JPH0284343A - 液体噴射記録ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 本発明は、液体（以下、「インク」と称する。）を噴射
し、飛翔的液滴を形成して記録を行う液体噴射（インク
ジェット）記録ヘッド、特に怒光性樹脂を用いてそのイ
ンク液路を形成してなるインクジェット記録ヘッドに関
する。

（従来技術の説明〕 インクジェット記録法は、記録時における騒音の発生が
無視し得る程度に極めて小さいという点で高速記録が可
能であり、而もいわゆる普通紙に定着という特別な処理
を必要とせずに記録の行える点において最近関心を高め
ている。

インクジェット記録法に適用されるインクジェット記録
ヘッドは、一般に、微細なインク吐出口（オリフィス）
、インク液路およびこのインク液路の一部に設けられる
インク吐出エネルギー作用部を備えている。

従来、このようなインクジェット記録ヘッドを作製する
方法として、例えば、ガラスや金属の板に切削やエツチ
ング等により、微細な溝を形成した後、この溝を形成し
た板を他の適当な板と接合してインク液路の形成を行う
方法が知られている。

しかし、かかる従来法によって作製されるインクジェッ
ト記録ヘッドでは、切削加工されるインク液路内壁面の
荒れが大き過ぎたり、エツチング率の差からインク液路
に歪が生じたりして、液路抵抗の一定したインク液路が
得難く、製作後のインクジェット記録ヘッドのインク吐
出特性にバラツキが出易い、また、切削加工の際に、板
の欠けや割れが生じ易く、製造歩留りが悪いという欠点
もある。そして、エツチング加工を行う場合は、製造工
程が多く、製造コストの上昇を招くという不利がある。

更に、上記した従来法に共通する問題点としては、イン
ク液路溝を形成した溝付板と、インクの吐出に利用され
るエネルギーを発生する圧電素子、発熱素子等のエネル
ギー発生素子が設けられた基板との接合の際に夫々の位
置合せが困難であって量産性に欠ける点が挙げられる。

これら問題点が解消される構成を有するインクジェット
記録へノドとして、エネルギー発生素子の配置しである
基板に、感光性樹脂組成物の硬化膜からなるインク液路
壁を形成し、その後、前記液路壁に覆いを設ける新規な
インクジェット記録ヘッドが、例えば特開昭５７−４３
８７６号に提案されている。この感光性樹脂組成物を利
用して製作されるインクジェット記録ヘッドは、従来の
インクジェット記録ヘッドの問題点であったインク液路
の仕上り精度、製造工程の複雑さ、製造歩留りが悪いと
いう点を解消する面では優れたちのである。

ところで、上記感光性樹脂を利用したインクジェット記
録ヘッドにあっては、従来、コストや生産性の面から、
アクリル系樹脂を主成分とした固体フィルムタイプのも
のが主として用いられている。ところが、アクリル系樹
脂を主成分とした感光性樹脂組成物を用いてインク液路
壁を形成したインクジェット記録ヘッドでは、記録時間
が著しく長くなると、オリフィスからのインクの不吐出
や、吐出したインク滴の記録媒体（前述の紙など）への
着弾精度の低下が生じる場合がある等問題がいくつかあ
る。

こうしたことから、記録ヘッドとしての着弾精度の維持
と吐出耐久性上の更なる向上を計り、高信鯨性を容易に
確保できるインクジェット記録ヘッドの開発が望まれて
いる。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明者らは、従来のアクリル系樹脂を主成分とした感
光性樹脂組成物を用いてインク液路壁を形成したインク
ジェット記録ヘッドにおける上述の問題点を解決し、上
述の要望に応えるべく鋭意研究を重ねた。即ち本発明者
らは、上述の問題の生起原因を究明すべく前記インクジ
ェット記録ヘッドについて各種の調査、分析を行った。

その結果、前記インクジェット記録ヘッドのインク液路
を構成する従来のアクリル系樹脂を主成分とした感光性
樹脂組成物の硬化膜に、インクジェット記録ヘッドの吐
出耐久性に大きな影響を及ぼすと考えられるクランクの
発生、また、インク液路壁と基板との間にハガレが生じ
る場合がしばしばあることがわかった。そして、その原
因を究明していたところ、温度変化の大きいところで長
時間の連続記録を行う場合などの使用環境下におけるイ
ンクジェット記録ヘッドの熱変化、例えば記録時に動作
させる発熱素子などに起因する熱変化によってクランク
が発生する場合があることがわかった。

また、記録ヘッド製造時に被る熱履歴によって、基板や
前記感光性樹脂組成物の硬化膜等のヘッド構成材料に歪
が残存し、この歪が長時間の記録時に上記のような熱変
化をうけて徐々に開放されることにより、ハガレが生じ
る場合があることがねかった。

このことは、第１表に例示したインクジェット記録ヘッ
ド構成材料の熱膨張係数の差異によっても裏付けられる
。すなわち、第１表に示されるように、ガラス、シリコ
ン、セラミックス等の基板構成材料と、インク液路構成
材料である従来のアクリル系樹脂を主成分とする感光性
樹脂組成物との間には、大きな熱膨張係数の差異がある
。

このような熱膨張係数に大きな差異のある材料から成る
構造体に熱変化が継続的に加えられると容易にクランク
を生じることは周知のことである。

因に、本発明者らは、従来のアクリル系樹脂を主成分と
する感光性樹脂組成物を使用した上述のインクジェット
記録ヘッドを熱サイクル試験（−６５℃−一１２５℃の
加熱−冷却サイクル）に付したところ、インク液路壁を
構成している該感光性樹脂組成物の硬化膜にクランクが
生じていることを確認した０本発明者らは、また、前記
インクジェット記録ヘッドを加温下でインク浸漬試験し
たところ、基板とインク液路壁にハガレが生じることが
あることがわかった。

もっとも、上述のクランク発生を防止するについて液路
壁の設計寸法を所定範囲に規定する提案が特開昭５７−
１２８８６７によりなされている。しかしながら、この
提案では、特定寸法のインクジェット記録ヘッドのみに
限って有効ではあるが、設計に自由度がないことからそ
れ以外の各種のインクシエンド記録ヘッドの場合には有
効でない、また、上述の基板とインク液路壁のハガレ発
生を防止するについて、例えば、米国特許第４６０９４
２７号明細書に記載されているように、前記基体と前記
インク液路壁構成部材との間にシランカップリング剤、
金属キレート、金属、接着剤等を入れるかまたはそれ等
を前記インク液路壁構成部材中に含有せしめる方法が提
案されているが、長時間経過すると前記添加物がその組
成物の酸化腐食等の現象を惹起してハガレ発生防止が所
望どおりにできなくなる場合がある。

本発明は、こうした背景の下で、従来のアクリル系樹脂
を主成分とした感光性樹脂組成物を用いてインク液路壁
を形成したインクジェット記録ヘッドにおける上述の問
題点を解決し、上述の要望に応えるべく鋭意研究を重ね
た結果完成するに至ったものである。

〔発明の目的〕

本発明は、したがって、従来のインクジェット記録ヘッ
ドについての上述の問題点を解決して上述の要望に応え
るようにする、長時間の記録時にあっても安定な記録の
行える、吐出耐久性に優れた新規なインクジェット記録
ヘッドを提供することを主たる目的とする。

本発明の他の目的は、使用環境にかかわらず、また長時
間の連続記録を行っても感光性樹脂組成物の硬化膜のハ
ガレや硬化膜にクランクが生ずることのない信鎖性の高
いインター；エツト記録ヘッドを提供することにある。

