JPH01158773A - 電荷結合装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は直曲直列（ＳＰＳ）の電荷結合装置（ＣＣＤ）
メモリの出力段として用いるのに特に適した電荷結合装
置に関するものである。

ＳＰＳメモリは直列入力及び出力レジスタをもち、該各
レジスタは、それを横切って電荷蓄積及び電荷転送電極
が交互に展開する電荷伝導チャネルを有し、以て該チャ
ネルに沿い電荷パケットの移動を可能ならしめるもので
ある。直列レジスタの間には、それを横切って電荷蓄積
及び電荷転送電極が交互に展開する多数の並列チャネル
をもつ並列セクション又はレジスタがある。該並列レジ
スタの各電荷蓄積電極は、直列入力レジスタから並列レ
ジスタへ転送する情報を蓄積するための電荷蓄積部分の
列が下に位置するチャネルによって決定されるように配
列しである。１列の情報が直列レジスタへ入力されたと
き、直列レジスタの交互電荷蓄積部分は空であるから、
並列レジスタ内の蓄積スペースを全部使用できるように
するため、「インターレース」と呼ばれる技法が用いら
れる。

かくして、情報の１つの補助列が直列レジスタから並列
レジスタへ転送され、従って並列レジスタの第１列の交
互電荷蓄積部分だけが占有された後に、情報のもう１つ
の補助列が直列入力レジスタに入力されて、第１列の残
りの電荷蓄積部分を占有するようになる。

情報がメモリに入力されたのと同じ順序で出力されるた
めには、インターレースされた補助列を復元（ｄｅ−ｉ
ｎｔｅｒｌａｃｉｎｇ）する技法、すなわち１つの補助
列が直列レジスタの出力端から出力され、引続きもう一
方の補助列が出力されることのできるような技法が必須
である。

米国特許第３９６７２５４号には、そのような技法、す
なわち並列レジスタは１つの出力段又は出力構造をもち
、該出力段は第１及び第２電荷蓄積電極をもち、該電極
はそれぞれ第１及び第２歯列をもち、該歯列は第１列の
歯が一方のチャネル補助群の対応するチャネルの上にあ
り、第２列の歯が他方のチャネル補助群の対応するチャ
ネルの上にあるように櫛形に噛合させる技法について記
述しである。

出力段の第１電荷転送電極は、情報の列を、並列セクシ
ョンの１つ前の電荷蓄積電極の下にある電荷蓄積部分列
から、第１電荷蓄積電極の下にある電荷蓄積部分列へ転
送するようになっている。

第２電荷転送電極は、第１歯列と第２歯列の下にある電
荷蓄積部分との間の、第１電荷蓄積電極の一部分の下の
電荷蓄積部分間を、電荷パケットが転送されるようにな
っている、また一方で第３電荷転送電極は、第１歯列の
下にある電荷蓄積部分と、第２列の歯間の第２電荷蓄積
電極の一部分との間を、電荷パケットが転送されるよう
になっている。

第１及び第２電荷蓄積電極を制御するクロック線に適切
なりロック信号を供給することにより情報の補助列を分
割することができ、それによって、例えば、第１列の歯
の下の電荷蓄積部分に蓄積された情報の補助列は第２電
荷蓄積電極の下の電荷蓄積部分に転送されそれから転送
ゲート及び直列出力レジスタを経由して出力することが
できる、また一方、それ以外の補助列は第１電荷蓄積電
極の介在部の下の電荷蓄積部分に蓄積されたままで、以
後逐次出力される。

米国特許第３９６７２５４号記載の出力段は、計時パル
スのドロップ・クロック（ｄｒｏｐ−ｃｌｏｃｋ）方式
が用いられている場合は必要な情報の補助列の分割を可
能ならしめているが、若し計時パルスのブツシュ・クロ
ック（ｐｕｓｈ−ｃｌｏｃｋ）方式を用いることが好ま
しいならば、米国特許第３９６７２５４号記載の出力段
は受容しがたい。その理由は出力段の第１電荷蓄積電極
にクロック信号を適用することが不可能であって、それ
により例えば第１列の歯の下に蓄積されていた電荷パケ
ッｒを（第３電荷転送電極に適当なりロック信号を与え
ると）第２電荷蓄積電極の下にある電荷蓄積部分に於て
形成されているポテンシャル・ウェル（ｐｏｔｅｎｔｉ
ａｌ　ｗｅｌｌ）へと押出すことになり、その一方で残
りの情報補助列に対するポテンシャル・ウェルは第１電
荷蓄積電極の介在部の下にある電荷蓄積部分に依然とし
て保持されているからである。

本発明の最初の視点においては、一連の並列電荷伝導チ
ャネルを決める半導体基体と、該ヂャネ＝１５− ルを横切って展開している電荷蓄積電極であって、その
展開の仕方は該電荷蓄積電極の各々がそれぞれ対応の電
荷蓄積部分列を該チャネルで定められてなる電荷蓄積電
極と、電荷蓄積部分間に電荷パケットを転送するため該
チャネルを横切って展開している電荷転送電極とを有す
る電荷結合装置があって、この装置はチャネルの１つの
補助群の上に位置する第１歯列をもつ第１電荷蓄積電極
と、第２及び第３歯列をもち、該第２歯列はチャネルの
もう一方の補助群の上に位置するように第１歯列と噛合
している第２電荷蓄積電極と、第３歯列と噛合している
第４歯列であって、第３．第４歯列のどちらかが前述の
チャネルの補助群の１つの上に位置し、第３．第４歯列
の他方はもう一方の補助群の上に位置してなる第４歯列
をもつ第３電荷蓄積電極と、電荷パケットを前記のチャ
ネルと第１電荷蓄積電極とにより決定する電荷蓄積部分
列へ転送するための第１電荷転送電極と、電荷パケット
を第１電荷蓄積電極の下にある電荷蓄積部分と第２歯列
の下にある電荷蓄積部分との間で転送する第２電荷転送
電極と、電荷パケットを第１歯列の下にある電荷蓄積部
分と第２電荷蓄積電極の下にある電荷蓄積部分との間で
転送する第３電荷転送電極と、電荷パケットを第２電荷
蓄積電極の下にある電荷蓄積部分と第４歯列の下にある
電荷蓄積部分との間で転送する第４電荷転送電極と、電
荷パケットを第３歯列の下にある電荷蓄積部分と第３電
荷蓄積電極の下にある電荷蓄積部分との間で転送する第
５電荷転送電極をもっているのである。

本発明の実施例の電荷結合装置の１つでは、第１歯列の
下にある電荷蓄積部分において形成されるポテンシャル
・ウェルに蓄積されている情報を、たとえ計時パルスの
ブツシュ・クロック方式が用いられている場合でも、第
１電荷蓄積電極の介在部の下にある電荷蓄積部分におい
て形成されるポテンシャル・ウェルに蓄積されている情
報から分割せしめることが可能である。

第３歯列は第２歯列から派生していることもあり、その
場合第３列の歯は上述のチャネルの補助群の１つの上に
位置し、第４列の歯は上述のもう一方のチャネルの補助
群の上に位置する。これによってチャネルに沿っている
電荷蓄積電極の最大長を最小に保たしめることが可能で
ある。けれどもこのことが重要でない場合は、第３歯列
は第２歯列と一線に揃え、第４歯列は第１歯列と一線に
揃えることが可能である。

各歯は一般的に唯１つのチャネルの上に位置しているが
、１つの歯が２つ以上の隣り合ったチャネルの上に位置
していることが望ましいという状況もあるかも知れない
。通常は上述のチャネルの補助群の一方は１つおきのチ
ャネルで形成され、上述のもう一方のチャネルの補助群
は残りのチャネルで形成される。

本発明の実施例の電荷結合装置は情報の補助列を分割す
ることが望ましいいかなる状況下にも用いることができ
るが、該電荷結合装置は−チャネル及びそのチャネルの
上を横切って展開する電荷蓄積及び転送電極によって定
まる並列レジスタと、 一更に他の１チャネル及び更に他の電荷蓄積及び転送電
極を有する直列出力レジスタで、該直列出力レジスタの
電荷蓄積電極の各々は並列レジスタの１チャネルと関連
しており、かつ第１．第２゜第３電荷蓄積電極と関連電
荷転送電極とが並列レジスタの出力段、すなわち電荷パ
ケットを第３電荷蓄積電極の下にあるポテンシャル・ウ
ェルから直列出力レジスタへ転送するための出力転送ゲ
ートを形成してなる直列出力レジスタと を有することが好ましく、更にまた該電荷結合装置は −１つのチャネル及び関連電荷蓄積、転送電極を有する
直列入力レジスタで、該直列入力レジスタの電荷蓄積電
極の各々は並列レジスタの１ヂヤネルと関連してなる直
列入力レジスタと、−電荷パケットを直列入力レジスタ
から並列レジスタへ転送するための入力転送ゲートとを
有することが好ましい。該直列出力レジスタ又は直列入
力及び出力レジスタの各々は４相レジスタであってもよ
い。

