JPH02132841A - 試料取り出し方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、装置に水平に置かれた試料（ウエハ）を上面
から吸着して取り出す機構を持ったウエハ移送装置にお
いて、吸着部分を１回ないし複数回押し下げて試料を吸
着させることにより、試料を装置から取り出すことがで
きるようにした試料取り出し方法に関する。

（従来の技術） 半導体装置の試料室（石英ポート）等からウエハを上面
から吸着して取り出す場合の構成を第１図および第２図
に示す。ここで１は石英ポート、２は石英プレート、３
はウエハ、４はウエハ移送装置のハンド部、５はウエハ
移送装置である。

従来のウエハ移送装置５の動作シーケンスを以下に示す
。

ローディング １．カセット（図示を省略）にセットされたウエハ３の
下にウエハ移送装置のハンド部４を差し入れて、ウエハ
３を少し持ち上げた後、ハンド部４で吸着する。吸着す
るとハント部４の直下の気圧が低下するので、この気圧
をサーモカップルゲージで観測し、１００　ｍｍＴｏｒ
ｒ以下になったら、ウエハ３をカセットから引き出す。

２．引き出されたウエハ３はハンド部４ごと１８０度回
転させる。

３．ウエハ３を吸着したまま、石英ポート１の石英プレ
ート２間に挿入する。

４．ハンド部４を少し下げ、吸着をやめさせてウエハを
石英プレート２の上に置く。

５．次に別のウエハ３を取りに行く。

アンローディング １．ハンド部４を正常状態から１８０度反転させ、吸着
面を下向きにする。

２．石英ポート１の石英プレート２間にハンド部４を挿
入する。

３．ハンド部４を下げ、石英プレート２の上のウエハ３
を吸着する。

４，吸着するとハンド部４直下の気圧が低下するので、
この気圧をサーモカップルゲージで観測して１００　ｍ
ｍＴｏｒｒ以下になったら、ハンド部４を前記２項で挿
入した位置まで上げ、ウエハ３を石英ポート１から取り
出す。

５．前記３項でウエハ３を吸着できなかった時、すなわ
ち気圧が１００　ｍｍＴｏｒｒ以下にならなかった時は
、ハンド部４を前記２項の位置まで戻し、再び前記３項
の動作を繰り返す。さらに吸着できなかった時はもう一
度前記２項、３項の動作を繰り返す。つまり最初の動作
を含めて３回までウエハ吸着動作を行う。そしてこれで
も吸着できなかった場合は、次の別のウエハ３の取り出
し動作を行う。

第２図に示したように、石英ポートに多数枚のウエハ３
を装填した場合、この吸着、取り出し動作を完全に行わ
せるためには、石英ポート１の各石英プレート２の位置
の変動、石英プレート２の厚さ変動、およびウエハ３の
厚さ変動、さらにこれら部品等の平行度の変動を非常に
小さく抑える必要がある。経験的には前述の上部石英プ
レート２とウエハ３との間隔を０．１ｍｍ以下の精度に
する必要がある。この精度を溶接工程を含む石英ポート
で達成しようとした場合、歩留りが非常に低く、製作日
数や費用がかかり現実的ではない。さらに高温（１００
０゜Ｃ以上）や長時間使用した場合は、石英ポートの変
形等が考えられ、石英ポートに装填されたウエハを、全
部取り出すことは非常に困難である。

（発明が解決しようとする課題） 本発明は、石英ポート等に装填された多数枚のウエハを
、吸着法により、ウェハ上面より１枚ずつ、しかも確実
に行う方法を提供することにある。

（課題を解決するための手段） 本発明の方法は、試料を上面から吸着して装置から取り
出す機構を持った取り出し装置において、該装置の石英
ポートの石英プレート間にハンド部を挿入し、該ハンド
部を下げて前記石英プレート上の試料を吸着し、また吸
着できなかった時は、ハンド部を、あらかじめ設定した
距離だけ（例えば０．１〜０．２ｍｍ）さらに試料に近
づけ、この吸着動作を複数回繰り返して試料を吸着させ
、前記ハンド部を挿入した位置まで、ハンド部を上げて
前記石英ポートから試料を取り出す。