本発明の更に他の目的は、記録ヘッド作製時に残留応力
によって生ずる感光性樹脂組成物の硬化膜のハガレ等に
よる歩留りの低下を防ぐことができる構成のインクジェ
ット記録ヘッドを提供することにある。

本発明の更なる目的は、熱順歴による感光性樹脂組成物
の硬化膜のハガレやクランク等の生じないインクジェッ
ト記録ヘッドを提供することにある。

〔発明の構成・効果〕

本発明は上述の目的を達成するものであって、本発明に
より提供されるインクジェット記録ヘッドは、液体を吐
出するのに利用されるエネルギーを発生する能動素子を
設けた基板上に吐出口に連通ずる液体通路を形成し、該
液体通路の少なくとも一部を感光性樹脂組成物の硬化膜
を用いて構成された液体噴射記録ヘッドにおいて、前記
感光性樹脂組成物が後述する新規な感光性ゴム変成アク
リル樹脂組成物であることを特徴とする。

以下、本発明の内容について詳しく説明する。

ところで、従来例のインクジェット記録ヘッドにあって
は、例えば該ヘッドを構成する基板とインク液路壁、あ
るいはインク液路壁と該壁の覆いとの間に、それらを構
成する材料の差異に起因する熱膨張係数の違いがある。

このため、記録時のインク温度の変化など、インクジェ
ット記録ヘッドの使用環境下における温度変化によって
、上記熱膨張係数の差異に起因するヘッド構成材料の寸
法変化量に差を生じ、これらの材料間に歪が発生する。

このような歪は、ヘッド構成材料の弱い部分、すなわち
インク液路壁を構成する感光性樹脂組成物層に集中し、
その大部分は感光性樹脂組成物層で緩和されるものの、
歪が甚だしい場合にはキレツあるいは感光性樹脂組成物
層のハガレを生じるものと考えられる。

ところで、このような歪によって感光性樹脂が受ける応
力σは、式（１）で示される。

σネｋＸ　ε　×Ｅ　　・・１Ｔ１） ここで、ｋは定数、εは歪、Ｅはインク液路壁を構成す
る感光性樹脂組成物の弾性率である。

式（１）から明らかなように、歪を小さくするためには
低応力化、すなわち弾性率Ｅを小さくすればよいことが
わかる。

こうした観点に立って本発明者らは感光性樹脂組成物の
硬化膜の弾性率（ｄｙｍ／ｃｎｌ）に着目し、より低い
弾性率を持つ感光性樹脂組成物を開発すべく鋭意研究を
重ねた結果、感光性樹脂組成物にし、それを硬化膜にし
た場合所望の低い弾性率を与える後述する感光性ゴム変
成アクリル樹脂を見い出すに至った。そして本発明者ら
が見い出した、新規な感光性ゴム変成アクリル樹脂を主
構成分とした感光性樹脂組成物を使用することにより上
述の本発明の目的を達成できることがわかった。なお、
該感光性樹脂組成物を硬化して得られる硬化膜について
は、前記主構成分の樹脂のゴム状構成分が海鳥構造をな
して存在していて、これがその弾性率を低いものにし、
これが故に該硬化膜を応力吸収体として作用するところ
とならしめるものと考えられる。

本発明における上記感光性ゴム変成アクリル樹脂組成物
は、次のような構成内容のものである。

即ち、１分子中に２個以上のアクリロイルあるいはメタ
アクリロイル基を有する光重合性物質、光開始剤からな
る樹脂組成物であって、高分子物質が、スチレン系ある
いはアクリル系モノマー連鎖部分と、そのホモポリマー
がゴムであるモノマー連頂部分からなることを特徴とす
る光重合性樹脂組成物である。

以下、本発明における上記光重合樹脂組成物の各構成分
について説明する。

Ａ、員分ヱ春ｉ 本発明で用いる高分子物質は、スチレン系あるいはアク
リル系モノマー連鎖部分（以下ＷＡ単のためｒＳ＆Ａ連
鎖」と略称、）と、そのホモポリマーがゴムである七ツ
マ一連鎖部分（以下簡単のため、ｒＧｉ！鎖」と略称、
）とを有し、Ｓ・＆Ａｉｌ鎖とＧ連鎖はブロック状ある
いはグラフト状どちらでもよい。

ただしスチレン系あるいはアクリル系モノマーとゴムモ
ノマーは、ランダムに共重合されたものであってはなら
ない。

高分子物質中のＳ＆Ａｉｌ鎖とＧｉ！鎖の含有率は、重
量比率でＳ＆Ａｉｌ鎖が５０％以上、好ましくは６０〜
８０％であることがよい、　Ｓ＆Ａ連鎖が上記範囲であ
ると、低応力化に効果的に作用する。

また、数平均分子量については、５０００乃至３０００
０であるのが望ましい。

以下に、この高分子物質の製造方法について説明する。

プ貸人」工：１分子中に２以下のグリシジル基を側鎖に
有するアクリルオリゴマーと末端が−ＣＯＯＨ基である
液状ゴムを有機溶剤中でエポキシエステル化する。

（例）メチルメタアクリレートとグリシジルメタアクリ
レートとを９７：３　（モル比）にてトルエン中にて溶
液重合する。次いでｃ　ｏ　ｏ　ｔｒ末端液状ゴムと、
ベンジルジメチルアシンを触媒として用い８０℃で５時
間、高速攪拌し、エステル化する。

ＩＬＬ：１分子中に２以下のイソシアナート基を側鎖に
有するアクリルオリゴマーと末端が−ＮＨ，！あるいは
一〇Ｈ基である液状ゴムを有機溶剤中でカンプリング付
加する。

フｊム」−：　１分子中に２以下の一〇Ｈ基を側鎖に有
するアクリルオリゴマーと無水マレイン酸の付加された
液状ポリブタジェンを有機溶剤中でエステル化する。

ｎ↓：１分子中に２以下の酸無水物基を有するスチレン
オリゴマーとエポキシ化ポリブタジェンとを溶液中で反
応させる。

〔スチレンまたはメチルメタクリレートとイソプレンとのりピングアニオン重合によるブロック共重合〕

イソプレンを脱水したＴ　ＨＦ中−７８℃にて、５ｅｅ
−ＢｕＬｉを開始剤として、リビング重合を行い、次い
で、スチレンまたはメチルメタクリレートを重合し、［
Ｓ＆Ａ連１）１−［Ｇ連鎖］　−［Ｓ＆Ａ連鎖］型のブ
ロック共重合体を得る。

〔片末端ビニル基を有するゴム性マクロモノマーとアク
リルモノマーとのグラフト共重合〕片末端にビニル基を
持ったポリイソブチレンマクロモノマーとメチルメタク
リレートをラジカル共重合し、幹鎖が［Ａ連鎖］、枝鎖
が［Ｇ連鎖〕であるグラフト共重合体を得る。

