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JPH02103479A - 静電気放電耐圧の試験方法 - Google Patents

静電気放電耐圧の試験方法

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Publication number
JPH02103479A
JPH02103479A JP25774488A JP25774488A JPH02103479A JP H02103479 A JPH02103479 A JP H02103479A JP 25774488 A JP25774488 A JP 25774488A JP 25774488 A JP25774488 A JP 25774488A JP H02103479 A JPH02103479 A JP H02103479A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
voltage
time
waveform
electrostatic discharge
withstand voltage
Prior art date
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Pending
Application number
JP25774488A
Other languages
English (en)
Inventor
Miharu Katsu
勝 美治
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP25774488A priority Critical patent/JPH02103479A/ja
Publication of JPH02103479A publication Critical patent/JPH02103479A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 電子部品の静電気放電時における耐圧試験方法に関し、 電圧印加毎にパルス波形により自動的にサンプルの破壊
の有無を判定することを目的とし、静電気放電耐圧測定
器に接続されるサンプルの両端に電圧/時間波形検出器
を接続し、印加パルスの時間波形と基準波形を波形上の
複数点において比較するマイクロコンピュータと、電圧
印加毎の初期測定値を記憶する入出力装置と、サンプル
の破壊を検出した時に上記静電気放電耐圧測定器の動作
を停止する機能と、電源電圧を段階的に制御する機能と
を備え、 該マイクロコンピュータの制御により、電圧印加毎にパ
ルスの時間波形を毎回モニタし、初期値に対する波形の
変化を検出して上記サンプルの破壊の有無を判定するよ
う構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、電子部品の静電気放電時における耐圧試験方
法に関する。
電子部品のサンプルを抜き取って耐圧破壊試験するため
、従来から静電気放電耐圧測定器が使用されている。静
電気放電耐圧測定器はMIL規格に合わせて規定された
測定器で、高圧の電源電圧を電解コンデンサに充電し、
水根リレーのスイッチ動作によりコンデンサの充電電圧
をサンプルに放電して、サンプルの耐圧試験を行ってサ
ンプルの最高非破壊電圧即ち耐圧を算出する。
静電気放電耐圧はESD耐圧(Electro Sta
ticDischarge 5ensitivity)
と呼ばれ、電子部品の特性を規定するために随時測定す
る必要がある。このため電子部品のサンプルを抜き出し
て操り返し高圧パルスを印加してESD耐圧試験を行っ
ている。本発明は上記ESD耐圧試験を簡単に行う方法
を提供するものである。
〔従来の技術〕
従来のESD耐圧試験方法を第5図に示す。図において
、lはESD耐圧測定器、2は試験用のサンプル、8は
電圧/電流特性測定器(ブラウン管)、9は切換スイッ
チを示す。
ESD耐圧耐圧測定器布販のMIL規格により規定され
た測定器で、可変高圧電源Eと電解コンデンサCと水根
リレースイッチSと負荷回路用抵抗Rとから構成され、
連続的に変えられる高圧電源IEで電解コンデンサCを
充電し、水銀リレースイッチSを瞬間的に測定回数オン
オフすることにより、電解コンデンサCに充電された高
