JPH03134271A - 微量吐出装置 - Google Patents
微量吐出装置Info
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- JPH03134271A JPH03134271A JP26950289A JP26950289A JPH03134271A JP H03134271 A JPH03134271 A JP H03134271A JP 26950289 A JP26950289 A JP 26950289A JP 26950289 A JP26950289 A JP 26950289A JP H03134271 A JPH03134271 A JP H03134271A
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 10
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 3
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 101000860173 Myxococcus xanthus C-factor Proteins 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000010977 unit operation Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野J
本発明は、所定時間連続あるいは間欠的に流体を微量吐
出する携帯型の装置に関するものである。
出する携帯型の装置に関するものである。
〔従来の技術]
従来、微量吐出装置としては、第7図に示すように、電
磁アクチュエーター701を駆動力とし、これに大小の
歯車を組み合わせた伝動装置702を結合し、これによ
り注射筒をアーム704によって直接押すものが特開昭
54−12191および特公昭61−22599に提言
されている。
磁アクチュエーター701を駆動力とし、これに大小の
歯車を組み合わせた伝動装置702を結合し、これによ
り注射筒をアーム704によって直接押すものが特開昭
54−12191および特公昭61−22599に提言
されている。
[発明が解決しようとする課題]
ところが、これは電磁アクチュエータ品を利用している
ため、電mノイズに対して弱く、消費電流も太き(なる
、また歯車を用いているため、バックラッシュによる、
吐出量のばらつきが大きく、構造も複雑になる。さらに
注射筒を押しているため全体形状が大きくなり、携帯用
としては問題があった。本発明の目的は、電磁ノイズに
対して強く、携帯用として小さな電池が使えるよう消費
電流を少なく、かつ吐出精度のよい小型の携帯用微量吐
出装置を提供することにある。
ため、電mノイズに対して弱く、消費電流も太き(なる
、また歯車を用いているため、バックラッシュによる、
吐出量のばらつきが大きく、構造も複雑になる。さらに
注射筒を押しているため全体形状が大きくなり、携帯用
としては問題があった。本発明の目的は、電磁ノイズに
対して強く、携帯用として小さな電池が使えるよう消費
電流を少なく、かつ吐出精度のよい小型の携帯用微量吐
出装置を提供することにある。
1課題を解決するための手段〕
本発明の微量吐出装置は少なくとも、セラミッり系また
は有機系、の圧電素子を有するポンプユニットと前記ポ
ンプユニットを作動させるための集積回路、前記集積回
路を動かすための電源から構成されることを特徴とする
。
は有機系、の圧電素子を有するポンプユニットと前記ポ
ンプユニットを作動させるための集積回路、前記集積回
路を動かすための電源から構成されることを特徴とする
。
[作 用]
本発明の上記構成によれば、集積回路からの駆動信号に
より、圧電素子に駆動パルス電圧が印加され、圧電素子
はラジアル方向への伸縮を行う。
より、圧電素子に駆動パルス電圧が印加され、圧電素子
はラジアル方向への伸縮を行う。
よって前記圧電素子が貼りつけらでいる振動板は上下に
振動し、この運動によりタンク内の流体はポンプユニッ
ト内へ吸入され、そして吐出口より吐出されるよう作用
する。
振動し、この運動によりタンク内の流体はポンプユニッ
ト内へ吸入され、そして吐出口より吐出されるよう作用
する。
[実 施 例]
次に本発明の詳細について図面を参照して説明する。第
1図は本発明による微量吐出装置の一実施例である。
1図は本発明による微量吐出装置の一実施例である。
本発明による微量吐出装置は圧電素子、振動板、逆上弁
、および吸入口、吐出口、流路を有する本体などからな
るポンプユニット101、ポンプユニット101を作動
させるための集積回路102、前記集積回路102、昇
圧コイル、コンデンサーなどの電気素子類、基板などか
らなる回路ブロック103、電源としての電池104、
外部操作スイッチ105、タンク106.ケース107
および表示体108から構成される。
、および吸入口、吐出口、流路を有する本体などからな
るポンプユニット101、ポンプユニット101を作動
