamatsu Photonics KK
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pulse picker which does not require manual adjustment of timing for picking up optical pulse and enables stable operation for a long time. SOLUTION: In a pulse picker 10, the repetition cycle is an integral number of input optical pulse repetition cycle in synchronism with input optical pulse. It has a driving part 1 which generates driving signal pulse whose pulse width corresponds to only one pulse of input optical pulse, a light modulation part 2 which transmits and screen input light pulse according to the presence or absence of the driving signal pulse, a beam splinter 3 which branches a part of output of the light modulation part 2, a photodetector 4 which detects the branched light, an output level measuring part 5 which measures output of the photodetector 4 and a control part 6. Since generation timing of a driving signal is subjected to feed back control so that output optical pulse strength is always maximum in this way, stable operation is secured.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、所定の繰り返し周
期を有する光パルスからその整数倍の繰り返し周期の光
パルスを取り出すパルスピッカーに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pulse picker for extracting an optical pulse having a repetition cycle that is an integral multiple of an optical pulse having a predetermined repetition cycle.

【0002】[0002]

【従来の技術】パルスレーザ等から発せられた特定繰り
返し周期の光パルス列から所定の繰り返し周期のパルス
列を取り出す装置としてパルスピッカーがある。
2. Description of the Related Art There is a pulse picker as a device for extracting a pulse train having a predetermined repetition cycle from a light pulse train having a specific repetition cycle emitted from a pulse laser or the like.

【0003】従来のパルスピッカーの構成例を図16に
示す。このパルスピッカーは、光を変調する超音波光変
調器(AOM)51と、AOM51の位置を調整する光
変調器ステージ52と、入力光パルスをAOM51に導
く入射ミラー53と、AOM51の出力光を出力側へ導
く出力ミラー54と、出力ミラーから出射された光パル
スのうち不要な光パルスを遮るビームストッパ55、と
を備えている。
FIG. 16 shows a configuration example of a conventional pulse picker. The pulse picker includes an ultrasonic light modulator (AOM) 51 for modulating light, an optical modulator stage 52 for adjusting the position of the AOM 51, an input mirror 53 for guiding an input light pulse to the AOM 51, and an output light for the AOM 51. An output mirror 54 for guiding to the output side, and a beam stopper 55 for blocking unnecessary light pulses among light pulses emitted from the output mirror are provided.

【0004】AOM51の構成図を図17に示す。AO
Mには図17(a)に示すラマンナース回折を用いるも
のと、図17(b)に示すブラッグ回折を用いるものが
あるが、いずれも、超音波媒体62をトランスデューサ
61と超音波吸収体63で挟んだ積層構造をしている。
トランスデューサ61に加えられた駆動電気信号によ
り、発生した超音波によって超音波媒体62内で光の回
折が起こる。入射光は、これらの積層面にほぼ平行する
ように超音波媒体62の側面から入射する。
FIG. 17 shows a configuration diagram of the AOM 51. As shown in FIG. AO
There are two types of M, one using the Raman Nurse diffraction shown in FIG. 17A and the other using the Bragg diffraction shown in FIG. 17B. In both cases, the ultrasonic medium 62 includes the transducer 61 and the ultrasonic absorber 63. It has a laminated structure sandwiched between.
Due to the drive electric signal applied to the transducer 61, the generated ultrasonic waves cause light diffraction in the ultrasonic medium 62. The incident light is incident from the side surface of the ultrasonic medium 62 so as to be substantially parallel to these stacked surfaces.

【0005】図18は、AOM51に駆動信号を加える
駆動部のブロック図である。駆動部70は、キャリア発
振器71と駆動パルス信号発生器74の両方に平衡変調
器72が接続され、さらに、この平衡変調器72に高周
波増幅器73が接続されて構成されている。高周波増幅
器73は、AOM51のトランスデューサ61に接続さ
れている。
FIG. 18 is a block diagram of a driving unit for applying a driving signal to the AOM 51. The driving section 70 is configured such that a balanced modulator 72 is connected to both a carrier oscillator 71 and a driving pulse signal generator 74, and a high-frequency amplifier 73 is connected to the balanced modulator 72. The high frequency amplifier 73 is connected to the transducer 61 of the AOM 51.

【0006】次に、この従来例の動作を図16〜図19
を用いて説明する。図19は、パルスピッカー内部の光
路の模式図である。図19(a)が図16と同じく上面
から見た図であり、図19(b)は側面から見た図であ
る。
Next, the operation of this conventional example will be described with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG. FIG. 19 is a schematic diagram of an optical path inside the pulse picker. FIG. 19 (a) is a view from the top as in FIG. 16, and FIG. 19 (b) is a view from the side.

【0007】パルスピッカーへの入射光パルスは、図1
6、図19に示すように、入射ミラー53で集光されて
AOM51に導かれる。一方、図18に示すように、A
OM51のトランスデューサ61には、駆動部70で生
成された駆動電気信号が印加されている。この駆動電気
信号は、駆動パルス信号発生器74で生成した駆動パル
ス信号とキャリア発振器71の発振信号が平衡変調器7
2で混合されて、高周波増幅器73で増幅されることに
より生成される。
The light pulse incident on the pulse picker is shown in FIG.
6. As shown in FIG. 19, the light is condensed by the incident mirror 53 and guided to the AOM 51. On the other hand, as shown in FIG.
The drive electrical signal generated by the drive unit 70 is applied to the transducer 61 of the OM 51. This drive electric signal is obtained by combining the drive pulse signal generated by the drive pulse signal generator 74 and the oscillation signal of the carrier oscillator 71 with the balanced modulator 7.
2 and are generated by being amplified by the high frequency amplifier 73.

【0008】駆動電気信号が印加されているとき、トラ
ンスデューサ61から超音波が発せられ、発生した超音
波は超音波媒体62を経て、超音波吸収体63に達し
て、吸収される。つまり、超音波媒体62内の超音波は
一方向にのみ進行する。超音波媒体62内では、この超
音波に基づく音響光学効果により内部を通過する光パル
スの回折が起こり、図17に示すように、ラマンナース
回折では多次回折光が、ブラッグ回折では1次回折光が
発生する。この回折光は、図19中の実線で示す光路を
通り、出力ミラー55を経て、パルスピッカーから出射
される。
When a drive electric signal is applied, ultrasonic waves are emitted from the transducer 61, and the generated ultrasonic waves reach the ultrasonic absorber 63 via the ultrasonic medium 62 and are absorbed. That is, the ultrasonic waves in the ultrasonic medium 62 travel in only one direction. In the ultrasonic medium 62, diffraction of an optical pulse passing therethrough occurs due to the acousto-optic effect based on the ultrasonic wave, and as shown in FIG. 17, multi-order diffracted light in Raman-Nurse diffraction and first-order diffracted light in Bragg diffraction. Occur. The diffracted light passes through the optical path indicated by the solid line in FIG. 19, and is emitted from the pulse picker via the output mirror 55.

【0009】一方、AOM51に駆動電気信号が加えら
れていないときには、超音波媒体62内部に超音波伝播
が起こらないため、音響光学効果による光パルスの回折
が起こらず、出力光は図17に示すように0次回折光の
みとなる。この0次回折光は、図19中で破線で示す光
路を通り、出力ミラー55を経て、ビームストッパ54
に遮られるため、パルスピッカーの外へ出てこない。し
たがって、取り出したい入力光パルスがAOM51を通
過するときのみに駆動電気信号を印加するよう制御する
ことで、入力光パルスのうち所望の光パルスのみを取り
出すことが可能である。
On the other hand, when no drive electric signal is applied to the AOM 51, no ultrasonic wave propagation occurs inside the ultrasonic medium 62, so that light pulse diffraction due to the acousto-optic effect does not occur, and the output light is shown in FIG. Thus, only the zero-order diffracted light is obtained. This zero-order diffracted light passes through the optical path shown by the broken line in FIG.
So it doesn't come out of the pulse picker. Therefore, by controlling the drive electric signal to be applied only when the input optical pulse to be extracted passes through the AOM 51, it is possible to extract only a desired optical pulse from the input optical pulses.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】この例のようなパルス
ピッカーにおいて、特定周期の光パルスから、所定の周
期の光パルスを効率的に取り出すためには、取り出す入
力光パルスがAOM51を通過する時点に合わせてAO
M51に駆動電気信号が印加されるよう、駆動電気信号
の位相を正確に調整しなければならない。しかし、従来
は、この調整を手動で行わなければならず、入力光パル
スと駆動電気信号の位相がずれることにより、取り出さ
れる光パルスの出力が変動したり、タイミングが合わず
に光パルスを確実に取り出せないなどの問題があった。
また、駆動電気信号のタイミングは、駆動部の温度変化
等によってもずれが生じる。このため、作動中にこのタ
イミングを設定しなおす必要があり、連続して長時間安
定した動作をさせることが困難だった。
In the pulse picker of this example, in order to efficiently extract an optical pulse having a predetermined period from an optical pulse having a specific period, the time at which the input optical pulse to be extracted passes through the AOM 51 is required. AO according to
The phase of the drive electric signal must be accurately adjusted so that the drive electric signal is applied to M51. However, in the past, this adjustment had to be performed manually, and the phase of the input optical pulse and the drive electric signal were shifted, which caused the output of the extracted optical pulse to fluctuate or the optical pulse to be reliably output without timing. There was a problem that it could not be taken out.
In addition, the timing of the drive electric signal is shifted due to a change in the temperature of the drive unit or the like. For this reason, it is necessary to reset this timing during operation, and it has been difficult to continuously perform stable operation for a long time.

