JPH09320949A - Vacuum dryer - Google Patents
Vacuum dryerInfo
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- JPH09320949A JPH09320949A JP15597596A JP15597596A JPH09320949A JP H09320949 A JPH09320949 A JP H09320949A JP 15597596 A JP15597596 A JP 15597596A JP 15597596 A JP15597596 A JP 15597596A JP H09320949 A JPH09320949 A JP H09320949A
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- vacuum
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、真空乾燥装置に係
り、特に乾燥に要する時間の短縮が可能で、かつ、被乾
燥体の乾燥面が良好な真空乾燥装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum drying apparatus, and more particularly to a vacuum drying apparatus capable of shortening the time required for drying and having a good drying surface of a material to be dried.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば、ＬＣＤ用カラーフィルタでは、
ガラス基板にレジスト液等の塗布液を塗布して乾燥し、
フォトリソグラフィー等により所望のパターンの形成が
行われる。塗布液の塗布方式としては、例えば、スピン
塗布方式、ナイフ塗布方式、ロール塗布方式およびビー
ド塗布方式等の種々の塗布方式が用いられている。この
ような何れの塗布方式で塗布した場合でも、パターン形
成工程の前に塗布膜の乾燥工程を経る必要がある。従
来、塗布液が塗布されたガラス基板等の被乾燥体は、オ
ーブンあるいはホットプレートにおいて加熱乾燥がなさ
れていた。2. Description of the Related Art For example, in a color filter for LCD,
A coating liquid such as a resist liquid is applied to a glass substrate and dried,
A desired pattern is formed by photolithography or the like. Various coating methods such as a spin coating method, a knife coating method, a roll coating method, and a bead coating method are used as a coating liquid coating method. Regardless of the application method using any of these application methods, it is necessary to go through a drying step of the coating film before the pattern forming step. Conventionally, a material to be dried such as a glass substrate coated with a coating liquid has been dried by heating in an oven or a hot plate.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の加熱に
よる方法は乾燥に要する時間が長く、この結果、上述の
ようなＬＣＤ用カラーフィルタの製造工程では、ガラス
基板の塗布膜の乾燥工程が全工程の律速段階となってい
た。そこで、近年、この乾燥工程の時間短縮を可能とす
るものとして真空乾燥装置が使用されている。これは、
塗布膜が形成されたガラス基板を真空状態に置き、溶剤
の蒸発速度を飛躍的に高めたものである。However, the above heating method takes a long time to dry, and as a result, in the manufacturing process of the color filter for LCD as described above, all the steps of drying the coating film on the glass substrate are performed. It was the rate-determining step of the process. Therefore, in recent years, a vacuum drying device has been used as a device capable of shortening the time of this drying process. this is,
The glass substrate on which the coating film is formed is placed in a vacuum state to dramatically increase the evaporation rate of the solvent.
【０００４】しかしながら、真空乾燥装置を使用するこ
とによっても、乾燥工程が全工程の律速段階であること
は変わらず、乾燥工程の更なる時間短縮が重要な課題と
なっている。また、ＬＣＤ用カラーフィルタの製造工程
では、単に乾燥時間の短縮が必要であるだけではなく、
ガラス基板上の乾燥された塗布膜の表面が平滑であるこ
とが要求されている。However, even if a vacuum drying apparatus is used, the drying process remains the rate-determining step of all processes, and further shortening of the drying process is an important issue. Further, in the manufacturing process of the LCD color filter, it is not only necessary to shorten the drying time,
The surface of the dried coating film on the glass substrate is required to be smooth.
【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであり、被乾燥体の乾燥時間の短縮が可能で、か
つ、乾燥後の被乾燥体の表面状態が極めて良好である真
空乾燥装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is possible to shorten the drying time of an object to be dried, and the surface condition of the object to be dried after drying is vacuum drying. The purpose is to provide a device.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は底部に排気口を有する真空チャンバーと、
該真空チャンバー内において前記排気口の上方に配設さ
れた中板と、該中板上に設けられた載置用凸部とを少な
くとも備え、前記載置用凸部上に載置される被乾燥体と
前記真空チャンバーの内側上壁部との距離が調整可能で
あるような構成とした。In order to achieve the above object, the present invention provides a vacuum chamber having an exhaust port at the bottom,
At least an intermediate plate disposed above the exhaust port in the vacuum chamber, and a mounting projection provided on the intermediate plate, the object being mounted on the mounting projection. The distance between the dried body and the inner wall of the vacuum chamber is adjustable.
【０００７】また、本発明の真空乾燥装置は、前記中板
を前記真空チャンバーの底部に対して上下動させること
により、前記載置用凸部上に載置される被乾燥体と前記
真空チャンバーの内側上壁部との距離が調整可能である
ような構成とした。Further, in the vacuum drying apparatus of the present invention, the intermediate plate is moved up and down with respect to the bottom portion of the vacuum chamber, so that the object to be dried placed on the placement convex portion and the vacuum chamber. The configuration is such that the distance to the inner upper wall portion of can be adjusted.
【０００８】また、本発明の真空乾燥装置は、前記載置
用凸部の高さを変更することにより、前記載置用凸部上
に載置される被乾燥体と前記真空チャンバーの内側上壁
部との距離が調整可能であるような構成とした。In the vacuum drying apparatus of the present invention, by changing the height of the mounting projection, the object to be dried placed on the mounting projection and the inner side of the vacuum chamber. The configuration is such that the distance to the wall can be adjusted.
【０００９】また、本発明の真空乾燥装置は、前記真空
チャンバーの側壁部にスペーサを着脱することにより、
前記載置用凸部上に載置される被乾燥体と前記真空チャ
ンバーの内側上壁部との距離が調整可能であるような構
成とした。In the vacuum drying apparatus of the present invention, a spacer is attached to and detached from the side wall of the vacuum chamber,
The distance between the object to be dried placed on the placement convex portion and the inner upper wall portion of the vacuum chamber is adjustable.
【００１０】さらに、本発明の真空乾燥装置は、前記真
空チャンバーの内側上壁部の下方に天板の配設が可能で
あり、該天板を配設することにより、実質的に前記載置
用凸部上に載置される被乾燥体と前記真空チャンバーの
内側上壁部との距離が調整可能であるような構成とし
た。Further, in the vacuum drying apparatus of the present invention, the top plate can be arranged below the inner upper wall portion of the vacuum chamber, and by disposing the top plate, the above-mentioned installation substantially can be achieved. The distance between the object to be dried placed on the projecting convex portion and the inner upper wall portion of the vacuum chamber is adjustable.
【００１１】上述のような本発明では、被乾燥体に応じ
て被乾燥体と真空チャンバーの内側上壁部との距離を調
整することにより、載置用凸部上に載置される被乾燥体
から中板上面を通り、中板と真空チャンバー底部との間
を経由して排気口に至る排気経路が被乾燥体に応じた最
適なものとすることができる。In the present invention as described above, the distance between the object to be dried and the inner upper wall portion of the vacuum chamber is adjusted according to the object to be dried, so that the object to be dried placed on the mounting convex portion is dried. The exhaust path from the body to the exhaust port via the upper surface of the intermediate plate and the space between the intermediate plate and the bottom of the vacuum chamber can be optimized according to the object to be dried.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明を行う。Embodiments of the present invention will be described below.
【００１３】図１は本発明の真空乾燥装置の一実施形態
を示す概略構成図である。図１において、本発明の真空
乾燥装置１は、真空チャンバー２と、この真空チャンバ
ー２の底部２Ａに配設された中板５と、この中板５上に
設けられた複数の載置用凸部７とを備え、真空チャンバ
ー２の底部２Ａには排気口３が形成されている。FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of a vacuum drying apparatus of the present invention. In FIG. 1, a vacuum drying apparatus 1 of the present invention comprises a vacuum chamber 2, an intermediate plate 5 arranged on a bottom portion 2A of the vacuum chamber 2, and a plurality of mounting projections provided on the intermediate plate 5. And an exhaust port 3 is formed in the bottom portion 2A of the vacuum chamber 2.