以上のいずれかの方法によって、本発明の光重合性樹脂
組成物に用いる高分子物質は得られる。ここでＳ＆Ａ連
鎖に用いる七ツマ−とは、スチレン、４−ヒドロキシス
チレン、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート
、イソブチルメタクリレート、ｔ−ブチルメタクリレー
ト、ペンジルメククリレート、アクリロニトリル、ジメ
チルアミノエチルメタクリレート、アクリル酸、メタア
クリル酸、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、３−
クロロ　２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、グリ
シジルメククリレート、ボルネオールメタクリレート、
ボルネオールアクリレート、ジシクロペンテニルアクリ
レート、ジシクロペンテニルメタアクリレート、シクロ
へキシルメタクリレート、Ｇ連鎖に用いるモノマーを、
それのポリマー名称で示せば、ウレタンゴム、液状ブチ
ルゴム、液状ブタジェン−スチレンゴム、液状アクリロ
ニトリル−ブタジェンゴム、液状ポリイソプレン、液状
ポリイソブチレンであり、それらの端末あるいは分子鎖
中に、−ＣＯＯＨ，−０Ｈ１ＮＨ＊　　ＣＨｚ　　ＣＨ
ｔ　、　ＣＨ”ＣＨ！及び＼　１ カルボン酸無水物基からなる群から選ばれる少なくとも
一種類の残基を含有するものが含まれる。

得られた高分子物質は、いずれの場合にも、各モノマー
は連鎖として存在し、構造体中でシクロドメインすなわ
ちＧ連鎖から成るドメインとＳ＆Ａ連鎖から成るドメイ
ンを形成していると考えられる。

Ｂ、犬Ｉイ１）が！ 本発明に用いる１分子中に；；個以上のアクリロイルあ
るいはメタアクリロイル基を有する光重合性物質は以下
の各種オリゴマーから選ばれス （１）　１分子中に２以上のエポキシ基を有する多官能
エポキシ樹脂のアクリル酸、あるいはメタアクリル酸エ
ステル （２）１分子中に２以上のヒドロキシ基を有する多官能
アルコールのアクリル酸あるいはメタアクリル酸エステ
ル （３）　　端末にＯＨ基あるいはＣＯＯＨ基を有するポ
リエステルあるいはポリエーテルあるいは液状ゴムとジ
イソシアナートとヒドロキシ基を有するアクリレートと
の反応によって得られるポリウレタンアクリレート ＋４１　　メラミンのアクリル酸エステル、トリアリー
ルシアヌレート、トリアリルイソシアヌレート、トリア
クリルイソシアヌレートである。

これらの物質の中から用途に応じて選択使用する。

本発明の光重合性組成物には、１官能性アクリレート、
１官能性メタアクリレートは、必復としては不要である
が、低粘度化、ぬれ性等での改質には、それらを少量用
いることは、基本的な性能を失うことは無い。

Ｃ−ｉ！Ｊ！ｕｉＭ 本発明に用いる光開始剤としては以下の物質を用いる。

（１）　　ベンゾインエーテル類 ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、ベンゾインメチルエーテル （２）　　α−アクリロキシム−エステル系１−フェニ
ル−１，２−プロパン−ジオン２−（０−エトキシカル
ボニル）オキシム （３）　　ベンジルケタール系 ２．２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノンベン
ジル　ヒドロキシ　シクロへキシル　フェニル　ケトン （４）　　アセトフェノン系 ジェトキシアセトフェノン　２−ヒドロキシ−２メチル
−１フェニルプロパン−１オン （５）　　芳香族ケトン系 ベンゾフェノン、クロロチオキサントン、２−クロロチ
オキサントン、イソプロピルチオキサントン、２−メチ
ルチオキサントン、２−エチルアントラキノン、２−ｔ
ブチルアントラキノン Ｄ、±９１ぼ材５１良分 （増感剤） 本発明の光重合性樹脂組成物には、重合速度を高めるた
めに次のような、プロトン供与剤を増感剤として併用し
てもよい。

ｎ−ブチルアミン、トリエチルアミン、ジエチルアミノ
エチルメタクリレート、４．４−ビス（ジエチルアミノ
）ベンゾフェノン、４−ジメチルアミノアセトフェノン
、Ｎ−エチルジェタノールアミン 本発明の光重合性樹脂組成物には、任意成分としての暗
反応を抑制するヒドロキノン、パラメトキシフェノール
等の安定剤、染料、顔料等の着色剤、塗工性を調節する
シリカ、タルク、アルミナまたはクレー、沈降性硫酸バ
リウムなどの体質顔料、難燃化剤を添加してもよい。

上記の各成分の混合比率は、重量比率で、高分子物質と
：光重合性物質との割合が好ましくは１００：５０〜１
００：３００であり、より好ましくは１００　：　８０
〜１００：２００である。また、（高分子物質＋光重合
性物質）と光開始剤との割合が好ましくは１００：２〜
ｌＯＯ：ｌＧであり、より好ましくは１００：３〜１０
０ニアである０本発明の光重合性樹脂組成物を使用する
には、溶液状にして使用時に塗布及び乾燥を行って基材
上に所定の膜厚の塗膜を形成する方法と、ドライフィル
ム状に賦形し使用時には熱ロールにて基材上にラミネー
トして光重合性樹脂組成物を転写積層する方法のいずれ
でもよい、溶液状にて使用する場合の溶剤としてはトル
エン、キシレン、メチルエチルケトン、メチルイソブチ
ルケトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、シクロヘキサン、
セロソルブ類、アルコール類等通常の溶剤が単独あるい
は混合して使用できる。従来液状ゴム系の光重合性樹脂
の場合、極性の高い溶剤は、溶解力が低く使用不可であ
ったが、本発明ではそれらの制限はない。

以上のようにして調製される本発明における光重合性樹
脂組成物は、それを硬化して硬化膜にした場合、上述し
たように弾性率が望ましく低いことから、該硬化膜を使
用してなる本発明の液体噴射記録ヘッドにおいては、基
板とインク液路壁、あるいはインク液路壁と該壁の覆い
との間の歪が吸収され、熱変化に起因するインクジェッ
ト記録ヘッドにおけるクランクの発生はなく、かつ製造
時の熱履歴に起因する残留応力の解放によって生じる基
板−インク液路壁、あるいはインク液路壁−覆い間のハ
ガレの発生はない。

本発明の液体噴射記録ヘッドは所望に応じて種々の構成
を取ることができるが、少なくとも上記樹脂組成物の硬
化物がその構成の一部として用いられる。

以下、図面に従って本発明の液体噴射記録ヘッドの一例
を詳細に説明する。

第１図は本発明の液体噴射記録ヘッドの一例であり、第
１図（ａ）はその主要部の斜視図、第１図（ｂ）は第１
図＋ａｌのＣ−Ｃ線に沿った切断断面図である。

この液体噴射記録ヘッドは、基本的に、基板１と、該基
板上に設けられ、所定の形状にパターンニングされた樹
脂硬化膜からなる液体通路壁３Ｈと、該液体通路壁上に
積層された覆い７とを有してなり、これらの部材によっ
て、記録用液体を吐出するためのオリフィス９、該オリ
フィスに連通し、記録用液体を吐出するためのエネルギ
ーが記録用液体に作用する部分を有する液体通路６−２
及び該液体通路に供給する記録用液体を貯留するための
液室６−１が形成されている。更に、覆いに設けられた
貫通孔８には、記録ヘッド外部から液室６−１に記録用
液体を供給するための供給管１０が接合されている０発
熱素子、圧電素子等の能動素子２の夫々は、液体通路６
−２の夫々に対応して設けられ、該能動素子２を駆動す
ることにより該能動素子２より発生されるエネルギーが
対応する液体通路６−２にある記録液体の一部に作用す
ることができる位置に設けられる。尚、第１図（ａ）に
は、供給管ｌＯは省略しである。

