JPH0344109A - Output buffer - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は出力バッファに係り、特に半導体集積回路内に
形成されるCMO3出力バヅファに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an output buffer, and particularly to a CMO3 output buffer formed within a semiconductor integrated circuit.
第4図に、従来のトライステート型のCMOSバッファ
の回路図を示す。FIG. 4 shows a circuit diagram of a conventional tri-state CMOS buffer.
従来のこの種の0MO8出力バッファは、高電位電源(
以下VDDと記す)と低電位型R(以下GNDと記す)
との間に、PチャネルMO3トランジスタ18、および
NチャネルMO8トランジスタ19とが直列に接続され
ており、前記PチャネルMO3トランジスタ18のゲー
ト電極には、データ信号りと出力イネーブル信号Eとを
入力とするNANDゲート16の出力が接続され、前記
NチャネルMO8トランジスタ19のゲート電極には、
前記出力イネーブル信号Eがインバータ15によって反
転された信号と前記データ信号りとを入力とするNOR
ゲート17の出力が接続され、前記PチャネルMO3ト
ランジスタ18とNチャネルMO8トランジスタ19、
それぞれのドレイン電極の接続点より出力端子20に出
力信号Oを取り出すようになっていた。Conventional 0MO8 output buffers of this type are connected to high potential power supplies (
(hereinafter referred to as VDD) and low potential type R (hereinafter referred to as GND)
A P-channel MO3 transistor 18 and an N-channel MO8 transistor 19 are connected in series between the P-channel MO3 transistor 18 and the gate electrode of the P-channel MO3 transistor 18, which receives a data signal and an output enable signal E. The output of the NAND gate 16 is connected to the gate electrode of the N-channel MO8 transistor 19.
A NOR whose inputs are a signal obtained by inverting the output enable signal E by an inverter 15 and the data signal R.
The output of the gate 17 is connected to the P-channel MO3 transistor 18 and the N-channel MO8 transistor 19,
An output signal O was taken out to an output terminal 20 from the connection point of each drain electrode.
次に前述した従来の出力バッファの動作を説明する。出
力イネーブル信号Eが、ロウレベルのときには、NAN
Dゲー)16の出力がハイレベル、NORゲート17の
出力がロウレベルとなるので、PチャネルMO8トラン
ジスタ18とNチャネルMO3トランジスタ19は共に
OFF’状態となり、出力信号Oはハイ・インピーダン
ス状態になる。Next, the operation of the conventional output buffer mentioned above will be explained. When the output enable signal E is low level, NAN
Since the output of the D-game) 16 is at a high level and the output of the NOR gate 17 is at a low level, both the P-channel MO8 transistor 18 and the N-channel MO3 transistor 19 are in the OFF' state, and the output signal O is in a high impedance state.
逆に、出力イネーブル信号Eがハイレベルの場合には、
データ信号りがロウレベルであれば、PチャネルMO8
トランジスタ18がOFF’状態、NチャネルMO8ト
ランジスタ19がON状態となり、出力信号Oはロウレ
ベルに変化し、データ信号りがハイレベルであれば、P
チャネルMOSトランジスタ18がON状態、Nチャネ
ルMOSトランジスタ19がOFF状態となり、出力信
号Oがハイレベルに変化するようになっていた。Conversely, when the output enable signal E is high level,
If the data signal is low level, P channel MO8
The transistor 18 is in the OFF' state, the N-channel MO8 transistor 19 is in the ON state, the output signal O changes to low level, and if the data signal is high level, P
The channel MOS transistor 18 is in the ON state, the N channel MOS transistor 19 is in the OFF state, and the output signal O changes to a high level.