【００１４】真空乾燥装置１を構成する真空チャンバー
２は、公知の種々の真空チャンバーを使用することがで
き、内部容積、内部形状等は適宜設定することができ
る。図示例では、真空チャンバー２は底部２Ａ、上壁部
２Ｂ、側壁部２Ｃを備え、縦断面形状が長方形をなして
いる。また、真空チャンバーの底部２Ａに設けられる排
気口３は、図示されていない真空ポンプに接続され、こ
の排気口３を介して真空チャンバー２内の気体が外部に
排出され、真空チャンバー２内を所定の真空状態とする
ことができる。この排気口３は、図示例では真空チャン
バー２の低部２Ａの中央に１個形成されているが、複数
の排気口３（例えば、４個）を底部２Ａに形成してもよ
い。尚、この場合、排気口３は、いずれも中板５の下方
の位置に形成することが好ましい。As the vacuum chamber 2 constituting the vacuum drying apparatus 1, various known vacuum chambers can be used, and the internal volume, internal shape, etc. can be set appropriately. In the illustrated example, the vacuum chamber 2 includes a bottom portion 2A, an upper wall portion 2B, and a side wall portion 2C, and has a rectangular vertical cross section. Further, the exhaust port 3 provided in the bottom portion 2A of the vacuum chamber is connected to a vacuum pump (not shown), the gas in the vacuum chamber 2 is exhausted to the outside through the exhaust port 3, and the inside of the vacuum chamber 2 is predetermined. Can be in a vacuum state. Although one exhaust port 3 is formed in the center of the lower portion 2A of the vacuum chamber 2 in the illustrated example, a plurality of exhaust ports 3 (for example, four) may be formed in the bottom portion 2A. In this case, it is preferable that each of the exhaust ports 3 is formed below the intermediate plate 5.
【００１５】真空乾燥装置１を構成する中板５は、排気
口３の上方に位置するように脚部５Ａを介して真空チャ
ンバー２の底部２Ａに配設されている。この中板５は、
アルミニウム、ＳＵＳ、鉄、銅、樹脂等の材料により形
成されたものを使用することができ、中板５の面積は、
真空チャンバー２の底部２Ａの面積の７０〜９９％の範
囲とすることが好ましい。また、中板５の周辺部と真空
チャンバー２の側壁部２Ｃとの距離は、できるだけ均一
となるように中板５を配設することが好ましく、中板５
の周辺部と真空チャンバー２の側壁部２Ｃとの距離を
０．５ｃｍ以上に設定することが好ましい。The intermediate plate 5 constituting the vacuum drying device 1 is arranged at the bottom 2A of the vacuum chamber 2 via the legs 5A so as to be located above the exhaust port 3. This middle plate 5 is
A material formed of a material such as aluminum, SUS, iron, copper, or resin can be used, and the area of the intermediate plate 5 is
It is preferable that the area is 70 to 99% of the area of the bottom portion 2A of the vacuum chamber 2. Further, it is preferable to dispose the middle plate 5 so that the distance between the peripheral portion of the middle plate 5 and the side wall portion 2C of the vacuum chamber 2 is as uniform as possible.
It is preferable to set the distance between the peripheral portion and the side wall portion 2C of the vacuum chamber 2 to 0.5 cm or more.
【００１６】本実施形態では、中板５は脚部５Ａによっ
て上下動可能とされている。脚部５Ａの構造は特に制限
はなく、手動あるいはモータ駆動等により高さを調整で
きるものであればよい。また、脚部５Ａが着脱可能であ
り、所望の高さの脚部５Ａを介して中板５を配設するよ
うにしてもよい。このような脚部５Ａの高さ調整の可能
な範囲は、例えば、３〜５０ｍｍ程度とすることができ
る。In this embodiment, the middle plate 5 is vertically movable by the leg portions 5A. The structure of the leg portion 5A is not particularly limited as long as the height can be adjusted manually or by driving a motor. Further, the leg portion 5A may be detachable, and the intermediate plate 5 may be arranged via the leg portion 5A having a desired height. The range in which the height of the leg 5A can be adjusted can be, for example, about 3 to 50 mm.
【００１７】中板５上に設けられた載置用凸部７は、被
乾燥体Ｓを中板５表面から所望の距離に浮かして保持す
るためのものであり、円錐形状、円柱形状、角柱形状等
任意の形状のものとすることができる。この載置用凸部
７の形成個数、形成位置は特に制限はなく、また、載置
用凸部７の高さは、０．５〜１０ｍｍ程度の範囲で設定
することができる。載置用凸部７は、中板５との摩擦等
により被乾燥体Ｓに傷を与えないような材料を選定して
形成されたものを使用でき、中板５の表面に固定して配
設することができる。The mounting projections 7 provided on the intermediate plate 5 are for holding the object S to be dried by floating it at a desired distance from the surface of the intermediate plate 5, and have a conical shape, a cylindrical shape, or a prismatic shape. It can be of any shape such as a shape. There are no particular restrictions on the number of forming the mounting projections 7 and the forming positions thereof, and the height of the mounting projections 7 can be set within a range of about 0.5 to 10 mm. The mounting convex portion 7 may be formed by selecting a material that does not damage the object S to be dried by friction with the intermediate plate 5 or the like, and is fixed to the surface of the intermediate plate 5 and arranged. Can be installed.
【００１８】このような真空乾燥装置１は、載置用凸部
７上に被乾燥体Ｓを載置したときの被乾燥体Ｓと真空チ
ャンバー２の内側上壁部２Ｂとの距離Ｈが調整可能であ
る。すなわち、例えば、図１に示される脚部５Ａ（高さ
ｈ）を、図２に示されるように高く（高さｈ´）するこ
とにより中板５を真空チャンバー２の底部２Ａに対して
上昇させ、被乾燥体Ｓと真空チャンバー２の内側上壁部
２Ｂとの距離をＨ´（Ｈ＞Ｈ´）とすることができる。
したがって、被乾燥体Ｓに応じて、載置用凸部７上に載
置される被乾燥体Ｓから中板５の表面を通り、中板５と
真空チャンバー２の底部２Ａとの間を経由して排気口３
に至る排気経路（図１、図２に矢印で示される経路）
を、乾燥に最も適したものとすることができる。これに
より、被乾燥体の突沸を防止して表面状態を荒らすこと
なく乾燥時間を短縮することが可能となり、被乾燥体の
乾燥後の表面状態も極めて良好なものとなる。In such a vacuum drying apparatus 1, the distance H between the object S to be dried and the inner upper wall 2B of the vacuum chamber 2 is adjusted when the object S to be dried is placed on the mounting projection 7. It is possible. That is, for example, the leg 5A (height h) shown in FIG. 1 is raised (height h ′) as shown in FIG. 2 to raise the middle plate 5 with respect to the bottom 2A of the vacuum chamber 2. Then, the distance between the object to be dried S and the inner upper wall portion 2B of the vacuum chamber 2 can be set to H ′ (H> H ′).
Therefore, depending on the object to be dried S, the object to be dried S placed on the mounting projection 7 passes through the surface of the intermediate plate 5 and passes between the intermediate plate 5 and the bottom portion 2A of the vacuum chamber 2. And exhaust port 3
Exhaust path leading to (the path indicated by the arrow in FIGS. 1 and 2)
Can be most suitable for drying. This makes it possible to prevent bumping of the material to be dried and shorten the drying time without roughening the surface condition, and the surface condition of the material to be dried after drying becomes extremely good.
