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JPH0223208A - タービン翼の振動をモニターする方法および装置 - Google Patents

タービン翼の振動をモニターする方法および装置

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Publication number
JPH0223208A
JPH0223208A JP1140932A JP14093289A JPH0223208A JP H0223208 A JPH0223208 A JP H0223208A JP 1140932 A JP1140932 A JP 1140932A JP 14093289 A JP14093289 A JP 14093289A JP H0223208 A JPH0223208 A JP H0223208A
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turbine
row
sensing
vibration
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JP1140932A
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Robert L Osborne
ロバート・リー・オスボーン
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Westinghouse Electric Corp
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • B21D—WORKING OR PROCESSING OF SHEET METAL OR METAL TUBES, RODS OR PROFILES WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
    • B21D51/00—Making hollow objects
    • B21D51/16—Making hollow objects characterised by the use of the objects
    • B21D51/38—Making inlet or outlet arrangements of cans, tins, baths, bottles, or other vessels; Making can ends; Making closures
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  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は蒸気タービン発電機における動作パラメータの
モニター方法および装置に関し、更に詳細にはタービン
翼の振動をモニターする方法および装置に関する。
タービン翼は、その複雑な設計のためモードと呼ばれる
翼の固有周波数に相当する周波数で振動することがある
。各モードは、例えばタービンの回転軸に沿う方向ある
いはタービンの回転軸に垂直な方向における振動のよう
にそれぞれ異なるタイプの振動に関連するものである。
タービン翼の常態位置の周りでの過度の振動を防止する
ためには、杵通、これらのモードが蒸気タービンの動作
周波数の高調波の間に位置するようにタービンを設計す
る必要がある。しかしながら、製造公差ロータへの翼取
付は位置の変動、浸食による翼の外形変化およびタービ
ン動作周波数の変動等が主として作用してモードの周波
数が動作周波数の高調波に近づくことがある。また、破
壊的な非同期振動が生ずることもある。蒸気タービンに
おける非同期振動は、普通、低蒸気流と高背圧によりタ
ービン翼がランダムに励起されるバフエツトあるいはタ
ービンロータのねじり応力が発生する結果生じることが
ある。
モードの周波数が動作周波数の高調波に近ずくと、蒸気
タービンに物理的な損傷が生じることがある。振動の振
幅があるレベルを越えると、タービン翼に有害な応力が
生じる。この状態が感知されずそのまま放置されるとタ
ービン翼は最終的に破壊され、その結果該大な損害を生
ずる発電機の運転停止を余儀なくされる。したがって、
かかる損害の発生を防止するためにこの振動を検知する
方法が必要となる。
シュラウド付きタービン翼の振動を検知する従来技術の
方法は、タービン翼に歪ゲージを固定する方法である。