すなわち、本発明は石英ポート等に装填された多数枚の
ウエハをウェハ上面より１枚ずつ、吸着用のハンド部に
より取り出す際、ハンド部を一たんウエハ上部に位置決
めした後、ウェハを吸着できる位置まで近づけた後、吸
着を行う。吸着できなかった時は、さらにある決められ
た距離だけハンド部をウエハに近づけて吸着動作を行う
。またこの動作をウエハを破損しない範囲で繰り返し行
うことにより、ウエハを確実に吸着し取り出す。

従来の技術とは吸着ができなかった場合に、最初に位置
決めした位置に戻らずに、さらにハンド部をウエハに近
づけて、吸着動作を繰り返す点が異なる。

（実施例１） 第１図、第２図は、本発明の一実施例を説明する図であ
って、各部分はすでに説明した通りである。まず石英ボ
ー・トｌの各石英プレート２の上に置かれたウエハ３を
、ウエハ移送装置５で取り出す時、このウエハ移送装置
５のハンド部４を上部の石英プレート２とウエハ３との
間ｉ（７ｍｍ）の中間位置にゆっくりと挿入した後、ウ
ェハを吸着できる位置（１ｍｍ）までハンド部４を近づ
けて、吸着動作を行う。この吸着ができなかった場合、
ハンド部を０．１ｍｍさらにウエハに近づけ吸着動作を
行う。この動作はウエハを破損しない限り繰り返すこと
が可能であり、この実施例では、この繰り返し動作を３
回までとした。石英ポートは全部で２５枚のウエハを搭
載でき、ステトの結果、２回目の吸着動作をしたのは２
回あり、これにより完全にポートよりウエハを取り出す
ことができた。

このように本発明の方法は、ウエハを吸着できなかった
場合に、ハンド部を０．１ｍｍずつ自動的に下げること
により、石英ポートからウエハを１００％の確率で取り
出すことができる。

これに対して、従来の方法によりウエハ取り出し作業を
した場合、ポートや石英板の“バラツキ゜゛により、ウ
エハを取り残したのは、最高１２枚、最低で３枚であっ
た。

（発明の効果） 本発明の方法は、石英ポートやプレート等加工精度を確
保し難い部品を含む装置に対して、加工精度の過度な負
担を軽減し、この加工精度の“゜バラツキ゜”をウエハ
移送装置側に負担させることにより、費用軽減と納期短
縮を図ることができる。

ウエハ移送装置側ではソフトの変更で済むので、費用の
上昇はほとんど無視できる。また石英ポート類は汚染等
により洗浄を行うことがしばしばあり、そのたびごとに
ウェハ移送装置の調整作業を行う必要があるが、この作
業が容易となり、さらに高温（１０００゜Ｃ以上）の熱
処理や長期間の使用中に生じるわずかな変動等を吸収で
きる利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の平面図、 第２図は第１図に示す実施例の側面図である。 １・・・石英ポート ２・・・石英プレート ３・・・ウエハ ４・・・ウエハ移送装置のハンド部 ５・・・ウエハ移送装置

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、試料を上面から吸着して装置から取り出す機構を持
   った取り出し装置において、該装置の石英ポートの石英
   プレート間にハンド部を挿入し、該ハンド部を下げて前
   記石英プレート上の試料を吸着し、また吸着できなかっ
   た時は、ハンド部を、あらかじめ設定した距離だけさら
   に試料に近づけ、この吸着動作を複数回繰り返して試料
   を吸着させ、前記ハンド部を挿入した位置まで、ハンド
   部を上げて前記石英ポートから試料を取り出すことを特
   徴とする装置からの試料取り出し方法。