【0011】本発明は、光パルスを取り出すタイミング
の調整が不要で、長時間安定した動作が可能なパルスピ
ッカーを提供することを課題とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a pulse picker which does not need to adjust the timing of extracting light pulses and can operate stably for a long time.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明は、所定の繰り返
し周期を有する入力光パルスからその整数倍の繰り返し
周期を有する光パルスを取り出して出力するパルスピッ
カーにおいて、(1)入力光パルスに同期しており、繰
り返し周期が入力光パルスの所定繰り返し周期の整数倍
であって、パルス幅が入力光パルスの1個のパルスのみ
を含む長さである駆動信号パルスを発生する駆動部と、
(2)入力光パルスが入力されると共に、駆動信号パル
スの有無に応じて、入力光パルスの出力側への透過・遮
断を行う光変調部と、(3)光変調部から出力された各
光パルスの一部を分岐して取り出す光分岐手段と、
(4)取り出された出力光パルス強度の時間変化を測定
する計測部と、(5)測定された出力光パルス強度の時
間変化に基づいて、出力光パルス強度が最大となるよう
に駆動部を制御して駆動信号パルスの発生タイミングを
調整する制御部と、を備えることを特徴とする。
According to the present invention, there is provided a pulse picker for extracting and outputting an optical pulse having a repetition cycle that is an integral multiple thereof from an input optical pulse having a predetermined repetition cycle. A drive unit that generates a drive signal pulse whose repetition period is an integral multiple of a predetermined repetition period of the input light pulse and whose pulse width is a length including only one pulse of the input light pulse;
(2) an optical modulator that receives an input optical pulse and transmits / blocks the input optical pulse to the output side in accordance with the presence or absence of a drive signal pulse; and (3) an optical modulator output from the optical modulator. Optical branching means for branching and extracting a part of the optical pulse;
(4) a measuring unit for measuring a temporal change in the extracted output light pulse intensity; and (5) a driving unit for maximizing the output light pulse intensity based on the measured temporal change in the output light pulse intensity. And a control unit for controlling the generation timing of the drive signal pulse by controlling.

【0013】これにより、入力光パルス列の繰り返し周
期の整数倍の周期を有する駆動信号パルスを光変調部に
加えることで、入力光パルス列から駆動信号パルスと同
じ繰り返し周期を持つ出力光パルス列が取り出される。
さらに、この各出力光パルスの一部を分岐して取り出
し、その出力光パルスの強度の時間変化を測定し、これ
を基にして制御部が、駆動部における駆動信号パルスの
発生タイミングをフィードバック制御しているので、光
パルス列の取り出しが最適化される。
By applying a drive signal pulse having a cycle that is an integral multiple of the repetition cycle of the input optical pulse train to the optical modulator, an output optical pulse train having the same repetition cycle as the drive signal pulse is extracted from the input optical pulse train. .
Further, a part of each of the output light pulses is branched and taken out, and the time change of the intensity of the output light pulse is measured. Based on the measured result, the control unit performs feedback control of the generation timing of the drive signal pulse in the drive unit. Therefore, extraction of the optical pulse train is optimized.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。図1は、この一実施形態のブロッ
ク構成図である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram of this embodiment.

【0015】パルススピッカー10は、駆動信号パルス
を発生する駆動部1と、駆動部1に接続されてこの駆動
信号パルスの有無により入力光パルスを透過・遮断する
光変調部2と、光変調部2の出力の一部を分岐するビー
ムスプリッタ3と、ビームスプリッタ3により分岐され
た光を検出する光検出器4と、光検出器4の出力側に接
続されている出力レベル計測部5と、計測部5及び駆動
部1に接続されている制御部6からなる。
The pulse picker 10 includes a driving unit 1 for generating a driving signal pulse, an optical modulation unit 2 connected to the driving unit 1 and transmitting and blocking an input light pulse according to the presence or absence of the driving signal pulse, and an optical modulation unit. A beam splitter 3 for branching a part of the output of the unit 2, a photodetector 4 for detecting light split by the beam splitter 3, and an output level measuring unit 5 connected to the output side of the photodetector 4. , A measuring unit 5 and a control unit 6 connected to the driving unit 1.

【0016】このうち、光変調部2は、図16の従来例
と同様に、AOM51とミラー53、55及びビームス
トップ54からなるものでも良いし、電気光学結晶を用
いたものでも良い。
The light modulator 2 may be composed of an AOM 51, mirrors 53 and 55, and a beam stop 54, as in the conventional example shown in FIG. 16, or may be composed of an electro-optic crystal.

【0017】電気光学結晶を用いる光変調部2の例を図
2に示す。この例の光変調部2は、入射光側から、入射
光中の特定角度を持つ直線偏光を取り出す偏光子11
と、電気光学結晶12と、特定位相の光を透過する検光
子13を並べて構成されている。電気光学結晶12の上
下の面間(同図のZ方向)には、駆動電気信号が印加さ
れており、駆動電気信号に応じて電気光学結晶12の内
部を透過する光の偏光状態が変化する。入射光は、偏光
子11によって図示のように入射側から見てZ軸に対し
て45°傾いた直線偏光になる。この入射光は電気光学
結晶に入射される。光が電気光学結晶12を通過する際
に、前述のように駆動電気信号に応じてその偏光状態が
変化し、楕円偏光の光が出力される。この光のうち、検
光子13により、入射偏光と直交する直線偏光の成分
(入射側から見てZ軸に対して−45°変更した成分)
を取り出すことにより、駆動電圧信号に応じた出力光が
得られる。
FIG. 2 shows an example of the light modulator 2 using an electro-optic crystal. The light modulator 2 of this example includes a polarizer 11 that extracts linearly polarized light having a specific angle in incident light from the incident light side.
, An electro-optic crystal 12 and an analyzer 13 that transmits light of a specific phase. A drive electric signal is applied between the upper and lower surfaces of the electro-optic crystal 12 (Z direction in the figure), and the polarization state of light passing through the inside of the electro-optic crystal 12 changes according to the drive electric signal. . The incident light becomes linearly polarized light inclined by 45 ° with respect to the Z axis when viewed from the incident side by the polarizer 11 as shown in the figure. This incident light is incident on the electro-optic crystal. When the light passes through the electro-optic crystal 12, the polarization state changes in accordance with the driving electric signal as described above, and elliptically polarized light is output. Of this light, a component of linearly polarized light orthogonal to the incident polarized light by the analyzer 13 (a component changed by −45 ° with respect to the Z axis when viewed from the incident side)
, An output light corresponding to the drive voltage signal is obtained.

【0018】光変調部2には、その他にも駆動電気信号
に応じた出力光が得られる各種の形式の光変調器を使用
することができる。
As the light modulating unit 2, various types of light modulators that can obtain output light corresponding to the driving electric signal can be used.

【0019】次に図1と図3により、本実施形態の動作
を説明する。図3は本実施形態の動作タイミングを示す
図である。図3の(b)〜(e)中の実線は、入力パル
スと駆動信号パルスのタイミングがあっているときの動
作タイミングを示し、破線は、それぞれのタイミングが
ずれているときの動作タイミングを示している。また、
(a)'〜(c)'は、それぞれ(a)〜(c)の時間軸
を10倍に拡大した図である。
Next, the operation of this embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a diagram showing the operation timing of the present embodiment. 3 (b) to 3 (e) indicate the operation timing when the timing of the input pulse and the drive signal pulse are synchronized, and the broken line indicates the operation timing when the respective timings are shifted. ing. Also,
(A) 'to (c)' are diagrams in which the time axes of (a) to (c) are respectively magnified 10 times.

【0020】ここで、図3(a)に示すように入力光パ
ルスのパルス繰り返し周期がTのとき、駆動部1が発生
する駆動信号パルスの繰り返し周期は同図(b)に示す
ように、nT(nは正の整数)でなければならない。駆
動信号パルスのパルス幅は繰り返し周期の1周期中に入
力光パルスを確実に1個だけ切り出すようになってい
る。駆動信号パルスの波形は理想的には方形波であるこ
とが望ましいが、実際には図示するように台形波の信号
となる。台形の頂辺にあたる駆動信号パルスが最大値と
なる時間の長さをt1、台形の底辺にあたる駆動信号パ
ルスがオンのときの継続時間の長さ(パルス幅)をt0
とすると、t1は入力光パルスのパルス幅より十分に長
く、t0は入力光パルスのパルス間隔より短くすること
が好ましい。
Here, when the pulse repetition period of the input light pulse is T as shown in FIG. 3A, the repetition period of the drive signal pulse generated by the drive unit 1 is as shown in FIG. It must be nT (n is a positive integer). The pulse width of the drive signal pulse is such that only one input light pulse is reliably cut out during one repetition period. The waveform of the drive signal pulse is ideally desirably a square wave, but is actually a trapezoidal wave signal as illustrated. The length of time during which the drive signal pulse corresponding to the top of the trapezoid has the maximum value is t 1 , and the length of time (pulse width) when the drive signal pulse corresponding to the bottom of the trapezoid is on is t 0.
In this case, it is preferable that t 1 be sufficiently longer than the pulse width of the input light pulse, and t 0 be shorter than the pulse interval of the input light pulse.

