JPH10223695A - テープキャリアパッケージ、フレキシブル基板及び基板実装方法 - Google Patents
テープキャリアパッケージ、フレキシブル基板及び基板実装方法Info
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- JPH10223695A JPH10223695A JP2166697A JP2166697A JPH10223695A JP H10223695 A JPH10223695 A JP H10223695A JP 2166697 A JP2166697 A JP 2166697A JP 2166697 A JP2166697 A JP 2166697A JP H10223695 A JPH10223695 A JP H10223695A
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/321—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/36—Assembling printed circuits with other printed circuits
- H05K3/361—Assembling flexible printed circuits with other printed circuits
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ガラスエポキシ基板等の非透過基板に接続する
際にCCDカメラ等の撮像手段により位置合わせを行う
ことができるテープキャリアパッケージを提供するこ
と。 【解決手段】可撓性を有するベース51と、ベース51
上に設けられたIC53と、ベース51上に設けられる
とともに、一端部がIC53の端子53aに接続され且
つ他端部に接続電極52bを有する複数の配線52と、
ベース51上に設けられ、接続電極52aの近傍に配置
された位置合わせ用孔54とを備えている。
際にCCDカメラ等の撮像手段により位置合わせを行う
ことができるテープキャリアパッケージを提供するこ
と。 【解決手段】可撓性を有するベース51と、ベース51
上に設けられたIC53と、ベース51上に設けられる
とともに、一端部がIC53の端子53aに接続され且
つ他端部に接続電極52bを有する複数の配線52と、
ベース51上に設けられ、接続電極52aの近傍に配置
された位置合わせ用孔54とを備えている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高精度な位置決め
を行うことができるテープキャリアパッケージ、フレキ
シブル基板及び基板実装方法に関する。
を行うことができるテープキャリアパッケージ、フレキ
シブル基板及び基板実装方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図11の(a),(b)は従来のテープ
キャリアパッケージ10の一例を示す図である。テープ
キャリアパッケージ10は、ポリイミド材製のベース1
1と、このベース11表面上にパターニングされた銅配
線12と、ベース11の中央部に搭載されたIC13と
を備えている。IC13の各端子13aは銅配線12に
接続されている。
キャリアパッケージ10の一例を示す図である。テープ
キャリアパッケージ10は、ポリイミド材製のベース1
1と、このベース11表面上にパターニングされた銅配
線12と、ベース11の中央部に搭載されたIC13と
を備えている。IC13の各端子13aは銅配線12に
接続されている。
【0003】テープキャリアパッケージ10の図11中
10aは、後述するように例えばガラス基板20と異方
性導電膜Pを介しての接続に供される異方性導電膜接続
部を示しており、図11中10bは、後述するように例
えばガラスエポキシ基板30をはんだSを介しての接続
に供されるはんだ接続部を示している。また、銅配線1
2のうち後述するITO(indium tin oxide film) 電極
23との接続に供される部分を接続電極12a、銅配線
12のうち後述する銅電極33との接続に供される部分
を接続電極12bと称している。
10aは、後述するように例えばガラス基板20と異方
性導電膜Pを介しての接続に供される異方性導電膜接続
部を示しており、図11中10bは、後述するように例
えばガラスエポキシ基板30をはんだSを介しての接続
に供されるはんだ接続部を示している。また、銅配線1
2のうち後述するITO(indium tin oxide film) 電極
23との接続に供される部分を接続電極12a、銅配線
12のうち後述する銅電極33との接続に供される部分
を接続電極12bと称している。
【0004】図12の(a),(b)は上述したテープ
キャリアパッケージ10をガラス基板20及びガラスエ
ポキシ基板30に接続した状態を示す図である。なお、
ガラス基板20は、ガラス板21と、このガラス板21
表面に形成されたITO配線22と、このITO配線2
2の先端に設けられたITO電極23とを備えている。
また、ガラスエポキシ基板30は、ガラスエポキシ板3
1と、このガラスエポキシ板31表面に形成された銅配
線32と、この銅配線32の先端に設けられた銅電極3
3とを備えている。
キャリアパッケージ10をガラス基板20及びガラスエ
ポキシ基板30に接続した状態を示す図である。なお、
ガラス基板20は、ガラス板21と、このガラス板21
表面に形成されたITO配線22と、このITO配線2
2の先端に設けられたITO電極23とを備えている。
また、ガラスエポキシ基板30は、ガラスエポキシ板3
1と、このガラスエポキシ板31表面に形成された銅配
線32と、この銅配線32の先端に設けられた銅電極3
3とを備えている。
【0005】テープキャリアパッケージ10をガラス基
板20及びガラスエポキシ基板30に接続する場合に
は、図12の(b)中矢印Aに示すようにガラス基板2
0側からカメラ等の撮像手段により撮像することで、I
TO電極23と接続電極12aとを位置合わせするよう
にしていた。
板20及びガラスエポキシ基板30に接続する場合に
は、図12の(b)中矢印Aに示すようにガラス基板2
0側からカメラ等の撮像手段により撮像することで、I
TO電極23と接続電極12aとを位置合わせするよう
にしていた。
【0006】図13の(a),(b)は従来のフレキシ
ブル基板40の一例を示す図である。フレキシブル基板
40は、ポリイミド材製のベース41と、このベース4
1表面上にパターニングされた銅配線42とを備えてい
る。
ブル基板40の一例を示す図である。フレキシブル基板