させるための集積回路102、前記集積回路102、昇
圧コイル、コンデンサーなどの電気素子類、基板などか
らなる回路ブロック103、電源としての電池104、
外部操作スイッチ105、タンク106.ケース107
および表示体108から構成される。
第2図は、前記ポンプユニット101の詳細図である。
第一の圧電素子201、第二の圧電素子214であり、
前記2枚の圧電素子の分極方向は異なるようにはりつけ
られており、電極用金属板202、振動板203、吸入
逆止弁204、吐出逆止弁205、そして吸入口206
、吐出口207、吸入弁室208、吐出弁室209を有
する八本体210、そして加圧室211、前記加圧室と
弁室との吸入孔212、吐出孔213を有するB本体2
14より構成される。B本体214は逆止弁204.2
05を組み込まれた八本体210及び、圧電素子201
、電極用金属板202を貼りつけた振動板203と超音
波溶着または接着剤等により組み立てられる。
前記2枚の圧電素子の分極方向は異なるようにはりつけ
られており、電極用金属板202、振動板203、吸入
逆止弁204、吐出逆止弁205、そして吸入口206
、吐出口207、吸入弁室208、吐出弁室209を有
する八本体210、そして加圧室211、前記加圧室と
弁室との吸入孔212、吐出孔213を有するB本体2
14より構成される。B本体214は逆止弁204.2
05を組み込まれた八本体210及び、圧電素子201
、電極用金属板202を貼りつけた振動板203と超音
波溶着または接着剤等により組み立てられる。
第3図は本発明の回路ブロック図の一実施例である。3
01はリチウム電池の電源、302は昇圧回路、303
はCPU、304は低電圧の信号を高電圧の信号に変換
するレベルシフタ。305は306の圧電素子を駆動す
るドライバーである。307はポンプの流量等を表示す
る表示装置、308は流量等を選択するスイッチである
。
01はリチウム電池の電源、302は昇圧回路、303
はCPU、304は低電圧の信号を高電圧の信号に変換
するレベルシフタ。305は306の圧電素子を駆動す
るドライバーである。307はポンプの流量等を表示す
る表示装置、308は流量等を選択するスイッチである
。
前記308のスイッチにより流量を選択し、CPU30
3からのポンプ駆動信号が出力される。CPUの信号は
一般的に3から5ボルトの電圧で動作しており、また圧
電素子は50ボルト等の高電圧で動作させる。そこで、
302の昇圧回路で3ボルトの電圧を50ボルトに昇圧
し、レベルシフタ304によってCPUからの信号を5
0ボルトの信号に変換する。
3からのポンプ駆動信号が出力される。CPUの信号は
一般的に3から5ボルトの電圧で動作しており、また圧
電素子は50ボルト等の高電圧で動作させる。そこで、
302の昇圧回路で3ボルトの電圧を50ボルトに昇圧
し、レベルシフタ304によってCPUからの信号を5
0ボルトの信号に変換する。
第4図(a)は−殻内なチョッパ型昇圧回路の一実施例
である。401.402が入力端子、403.404が
出力端子である。端子401.403は共通電極Vdd
となっている。402は一3ボルト等の低電圧VssL
、404は一50ボルト等の高電圧Vsshである。4
05は昇圧コイル、406は第一のスイッチング素子、
407は第一のスイッチング素子406のオン・オフの
制御をする制御回路、408は帰還回路で抵抗409と
410で構成されている。411は出力を平滑する平滑
コンデンサ、415は逆流防止ダイオード、412は直
流入力、413は直流出力、414はスイッチング素子
406を制御する制御信号である。制御信号414によ
りスイッチング素子406がオンすると、直流人力41
2がら供給された電流は昇圧コイル405とスイッチン
グ素子406を通して流れはじめ、時間と共に増加して
いき、流れる電流値の2乗に比例するエネルギーが昇圧
コイル405に蓄積される。次にスイッチング素子40
6がオフすると、昇圧コイル405に蓄積されたエネル
ギーは、逆流防止ダイオード415を通じて、平滑コン
デンサ411に蓄積される。ここで逆流防止ダイオード
415は、スイッチング素子406がオンした時に、平
滑コンデンサ411に蓄積された電荷が、スイッチング
素子406を通じて逃げるのを防止している。
である。401.402が入力端子、403.404が
出力端子である。端子401.403は共通電極Vdd
となっている。402は一3ボルト等の低電圧VssL
、404は一50ボルト等の高電圧Vsshである。4
05は昇圧コイル、406は第一のスイッチング素子、
407は第一のスイッチング素子406のオン・オフの
制御をする制御回路、408は帰還回路で抵抗409と
410で構成されている。411は出力を平滑する平滑
コンデンサ、415は逆流防止ダイオード、412は直
流入力、413は直流出力、414はスイッチング素子
406を制御する制御信号である。制御信号414によ
りスイッチング素子406がオンすると、直流人力41
2がら供給された電流は昇圧コイル405とスイッチン
