JPH02191352A - プローブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は主に半導体ウェハのプローブ装置に関するも
のである。

（従来の技術） 半導体デバイス製造工場では、技術革新に伴い多種多様
なＩＣやＬＳＩ等の半導体デバイスが生産されている。

通常製造工場のクリーンルーム内には、形成されるデバ
イスの種類により、例えばメモリーＩＣ用ライン、ゲー
トアレイ用ライン等と、各ラインが設けられ、これらラ
インは夫々に合った製造ラインにより構成されている。

上記デバイスの為のプローブ装置もまた別のラインとし
てクリーンルーム内に設けられている。

通常上記プローブ装置はローダ部と測定部とからなる。

ローダ部は多数の被測定体を収納する機構と、これらを
測定部に供給する機構とを有する。

測定部は被測定体を支持する機構と、これらを測定する
機構とを有する。

上記生産ラインの生産量は需要に応じて頻繁に且つ大幅
に変化する。この為、上記生産量の変化に対応してプロ
ーブ装置も処理能力を変える必要が生じる。しかし従来
の一般的なプローブ装置は。

ローダ部と測定部とが１対の関係で設けられていた。従
って２例えば急いで測定する必要がある品種のウェハが
発生した場合、迅速な処理に対応できない、或いは部分
的に人手による補助が必要になるという問題が生じた０
例えば、生産工程から２５枚のウェハを収納したカセッ
トが流れてきたとすると、これを自動的に処理するには
１次工程は、１台のプローブ装置で１枚目から２５枚目
までのウェハの測定が順に行われるのを待たなければな
らない、また別法として、２５枚のウェハをカセットか
ら人為的により取出すと共に、これを複数のプローブ装
置に数枚ずつ振分けて測定を行う場合もあるが、これは
自動的な処理とは相反し、非常に人手が掛かった。

また大量処理に対応する為、複数台のプローブ装置をク
リーンルーム内に配置することも種々の問題を発生させ
る原因となる。何故なら、クリーンルームは建設コスト
及び維持費が高価なので。

簡単に該ルームの床面積を広げたり、形状を変更したり
することができないからである。

上記問題に対応する為、実開昭６０−４１０４５号公報
においては、測定部の前後左右いずれの側面にもウェハ
供給及び収納機構であるローダを配置したプローブ装置
が開示される。また特開昭６１−１６８２３６号公報に
おいては、１つのローダに対して複数の測定部を配置し
たプローブ装置が開示される。

上記公報に開示の両タイプの装置は、確かに成る面にお
いて、前述のプローブ装置の効率化或いは占有スペース
の削減という課題に寄与し得る。

（発明が解決しようとする課題） しかし１反面、これらのプローブ装置にあっては、処理
パターンの固定化、１装置の大型化が伴う。この為、ク
リーンルーム内で頻繁に行われる処理能力の変更、レイ
アウトの変更、及びこれに付随するクリーンルーム間或
いは半導体製造工場間でのプローブ装置の交換に対して
は、むしろ従前のローダ部と測定部とが１対の上記タイ
プのプローブ装置よりも種々の問題を発生させることと
なった。

従って本発明の目的は、測定処理量、処理パターン等に
応じてローダ部と測定部との組合わせを自由に変更可能
なプローブ装置を提供することである。

本発明の他の目的は、ローダ部と測定部とのいかなる組
合わせ関係にも確実に対処可能なプローブ装置の制御機
構を提供することである。

（課題を解決するための手段） この発明は複数の被測定体の収納容器から上記被測定体
を供給する機構を有するローダ部と、このローダ部から
の被測定体を測定する複数の測定部を有するプローブ装
置において、上記ローダ部および複数の測定部を個々に
管理する管理手段と、上記各手段を制御するマスタ管理
手段とを備えたことを特徴とする。

