JPH10151559A - ワイヤソー用ワイヤおよびその製造法 - Google Patents
ワイヤソー用ワイヤおよびその製造法Info
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- JPH10151559A JPH10151559A JP31341396A JP31341396A JPH10151559A JP H10151559 A JPH10151559 A JP H10151559A JP 31341396 A JP31341396 A JP 31341396A JP 31341396 A JP31341396 A JP 31341396A JP H10151559 A JPH10151559 A JP H10151559A
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- polytetrafluoroethylene
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来のスライシング方法を根本的に改め、ワ
イヤ自体の表面および内部に砥粒を担持させ、単にスラ
イシング部に水を注ぐだけで円滑なスライシングを行う
ことができ、しかも１回で使い切ることなく数回の使用
も可能なワイヤソー用ワイヤおよびその製造法を提供す
ることを目的とする。 【解決手段】 耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸
(A) に、必須成分としてのポリテトラフルオロエチレン
(B) のディスパージョン、任意成分としてのテトラフル
オロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共
重合体(C) のディスパージョン、および必須成分として
の砥粒(D) を担持させた後、剪断力をかけ、ついで加熱
処理を行うことにより、担持されているポリテトラフル
オロエチレン(B) をシンターすると共にテトラフルオロ
エチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合
体(C) を溶融させる。
イヤ自体の表面および内部に砥粒を担持させ、単にスラ
イシング部に水を注ぐだけで円滑なスライシングを行う
ことができ、しかも１回で使い切ることなく数回の使用
も可能なワイヤソー用ワイヤおよびその製造法を提供す
ることを目的とする。 【解決手段】 耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸
(A) に、必須成分としてのポリテトラフルオロエチレン
(B) のディスパージョン、任意成分としてのテトラフル
オロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共
重合体(C) のディスパージョン、および必須成分として
の砥粒(D) を担持させた後、剪断力をかけ、ついで加熱
処理を行うことにより、担持されているポリテトラフル
オロエチレン(B) をシンターすると共にテトラフルオロ
エチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合
体(C) を溶融させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、単結晶インゴット
をはじめとする硬くて脆い材料のスライシングのための
ワイヤソー用ワイヤおよびその製造法に関するものであ
る。
をはじめとする硬くて脆い材料のスライシングのための
ワイヤソー用ワイヤおよびその製造法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】シリコンインゴットなどの単結晶インゴ
ットのスライシングは、従来は円板やリング状円板の外
周刃や内周刃で行っていたが、インゴットの径がたとえ
ば８インチあるいはそれを越えるように大きくなってく
ると円滑なスライシングが困難となる。そこで大径のイ
ンゴットのスライシングのため、ワイヤソーが用いるよ
うになってきている。
ットのスライシングは、従来は円板やリング状円板の外
周刃や内周刃で行っていたが、インゴットの径がたとえ
ば８インチあるいはそれを越えるように大きくなってく
ると円滑なスライシングが困難となる。そこで大径のイ
ンゴットのスライシングのため、ワイヤソーが用いるよ
うになってきている。
【０００３】ワイヤソー用のワイヤとしては専ら金属ワ
イヤ（殊にピアノ線）が用いられ、ダイアモンド等の砥
粒を分散した油からなる加工液をそのワイヤに付着させ
ながらスライシングが行われる。
イヤ（殊にピアノ線）が用いられ、ダイアモンド等の砥
粒を分散した油からなる加工液をそのワイヤに付着させ
ながらスライシングが行われる。
【０００４】分散媒として油を用いたものは後処理の点
で種々の不利があるので、分散媒として水系のものを用
いることについても検討が行われている。
で種々の不利があるので、分散媒として水系のものを用
いることについても検討が行われている。
【０００５】たとえば、特開平３−１８１５９８号公報
においては、ポリエチレングリコール、ポリプロピレン