記録の際に、オリフィス９より記録用液体を吐出するた
めに利用されるエネルギーは、能動素子２に、該能動素
子２に接続しである配線（不図示）を介して吐出信号を
所望に応じて印加することにより発生される。

本発明の記録ヘッドを構成する基板１は、ガラス、セラ
ミックス、プラスチックあるいは金属等からなり、能動
素子２が所望の個数所定位置に配設される。尚、第１図
の例においては能動素子が２個設けられているが、能動
素子の個数及び配置は記録ヘッドの所定の構成に応じて
適宜決定される。

また、覆い７は、ガラス、セラミックス、プラスチック
または金属等の平板からなり、融着あるいは接着剤を用
いた接着方法により液体通路壁３Ｈ上に接合されており
、また所定の位置に供給管１０を接続するための貫通孔
８が設けられている。

この記録ヘッドにおいて、液体通路６−２及び液室６−
１の壁３Ｈを構成する所定の形状にパターンニングされ
た＃Ｍ脂脂化化膜、基板１上に、または覆い７上に設け
た前述した構成成分Ａ乃至りを含有する感光性ゴム変成
アクリル樹脂組成物で構成される層を、フォトリソグラ
フィー工程によってパターンニングして得られたもので
ある。

以上、液体通路壁３Ｈの構成に該樹脂組成物の硬化膜を
用いた例を説明したが、該樹脂組成物の硬化Ｍ　（Ｗ化
物）は、記録ヘッドのその他の部分に好適に利用し得る
。

例えば、液体通路に垂直な記録ヘッドの部分断面として
表した第７図（ａｌ〜Ｔｈｌに示すように１、覆い７と
して（ａｌ ２、液体通路壁３Ｈ及び覆い７として（ｂ）（この場合
液体通路壁３Ｈと覆い７は一体化されて形成されていて
も良いし、別途形成ａ接合されたものであっても良い、
） ３、各種樹脂等から形成した液体通路壁３Ｈと覆い７と
の接着層１４　（ｃ），＋８１及び（幻として、４、液
体通路壁３Ｈ及び液体通路壁３Ｈと覆い７との接着層１
４として（ｄｌ及び（ｎ、そして、５、液体通路壁３Ｈ
及び液体通路壁３Ｈと覆い７との接着層１４（２層構成
）としてｆｈｌ、の利用を挙げることができる。尚、上
記構成のなかで第７図＋ａｌ〜＋６）、（（へ）の構成
及び第７図（ｆｌにおける液体通路壁３Ｈの形成には、
ドライフィルムタイプのものが好適に利用でき、また第
７図（ｆ）及び（沿の接着剤層１４には、液体状で用い
て硬化させるタイプが好適に用いられる。

更に、本発明の記録ヘッドは、第８図（ａｌ及び（ｂ）
並びに第９図に示す液体通路（６−２）に対して垂直な
方向に液滴を吐出する構造を有するものであっても良く
、その際には、例えば第１θ図１ａｌ及び偽）に示す部
分等上記第７図に示したのと同様の部分などに該樹脂組
成物の硬化膜が好適に利用できる。

以下、本発明の記録ヘッドの構成の用いる前述した構成
成分Ａ乃至りを含有する感光性ゴム変成アクリル樹脂組
成物は、次のようなものである。

即ち、該樹脂組成物は、特に硬化膜とした際にガラス、
プラスチック、セラミックス等からなる基板等の各種部
材に対して良好な接着性を有し、かつインク等の記録用
液体に対する耐性及び機械的強度にも優れ、しかも活性
エネルギー線によるパターン形状グによって精密で高解
像度のパターンを形成することができるという液体噴射
記録ヘッドの構成部材として優れた特性を有するもので
ある。

更に、この樹脂組成物は、ドライフィルムとして用いる
ことができ、その際にも上記の優れた特性が発揮される
。

本発明の液体噴射記録ヘッドの作製のために、上述の感
光性ゴム変成アクリル樹脂組成物を溶液状で用いる際、
あるいはドライフィルムとする際に、該樹脂組成物をフ
ィルム基材であるプラスチックフィルムなどの上に塗布
する場合などに用いる溶剤としては、アルコール類、グ
リコールエーテル類、グリコールエステル類等の親水性
溶剤などが挙げられる。もちろん、これら親水性溶剤を
主体とし、それらに必要に応じてメチルエチルケトン、
メチルイソブチルケトン等のケトン類、酢酸エチル、酢
酸イソブチル等のエステル類、トルエン、キシレン等の
芳香族炭化水素及びそのハロゲン置換体、塩化メチレン
、１．１．１−トリクロルエタン等の塩素含有の脂肪族
溶剤等を適宜混合したものを用いることもできる。尚、
これら溶剤は、本発明の樹脂組成物の現像液として用い
ることもできる。

本発明の液体噴射記録ヘッドの作製に際して、該樹脂組
成物は、通常の方法によって基板等の上に硬化層を形成
できる。

例えば、 （１）基板等の上に硬化した塗布巻くからなる層を形成
する場合： 液体上の上記感光性ゴム変成アクリル樹脂組成物を基板
等の上に液状塗布膜を形成するため付与し、引き続いて
蒸発乾燥させる。そして得られた乾燥塗布膜に、活性エ
ネルギー線（例えば紫外線）を照射することでこれを硬
化させて、硬化塗布膜からなる層とする。

（２）基板等の上に所望パターンの形状の硬化した塗布
膜からなる層を形成する場合（そのｌ）：液体状の上記
感光性ゴム変成アクリル樹脂組成物を液状塗布膜を形成
するため基板等の上に付与し、引き続いて蒸発乾燥させ
る。そして乾燥した塗布膜からなる層に所望のパターン
にレーザービームを走査し、未露光部を１．１．１トリ
クロロエタン等の適当な溶剤ｒで除去することで基板等
の上に所望のパターン形状の硬化塗布膜層を形成する。

（３）基板等の上に所望パターンの形状の硬化塗布膜か
らなる層を形成する場合（その２）：基板等の上に、液
体状の上記感光性ゴム変成アクリル樹脂組成物を液状塗
布膜を形成するために付与し、続いて蒸発乾燥する。得
られた乾燥塗布膜からなる層上に、活性エネルギー線が
透過しない所望の形状をもったパターンを有するフォト
マスクを重ね合わせ、フォトマスク上から活性エネルギ
ー線で露光する。そして、未露光部を１，１．１−１−
リクロロエタン等の適当な溶剤によって除去し、基板等
の上に所望のパターン形状の硬化した塗布膜からなる層
を形成する。

（４）　　感光性ドライフィルムを形成し、基板等の上
に前記ドライフィルムを積層する場合：液体状の上記感
光性ゴム変成アクリル樹脂組成物の液状膜を形成するた
めポリエチレンテレフタレートフィルム上に付与し、続
いて蒸発乾燥して前記ポリエチレンテレフタレートフィ
ルム上に感光性ドライフィルムを得る。そのドライフィ
ルムを積層体を得るため通常の積層方法によって基板等
の上に積層する。そして、基板等の上に積層した感光性
ドライフィルムを上記した方法（１）と同様の方法で活
性エネルギー線で照射することで硬化する。