さらに、複数の被測定体を収納する手段及びこれらを８
１す走部に供給する手段を有するローダ部と、被測定体
を測定する手段を有する測定部と、を含むプローブ装置
であって、 ローダ部の作業機能を直接制御するローダ部専用スレイ
ブＣＰＵと、ローダ部専用スレイブＣＰＵの管轄下に属
し、ローダ部における各部材の動作を担当する集積回路
手段と、測定部の作業機能を直接制御する測定部専用ス
レイブＣＰＵと、測定部専用スレイブＣＰＵの管轄下に
属し、８１す走部における各部材の動作を担当する集積
回路手段と。

上記ローブ部専用スレイブＣＰＵ及び上記測定部専用ス
レイブＣＰＵに接続され且つこれらを統括するマスタＣ
ＰＵと、上記各スレイブＣＰＵが互いに直接的に接続さ
れず、上記マスタＣＰＵのみを介して連携することと、
を特徴とする。

（作　用） 本発明のプローブ装置では、１系統のローダ部に対して
少なくとも２系統の測定部を対応可能にしたことにより
、プローブ装置のコンパクト化が実現するとともに、い
かなる条件下例えば配置換え構成換えにおいても対応可
能な汎用性の高いプローブ装置を提供するものである。

（実施例） 次に本発明のプローブ装置を半導体ウェハプローバに適
用した実施例を図面を参照して説明する。

この半導体ウェハプローブ装置は、ローダユニット１と
この両側に配置された２つの測定ユニット３０ａ、３０
ｂとからなる。ローダユニット１はハウジング５により
区画され、また測定ユニット３０ａ、３０ｂはハウジン
グ３５ａ、　３５ｂにより区画される。即ち、各ユニッ
ト１　、３０ａ、　３０ｂは個別のハウジング５．３５
ａ、　３５ｂに区画された互いに独立したユニットであ
り、要求されるプローブ装置機能に応じて接続、切離し
０１能となっている。

ローダユニット１は第１図に示されるように、前後に一
対のカセット載置台６が昇降自在に設けられ、カセット
載置台６に載置したカセット７を上下動させるようにな
っている。一対のカセット７ａ、７ｂには被測定体であ
る。半導体チップが規側的に形成されたウェハ１０が、
夫々適当な間隔で２５枚収納可能となっている。

このカセット７からウェハを１枚ずつ搬出入する為の真
空吸着フォーク１１は、矢印１２方向に水平に移動可能
であると共に、垂直方向にも移動可能であり、板状体で
コ字状に形成されている。真空吸着フォークＩｌの先端
には吸着部１１ａが設けられている。真空吸着フォーク
１１とカセット収納台６との間には、ウェハｌＯを載置
可能なプリアライメントステージ１５が設定され、Ｘ方
向及び０方向の駆動が可能となっている。また、プリア
ライメントステージ１５から測定ユニットの測定ステー
ジヘウェハ１０を搬送する、スライド回転可能な真空吸
着アーム１７が設置されている。このアーム１７はモー
タ（図示せず）で駆動され、水平に３６０’　　回転可
能となっている。このローダユニット１を構成するユニ
ット上方の後面側には、支柱１９を介してアーム２０が
取付けられ、アーム２０は支柱Ｉ９を中心として水平に
６０°回転可能となっている。このアーム２０の先端に
はチップを拡大して見るマイクロスコープ２１が設置さ
れ、垂直方向に上下動可能となっている。また、ローダ
ユニット１の動作を制御する為にローダユニット専用の
スレイブＣＰＵ４４（第３図参照）が内蔵されており、
ローダユニット１を構成するユニットの上面に着脱自在
に設置されたキーボード（図示せず）に配線されている
。また底面部には電源部２３が配置されており。

測定ユニット３０ａ、３０ｂに給電可能となっている。

次に測定ユニットについて説明すると、第１の測定ユニ
ット３０ａと第２の測定ユニット３０ｂは。

同一構成の夫々独立したユニットであり、夫々ローダユ
ニット１に対して左右いずれの側からも設置可能な構成
である。第１測定ユニツト３０ａについて説明すると、
この第１測定ユニツト３０ａのハウジングの底面にはキ
ャスタ３１が取付けられており、所望の位置に￥１置可
能に構成されている。この第１８′ｌｌＩ定ユニツト３
０ａの両側面のどちら側にも。

