JPH02144181A - マルチ周波数超音波洗浄方法及び洗浄装置 - Google Patents
マルチ周波数超音波洗浄方法及び洗浄装置Info
- Publication number
- JPH02144181A JPH02144181A JP63295514A JP29551488A JPH02144181A JP H02144181 A JPH02144181 A JP H02144181A JP 63295514 A JP63295514 A JP 63295514A JP 29551488 A JP29551488 A JP 29551488A JP H02144181 A JPH02144181 A JP H02144181A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- frequency
- frequencies
- output
- outputs
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 238000005406 washing Methods 0.000 title abstract 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 27
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 claims description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 6
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 5
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/0207—Driving circuits
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
- B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B2201/00—Indexing scheme associated with B06B1/0207 for details covered by B06B1/0207 but not provided for in any of its subgroups
- B06B2201/70—Specific application
- B06B2201/71—Cleaning in a tank
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、ある範囲の連続した周波数の超音波を出力し
て洗浄効果を改善するマルチ周波数超音波洗浄方法及び
洗浄装置に関する。
て洗浄効果を改善するマルチ周波数超音波洗浄方法及び
洗浄装置に関する。
[従来技術]
従来、一般に使用されている洗浄装置は、第5図に示す
ように洗浄槽1の底部に1つの振動子2を設け、この振
動子2に発振器3がらこの振動子2の共振周波数の信号
を供給することにより、振動子2から共振周波数の超音
波を出方して洗浄するようにしていた。
ように洗浄槽1の底部に1つの振動子2を設け、この振
動子2に発振器3がらこの振動子2の共振周波数の信号
を供給することにより、振動子2から共振周波数の超音
波を出方して洗浄するようにしていた。
このように構成した従来の洗浄装置では、振動子2の共
振周波数の超音波を出力して洗浄槽1に入れた被洗浄物
を洗浄するようにしている。
振周波数の超音波を出力して洗浄槽1に入れた被洗浄物
を洗浄するようにしている。
しかし7、このような単一周波数の超音波では、汚れが
落ちにくいので、これを改善するために、それぞれ異な
った共振周波数の振動子2を洗浄槽に装着し、それぞれ
の振動子から異った周波数の超音波を出力し、単一の周
波数の超音波では落ちないような汚れも落とすようにし
ている。
落ちにくいので、これを改善するために、それぞれ異な
った共振周波数の振動子2を洗浄槽に装着し、それぞれ
の振動子から異った周波数の超音波を出力し、単一の周
波数の超音波では落ちないような汚れも落とすようにし
ている。
[発明が解決しようといる課題]
しかしながら、このように構成した洗浄装置では、複数
の振動子2を洗浄槽1に設けるために、洗浄槽1をある
程度大きくしなければならず、また複数の振動子2のそ
れぞれの共振周波数の超音波しか出力されないので、こ
れらの周波数の超音波では、汚れを良く落すことはでき
なかった。
の振動子2を洗浄槽1に設けるために、洗浄槽1をある
程度大きくしなければならず、また複数の振動子2のそ
れぞれの共振周波数の超音波しか出力されないので、こ
れらの周波数の超音波では、汚れを良く落すことはでき
なかった。
この複数の周波数の超音波を1つの振動子で出力するた
めに1本出願人は、第4図に示すように圧電素−7−5
を異なった長さの金属ブロック6.7で挟み、これらの
金属ブロック6.7のねじ穴にボルトの両端のねじを係
合して固定した非対称ランジュバン型振動子4を提案し
た。
めに1本出願人は、第4図に示すように圧電素−7−5
を異なった長さの金属ブロック6.7で挟み、これらの
金属ブロック6.7のねじ穴にボルトの両端のねじを係
合して固定した非対称ランジュバン型振動子4を提案し
た。
この振動子4は、端子5a、5bに3つの周波数の発振
器を接続して各周波数の信号を切換えて入力すると、3