硬化した感光性フィルムを所望のパターンに形成したい
場合は支持体上に積層した上記ドライフィルムを上記し
た方法（２）又は（３）と同様の方法で処理する。

本発明の液体噴射記録ヘッドの作製過程において、上記
活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の硬化、あるいは該
樹脂組成物へのパターン露光等に用いる活性エネルギー
線としては、既に広く実用化されている紫外線あるいは
電子線などが挙げられる。紫外線光源としては、エキシ
マレーザ−波長２５０ｎｍ〜４５０ｎｍの光を多く含む
高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が
挙げられ、実用的に許容されるランプ−被照射物間の距
離において３６５　ｎｍの近傍の光の強度が１　ｍＷ／
ａｊ　〜１００　ｍＷ／ａｊ程度のものが好ましい、電
子線照射装置としては、特に限定はないが、０．５〜２
０　Ｍ　Ｒａｄの範囲のｖＡｌを有する装置が実用的に
適している。

以下、液体通路壁３Ｈをドライフィルムタイプの上記樹
脂組成物から得られる硬化膜を用いて形成する場合を一
例として、図面を用いて本発明の液体噴射記録ヘッドの
製造方法を説明する。

第２図〜第６図は、本発明の液体噴射記録ヘッドの製作
手順を説明するための模式図である。

本発明の液体噴射記録ヘッドを形成するには、まず、第
２図に示すように、ガラス、セラミックス、プラスチッ
クあるいは金属等の基板ｌ上に発熱素子やピエゾ素子等
の液体を吐出するのに利用されるエネルギーを発生する
能動素子２が所望の個数配置される。なお、必要に応じ
て記録用液体に対する耐性、電気絶縁性等を基板１表面
に付与する目的で、該表面にＳｉＯ□、Ｔａ、Ｏ３，ガ
ラス等の保護層を被覆してもよい、また、液体を吐出す
るのに利用されるエネルギーを発生する能動素子２には
、図示されていないが、記録信号入力用電極が接続しで
ある。

次に、第２図の工程を経て得られた基板ｌの表面を清浄
化すると共に例えば８０〜１５０℃で乾燥させた後、第
３図（ａ＋及び第３図（ｂｌに示したようにドライフィ
ルムタイプ（膜厚、約２０μｍ〜２００μｍ）の前述し
た活性エネルギー線硬化型樹脂組成物３を、４０〜１３
０℃程度に加温して、例えば０．５〜０．４　ｆ　／ｓ
ｉｎ、の速度、１〜３　ｋｇ／−の加圧条件下で基板面
ＩＡ上にラミネートする。

続いて、第４図に示すように、基板面ＩＡ上に設けたド
ライフィルム層３上に、活性エネルギー線を透過しない
所定の形状のパターン４Ｐを有するフォトマスク４を重
ね合わせた後、このフォトマスク４の上部から露光を行
う。

なお、フォトマスク４と基板１との位置合わせは、露光
、現像処理等の工程を経て、最終的に形成される液体通
路領域中に上記能動素子２が位置するように行われ、例
えば、位置合わせマークを、基板ｌとマスク４のそれぞ
れに予め描いておき、そのマークに従って位置合わせす
る方法等によって実施できる。

このように露光を行うと、前記パターンに覆われた領域
以外、すなわちドライフィルム層３の露光された部分が
重合硬化し、露光されながった部分が、溶剤可溶性のま
まであるのに対して溶剤不溶性となる。

このパターン露光に用いる活性エネルギー線としては、
上述した活性エネルギー線硬化型組成物の成分の種類等
に応じて、従来より公知の活性エネルギー線のうち好適
なものを適宜選定して用いればよく、具体的には、例え
ば高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、
カーボンアーク灯、電子ビームなどを挙げることができ
る。

例えば、紫外線光源としては、波長２５０ｎｍ〜４５０
ｎｍの光を多く含む高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタル
ハライドランプ等が挙げられ、実用的に許容されるラン
ブー被照射物間の距離において３６５ｎｍの近傍の光の
強度が１ｍＷ／−〜１００ｍＷ／ｃｄ程度のものが好ま
しい、？ｌｔ子線照射装置としては、特に限定はないが
、０．５〜２０ＭＲａｄの範囲の線量を有する装置が実
用的に適している。

ドライフィルム層３のパターン露光を終了したら、次に
露光済みのドライフィルム３を、例えば１、ｌ、ｌ−）
リクロルエタン等の揮発性有機溶剤中に浸漬するなどし
て現像処理し、溶剤可溶性であるドライフィルム層３の
未重合（未硬化）部分を基板１上から溶解除去し、第５
図（ａｌ及び第５図（ｂｌに示すように基板ｌ上に残存
した樹脂硬化膜３Ｈによって最終的に液体通路６−２及
び液室６−１となる溝を形成する。

次に、基板１上の硬化樹脂膜３Ｈを少なくとも８０℃以
上の温度で、ｌＯ分〜３時間程度加熱し熱重合させる。

なお、本例の記録ヘッドにおいては、液体通路６−２及
び液室６−１となる溝の形成に、ドライフィルムクイブ
の樹脂組成物、つまり固体状のものを使用した例につい
て説明しているが、本発明の記録ヘッドの形成に際して
使用できる感光性ゴム変成アクリル樹脂組成物としては
、固体状のもののみに限られるものではなく、液状のも
のももちろん使用可能である。

基板上に液状の樹脂組成物を用いて該組成物からなる層
を形成する方法としては、例えばレリーフ画像の作製時
に用いられるスキージによる方法、すなわち所望の樹脂
組成物の塗膜の厚さに相当した高さの壁を基板の周囲に
設け、スキージによって余分な樹脂組成物を除去する方
法等を挙げることができる。この場合、樹脂組成物の粘
度は、１００ｃｐ　〜３０００ｃｐが適当である。また
、基板の周囲に置く壁の高さは、感光性樹脂組成物の含
有する溶剤分の蒸発による減量骨を見込んで決定する必
要がある。

また、固体状の樹脂組成物を用いる場合には、前記のよ
うにドライフィルムを基板上に加熱圧着して貼着する方
法等が好適である。

しかしながら、本発明の記録ヘッドを形成するに際して
は、取扱い上で、あるいは厚さの制御が容易かつ正確に
できる点において、固体状のフィルムタイプのものが便
利である。

このようにして、樹脂硬化膜３Ｈによって最終的に液体
通路６−２及び液室６−１を構成する溝を形成した後、
第６図（ａｌ及び第６図中）に示すように、溝の覆いと
なる平板７を樹脂硬化ＭａＨ上に接着剤に接合し、接合
体を形成する。

第６図（ａｌ及び第６図中）に示した工程において、覆
い７を付設する具体的な方法としては、例えばガラス、
セラミックス、金属、プラスチック等の平板７にエポキ
シ樹脂系接着剤を厚さ３〜４μｍにスピンコードした後
、予備加熱して接着剤層を、いわゆるＢステージ化させ
、これを硬化したドライフィルム３Ｈ上に貼り合わせた
後前記接着剤層を、本硬化させる等の方法があるが、ア
クリル樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリエチレン等の熱可塑性樹
脂の平板７を樹脂硬化膜３Ｈ上に、直接、熱融着させる
等の接着剤を使用しない方法でも良い。

また、覆い７の液体通路と接合する側に、本発明におけ
る樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物からなる樹脂層を設け
、これを液体通路を形成した樹脂硬化膜３Ｈと熱融着さ
せ、しかる後に活性エネルギー線を照射して加熱すると
いう方法、すなわち本発明における樹脂硬化膜形成用の
樹脂組成物を接着剤として用いる方法も好ましい。