本発明は、前記最初の視点に従う電荷結合装置の操作方
法をも用意する、該方法は −第１電荷蓄積電極によって定められる電荷蓄積部分列
において形成されるポテンシャル・ウェルに電荷パケッ
ト列を蓄積し、 一電荷パケット列を第２電荷蓄積電極によって定められ
る電荷蓄積部分のポテンシャル・ウェルに転送せしめる
ようにし、 一第２電荷蓄積電極の下にあるポテンシャル・ウェルに
蓄積されている電荷パケットを移動せしめるようにし、 −また同時に電荷転送阻止信号を、第３と第２電荷転送
電極のどちらか１つ及び第４と第５電荷転送電極のどち
らか１つに適用して、それにより電荷転送阻止信号が第
３及び第４電荷転送電極か第２及び第５電荷転送電極か
のいすかに当てはめられるようにすることを含み、それ
によって−前記のチャネル補助群の一方により定まる電
荷蓄積部分に蓄積された電荷パケットを第２電荷蓄積電
極の下にあるポテンシャル・ウェルから第１及び第３電
荷蓄積電極のどちらかの下にあるポテンシャル・ウェル
に移動せしめ、同時に、前記のチャネル補助群のもう一
方により定まる電荷蓄積部分に蓄積された電荷パケット
を第２電荷蓄積電極の下にあるポテンシャル・ウェルか
ら第１及び第３電荷蓄積電極の残りの方の下にあるポテ
ンシャル・ウェルに移動せしめ、結局電荷パケットの列
を第１と第２補助列に分割することを含む。

電荷パケットはクロック信号のブツシュ・クロック列を
電荷蓄積及び転送電極に適用することにより移動させる
ことができるが、その他の適当な計時方法を用いること
も可能である。

本発明の実施例の手法の１つとして、電荷転送可能化信
号を第２及び第３電荷転送電極に適用し、それから第２
電荷蓄積電極に適用された電荷蓄積可能化信号と共に、
第１電荷蓄積電極によって定まる電荷蓄積部分から電荷
パケットを押出すため電荷蓄積阻止信号を第１電荷蓄積
電極に適用することにより、電荷パケットを第２電荷蓄
積電極の下にあるポテンシャル・ウェルへ転送せしめる
ことも含まれる。

１つのやり方として、電荷パケットの列が第２電荷蓄積
電極の下にあるポテンシャル・ウェルへ転送せしめる段
階は、電荷蓄積阻止信号を第１電荷蓄積電極へ適用した
後で電荷転送阻止信号を第２及び第３電荷転送電極へ適
用し、以て電荷パテ７トの列を第２電荷蓄積電極のみの
下にあるポテンシャル・ウェルへ押出すことを含み、同
じ制御信号は第２及び第５電荷転送電極と第３及び第４
電荷転送電極の双方またはそのいずれか一方に適用する
こともできる。

もう１つのやり方として、電荷パケットの列が第２電荷
蓄積電極の下にあるポテンシャル・ウェルへ転送せしめ
る段階は、電荷蓄積阻止信号を第１電荷蓄積電極へ適用
する前に電荷転送可能化信号を第４及び第５電荷転送電
極の他の方へ適用し、電荷蓄積可能化信号を第３電荷蓄
積電極へ適用することを含み、同じ制御信号は第４及び
第５電荷蓄積電極の他の方へと同様第３及び第２電荷蓄
積電極の他の方へ適用することもできる。

第２電荷蓄積電極により定まる電荷蓄積部分に蓄積され
た電荷パケットは、電荷転送阻止信号を前記の第３及び
第２電荷転送電極の１つと前記の第４及び第５電荷転送
電極の１つへ適用し、同時に電荷転送可能化信号を第３
及び第２電荷転送電極の他の方と第４及び第５電荷転送
電極の他の方へ適用し、かつ第１及び第２補助列の電荷
パケットを第２電荷蓄積電極により定まる電荷蓄積部分
から反対の方向に押出すため電荷蓄積阻止信号を第２電
荷蓄積電極へ適用することにより移動せしめることがで
きる。

上述の１つのやり方では、第２電荷蓄積電極により定ま
る電荷蓄積部分に蓄積された電荷パケットは、電荷転送
阻止信号を前記第３及び第２電荷転送電極の１つと前記
第４及び第５電荷転送電極の１つとへ適用している間に
、電荷転送可能化信号を第３及び第２電荷転送電極の他
の方と第４及び第５電荷転送電極の他の方とへ適用する
のと同時に、電荷蓄積可能化信号を第１及び第３電荷蓄
積電極へ適用し、それから第１及び第２補助列の電荷パ
ケットを第２電荷蓄積電極により定まる電荷蓄積部分か
ら反対方向に押出すため電荷蓄積阻止信号を第２電荷蓄
積電極へ適用することにより移動せしめることができる
。

本発明の実施例の手法の１つとして、電荷蓄積阻止信号
を第２電荷蓄積電極へ適用した後、第１及び第２補助列
の電荷パケットを前記の反対方向へ更に押出すため電荷
転送阻止信号を第３及び第２電荷転送電極の前記他の方
と第４及び第５電荷転送電極の前記他の方とへ適用し、
その結果として第１及び第２補助列の一方の電荷パケッ
トは第１電荷蓄積電極のみの下にあるポテンシャル・ウ
ェルへと押出され、第１及び第２補助列の他方の電荷パ
ケットは第３電荷蓄積電極のみの下にあるポテンシャル
・ウェルへと押出されることも含まれる。

電荷パケットの列を第１及び第２補助列に分割した後、
本発明実施例の一手法として補助列の第３電荷蓄積電極
の下にあるポテンシャル・ウェルに蓄積された電荷パケ
ットを出力し、それから逐次第１電荷蓄積電極の下にあ
るポテンシャル・ウェルに蓄積された他の補助列の電荷
パケットを第３電荷蓄積電極の下にあるポテンシャル・
ウェルに移動し、然る後に該他の補助列の電荷パケット
を出力することも含まれる。

例えば、該他の補助列の電荷パケットは、第２電荷蓄積
電極へ適用される電荷蓄積可能化信号と共に、電荷転送
可能化信号を第３及び第２電荷転送電極の他方へ適用し
、それから電荷蓄積阻止信号を第１電荷蓄積電極へ適用
し、引続き第３及び第２電荷転送電極の該他方−・適用
し、以て他の補助列の電荷パケットを第２電荷蓄積電極
の下にあるポテンシャル・ウェルへと押出し、次に電荷
転送可能化信号を第４及び第５電荷転送電極の他方へ適
用し、電荷蓄積可能化信号を第３電荷蓄積電極へ適用し
、以後引続き電荷蓄積阻止信号を第２電荷蓄積電極へ適
用し、それから電荷転送阻止信号を第４及び第５電荷転
送電極の該他方へ適用し、以て他の補助列の電荷パケッ
トを第３電荷蓄積電極のみの下にあるポテンシャル・ウ
ェルへと押出すことにより、出力のため第１電荷蓄積電
極の下にあるポテンシャル・ウェルから第３電荷蓄積電
極の下にあるポテンシャル・ウェルへと転送させること
ができる。

益で用いているように、「電荷蓄積可能化信号」なる語
は、電荷蓄積電極の下に電荷蓄積ポテンシャル・ウェル
を供給する電圧信号を意味し、該電圧信号はこの電荷蓄
積電極に対し適用されるのであり、又一方「電荷蓄積阻
止信号」なる語は、電荷蓄積電極の下で電荷が存在でき
るポテンシャル・ウェルがあるか又は最早ないかという
電圧の信号を意味し、この電荷蓄積電極に対し該電荷蓄
積阻止信号は適用されるのである。同様に、「電荷転送
可能化信号」なる語は、電荷転送電極の下にポテンシャ
ル・ウェルを供給する電圧信号を意味し、該信号はこの
電荷転送電極に対し適用され以て電荷パケットの転送を
可能ならしめるものであり、又一方「電荷転送阻止信号
」なる語は、電荷転送電極の下で電荷が存在できるポテ
ンシャル・ウェルがあるか又は最早ないかという電圧の
信号を意味し、この電荷転送電極に対し該電荷転送阻止
信号は適用されるのである。

以下本発明の実施例を、実例を用い添付図面を引用して
説明する。図面を引用するに当り、最初に申上げておき
たいのはこれらの図面はいずれも略図であって必ずしも
実寸に忠実ではないということである。特に、厚さとい
うような類の寸法は誇張されており、一方その他の寸法
は図面の明確さということに重点をおいて縮小されてい
る場合もある。

第１図は直曲直列（ＳＰＳ）メモリ装置のメモリ・ブロ
ックの一部分の概略配置を示し、これはそのようなメモ
リ・ブロックが４つ又はそれ以上並列に接続されている
場合である。

本発明の実施例である電荷結合装置は第１図ないし第６
図にみられるように、直列入力レジスタＡと並列レジス
タＣと、直列出力レジスタＢとをもっている。

直列入力レジスタＡは半導体基体３０内に於て、フィー
ルド酸化物パターン２の一部分と入力転送ゲートＴ１と
交互電荷転送及び蓄積電極３ｂ及び３ａとによって定ま
るチャネル１を有し、以て電荷パケットがクロック信号
の制御下に人力節点９から直列入力レジスタＡに導入さ
れ、蓄積されるようになっている。図示されているよう
に、直列入力レジスタＡは４相電荷結合装置構造で、ク
ロック信号φぐ〜φ脅によって制御される（第２図）。

直列出力レジスタＢも同様に半導体基体３０内に於て、
フィールド酸化物パターン２の一部分と出力転送ゲート
Ｔ２と交互電荷転送及び蓄積電極４ｂ及び４ａとによっ
て定まるチャネル４を有する。該出力直列レジスタもま
た４相電荷結合装置構造で、その動作はクロック信号φ
１〜φ４によって制御される（第２図）。

人力転送ゲー）Ｔ、　（第２図）は、転送電荷パケット
を直列入力レジスタＡから並列レジスタすなわちＣセク
ションへ転送するために配置されている。

第１図及び第２図で極めて明確に示されているように、
並列セクションＣはフィールド酸化物パターン２の条片
１２により定まる多くの（第１図ではただ６つのみ示さ
れているが、実際にはもっと沢山の）並列チャネル１１
を有する。交互電荷転送及び蓄積電極はチャネル１１の
上を横切って、図中ではそれに垂直に展開している。電
荷蓄積電極１３ａ−−−−Ｎａの各々はチャネル１１と
共に、それを横切って、図中ではそれに垂直に、展開す
る電荷蓄積部分の列を定める、一方電荷転送電極１４ｂ
−−−−Ｎｂ（これは電荷蓄積電極１４ａ−−−−Ｎａ
とそれぞれ連係している）は電荷パケットの列を並列セ
クションに沿って１列ずつ転送するのに使われる。

並列セクションＣを通って１列ずつ電荷パケットの移動
を制御する信号を供給するためのクロック線は、２相、
３相あるいは４相システムのいずれでもよいが、並列セ
クションＣは多重相または波形ンステムで制御されるの
が好ましい、すなわち例えば並列セクションＣの１０番
目ごとの電荷転送電極と１０番目ごとの電荷蓄積電極と
は同じクロック線に接続され、それによって、就中英国
特許第２１０５１１１号に述べられているように、１０
個の連続蓄積列のうち９個には情報が満たされ、第１０
番目は空のままとするというやり方である。空の個所を
並列レジスタＣの一番下から一番上へと移動させること
により、情報を一番上から一番下へと１列ずつ移動させ
ることができる。この操作方法の利点は、並列セクショ
ンで１０列ごとにたった１列だけ空の列が生じるので高
い情報密度が得られるということである。

並列セクションＣの使用度を最大にするためには、すべ
てのチャネル１１が電荷パケットを運ぶのに使われるよ
うにすることが望ましい。２相、３相又は４相りロック
方式が用いられるならば直列レジスタＡ及びＢの交互電
荷蓄積部分だけが同時に一杯になるだろうから、インタ
ーレースという技法が使われる。

かくして、情報の第１補助列が電荷パケットとして入力
直列レジスタＡに入力され、交互電荷蓄積電極すなわち
電荷蓄積電極３“ａか電荷蓄積電極３″ａかどちらかの
下の電荷蓄積部分に於てクロック線φ仝〜φイヘ適用さ
れる高いクロック信号電圧により形成されるポテンシャ
ル・ウェルに蓄積されるようになる。この第１補助列は
それから、電荷蓄積電極１３ａとチャネルｌｌａ又はｌ
ｌｂの第１又は第２補助群のいずれかとにより定まる電
荷蓄積部分に於て形成されるポテンシャル・ウェルへ転
送される。第１補助列が、転送前には直列レジスタＡ内
の電荷蓄積電極３７ａの下にあるポテンシャル・ウェル
中にある場合には、該第１補助列は、電荷蓄積電極１３
ａとチャネルｌｌａの第１補助群とで定まる電荷蓄積部
分に於るポテンシャル・ウェルに転送され、これに対し
て第１補助列が入力直列レジスタＡ内の電荷蓄積電極３
゛′ａの下にあるポテンシャル・ウェル中にある場合に
は、第１補助列は、電荷蓄積電極１３ａとチャネルｌｌ
ｂの第２補助群とで定まる電荷蓄積部分に於るポテンシ
ャル・ウェルに転送される。

情報の第２補助列はそれから、直列入力レジスタＡに入
力され、転送の直前には第１補助列により今まで占めら
れたことのない電荷蓄積電極の下にある電荷蓄積部分に
於るポテンシャル・ウェルを満たし、入力転送ゲートＴ
１を経由して転送され、チャネルの残りの補助群と電荷
蓄積電極１３ａとで定まる電荷蓄積部分に於るポテンシ
ャル・ウェルに置かれるようになる。情報の第１補助列
が電荷蓄積電極３ｔａの下にあるポテンシャル・ウェル
からチャネルｌｌａの第１補助群と電荷蓄積電極１３ａ
とで定まる電荷蓄積部分に於て形成されるポテンシャル
・ウェルへ転送される場合には、情報の第２補助列が電
荷蓄積電極３″ａの下にあるポテンシャル・ウェルから
チャネルｌｌｂの第２補助群と電荷蓄積電極１３ａとで
定まる電荷蓄積部分に於て形成されるポテンシャル・ウ
ェルへ転送されることになり、その逆も成立つことは勿
論である。

情報の第１及び第２補助列は、かくしてインターレース
され並列セクションＣ内の情報列を形成し、それはそれ
から多重相または波形クロック計時システムを用いる通
常のやり方で電荷蓄積部分を１列ずつ直列出力レジスタ
Ｂの方へ向って運ばれる。

メモリ・ブロックから情報を人力されたのと同じ順序で
出力するために情報列のインターレース復元の手段が必
要となる。従って並列セクションＣはインターレース復
元出力段２０をもち、以て情報の第１補助列が出力転送
ゲー）Ｔ２と直列出力レジスタＢを経由して出力節点１
０へ転送せしめられ続いて情報の関連第２補助列が従う
ようにされる。

第１図及び第２図で極めて明確に示しているように、並
列セクションＣのインターレース復元出力段２０は、３
つの電荷蓄積電極２１，２２及び２３と、５つの連係す
る電荷転送電極２４．２５．２６．２７及び２８をもつ
。

出力段２０の第１電荷蓄積電極２１にはチャネル１１を
横切って展開するスパイン（稜線）２１ａと該スパイン
２１ａから突き出る第１歯列２１ｂがあり、各歯２１ｂ
はそれぞれ対応のチャネル１１の上にある。

図示のように、各歯２１ｂはチャネルｌｌｂの第２補助
群の対応するものの上にあるのである。

出力段２０の第２電荷蓄積電極２２は、スパイン２２ａ
と該スパイン２２ａから第１電荷蓄積電極２１へ向って
突き出る第２歯列２２ｂをもち、該第２歯列２２ｂは第
１歯列２１ｂから派生し、かつチャネルｌｌｂの第１補
助群の上に位置し第１歯列２１ｂと噛合している。

第３歯列２２Ｃはスパイン２２ａから電荷蓄積電極２１
とは反対の方向へ延びて、第３電荷蓄積電極２３のスパ
イン２３ａから突き出る第４歯列２３ｂと噛合する。図
示のとおり第３列の歯２２ｃは第２列の歯２２ｂから派
生し、従って第３及び第４歯列２２ｃ及び２３ｂはチャ
ネルｌｌｂ及びｌｌａの第２及び第１補助群の上にそれ
ぞれ位置する。

出力段２０の第１電荷転送電極２４は電荷パケットを並
列セクションＣの波形動作段の最終列から第１電荷蓄積
電極２１の下にあるポテンシャル・ウェルへ転送するよ
うになっている。

上述のように、出力段２０の電荷転送電極２４ないし２
８の各々はチャネル１１の上を横切って、図中では垂直
に展開している。チャネル１１に沿う方向で、第２電荷
転送電極２５は第１電荷転送電極からは間をあけてスパ
イン２１ａ　とは重なるようにし、チャネル１１に沿っ
て歯２１ｂの終端に重なるのに十分だが各歯２１ｂの長
さの一部分しか覆わない距離だけ延びている。第３電荷
転送電極２６は第２電荷転送電極２５とは間をあけ歯２
１ｂ　とは重なるようにし、チャネル１１に沿って歯２
２ｂの上をスパイン２２ａと重なるように延びている。

同様に、第４電荷転送電極２７は第３電荷転送電極２６
Ｃとは間をあけスパイン２２ａ　と重なるようにし、チ
ャネル１１に沿って歯２３ｂ　ｃＤａ＝端と重なるには
十分だが歯２２Ｃの長さの一部分しか覆わない距離だけ
延びている、そして第５電荷転送電極２８は第４電荷転
送電極２７とは間をあけ歯２２ｃの終端と重なるように
し、チャネル１１に沿って歯２３ｂの上をスパイン２３
ａ　と重なるように延びている。

出力転送ゲー）Ｔ２は、出力段２０の第３電荷蓄積電極
２３の下にある電荷蓄積部分から直列出力レジスタＢへ
電荷パケットを転送するのに用いられる。

次に本電荷結合装置の構造を、第１図、第２図および特
に第３図から第６図によって更に詳細に言凭明する。

本電荷結合装置は上に述べたように、半導体基体３０を
、この例の場合は単結晶シリコンのｐ型半導体基体をも
っている。該半導体基体３０は少なくとも表面層３１を
もち、該表面層は比較的低いドーピング濃度、例えばｃ
ｍ当り受容体くアクセプタ）原子数が１０１５と１０１
６の間のドーピング濃度をもつ。

核層３１は半導体基体の厚みの全部を占めることもある
が、代案としてオーム抵抗値の低いｐ型基板でそのドー
ピング濃度が例えばｃ＋ｒｔ当り１０１８と１０２０の
間の原子数の基板３２の上に被せる比較的にオーム抵抗
値が高く厚さが５μｍと１５μｍの間の表面層とするこ
ともできる。

チャネル１，４及び１１はフィールド酸化物パターン２
により境界づけられ従ってそれにより定まる。該フィー
ルド酸化物パターン２はまた図に示す部分より外側に開
口部をもちそれに周辺回路を配置する。該フィールド酸
化物パターン２の厚さは例えば０．３〜０．７　μｍで
あるが、本実施例においてはシリコン基体の局部酸化に
より形成される。

寄生チャネルの形成を妨げるために酸化物パターン２の
下のドーピング濃度はｐ型チャネルストッパー・ゾーン
３５を用いることにより増大する。

薄い誘電層、例えば酸化シリコン層３６でその厚さは例
えば大略０．０２μｍと０．０５μｍの間にある層が、
半導体基体３０のチャネル１，４及び１１の領域の表面
を覆っている。

本実施例ではすべての電荷蓄積電極は誘電層３６の上の
第１ドープ多結晶シリコン層にデポジット及びパターン
によって作られる。誘電素材のその次の薄い層、これ又
例えば酸化シリコン層３６ａが第１多結晶シリコン層に
よって定まる電荷蓄積電極を覆い、第２ドープ多結晶シ
リコン層のデポジット及びパターンによってすべての電
荷転送電極とこれに加えて出力転送ゲートＴ、及びＴ２
が作られる。

その次の誘電素材、例えば二酸化シリコンの層３６ｂが
第２多結晶シリコン層の上に置かれ、必要な接点窓が定
められた後、伝導素材、例えばアルミニウムのような金
属がデポジット及びパターンされて必要な接続のための
伝導路を作る。

電荷結合装置すなわちメモリ・ブロックはただ１つだけ
図示しであるが、完全なメモリ装置は例えば４つのそん
なブロックと全ブロックに亘って展開する並列セクショ
ンＣ用の並列蓄積及び並列転送電極で構成され、それに
よって情報は各メモリ・ブロック内で列から列へ同時に
転送することができる。

上に論じた装置の動作についてこれから簡単に説明する
。

上記のように直列入力及び出力レジスタＡ及びＢは４層
電荷結合装置構造で、ブツシュ・クロック計時方式で動
作し、第３図ないし第６図から明らかなように、非対称
性構成ではない計時信号により要求される方向へ電荷パ
ケットを移動せしめる必要な方向性をもっている。

沢山の情報列が人力されメモリ・ブロック中を動き廻る
ことはいずれよく理解して頂けるであろうが、苑では簡
単のためメモリ・ブロック中をインターレースされた第
１及び第２情報補助列から成るただ１つの情報列の通路
を説明することにする。

第１の情報補助列は、クロック線φ１ないしφ。

上のブツシュ・クロック信号の制御下に直列入力レジス
タＡへ、この例においては交互電荷蓄積電極３１ａの下
にある電荷蓄積部分にポテンシャル・ウェルが形成され
るまで移動する電荷パケットがデータで占められるので
、人力節点すなわちダイオード９を経由して人力される
。

図中のクロック線φ４゛に接続する電荷蓄積電極３ｖａ
の下にあるポテンシャル・ウェルに蓄積された電荷パケ
ットを考えると、一連のクロック信号は次のように前進
する。

一番初めにクロック線φ１及びφ３　（これらはそれぞ
れ電荷蓄積電極３“ａ及び３″ａに接続している）上の
クロック信号は高い（すなわち電荷蓄積を可能ならしめ
る程に）ので電荷蓄積電極３“ａ及び３″ａの下にある
ポテンシャル・ウェルを作り、電荷蓄積電極３１　ａの
下にあるポテンシャル・ウェルはいうまでもなく転送さ
れるべき電荷パケットをもっている。それからクロック
線φ）上のクロック信号が高められ（即ち電荷転送を可
能な−らし＝３９− める程に）、それにより電荷蓄積電極３“ａの下にある
ポテンシャル・ウェルは隣のく第１．第２図では右の）
電荷蓄積電極３″ａと接続する。それからクロック線φ
１上のクロック信号は低くなり、その後直きにクロック
線φ合上のクロック信号が続き（即ち電荷蓄積阻止信号
及び電荷転送阻止信号が適用され）、電荷パケットは第
１．第２図では右の方へ押出され、初めは電荷転送電極
３ｂの下にあるポテンシャル・ウェル及び隣の（第１．
第２図では右の）電荷蓄積電極３″ａに位置し、それか
ら電荷蓄積電極３″ａの下のみに定まるポテンシャル・
ウェルに位置する。

クロック線φ１上のクロック信号が高くなり（電荷蓄積
電極３ｔａの下にあるポテンシャル・ウェルが次の電荷
パケットのための用意が整い）、その直後にクロック線
φ２上のクロック信号が低くなり、該クロック線φ令上
のクロック信号は電荷蓄積電極３“ａの下にある電荷蓄
積部分に於てかように形成されたポテンシャル・ウェル
へ電荷カ戻るのに対しこれを阻止する障壁となる。

それからクロック線φ（上のクロック信号が高くなり、
以て電荷蓄積電極３゛′ａの下に展開するポテンシャル
・ウェルと、中間電荷転送電極３ｂと次の（第１．第２
図では右の）電荷蓄積電極３ｖａとへ電荷パケットが拡
がることを可能ならしめ、その次には、まずクロック線
φ今上のクロック信号が、それからクロック線φく上の
それが低くなり、電荷パケットを第１．第２図では右へ
、前述の次の（第１．第２図では右の）電荷蓄積電極３
“ａのみの下にあるポテンシャル・ウェルへと押出す。

クロック線φ３上のクロック信号はクロック線φ４上の
クロック信号が低くなった直後に高くなり、クロック線
φす上のクロック信号は電荷の逆流への障壁となる。上
述の過程は情報の第１補助列が直列入力レジスタＡへと
計時されるまで繰返される。

各電荷蓄積電極３Ｙａの下にあるポテンシャル・ウェル
に電荷パケットが入っており、従って第１補助列は直列
入力レジスタＡ内に蓄積されているとき、高クロック信
号が人力転送ゲート・クロツり線φ、１に適用され、以
て電荷パケットを入力転送ゲートＴ１及び電荷蓄積電極
１３ａの下に展開するポテンシャル・ウェルへと拡げる
ことを可能ならしめ、クロック線φ１３ａ上のクロック
信号を高める。再びブツシュ・クロック操作、すなわち
クロック線φ１上の電圧と引続きクロック線φＴ１上の
電圧とを低下させることにより、第１補助列の電荷パケ
ットがチャネルｌｌａと電荷蓄積電極１３ａとで定まる
電荷蓄積部分に形成されるポテンシャル・ウェルへと押
出される。

クロック線φ１．上のクロック信号が再び低くなった後
、情報の第２補助列が、上述とほぼ同様のやり方で直列
入力レジスタＡへと計時される、ただしクロック線φ１
ないしφを上のクロック信号及びクロック線φＴ１上の
人力転送ゲート・クロック信号は、電荷蓄積電極３″ａ
の下にある電荷蓄積部分に於て形成されるポテンシャル
・ウェルが一杯のときには、電荷パケットを並列レジス
タＣへと転送するのに協力し、それにより並列レジスタ
Ｃへ転送されたときは情報の第２補助列はチャネルｌｌ
ｂと電荷蓄積電極１３ａとで定まる電荷蓄積部分に於る
ポテンシャル・ウェルに位置し、かくして第１補助列と
インターレースされる。

インターレースされた情報列は、上述のように波形クロ
ック・システムを用いて並列レジスタＣを通り抜けて移
動する。再びブツシュ・クロック・システムが使われて
、並列レジスタＣの波形クロック動作部分のｎ番目ごと
の（例えば第１０番目ごとの）電荷蓄積電極が同じクロ
ック線に接続され、同様にｎ番目ごとの（例えば第１０
番目ごとの）電荷転送電極が同じクロック線に接続され
る。同時にｎ番目ごとの（例えば第１０番目ごとの）情
報列が並列レジスタＣの一段下の列に移り、次の字列に
入るのであるが、それは字列のクロック線上のクロック
信号が高く、まず初必に介在する電荷転送電極のクロッ
ク線上のクロック信号を高くして字列のポテンシャル・
ウェルへと並列パケットを拡げさせ、それからまず電荷
蓄積電極上のクロック信号を低くし、その次に介在する
電荷転送電極のそれを低くして電荷パケットをチャネル
１１に沿って字列へと押出すという訳である。それから
、情報列が前にはその下にあった電荷蓄積電極のクロッ
ク信号は高くなり（前と同様に介在する電荷転送電極の
クロック線上のクロック信号が低くなって逆流を阻止し
た後）字列となるのである。かくして字列は一度に直列
入力レジスタＡの方へ１列戻るのである。

インターレースされた情報列が、電荷蓄積電極Ｎａの下
にある電荷蓄積部分に於て形成されるポテンシャル・ウ
ェルに蓄積されているときは、高電圧信号がインターレ
ース復元出力段２０の第１電荷転送電極２４のクロック
線φ２４及び第１電荷蓄積電極２１のクロック線φ２１
に加えられ、以て電荷パケットを電荷蓄積電極２１の下
に拡げさせ、それから上述と同様のやり方で、電荷パケ
ットは、まず電荷蓄積電極Ｎａのクロック線φＮａ上の
クロック信号電圧を低くし、それらか電荷の逆流を妨げ
るためクロック線φ２．を低くすることにより、第１電
荷蓄積電極２１の下にあるポテンシャル・ウェルへと押
出される。

このインターレースされた情報列の電荷パケットは今や
第１電荷蓄積電極２１の下にあるポテンシャル・ウェル
にあり、併せて情報の第２補助列は歯２１ｂの下にある
ポテンシャル・ウェルに、また情報の第１補助列は第１
電荷蓄積電極２１の介在スパイン部分で定まるポテンシ
ャル・ウェルにあることになる。

インターレース復元を達成するために、イン、ターレー
スされた情報の第１及び第２補助列が第２電荷蓄積電極
の下にあるポテンシャル・ウェルに移動した後で、クロ
ック線φ２６及びφ２７上のクロック信号を第３及び第
４電荷転送電極２６及び２７へ低く適用して電荷転送を
阻止し、クロック線φ２５及びφ２８上のクロック信号
を第２及び第５電荷転送電極２５及び２８へ高く適用し
くこれは第１補助列がチャネルｌｌａの第１補助群内に
定まるポテンシャル・ウェル中にあるとき）、又はその
逆（これは第１補助列がチャネルｌｌｂの第２補助群内
に定まるポテンシャル・ウェル中にあるとき）とし、お
よびクロック線２１及び２３上のクロック信号を高（し
て、以てクロック線φ２２上のクロック信号を低下せし
めて、それにより第１及び第２補助列は反対方向へ押出
され、第２補助列は第１電荷蓄積電極２１の下にあるポ
テンシャル・ウェルへ入り第１補助列は第３電荷蓄積電
極２３の下にあるポテンシャル・ウェルへ入る。かくし
て、第１補助列は第３電荷蓄積電極２３の下にあるポテ
ンシャル・ウェルから出力直列レジスタＢへと出力され
、一方第２補助列は第１電荷蓄積電繍２１の下にあるポ
テンシャル・ウェルに蓄積される。

上述のインターレース復元を遂行するためのクロックパ
ルスの３つの可能な方式をこれから詳細に説明する。但
しこれ以外にも多くの配置又は方式も可能なことは理解
されるだろう。

まず初めに第７ａ図から第７ｂ図までを参照すると、第
７ａ図はクロック線φ２□からφ２８までの上のクロッ
クパルスを示すタイミング図であって、これらのクロッ
クパルスは情報の第１及び第２補助列の分割を制御する
ためと、情報の第１補助列の出力径情報の第２補助列か
らの転送を制御するためのものである。

第７ｂ図は、チャネルｌｌａ及びｌｌｂの１対に対する
出力段２０の概略説明図であって、情報の第１及び第２
補助列のそれぞれの電荷バケツ）Ｃ，及びＣ２の状態を
説明している。

時点ｔ１において、クロック線φ２２からφ２８までの
上のクロック信号は低い（この例ではＯボルト）、一方
りロック線φ２．上のクロック信号は高い。それ故電荷
パケットＣ０はスパイン２１ａとチャネルｌｌａとで定
まるポテンシャル・ウェルに蓄積されている、一方電荷
バケツ）Ｃ２は歯２１ｂ　とチャネル１ｌｔｌとで定ま
るポテンシャル・ウェルに蓄積されている。

時点ｔ２においては、クロック線φ２２．φ２３．φ２
５゜φ２６及びφ２７上の電圧は高められ（この例では
５ボルト）、電荷バケツ）Ｃ２はかくして歯２１ｂと電
荷転送電極２６と第２電荷蓄積電極２２との下で定まる
ポテンシャル・ウェルへ拡げられる、一方電荷パケット
Ｃ１は３つの電荷蓄積電極２１．２２及び２３のすべて
の下に展開されるポテンシャル・ウエルヘ−４７〜 と拡げられる。

時点ｔ３においては、クロック線φ２１の電圧は既に低
くなっており、電荷バケツ）ＣＩ及びＣ２を第１電荷蓄
積電極２１の下にあるポテンシャル・ウェルから押出す
。

それからクロック線φ２５上のクロック・パルスは時点
ｔ４において低くなり、電荷パケットＣ８を電荷転送電
極２５の下にあるポテンシャル・ウェルから押出す。時
点ｔ５において、クロック線φ２１上の電圧は再び高く
なり、以て電荷バケツ）Ｃ２を歯２１ｂの下に拡げる。

クロック線φ２１．φ２３．φ２６及びφ２７上の信号
を高く保ちクロック線φ２１．φ２５及びφ２８上の信
号を低く保つことにより、クロック線φ２２上のクロッ
ク信号は低められ（時点ｔ６）、第２電荷蓄積電極２２
の下にあるポテンシャル・ウェルから並列パケット０１
及びＣ２が共に押出される。

゛クロック線φ２５及びφ２Ｂの低い電圧の信号がそれ
ぞれ電荷パケットＣ１及びＣ２の移動の障壁になってい
るので、電荷パケットＣ２は押出されて歯２１ｂと電荷
転送電極２６の下にあるポテンシャル・ウェルの中に入
り、一方電荷パケットＣ０は押出されて歯２３ｂと電荷
転送電極２７の下にあるポテンシャル・ウェルの中に入
る。時点ｔ７においてはクロック線φ２６及びφ２□上
の信号が低くなり、電荷パケット自及びＣ２をそれぞれ
歯２３ｂ及び２１ｂの下にあるポテンシャル・ウェルへ
と押出す。

それから、電荷バケツ）Ｃ，（及び電荷パケットＣ１と
同時に移動した第１情報列を構成する残りの電荷パケッ
トも同様に）は、クロック線φ、２及びφＰ上の高電圧
クロック信号と引続きクロック線φ２３上の電圧を低く
しさらにクロック線φＴ２上の電圧を低くすることによ
り、直列出力レジスタＢへと移動させることができ、よ
って電荷パケットを直列出力レジスタＢの電荷蓄積電極
４“ａの下にあるポテンシャル・ウェルへと押出す。

情報の第１補助列はそれから出力接続すなわちダイオー
ド１０を経由して、クロック信号φ１ないしφイ′と同
様の動作をするブツシュ・クロック信号φＰないしφ４
の制御の下に出力する。

第１補助列の出力と共に、関連の第２補助列もインター
レース復元出力段２０を通り出力転送ゲートＴ２経出で
直列出力レジスタＢへ転送される。かくして時点ｔ８に
おいては電荷バケツ）Ｃ２は歯２１ｂの下のポテンシャ
ル・ウェルに入っている。時点ｔ９においては、タロツ
ク線φ２２．φ２６及びφ２８上のクロック信号は高め
られ、よって電荷ノ（ケ・ソトＣ２は電荷蓄積電極２２
及び電荷転送電極２８の下に展開するポテンシャル・ウ
ェルの中へと拡げられる。

時点ｔ１□までにクロック線φ２３上の信号は高くなっ
ており、電荷パケットＣ２は第３電荷蓄積電極２３の下
のポテンシャル・ウェルの中へと拡げられうるようにな
る。時点ｔ１３までにクロック線φ２２上の信号が低く
なり時点１４までにクロック線φ２８上の信号が低くな
り、よって電荷バケツ）Ｃ２を完全に第３電荷蓄積電極
２３の下のポテンシャル・ウェルの中へと押出す。

情報の第２補助列のすべての電荷パケットは同時にイン
ターレース復元出力段２０を通って移動するので、その
後第２補助列は第３電荷蓄積電極の下にあるポテンシャ
ル・ウェルの中にあり、上述の第１補助列に対すると同
じやり方で直列出力レジスタの電荷蓄積電極４″ａの下
にあるポテンシャル・ウェルへ転送することができ、や
はり第１補助列と同じやり方でタロツク線φＶないしφ
？上のクロック信号の制御下に出力接続１０へ出力させ
ることができる。

第７ａ図及び第７ｂ図に関連して上述のやり方において
、クロック線φ２６及びφ２□上のクロック信号は同期
してふり、従って電荷転送電極２６及び２７は１つのク
ロック信号に接続されていてよい。

第７ａ図及び第７ｂ図を参照して論じた配置では、まっ
先に出力される情報補助列は、インターレース復元出力
段２０に入ることによりスパイン２１ａの介在部分の下
のポテンシャル・ウェルの中にあるようになっている。

このことは、直列入力レジスタＡに対する計時方式を変
えて第１及び第２補助列が直列入力レジスタＡに人力さ
れたときそれぞれ電荷蓄積電極３″ａ及び３“ａの下に
あるポテンシャル・ウェル中に存在するか、あるいはそ
の代りに装置の構造を変えて歯２１ｂ及び２２Ｃがチャ
ネル１１ａの上にあり歯２２ｂ及び２３ｂがチャネルｌ
ｌｂの上にあるようにするか、いずれかにより達成され
る。第８ａ図及び第８ｂ図は以上のような場合に用いる
に適したインターレース復元を実現する代案を説明する
ものであり、第７ａ図及び第７ｂ図で説明した計時方式
はその場合用に改変することはもち論可能で、それはク
ロック線φ２５及びφ２６に適用するクロック信号とク
ロック線φ２７及びφ２８に適用するクロック信号とを
入れ換えて第７ｂ図に示すクロック線φ２Ｓ＋　　φ２
６．φ２７及びφ２８に対するクロック信号をそれぞれ
電荷転送電極φ２６．φ２５．φ２８及びφ２７に適用
し、図示のようにはしないのである。

第８ａ図及び第８ｂ図に示すように、時点ｔ８において
は電荷パケッ１−Ｃ６及びＣ３はスパイン２１ａの介在
部分及び隣りの歯２１ｂの１つの下にあるポテンシャル
・ウェルにそれぞれ存在する。この段階ではクロック線
φ２３ないしφ２８上のクロック信号は低く、一方クロ
ック線φ２．及びφ２２上のクロック信号は高い。

時点ｔ、において、クロック線φ２５及びφ２６上の信
号は高くなっており、以て電荷パケットＣ３及びＣ６を
第２電荷蓄積電極の下に拡げさせうる。第８ａ図中に点
線で示したように、クロック線φ２７及びφ２８上のク
ロック信号はクロック線φ２６及びφ２５上のそれらと
それぞれ同期していて、以て電荷転送電極２５及び２８
を共通りロック線に接続することを可能ならしめ、同様
に電荷転送電極２６及び２７を共通りロック線に接続す
ることを可能ならしめられる。第８ｂ図は、もしクロッ
ク線φ２６及びφ２□上の信号とクロック線φ２５及び
φ２．上の信号が同じであるならば、電荷パケットＣ４
及びＣ３は電荷転送電極２７及び２８の下にそれぞれ展
開するように更に拡げられることを、点線によって示し
ている。

時点ｔ。において、クロック線φ２゜上の信号は既に低
くなっており、第１電荷蓄積電極２１の上から電荷パケ
ット［３及びＣ４を押出し、一方時点ｔｄにおいてはク
ロック線φ２５及びφ２６（もし上述のような接続がさ
れているなら、並びにφ２７及びφ２８も）の上の信号
は低くなっており、第８ｂ図に示すように、電荷バケツ
）Ｃ３及びＣ４は第２電荷蓄積電極２２の下に存在する
。

時点ｔ８までに、クロック線φ２．及びφ２３上の信号
は高くなっており、引続き時点１．までにクロック線φ
２５及びφ２８上の信号は高くなっており、以て電荷パ
ケット［３をスパイン２３ａの下に拡げしめ、電荷バケ
ツ）Ｃ４をスパイン２１ａの下に拡げしめている。

次に、時点ｔ、における状態の示す処により、クロック
線φ２２土の信号は低くなり第２電荷蓄積電極２２の下
から電荷パケットを押出す。時点ｔｈまでに、クロック
線φ２８及びφ２５上の信号もやはり低くなり、電荷パ
ケットＣ３及びＣ４はスパイン２３ａ　及び２１ａの下
のポテンシャル・ウェルへとそれぞれ押出される。クロ
ック線φ２２上のクロック信号はそれから高電位の状態
に戻る。

情報の第１補助列（これは電荷パケットＣ３を含んでい
る）は、それから上述のように、まずクロック線φＴ２
上の高いクロック信号を用い、電荷パケットを電荷蓄積
電極４″ａの下にあるポテンシャル・ウェルへ転送し、
電荷パケットをクロック信号φ１ないしφ４の制御下に
出力接続１０へ運ぶという順序で出力することができる
。

第１補助列が出力されたあと、第２補助列がインターレ
ース復元出力段２０を通って転送される。

かくして、時点ｔ、においては、クロック線φ２．及び
φ２２上のクロック信号は高くクロック線φ２３ないし
φ２８上の信号は低い、そして電荷パケットＣ４はスパ
イン２１ａの下のポテンシャル・ウェルにある。時点ｔ
、までにクロック線φ２６及びφ２５（もしクロック線
φ２６及びφ２．にそれぞれ接続さているならば、φ２
７及びφ２８も）の上の信号は高くなり、以て電荷パケ
ットＣ４を拡げて第２電荷蓄積電極２２の下に（加えて
、もしφ２５とφ２８が接続しているならば点線で示し
たように電荷転送電極２８の下にも）展開せしめる。時
点ｔ５においてクロック線φ２、上の信号は低くなって
おり、電荷パケットを第１電荷蓄積電極２１の下のポテ
ンシャル・ウェルから押出し、時点ｔ、までにクロック
線φ２５及びφ２６上の信号は低くなっており、よって
電荷パケットＣ４は第２電荷蓄積電極２２の下に存在す
る。

時点ｔ。（第８ｂ図には示されていない）までにクロッ
ク線φ２．及びφ２３上の信号は高くなっており、時点
ｔ。までにクロック線φ２６（もしクロック線φ２７に
つながれていれば）及びφ２７上の信号は高くなってお
り、よって電荷パケットＣ４は拡がって第３電荷蓄積電
極２３の下に展開される。時点ｔ。において、クロック
線φ２２上のクロック信号は低くなり、時点ｔｐにおい
てクロック線φ２７（及びもしφ２７につながれていれ
ばφ２６も〉上のクロック信号は低くなり、電荷パケッ
トＣ４を第２電荷蓄積電極２２の下から押出す。時点ｔ
ｑ　（第８ｂ図には示されていない）までにφ２□上の
クロック信号は再び高くなり、電荷パケットＣ４は第３
電荷蓄積電極２３の下に蓄積され（第２補助列のその他
の電荷パケットと同様に）、上述のようにまずクロック
線φ７２上の信号の制御下に電荷蓄積電極４“ａの下の
ポテンシャル・ウェルへと出力され、それからクロック
線φヤないしφ、上のクロック信号の制御下に出力接続
１０へ出力される。

第９ａ図及び第９ｈ図は第８ａ図及び第８ｂ図に示した
計時方式の１変形を説明するものであって、弦では時点
ｔａにおいて電荷バケツ）Ｃ’、及びＣ？３はスパイン
２１ａの介在部分及び隣りの歯２１ｂのうちの１つの下
にあるポテンシャル・ウェルにそれぞれ入っている。

第８ａ図と第９ａ図および第８ｂ図と第９ｂ図を対比す
れば理解されるように、第９ａ図及び第９ｂ図に示す計
時方式は第８ａ図及び第８ｂ図のそれと極めて類似であ
る、従って苑では相違点のみを強調する。

かように時点ｔｄまでは第９ａ図及び第９ｂ図に示す計
時方式は第８ａ図及び第８ｂ図に示す計時方式と同じや
り方であって、電荷バケツ）Ｃ’４及びＣ“３は共に第
２電荷蓄積電極の下にあるポテンシャル・ウェルの中に
ある。

しかるに時点ｔＹｅにおいては、クロック線φ２□。

φ２５．φ２３及びφ２８上のクロック信号は高くなっ
ており、一方クロック線φ２６及びφ２７上のクロック
信号は低いままであって、従って電荷パケットＣ１４は
拡がってスパイン２１ａの介在部分の下に展開し、電荷
バケツ）Ｃ“３は拡がってスパイン２３ａの介在部分の
下に展開している（第８ａ図における時点ｔｒの状態）
。

時点ｔ１ｆまでにクロック線φ２２上のクロ・ンク信号
は低くなっており、よって電荷パケ・ントロ７３及びＣ
”４を第５電荷転送電極２８及びスパイン２３ａの介在
部分の下にあるポテンシャル・ウェルと電荷転送電極２
５及びスパイン２１ａの介在部分の下にあるポテンシャ
ル・ウェルとへそれぞれ押出す。引続き時点ｔ“、まで
にクロック線φ２８及びφ２５上のクロック信号は低く
なっており、従って電荷ノ々ケッ）Ｃ’３及びＣ１０は
スパイン２３ａ及び２１ａの下のポテンシャル・ウェル
へとそれぞれ押出される（第８ｂ図における時点Ｌｌ＋
の状態）。クロック線φ２２上のクロック信号はそれか
ら高電位の状態に戻る。

情報の第１補助列はそれから上述のように出力されるこ
とができ、引続き第２補助列が出力されることができる
。第８ａ図と第９ａ図および第８ｂ図と第９ｂ図の対比
から分るように、時点ｔ１から時点ｔ１までは第９ａ図
及び第９ｂ図に示す改変計時方式で用いられる計時信号
は第８ａ図及び第８ｂ図に示すものと全く同じである。

しかるに時点ｔ″。までにクロック線φ２１．φ２３゜
φ２６（これはもしクロック線φ２７につながれていれ
ば）及びφ２７上の信号は高くなっており、従って電荷
パケットＣ４は拡がって第３電荷蓄積電極２３の下に展
開している（第８ａ図及び第８ｂ図における時点ｔ。の
状態）。時点ｔ１．（第８ａ図及び第８ｂ図における時
点ｔ。の状態）においてはクロック線φ２２上のクロッ
ク信号は低くなっており、時点ｔ“。においてはクロッ
ク線φ２７（もしφ２６がφ２７につながれていれば、
及びφ２６）上のクロック信号は低くなっており、よっ
て電荷パケットＣ７を第２電荷蓄積電極２２の下から押
出す（第８ａ図及び第８ｂ図における時点ｔ、の状態）
。クロック線φ２２上のクロック信号は時点ｔ“、（第
８ａ図及び第８ｂ図における時点ｔ９の状態）において
は再び高くなっており、電荷パケットＣ４は第３電荷蓄
積電極２３の下に蓄積され（第２補助列のその他の電荷
パケットと同様に）、上述のようにまずクロック線φ１
□上の信号の制御下に電荷蓄積電極４　Ｔ　ａの下のポ
テンシャル・ウェルへと出力され、さらにクロック線φ
、ないしφ４上のクロック信号の制御下に出力接続１０
へ出力されることができる。

第７ａ図及び第７ｂ図の計時方式の場合に関しては、第
８ａ図及び第８ｂ図の計時方式並びに第９ａ図及び第９
ｂ図の改変方式において、クロック線φ２．及びφ２６
に適用するクロック信号とクロック線φ２８及びφ２７
に適用するクロック信号とを逆にして、第９ｂ図でクロ
ック線φ２５．φ２６．φ２７及びφ２８に対するクロ
ック信号はその代りに電荷転送電極２６．２５゜２８及
び２７へそれぞれ適用して、従って電荷バケツ）Ｃ４が
まず出力されることができる。

第８ａ図から第９ｂ図までの考察により理解されるよう
に、第９ａ図及び第９ｂ図に示す計時方式では第８ａ図
及び第８ｂ図に示すそれよりも少い計時信号の変更しか
必要としない、その上、それが可能なときには、クロッ
ク線上の信号は同時に変更する（例えば時点ｔ１８にお
ける状態を作り出すクロック信号の変更を見よ）。この
ことは計時方式の複雑さを減少せしめ、更にクロック線
上の頻繁な電圧変更により生ずる好ましからざるキャパ
シタンス及びアバランシュ効果を減少せしめるのに役立
つ。

上述の配置に於ては、第２補助列の電荷パケットは、第
１補助列の出力直列レジスタＢからの出力中、第１電荷
蓄積電極２１の下に留っているが、これらの電荷パケッ
トは適当なりロック信号の制御下に移動して少くとも第
２電荷蓄積電極２２の下に存在して、次の電荷転送電極
２８及び第３電荷蓄積電極２３と共に直列出力レジスタ
Ｂとの漏話に対する十分なる障壁を供することができる
。第２補助列は、移動して第３電荷蓄積電極２３の下に
いることさえもできる、もしもバッファー配置がインタ
ーレース復元出力段２０と出力転送ゲートとの間に設け
られているときは特に然りであって、このことについて
は、例えば英国特許第２１１０８７４号に記載されてい
る。

更に第７ａ図から第９ｂ図までを参照した上述の配置に
於ては、クロック線φ２４」−のクロック信号は低いま
まに維持しているので、インターレース復元される列の
第２補助列が出力接続１０へ出力されてしまう以前には
、インターレース復元出力段２０に入る後続のインター
レースされた情報列に対して障壁になっているけれども
、先行列の情報の第２補助列が未だ第７ａ図及び第７ｂ
図中の時点ｔ１３又はｔ１４（あるいは時点ｔＢでさえ
も）において示される状態、あるいは第８ａ図及び第８
ｂ図中の時点ｔｏ（あるいは電荷蓄積電極２１に加わる
電圧が高いならば時点ｔ□でさえも）において示される
状態にあるときは、後続のインターレースされた情報列
を人力させ第１電荷蓄積電極２１の下のポテンシャル・
ウェルにおくのを許すことも可能である。供しながら通
常は、インターレース複合出力段の計時速度は、インタ
ーレースされた情報列の次のインターレースされた列が
電荷蓄積電極Ｎａの下に現れる時までに先行列の第２補
助列が出力接続１０へ出力されてしまうように調整され
ているであろう。

もし情報が入力されたのと同じ順序で出力されることが
望ましくないならば、第２補助列が第１補助列より前に
出力されることも可能であるのはいうまでもない。同様
に各歯は２つ又はそれ以上の隣接するチャネル上に展開
されることもあり、複合歯であって各チャネルが自分自
身の制御電荷転送電極と連係することもできる。

上述の配置は４相計時方式であるが、別の計時システム
を用いることもできる。更に上述の配置はブツシュ・ク
ロック計時システムを用いているが、本発明の実施例と
しての電荷結合装置はドロップ・クロック計時システム
と電荷転送電極の下の注入された耐障壁とにより動作さ
せて電荷蓄積及び電荷転送電極の下にあるポテンシャル
の非対称をもたらすこともできる。

上述の配置においては、表面チャネル電荷結合装置構造
が使われているが、埋込みチャネル形電荷結合装置構造
も用いることができる。また、上述の配置は直曲直列メ
モリに関するものだが、本発明は類似の装置、例えば映
像センサ等にも用いうる。更に本発明は半導体基体がｎ
伝導形のものにも適用できる、但しこのときはクロック
信号の−６３〜 電圧を適当に変更することが必要となろう。同様に本発
明は、半導体基体がシリコン以外の半導体素材で形成さ
れる場合にも、半導体基体の異なる特性への適切な配慮
があれば、電荷蓄積及び電荷転送電極が導電素材で形成
されるとかドーピングされた多結晶シリコン以外の異な
る導電素材の層の複合で形成されるとかの場合にも応用
できる。