【0021】図1に示されるように、光変調部2に図3
(a)に示す光パルスを入射させる。この光変調部2に
は、駆動部1で生成した同図(b)に示す駆動信号が印
加されている。前述したように駆動部1の駆動信号パル
スがオンのときは光変調部2は入力光パルスを透過し、
駆動信号パルスがオフのときは光変調部2は入力光パル
スを遮断する。この結果、光変調部2からは、同図
(c)に示す出力光パルスが得られる。この出力光パル
スは、駆動信号と同じ繰り返し周期(nT)を有する。
As shown in FIG. 1, the light modulation unit 2
The light pulse shown in FIG. The drive signal shown in FIG. 2B generated by the drive unit 1 is applied to the light modulation unit 2. As described above, when the drive signal pulse of the drive unit 1 is on, the light modulation unit 2 transmits the input light pulse,
When the drive signal pulse is off, the light modulator 2 blocks the input light pulse. As a result, an output light pulse shown in FIG. This output light pulse has the same repetition period (nT) as the drive signal.

【0022】光変調部2の出力光強度は、駆動信号パル
スの強度に依存する。同図(b)の実線で示すように、
入力光パルスと駆動信号パルスのタイミングが合ってい
るときは、駆動信号パルスが最大となっている時刻(範
囲t1)の間に入力光パルスが光変調部2を通過する。
したがって、出力光パルスは、同図(c)の実線で示す
ように入力光パルスがほぼ損失なく取り出される。
The intensity of the output light from the light modulator 2 depends on the intensity of the drive signal pulse. As shown by the solid line in FIG.
When the timings of the input light pulse and the drive signal pulse match, the input light pulse passes through the light modulator 2 during the time (range t 1 ) when the drive signal pulse is at its maximum.
Therefore, as shown by the solid line in FIG. 10C, the input light pulse is extracted from the output light pulse with almost no loss.

【0023】一方、同図(b)の破線で示すように、入
力光パルスと駆動信号パルスのタイミングがずれている
ときは、駆動信号の電圧が変化している期間中に入力光
パルスが光変調部2を通過する。つまり、駆動信号の電
圧が最大でない時に入力光パルスが光変調部2を通過す
るため、同図(c)の破線で示すように入力光パルスの
強度よりも弱い出力光パルスしか得られない。
On the other hand, when the timing of the input light pulse and that of the drive signal pulse are shifted as shown by the broken line in FIG. The light passes through the modulator 2. That is, when the voltage of the drive signal is not the maximum, the input light pulse passes through the light modulation unit 2, so that only an output light pulse weaker than the intensity of the input light pulse can be obtained as shown by the broken line in FIG.

【0024】同図(c)より明らかなように入力光パル
スと駆動信号パルスのタイミングがずれると、タイミン
グが合っている時に比べて出力光パルスの強度が小さく
なる。言い換えると、出力光パルスの強度は、入力パル
ス光と駆動信号パルスのタイミングが合っているときに
最大になる。
As is apparent from FIG. 3C, when the timing of the input light pulse and the timing of the drive signal pulse are shifted, the intensity of the output light pulse becomes smaller than when the timing is matched. In other words, the intensity of the output light pulse is maximized when the timing of the input pulse light and the timing of the drive signal pulse match.

【0025】こうして得られた出力光パルスは図1に示
すビームスプリッタ3によりその一部(例えば1%)が
分岐されて、取り出される。この取り出された光パルス
が光検出器4に導かれ、光検出器4は、光パルス強度に
応じた電気信号を出力する(図3(d)参照)。この出
力電気信号は、出力光パルスの発生時点に対応した時間
的に断続的な信号である。この信号は、図1の出力レベ
ル計測部4に送られて、ピーク強度に応じた直流的な出
力レベル信号に変換される(図3(e)参照)。この出
力レベル信号が図1の制御部5に送られて、この信号強
度が最大となるよう駆動部を制御して駆動信号パルスの
発生タイミングを修正するフィードバック制御が行われ
る。
The output light pulse thus obtained is partly branched (for example, 1%) by the beam splitter 3 shown in FIG. The extracted light pulse is guided to the light detector 4, and the light detector 4 outputs an electric signal corresponding to the light pulse intensity (see FIG. 3D). This output electric signal is a temporally intermittent signal corresponding to the point in time when the output light pulse is generated. This signal is sent to the output level measuring unit 4 in FIG. 1 and converted into a DC output level signal corresponding to the peak intensity (see FIG. 3E). This output level signal is sent to the control unit 5 in FIG. 1, and feedback control is performed to control the drive unit so as to maximize the signal intensity and correct the generation timing of the drive signal pulse.

【0026】このフィードバック制御には、種々の手法
を用いることができる。例えば、次のような手法が挙げ
られる。ここで、駆動信号はその繰り返し周波数と同じ
周波数の基準信号を基に与えられるものとする。この、
基準信号は、パルスピッカー内部で発生するものでも、
外部から与えられるものでも良い。そして、n番目に取
り出した光パルスの出力レベル信号をVnとし、この光
パルスを取り出したときの駆動信号と基準信号のずれを
Δtnとする。このVnを前回のVn-1と比較して、比較
結果に基づき、次回の駆動信号の発生タイミングを決め
るΔtn+1を定める。この例の制御フロー図を図4に示
す。
Various methods can be used for this feedback control. For example, the following method can be used. Here, it is assumed that the drive signal is given based on a reference signal having the same frequency as the repetition frequency. this,
The reference signal can be generated inside the pulse picker,
It may be provided from outside. The output level signal of the n-th extracted optical pulse is defined as V n, and the difference between the drive signal and the reference signal when the optical pulse is extracted is defined as Δt n . The V n as compared with the previous V n-1, based on the comparison result, determining a Delta] t n + 1 for determining the generation timing of the next drive signal. FIG. 4 shows a control flow chart of this example.

【0027】Vnが制御部4に送られると、制御部4は
まず、Vnが0でないかを調べる(S1)。Vnが0(計
測誤差以下)の時は、駆動信号のパルス持続時間内に入
力光パルスが光変調部2を通過していないことを意味す
る。このため、次の駆動信号の発生タイミングを所定の
時刻Δtaだけずらす(S2)。ここで、Δtaは、前述
したt1より小さいことが好ましい。これは、ずらす幅
が大きすぎると、入力パルスに対応した時点を飛び越し
てしまうからである。次に、Vnを前回のVn-1と比較す
る(S3)。比較した結果、VnとVn-1の間の差が検出
器の計測誤差以下であれば、出力レベルは最大になって
おり、入力光パルスと駆動信号のタイミングが適合して
いると判断し、次回のタイミング発生時期Δtn+1はΔ
nのまま保たれる(S4)。
[0027] V n is sent to the control unit 4, the control unit 4, first, V n is checked or not 0 (S1). When V n is 0 (hereinafter measurement error), the input light pulse in the pulse duration of the drive signal means that not passed through the optical modulator 2. Therefore, the generation timing of the next drive signal is shifted by a predetermined time Δta (S2). Here, Delta] t a is preferably smaller than t 1 described above. This is because if the shift width is too large, the point corresponding to the input pulse is skipped. Next, compare the V n and the previous V n-1 (S3). As a result of the comparison, if the difference between V n and V n-1 is less measurement error of the detector, the output level which is the maximum, determined that the timing of the input light pulse and the drive signal is adapted And the next timing occurrence time Δt n + 1 is Δ
t n is maintained (S4).

【0028】一方、VnとVn-1の間に差があるときは、
駆動信号の発生タイミングが入力光パルスに対してずれ
ていると判断する。そこで、発生タイミングをずらすた
めの操作を行う。
On the other hand, when there is a difference between V n and V n−1 ,
It is determined that the drive signal generation timing is shifted with respect to the input light pulse. Therefore, an operation for shifting the generation timing is performed.