つの周波数の超音波がある時間間隔毎に振動子4から出
力される。
器を接続して各周波数の信号を切換えて入力すると、3
つの周波数の超音波がある時間間隔毎に振動子4から出
力される。
この従来の非対称ランジュバン型振動子4は、1つの振
動子で3つのそれぞれ異なった周波数の超音波が出力す
ることができるので、洗浄槽1が小さくてもよいが、こ
の振動子4から3つの周波数の超音波しか出力されない
ので、これらの周波数の超音波では、前述の従来例と同
様に汚れを良く落すことはできないという問題があった
。
動子で3つのそれぞれ異なった周波数の超音波が出力す
ることができるので、洗浄槽1が小さくてもよいが、こ
の振動子4から3つの周波数の超音波しか出力されない
ので、これらの周波数の超音波では、前述の従来例と同
様に汚れを良く落すことはできないという問題があった
。
本発明は、1つの振動子に複数の周波数の出力を微小時
間毎に切り換えて供給することにより、複数の周波数を
含む連続した周波数の超音波を出力することができ、そ
れによって洗浄効果を改善することができるマルチ周波
数超音波洗浄方法及び洗浄装置を提供することを目的と
するものである。
間毎に切り換えて供給することにより、複数の周波数を
含む連続した周波数の超音波を出力することができ、そ
れによって洗浄効果を改善することができるマルチ周波
数超音波洗浄方法及び洗浄装置を提供することを目的と
するものである。
[課題を解決するための手段]
本発明は、上記目的を達成するために、少なくとも1つ
の振動子に少なくとも2つ以上の異なった周波数の出力
を微小時間間隔で切り換えて入力することにより、前記
振動子から前記具なった周波数及びそれ以外の周波数の
超音波を放射して洗浄するものである。
の振動子に少なくとも2つ以上の異なった周波数の出力
を微小時間間隔で切り換えて入力することにより、前記
振動子から前記具なった周波数及びそれ以外の周波数の
超音波を放射して洗浄するものである。
また微小間隔は0.01ms〜20 m sであり。
また、振動子は複数の共振周波数を持つものでもよい。
さらに洗浄槽に設けた少なくとも1つの振動子と、複数
の発振器と、該複数の発振器からの出力を微小間隔毎に
切換える高速スイッチング回路と。
の発振器と、該複数の発振器からの出力を微小間隔毎に
切換える高速スイッチング回路と。
該高速スイッチング回路を制御するコントロール回路と
、前記高速スイッチング回路の出力によって前記振動子
を駆動する駆動回路とからなるものである。
、前記高速スイッチング回路の出力によって前記振動子
を駆動する駆動回路とからなるものである。
さらに、振動子は複数の共振周波数を持つものでもよい
。
。
[作用]
本発明によれば、1−)の振動子に異なった複数の周波
数の出力を微小時間毎に切り換えて出力すると、振動子
から出力される超音波は、離散的な共振の周波数の間の
周波数を補うような周波数を持つ連続した周波数の超音
波が出力されるため、この超音波によって洗浄効果が改
善される。共振周波数以外の連続した周波数スペクトラ
ムが得られる理由は、1つは周波数切り換えによる振動
子の過渡現象として、振動子自体が連続スペクトラムを
持つ振動となることであり、他の1つは周波数の切換え
時に前の振動の残留があり、それが種となってキャビテ
ーション(気泡)が発生し易くなり、キャビテーション
の破裂時に連続スペクトラムを生ずるためと考えられる
。
数の出力を微小時間毎に切り換えて出力すると、振動子
から出力される超音波は、離散的な共振の周波数の間の
周波数を補うような周波数を持つ連続した周波数の超音
波が出力されるため、この超音波によって洗浄効果が改
善される。共振周波数以外の連続した周波数スペクトラ
ムが得られる理由は、1つは周波数切り換えによる振動
子の過渡現象として、振動子自体が連続スペクトラムを
持つ振動となることであり、他の1つは周波数の切換え
時に前の振動の残留があり、それが種となってキャビテ
ーション(気泡)が発生し易くなり、キャビテーション
の破裂時に連続スペクトラムを生ずるためと考えられる
。
[実施例コ
第1図を参照すると、本発明では、洗浄槽1に振動子2
が設けられ、この振動子2は高速スイッチング手段8を
介して発振手段9が接続されて5′する。
が設けられ、この振動子2は高速スイッチング手段8を
介して発振手段9が接続されて5′する。
このように構成された本発明では、発振手段9から周波
数の異なった出力を高速スイッチング手段8を介して振
動子2に人力すると、振動子2からは発振手段9からの
周波数及びそれと異なる連続した周波数を含む超音波が
出力される。従って、発振手段9からの信号の周波数で
は落ちない汚れも、このように周波数範囲が広がること
により、汚れがよく落ち、洗浄効果が改善される。
数の異なった出力を高速スイッチング手段8を介して振
動子2に人力すると、振動子2からは発振手段9からの
周波数及びそれと異なる連続した周波数を含む超音波が
出力される。従って、発振手段9からの信号の周波数で
は落ちない汚れも、このように周波数範囲が広がること
により、汚れがよく落ち、洗浄効果が改善される。
本発明の洗浄方法の実施例として、第2図を参照すると
、振動子2はトランス10の二次巻線に接続され、また
トランス1−0の二次巻線の分岐巻線は帰還回路11の
中心周波数がf工、f2、f。
、振動子2はトランス10の二次巻線に接続され、また
トランス1−0の二次巻線の分岐巻線は帰還回路11の
中心周波数がf工、f2、f。
の第1、第2.第3のバンドパスフィルタ12゜13.