ローダユニット１がボルト止めすることにより着脱自在
に設置できるようになっている。

第１測定ユニツト３０ａの内部も！成としては、測定ス
テージ３２ａは周知の手段でＸ方向、Ｙ方向、Ｘ方向、
Ｏ方向の駆動が可能であり、特にＸ方向。

Ｙ方向の駆動範囲は、第１測定ユニツト３０ａの中心点
において前後左右で対称の動作が可能である。

また予備機構として、プリアライメントステージ１５に
載置されたウェハ１０を測定ステージ３２ａへ真空吸着
して搬送する。真空吸着アーム３３ａが設置されている
。このアーム３３ａは、第１測定ユニツト３０ａのハウ
ジングの右側面に設置されている。

この実施例ではアーム３３ａのみを使用し、アーム３３
ｂは使用しない、また測定位置において、測定ステージ
３２ａと対向した位置には、プローブカードが設置され
ており、周知の手段で被測定体の測定を行う、上記第１
測定ユニツト３０ａの動作は、操作パネル部３４ａにお
いてパラメータを設定することにより簡単に入力される
。各動作の制御は内蔵の第１測定ユニツト専用のスレイ
ブＣＰ　Ｕ４６ａ（第３図参照）行う、動作に関する演
算処理は。

別ユニットとして形成されたマスタＣＰＵ４２（第３図
参照、その外観は図示せず）で行う、マスタＣＰ　Ｕ４
２のユニットは、ローダユニット１若しくは測定ユニッ
ト３０ａ、３０ｂのケーシング内に配置可能となる。

第１１定ユニツト３０ａについて説明したことは、第２
測定ユニツト３０ｂについても同様なことがいえる。な
お測定ステージ３２ｂには、真空吸着アーム１７によっ
てウェハＩＯが回転搬送される。第１１定ユニツト３０
ａの真空吸着アームは予備機構として設置されており、
この実施例については直接使用しない。

次にローダユニット１と第１及び第２測定ユニツト３０
ａ、３０ｂの接続と位置設定について説明する。

ローダユニット１の左右両側面に１例えばローダユニッ
ト１の左側面に第１ｖ！定ユニツト３０ａをセットし、
他方右側面に第２８１す定ユニット３０ｂをセットする
。この時、ローダユニット１のスレイブＣＰＵ４４と測
定部３０ａ、　３０ｂの各スレイブＣＰＵ４６ａ、４６
ｂとを夫々マスタＣＰ　Ｕ４２のユニットに接続する。

各測定ユニット３０ａ、３０ｂへの給電はローダユニッ
ト１に配置された電源部２３より行う、各測定ユニット
３０ａ、３０ｂの前面には夫々制御パネルが取付けられ
ており、各制御パネルには緊急停止スイッチが備えられ
ている。この緊急停止スイッチは、いずれの制御パネル
のものを押しても無条件で緊急停止するようになってい
る。

なお緊急停止スイッチとは別に、開閉可能な検知スイッ
チが各部に具備される。これらが作約した場合は、装置
全体ではなく、スイッチを備えた各ユニット１，３０ａ
、３０ｂのいずれかのみが停止するようになっており、
トラブルが除去された後述やかに始動できるようになっ
ている。

第３図には１本プローブ装置における制御システムが示
される。同図に示されるように、各二ニット１，３０ａ
、３０ｂには個々のユニットの役割を管理する為の専用
スレイブＣＰ　Ｕ４４．４６ａ、４６ｂが具備され、こ
れらスレイブＣＰＵが全て、マスタＣＰ　Ｕ４２に接続
される。ここで各スレイブＣＰ　Ｕ４４゜４６ａ、４６
ｂは互いに直接的な横の繋がりは一切持たず、マスタＣ
Ｐ　Ｕ４２のみを介して連携する。

