JPH03267718A - ロータリエンコーダ用コード板のレーザ描画方法 - Google Patents
ロータリエンコーダ用コード板のレーザ描画方法Info
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- JPH03267718A JPH03267718A JP6429390A JP6429390A JPH03267718A JP H03267718 A JPH03267718 A JP H03267718A JP 6429390 A JP6429390 A JP 6429390A JP 6429390 A JP6429390 A JP 6429390A JP H03267718 A JPH03267718 A JP H03267718A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、光学式のロータリエンコーダに使用されるコ
ート板をレーザ描画して製造する方法に関する。
ート板をレーザ描画して製造する方法に関する。
[従来の技術]
一般に、光学式のロータリエンコーダとしては、円盤状
の回転ディスクに多数のピットを形成しておき、回転デ
ィスクに光を照射し、回転ディスクからの反射光のピッ
トによる光量変化に基づいて回転ディスクの回転方向位
置を検出するものがある。
の回転ディスクに多数のピットを形成しておき、回転デ
ィスクに光を照射し、回転ディスクからの反射光のピッ
トによる光量変化に基づいて回転ディスクの回転方向位
置を検出するものがある。
また、前述のエンコーダでは、円盤状の回転ディスクに
ピットを形成するため、回転ディスクの中心近傍のピッ
ト加工精度によりエンコーダの角度検出精度が決定され
てしまい、より高精度なエンコーダを実現するのが難し
い。そこで、回転体として、円筒状部材の円筒壁内周面
に多数のピットを形成したエンコーダも提案されている
。このようなエンコーダでは、各ピットはすべて同一回
転半径を有するようになり、ピットの回転半径位置によ
る加工精度差が生じなくなる。
ピットを形成するため、回転ディスクの中心近傍のピッ
ト加工精度によりエンコーダの角度検出精度が決定され
てしまい、より高精度なエンコーダを実現するのが難し
い。そこで、回転体として、円筒状部材の円筒壁内周面
に多数のピットを形成したエンコーダも提案されている
。このようなエンコーダでは、各ピットはすべて同一回
転半径を有するようになり、ピットの回転半径位置によ
る加工精度差が生じなくなる。
ところで、前述した回転ディスクや円筒状部材等の回転
体にピットをレーザ描画により形成しコード板を製造す
る際には、従来、第4図(a)〜(c)や第5図(a)
、(b)に示すような手段が用いられている。
体にピットをレーザ描画により形成しコード板を製造す
る際には、従来、第4図(a)〜(c)や第5図(a)
、(b)に示すような手段が用いられている。
第4図(a)〜(c)に示す手段では、ディスク状のコ
ード板20を回転駆動機構(図示せず)により回転駆動
しながら、コード板20にビームを照射し、そのビーム
をオン/オフ制御および走査制御することによりコード
板20上にレーザ描画を行なっている。そして、描画を
終えた第4図(a)に示すコード板20に、第4 図(
b )に丞すように。
ード板20を回転駆動機構(図示せず)により回転駆動
しながら、コード板20にビームを照射し、そのビーム
をオン/オフ制御および走査制御することによりコード
板20上にレーザ描画を行なっている。そして、描画を
終えた第4図(a)に示すコード板20に、第4 図(
b )に丞すように。
コード板20用の回転軸21を取り付けてから、エンコ
ーダに設置する。しかし、このとき、第4図(c)に示
すように、コード板20の回転軸心20aと回転軸21
の回転軸心21aとが一致させるのは極めて困難で、そ
の偏心を10μ園以内に抑えるのは難しい、従って、エ
ンコーダ内にコード板20を設置した際に、その軸心ず
九のためにエンコーダの性能の低下を招いてしまう。
ーダに設置する。しかし、このとき、第4図(c)に示
すように、コード板20の回転軸心20aと回転軸21
の回転軸心21aとが一致させるのは極めて困難で、そ
の偏心を10μ園以内に抑えるのは難しい、従って、エ