グ素子406を通して流れはじめ、時間と共に増加して
いき、流れる電流値の2乗に比例するエネルギーが昇圧
コイル405に蓄積される。次にスイッチング素子40
6がオフすると、昇圧コイル405に蓄積されたエネル
ギーは、逆流防止ダイオード415を通じて、平滑コン
デンサ411に蓄積される。ここで逆流防止ダイオード
415は、スイッチング素子406がオンした時に、平
滑コンデンサ411に蓄積された電荷が、スイッチング
素子406を通じて逃げるのを防止している。
直流出力413は、抵抗409,410で構成される帰
還回路408で分圧されて制御回路407に送られ、そ
の値は制御回路407の内部の基準電圧と比較される。
還回路408で分圧されて制御回路407に送られ、そ
の値は制御回路407の内部の基準電圧と比較される。
制御回路407が比較結果を元に制御信号414を切り
替えてスイッチング素子406のオン・オフを制御して
直流出力413が一定値となるようにしている。
替えてスイッチング素子406のオン・オフを制御して
直流出力413が一定値となるようにしている。
第4図(b)はレベルシフタ回路の一例である。421
ハ信号人力Vir+7’あ1)Vdd、Vsslレベ
ルの信号が人力され、422は信号出力vOであり、V
dd、Vsshレベルの信号が出力される。423はイ
ンバーター、424はVdd、425はVssh、42
6.427はPチャンネルのFET、428.429は
NチャンネルのFETである。421にVddレベルの
信号が入力された場合、トランジスタ427.428は
オンし、トランジスタ426,429はオフする。よっ
て出力422にはVddが出力される。
ハ信号人力Vir+7’あ1)Vdd、Vsslレベ
ルの信号が人力され、422は信号出力vOであり、V
dd、Vsshレベルの信号が出力される。423はイ
ンバーター、424はVdd、425はVssh、42
6.427はPチャンネルのFET、428.429は
NチャンネルのFETである。421にVddレベルの
信号が入力された場合、トランジスタ427.428は
オンし、トランジスタ426,429はオフする。よっ
て出力422にはVddが出力される。
またVin421にVsslレベルの信号が加えられた
ときには、トランジスタ426,429がオンし、トラ
ンジスタ427,428はオフし、出力422にはVs
shレベルの信号が出力される。
ときには、トランジスタ426,429がオンし、トラ
ンジスタ427,428はオフし、出力422にはVs
shレベルの信号が出力される。
第4図(C)はドライバ回路の一例である。440は入
力信号Vin、441はインパーク、442.443は
レベルシフタ、444.446はPチャンネルのトラン
ジスタ、445.447はNチャンネルのトランジスタ
、449は圧電素子であり、450.451は圧電素子
449の電極である。440にVddレベルの信号が印
加されたときには、トランジスタ444,447がオフ
し、トランジスタ445,446がオンするので、電極
450にはVs s h、電極451にはVddの電圧
が印加される。また440にVsslの信号が印加され
たときには、同様に電極450にはVdd、電極451
にはVsshの電圧が印加され、圧電素子を駆動する。
力信号Vin、441はインパーク、442.443は
レベルシフタ、444.446はPチャンネルのトラン
ジスタ、445.447はNチャンネルのトランジスタ
、449は圧電素子であり、450.451は圧電素子
449の電極である。440にVddレベルの信号が印
加されたときには、トランジスタ444,447がオフ
し、トランジスタ445,446がオンするので、電極
450にはVs s h、電極451にはVddの電圧
が印加される。また440にVsslの信号が印加され
たときには、同様に電極450にはVdd、電極451
にはVsshの電圧が印加され、圧電素子を駆動する。
第5図は、ポンプユニットの動作について示す。第5図
(a)にポンプユニットを示す。5゜lは第一の圧電素
子、517は第2の圧電素子、502は電極用金属板、
振動板516.吸入逆止弁503、吐出逆止弁504、
そして、吸入口505、吐出口506、吸入弁室507
、吐出弁室508を有する八本体509、そして加圧室
510、前記加圧室と弁室との吸入孔511、吐出孔5
12を有するB本体513より構成され、加圧室510
、弁室507.508には液体が充填されている。第一
の圧電素子501の上面の電極が514、第2の圧電素
子517の上面の電極が518、下面の電極が515で
あり、前記2枚の圧電素子の分極方向は異なるとし、電
極514にVdd、電極515と518にVsshの電
圧が印加されたときにはラジアル方向に収縮するとする
。また、電極514.515.518はそれぞれ第4図
(c)の端子451,450に対応する。第6図に第5
図のポンプユニットの駆動波形を示す。第6図(a)は
第3図のCPU303から出力される駆動波形であり、
第6図(b)、第5図の端子514は第6図(b)、端