グリコールまたはポリオキシエチレン−オキシプロピレ
ンから選ばれた基油(1) 、ポリアルキレングリコール誘
導体または高分子多糖類からなる増粘剤(2) および水
(3) を含有する媒体を用いている。特開平４−２１６８
９７号公報においては、グリコール類(1) 、水溶性増粘
剤(2) および水(3) を必須成分とする水溶性加工液を用
いている。特開平４−２１８５９４号公報においては、
グリコール類(1) 、水溶性増粘剤(2) および水(3) から
なる水溶性加工液を用いている。
においては、ポリエチレングリコール、ポリプロピレン
グリコールまたはポリオキシエチレン−オキシプロピレ
ンから選ばれた基油(1) 、ポリアルキレングリコール誘
導体または高分子多糖類からなる増粘剤(2) および水
(3) を含有する媒体を用いている。特開平４−２１６８
９７号公報においては、グリコール類(1) 、水溶性増粘
剤(2) および水(3) を必須成分とする水溶性加工液を用
いている。特開平４−２１８５９４号公報においては、
グリコール類(1) 、水溶性増粘剤(2) および水(3) から
なる水溶性加工液を用いている。
【０００６】最近公開された特開平８−１２６９５３号
公報には、回転駆動される複数個の多溝滑車に巻回され
て該滑車間を移動する多数本のワイヤをワーク（工作
物）に押し付け、該ワイヤによりワークに切断加工ある
いは溝切り加工を施すワイヤソーにおいて、前記ワイヤ
は、その芯線をポリエチレン、ナイロン、ポリエステル
等からなる素材、もしくはこれらの素材をガラス繊維、
炭素繊維で補強された材料で構成し、該芯線の外周に砥
粒を固着してなるワイヤソーおよびそのためのワイヤの
製造方法が示されている。
公報には、回転駆動される複数個の多溝滑車に巻回され
て該滑車間を移動する多数本のワイヤをワーク（工作
物）に押し付け、該ワイヤによりワークに切断加工ある
いは溝切り加工を施すワイヤソーにおいて、前記ワイヤ
は、その芯線をポリエチレン、ナイロン、ポリエステル
等からなる素材、もしくはこれらの素材をガラス繊維、
炭素繊維で補強された材料で構成し、該芯線の外周に砥
粒を固着してなるワイヤソーおよびそのためのワイヤの
製造方法が示されている。
【０００７】そしてこの公報の従来技術の説明の項に
は、従来のワイヤソー切断装置のワイヤおよび砥粒の構
成および使用方法としては、(a) ピアノ線の外周にカー
ボランダム等の砥粒を接着剤等により固着あるいは金属
溶着する固着砥粒方式、(b) ワイヤをワークに接触させ
ながら、砥粒と専用の油剤あるいは水性剤とを混合した
スラリーを供給しながらラッピング作用により切断する
遊離砥粒方式、の２方式があるとの説明がある。
は、従来のワイヤソー切断装置のワイヤおよび砥粒の構
成および使用方法としては、(a) ピアノ線の外周にカー
ボランダム等の砥粒を接着剤等により固着あるいは金属
溶着する固着砥粒方式、(b) ワイヤをワークに接触させ
ながら、砥粒と専用の油剤あるいは水性剤とを混合した
スラリーを供給しながらラッピング作用により切断する
遊離砥粒方式、の２方式があるとの説明がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、分散媒
として水系のものを用いる方式にあっては、金属ワイヤ
に対する砥粒の付着量が少なくなるため、スライシング
操作が行いにくくなる。特に水の割合が多くなると、ス
ライシング操作が著しく行いにくくなる。
として水系のものを用いる方式にあっては、金属ワイヤ
に対する砥粒の付着量が少なくなるため、スライシング
操作が行いにくくなる。特に水の割合が多くなると、ス
ライシング操作が著しく行いにくくなる。
【０００９】そこで上述の特開平３−１８１５９８号公
報、特開平４−２１６８９７号公報、特開平４−２１８
５９４号公報においては、水溶性増粘剤を併用して、水
溶性加工液中の塗料の沈降を防止したり、ワイヤに対す
る砥粒の付着量を確保しようとしたりしているが、増粘
剤の使用は物理的にも微生物学的にもインゴットを汚染
しやすい上、廃水処理に膨大の装置を要するという新た
な問題点を生ずる。
報、特開平４−２１６８９７号公報、特開平４−２１８
５９４号公報においては、水溶性増粘剤を併用して、水
溶性加工液中の塗料の沈降を防止したり、ワイヤに対す
る砥粒の付着量を確保しようとしたりしているが、増粘
剤の使用は物理的にも微生物学的にもインゴットを汚染
しやすい上、廃水処理に膨大の装置を要するという新た
な問題点を生ずる。
【００１０】最近公開された上述の特開平８−１２６９
５３号公報の発明にあっては、ワイヤとして、「芯線を
ポリエチレン、ナイロン、ポリエステル等からなる素
材、もしくはこれらの素材をガラス繊維、炭素繊維で補
強された材料で構成し、その芯線の外周に砥粒を固着」
したものを用いることにより、単純水からなるクーラン
トを切断部に注入しながら切断加工を行うようにしてい
るが、合成樹脂接着剤を用いて砥粒を固着させているた
め廃水処理の煩わしさの問題がある上、砥粒を芯線の外
周に固着しているので１回の操作で砥粒が消耗し、１回
限りの使い切りしかできないという限界がある。また芯
線が汎用の合成繊維でできているため、切断加工操作中
にワイヤが不測に切れるおそれもあったり、ワイヤ全体