【0029】まず、Δtnを前回変化させたかを調べる
(S5)。Δtnを変化させていた場合は、さらに、Vn
がVn-1より大きくなっているかを調べる(S6)。前
回より大きくなっているときは、タイミングをずらす方
向が合っていると判断して、さらに同じ方向に駆動信号
の発生タイミングΔtn+1をずらす(S7)。具体的に
は、Δtn+1=(1+α)Δtn−αΔtn-1に設定す
る。ここで、αは、予め設定された収束用の係数であ
り、0<α<1である。前回より出力レベル信号が小さ
くなっているときは、正しいタイミングはΔtnとΔt
n-1の間にあると判断し、Δtn+1をその間に設定する
(S8)。具体的には、Δtn+1=(1−α)Δtn+α
Δtn-1とする。
First, it is checked whether Δt n has been changed last time (S5). If Δt n has been changed, V n
Is greater than V n-1 (S6). If it is larger than the previous time, it is determined that the direction for shifting the timing is correct, and the generation timing Δt n + 1 of the drive signal is further shifted in the same direction (S7). Specifically, Δt n + 1 = (1 + α) Δt n -αΔt n-1 is set. Here, α is a preset convergence coefficient, and 0 <α <1. When the output level signal is smaller than the previous time, the correct timings are Δt n and Δt
It is determined that it is between n−1 , and Δt n + 1 is set between them (S8). Specifically, Δt n + 1 = (1−α) Δt n + α
Let it be Δt n-1 .

【0030】一方、Δtnを変化させていない場合は、
基準信号そのものが入力光パルスに対してずれたものと
判断し、Δtnを所定のオフセット幅Δtbだけずらす
(S9)。このΔtbは、前述のΔtaに対して、充分小
さいことが好ましい。基準信号そのもののずれは通常パ
ルスの繰り返し周期に比較して大きくないと思われるか
らである。
On the other hand, when Δt n is not changed,
It is determined that the reference signal itself has shifted from the input light pulse, and Δt n is shifted by a predetermined offset width Δt b (S9). It is preferable that Δt b is sufficiently smaller than Δt a described above. This is because the deviation of the reference signal itself is not considered to be large compared to the normal pulse repetition period.

【0031】以上をパルス出力が行われる度に繰り返す
ことにより、出力パルス光が最大となるよう駆動信号の
発生タイミングは自動的にフィードバック制御される。
タイミングのフィードバック制御には、この他に、出力
パルスの偏光状態を監視して、駆動信号の発生タイミン
グを変更する等の各種の制御手法を用いることができ
る。
By repeating the above every time a pulse output is performed, the generation timing of the drive signal is automatically feedback-controlled so that the output pulse light is maximized.
For the timing feedback control, various control methods such as monitoring the polarization state of the output pulse and changing the generation timing of the drive signal can be used.

【0032】続いて、この実施形態を応用した装置の例
(応用例)のいくつかを、これらに対応する従来例と共
に示す。
Next, some examples (applied examples) of apparatuses to which this embodiment is applied are shown together with conventional examples corresponding thereto.

【0033】最初に、E−Oサンプリング装置の同期装
置に本実施形態を応用した例について述べる。E−Oサ
ンプリング装置は、光パルスと電気光学結晶を用いて、
被測定物内部の電気信号波形を測定するものである。図
5は、典型的なE−Oサンプリング装置の構成図であ
る。
First, an example in which the present embodiment is applied to a synchronization device of an EO sampling device will be described. The EO sampling device uses a light pulse and an electro-optic crystal,
It measures the electric signal waveform inside the device under test. FIG. 5 is a configuration diagram of a typical EO sampling device.

【0034】レーザ光源101から出射したパルス光
は、ビームスプリッタ102で同期光とプローブ光に分
岐される。同期光は同期系103に送られて、レーザ光
源101と同期する駆動電圧が被測定回路104に印加
される。一方、プローブ光は、偏光子105で特定の偏
光成分のみが抽出されて、電気光学結晶106へ入射さ
れる。電気光学結晶106には、被測定回路104が電
気的に接続されており、被測定回路104内部の電圧が
電気光学結晶106の駆動電気信号になっている。した
がって、被測定回路104内部の電圧波形に応じて電気
光学結晶106を通過するプローブ光の偏光状態が変調
される。この変調された位相成分のみを検光子107に
より取り出して光検出器108で電気信号に変換し、増
幅器109で増幅したうえで、表示装置110にこの電
気信号の波形を表示する。この電気信号の波形は、被測
定回路104の内部電圧波形と同じになる。この場合、
被測定回路104と測定系が電気的に分離されているた
め、被測定回路104の内部電圧波形を精度良く測定す
ることができる。
The pulse light emitted from the laser light source 101 is split by the beam splitter 102 into synchronous light and probe light. The synchronization light is sent to the synchronization system 103, and a drive voltage synchronized with the laser light source 101 is applied to the circuit under test 104. On the other hand, in the probe light, only a specific polarization component is extracted by the polarizer 105 and is incident on the electro-optic crystal 106. The circuit under test 104 is electrically connected to the electro-optic crystal 106, and the voltage inside the circuit under test 104 is a driving electric signal for the electro-optic crystal 106. Therefore, the polarization state of the probe light passing through the electro-optic crystal 106 is modulated according to the voltage waveform inside the circuit under test 104. Only the modulated phase component is extracted by the analyzer 107, converted into an electric signal by the photodetector 108, amplified by the amplifier 109, and then displayed on the display device 110 with the waveform of the electric signal. The waveform of this electric signal is the same as the internal voltage waveform of the circuit under test 104. in this case,
Since the circuit under test 104 and the measurement system are electrically separated, the internal voltage waveform of the circuit under test 104 can be accurately measured.

【0035】この測定の際に、時間分解能の高い測定を
行うためには、同期系103とレーザ光源101から発
せられるレーザ光が同期している必要があり、同期が不
十分だと、測定の時間分解能が低下する要因となる。
At the time of this measurement, in order to perform a measurement with a high time resolution, the synchronization system 103 and the laser light emitted from the laser light source 101 need to be synchronized. This causes a decrease in time resolution.

【0036】同期系とレーザ光を同期させる装置とし
て、Kurt J.Weingartenらの"Picosecond Optical Sampl
ing of GaAs Integrated Circuits"(IEEE Journal of
Quantum Electronics, Vol.24, pp.198〜220, 1988)に
記載されたシンセサイザによりパルスレーザを駆動する
装置がある(以下、従来例1と呼ぶ)。この従来例1の
同期系103の構成は図6に示す通りである。以下、従
来例と本実施形態を利用した応用例との比較を容易にす
るため、それぞれの共通する部分については、共通の参
照番号を用いて説明を省略する。
As a device for synchronizing a laser beam with a synchronization system, Kurt J. Weingarten et al., "Picosecond Optical Sample"
ing of GaAs Integrated Circuits "(IEEE Journal of
Quantum Electronics, Vol. 24, pp. 198-220, 1988) has a device for driving a pulsed laser by a synthesizer (hereinafter referred to as Conventional Example 1). The configuration of the synchronization system 103 of the first conventional example is as shown in FIG. Hereinafter, in order to facilitate comparison between the conventional example and the application example using the present embodiment, the common parts are denoted by the same reference numerals, and the description is omitted.

【0037】従来例1のレーザ光源101には、繰り返
し周波数82MHzのNd:YAGモードロックレーザ
が用いられ、同期系103によってレーザ発振が制御さ
れている。同期系103は、レーザ発振の同期をとる8
2MHzの高周波シンセサイザ123と、被測定回路1
04を0〜40GHzの駆動電圧で駆動するマイクロ波
シンセサイザ124とを備えている。2台のシンセサイ
ザ123、124は共に同じ10MHzの参照信号で駆
動され、電気的に同期をとっている。
As the laser light source 101 of the first conventional example, an Nd: YAG mode-locked laser having a repetition frequency of 82 MHz is used, and the laser oscillation is controlled by a synchronous system 103. The synchronization system 103 synchronizes the laser oscillation.
2 MHz high frequency synthesizer 123 and circuit under test 1
And a microwave synthesizer 124 for driving the driving circuit 04 with a driving voltage of 0 to 40 GHz. The two synthesizers 123 and 124 are both driven by the same reference signal of 10 MHz and are electrically synchronized.

【0038】ビームスプリッタ102によって分岐され
た同期光は、光検出器121により電気信号に変換さ
れ、位相検出器122により、高周波シンセサイザ12
3の出力との位相差が検出される。この位相差信号は、
利得補償器126を介して位相シフタ127に転送され
る。高周波シンセサイザ123の82MHzの出力は、
周波数半減器125で41MHzの信号に変換された
後、位相シフタ127に送られる。位相シフタ127は
これら二つの信号を基にして、レーザ光源101の発振
用の同期信号を発生する。従って、レーザ光源101の
レーザ発振とマイクロ波シンセサイザ124の出力信号
を同期させることができる。
The synchronous light split by the beam splitter 102 is converted into an electric signal by a photodetector 121, and the high-frequency synthesizer 12 is converted by a phase detector 122.
3 is detected. This phase difference signal is
The data is transferred to the phase shifter 127 via the gain compensator 126. The 82 MHz output of the high frequency synthesizer 123 is
After being converted into a 41 MHz signal by the frequency half-life device 125, the signal is sent to the phase shifter 127. The phase shifter 127 generates a synchronization signal for oscillation of the laser light source 101 based on these two signals. Therefore, the laser oscillation of the laser light source 101 and the output signal of the microwave synthesizer 124 can be synchronized.

