JPH03177361A - β―サイアロン―窒化硼素系複合焼結体の製造方法 - Google Patents
β―サイアロン―窒化硼素系複合焼結体の製造方法Info
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、β−サイアロン粉末と窒化硼素粉末を出発原
料とするβ−サイアロン−窒化硼素系複合焼結体の製造
方法に関する。
料とするβ−サイアロン−窒化硼素系複合焼結体の製造
方法に関する。
(従来技術及びその問題点)
β−サイアロンはβ型窒化珪素中のSt位置をANで、
N位置をOで一部置換固溶した式S 16−gA 12
0xNs−g (1:1(式中、2はO<z≦4.
2を満足する数である。)で表される物質である。β−
サイアロン焼結体は窒化珪素焼結体に比較して、耐酸化
性、溶融金属に対する耐蝕性、高温での機械的特性が優
れており、高温機械材料として注目されている。
N位置をOで一部置換固溶した式S 16−gA 12
0xNs−g (1:1(式中、2はO<z≦4.
2を満足する数である。)で表される物質である。β−
サイアロン焼結体は窒化珪素焼結体に比較して、耐酸化
性、溶融金属に対する耐蝕性、高温での機械的特性が優
れており、高温機械材料として注目されている。
このようなβ−サイアロンの有する優れた特性に六方晶
窒化硼素の有する耐熱衝撃性、切削加工性、潤滑離型性
、耐蝕性等の特性を付与したβサイアロン−窒化硼素系
複合焼結体が開発されている。このような複合材料の用
途としては、溶融金属耐蝕材料、連続鋳造用耐火物、耐
酸化性部材等がある。
窒化硼素の有する耐熱衝撃性、切削加工性、潤滑離型性
、耐蝕性等の特性を付与したβサイアロン−窒化硼素系
複合焼結体が開発されている。このような複合材料の用
途としては、溶融金属耐蝕材料、連続鋳造用耐火物、耐
酸化性部材等がある。
従来、β−サイアロン−窒化硼素系複合焼結体の製造方
法としては、特開昭60−145963号公報には、ケ
イ素とアルミニウムの混合粉末に酸素供給源として、ア
ルミナ又はシリカもしくは両方の酸化物と窒化硼素粉末
を配合し、窒素雰囲気下において窒化反応焼結する方法
が、特開昭60−202869号公報には、β−サイア
ロン組成となるようなSi3N4、Al2O3、AlN
粉末とBN粉末を混合して常圧焼結する方法が提案され
ている。
法としては、特開昭60−145963号公報には、ケ
イ素とアルミニウムの混合粉末に酸素供給源として、ア
ルミナ又はシリカもしくは両方の酸化物と窒化硼素粉末
を配合し、窒素雰囲気下において窒化反応焼結する方法
が、特開昭60−202869号公報には、β−サイア
ロン組成となるようなSi3N4、Al2O3、AlN
粉末とBN粉末を混合して常圧焼結する方法が提案され
ている。
しかし、前者の方法では高密度の焼結体が得られず、機
械的強度が不十分であった。一方、後者の方法ではサイ
アロン相の生成と焼結を同時に行うため、焼結体が不均
質となり、これが得られる焼結体の特性が十分に発現し
ない原因となっていた。
械的強度が不十分であった。一方、後者の方法ではサイ
アロン相の生成と焼結を同時に行うため、焼結体が不均
質となり、これが得られる焼結体の特性が十分に発現し
ない原因となっていた。
また、従来の窒化珪素−窒化硼素系複合焼結体は、溶鋼
に対する耐蝕性に劣り、また焼結助剤を使用するため、
高温における曲げ強度が著しく低下するという欠点があ
った。
に対する耐蝕性に劣り、また焼結助剤を使用するため、
高温における曲げ強度が著しく低下するという欠点があ
った。
(発明の目的)
本発明の目的は、前記問題点を解決し、高強度かつ耐熱
衝撃性、耐蝕性、離型性に優れたβ−サイアロン−窒化
硼素系複合焼結体の製造方法を提供することである。
衝撃性、耐蝕性、離型性に優れたβ−サイアロン−窒化
硼素系複合焼結体の製造方法を提供することである。
(発明の要旨)
本発明によれば、前記式CI)で表されるβ−サイアロ
ンを主たる結晶相とするβ−サイアロン粉末90〜54
重量部、窒化硼素粉末l0〜40重量部、及びAffi
、Mg、Ca、Y及びランタニド系元素からなる群から