〔発明が解決しようとする課題〕
前述した従来の0MO8出力バッファは、出力バッファ
が出力イネーブル信号Eのハイレベルのとき、データ信
号りのレベル変化に応じて出力信号Oが反転する途中で
、PチャネルMO8トランジスタ18とNチャネルMO
8トランジスタ19が、共にON状態となる期間が、わ
ずかではあるが生じてしまう。この期間には、vDDか
らGNDに向けて貫通電流が流れてしまうため、特に電
流駆動能力の大きい0MO8出力バッファを多数使用し
ている半導体集積回路において、消費電力の一時的増大
の原因となっていた。また、データ・バスのように同時
に多数の出力信号が変化する場合、出力信号上に大きな
負荷容量が付いていると、大きな電源ノイズが発生し、
回路の誤動作の原因となっていた。[Problems to be Solved by the Invention] In the conventional 0MO8 output buffer described above, when the output enable signal E of the output buffer is at a high level, the output signal O is inverted in response to the level change of the data signal, and the P Channel MO8 transistor 18 and N channel MO
There is a period in which all the eight transistors 19 are in the ON state, albeit for a short time. During this period, a through current flows from vDD to GND, which causes a temporary increase in power consumption, especially in semiconductor integrated circuits that use many 0MO8 output buffers with large current drive capabilities. Ta. Additionally, when many output signals change simultaneously, such as on a data bus, large load capacitances on the output signals will generate large power supply noise.
This caused circuit malfunction.
本発明の目的は、前記欠点が解決され、消費電力の一時
的増大が生じず、電源ノイズも発生しないようにした出
力バッファを提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an output buffer that solves the above-mentioned drawbacks, does not cause a temporary increase in power consumption, and does not generate power supply noise.
本発明の構成は、データ信号が1つの入力となる多久力
NANDゲートの出力信号がゲート電極に接続され、か
つ−電位電源が一電極に接続されたMOSトランジスタ
の他電極と、前記データ信号が1つの入力となる多入力
NORゲートの出力信号がゲート電極に接続され、かつ
他電位電源が一電極に接続されたMOSトランジスタの
他電極とを接続して、出力信号を得る出力バッファにお
いて、前記データ信号を入力とし、遅延制御信号によっ
て、前記データ信号を所望の時間だけ遅延させた出力を
得る遅延回路を設け、前記遅延回路の出力信号を前記多
入力NANDゲート、及び多入力NORゲートの1つの
入力とすることを特徴とする。In the configuration of the present invention, an output signal of a durable NAND gate whose input is a data signal is connected to a gate electrode, and the other electrode of a MOS transistor connected to one electrode of a -potential power source is connected to the data signal. In the output buffer, the output signal of a multi-input NOR gate serving as one input is connected to the gate electrode, and the other potential power source is connected to the other electrode of the MOS transistor connected to one electrode to obtain the output signal. A delay circuit is provided which takes a data signal as an input and obtains an output obtained by delaying the data signal by a desired time according to a delay control signal, and outputs the output signal of the delay circuit to one of the multi-input NAND gate and the multi-input NOR gate. It is characterized by having two inputs.
次に、本発明について図面を参照して説明する。 Next, the present invention will be explained with reference to the drawings.
第1図は本発明の一実施例の出力バッファを示す回路図
である。FIG. 1 is a circuit diagram showing an output buffer according to an embodiment of the present invention.
第1図において、本実施例の出力バッファは、従来と異
なり、遅延回路21を備えている。この遅延(D L)
回路21は、データ信号りを所望の時間だけ遅延する回
路であり、外部コントロール信号Cによって、この遅延
時間を制御できる様になっている。例えば、lクロック
サイクル分遅延と2クロックサイクル分遅延との切り換
えが可能である。ソース電極がVDDに接続されたPチ
ャネルMO8I−ランジスタ18のゲート電極入力は、
出力イネ“−プル信号Eとデータ信号りと前記遅延回路
21の出力信号とが入力となる3人力NANDゲート2
の出力信号であり、ソース電極がGNDに接続されたN
チャネルMO8トランジスタ19のゲート電極入力は、
出力イネーブル信号Eがインバータ1によって反転され
た信号とデータ信号りと前記遅延回路21の出力信号と
が入力となる3人力NORゲート3の出力信号であり、
前記PチャネルMO8トランジスタ18とNチャネルM
O8トランジスタ19のドレイン電極同士を接続して、
出力端子20に出力信号Oを得る。In FIG. 1, the output buffer of this embodiment includes a delay circuit 21, unlike the conventional one. This delay (DL)
The circuit 21 is a circuit that delays the data signal by a desired time, and this delay time can be controlled by an external control signal C. For example, it is possible to switch between a delay of one clock cycle and a delay of two clock cycles. The gate electrode input of the P-channel MO8I-transistor 18 whose source electrode is connected to VDD is
A three-man powered NAND gate 2 whose output inputs are the pull signal E, the data signal, and the output signal of the delay circuit 21.
is the output signal of N, whose source electrode is connected to GND.