電圧を試験用の負荷サンプル2に印加する。
負荷回路には抵抗Rと直列に切換スイッチ9を設け、5
回印加終了後に手動切換によりサンプル2を電圧/電流
特性測定器8に接続換えする。電圧/電流特性測定器8
は(ブラウン管等の)カーブトレーサで、入力電圧に対
する出力電流の特性を表示する。第6図に電圧/電流検
出特性の一例を示す。図はサンプルとしてトランジスタ
或いはダイオード、IC等を使用した場合の一例でカー
ブ特性を表す。このカーブはサンプル2が非破壊ならば
、印加前の実線と同じ軌跡をたどる。段階的に電源電圧
Eを変えてゆきテストを繰り返し、このカーブが点線の
ように電圧印加前と変った時このサンプル2は破壊した
と判定する。例えば、点線■はショート破壊、点線■は
劣化破壊、点線■はオープン破壊した時の状態を示す。
〔発明が解決しようとする課題〕
したがって従来のESD耐圧測定方法では、電′a電圧
Eの切換えも、切換スイッチ9の切換えも手動で行い、
電圧/電流特性測定器8による判定も手動で行うため、
作業工数と時間がかかっていた。
本発明はマイクロコンピュータの使用により、スイッチ
切換え及び測定方法を自動化して試験時間の短縮、作業
工数の削減等を図ることを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の静電気放電耐圧の試験方法を第1図に示す。図
において、1は静電気放電耐圧(E S D)測定器、
2は該静電気放電耐圧測定器の測定端子に接続される試
験用サンプル、3は該試験用サンプルの両端に接続され
る電圧/時間波形検出器、4は印加パルスの時間波形と
基準波形を波形上の複数点において比較するマイクロコ
ンピュータ、5は電圧印加毎の初期測定値を記憶する入
出力装置、6はサンプルの破壊を検出した時に上記静電
気放電耐圧測定器lの水銀リレースイッチSを制御する
機能、7は上記静電気放電耐圧測定器1の電源電圧Eを
段階的に制御する機能を示す。
上記静電気放電耐圧測定器1の水銀リレースイッチSを
制御する機能6及び電源電圧Eを段階的に制御する機能
7は、マイクロコンピュータ4の制御により自動的に行
われる。また電圧/時間波形検出器3はオッシロスコー
プやブラウン管でESD破壊を検出する装置である。な
お入出力装置5は波形を入れて置くためのデータベース
で、ROM、IC又は磁気ディスク等よりなる。
〔作用〕
試験用サンプル2を静電気放電耐圧測定器1の測定端子
に接続し、電圧/時間波形検出器3で波形を検出する。
第2図に電圧/時間波形検出器3の波形のモニタの一例
を示す。図において、■は正常な波形、■はESD破壊
によりインピーダンスが変化した波形とすると、■の正
常時の波形と■の異常時の波形とを比較した時、同一電
圧に対する時間が異なってくる。したがって初期値にお
ける電圧/時間特性と測定時における電圧/時間特性が
異なれば、サンプル2はその電源電圧に対して破壊され
たと判定される。この時間差をマイクロコンピュータ4
で検出してESD耐圧を判定し、静電気放電耐圧測定器
1の水銀リレースイッチ6を制御して測定を停止する。
なお各段階毎の電源電圧已に対する初期値の電圧/時間
特性は入出力装置5に記憶しておき、測定段階における
電圧/時間特性と比較する。
〔実施例〕
本発明の実施例を第1図の原理構成図により説明する。
図において、電?R電圧Eはマイクロコンピュータ4か
らの制御機能7により段階的に制御される。電源電圧は
トランスにより100Vの電源電圧を昇圧し変圧して送
出する。水銀リレースイッチSはマイクロコンピュータ
4からの制御機能6により、自動的に電解コンデンサC
の充電及び放電を順次行う。
次に電圧/時間波形検出器3における電圧と時間の測定
は、電圧に4段階の判定基準を設けて時間測定を行う。
第3図に印加電圧の判定基準点の実施例を示す。図にお
いて、電源電圧Vpを100OVとし、判定基準点を1
00χ及び立上がりと立下がりの各々の90χ、5(1
%、10χの合計7点として基準電圧νpに対する時間
Tpを求めると、電圧ν、。、 vso、 v、。
に対する時間と初期値における電圧/時間特性と上記7
点で比較して、電圧/時間特性の変化を検出する。
次に実施例におけるマイクロコンピュータの制御フロー
チャートを第4図に示す。図において、(11電源電圧
Eを段階的制御機能7により電圧Vpを設定する。