選ばれる少なくとも一種の金属の酸化物0〜10重量部
を混合し、所望の形状に成形した後、窒素含有雰囲気中
で、1600〜2000 ’Cの範囲の温度で常圧又は
加圧下に焼結することを特徴とするβ−サイアロン−窒
化硼素系複合焼結体の製造方法が提供される。
ンを主たる結晶相とするβ−サイアロン粉末90〜54
重量部、窒化硼素粉末l0〜40重量部、及びAffi
、Mg、Ca、Y及びランタニド系元素からなる群から
選ばれる少なくとも一種の金属の酸化物0〜10重量部
を混合し、所望の形状に成形した後、窒素含有雰囲気中
で、1600〜2000 ’Cの範囲の温度で常圧又は
加圧下に焼結することを特徴とするβ−サイアロン−窒
化硼素系複合焼結体の製造方法が提供される。
(発明の詳細な説明)
本発明のβ−サイアロン粉末としては、式C1)で表さ
れるβ−サイアロンを主たる結晶相とする粉末であれば
いかなる粉末でも良いが、本出願人の一人が先に提案し
た特開昭62−72507号の発明に従って調製した粉
末が好適である。この提案の方法は、 (a)非晶質窒化珪素粉末、 (b)珪素又はアルミニウムの酸素含有化合物、及び (C)金属アルミニウム、窒化アルミニウム又は珪素 を所望のβ−サイアロンm威になるように混合し、混合
物を窒素含有雰囲気下に1300〜1800℃の範囲の
温度に加熱することにより、β−サイアロン粉末を製造
する方法である。この方法で得られるβ−サイアロン粉
末は、−炭粒子の大きさが0.2〜2μmの微細かつ均
一粒度の粉末であって、遊離炭素及び金属不純物を殆ど
含有しないので、焼結性がよく、ボイドや異常粒成長の
ない焼結体を与える原料粉末として好適である。
れるβ−サイアロンを主たる結晶相とする粉末であれば
いかなる粉末でも良いが、本出願人の一人が先に提案し
た特開昭62−72507号の発明に従って調製した粉
末が好適である。この提案の方法は、 (a)非晶質窒化珪素粉末、 (b)珪素又はアルミニウムの酸素含有化合物、及び (C)金属アルミニウム、窒化アルミニウム又は珪素 を所望のβ−サイアロンm威になるように混合し、混合
物を窒素含有雰囲気下に1300〜1800℃の範囲の
温度に加熱することにより、β−サイアロン粉末を製造
する方法である。この方法で得られるβ−サイアロン粉
末は、−炭粒子の大きさが0.2〜2μmの微細かつ均
一粒度の粉末であって、遊離炭素及び金属不純物を殆ど
含有しないので、焼結性がよく、ボイドや異常粒成長の
ない焼結体を与える原料粉末として好適である。
β−サイアロン粉末の焼結性を高めると同時に高強度の
β−サイアロン−窒化硼素系複合焼結体を得るためには
、焼結原料のβ−サイアロン粉末が式(Nで規定される
理論酸素量に対して8重量%以下の過剰酸素を含有して
いることが好ましい。
β−サイアロン−窒化硼素系複合焼結体を得るためには
、焼結原料のβ−サイアロン粉末が式(Nで規定される
理論酸素量に対して8重量%以下の過剰酸素を含有して
いることが好ましい。
β−サイアロン粉末に過剰の酸素を含有させる方法とし
ては、例えば、β−サイアロン粉末の調製段階で非晶質
窒化珪素に珪素又はアルミニウムの酸素含有化合物を過
剰量添加する方法、β−サイアロン粉末を酸素含有雰囲
気中で加熱する方法が採用される。後者の一例としては
、β−サイアロン粉末を酸素含有雰囲気中で800〜1
200℃の範囲の温度に加熱して、理論量より過剰の酸
素をβ−サイアロン粉末に含有させる方法が挙げられる
。加熱時間は通常0.5〜5時間である。この処理は、
例えばβ−サイアロン粉末を保持板上に薄く乗せて酸素
含有雰囲気中に放置する方法、β−サイアロン粉末を酸
素含有雰囲気中で流動化させる方法によって行うことが
できる。
ては、例えば、β−サイアロン粉末の調製段階で非晶質
窒化珪素に珪素又はアルミニウムの酸素含有化合物を過
剰量添加する方法、β−サイアロン粉末を酸素含有雰囲
気中で加熱する方法が採用される。後者の一例としては
、β−サイアロン粉末を酸素含有雰囲気中で800〜1
200℃の範囲の温度に加熱して、理論量より過剰の酸
素をβ−サイアロン粉末に含有させる方法が挙げられる
。加熱時間は通常0.5〜5時間である。この処理は、