The gate electrode input of the channel MO8 transistor 19 is
The signal obtained by inverting the output enable signal E by the inverter 1, the data signal, and the output signal of the delay circuit 21 are the output signals of the three-man power NOR gate 3,
The P channel MO8 transistor 18 and the N channel M
By connecting the drain electrodes of the O8 transistor 19,
An output signal O is obtained at the output terminal 20.
次に第1図に示す回路の動作について説明する。Next, the operation of the circuit shown in FIG. 1 will be explained.
第2図は第1図に示す出力バッファ回路のタイム図であ
る。第2図において、出力イネーブル信号Eがロウレベ
ルのときには、NANDゲート2の出力がハイレベル、
NORゲート3の出力がロウレベルとなるので、Pチャ
ネルMO8トランジスタ18とNチャネルMO8トラン
ジスタ19は共にOFF状態となり、出力信号Oはハイ
・インピーダンス状態となる。FIG. 2 is a time diagram of the output buffer circuit shown in FIG. 1. In FIG. 2, when the output enable signal E is at a low level, the output of the NAND gate 2 is at a high level;
Since the output of the NOR gate 3 is at a low level, both the P-channel MO8 transistor 18 and the N-channel MO8 transistor 19 are in the OFF state, and the output signal O is in a high impedance state.
以下は、出力イネーブル信号Eがハイレベルの時の説明
である。データ信号りが、ロウレベルからハイレベルに
変化すると、NORゲート3の出力はすぐにロウレベル
に変化するのに対して、NANDゲート2の出力は、遅
延回路21でデータ信号りが遅延させられた時間分だけ
遅れてロウレベルに変化する。従って、NチャネルMO
8トランジスタ19が0FFL始める時刻よりも、Pチ
ャネルMO3トランジスタ18がONL始める時刻の方
が遅くなるため、貫通電流を減少させることができる。The following is an explanation when the output enable signal E is at a high level. When the data signal changes from a low level to a high level, the output of the NOR gate 3 immediately changes to a low level, whereas the output of the NAND gate 2 is the time that the data signal is delayed by the delay circuit 21. It changes to low level with a delay of 1 minute. Therefore, N-channel MO
Since the time when the P-channel MO3 transistor 18 starts turning ON is later than the time when the MO3 transistor 19 starts going OFF, the through current can be reduced.
また、データ信号りがハイレベルからロウレベルに変化
すると、NANDゲート2の出力は、すぐにハイレベル
に変化するのに対して、NORゲート3の出力は、遅延
回路21でのデータ信号りの遅延時間分だけ遅れてハイ
レベルに変化する。したがって、PチャネルMO8トラ
ンジスタ18がOFFし始める時刻よりも、Nチャネル
MO8トランジスタ19がONL始める時刻の方が遅く
なるため、同様に貫通電流を減少させることができる。Furthermore, when the data signal changes from high level to low level, the output of NAND gate 2 immediately changes to high level, whereas the output of NOR gate 3 is delayed due to the delay of the data signal in delay circuit 21. Changes to high level with a delay of a certain amount of time. Therefore, the time when N-channel MO8 transistor 19 starts to turn ON is later than the time when P-channel MO8 transistor 18 starts to turn OFF, so that the through current can be similarly reduced.
さらに、遅延回路21での遅延時間はコントロール信号
Cによって変化させることができるので、例えば出力バ
ッファ等で、8本の出力信号がある場合、4本は1クロ
ックサイクル分だけ遅延させ、残りの4本は2クロック
サイクル分だけ遅延させるように設定することによって
、出力信号が8本とも同時変化しないようにすることが
でき、大きなGND (VDD)ノイズの発生を押える
ことができる。また、出力信号Oのスピードが特に要求
される場合には、遅延回路21の遅延時間なOnsとな
るように設定することによって、従来の出力バッファと
同様の動作を実現することができる。但し、この場合遅
延時間の設定条件が3条件となるため、コントロール信
号Cは複数ライン必要となる。Furthermore, the delay time in the delay circuit 21 can be changed by the control signal C, so if there are eight output signals in an output buffer, for example, four will be delayed by one clock cycle, and the remaining four will be delayed by one clock cycle. By setting the output signal to be delayed by two clock cycles, it is possible to prevent all eight output signals from changing simultaneously, and it is possible to suppress the generation of large GND (VDD) noise. Furthermore, when the speed of the output signal O is particularly required, by setting the delay time of the delay circuit 21 to Ons, it is possible to realize the same operation as a conventional output buffer. However, in this case, there are three conditions for setting the delay time, so the control signal C requires multiple lines.