ンコーダ内にコード板20を設置した際に、その軸心ず
九のためにエンコーダの性能の低下を招いてしまう。
そこで、第5図(a)に示すように、その回転軸22を
予め一体成形されたコード板2OAを用い、このコード
板20Aにレーザ描画を行なう際には。
予め一体成形されたコード板2OAを用い、このコード
板20Aにレーザ描画を行なう際には。
回転軸22を介してコード板20Aを回転駆動機構のス
テージ23に取り付けた後、コード板20Aを回転駆動
機構により回転駆動しながら、コード板20Aにビーム
を照射し、そのビームをオン/オフ制御および走査制御
することによりコード板2OA上にレーザ描画を行なっ
ている。この後者手段によれば、レーザ描画前に回転軸
22を取り付けているので、レーザ描画時のコード板2
゜Aの回転軸心20bとエンコーダ内の設置時の回転軸
心とが一致するので、前述のような軸心ずれによる性能
低下を招くのを防止できる。
テージ23に取り付けた後、コード板20Aを回転駆動
機構により回転駆動しながら、コード板20Aにビーム
を照射し、そのビームをオン/オフ制御および走査制御
することによりコード板2OA上にレーザ描画を行なっ
ている。この後者手段によれば、レーザ描画前に回転軸
22を取り付けているので、レーザ描画時のコード板2
゜Aの回転軸心20bとエンコーダ内の設置時の回転軸
心とが一致するので、前述のような軸心ずれによる性能
低下を招くのを防止できる。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、後者の手段では、第5図(b)に示すよ
うに、コード板2OAを回転駆動機構のステージ23に
取付・固定する際にコード板2OA(回転軸22)の回
転軸心20bとステージ23の回転軸心23aとがずれ
や、コード板20Aの傾きが生じる場合があり、このた
めにエンコーダの高精度化や高分解能化に対応できない
という課題がある。
うに、コード板2OAを回転駆動機構のステージ23に
取付・固定する際にコード板2OA(回転軸22)の回
転軸心20bとステージ23の回転軸心23aとがずれ
や、コード板20Aの傾きが生じる場合があり、このた
めにエンコーダの高精度化や高分解能化に対応できない
という課題がある。
本発明は、上述した課題を解決しようとするもので、コ
ード板の偏心や傾きによる描画誤差が発生するのを確実
に防止して、高精度かつ高分解能のエンコーダを実現で
きるようにした、ロータリエンコーダ用コード板のレー
ザ描画方法を提供することを目的とする。
ード板の偏心や傾きによる描画誤差が発生するのを確実
に防止して、高精度かつ高分解能のエンコーダを実現で
きるようにした、ロータリエンコーダ用コード板のレー
ザ描画方法を提供することを目的とする。
[課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するために、本発明のロータリエンコー
ダ用コード板のレーザ描画方法は、コード板の回転軸心
と回転駆動機構の回転軸心とを自動的に一致させうる回
転軸心調整機構を前記回転駆動機構に予めそなえるとと
もに、前記コード板をその回転軸と予め一体的に形成し
ておき、前記コード板上にレーザ描画を行なう際には、
前記コート板の回転軸を介して前記コード板を前記回転
駆動機構に取り付けてから、前記回転軸心調整機構によ
り、前記コード板の回転軸心と前記回転駆動機構の回転
軸心との調整を行なうことを特徴としている。
ダ用コード板のレーザ描画方法は、コード板の回転軸心
と回転駆動機構の回転軸心とを自動的に一致させうる回
転軸心調整機構を前記回転駆動機構に予めそなえるとと
もに、前記コード板をその回転軸と予め一体的に形成し
ておき、前記コード板上にレーザ描画を行なう際には、
前記コート板の回転軸を介して前記コード板を前記回転
駆動機構に取り付けてから、前記回転軸心調整機構によ
り、前記コード板の回転軸心と前記回転駆動機構の回転
軸心との調整を行なうことを特徴としている。
[作 用]
上述した本発明のロータリエンコーダ用コード板のレー
ザ描画方法では、コード板上にレーザ描画を行なう際に
は、コード板に一体的に形成された回転軸を介し、コー
ド板が回転駆動機構に取り付けられてから1回転軸心調
整機構により、前記コード板の回転軸心と回転駆動機構