40は、ポリイミド材製のベース41と、このベース4
1表面上にパターニングされた銅配線42とを備えてい
る。
【0007】フレキシブル基板40の図13中40a及
び40bは、後述するように例えばガラスエポキシ基板
30と異方性導電膜Pを介しての接続に供される異方性
導電膜接続部を示している。また、異方性導電膜接続部
40aの銅配線42のうち銅電極33との接続に供され
る部分を接続電極42a、異方性導電膜接続部40bの
銅配線42のうち後述する銅電極33との接続に供され
る部分を接続電極42bと称している。
び40bは、後述するように例えばガラスエポキシ基板
30と異方性導電膜Pを介しての接続に供される異方性
導電膜接続部を示している。また、異方性導電膜接続部
40aの銅配線42のうち銅電極33との接続に供され
る部分を接続電極42a、異方性導電膜接続部40bの
銅配線42のうち後述する銅電極33との接続に供され
る部分を接続電極42bと称している。
【0008】図14の(a),(b)は上述したフレキ
シブル基板40をガラスエポキシ基板30に接続した状
態を示す図である。フレキシブル基板40をガラスエポ
キシ基板30に接続する場合には、図14の(b)中矢
印Bに示すようにベース41側からカメラ等の撮像手段
により撮像することで、銅電極33と接続電極42aと
を位置合わせするようにしていた。
シブル基板40をガラスエポキシ基板30に接続した状
態を示す図である。フレキシブル基板40をガラスエポ
キシ基板30に接続する場合には、図14の(b)中矢
印Bに示すようにベース41側からカメラ等の撮像手段
により撮像することで、銅電極33と接続電極42aと
を位置合わせするようにしていた。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来のテープ
キャリアパッケージ10及びフレキシブル基板40で
は、次のような問題があった。すなわち、テープキャリ
アパッケージ10にあっては、光を透過しないガラスエ
ポキシ基板30等の非透過基板と接続する際には、図1
2の(b)中Aに示す位置からは撮像を行うことができ
ない。このため、図12の(b)中A′に示す位置から
テープキャリアパッケージ10のベース11側から撮像
することとなる。しかしながら、ベース11の厚みがあ
る程度あると光が透過しないという問題があった。
キャリアパッケージ10及びフレキシブル基板40で
は、次のような問題があった。すなわち、テープキャリ
アパッケージ10にあっては、光を透過しないガラスエ
ポキシ基板30等の非透過基板と接続する際には、図1
2の(b)中Aに示す位置からは撮像を行うことができ
ない。このため、図12の(b)中A′に示す位置から
テープキャリアパッケージ10のベース11側から撮像
することとなる。しかしながら、ベース11の厚みがあ
る程度あると光が透過しないという問題があった。
【0010】一方、フレキシブル基板40においては、
ベース41の厚みが光を十分に透過させ得る厚みであっ
ても、銅配線12、32がある程度高密度配置されてい
る場合にはCCDカメラの倍率を上げる必要があった。
このため、光量が減り、かつ、焦点深度が狭くなるた
め、CCDカメラによる位置合わせができなくなるとい
う問題があった。
ベース41の厚みが光を十分に透過させ得る厚みであっ
ても、銅配線12、32がある程度高密度配置されてい
る場合にはCCDカメラの倍率を上げる必要があった。
このため、光量が減り、かつ、焦点深度が狭くなるた
め、CCDカメラによる位置合わせができなくなるとい
う問題があった。
【0011】そこで本発明は、ガラスエポキシ基板等の
非透過基板に接続する際に、ベースの厚みや配線密度に
関わらずCCDカメラ等の撮像手段により位置合わせを
行うことができるテープキャリアパッケージ及びフレキ
シブル基板を提供することを目的としている。
非透過基板に接続する際に、ベースの厚みや配線密度に
関わらずCCDカメラ等の撮像手段により位置合わせを
行うことができるテープキャリアパッケージ及びフレキ
シブル基板を提供することを目的としている。
【0012】また、本発明は、ガラスエポキシ基板等の
非透過基板にテープキャリアパッケージ及びフレキシブ
ル基板等の基板を接続する際にCCDカメラ等の撮像手
段により高精度の位置合わせを行うことができる基板実
装方法を提供することを目的としている。
非透過基板にテープキャリアパッケージ及びフレキシブ
ル基板等の基板を接続する際にCCDカメラ等の撮像手
段により高精度の位置合わせを行うことができる基板実
装方法を提供することを目的としている。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、請求項1に記載された発明は、可撓性
のベースと、このベース上に設けられた電子部品と、前
記ベース上に設けられるとともに一端部が前記電子部品
の端子に接続され且つ他端部に接続電極を有する複数の
配線と、前記ベース上に設けられ前記接続電極の近傍に
配設された位置合わせ用孔とを具備するようにした。
達成するために、請求項1に記載された発明は、可撓性
のベースと、このベース上に設けられた電子部品と、前
記ベース上に設けられるとともに一端部が前記電子部品
の端子に接続され且つ他端部に接続電極を有する複数の
配線と、前記ベース上に設けられ前記接続電極の近傍に
配設された位置合わせ用孔とを具備するようにした。
【0014】請求項2に記載された発明は、請求項1に
記載された発明において、接続電極は、異方性導電膜又
ははんだを介して基板の配線に対して電気的に接続され
ることが好ましい。
記載された発明において、接続電極は、異方性導電膜又
ははんだを介して基板の配線に対して電気的に接続され
ることが好ましい。
【0015】請求項3に記載された発明は、請求項1に
記載された発明において、配線の接続電極となる部位は
平行に配設され、位置合わせ用孔は前記配線を横切る方
向に配置された長穴状に形成されていることが好まし
い。
記載された発明において、配線の接続電極となる部位は
平行に配設され、位置合わせ用孔は前記配線を横切る方
向に配置された長穴状に形成されていることが好まし
い。
【0016】請求項4に記載された発明は、請求項1に
記載された発明において、位置合わせ用孔は、接続電極
の外側に設けられているとともに、前記位置合わせ用孔
部位には配線が延在していることが好ましい。
記載された発明において、位置合わせ用孔は、接続電極
の外側に設けられているとともに、前記位置合わせ用孔
部位には配線が延在していることが好ましい。
【0017】請求項5に記載された発明は、請求項1に
