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JPH0942870A - ヒートパイプ式ヒートシンク - Google Patents

ヒートパイプ式ヒートシンク

Info

Publication number
JPH0942870A
JPH0942870A JP7194427A JP19442795A JPH0942870A JP H0942870 A JPH0942870 A JP H0942870A JP 7194427 A JP7194427 A JP 7194427A JP 19442795 A JP19442795 A JP 19442795A JP H0942870 A JPH0942870 A JP H0942870A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat
heat transfer
transfer block
heat pipe
cooling medium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7194427A
Other languages
English (en)
Inventor
Aritaka Tatsumi
有孝 辰巳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Cable Ltd filed Critical Hitachi Cable Ltd
Priority to JP7194427A priority Critical patent/JPH0942870A/ja
Publication of JPH0942870A publication Critical patent/JPH0942870A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28DHEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
    • F28D15/00Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies
    • F28D15/02Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies in which the medium condenses and evaporates, e.g. heat pipes
    • F28D15/0275Arrangements for coupling heat-pipes together or with other structures, e.g. with base blocks; Heat pipe cores

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ヒートパイプ式ヒートシンクにあって、発熱
体が装着される部材の温度分布を均一化することができ
るようにする。 【解決手段】 半導体素子が装着される金属製の伝熱ブ
ロック4は、側面板7a,7b及びブロック本体8a,
8bを主体に構成され、内部には適量の液状の冷却媒体
が封入される。この伝熱ブロック4には、先端部にフィ
ン6が設けられた複数の銅パイプ5の端部が挿入状態で
固定される。伝熱ブロック4内には、テーパならびに濡
れ性を良好にする加工または処理の施された蒸発面10
が設けられ、この蒸発面10の表面を伝って銅パイプ5
からの凝縮液が流下する。この凝縮液が蒸発面10に伝
わり易くなるように、銅パイプ5の近傍の中空部14内
には、ディストリビュータ11が設置される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、発熱体、例えば、
パワートランジスタ、パワーサイリスタ等の半導体素子
にあって、その冷却を行うためのヒートパイプ式ヒート
シンクに関するものである。
【0002】
【従来の技術】パワートランジスタ、パワーサイリス
タ、IC等の半導体素子にあっては、使用時に大電流が
流れるため、素子単体での使用は破壊を免れない。そこ
で、熱伝導性に優れる金属を用いた所定放熱面積のヒー
トシンク(heatsink:放熱器) が装着される。ヒートシ
ンクの形状には、自然冷却形と強制冷却形があり、更に