の回転軸心との調整が行なわれる。これにより、コード
板の偏心や傾きによる描画誤差が発生するのを防止でき
るほか、レーザ描画時のコード板の回転軸心とエンコー
ダ内の設置時の回転軸心とを一致させることができる。
ザ描画方法では、コード板上にレーザ描画を行なう際に
は、コード板に一体的に形成された回転軸を介し、コー
ド板が回転駆動機構に取り付けられてから1回転軸心調
整機構により、前記コード板の回転軸心と回転駆動機構
の回転軸心との調整が行なわれる。これにより、コード
板の偏心や傾きによる描画誤差が発生するのを防止でき
るほか、レーザ描画時のコード板の回転軸心とエンコー
ダ内の設置時の回転軸心とを一致させることができる。
[発明の実施例]
以下5図面により本発明の一実施例としてのロータリエ
ンコーダ用コード板のレーザ描画方法について説明する
と、第1図は本実施例の方法を適用された装置の構成を
示すブロック図、第2図はそのコード板の例を示す縦断
図、第3図はその回転軸心調整機構の構成を示す図であ
る。
ンコーダ用コード板のレーザ描画方法について説明する
と、第1図は本実施例の方法を適用された装置の構成を
示すブロック図、第2図はそのコード板の例を示す縦断
図、第3図はその回転軸心調整機構の構成を示す図であ
る。
第1図において、1は回転駆動機構16の回転台2上に
回転軸心を一致させて設置すべき円筒形状のロータリエ
ンコーダ用コード板、1aはコード板1の回転軸で、こ
の回転軸1aは、第2図に示すように、コード板1の本
体と一体的に予め形成されている。また、コード板1の
円筒壁内周面上には、被露光材料が塗布されて被露光材
料面1bが形成されている。
回転軸心を一致させて設置すべき円筒形状のロータリエ
ンコーダ用コード板、1aはコード板1の回転軸で、こ
の回転軸1aは、第2図に示すように、コード板1の本
体と一体的に予め形成されている。また、コード板1の
円筒壁内周面上には、被露光材料が塗布されて被露光材
料面1bが形成されている。
また、第1図において、11は描画用レーザビームを発
生するレーザ光源、12はレーザ光源11からのレーザ
ビームをオン/オフ制御する光スィッチ、13は光スィ
ッチ12がらのレーザビームを走査制御するためのビー
ム偏向器(走査ミラー)、14はビーム偏向器13がら
のレーザビームを集束照射する結像レンズ、15は結像
レンズ14からのレーザビームをコード板1の被露光材
料面1b上へ導くミラー、17はコード板1の回転軸心
と回転駆動機構16(回転台2)の回転軸心とを自動的
に一致させるべく回転駆動機構16に予めそなえられた
回転軸心調整機構である。
生するレーザ光源、12はレーザ光源11からのレーザ
ビームをオン/オフ制御する光スィッチ、13は光スィ
ッチ12がらのレーザビームを走査制御するためのビー
ム偏向器(走査ミラー)、14はビーム偏向器13がら
のレーザビームを集束照射する結像レンズ、15は結像
レンズ14からのレーザビームをコード板1の被露光材
料面1b上へ導くミラー、17はコード板1の回転軸心
と回転駆動機構16(回転台2)の回転軸心とを自動的
に一致させるべく回転駆動機構16に予めそなえられた
回転軸心調整機構である。
次に、この回転軸心調整機構16の構成を第2図により
詳述する。第2図において、3はコード板1をy軸方向
へ移動させるXステージ、4はコード板1をX軸方向へ
移動させるXステージ、5はコード板、1を計測中心A
まわりに回動させるXゴニオメータ、6はコード板1を
計測中心Aおよび回転台2の回転中心軸の両者に直交す
る軸まわりに回動させるyゴニオメータであり、これら
のステージ3,4およびゴニオメータ5,6により、円
筒状コード板1を水平移動もしくは所定の計測中心Aま
わりに回転移動させる駆動機構が構成されている。
詳述する。第2図において、3はコード板1をy軸方向
へ移動させるXステージ、4はコード板1をX軸方向へ
移動させるXステージ、5はコード板、1を計測中心A
まわりに回動させるXゴニオメータ、6はコード板1を
計測中心Aおよび回転台2の回転中心軸の両者に直交す
る軸まわりに回動させるyゴニオメータであり、これら
のステージ3,4およびゴニオメータ5,6により、円
筒状コード板1を水平移動もしくは所定の計測中心Aま
わりに回転移動させる駆動機構が構成されている。