各ユニット１，３０ａ、３０ｂの作業機能は、直接的に
は全て各ユニットに内蔵される専用スレイブＣＰＵ４４
．４６ａ、４６ｂにより制御される。この為、各ユニッ
トのスレイブＣＰ　Ｕ４４．４６ａ、４６ｂの下には。

各ユニットにおける作業を担当する為の下記のような複
数のマイクロチップ（超小型集積回路）が管轄される。

従って、各ユニット１．３０ａ、３０ｂは実質的には独
立したブロックとして存在し、プローブ装置の処理能力
に応じて任意の数のユニットを１例えば、第１及び第２
図図示実施例の如く。

１０−ダユニツト１と、２８Ｉ！Ｉ定ユニツト３０ａ、
３０ｂ或いは、後述するように、２０−ダユニツトと。

１１！ｌ定ユニツトというように、組合わせることが可
能となる。

またマスタＣＰＵ４２と各ユニットのスレイブＣＰ　Ｕ
４４．４６ａ、４６ｂとは共通な言語のプログラムを有
し、単なる電気的な接続により、相互に信号を交換し合
う一体の制御システムを構成することが可能となる。ま
た上述の如く、１マスタＣＰ　０４２に対するスレイブ
ＣＰＵ４４．４６ａ、　４６ｂの数は任意に選択可能で
ある。

マスタＣＰ　Ｕ４２は主に各スレイブＣＰ　Ｕ４４゜４
６ａ、　４６ｂを統括する。またマスタＣＰＵ４２はデ
イスプレィ用のマイクロチップ５１を直接管轄し、両側
室ユニット３０ａ、３０ｂに設けられたデイスプレィ（
図示せず）において収集及び記憶情報を表示する。

ローダユニット１のスレイブＣＰＵ４４には４つのマイ
クロチップ６１−６４が従属する。第１チツプ６１は両
力セット載置台６昇降用のインデクサを担当し、カセッ
ト７ａ、７ｂの所定の棚をウェハ取出し／挿入位置にセ
ットする。第２チツプ６２は真空吸着フォーク１１の作
動を担当する。第３チツプ６３はプリアライメントステ
ージ１５の作動、即ち、この回転動作を担当する。第４
チツプ６４はアーム１７の作動、即ち、アーム１７のＸ
方向、ハンドリング。

及び０方向の動作を担当する。ローダユニット１のスレ
イブＣＰＵ４４にはまた、プリアライメントステージ１
５上のウェハを検知する為のセンサ６５が従属する。

第１８Ｉ１１定ユニツト３０ａのスレイブＣＰ　Ｕ４６
ａには２つのマイクロチップ７１ａ、　７２ａが従属す
る。第１チツプ７１ａは測定ステージ３２ａのＸ方向及
びＹ方向の動作を担当する。第２チツプ７２ａは測定ス
テージ３２ａのＸ方向及びθ方向の動作を担当する。

第１測定ユニツト３０ａのスレイブＣＰＵにはまた、測
定ステージ３２ａ上のウェハを検知する為のセンサ７３
ａが従属する。

第２測定ユニツト３２ｂのスレイブＣＰ　Ｕ４６ｂには
２つのマイクロチップ７１ｂ、７２ｂが従属し、これら
は第１測定ユニツト３０ａ側のそれらと全く同じ役割を
担当する。即ち、第１チツプ７１ｂは測定ステージ３２
ｂのＸ方向及びＹ方向の動作を担当する。

第２チツプ７２ｂは測定ステージ３２ｂのＸ方向及び０
方向の動作を担当する。第２８ｔｉ定ユニツト３０ｂの
スレイブＣＰ　ＵＪ６ｂにはまた、測定ステージ３２ｂ
上のウェハを検知する為のセンサ７３ｂが従属する。

次に本プローブ装置における制御プロセスが説明される
。第４図には１本プローブ装置における制御プロセスの
フローチャートが、マスタＣＰＵ４２、ローダユニット
用スレイブｃ　Ｐ　Ｕ４４．　測定ユニット用スレイブ
ＣＰＵ４６ａ、の各役割範囲に対応して示される。同図
において、測定ユニット用スレイブＣＰＵは説明及び図
示の簡略化の都合上。