14に接続され、また第1.第2、第3のバンドパスフ
ィルタ12.13.14は高速アナログスイッチ15に
接続されている。さらに。
14に接続され、また第1.第2、第3のバンドパスフ
ィルタ12.13.14は高速アナログスイッチ15に
接続されている。さらに。
高速アナログスイッチ15は電力増幅器16に接続され
、電力増幅器16の出力はトランス10の一次巻線の一
端に接続され、−次巻線の他端はアースされている。さ
らに、アナログスイッチ15はコン1へロール回路17
によって時間間隔等が制御される。
、電力増幅器16の出力はトランス10の一次巻線の一
端に接続され、−次巻線の他端はアースされている。さ
らに、アナログスイッチ15はコン1へロール回路17
によって時間間隔等が制御される。
このように構成された本実施例では、帰還回路11は正
帰還になっているので、何らかの出力によって回路が発
振し、トランス1oの分岐巻線から第1、第2、第3の
バンドパスフィルタ12.13.14を通して周波数f
1、f2、f、の信号が出力される。ここで1周波数f
工、f2、f、の信号を高速アナログスイッチ15でコ
ントロール回路17からの信号によって順次微小間隔毎
に切換えて出力すると、これらの微小信号は電力増幅器
16で増幅され、トランス10を介して振動子2に出力
される。これによって、周波数f□、f2、f1間が補
間されるように、周波数f1.f、、f。
帰還になっているので、何らかの出力によって回路が発
振し、トランス1oの分岐巻線から第1、第2、第3の
バンドパスフィルタ12.13.14を通して周波数f
1、f2、f、の信号が出力される。ここで1周波数f
工、f2、f、の信号を高速アナログスイッチ15でコ
ントロール回路17からの信号によって順次微小間隔毎
に切換えて出力すると、これらの微小信号は電力増幅器
16で増幅され、トランス10を介して振動子2に出力
される。これによって、周波数f□、f2、f1間が補
間されるように、周波数f1.f、、f。
間の周波数を持つ超音波が振動子2から出力されるので
1周波数f1、f2、f3のそれぞれの超音波では落ち
ないような汚れも本実施例によって非常によく落ちると
いう利点がある。
1周波数f1、f2、f3のそれぞれの超音波では落ち
ないような汚れも本実施例によって非常によく落ちると
いう利点がある。
なお、第3図は周波数f□として18KHz。
f2として45KHz、f、として100KHzの信号
をそれぞれ微小間隔(0,1ms)で切換えて出力した
場合の洗浄槽内で側室した周波数のスペクトラムである
。
をそれぞれ微小間隔(0,1ms)で切換えて出力した
場合の洗浄槽内で側室した周波数のスペクトラムである
。
この図から分かるように、振動子2から出力される超音
波は0ノシ)ら200KHzにわたって周波数が連続し
ているため、この超音波によって洗浄することにより汚
れ落ちが改善される。
波は0ノシ)ら200KHzにわたって周波数が連続し
ているため、この超音波によって洗浄することにより汚
れ落ちが改善される。
第4図を参照すると、本発明の他の実施例では、周波数
f0、f2、f3の発振器18.19.20、・・・が
それぞれアナログスイッチ15に接続され、またアナロ
グスイッチ15はコントロール回路18によって切換時
間等が制御されている。ここで、fl、f2、f、は振
動子の共振周波数が選択されている。また、アナログス
イッチ15の出力は駆動回路21によって増幅され、振
動子2に供給されている。
f0、f2、f3の発振器18.19.20、・・・が
それぞれアナログスイッチ15に接続され、またアナロ
グスイッチ15はコントロール回路18によって切換時
間等が制御されている。ここで、fl、f2、f、は振
動子の共振周波数が選択されている。また、アナログス
イッチ15の出力は駆動回路21によって増幅され、振
動子2に供給されている。
このように構成された本発明の実施例においても、発振
器19.20.21からの周波数f、。
器19.20.21からの周波数f、。
f2、f、の信号がアナログスイッチ15によって微小
時間毎にスイッチングされるので、周波数f、以下から
周波数11以上にわたって周波数成分を持つ信号が出力
され、洗浄効果が改善される。
時間毎にスイッチングされるので、周波数f、以下から
周波数11以上にわたって周波数成分を持つ信号が出力
され、洗浄効果が改善される。
なお、上記実施例では、振動子2として通常のランジュ
バンタイプ振動子を使用した例を示したが、第6図に示
したマルチ周波数の振動子を使用しても、同様の効果を
得ることができる。また。
バンタイプ振動子を使用した例を示したが、第6図に示
したマルチ周波数の振動子を使用しても、同様の効果を
得ることができる。また。
第7図に示すように圧電素子5を金属ブロック7とこの
金属ブロック7より大きい金属ブロック6で挟持して固
定したマルチ周波数の振動子を使用しても5同様の効果
を得ることができる。
金属ブロック7より大きい金属ブロック6で挟持して固
定したマルチ周波数の振動子を使用しても5同様の効果
を得ることができる。
[発明の効果コ
本発明は、以りのように構成されているので。
振動子の共振周波数以外の広範囲にわたる周波数の超音
波がが出力されるので、それぞれの共振周波数では落ち
ない汚れも、この超音波によって非常によく落とすこと
ができ、洗浄効果が向上するという利点がある。
波がが出力されるので、それぞれの共振周波数では落ち
ない汚れも、この超音波によって非常によく落とすこと
ができ、洗浄効果が向上するという利点がある。
第1図は本発明の詳細な説明する説明図、第2図は本発
明の実施例の回路図、第3図は本発明の実施例の回路に
より振動子から発生した超音波のスペクトラムを微小時
間(1ms)毎に検出した各周波数の波形図、第4図は
本発明の他の実施例の回路図、第5図は従来の洗浄装置
の構成図、第6図及び第7図は本出願人が提案した振動
子の側面図である。
明の実施例の回路図、第3図は本発明の実施例の回路に
より振動子から発生した超音波のスペクトラムを微小時
間(1ms)毎に検出した各周波数の波形図、第4図は
本発明の他の実施例の回路図、第5図は従来の洗浄装置
の構成図、第6図及び第7図は本出願人が提案した振動