なお、第６図において、６−１は液室、６−２は液体通
路、８は液室６−１に不図示の記録ヘッド外部から内部
へ記録用液体を供給するための供給管（不図示）を連結
するための貫通孔を示す。

このようにして、基板１上に設けられた樹脂硬化ｒｇ４
３Ｈと平板７との接合が完了した後、この接合体を第６
図（ａ）及び第６図（ｂｌに示した液体通路６−２の下
流側にあたるＣ−Ｃに沿って切削して、切削面における
液体通路の開口部である、記録用液体を吐出するための
オリフィスを形成する。

この工程は、液体を吐出するのに利用されるエネルギー
を発生する能動素子２とオリフィス９との間隔を適正化
するために行うものであり、ここで切削する領域は適宜
選択される。この切削に際しては、半導体工業で通常採
用されているダイシング法等を採用することができる。

なお、本発明でいう液体通路下流部とは、記録ヘッドを
用いて記録を行っている際の記録用液体の流れ方向にお
ける下流領域、具体的には、液体を吐出するのに利用さ
れるエネルギーを発生する能動素子２の設置位置より下
流の液体通路の部分を言う。

切削が終了したところで、切削面を研磨して平滑化し、
貫通孔８に供給管ＩＯを取付けて第１図に示したような
液体噴射記録ヘッドを完成する。

なお、以上説明した例では、基板１上に樹脂硬化膜３Ｈ
を形成した後、これに覆い７が接合されたが、覆い７側
に樹脂硬化膜３Ｈを形成した後これを基板ｌに接合して
も良い、また、液体通路６−２と液室６−１とは別々に
形成されたものであっても良い。

【実施例〕

以下、実施例により本発明を更に詳しく説明するが、本
発明はそれら実施例により何ら限定されるものではない
。

はじめに、本発明の液体噴射記録ヘッドの作製に使用す
る上述の感光性ゴム変成アクリル樹脂組成を構成する構
成成分、すなわち高分子物質Ａの合成例を以下に示す。

金底■土 メタアクリル酸メチル９０ｇ１グリシジルメタクリレー
トｌ　Ｏｇ、、ＤＭＦ、１００ｇをＮ２で充分バブリン
グし０２を脱気した。液温を７０℃に昇温し、アゾビス
イソブチロニトリル０．２ｇを添加し７０℃５時間加熱
重合した。

次に片末端カルボキシル基の液状１．２−ポリブタジェ
ン（Ｍｗ＝１０００）６０ｇ、２，４．６トリ（ジメチ
ルアミノメチル）フェノールＯ，ｌ　ｇを添加し、７０
℃で５時間線合反応を行い、ハマーボリブタジエンをグ
ラフトした第２表に示す構造式（Ｉ）で表されるアクリ
ルポリマー（数平均分子量：１５０００）を得た。

査底１ アルゴン置換したオートクレーブにヘプタン１０００ｇ
、塩化チタン（３価）０．３１ｇ、）リエチルアルミニ
ウム０．４６ｇ、ジエチル亜鉛２．９５ｇをいれ、ブチ
レン圧０．６ａｔ■を保ち４０℃で２時間重合し、ポリ
ブチレンを得た。得られたポリブチレンを窒素下で濾過
し、ヘプタン１０１００Ｏ中に分散した。この分散せし
めたものに、クメンヒドロペルオキシド３．６５ｇ、メ
タアクリル酸メチル７０ｇを加えて４０℃で３時間撹拌
処理した。得られたものを窒素下で濾過し、室温で１２
時間メタノール−塩酸で処理した０次いで７セトン及び
メタノールでポリメタクリル酸メチルを抽出した。かく
して、第２表に示す構造式（ＩＩ）で表される両末端に
ポリメタクリル酸がブロック重合したポリブチレン（数
平均分子１：２００００）を得た。

企底■主 メチルメタクリレートとグリシジルメタクリレートとを
９７：３　（モル比）でトルエンに溶解し１．アゾビス
イソブチロニトリルを開始剤に用い、８０℃にて３時間
溶液重合し、数平均分子量７０００のアクリルオリゴマ
ーを得た０次いで、このポリマーをキシレンと１．１．
１−トリクロルエタンの５０：５０混合溶剤中に溶解し
たＣ０ＯＨ末端液状ＮＢＲゴムであるＨｙｃａｒＣＴＢ
Ｎ（分子量３４００、宇部興産の製品）中に懸濁し、テ
トラブチルアンモニウムハイドロクロライドを触媒とし
て、９０℃で５時間反応させた０反応終了後、大過剰の
メチルエチルケトンを加え、未反応の液状ゴムを析出さ
せ、溶液と分離し、第２表に示す構造式（Ｉｌｌ）で表
される。ＣＴＢＮをグラフトした了クリルポリマー（数
平均分子量１５０００）を得た。

査虞班土 ポリメチルメタクリレートとカルバモイルエチルメタア
クリレートとを９０：１０（モル比）でよく脱水乾燥し
たトルエン中にて７０℃で５時間加熱し、溶液重合した
。得られたアクリルポリマーの数平均分子量は、１３０
００であった。この溶液を７０℃に保ち、窒素気流下強
く撹拌しなからＯＨ末端ブタジェン液状ゴムＰｏｌｙ−
ｂｄＲ−４５Ｍ（分子量２０００、出光石油化学製）の
トルエン溶液を加え、６時間反応させた。反応終了後、
溶液中に大過剰のＭＥＫを加え、未反応の液状ゴム成分
を沈殿させ除去した。得られたものは第２表に示す構造
式（ＩＶ）で表されるグラフト共重合体であり、数平均
分子量が２７０００のものである。

査底斑） メチルメタクリレート、イソボニルメタクリレート及び
２−ヒドロキシエチルメタクリレートを７０：２０１０
　（モル比）でキシレン中で、アゾビスイソブチロニト
リルを触媒に用い、連鎖移動剤としてｔ−ドデシルメル
カプタンを用いて溶液重合し、数平均分子量１４０００
のアクリルポリマーを得た０次いでこのポリマーのキシ
レン溶液を１２０℃にて撹拌しつつ、Ｎ１５ｓｏＰＢ樹
１）！（７）ＢＮ−１０１０（日本ソーダ■製）のキシ
レン溶液を加え、還流させながら８時間反応させ第２表
に示す構造式（Ｖ）で表されるポリマー（数平均分子量
：１７０００）を得た。

企底■亙 スチレンと無水マレイン酸との共重合体（９０：１０モ
ル比）を常法にて合成し、数平均分子量５０００のポリ
マーを得た。このポリマーのＭＩＢＫ／）ルエン（５０
：５０重量比）溶液を７０℃に加熱し撹拌しながら、エ
ポキシ化ポリブタジェン（ＢＦ−１０００：アデカアー
ガス社製）を加え、３時間反応させ、第２表に示す構造
式（Ｖｌ）で表される、スチレン連鎖にポリブタジェン
連鎖がグラフトされたグラフト共重合体（数平均分子量
ニア０００）を得た。

立底開ユ 第２表に示す構造式（■）で表される構造を有するＰＩ
Ｂゴム連鎖を持つマクロ七ツマ−を用い、メチルメタク
リレートとＴＨＦ中にて５ｅｃ−ブチルＬｉを触媒とし
て一７８℃で７ニオン共重合することによって第２表に
示す構造式（■）で表されるグラフト共重合体（数平均
公刊１９６００）を得た。