が切れないまでも部分的に切れてささくれ立ち、切断面
が美麗にならないことがある。
５３号公報の発明にあっては、ワイヤとして、「芯線を
ポリエチレン、ナイロン、ポリエステル等からなる素
材、もしくはこれらの素材をガラス繊維、炭素繊維で補
強された材料で構成し、その芯線の外周に砥粒を固着」
したものを用いることにより、単純水からなるクーラン
トを切断部に注入しながら切断加工を行うようにしてい
るが、合成樹脂接着剤を用いて砥粒を固着させているた
め廃水処理の煩わしさの問題がある上、砥粒を芯線の外
周に固着しているので１回の操作で砥粒が消耗し、１回
限りの使い切りしかできないという限界がある。また芯
線が汎用の合成繊維でできているため、切断加工操作中
にワイヤが不測に切れるおそれもあったり、ワイヤ全体
が切れないまでも部分的に切れてささくれ立ち、切断面
が美麗にならないことがある。
【００１１】本発明は、このような背景下において、従
来のスライシング方法を根本的に改め、ワイヤ自体の表
面および内部に砥粒を担持させ、単にスライシング部に
水を注ぐだけで円滑なスライシングを行うことができ、
しかも１回で使い切ることなく数回の使用も可能なワイ
ヤソー用ワイヤおよびその製造法を提供することを目的
とするものである。
来のスライシング方法を根本的に改め、ワイヤ自体の表
面および内部に砥粒を担持させ、単にスライシング部に
水を注ぐだけで円滑なスライシングを行うことができ、
しかも１回で使い切ることなく数回の使用も可能なワイ
ヤソー用ワイヤおよびその製造法を提供することを目的
とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明のワイヤソー用ワ
イヤは、耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸(A)
に、必須成分としてのポリテトラフルオロエチレン(B)
、任意成分としてのテトラフルオロエチレン−パーフ
ルオロアルキルビニルエーテル共重合体(C) 、および必
須成分としての砥粒(D) が担持され、かつ担持されてい
るポリテトラフルオロエチレン(B) がシンターされてい
ることを特徴とするものである。
イヤは、耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸(A)
に、必須成分としてのポリテトラフルオロエチレン(B)
、任意成分としてのテトラフルオロエチレン−パーフ
ルオロアルキルビニルエーテル共重合体(C) 、および必
須成分としての砥粒(D) が担持され、かつ担持されてい
るポリテトラフルオロエチレン(B) がシンターされてい
ることを特徴とするものである。
【００１３】本発明のワイヤソー用ワイヤの製造法は、
耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸(A) に、必須成
分としてのポリテトラフルオロエチレン(B) のディスパ
ージョン、任意成分としてのテトラフルオロエチレン−
パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(C) のデ
ィスパージョン、および必須成分としての砥粒(D) を担
持させた後、剪断力をかけ、ついで加熱処理を行うこと
により、担持されているポリテトラフルオロエチレン
(B) をシンターすると共にテトラフルオロエチレン−パ
ーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(C) を溶融
させることを特徴とするものである。
耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸(A) に、必須成
分としてのポリテトラフルオロエチレン(B) のディスパ
ージョン、任意成分としてのテトラフルオロエチレン−
パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(C) のデ
ィスパージョン、および必須成分としての砥粒(D) を担
持させた後、剪断力をかけ、ついで加熱処理を行うこと
により、担持されているポリテトラフルオロエチレン
(B) をシンターすると共にテトラフルオロエチレン−パ
ーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(C) を溶融
させることを特徴とするものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下本発明を詳細に説明する。な
お本明細書において「スライシング」とは、狭義のスラ
イシングのみならず、溝切り加工や単なる切断加工も含
む概念であるとする。
お本明細書において「スライシング」とは、狭義のスラ
イシングのみならず、溝切り加工や単なる切断加工も含
む概念であるとする。
【００１５】耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸
(A) としては、金属繊維（ステンレススチール繊維、形
状記憶合金等）、セラミックス繊維、ガラス繊維、炭素
繊維、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール繊