記載された発明において、位置合わせ用孔は、複数の接
続電極のうちから選択された一部の接続電極に各別に対
応して設けられていることが好ましい。
記載された発明において、位置合わせ用孔は、複数の接
続電極のうちから選択された一部の接続電極に各別に対
応して設けられていることが好ましい。
【0018】請求項6に記載された発明は、請求項1に
記載された発明において、位置合わせ用孔には、接続さ
れる基板の配線に予め設けられた切欠部に対応する切欠
部が形成されていることが好ましい。
記載された発明において、位置合わせ用孔には、接続さ
れる基板の配線に予め設けられた切欠部に対応する切欠
部が形成されていることが好ましい。
【0019】請求項7に記載された発明は、可撓性のベ
ースと、前記ベース上に設けられるとともに両端部に接
続電極を有する複数の配線と、前記ベース上に設けられ
前記接続電極の近傍に配設された位置合わせ用孔とを具
備するようにした。
ースと、前記ベース上に設けられるとともに両端部に接
続電極を有する複数の配線と、前記ベース上に設けられ
前記接続電極の近傍に配設された位置合わせ用孔とを具
備するようにした。
【0020】請求項8に記載された発明は、請求項7に
記載された発明において、接続電極は、異方性導電膜又
ははんだを介して、被接続電極に対して電気的に接続さ
れることが好ましい。
記載された発明において、接続電極は、異方性導電膜又
ははんだを介して、被接続電極に対して電気的に接続さ
れることが好ましい。
【0021】請求項9に記載された発明は、請求項7に
記載された発明において、配線の接続電極となる部位は
平行に配設され、位置合わせ用孔は前記配線を横切る方
向に配置された長穴状に形成されていることが好まし
い。
記載された発明において、配線の接続電極となる部位は
平行に配設され、位置合わせ用孔は前記配線を横切る方
向に配置された長穴状に形成されていることが好まし
い。
【0022】請求項10に記載された発明は、請求項7
に記載された発明において、位置合わせ用孔は、接続電
極の外側に設けられているとともに、前記位置合わせ用
孔部位には配線が延在していることが好ましい。
に記載された発明において、位置合わせ用孔は、接続電
極の外側に設けられているとともに、前記位置合わせ用
孔部位には配線が延在していることが好ましい。
【0023】請求項11に記載された発明は、請求項7
に記載された発明において、位置合わせ用孔は、複数の
接続電極のうちから選択された一部の接続電極に各別に
対応して設けられていることが好ましい。
に記載された発明において、位置合わせ用孔は、複数の
接続電極のうちから選択された一部の接続電極に各別に
対応して設けられていることが好ましい。
【0024】請求項12に記載された発明は、請求項7
に記載された発明において、位置合わせ用孔には、被接
続電極を有する配線に予め設けられた切欠部に対応する
切欠部が形成されていることが好ましい。
に記載された発明において、位置合わせ用孔には、被接
続電極を有する配線に予め設けられた切欠部に対応する
切欠部が形成されていることが好ましい。
【0025】請求項13に記載された発明は、可撓性の
ベースと、このベース上に設けられた電子部品と、前記
ベース上に設けられるとともに一端部が前記電子部品の
端子に接続され且つ他端部に第1の接続電極を有する複
数の第1の配線と、前記ベース上に設けられ前記第1の
接続電極の近傍に配設された位置合わせ用孔とを具備す
るテープキャリアパッケージを、可撓性のベースと、前
記ベース上に設けられるとともに前記第1の接続電極に
接続される第2の電極を有する複数の第2の配線とを具
備するフレキシブル基板に実装する基板実装方法におい
て、前記第1の接続電極と前記第2の接続電極とを位置
合わせする第1の工程と、この第1の工程の後に前記第
1の接続電極と前記第2の接続電極とを異方性導電膜又
ははんだを介して接続する第2の工程とを具備し、前記
第1の工程は、前記位置合わせ用孔を介して、前記第1
の配線と前記第2の配線とのずれ測定結果に基づいて行
うこととした。
ベースと、このベース上に設けられた電子部品と、前記
ベース上に設けられるとともに一端部が前記電子部品の
端子に接続され且つ他端部に第1の接続電極を有する複
数の第1の配線と、前記ベース上に設けられ前記第1の
接続電極の近傍に配設された位置合わせ用孔とを具備す
るテープキャリアパッケージを、可撓性のベースと、前
記ベース上に設けられるとともに前記第1の接続電極に
接続される第2の電極を有する複数の第2の配線とを具
備するフレキシブル基板に実装する基板実装方法におい
て、前記第1の接続電極と前記第2の接続電極とを位置
合わせする第1の工程と、この第1の工程の後に前記第
1の接続電極と前記第2の接続電極とを異方性導電膜又
ははんだを介して接続する第2の工程とを具備し、前記
第1の工程は、前記位置合わせ用孔を介して、前記第1
の配線と前記第2の配線とのずれ測定結果に基づいて行
うこととした。
【0026】上記手段を講じた結果、次のような作用が
生じる。すなわち、請求項1に記載された発明では、電
極の近傍に位置合わせ用孔が設けられているので、他の
基板等に実装する際にテープキャリアパッケージ側から
電極との接続に供される相手側の電極を視認することが
でき高精度の位置決めを行うことができる。
生じる。すなわち、請求項1に記載された発明では、電
極の近傍に位置合わせ用孔が設けられているので、他の
基板等に実装する際にテープキャリアパッケージ側から
電極との接続に供される相手側の電極を視認することが
でき高精度の位置決めを行うことができる。
【0027】請求項2に記載された発明では、接続電極
は、異方性導電膜又ははんだを介して基板の配線に対し
て電気的に接続されるようにしたので、位置決めした状
態を保ったまま接続することができる。
は、異方性導電膜又ははんだを介して基板の配線に対し
て電気的に接続されるようにしたので、位置決めした状
態を保ったまま接続することができる。
【0028】請求項3に記載された発明では、配線の接
続電極となる部位は平行に配設され、位置合わせ用孔は
配線を横切る方向に配置された長穴状に形成されている
ので、複数の配線のずれを同時に視認することができ
る。
続電極となる部位は平行に配設され、位置合わせ用孔は
配線を横切る方向に配置された長穴状に形成されている
ので、複数の配線のずれを同時に視認することができ
る。
【0029】請求項4に記載された発明では、位置合わ
せ用孔は、接続電極の外側に設けられているとともに、
位置合わせ用孔部位には配線が延在しているので、位置
合わせのために視認する位置がより外側となり視認が容
易となる。