自然冷却形は放熱フィン式とヒートパイプ式に大別され
る。
【0003】図8は従来のヒートパイプ式ヒートシンク
の一例を示す正面図である。半導体素子の放熱部に接す
るように取り付けられる金属製の伝熱ブロック1には複
数本のヒートパイプ2が挿入され、その露出部分には多
数枚の冷却用フィン3が一定間隔に固定されている。ヒ
ートパイプ2は銅パイプ等が用いられ、内部には冷却用
媒体が封入されている。また、冷却用フィン3は熱伝導
性に優れる銅、アルミ等を板状に加工して作られてい
る。
【0004】半導体素子が発熱すると、その熱は伝熱ブ
ロック1に伝熱され、更にヒートパイプ2に伝達され、
冷却用フィン3の各々から放熱され、半導体素子が或る
温度以上になるのを防止する。この種のヒートシンク
は、曲げ加工等が容易なヒートパイプ2を伝熱の中間的
な媒体に用いているため、冷却用フィン3を半導体素子
から離れた場所に設置することもでき、部品配置の自由
度が高いという利点がある。
【0005】なお、この種のヒートシンクに関しては、
特開昭55−137598号公報(中空の放熱板を形成
し、この下部に液溜室を形成し、内部に冷媒液を封入す
る)、特開昭55−100292号公報(ヒートパイプ
に大小のフィンが設けられた放熱ブロックを2つ用意
し、この2つの放熱ブロックで機器を挟持する)、特開
昭55−100293号公報(熱伝導性の良いブロック
部材にヒートパイプの封止端を挿入して接合し、ブロッ
ク部材より突出する部分にフィンを装着し、更にヒート
パイプの封止部をブロック部材側から突出させる)等が
ある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
技術にあっては、被冷却媒体である発熱素子の大きさと
伝熱ブロックの大きさが同等であるときには殆ど問題に
ならないが、複数の半導体素子の冷却を行った場合、ブ
ロック自体の温度分布(1つの面内の最高温度と最低温
度の差)が許容限度を越えて大きくなることがあり、安
定した冷却が得られない場合がある。
【0007】本発明の目的は、上記した従来技術の実情
に鑑みてなされたもので、発熱体が装着される部材の温
度分布を均一化することが可能なヒートパイプ式ヒート
シンクを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明は、少なくとも1本のヒートパイプと、
前記ヒートパイプに設けられたフィン等の放熱手段と、
前記ヒートパイプの端部が挿入固定され、封入された冷
却媒体を落下させることなく流下させるテーパ内壁が内
面に設けられた中空部を有する金属製の素子装着ブロッ
クと、前記中空部内において前記ヒートパイプの端部が
挿入固定される位置の下方に設けられ、前記ヒートパイ
プからの前記冷却媒体を前記テーパ内壁に均等に供給す
る液分散手段とを備えた構成にしている。
【0009】そして、前記テーパ内壁は、前記冷却媒体
に対して良好な濡れ性を示す加工又は処理が施された構
成にすることができる。によっても達成される。上記し
た手段によれば、発熱体による熱は伝熱ブロック自体に
伝熱され、更に伝熱ブロック内の冷却媒体に及び該冷却
媒体を蒸発させる。この蒸発体はヒートパイプに進入し
た後フィン等の放熱手段によって冷却され、この冷却に
より冷却媒体は凝縮し、ヒートパイプを伝って流下した
後、伝熱ブロック内の中空部に流入する。中空部内に設
けられた液分散手段は、ヒートパイプからの液体を中空
部内のテーパ内壁方向に流れさせ、内壁面に強制的に接
触させる。テーパ内壁に流れる液体は、次々と新しいも
のに入れ代わりながら、内壁面を平均に濡らしながら流
下し、内壁面の温度差を吸収する様に機能する。この結
果、伝熱ブロックの温度分布を均一化することができ、
伝熱ブロックに複数の半導体素子を取り付けた場合で
も、放熱に偏りを生じさせることがない。
【0010】中空部内の発熱体装着面のテーパ内壁に濡
れ性を示す加工又は処理、例えば、平行溝を設けた加工
や酸化皮膜等を施す処理によって、内壁面に付着した液
体は濡れ面積を拡大するように拡散し、温度分布を小さ
くする。これにより、伝熱ブロックの更なる温度分布の
均一化が図られる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に基
づいて説明する。 〔実施例1〕図1は本発明によるヒートパイプ式ヒート
シンクの一実施例を示す分解斜視図である。また、図2