子の側面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、少なくとも1つの振動子に少なくとも2つ以上の異
なった周波数の出力を微小時間間隔で切り換えて入力す
ることにより、前記振動子から前記異なった周波数及び
それ以外の周波数の超音波を放射して洗浄することを特
徴とするマルチ周波数超音波洗浄方法。 2、前記微小間隔は0.01ms〜20msであること
を特徴とする請求項1記載のマルチ周波数超音波洗浄方
法。 3、前記振動子は複数の共振周波数を持つことを特徴と
する請求項1記載のマルチ周波数超音波洗浄方法。 4、洗浄槽に設けた少なくとも1つの振動子と、複数の
発振器と、該複数の発振器からの出力を微小間隔毎に切
換える高速スイッチング回路と、該高速スイッチング回
路を制御するコントロール回路と、前記高速スイッチン
グ回路の出力によって前記振動子を駆動する駆動回路と
からなるマルチ周波数超音波洗浄装置。 5、前記振動子は複数の共振周波数を持つことを特徴と
する請求項4記載のマルチ周波数超音波洗浄装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63295514A JP2832443B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | マルチ周波数超音波洗浄方法及び洗浄装置 |
US07/436,063 US5076854A (en) | 1988-11-22 | 1989-11-13 | Multi-frequency ultrasonic cleaning method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63295514A JP2832443B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | マルチ周波数超音波洗浄方法及び洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02144181A true JPH02144181A (ja) | 1990-06-01 |
JP2832443B2 JP2832443B2 (ja) | 1998-12-09 |
Family
ID=17821606
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63295514A Expired - Fee Related JP2832443B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | マルチ周波数超音波洗浄方法及び洗浄装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5076854A (ja) |
JP (1) | JP2832443B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1992022385A1 (en) * | 1991-06-14 | 1992-12-23 | Halcro Nominees Pty. Ltd. | Ultrasonic vibration generation and use |
EP0562106A1 (en) * | 1991-10-10 | 1993-09-29 | EVANS, David H. | Ultrasonic dishwasher system |
JPH0994544A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-04-08 | Shibaura Eng Works Co Ltd | 超音波洗浄装置 |
JP2012249063A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Showa Shinku:Kk | 圧電素子の強励振回路及び強励振方法 |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4129927A1 (de) * | 1991-09-10 | 1993-03-18 | Peter Maschek | Verfahren und vorrichtung zur beseitigung von ablagerungen, vorzugsweise metalloxid- (z.b. rost) oder kalkablagerungen in einem rohrleitungssystem sowie verwendung von ultraschall zur reinigung eines installierten rohrleitungssystems |
US5289838A (en) * | 1991-12-27 | 1994-03-01 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Ultrasonic cleaning of interior surfaces |
DE69331692T2 (de) * | 1992-09-16 | 2002-10-24 | Hitachi, Ltd. | Ultraschallbestrahlungsgeraet |
KR940019363A (ko) * | 1993-02-22 | 1994-09-14 | 요시히데 시바노 | 초음파세정에 있어서의 초음파진동자의 발진방법 |
JP3336323B2 (ja) * | 1993-10-28 | 2002-10-21 | 本多電子株式会社 | 超音波洗浄方法及びその装置 |
FR2715876B1 (fr) * | 1994-02-08 | 1997-08-22 | Kaltenbach & Voigt | Méthode pour le nettoyage et/ou la désinfection et/ou l'entretien des instruments médicaux ou dentaires et dispositif pour l'application de la méthode. |