維、アラミド繊維、ポリエーテルエーテルケトン繊維、
ポリアミドイミド繊維、ポリイミド繊維、ポリベンズイ
ミダゾール繊維、液晶ポリエステル繊維などでできたマ
ルチフィラメント糸が例示でき、２種以上の繊維を併用
することもできる。これらの中では、耐熱性と高強力性
が特にすぐれているポリパラフェニレンベンゾビスオキ
サゾールの液晶紡糸繊維が特に重要である。なお耐熱性
とは、ポリテトラフルオロエチレン(B) のシンター温度
に耐えうることを言う。
(A) としては、金属繊維（ステンレススチール繊維、形
状記憶合金等）、セラミックス繊維、ガラス繊維、炭素
繊維、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール繊
維、アラミド繊維、ポリエーテルエーテルケトン繊維、
ポリアミドイミド繊維、ポリイミド繊維、ポリベンズイ
ミダゾール繊維、液晶ポリエステル繊維などでできたマ
ルチフィラメント糸が例示でき、２種以上の繊維を併用
することもできる。これらの中では、耐熱性と高強力性
が特にすぐれているポリパラフェニレンベンゾビスオキ
サゾールの液晶紡糸繊維が特に重要である。なお耐熱性
とは、ポリテトラフルオロエチレン(B) のシンター温度
に耐えうることを言う。
【００１６】一定のワイヤ径とするため、耐熱性高強力
繊維マルチフィラメント糸(A) は撚りがかかっているこ
とが望ましい。なお、すでに強い撚りがかかっていると
きは、逆に撚りを若干弛めることも必要に応じ行われ
る。耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸(A) の太さ
は、所定の強力を有する限りにおいてできるだけ細い方
が望ましい。現在のワイヤ径は 0.2mm程度であるので、
本発明にあってもワイヤとした段階の径が太くともこの
程度とするが、0.15mm程度とすることも容易であり、ま
たたとえば先に述べたポリベンゾビスオキサゾール繊維
を用いれば、たとえば0.05mm程度までというようにさら
に大幅にワイヤ径を細くすることができる。
繊維マルチフィラメント糸(A) は撚りがかかっているこ
とが望ましい。なお、すでに強い撚りがかかっていると
きは、逆に撚りを若干弛めることも必要に応じ行われ
る。耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸(A) の太さ
は、所定の強力を有する限りにおいてできるだけ細い方
が望ましい。現在のワイヤ径は 0.2mm程度であるので、
本発明にあってもワイヤとした段階の径が太くともこの
程度とするが、0.15mm程度とすることも容易であり、ま
たたとえば先に述べたポリベンゾビスオキサゾール繊維
を用いれば、たとえば0.05mm程度までというようにさら
に大幅にワイヤ径を細くすることができる。
【００１７】上記の耐熱性高強力繊維マルチフィラメン
ト糸(A) には、ポリテトラフルオロエチレン(B) のディ
スパージョン、テトラフルオロエチレン−パーフルオロ
アルキルビニルエーテル共重合体(C) のディスパージョ
ンおよび砥粒(D) を担持する。このうち(C) 成分は任意
成分であるが、この(C) 成分も併用することが特に望ま
しい。
ト糸(A) には、ポリテトラフルオロエチレン(B) のディ
スパージョン、テトラフルオロエチレン−パーフルオロ
アルキルビニルエーテル共重合体(C) のディスパージョ
ンおよび砥粒(D) を担持する。このうち(C) 成分は任意
成分であるが、この(C) 成分も併用することが特に望ま
しい。
【００１８】ポリテトラフルオロエチレン(B) のディス
パージョン、テトラフルオロエチレン−パーフルオロア
ルキルビニルエーテル共重合体(C) のディスパージョン
は、耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸(A) に対し
て所望の量の(B) 、(C) の担持、さらには砥粒(C) の担
持が円滑にできるような適度の濃度に設定される。(B)
のディスパージョン、(C) のディスパージョンは、いず
れも各社から市販されているので、必要に応じ濃度調整
して用いればよい。
パージョン、テトラフルオロエチレン−パーフルオロア
ルキルビニルエーテル共重合体(C) のディスパージョン
は、耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸(A) に対し
て所望の量の(B) 、(C) の担持、さらには砥粒(C) の担
持が円滑にできるような適度の濃度に設定される。(B)
のディスパージョン、(C) のディスパージョンは、いず
れも各社から市販されているので、必要に応じ濃度調整
して用いればよい。
【００１９】砥粒(D) としては、ダイアモンドが好適に
用いられ、カーボランダム、アルミナなども用いること
ができる。そのほか、従来ワイヤソーに用いられている
他の種々の砥粒を用いることもできる。
用いられ、カーボランダム、アルミナなども用いること
ができる。そのほか、従来ワイヤソーに用いられている
他の種々の砥粒を用いることもできる。