本実施例は、従来と異なり、データ信号りを、コントロ
ール信号Cによって、所望の時間だけ遅延させることが
できる遅延回路2を有する。Unlike the conventional example, this embodiment includes a delay circuit 2 that can delay a data signal by a desired time using a control signal C.
第3図は本発明の他の実施例の出力バッファを示す回路
図である。FIG. 3 is a circuit diagram showing an output buffer according to another embodiment of the present invention.
第3図において、本実施例の出力バッファは、多数のバ
ッファ回路30,31,32.・・・・・・とフリップ
フロップ回路40とを備えている。バッファ回路30は
、PチャネルMO8トランジスタ18と、NチャネルM
OSトランジスタ19と、遅延回路21と、インバータ
4と、NANDゲート5と、NORゲート6とを備えて
いる。即ち、前記一実施例と同様な出力バッファを構成
している。他のバッファ回路31,32.・・・・・・
は、遅延回路22,23.・・・・・・の内容以外では
バッファ回路30と全く同じ構成となっている。また、
PチャネルMO3トランジスタフ、8およびNチャネル
MO8トランジスタ9.lOにより、第1の2人力NO
Rゲート41を構成し、PチャネルMOSトランジスタ
11.12およびNチャネルMO8トランジスタ13.
14により、第2の2人力NORゲート42を構成して
おり、前記2人力NORゲート41の1つの入力は、前
記2人力NORゲート42の出力信号であり、前記2人
力NORゲート42の1つの入力は前記2人力NORゲ
ート41の出力信号であり、両方を含めてフリップフロ
ップ回路40となっている。前記2人力NORゲート3
トのもう1つの入力は、前記出力バッファ群30,31
,32.・・・・・・に使用されるGNDラインから取
られており、前記2人力NORゲート42のもう1つの
入力は、リセット信号Rの入力となっている。ここで特
徴的なところは、前記2人力NORゲー)41.42か
ら構成されるフリップフロップ回路40のVDDおよび
GNDは、前記出力バッファ群30,31,32.・・
・・・・に使用されるVDDおよびGNDとは、離れた
位置から取られており、前記出力バッファ回路30.3
1,32.・・・・・・の出力変化によって生ずる電源
ノイズの影響を受けにくくなっているということである
。即ち、等価的に抵抗50.51を介した後に、バッフ
ァ回路30,31,32.・・・・・・に、VDD、G
ND電源を接続した形となっている。In FIG. 3, the output buffer of this embodiment includes a large number of buffer circuits 30, 31, 32 . . . . and a flip-flop circuit 40. The buffer circuit 30 includes a P-channel MO8 transistor 18 and an N-channel MO8 transistor 18.
It includes an OS transistor 19, a delay circuit 21, an inverter 4, a NAND gate 5, and a NOR gate 6. That is, an output buffer similar to that of the previous embodiment is configured. Other buffer circuits 31, 32 .・・・・・・
are delay circuits 22, 23 . It has exactly the same configuration as the buffer circuit 30 except for the contents of . Also,
P-channel MO3 transistor 8 and N-channel MO8 transistor 9. 1st two-man power NO.
R gate 41 is configured with P channel MOS transistors 11.12 and N channel MO8 transistors 13.
14 constitutes a second two-man powered NOR gate 42, one input of the two-man powered NOR gate 41 is an output signal of the two-man powered NOR gate 42, and one input of the two-man powered NOR gate 42 The input is the output signal of the two-man power NOR gate 41, and the flip-flop circuit 40 includes both of them. Said two-man NOR gate 3
Another input of the input buffer is the output buffer group 30, 31.