【0039】しかし、この場合は、特に帰還回路となる
利得補償器126や位相シフタ127で発生したジッタ
によりレーザ光源101の発振にずれが生ずるため、十
分な時間分解能を得ることが難しかった。さらに、この
装置には、外部モードロックが可能なパルスレーザしか
使用できず、衝突パルスモードロックリングレーザやカ
ーレンズモードロックレーザのような自己モードロック
レーザを用いることはできなかった。
However, in this case, it is difficult to obtain a sufficient time resolution because the oscillation of the laser light source 101 is shifted due to the jitter generated particularly in the gain compensator 126 and the phase shifter 127 serving as a feedback circuit. Further, this apparatus can use only a pulse laser capable of external mode locking, and cannot use a self-mode locked laser such as a collision pulse mode locked ring laser or a Kerr lens mode locked laser.

【0040】一方、自己モードロックレーザにも適用可
能な装置として、J.A.Valdmanisが"Electro-Optic Meas
urement Techniques for Picosecond Materials, Devic
es and Integrated Circuits"(Semiconductor and Sem
imetals, Vol.28, pp.135〜219, Academic Press Inc.,
1990)で開示したレーザ発振に同期系103を同期させ
る装置がある(以下、従来例2と呼ぶ)。
On the other hand, as an apparatus applicable to a self-mode-locked laser, JAValdmanis has proposed “Electro-Optic Meas”.
urement Techniques for Picosecond Materials, Devic
es and Integrated Circuits "(Semiconductor and Sem
imetals, Vol.28, pp.135-219, Academic Press Inc.,
1990) which synchronizes the synchronization system 103 with the laser oscillation (hereinafter referred to as Conventional Example 2).

【0041】従来例2の同期系103のブロック図を図
7に示す。レーザ光源101から出射され、ビームスプ
リッタ102で分岐された繰り返し周波数100MHz
の同期光を光検出器121で同じ周波数100MHzの
電気信号に変換する。この電気信号から分周回路131
で10MHzの参照信号を生成する。この10MHzの
参照信号により、被測定回路104を駆動するマイクロ
波シンセサイザ124と、表示装置の表示タイミングを
制御する局部信号シンセサイザ132が駆動される。局
部信号シンセサイザ132の出力は、ミキサー133で
光検出器の出力信号と合成されて、表示装置のトリガ信
号として出力される。
FIG. 7 is a block diagram of the synchronous system 103 of the second conventional example. Repetition frequency of 100 MHz emitted from the laser light source 101 and branched by the beam splitter 102
Is converted by the photodetector 121 into an electric signal having the same frequency of 100 MHz. From this electric signal, the frequency divider 131
Generates a 10 MHz reference signal. The 10 MHz reference signal drives the microwave synthesizer 124 that drives the circuit under test 104 and the local signal synthesizer 132 that controls the display timing of the display device. The output of the local signal synthesizer 132 is combined with the output signal of the photodetector by the mixer 133 and output as a trigger signal of the display device.

【0042】この装置の場合は、レーザ光源101から
発した光パルスからマイクロ波シンセサイザ124の参
照信号を生成するので、自己モード同期レーザにも適用
できる。しかし、光パルスから参照信号を生成する際
に、電気回路(分周回路131)により分周動作を行っ
ているため、この分周回路131で発生したジッタが全
体の時間分解能を制限し、十分な時間分解能を得ること
ができないという欠点があった。
In the case of this apparatus, since the reference signal of the microwave synthesizer 124 is generated from the light pulse emitted from the laser light source 101, it can be applied to a self-mode-locked laser. However, when the reference signal is generated from the optical pulse, the frequency division operation is performed by the electric circuit (frequency division circuit 131). Therefore, the jitter generated by the frequency division circuit 131 limits the entire time resolution, and There is a disadvantage that it is not possible to obtain a proper time resolution.

【0043】これらに対して、本実施形態のパルスピッ
カーを同期系103に応用した例を図8に示す(以下、
応用例1と呼ぶ)。この場合の同期系103は、本実施
形態のパルスピッカー10と、パルスピッカの出力光を
電気信号に変換する高速光検出器121と、高速光検出
器の出力電気信号を正弦波に調整するフィルタ回路13
5と、前述した被測定回路104に駆動電圧を与えるマ
イクロ波シンセサイザ124とが直列に接続されて構成
されている。フィルタ回路135はコンデンサ、コイ
ル、抵抗などの受動素子を組み合わせたものである。
FIG. 8 shows an example in which the pulse picker of the present embodiment is applied to the synchronous system 103 (hereinafter, referred to as “pulse picker”).
Application example 1). In this case, the synchronization system 103 includes the pulse picker 10 of the present embodiment, a high-speed photodetector 121 that converts the output light of the pulse picker into an electric signal, and a filter circuit that adjusts the output electric signal of the high-speed photodetector to a sine wave. 13
5 and a microwave synthesizer 124 for supplying a drive voltage to the circuit under test 104 described above are connected in series. The filter circuit 135 is a combination of passive elements such as a capacitor, a coil, and a resistor.

【0044】次にこの同期系103の動作を図8、9を
用いて説明する。図9は同期系103内を伝送される信
号のタイミングチャートである。図8に示すように、レ
ーザ光源101から出射されてビームスプリッタ102
で分岐された繰り返し周波数100MHzの同期光パル
ス(図9(a)参照)をパルスピッカー10に入射させ
る。パルスピッカー10は、図9(b)に示す10MH
zの駆動信号に基づいて、この同期光パルスから10M
Hzの光パルス(同図(c)参照)を取り出して出力す
る。この出力光パルスは、高速光検出器121に入射し
て、10MHzの電気信号(同図(d)参照)に変換さ
れる。さらに、フィルタ回路135によりこの出力信号
から高周波成分が除去されて、10MHzの正弦波信号
(同図(e)参照)に調整される。これがマイクロ波シ
ンセサイザ124の参照信号となる。このマイクロ波シ
ンセサイザ124の出力が駆動信号として図5に示す被
測定回路104に加えられる。
Next, the operation of the synchronous system 103 will be described with reference to FIGS. FIG. 9 is a timing chart of signals transmitted in the synchronous system 103. As shown in FIG. 8, a beam splitter 102
The synchronous light pulse having a repetition frequency of 100 MHz (see FIG. 9A) branched into the pulse picker 10 is input. The pulse picker 10 has a 10 MH shown in FIG.
10M from this synchronous light pulse based on the drive signal of z.
Hz optical pulses (see FIG. 3C) are extracted and output. This output light pulse enters the high-speed photodetector 121 and is converted into a 10 MHz electric signal (see FIG. 3D). Further, a high frequency component is removed from the output signal by the filter circuit 135, and the output signal is adjusted to a 10 MHz sine wave signal (see FIG. 9E). This becomes the reference signal of the microwave synthesizer 124. The output of the microwave synthesizer 124 is applied as a drive signal to the circuit under test 104 shown in FIG.

【0045】この応用例1は、従来例2と同様にレーザ
光源101の光パルスから参照信号を生成している。し
かし、従来例2とは異なり、分周動作を光学的に行って
いるため、分周時にジッタが発生することがない。フィ
ルタ回路135も受動素子の組み合わせであるため、ジ
ッタが発生しにくいので、時間分解能の高い安定した測
定が可能となる。
In the first application example, the reference signal is generated from the light pulse of the laser light source 101 as in the second conventional example. However, unlike the conventional example 2, since the frequency dividing operation is performed optically, no jitter occurs at the time of frequency dividing. Since the filter circuit 135 is also a combination of passive elements, jitter does not easily occur, so that stable measurement with high time resolution can be performed.

【0046】次に、図10、11を用いて、応用例1に
おいてレーザ光源101から出射されるレーザ光の繰り
返し周波数がマイクロ波シンセサイザ124で必要とす
る参照信号の周波数の整数倍でないときの実施例(以
下、応用例2と呼ぶ)について説明する。図10は、応
用例2の同期系103の一部の構成図であり、図11
は、動作タイミングを表す図である。
Next, with reference to FIGS. 10 and 11, an embodiment is described in which the repetition frequency of the laser beam emitted from the laser light source 101 in the application example 1 is not an integral multiple of the frequency of the reference signal required by the microwave synthesizer 124. An example (hereinafter, referred to as application example 2) will be described. FIG. 10 is a configuration diagram of a part of the synchronization system 103 of the application example 2, and FIG.
Is a diagram showing operation timing.

【0047】応用例2では、図10に示すように、応用
例1(図8参照)のパルスピッカー10とビームスプリ
ッタ102の間に、1対の透過率が0でないミラー13
6からなるファブリぺロー(FP)エタロン137が設
置されている。
In the application example 2, as shown in FIG. 10, a pair of non-zero transmittance mirrors 13 between the pulse picker 10 and the beam splitter 102 in the application example 1 (see FIG. 8).
6, a Fabry-Perot (FP) etalon 137 is provided.

