JPH0310840B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0310840B2 JPH0310840B2 JP10064582A JP10064582A JPH0310840B2 JP H0310840 B2 JPH0310840 B2 JP H0310840B2 JP 10064582 A JP10064582 A JP 10064582A JP 10064582 A JP10064582 A JP 10064582A JP H0310840 B2 JPH0310840 B2 JP H0310840B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- vacuum
- vacuum chamber
- auxiliary tank
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 17
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は内部を負圧にすることにより液体を吸
入する真空槽において、その負圧を破壊すること
なく前記液体を排出する装置に関するものであ
る。
入する真空槽において、その負圧を破壊すること
なく前記液体を排出する装置に関するものであ
る。
従来の真空槽は第1図に示すように、その頂部
に真空破壊弁8および吸入弁6を有する吸入管7
が取付けられると共に、逆流防止弁4を有する配
管5を介して真空ポンプ3が接続され、かつ真空
槽1の底部に排出弁9を有する排出管10が連結
されている。
に真空破壊弁8および吸入弁6を有する吸入管7
が取付けられると共に、逆流防止弁4を有する配
管5を介して真空ポンプ3が接続され、かつ真空
槽1の底部に排出弁9を有する排出管10が連結
されている。
なお、この種のものとして関連するものには例
えば実開昭55−71092号が挙げられる。
えば実開昭55−71092号が挙げられる。
このような構造からなる真空槽1では、吸入弁
6を開き真空ポンプ3を運転して吸入作用を行つ
ている間は、真空槽1内に溜まつた液体を排出す
ることができない問題がある。
6を開き真空ポンプ3を運転して吸入作用を行つ
ている間は、真空槽1内に溜まつた液体を排出す
ることができない問題がある。
本発明の目的は、真空ポンプの運転中でも真空
槽内の負圧を保持したままで、真空槽内の液体を
排出することができる真空槽内の液体の排出装置
を提供することを目的とする。
槽内の負圧を保持したままで、真空槽内の液体を
排出することができる真空槽内の液体の排出装置
を提供することを目的とする。
上記目的は、真空槽の内部を負圧にして前記真
空槽内部に吸入した液体を、前記真空槽から排出
する装置において、前記真空槽の底部に一体に結
合された補助槽を、該補助槽の底部に設けた排出
弁と、前記真空槽の上部と大気側との開口、前記
補助槽の上部と大気側との開口、前記真空槽の上
部と前記補助槽の下部との連通を切換える三方切
換弁と、前記真空槽の下部と前記補助槽の下部と
を連通するとともに前記補助槽から前記真空槽へ
の液体の逆流を防止する逆流防止弁とから構成す
ることによつて、達成される。
空槽内部に吸入した液体を、前記真空槽から排出
する装置において、前記真空槽の底部に一体に結
合された補助槽を、該補助槽の底部に設けた排出
弁と、前記真空槽の上部と大気側との開口、前記
補助槽の上部と大気側との開口、前記真空槽の上
部と前記補助槽の下部との連通を切換える三方切
換弁と、前記真空槽の下部と前記補助槽の下部と
を連通するとともに前記補助槽から前記真空槽へ
の液体の逆流を防止する逆流防止弁とから構成す
ることによつて、達成される。
補助槽内の液体を排出しようとするときには、
三方切換弁を補助槽のみが大気側に開口するよう
に切換えることにより、配管をとおつて大気が補
助槽のみへ導入することが可能となり、このため
補助槽内の液体のみを真空ポンプの運転中でも排
出できる。
三方切換弁を補助槽のみが大気側に開口するよう
に切換えることにより、配管をとおつて大気が補
助槽のみへ導入することが可能となり、このため
補助槽内の液体のみを真空ポンプの運転中でも排
出できる。
以下本発明の一実施例を図面について説明す
る。第2図に示す符号のうち、第1図に示す符号
と同一のものは同一部分を示すものとする。
る。第2図に示す符号のうち、第1図に示す符号
と同一のものは同一部分を示すものとする。
第2図において、2は真空槽1の底部に一体に
結合された補助槽、1′は真空槽1と補助水槽2
との間を仕切る隔壁11は大気側に開口すると共
に、真空槽1および補助槽2の上部に配管14,
15を介してそれぞれ連通する三方切換弁、12
は真空槽1および補助槽2の両底部を連通する配
管、13は配管12に設けられた逆流防止弁であ
る。
結合された補助槽、1′は真空槽1と補助水槽2
との間を仕切る隔壁11は大気側に開口すると共
に、真空槽1および補助槽2の上部に配管14,
15を介してそれぞれ連通する三方切換弁、12
は真空槽1および補助槽2の両底部を連通する配
管、13は配管12に設けられた逆流防止弁であ
る。
本実施例は上記のように構成したので、真空ポ
ンプ3を運転して吸入作業を行つている間は、三
方切換弁11で配管14と15とを連通して両槽
1,2間の圧力差をなくすことにより真空槽1に
吸入した液体を配管12を通して補助槽2に溜
め、液体を排出しようとするときは、三方切換弁
11で配管14を閉じるとともに配管15を大気
側に開口して大気を補助槽2に導入し排出弁9を
開くことにより補助槽2内に流入し溜まつていた
液体を排出管10および排出弁9を経て排出する
ことができる。
ンプ3を運転して吸入作業を行つている間は、三
方切換弁11で配管14と15とを連通して両槽
