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JPH02184546A - 光ファイバの製造装置 - Google Patents

光ファイバの製造装置

Info

Publication number
JPH02184546A
JPH02184546A JP1005535A JP553589A JPH02184546A JP H02184546 A JPH02184546 A JP H02184546A JP 1005535 A JP1005535 A JP 1005535A JP 553589 A JP553589 A JP 553589A JP H02184546 A JPH02184546 A JP H02184546A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical fiber
raw material
material compound
carbon film
reaction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1005535A
Other languages
English (en)
Inventor
Keiji Ohashi
圭二 大橋
Takeshi Shimomichi
毅 下道
Shinji Araki
荒木 真治
Hideo Suzuki
秀雄 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujikura Ltd
Original Assignee
Fujikura Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujikura Ltd filed Critical Fujikura Ltd
Priority to JP1005535A priority Critical patent/JPH02184546A/ja
Priority to US07/380,961 priority patent/US4964694A/en
Priority to CA000606541A priority patent/CA1328757C/en
Priority to EP89307566A priority patent/EP0353934B1/en
Priority to DE68929009T priority patent/DE68929009T2/de
Priority to EP19910203051 priority patent/EP0481570A3/en
Publication of JPH02184546A publication Critical patent/JPH02184546A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、光ファイバ表面に炭素被膜を形成する装置
に関し、原料化合物供給管と排気管とが接続されてなる
反応管を複数個直列に接続してCVD反応炉とすること
により、均一で緻密な炭素被膜を高い析出速度で得られ
るようにしたしのである。
[従来の技術] 石英系光ファイバは、水素と接触するとファイバ内に拡
散した水素分子の分子振動に起因する吸収損失が増大し
、さらにドーパントとして含有されているP tOs、
G eo t、Bto 3などが水素と反応し01(i
としてファイバガラス中に取り込まれるため、OH基の
吸収による伝送損失も増大してしまう問題があった。
このような弊害に対処するため、水素吸収能を有する液
体の組成物を光ケーブル内に充填する方法(特願昭61
−251808号)などが考えられているが、その効果
が不充分である上、構造が複雑となって経済的にも問題
がある。
上記問題を解決するため、最近CVD法によって光ファ
イバ表面に炭素被膜を形成し、これによって光ファイバ
の耐水素性を向上させうろことが発表されている。この
製造方法は、紡糸炉から紡糸された光ファイバ裸線を、
主に炭化水素化合物からなる原料化合物と共に、熱CV
D反応炉内に供給し、加熱によって原料化合物を熱分解
させて光ファイバ裸線表面に炭素被膜を析出させるもの
である。
[発明が解決しようとする課題] ところで炭素被膜の析出速度は、原料化合物が熱分解し
て発生させた炭素ラジカルと光ファイバ裸線との接触時
間に支配されている。このため析出速度を向上させるに
は、接触時間を長くするため、光ファイバの紡糸速度を
遅くするか、もしくはCVD反応炉長を長くすることが
必要となる。
一方、原料化合物が熱分解して発生した炭素ラジカルは
長時間加熱されると高分子化し易くなる。
よってCVD反応炉長を長くすると、炉内の炭素ラジカ
ルが低分子量のものから高分子量のものまで幅広く分布
するようになるため、均一な膜質の炭素被膜が得られな
い。さらに高分子化された炭素ラジカルが析出して形成
する炭素被膜は緻密ではないので、水素透過阻止作用が
低く、得られた光ファイバの水素特性も劣ることが知ら
れている。
よって従来は、緻密で均一な膜質の炭素被膜が表面に形
成された光ファイバを速い紡糸速度で得ることができな
かった。
この発明は、上記課題を解決するためになされたもので
あって、炉長の短いCVD反応炉を多段に配置すること
により、炭素ラジカルの高分子化を防止し、CVD反応
炉内を常に低分子量の炭素ラジカルで満たずことにより
、光ファイバ裸線表面に緻密かつ均一な膜質の炭素被膜
を高い析出速度で形成する装置を提供することを目的と
している。
[課題を解決するための手段] この発明の光ファイバの製造装置では、熱分解によって
炭素被膜を析出しうる原料化合物を供給する原料化合物
供給管と、排気管とがそれぞれ接続されてなる反応管を
複数個直列に接続したCVD反応炉を具備するものを用
いることを解決手段とした。
[作用] 原料化合物供給管と排気管とがそれぞれ接続されてなる