第１３１ｇ定ユニット３０ａについてのみ示されるが、
第２測定ユニツト３０ｂについても、全く同一のフロー
が適用される。また同図において、以下の簡略記号が使
用される。

Ａ１＝アーム３３ａ、　Ｃ＝カセット７ａ　ｏｒ　７ｂ
。

Ｆ＝フォーク１１．ＰＳ＝プリアライメントステージ１
５、ＳＬ＝［定ステージ３２ａ、Ｗ＝ウェハ、第５Ａ図
には、１つのローダユニットに対して２つの測定ユニッ
トが配設された場合の、各ｃＰＵ間の主要信号のフロー
が示され、第５Ｂ図には、これに対応するウェハのフロ
ーが示される。図中、矢印に沿って付された記号は、第
４図図中の工程に対応する。

第４図に関し、先ず工程１において、測定ユニットＣＰ
　Ｕ４６ａからマスタＣＰ　Ｕ４２に対して、作業開始
の要求がなされる。マスタＣＰ　Ｕ４２はこの要求によ
り、今回の作業で処理するウェハが第１測定ユニツト３
０ａ側で検査されるものであることを記憶する。この記
憶情報は、取出されるべきウェハがストックされている
カセット７ａ　ｏｒ　７ｂの選択から、ウェハの搬送、
検査、カセット７ａ　ｏｒ　７ｂへの収納までの全てに
利用される。

上記要求に呼応して、工程２において、マスタＣＰ　Ｕ
４２から測定ユニットＣＰ　ＵＪ６ａに対して測定ステ
ージ３２ａのウェハの存否の確認の命令が発せられる。

命令を受けた測定ユニットＣＰＵ４６ａは、工程３にお
いて、測定ステージ３２ａ上のウェハの存在を検知し、
もしＮＯであれば、これをマスタＣＰＵ４２に報告する
。

上記報告を受けると、工程４において、マスタＣＰ　Ｕ
４２からローダユニットＣＰＵ４４に対して、指定カセ
ット７ａ　ｏｒ　７ｂからウェハを取出すように命令が
発せられる。命令を受けたローダユニットＣＰＵ４４で
はこれを一旦記憶するが、同命令の実行に先立ち、先ず
工程、５において、これより先に受けた命令で未処理の
ものがあるかを確認する。

もし答えがＹＥＳあるであれば、工程６において、先に
記憶してあった命令が受信順に処理され、フローは工程
７に進められる。また工程５の答えがＮＯであれば、フ
ローは工程６を経ることなく工程７に進められる。

工程７において、ローダユニットＣＰＵ４４は、プリア
ライメントステージ１５上のウェハの存在を検知する。

もし工程７の答えがＮＯであれば、工程８において、真
空吸着フォーク１１が作動し、ウェハがカセット７ａ　
ｏｒ　７ｂから取出されると共に、プリアライメントス
テージ１５上に搬送される。カセット７ａ　ｏｒ　７ｂ
から取出されるウェハは、取出し時にサイズが検知され
、マスタＣＰ　Ｕ４２に記憶される、検知は、ウェハの
サイズに応じて位置変更可能な、真空吸着フォーク１１
のスイッチング機構により行われる。上記サイズに関す
る記憶情報は、例えばウェハの収納時に利用され、収納
するウェハと収納場所となるカセット７ａ　ｏｒ　７ｂ
のサイズを比較し、両者が一致した場合のみ、ウェハが
収納されるようになっている。このような配慮は１例え
ばカセット７ａ、　７ｂが夫々異なる寸法、例えば５ｉ
ｎ及びＢｉｎ用であるような場合に重要な役割を果たす
。

次に工程９として、プリアライメントステージ１５上に
おいて、ウェハはそのオリエンテーションフラットに基
づいて所定の方向に位置合わせされる。プリアライメン
ト後、工程１０において、アーム３３ａが作動し、ウェ
ハをプリアライメントステージ１５から測定ステージ３
２ａに搬送する。