は図1の実施例の組立て後の状態を示す斜視図である。
【0012】半導体素子の放熱部が装着される伝熱ブロ
ック4は内部が中空にされ、表面は平坦に加工されてい
る。この伝熱ブロック4は銅等の金属を用いて作られ、
その側壁には、先端が閉塞されると共に90°よりやや
大きい角度に曲げ加工の施された複数本の銅パイプ5
(ヒートパイプ)の各々がろう付けされている。更に、
銅パイプ5の各々の他端には、薄板状のフィン6(放熱
手段)が一定間隔かつ各銅パイプ5に跨がるように取り
付けられている。
【0013】図1に示すように、伝熱ブロック4は、銅
材による2枚の板状の側面板7a,7bと、この側面板
7a,7bが両側に配設して箱型に組み合わされる銅製
のブロック本体8a,8bとを主体に構成されている。
ブロック本体8a,8bの上面には、銅パイプ5を挿入
するための半円形の孔9が形成されている。ブロック本
体8a,8bを対向配置して密着させ、この両側に側面
板7a,7bを配置し、相互の接合面をろう付けするこ
とにより、内部が中空の伝熱ブロック4を得ることがで
きる。
【0014】図3に示すように、ブロック本体8a,8
bの内壁にはテーパが設けられ、孔9側に向かって開口
断面積が広くなるような中空部14が形成されている。
このテーパ面には、後記する作動液の濡れ性を良くする
ため、平行溝(水平方向の)やポーラスな酸化皮膜等を
設けることが望ましい。伝熱ブロック4内の孔9の近傍
には、孔9に対向させてV字形の断面形状を有する液分
散手段としてのディストリビュータ11が配設されてい
る。ディストリビュータ11は図4に示すように、複数
箇所(銅パイプ5の開口部分に対向する位置は避ける)
に流通口12(打ち抜き等による貫通穴)が設けられて
いる。また、両側端には一定間隔に半円形の小径の切り
欠き13が設けられている。更に、図3に示すように、
中空部14の狭幅部の端部には1本のフィルチューブ1
5(後記する冷却媒体の封入後に下端部が封止される)
が挿入され、中空部14に連通している。また、中空部
14は銅パイプ5にも連通している。
【0015】また、中空部14内には、フィルチューブ
15を介して冷却媒体として機能する冷却媒体が封入さ
れている。この冷却媒体には、例えば、パーフロロカー
ボンの一種を用いることができる。この他、水を用いる
ことも可能である。その循環量は、例えば、排出すべき
熱量が1000( cal/h) の場合、冷却媒体の蒸発潜熱
は20( cal/kg) 、比重量が1.7 ( g/cc)であるの
で、液の循環量は約8.2(cc/s)になる。この循環量
は、中空部14内の蒸発面10(テーパ内壁)を比較的
容易に濡らすことが可能である。また、冷却媒体を水に
した場合、その循環量は約0.5(cc/s)になる。
【0016】上記の構成において、本発明によるヒート
シンクは、図2に示すような姿勢状態(銅パイプ5及び
フィン6が上方に位置し、伝熱ブロック4が直立した状
態)で用いられ、通電に伴って半導体素子が動作する
と、その放熱部は徐々に加熱され、その熱は伝熱ブロッ
ク4に伝達される。伝熱ブロック4の熱は中空部14内
の冷却媒体を加熱させ、蒸気を生成させる。この蒸気は
ディストリビュータ11を経由して銅パイプ5に進入
し、更にフィン6の装着部へ進入する。この部分で蒸気
は冷却され、銅パイプ5内で凝縮する。この凝縮による
凝縮液は、銅パイプ5が角度をもって曲げられているた
め、銅パイプ5内を落下し、銅パイプ5の下端からディ
ストリビュータ11の上面へ落下し、ディストリビュー
タ11の両側端へ略均等に振り分けられ、更に、切り欠
き13を通して中空部14の両側の蒸発面10へ流れ落
ちる。蒸発面10の全面は、液濡れ性について配慮した
加工が成されているため、凝縮液は蒸発面10の全面に
展開しながら落下し、最終的には中空部14内の下端部
に溜まり、液溜まり16が形成される。この液溜まり1
6の作動液は、再び加熱され、蒸気となって上昇し、上
記した動作が繰り返され、冷却媒体が中空部14及び銅
パイプ5を通し、液→蒸気→液→蒸気・・・の変化をし
ながら循環する。
【0017】以上のように、本発明は水冷式のヒートシ
ンクを形成しており、蒸発と凝縮の繰り返しによりヒー
トシンクの冷却が行われる。伝熱ブロック4に戻される
媒体は、ディストリビュータ11によって蒸発面10に
均等に接するように振り分けられ、蒸発面10の全面を