【００２０】耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸
(A) に対する各成分の担持量は、(B)および(C) の合計
量を１００重量％とするとき、(B) の割合が２〜１００
重量％（望ましくは５〜９９重量％、殊に１０〜９５重
量％、さらには３０〜７０重量％）、(C) の割合が９８
〜０重量％（望ましくは９５〜１重量％、殊に９０〜５
重量％、さらには７０〜３０重量％）であり、かつ(D)
の割合が、(B) 、(C) および(D) の合計量に対し１０〜
８０重量％（殊に３０〜７０重量％）であることが好ま
しい。このような範囲において、所期の目的が達成され
る。
(A) に対する各成分の担持量は、(B)および(C) の合計
量を１００重量％とするとき、(B) の割合が２〜１００
重量％（望ましくは５〜９９重量％、殊に１０〜９５重
量％、さらには３０〜７０重量％）、(C) の割合が９８
〜０重量％（望ましくは９５〜１重量％、殊に９０〜５
重量％、さらには７０〜３０重量％）であり、かつ(D)
の割合が、(B) 、(C) および(D) の合計量に対し１０〜
８０重量％（殊に３０〜７０重量％）であることが好ま
しい。このような範囲において、所期の目的が達成され
る。
【００２１】耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸
(A) に、上記の各成分(B), (C), (D)を担持させた後
は、剪断力をかけ、ついで加熱処理を行うことにより、
担持されているポリテトラフルオロエチレン(B) をシン
ターすると共にテトラフルオロエチレン−パーフルオロ
アルキルビニルエーテル共重合体(C) を溶融させる。剪
断力をかける前または後にワイヤをアルコール中を通す
と、ディスパージョンの定着がより好ましいものとな
る。以上の操作により、目的とするワイヤソー用ワイヤ
が製造される。
(A) に、上記の各成分(B), (C), (D)を担持させた後
は、剪断力をかけ、ついで加熱処理を行うことにより、
担持されているポリテトラフルオロエチレン(B) をシン
ターすると共にテトラフルオロエチレン−パーフルオロ
アルキルビニルエーテル共重合体(C) を溶融させる。剪
断力をかける前または後にワイヤをアルコール中を通す
と、ディスパージョンの定着がより好ましいものとな
る。以上の操作により、目的とするワイヤソー用ワイヤ
が製造される。
【００２２】剪断力をかけるには、たとえば、担持後の
耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸(A) を絞りをか
けるように狭溢個所を通過させる方法が採用される。
耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸(A) を絞りをか
けるように狭溢個所を通過させる方法が採用される。
【００２３】加熱処理温度は、３５０〜４００℃程度が
適当であり、短時間であればそれ以上の温度とすること
もできる。
適当であり、短時間であればそれ以上の温度とすること
もできる。
【００２４】このようにして得られたワイヤソー用ワイ
ヤは、シリコンインゴット、ガリウム−ヒ素インゴッ
ト、ガリウム−リンインゴット等の単結晶インゴットの
スライシングのためのワイヤとして好適に用いることが
できる。また単結晶インゴットに限らず、多結晶インゴ
ットや、種々の硬くて脆い材料（半導体材料、磁性材
料、セラミックス、ガラスなど）のスライシングのため
のワイヤソー用ワイヤとしても用いることができる。
ヤは、シリコンインゴット、ガリウム−ヒ素インゴッ
ト、ガリウム−リンインゴット等の単結晶インゴットの
スライシングのためのワイヤとして好適に用いることが
できる。また単結晶インゴットに限らず、多結晶インゴ
ットや、種々の硬くて脆い材料（半導体材料、磁性材
料、セラミックス、ガラスなど）のスライシングのため
のワイヤソー用ワイヤとしても用いることができる。
【００２５】〈作用〉ポリテトラフルオロエチレン(B)
のディスパージョンは、これに剪断力をかけると極微細
に繊維化するので、砥粒(D) は、その繊維化したポリテ
トラフルオロエチレン(B) に絡められて飛散しなくな
る。ただし、ポリテトラフルオロエチレン(B) は耐熱性
高強力繊維マルチフィラメント糸(A) との接着力が乏し
いので、それだけでは不充分の場合がある。そのような
場合には、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアル
キルビニルエーテル共重合体(C) を併用すれば、テトラ
フルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテ
ル共重合体(C) は耐熱性高強力繊維マルチフィラメント
糸(A) およびポリテトラフルオロエチレン(B) の双方と
の接着力がすぐれているので、ポリテトラフルオロエチ
レン(B) およびそれに絡められた砥粒(D) も耐熱性高強
力繊維マルチフィラメント糸(A) に必要な接着力で担持
されることになる。そしてポリテトラフルオロエチレン
(B) は、最終的にはシンターされて強力となりかつ滑り
性を発揮するので、得られたワイヤをワイヤソー用のワ