工程１０後フローは工程２に戻される。工程２から工程
３に至り、工程３では上記工程１０において８１ｇ定ス
テージ３２ａ上に既にウェハが搬送されている為、特別
なトラブルがない限り、ここでの工程３における答えは
’／ＥＳとなる。

続いて測定ユニットＣＰ　Ｕ４６ａは、工程１１におい
て、８１！！定ステージ３２ａ上の上記ウェハが検査済
みであるかを確認する。確認方法としては、マスタＣＰ
　Ｕ４２のメモリの情報を引出すか、独自の検知機能を
具備するか、いずれかの方法を利用することができる。

工程１１の答えがＮＯであれば、測定ユニットＣＰＵ４
６ａは、工程１２において測定ステージ３２ａをＸ、Ｙ
、Ｚ、及びθ方向に作動させ。

ウェハの位置微調整、即ち、ファインアライメントを行
う、そして、続いて工程１３において、ウェハの検査が
実行される。検査終了後、フローは工程１１に戻され、
同工程１１における答えがＹＥＳとなれば、これをマス
タＣＰ　Ｕ４２に報告する。

上記報告を受けると、工程１４において、マスタＣＰ　
Ｕ４２からローダユニットＣＰＵ４４に対して。

指定カセット７ａ　ｏｒ　７ｂにウェハを収納するよう
に命令が発せられる。命令を受けたローダユニットＣＰ
Ｕ４４ではこれを一旦記憶するが、同命令の実行に先立
ち、先ず工程１５において、これより先に受けた命令で
未処理のものがあるかを確認する。

もし答えがＹＥＳあるであれば、工程１６において、先
に記憶してあった命令が受信順に処理され、フローは工
程１７に進められる。また工程１５の答えがＮｏであれ
ば、フローは工程１６を経ることなく工程１７に進めら
れる。

工程１７において、ローダユニットＣＰ　Ｕ４４は、プ
リアライメントステージ１５上のウェハの存在を検知す
る。もし工程１７の答えがＮＯであれば、工程１８にお
いて、アーム３３ａが作動し、ウェハを測定ステージ３
２ａからプリアライメントステージ１５に搬送する。続
いて、工程１９において、真空吸着フォーク１１が作動
し、ウェハがプリアライメントステージ１５から指定カ
セット７ａ　ｏｒ　７ｂへ搬送され。

同カセット内に収納される。

続いて、工程２０において、ローダユニットＣＰＵ４４
はカセット７ａ　ｏｒ　７ｂに未検査のウェハが存在す
るかを確認する。確認方法としては、マスタＣＰ　Ｕ４
２のメモリの情報を引出すか、カセットの棚の位置を情
報源とするか、或いは独自の検知機能を具備するか、い
ずれかの方法を利用することができる。工程２０におけ
る答えがＮＯであれば第１８１！！定ユニツト３０ａに
おける検査終了となる。他方工程２０における答えがＹ
ＥＳであれば、工程２１においてカセット７ａ　ｏｒ　
７ｂが駆動（例えばステップアップ）され、そしてフロ
ーが工程２に戻さ汎て次のウェハの検査が行われる。

もし工程７における答えがＹＩＥＳである場合は。

ローダユニットＣＰＵ４４は、工程２２において、プリ
アライメントステージ１５上のウェハが検査済みである
かを確認する。確認方法としては、マスタＣＰ　Ｕ４２
のメモリの情報を引出すか、独自の検知機能を具備する
か、いずれかの方法を利用することができる。工程２２
の答えがＹＥＳであれば、フローは工程１９に直接進め
られ、同ウェハはカセット７ａ　ｏｒ　７ｂに戻される
。工程の答えがＮＯであれば、フローは工程９に進めら
れ、同ウェハは検査の為に測定ステージ３２ａに搬送さ
れる。