, 32. The other input of the two-man power NOR gate 42 serves as the input of the reset signal R. The characteristic point here is that the VDD and GND of the flip-flop circuit 40 composed of the two-man powered NOR game) 41, 42 are connected to the output buffer group 30, 31, 32 .・・・
The VDD and GND used for ... are taken from a remote location, and the output buffer circuit 30.3
1,32. This means that it is less susceptible to the effects of power supply noise caused by changes in the output of... That is, after equivalently passing through the resistors 50, 51, the buffer circuits 30, 31, 32 .・・・・・・、VDD、G
It is connected to an ND power supply.
次に第3図に示す回路の動作について説明する。Next, the operation of the circuit shown in FIG. 3 will be explained.
各々の出力バッファ30,31,32.・・・・・・の
動作は、前記一実施例の場合と同じである。本実施例で
は、コントロール線50のコントロール信号C(前記2
人力NORゲート42の出力信号)がロウレベルの時に
は、遅延回路21,22,23.・・・・・・による遅
延時間は同一(例えば5ns)であるが、コントロール
信号Cがハイレベルの時には例えば遅延回路22による
遅延時間はl Ons、遅延回路23による遅延時間は
15ns、・・・・・・という具合に、各バッファ回路
30,31,32゜・・・・・・によって、遅延時間が
異なるように設定されている。さて、リセット直後の前
記コントロール信号Cはロウレベルになっており、出力
信号O0゜0、.0.、・・・・・・上の負荷容量が小
さい場合には、出力信号Oo、 01.02・・・・・
・のレベル変化のために発生するGNDノイズは比較的
小さいため、前記フリップフロップ回路40の状態を反
転するに致らず、前記コントロール信号Cは、ロウレベ
ルのままである。したがって遅延回路21,22゜23
、・・・・・・による遅延時間は同一であり、バッファ
回路30,31,32.・・・・・・の出力レベルは、
はぼ同時に変化する。逆に、出力信号0..0.。Each output buffer 30, 31, 32 . . . . operations are the same as in the above embodiment. In this embodiment, the control signal C on the control line 50 (the above-mentioned 2
When the output signal of the human-powered NOR gate 42) is at a low level, the delay circuits 21, 22, 23 . The delay time due to . . . . The delay time is set to be different for each buffer circuit 30, 31, 32°, . . . . Immediately after reset, the control signal C is at a low level, and the output signals O0°0, . 0. ,......If the load capacitance on is small, the output signal Oo, 01.02...
Since the GND noise generated due to the level change is relatively small, the control signal C remains at the low level without inverting the state of the flip-flop circuit 40. Therefore, the delay circuits 21, 22゜23
, . . . are the same, and the buffer circuits 30, 31, 32 . The output level of...
change almost simultaneously. Conversely, the output signal 0. .. 0. .
02、・・・・・・上の負荷容量が大きい場合には、出
力信号Oo 、 Or 、 Ot 、・・・・・・のレ
ベル変化によって発生するGNDノイズも大きくなり、
このノイズレベルがある値以上になると、前記フリップ
フロップ回路40の状態が反転するため、前記コントロ
ール信号Cがハイレベルとなり、遅延回路22.23.
・・・・・・による遅延時間は、設定した分だけ異なる
ことになり、バッファ回路30,31,32、・・・・
・・の出力レベルの変化するタイミングはずれることに
なる。この状態は、再びリセット信号が入るまで続くの
で、1度大きなGNDノイズが発生すれば、それ以後は
GNDノイズの発生をある程度抑えることができるとい
う利点がある。When the load capacitance on 02, . . . is large, the GND noise generated by the level change of the output signals Oo, Or, Ot, . . . becomes large,
When this noise level exceeds a certain value, the state of the flip-flop circuit 40 is reversed, so that the control signal C becomes high level and the delay circuits 22, 23.
The delay time due to... will differ by the amount set, and the buffer circuits 30, 31, 32,...
The timing at which the output level changes will be shifted. Since this state continues until the reset signal is input again, there is an advantage that once large GND noise occurs, the subsequent generation of GND noise can be suppressed to some extent.