センサーからの情報がタービン回転軸の種々の場所に固
定した小型送信機により発電機外部の分析装置へ送られ
る。第１図に示すように、従来技術のシュラウド付きタ
ービン翼列１０は普通、ロータディスク１１．タービン
翼１２．シュラウド部材１３．テノン１４．シール１５
．歪ゲージ２１を含む、テノン１４はタービン１１２の
一体的部分であり、シュラウド部材１３をタービン翼１
２へ締付ける機能を持つ、シール１５はタービン５１２
を通過せずそれを迂回する蒸気の量を減少する働きを持
つ、歪ゲージ２２はタービンＥ１２の振動を測定して振
動レベルを表わす信号をロータディスク１１から静止電
子装置（図示せず）に送る。
この従来技術の方法には３つの重大な欠点がある。まず
第１に、歪ゲージ２２はタービンｉ１２を通過する蒸気
により浸食されるためその寿命が非常に短い。第２に、
タービン翼列ｌＯの全てのＥ１２の振動をモニターする
には各Ｑ１２に歪ゲージ２２を取付ける必要があり、非
常に費用がかかる。またタービンの内部に収容出来る送
信機、従ってセンサーの数が限定される。第３に、歪ゲ
ージ２２を継続重圧つ高信頼度で給電し、回転するロー
タディスク１１から静止電子装置（図示せず）に検知信
号を送るため複雑な構成が必要となり、これは決して容
易なことではない。
上記の問題を回避するため、永久取付は式非接触型接近
センサーを用いるタービン翼振動感知装置が開発されて
いる。かかる！置を記載した米国特許第４，５７３，３
５８号明細書には、タービン翼列の周囲に離隔して配置
した複数のセンサーによりオペレータが選択した翼の振
動を検知する構成が示されている。しかしながら、この
装置はシュラウド付きとシュラウド無しのタービン翼の
物理的構成の違いにより、シュラウド付きタービン翼に
応用するのは容易でない。
かくして、比較的低いコストでシュラウド付きタービン
翼の振動を測定する長寿命モニター装置に対する要望が
ある０本発明かはかかるシュラウド付きタービン翼振動
モニターシステムに対する要申を充足するものである。
本発明は、タービン翼シュラウド部材とタービン翼テノ
ンの存在を判別することにより蒸気タービンの各タービ
ン翼列の外形を捕える複数のセンサーを備えたシュラウ
ド付きタービン翼振動モニター装置に関する。タービン
翼列の予想される外形を記憶させ、しかる後感知した外
形を予想される外形と比較して、振動によるタービン完
の運動を検知する手段が設けられている。出力手段がこ
の比較の結果に応じて応答を発する。
本発明は、広義には、円周列を形成するように取付けら
れた複数のタービン翼の振動をモニターする装置であっ
て、タービン翼列の外形を動的条件下において感知する
手段と、予想されるタービン翼列の外形を記憶させる手
段と、感知したタービン翼列の外形を予想される外形と
比較して振動によるタービン翼の運動を検知する手段と
、比較手段に応答する出力手段とよりなることを特徴と
するモニター装置を提案する。
本発明の一実施例によれば、マイクロプロセッサ−が、
各タービン翼テノンがセンサーへ到達する時間を該セン
サーへの予想される到達時間と比較する。このようにし
て、マイクロプロセッサ−はタービン翼列を含む平面内
における、またタービン翼列を含む該平面に垂直な平面
における、タービン翼シュラウド部材の運動を検知する
。タービン翼の遅動の振幅および周波数がこのようにし
て求められる。
本発明はまたタービン翼列の外形を感知することにより
タービン翼の振動をモニターする方法を提゛供する。こ
の複数のタービン翼の振動をモニターする方法は、ター
ビン翼列の外形を動的条件下で感知し、タービン翼列の
予想される外形を発生記憶し、感知したタービン翼の外
形を予想される外形と比較して振動によるタービン翼の
運動を検知し、前記検知ステップに応答して出力を行な
うステップよりなる。
本発明のシュラウド付きタービン翼の振動モニター装置
は、シュラウド付きタービン翼を使用する任意の蒸気タ
ービンに利用可能である。高圧、中圧および低圧タービ
ンの翼列よりなる典型的な蒸気タービン発電機では、低
圧タービンの最後の列を除き全ての回転翼列の外周部分
にシュラウドが設けられている。かかるタービンではタ
ービン翼の振動レベルをモニターすることが重要外ため
、このようなモニター装置が必要となる。振動が過大な
ると蒸気タービンの構成要素が破壊される場合がある。
シュラウド付きタービン翼の振動モニター装置は、かか
る臨界的な振動レベルが存在することをオペレーターに
警告するとともにタービンの保護動作を開始させる。
以下、添付図面を参照して本発明を好ましい実施例につ