もし工程１７における答えがＹＥＳである場合は、ロー
ダユニツー１−ＣＰＵ４４は、工程２３において、ブリ
アライラントステージ１５上のウェハが検査済みである
かを確認する。確認方法としては、マスタＣＰ　Ｕ４２
のメモリの情報を引出すか、独自の検知機能を具備する
か、いずれかの方法を利用することができる。工程２３
の答えがＹＥＳであれば、フローは工程１９に進められ
、同ウェハはカセット７ａｏｒ　７ｂに戻される。工程
の答えがＮＯであれば、フローは工程９に進められ、同
ウェハは検査の為に測定ステージ３２ａに搬送される。

上記１０−ダユニツト、２測定ユニツトタイプのプロー
ブ装置により好都合なプローブ工程は下記のような場合
である。

１）　サイズの異なる複数のウェハを１つのローダユニ
ットを利用してテストする場合。

２）一方の測定ユニットで簡単なテストを行ない、不良
品を除いた良品のみを他方の測定ユニットでテストする
場合。

３）１枚のウェハ上に２種類のチップが形成されている
場合、２つの測定ユニットで夫々１種類のテストを行な
うというように、テストをすべきチップを分担する。

４）　ウェハ内の同じチップ自体が２種類以上のテスト
を受ける必要がある場合に、テスト項目を分担する。

５）一方の測定ユニットでテストを行ない、他方の測定
ユニットで不良品のマーキングを行なう場合。

また前述の如く、マスタＣＰＵ４２と各ユニットのスレ
イプＣＰＵとは共通な言語のプログラムを有し、各ユニ
ットは実質的には独立したブロックとして存在する。そ
してこれらは、プローブ装置の処理能力に応じて任意の
数のユニットを組合わせ、単なる電気的な接続により、
相互に信号を交換し合う一体の制御システムを構成する
ことが可能となる。

第６図には１本プローブ装置の変更例として、２０−ダ
ユニツト、１８１！！定ユニツトを有するタイプの装置
における制御システムが示される。各ユニットの外観は
図示しないが、それらは、第１及び第２図図示のそれら
と基本的に同一である。従って、以下において各ユニッ
トの部材の符号は第１及び第２図図示のローダ１及び第
１ステージ３０ａの符号を引用する。第６図に示される
ように。

各ユニットの専用スレイブＣＰ　Ｕ４４ａ、　４４ｂ、
　４６は全てマスタＣＰ　Ｕ４２に接続される。ここで
もやはり各スレイプＣＰ　Ｕ４４ａ、　４４ｂ、４６は
互いに直接的な横の繋がりは一切持たず、マスタＣＰ　
Ｕ４２のみを介して連携する。

また各ユニットの作業機能は、直接的には全て各ユニッ
トに内蔵される専用スレイプＣＰ　Ｕ４４ａ。

４４ｂ、　４６により制御される。各ユニットのスレイ
プＣＰＵに管轄される、各作業を担当する複数のマイク
ロチップの役割分担は基本的に上記第３図図示の実施例
と同一である。

マスタＣＰ　Ｕ４２は主に各スレイプＣＰＵ４４ａ、４
４ｂ、４６を統括する。またマスタＣＰ　Ｕ４２はデイ
スプレィ用のマイクロチップを直接管轄し、測定ユニッ
トに設けられたデイスプレィ（図示せず）において収集
及び記憶情報を表示する。

各ローダユニットのスレイプＣＰ　Ｕ４４ａ、　４４ｂ
ニは４つのマイクロチップ６１ａ−６４ａ、　６１ｂ−
６４ｂが従属する。第１チップ６１ａ、　６１ｂは両力
セット載置台６昇降用のインデクサを担当し、カセット
７ａ、７ｂの所定の棚をウェハ取出し／挿入位置にセッ
トする。