【0048】この応用例2において、レーザ光源101
として75MHzの繰り返し周波数の光パルスを発する
レーザ光源を使用した場合についてその動作を説明す
る。レーザ光源101から出射された光パルスは、図1
1(a)に示すように、75MHzの繰り返し周波数を
有する。この光パルスのうち、ビームスプリッタ102
で分岐された同期光パルスは、FPエタロン137に入
射し、2枚のミラー136間で多重反射しながら、その
一部がパルスピッカー10方向へ出力される。ミラー1
36間の距離を1mに設定すれば、FPエタロン137
の入射面と反対の面から150MHzの繰り返し周波数
を有する出力光パルス(図11(b)参照)が得られ
る。この周波数は必要とする参照信号の周波数10MH
zと、レーザ周波数75MHzの最小公倍数である。こ
の光をパルスピッカー10に導き、10MHzの駆動信
号(同図(c)参照)によって、10MHzの光パルス
(同図(d)参照)を取り出すことができる。以下、応
用例1と同様の動作により、10MHzの参照信号を生
成して、参照信号とレーザ光の同期をとることができ
る。
In this application example 2, the laser light source 101
The operation will be described in the case where a laser light source that emits a light pulse having a repetition frequency of 75 MHz is used. The light pulse emitted from the laser light source 101 is shown in FIG.
As shown in FIG. 1A, it has a repetition frequency of 75 MHz. Of this light pulse, the beam splitter 102
The synchronous light pulse branched in the step (1) enters the FP etalon 137 and is partially reflected and output to the pulse picker 10 while undergoing multiple reflection between the two mirrors 136. Mirror 1
If the distance between 36 is set to 1 m, FP etalon 137
An output light pulse having a repetition frequency of 150 MHz (see FIG. 11B) is obtained from the surface opposite to the incident surface. This frequency is the required reference signal frequency of 10 MHz.
z and the least common multiple of the laser frequency of 75 MHz. This light is guided to the pulse picker 10 and a 10 MHz optical pulse (see FIG. 4D) can be extracted by a 10 MHz drive signal (see FIG. 4C). Hereinafter, a 10 MHz reference signal can be generated by the same operation as that of the application example 1 to synchronize the reference signal and the laser beam.

【0049】FPエタロン137はミラー136の間隔
を調整することで、出力する光パルスの繰り返し周波数
を調整できる。したがって、レーザ光源としては他の繰
り返し周波数を有するレーザでも用いることができる。
また、FPエタロン137から出力される光の繰り返し
周波数は、参照信号の整数倍であればよい。
The FP etalon 137 can adjust the repetition frequency of the output light pulse by adjusting the interval between the mirrors 136. Therefore, a laser having another repetition frequency can be used as the laser light source.
Further, the repetition frequency of the light output from the FP etalon 137 may be an integer multiple of the reference signal.

【0050】次に、図12を参照して、本実施形態のパ
ルスピッカーをホトコンサンプリング装置に適用した場
合の実施例について説明する。ホトコンサンプリング装
置は、シンセサイザ等で駆動されたIC等の被測定回路
内の電極上での電気信号波形を計測する装置であり、そ
の構造は図5に示したE−Oサンプリング装置と類似し
ている。
Next, an example in which the pulse picker of the present embodiment is applied to a photo-con sampling device will be described with reference to FIG. The photo-con sampling device is a device for measuring an electric signal waveform on an electrode in a circuit to be measured such as an IC driven by a synthesizer or the like, and has a structure similar to that of the EO sampling device shown in FIG. ing.

【0051】図12に示すホトコンサンプリング装置
と、図5に示すE−Oサンプリング装置の違いは、プロ
ーブ光側の構成であり、同期系203内部の構成は、図
8に示した応用例1の同期系103と同一である。した
がって、同期系203部分の構成に関する説明は省略
し、プローブ光側の構成について説明する。ビームスプ
リッタ202の先のプローブ光の光路上には、光遅延装
置205が配置されている。この光遅延装置205は、
それぞれがプローブ光の光路と45度の角度をなし、互
いに直交して配置された2個のミラー212とこのミラ
ー212を光路に沿って移動させる移動ステージ213
からなる。光路の長さを調整することにより、光遅延装
置205より後ろの光路に到達する光パルスのタイミン
グを調整できる。光遅延装置205の出力光の光路上に
は、さらに光路を調整するミラー206と集光レンズ2
07が配置される。
The difference between the photo-con sampling device shown in FIG. 12 and the EO sampling device shown in FIG. 5 is the configuration on the probe light side, and the configuration inside the synchronization system 203 is the same as that of the first application shown in FIG. Is the same as the synchronous system 103 of FIG. Therefore, the description of the configuration of the synchronization system 203 will be omitted, and the configuration on the probe light side will be described. An optical delay device 205 is arranged on the optical path of the probe light ahead of the beam splitter 202. This optical delay device 205
Each of the mirrors 212 forms an angle of 45 degrees with the optical path of the probe light, and is disposed at right angles to the two mirrors 212 and a moving stage 213 that moves the mirrors 212 along the optical path.
Consists of By adjusting the length of the optical path, the timing of the optical pulse reaching the optical path behind the optical delay device 205 can be adjusted. On the optical path of the output light of the optical delay device 205, a mirror 206 for further adjusting the optical path and a condenser lens 2 are provided.
07 is arranged.

【0052】集光レンズ207の焦点には、ホトコンス
イッチ214が設置されている。ホトコンスイッチ21
4は、半導体基板上に櫛形電極や平行電極などの対向電
極を設けたものであり、電極の間に光が入射すると電流
が流れる。このホトコンスイッチ214の一方の電極
は、被測定回路204の被測定電極に接触されるプロー
ブ電極215に接続されており、他方の電極は、電流検
出装置211に電気的に接続されている。ホトコンスイ
ッチ214とプローブ電極215はプローブヘッド20
8内に納められており、プローブヘッド208を被測定
回路204上で移動させることにより、測定位置を変え
ることができる。電流検出装置211と光遅延装置20
5は計測制御装置209に接続されている。計測制御装
置209はさらに、表示装置210に接続されている。
At the focal point of the condenser lens 207, a photo control switch 214 is provided. Photo control switch 21
Reference numeral 4 denotes an arrangement in which a counter electrode such as a comb-shaped electrode or a parallel electrode is provided on a semiconductor substrate. When light enters between the electrodes, a current flows. One electrode of the photo-control switch 214 is connected to the probe electrode 215 that is in contact with the electrode under measurement of the circuit under measurement 204, and the other electrode is electrically connected to the current detection device 211. The photo control switch 214 and the probe electrode 215 are connected to the probe head 20.
8, the measurement position can be changed by moving the probe head 208 on the circuit under measurement 204. Current detection device 211 and optical delay device 20
5 is connected to the measurement control device 209. The measurement control device 209 is further connected to the display device 210.

【0053】レーザ光源201から出射したレーザ光
は、ビームスプリッタ202に入射して、2つに分岐さ
れる。直進するプローブ光は、光遅延装置205とミラ
ー206により、集光レンズ207に導かれる。
The laser light emitted from the laser light source 201 enters the beam splitter 202 and is split into two. The probe light traveling straight is guided to the condenser lens 207 by the optical delay device 205 and the mirror 206.

【0054】ここで、被測定回路204には、前述のE
−Oサンプリング装置と同様に、マイクロ波シンセサイ
ザによる駆動信号(例えば、周波数1GHz)が印加さ
れている。プローブ電極215を被測定回路204内の
被測定電極に接触させておき、ホトコンスイッチ214
に集光レンズ207で集光されたプローブ光を入射させ
ると、ホトコンスイッチ214の対向電極の間でキャリ
アが発生して、電流検出装置211に送られる。このキ
ャリア出力は、被測定回路204の被測定電極の電圧に
比例する。キャリア出力はさらに、電流検出装置211
から計測制御装置209に送られて処理され、表示装置
210で電圧波形として表示される。計測制御装置20
9により光遅延装置205を移動させて、プローブ光の
光路長さを変えることにより、被測定回路204への駆
動電圧印加とホトコンスイッチ214へのプローブ光入
射のタイミングを調整することができる。
Here, the above-described E
Similar to the −O sampling device, a drive signal (for example, a frequency of 1 GHz) by a microwave synthesizer is applied. The probe electrode 215 is brought into contact with the electrode to be measured in the circuit to be measured 204, and the
When the probe light condensed by the condenser lens 207 is incident on the photodetector 211, carriers are generated between the opposing electrodes of the photo-control switch 214 and sent to the current detection device 211. This carrier output is proportional to the voltage of the electrode under measurement of the circuit under measurement 204. The carrier output is further supplied to the current detection device 211.
Is sent to the measurement control device 209 for processing, and is displayed on the display device 210 as a voltage waveform. Measurement control device 20
9, the optical delay device 205 is moved to change the optical path length of the probe light, whereby it is possible to adjust the drive voltage application to the circuit under test 204 and the timing of the probe light incidence to the photo-control switch 214.

【0055】本装置では、前述のE−Oサンプリング装
置と同様に、シンセサイザとレーザパルスの同期を光学
的にとっているため、時間分解能の高い測定が可能であ
る。
In the present apparatus, as in the case of the above-mentioned EO sampling apparatus, since the synthesizer and the laser pulse are optically synchronized, measurement with high time resolution is possible.