【００１９】図３は本発明の真空乾燥装置の他の実施形
態を示す概略構成図である。図３において、本発明の真
空乾燥装置１１は、真空チャンバー１２と、この真空チ
ャンバー１２の底部１２Ａに脚部１５Ａを介して配設さ
れた中板１５と、この中板１５上に設けられた複数の載
置用凸部１７とを備え、真空チャンバー１２の底部１２
Ａには排気口１３が形成されている。FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the vacuum drying apparatus of the present invention. In FIG. 3, the vacuum drying device 11 of the present invention is provided on a vacuum chamber 12, an intermediate plate 15 provided on a bottom portion 12A of the vacuum chamber 12 via legs 15A, and on the intermediate plate 15. A plurality of mounting projections 17, and a bottom 12 of the vacuum chamber 12.
An exhaust port 13 is formed at A.
【００２０】この真空乾燥装置１１では、中板１５上に
設けられた複数の載置用凸部１７が、その高さを調整で
きることを特徴とする。載置用凸部１７は、載置用凸部
７と同様に被乾燥体Ｓを中板１５表面から所望の距離に
浮かして保持するためのものであり、手動あるいはモー
タ駆動により長さを調整できるものであればよい。ま
た、載置用凸部１７が中板１５に着脱可能であり、所望
の高さの載置用凸部１７を中板１５に装着できるように
してもよい。このような載置用凸部１７の高さ調整の可
能な範囲は、例えば、０．５〜１０ｍｍ程度とすること
ができる。上記の載置用凸１７の形状には特に制限はな
く、また、載置用凸部１７の形成個数、形成位置は、被
乾燥体Ｓを安定して保持できる範囲で任意に設定でき
る。The vacuum drying device 11 is characterized in that the height of the plurality of mounting projections 17 provided on the intermediate plate 15 can be adjusted. The mounting projection 17 is for holding the material S to be dried by floating it at a desired distance from the surface of the intermediate plate 15 like the mounting projection 7, and the length is adjusted manually or by driving a motor. Anything can be used. Further, the mounting projection 17 may be attachable to and detachable from the middle plate 15, and the mounting projection 17 having a desired height may be attached to the middle plate 15. The range in which the height of the mounting projection 17 can be adjusted can be set to, for example, about 0.5 to 10 mm. The shape of the mounting projection 17 is not particularly limited, and the number and position of the mounting projections 17 to be formed can be arbitrarily set within a range in which the dried object S can be stably held.
【００２１】尚、上述の真空乾燥装置１１を構成する真
空チャンバー１２、中板１５は、上述の真空乾燥装置１
を構成する真空チャンバー２、中板５と同様にすること
ができるので、ここでの説明は省略する。また、脚部１
５Ａは、中板１５の下面に固着された高さ固定式のもの
でもよく、あるいは、上述の実施形態における脚部５Ａ
と同様に高さの調整が可能なものでもよい。The vacuum chamber 12 and the intermediate plate 15 constituting the above-mentioned vacuum drying device 11 are the same as the vacuum drying device 1 described above.
Since it can be the same as the vacuum chamber 2 and the intermediate plate 5 constituting the above, the description thereof is omitted here. Also, leg 1
5A may be a fixed height type fixed to the lower surface of the intermediate plate 15, or the leg portion 5A in the above embodiment.
The height may be adjustable in the same manner as.
【００２２】このような真空乾燥装置１１は、載置用凸
部１７上に被乾燥体Ｓを載置したときの被乾燥体Ｓと真
空チャンバー１２の内側上壁部１２Ｂとの距離Ｈが調整
可能である。すなわち、例えば、図３に示される載置用
凸部１７（高さｈ）を、図４に示されるように高く（高
さｈ´）することにより被乾燥体Ｓと真空チャンバー１
２の内側上壁部１２Ｂとの距離をＨ´（Ｈ＞Ｈ´）とす
ることができる。したがって、被乾燥体Ｓに応じて、載
置用凸部１７上に載置される被乾燥体Ｓから中板１５の
表面を通り、中板１５と真空チャンバー１２の底部１２
Ａとの間を経由して排気口１３に至る排気経路（図３、
図４に矢印で示される経路）を、乾燥に最も適したもの
とすることができる。これにより、被乾燥体の突沸を防
止して表面状態を荒らすことなく乾燥時間を短縮するこ
とが可能となり、被乾燥体の乾燥後の表面状態も極めて
良好なものとなる。尚、上述のように、脚部１５Ａを上
述の実施形態における脚部５Ａと同様に高さの調整が可
能なものとし、載置用凸部１７の高さ調整と脚部１５Ａ
の高さ調整を併用して、被乾燥体Ｓと真空チャンバー１
２の内側上壁部１２Ｂとの距離Ｈの調整を行ってもよ
い。In such a vacuum drying device 11, the distance H between the object to be dried S and the inner upper wall portion 12B of the vacuum chamber 12 when the object to be dried S is placed on the placing convex portion 17 is adjusted. It is possible. That is, for example, the placement projection 17 (height h) shown in FIG. 3 is made higher (height h ′) as shown in FIG.
The distance from the second inner upper wall portion 12B can be H '(H>H'). Therefore, depending on the body S to be dried, the body S to be dried placed on the mounting convex portion 17 passes through the surface of the middle plate 15, and the middle plate 15 and the bottom portion 12 of the vacuum chamber 12.
Exhaust path reaching the exhaust port 13 via the space between A (see FIG. 3,
The path indicated by the arrow in FIG. 4) may be the most suitable for drying. This makes it possible to prevent bumping of the material to be dried and shorten the drying time without roughening the surface condition, and the surface condition of the material to be dried after drying becomes extremely good. As described above, the height of the leg portion 15A can be adjusted in the same manner as the leg portion 5A in the above-described embodiment, and the height of the mounting projection 17 and the leg portion 15A can be adjusted.
And the vacuum chamber 1 by using the height adjustment of
The distance H between the second upper inner wall portion 12B and the second upper wall portion 12B may be adjusted.
【００２３】図５は本発明の真空乾燥装置の他の実施形
態を示す概略構成図である。図５において、本発明の真
空乾燥装置２１は、真空チャンバー２２と、この真空チ
ャンバー２２の底部２２Ａに脚部２５Ａを介して配設さ
れた中板２５と、この中板２５上に設けられた複数の載
置用凸部２７とを備え、真空チャンバー２２の底部２２
Ａには排気口２３が形成されている。FIG. 5 is a schematic diagram showing another embodiment of the vacuum drying apparatus of the present invention. In FIG. 5, the vacuum drying device 21 of the present invention is provided on a vacuum chamber 22, an intermediate plate 25 provided on a bottom portion 22A of the vacuum chamber 22 via legs 25A, and on the intermediate plate 25. A plurality of mounting protrusions 27 and a bottom portion 22 of the vacuum chamber 22.
An exhaust port 23 is formed at A.
【００２４】この真空乾燥装置２１では、真空チャンバ
ー２２は底部２２Ａ、上壁部２２Ｂ、側壁部２２Ｃを備
え、側壁部２２Ｃはスペーサ２９が着脱可能であり、所
望のスペーサ２９を装着することにより側壁部２２Ｃの
高さを調整できることを特徴とする。図示例では、スペ
ーサ２９は側壁部２２Ｃが上壁部２２Ｂと当接する位
置、すなわち、側壁部２２Ｃの最上部おいて側壁部２２
Ｃに装着されているが、スペーサ２９の側壁部２２Ｃへ
の着脱可能位置はこれに限定されるものではない。スペ
ーサ２９の高さｈは任意に設定することができ、被乾燥
体の種類に応じて多種の高さのスペーサを予め準備する
ことができる。このスペーサ２９の構造は、側壁部２２
Ｃの平面形状に対応した形状を備え、側壁部２２Ｃに装
着した際に、真空チャンバー２２内を気密状態にできる
ものであれば、特に制限はない。具体的には、アルミニ
ウム、ＳＵＳ、鉄、銅等の金属、または、樹脂等を用い
て側壁部２２Ｃの平面形状に対応した形状のスペーサ２
９を作製し、さらに、真空チャンバー２２内を気密状態
とするために、このスペーサ２９の上面および下面にＯ
リングを装着し、あるいは、ゴムシートを貼着する等の
構成にすることができる。In this vacuum dryer 21, the vacuum chamber 22 has a bottom portion 22A, an upper wall portion 22B and a side wall portion 22C, and a spacer 29 can be attached to and detached from the side wall portion 22C. The feature is that the height of the portion 22C can be adjusted. In the illustrated example, in the spacer 29, the side wall portion 22C is located at a position where the side wall portion 22C abuts on the upper wall portion 22B, that is, at the uppermost portion of the side wall portion 22C.