第２チツプ６２ａ、６２ｂは真空吸着フォーク１１の作
動を担当する。第３チツプ６３ａ、６３ｂはプリアライ
メントステージ１５の作動、即ち、この回転動作を担当
する。第４チツプ６４ａ、６４ｂはアーム１７の作動、
即ち、アーム１７のＺ方向、ハンドリング、及び０方向
の動作を担当する。ローダユニットのスレイプＣＰＵに
はまた、プリアライメントステージ１５上のウェハを検
知する為のセンサ６５ａ、６５ｂが従属する。

測定ユニット３０ａのスレイプＣＰ　Ｕ４６には２つの
マイクロチップ７１，７２が従属する。第１チツプ７１
は測定ステージ３２ａのＸ方向及びＹ方向の動作を担当
する。第２チツプ７２は測定ステージ３２ａのＺ方向及
びθ方向の動作を担当する。第１測定ユニツト３０ａの
スレイプＣＰ　Ｕ４６にはまた。ａ定ステージ３２ａ上
のウェハを検知する為のセンサ７３が従属する。

上記のように１′ＩＩ！定ユニツトに対して、複数のロ
ーダユニットを配置したプローブ装置によれば。

種々のサイズ及び品種のウェハを、測定ユニットのプロ
ーブカードを交換することにより、１つの測定ユニット
で処理することが可能となり、高価なりリーンルームに
おはける占有スペースを削減することが可能となる。

以上本発明の詳細は、添付の図面に示される望ましい実
施例に従って説明されてきたが、これら実施例に対して
は、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変更、改良
が可能となることは明白である。

例えば多品種のＩＣについて測定するため、対応するプ
ローブカード収容棚を設け、このプローブカード収容棚
から自動的に所望するプローブカードを選択交換するプ
ローブカードの自動交換を設けた場合、この自動交換プ
ログラムをスレイブＣＰＵで構成するようにしてもよい
。

〔発明の効果〕

この発明のプローブ装置は以上のように構成したので、
プローバ部のパラメータを変更するだけで種々のウェハ
あるいはテストに対応することができる。

しかも、ウェハの種類やテストの種類に応じていちいち
複数のプローブ装置にウェハをセットする必要がなく、
ｍ易迅速にテストすることができるようになった。

また、１つのローダ部、複数のプローバ部のそれぞれが
独自の管理手段を備えているので、維持管理やテスト項
目の変更等にも速やかに対応できるようになった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るプローブ装置の一実施例として、
１０−ダユニツト、２測定ユニツトを有するタイプの装
置における外観を示す概略平面図。 第２図は第１図の正面図、 第３図は第１図装置の制御システムを示す図、第４図は
第１図装置の制御プロセスのフローチャート。 第５図は、第１図装置の制御系統説明図。 第６図は、第１図の他の実施例を説明するための制御シ
ステムを示す図である。 特許出願人　東京エレクトロン株式会社第１図 第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、複数の被測定体の収納容器から上記被測定体を供給
   する機構を有するローダ部と、このローダ部からの被測
   定体を測定する複数の測定部を有するプローブ装置にお
   いて、上記ローダ部および複数の測定部を個々に管理す
   る管理手段と、上記各手段を制御するマスタ管理手段と
   を備えたことを特徴とするプローブ装置。 ２、複数の被測定体を収納する手段及びこれらを測定部
   に供給する手段を有するローダ部と、被測定体を測定す
   る手段を有する測定部と、を含むプローブ装置であって
   、 ローダ部の作業機能を直接制御するローダ部専用スレイ
   ブＣＰＵと、ローダ部専用スレイブＣＰＵの管轄下に属
   し、ローダ部における各部材の動作を担当する集積回路
   手段と、測定部の作業機能を直接制御する測定部専用ス
   レイブＣＰＵと、測定部専用スレイブＣＰＵの管轄下に
   属し、測定部における各部材の動作を担当する集積回路
   手段と、上記ローダ部専用スレイブＣＰＵ及び上記測定
   部専用スレイブＣＰＵに接続され且つこれらを統括する
   マスタＣＰＵと、上記各スレイブＣＰＵが互いに直接的
   に接続されず、上記マスタＣＰＵのみを介して連携する
   ことと、を特徴とするプローブ装置。