JPH01295512A - 圧電共振子の製造方法 - Google Patents
圧電共振子の製造方法Info
- Publication number
- JPH01295512A JPH01295512A JP9263689A JP9263689A JPH01295512A JP H01295512 A JPH01295512 A JP H01295512A JP 9263689 A JP9263689 A JP 9263689A JP 9263689 A JP9263689 A JP 9263689A JP H01295512 A JPH01295512 A JP H01295512A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric substrate
- piezoelectric
- electrodes
- piezoelectric resonator
- spurious
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 39
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 abstract description 3
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000010432 diamond Substances 0.000 abstract description 3
- 238000012217 deletion Methods 0.000 description 6
- 230000037430 deletion Effects 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 3
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は圧電基板の面積振動モードを使用する圧電共振
子の製造方法に関する。
子の製造方法に関する。
従来より、圧電基板の拡がり振動、径方向振動あるいは
長さ方向振動等のいわゆる圧電基板の面積振動モードを
使用する圧電共振子において、圧電基板の厚み方向の振
動によるスプリアスレスポンスを抑圧するため、主面に
予め凹凸を設けた圧電基板に電極を形成し、圧電基板の
厚みを不均一トシて上記スプリアスレスポンスを抑圧す
るようにしたものが一般に知られている。
長さ方向振動等のいわゆる圧電基板の面積振動モードを
使用する圧電共振子において、圧電基板の厚み方向の振
動によるスプリアスレスポンスを抑圧するため、主面に
予め凹凸を設けた圧電基板に電極を形成し、圧電基板の
厚みを不均一トシて上記スプリアスレスポンスを抑圧す
るようにしたものが一般に知られている。
ところで、上記のように、圧電基板の主面に予め凹凸を
形成して焼成するのは加工が煩雑で、圧電共振子の量産
性に欠けていた。
形成して焼成するのは加工が煩雑で、圧電共振子の量産
性に欠けていた。
本発明は上記欠点を解消すべくなされたものであって、
その目的は、主面に電極の形成された圧電基板の一部を
削除することにより、圧電基板に厚みの不均一な部分を
形成し、面積振動モードを利用する圧電共振子の厚み方
向のスプリアスレスポンスが―圧される圧電共振子を量
産性の高い簡単な手法で効率よく生産することのできる
圧電共振子の製造方法を提供することである。
その目的は、主面に電極の形成された圧電基板の一部を
削除することにより、圧電基板に厚みの不均一な部分を
形成し、面積振動モードを利用する圧電共振子の厚み方
向のスプリアスレスポンスが―圧される圧電共振子を量
産性の高い簡単な手法で効率よく生産することのできる
圧電共振子の製造方法を提供することである。
このため、本発明は、圧電基板の面積振動モードを使用
する圧電共振子の製造方法において、電極形成後、厚み
が一様な上記圧電基板の主振動面を含む一部を削除する
ことにより、上記圧電基板に厚みの不均一な部分を形成
するようにしたことを特徴としている。
する圧電共振子の製造方法において、電極形成後、厚み
が一様な上記圧電基板の主振動面を含む一部を削除する
ことにより、上記圧電基板に厚みの不均一な部分を形成
するようにしたことを特徴としている。
以下、添付の図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図（ａ）および第１図（ｂ）に本発明に係る圧電共
振子の一実施例を示す。
振子の一実施例を示す。
第１図（ａ）および第１図（ｂ）に示す実施例は、四角
形の板状に焼成した圧電基板１１の両生面に夫々電極１
２．１３を形成するとともに、ダイヤモンドカッタ等の
切削工具により、上記電極１２．１３のうち電極１２の
一辺を含んで、上記圧電基板１１の一つの稜を削除し、
上記圧電基板１１にテーパ状の削除部１４を形成したも
のである。
形の板状に焼成した圧電基板１１の両生面に夫々電極１
２．１３を形成するとともに、ダイヤモンドカッタ等の
切削工具により、上記電極１２．１３のうち電極１２の
一辺を含んで、上記圧電基板１１の一つの稜を削除し、
上記圧電基板１１にテーパ状の削除部１４を形成したも
のである。
上記のように、圧電基板１１に削除部１４を形成すると
、圧電基板１１の一部に他の部分とは厚みの異なる部分
が存在することになり、上記圧電基板１１の厚み方向の
振動のスプリアスレスポンスが抑圧されるとともに、位
相特性も改善される。
、圧電基板１１の一部に他の部分とは厚みの異なる部分
が存在することになり、上記圧電基板１１の厚み方向の
振動のスプリアスレスポンスが抑圧されるとともに、位
相特性も改善される。
ちなみに、第２図に示すように、圧電基板１１の縦Ｗｏ
＝４．９ｍｍ、横ｗ＋＝４．９ｍｉ＋、電極１１ａ、ｌ
］、ｂを含む厚さｔｏ−０，５ｍｍで、共振周波数ｆ
ｒ−４４２，６２ＫＨｚ、反共振周波数ｆａ−４５６，
２８ＫＨｚ、共振抵抗Ｒ１−７，８オーム制動容量ｃｆ
＝２９３．８ｐＦ、電気機械結合係数に−２７，５５％
、機械的Ｑｍ＝２６６０であり、削除部１４を有しない
拡がり振動モードを有する圧電共振子では、周波数−減