せ用孔は、接続電極の外側に設けられているとともに、
位置合わせ用孔部位には配線が延在しているので、位置
合わせのために視認する位置がより外側となり視認が容
易となる。
【0030】請求項5に記載された発明では、位置合わ
せ用孔は、複数の接続電極のうちから選択された一部の
接続電極に各別に対応して設けられているので、強度を
低下させることがない。
せ用孔は、複数の接続電極のうちから選択された一部の
接続電極に各別に対応して設けられているので、強度を
低下させることがない。
【0031】請求項6に記載された発明では、位置合わ
せ用孔には、接続される基板の配線に予め設けられた切
欠部に対応する切欠部が形成されているので、2以上の
方向に沿った位置決めを行うことができる。
せ用孔には、接続される基板の配線に予め設けられた切
欠部に対応する切欠部が形成されているので、2以上の
方向に沿った位置決めを行うことができる。
【0032】請求項7に記載された発明では、電極の近
傍に位置合わせ用孔が設けられているので、他の基板等
に実装する際にフレキシブル基板側から電極との接続に
供される相手側の電極を視認することができ高精度の位
置決めを行うことができる。
傍に位置合わせ用孔が設けられているので、他の基板等
に実装する際にフレキシブル基板側から電極との接続に
供される相手側の電極を視認することができ高精度の位
置決めを行うことができる。
【0033】請求項8に記載された発明では、接続電極
は、異方性導電膜又ははんだを介して基板の配線に対し
て電気的に接続されるようにしたので、位置決めした状
態を保ったまま接続することができる。
は、異方性導電膜又ははんだを介して基板の配線に対し
て電気的に接続されるようにしたので、位置決めした状
態を保ったまま接続することができる。
【0034】請求項9に記載された発明では、配線の接
続電極となる部位は平行に配設され、位置合わせ用孔は
配線を横切る方向に配置された長穴状に形成されている
ので、複数の配線のずれを同時に視認することができ
る。
続電極となる部位は平行に配設され、位置合わせ用孔は
配線を横切る方向に配置された長穴状に形成されている
ので、複数の配線のずれを同時に視認することができ
る。
【0035】請求項10に記載された発明では、位置合
わせ用孔は、接続電極の外側に設けられているととも
に、位置合わせ用孔部位には配線が延在しているので、
位置合わせのために視認する位置がより外側となり視認
が容易となる。
わせ用孔は、接続電極の外側に設けられているととも
に、位置合わせ用孔部位には配線が延在しているので、
位置合わせのために視認する位置がより外側となり視認
が容易となる。
【0036】請求項11に記載された発明では、位置合
わせ用孔は、複数の接続電極のうちから選択された一部
の接続電極に各別に対応して設けられているので、強度
を低下させることがない。
わせ用孔は、複数の接続電極のうちから選択された一部
の接続電極に各別に対応して設けられているので、強度
を低下させることがない。
【0037】請求項12に記載された発明では、位置合
わせ用孔には、接続される基板の配線に予め設けられた
切欠部に対応する切欠部が形成されているので、2以上
の方向に沿った位置決めを行うことができる。
わせ用孔には、接続される基板の配線に予め設けられた
切欠部に対応する切欠部が形成されているので、2以上
の方向に沿った位置決めを行うことができる。
【0038】請求項13に記載された発明では、テープ
キャリアパッケージの第1の接続電極とフレキシブル基
板の第2の接続電極とを位置合わせする第1の工程にお
いて、フレキシブル基板に設けられた位置合わせ用孔を
介して、第1の配線と第2の配線とのずれ測定結果に基
づいて行うこととしたので、高精度の位置決めを行うこ
とができる。
キャリアパッケージの第1の接続電極とフレキシブル基
板の第2の接続電極とを位置合わせする第1の工程にお
いて、フレキシブル基板に設けられた位置合わせ用孔を
介して、第1の配線と第2の配線とのずれ測定結果に基
づいて行うこととしたので、高精度の位置決めを行うこ
とができる。
【0039】
【発明の実施の形態】図1の(a),(b)は本発明の
第1の実施の形態に係るテープキャリアパッケージ50
を示す図、図2の(a),(b)はテープキャリアパッ
ケージ50をガラスエポキシ基板30に接続した状態を
示す図である。なお、これらの図において、図11およ
び図12と同一機能部分には同一符号が付されている。
第1の実施の形態に係るテープキャリアパッケージ50
を示す図、図2の(a),(b)はテープキャリアパッ
ケージ50をガラスエポキシ基板30に接続した状態を
示す図である。なお、これらの図において、図11およ
び図12と同一機能部分には同一符号が付されている。
【0040】図1に示すようにテープキャリアパッケー
ジ50は、ポリイミド材製のベース51と、このベース
51表面上にパターニングされた銅配線(配線)52
と、ベース51の中央部に搭載されたIC(電子部品)
53とを備えている。IC53の各端子53aは銅配線
52に接続されている。
ジ50は、ポリイミド材製のベース51と、このベース
51表面上にパターニングされた銅配線(配線)52
と、ベース51の中央部に搭載されたIC(電子部品)
53とを備えている。IC53の各端子53aは銅配線
52に接続されている。
【0041】テープキャリアパッケージ50の図1中5
0aは、ガラスエポキシ基板30と異方性導電膜Pを介
しての接続に供される異方性導電膜接続部を示してい
る。図1中50bは、ガラスエポキシ基板30をはんだ
Sを介しての接続に供されるはんだ接続部を示してい
る。また、異方性導電膜接続部50aの銅配線52のう
ち銅電極33との接続に供される部分を接続電極52
a、はんだ接続部50bの銅配線52のうち銅電極33
との接続に供される部分を接続電極52bと称してい
る。
0aは、ガラスエポキシ基板30と異方性導電膜Pを介
しての接続に供される異方性導電膜接続部を示してい
る。図1中50bは、ガラスエポキシ基板30をはんだ
Sを介しての接続に供されるはんだ接続部を示してい
る。また、異方性導電膜接続部50aの銅配線52のう
ち銅電極33との接続に供される部分を接続電極52
a、はんだ接続部50bの銅配線52のうち銅電極33
との接続に供される部分を接続電極52bと称してい
る。
【0042】一方、図1中54は、接続電極52aの近
傍かつ外方に設けられた幅約1mmの位置合わせ用孔を
示している。なお、位置合わせ用孔54と異方性導電膜
接続部50aとは約0.5mm離間している。
傍かつ外方に設けられた幅約1mmの位置合わせ用孔を