また、7a、7bは円筒状コード板1の円筒部分内にそ
なえられた一対の距離センサ(例えば精度1μ閣程度の
光学式センサもしくは渦流センサ等)であり、これらの
距離センサ7a、7bは、回転台2の回転角φに対して
円筒状コード板1の円筒壁内周面までの距離S工、S2
を非接触で検出するもので、計測中心Aについて距離a
をあけて上下対称に配置されている。
なえられた一対の距離センサ(例えば精度1μ閣程度の
光学式センサもしくは渦流センサ等)であり、これらの
距離センサ7a、7bは、回転台2の回転角φに対して
円筒状コード板1の円筒壁内周面までの距離S工、S2
を非接触で検出するもので、計測中心Aについて距離a
をあけて上下対称に配置されている。
さらに、8は各距離センサ7a、7bからの信号を変換
して出力する変換器、9は距離センサ7a、7bからの
検出結果(実際には変換器8からの出力)に基づいて回
転台2の回転軸心に対する円筒状コード板1の回転軸心
のずれδX、δVおよび傾きθX、θVを後述する演算
式にて演算する演算部、10は演算部9からの演算結果
に基づいてステージ3,4およびゴニオメータ5.6を
制御し円筒状コード板1の回転軸心と回転台2の回転軸
心とを自動的に一致させる制御部である。
して出力する変換器、9は距離センサ7a、7bからの
検出結果(実際には変換器8からの出力)に基づいて回
転台2の回転軸心に対する円筒状コード板1の回転軸心
のずれδX、δVおよび傾きθX、θVを後述する演算
式にて演算する演算部、10は演算部9からの演算結果
に基づいてステージ3,4およびゴニオメータ5.6を
制御し円筒状コード板1の回転軸心と回転台2の回転軸
心とを自動的に一致させる制御部である。
ここで、ゴニオメータ5,6は、例えば、摩擦およびガ
タをもたない切欠ばねや、圧電素子もしくはマイクロメ
ータヘッド等のアクチュエータを用いて構成する。
タをもたない切欠ばねや、圧電素子もしくはマイクロメ
ータヘッド等のアクチュエータを用いて構成する。
上述の構成の装置により、本発明の方法を実施する際に
は、第2図に示すごとくコード板1と一体的に形成され
た回転軸1aを、回転駆動機構16の回転台2に取り付
けてから、まず、回転軸心調整機構17により次のよう
にして軸心*Uを行なう。つまり、第3図に示すように
、距離センサ7a、7bにより、各センサ7a、7bが
らコード板1の円筒壁内周面までの距離S1.S2を、
回転台2の回転角φに対して非接触で検出する。このと
き、各距離センサ7a、7bの測定値S t tS2は
1回転台2の回転角φに対し、円筒状コード板1の回転
軸心のずれδX、δVおよび傾きθ、。
は、第2図に示すごとくコード板1と一体的に形成され
た回転軸1aを、回転駆動機構16の回転台2に取り付
けてから、まず、回転軸心調整機構17により次のよう
にして軸心*Uを行なう。つまり、第3図に示すように
、距離センサ7a、7bにより、各センサ7a、7bが
らコード板1の円筒壁内周面までの距離S1.S2を、
回転台2の回転角φに対して非接触で検出する。このと
き、各距離センサ7a、7bの測定値S t tS2は
1回転台2の回転角φに対し、円筒状コード板1の回転
軸心のずれδX、δVおよび傾きθ、。
θYに応じて下表のようになる。
ここで、Δ0.Δ2は距離センサ7a、7b数設定の距
離、γx= (a /2)sinθX、γv= (a
/2)sinθV、φは観測点をX軸方向にとった時を
基準とした回転台2の回転角である。
離、γx= (a /2)sinθX、γv= (a
/2)sinθV、φは観測点をX軸方向にとった時を
基準とした回転台2の回転角である。
上記表の関係より、コード板1の回転軸心のずれδX、
δVおよび傾きθス、θYは、距離センサ7a、7bか
らの検出結果S、、S2に基づき下式により演算部10
において演算される。
δVおよび傾きθス、θYは、距離センサ7a、7bか
らの検出結果S、、S2に基づき下式により演算部10
において演算される。
δ)(=((St”Sz)。−(S 、+ S 、)、
1.)/ 4δv=((S□+S 、)、、−(S 、
+ S 、)、□。)/4θx:sin [((S、
−8−)。−(S、−8−)、−a)/(2a)]θy
:”sin [((St−8s)so−(St−8
t)ate)/(2a)コ上式中、()に付された添字