衰率特性は第３図において曲線Ｑ、で示すようになり、
４．２５ＭＨｚから４．７５ＭＨｚの周波数帯に存在す
るスプリアスレスポンスの山谷比は約６０゜ｄＢとなっ
ている。
＝４．９ｍｍ、横ｗ＋＝４．９ｍｉ＋、電極１１ａ、ｌ
］、ｂを含む厚さｔｏ−０，５ｍｍで、共振周波数ｆ
ｒ−４４２，６２ＫＨｚ、反共振周波数ｆａ−４５６，
２８ＫＨｚ、共振抵抗Ｒ１−７，８オーム制動容量ｃｆ
＝２９３．８ｐＦ、電気機械結合係数に−２７，５５％
、機械的Ｑｍ＝２６６０であり、削除部１４を有しない
拡がり振動モードを有する圧電共振子では、周波数−減
衰率特性は第３図において曲線Ｑ、で示すようになり、
４．２５ＭＨｚから４．７５ＭＨｚの周波数帯に存在す
るスプリアスレスポンスの山谷比は約６０゜ｄＢとなっ
ている。
ところで、第１図（ｂ）に示すように、第２図と同一の
寸法を有する圧電基板１１の端面１１ａおよび電極１２
での削り込み深さ１．およびｔ２が夫々ｔ＋−０，３關
およびｔｚ＝０．２ｍｍである削除部１４を有し、ｆ
ｒ＝４４８−７４ＫＨｚ、ｆａ−４６２−５２ＫＨｚ、
Ｒ１−９，１オーム、Ｃｆ−２８０，８ｐＦＳＫ＝２
７．４８％、Ｑｍｍ−２３５０の拡がり振動モードを有
する圧電共振子では、周波数−減衰率特性は第３図にお
いて曲線Ｑ２で示すようになり、４−２５ＭＨｚから４
゜７５ＭＨｚの周波数帯に存在するスプリアスレスポン
スの山谷比は約４３ｄＢとなっている。
寸法を有する圧電基板１１の端面１１ａおよび電極１２
での削り込み深さ１．およびｔ２が夫々ｔ＋−０，３關
およびｔｚ＝０．２ｍｍである削除部１４を有し、ｆ
ｒ＝４４８−７４ＫＨｚ、ｆａ−４６２−５２ＫＨｚ、
Ｒ１−９，１オーム、Ｃｆ−２８０，８ｐＦＳＫ＝２
７．４８％、Ｑｍｍ−２３５０の拡がり振動モードを有
する圧電共振子では、周波数−減衰率特性は第３図にお
いて曲線Ｑ２で示すようになり、４−２５ＭＨｚから４
゜７５ＭＨｚの周波数帯に存在するスプリアスレスポン
スの山谷比は約４３ｄＢとなっている。
従って、上記のように、削除部１４．を設けた圧電共振
子では、削除部１４を設けない圧電共振子に比較して、
スプリアスレスポンスが約１３ｄＢ改善されることが分
かる。
子では、削除部１４を設けない圧電共振子に比較して、
スプリアスレスポンスが約１３ｄＢ改善されることが分
かる。
一方、上記スプリアスレスポンスの存在する上記周波数
帯における位相特性を測定すると、削除部１４のない圧
電共振子では、第４図に曲線α、で示すようになり、ま
た、削除部１４を有する圧電共振子では、第４図に曲線
Ｑ４で示すようになる。
帯における位相特性を測定すると、削除部１４のない圧
電共振子では、第４図に曲線α、で示すようになり、ま
た、削除部１４を有する圧電共振子では、第４図に曲線
Ｑ４で示すようになる。
上記第４図から分かるように、削除部１４を有する圧電
共振子では、スプリアスレスポンスの存在する約４．２
ＭＨｚから４．５ＭＨｚの周波数帯で、位相はプラスの
領域とマイナスの領域との間を頻繁に往復しており、削
除部１４を有しない圧電共振子よりも位相特性がか分散
していることが分かる。
共振子では、スプリアスレスポンスの存在する約４．２
ＭＨｚから４．５ＭＨｚの周波数帯で、位相はプラスの
領域とマイナスの領域との間を頻繁に往復しており、削
除部１４を有しない圧電共振子よりも位相特性がか分散
していることが分かる。
上記のようにスプリアスレスポンスの存在する周波数帯
で位相特性が分散している圧電共振子を発振子として使
用すれば、周知のように、スプリアス領域での発振が発
生し難く、目的の周波数で発振する安定な発振回路を得
ることができる。
で位相特性が分散している圧電共振子を発振子として使
用すれば、周知のように、スプリアス領域での発振が発
生し難く、目的の周波数で発振する安定な発振回路を得
ることができる。
上記のように、圧電基板１１に削除部１４を形成するこ
とにより、圧電基板１１の厚み方向の振動によるスプリ
アスレスポンスの抑圧および位相特性の分散が得られる
が、上記削除部１４は圧電基板１１の１つの稜部に限定
されるものではなく、例えば、第５図、第６図および第
７図に夫々示すように、複雑個所に形成するようにして
も同様の効果を得ることができる。
とにより、圧電基板１１の厚み方向の振動によるスプリ
アスレスポンスの抑圧および位相特性の分散が得られる
が、上記削除部１４は圧電基板１１の１つの稜部に限定
されるものではなく、例えば、第５図、第６図および第
７図に夫々示すように、複雑個所に形成するようにして
も同様の効果を得ることができる。
また、上記削除部１４の形状も、テーパ状のものの他に
、第８図および第９図に夫々示すような段付きの形状で
あってもよく、第１０図に示すように、削除部１４の面
が円弧状に湾曲していてもよい。
、第８図および第９図に夫々示すような段付きの形状で
あってもよく、第１０図に示すように、削除部１４の面
が円弧状に湾曲していてもよい。
さらに、第１１図（ａ）および第１１図（ｂ）に示すよ
うに、電極■２を通して、圧電基板１３に凹溝１５を設
けるようにしても、上記と同様のスプリアスレスポンス
の抑圧および位相特性の分散の効果を得ることができる
。
うに、電極■２を通して、圧電基板１３に凹溝１５を設
けるようにしても、上記と同様のスプリアスレスポンス
の抑圧および位相特性の分散の効果を得ることができる
。
以上、詳述したことからも明らかなように、本発明は、
面積振動モードを利用する圧電共振子の主面に電極を形
成した圧電基盤をダイヤモンドカッタ等で電極を含んで
一部削除して圧電基板に厚みの不均一な部分を形成する
ようにしたから、圧電基板の厚み方向の振動によるスプ
リアスレスポンスがきわめて簡単な加工で抑圧され、ス
プリアスレスポンスおよび位相特性以外の主要な特性を
変化させずに圧電共振子を大量に生産することができる
。
面積振動モードを利用する圧電共振子の主面に電極を形
成した圧電基盤をダイヤモンドカッタ等で電極を含んで
一部削除して圧電基板に厚みの不均一な部分を形成する
ようにしたから、圧電基板の厚み方向の振動によるスプ
リアスレスポンスがきわめて簡単な加工で抑圧され、ス
プリアスレスポンスおよび位相特性以外の主要な特性を