例えばβ−サイアロン粉末を保持板上に薄く乗せて酸素
含有雰囲気中に放置する方法、β−サイアロン粉末を酸
素含有雰囲気中で流動化させる方法によって行うことが
できる。
過剰酸素量は8重量%以下、特に6.5重量%以下が好
ましい。過剰酸素量が過度に多いと焼結体中に融点の低
い相が多く残留し、高温での機械的特性が損なわれるよ
うになる。
ましい。過剰酸素量が過度に多いと焼結体中に融点の低
い相が多く残留し、高温での機械的特性が損なわれるよ
うになる。
また、本発明で用いられる六方晶窒化硼素粉末は、−次
粒子径が1μm以下のものが好ましい。
粒子径が1μm以下のものが好ましい。
−炭粒子径が1μmよりも大きいと複合焼結体のβ−サ
イアロンマトリックス中に窒化硼素粉末が均一に分散で
きないため、焼結体組織が不均一になり、高密度、高強
度のものが得られない。
イアロンマトリックス中に窒化硼素粉末が均一に分散で
きないため、焼結体組織が不均一になり、高密度、高強
度のものが得られない。
本発明においては、β−サイアロン粉末90〜54重量
部、窒化硼素粉末10〜40重量部、及びAf、Mg、
Ca5Y及びランタニド系元素からなる群から選ばれる
少なくとも一種の金属の酸化物0−10重量部を混合す
る。
部、窒化硼素粉末10〜40重量部、及びAf、Mg、
Ca5Y及びランタニド系元素からなる群から選ばれる
少なくとも一種の金属の酸化物0−10重量部を混合す
る。
β−サイアロン粉末が54重量部よりも少ないと、嵩密
度、曲げ強度、耐酸化性等が低下する。
度、曲げ強度、耐酸化性等が低下する。
また90重量部よりも多いと、耐熱衝撃性、切削加工性
が低下する。
が低下する。
また、本発明においては、Aj!、Mg、Ca。
Y及びランタニド系元素からなる群から選ばれる少なく
とも一種の金属の酸化物は使用しなくてもよいが、前記
金属の酸化物を10重量部以下、好ましくは1〜5重量
部配合することにより、焼結体の緻密化を促進すること
ができる。前記金属の酸化物が10重量部を超えると焼
結体のガラス相が多くなりすぎ、耐蝕性及び高温強度が
低下するので好ましくない。
とも一種の金属の酸化物は使用しなくてもよいが、前記
金属の酸化物を10重量部以下、好ましくは1〜5重量
部配合することにより、焼結体の緻密化を促進すること
ができる。前記金属の酸化物が10重量部を超えると焼
結体のガラス相が多くなりすぎ、耐蝕性及び高温強度が
低下するので好ましくない。
β−サイアロン粉末、窒化硼素粉末及び前記金属の酸化
物の混合方法については特に制限はなく、それ自体公知
の方法、例えば、両者を乾式混合する方法、溶媒中で両
者を湿式混合した後、溶媒を除去する方法等を適宜採用
することができる。混合装置としては■型混合機、ボー
ルミル等が便利に使用される。
物の混合方法については特に制限はなく、それ自体公知
の方法、例えば、両者を乾式混合する方法、溶媒中で両
者を湿式混合した後、溶媒を除去する方法等を適宜採用
することができる。混合装置としては■型混合機、ボー
ルミル等が便利に使用される。
混合粉末の加熱焼結は、例えば、混合粉末をそのまま乾
式あるいは湿式で所定の形状に成形し、湿式で成形した
場合は乾燥処理を行った後に、常圧又は加圧した窒素含
有ガス雰囲気下で焼結する方法、原料粉末を所定の形状
のダイスに充填し、ホットプレスする方法等を採用する
ことができる。
式あるいは湿式で所定の形状に成形し、湿式で成形した
場合は乾燥処理を行った後に、常圧又は加圧した窒素含
有ガス雰囲気下で焼結する方法、原料粉末を所定の形状
のダイスに充填し、ホットプレスする方法等を採用する
ことができる。
また上記方法で得られた焼結体をさらに熱間静水圧プレ
スすることにより、焼結体の物理的特性を一層高めるこ
ともできる。
スすることにより、焼結体の物理的特性を一層高めるこ
ともできる。
常圧又は加圧焼結に先立つ混合粉末の成形は公知の方法
、例えばラバープレス法、−軸成形法、鋳込成形法、射
出成形法、爆発圧縮成形法等によって行うことができる
。
、例えばラバープレス法、−軸成形法、鋳込成形法、射
出成形法、爆発圧縮成形法等によって行うことができる
。
焼結温度は通常1600〜2000℃であり、焼結時間