は距離S工ts2検出時の回転台2の回転角φを示す。
1.)/ 4δv=((S□+S 、)、、−(S 、
+ S 、)、□。)/4θx:sin [((S、
−8−)。−(S、−8−)、−a)/(2a)]θy
:”sin [((St−8s)so−(St−8
t)ate)/(2a)コ上式中、()に付された添字
は距離S工ts2検出時の回転台2の回転角φを示す。
そして、制御部10により、演算部9からの演算結果に
基づいて回転軸心のずれδX、δYおよび傾きθX、θ
Yが0となるように、ステージ3,4およびゴニオメー
タ5,6が制御されて、コード板1が移動し、コード板
1の回転軸心と回転台2の回転軸心とが自動的に一致す
る。
基づいて回転軸心のずれδX、δYおよび傾きθX、θ
Yが0となるように、ステージ3,4およびゴニオメー
タ5,6が制御されて、コード板1が移動し、コード板
1の回転軸心と回転台2の回転軸心とが自動的に一致す
る。
このようにして、軸心調整を行なった後、コード板1を
回転駆動機構16により回転駆動しながら、コード板1
にレーザ光源11からのレーザビームを照射し、このレ
ーザビームを光スィッチ12によりオン/オフ制御する
とともにビーム偏向器13により走査制御することによ
り、コード板1の被露光材料面lb上にレーザ描画を行
なう。
回転駆動機構16により回転駆動しながら、コード板1
にレーザ光源11からのレーザビームを照射し、このレ
ーザビームを光スィッチ12によりオン/オフ制御する
とともにビーム偏向器13により走査制御することによ
り、コード板1の被露光材料面lb上にレーザ描画を行
なう。
このように、本実施例の方法によれば、非接触式の距離
センサ7a、7bの検出結果に基づきコード板lの回転
軸心のずれδX、δVや傾きθX。
センサ7a、7bの検出結果に基づきコード板lの回転
軸心のずれδX、δVや傾きθX。
θYが高精度で検出され、その検出結果によりコード板
1の回転軸心を自動的に調整できるので、コード板1の
偏心や傾きによる描画誤差が発生するのを防止できるほ
か、回転軸1aがコード板1と一体的に形成されている
ので、レーザ描画時のコード板1の回転軸心とエンコー
ダ内の設置時の回転軸心とを一致させることができて、
高精度かつ高分解能のエンコーダを実現できるのである
。
1の回転軸心を自動的に調整できるので、コード板1の
偏心や傾きによる描画誤差が発生するのを防止できるほ
か、回転軸1aがコード板1と一体的に形成されている
ので、レーザ描画時のコード板1の回転軸心とエンコー
ダ内の設置時の回転軸心とを一致させることができて、
高精度かつ高分解能のエンコーダを実現できるのである
。
[発明の効果]
以上詳述したように、本発明のロータリエンコーダ用コ
ード板のレーザ描画方法によれば、コード板とその回転
軸とを予め一体的に形成しておき。
ード板のレーザ描画方法によれば、コード板とその回転
軸とを予め一体的に形成しておき。
回転軸心調整機構によりコード板の回転軸心を自動的に
調整するように構成したので、コード板の偏心や傾きに
よる描画誤差が発生するのを防止できるほか、レーザ描
画時のコード板の回転軸心とエンコーダ内の設置時の回
転軸心とを一致させることができ、高精度かつ高分解能
のエンコーダを実現できる効果がある。
調整するように構成したので、コード板の偏心や傾きに
よる描画誤差が発生するのを防止できるほか、レーザ描
画時のコード板の回転軸心とエンコーダ内の設置時の回
転軸心とを一致させることができ、高精度かつ高分解能
のエンコーダを実現できる効果がある。
第1〜3図は本発明の一実施例としてのロータリエンコ
ーダ用コード板のレーザ描画方法を示すもので、第1図
は本実施例の方法を適用された装置の構成を示すブロッ
ク図、第2図はそのコード板の例を示す縦断図、第3図
はその回転軸心調整機構の構成を示す図であり、第4図
(a)〜(c)および第5図(a)、(b)はいずれも
従来のロータリエンコーダ用コード板のレーザ描画手段
を説明するための図である。 図において、1− ロータリエンコーダ用コード板、l
a−回転軸、lb−被露光材料面、2−回転台(回転駆
動機構)、3−Vステージ、4−xステージ、5−xゴ
ニオメータ、6−7ゴニオメータ、7a、7b−距離セ
ンサ、8−変換器−9−演算部、1〇−制御部、11−