Although it is attached to C, the position at which the spacer 29 can be attached to and detached from the side wall portion 22C is not limited to this. The height h of the spacer 29 can be set arbitrarily, and spacers having various heights can be prepared in advance according to the type of the material to be dried. The structure of this spacer 29 is
There is no particular limitation as long as it has a shape corresponding to the planar shape of C and can make the inside of the vacuum chamber 22 airtight when attached to the side wall portion 22C. Specifically, a spacer 2 having a shape corresponding to the planar shape of the side wall portion 22C is made of a metal such as aluminum, SUS, iron, or copper, or a resin or the like.
9 is manufactured, and in order to make the inside of the vacuum chamber 22 airtight, O is formed on the upper surface and the lower surface of the spacer 29.
A ring may be attached or a rubber sheet may be attached.
【００２５】このような真空チャンバー２２は、上記の
スペーサ２９の着脱可能な機構を除いて、公知の種々の
真空チャンバーを使用することができ、内部容積、内部
形状等は適宜設定することができる。また、真空チャン
バーの底部２２Ａに設けられる排気口２３は、図示され
ていない真空ポンプに接続され、この排気口２３を介し
て真空チャンバー２２内の気体が外部に排出され、真空
チャンバー２２内を所定の真空状態とすることができ
る。この排気口２３は、図示例では真空チャンバー２２
の低部２２Ａの中央に１個形成されているが、複数の排
気口２３を底部２２Ａに形成してもよい。この場合、排
気口２３は、いずれも中板２５の下方の位置に形成する
ことが好ましい。As such a vacuum chamber 22, various well-known vacuum chambers can be used except the above-mentioned detachable mechanism of the spacer 29, and the internal volume, internal shape, etc. can be set appropriately. . Further, the exhaust port 23 provided in the bottom portion 22A of the vacuum chamber is connected to a vacuum pump (not shown), and the gas in the vacuum chamber 22 is exhausted to the outside through the exhaust port 23, so that the inside of the vacuum chamber 22 is predetermined. Can be in a vacuum state. The exhaust port 23 is, in the illustrated example, the vacuum chamber 22.
Although one is formed in the center of the lower portion 22A, a plurality of exhaust ports 23 may be formed in the bottom portion 22A. In this case, it is preferable that each of the exhaust ports 23 is formed below the intermediate plate 25.
【００２６】尚、上述の真空乾燥装置２１を構成する中
板２５および載置用凸部２７は、上述の真空乾燥装置１
を構成する中板５、載置用凸部７と同様にすることがで
きるので、ここでの説明は省略する。また、脚部２５Ａ
は、中板２５の下面に固着された高さ固定式のものでも
よく、あるいは、上述の実施形態における脚部５Ａと同
様に高さの調整が可能なものでもよい。さらに、載置用
凸部２７は、中板２５の表面に固着された高さ固定式の
ものでもよく、あるいは、上述の実施形態における載置
用凸部１７と同様に高さの調整が可能なものでもよい。The intermediate plate 25 and the mounting projections 27 constituting the above vacuum drying device 21 are the same as the above vacuum drying device 1.
Since the intermediate plate 5 and the mounting convex portion 7 constituting the above can be made the same, the description thereof is omitted here. Also, the leg 25A
May be a fixed height type fixed to the lower surface of the intermediate plate 25, or may be a height adjustable type similar to the leg portion 5A in the above-described embodiment. Further, the mounting projection 27 may be a fixed height type fixed to the surface of the intermediate plate 25, or the height can be adjusted similarly to the mounting projection 17 in the above-described embodiment. It can be anything.
【００２７】このような真空乾燥装置２１は、載置用凸
部２７上に被乾燥体Ｓを載置したときの被乾燥体Ｓと真
空チャンバー２２の内側上壁部２２Ｂとの距離Ｈが調整
可能である。すなわち、真空チャンバー２２の側壁部２
２Ｃに装着するスペーサ２９を所望の高さのものとした
り、スペーサ２９を装着せずに真空チャンバー２２を構
成することにより、被乾燥体Ｓと真空チャンバー２２の
内側上壁部２２Ｂとの距離Ｈを適宜調整することができ
る。したがって、被乾燥体Ｓに応じて、載置用凸部２７
上に載置される被乾燥体Ｓから中板２５の表面を通り、
中板２５と真空チャンバー２２の底部２２Ａとの間を経
由して排気口２３に至る排気経路（図５に矢印で示され
る経路）を、乾燥に最も適したものとすることができ
る。これにより、被乾燥体の突沸を防止して表面状態を
荒らすことなく乾燥時間の短縮が可能となり、被乾燥体
の乾燥後の表面状態も極めて良好なものとなる。尚、上
述のように、脚部２５Ａを上述の実施形態における脚部
５Ａと同様に高さの調整が可能なものとし、あるいは、
載置用凸部２７を上述の実施例における載置用凸部１７
と同様に高さの調整が可能なものとすることにより、側
壁部２２Ｃのスペーサ２９による高さ調整に、脚部２５
Ａの高さ調整や載置用凸部２７の高さ調整を併用して、
被乾燥体Ｓと真空チャンバー２２の内側上壁部２２Ｂと
の距離Ｈの調整を行ってもよい。In such a vacuum drying apparatus 21, the distance H between the object to be dried S and the inner upper wall portion 22B of the vacuum chamber 22 when the object to be dried S is placed on the placing convex portion 27 is adjusted. It is possible. That is, the side wall portion 2 of the vacuum chamber 22
The distance H between the object S to be dried and the inner upper wall portion 22B of the vacuum chamber 22 is set by setting the spacer 29 attached to the 2C to a desired height or configuring the vacuum chamber 22 without attaching the spacer 29. Can be adjusted appropriately. Therefore, depending on the body to be dried S, the mounting projection 27
Passing through the surface of the intermediate plate 25 from the object S to be dried placed thereon,
The exhaust path (the path indicated by the arrow in FIG. 5) reaching the exhaust port 23 via the space between the intermediate plate 25 and the bottom portion 22A of the vacuum chamber 22 can be made most suitable for drying. This makes it possible to prevent bumping of the material to be dried and shorten the drying time without roughening the surface condition, and the surface condition of the material to be dried after drying becomes extremely good. As described above, the leg portion 25A can be adjusted in height similarly to the leg portion 5A in the above-described embodiment, or
The mounting projection 27 is replaced by the mounting projection 17 in the above-described embodiment.
Since the height can be adjusted in the same manner as the above, the height of the leg portion 25 can be adjusted by the spacer 29 of the side wall portion 22C.
Using the height adjustment of A and the height adjustment of the mounting convex portion 27 together,
The distance H between the material to be dried S and the inner upper wall portion 22B of the vacuum chamber 22 may be adjusted.