は通常0.5〜10時間である。焼結温度が過度に低い
と焼結が進行せず、また焼結温度が過度に高いと焼結体
に熱分解による組成変化が生じるようになる。
は通常0.5〜10時間である。焼結温度が過度に低い
と焼結が進行せず、また焼結温度が過度に高いと焼結体
に熱分解による組成変化が生じるようになる。
本発明により得られるβ−サイアロン−窒化硼素系複合
焼結体は、原料粉末としてβ−サイアロン粉末及び窒化
硼素粉末を用いるため、従来のようにβ−サイアロン組
組成なるような物質と窒化硼素粉末を混合して、β−サ
イアロン相の生成と焼結を同時に行うことにより得られ
る複合焼結体と比較して、異常粒成長がなく、β−サイ
アロンと六方晶窒化硼素とが均一かつ微細に分散し、室
温及び高温強度、耐熱衝撃性、耐蝕性、切削加工性に優
れたものとなる。
焼結体は、原料粉末としてβ−サイアロン粉末及び窒化
硼素粉末を用いるため、従来のようにβ−サイアロン組
組成なるような物質と窒化硼素粉末を混合して、β−サ
イアロン相の生成と焼結を同時に行うことにより得られ
る複合焼結体と比較して、異常粒成長がなく、β−サイ
アロンと六方晶窒化硼素とが均一かつ微細に分散し、室
温及び高温強度、耐熱衝撃性、耐蝕性、切削加工性に優
れたものとなる。
(発明の効果)
本発明で得られるβ−サイアロン−窒化硼素系複合焼結
体は、従来のβ−サイアロン−窒化硼素系複合焼結体及
び窒化珪素−窒化硼素系複合焼結体に比較して、組織が
微細で均一であり、室温及び高温曲げ強度、耐熱衝撃性
、耐蝕性及び切削加工性に優れているので、溶融金属耐
蝕部材、鋳造部品等に好適に使用することができる。
体は、従来のβ−サイアロン−窒化硼素系複合焼結体及
び窒化珪素−窒化硼素系複合焼結体に比較して、組織が
微細で均一であり、室温及び高温曲げ強度、耐熱衝撃性
、耐蝕性及び切削加工性に優れているので、溶融金属耐
蝕部材、鋳造部品等に好適に使用することができる。
(実施例)
以下に実施例及び比較例を示す。
実施例1〜4
シリコンジイミドを1200’Cで熱分解して得られた
非晶質窒化珪素粉末400g、r−アルミナ粉末121
.6g及び金属アルミニウム粉末50゜2gを窒素ガス
雰囲気下に振動ミルで1時間部合した。この混合粉末を
窒素ガス雰囲気中で1600℃に加熱することにより結
晶化させ、β−サイアロン粉末を得た。得られたβ−サ
イアロン粉末の特性を以下に示す。
非晶質窒化珪素粉末400g、r−アルミナ粉末121
.6g及び金属アルミニウム粉末50゜2gを窒素ガス
雰囲気下に振動ミルで1時間部合した。この混合粉末を
窒素ガス雰囲気中で1600℃に加熱することにより結
晶化させ、β−サイアロン粉末を得た。得られたβ−サ
イアロン粉末の特性を以下に示す。
理論組成 S 1aAi!、zozN6 (z=2)比
表面積 6.0ボ/g 粒 形 等軸結晶 生成相 β相〉90% 生成物組成(匈tχ) Si:38.2 A1:19.9 0:11.8
N:30.1上記β−サイアロン粉末、六方晶窒化硼素
粉末(−次粒子径:0.2μm、比表面積:45ボ/g
)及びY2O3を第1表に示す割合で、媒体としてエタ
ノールを用い48時間湿式ξリングした後、80″Cで
真空乾燥した。得られた原料粉末40gを80 X 4
4 mmの金型にて150 kg/cfflの圧力で一
軸プレスした後、圧力1500ラバープレスして成形棒
を得た。得られた成形棒を黒鉛ルツボに入れ、高周波誘
導炉にセットし、窒素ガス雰囲気下に1750℃で4時
間保持した。
表面積 6.0ボ/g 粒 形 等軸結晶 生成相 β相〉90% 生成物組成(匈tχ) Si:38.2 A1:19.9 0:11.8
N:30.1上記β−サイアロン粉末、六方晶窒化硼素
粉末(−次粒子径:0.2μm、比表面積:45ボ/g
)及びY2O3を第1表に示す割合で、媒体としてエタ
ノールを用い48時間湿式ξリングした後、80″Cで
真空乾燥した。得られた原料粉末40gを80 X 4
4 mmの金型にて150 kg/cfflの圧力で一
軸プレスした後、圧力1500ラバープレスして成形棒
を得た。得られた成形棒を黒鉛ルツボに入れ、高周波誘
導炉にセットし、窒素ガス雰囲気下に1750℃で4時