き詳細に説明する。
第２図は、タービン翼の振動をモニターする本発明の方
法および装置を利用するシュラウド付きタービン翼列ｌ
Ｏを示す、添付図面において同一の参照符号は同一の構
成部分を示す、第１図に示したように、タービン翼１２
はロータｌＢにロータディスク１１により連結されてい
る。テノン１４はタービンｉ１２の一体的部分であり、
シュラウド部材１３をタービン翼１２へ締付ける働きが
ある。シール１５はタービン翼１２を迂回してその周り
を流れる蒸気のｒａを減少する働きがある。第２図はま
た。タービンｉ１２の振動をモニターするセンサー２１
を示す。センサー２１としては可変リアクタンス型セン
サーあるいはマイクロウェーブ型もしくは光学式センサ
ーを含む（これらに限定されない）センサー２１と、シ
ュラウド部材１３の表面部分との間の相対的距離を感知
する任意の実用的センサーを用いることが出来る。蒸気
タービンの内部の過酷な条件に耐えるセンサーの一例が
米国特許第４，８４４，２７０号に記載されている。第
２図に示すように、基準センサー１７が設けられている
。該基準センサー１７は、ロータ１６上の標識１８と協
働してロータ１６の一回転につき１個の出力信号を発生
する。かかる基準信号はタービンの技術分野でよく知ら
れている第２図のタービン翼列１０の一部を断面図で示
したものが第３図である。センサー２１は翼列１０の平
面内でシュラウド部材１３とテノン１４の表面のすぐ上
方に配置される。センサー２１をタービンｙＸ１２を介
する蒸気流が直接当る通路の外側に配置することで、セ
ンサーの著しい浸食を防止出来る。第９図に示す典型的
な蒸気タービン２３は、高圧、中圧および低圧段に対応
する異なるサイズの質１２を備えている。
本発明のシュラウド付きタービン翼の振動モニター装置
３０を第４図に示す、センサーの出力信号３１はアナロ
グプリプロセッサー３２への入力となる。アナログプリ
プロセッサー３２のアナログ出力信号３３はアナログ−
デジタル・コンバータ３４によりデジタル信号３５に変
換される。デジタル信号３５はマイクロプロセッサ−３
８へ入力され、該マイクロプロセッサ−はオペレーター
−インターフェイス３７を駆動して過大な振動の検知に
応答してタービン発電機（図示せず）をトリップさせる
制御信号３８を発生させる。
センサーの出力信号３１は第５図のトレース４０により
表わすことが出来る。トレース４０はセンサーの出力信
号３１を時間の関数としての電圧で表わしたものであり
、破・線はセンサー出力信号３１の大きさをセンサー２
０が検知するシュラウド部材１３の特定の表面の特徴部
分との相関に用いる。センサー２１は、隣接するシュラ
ウド部材１３の間のギャップ１９を検知するとシュラウ
ド部材１３の表面とセンサー２１の間の距離を表わす基
準電圧ＶＲに関し正方向のセンサー出力信号３１を発生
する。同様に、センサー２１がテノン１４を感知すると
、センサー信号３１が基準側臼Ｒより負方向に変化する
。
第５図はまた、トレース４１により、トレース４０のセ
ンサー出力信号３１から求める時間の関数としての第４
図のアナログプリプロセッサー３２のアナログ出力信号
３３を示す、このアナログ出力信号３３が動的条件下に
おけるタービン翼シュラウド部材１３の外形を与える。
アナログ出力信号３３は当該技術分野でよく知られてい
る方法を用いてアナログプリプロセッサー３２の電圧比
較回路（図示せず）により発生可能である。センサー出
力信号３１の電圧が基準電圧ＶＲからある小さな値Ｖｃ
ｒｉｔ以上正方向に変化すると正のパルスが発生する。
また電圧が基準電圧ＶＲの臨界電圧Ｖｃｒｉｔ以下の値
に低下すると正のパルスが発生する。同様に、センサー
出力信号３１が負方向に変化すると負のパルスが発生す
る。
アナログ出力信号３３のパルス列あるいは１トレース４
１の外形信号は第４図のアナログ−デジタル・コンバー
タ３４に入力される。その結果書られるデジタル出力信
号３５はマイクロプロセッサ−３８に入力される。前述
した一回転につき１個のパルスに対する各パルスの正確
な時間関係がマイクロプロセッサ−３８のメモリーに記
憶される。常態の、即ち予想される外形を表わすパルス
時間もまたマイクロプロセッサ−３６のメモリーに記憶
される。
この各パルスの正確な時間を基にシュラウド部材１３の
任意の振動を検知出来る。第６Ａ図は、シュラウド部材
１３の回転中心２０に関するシュラウド部材１３の常態
あるいは非振動位置を示す。一方、第６Ｂおよび６０図
は各シュラウド部材１３の回転中心２２に関するシュラ
ウド部材１３の振動極限位置を示す、第ＧＡ、８Ｂおよ