【００２８】図６は本発明の真空乾燥装置の他の実施形
態を示す概略構成図である。図６において、本発明の真
空乾燥装置３１は、真空チャンバー３２と、この真空チ
ャンバー３２の底部３２Ａに脚部３５Ａを介して配設さ
れた中板３５と、この中板３５上に設けられた複数の載
置用凸部３７とを備え、真空チャンバー３２の底部３２
Ａには排気口３３が形成されている。そして、真空チャ
ンバー３２の上壁部３２Ｂの下方には、天板３８が配設
可能とされている。図示例では、真空チャンバー３２の
側壁部３２Ｃに保持部３９が設けられており、この保持
部３９に天板３８の端部を係合させて天板３８が真空チ
ャンバー３２内に掛け渡すように配設できるようになっ
ている。FIG. 6 is a schematic diagram showing another embodiment of the vacuum drying apparatus of the present invention. In FIG. 6, a vacuum drying device 31 of the present invention is provided on a vacuum chamber 32, an intermediate plate 35 provided on a bottom portion 32A of the vacuum chamber 32 via legs 35A, and on the intermediate plate 35. A plurality of mounting projections 37, and a bottom portion 32 of the vacuum chamber 32.
An exhaust port 33 is formed at A. A top plate 38 can be arranged below the upper wall portion 32B of the vacuum chamber 32. In the illustrated example, a holding portion 39 is provided on the side wall portion 32C of the vacuum chamber 32, and an end portion of the top plate 38 is engaged with the holding portion 39 so that the top plate 38 is hung in the vacuum chamber 32. It can be installed.
【００２９】上記の天板３８は、ＳＵＳ板、アルミニウ
ム板、鉄板、銅板、樹脂板等を用いて作製されたものを
使用することができ、真空チャンバー３２内に配設され
た際に、中央部が中板３５方向にたわみを生じないもの
を使用する。このような天板３８の面積は、真空チャン
バー３２の上壁部３２Ｂの面積の８０〜１００％の範囲
とすることが好ましく、少なくとも中板３５を覆うよう
な面積を有するものである。また、図示例では、真空チ
ャンバー３２の側壁部３２Ｃに複数の保持部３９が設け
られているが、真空チャンバー３２内に天板３８を昇降
可能に配設してもよい。The top plate 38 may be made of a SUS plate, an aluminum plate, an iron plate, a copper plate, a resin plate, or the like. When it is placed in the vacuum chamber 32, it can be centered. A part whose portion does not bend in the direction of the intermediate plate 35 is used. The area of the top plate 38 is preferably in the range of 80 to 100% of the area of the upper wall portion 32B of the vacuum chamber 32, and has an area that covers at least the middle plate 35. Further, in the illustrated example, the plurality of holding portions 39 are provided on the side wall portion 32C of the vacuum chamber 32, but the top plate 38 may be arranged in the vacuum chamber 32 so as to be movable up and down.
【００３０】上述の真空乾燥装置３１を構成する真空チ
ャンバー３２は、上記の天板３８が配設可能な機構を除
いて、公知の種々の真空チャンバーを使用することがで
き、内部容積、内部形状等は適宜設定することができ
る。また、真空チャンバーの底部３２Ａに設けられる排
気口３３は、図示されていない真空ポンプに接続され、
この排気口３３を介して真空チャンバー３２内の気体が
外部に排出され、真空チャンバー３２内を所定の真空状
態とすることができる。この排気口３３は、図示例では
真空チャンバー３２の低部３２Ａの中央に１個形成され
ているが、複数の排気口３３を底部３２Ａに形成しても
よい。この場合、排気口３３は、いずれも中板３５の下
方の位置に形成することが好ましい。As the vacuum chamber 32 constituting the above-mentioned vacuum drying device 31, various known vacuum chambers can be used except the above-mentioned mechanism in which the top plate 38 can be arranged. Etc. can be set appropriately. Further, the exhaust port 33 provided in the bottom portion 32A of the vacuum chamber is connected to a vacuum pump (not shown),
The gas in the vacuum chamber 32 is discharged to the outside through the exhaust port 33, and the inside of the vacuum chamber 32 can be brought into a predetermined vacuum state. Although one exhaust port 33 is formed in the center of the lower portion 32A of the vacuum chamber 32 in the illustrated example, a plurality of exhaust ports 33 may be formed in the bottom portion 32A. In this case, it is preferable that each of the exhaust ports 33 be formed at a position below the intermediate plate 35.
【００３１】尚、真空乾燥装置３１を構成する中板３５
および載置用凸部３７は、上述の真空乾燥装置１を構成
する中板５、載置用凸部７と同様にすることができるの
で、ここでの説明は省略する。また、脚部３５Ａは、中
板３５の下面に固着された高さ固定式のものでもよく、
あるいは、上述の実施形態における脚部５Ａと同様に長
さの調整が可能なものでもよい。さらに、載置用凸部３
７は、中板３５の表面に固着された高さ固定式のもので
もよく、あるいは、上述の実施形態における載置用凸部
１７と同様に高さの調整が可能なものでもよい。The intermediate plate 35 constituting the vacuum drying device 31.
Since the mounting convex portion 37 can be the same as the intermediate plate 5 and the mounting convex portion 7 constituting the vacuum drying apparatus 1 described above, description thereof will be omitted here. The leg portion 35A may be a fixed height type fixed to the lower surface of the intermediate plate 35,
Alternatively, the length may be adjusted similarly to the leg portion 5A in the above-described embodiment. Furthermore, the mounting projection 3
The height 7 may be a fixed height type fixed to the surface of the intermediate plate 35, or the height can be adjusted similarly to the mounting projection 17 in the above-described embodiment.
【００３２】このような真空乾燥装置３１は、載置用凸
部３７上に被乾燥体Ｓを載置したときの被乾燥体Ｓと真
空チャンバー３２の内側上壁部３２Ｂとの距離Ｈが調整
可能である。すなわち、側壁部３２Ｃの所望の保持部３
９に天板３８を載置することにより、実質的な上壁部を
被乾燥体Ｓ上に形成することができる。そして、この天
板３８を載置する保持部３９の位置を変更することによ
り、被乾燥体Ｓと真空チャンバー３２の実質的な上壁部
である天板３８との距離を適宜調整することができる。
したがって、被乾燥体Ｓに応じて、載置用凸部３７上に
載置される被乾燥体Ｓから中板３５の表面を通り、中板
３５と真空チャンバー３２の底部３２Ａとの間を経由し
て排気口３３に至る排気経路（図６に矢印で示される経
路）を、乾燥に最も適したものとすることができる。こ
れにより、被乾燥体の突沸を防止して表面状態を荒らす
ことなく乾燥時間を短縮することが可能となり、被乾燥
体の乾燥後の表面状態も極めて良好なものとなる。尚、
上述のように、脚部３５Ａを上述の実施形態における脚
部５Ａと同様に高さの調整が可能なものとし、あるい
は、載置用凸部３７を上述の実施例における載置用凸部
１７と同様に高さの調整が可能なものとすることによ
り、天板３８による高さ調整に、脚部３５Ａの高さ調整
や載置用凸部３７の高さ調整を併用して、被乾燥体Ｓと
真空チャンバー３２の内側上壁部３２Ｂ（天板３８）と
の距離の調整を行ってもよい。In such a vacuum drying device 31, the distance H between the object to be dried S and the inner upper wall 32B of the vacuum chamber 32 when the object to be dried S is placed on the placing convex portion 37 is adjusted. It is possible. That is, the desired holding portion 3 of the side wall portion 32C
By mounting the top plate 38 on the substrate 9, a substantially upper wall portion can be formed on the body S to be dried. Then, by changing the position of the holding portion 39 on which the top plate 38 is placed, the distance between the object to be dried S and the top plate 38 which is the substantially upper wall portion of the vacuum chamber 32 can be appropriately adjusted. it can.