間保持した。
得られたβ−サイアロン−窒化硼素系複合焼結体の特性
を測定した結果を第1表に示す。
を測定した結果を第1表に示す。
実施例5
実施例3で得られた原料粉末40gを、75×40mm
の黒鉛ダイスに充填し、圧力250 kg/c+Il。
の黒鉛ダイスに充填し、圧力250 kg/c+Il。
温度1780″Cで2時間保持してホットプレスして、
β−サイアロン−窒化硼素系複合焼結体を得た。
β−サイアロン−窒化硼素系複合焼結体を得た。
得られたβ−サイアロン−窒化硼素系複合焼結体の特性
を測定した結果を第1表に示す。
を測定した結果を第1表に示す。
比較例1
窒化硼素粉末を配合しなかったほかは、実施例1〜4と
同様にしてβ−サイアロン系焼結体を得た。
同様にしてβ−サイアロン系焼結体を得た。
得られたβ−サイアロン系焼結体の特性を測定した結果
を第1表に示す。
を第1表に示す。
比較例2
Si3N、、八1□03、AfN粉末をβ−サイアロン
組成(SiaA12zO□N6)となる割合に配合した
わ〕未78.8重量部と大方晶窒化硼素粉末20重量部
及びY、031.2重量部を、媒体としてエタノールを
用い48時間湿式ミリングした後、80℃で真空乾燥し
た。得られた混合粉末を用いて実施例1〜4と同様にし
て成形及び焼結を行い、β−サイアロン−窒化硼素系複
合焼結体を得た。
組成(SiaA12zO□N6)となる割合に配合した
わ〕未78.8重量部と大方晶窒化硼素粉末20重量部
及びY、031.2重量部を、媒体としてエタノールを
用い48時間湿式ミリングした後、80℃で真空乾燥し
た。得られた混合粉末を用いて実施例1〜4と同様にし
て成形及び焼結を行い、β−サイアロン−窒化硼素系複
合焼結体を得た。
得られたβ−サイアロン−窒化硼素系複合焼結体の特性
を測定した結果を第1表に示す。
を測定した結果を第1表に示す。
比較例3
比較例2で得られた原料粉末40gを用い、実施例5と
同様にホットプレスして、β−サイアロン−窒化硼素系
複合焼結体を得た。
同様にホットプレスして、β−サイアロン−窒化硼素系
複合焼結体を得た。
得られたβ−サイアロン−窒化硼素系複合焼結体の特性
を測定した結果を第1表に示す。
を測定した結果を第1表に示す。
尚、第1表において各物性値は次の方法により測定した
。
。
(1)相対密度:焼結体嵩密度をアルキメデス法により
求め次式により算出した。
求め次式により算出した。
(3)曲げ強度: JIS R−1601に規定された
測定法により測定した。
測定法により測定した。
(4)耐熱衝撃値:焼結体を3X4X40閣に加工し所
定の温度で15分保持後25℃ の水中で急冷した。急冷後のサン プルの3点曲げ強度を測定し、室 温強度の劣化し始める臨界温度差 を耐熱衝撃値ΔTとした。
定の温度で15分保持後25℃ の水中で急冷した。急冷後のサン プルの3点曲げ強度を測定し、室 温強度の劣化し始める臨界温度差 を耐熱衝撃値ΔTとした。
(5)切削加工性:超硬バイ
トを使用し、
旋盤加工に
より測定した。
Claims (1)
- (1)式Si_6_−_zAl_zO_zN_8_−_
z(式中、zは0<z≦4.2を満足する数である。)
で表されるβ−サイアロンを主たる結晶相とするβ−サ
イアロン粉末90〜54重量部、窒化硼素粉末01〜4
0重量部、及びAl、Mg、Ca、Y及びランタニド系
元素からなる群から選ばれる少なくとも一種の金属の酸
化物0〜10重量部を混合し、所望の形状に成形した後
、窒素含有雰囲気中で、1600〜2000℃の範囲の
温度で常圧又は加圧下に焼結することを特徴とするβ−
サイアロン−窒化硼素系複合焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1314220A JPH03177361A (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 | β―サイアロン―窒化硼素系複合焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1314220A JPH03177361A (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 | β―サイアロン―窒化硼素系複合焼結体の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03177361A true JPH03177361A (ja) | 1991-08-01 |