示している。なお、位置合わせ用孔54と異方性導電膜
接続部50aとは約0.5mm離間している。
【0043】図2の(a),(b)は上述したテープキ
ャリアパッケージ50をガラスエポキシ基板30に接続
した状態を示す図である。なお、ガラスエポキシ基板3
0は、ガラスエポキシ板31と、このガラスエポキシ板
31表面に形成された銅配線32と、この銅配線32の
先端に設けられた銅電極33とを備えている。
ャリアパッケージ50をガラスエポキシ基板30に接続
した状態を示す図である。なお、ガラスエポキシ基板3
0は、ガラスエポキシ板31と、このガラスエポキシ板
31表面に形成された銅配線32と、この銅配線32の
先端に設けられた銅電極33とを備えている。
【0044】ここで、テープキャリアパッケージ50を
ガラスエポキシ基板30に実装する工程について図3及
び図4に基づいて説明する。すなわち、図3の(a)に
示すように異方性導電膜Pをガラスエポキシ基板30の
銅電極33に接着する。次に、図3の(b)及び図4の
(a)に示すようにガラスエポキシ基板30を圧着ステ
ージ60上に支持するとともに、テープキャリアパッケ
ージ50をTABテープ61から分離し、テーブル62
上に支持する。
ガラスエポキシ基板30に実装する工程について図3及
び図4に基づいて説明する。すなわち、図3の(a)に
示すように異方性導電膜Pをガラスエポキシ基板30の
銅電極33に接着する。次に、図3の(b)及び図4の
(a)に示すようにガラスエポキシ基板30を圧着ステ
ージ60上に支持するとともに、テープキャリアパッケ
ージ50をTABテープ61から分離し、テーブル62
上に支持する。
【0045】次に図4の(b)に示すように接続電極5
2aと銅電極33とが一致するように位置決めを行う。
このとき、CCDカメラ63を介して位置決め用孔54
から接続電極52aと銅電極33の位置を確認すること
ができるので、図2の(a)中α方向に沿った方向にお
ける高精度な位置決めを行うことができる。
2aと銅電極33とが一致するように位置決めを行う。
このとき、CCDカメラ63を介して位置決め用孔54
から接続電極52aと銅電極33の位置を確認すること
ができるので、図2の(a)中α方向に沿った方向にお
ける高精度な位置決めを行うことができる。
【0046】そして、図3の(c)及び図4の(c)に
示すように、圧着ツール64を用いて、テープキャリア
パッケージ50側から異方性導電膜部50aを仮圧着
(5Kgf/cm2 、5秒、80℃)し、この後、本圧
着(30Kgf/cm2 、20秒、180℃)すること
で、接続電極52aと銅電極33を接続する。なお、位
置合わせ用孔54内で銅配線52が短絡しないように、
絶縁性の高い樹脂で封止する。
示すように、圧着ツール64を用いて、テープキャリア
パッケージ50側から異方性導電膜部50aを仮圧着
(5Kgf/cm2 、5秒、80℃)し、この後、本圧
着(30Kgf/cm2 、20秒、180℃)すること
で、接続電極52aと銅電極33を接続する。なお、位
置合わせ用孔54内で銅配線52が短絡しないように、
絶縁性の高い樹脂で封止する。
【0047】上述したように本第1の実施の形態に係る
テープキャリアパッケージ50には位置合わせ用孔54
が設けられているので、ガラスエポキシ基板30のよう
な非透過基板に実装する場合であっても高精度の位置決
めを行うことができる。
テープキャリアパッケージ50には位置合わせ用孔54
が設けられているので、ガラスエポキシ基板30のよう
な非透過基板に実装する場合であっても高精度の位置決
めを行うことができる。
【0048】図5は第1の実施の形態の第1変形例に係
るテープキャリアパッケージ50Aを示す図である。本
第1変形例が上述したテープキャリアパッケージ50と
異なる点は、位置合わせ用孔54の代わりに位置合わせ
用孔55が設けられている点にある。位置合わせ用孔5
5は銅配線52のうち図5中上下側にのみに設けられて
いる。
るテープキャリアパッケージ50Aを示す図である。本
第1変形例が上述したテープキャリアパッケージ50と
異なる点は、位置合わせ用孔54の代わりに位置合わせ
用孔55が設けられている点にある。位置合わせ用孔5
5は銅配線52のうち図5中上下側にのみに設けられて
いる。
【0049】本変形例では上述した実施の形態と同様の
効果が得られるとともに、孔を設ける部分の面積を小さ
くすることができるので、ベース51の強度の低下を最
小限に抑えることができる。
効果が得られるとともに、孔を設ける部分の面積を小さ
くすることができるので、ベース51の強度の低下を最
小限に抑えることができる。
【0050】図6は第1の実施の形態の第2変形例に係
るテープキャリアパッケージ50Bを示す図である。本
第2変形例が上述したテープキャリアパッケージ50と
異なる点は、位置合わせ用孔54に銅配線52が並ぶ方
向に沿って切欠部56が形成されている点にある。
るテープキャリアパッケージ50Bを示す図である。本
第2変形例が上述したテープキャリアパッケージ50と
異なる点は、位置合わせ用孔54に銅配線52が並ぶ方
向に沿って切欠部56が形成されている点にある。
【0051】本変形例では上述した実施の形態と同様の
効果が得られるとともに、ガラスエポキシ基板30の銅
配線33に突起部33bを形成させることで、突起部3
3bと切欠部56との位置合わせをも同時に行うことが
できる。すなわち、テープキャリアパッケージ50とガ
ラスエポキシ基板30相互の図2の(a)中β方向に沿
った方向についても微調整を行うことができ、さらに高
精度の位置決めを行うことができる。
効果が得られるとともに、ガラスエポキシ基板30の銅
配線33に突起部33bを形成させることで、突起部3
3bと切欠部56との位置合わせをも同時に行うことが
できる。すなわち、テープキャリアパッケージ50とガ
ラスエポキシ基板30相互の図2の(a)中β方向に沿
った方向についても微調整を行うことができ、さらに高
精度の位置決めを行うことができる。
【0052】図7の(a),(b)は本発明の第2の実
施の形態に係るフレキシブル基板70を示す図、図8の
(a),(b)はフレキシブル基板70をガラスエポキ
シ基板30に接続した状態を示す図である。なお、これ
らの図において、図1及び図2と同一機能部分には同一
符号が付されている。
施の形態に係るフレキシブル基板70を示す図、図8の
(a),(b)はフレキシブル基板70をガラスエポキ
シ基板30に接続した状態を示す図である。なお、これ
らの図において、図1及び図2と同一機能部分には同一
符号が付されている。
【0053】図7に示すようにフレキシブル基板70