Therefore, depending on the object to be dried S, the object to be dried S placed on the placing convex portion 37 passes through the surface of the intermediate plate 35, and passes between the intermediate plate 35 and the bottom portion 32A of the vacuum chamber 32. Then, the exhaust path to the exhaust port 33 (path shown by the arrow in FIG. 6) can be made most suitable for drying. This makes it possible to prevent bumping of the material to be dried and shorten the drying time without roughening the surface condition, and the surface condition of the material to be dried after drying becomes extremely good. still,
As described above, the height of the leg portion 35A can be adjusted in the same manner as the leg portion 5A in the above-described embodiment, or the mounting convex portion 37 is set to the mounting convex portion 17 in the above-described embodiment. Since the height can be adjusted in the same manner as described above, the height adjustment by the top plate 38 is used in combination with the height adjustment of the leg portion 35A and the height adjustment of the mounting convex portion 37 to be dried. The distance between the body S and the inner upper wall portion 32B (top plate 38) of the vacuum chamber 32 may be adjusted.
【００３３】本発明では、被乾燥体には特に制限はな
く、ダイコート、グラビアコート、ハケ塗り、スピンコ
ート等の種々の方式により形成された塗布膜が対象とな
り得る。In the present invention, the material to be dried is not particularly limited, and coating films formed by various methods such as die coating, gravure coating, brush coating and spin coating can be targeted.
【００３４】[0034]
【実施例】次に、実施例を挙げて本発明を更に詳細に説
明する。Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples.
【００３５】まず、下記の４種の塗布液を調製した。First, the following four types of coating solutions were prepared.
【００３６】 塗布液Ａ ・固形分含有量 ： ２０重量％ ・使用溶剤 ： セロソルブアセテート（沸点１５６．４℃） 塗布液Ｂ ・固形分含有量 ： ２０重量％ ・使用溶剤 ： メトアセテート（沸点１７１．０℃） 塗布液Ｃ ・固形分含有量 ： ２０重量％ ・使用溶剤 ： 酢酸エチル（沸点７６．７℃） 塗布液Ｄ ・固形分含有量 ： ２０重量％ ・使用溶剤 ： メチルアミルケトン（沸点１５１．０℃） 次に、この塗布液Ａ〜Ｄを用いて、厚み０．７ｍｍのガ
ラス基板上にスピンコート方法により塗布（Ａ，Ｂ＝膜
厚１．８μｍ、Ｃ＝膜厚１．２５μｍ、Ｄ＝膜厚１．５
μｍ）を行った。 （乾燥試験１）下記の仕様の真空チャンバー、中板、載
置用凸部を備えた本発明の真空乾燥装置（図１に相当す
るもの）を準備し、真空ポンプ（ＵＬＶＡＣ（株）製Ｄ
−９５０Ｋ＋ＰＭＢ００３ＣＭ）に排気口を接続した。 Coating liquid A -Solid content: 20% by weight-Solvent used: Cellosolve acetate (boiling point 156.4 ° C) Coating liquid B -Solid content: 20% by weight-Solvent: Metoacetate (boiling point 171. 0 ° C) Coating liquid C / solid content: 20% by weight Solvent used: ethyl acetate (boiling point 76.7 ° C) Coating liquid D / solid content: 20% by weight Solvent: methyl amyl ketone (boiling point 151 Next, using the coating liquids A to D, coating was performed on a glass substrate having a thickness of 0.7 mm by a spin coating method (A, B = film thickness 1.8 μm, C = film thickness 1.25 μm, D = film thickness 1.5
μm) was performed. (Drying Test 1) A vacuum drying apparatus (corresponding to FIG. 1) of the present invention provided with a vacuum chamber having the following specifications, an intermediate plate, and a mounting projection is prepared, and a vacuum pump (D manufactured by ULVAC Co., Ltd.) is prepared.
The exhaust port was connected to -950K + PMB003CM).
【００３７】 ・内部容積 ： １５２７６ｃｍ3 ・底部形状 ： 長方形 ・底部面積 ： ３８１９ｃｍ2 ・側壁部高さ ： ４０ｍｍ ・脚部の長さ ： １０〜２５ｍｍの範囲で調整
可能 ・中板厚み ： ５ｍｍ ・中板面積 ： ３５７５ｃｍ2 ・載置用凸部の高さ ： ５ｍｍ ・載置用凸部形成数 ： ５個 上記の真空乾燥装置の載置用凸部に、上記の塗布液Ａを
塗布したガラス基板を載置した。この初期状態でのガラ
ス基板面から真空チャンバーの内側上壁面までの距離
（以下ギャップという）を５ｍｍに設定した。そして、
真空ポンプでの吸引を開始し、吸引開始から乾燥開始
（真空度の変化がほぼ停止する時点）までの時間ｔ1 を
測定し、また、乾燥開始から乾燥完了（塗布膜の乾燥が
完了して、ほぼ一定であった真空度が再度変化する時
点）までの時間ｔ2 を測定し、時間ｔ1と時間ｔ2 の合
計時間（乾燥時間）Ｔとともに、図７に示した。・ Internal volume: 15276 cm 3・ Bottom shape: Rectangular ・ Bottom area: 3819 cm 2・ Sidewall height: 40 mm ・ Leg length: Adjustable in the range of 10 to 25 mm ・ Middle plate thickness: 5 mm ・ Medium Plate area: 3575 cm 2・ Height of mounting projection: 5 mm ・ Number of mounting projections formed: 5 glass substrates coated with the above coating solution A on the mounting projection of the vacuum drying device Was placed. The distance (hereinafter referred to as a gap) from the glass substrate surface to the inner wall surface of the vacuum chamber in this initial state was set to 5 mm. And
The suction from the vacuum pump is started, and the time t 1 from the start of suction to the start of drying (the time when the change in the vacuum level almost stops) is measured. The time t 2 up to the point when the degree of vacuum, which was almost constant, changes again) was measured, and is shown in FIG. 7 together with the total time (drying time) T of the time t 1 and the time t 2 .
【００３８】その後、脚部の高さを調整して、ギャップ
を１０ｍｍ，１５ｍｍ，２０ｍｍ，２５ｍｍとして、上
記と同様に乾燥時間を測定して図７に示した。After that, the height of the legs was adjusted to make the gaps 10 mm, 15 mm, 20 mm and 25 mm, and the drying time was measured in the same manner as above, and the results are shown in FIG.
【００３９】図７に示される塗布液Ａの真空乾燥では、
ギャップ＝２０ｍｍまではギャップの増加とともに時間
ｔ2 （時間Ｔ）の減少がみられたが、ギャップが１５ｍ
ｍを超えると乾燥途中の塗布膜において突沸が発生し、
乾燥後の塗布膜にクレータ状の凹部が残った。したがっ
て、塗布液Ａの真空乾燥では、ギャップを１５ｍｍ程度
に設定することにより、乾燥後の表面状態を極めて良好
としながら乾燥時間Ｔの短縮が可能であることが確認さ
れた。 （乾燥試験２）塗布液Ａを塗布したガラス基板の代わり
に、塗布液Ｂを塗布したガラス基板を被乾燥体とした他
は、乾燥試験１と同様にして乾燥を行い、時間ｔ1 、時
間ｔ2合計時間（乾燥時間）Ｔを図８に示した。In the vacuum drying of the coating liquid A shown in FIG.
Until the gap = 20 mm, the time t 2 (time T) decreased with the increase of the gap, but the gap was 15 m.
If it exceeds m, bumping will occur in the coating film during drying,
Crater-shaped recesses remained in the dried coating film. Therefore, in the vacuum drying of the coating liquid A, it was confirmed that by setting the gap to about 15 mm, the drying time T can be shortened while making the surface condition after drying extremely good. (Drying Test 2) Drying was performed in the same manner as in Drying Test 1 except that the glass substrate coated with the coating liquid B was used as the material to be dried instead of the glass substrate coated with the coating liquid A, and the drying time was t 1 The total time t 2 (drying time) T is shown in FIG.
【００４０】図８に示される塗布液Ｂの真空乾燥では、
ギャップ＝２０ｍｍまではギャップの増加とともに時間
ｔ2 （時間Ｔ）の減少がみられたが、ギャップが１０ｍ
ｍを超えると乾燥途中の塗布膜において突沸が発生し、
乾燥後の塗布膜にクレータ状の凹部が残った。したがっ
て、塗布液Ｂの真空乾燥では、ギャップを１０ｍｍ程度
に設定することにより、乾燥後の表面状態を極めて良好
としながら乾燥時間Ｔの短縮が可能であることが確認さ
れた。 （乾燥試験３）塗布液Ａを塗布したガラス基板の代わり
に、塗布液Ｃを塗布したガラス基板を被乾燥体とした他
は、乾燥試験１と同様にして乾燥を行い、時間ｔ1 、時
間ｔ2合計時間（乾燥時間）Ｔを図９に示した。In the vacuum drying of the coating liquid B shown in FIG.
Until the gap = 20 mm, the time t 2 (time T) decreased with the increase of the gap, but the gap was 10 m.
If it exceeds m, bumping will occur in the coating film during drying,
Crater-shaped recesses remained in the dried coating film. Therefore, in the vacuum drying of the coating liquid B, it was confirmed that by setting the gap to about 10 mm, the drying time T can be shortened while making the surface condition after drying extremely good. (Drying Test 3) Drying was performed in the same manner as in Drying Test 1 except that the glass substrate coated with the coating liquid C was used as the material to be dried instead of the glass substrate coated with the coating liquid A, and the drying time was t 1 t 2 total time (drying time) T shown in FIG.
【００４１】図９に示される塗布液Ｃの真空乾燥では、
ギャップ＝１０〜１５ｍｍにおいて乾燥時間Ｔは最も短
くなるが、ギャップが５ｍｍを超えると乾燥途中の塗布
膜において突沸が発生し、乾燥後の塗布膜にクレータ状
の凹部が残った。したがって、塗布液Ｃの真空乾燥で
は、ギャップを５ｍｍ程度に設定することにより、乾燥
後の表面状態を極めて良好としながら乾燥時間Ｔを最も
短くすることが可能であることが確認された。 （乾燥試験４）塗布液Ａを塗布したガラス基板の代わり
に、塗布液Ｄを塗布したガラス基板を被乾燥体とした他
は、乾燥試験１と同様にして乾燥を行い、時間ｔ1 、時
間ｔ2合計時間（乾燥時間）Ｔを図１０に示した。In the vacuum drying of the coating liquid C shown in FIG.
The drying time T was the shortest when the gap was 10 to 15 mm, but when the gap was more than 5 mm, bumping occurred in the coating film during drying, and crater-like recesses remained in the coating film after drying. Therefore, in the vacuum drying of the coating liquid C, it was confirmed that by setting the gap to about 5 mm, the drying time T can be minimized while making the surface condition after drying extremely good. (Drying Test 4) Drying was performed in the same manner as in Drying Test 1 except that the glass substrate coated with the coating liquid D was used as the material to be dried instead of the glass substrate coated with the coating liquid A, and the drying time was t 1 The total time t 2 (drying time) T is shown in FIG.
【００４２】図１０に示される塗布液Ｄの真空乾燥で
は、ギャップ＝２０ｍｍまではギャップの増加とともに
時間ｔ2 （時間Ｔ）の減少がみられたが、ギャップが１
５ｍｍを超えると乾燥途中の塗布膜において突沸が発生
し、乾燥後の塗布膜にクレータ状の凹部が残った。した
がって、塗布液Ｄの真空乾燥では、ギャップを１５ｍｍ
程度に設定することにより、乾燥後の表面状態を極めて
良好としながら乾燥時間Ｔの短縮が可能であることが確
認された。 （乾燥試験５）真空チャンバーの側壁部の上部にスペー
サ（高さ１５ｍｍ）を装着し、内部容積を９５４７．５
ｃｍ3 とした他は、乾燥試験１と同様の仕様で本発明の
真空乾燥装置（図５に相当するもの）を準備し、真空ポ
ンプ（ＵＬＶＡＣ（株）製Ｄ−９５０Ｋ＋ＰＭＢ００３
ＣＭ）に排気口を接続した。In the vacuum drying of the coating liquid D shown in FIG. 10, the time t 2 (time T) decreased with the increase of the gap up to the gap = 20 mm, but the gap was 1
If it exceeds 5 mm, bumping occurs in the coating film during drying, and crater-like recesses remain in the coating film after drying. Therefore, in the vacuum drying of the coating liquid D, the gap is 15 mm.
It was confirmed that the drying time T can be shortened by setting the degree to be approximately, while making the surface condition after drying extremely good. (Drying test 5) A spacer (15 mm in height) was attached to the upper part of the side wall of the vacuum chamber, and the internal volume was 9547.5.
The vacuum drying apparatus (corresponding to FIG. 5) of the present invention was prepared with the same specifications as the drying test 1 except that the pressure was set to cm 3 , and a vacuum pump (D-950K + PMB003 manufactured by ULVAC Co., Ltd.) was prepared.
The exhaust port was connected to CM).
【００４３】上記の真空乾燥装置の載置用凸部に、上記
の塗布液Ａを塗布したガラス基板を載置した。この初期
状態でのギャップを５ｍｍに設定した。そして、乾燥試
験１と同様にして乾燥を行い、時間ｔ1 、時間ｔ2 合計
時間（乾燥時間）Ｔを図１１に示した。The glass substrate coated with the coating liquid A was mounted on the mounting projection of the vacuum dryer. The gap in this initial state was set to 5 mm. Then, it was dried in the same manner as the drying test 1, and the total time (drying time) T of time t 1 and time t 2 is shown in FIG.
【００４４】その後、脚部の高さを調整して、ギャップ
を１０ｍｍ，１５ｍｍ，２０ｍｍ，２５ｍｍ，３０ｍｍ
として、上記と同様に乾燥時間を測定して図１１に示し
た。After that, the heights of the legs are adjusted so that the gaps are 10 mm, 15 mm, 20 mm, 25 mm and 30 mm.
As shown in FIG. 11, the drying time was measured in the same manner as above.
【００４５】図１１に示される塗布液Ａの真空乾燥で
は、乾燥試験１における塗布液Ａの真空乾燥と異なり、
ギャップ＝３０ｍｍまではギャップの増加とともに乾燥
時間Ｔの減少がみられたが、乾燥途中の塗布膜における
突沸は、乾燥試験１における塗布液Ａの真空乾燥よりも
ギャップが小さい段階（ほぼ１５ｍｍ）で発生し、乾燥
後の塗布膜にクレータ状の凹部が残った。したがって、
塗布液Ａの真空乾燥では、ギャップを１０〜１３ｍｍ程
度に設定することにより、乾燥後の表面状態を極めて良
好としながら乾燥時間Ｔの短縮が可能であることが確認
された。In the vacuum drying of the coating liquid A shown in FIG. 11, unlike the vacuum drying of the coating liquid A in the drying test 1,
Although the drying time T decreased with the increase of the gap up to the gap = 30 mm, bumping in the coating film during the drying was at a stage where the gap was smaller than the vacuum drying of the coating liquid A in the drying test 1 (approximately 15 mm). Crater-shaped recesses remained in the coating film after being generated and dried. Therefore,
In the vacuum drying of the coating liquid A, it was confirmed that by setting the gap to about 10 to 13 mm, the drying time T can be shortened while making the surface condition after drying extremely good.