イヤとして用いてスライシング操作に供したとき、ワイ
ヤは円滑にインゴットに接し、担持された砥粒(D) によ
りスライシングが達成される。またポリテトラフルオロ
エチレン(B) がシンターされるだけでなく、テトラフル
オロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共
重合体(C) が溶融するので、耐熱性高強力繊維マルチフ
ィラメント糸(A) の撚りが戻ってワイヤ径が変ることも
ない。そしてスライシング操作にあたっては、単にスラ
イシング部に水を注ぐだけで円滑なスライシングを行う
ができ、しかもワイヤを１回で使い切ることなく数回使
用することも可能となる。
のディスパージョンは、これに剪断力をかけると極微細
に繊維化するので、砥粒(D) は、その繊維化したポリテ
トラフルオロエチレン(B) に絡められて飛散しなくな
る。ただし、ポリテトラフルオロエチレン(B) は耐熱性
高強力繊維マルチフィラメント糸(A) との接着力が乏し
いので、それだけでは不充分の場合がある。そのような
場合には、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアル
キルビニルエーテル共重合体(C) を併用すれば、テトラ
フルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテ
ル共重合体(C) は耐熱性高強力繊維マルチフィラメント
糸(A) およびポリテトラフルオロエチレン(B) の双方と
の接着力がすぐれているので、ポリテトラフルオロエチ
レン(B) およびそれに絡められた砥粒(D) も耐熱性高強
力繊維マルチフィラメント糸(A) に必要な接着力で担持
されることになる。そしてポリテトラフルオロエチレン
(B) は、最終的にはシンターされて強力となりかつ滑り
性を発揮するので、得られたワイヤをワイヤソー用のワ
イヤとして用いてスライシング操作に供したとき、ワイ
ヤは円滑にインゴットに接し、担持された砥粒(D) によ
りスライシングが達成される。またポリテトラフルオロ
エチレン(B) がシンターされるだけでなく、テトラフル
オロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共
重合体(C) が溶融するので、耐熱性高強力繊維マルチフ
ィラメント糸(A) の撚りが戻ってワイヤ径が変ることも
ない。そしてスライシング操作にあたっては、単にスラ
イシング部に水を注ぐだけで円滑なスライシングを行う
ができ、しかもワイヤを１回で使い切ることなく数回使
用することも可能となる。
【００２６】このように本発明においては、ワイヤ自体
の表面および内部に砥粒(D) が担持されているので、単
に水を用いるだけで円滑なスライシングを行うことがで
き、ワイヤに対する砥粒入り加工液の供給の制御から開
放され、数回の繰り返し使用も可能となり、また廃水処
理に際しても必要に応じ砥粒を回収するだけで放流する
ことができる。従って、本発明は工業的に見て極めて有
利である。
の表面および内部に砥粒(D) が担持されているので、単
に水を用いるだけで円滑なスライシングを行うことがで
き、ワイヤに対する砥粒入り加工液の供給の制御から開
放され、数回の繰り返し使用も可能となり、また廃水処
理に際しても必要に応じ砥粒を回収するだけで放流する
ことができる。従って、本発明は工業的に見て極めて有
利である。
【００２７】
【実施例】次に実施例をあげて本発明をさらに説明す
る。
る。
【００２８】実施例１ 図１は本発明のワイヤソー用ワイヤの製造法の一例を模
式的に示した工程図である。
式的に示した工程図である。
【００２９】耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸
(A) として、太さ0.15mmのステンレススチール糸、太さ
0.10mmおよび太さ0.06mmのポリパラフェニレンベンゾビ
スオキサゾール繊維マルチフィラメント糸、太さ0.15mm
のアラミド繊維マルチフィラメント糸、太さ0.15mmのポ
リエーテルエーテルケトン繊維マルチフィラメント糸の
５種を準備した。
(A) として、太さ0.15mmのステンレススチール糸、太さ
0.10mmおよび太さ0.06mmのポリパラフェニレンベンゾビ
スオキサゾール繊維マルチフィラメント糸、太さ0.15mm
のアラミド繊維マルチフィラメント糸、太さ0.15mmのポ
リエーテルエーテルケトン繊維マルチフィラメント糸の
５種を準備した。
【００３０】ポリテトラフルオロエチレン(B) のディス
パージョンとして、樹脂分濃度６０重量％のディスパー
ジョンを準備した。またテトラフルオロエチレン−パー
フルオロアルキルビニルエーテル共重合体(C) のディス
パージョンとして、樹脂分濃度５０重量％のディスパー
ジョンを準備した。
パージョンとして、樹脂分濃度６０重量％のディスパー
ジョンを準備した。またテトラフルオロエチレン−パー
フルオロアルキルビニルエーテル共重合体(C) のディス
パージョンとして、樹脂分濃度５０重量％のディスパー
ジョンを準備した。
【００３１】さらに砥粒(D) として、従来よりワイヤソ
ー用の砥粒として用いられているダイアモンド微粒子を
準備した。