変化させずに圧電共振子を大量に生産することができる
。
第１図（ａ）および第１図（ｂ）は夫々本発明に係る圧
電共振子の一実施例の斜視図および断面図、第２図は削
除部を有しない圧電共振子の斜視図、第３図は第１図（
ａ）および第１図（ｂ）の圧電共振子の周波数−減衰特
性図、第４図は第１図（ａ）および第１図（ｂ）の圧電
共振子の周波数−位相特性図、第５図、第６図、第７図
、第８図、第９図および第１Ｏ図は夫々第１図（ａ）お
よび第１図（ｂ）の実施例の変形例の断面図、第１１図
（ａ）および第１１図（ｂ）は夫々圧電基板に凹溝を設
けた場合の実施例を示す斜視図および断面図である。 １１・・・圧電基板、１２．１３・・・電極、１４・・
・削除部、Ｉ５・・・凹溝。 特許出願人 株式会社村田製作所 代理人 弁理士 青白 葆 ほか２名 第１１図（ａ） 第２図
電共振子の一実施例の斜視図および断面図、第２図は削
除部を有しない圧電共振子の斜視図、第３図は第１図（
ａ）および第１図（ｂ）の圧電共振子の周波数−減衰特
性図、第４図は第１図（ａ）および第１図（ｂ）の圧電
共振子の周波数−位相特性図、第５図、第６図、第７図
、第８図、第９図および第１Ｏ図は夫々第１図（ａ）お
よび第１図（ｂ）の実施例の変形例の断面図、第１１図
（ａ）および第１１図（ｂ）は夫々圧電基板に凹溝を設
けた場合の実施例を示す斜視図および断面図である。 １１・・・圧電基板、１２．１３・・・電極、１４・・
・削除部、Ｉ５・・・凹溝。 特許出願人 株式会社村田製作所 代理人 弁理士 青白 葆 ほか２名 第１１図（ａ） 第２図
Claims (1)
- （１）圧電基板の面積振動モードを使用する圧電共振子
の製造方法において、電極形成後、厚みが一様な上記圧
電基板の主振動面を含む一部を削除することにより、上
記圧電基板に厚みの不均一な部分を形成するようにした
ことを特徴とする圧電共振子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9263689A JPH01295512A (ja) | 1989-04-12 | 1989-04-12 | 圧電共振子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9263689A JPH01295512A (ja) | 1989-04-12 | 1989-04-12 | 圧電共振子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01295512A true JPH01295512A (ja) | 1989-11-29 |
Family
ID=14059932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9263689A Pending JPH01295512A (ja) | 1989-04-12 | 1989-04-12 | 圧電共振子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01295512A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0620048A2 (en) * | 1993-04-12 | 1994-10-19 | Acuson Corporation | Ultrasound transducers with reduced sidelobes and method for manufacture thereof |
| JP4653868B2 (ja) * | 1999-03-30 | 2011-03-16 | アバゴ・テクノロジーズ・ワイヤレス・アイピー（シンガポール）プライベート・リミテッド | 横モード抑制が改善されたバルク音波共振器フィルタ |
| US8902023B2 (en) | 2009-06-24 | 2014-12-02 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Acoustic resonator structure having an electrode with a cantilevered portion |
| US8922302B2 (en) | 2011-08-24 | 2014-12-30 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Acoustic resonator formed on a pedestal |
| US8962443B2 (en) | 2011-01-31 | 2015-02-24 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Semiconductor device having an airbridge and method of fabricating the same |
| US8981876B2 (en) | 2004-11-15 | 2015-03-17 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Piezoelectric resonator structures and electrical filters having frame elements |
| US9048812B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-06-02 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Bulk acoustic wave resonator comprising bridge formed within piezoelectric layer |
| US9083302B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-07-14 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Stacked bulk acoustic resonator comprising a bridge and an acoustic reflector along a perimeter of the resonator |