このように合成例１〜７で得られたそれぞれの高分子物
質に、光重合性物質、光重合性樹脂組成物を第３表に示
す配合割合で混合して８種類の本発明の光重合性樹脂組
成物（配合例１〜８）を得た。また、第３表には、比較
例として、高分子物質として、ダイアナールＲＢ８０　
（三菱レーヨン＃′ａ）を使用した場合（比較例１）と
メチルメタアクリレートとアクリル酸、２−ヒドロキシ
エチルメタアクリレートを８５：５：１０　　（モル比
）で重合させ得た共重合体（数平均分子！ｔ５００００
）を使用した場合（比較例２）を第３表に示した配合例
１乃至８の本発明の光重合性樹脂組成物及び比較例１乃
至２の光重合性樹脂組成物のそれぞれについて、試料を
第３表に示す溶媒に溶解し、得られた溶液をデドラーフ
ィルム（デエポン社の商品名）上に塗布（５０μｍ：乾
燥後厚）、溶剤を乾燥させた後、積算して５Ｊ／−の高
圧水銀灯の光を照射し、完全硬化させた。この塗膜を単
離し、強制振動型動的粘弾性測定装置「レオログラフソ
リッド」　（東洋精機■製）にてＴｇと弾性率を測定し
た。測定結果は第４表に示すとおりであった。

第４表に示す結果から、次のことがわかった。

すなわち、本発明の光重合性樹脂組成物は、Ｔｇについ
ては、１０５℃〜１３０℃であり、２５℃における弾性
率は１０１又は１０”のオーダーであって、線膨張係数
が大きく変化する（ｌオーダー以上大きくなる）点は、
従来の光重合性樹脂組成物と変わらない、したがって、
機械的又は熱的外力に対する歪に関しては従来の光重合
性樹脂組成物と比較して大差ない。しかし、弾性率が従
来の光重合性樹脂組成物のそれと比較して一部低く、結
果として機械的又は熱的に発生する従来の光重合性樹脂
組成物の硬化物の場合に見られるクランクやハガレの問
題はない。

上述で得た液体状の光感光性樹脂組成物のそれぞれの一
部を、リバースコータにて２５μｍのポリエチレンテレ
ツクレートフィルム（ルミ−７−Ｔタイプ）に塗布し、
得られた塗布膜を乾燥させて、膜厚が８０μｍの乾燥塗
布膜７１！！（ドライフィルム）を得た。

更に、該乾燥塗布膜層上に４０μｍの延伸ポリエチレン
フィルムをカバーフィルムとして積層し、ドライフィル
ムとしての活性エネルギー線硬化型樹脂組成物層（厚さ
：８０μｍ）が、２枚のフィルムの間にサンドインチさ
れた構成の積層体を得た。

配合例１〜８ 上記の配合例１乃至８で得た液状の光感光性樹脂組成物
のそれぞれについて、上述のようにして得たドライフィ
ルムを用い、先に説明した第１図乃至第６図の工程に従
って、能動素子として１０個の発熱素子〔発熱抵抗層：
ハフニウムボライド（ＨｆＢり］及び該発熱素子に対応
して設けられたオリフィス（オリフィス寸法：８０μｍ
×１２０、ｕｎ、ピンチ０．２００ａｍ）を有する第７
図（ｄ＋に示すようなオンデマンド型液体噴射記録ヘッ
ドの作製を以下のようにして実施した。なお、記録へラ
ドは、同形状のものを各３０個宛試作した。

まず、シリコンからなる基板上に発熱素子の複数を所定
の位置に配設し、これらに記録信号印加用電極を接続し
た。

次に、発熱素子が配設された基板面上に保護膜としての
Ｓ　！　Ｏ１層（厚さ１．０．ｕｍ）を設け、保護層の
表面を清浄化すると共に乾燥させた後、保護層に重ねて
、１００℃に加温された合成例１で得た１）９４８０８
ｍのドライフィルムを、ロール温度１００℃、周速］、
Ｏｍ／ｓｉｎ、の条件下でゴムロールを用いて、ポリエ
チレンフィルムを剥離しながらラミネートした。

続いて、基板面上に設けたドライフィルム上に、液体ｉ
ｌ′Ｘａ及び液室の形状に対応したパターンを有するフ
ォトマスクを重ね合わせ、最終的に形成される液体通路
中に上記能動素子が設けられるように位置合ねせを行っ
て真空密着した後、このフォトマスクの上部から３６　
Ｓ　ｎｍ付近での紫外線強度が１０ｍＷ／ｄであってコ
リメーシクン偏角が３°の平行度の高い超高圧水銀灯を
用いて１秒間ドライフィルムを露光した。

次に、露光終了後、基板上のドライフィルムからポリエ
チレンテレフタレートフィルムを剥離しり後、該ドライ
フィルムを１．１．１−ト’）’）。

ルエタン（商品名エクーナＮｕ）で２０℃、５０秒間の
スプレー現像処理し、ドライフィルムの未重合（未硬化
）部分を基板上から溶解除去して、基板上に残存した硬
化ドライフィルム膜にょって最終的に液体通路及び液室
となる溝を形成した。

現像処理を終了した後、基板上の硬化ドライフィルム膜
に、先にパターン露光に用いたのと同様の条件で５分間
の超高圧水銀灯による後照射（ＵＶボストキュア）を行
い、更に１５０℃で１５分間の加熱処理を行い後硬化処
理を施した。

このようにして、硬化ドライフィルム膜からなる壁によ
って液体通路及び液室となる溝を基板上に形成した。

一方、液室が形成されかつ貫通孔の設けられたソーダガ
ラス製平板（天板）に、合成例１で得たドライフィルム
を、ロール温度１２０℃、ロール速度１ｍ／ｗｉｎ、の
条件下でゴムロールを用いて、ポリエチレンフィルムを
剥離しながらラミネートした。次に、膜厚１０μｍのメ
カマスクを用いた以外は前記液体通路及び液室の形成工
程と同様の条件で露光及び現像を行い、前記液室上部に
当たる部分のドライフィルムを該平板から除去した。

次に、この平板上の硬化ドライフィルム膜面と先に得た
基板上の硬化フィルム膜面とを加圧接合し、平板側から
紫外線照射（５０ｍＷ１０Ｊ、６０秒）を行うことによ
り接着固定し、接合体を形成した。

続いて、接合体の液体通路の下流側、すなわち液体を吐
出するのに利用されるエネルギーを発生する能動素子の
設置位置から下流側へ０．１５０Ｉのところを液体通路
に対して垂直に、市販のダイシング・ソー（商品名：Ｄ
ＡＤ　　２Ｈ／６型、ＤＩＳＣＯ社製）を用いて切削し
、記録用液体を吐出するためのオリフィスを形成した。

最後に、切削面を洗浄したのち乾燥させ、更に、切削面
を研磨して平滑化し、貫通孔に記録用液体の供給管を取
付けて液体噴射記録ヘッドを完成した。得られた記録ヘ
ッドは、何れもマスクパターンを忠実に再現した液体通
路及び液室を有する寸法精度に優れたものであった。ち
なみに、オリフィス寸法は、縦８０±５μｍ、横８０±
５μｍ、オリフィスピッチは、２００±５μｍの範囲に
あった。

几ｌび［Ｌユｌ 第３表に示す構成成分を同表に示す割合で混合して得た
２種類の光重合性樹脂組成物（比較例１．２）について
、同表に示す溶媒に溶解し、該溶液を上述の場合と同様
にして処理してドライフィルムを得、これを使用して実
施例１乃至８と同様の手法で２種類の液体噴射記録ヘッ
ドを作製した。