び８０図は種々のシュラウド表面特徴部分（シュラウド
部材のギャップ１９およびテノン１４）がセンサー２１
へ到達する時間がシュラウド部材１３が振動によりその
回転中心２０の周りで振動するにつれ変化する様子を示
す、破線は常態での到達時間、実線は実際の到達時間を
示す、センサー２１は、シュラウド部材１３の上方に位
置している時シュラウド部材１３の回転中心２０の周り
の振動位置により、常態の到達時間よりも早くあるいは
遅く種々のシュラウド部材１３の表面特徴部分を検知す
る。
第４図のマイクロプロセッサ−３Ｂの動作は第７図のフ
ローチャートに示すように実行される。
フローチャートはステップ５０でスタートするが、そこ
ではマイクロプロセッサ−３６が第４図のデジタル出力
信号３５をサンプルする。ステップ５１において、マイ
クロプロセッサ−３６のメモリーに記憶された各パルス
の実際の時間と、同じくマイクロプロセッサ−３８のメ
モリーに記憶された各パルスの常態、即ち非振動状態に
おける時間との偏差を計算する。ステップ５２において
、そのシュラウド部材１３の各個別のパルスの時間偏差
に対応するシュラウド部材１３の実際の変位を計算する
。タービン翼列ｌＯを含む平面に平行な平面におけるシ
ュラウド部材１３の変位は以下の式により計算可能であ
る。
Ｘ　　　＝　　　Δ　を 上式において、 Ｘ　＝　タービン翼列を含む平面に平行な平面における
シュラウド部材の変位。
Ｖ　＝　シュラウド部材の回転速度 （ミル／マイクロ秒）、 Δｔ＝　パルス時間の偏差（マイクロ秒）。
タービン翼列ｌＯを含む該平面に垂直な平面におけるシ
ュラウド部材１３の変位は以下の式により計算出来る。
ｙ　　＝　　ｔａｎφ 上式では、 ｙ　＝　タービン翼列を含む該表面に垂直な表面におけ
るシュラウド部材の変位 Ｘ　＝　タービン翼列を含む平面に平行なモ面における
シュラウド部材の変位、 φ　＝　第６Ａ図に示すようにタービン翼テノンに正接
するラインとシュラウド部 材の端縁との間の角度。
以　　下　　余　　白 ステップ５２で計算を実行すると、各シュラウド部材１
３の複数の変位測定値が時間関数として得られるが、こ
れら測定値の数はセンサー２１が検知するシュラウド部
材１３の表面特徴部分（シュラウド部材のギャップ１９
およびテノン１０の数の関数である。
マイクロプロセッサ−３６のプログラムは第７図のフロ
ーチャートのステップ５３へ進み、そこでシュラウド部
材１３の任意の同期振動の振幅および周波数がステップ
５２で計算した時間関数である変位測定値から求められ
る。これは曲線あてはめ法およびパターン認識システム
（ロボットの分野で特によく知られている）を含む（こ
れらに限定されない）当該技術分野でよく知られた種々
の方法の１つにより求めることが出来る。
次いで、マイクロプロセッサ−３６はステップ５４にお
いて任意の非同期信号の周波数スペクトルを求める。マ
イクロプロセッサ−３Ｂは入力信号をフーリエ分析する
信号処理手段を備えたリアルタイム・アナライザとし働
くようにプログラム可能であり、この場合入力信号はス
テップ５２で計算した時間関数であるシュラウド部材１
３の変位であるこの結果得られた非同期信号のスペクト
ルは、同期信号のスペクトルとともにステップ５５にお
いて振動の振幅および周波数を関数としてオペレーター
に表示される。かかる表示の一例を第８図に示す。
次に、プログラムは第７図のフローチャートのステップ
５６へ進むが、そこでマイクロプロセッサ−３６がステ
ップ５３および５４における振動測定の結果タービン翼
１２に問題のある応力が存在するか否かを判断する。こ
の判断は、第４図の装置３０によりモニターされるシュ
ラウド部材１３の変位あるいは振動の振幅に等価のター
ビン翼１２の先端の変位とその結果任意の所与の周波数
でタービン翼１２全体に生じる応力との間の関係から可
能である。
もし問題のある変位が検知されこれにより有害な応力の
発生が指示されると、ステップ５７においてマイクロプ
ロセッサ−３６はオペレーターにアラームを発し、モし
て／あるいは蒸気タービンをトリップさせてタービン翼
１２の破壊によるタービンへの物理的損傷の発生を防止
する。ステップ５８において有害な応力の発生が検知さ
れない場合には、プログラムはステップ５０に戻る。こ
のプロセス全体は各タービン翼列１０の各シュラウド部
材１３につき繰返される。
第４図のシュラウド付きタービン翼の振動モニター装置
３０のこの好ましい実施例は各タービン翼列１０に１個
のセンサー２１を用いるが、２個以上のセンサー２１の
使用が必要な場合がある。各タービン翼列１０に設ける