ー用の砥粒として用いられているダイアモンド微粒子を
準備した。
【００３２】上述のポリテトラフルオロエチレン(B) の
ディスパージョン、テトラフルオロエチレン−パーフル
オロアルキルビニルエーテル共重合体(C) のディスパー
ジョン、砥粒(D) の３者を、(B) および(C) の合計量を
１００重量％とするとき、(B) の割合が５０重量％、
(C) の割合が５０重量％であり、かつ(D) の割合が、
(B) 、(C) および(D) の合計量に対し５０重量％となる
ような割合で混合して、処理液を調製した。つまり、処
理液中の(B), (C), (D) の重量比は、固形分で、２５：
２５：５０である。
ディスパージョン、テトラフルオロエチレン−パーフル
オロアルキルビニルエーテル共重合体(C) のディスパー
ジョン、砥粒(D) の３者を、(B) および(C) の合計量を
１００重量％とするとき、(B) の割合が５０重量％、
(C) の割合が５０重量％であり、かつ(D) の割合が、
(B) 、(C) および(D) の合計量に対し５０重量％となる
ような割合で混合して、処理液を調製した。つまり、処
理液中の(B), (C), (D) の重量比は、固形分で、２５：
２５：５０である。
【００３３】この処理液を槽に入れて緩い撹拌下に置
き、その浴中を耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸
(A) を通過させることにより該糸(A) に処理液を含浸さ
せてから、必要に応じ一旦アルコール中を通し、ついで
絞りロール間を通して剪断力を加え、さらに乾燥器中に
導いて乾燥し、巻き取った。ついで巻き取ったワイヤを
焼成炉内で温度３７０℃で加熱処理することにより、担
持されているポリテトラフルオロエチレン(B) をシンタ
ーすると共にテトラフルオロエチレン−パーフルオロア
ルキルビニルエーテル共重合体(C) を溶融させた。
き、その浴中を耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸
(A) を通過させることにより該糸(A) に処理液を含浸さ
せてから、必要に応じ一旦アルコール中を通し、ついで
絞りロール間を通して剪断力を加え、さらに乾燥器中に
導いて乾燥し、巻き取った。ついで巻き取ったワイヤを
焼成炉内で温度３７０℃で加熱処理することにより、担
持されているポリテトラフルオロエチレン(B) をシンタ
ーすると共にテトラフルオロエチレン−パーフルオロア
ルキルビニルエーテル共重合体(C) を溶融させた。
【００３４】これにより目的とするワイヤソー用ワイヤ
が得られた。このワイヤを用いて常法によりシリコンイ
ンゴットのスライシングを行ったところ、単にスライシ
ング部に水を注ぎながらスライシングを行うだけで、円
滑なスライシングが達成できた。数回の繰り返し使用も
可能であった。
が得られた。このワイヤを用いて常法によりシリコンイ
ンゴットのスライシングを行ったところ、単にスライシ
ング部に水を注ぎながらスライシングを行うだけで、円
滑なスライシングが達成できた。数回の繰り返し使用も
可能であった。
【００３５】
【発明の効果】本発明のワイヤソー用ワイヤを用いれ
ば、ワイヤ自体に砥粒(D) の表面および内部が担持され
ているので、単にスライシング部に水を注ぐだけで円滑
なスライシングを行うことができ、ワイヤに対する砥粒
入り加工液の供給の制御から開放され、数回の繰り返し
使用も可能となり、また廃水処理に際しても必要に応じ
砥粒を回収するだけで放流することができる。従って、
本発明は工業的に見て極めて有利である。
ば、ワイヤ自体に砥粒(D) の表面および内部が担持され
ているので、単にスライシング部に水を注ぐだけで円滑
なスライシングを行うことができ、ワイヤに対する砥粒
入り加工液の供給の制御から開放され、数回の繰り返し
使用も可能となり、また廃水処理に際しても必要に応じ
砥粒を回収するだけで放流することができる。従って、
本発明は工業的に見て極めて有利である。
【図１】本発明のワイヤソー用ワイヤの製造法の一例を
模式的に示した工程図である。
模式的に示した工程図である。
(A) …耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸、 (B) …ポリテトラフルオロエチレン、 (C) …テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキル
ビニルエーテル共重合体、 (D) …砥粒
ビニルエーテル共重合体、 (D) …砥粒
Claims (5)
- 【請求項１】耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸
(A) に、必須成分としてのポリテトラフルオロエチレン
(B) 、任意成分としてのテトラフルオロエチレン−パー
フルオロアルキルビニルエーテル共重合体(C) 、および
必須成分としての砥粒(D) が担持され、かつ担持されて
いるポリテトラフルオロエチレン(B) がシンターされて
いることを特徴とするワイヤソー用ワイヤ。 - 【請求項２】(B) および(C) の合計量を１００重量％と
するとき、(B) の割合が２〜１００重量％、(C) の割合