US5724186A (en) * | 1996-07-25 | 1998-03-03 | Collier; John D. | Ultrasonic rearview mirror |
US6822372B2 (en) | 1999-08-09 | 2004-11-23 | William L. Puskas | Apparatus, circuitry and methods for cleaning and/or processing with sound waves |
US6313565B1 (en) | 2000-02-15 | 2001-11-06 | William L. Puskas | Multiple frequency cleaning system |
US6462461B1 (en) | 2000-06-30 | 2002-10-08 | William L. Puskas | Circuitry to modify the operation of ultrasonic generators |
FR2755038B1 (fr) * | 1996-10-28 | 1998-12-24 | Forward Technology Ind | Procede de nettoyage de pieces metalliques |
JP3666709B2 (ja) | 1997-06-12 | 2005-06-29 | 日本エム・アイ・シー株式会社 | 水洗浄用収縮防止剤 |
US6290778B1 (en) | 1998-08-12 | 2001-09-18 | Hudson Technologies, Inc. | Method and apparatus for sonic cleaning of heat exchangers |
DE10035767C2 (de) * | 2000-07-22 | 2002-10-17 | Schmidbauer Kg Elma Hans | Elektroakustischer Wellenleiter für mehrere Frequenzen |
WO2005044440A2 (en) * | 2003-11-05 | 2005-05-19 | The Crest Group, Inc. | Ultrasonic apparatus with multiple frequency transducers |
US20060130870A1 (en) * | 2004-12-21 | 2006-06-22 | Ping Cai | Method for sonic cleaning of reactor with reduced acoustic wave cancellation |
TWI393595B (zh) * | 2006-03-17 | 2013-04-21 | Michale Goodson J | 具有頻率掃描的厚度模式轉換器之超高頻音波處理設備 |
US20110144476A1 (en) * | 2008-08-18 | 2011-06-16 | The Brigham And Women's Hospital, Inc. | Integrated Surgical Sampling Probe |
US8973601B2 (en) * | 2010-02-01 | 2015-03-10 | Ultrasonic Power Corporation | Liquid condition sensing circuit and method |
US9266117B2 (en) | 2011-09-20 | 2016-02-23 | Jo-Ann Reif | Process and system for treating particulate solids |
CN102489470A (zh) * | 2011-12-07 | 2012-06-13 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃基板的清洗装置及清洗方法 |
CN102601074B (zh) * | 2012-03-19 | 2015-08-12 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Tft-lcd玻璃基板清洗方法 |
US9192968B2 (en) | 2012-09-20 | 2015-11-24 | Wave Particle Processing | Process and system for treating particulate solids |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56102977A (en) * | 1980-01-19 | 1981-08-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ultrasonic washer |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3651352A (en) * | 1970-12-10 | 1972-03-21 | Branson Instr | Oscillatory circuit for ultrasonic cleaning apparatus |
US3928063A (en) * | 1974-06-05 | 1975-12-23 | Exxon Research Engineering Co | Method for cleaning a crystal microbalance |
US4120699A (en) * | 1974-11-07 | 1978-10-17 | Alvin B. Kennedy, Jr. | Method for acoustical cleaning |
FI61735C (fi) * | 1981-03-16 | 1982-09-10 | Valmet Oy | Foerfarande i samband med papperstillverkning |
US4595419A (en) * | 1982-12-27 | 1986-06-17 | Proto-Power Corporation | Ultrasonic decontamination robot |