レーザ光源、12−光スィッチ、13−ビーム偏向器(
走査ミラー)。 14−結像レンズ、15− ミラー、16−回転駆動機
構、17−回転軸心調整機構。
ーダ用コード板のレーザ描画方法を示すもので、第1図
は本実施例の方法を適用された装置の構成を示すブロッ
ク図、第2図はそのコード板の例を示す縦断図、第3図
はその回転軸心調整機構の構成を示す図であり、第4図
(a)〜(c)および第5図(a)、(b)はいずれも
従来のロータリエンコーダ用コード板のレーザ描画手段
を説明するための図である。 図において、1− ロータリエンコーダ用コード板、l
a−回転軸、lb−被露光材料面、2−回転台(回転駆
動機構)、3−Vステージ、4−xステージ、5−xゴ
ニオメータ、6−7ゴニオメータ、7a、7b−距離セ
ンサ、8−変換器−9−演算部、1〇−制御部、11−
レーザ光源、12−光スィッチ、13−ビーム偏向器(
走査ミラー)。 14−結像レンズ、15− ミラー、16−回転駆動機
構、17−回転軸心調整機構。
Claims (1)
- ロータリエンコーダ用コード板を回転駆動機構により回
転駆動しながら、前記コード板にレーザ光源からのレー
ザビームを照射し、前記レーザビームをオン/オフ制御
および走査制御することにより前記コード板上にレーザ
描画を行なうロータリエンコーダ用コード板のレーザ描
画方法において、前記コード板の回転軸心と前記回転駆
動機構の回転軸心とを自動的に一致させうる回転軸心調
整機構を前記回転駆動機構に予めそなえるとともに、前
記コード板をその回転軸と予め一体的に形成しておき、
前記コード板上にレーザ描画を行なう際には、前記コー
ド板の回転軸を介して前記コード板を前記回転駆動機構
に取り付けてから、前記回転軸心調整機構により、前記
コード板の回転軸心と前記回転駆動機構の回転軸心との
調整を行なうことを特徴とするロータリエンコーダ用コ
ード板のレーザ描画方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6429390A JPH03267718A (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | ロータリエンコーダ用コード板のレーザ描画方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6429390A JPH03267718A (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | ロータリエンコーダ用コード板のレーザ描画方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03267718A true JPH03267718A (ja) | 1991-11-28 |
Family
ID=13254046
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6429390A Pending JPH03267718A (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | ロータリエンコーダ用コード板のレーザ描画方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03267718A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016510127A (ja) * | 2013-03-10 | 2016-04-04 | カール ホッヘ,ランドルフ | 要素、特に角度測定システムの要素に構造を付加する方法 |
-
1990
- 1990-03-16 JP JP6429390A patent/JPH03267718A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016510127A (ja) * | 2013-03-10 | 2016-04-04 | カール ホッヘ,ランドルフ | 要素、特に角度測定システムの要素に構造を付加する方法 |
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