【0056】次に、図13を参照して、ストリークカメ
ラによる蛍光測定に応用例1のパルスピッカー(図1参
照)を使用した例について説明する。この測定系は、図
13に示すように、パルス光を発するレーザ光源301
と、本実施形態のパルスピッカー302と、蛍光測定が
行われるサンプル303と、蛍光測定を行うシンクロス
キャン方式のストリークカメラ304と、ストリークカ
メラ304を制御するコントローラ305と、測定結果
を表示する表示装置306とを組み合わせて構成されて
いる。
Next, an example in which the pulse picker (see FIG. 1) of Application Example 1 is used for fluorescence measurement by a streak camera will be described with reference to FIG. This measurement system includes a laser light source 301 that emits pulsed light as shown in FIG.
A pulse picker 302 of the present embodiment, a sample 303 for performing fluorescence measurement, a synchro-scan streak camera 304 for performing fluorescence measurement, a controller 305 for controlling the streak camera 304, and a display device for displaying measurement results 306 in combination.

【0057】続いて、この応用例の動作を説明する。レ
ーザ光源301から出射されたパルス光(繰り返し周波
数80MHz)はパルスピッカー302に導かれ、この
中から繰り返し周波数10MHzの出力光パルスが取り
出される。この出力光パルスがサンプル303に照射さ
れると、この光パルスを励起光としてサンプル303か
ら蛍光が発せられる。この蛍光はストリークカメラ30
4に入射され、測定される。ストリークカメラ304の
シンクロ周波数(80MHz)は、レーザ光源301の
繰り返し周波数とコントローラ305により同期されて
いる。ストリークカメラ304の出力はコントローラ3
05を介して表示装置306に出力され、表示される。
Next, the operation of this application example will be described. The pulse light (repetition frequency: 80 MHz) emitted from the laser light source 301 is guided to a pulse picker 302, from which an output light pulse having a repetition frequency of 10 MHz is extracted. When the output light pulse is applied to the sample 303, the sample 303 emits fluorescence using the light pulse as excitation light. This fluorescent light is generated by the streak camera 30
4 and measured. The sync frequency (80 MHz) of the streak camera 304 is synchronized with the repetition frequency of the laser light source 301 by the controller 305. The output of the streak camera 304 is the controller 3
05 to the display device 306 and displayed.

【0058】パルスピッカー302を使用せず、直接レ
ーザ光源301から光パルスをサンプル303に入射さ
せた場合、光パルスの繰り返し周期である12.5ns
よりサンプルの蛍光寿命が長いと、前の光パルスによる
蛍光が残っている間にサンプル303に次の光パルスが
入射するため、サンプル303から発せられる蛍光の寿
命を正確に求めることができない。本応用例の場合は、
パルスピッカー302をサンプル303とレーザ光源3
01の間に置くことにより、光パルスの繰り返し周期を
100nsと長くとることができ、サンプル303の蛍
光寿命が100ns未満であれば、その蛍光寿命を正確
に測定することができる。サンプル303の蛍光寿命が
さらに長い場合は、パルスピッカー302の駆動電圧の
周波数を変更することにより、さらに光パルスの繰り返
し周期を長くとることでサンプル303の蛍光寿命の正
確な測定が可能である。
When an optical pulse is directly incident on the sample 303 from the laser light source 301 without using the pulse picker 302, the repetition period of the optical pulse is 12.5 ns.
If the fluorescence lifetime of the sample is longer, the next light pulse enters the sample 303 while the fluorescence of the previous light pulse remains, so that the lifetime of the fluorescence emitted from the sample 303 cannot be accurately obtained. In the case of this application example,
The pulse picker 302 is connected to the sample 303 and the laser light source 3
By setting the interval between 01 and 01, the repetition period of the light pulse can be made as long as 100 ns. If the fluorescence lifetime of the sample 303 is less than 100 ns, the fluorescence lifetime can be accurately measured. When the fluorescence life of the sample 303 is longer, the fluorescence life of the sample 303 can be accurately measured by changing the frequency of the driving voltage of the pulse picker 302 to further increase the repetition period of the light pulse.

【0059】レーザの繰り返し周波数とストリークカメ
ラ304のシンクロ周波数は前述のように一致している
ことが好ましいが、一致していない場合についても蛍光
測定が可能である。その例を図14、図15を用いて説
明する。図14は本例の測定系のブロック構成図、図1
5は本例のストリークカメラの画像表示の原理を示した
図である。
It is preferable that the repetition frequency of the laser and the synchro frequency of the streak camera 304 match as described above, but fluorescence measurement can be performed even when they do not match. An example will be described with reference to FIGS. FIG. 14 is a block diagram of a measurement system according to the present embodiment.
FIG. 5 is a diagram showing the principle of image display by the streak camera of this example.

【0060】ストリークカメラ304のシンクロ周波数
は100MHzとレーザの繰り返し周波数80MHzと
異なっている。そこで、ストリークカメラ304とレー
ザの同期をとるため、レーザ光の一部がビームスプリッ
タ307により分岐されてパルスピッカー302に導か
れ、10MHzの光パルスが取り出される。これが光検
出器308で電気信号に変換された上で、シンセサイザ
309を駆動する参照信号として印加されている。シン
セサイザ309からは100MHzの電気信号が出力さ
れ、これによりストリークカメラ304が駆動されてい
る。ストリークカメラ304は10nsで掃引を繰り返
すが、サンプル303からの応答光は、80MHzで入
射するため、12.5nsごとに入射を繰り返すことに
なる。つまり、ストリークカメラ304の掃引とレーザ
光のタイミングは完全に一致するわけではない。しか
し、以下のようにして測定が可能になっている。
The synchro frequency of the streak camera 304 is different from 100 MHz and the repetition frequency of the laser is 80 MHz. Therefore, in order to synchronize the laser with the streak camera 304, a part of the laser light is branched by the beam splitter 307, guided to the pulse picker 302, and an optical pulse of 10 MHz is extracted. This is converted into an electric signal by the photodetector 308 and then applied as a reference signal for driving the synthesizer 309. A 100 MHz electric signal is output from the synthesizer 309, and the streak camera 304 is driven by this. The streak camera 304 repeats the sweep at 10 ns, but the response light from the sample 303 enters at 80 MHz, so that the response light repeats every 12.5 ns. That is, the sweep of the streak camera 304 and the timing of the laser beam do not completely match. However, measurement is possible as follows.

【0061】図15に示すように、ストリークカメラ3
04の掃引時間である10nsでストリークカメラ30
4の蛍光画面への出力位置は一周する。ここで、ストリ
ークカメラ304の掃引時間のうち、実際に出力を画像
として観測できる範囲を2.5ns以下に制限する。ス
トリークカメラ304とレーザ光の同期はとれているの
で、第1の応答光による出力は観測範囲内に入る(図1
5のA点)。12.5ns後の第2の応答光による出力
は、図15中のA点から1周して、さらにA点を4分の
1周通過した位置であるB点に出力される。このB点は
観測範囲外にあるため、実際には観測されない(同図の
B点)。続く、第3、第4の応答光による出力も同様に
観測されない(同図のC、D点)。そして、第1の応答
光から50ns後の第5の応答光による出力は第1の応
答光からちょうど5周した位置であるA点に出力される
ため観測できる。したがって、50nsごとの応答光を
観測することが可能となる。このようにして、ストリー
クカメラ304のシンクロ周波数とパルスレーザの繰り
返し周波数が異なる場合についても適用できる。
As shown in FIG. 15, the streak camera 3
The streak camera 30 in 10 ns which is the sweep time of 04
The output position on the fluorescent screen of No. 4 goes around once. Here, of the sweep time of the streak camera 304, the range in which the output can be actually observed as an image is limited to 2.5 ns or less. Since the laser light is synchronized with the streak camera 304, the output by the first response light falls within the observation range (FIG. 1).
A point 5). The output by the second response light after 12.5 ns is output to point B, which is a position that makes one round from point A in FIG. Since this point B is outside the observation range, it is not actually observed (point B in the figure). Subsequently, the output by the third and fourth response lights is not observed similarly (points C and D in the same figure). The output of the fifth response light 50 ns after the first response light is output to the point A, which is a position exactly five times from the first response light, and can be observed. Therefore, it is possible to observe the response light every 50 ns. In this manner, the present invention can be applied to a case where the synchro frequency of the streak camera 304 and the repetition frequency of the pulse laser are different.

【0062】本発明のパルスピッカーはこの他にも、各
種の同期装置などに適用することができる。
The pulse picker of the present invention can be applied to various other synchronizers.

【0063】[0063]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のパルスピ
ッカーによれば、取り出した光パルスの出力が最大とな
るように光パルスを取り出すタイミングをフィードバッ
ク制御しているため、安定した光パルスを取り出すこと
ができる。特に、温度変動などでパルスピッカー内部の
光変調器の動作条件が変わったときでも、動作条件の変
更に自動的に対応して常に安定した光パルスが取り出せ
る。
As described above, according to the pulse picker of the present invention, since the timing of extracting the optical pulse is feedback-controlled so that the output of the extracted optical pulse is maximized, a stable optical pulse can be generated. Can be taken out. In particular, even when the operating condition of the optical modulator inside the pulse picker changes due to temperature fluctuation or the like, a stable optical pulse can always be taken out in response to the change of the operating condition.