US4563688A (en) * | 1983-05-16 | 1986-01-07 | Eastman Kodak Company | Fluid jet printer and method of ultrasonic cleaning |
EP0270928B1 (de) * | 1986-11-29 | 1992-01-15 | Asea Brown Boveri Aktiengesellschaft | Reinigungsverfahren für ein elekrisches Isolierteil |
-
1988
- 1988-11-22 JP JP63295514A patent/JP2832443B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-11-13 US US07/436,063 patent/US5076854A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56102977A (en) * | 1980-01-19 | 1981-08-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ultrasonic washer |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1992022385A1 (en) * | 1991-06-14 | 1992-12-23 | Halcro Nominees Pty. Ltd. | Ultrasonic vibration generation and use |
EP0562106A1 (en) * | 1991-10-10 | 1993-09-29 | EVANS, David H. | Ultrasonic dishwasher system |
JPH0994544A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-04-08 | Shibaura Eng Works Co Ltd | 超音波洗浄装置 |
JP2012249063A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Showa Shinku:Kk | 圧電素子の強励振回路及び強励振方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2832443B2 (ja) | 1998-12-09 |
US5076854A (en) | 1991-12-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH02144181A (ja) | マルチ周波数超音波洗浄方法及び洗浄装置 | |
US5137580A (en) | Cleaning method for using generation of cavitation | |
US3371233A (en) | Multifrequency ultrasonic cleaning equipment | |
KR100429085B1 (ko) | 초음파 미용기 | |
EP0612570B1 (en) | Method of oscillating ultrasonic vibrator for ultrasonic cleaning | |
NZ219595A (en) | Underwater acoustic resonator; surface vibrates at below 1khz | |
US3315102A (en) | Piezoelectric liquid cleaning device | |
KR102046278B1 (ko) | 복수의 주파수 발진기를 이용한 초음파 세척기 및 이에 적합한 초음파 진동자 제어 방법. | |
JPH06296942A (ja) | 超音波洗浄における超音波振動子の発振方法及びその装置 | |
JPH07116620A (ja) | 超音波洗浄方法及びその装置 | |
GB2018090A (en) | Pest control | |
JPH05317820A (ja) | 超音波洗浄方法及び装置 | |
JPH08131978A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
KR102065067B1 (ko) | 다중 주파수 동시 구동형 멀티진동자 기반 초음파세척장치 | |
JP2785022B2 (ja) | キャビテーションを利用した洗浄方法 | |
Brackenridge et al. | Acoustical Characteristics of Oscillating Jet‐Edge Systems in Water | |
JPH10180204A (ja) | 超音波洗浄装置及び駆動方法 | |
JPH043667Y2 (ja) | ||
JPH0353088A (ja) | 鋼帯の連続酸洗装置 | |
KR950004725Y1 (ko) | 다주파용 진동자 | |
SU763004A1 (ru) | Способ возбуждени ультразвуковой колебательной системы | |
SU737165A1 (ru) | Устройство дл ультра- и гиперзвуковой микросварки и пайки | |
JPS5962382A (ja) | 交互多周波式超音波洗浄機の励振方法 | |
JPH11277010A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
JPH01151982A (ja) | 超音波洗浄器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071002 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081002 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |