JPH0943251A - Dispenser - Google Patents
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- JPH0943251A JPH0943251A JP19875095A JP19875095A JPH0943251A JP H0943251 A JPH0943251 A JP H0943251A JP 19875095 A JP19875095 A JP 19875095A JP 19875095 A JP19875095 A JP 19875095A JP H0943251 A JPH0943251 A JP H0943251A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、試薬や試料等の液体を
所定量ごとに分注する分注器に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dispenser for dispensing a liquid such as a reagent or a sample in a predetermined amount.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年の臨床検査機器の発達はめざまし
く、自動化、多項目化が進んでいる。これらの装置は、
測定項目に対応した試薬や試料を分注器で測定セルに精
密に分注し、一定時間反応させた後に、比色測定を行う
ものである。また、用途に合わせて、試料の特性を検知
するセンサー等も搭載できるようになっている。このよ
うな自動分析装置は多数の分注器および測光部を有して
おり、大型であるが大量処理、多項目、緊急処理など多
くの機能を有している。2. Description of the Related Art In recent years, clinical testing equipment has been remarkably developed, and automation and multi-itemization are progressing. These devices are
A reagent or sample corresponding to a measurement item is precisely dispensed into a measurement cell by a dispenser, and a reaction is performed for a predetermined time, and then colorimetric measurement is performed. Moreover, a sensor or the like for detecting the characteristics of the sample can be mounted according to the application. Such an automatic analyzer has a large number of dispensers and a photometric unit, and is large in size, but has many functions such as mass processing, multi-item processing, and emergency processing.
【0003】一方、要素技術としてマイクロマシン技術
が発達しており、半導体のリソグラフィ技術を利用して
シリコンのマイクロ加工や、また最近ではシリコン以外
の種々の材料を用いて加工も行えるようになっている。On the other hand, micromachine technology has been developed as an elemental technology, and it has become possible to perform micromachining of silicon by utilizing the lithography technology of semiconductors and, recently, processing using various materials other than silicon. .
【0004】この様な技術の応用例として本発明者はシ
リコンで形成した液体流路にセンサーを組み込んだ「セ
ンサー構造体及びその製造法」を特開平3−12255
8で提案している。更に複雑な加工を行ったものとし
て、東北大の江刺氏等は特開平1−213523、並び
に特開平6−95745でマイクロバルブを、また特開
平1−266376でマイクロポンプをそれぞれ開示し
ている。また、気体用のバルブはすでに商品化もされて
おり、フルィスター(Fluistor)の商品名で米国のレッ
ドウッドマイクロ(RedwoodMicrosystems )社より発売
されている。このバルブの大きさは5.5×6.5×2
mmであり、30ml/min.の流速を得ることが出
来る。As an application example of such a technique, the present inventor has disclosed a "sensor structure and a method of manufacturing the same" in which a sensor is incorporated in a liquid channel formed of silicon.
Proposed in 8. For further complicated processing, Esashi et al. Of Tohoku University disclose a microvalve in Japanese Patent Laid-Open Nos. 1-213523 and 6-95745, and a micropump in Japanese Patent Laid-Open No. 1-266376. In addition, a valve for gas has already been commercialized, and is sold by Redwood Microsystems of the United States under the trade name of Fluistor. The size of this valve is 5.5 x 6.5 x 2
mm, 30 ml / min. Can be obtained.
【0005】さらに、マイクロポンプと、マイクロバル
ブとを組み合わせて分析素子を構成する試みも行われて
いる(特開平1−178641、特開平4−15153
4、並びに特開平5−240872)。これらはマイク
ロポンプと、マイクロバルブと、センサーまたは測光部
とを組み合わせたもので、マイクロポンプとマイクロバ
ルブで液体をセンサーまたは測光部に移動させて測定を
行うというものである。これにより非常に小さな分析ユ
ニットが構成できる。Attempts have also been made to construct an analysis element by combining a micropump and a microvalve (JP-A-1-178641, JP-A-4-15153).
4, and JP-A-5-240872). These are a combination of a micropump, a microvalve, and a sensor or a photometric unit, and a liquid is moved to the sensor or the photometric unit by the micropump and the microvalve to perform measurement. This allows a very small analysis unit to be constructed.
【0006】また、マイクロマシン技術を応用した分注
器として図8に示すように、パイプの途中にマイクロバ
ルブ3と、マイクロポンプ2とを設け、先端のノズル4
より分注した液体を吐出する構成のものが考えられてい
る。このような構成で、必要量の液体はポンプ2を一定
時間駆動することによノズル4を介して、一定量分注す
るようになっている。尚、このバルブ3は液体切れを確
実にするためのものである。As shown in FIG. 8, as a dispenser applying the micromachine technology, a microvalve 3 and a micropump 2 are provided in the middle of a pipe, and a nozzle 4 at the tip is provided.
A configuration in which a more dispensed liquid is discharged has been considered. With such a configuration, a required amount of liquid is dispensed through the nozzle 4 by driving the pump 2 for a certain period of time. The valve 3 is for ensuring that the liquid runs out.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】従来の一般の分注器
は、シリンジ、電磁バルブ、モータなどで構成されてい
るため、数十〜数百μl(マイクロ・リットル)のわず
かな液体を扱う場合でも、装置としては取扱液体量の数
千〜1万倍の大きさになってしまうという問題がある。
また、上述したように、マイクロバルブやマイクロポン
プを組み合わせて分析ユニットを構成するという試みも
行われているが、単に液体を測定部まで移動させる程度
に留まっており、精密な測定を行うために液体を正確に
希釈、混合するための分注機構は考えられていない。ま
た、前述したFluistorの分注器では分注の精度はポンプ
の性能に大きく依存する。しかしながら、実際にはマイ
クロマシンで構成されるポンプやバルブは簡単な構造の
物が多く、大きな駆動力も望めないことから分注の精度
は液体の性質(圧力、粘性、温度等)に影響を受けやす
い。従って、本発明の目的は、上記の問題を考慮して、
小型化が可能でありながら、精度の良い分注を行うこと
のできる分注器を提供することである。Since a conventional general dispenser is composed of a syringe, an electromagnetic valve, a motor, etc., when handling a small amount of liquid of tens to hundreds of microliters (microliters). However, there is a problem that the size of the device is several thousand to 10,000 times larger than the amount of liquid handled.
Further, as described above, attempts have also been made to configure an analysis unit by combining a microvalve and a micropump, but it is only enough to move the liquid to the measurement unit, and in order to perform precise measurement. No dispensing mechanism has been considered for accurately diluting and mixing liquids. Further, in the above-mentioned Fluistor dispenser, the precision of dispensing depends largely on the performance of the pump. However, in reality, many micromachines such as pumps and valves have a simple structure, and a large driving force cannot be expected, so the dispensing accuracy is easily affected by the properties of the liquid (pressure, viscosity, temperature, etc.). . Therefore, in view of the above problems, the object of the present invention is to
An object of the present invention is to provide a dispenser which can be miniaturized and can perform accurate dispensing.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明の第1の態様に係
わる分注器は、吐出口を一端側に備え、分注される液体
が流されるパイプと、このパイプを流れる液体の圧力を
測定し、基準の圧力と比較する圧力センサと、この比較
結果に基づいて、液体の流量をフイードバック制御して
一定に保つレギュレータと、流量が一定に保たれた液体
を所定時間、吐出口に流すように開閉可能なバルブとを
具備することを特徴とする。A dispenser according to a first aspect of the present invention is provided with a discharge port at one end side thereof, and a pipe through which a liquid to be dispensed flows and a pressure of the liquid flowing through the pipe. A pressure sensor that measures and compares it with a reference pressure, a regulator that keeps the flow rate of the liquid constant by feedback control based on the comparison result, and a liquid whose flow rate is kept constant flows to the discharge port for a predetermined time. And a valve that can be opened and closed as described above.
【0009】この態様の特徴は、分注機構に液体の圧力
制御機構を組み込むことにより分注器を流れる液体の流
速を一定に保ちつつ、バルブの開閉時間を制御すること
により精密な分注を行うことである。The feature of this embodiment is that by incorporating a liquid pressure control mechanism into the dispensing mechanism, the flow velocity of the liquid flowing through the dispenser can be kept constant while controlling the opening / closing time of the valve for precise dispensing. Is to do.
【0010】すなわち、分注器に流入する液体の流量が
変動すると、同時に液体の圧力が変動する。この変動を
圧力センサで検知し、この検出結果をレギュレータにフ
ィードバックしてレギュレータを通過する液体の流量を
制御する。この2つの要素(圧力センサとレギュレー
タ)でフィードバック回路を構成することにより、流入
する液体の流量が変動しても、パイプを流れる液体の流
量を一定に保つことができる。バルブは開閉により、液
体の通過と遮断を制御する機能を有する。このフィード
バック回路とバルブとを組み合わせることにより分注器
内を通過する液体の流速を一定に保ち、その下流のバル
ブの開閉時間を精密に制御することにより精密な分注が
可能となる。That is, when the flow rate of the liquid flowing into the dispenser changes, the pressure of the liquid changes at the same time. This fluctuation is detected by the pressure sensor, and the detection result is fed back to the regulator to control the flow rate of the liquid passing through the regulator. By configuring a feedback circuit with these two elements (pressure sensor and regulator), the flow rate of the liquid flowing through the pipe can be kept constant even if the flow rate of the inflowing liquid fluctuates. The valve has a function of controlling passage and interruption of liquid by opening and closing. By combining this feedback circuit and a valve, the flow velocity of the liquid passing through the inside of the dispenser can be kept constant, and by precisely controlling the opening / closing time of the valve downstream thereof, precise dispensing becomes possible.
【0011】尚、ここで、圧力センサとしては、圧力に
より変形しやすい構造と圧電効果を有する薄膜から形成
されたものなど、種々の構造が考えられる。例えば、シ
リコンのマイクロ加工による片持ちはり構造で圧力によ
るシリコンの抵抗変化を検出するようにしたもので良
い。また、レギュレータとしては、前述したFluistorの
商品名で発売されているものもその一例で、基本的な構
造はバルブと同じであるが、液体の流出口と弁との間隔
を適度に制御することにより、液体の流量を変えること
で圧力を制御するものである。このレギュレータは圧力
センサと組み合わせて用いることにより所定の圧力に設
定することができる。そして、バルブとしては弁の開閉
により液体の流れを遮断または開放するもので、前述し
た特開平1−213523、特開平6−95745に記
載のものやFluistorなどが用いられ得る。また、このバ
ルブは、ノーマリィオープンのものでもノーマリィクロ
ーズのものでも良い。As the pressure sensor, various structures are conceivable, such as a structure that is easily deformed by pressure and a structure formed of a thin film having a piezoelectric effect. For example, a cantilever structure formed by micromachining silicon may be used to detect the resistance change of silicon due to pressure. One example of the regulator is the one sold under the Fluistor product name mentioned above. The basic structure is the same as the valve, but it is necessary to control the distance between the liquid outlet and the valve appropriately. The pressure is controlled by changing the flow rate of the liquid. This regulator can be set to a predetermined pressure by using it in combination with a pressure sensor. The valve is a valve that shuts or opens the flow of the liquid by opening and closing the valve, and the ones described in JP-A-1-213523 and JP-A-6-95745 and the Fluistor can be used. Further, this valve may be a normally open type or a normally closed type.
【0012】本発明の第2の態様に係わる分注器は、吐
出口を一端側に備え、分注される液体が流されるパイプ
と、このパイプを流れる液体の圧力を測定し、基準の圧
力と比較する圧力センサと、この比較結果に基づいて、
液体の流量をフイードバック制御して一定に保つレギュ
レータと、流量が一定に保たれた液体中に気体を導入し
て、パイプを流れる液体を気体で一定間隔に分離された
一連の液体部分とする気体導入手段と、この一連の液体
部分を吐出口に流すように開閉可能なバルブと、このバ
ルブの上流側で液体部分の通過をカウントし、所定数の
気体部分の通過に応じて前記バルブを開閉可能な制御手
段とを具備することを特徴とする。The dispenser according to the second aspect of the present invention has a discharge port at one end side, a pipe through which the liquid to be dispensed flows, and the pressure of the liquid flowing through this pipe is measured to obtain a reference pressure. Based on the pressure sensor to compare with and the result of this comparison,
A regulator that keeps the flow rate of the liquid constant by feedback control, and a gas that introduces a gas into the liquid whose flow rate is kept constant to make the liquid flowing through the pipe into a series of liquid parts separated by the gas at regular intervals. Introducing means, a valve that can be opened / closed so that this series of liquid parts can flow to the discharge port, the passage of liquid parts is counted on the upstream side of this valve, and the valves are opened / closed according to the passage of a predetermined number of gas parts. And possible control means.
【0013】第1の態様において、バルブの開閉時間を
精密に制御することにより精密な分注を可能としている
が、このバルブの開閉時間の精度はバルブの開閉の応答
速度に依存する。一般にバルブが小さくなればなるほど
応答は速くなるが、この精度をより確実にするために、
この第2の態様では一定流量で流れる液体に空気等の気
体を導入して、一連の気体で分離された液体部分を形成
し、この液体部分の通過個数を数をえることにより分注
量を計測して、バルブの開閉を行うようにすることによ
り、開閉の応答速度に依存することなく精密な分注を可
能としている。In the first aspect, precise dispensing is possible by precisely controlling the opening / closing time of the valve, but the precision of the opening / closing time of this valve depends on the response speed of opening / closing of the valve. Generally, the smaller the valve, the faster the response, but to ensure this accuracy,
In this second mode, a gas such as air is introduced into a liquid flowing at a constant flow rate to form a liquid portion separated by a series of gases, and the dispensed amount is determined by counting the number of passages of this liquid portion. By measuring and opening and closing the valve, precise dispensing is possible without depending on the response speed of opening and closing.
【0014】上記第1並びに第2の態様において、前記
パイプの他端側に接続され、パイプに流す液体を収容す
る容器を具備し、この収容された液体の液圧により前記
パイプ内に流体を流すようにすることが好ましい。In the first and second aspects, a container is provided which is connected to the other end of the pipe and stores the liquid flowing in the pipe, and the fluid is stored in the pipe by the hydraulic pressure of the stored liquid. It is preferable to make it flow.
【0015】マイクロマシン形成したポンプやバルブは
非常に小型であり、大きな駆動力は期待できない。従っ
て、例えば試薬瓶のような液体収容容器から液体を取り
出すためには補助的な輸送手段を必要とする。ここで
は、容器内の液体による液圧を液体の駆動力とする事に
より補助的な輸送手段を必要とせずに分注器を駆動する
ことを可能としている。The pumps and valves formed by micromachines are very small, and a large driving force cannot be expected. Therefore, in order to remove the liquid from the liquid container such as the reagent bottle, an auxiliary transportation means is required. Here, by using the hydraulic pressure of the liquid in the container as the driving force for the liquid, it is possible to drive the dispenser without the need for auxiliary transportation means.
【0016】本発明の第3の態様に係わる分注器は、上
端に分注される量よりも多い量の液体が供給される容器
を備え、前記上端よりも下方に位置する水平部とこの水
平部の一端から下方に折曲されこの水平部と前記上端と
の間に位置した液体溜め部と前記水平部の途中から下方
に分岐され先端に吐出口を備えた分岐部とを有するパイ
プと、前記水平部の他端と分岐部との間の水平部に設け
られ、開閉可能な第1のバルブと、前記パイプの分岐部
に設けられ、開閉可能な第2のバルブと、第1のバルブ
が開成され、第2のバルブが閉成されているときに、前
記容器を介して供給され、第1のバルブまでの水平部の
部分と液体溜め部とに溜められた所定量の液体を、第1
のバルブを閉成し、第2のバルブを開成することにより
吐出口に流すポンプとを具備することを特徴とする。A dispenser according to a third aspect of the present invention comprises a container to which a larger amount of liquid than the amount dispensed at the upper end is supplied, and a horizontal portion located below the upper end and the horizontal portion. A pipe having a liquid reservoir portion bent downward from one end of the horizontal portion and located between the horizontal portion and the upper end, and a branch portion branched downward from the middle of the horizontal portion and having a discharge port at its tip end; A first valve that is provided in a horizontal portion between the other end of the horizontal portion and the branch portion and that can be opened and closed; and a second valve that is provided in the branch portion of the pipe and that can be opened and closed; When the valve is opened and the second valve is closed, a predetermined amount of liquid stored in the horizontal portion up to the first valve and the liquid reservoir is supplied through the container. , First
And a pump that flows to the discharge port by closing the second valve and opening the second valve.
【0017】この第3の態様で使用される第1並びに第
2のバルブ、及びポンプは第1の態様で説明したものと
同じものでも良い。液体が供給される容器は、円錐形状
や四角錐形状等、下方に向かうのに従って狭くなるよう
な形状のカップで十分なのでシリコンの異方性エッチン
グまたはガラス版等にエッチングや微細な機械的加工に
よって比較的簡単に加工できる。前記パイプの液体溜め
部と水平部の一部とで容量計が構成され、この容量計に
計測された所定量の液体が吐出される。ポンプとして
は、特開平1−266376で開示されているようなも
のやバルブを複数並べてバルブを順次駆動してポンプと
したものなどが使用され得る。The first and second valves and pumps used in this third aspect may be the same as those described in the first aspect. For the container to which the liquid is supplied, it is sufficient to use a cup with a conical shape, a quadrangular pyramid shape, or the like that becomes narrower toward the bottom, so anisotropic etching of silicon or etching or fine mechanical processing on a glass plate etc. It can be processed relatively easily. A capacity meter is composed of the liquid reservoir of the pipe and a part of the horizontal part, and a predetermined amount of liquid measured by the capacity meter is discharged. As the pump, those disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 1-266376, those in which a plurality of valves are arranged and the valves are sequentially driven, and the like can be used.
【0018】この容量計においては、液体溜め部の容器
側一端と水平部の第1のバルブ側一端とが大気に連通し
ており、容器側一端に液体が滴下された場合、この一端
側の液体のレベルは水平部のレベルと同じになるように
維持される。この結果、この容量計には、常時一定量の
液体が溜められる。尚、この容量計は、パイプを所定形
状に、例えば、実施例のようにU字形状に折曲すること
により構成されるので、精密なものが容易に形成でき
る。この容量計に滞留された液体はバルブとポンプを用
いて取り出すようにすることにより、精密な分注器を構
成することができる。 上記第1ないし第3の態様の分
注器を複数用意し、これら分注器と、分注器の吐出口が
夫々接続され、共通吐出口を有する共通パイプと、この
共通吐出口と前記吐出口の接続部間の共通パイプに設け
られ、相違する分注器により共通パイプに流される異な
る液体間に気体を供給し、これら異なる液体を共通パイ
プ内で気体により分離する気体供給手段とを組み合わせ
ることにより分注器アレイが構成され得る。In this capacity meter, one end of the liquid reservoir portion on the container side and one end of the horizontal portion on the first valve side communicate with the atmosphere, and when liquid is dripped on the one end on the container side, The liquid level is maintained to be the same as the horizontal level. As a result, a fixed amount of liquid is always stored in this capacity meter. Since this capacitance meter is formed by bending the pipe into a predetermined shape, for example, into a U shape as in the embodiment, a precise one can be easily formed. A precise dispenser can be constructed by taking out the liquid accumulated in the volume meter using a valve and a pump. A plurality of dispensers according to the first to third aspects are prepared, the dispenser and a discharge port of the dispenser are connected to each other, and a common pipe having a common discharge port, the common discharge port and the discharge port are provided. A gas is supplied between different liquids which are provided in the common pipe between the outlet connection parts and flow into the common pipe by different dispensers, and the gas supply means for separating these different liquids by the gas in the common pipe is combined. A dispenser array can thereby be constructed.
【0019】一般的な分析においては多種の試薬を交互
に用いるかまたは、2種以上の試薬を混合して用いるこ
とが多い。この様なとき分注器を集積化した分注器アレ
イを用いることにより分析装置を小型化することができ
る。多種類の試薬を用いる場合、分析時に試薬を混合す
る以外の不必要なときに異種の試薬が混合しては正確な
分析をすることはできない。このために、この分注器ア
レイでは、相違する分注器により共通パイプに流される
異なる液体間に気体を供給し、これら異なる液体を共通
パイプ内で気体により分離している。この結果、不必要
なときに試薬の混合が起きず確実な分析ができる。In general analysis, various reagents are often used alternately or two or more reagents are mixed and used. In such a case, the analyzer can be downsized by using the dispenser array in which the dispensers are integrated. When using many kinds of reagents, it is impossible to perform accurate analysis by mixing different kinds of reagents at an unnecessary time other than mixing the reagents at the time of analysis. For this reason, in this dispenser array, a gas is supplied between different liquids which are made to flow into a common pipe by different dispensers, and these different liquids are separated by the gas in the common pipe. As a result, mixing of reagents does not occur when unnecessary, and reliable analysis can be performed.
【0020】本発明の分注器により構成される分注器ア
レイと、分注される液体が流され、吐出口を一端側に備
えた主パイプと、この主パイプの途中に吐出口に向かっ
て順次設けられ、開閉可能な第1並びに第2のバルブ
と、これらバルブ間に流入口並びに流出口が接続されて
迂回路を形成し、第2のバルブが閉成しているときに主
パイプから液体を迂回する迂回パイプと、この迂回パイ
プに設けられ、開閉可能な第3のバルブと、第2並びに
第3のバルブが開成されているときに迂回パイプから液
体を吐出口に流すポンプと、第2のバルブと吐出口との
間で主パイプに設けられ、第2のバルブを通った液体を
測光する測光部とを組み合すことにより、測定ユニット
を構成できる。A dispenser array constructed by the dispenser of the present invention, a main pipe through which the liquid to be dispensed flows and having a discharge port at one end, and a discharge pipe in the middle of the main pipe. First and second valves which are sequentially provided and can be opened and closed, and an inflow port and an outflow port are connected between these valves to form a detour, and the main pipe when the second valve is closed. A bypass pipe for bypassing liquid from the bypass pipe, a third valve provided in the bypass pipe and capable of opening and closing, and a pump for flowing the liquid from the bypass pipe to the discharge port when the second and third valves are opened. A measurement unit can be configured by combining a main pipe provided between the second valve and the discharge port, and a photometric unit for photometrically measuring the liquid passing through the second valve.
【0021】この測定ユニットは、2種以上の、例え
ば、試薬および試料を混合し、その後光学的な測定を行
うのに使用される。この測定ユニットにおいては、第2
のバルブを閉成し、第1のバルブを開成して、分注器ア
レイから順次種類の異なった液体を第1のバルブを介し
て迂回パイプに導入し、その後、この第1バルブを閉成
して第3のバルブを開け、ポンプを稼働させて迂回路中
を液体を循環させる。この循環により各々独立に導入さ
れた種類の異なった液体が次第に混合される。混合が終
了し一定の反応時間が経過した後、この液体は測光部に
て比色、蛍光測定が行われる。測定終了後、第1のバル
ブを閉成したまま第2のバルブを開成しポンプを稼働さ
せて被検液体を外部に排出する。この様に構成すること
により、各々分離された液体が必要に応じて混合され光
学的な測定が効率よく行えるようになる。また、測定後
の被検液体を全て排出する機構を備えているので引き続
き次の測定を行うことができる。This measuring unit is used for mixing two or more kinds, for example, a reagent and a sample, and then performing an optical measurement. In this measuring unit,
The first valve is opened, liquids of different kinds are sequentially introduced from the dispenser array into the bypass pipe through the first valve, and then the first valve is closed. Then, the third valve is opened and the pump is operated to circulate the liquid in the bypass. By this circulation, different kinds of liquids introduced independently are gradually mixed. After the completion of mixing and the lapse of a certain reaction time, the liquid is subjected to colorimetric and fluorescence measurements in the photometric section. After the measurement is completed, the second valve is opened while the first valve is closed, and the pump is operated to discharge the test liquid to the outside. With such a configuration, the separated liquids are mixed as needed, and the optical measurement can be efficiently performed. Further, since a mechanism for discharging all the test liquid after measurement is provided, the next measurement can be continuously performed.
【0022】この測定ユニットにおいて、迂回路全体の
下部に温度制御装置を配設して、混合終了後の反応時間
中に加温し、その温度を一定に保つことにより反応時間
の短縮、および良好な反応の再現性を得ることができ
る。In this measuring unit, a temperature control device is provided below the entire bypass, and heating is performed during the reaction time after the completion of mixing, and the temperature is kept constant, thereby shortening the reaction time and improving the reaction time. Reproducibility of various reactions can be obtained.
【0023】上記測定ユニットは、基本的に半導体のリ
ソグラフィ技術やマイクロ加工技術を用いて製作される
ので半導体のIC技術と同様に集積化が可能である。例
えば先の従来技術で述べたようにバルブの大きさを5.
5×6.5×2mmとし、これを4インチのシリコンウ
エハーまたは100mm四方のガラス板に形成するとす
ると約200個のバルブを乗せることが出来る。3個の
バルブで1つのポンプを構成させるとしても、第1の態
様の分注器に換算すると60個程度、第2の態様の分注
器で30個程度、第3の態様の分注器で20個程度、測
定ユニットで40個程度搭載することが出来る。さらに
液晶ディスプレイを製造するようなジャイアントマイク
ロテクノロジィを利用することにより、より大きな基板
上に形成することも可能である。Since the measuring unit is basically manufactured by using a semiconductor lithography technique or a micro processing technique, it can be integrated similarly to the semiconductor IC technique. For example, as described in the prior art, the size of the valve is set to 5.
If it is 5 × 6.5 × 2 mm and is formed on a 4-inch silicon wafer or a 100 mm square glass plate, about 200 bulbs can be mounted. Even if one pump is configured with three valves, when converted to the dispenser of the first aspect, about 60, about 30 with the dispenser of the second aspect, and the dispenser of the third aspect It is possible to mount about 20 units and about 40 measuring units. Furthermore, it is possible to form on a larger substrate by utilizing giant microtechnology for manufacturing a liquid crystal display.
【0024】従って、1枚の基板上に分注ユニットと測
定ユニットを組み合わせた分析ユニットを複数配置した
分析ユニットアレイを構成することにより大量の測定を
効率良く行うことが可能になる。Therefore, it is possible to efficiently perform a large amount of measurement by constructing an analysis unit array in which a plurality of analysis units in which a dispensing unit and a measurement unit are combined are arranged on one substrate.
【0025】本発明の分注器は、マイクロセンサアレイ
並びに光学測定ユニットと夫々組み合わせて分析ユニッ
トとし、この分析ユニットをマトリックス状に配置し
て、複数の試料の複数の測定項目を同時に測定すること
ができるような分析装置を構成することができる。The dispenser of the present invention is used as an analysis unit in combination with a microsensor array and an optical measurement unit, and the analysis units are arranged in a matrix to simultaneously measure a plurality of measurement items of a plurality of samples. It is possible to configure an analyzer capable of
【0026】4つの分析ユニットを使用する場合には、
縦方向には同じ機能の分析ユニットを並べ横方向には異
なる機能の分析ユニットを並べ、第1並びに第2の配管
ラインを1つの測定項目に対する異なった試薬の組み合
わせが縦方向の複数の分析ユニットに接続し、同様に、
第3並びに第4の配管ラインを、隣の縦方向の分析ユニ
ットに接続する。また、第1の試料注入口からの配管を
横方向の2つの上段の分注ユニットに接続し、同様に、
第2の試料注入口をその下の横方向の2つの下段の分注
ユニットに接続する。そして、横方向に並べた分析ユニ
ットに共通の廃液排出用の配管ラインを、夫々接続す
る。このような構成にすることにより、1つの試料に対
し横方向の2つの分析ユニットにより2つの測定項目が
同時に測定でき、さらにその横方向にならべた一連の分
析ユニットを縦方向に配置することにより、複数の試料
の複数の測定項目を同時に測定することができる。If four analysis units are used,
A plurality of analysis units having the same function in the vertical direction and the analysis units having different functions in the horizontal direction are arranged, and the combination of different reagents for one measurement item is arranged in the first and second piping lines in the vertical direction. Connect to
The third and fourth piping lines are connected to the adjacent vertical analysis unit. In addition, the pipe from the first sample injection port is connected to the two upper dispensing units in the horizontal direction, and similarly,
The second sample inlet is connected to the two lower lateral dispensing units below it. Then, the waste liquid discharge pipe lines common to the analysis units arranged in the lateral direction are connected to each other. With such a configuration, two measurement items can be simultaneously measured by two analysis units in the horizontal direction for one sample, and a series of analysis units arranged in the horizontal direction can be arranged in the vertical direction. , It is possible to simultaneously measure a plurality of measurement items of a plurality of samples.
【0027】上記分析装置は、1枚の基板上に複数配置
した分析ユニットアレイをさらに複数枚組み合わせるこ
とにより構成され得る。この場合、4つのカード状の分
析ユニットアレイをファイル状に収納し、各々の分析ユ
ニットアレイにはそれぞれ試薬の配管ライン、試料注入
口及び廃液体ラインを設ける。この様に分析ユニットア
レイを複数組み合わせることにより自動分析装置なみの
処理能力が得られ、また分析ユニットアレイの組み合わ
せ枚数を簡単に変えることができるので、装置の仕様に
合わせた設計も容易になる。The above-mentioned analysis apparatus can be constructed by further combining a plurality of analysis unit arrays arranged on one substrate. In this case, four card-shaped analysis unit arrays are stored in a file shape, and each analysis unit array is provided with a reagent piping line, a sample injection port, and a waste liquid line. By combining a plurality of analysis unit arrays in this way, a processing capacity similar to that of an automatic analysis device can be obtained, and the number of combined analysis unit arrays can be easily changed, so that the design according to the specifications of the device becomes easy.
【0028】[0028]
[実施例1]図1に本発明のマイクロ分注器の第1の実
施例を示す。この分注器は、下方に延び、その先端に分
注された液体を吐出するノズル4を有する細いパイプ1
4を具備する。このパイプ14の上端には、分注される
試薬や試料等の液体を収容した試薬ビン1からなる収容
容器が着脱可能に装着される。この試薬ビン1は、開口
を下側にしてパイプ14と連通させることにより、中の
液体が液体の重力によりパイプ14内に徐々に流入する
ようにしてパイプ14に接続されている。そして、この
パイプ14には、上方より下方に向かって、第1のマイ
クロバルブ5,マイクロレギュレータ6,マイクロ圧力
センサ7,第2のマイクロバルブ8,並びにマイクロポ
ンプ15が順次設けられている。このマイクロ圧力セン
サ7は、流体の圧力により変形しやすい構造と圧電効果
を有する薄膜から形成されたもので、種々の構造のもの
が採用され得る。例えば、シリコンのマイクロ加工によ
る片持ちはり構造で構成された公知のものが使用され
る。また、前記マイクロレギュレータ6は、例えば、従
来の技術で述べたFluistorの商品名で発売されているも
のが使用され得、基本的な構造はバルブと同じである
が、液体の流出口と弁の間隔を適度に制御することによ
り、液体の流量を変えることで圧力を制御するものであ
る。従って、前記マイクロ圧力センサ7と組み合わせて
用いることにより、所定の圧力に流体を設定することが
でき、この結果、パイプ14を流れる液体を所定の流量
に保つことが出来る。前記マイクロバルブ5,8は、例
えば、ガラス板またはシリコン基板に液体の流路とシリ
コンゴムシートの弁とが形成され、この弁の開閉のため
のアクチュエータが配設された特開平1−266376
に記載されているものが使用され得る。。このマイクロ
バルブとしては、ノーマリィオープンのものでもノーマ
リィクローズのものでも良い。前記マイクロポンプ15
としては、特開平1−266376で述べられているよ
うなものやバルブを3つ以上複数並べてそのバルブを順
次駆動してポンプとするものが使用され得る。[Embodiment 1] FIG. 1 shows a first embodiment of the micro-dispenser of the present invention. This dispenser has a thin pipe 1 extending downward and having a nozzle 4 at its tip for ejecting the dispensed liquid.
4 is provided. At the upper end of the pipe 14, a storage container composed of a reagent bottle 1 that stores a liquid such as a reagent to be dispensed or a sample is detachably attached. The reagent bottle 1 is connected to the pipe 14 such that the liquid therein gradually flows into the pipe 14 due to the gravity of the liquid by communicating with the pipe 14 with the opening facing downward. The pipe 14 is provided with a first microvalve 5, a microregulator 6, a micropressure sensor 7, a second microvalve 8 and a micropump 15 in this order from above to below. The micro pressure sensor 7 is formed of a thin film having a piezoelectric effect and a structure that is easily deformed by the pressure of the fluid, and various structures can be adopted. For example, a known one having a cantilever beam structure formed by micromachining silicon is used. Further, the micro regulator 6 may be, for example, one sold under the trade name of Fluistor described in the prior art, and the basic structure is the same as that of the valve, but the liquid outlet and the valve are the same. The pressure is controlled by changing the flow rate of the liquid by appropriately controlling the interval. Therefore, by using in combination with the micro pressure sensor 7, the fluid can be set to a predetermined pressure, and as a result, the liquid flowing through the pipe 14 can be maintained at a predetermined flow rate. The microvalves 5 and 8 have, for example, a liquid passage and a valve of a silicon rubber sheet formed on a glass plate or a silicon substrate, and an actuator for opening and closing the valve is provided in JP-A-1-266376.
Those described in can be used. . The micro valve may be a normally open type or a normally closed type. The micro pump 15
For example, the one described in JP-A-1-266376 or the one in which a plurality of three or more valves are arranged and the valves are sequentially driven to form a pump can be used.
【0029】次に、上記構成の分注器の動作を説明す
る。試薬ビン1をパイプ14の上端に図示のように取着
し、第1のマイクロバルブ5を開成する。この結果、試
薬ビン1内の試薬は、これの自重によりパイプ14中に
徐々に落下してこのパイプ14中を下方に向かって流れ
る。この試薬は、マイクロレギュレータ6を通ってマイ
クロ圧力センサ7に達する。このときに、マイクロ圧力
センサ7により流れる試薬の圧力が測定され、この測定
された圧力は予め設定された基準圧力と比較される。そ
して、測定圧力が基準圧力よりも高い場合には、流量を
増加させるように、また、低い場合には流量を減少させ
る信号をマイクロレギュレータ6に送り、この信号に基
づいてマイクロレギュレータ6は、ここを流れる試薬の
流量を制御する。即ち、マイクロ圧力センサ7からの信
号によりマイクロレギュレータ6は、ここを流れる試薬
の流量が常時一定となるようにフィードバック制御され
る。この流量が一定になることにより、マイクロレギュ
レータ6を通過した液体の流速は一定に保たれる。そし
て、流量が一定に保たれた試薬は、第2のマイクロバル
ブ8に達する。このときに、マイクロバルブ8の開閉時
間を制御して、所定量の試薬をノズル4を介して分注す
る。この結果、所定の量の試薬をノズル4を介して分注
することが出来る。この試薬のノズル4からの分注は、
必要に応じてマイクロポンプ15を駆動して行っても良
い。Next, the operation of the dispenser having the above structure will be described. The reagent bottle 1 is attached to the upper end of the pipe 14 as shown in the figure, and the first microvalve 5 is opened. As a result, the reagent in the reagent bottle 1 gradually falls into the pipe 14 due to its own weight and flows downward in the pipe 14. This reagent reaches the micro pressure sensor 7 through the micro regulator 6. At this time, the pressure of the reagent flowing through the micro pressure sensor 7 is measured, and the measured pressure is compared with a preset reference pressure. Then, when the measured pressure is higher than the reference pressure, a signal is sent to the microregulator 6 to increase the flow rate and to decrease the flow rate when the measured pressure is lower, and based on this signal, the microregulator 6 detects Controls the flow rate of the reagent flowing through. That is, the micro regulator 6 is feedback-controlled by the signal from the micro pressure sensor 7 so that the flow rate of the reagent flowing therethrough is always constant. By keeping this flow rate constant, the flow velocity of the liquid passing through the micro regulator 6 is kept constant. Then, the reagent whose flow rate is kept constant reaches the second microvalve 8. At this time, the opening / closing time of the microvalve 8 is controlled to dispense a predetermined amount of reagent through the nozzle 4. As a result, a predetermined amount of reagent can be dispensed through the nozzle 4. Dispensing this reagent from the nozzle 4
The micro pump 15 may be driven as needed.
【0030】尚、図1にて符号13は、試薬のパイプ1
4中への落下によって試薬ビン1内部が負圧になるのを
防止するように、ビン1内と大気とを連通するパイプを
示す。In FIG. 1, reference numeral 13 is a reagent pipe 1.
4 shows a pipe for communicating the inside of the reagent bottle 1 with the atmosphere so as to prevent the inside of the reagent bottle 1 from being negatively pressured by dropping into the inside.
【0031】上記構成の分注器においては、圧力と流速
の関係はベルヌーイの定理から一定の関係であることか
ら、圧力をモニターすることにより流体の流速をモニタ
ーすることができる。In the dispenser having the above-described structure, the relationship between the pressure and the flow velocity is constant according to Bernoulli's theorem. Therefore, the flow velocity of the fluid can be monitored by monitoring the pressure.
【0032】この実施例の分注器においては、試薬ビン
1の底部から試薬を導出し、ビン内部に貯留されている
液体の圧力を試薬の輸送力に利用しているので輸送のた
めのポンプ等を省略することができるので構造も簡単に
なり、さらに小型化も可能になる。また、マイクロレギ
ュレータ6とマイクロ圧力センサ7とによって流量を一
定に保つためのフィードバック回路が形成されているた
め、マイクロ分注器に流入する試薬の量に変動が生じて
も分注量を精度良く維持することが出来る。In the dispenser of this embodiment, the reagent is drawn out from the bottom of the reagent bottle 1 and the pressure of the liquid stored in the bottle is used for the transporting power of the reagent. Since the above can be omitted, the structure is simplified and the size can be further reduced. Further, since the micro regulator 6 and the micro pressure sensor 7 form a feedback circuit for keeping the flow rate constant, even if the amount of the reagent flowing into the micro dispenser fluctuates, the dispense amount can be accurately measured. Can be maintained.
【0033】尚、マイクロレギュレータは上述のように
構造がバルブに酷似しており、バルブとして機能させる
こともできるのでマイクロバルブを除き、マイクロ圧力
センサ7とマイクロレギュレータ6のみでマイクロ分注
器を構成することも可能である。また、このマイクロ分
注器は試薬を輸送する機能は有していないので、マイク
ロ分注器の流入口または流出口にマイクロポンプ15を
配置して試薬を輸送する機能を付加してもよい。As described above, the structure of the microregulator is very similar to that of the valve, and the microregulator can also function as a valve. Therefore, except for the microvalve, only the micropressure sensor 7 and the microregulator 6 constitute the microdispenser. It is also possible to do so. Further, since this micro dispenser does not have the function of transporting the reagent, the function of transporting the reagent may be added by disposing the micro pump 15 at the inlet or the outlet of the micro dispenser.
【0034】また、マイクロ圧力センサー7はマイクロ
レギュレータ6の近傍に設置されていれば位置は問題と
ならず、マイクロレギュレータの下流側のみならず上流
側に設けられても良好なフィードバックが可能である。The position of the micro pressure sensor 7 does not matter as long as it is installed in the vicinity of the micro regulator 6, and good feedback can be provided not only on the downstream side but also on the upstream side of the micro regulator. .
【0035】[実施例2]図2に本発明のマイクロ分注
器の第2の実施例を示す。この分注器は、下方に延び、
その先端に分注された液体を吐出するノズル4aを有す
る細いパイプ14aを具備する。このパイプ14aの上
端には、分注される試薬や試料等の液体を収容した試薬
ビン1aからなる収容容器が着脱可能に装着される。こ
の試薬ビン1aは、開口を下側にしてパイプ14aと連
通させることにより、中の液体が液体の重力によりパイ
プ14a内に徐々に流入するようにしてパイプ14aに
接続されている。そして、このパイプ14aには、上方
より下方に向かって第1のマイクロバルブ5a,マイク
ロレギュレータ6a,マイクロ圧力センサ7a,マイク
ロバブルセンサ10a、第2のマイクロバルブ11aが
順次設けられている。また、このパイプ14aのマイク
ロ圧力センサ7aとマイクロバブルセンサ10aとの間
には分岐パイプ14bの一端が接続されている。この分
岐パイプ14bには、第3のマイクロバルブ8aとマイ
クロポンプ9aとが順次設けられている。また、この分
岐パイプ14bの他端には、空気のような気体を分岐パ
イプ14bを介してパイプ14aに送り、パイプ14a
中を流れる試薬を気体で一定間隔に分離された一連の液
体部分とする気体導入手段(図示せず)が接続されてい
る。この気体導入手段としては、一定の流量で空気を連
続的に送風する送風機構もしくは、分岐パイプ14bを
一定のガス圧に維持するような圧力維持機構等が使用さ
れる。この実施例に用いられているマイクロバルブ5
a、8a、11a、マイクロレギュレータ6a、マイク
ロ圧力センサ7a、並びにマイクロポンプ9aは第1実
施例で述べたのと同様のもので良い。また、マイクロバ
ブルセンサ10aとしては、フォトカップラを用いてパ
イプ14a中を流れる試薬と空気との光の透過率の違い
を利用して、気体で一定間隔に分離された一連の液体部
分の数をカウントする手段や、流路の両側に一対の電極
を形成し伝導度の違いにより液体部分の数をカウントす
るものが用いられる。[Embodiment 2] FIG. 2 shows a second embodiment of the microdispenser according to the present invention. This dispenser extends downwards,
A thin pipe 14a having a nozzle 4a for discharging the dispensed liquid is provided at its tip. At the upper end of the pipe 14a, a storage container made up of a reagent bottle 1a that stores a liquid such as a dispensed reagent or sample is detachably attached. The reagent bottle 1a is connected to the pipe 14a such that the liquid therein gradually flows into the pipe 14a due to the gravity of the liquid by communicating with the pipe 14a with the opening facing downward. The pipe 14a is provided with a first micro valve 5a, a micro regulator 6a, a micro pressure sensor 7a, a micro bubble sensor 10a, and a second micro valve 11a in this order from above to below. Further, one end of a branch pipe 14b is connected between the micro pressure sensor 7a of the pipe 14a and the micro bubble sensor 10a. A third micro valve 8a and a micro pump 9a are sequentially provided on the branch pipe 14b. At the other end of the branch pipe 14b, a gas such as air is sent to the pipe 14a via the branch pipe 14b, and the pipe 14a
A gas introduction means (not shown) for connecting the reagent flowing therein to a series of liquid portions separated by gas at regular intervals is connected. As the gas introducing means, a blowing mechanism that continuously blows air at a constant flow rate, a pressure maintaining mechanism that maintains the branch pipe 14b at a constant gas pressure, or the like is used. Microvalve 5 used in this embodiment
The components a, 8a, 11a, the micro regulator 6a, the micro pressure sensor 7a, and the micro pump 9a may be the same as those described in the first embodiment. Further, as the micro bubble sensor 10a, the number of a series of liquid portions separated at regular intervals by gas is used by utilizing the difference in light transmittance between the reagent and air flowing in the pipe 14a using a photo coupler. A means for counting or a means for forming a pair of electrodes on both sides of the flow channel and counting the number of liquid portions depending on the difference in conductivity is used.
【0036】以下に、第2の実施例の分注器の動作を説
明する。第1のマイクロバルブ5aを開成することによ
り、試薬ビン1aの底部から試薬は、パイプ14a中を
通り、マイクロバルブ5a並びにマイクロレギュレータ
6aを介してマイクロ圧力センサ7aに達する。マイク
ロ圧力センサ7aでは流れる試薬の圧力が測定され、所
定の圧力に対し、圧力が高い場合には流量を増加させる
ように、低い場合には流量を減少させるようにマイクロ
レギュレータ6aにフィードバックがかけられる。従っ
て、マイクロレギュレータ6aを通過した試薬の流速は
一定に保たれる。この一定の流速で流れているパイプの
途中に空気導入用の分岐パイプ14bが接続されてい
る。この空気導入用の分岐パイプ14bには第3のマイ
クロバルブ8aとマイクロポンプ9aとが配置されてお
り、一定の流速でパイプ14a中を流れている試薬中に
強制的に一定の速度で空気を送り込み、空気と試薬とが
一定の間隔で分節された流れを作り出している。即ち、
パイプ14a中を流れる試薬を空気1bで一定間隔に分
離された一連の試薬部分2bとしている。この分節され
た流れをバルブセンサ10aでモニターし、通過した試
薬部分2bの数をカウントし、その下流にあるマイクロ
バルブ11aの開閉時間を制御することにより所定の試
薬量をノズル4aを介して分注することが出来る。The operation of the dispenser of the second embodiment will be described below. By opening the first micro valve 5a, the reagent from the bottom of the reagent bottle 1a passes through the pipe 14a and reaches the micro pressure sensor 7a through the micro valve 5a and the micro regulator 6a. The micro pressure sensor 7a measures the pressure of the flowing reagent, and feeds back to the micro regulator 6a so as to increase the flow rate when the pressure is high and decrease the flow rate when the pressure is low with respect to a predetermined pressure. . Therefore, the flow rate of the reagent passing through the micro regulator 6a is kept constant. A branch pipe 14b for introducing air is connected in the middle of the pipe flowing at a constant flow velocity. A third micro valve 8a and a micro pump 9a are arranged in the branch pipe 14b for introducing air to forcibly supply air at a constant speed into the reagent flowing in the pipe 14a at a constant flow velocity. The air is sent in, and the air and the reagent create a flow segmented at regular intervals. That is,
The reagent flowing in the pipe 14a is a series of reagent portions 2b separated by air 1b at regular intervals. The segmented flow is monitored by the valve sensor 10a, the number of passed reagent portions 2b is counted, and the opening / closing time of the micro valve 11a downstream thereof is controlled to divide a predetermined reagent amount through the nozzle 4a. You can order.
【0037】ここで、エアパイプ13aは試薬の落下に
よって試薬ビン1a内部の試薬にかかる大気圧が減少し
ないように空気を補給するためのパイプである。また、
圧力と流速の関係はベルヌーイの定理から一定の関係に
あり、従って、圧力をモニターすることにより流体の流
速をモニターすることができる。Here, the air pipe 13a is a pipe for supplying air so that the atmospheric pressure applied to the reagent inside the reagent bottle 1a does not decrease due to the dropping of the reagent. Also,
The relationship between the pressure and the flow velocity has a constant relationship from Bernoulli's theorem, and therefore the flow velocity of the fluid can be monitored by monitoring the pressure.
【0038】この第2の実施例の分注器においては、試
薬ビン1aの底部から試薬を導出し、ビン内部に貯留さ
れている試薬の圧力を試薬の輸送力に利用しているので
輸送のためのポンプ等を省略することができるので構造
の簡単になり、さらに小型化も可能になる。また、マイ
クロレギュレータ6aとマイクロ圧力センサ7aとによ
って流量を一定に保つためのフィードバック回路が形成
されているため、マイクロ分注器に流入する試薬量に変
動が生じても分注量を精度良く維持することが出来る。
さらに、第2のバルブ11aの開閉時間の精度はこのバ
ルブ11aの開閉の応答速度に依存し、それが分注精度
に影響を及ぼすことがあるが、一定流量で流れる試薬に
空気のバブルを間欠的に導入して、一連の試薬部分2b
とし、この通過数をカウントして、バルブ11aの開閉
を制御することにより、バルブ開閉の応答速度に依存す
ることなく精密な分注が可能となる。In the dispenser of the second embodiment, the reagent is discharged from the bottom of the reagent bottle 1a, and the pressure of the reagent stored in the bottle is used for the transporting force of the reagent, so that the reagent is transported. Since a pump or the like for that can be omitted, the structure is simplified, and the size can be further reduced. Further, since the micro regulator 6a and the micro pressure sensor 7a form a feedback circuit for keeping the flow rate constant, even if the amount of the reagent flowing into the micro dispenser fluctuates, the dispense amount can be accurately maintained. You can do it.
Further, the accuracy of the opening / closing time of the second valve 11a depends on the response speed of opening / closing of the valve 11a, which may affect the dispensing accuracy. However, air bubbles are intermittently generated in the reagent flowing at a constant flow rate. A series of reagent parts 2b
By counting the number of passages and controlling the opening / closing of the valve 11a, precise dispensing can be performed without depending on the response speed of opening / closing the valve.
【0039】なお、マイクロレギュレータ6aは上述の
ように構造がバルブに酷似しており、バルブとして機能
させることもできるのでマイクロバルブを除き、マイク
ロ圧力センサ7aとマイクロレギュレータ6aのみでマ
イクロ分注器の主要部を構成することも可能である。ま
た、マイクロ圧力センサ7aはマイクロレギュレータ6
aの近傍に設置されていれば位置は問題とならずマイク
ロレギュレータ6aの前後どちらでも良好なフィードバ
ックが可能である。As described above, the structure of the microregulator 6a is very similar to that of a valve, and since it can also function as a valve, the microvalve is excluded and only the micropressure sensor 7a and the microregulator 6a serve as a microdispenser. It is also possible to configure the main part. Further, the micro pressure sensor 7a is the micro regulator 6
If it is installed in the vicinity of a, the position does not matter, and good feedback can be performed either before or after the micro regulator 6a.
【0040】[実施例3]図3に本発明のマイクロ分注
器の第3の実施例を示す。この分注器のパイプ17は、
カップ状の容器8が設けられた上端よりも下方に位置す
る分岐水平部17aと、この水平部の一端から下方に折
曲されこの水平部と前記上端との間に位置した液体溜め
部17bと、前記水平部17aの途中から下方に分岐さ
れ先端に吐出口を備えたノズルが形成された垂直部17
cとからなる。このパイプ17の水平部17aには、下
流側に向かって順次、第1のマイクロバルブ10と、液
体センサー11と、第1のマイクロポンプ12aとが設
けられている。そして、この水平部17aの先端は開口
して大気と連通している。また、前記垂直部17cに
は、下方に向かって順次第2のマイクロバルブ16と、
第2のマイクロポンプ12bとが設けられている。そし
て、前記液体溜め部17bは、水平部17aの基端から
U字状にパイプを折曲させて形成されている。[Embodiment 3] FIG. 3 shows a third embodiment of the microdispenser of the present invention. The pipe 17 of this dispenser
A branched horizontal portion 17a located below the upper end where the cup-shaped container 8 is provided, and a liquid reservoir 17b that is bent downward from one end of the horizontal portion and is located between the horizontal portion and the upper end. A vertical portion 17 in which a nozzle having a discharge port at the tip is formed by branching downward from the middle of the horizontal portion 17a.
It consists of c and. The horizontal portion 17a of the pipe 17 is provided with a first microvalve 10, a liquid sensor 11, and a first micropump 12a sequentially in the downstream direction. Then, the tip of the horizontal portion 17a is opened and communicates with the atmosphere. In addition, the vertical portion 17c is provided with a second microvalve 16 in order downward.
A second micropump 12b is provided. The liquid reservoir 17b is formed by bending a pipe in a U shape from the base end of the horizontal portion 17a.
【0041】この第3の実施例の分注器で用いられるマ
イクロバルブ10,16、並びにマイクロポンプ12
a,12bとしては、第1実施例で述べたものと同じも
のが使用され得る。また、液体センサー11としては、
第2の実施例で述べたバブルセンサーをそのまま用いる
ことが出来る。カップ状の容器8は、図に示すように円
錐状または四角錐の形状で十分なので、これはシリコン
の異方性エッチングまたはガラス版等にエッチングや微
細な機械的加工によって比較的簡単に加工できる。前記
液体溜め部17bは、水平部17aのバルブ10までの
部分と組みをなして、マイクロ容量計として機能する。
マイクロポンプ12a,12bとしては、特開平1−2
66376で述べられているようなものやバルブを複数
並べてそのバルブを順次駆動してポンプとするものが利
用される。The microvalves 10 and 16 and the micropump 12 used in the dispenser of the third embodiment.
As a and 12b, the same as those described in the first embodiment can be used. Further, as the liquid sensor 11,
The bubble sensor described in the second embodiment can be used as it is. Since the cup-shaped container 8 may have a conical shape or a quadrangular pyramid shape as shown in the figure, this can be processed relatively easily by anisotropic etching of silicon or etching or fine mechanical processing on a glass plate or the like. . The liquid reservoir 17b functions as a micro capacity meter by forming a combination with the portion of the horizontal portion 17a up to the valve 10.
As the micropumps 12a and 12b, JP-A 1-2
The one described in 66376 or the one in which a plurality of valves are arranged and the valves are sequentially driven to form a pump is used.
【0042】この第3の実施例の分注器の特徴は、マイ
クロ容量計を用いて、この容量計の容積で限定された量
の液体のみを採取することにある。以下にその動作を図
3に従って説明する。A feature of the dispenser of the third embodiment is that a micro volume meter is used to collect only a limited amount of liquid by the volume of the volume meter. The operation will be described below with reference to FIG.
【0043】最初に、第1のバルブ10を開成し、第2
のバルブ16を閉成した状態で、液体をカップ8に矢印
で示すように滴下する。この滴下量は、所定量以上であ
れば正確である必要はない。この結果、滴下された液体
は、液体溜め部17bに一定量溜まると共に、過剰の液
体は第1のバルブ10を通過して、水平部17aの先端
から外部に排出される。この後、第1のバルブ10を閉
成すると共に、第2のバルブ16を開成して、第2のポ
ンプ12bを作動させて容量計内に貯留されていた液体
をノズルを介して、矢印で示すように下方に分注する。
同様に、第1のバルブ10が閉成された後に、第1のポ
ンプ12aも作動させて、バルブ10の下流側の水平分
17aの部分に溜まっている余剰の液体を外部に排出す
る。First, the first valve 10 is opened and the second valve 10 is opened.
With the valve 16 of 1 closed, the liquid is dripped into the cup 8 as shown by the arrow. The dropping amount does not have to be accurate as long as it is a predetermined amount or more. As a result, the dropped liquid accumulates in the liquid reservoir 17b in a certain amount, and the excess liquid passes through the first valve 10 and is discharged from the tip of the horizontal portion 17a to the outside. After that, the first valve 10 is closed, the second valve 16 is opened, the second pump 12b is operated, and the liquid stored in the capacity meter is passed through the nozzle and is indicated by an arrow. Dispense downward as shown.
Similarly, after the first valve 10 is closed, the first pump 12a is also operated to discharge the excess liquid accumulated in the horizontal portion 17a on the downstream side of the valve 10 to the outside.
【0044】次に、上記マイクロ容量計の機能をより詳
細に説明する。両端が開放されたU字構造を持つパイプ
に液体が滴下された場合、パイプの両側の液体のレベル
は液体静力学上等しくなる。図3に示すようにU字構造
の一方を水平に(またはそれ以下に折り)曲げると、滞
留する液体はU字構造の両側で折り曲げた地点以下にし
か留まることはできない。従って、一定量以上の液体を
U字構造に滴下しても、U字構造に滞留する液体は常に
一定で滞留可能な液体量以上の液体は折り曲げられた流
路、即ち、水平部17aに流れ込む。この折り曲げられ
た流路の途中に第1のマイクロバルブ10を配置し、こ
れを開成から閉成に切換えることにより、流れ込んだ液
体を途中で遮断できるようにしている。また、この計量
の間、第2のマイクロバルブ16は閉成したままであ
り、また垂直部17cは極めて細いので、液体が垂直部
17cに流れ込むことはない。従って、液体は、ハッチ
ングで示すように、液体溜め部17bと水平部17aの
一部とにより構成された容量計内に残り、第2のマイク
ロバルブ16を開成し、第2のマイクロポンプ12bを
動作させることにより、この計量された液体のみを分注
することができる。従って、精密なマイクロ容量計を形
成することができる。Next, the function of the microcapacitance meter will be described in more detail. When a liquid is dropped on a pipe having a U-shaped structure with both ends open, the liquid levels on both sides of the pipe are hydrostatically equal. When one of the U-shaped structures is bent horizontally (or folded below) as shown in FIG. 3, the stagnant liquid can stay only below the point where it is bent on both sides of the U-shaped structure. Therefore, even if a certain amount or more of liquid is dropped onto the U-shaped structure, the amount of liquid that stays in the U-shaped structure is always constant and the amount of liquid that exceeds the amount of liquid that can stay flows into the bent flow path, that is, the horizontal portion 17a. . By disposing the first microvalve 10 in the middle of this bent flow path and switching it from the open state to the closed state, the liquid that has flowed in can be interrupted halfway. Further, during this measurement, the second micro valve 16 remains closed and the vertical portion 17c is extremely thin, so that liquid does not flow into the vertical portion 17c. Therefore, as shown by the hatching, the liquid remains in the capacity meter constituted by the liquid reservoir 17b and a part of the horizontal portion 17a, opens the second microvalve 16, and opens the second micropump 12b. By operating, only this measured liquid can be dispensed. Therefore, a precise microcapacitance meter can be formed.
【0045】前記液体センサ11は所定量以上の液体が
カップ状の容器8に滴下されているかどうかを確認する
ためのもので、誤って所定量以下の液体が容器8に滴下
された場合には、液体センサ11を液体が通過しないの
で、液体のの存在を感知することができず、エラー信号
を出力する。従って、所定量以下の液体を分注してしま
うことがなく、動作の正確性を保証することが出来る。The liquid sensor 11 is for confirming whether or not a predetermined amount or more of liquid has been dripped into the cup-shaped container 8, and when a liquid of a predetermined amount or less is accidentally dripped into the container 8. Since the liquid does not pass through the liquid sensor 11, the presence of the liquid cannot be detected and an error signal is output. Therefore, it is possible to guarantee the accuracy of the operation without dispensing a liquid of a predetermined amount or less.
【0046】本実施例においてマイクロ容量計を構成す
る液体溜め部をU字状としたが、例えば、V字形や半円
環形等上記の機能を満たすものであればどのような形状
でも良い。In this embodiment, the liquid reservoir forming the micro-capacity meter is U-shaped, but may be of any shape such as V-shaped or semi-annular so long as it fulfills the above functions.
【0047】一般的な分析においては多種の試薬を交互
に用いるか、または2種以上の試薬を混合して用いる場
合が多い。以下に、このような分析に適した分注器アレ
イを上記実施例の分注器を利用して構成した例を測定手
段と組み合わせて測定ユニットとした場合を、図4を参
照して説明する。In general analysis, various reagents are often used alternately, or two or more reagents are mixed and used. Hereinafter, a case where a dispenser array suitable for such an analysis is constructed by using the dispenser of the above-mentioned embodiment to form a measuring unit in combination with measuring means will be described with reference to FIG. .
【0048】図中符号19a,19b,19cは、夫々
第1ないし第3の分注器を示し、これら分注器として
は、前記第1ないし第3の実施例のものが使用され得
る。これら分注器19a,19b,19cの吐出口(ノ
ズル先端)は一端に共通吐出口を有する共通パイプ24
の基端側に夫々接続されている。また、夫々の分注器の
パイプの吐出口近くには、マイクロバルブ21a,21
b,21cを備え、空気等の気体を供給するための分岐
パイプ20a,20b,20cが接続されている。これ
らマイクロバルブは、前記実施例で説明したものと同じ
もので良い。このようにして、3つの分注器からなる分
注器アレイが構成されている。Reference numerals 19a, 19b and 19c in the drawing respectively denote first to third dispensers, and as the dispensers, those of the first to third embodiments can be used. The discharge ports (nozzle tips) of these dispensers 19a, 19b, 19c are common pipes 24 having a common discharge port at one end.
Are connected to the base end side of each. In addition, micro valves 21a, 21a are provided near the discharge ports of the pipes of the respective dispensers.
b and 21c, and branch pipes 20a, 20b and 20c for supplying gas such as air are connected. These microvalves may be the same as those described in the above embodiment. In this way, a dispenser array consisting of three dispensers is constructed.
【0049】前記共通パイプ24の下流側には、マイク
ロセンサーアレイ41とマイクロポンプ26とが設けら
れている。このセンサアレイ14としては、例えば、特
開平3−122558で提案されているように、シリコ
ンウエハー上に形成した液流路に複数のマイクロセンサ
ーを組み込んだものが使用され得る。A microsensor array 41 and a micropump 26 are provided downstream of the common pipe 24. As the sensor array 14, for example, an array in which a plurality of microsensors are incorporated in a liquid channel formed on a silicon wafer can be used, as proposed in JP-A-3-122558.
【0050】次に、このような構成の測定ユニットの動
作を説明する。まず、第1の液体(標準液体1)を第1
の分注器19aに液体入口18aを介して供給し、この
分注器で分注された所定量の液体をマイクロポンプ26
を作動させることにより共通パイプ24を介してセンサ
アレイ41に導く。そして、このセンサアレイ41で測
定された第1の液体を共通吐出口を介して外部に排出さ
せる。尚、第1の液体が共通パイプ24に供給した後
に、第1のマイクロバルブ21aを開成して矢印で示す
ように空気を共通パイプ24に供給する。続いて第2の
液体(標準液体2)を第2の分注器19bに液体入口1
8bを介して供給し、ここで分注された液体をマイクロ
ポンプ26により共通パイプ24を介してセンサアレイ
41に導き測定を行う。そして、前記と同様に、第2の
液体が共通パイプ24に供給した後に、第2のマイクロ
バルブ21bを開成して矢印で示すように空気を共通パ
イプ24に供給する。最後に、第3の液体(測定試料)
を第3の分注器19cに液体入口18cを介して供給
し、ここで分注された液体をマイクロポンプ26により
共通パイプ24を介してセンサアレイ41に導き前記と
同様にして測定を行うと共に、第3のマイクロバルブ2
1cを介して空気を供給する。Next, the operation of the measuring unit having such a configuration will be described. First, the first liquid (standard liquid 1)
Is supplied to the dispenser 19a through the liquid inlet 18a, and a predetermined amount of the liquid dispensed by the dispenser is supplied to the micropump 26.
Is operated to lead to the sensor array 41 via the common pipe 24. Then, the first liquid measured by the sensor array 41 is discharged to the outside through the common discharge port. After the first liquid is supplied to the common pipe 24, the first micro valve 21a is opened to supply air to the common pipe 24 as indicated by the arrow. Subsequently, the second liquid (standard liquid 2) is supplied to the second dispenser 19b through the liquid inlet 1
8b, and the liquid dispensed here is guided by the micropump 26 to the sensor array 41 via the common pipe 24, and measurement is performed. Then, similarly to the above, after the second liquid is supplied to the common pipe 24, the second microvalve 21b is opened and air is supplied to the common pipe 24 as indicated by an arrow. Finally, the third liquid (measurement sample)
Is supplied to the third dispenser 19c via the liquid inlet 18c, and the liquid dispensed here is guided to the sensor array 41 via the common pipe 24 by the micropump 26 and the measurement is performed in the same manner as described above. , The third microvalve 2
Air is supplied via 1c.
【0051】上記のように分注器ユニットを構成するこ
とにより、第1の液体と第2の液体との間、並びに第2
の液体と第3の液体との間に夫々空気を存在させて、液
体相互が混合するのを防止して複数種類の液体を分注す
ることができる。By configuring the dispenser unit as described above, between the first liquid and the second liquid, and the second liquid.
Air can be allowed to exist between the liquid and the third liquid to prevent the liquids from mixing with each other and dispense a plurality of types of liquids.
【0052】このような構成の測定ユニットで使用する
センサアレイ41の個々のセンサー42としては電解質
(Na、K、Cl,Ca,Li測定,)、血液ガス(P
O2,PCO2 ,PH)、酵素(グルコース、BUN)等
のセンサーが用いられるが、第1の液体を標準液体1、
第2の液体を標準液体2として測定しセンサーの校正を
行い、最後に血液体等の測定試料を測定することにより
全自動の分析が出来る。As the individual sensors 42 of the sensor array 41 used in the measuring unit having such a structure, electrolyte (Na, K, Cl, Ca, Li measurement), blood gas (P
O 2 , PCO 2 , PH ), an enzyme (glucose, BUN) sensor is used, but the first liquid is the standard liquid 1,
Fully automatic analysis can be performed by measuring the second liquid as the standard liquid 2, calibrating the sensor, and finally measuring the measurement sample such as the blood body.
【0053】このようにマイクロ分注器アレイとセンサ
ーアレイとを組み合わせることにより1つの分析ユニッ
トで1度に複数の項目を測定することが出来、またオン
チップ上で分析装置を構成することができるので小型化
が可能となる。As described above, by combining the micro-dispenser array and the sensor array, one analysis unit can measure a plurality of items at once, and the analysis device can be configured on-chip. Therefore, miniaturization is possible.
【0054】なお、マイクロポンプの位置はマイクロセ
ンサーアレイ41の上流でも良い。また、本実施例では
3つの分注器でアレイを構成したが、必要に応じて、4
つ以外の数の分注器でアレイを構成しても良い。The position of the micro pump may be upstream of the micro sensor array 41. Further, in this embodiment, the array is composed of three pipettes, but if necessary, four arrays are used.
The array may be composed of a number of dispensers other than three.
【0055】次に、実施例の分注器を複数組み合わせて
分注器アレイを構成し、2種以上の試薬および試料を混
合し、その後光学的な測定を行うための測定ユニットを
図5を参照して説明する。Next, a plurality of pipettes of the embodiment are combined to form a pipette array, two or more kinds of reagents and samples are mixed, and then a measurement unit for performing optical measurement is shown in FIG. It will be described with reference to FIG.
【0056】尚、この図5では、分注器アレイは、図4
に示すものと実質的に同一なので省略してある。図5
(a)に示すように、基端側に図示しない分注器アレイ
が接続された共通パイプ24には、下流側に向かって順
次第1のマイクロバルブ35,ミクスチャー部36、第
2のマイクロバルブ37、光学測定部36a,並びに第
1のマイクロポンプ38が設けられている。また、共通
パイプ24には迂回パイプ24aが、これの流入口がミ
クスチャー部36と第2のマイクロバルブ37との間に
接続され、流出口が第1のマイクロバルブ35とミクス
チャー部36との間に接続されるようにして連通されて
いる。そしてこの迂回パイプ24aには、下流側に向か
って第3のマイクロバルブ40と、第2のマイクロポン
プ39とが設けられている。この迂回パイプ24aと共
通パイプ24のミクスチャー部36を含む一部とで循環
可能な迂回路が構成され、この迂回路の下部に温度制御
装置35aと温度検出素子35bとが配置され、迂回路
を流れる液体を所定の温度に維持できるようになってい
る。In FIG. 5, the dispenser array is shown in FIG.
It is omitted because it is substantially the same as that shown in. FIG.
As shown in (a), the common pipe 24, to which a dispenser array (not shown) is connected on the base end side, sequentially has a first micro valve 35, a mixture portion 36, and a second micro valve toward the downstream side. 37, an optical measuring unit 36a, and a first micropump 38 are provided. In addition, the detour pipe 24a is connected to the common pipe 24, the inflow port thereof is connected between the mixture part 36 and the second micro valve 37, and the outflow port is formed between the first micro valve 35 and the mixture part 36. It is connected so that it is connected to. The bypass pipe 24a is provided with a third microvalve 40 and a second micropump 39 toward the downstream side. This bypass pipe 24a and a part of the common pipe 24 including the mixture section 36 constitute a circulating bypass circuit, and a temperature control device 35a and a temperature detecting element 35b are arranged below the bypass circuit to connect the bypass circuit. The flowing liquid can be maintained at a predetermined temperature.
【0057】この装置に用いられるマイクロバルブ3
5、37、40及びマイクロポンプ38、39は第1実
施例で述べられている物と同じである。また、前記ミク
スチャー部36は、共通パイプ24の径を一部大きくし
て形成することができる。Microvalve 3 used in this device
5, 37, 40 and micropumps 38, 39 are the same as those described in the first embodiment. The mixture portion 36 may be formed by partially increasing the diameter of the common pipe 24.
【0058】次に、このような構成の測定ユニットの動
作を図5(a)に従って説明する。まず、第1のバルブ
35と第2のバルブ37を開成し、また第3のバルブ4
0を閉成した状態で、第1のポンプ38を動作させ、矢
印で示すように、分注器アレイから順次種類の異なった
液体を光学測定ユニットの迂回路の一部に導入する。そ
して、迂回路の両側のバルブ35、37を閉成し、また
第3のバルブ40を開け、ポンプ39を稼働させて、迂
回路中の液体を循環させる。この循環中に、流路より大
きな径を持つミクスチャー部36で、空気で分離されて
いた液体が混合され易くなる。この混合を一定時間持続
させ、さらに迂回路全体の下部に配設された温度制御装
置35a及び温度検出素子35bによりインキュベーシ
ョンを行う。混合が終了した後、ポンプ39の駆動を停
止し、一定時間この状態を保ってて混合液体を反応させ
る。この一定の反応時間が経過した後、この混合液体
を、第1並びに第2のバルブ35、37を開成し、第3
のバルブ40を閉成し、また第1のポンプ38を駆動し
て測光部36aに導き、比色測定を行う。この測定終了
後、第3のバルブ40を開成し、第1並びに第2のポン
プ39、38を稼働させることにより被検液体を、共通
パイプ24の先端から矢印で示すように外部に排出す
る。この様に構成することにより、各々分離された液体
が必要に応じて混合され光学的な測定が効率よく行える
ようになる。また、測定後の被検液体を全て排出する機
構を備えているので引き続き次の測定を行うことができ
る。この測定ユニットでは光学測定部を迂回路の外に組
み込んだが、迂回路の中に設置することも可能である。
また、ミクスチャー部36と測光部36aを一つにまと
めることも可能である。さらに、分注器ユニットとして
図4に示す異なる液体相互を空気により分離するものを
使用したが、単にバルブにより順次異なる液体を供給で
きるような分注器アレイでも良い。Next, the operation of the measuring unit having such a configuration will be described with reference to FIG. First, the first valve 35 and the second valve 37 are opened, and the third valve 4 is opened.
With 0 closed, the first pump 38 is operated to sequentially introduce different types of liquid from the dispenser array into a part of the bypass of the optical measurement unit, as indicated by the arrow. Then, the valves 35 and 37 on both sides of the bypass are closed, the third valve 40 is opened, and the pump 39 is operated to circulate the liquid in the bypass. During this circulation, the liquid separated by air is easily mixed in the mixture portion 36 having a diameter larger than that of the flow path. This mixing is continued for a certain period of time, and further incubation is carried out by the temperature control device 35a and the temperature detection element 35b arranged under the entire detour. After the mixing is completed, the driving of the pump 39 is stopped, and this state is maintained for a certain period of time to allow the mixed liquid to react. After this fixed reaction time has elapsed, this mixed liquid is opened by opening the first and second valves 35 and 37,
The valve 40 is closed, and the first pump 38 is driven to lead to the photometric unit 36a for colorimetric measurement. After the completion of this measurement, the third valve 40 is opened and the first and second pumps 39 and 38 are operated to discharge the test liquid from the tip of the common pipe 24 to the outside as shown by the arrow. With such a configuration, the separated liquids are mixed as needed, and the optical measurement can be efficiently performed. Further, since a mechanism for discharging all the test liquid after measurement is provided, the next measurement can be continuously performed. In this measuring unit, the optical measuring unit is incorporated outside the detour, but it can be installed inside the detour.
It is also possible to combine the mixture unit 36 and the photometric unit 36a into one. Further, although the dispenser unit shown in FIG. 4 in which different liquids are separated from each other by air is used, a dispenser array in which different liquids can be sequentially supplied by a valve may be used.
【0059】前記測光部36aとしては、例えば、図5
(b)、(c)に示すような構造のものが採用され得
る。図5(b)に示すものは、一側面にシリコン酸化膜
72が形成されたシリコン基板71の他側面に流路を形
成し、さらに異方性エッチングにより、シリコン酸化膜
72を残してシリコン基板71の中央部に貫通孔を形成
した後、ガラス板70をシリコン基板71の他側面に陽
極接合して製作したものである。このような測光部で
は、液体73が図でハッチングで示すように流路と貫通
孔とに満たされ、矢印74で示す光をこの液体を透過さ
せてこの透過光の強度やスペクトルを検出することによ
り測定が行われる。図5(c)に示すものは、ガラス板
79の両側面に流路76,76を夫々形成するととも
に、これら流路76,76相互を接続する貫通孔81を
形成し、さらに、このガラス板79の両側面にガラス板
75、78を陽極接合により張り合わせることにより構
成されている。このような測光部においては、測定用の
光(矢印77で示す)を貫通孔81を透過させることに
より測定が行われ、液体量が少なくても測定のための光
路長を確保することが出来る。この場合、貫通孔81の
表面を液体より屈折率の低い物質で被覆して、光を効率
よく透過させることが望ましい。As the photometric section 36a, for example, FIG.
The structure shown in (b) and (c) can be adopted. FIG. 5B shows a silicon substrate in which a channel is formed on the other side surface of the silicon substrate 71 having the silicon oxide film 72 formed on one side surface, and the silicon oxide film 72 is left by anisotropic etching. After the through hole is formed in the central portion of 71, the glass plate 70 is manufactured by anodic bonding to the other side surface of the silicon substrate 71. In such a photometric unit, the liquid 73 is filled in the flow path and the through hole as shown by hatching in the figure, and the light indicated by the arrow 74 is transmitted through the liquid to detect the intensity and spectrum of the transmitted light. Is measured by. In FIG. 5C, the flow paths 76, 76 are formed on both side surfaces of the glass plate 79, and the through holes 81 connecting the flow paths 76, 76 are formed, and the glass plate 79 is further formed. It is configured by laminating glass plates 75 and 78 on both side surfaces of 79 by anodic bonding. In such a photometric unit, the measurement light (indicated by the arrow 77) is transmitted through the through hole 81 to perform the measurement, and the optical path length for the measurement can be secured even if the liquid amount is small. . In this case, it is desirable that the surface of the through hole 81 be covered with a substance having a refractive index lower than that of the liquid so that light can be efficiently transmitted.
【0060】前記迂回路全体の下部に温度制御部35a
及び温度検出素子35bを配設しても良い。光学測定ユ
ニットはガラス基板やシリコン基板上に形成されるので
裏面は平坦である。従って、その平坦な部分に容易に温
度制御装置35aやサーミスタのような温度検出素子3
5baを配設する事ができる。加温することにより反応
時間の短縮、および良好な反応の再現性を得ることがで
きる。温度制御素子としてはペルチエ素子等が用いられ
るが、加温のみのヒーターとしては用いる場合には既成
のパネルヒータを張り合わせて用いることも可能である
が、ニクロム線などの抵抗体を直接張り合わせたり、蒸
着やスパッタ等の方法でヒータを形成することも可能で
ある。温度計としてはサーミスタを例示したが、熱電
対、白金測温体なども利用できる。A temperature control section 35a is provided under the entire detour.
Also, the temperature detecting element 35b may be provided. Since the optical measurement unit is formed on the glass substrate or the silicon substrate, the back surface is flat. Therefore, the temperature detection device 3 such as the temperature control device 35a or the thermistor can be easily attached to the flat portion.
It is possible to arrange 5ba. By heating, the reaction time can be shortened and good reproducibility of the reaction can be obtained. A Peltier element or the like is used as the temperature control element, but when it is used as a heater only for heating, it is also possible to use an existing panel heater by pasting it together, or by directly pasting a resistor such as a nichrome wire, It is also possible to form the heater by a method such as vapor deposition or sputtering. A thermistor is illustrated as the thermometer, but a thermocouple, a platinum temperature measuring element, etc. can also be used.
【0061】次に、前記分注器アレイとマイクロセンサ
アレイとからなる分析ユニットと、分注器アレイと光学
測定ユニットとからなる分析ユニットとを複数組み合わ
せて、複数の測定項目を同時に測定することの可能な分
析装置を図6を参照して説明する。Next, a plurality of analysis units composed of the dispenser array and the microsensor array and a plurality of analysis units composed of the dispenser array and the optical measurement unit are combined to simultaneously measure a plurality of measurement items. A possible analyzer will be described with reference to FIG.
【0062】この装置は、図4を参照して説明した分注
器ユニットとマイクロセンサアレイ、およびこの分注器
アレイと図5を参照して説明した光学測定ユニットとを
使用し、一つの基板に集積化した分析ユニットアレイと
して形成することが可能である。即ち、これら測定ユニ
ットは基本的には半導体のリソグラフィ技術やマイクロ
加工技術を用いて製作されるので半導体のIC技術と同
様に集積化が可能である。例えば、4インチのシリコン
ウエハーまたは100mm四方のガラス板上に約200
個のバルブを乗せることが出来る。3個のバルブで1つ
のポンプを構成させるとしても第1の実施例のマイクロ
分注器に換算すると60個程度、第2の実施例のマイク
ロ分注器で30個程度、第3の実施例のマイクロ分注器
著で20個程度、図4に示すのマイクロセンサアレイで
40個程度搭載することが出来る。従って、本実施例に
示したように100mm四方のガラス板上に分注ユニッ
トと測定ユニットを組み合わせた分析ユニットを4つ配
置した分析ユニットアレイを十分な余裕を持って構成す
ることができる。This apparatus uses the dispenser unit and the microsensor array described with reference to FIG. 4, and the dispenser array and the optical measurement unit described with reference to FIG. It is possible to form it as an analysis unit array integrated in the. That is, since these measuring units are basically manufactured by using a semiconductor lithography technique or a microfabrication technique, they can be integrated similarly to the semiconductor IC technique. For example, about 200 on a 4-inch silicon wafer or 100 mm square glass plate.
It is possible to mount individual valves. Even if one pump is composed of three valves, when converted to the micro-dispenser of the first embodiment, about 60, about 30 with the micro-dispenser of the second embodiment, and the third embodiment. It is possible to mount about 20 by the Micro Dispenser and about 40 by the micro sensor array shown in FIG. Therefore, as shown in the present embodiment, it is possible to construct an analysis unit array in which four analysis units in which a dispensing unit and a measurement unit are combined are arranged on a 100 mm square glass plate with a sufficient margin.
【0063】図6において、第1の分析ユニット51は
分注器アレイ51aと、マイクロセンサーアレイ51b
とからなり、第2の分析ユニット52は分注器アレイ5
2aと、光学測定ユニット52bとからなっている。同
様に第3の分析ユニット54は分注器アレイ54aと、
マイクロセンサーアレイ54bとからなり、第4の分析
ユニット55は分注器アレイ55aと、光学測定ユニッ
ト55bとからなっている。そして、図示するように、
同じ機能を果たす分析ユニット(第1の分析ユニット5
1と第3の分析ユニット54、並びに第2の分析ユニッ
ト52と第4の分析ユニット55)とは縦方向に配設さ
れ、そして異なる機能を果たす分析ユニット(第1並び
に第3の分析ユニット51,54と、第2並びに第4の
分析ユニット52,55)とは横方向に配設され、全体
として4つの分析ユニットはマトリックス状に配設され
ている。In FIG. 6, the first analysis unit 51 includes a dispenser array 51a and a microsensor array 51b.
And the second analysis unit 52 comprises the dispenser array 5
2a and an optical measurement unit 52b. Similarly, the third analysis unit 54 includes a dispenser array 54a,
The fourth analysis unit 55 includes a dispenser array 55a and an optical measurement unit 55b. And as shown
An analysis unit that performs the same function (first analysis unit 5
The first and third analysis units 54, and the second analysis unit 52 and the fourth analysis unit 55) are arranged in the vertical direction and perform different functions (first and third analysis units 51). , 54 and the second and fourth analysis units 52, 55) are arranged in the lateral direction, and as a whole, the four analysis units are arranged in a matrix.
【0064】前記マイクロセンサアレイ51b.54b
は、例えば、イオン濃度測定のときにはイオンセンサー
のアレイであり、グリコース等の検出には酵素センサー
のアレイである。The microsensor array 51b. 54b
Is an array of ion sensors for measuring ion concentration, and an array of enzyme sensors for detecting glucose and the like.
【0065】1つの測定項目に対する2種の試薬のため
の第1並びに第2の配管ライン46、47が、第1並び
に第3の分析ユニット51、54の分注器アレイ51
a,54aに試薬1並びに試薬2を供給するように接続
されている。同様に第3並びに第4の配管ライン49、
50が第2並びに第4の分析ユニット52、55の分注
器アレイ52a,55aに試薬3並びに試薬4を供給す
るように接続されている。一方、第1の試料注入口48
からの配管48aは第1並びに第2の分注ユニット5
1、52に接続され、同様に、第2の試料注入口53か
らの配管53aは第3並びに第4の分注ユニット54、
55に接続されている。この結果、試薬は縦方向に並べ
られた分析ユニットに共通して供給され、また試料は横
方向に並べられた分析ユニットに共通して供給される。
尚、配管ライン46a及び47aは分析ユニット第1並
びに第2の分析ユニット51、52および第3並びに第
4の分析ユニット54、55にそれぞれ接続された廃液
体ラインをまとめたものである。The first and second pipe lines 46, 47 for the two reagents for one measurement are provided in the dispenser array 51 of the first and third analysis units 51, 54.
a and 54a are connected so as to supply the reagent 1 and the reagent 2. Similarly, the third and fourth piping lines 49,
50 is connected to supply the reagent 3 and reagent 4 to the dispenser arrays 52a, 55a of the second and fourth analysis units 52, 55. On the other hand, the first sample injection port 48
The pipe 48a from the first and second dispensing units 5
1 and 52, and similarly, the pipe 53a from the second sample injection port 53 is connected to the third and fourth dispensing units 54,
Connected to 55. As a result, the reagents are commonly supplied to the analysis units arranged in the vertical direction, and the sample is commonly supplied to the analysis units arranged in the horizontal direction.
The piping lines 46a and 47a are a collection of waste liquid lines connected to the analysis unit first and second analysis units 51 and 52 and the third and fourth analysis units 54 and 55, respectively.
【0066】以下に、上記分析装置の動作を図6を参照
して説明する。測定試料1を第1の試料注入口48に、
また測定試料2を第2の試料注入口53にそれぞれ滴下
する。この結果、所定量の測定試料1が第1並びに第2
の分析ユニット51、52内の分注器アレイ51a、5
2aで、測定試料2が第3並びに第4の分析ユニット5
4、55内の分注器アレイ54a、55aで分注され
て、マイクロセンサーアレイ51b及び54b並びに光
学測定ユニット52b及び55bに導入される。続い
て、測定項目1に対応する試薬の第1の配管ライン46
から供給された所定量の試薬1が分析ユニット51、5
4内の分注器アレイ51a、54aで分注されて、マイ
クロセンサーアレイ51b、54bに導入される。同様
に、測定項目1に対応する試薬の第2の配管ライン47
から供給された所定量の試薬2が分析ユニット51、5
4内の分注器アレイ51a、54aで分注されて、マイ
クロセンサーアレイ51b、54bに導入される。これ
らの一連の操作でセンサの校正と測定試料の測定、例え
ばね電気化学的測定が行われ、測定項目1に対する測定
が終了する。The operation of the above analyzer will be described below with reference to FIG. The measurement sample 1 is placed in the first sample injection port 48,
Further, the measurement sample 2 is dropped on each of the second sample injection ports 53. As a result, the predetermined amount of measurement sample 1 is
Array 51a, 5 in the analysis unit 51, 52 of
2a, the measurement sample 2 is the third and fourth analysis units 5
Dispensers are dispensed by the dispenser arrays 54a and 55a in 4, 55 and introduced into the microsensor arrays 51b and 54b and the optical measurement units 52b and 55b. Then, the first piping line 46 of the reagent corresponding to the measurement item 1
A predetermined amount of reagent 1 supplied from the analysis unit 51, 5
It dispenses with the dispenser arrays 51a and 54a in 4 and is introduce | transduced into the microsensor arrays 51b and 54b. Similarly, the second piping line 47 of the reagent corresponding to the measurement item 1
A predetermined amount of reagent 2 supplied from the analysis unit 51, 5
It dispenses with the dispenser arrays 51a and 54a in 4 and is introduce | transduced into the microsensor arrays 51b and 54b. With these series of operations, the calibration of the sensor and the measurement of the measurement sample, for example, the electrochemical measurement are performed, and the measurement for the measurement item 1 is completed.
【0067】測定項目2に対応する試薬の第3の配管ラ
イン49から供給された所定量の試薬3が分析ユニット
52、55内の分注器アレイ52a、55aで分注され
て、光学測定ユニット52b、55bに導入される。同
様に、測定項目2に対応する試薬の第4の配管ライン5
0から供給された所定量の試薬4が分析ユニット52、
55内の分注器アレイ52a、55aで分注され光学測
定ユニット52b、55bに導入される。光学測定ユニ
ット52b、55b内では測定試料1並びに2と、試薬
3および4が混合されインキュベーションの後比色測定
が行われる。A predetermined amount of the reagent 3 supplied from the third piping line 49 of the reagent corresponding to the measurement item 2 is dispensed by the dispenser arrays 52a and 55a in the analysis units 52 and 55, and the optical measurement unit 52b, 55b. Similarly, the fourth piping line 5 of the reagent corresponding to the measurement item 2
A predetermined amount of the reagent 4 supplied from 0 is used as the analysis unit 52,
It is dispensed by the dispenser arrays 52a, 55a in 55 and introduced into the optical measurement units 52b, 55b. The measurement samples 1 and 2 and the reagents 3 and 4 are mixed in the optical measurement units 52b and 55b, and colorimetric measurement is performed after incubation.
【0068】この配管の接続では1つの試料に対し横方
向の分析ユニットにより複数の測定項目が同時に測定で
き、さらにその横方向に並べた一連の分析ユニットを縦
方向に配置することにより、複数の試料の複数の測定項
目を同時に測定することができる。この分析器において
は、縦、横2つずつの4つの分析ユニットで構成した例
を示したが、より多くの分析ユニットを配置した分析ア
レイを構成することも可能である。また、分注器アレイ
とマイクロセンサーアレイまたは光学測定ユニットの組
み合わせもこの限りではなく、必要に応じいろいろな構
成が可能である。In this pipe connection, a plurality of measurement items can be simultaneously measured for one sample by a horizontal analysis unit, and a series of analysis units arranged in the horizontal direction are arranged in the vertical direction to make a plurality of measurement items. Multiple measurement items of a sample can be measured simultaneously. In this analyzer, an example in which four analysis units each having two columns and two columns are formed is shown, but it is also possible to form an analysis array in which more analysis units are arranged. Further, the combination of the dispenser array and the microsensor array or the optical measurement unit is not limited to this, and various configurations are possible as necessary.
【0069】さらに、1枚の基板上に複数配置した分析
アレイをさらに複数枚組み合わせる事により自動分析装
置なみの処理能力を実現する事ができるようになる。図
7に示すようにカード状の分析アレイを59,60,6
1というようにファイル状に収納し、1枚目の分析アレ
イにはそれぞれ試薬の配管ライン56,56a,56
b,56c、試料注入口57、58、及び廃液体ライン
59、60が設けられる。2枚目、3枚目の分析アレイ
にも同様の試薬配管ライン、試薬注入口および廃液体ラ
インが設けられる。この様に分析アレイを複数組み合わ
せることにより自動分析装置なみの処理能力が得られる
ようになる。また分析アレイの組み合わせを簡単に変え
ることができるので、測定項目を限定して測定試料の数
を増やしたり、測定試料の数を限定して測定項目を増や
すなど装置の仕様に合わせた設計も容易になる。Furthermore, by combining a plurality of analysis arrays arranged on a single substrate, it is possible to realize a processing capacity similar to that of an automatic analyzer. As shown in FIG. 7, 59, 60, 6 card-shaped analysis arrays are used.
1 is stored in a file form, and the first analysis array is provided with reagent piping lines 56, 56a, 56, respectively.
b, 56c, sample injection ports 57, 58, and waste liquid lines 59, 60 are provided. The same reagent piping line, reagent injection port, and waste liquid line are provided for the second and third analysis arrays. By combining a plurality of analysis arrays in this way, it is possible to obtain the processing capacity of an automatic analysis apparatus. Since the combination of analysis arrays can be easily changed, it is easy to design according to the specifications of the device, such as limiting the number of measurement items to increase the number of measurement samples or limiting the number of measurement samples to increase the measurement items. become.
【0070】[0070]
【発明の効果】本発明に係わる分注器においては、小型
化が可能であり、また精度良く一定量の液体の分注を行
うことができる。INDUSTRIAL APPLICABILITY The dispenser according to the present invention can be miniaturized and can dispense a fixed amount of liquid with high accuracy.
【図1】本発明の第1の実施例に係わるマイクロ分注器
を概略的に示す図である。FIG. 1 is a diagram schematically showing a micro-dispenser according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明の第2の実施例に係わるマイクロ分注器
を概略的に示す図である。FIG. 2 is a diagram schematically showing a micro dispenser according to a second embodiment of the present invention.
【図3】本発明の第3の実施例に係わるマイクロ分注器
を概略的に示す図である。FIG. 3 is a diagram schematically showing a micro dispenser according to a third embodiment of the present invention.
【図4】本発明の実施例に係わるマイクロ分注器と測定
手段とを組み合わせて構成した測定ユニットを概略的に
示す図である。FIG. 4 is a diagram schematically showing a measuring unit configured by combining a micro-dispenser and a measuring means according to an embodiment of the present invention.
【図5】測定ユニットの他の例を概略的に示す図であ
る。FIG. 5 is a diagram schematically showing another example of the measurement unit.
【図6】本発明の実施例に係わる分注器を複数個組み合
わせて構成された分注器アレイと光学測定ユニットと、
分析ユニットとからなる分析装置を示す図である。FIG. 6 is a dispenser array configured by combining a plurality of dispensers according to an embodiment of the present invention, and an optical measurement unit,
It is a figure which shows the analyzer which consists of an analysis unit.
【図7】図6に示す分析装置の構成の一例を示す斜視図
である。FIG. 7 is a perspective view showing an example of the configuration of the analyzer shown in FIG.
【図8】従来の分注器の一例を概略的に示す図である。FIG. 8 is a diagram schematically showing an example of a conventional dispenser.
4…ノズル、5,8…マイクロバルブ、6…マイクロレ
ギュレータ,7…マイクロ圧力センサ、14…パイプ、
15…マイクロポンプ。4 ... Nozzle, 5, 8 ... Micro valve, 6 ... Micro regulator, 7 ... Micro pressure sensor, 14 ... Pipe,
15 ... Micro pump.
Claims (3)
が流されるパイプと、このパイプを流れる液体の圧力を
測定し、基準の圧力と比較する圧力センサと、この比較
結果に基づいて、液体の流量をフイードバック制御して
一定に保つレギュレータと、流量が一定に保たれた液体
を所定時間、吐出口に流すように開閉可能なバルブとを
具備する分注器。1. A pipe having a discharge port at one end side, through which a liquid to be dispensed flows, a pressure sensor for measuring the pressure of the liquid flowing through the pipe and comparing the pressure with a reference pressure, and based on the comparison result. And a dispenser comprising a regulator that maintains a constant flow rate of the liquid by feedback control, and a valve that can be opened / closed so that the liquid having a constant flow rate flows to a discharge port for a predetermined time.
が流されるパイプと、このパイプを流れる液体の圧力を
測定し、基準の圧力と比較する圧力センサと、この比較
結果に基づいて、液体の流量をフイードバック制御して
一定に保つレギュレータと、流量が一定に保たれた液体
中に気体を導入して、パイプを流れる液体を気体で一定
間隔に分離された一連の液体部分とする気体導入手段
と、この一連の液体部分を吐出口に流すように開閉可能
なバルブと、このバルブの上流側で液体部分の通過をカ
ウントし、所定数の気体部分の通過に応じて前記バルブ
を開閉可能な制御手段とを具備する分注器。2. A pipe having a discharge port at one end thereof, through which a liquid to be dispensed flows, a pressure sensor for measuring the pressure of the liquid flowing through the pipe and comparing the pressure with a reference pressure, and based on the comparison result. , A regulator that keeps the flow rate of the liquid constant by feedback control, and a series of liquid parts where the liquid flowing through the pipe is separated at regular intervals by introducing gas into the liquid whose flow rate is kept constant. Gas introduction means, a valve that can be opened and closed so as to cause the series of liquid portions to flow to the discharge port, the passage of the liquid portion is counted on the upstream side of the valve, and the valve is determined according to the passage of a predetermined number of gas portions. And a control means capable of opening and closing.
が供給される容器を備え、前記上端よりも下方に位置す
る水平部とこの水平部の一端から下方に折曲されこの水
平部と前記上端との間に位置した液体溜め部と前記水平
部の途中から下方に分岐され先端に吐出口を備えた分岐
部とを有するパイプと、前記水平部の他端と分岐部との
間の水平部に設けられ、開閉可能な第1のバルブと、前
記パイプの分岐部に設けられ、開閉可能な第2のバルブ
と、第1のバルブが開成され、第2のバルブが閉成され
ているときに、前記容器を介して供給され、第1のバル
ブまでの水平部の部分と液体溜め部とに溜められた所定
量の液体を、第1のバルブを閉成し、第2のバルブを開
成することにより吐出口に流すポンプとを具備する分注
器。3. A horizontal part, which is provided with a liquid larger than the amount dispensed to the upper end, is positioned below the upper end, and is bent downward from one end of the horizontal part. Of the liquid reservoir portion located between the upper portion and the upper end, and a branch portion branched downward from the middle of the horizontal portion and having a discharge port at the tip, and the other end of the horizontal portion and the branch portion. A first valve provided in a horizontal portion between the first and second valves, which can be opened / closed, a second valve provided in a branch portion of the pipe, which can be opened / closed, and a first valve are opened, and a second valve is closed. When the first valve is closed, a predetermined amount of liquid supplied through the container and stored in the horizontal portion up to the first valve and the liquid reservoir is closed. A dispenser comprising: a pump that opens the valve to flow to a discharge port.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19875095A JPH0943251A (en) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | Dispenser |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH0943251A true JPH0943251A (en) | 1997-02-14 |
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JP19875095A Withdrawn JPH0943251A (en) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | Dispenser |
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Country | Link |
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JP (1) | JPH0943251A (en) |
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