反応管を複数個直列に接続してCVD反応炉としたので
、原料化合物が熱分解して発生した炭素ラジカルの各反
応管内での滞留時間が短くなるので、炭素ラジカルの高
分子化を防止することができる。
また複数個の反応管を直列に接続することにより、CV
D反応炉の炉長が長くなるので、炭素被膜を効率良く析
出させることができる。
以下、この発明の詳細な説明する。
第1図はこの発明の光ファイバの製造装置の一実施例を
示したものである。第1図中、符号1は光ファイバ裸線
である。光ファイバ裸線1は光ファイバ母材(図示せず
)を光ファイバ紡糸炉2内で加熱紡糸したもので、光フ
ァイバ裸線lは紡糸されると共に、光ファイ、バ紡糸炉
2の下段に設けられたCVD反応炉3内へ供給されるよ
うになっている。このCVD反応炉3は複数個の反応炉
4・・・を直列にかつ気密を保つように接続してなるし
のであって、それぞれの反応炉4・・・は、その内部に
てCVD反応を進行させて光ファイバ裸線1表面に炭素
被膜を形成する概略円筒状の反応管5・・・と、この反
応管5・・・を加熱する発熱体6・・・とから構成され
ている。各反応管5・・・の上部には、原料化合物を供
給する原料化合物供給管7・・・が、下部には未反応ガ
ス等を排気する排気管8・・・がそれぞれ取り付けられ
ている。反応管5・・・とそれを加熱する発熱体6・・
・とは、加熱温度等によって適宜選択することができ、
抵抗加熱炉、誘導加熱炉、赤外線加熱炉等を用いること
かできるほか、発熱体6・・・には高周波またはマイク
ロ波を用いてプラズマを発生させて原料化合物をイオン
分解させるようなものをも用いることができる。またこ
のCVD反応炉3の上部および下部には、それぞれシー
ルガス供給管9.9が取り付けられており、このシール
ガス供給管9.9よりヘリウム、窒素等の不活性ガスを
CVD反応炉3内へ供給して内部の気密を保てるように
なっている。さらにこのCVD反応炉3の下段には、樹
脂液塗布装置lOと硬化装置!1とが連続して設けられ
ており、上記CVD反応炉3内で光ファイバ裸線1表面
に形成された炭素被膜上に保護被覆層が形成できるよう
になっている。
このような製造装置を用いて、光ファイバ裸線表面に炭
素被膜を形成するには、以下の工程による。
光ファイバ母材を光ファイバ紡糸炉2内で加熱紡糸する
と共に、光ファイバ紡糸炉2の下段に順次設けられたC
VD反応炉3の反応管5・・・、樹脂液塗布装置lO1
硬化装置11内へ挿通し、これらの中心軸上を所定の線
速で走行するように供給する。ついで発熱体6・・・を
発熱させて各反応管5・・・内を所定温度に加熱すると
共に、シールガス供給管9.9からはCVD反応炉3内
へシールガスを、また原料化合物供給管7・・・からは
各反応管5内へ炭素被膜を形成する原料化合物を、それ
ぞれ供給する。原料化合物供給管7・・・より供給する
原料化合物としては、熱分解して炭素被膜を形成する炭
素化合物であれば特に限定されないが、形成される炭素
被膜の性状およびその析出速度の観点から、炭素数15
以下の炭化水素またはハロゲン化炭化水素が好適である
。これら原料化合物はガス状態にして供給するほか、不
活性ガスによって希釈したもの等を用いることができ、
供給速度は原料化合物に種類および加熱温度等によって
適宜選択されるが、通常は0.2〜1.(H!/分程度
が好適である。また発熱体6・・・の加熱温度としては
上記原料化合物の種類によって適宜選択されるが500
〜1200℃が好適である。加熱温度を500℃以下に
すると原料化合物の熱分解が進行せず、また1200℃
以上にすると副生成物の煤が多量に発生ずると共に、光
ファイバ裸線1表面に形成される炭素被膜の構造が黒鉛
構造に近くなり、脆くなるので好ましくない。さらに副
生成物の煤の発生を防止する目的で、加熱温度は原料化
合物の熱分解温度よりもごく僅かに低温にしておくこと
が好ましい。このようにして炭素被膜が形成された光フ
ァイバ裸線lをCVD反応炉3の下段に設けられた樹脂
液塗布装置10内へ導入し、ついで樹脂液を硬化させる
硬化装置11内へ挿通する。樹脂液塗布装置lO内へ挿
通された光ファイバ裸線1は、保護被覆層を形成するた
めの紫外線硬化型樹脂あるいは熱硬化型樹脂等が塗布さ
れ、ついで塗布された樹脂液に好適な硬化条件を有する
硬化装置ll内で硬化されて保護被覆層が形成される。
このようにCVD反応炉3を、複数個の反応炉4・・・
を直列に接続して構成すると、各反応炉4・・・内での
炭素ラジカルと光ファイバ裸線lとの接触時間は短いが
、CVD反応炉3としては接触時間が長くなるので、良
質の炭素被膜を効率良く析出させることができる。よっ
て従来よりも光ファイバの紡糸速度を速くすることがで
きる。
また各反応炉4・・・内で発生した炭素ラジカルのうち
、光ファイバ裸線1表面に析出しなかったものは、すぐ
にそれぞれの反応炉4・・・に取り付けられた排気管8
・・・より外部へ排出されるようになっているので、炭
素ラジカルが反応管5・・・内で高分子化することがな
い。よって、光ファイバ裸線1表面に析出する炭素被膜
は低分子の炭素ラジカルよりなるものとなり、均一で緻
密な構造のものとなり、水素透過阻止能力の高いものと
なる。
また上記装置では、最上段の反応炉4では光ファイバ裸
線1表面に直接炭素被膜を形成するものとなるが、それ
以降の段の反応炉4・・・では、いずれも上段で形成さ
れた炭素被膜上に新たに炭素被膜を形成するものとなる
ので、上段の反応炉4内で形成された炭素被膜にピンホ
ールが発生していても、そのピンホールの上に新たに炭
素被膜を析出させることとなり、ピンホールが成長する
ことがない。よって従来の一段で膜厚の大きな炭素被膜
を形成していた場合に比べてピンホールの発生の少ない
ものとなり、より高い水素透過阻止能力を得ることがで
きる。
なお、第1図に示した製造装置では、3個の反応炉4・
・・を接続したが、この発明の製造装置はこの例に限ら
れるものではなく、2以上の反応炉4・・・を直列に接