子515、端子518は第6図(c)に対応する。第6
図の601の期間には514にVdd、515.518
にVsshの電圧が印加され、第一の圧電素子501、
第2の圧電素子517は共にラジアル方向に収縮するの
で、振動板516は第5図(b)のように下に凸に変位
する。すると加圧室510に充填されている液体は、加
圧され吐出逆止弁504を押し下げ、吐出口506へ液
体を移動させ、また吸入逆止弁503があるため、加圧
室510から吸入口505への液体の逆流はない。次に
、第6図の602の期間には電極514にVssh、電
極515.518にVddが印加され、第一の圧電素子
501、第二の圧電素子517は共にラジアル方向に伸
張するので、振動板516は第5図(C)のように上に
凸に変位する。すると加圧室510に充填されている液
体は、減圧され吸入逆止弁503を押し上げ、吸入口5
05から加圧室510へと液体を移動させる。また吐出
逆上弁504があるため、加圧室510から吐出口50
6への液体の移動はない。以上第5図(b)、(C)の
動作を繰り返すことにより、吸入口505から吐出口5
06へと液体を移動させることが可能となる。
(a)にポンプユニットを示す。5゜lは第一の圧電素
子、517は第2の圧電素子、502は電極用金属板、
振動板516.吸入逆止弁503、吐出逆止弁504、
そして、吸入口505、吐出口506、吸入弁室507
、吐出弁室508を有する八本体509、そして加圧室
510、前記加圧室と弁室との吸入孔511、吐出孔5
12を有するB本体513より構成され、加圧室510
、弁室507.508には液体が充填されている。第一
の圧電素子501の上面の電極が514、第2の圧電素
子517の上面の電極が518、下面の電極が515で
あり、前記2枚の圧電素子の分極方向は異なるとし、電
極514にVdd、電極515と518にVsshの電
圧が印加されたときにはラジアル方向に収縮するとする
。また、電極514.515.518はそれぞれ第4図
(c)の端子451,450に対応する。第6図に第5
図のポンプユニットの駆動波形を示す。第6図(a)は
第3図のCPU303から出力される駆動波形であり、
第6図(b)、第5図の端子514は第6図(b)、端
子515、端子518は第6図(c)に対応する。第6
図の601の期間には514にVdd、515.518
にVsshの電圧が印加され、第一の圧電素子501、
第2の圧電素子517は共にラジアル方向に収縮するの
で、振動板516は第5図(b)のように下に凸に変位
する。すると加圧室510に充填されている液体は、加
圧され吐出逆止弁504を押し下げ、吐出口506へ液
体を移動させ、また吸入逆止弁503があるため、加圧
室510から吸入口505への液体の逆流はない。次に
、第6図の602の期間には電極514にVssh、電
極515.518にVddが印加され、第一の圧電素子
501、第二の圧電素子517は共にラジアル方向に伸
張するので、振動板516は第5図(C)のように上に
凸に変位する。すると加圧室510に充填されている液
体は、減圧され吸入逆止弁503を押し上げ、吸入口5
05から加圧室510へと液体を移動させる。また吐出
逆上弁504があるため、加圧室510から吐出口50
6への液体の移動はない。以上第5図(b)、(C)の
動作を繰り返すことにより、吸入口505から吐出口5
06へと液体を移動させることが可能となる。
第8図には、流量と背圧の関係のグラフを示す。横軸は
背圧で縦軸は流量である。801は圧電素子を1枚のみ
用いたモノモルフ圧電素子の場合のポンプユニットの場
合のグラフであり、802は第2図に述べた構造のポン
プユニットのグラフである。−射的に背圧が高くなると
振動板の変位量が小さくなるため流量が減るが、圧電素
子を2枚用いるバイモルフ圧電素子を用いることにより
同じ材料のモノモルフ圧電素子と比較して、圧電素子の
厚みがモノモルフの厚みとすれば、1枚当り半分の厚み
になるので容量は倍になり、それが2枚並列になってい
るので4倍の容量を持つことになるため、変位量がモノ
モルフに比べて大きくなる。それによってモノモルフの
場合と比べ流量が増え、またバイモルフの厚みを増せば
振動系の剛性が増すため背圧の影響を受けにくくなる。
背圧で縦軸は流量である。801は圧電素子を1枚のみ
用いたモノモルフ圧電素子の場合のポンプユニットの場
合のグラフであり、802は第2図に述べた構造のポン
プユニットのグラフである。−射的に背圧が高くなると
振動板の変位量が小さくなるため流量が減るが、圧電素
子を2枚用いるバイモルフ圧電素子を用いることにより
同じ材料のモノモルフ圧電素子と比較して、圧電素子の
厚みがモノモルフの厚みとすれば、1枚当り半分の厚み
になるので容量は倍になり、それが2枚並列になってい
るので4倍の容量を持つことになるため、変位量がモノ
モルフに比べて大きくなる。それによってモノモルフの
場合と比べ流量が増え、またバイモルフの厚みを増せば
振動系の剛性が増すため背圧の影響を受けにくくなる。
[発明の効果]
以上説明したように、微量吐出装置として、圧電素子を