【0064】また、本発明のパルスピッカーを同期装置
の参照信号発生用に使用すれば、時間分解能の高い参照
信号を用いることができるため、正確な同期をとること
ができる。
When the pulse picker of the present invention is used for generating a reference signal of a synchronizer, a reference signal having a high time resolution can be used, so that accurate synchronization can be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention.

【図2】電気光学結晶を用いた光変調部の構成図であ
る。
FIG. 2 is a configuration diagram of a light modulation unit using an electro-optic crystal.

【図3】図1に係るパルスピッカーの動作タイミングを
示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing operation timings of the pulse picker according to FIG. 1;

【図4】図1に係る実施形態のフィードバック制御の一
例のフロー図である。
FIG. 4 is a flowchart illustrating an example of feedback control of the embodiment according to FIG. 1;

【図5】典型的なE−Oサンプリング装置の構成図であ
る。
FIG. 5 is a configuration diagram of a typical EO sampling device.

【図6】E−Oサンプリング装置とレーザ光を同期させ
る従来の装置の構成図である。
FIG. 6 is a configuration diagram of a conventional device for synchronizing an EO sampling device and a laser beam.

【図7】レーザ発振にE−Oサンプリング装置を同期さ
せる従来の同期系の構成図である。
FIG. 7 is a configuration diagram of a conventional synchronization system for synchronizing an EO sampling device with laser oscillation.

【図8】図1に係るパルスピッカーを応用したE−Oサ
ンプリング装置の同期系の構成図である。
8 is a configuration diagram of a synchronization system of an EO sampling device to which the pulse picker according to FIG. 1 is applied.

【図9】図8に係る同期系の動作タイミングを示す図で
ある。
FIG. 9 is a diagram showing operation timings of the synchronous system according to FIG. 8;

【図10】図8に係るE−Oサンプリング装置の応用例
の構成図である。
FIG. 10 is a configuration diagram of an application example of the EO sampling device according to FIG. 8;

【図11】図8に係るE−Oサンプリング装置の応用例
の動作タイミングを示す図である。
11 is a diagram showing operation timings of an application example of the EO sampling device according to FIG. 8;

【図12】図1に係るパルスピッカーを応用したホトコ
ンサンプリング装置の構成図である。
FIG. 12 is a configuration diagram of a photo-con sampling device to which the pulse picker according to FIG. 1 is applied;

【図13】図1に係るパルスピッカーを応用したストリ
ークカメラによる蛍光測定装置の構成図である。
FIG. 13 is a configuration diagram of a fluorescence measurement device using a streak camera to which the pulse picker according to FIG. 1 is applied.

【図14】図13に係る蛍光測定装置の応用例の構成図
である。
14 is a configuration diagram of an application example of the fluorescence measurement device according to FIG.

【図15】図14に係る装置の画像表示の原理を示す図
である。
FIG. 15 is a diagram showing the principle of image display of the device according to FIG.

【図16】従来のパルスピッカーの構成図である。FIG. 16 is a configuration diagram of a conventional pulse picker.

【図17】従来例のAOMによるブラッグセルの構成図
である。
FIG. 17 is a configuration diagram of a conventional example of an AOM Bragg cell.

【図18】従来例の駆動部のブロック図である。FIG. 18 is a block diagram of a driving unit of a conventional example.

【図19】従来例のパルスピッカー内部の光路図であ
る。
FIG. 19 is an optical path diagram inside a conventional pulse picker.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…駆動部、2…光変調部、3…ビームスプリッタ、4
…光検出器、5…出力レベル計測部、6…制御部、10
…パルスピッカー、11…偏光子、12…電気光学結
晶、13…検光子、51…ブラッグセル、52…ブラッ
グセル・ステージ、53…入射ミラー、54…出力ミラ
ー、55…ビームストッパ、61…トランスデューサ、
62…超音波媒体、63…超音波吸収体、70…駆動
部、71…キャリア発振器、72…平衡変調器、73…
高周波増幅器、74…駆動パルス信号発生器、101…
レーザ光源、102…ビームスプリッタ、103…同期
系、104…被測定回路、105…偏光子、106…電
気光学結晶、107…検光子、108…光検出器、10
9…増幅器、110…表示装置、121…光検出器、1
22…位相検出器、123…高周波シンセサイザ、12
4…マイクロ波シンセサイザ、125…周波数半減器、
126…利得補償器、127…位相シフタ、131…分
周回路、132…局部信号シンセサイザ、133…ミキ
サー、135…フィルタ回路、136…ミラー、137
…FPエタロン、201…レーザ光源、202…ビーム
スプリッタ、203…同期系、204…被測定回路、2
05…光遅延装置、206…ミラー、207…集光レン
ズ、208…プローブヘッド、209…計測制御装置、
210…表示装置、211…電流検出装置、212…ミ
ラー、213…移動ステージ、214…ホトコンスイッ
チ、215…プローブ電極、301…レーザ光源、30
2…パルスピッカー、303…サンプル、304…スト
リークカメラ、305…コントローラ、306…表示装
置、307…ビームスプリッタ、308…光検出器、3
09…シンセサイザ。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Drive part, 2 ... Light modulation part, 3 ... Beam splitter, 4
... photodetector, 5 ... output level measuring unit, 6 ... control unit, 10
... Pulse picker, 11 ... Polarizer, 12 ... Electro-optical crystal, 13 ... Analyzer, 51 ... Bragg cell, 52 ... Brag cell stage, 53 ... Incident mirror, 54 ... Output mirror, 55 ... Beam stopper, 61 ... Transducer
62 ... ultrasonic medium, 63 ... ultrasonic absorber, 70 ... drive unit, 71 ... carrier oscillator, 72 ... balanced modulator, 73 ...
High frequency amplifier, 74 ... drive pulse signal generator, 101 ...
Laser light source, 102: beam splitter, 103: synchronous system, 104: circuit to be measured, 105: polarizer, 106: electro-optic crystal, 107: analyzer, 108: photodetector, 10
9 amplifier, 110 display device, 121 photodetector, 1
22: phase detector, 123: high frequency synthesizer, 12
4 ... microwave synthesizer, 125 ... frequency halver,
126: gain compensator, 127: phase shifter, 131: frequency dividing circuit, 132: local signal synthesizer, 133: mixer, 135: filter circuit, 136: mirror, 137
FP etalon 201 laser light source 202 beam splitter 203 synchronous system 204 circuit under test 2
05: optical delay device, 206: mirror, 207: condenser lens, 208: probe head, 209: measurement control device,
Reference numeral 210: display device, 211: current detection device, 212: mirror, 213: moving stage, 214: photo-control switch, 215: probe electrode, 301: laser light source, 30
2 pulse picker, 303 sample, 304 streak camera, 305 controller, 306 display device, 307 beam splitter, 308 photodetector, 3
09 ... Synthesizer.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 所定の繰り返し周期を有する入力光パル
スからその整数倍の繰り返し周期を有する光パルスを取
り出して出力するパルスピッカーにおいて、 前記入力光パルスに同期しており、繰り返し周期が前記
入力光パルスの所定繰り返し周期の整数倍であって、パ
ルス幅が前記入力光パルスの1個のパルスのみを含む長
さである駆動信号パルスを発生する駆動部と、 前記入力光パルスが入力されると共に、前記駆動信号パ
ルスの有無に応じて、前記入力光パルスの出力側への透
過・遮断を行う光変調部と、 前記光変調器から出力された各光パルスの一部を分岐し
て取り出す光分岐手段と、 前記光分岐手段により取り出された前記出力光パルス強
度の時間変化を測定する計測部と、 前記計測部で測定された前記出力光パルス強度の時間変
化に基づいて、前記出力光パルス強度が最大となるよう
に前記駆動部を制御することにより前記駆動信号パルス
の発生タイミングを調整する制御部と、 を備えることを特徴とするパルスピッカー。
1. A pulse picker for extracting and outputting an optical pulse having an integral multiple repetition period from an input optical pulse having a predetermined repetition period, wherein the pulse picker is synchronized with the input optical pulse and has a repetition period of the input light pulse. A drive unit that generates a drive signal pulse that is an integral multiple of a predetermined repetition period of a pulse and has a pulse width that is a length including only one pulse of the input light pulse; An optical modulator that transmits and blocks the input optical pulse to the output side according to the presence or absence of the drive signal pulse; and a light that branches and extracts a part of each optical pulse output from the optical modulator. A branching unit, a measuring unit that measures a time change of the output light pulse intensity extracted by the optical branching unit, and a time change of the output light pulse intensity measured by the measuring unit. Based on a pulse picker, characterized in that it comprises a control unit which adjusts the output timing of the drive signal pulses by the output light pulse intensity to control the driving unit so as to maximize.
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