| US9136818B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-09-15 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Stacked acoustic resonator comprising a bridge |
| US9148117B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-09-29 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Coupled resonator filter comprising a bridge and frame elements |
| US9154112B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-10-06 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Coupled resonator filter comprising a bridge |
| US9203374B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-12-01 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Film bulk acoustic resonator comprising a bridge |
| US9425764B2 (en) | 2012-10-25 | 2016-08-23 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Accoustic resonator having composite electrodes with integrated lateral features |
| US9444426B2 (en) | 2012-10-25 | 2016-09-13 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Accoustic resonator having integrated lateral feature and temperature compensation feature |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56165413A (en) * | 1980-05-26 | 1981-12-19 | Toshiba Corp | Thickness slip oscillator |
-
1989
- 1989-04-12 JP JP9263689A patent/JPH01295512A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56165413A (en) * | 1980-05-26 | 1981-12-19 | Toshiba Corp | Thickness slip oscillator |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0620048A2 (en) * | 1993-04-12 | 1994-10-19 | Acuson Corporation | Ultrasound transducers with reduced sidelobes and method for manufacture thereof |
| EP0620048A3 (en) * | 1993-04-12 | 1995-11-29 | Acuson | Ultrasound transducers with reduced sidelobes and method for manufacture thereof. |
| JP4653868B2 (ja) * | 1999-03-30 | 2011-03-16 | アバゴ・テクノロジーズ・ワイヤレス・アイピー（シンガポール）プライベート・リミテッド | 横モード抑制が改善されたバルク音波共振器フィルタ |
| US8981876B2 (en) | 2004-11-15 | 2015-03-17 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Piezoelectric resonator structures and electrical filters having frame elements |
| US8902023B2 (en) | 2009-06-24 | 2014-12-02 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Acoustic resonator structure having an electrode with a cantilevered portion |
| US9859205B2 (en) | 2011-01-31 | 2018-01-02 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Semiconductor device having an airbridge and method of fabricating the same |
| US8962443B2 (en) | 2011-01-31 | 2015-02-24 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Semiconductor device having an airbridge and method of fabricating the same |