【００４６】[0046]
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば真
空チャンバーの底部に設けた排気口の上方に中板を配設
し、この中板上に載置用凸部を設けて真空乾燥装置と
し、載置用凸部上に載置された被乾燥体と真空チャンバ
ーの内側上壁部との距離を調整可能とするので、被乾燥
体に応じて被乾燥体と真空チャンバーの内側上壁部との
距離を調整し、載置用凸部上に載置される被乾燥体から
中板上面を通り、中板と真空チャンバー底部との間を経
由して排気口に至る排気経路を被乾燥体の乾燥に最適な
ものとすることができ、これにより、被乾燥体の突沸を
防止して表面状態を荒らすことなく乾燥時間を短縮する
ことが可能となり、被乾燥体の乾燥後の表面状態も極め
て良好なものとなる。As described above in detail, according to the present invention, the intermediate plate is disposed above the exhaust port provided at the bottom of the vacuum chamber, and the mounting projection is provided on the intermediate plate to form a vacuum. Since it is a drying device and the distance between the object to be dried placed on the mounting projection and the inner wall of the vacuum chamber can be adjusted, the object to be dried and the inside of the vacuum chamber can be adjusted according to the object to be dried. Exhaust path that adjusts the distance from the upper wall and passes from the material to be dried placed on the mounting projection to the upper surface of the intermediate plate and between the intermediate plate and the bottom of the vacuum chamber to the exhaust port. Can be optimized for drying the object to be dried, which makes it possible to prevent bumping of the object to be dried and shorten the drying time without roughening the surface condition. The surface condition of is also very good.
【図１】本発明の真空乾燥装置の一実施形態を示す概略
構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of a vacuum drying apparatus of the present invention.
【図２】図１に示される真空乾燥装置の中板を上昇させ
た状態を示す図である。FIG. 2 is a view showing a state in which a middle plate of the vacuum drying apparatus shown in FIG. 1 is raised.
【図３】本発明の真空乾燥装置の他の実施形態を示す概
略構成図である。FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the vacuum drying apparatus of the present invention.
【図４】図３に示される真空乾燥装置の載置用凸部を高
くした状態を示す図である。FIG. 4 is a view showing a state in which the mounting projection of the vacuum drying apparatus shown in FIG. 3 is raised.
【図５】本発明の真空乾燥装置の他の実施形態を示す概
略構成図である。FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the vacuum drying apparatus of the present invention.
【図６】本発明の真空乾燥装置の他の実施形態を示す概
略構成図である。FIG. 6 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the vacuum drying apparatus of the present invention.
【図７】真空乾燥装置におけるガラス基板面から真空チ
ャンバーの内側上壁面までの距離（ギャップ）と乾燥時
間の関係を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing the relationship between the distance (gap) from the glass substrate surface to the inner upper wall surface of the vacuum chamber and the drying time in the vacuum drying apparatus.
【図８】真空乾燥装置におけるガラス基板面から真空チ
ャンバーの内側上壁面までの距離（ギャップ）と乾燥時
間の関係を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing the relationship between the distance (gap) from the glass substrate surface to the inner wall surface of the vacuum chamber and the drying time in the vacuum drying apparatus.
【図９】真空乾燥装置におけるガラス基板面から真空チ
ャンバーの内側上壁面までの距離（ギャップ）と乾燥時
間の関係を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing the relationship between the distance (gap) from the glass substrate surface to the inner upper wall surface of the vacuum chamber and the drying time in the vacuum drying apparatus.
【図１０】真空乾燥装置におけるガラス基板面から真空
チャンバーの内側上壁面までの距離（ギャップ）と乾燥
時間の関係を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing the relationship between the distance (gap) from the glass substrate surface to the inner upper wall surface of the vacuum chamber and the drying time in the vacuum drying apparatus.
【図１１】真空乾燥装置におけるガラス基板面から真空
チャンバーの内側上壁面までの距離（ギャップ）と乾燥
時間の関係を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing the relationship between the distance (gap) from the glass substrate surface to the inner upper wall surface of the vacuum chamber and the drying time in the vacuum drying apparatus.
１，１１，２１，３１…真空乾燥装置 ２，１２，２２，３２…真空チャンバー ２Ａ，１２Ａ，２２Ａ，３２Ａ…底部 ２Ｂ，１２Ｂ，２２Ｂ，３２Ｂ…上壁部 ２Ｃ，１２Ｃ，２２Ｃ，３２Ｃ…側壁部 ３，１３，２３，３３…排気口 ５，１５，２５，３５…中板 ７，１７，２７，３７…載置用凸部 ２９…スペーサ ３８…天板 Ｓ…被乾燥体 1, 11, 21, 31 ... Vacuum drying device 2, 12, 22, 32 ... Vacuum chamber 2A, 12A, 22A, 32A ... Bottom part 2B, 12B, 22B, 32B ... Upper wall part 2C, 12C, 22C, 32C ... Side wall Part 3, 13, 23, 33 ... Exhaust port 5, 15, 25, 35 ... Middle plate 7, 17, 27, 37 ... Mounting convex part 29 ... Spacer 38 ... Top plate S ... Dried object
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 竹本 潤 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Jun Takemoto 1-1-1, Ichigayaka-cho, Shinjuku-ku, Tokyo Dai Nippon Printing Co., Ltd.
Claims (5)
と、該真空チャンバー内において前記排気口の上方に配
設された中板と、該中板上に設けられた載置用凸部とを
少なくとも備え、前記載置用凸部上に載置される被乾燥
体と前記真空チャンバーの内側上壁部との距離が調整可
能であることを特徴とする真空乾燥装置。1. At least a vacuum chamber having an exhaust port at the bottom, an intermediate plate disposed above the exhaust port in the vacuum chamber, and a mounting projection provided on the intermediate plate. A vacuum drying apparatus, comprising: a distance between an object to be dried placed on the placement convex portion and an inner upper wall portion of the vacuum chamber, which is adjustable.
対して上下動させることにより、前記載置用凸部上に載
置される被乾燥体と前記真空チャンバーの内側上壁部と
の距離が調整可能であることを特徴とする請求項１に記
載の真空乾燥装置。2. The distance between the object to be dried placed on the placement convex portion and the inner upper wall portion of the vacuum chamber by moving the intermediate plate up and down with respect to the bottom of the vacuum chamber. The vacuum drying device according to claim 1, wherein the vacuum drying device is adjustable.
より、前記載置用凸部上に載置される被乾燥体と前記真
空チャンバーの内側上壁部との距離が調整可能であるこ
とを特徴とする請求項１または請求項２に記載の真空乾
燥装置。3. The distance between the object to be dried placed on the placing convex and the inner upper wall portion of the vacuum chamber can be adjusted by changing the height of the placing convex. The vacuum drying device according to claim 1 or 2, wherein
を着脱することにより、前記載置用凸部上に載置される
被乾燥体と前記真空チャンバーの内側上壁部との距離が
調整可能であることを特徴とする請求項１乃至請求項３
のいずれかに記載の真空乾燥装置。4. The distance between the object to be dried placed on the placing convex portion and the inner upper wall portion of the vacuum chamber can be adjusted by attaching and detaching a spacer to the side wall portion of the vacuum chamber. Claim 1 thru | or Claim 3 characterized by the above-mentioned.
The vacuum drying device according to any one of 1.
に天板が配設可能であり、該天板を配設することによ
り、実質的に前記載置用凸部上に載置される被乾燥体と
前記真空チャンバーの内側上壁部との距離が調整可能で
あることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか
に記載の真空乾燥装置。5. The vacuum chamber can be provided with a top plate below an inner upper wall portion, and by disposing the top plate, the top plate is placed substantially on the placement convex portion. The vacuum drying apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the distance between the object to be dried and the inner upper wall portion of the vacuum chamber is adjustable.
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ID=15617630
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- 1996-05-28 JP JP15597596A patent/JP3631847B2/en not_active Expired - Fee Related
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