用いたポンプを使用するため、電磁型アクチュエーター
を用いた吐出装置と比べ構成部品を少なくでき、小型化
が可能でありコストが低減でき、またタンクの形状が制
限されないため、吐出装置の形状の自由度が多くなる。
用いたポンプを使用するため、電磁型アクチュエーター
を用いた吐出装置と比べ構成部品を少なくでき、小型化
が可能でありコストが低減でき、またタンクの形状が制
限されないため、吐出装置の形状の自由度が多くなる。
また圧電素子は、電圧駆動によるアクチュエーターのた
め消費電流はμAのオーダーであるため消費電流を少な
くでき、リチウム電池等の電源においても電池寿命のな
がい携帯用微量吐出装置が可能となる。また電磁アクチ
ュエーターをもちいた微量吐出装置においては、1ステ
ツプ毎の流量は調整できないが、本微量吐出装置は圧電
素子を用いているため、電圧によって変位量つまり吐出
量が制御できるので、吐出量の周波数による制御と共に
、lステップ毎の流量の電圧制御ができ、吐出量の微量
調整が可能となる。そして、圧電素子は変位量がIum
以下での制御も可能であり電磁アクチュエーターを用い
た吐出装置と違い歯車によるバックラッシュが無いので
、例えば径が10mmの加圧室を用いるとすると体積に
換算して0.02μリツトルという非常に微小な量での
正確な制御が可能となる。また圧電素子は、磁界の影響
を受けないため、磁場が存在する状態においても電磁型
アクチュエーターのように誤動作することがなく安全性
の高い、微量吐出装置を提供できる。
め消費電流はμAのオーダーであるため消費電流を少な
くでき、リチウム電池等の電源においても電池寿命のな
がい携帯用微量吐出装置が可能となる。また電磁アクチ
ュエーターをもちいた微量吐出装置においては、1ステ
ツプ毎の流量は調整できないが、本微量吐出装置は圧電
素子を用いているため、電圧によって変位量つまり吐出
量が制御できるので、吐出量の周波数による制御と共に
、lステップ毎の流量の電圧制御ができ、吐出量の微量
調整が可能となる。そして、圧電素子は変位量がIum
以下での制御も可能であり電磁アクチュエーターを用い
た吐出装置と違い歯車によるバックラッシュが無いので
、例えば径が10mmの加圧室を用いるとすると体積に
換算して0.02μリツトルという非常に微小な量での
正確な制御が可能となる。また圧電素子は、磁界の影響
を受けないため、磁場が存在する状態においても電磁型
アクチュエーターのように誤動作することがなく安全性
の高い、微量吐出装置を提供できる。
また、2枚以上の圧電素子と振動板で構成されているた
め、第8図で述べたように1ステツプ流量の大きく、背
圧の影響を受けにくいポンプユニットを構成することが
でき、また、振動板の両面に圧電素子を貼る一般のバイ
モルフ振動板では片側の圧電素子が液体中にあるため、
腐食、導電雰囲気中ではショートしたり、接点が腐食し
たりするため用いることができないが、第2図のごと(
振動板の片面に圧電素子を貼り付けるため、前記加圧室
内の液体に圧電素子が接することがないため、前記加圧
室内が腐食あるいは導電雰囲気中であっても、ショート
あるいは接点が腐食することなしにポンプユニットを構
成することができポンプユニットの信頼性及び寿命を長
くすることが可能である。
め、第8図で述べたように1ステツプ流量の大きく、背
圧の影響を受けにくいポンプユニットを構成することが
でき、また、振動板の両面に圧電素子を貼る一般のバイ
モルフ振動板では片側の圧電素子が液体中にあるため、
腐食、導電雰囲気中ではショートしたり、接点が腐食し
たりするため用いることができないが、第2図のごと(
振動板の片面に圧電素子を貼り付けるため、前記加圧室
内の液体に圧電素子が接することがないため、前記加圧
室内が腐食あるいは導電雰囲気中であっても、ショート
あるいは接点が腐食することなしにポンプユニットを構
成することができポンプユニットの信頼性及び寿命を長
くすることが可能である。
第1図(a)(b)は本発明の微量吐出装置の一実施例
を示す図、 第2図はポンプユニットを示す図、 第3図は本発明の微量吐出装置の回路ブロック図、 第4図(a)は昇圧回路図、第4図(b)はレベルシフ
タ図、第4図(C)はドライバーの一例を示す図、 第5図(a)〜(C)はポンプユニットの動作説明図、 第6図はポンプユニットの駆動信号図、第7図は従来例
を示す図、 第8図はバイモルフ圧電素子とモノモルフ圧電素子を用
いた場合の背圧と流量の関係を示す図。 以上
を示す図、 第2図はポンプユニットを示す図、 第3図は本発明の微量吐出装置の回路ブロック図、 第4図(a)は昇圧回路図、第4図(b)はレベルシフ
タ図、第4図(C)はドライバーの一例を示す図、 第5図(a)〜(C)はポンプユニットの動作説明図、 第6図はポンプユニットの駆動信号図、第7図は従来例
を示す図、 第8図はバイモルフ圧電素子とモノモルフ圧電素子を用
いた場合の背圧と流量の関係を示す図。 以上
Claims (1)
- 少なくとも、セラミック系または有機系の圧電素子を有
するポンプユニットと前記ポンプユニットを作動させる