は、ポリイミド材製のベース71と、このベース71表
面上にパターニングされた銅配線(配線)72とを備え
ている。
は、ポリイミド材製のベース71と、このベース71表
面上にパターニングされた銅配線(配線)72とを備え
ている。
【0054】フレキシブル基板70の図7中70a及び
70bは、ガラスエポキシ基板30と異方性導電膜Pを
介しての接続に供される異方性導電膜接続部を示してい
る。また、異方性導電膜接続部70aの銅配線72のう
ち銅電極33との接続に供される部分を接続電極72
a、異方性導電膜接続部70bの銅配線72のうち銅電
極33との接続に供される部分を接続電極72bと称し
ている。
70bは、ガラスエポキシ基板30と異方性導電膜Pを
介しての接続に供される異方性導電膜接続部を示してい
る。また、異方性導電膜接続部70aの銅配線72のう
ち銅電極33との接続に供される部分を接続電極72
a、異方性導電膜接続部70bの銅配線72のうち銅電
極33との接続に供される部分を接続電極72bと称し
ている。
【0055】一方、図7中74は、接続電極72aの近
傍かつ外方に設けられた幅約1mmの位置合わせ用孔を
示している。なお、位置合わせ用孔74と異方性導電膜
接続部70a、70bとはそれぞれ約0.5mm離間し
ている。
傍かつ外方に設けられた幅約1mmの位置合わせ用孔を
示している。なお、位置合わせ用孔74と異方性導電膜
接続部70a、70bとはそれぞれ約0.5mm離間し
ている。
【0056】図8の(a),(b)は上述したフレキシ
ブル基板70をガラスエポキシ基板30に接続した状態
を示す図である。なお、ガラスエポキシ基板30は、ガ
ラスエポキシ板31と、このガラスエポキシ板31表面
に形成された銅配線32と、この銅配線32の先端に設
けられた銅電極33とを備えている。
ブル基板70をガラスエポキシ基板30に接続した状態
を示す図である。なお、ガラスエポキシ基板30は、ガ
ラスエポキシ板31と、このガラスエポキシ板31表面
に形成された銅配線32と、この銅配線32の先端に設
けられた銅電極33とを備えている。
【0057】なお、フレキシブル基板70をガラスエポ
キシ基板30に実装する工程は上述した第1の実施の形
態と同様であるので省略する。上述したように本第1の
実施の形態に係るフレキシブル基板70には位置合わせ
用孔74が設けられているので、ガラスエポキシ基板3
0のような非透過基板に実装する場合であっても高精度
の位置決めを行うことができる。
キシ基板30に実装する工程は上述した第1の実施の形
態と同様であるので省略する。上述したように本第1の
実施の形態に係るフレキシブル基板70には位置合わせ
用孔74が設けられているので、ガラスエポキシ基板3
0のような非透過基板に実装する場合であっても高精度
の位置決めを行うことができる。
【0058】図5は第1の実施の形態の第1変形例に係
るフレキシブル基板70Aを示す図である。本第1変形
例が上述したフレキシブル基板70と異なる点は、位置
合わせ用孔74の代わりに位置合わせ用孔75が設けら
れている点にある。位置合わせ用孔75は銅配線72の
うち図5中上下側にのみに設けられている。
るフレキシブル基板70Aを示す図である。本第1変形
例が上述したフレキシブル基板70と異なる点は、位置
合わせ用孔74の代わりに位置合わせ用孔75が設けら
れている点にある。位置合わせ用孔75は銅配線72の
うち図5中上下側にのみに設けられている。
【0059】本変形例では上述した実施の形態と同様の
効果が得られるとともに、孔を設ける部分の面積を小さ
くすることができるので、ベース71の強度の低下を最
小限に抑えることができる。
効果が得られるとともに、孔を設ける部分の面積を小さ
くすることができるので、ベース71の強度の低下を最
小限に抑えることができる。
【0060】図6は第1の実施の形態の第2変形例に係
るフレキシブル基板70Bを示す図である。本第2変形
例が上述したフレキシブル基板70と異なる点は、位置
合わせ用孔74に銅配線72が並ぶ方向に沿って切欠部
76が形成されている点にある。
るフレキシブル基板70Bを示す図である。本第2変形
例が上述したフレキシブル基板70と異なる点は、位置
合わせ用孔74に銅配線72が並ぶ方向に沿って切欠部
76が形成されている点にある。
【0061】本変形例では上述した実施の形態と同様の
効果が得られるとともに、ガラスエポキシ基板30の銅
配線33に突起部33bを形成させることで、突起部3
3bと切欠部76との位置合わせをも同時に行うことが
できる。すなわち、フレキシブル基板70とガラスエポ
キシ基板30相互の図8の(a)中β方向に沿った方向
についても微調整を行うことができ、さらに高精度の位
置決めを行うことができる。
効果が得られるとともに、ガラスエポキシ基板30の銅
配線33に突起部33bを形成させることで、突起部3
3bと切欠部76との位置合わせをも同時に行うことが
できる。すなわち、フレキシブル基板70とガラスエポ
キシ基板30相互の図8の(a)中β方向に沿った方向
についても微調整を行うことができ、さらに高精度の位
置決めを行うことができる。
【0062】なお、本発明は上述した各実施の形態に限
定されるものではない。すなわち上記実施の形態では、
ベースとしてポリイミド材製のものを用いているが、こ
れに限られない。また、配線として銅やITOを用いて
いるが、これらに限られない。また、異方性導電膜の代
わりに銀ペーストを用いてもよい。さらに、ベースの形
状、電子部品及び配線の配置は適宜変更してもよい。こ
のほか本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可
能であるのは勿論である。
定されるものではない。すなわち上記実施の形態では、
ベースとしてポリイミド材製のものを用いているが、こ
れに限られない。また、配線として銅やITOを用いて
いるが、これらに限られない。また、異方性導電膜の代
わりに銀ペーストを用いてもよい。さらに、ベースの形
状、電子部品及び配線の配置は適宜変更してもよい。こ
のほか本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可
能であるのは勿論である。
【0063】
【発明の効果】請求項1に記載された発明では、電極の
近傍に位置合わせ用孔が設けられているので、他の基板
等に実装する際にテープキャリアパッケージ側から電極
との接続に供される相手側の電極を視認することができ
高精度の位置決めを行うことができる。
近傍に位置合わせ用孔が設けられているので、他の基板
等に実装する際にテープキャリアパッケージ側から電極
との接続に供される相手側の電極を視認することができ