濡らすように流れる結果、伝熱ブロック4の温度分布を
均一にすることができる。したがって、伝熱ブロック4
に複数の半導体素子を取り付けた場合でも、放熱に偏り
を生じることがない。
【0018】〔実施例2〕図5は本発明の他の実施例を
示す断面図である。なお、上記実施例と同一部材である
ものについては同一引用数字を用いたので、重複する説
明は省略する。上記実施例においては、伝熱ブロック4
の中空部14の肉厚がテーパに応じて不均一になり、外
形の厚みが一定であるようにしたのに対し、本実施例は
中空部14の肉厚を均一にし、外形の厚みが不同になる
ようにしている。この構成によれば、伝熱ブロック4の
重量軽減が可能になる。
【0019】図6及び図7は、ディストリビュータの他
の例を示す平面図及びA−A断面図を示している。図7
に示すように、ディストリビュータ11を平板状(前記
実施例においてはV字形断面)にしている。また、流通
口12の各々は、単に打ち抜き加工するのではなく、そ
の周縁を膨出させて肉盛部16を形成している。このよ
うな構成によって、冷却媒体が蒸発面10に対して均等
に流下させることができる。
【0020】なお、上記した実施例は伝熱ブロック4の
両面に半導体素子を装着することを想定した構造をとっ
ているが、本発明はこれに限定されるものではなく、片
面専用にすることも可能である。この場合、蒸発面10
は1面のみでよい。また、上記実施例においては、銅パ
イプ5にフィン6を装着する構成を示したが、フィンに
代えて水冷ジャケットを装着する構成であってもよい。
【0021】
【発明の効果】以上説明した通り、この発明は、放熱手
段が装着又は介在させたヒートパイプの一端が中空構造
の金属製の伝熱ブロックに連通し、且つ挿入固定され、
中空部内に冷却媒体を封入し、中空部内にヒートパイプ
からの液体を前記テーパ内壁に均等に供給する液分散手
段を備える構成にしたので、伝熱ブロックの温度分布を
均一化することができ、伝熱ブロックに複数の半導体素
子を取り付けた場合でも、放熱に偏りを生じるさせるこ
とがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のヒートパイプ式ヒートシンクの一実施
例を示す分解斜視図である。
【図2】図1の実施例の組立て後の状態を示す斜視図で
ある。
【図3】本発明に係る伝熱ブロック部の詳細を示す断面
図である。
【図4】本発明に係るディストリビュータの詳細構成を
示す平面図である。
【図5】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【図6】ディストリビュータの他の構成例を示す平面図
である。
【図7】図6のディストリビュータのA−A断面図であ
る。
【図8】従来のヒートパイプ式ヒートシンクの一例を示
す正面図である。
【符号の説明】
4 伝熱ブロック 5 銅パイプ(ヒートパイプ) 6 フィン 7a,7b 側面板 8a,8b ブロック本体 9 孔 10 蒸発面 11 ディストリビュータ 12 流通口 13 切り欠き 14 中空部

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも1本のヒートパイプと、 前記ヒートパイプに設けられたフィン等の放熱手段と、 前記ヒートパイプの端部が挿入固定され、封入された冷
    却媒体を落下させることなく流下させるテーパ内壁が内
    面に設けられた中空部を有する金属製の素子装着ブロッ
    クと、 前記中空部内において前記ヒートパイプの端部が挿入固
    定される位置の下方に設けられ、前記ヒートパイプから
    の前記冷却媒体を前記テーパ内壁に均等に供給する液分
    散手段とを具備することを特徴とするヒートパイプ式ヒ
    ートシンク。
  2. 【請求項2】 前記テーパ内壁は、前記冷却媒体に対し
    て良好な濡れ性を示す加工又は処理が施されていること
    を特徴とする請求項1記載のヒートパイプ式ヒートシン
    ク。
JP7194427A 1995-07-31 1995-07-31 ヒートパイプ式ヒートシンク Pending JPH0942870A (ja)

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Cited By (6)

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