ための集積回路、前記集積回路を動かすための電源から
構成される微量吐出装置において2枚以上の前記圧電素
子を重ね合わせ、振動板に貼り付けることを特徴とする
微量吐出装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26950289A JPH03134271A (ja) | 1989-10-17 | 1989-10-17 | 微量吐出装置 |
KR1019900016427A KR910008284A (ko) | 1989-10-17 | 1990-10-16 | 마이크로 펌프 |
EP90311316A EP0424087A1 (en) | 1989-10-17 | 1990-10-16 | Micro-pump or micro-discharge device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26950289A JPH03134271A (ja) | 1989-10-17 | 1989-10-17 | 微量吐出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03134271A true JPH03134271A (ja) | 1991-06-07 |
Family
ID=17473319
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26950289A Pending JPH03134271A (ja) | 1989-10-17 | 1989-10-17 | 微量吐出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03134271A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008007634A1 (fr) * | 2006-07-11 | 2008-01-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Pompe piézoélectrique |
WO2009072434A1 (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電ポンプ |
EP2196949A2 (en) | 2008-11-28 | 2010-06-16 | Fujitsu Limited | Radio-frequency identification unit |
KR20110053251A (ko) * | 2008-09-10 | 2011-05-19 | 스마트랙 아이피 비.브이. | 트랜스폰더 장치 |
-
1989
- 1989-10-17 JP JP26950289A patent/JPH03134271A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008007634A1 (fr) * | 2006-07-11 | 2008-01-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Pompe piézoélectrique |
JP2009063002A (ja) * | 2006-07-11 | 2009-03-26 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電ポンプ |
US8162629B2 (en) | 2006-07-11 | 2012-04-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric pump |
WO2009072434A1 (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電ポンプ |
JP4840505B2 (ja) * | 2007-12-03 | 2011-12-21 | 株式会社村田製作所 | 圧電ポンプ |
US8210831B2 (en) | 2007-12-03 | 2012-07-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric pump |
EP2241757A4 (en) * | 2007-12-03 | 2016-08-24 | Murata Manufacturing Co | PIEZOELECTRIC PUMP |
KR20110053251A (ko) * | 2008-09-10 | 2011-05-19 | 스마트랙 아이피 비.브이. | 트랜스폰더 장치 |
EP2196949A2 (en) | 2008-11-28 | 2010-06-16 | Fujitsu Limited | Radio-frequency identification unit |
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