(2)水銀スイッチ制御機能6により静電気放電耐圧試
験のテストをスタートする。
(3)  テスト電圧Vpに対する測定値Tp’  (
7点)を検出し、予め入出力装置6に格納された初期値
’rp(7点)と比較する。
(4)測定結果が誤差内または同一であればテストを続
行する。(上記テストを5回繰り返す)(5)テスト0
にであれば、次の電圧vp1を設定してスタートする。
(6)前記動作を繰り返すこ、とにより、順次高い電源
電圧を設定してテストを行う。
(7)設定された初期値7p1 と測定時の測定結果7
p1″が異なる、或いはその他の判定基準点において比
較して規定範囲外であると判定すれば一つ前の設定値ν
pを静電気放電耐圧と判定する。
(8)水銀スイ・ソチ制御機能6により静電気放電耐圧
試験のテストをストップする。
〔発明の効果〕
本発明によれば、電子部品のESD耐圧試験の際、従来
のようにスイッチを切換えたり、測定装置により部品の
特性を直接測定する必要がなく、作業工数の削減及び時
間短縮を図れる。また、電流に敏感な種類のサンプルの
場合でも、特性確認のためにサンプルに電流を通す必要
がな(、サンプルを誤って劣化させる危険性がなく、正
確な耐圧値を測定できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の原理構成図、第2図は電圧/時間波形
検出特性図、第3図は実施例の印加電圧判定基準点、第
4図は実施例の制御フローチャート、第5図は従来例の
測定構成図、第6図は電圧/電流特性検出測定図を示す
。 図において、1は静電気放電耐圧測定器、2は試験用サ
ンプル、3は電圧/時間波形検出器、4はマイクロコン
ピュータ、5は入出力装置、6は水銀リレースイッチ制
御機能、7は電源電圧制御機能、8は電圧/電流特性測
定器、9は切換スイッチを示す。なお(1)〜(8)は
制御フローチャートのステップ番号を示す。 実施例の制御フローチャート 第 図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 電子部品の静電気放電時における耐圧試験方法において
    、 静電気放電耐圧測定器(1)に接続される試験用サンプ
    ル(2)の両端に電圧/時間波形検出器(3)を接続し
    、印加パルスの時間波形と基準波形を波形上の複数点に
    おいて比較するマイクロコンピュータ(4)と、電圧印
    加毎の初期測定値を記憶する入出力装置(5)と、サン
    プルの破壊を検出した時に上記静電気放電耐圧測定器(
    1)の動作を停止する機能(6)と、、電源電圧を段階
    的に制御する機能(7)とを備え、 該マイクロコンピュータ(4)の制御により、電圧印加
    毎にパルスの時間波形を毎回モニタし、初期値に対する
    波形の変化を検出して上記サンプルの破壊の有無を判定
    することを特徴とする静電気放電耐圧の試験方法。
JP25774488A 1988-10-13 1988-10-13 静電気放電耐圧の試験方法 Pending JPH02103479A (ja)

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030042920A (ko) * 2001-11-26 2003-06-02 현대자동차주식회사 자동차용 도어의 힌지핀
JP2007239838A (ja) * 2006-03-07 2007-09-20 Oiles Ind Co Ltd 鍔付円筒軸受ブッシュ及びその製造方法並びに該鍔付円筒軸受ブッシュを用いたヒンジ構造
JP2008007984A (ja) * 2006-06-28 2008-01-17 Sando Kogyosho:Kk 汎用ヒンジ
JP2008014058A (ja) * 2006-07-07 2008-01-24 Sando Kogyosho:Kk トルク調節可能なヒンジ
JP2009171293A (ja) * 2008-01-17 2009-07-30 Nuflare Technology Inc 標準パルス発生器および標準パルス発生方法
JP2016138820A (ja) * 2015-01-28 2016-08-04 三菱電機株式会社 静電気耐圧試験方法および静電気耐圧試験装置

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