続すれば良く、反応炉4・・・の接続数は使用する原料
化合物および光ファイバの紡糸速度等によって適宜選択
することができる。
さらに第1図に示した装置では、紡糸炉lの下段にCV
D反応炉3を別個に設けたが、紡糸炉1とCVD反応炉
3とを気密が保たれるように接続すると共に、樹脂液塗
布装置10および硬化装置ilとも気密が保たれるよう
に接続しても良いのは言うまでもない。
[実施例] (実施例り 光ファイバ母材から光ファイバ裸線を紡糸する紡糸炉の
下段に、内径50mm、長さ100mmの赤外線加熱炉
を3個直列に接続して、第1図に示したと同様の光ファ
イバの製造装置とした。この光ファイバの製造装置の上
段に紡糸装置を設置して、ここにG e Oyがドープ
剤として含浸されたコア部を有する外径30mmの光フ
ァイバ母材を設置した。
この光ファイバ母材を2000℃に加熱して20m/分
の紡糸速度で外径125μmの単一モードファイバに紡
糸しつつ、この紡糸されたファイバを上記製造装置内に
挿通した。この時、CVD反応炉内は1200℃に加熱
し、約5vo1%にアルゴンガスで希釈した1、1.2
トリクロロエタンガスを原料化合物供給口よりそれぞれ
3f2/分の流量で各反応管内へ供給し、各排気管を一
4mml−1tOの排気圧で排気し、上記紡糸ファイバ
裸線表面に炭素被膜を形成した。さらにウレタンアクリ
レート樹脂液(ヤング率70 kg/ mI”、伸び6
0%)が封入されたUV樹脂コート用ダイスポット内に
、炭素被膜が形成された光ファイバを挿通して樹脂液を
塗布し、UVランプによりこの樹脂液を硬化させて保護
被膜として外径が300μmの光ファイバとした。
(実施例2) 原料化合物をベンゼンとした以外は実施例1と全く同様
にして光ファイバを製造した。
(実施例3) 紡糸速度を40m/分とした以外は実施例1と全く同様
にして光ファイバを製造した。
(実施例4) 3個の反応管からなる実施例1で用いた光ファイバの製
造装置を4個の反応管からなる装置とし、紡糸速度を6
0m/分とした以外は実施例1と全く同様にして光ファ
イバを製造した。
(比較例1) 実施例!で用いた光ファイバの製造装置の3個づつある
原料供給管と排気管とのそれぞれ2個を塞ぎ、原料供給
管と排気管とを1個づつとした以外は実施例1と全く同
様にして光ファイバを製造した。
(比較例2) 比較例1で用いた光ファイバの製造装置のC■D反応炉
の炉長を300 mm(実施例1の製造装置の炉長の3
倍)とした以外は比較例1と全く同様にして光ファイバ
を製造した。
(試験例1) 実施例1ないし実施例4、比較例1および比較例2で得
られた各光ファイバの表面に形成された炭素被膜の膜厚
をそれぞれ測定したのち、これらを直径150+nm、
長さlkmの束状にし、水素分圧1 stm、温度80
℃の加圧容器内に48時間放置し、水素による吸収損失
の増加を波長1.24μmにおける伝送損失増加量とし
て測定した。この結果を第1表に示した。
第1表 第1表より、この発明の光ファイバの製造装置では、原
料化合物の種類に拘わらず、いずれも速い紡糸速度で、
十分な膜厚の炭素被膜が形成可能なことが確認できた。
さらに伝送損失増加量も少なく、形成された炭素被膜は
緻密なしのであることが確認できた。
(試験例2) 実施例1で用いた装置(3個の反応管を接続し炉長が1
00mmのもの)、比較例1で用いた装置(炉長100
n+mの実施例1の装置のそれぞれ3本の原料供給管と
排気管のうち2本づつを塞ぎ、原料供給管と排気管を1
本づつとしたもの)および比較例2で用いた装置(比較
例1で用いた装置の炉長を300mmにしたもの)のそ
れぞれに、原料化合物として1,1.1 トリクロロエ
タンを312/分で供給し、紡糸速度を20m/分、4
0m/分、60m/分と変化させて、光ファイバ裸線表
面に形成される炭素被膜の膜厚をSEM写真撮影によっ
て確認した。この結果を第2図に示した。第2図中、実
線は実施例1の装置を用いた場合、点線は比較例1の装
置を用いた場合、−点鎖線は比較例2の装置を用いた場
合をそれぞれ表す。
第2図より、この発明の製造装置の一実施例である実施
例1の製造装置では、紡糸速度を大きくしても水素透過
阻止作用を示すに十分な膜厚の炭素被膜が形成できるこ
とが確認できた。
[発明の効果] 以上説明したように、この発明の光ファイバの製造装置
は、熱分解によって炭素被膜を析出しうる原料化合物を
供給する原料化合物供給管と、排気管とがそれぞれ接続
されてなる反応管が複数個直列に接続されたCVD反応
炉を具備するものであるので、原料化合物が熱分解して
発生した炭素ラジカルの各反応管内での滞留時間が短く
なるので、炭素ラジカルの高分子化を防止することがで
き、光ファイバ裸線表面に緻密で均一な炭素被膜を形成
することができる。
また反応管を複数個直列に設置したので、CVD反応炉
の炉長を大きくすることができ、炭素ラジカルと光ファ
イバ裸線との接触時間を増大させて炭素被膜の析出速度
を向上させることができるので、高速で光ファイバを紡
糸することができる。
さらにCVD反応炉を構成する各反応管内では、−上段
の反応管内で形成された炭素被膜上に新jこに炭素被膜
を析出させるので、上段の反応管内で形成された炭素被
膜にピンホール等が発生していても、ピンホール上に新
たに炭素被膜が形成され、ピンホールがさらに成長する
ことがなくなり、得られた炭素被膜は水素透過阻止能の
高いものとなる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の光ファイバの製造装置の一実施例を
示した概略構成図、第2図はこの発明の光ファイバの製
造装置を用いた場合と従来の製造装置を用いた場合の光
ファイバの紡糸速度と形成される炭素被膜の膜厚の関係
を示したグラフである。 第2図 ■・・・光ファイバ裸線、 3・・・CVD反応炉、 4・・・反応炉、 5・・反応管、 7・・・原料供給管、 8・・・排気管。 緒余地/l(m/分]