| US9203374B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-12-01 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Film bulk acoustic resonator comprising a bridge |
| US9083302B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-07-14 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Stacked bulk acoustic resonator comprising a bridge and an acoustic reflector along a perimeter of the resonator |
| US9136818B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-09-15 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Stacked acoustic resonator comprising a bridge |
| US9148117B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-09-29 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Coupled resonator filter comprising a bridge and frame elements |
| US9154112B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-10-06 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Coupled resonator filter comprising a bridge |
| US9048812B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-06-02 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Bulk acoustic wave resonator comprising bridge formed within piezoelectric layer |
| US8922302B2 (en) | 2011-08-24 | 2014-12-30 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Acoustic resonator formed on a pedestal |
| US9425764B2 (en) | 2012-10-25 | 2016-08-23 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Accoustic resonator having composite electrodes with integrated lateral features |
| US9444426B2 (en) | 2012-10-25 | 2016-09-13 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Accoustic resonator having integrated lateral feature and temperature compensation feature |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH01295512A (ja) | 圧電共振子の製造方法 | |
| US5117147A (en) | Piezoelectric vibrating device | |
| US5736911A (en) | Piezoelectric resonator with a resonance frequency adjusting notch | |
| JPH0652230U (ja) | 圧電振動子 | |
| US4017753A (en) | Shaped quartz crystal resonator | |
| JPH04127709A (ja) | Ａｔカット水晶振動子 | |
| JPS581563B2 (ja) | セラミツクキヨウシンシ | |
| JPS6357967B2 (ja) | ||
| JPH08125486A (ja) | 圧電振動子 | |
| JP2855208B2 (ja) | ＬｉＴａＯ▲下３▼圧電共振子 | |
| JPS59193612A (ja) | 圧電共振子およびその製造方法 | |
| JPS6360617A (ja) | 圧電セラミツク共振子の製造方法 | |
| JPH0145771B2 (ja) | ||
| JPH05218789A (ja) | 圧電共振子 | |
| JPS60199211A (ja) | 圧電共振子 | |
| JPS59148421A (ja) | 圧電共振子 | |
| RU2047268C1 (ru) | Монолитный пьезоэлектрический фильтр | |
| JPS6245206A (ja) | 圧電共振子 | |
| JPS5936018Y2 (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS58127425A (ja) | 振動子用水晶素板とその製造方法 | |
| JPH03139009A (ja) | 小型圧電共振子 | |
| JPH0211008A (ja) | 圧電共振子 | |
| JPH0463567B2 (ja) | ||
| JPS5824503Y2 (ja) | 幅すべり結晶振動子 | |
| JPH06104684A (ja) | 圧電共振子 |