が９８〜０重量％であり、かつ(D) の割合が、(B) 、
(C) および(D) の合計量に対し１０〜８０重量％である
請求項１記載のワイヤソー用ワイヤ。 - 【請求項３】(B) および(C) の合計量を１００重量％と
するとき、(B) の割合が５〜９５重量％、(C) の割合が
９５〜５重量％である請求項２記載のワイヤソー用ワイ
ヤ。 - 【請求項４】単結晶インゴットのスライシングのための
ワイヤである請求項１〜３のいずれかに記載のワイヤソ
ー用ワイヤ。 - 【請求項５】耐熱性高強力繊維マルチフィラメント糸
(A) に、必須成分としてのポリテトラフルオロエチレン
(B) のディスパージョン、任意成分としてのテトラフル
オロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共
重合体(C) のディスパージョン、および必須成分として
の砥粒(D) を担持させた後、剪断力をかけ、ついで加熱
処理を行うことにより、担持されているポリテトラフル
オロエチレン(B) をシンターすると共にテトラフルオロ
エチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合
体(C) を溶融させることを特徴とするワイヤソー用ワイ
ヤの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31341396A JPH10151559A (ja) | 1996-11-25 | 1996-11-25 | ワイヤソー用ワイヤおよびその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31341396A JPH10151559A (ja) | 1996-11-25 | 1996-11-25 | ワイヤソー用ワイヤおよびその製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10151559A true JPH10151559A (ja) | 1998-06-09 |
Family
ID=18040994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31341396A Withdrawn JPH10151559A (ja) | 1996-11-25 | 1996-11-25 | ワイヤソー用ワイヤおよびその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10151559A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1310316A1 (de) * | 2001-11-13 | 2003-05-14 | sia Abrasives Industries AG | Sägegarn |
| EP1310315A1 (de) * | 2001-11-13 | 2003-05-14 | sia Abrasives Industries AG | Sägegarn |
| WO2004103664A1 (de) * | 2003-05-23 | 2004-12-02 | Sia Abrasive Industries Ag | Verfahren zum herstellen von verdichteten, mit kunststoff beschichteten, fasersträngen |
| CN105365062A (zh) * | 2015-10-27 | 2016-03-02 | 镇江环太硅科技有限公司 | 一种开方机截断去头尾的方法 |
-
1996
- 1996-11-25 JP JP31341396A patent/JPH10151559A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1310316A1 (de) * | 2001-11-13 | 2003-05-14 | sia Abrasives Industries AG | Sägegarn |
| EP1310315A1 (de) * | 2001-11-13 | 2003-05-14 | sia Abrasives Industries AG | Sägegarn |
| WO2003041899A1 (de) * | 2001-11-13 | 2003-05-22 | Sia Abrasives Industries Ag | Sägegarn |
| WO2004103664A1 (de) * | 2003-05-23 | 2004-12-02 | Sia Abrasive Industries Ag | Verfahren zum herstellen von verdichteten, mit kunststoff beschichteten, fasersträngen |
| CN105365062A (zh) * | 2015-10-27 | 2016-03-02 | 镇江环太硅科技有限公司 | 一种开方机截断去头尾的方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040203 |