Family
ID=18050731
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1314220A Pending JPH03177361A (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 | β―サイアロン―窒化硼素系複合焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03177361A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008121046A (ja) * | 2006-11-09 | 2008-05-29 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度高密度立方晶窒化ホウ素系焼結体およびその製造方法 |
US7914886B2 (en) | 2003-08-21 | 2011-03-29 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Structural component comprising boron nitride agglomerated powder |
JP2012200729A (ja) * | 2011-03-23 | 2012-10-22 | Hitachi Metals Ltd | ガス吹込み用回転体 |
CN102807389A (zh) * | 2012-08-31 | 2012-12-05 | 哈尔滨工业大学 | 一种Si3N4-Si2N2O多孔复相陶瓷的制备方法 |
JP2018158863A (ja) * | 2017-03-22 | 2018-10-11 | デンカ株式会社 | 複合焼結体 |
-
1989
- 1989-12-05 JP JP1314220A patent/JPH03177361A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7914886B2 (en) | 2003-08-21 | 2011-03-29 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Structural component comprising boron nitride agglomerated powder |
US8169767B2 (en) | 2003-08-21 | 2012-05-01 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Boron nitride agglomerated powder and devices comprising the powder |
JP2008121046A (ja) * | 2006-11-09 | 2008-05-29 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度高密度立方晶窒化ホウ素系焼結体およびその製造方法 |
JP2012200729A (ja) * | 2011-03-23 | 2012-10-22 | Hitachi Metals Ltd | ガス吹込み用回転体 |
CN102807389A (zh) * | 2012-08-31 | 2012-12-05 | 哈尔滨工业大学 | 一种Si3N4-Si2N2O多孔复相陶瓷的制备方法 |
JP2018158863A (ja) * | 2017-03-22 | 2018-10-11 | デンカ株式会社 | 複合焼結体 |
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