■ 以上の実施例１乃至８及び比較例１乃至２で作製したそ
れぞれの液体噴射記録ヘッドのそれぞれについて、品質
及び長期使用での耐久性をつぎのようにして評価した。

すなわち、まず、それぞれの液体噴射記録ヘッドを熱サ
イクル試験（−６５℃（３０分）−ｍ−１２５℃（３０
分）〕に付し、１００サイクル、２００”サイクル、３
００サイクルのそれぞれのサイクル終了時でクラックの
発生状況を観察し、その観察結果を第５表に示した。

ついで、客用割合で水：５０う≦、１）１ミ＜：　：　
４８％及び染＄４　：　２　％；のインクを使用し、該
、インクを８０℃の温度に保持し、この中にそれぞれの
液体噴射記録ヘッドを浸漬し、浸？ｒ！明間１ケ月、２
ケ月及び３ケ月の時点でハガレ発生状況を観察し、その
観察結果を第６表に示した。

その結果、つぎのことが判明した。すなわち、クランク
の発生状況については、第５表の結果から明らかなよう
に、本発明の液体噴射記録ヘッド（実施例１乃至８）に
ついては、３００サイクルの熱サイクルを施してもクラ
ンクの発生は見られず良好であるのに対し、比較例の液
体噴射記録ヘッド（比較例！乃至２）の場合は、いずれ
も２００サイクルの熱サイクルでクランクが発生してし
まう。

ハガレ発生については、第６表の結果から明らかなよう
に、本発明の液体噴射記録ヘッド（実施例１乃至８）の
場合は、いずれも３ケ月の長期に恒って浸漬してもハガ
レの発生は見られなく良好であるのに対し、比較例の液
体噴射記録ヘンド（比較例１乃至２）の場合は、いずれ
もハガレが生じてしまう。

〔発明の効果の概要〕

液体を吐出するのに利用されるエネルギーを発生する能
動素子を設けた基板上に、噴出口に連通ずる液体通路を
形成し、該液体通路の少なくとも一部を感光性樹脂硬化
膜を用いて構成した液体噴射記録ヘッドであって、該前
記感光性樹脂組成物が、ｌａｌスチレン系又はアクリル
系モノマー連鎖部分、そのホモポリマーがゴムである連
鎖部分を有してなる新規高分子物質と、（ｂ）１分子中
に２個以上のアクリロイル基又はメクアク゛リロイル基
を有、する光重合性物質及び（ｃｌ光重合開始剤で構成
されたものであることを特徴とする。この液体噴射記録
ヘッドは、（ｉ）使用環境下での熱変化に対して良好な
耐久性を有する、（ｉｉ　）長期間連続して使用しても
液路壁と他の構成部材との間にハガレが生じない、（ｉ
ｉｉ　）長期間連続して使用しても液路壁にクランクが
生じない、（ｉｖ）良好な吐出耐久性を有する等の各種
の利点を有する。

第 表 第４表 第 表 ×：クラック発生有 Ｏ：クラック発生無 インク浸を尉　二インク温度二８０℃ 使用インクの成分：水　　　５０％ ：ＤＥＧ　　４８％ ：染料　　　２％ ×；ハガレ発生有 Ｏ：ハガレ発生無

【図面の簡単な説明】

第１図〜第６図は本発明の液体噴射記録ヘッド並びにそ
の製造方法を説明するための模式図である。第７図及び
第１０図は樹脂硬化膜の使用部分を示す記録へノドの液
体通路に垂直な面での横断面部分を示す模式図である。 第８（ａ）図及び同ｔｂｔ図並びに第９図は記録ヘッド
の他の構成を示す模式％式％ １・・・基板、２・・・液体を吐出するのに利用される
エネルギーを発生する能動素子、３・・・樹脂層、３Ｈ
・・・樹脂硬化膜（液体通路壁）、４・・・フォトマス
ク、４Ｐ・・・マスクパターン、６−１・・・液室、６
−２・・・液体通路、７・・・覆い、８・・・貫通孔、
９・・・オリフィス、ｌＯ・・・供給管、１）・・・ｔ
ｔｉ、１２・・・上部保護層、１３・・・発熱抵抗層、
１４・・・接着層。 第１図 第２図 第３図 （ａ） 第６図 （ａ） （ａ） 第７図 （ａ） （ｂ） 第７図 （ｆ） （ｈ） ついで、容量割合で水＝５０％、ＤＥＧ：４８％及び染
料＝２％のインクを使用し、該インク庖８０℃の温度に
保持し、この中にそれぞれの液体噴射記録ヘッドを浸漬
し、浸漬期間１ケ月、２ケ月及び３ケ月の時点でハガレ
発生状況を観察し、その観察結果を第６表に示した。 その結果、つぎのことが判明した。すなわち、クラック
の発生状況については、第５表の結果から明らかなよう
に、本発明の液体噴射記録ヘッド（実施例１乃至８）に
ついては、３００サイクルの熱サイクルを施してもクラ
ックの発生は見られず良好であるのに対し、比較例の液
体噴射記録ヘッド（比較例１乃至２）の場合は、いずれ
も２００サイクルの熱サイクルでクラックが発生してし
まう。 ハガレ発生については、第６表の結果から明らかなよう
に、本発明の液体噴射記録ヘッド（実施例１乃至８）の
場合は、いずれも３ケ月の長期に恒って浸漬してもハガ
レの発生は見られなく良好であるのに対し、比較例の液
体噴射記録ヘッド手続補正書は式） ％式％ １、事件の表示 平成１年特許願第５６０８９号 ２、発明の名称 液体噴射記録ヘッド ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 住所　東京都大田区下丸子３丁目３０番２号名称ｆ１０
０１キャノン株式会社 ４、代理人 住所　東京都千代田区六番町３の１ 玉柳ビル　３　Ｆ　　置ｆ２６１）９６３６平成１年５
月２３日（発送臼）

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）液体を吐出するのに利用されるエネルギーを発生
   する能動素子を設けた基板上に、吐出口に連通する液体
   通路を形成し、該液体通路の少なくとも一部を感光性樹
   脂組成物の硬化膜を用いて構成した液体噴射記録ヘッド
   であって、前記感光性樹脂組成物が感光性ゴム変成アク
   リル樹脂組成物であることを特徴とする液体噴射記録ヘ
   ッド。
2. （２）前記感光性ゴム変成アクリル樹脂組成物が、（ａ
   ）高分子物質、（ｂ）１分子中に２個以上のアクリロイ
   ル基またはメタアクリロイル基を有する光重合性物質お
   よび（ｃ）光重合開始剤を含有してなる樹脂組成物であ
   る請求項（１）に記載の液体噴射記録ヘッド。
3. （３）前記高分子物質（ａ）がスチレン系あるいはアク
   リル系モノマー連鎖部分と、そのホモポリマーがゴムで
   あるモノマー連鎖部分を有するものである請求項（２）
   に記載の液体噴射記録ヘッド。
4. （４）前記能動素子が発熱素子である請求項（１）に記
   載の液体噴射記録ヘッド。
5. （５）前記能動素子が圧電素子である請求項（１）に記
   載の液体噴射記録ヘッド。
6. （６）前記吐出口が前記硬化膜により形成されている請
   求項（１）に記載の液体噴射記録ヘッド。