本発明はその他多くの変形が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例の直曲直列（ＳＰＳ）メモリ
装置の一部分の概略配置図、 第２図は、第１図に示した電荷結合メモリ装置の一部の
更に詳細な、かつ一部を切り開いた平面図、 第３図は、第２図に示す装置を、第２図中のＩＩＩ−Ｉ
線で切った断面図、 第４図は、同じ＜　ＩＶ−１’Ｖ線で切った断面図、第
５図は、同じ＜Ｖ−Ｖ線で切った断面図、第６図は、同
じ＜　ＶＩ−ＶＩ線で切った断面図、第７ａ図は、第２
図に掲げた電荷結合装置の並列セクションのインターレ
ース復元出力段の操作を制御するクロック信号の一例を
示すタイミング・ダイアグラム、 第７ｂ図は、第７ａ図に示す出力段の一部の概略を表わ
し、クロック信号の制御下での電荷パケットの動きを説
明する図、 第８ａ図は、第２図に掲げた電荷結合装置の並列セクシ
ョンのインターレース復元出力段の操作を制御するクロ
ック信号の別の一例を示すタイミング・ダイアグラム、 第８ｈ図は、第８ａ図に示゛す出力段の一部の概略を表
わし、クロック信号の制御下での電荷パケットの動きを
説明する図、 第９ａ図は、第８ａ図のインターレース復元出力段制御
用クロック信号の一変形を示すタイミング・ダイアグラ
ム、 第９ｂ図は、第９ａ図に示す出力段の一部の概略を表わ
し、クロック信号の一変形下での電荷パケットの動きを
説明する図である。 １．４．１１・・・チャネル ３ａ、、　３　’　ａ、　、　３　”ａ・・・電荷蓄積
電極３ｂ、　３’ｂ、　　３”ｂ・・・電荷転送電極９
・・・入力節点 １０・・・出力接続 ２０・・・インターレース復元出力段 ２１・・・第１電荷蓄積電極 ２１ａ・・・スパイン（稜線） ２１ｂ、　２２ｃ・＝・歯 ３０・・・半導体基体 Ａ・・・直列入力レジスタ Ｂ・・・直列出力レジスタ Ｃ・・・並列レジスタ Ｔ１・・・入力転送ゲート Ｔ２・・・出力転送ゲート Ｌｎ　　　　　　　　　　　αフ （）　　　　　　　　　　　Ｃフ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、一連の並列電荷伝導チャネルを明確に定める半導体
   基体と、該チャネルを横切って展開し、その各電荷蓄積
   電極がチャネルと共にそれぞれ電荷蓄積部分の列を明確
   に定めてなる複数の電荷蓄積電極と、チャネルを横切っ
   て展開し、電荷蓄積部分の列の間を電荷パケットが転送
   されるための複数の電荷転送電極とを有する電荷結合装
   置であって、 −チャネルの補助群の１つの上に位置する 第１歯列をもつ第１電荷蓄積電極と、 −第２歯列と第３歯列とをもち、該第２歯 列はチャネルのもう１つの補助群の上に位置する如く第
   １歯列と噛合してなる第２電荷蓄積電極と、 −第３歯列と噛合する第４歯列をもつ第３ 電荷蓄積電極とを含み、 −第３歯列と第４歯列の一方は上述のチャ ネルの補助群の１つの上に位置し、第３歯列と第４歯列
   のもう一方は上述のチャネルのもう１つの補助群の上に
   位置しており、さらに−電荷パケットを、チャネルと第
   １電荷蓄 積電極とにより明確に定められる電荷蓄積部分へ転送す
   るための第１電荷転送電極と、 −電荷パケットを、第１電荷蓄積電極の下 にある電荷蓄積部分と第２歯列の下にある電荷蓄積部分
   との間を転送せしめるための第２電荷転送電極と、 −電荷パケットを、第１歯列の下にある電 荷蓄積部分と第２電荷蓄積電極の下にある電荷蓄積部分
   との間を転送せしめるための第３電荷転送電極と、 −電荷パケットを、第２電荷蓄積電極の下 にある電荷蓄積部分と第４歯列の下にある電荷蓄積部分
   との間を転送せしめるための第４電荷転送電極と、 −電荷パケットを、第３歯列の下にある電 荷蓄積部分と第３電荷蓄積電極の下にある電荷蓄積部分
   との間を転送せしめるための第５電荷転送電極とを含む ことを特徴とする電荷結合装置。 ２、第３歯列は第２歯列から派生し、第３列の歯は上述
   のチャネルの補助群の１つの上に位置せしめ、第４列の
   歯は上述のチャネルのもう１つの補助群の上に位置せし
   めたことを特徴とする請求項１に記載の電荷結合装置。 ３、各歯はただ１つのチャネルの上に位置することを特
   徴とする請求項１または２に記載の電荷結合装置。 ４、上述のチャネルの補助群の１つはチャネルを１つお
   きに選んで形成され、上述のチャネルのもう１つの補助
   群は残りのチャネルで形成されることを特徴とする請求
   項１、２または３のいずれか１つに記載の電荷結合装置
   。 ５、チャネルとそのチャネルの上を横切って展開する電
   荷蓄積及び転送電極とにより明確に定められる１つの並
   列レジスタと、更に他の１チャネルと更に他の電荷蓄積
   及び転送電極とを有する１つの直列出力レジスタとを含
   み、該直列出力レジスタの電荷蓄積及び転送電極の各々
   は該並列レジスタの１つのチャネルと連係し、かつ第１
   、第２及び第３電荷蓄積電極と連係電荷転送電極とが該
   並列レジスタの出力段すなわち電荷パケットを第３電荷
   蓄積電極の下にある電荷蓄積部分から該直列出力レジス
   タへ転送するための出力転送ゲートを形成してなること
   を特徴とする請求項１、２、３または４のいずれか１つ
   に記載の電荷結合装置。 ６、１チャネルと連係電荷蓄積及び転送電極とをもつ直
   列入力レジスタを含み、該直列入力レジスタの電荷蓄積
   レジスタの各々は上記並列レジスタの１チャネルと連係
   しており、さらに電荷パケットを該直列入力レジスタか
   ら該並列レジスタへ転送するための入力転送ゲートを含
   むことを特徴とする請求項５に記載の電荷結合装置。 ７、上記直列出力レジスタもしくは直列入力及び出力レ
   ジスタの各々は４相レジスタでなることを特徴とする請
   求項５または６に記載の電荷結合装置。 ８、１列の電荷パケットを、第１電荷蓄積電極により明
   確に定められる電荷蓄積部分の列に於て形成されるポテ
   ンシャル・ウェル中に蓄積し、 以て該電荷パケット列を第２電荷蓄積電極 により明確に定められる電荷蓄積部分に於るポテンシャ
   ル・ウェルへ転送せしめ、かつ第２電荷蓄積電極の下に
   あるポテンシャル・ウェル中に蓄積された電荷パケット
   を移動せしめ、 一方において、電荷転送阻止信号を第３及 び第２電荷転送電極のどちらかと第４及び第５電荷転送
   電極のどちらかとへ適用し、その結果電荷転送阻止信号
   が第３及び第４電荷転送電極に適用されるか又は第２及
   び第５電荷転送電極に適用されるのかいずれかならしめ
   、これによって上述のチャネルの補助群の１ つにより明確に定められる電荷蓄積部分に蓄積された電
   荷パケットを、第２電荷蓄積電極の下にあるポテンシャ
   ル・ウェルから第１及び第３電荷蓄積電極のどちらか一
   方の下にあるポテンシャル・ウェルへ移動せしめ、 他方において、上述のチャネルのもう１つ の補助群により明確に定められる電荷蓄積部分に蓄積さ
   れた電荷パケットを、第２電荷蓄積電極から第１及び第
   ３電荷蓄積電極の前記と反対の方の下にあるポテンシャ
   ル・ウェルへ移動せしめ、 以上によって該電荷パケット列を第１補助 列と第２補助列とに分割せしめる ことを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１つに記
   載の電荷結合装置構造を操作する方法。 ９、電荷転送可能化信号を第２及び第３電荷転送電極へ
   適用することにより上述の電荷パケット列を第２電荷蓄
   積電極の下にあるポテンシャル・ウェルへ転送せしめ、
   その次に第２電荷蓄積電極へ適用される電荷蓄積可能化
   信号と共に第１電荷蓄積電極へ電荷蓄積阻止信号を適用
   せしめ、それにより電荷パケットを、第１電荷蓄積電極
   により明確に定められる電荷蓄積部分から押し出すこと
   により、上述の電荷パケット列を第２電荷蓄積電極の下
   にあるポテンシャル・ウェルへ転送せしめることを特徴
   とする請求項８に記載の方法。 １０、上述の電荷パケット列を第２電荷蓄積電極の下に
   あるポテンシャル・ウェルへ転送せしめる順序は、電荷
   蓄積阻止信号を第１電荷蓄積電極へ適用した後に電荷転
   送阻止信号を第２及び第３電荷転送電極へ適用し、それ
   により該電荷パケット列は第２電荷蓄積電極のみの下に
   あるポテンシャル・ウェルへと押出される如くせしめる
   ことを特徴とする請求項９に記載の方法。 １１、同じ制御信号を第２及び第５電荷転送電極へ適用
   することと、同じ制御信号を第３及び第４電荷転送電極
   へ適用することとの双方またはいずれか一方を含むこと
   を特徴とする請求項９または１０に記載の方法。 １２、上述の電荷パケット列を第２電荷蓄積電極の下に
   あるポテンシャル・ウェルへ転送せしめる順序は、電荷
   蓄積阻止信号を第１電荷蓄積電極へ適用する前に電荷転
   送可能化信号を第４及び第５電荷転送電極のうち以前と
   反対の方へ適用し、かつ電荷蓄積可能化信号を第３電荷
   蓄積電極へ適用することを含むことを特徴とする請求項
   ９記載の方法。 １３、同じ制御信号を第３及び第２電荷転送電極のうち
   以前と反対の方へ適用し、並びに第４及び第５電荷転送
   電極のうち以前と反対の方へ適用することを特徴とする
   請求項１２に記載の方法。 １４、電荷転送阻止信号を上述の第３及び第２電荷転送
   電極のうちいずれか一方へ、また上述の第４及び第５電
   荷転送電極のうちいずれか一方へ適用し、他方、電荷転
   送可能化信号を第３及び第２電荷転送電極のうち以前と
   反対の方へ、また第４及び第５電荷転送電極のうち以前
   と反対の方へ、そして電荷蓄積可能化信号を第１及び第
   ３電荷蓄積電極へそれぞれ適用し、並びに電荷蓄積阻止
   信号を第２電荷蓄積電極へ適用し、以て第１及び第２補
   助列の電荷パケットを、第２電荷蓄積電極により明確に
   定められる電荷部分から反対方向へ押出することによっ
   て、第２電荷蓄積電極により明確に定められる電荷蓄積
   部分に蓄積されている電荷パケットを移動せしめること
   を特徴とする請求項８ないし１３のうちいずれか１つに
   記載の方法。 １５、電荷転送阻止信号を上述の第３及び第２電荷転送
   電極のうちいずれか一方と上述の第４及び第５電荷転送
   電極のうちいずれか一方とへ適用している間に、電荷蓄
   積可能化信号を第１及び第３電荷蓄積電極へ適用すると
   同時に、電荷転送可能化信号を第３及び第２電荷転送電
   極のうち以前と反対の方へ、並びに第４及び第５電荷転
   送電極のうち以前と反対の方へそれぞれ適用し、然る後
   に電荷蓄積阻止信号を第２電荷蓄積電極へ適用し、以て
   第１及び第２補助列の電荷パケットを第２電荷蓄積電極
   により明確に定められる電荷蓄積部分から反対方向へ押
   出すことによって、第２電荷蓄積電極により明確に定め
   られる電荷蓄積部分に蓄積されている電荷パケットを移
   動せしめることを特徴とする請求項８ないし１１のうち
   のいずれか１つに記載の方法。 １６、電荷蓄積阻止信号を第２電荷蓄積電極へ適用した
   後に、電荷転送阻止信号を、上述の第３及び第２電荷転
   送電極のうち以前と反対の方と上述の第４及び第５電荷
   転送電極のうち以前と反対の方とへ適用することを含み
   、以て第１及び第２補助列の電荷パケットを更に上述の
   反対方向へ押出し、その結果第１及び第２補助列のうち
   の一方の電荷パケットが第１電荷蓄積電極のみの下にあ
   るポテンシャル・ウェルへと押出され、第１及び第２補
   助列のうちの他方の電荷パケットが第３電荷蓄積電極の
   みの下にあるポテンシャル・ウェルへと押出される如く
   ならしめることを特徴とする請求項１４または１５に記
   載の方法。 １７、電荷パケット列を第１及び第２補助列に分割した
   後に、該補助列の一方の第３電荷蓄積電極の下にあるポ
   テンシャル・ウェルに蓄積された電荷パケットを出力せ
   しめ、然る後に引続き第１電荷蓄積電極の下にあるポテ
   ンシャル・ウェルに蓄積されたもう一方の該補助列の電
   荷パケットを第３電荷蓄積電極の下にあるポテンシャル
   ・ウェルへ移動せしめ、然る後に該もう一方の補助列の
   電荷パケットを出力せしめることをも更に含むことを特
   徴とする請求項８ないし１６のうちのいずれか１つに記
   載の方法。 １８、前記もう一方の補助列の電荷パケットを、第２電
   荷蓄積電極へ適用する電荷蓄積可能化信号と共に電荷転
   送可能化信号を第３及び第２電荷転送電極のうち以前と
   反対の方へ適用することにより、第１電荷蓄積電極の下
   にあるポテンシャル・ウェルから出力のため第３電荷蓄
   積電極の下にあるポテンシャル・ウェルへ転送せしめ、
   然る後に電荷蓄積阻止信号を第１電荷蓄積電極と並びに
   引続き該第３及び第２電荷転送電極のうち以前と反対の
   方とへ適用し、以て前記もう一方の補助列の電荷パケッ
   トを第２電荷蓄積電極の下にあるポテンシャル・ウェル
   へと押出さしめ、電荷転送可能化信号を第４及び第５電
   荷転送電極のうち以前と反対の方へ、また電荷蓄積可能
   化信号を第３電荷蓄積電極へ適用せしめ、更に引続き電
   荷蓄積阻止信号を第２電荷蓄積電極へ、然る後に電荷転
   送阻止信号を該第４及び第５電荷転送電極のうち以前と
   反対の方へそれぞれ適用し、以て該もう一方の補助列の
   電荷パケットを第３電荷蓄積電極のみの下にあるポテン
   シャル・ウェルへと押出さしめることを含むことを特徴
   とする請求項１７に記載の方法。