高精度の位置決めを行うことができる。
【0064】請求項2に記載された発明では、接続電極
は、異方性導電膜又ははんだを介して基板の配線に対し
て電気的に接続されるようにしたので、位置決めした状
態を保ったまま接続することができる。
は、異方性導電膜又ははんだを介して基板の配線に対し
て電気的に接続されるようにしたので、位置決めした状
態を保ったまま接続することができる。
【0065】請求項3に記載された発明では、複数の配
線のずれを同時に視認することができる。請求項4に記
載された発明では、位置合わせのために視認する位置が
より外側となり視認が容易となる。
線のずれを同時に視認することができる。請求項4に記
載された発明では、位置合わせのために視認する位置が
より外側となり視認が容易となる。
【0066】請求項5に記載された発明では、強度を低
下させることがない。請求項6に記載された発明では、
2以上の方向に沿った位置決めを行うことができる。
下させることがない。請求項6に記載された発明では、
2以上の方向に沿った位置決めを行うことができる。
【0067】請求項7に記載された発明では、電極の近
傍に位置合わせ用孔が設けられているので、他の基板等
に実装する際にフレキシブル基板側から電極との接続に
供される相手側の電極を視認することができ高精度の位
置決めを行うことができる。
傍に位置合わせ用孔が設けられているので、他の基板等
に実装する際にフレキシブル基板側から電極との接続に
供される相手側の電極を視認することができ高精度の位
置決めを行うことができる。
【0068】請求項8に記載された発明では、接続電極
は、異方性導電膜又ははんだを介して基板の配線に対し
て電気的に接続されるようにしたので、位置決めした状
態を保ったまま接続することができる。
は、異方性導電膜又ははんだを介して基板の配線に対し
て電気的に接続されるようにしたので、位置決めした状
態を保ったまま接続することができる。
【0069】請求項9に記載された発明では、複数の配
線のずれを同時に視認することができる。請求項10に
記載された発明では、位置合わせのために視認する位置
がより外側となり視認が容易となる。
線のずれを同時に視認することができる。請求項10に
記載された発明では、位置合わせのために視認する位置
がより外側となり視認が容易となる。
【0070】請求項11に記載された発明では、強度を
低下させることがない。請求項12に記載された発明で
は、2以上の方向に沿った位置決めを行うことができ
る。
低下させることがない。請求項12に記載された発明で
は、2以上の方向に沿った位置決めを行うことができ
る。
【0071】請求項13に記載された発明では、テープ
キャリアパッケージの第1の接続電極とフレキシブル基
板の第2の接続電極とを位置合わせする第1の工程にお
いて、フレキシブル基板に設けられた位置合わせ用孔を
介して、第1の配線と第2の配線とのずれ測定結果に基
づいて行うこととしたので、高精度の位置決めを行うこ
とができる。
キャリアパッケージの第1の接続電極とフレキシブル基
板の第2の接続電極とを位置合わせする第1の工程にお
いて、フレキシブル基板に設けられた位置合わせ用孔を
介して、第1の配線と第2の配線とのずれ測定結果に基
づいて行うこととしたので、高精度の位置決めを行うこ
とができる。
【図1】本発明の第1の実施の形態に係るテープキャリ
アパッケージを示す図であって、(a)は平面図、
(b)は(a)におけるI−I線で切断し矢印方向に見
た断面図。
アパッケージを示す図であって、(a)は平面図、
(b)は(a)におけるI−I線で切断し矢印方向に見
た断面図。
【図2】同テープキャリアパッケージをガラスエポキシ
基板に実装した状態を示す図であって、(a)は平面
図、(b)は(a)におけるII−II線で切断し矢印方向
に見た断面図。
基板に実装した状態を示す図であって、(a)は平面
図、(b)は(a)におけるII−II線で切断し矢印方向
に見た断面図。
【図3】同テープキャリアパッケージをガラスエポキシ
基板に実装する実装工程の概略を示す図。
基板に実装する実装工程の概略を示す図。
【図4】同実装工程のうち位置決め工程を示す図。
【図5】本第1の実施の形態の第1変形例を示す図。
【図6】本第1の実施の形態の第2変形例を示す図。
【図7】本発明の第2の実施の形態に係るフレキシブル
基板を示す図であって、(a)は平面図、(b)は
(a)におけるIII −III 線で切断し矢印方向に見た断
面図。
基板を示す図であって、(a)は平面図、(b)は
(a)におけるIII −III 線で切断し矢印方向に見た断
面図。
【図8】同フレキシブル基板をガラスエポキシ基板に実
装した状態を示す図であって、(a)は平面図、(b)
は(a)におけるIV−IV線で切断し矢印方向に見た断面
図。
装した状態を示す図であって、(a)は平面図、(b)
は(a)におけるIV−IV線で切断し矢印方向に見た断面
図。
【図9】本第2の実施の形態の第1変形例を示す図。
【図10】本第2の実施の形態の第2変形例を示す図。
【図11】従来のテープキャリアパッケージを示す図で
あって、(a)は平面図、(b)は(a)におけるX−
X線で切断し矢印方向に見た断面図。
あって、(a)は平面図、(b)は(a)におけるX−
X線で切断し矢印方向に見た断面図。
【図12】同テープキャリアパッケージをガラス基板及
びガラスエポキシ基板に接続した状態を示す図であっ
て、(a)は平面図、(b)は(a)におけるX′−
X′線で切断し矢印方向に見た断面図。
びガラスエポキシ基板に接続した状態を示す図であっ
て、(a)は平面図、(b)は(a)におけるX′−
X′線で切断し矢印方向に見た断面図。
【図13】従来のフレキシブル基板を示す図であって、
(a)は平面図、(b)は(a)におけるY−Y線で切
断し矢印方向に見た断面図。
(a)は平面図、(b)は(a)におけるY−Y線で切
断し矢印方向に見た断面図。
【図14】同フレキシブル基板をガラス基板及びガラス
エポキシ基板に接続した状態を示す図であって、(a)
は平面図、(b)は(a)におけるY′−Y′線で切断
し矢印方向に見た断面図。
エポキシ基板に接続した状態を示す図であって、(a)
は平面図、(b)は(a)におけるY′−Y′線で切断
し矢印方向に見た断面図。
30…ガラスエポキシ基板 33…銅電極 50,50A,50B…テープキャリアパッケージ 52a,52b…銅電極 54,55…位置合わせ用孔 70,70A,70B…フレキシブル基板 72a,72b…銅電極 74,75…位置あわせ用孔
Claims (13)