センサー２１の数は任意特定の用途において問題となる
タービン翼１２の振動の最低周波数の関数である。必要
とされるセンサー２１の数と問題とされる振動周波数と
の関係は以下の説明から明らかである。
もしシュラウド部材１３の１つの振動を完結する回転時
間がシュラウド部材１３がセンサー２１の下方を通過す
る時間に比べて長い（低周波数振動）場合、シュラウド
部材１３はセンサー２１の下方を通過する際その常態位
置からごく僅か変位するだけであろう。このため、シュ
ラウド部材１３のかかる低周波運動を検知するにはシュ
ラウド部材１３の任意の表面特徴部分がセンサー２１に
到達する時間を非常に精密に測定する必要がある。従っ
て、シュラウド部材１３の常態位置からの必要な変位位
ｎを全て検知出来るようにするためにタービン翼列１０
の周りに複数のセンサー２１を配置する。典型的な蒸気
タービンの場合、問題となる振動周波数は動作周波数（
６０ヘルツ）からその第８高調波（４８０ヘルツ）の範
囲にある。かくして、低周波振動（６０乃至１８０ヘル
ツ）を検知するためには少なくとも２つのセンサー２１
をタービン翼列１ｏの周囲に配置する必要がある。叙上
より解るように、本発明の従来技術に対する利点は各タ
ービン翼列１ｏに必要なセンサー２１の数を最少限に抑
えることである。
各タービン翼列ｌＯに必要なセンサー２１の数を決定す
る際考慮しなければならないもうｉつのファクターは、
テノン１４の幾何学的形状である１円形のテノン１４を
用いる場合、センサー２１をジュラウド部材１３の縦方
向の中心線からテノン１４の半径のほぼ半分の所に配置
して回転面に垂直な平面における振動だけでなく回転面
内における振動をも検知出来るようにする必要がある。
しかしながらセンサー２１をシュラウド部材１３の中心
線から離れた所に配置すると、タービンロータ１８の差
動的膨張によりシュラウド部材１３がセンサー２１の下
方位置から外れる可能性が増大する。従って、テノン１
４の幾何学的形状によりそうせざるを得ない時は、各タ
ービン翼列！０の周りの各センサー２１に隣接してもう
１つのセンサー２１を設けるとよい。
以上、本発明を好ましい実施例につき説明したが、当業
者にはそれらの多くの変形例あるいは設計変更が容易に
想到されるであろう０本明細書および頭書の特許請求の
範囲はかかる変形例および設計変更を全て包含するよう
意図されたものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来型シュラウド付きタービン翼振動モニター
装置を示す。 第２図は本発明の方法および装置を利用出来るシュラウ
ド付きタービン翼列を示す。 第３図は第２図のタービン翼列の断面図である。 第４図は本発明によるシュラウド付きタービン翼振動モ
ニター装置を示す。 第５図はセンサー出力信号およびプリプロセッサｍ−ア
ナログ出力信号のトレースの一例を示す。 第６Ａ、８Ｂおよび８０図はシュラウド部材の非振動位
置および振動極限位置を示す。 第７図は第４図のシュラウド付きタービン翼振動モニタ
ー装置のマイクロプロセッサ−により実行されるステッ
プを示すフローチャートである第８図は振動の振幅の周
波数スペクトルの一例を示す。 第９図は本発明の方法および装置を利用出来る蒸気ター
ビンの横断面図である。 ｌＯ・ １２拳 １３・ １４・ １５拳 ２１・ ３０・ ３２争 ３４拳 ３８Φ 拳タービン翼列 拳タービン翼 拳シュラウド部材 Φテノン ・シール 拳センサー φタービン翼振動モニター装置 ・アナログφプリプロセッサー 番アナログーデジタル会コンバータ ーマイクロプロセッサー 一オペレータ・インターフェイス ＦＩＧ、３ 出願人：ウェスチングハウスψエレクトリック・コーポ
レーション 代理人：加藤紘一部（はが１名） ＦＩＧ、　　４ マ ７−ビ瀧へ ＦＩＧ。 ＦＩＧ。 ＦＩＧ。

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）円周列を形成するように取付けられた複数のター
    ビン翼の振動をモニターする装置であって、タービン翼
    列の外形を動的条件下において感知する手段と、予想さ
    れるタービン翼列の外形を記憶させる手段と、感知した
    タービン翼列の外形を予想される外形と比較して振動に
    よるタービン翼の運動を検知する手段と、比較手段に応
    答する出力手段とよりなることを特徴とするモニター装
    置。
  2. （２）タービン翼列はタービン翼の端部に支持された複
    数のタービン翼シュラウド部材とタービン翼シュラウド