1,2間の圧力差をなくすことにより真空槽1に
吸入した液体を配管12を通して補助槽2に溜
め、液体を排出しようとするときは、三方切換弁
11で配管14を閉じるとともに配管15を大気
側に開口して大気を補助槽2に導入し排出弁9を
開くことにより補助槽2内に流入し溜まつていた
液体を排出管10および排出弁9を経て排出する
ことができる。
上述の実施例では真空槽1と補助槽2を一体に
形成したが、別個に形成して接続してもよいこと
はもちろんである。
形成したが、別個に形成して接続してもよいこと
はもちろんである。
以上説明したように本発明によれば、真空ポン
プの運転中でも真空槽内の真空を保持したまま
で、真空槽内の液体を排出することができるの
で、吸入を中断することなく続行することができ
る。
プの運転中でも真空槽内の真空を保持したまま
で、真空槽内の液体を排出することができるの
で、吸入を中断することなく続行することができ
る。
第1図は従来の真空槽の配管系統図、第2図は
本発明の液体排出装置の一実施例を備える真空槽
の配管系統図である。 1……空気槽、2……補助槽、9……排出弁、
11……三方切換弁、14,15……配管。
本発明の液体排出装置の一実施例を備える真空槽
の配管系統図である。 1……空気槽、2……補助槽、9……排出弁、
11……三方切換弁、14,15……配管。
Claims (1)
- 1 真空槽の内部を負圧にして前記真空槽内部に
吸入した液体を、前記真空槽から排出する装置に
おいて、前記真空槽の底部に一体に結合された補
助槽を設け、該補助槽の底部に設けた排出弁と、
前記真空槽の上部と大気側との開口、前記補助槽
の上部と大気側との開口、前記真空槽の上部と前
記補助槽の上部との連通を切換える三方切換弁
と、前記真空槽の下部と前記補助槽の下部とを連
通するとともに前記補助槽から前記真空槽への液
体の逆流を防止する逆流防止弁を設けたことを特
徴とする真空槽内の液体の排出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10064582A JPS58217896A (ja) | 1982-06-14 | 1982-06-14 | 真空槽内の液体の排出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10064582A JPS58217896A (ja) | 1982-06-14 | 1982-06-14 | 真空槽内の液体の排出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58217896A JPS58217896A (ja) | 1983-12-17 |
JPH0310840B2 true JPH0310840B2 (ja) | 1991-02-14 |
Family
ID=14279556
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10064582A Granted JPS58217896A (ja) | 1982-06-14 | 1982-06-14 | 真空槽内の液体の排出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58217896A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6533420B2 (ja) * | 2015-06-22 | 2019-06-19 | 株式会社ヒラノテクシード | 吸引装置とそれを用いたウエブの接続装置 |
-
1982
- 1982-06-14 JP JP10064582A patent/JPS58217896A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS58217896A (ja) | 1983-12-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0310840B2 (ja) | ||
JPH0544176Y2 (ja) | ||
JP2000325703A (ja) | 脱気装置 | |
JPS638866Y2 (ja) | ||
JPH083003Y2 (ja) | 半導体における処理薬液の汲み上げ装置 | |
JPH0213357Y2 (ja) | ||
JPS5924350Y2 (ja) | 流体の吸、排出装置 | |
JPH0640708Y2 (ja) | 風量吸引車 | |
JPH0123534Y2 (ja) | ||
JP2541747Y2 (ja) | 洗浄兼吸引車両 | |
JP2772894B2 (ja) | 土砂搬送装置 | |
JPH05617Y2 (ja) | ||
JPH0240040Y2 (ja) | ||
JPS6352255U (ja) | ||
JPS643451Y2 (ja) | ||
KR19990031048U (ko) | 바큠카의 탱크 | |
JP2000342905A (ja) | 消泡装置 | |
JPS5813365Y2 (ja) | 液体吸出し自動制御装置 | |
JPS61119492A (ja) | 水上浮揚構造物のバラスト装置 | |
JP2002243054A (ja) | 空気吸込み防止弁装置 | |
JPH0592477U (ja) | 逆止弁を利用した脱気用ミキシング装置 | |
SU1703615A1 (ru) | Устройство дл переливани жидкостей из емкостей | |
SU1668741A1 (ru) | Переливное устройство | |
US2788898A (en) | Strainer mechanism | |
KR950026783A (ko) | 저수탱크용 잔수처리기 |