以上説明したように、本発明は、従来の出力バッファに
遅延回路を付加し、相補なるMOSトランジスタが同時
にON状態になるのを防ぐことによって、貫通電流を減
少させることができ、このため、半導体集積回路の消費
電力低減の効果がある。また、本発明は、特に複数の出
力バッファの出力信号が変化するタイミングをずらすこ
とによって、電源ノイズを小さくでき、回路の信頼性を
向上できる効果もある。As explained above, the present invention adds a delay circuit to a conventional output buffer and prevents complementary MOS transistors from turning on at the same time, thereby reducing the through current. This has the effect of reducing power consumption of integrated circuits. Further, the present invention has the effect of reducing power supply noise and improving circuit reliability, especially by shifting the timing at which the output signals of the plurality of output buffers change.
第1図は本発明の一実施例の出力バッファの回路図、第
2図は第1図に示す回路のタイム図、第3図は本発明の
他の実施例の出力バッファの回路図、第4図は従来の出
力バッファの回路図である。
E・・・・・・出力イネーブル信号、C・・・・・・遅
延コントロール信号、D、Do、Dt+ D2・・・・
・・データ信号、o、o、、o、、ol・・・・・出力
信号、21,22゜23・・・・・・遅延回路、1,4
.15・・・・・・インバータ、2.5,16・・・・
・・NANDゲート、3,6. 17゜41.42・・
・・・・NORゲート、7,8,11゜12.18・・
・・・・PチャネルMOSトランジスタ、9.10,1
3,14.19・・・・・・NチャネルMOSトランジ
スタ、20・・・・・・出力端子、30゜31.32・
・・・・・出力バッファ、40・・・・・・フリップフ
ロップ回路、50,51・・・・・・VDD −GND
配線の配線抵抗。FIG. 1 is a circuit diagram of an output buffer according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a time diagram of the circuit shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a circuit diagram of an output buffer according to another embodiment of the present invention. FIG. 4 is a circuit diagram of a conventional output buffer. E: Output enable signal, C: Delay control signal, D, Do, Dt+ D2...
...Data signal, o, o,,o,,ol...Output signal, 21,22゜23...Delay circuit, 1,4
.. 15... Inverter, 2.5, 16...
...NAND gate, 3, 6. 17゜41.42...
...NOR gate, 7, 8, 11゜12.18...
...P channel MOS transistor, 9.10,1
3,14.19...N-channel MOS transistor, 20...Output terminal, 30°31.32.
...Output buffer, 40...Flip-flop circuit, 50, 51...VDD -GND
Wiring resistance of wiring.
Claims (1)
出力信号がゲート電極に接続されかつ一電位電源が一電
極に接続されたMOSトランジスタの他電極と、前記デ
ータ信号が1つの入力となる多入力NORゲートの出力
信号がゲート電極に接続され、かつ他電位電源が一電極
に接続されたMOSトランジスタの他電極とを接続して
、出力信号を得る出力バッファにおいて、前記データ信
号を入力とし、遅延制御信号によって、前記データ信号
を所望の時間だけ遅延させた出力を得る遅延回路を設け
、前記遅延回路の出力信号を前記多入力NANDゲート
、及び多入力NORゲートの1つの入力とすることを特
徴とする出力バッファ。The output signal of a multi-input NAND gate, whose gate electrode is connected to the data signal as one input, and the other electrode of a MOS transistor whose gate electrode is connected to a single potential power source, and the multi-input NAND gate whose data signal is one input. In an output buffer, which obtains an output signal by connecting the output signal of the NOR gate to the gate electrode and the other electrode of a MOS transistor connected to one electrode of another potential power source, the data signal is input and delayed. A delay circuit is provided which obtains an output obtained by delaying the data signal by a desired time according to a control signal, and the output signal of the delay circuit is used as one input of the multi-input NAND gate and the multi-input NOR gate. output buffer.
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JP1179238A JPH0344109A (en) | 1989-07-11 | 1989-07-11 | Output buffer |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7132868B2 (en) | 2001-06-27 | 2006-11-07 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor device |
-
1989
- 1989-07-11 JP JP1179238A patent/JPH0344109A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7132868B2 (en) | 2001-06-27 | 2006-11-07 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor device |
US7274223B2 (en) | 2001-06-27 | 2007-09-25 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor device |
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