- 【請求項1】可撓性のベースと、 このベース上に設けられた電子部品と、 前記ベース上に設けられるとともに一端部が前記電子部
品の端子に接続され且つ他端部に接続電極を有する複数
の配線と、 前記ベース上に設けられ前記接続電極の近傍に配設され
た位置合わせ用孔とを具備することを特徴とするテープ
キャリアパッケージ。 - 【請求項2】接続電極は、異方性導電膜又ははんだを介
して基板の配線に対して電気的に接続されることを特徴
とする請求項1に記載のテープキャリアパッケージ。 - 【請求項3】配線の接続電極となる部位は平行に配設さ
れ、位置合わせ用孔は前記配線を横切る方向に配置され
た長穴状に形成されていることを特徴とする請求項1に
記載のテープキャリアパッケージ。 - 【請求項4】位置合わせ用孔は、接続電極の外側に設け
られているとともに、前記位置合わせ用孔部位には配線
が延在していることを特徴とする請求項1に記載のテー
プキャリアパッケージ。 - 【請求項5】位置合わせ用孔は、複数の接続電極のうち
から選択された一部の接続電極に各別に対応して設けら
れていることを特徴とする請求項1に記載のテープキャ
リアパッケージ。 - 【請求項6】位置合わせ用孔には、接続される基板の配
線に予め設けられた切欠部に対応する切欠部が形成され
ていることを特徴とする請求項1に記載のテープキャリ
アパッケージ。 - 【請求項7】可撓性のベースと、 前記ベース上に設けられるとともに両端部に接続電極を
有する複数の配線と、 前記ベース上に設けられ前記接続電極の近傍に配設され
た位置合わせ用孔とを具備することを特徴とするフレキ
シブル基板。 - 【請求項8】接続電極は、異方性導電膜又ははんだを介
して、被接続電極に対して電気的に接続されることを特
徴とする請求項7に記載のフレキシブル基板。 - 【請求項9】配線の接続電極となる部位は平行に配設さ
れ、位置合わせ用孔は前記配線を横切る方向に配置され
た長穴状に形成されていることを特徴とする請求項7に
記載のフレキシブル基板。 - 【請求項10】位置合わせ用孔は、接続電極の外側に設
けられているとともに、前記位置合わせ用孔部位には配
線が延在していることを特徴とする請求項7に記載のフ
レキシブル基板。 - 【請求項11】位置合わせ用孔は、複数の接続電極のう
ちから選択された一部の接続電極に各別に対応して設け
られていることを特徴とする請求項7に記載のフレキシ
ブル基板。 - 【請求項12】位置合わせ用孔には、被接続電極を有す
る配線に予め設けられた切欠部に対応する切欠部が形成
されていることを特徴とする請求項7に記載のフレキシ
ブル基板。 - 【請求項13】可撓性のベースと、このベース上に設け
られた電子部品と、前記ベース上に設けられるとともに
一端部が前記電子部品の端子に接続され且つ他端部に第
1の接続電極を有する複数の第1の配線と、前記ベース
上に設けられ前記第1の接続電極の近傍に配設された位
置合わせ用孔とを具備するテープキャリアパッケージ
を、可撓性のベースと、前記ベース上に設けられるとと
もに前記第1の接続電極に接続される第2の接続電極を
有する複数の第2の配線とを具備するフレキシブル基板
に実装する基板実装方法において、 前記第1の接続電極と前記第2の接続電極とを位置合わ
せする第1の工程と、 この第1の工程の後に前記第1の接続電極と前記第2の
接続電極とを異方性導電膜又ははんだを介して接続する
第2の工程とを具備し、 前記第1の工程は、前記位置合わせ用孔を介して、前記
第1の配線と前記第2の配線とのずれ測定結果に基づい
て行うことを特徴とする基板実装方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2166697A JPH10223695A (ja) | 1997-02-04 | 1997-02-04 | テープキャリアパッケージ、フレキシブル基板及び基板実装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2166697A JPH10223695A (ja) | 1997-02-04 | 1997-02-04 | テープキャリアパッケージ、フレキシブル基板及び基板実装方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10223695A true JPH10223695A (ja) | 1998-08-21 |
Family
ID=12061372
Family Applications (1)
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JP2166697A Pending JPH10223695A (ja) | 1997-02-04 | 1997-02-04 | テープキャリアパッケージ、フレキシブル基板及び基板実装方法 |
Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JPH10223695A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001026147A1 (fr) * | 1999-10-04 | 2001-04-12 | Seiko Epson Corporation | Dispositif a semi-conducteur, son procede de fabrication, carte de circuit imprime et dispositif electronique |
-
1997
- 1997-02-04 JP JP2166697A patent/JPH10223695A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001026147A1 (fr) * | 1999-10-04 | 2001-04-12 | Seiko Epson Corporation | Dispositif a semi-conducteur, son procede de fabrication, carte de circuit imprime et dispositif electronique |
US6744122B1 (en) | 1999-10-04 | 2004-06-01 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device, method of manufacture thereof, circuit board, and electronic device |
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