    部材をタービン翼に固定する複数のテノンとを含み、タ
    ービン翼列の外形感知手段はタービン翼シュラウド部材
    およびタービン翼テノンの存在を感知する手段を含むこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第１項に記憶の装置。
  3. （３）タービン翼の外形感知手段はタービン翼を通る蒸
    気流通路の実質的に外側に配置された複数の静止センサ
    ーを含み、センサーの数は感知するタービン翼の運動の
    最低周波数の関数であることを特徴とする特許請求の範
    囲第２項に記載の装置。
  4. （４）センサーはタービン翼列の周りに円周方向に対を
    形成するように互いに隣接して配置されていることを特
    徴とする特許請求の範囲第３項に記憶の装置。
  5. （５）比較手段はマイクロプロセッサーとアナログプリ
    プロセッサー回路を含むことを特徴とする特許請求の範
    囲第２項に記載の装置。
  6. （６）比較手段はタービン翼列を含む平面内におけるタ
    ービン翼シュラウド部材の運動を検知することを特徴と
    する特許請求の範囲第５項に記載の装置。
  7. （７）タービン翼シュラウド部材の運動は各タービン翼
    テノンが感知手段に到達する時間と該感知手段への予想
    到達時間とを比較することにより検知されることを特徴
    とする特許請求の範囲第６項に記載の装置。
  8. （８）比較手段はタービン翼列を含む前記平面に垂直な
    タービン翼シュラウド部材の運動を検知することを特徴
    とする特許請求の範囲第７項に記載の装置。
  9. （９）タービン翼列を含む前記平面に垂直なタービン翼
    シュラウド部材の運動はタービン翼列を含む前記平面内
    におけるタービン翼シュラウド部材の運動から三角法に
    より求められることを特徴とする特許請求の範囲第８項
    に記載の装置。
  10. （１０）比較手段はタービン翼の運動の振幅および周波
    数を求めることを特徴とする特許請求の範囲第９項に記
    載の装置。
  11. （１１）振動によるタービン翼の運動を感知してオペレ
    ーターにアラームを発する手段を含んでなることを特徴
    とする特許請求の範囲第１項に記載の装置。
  12. （１２）振動によるタービン翼の運動を感知してタービ
    ンをトリップする手段を含んでなることを特徴とする特
    許請求の範囲第１項に記載の装置。
  13. （１３）円周列を形成するように取付けられた複数のタ
    ービン翼の振動をモニターする方法であって、タービン
    翼列の外形を動的条件下で感知し、タービン翼列の予想
    される外形を発生記憶し、感知したタービン翼の外形を
    予想される外形と比較して振動によるタービン翼の運動
    を検知し、前記検知ステップに応答して出力を行なうス
    テップよりなるモニター方法。
  14. （１４）タービン翼列はタービン翼の端部に支持された
    複数のタービン翼シュラウド部材とタービン翼シュラウ
    ド部材をタービン翼に固定する複数のテノンとを含み、
    タービン翼列の外形を感知するステップはタービン翼シ
    ュラウド部材とタービン翼テノンの存在を感知するステ
    ップを含むことを特徴とする特許請求の範囲第１３項に
    記載の方法
  15. （１５）比較ステップはタービン翼列を含む平面内にお
    けるタービン翼シュラウド部材の運動を検知するステッ
    プを含むことを特徴とする特許請求の範囲第１４項に記
    載の方法。
  16. （１６）比較ステップはタービン翼列を含む前記平面に
    垂直なタービン翼シュラウド部材の運動を検知するステ
    ップを含むことを特徴とする特許請求の範囲第１５項に
    記載の方法。
  17. （１７）比較手段はタービン翼の運動の振幅および周波
    数を求めるステップを含むことを特徴とする特許請求の
    範囲第１６項に記載の方法。
  18. （１８）振動によるタービン翼の運動を検知してオペレ
    ーターにアラームを発するステップを更に含むことを特
    徴とする特許請求の範囲第１３項に記載の方法。
  19. （１９）振動によりタービン翼の運動を検知してタービ
    ンをトリップするステップを更に含むことを特徴とする
    特許請求の範囲第１３項に記載の方法。
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