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 光ファイバ表面に炭素被膜を形成する装置であって、熱
    分解によって炭素被膜を析出しうる原料化合物を供給す
    る原料化合物供給管と、排気管とがそれぞれ接続されて
    なる反応管が複数個直列に接続されたCVD反応炉を具
    備することを特徴とする光ファイバの製造装置
JP1005535A 1988-07-26 1989-01-12 光ファイバの製造装置 Pending JPH02184546A (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1005535A JPH02184546A (ja) 1989-01-12 1989-01-12 光ファイバの製造装置
US07/380,961 US4964694A (en) 1988-07-26 1989-07-17 Optical fiber and apparatus for producing same
CA000606541A CA1328757C (en) 1988-07-26 1989-07-25 Optical fiber and apparatus for producing same
EP89307566A EP0353934B1 (en) 1988-07-26 1989-07-25 Method of producing an optical fibre
DE68929009T DE68929009T2 (de) 1988-07-26 1989-07-25 Verfahren zur Herstellung einer optischen Faser
EP19910203051 EP0481570A3 (en) 1988-07-26 1989-07-25 Optical fiber and apparatus for producing same

Applications Claiming Priority (1)

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JP1005535A JPH02184546A (ja) 1989-01-12 1989-01-12 光ファイバの製造装置

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