JPH09306647A - Transparent surface heater, electromagnetic wave shield, and liquid crystal device - Google Patents
Transparent surface heater, electromagnetic wave shield, and liquid crystal deviceInfo
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- JPH09306647A JPH09306647A JP12335296A JP12335296A JPH09306647A JP H09306647 A JPH09306647 A JP H09306647A JP 12335296 A JP12335296 A JP 12335296A JP 12335296 A JP12335296 A JP 12335296A JP H09306647 A JPH09306647 A JP H09306647A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示素子の温度
補償体、冷凍ショーケース、冷蔵ショーケース、自動車
用デフロスター、ヘルメットやゴーグルの曇りどめなど
に使用される透明面状ヒーターまたは液晶表示素子のバ
ックライトや液晶表示体、CRT、プラズマディスプレ
ー等の画面の電磁シールド体に関するものである。特に
表面の温度分布を均一化した透明面状ヒーターおよびこ
の透明面状ヒーターを備えた液晶表示装置であり、光線
透過率の向上した電磁シールド体および電磁波シールド
体を備えた液晶表示装置であり、透明面状ヒーターおよ
び電磁波シールド体を備えた液晶表示装置である。ま
た、液晶表示素子においては、特に、温度の均一性を重
要視する、液晶がカイラルスメクチックC相を有する強
誘電性液晶にも有用である。さらに外部接続用金具を設
けることにより透明ヒーターまたは電磁波シールド体の
安定性を向上させる。さらに、粘着層または接着剤を設
けることにより、支持体への接地を容易にした。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display element or a transparent planar heater used for a temperature compensator of a liquid crystal display element, a freezing showcase, a refrigerating showcase, an automobile defroster, a helmet or goggles. The present invention relates to an electromagnetic shield body for a screen of a backlight, a liquid crystal display body, a CRT, a plasma display or the like. In particular, a transparent planar heater having a uniform temperature distribution on the surface and a liquid crystal display device including the transparent planar heater, a liquid crystal display device including an electromagnetic shield body and an electromagnetic wave shield body having improved light transmittance, The liquid crystal display device includes a transparent sheet heater and an electromagnetic wave shield. Further, in the liquid crystal display device, it is particularly useful as a ferroelectric liquid crystal having a chiral smectic C phase in which the temperature uniformity is important. Further, by providing a metal fitting for external connection, the stability of the transparent heater or the electromagnetic wave shield is improved. Furthermore, by providing an adhesive layer or an adhesive, the grounding to the support was facilitated.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、冷凍、冷蔵ショーケースは、その
窓部を構成するガラス表面への結露防止をする必要があ
り、このためガラス表面に透明導電膜を形成し、これに
所定の電力を印加して窓面を加熱することが行われてい
る。また、近年、液晶表示素子の需要が大きくなってい
るが、寒冷地で使用した場合に液晶の動作が遅くなる等
の問題があり、液晶表示素子にも温度制御用の透明面状
ヒーターを備えることの必要性が高まってきた。2. Description of the Related Art Conventionally, it has been necessary to prevent dew condensation on the glass surface forming the window of a freezing or refrigerating showcase. Therefore, a transparent conductive film is formed on the glass surface and a predetermined electric power is applied to it. It is applied to heat the window surface. Further, in recent years, the demand for liquid crystal display elements has increased, but there is a problem that the operation of the liquid crystal becomes slower when used in cold regions, and the liquid crystal display element also includes a transparent planar heater for temperature control. The need for things has increased.
【0003】従来、寒冷地などの条件下で使用される液
晶表示素子としては、例えば特開昭58−126517
号公報に提案されるように、メッシュ状の発熱抵抗体を
配置して加熱するものがあった。しかしこの方法では、
液晶素子全体を均一に加熱することは困難であり、ま
た、不透明な金属からなる発熱抵抗体が液晶表示を見る
際の邪魔になったりする不都合がある。また、特開平3
−172820号公報に提案されるように、透明導電膜
にITO(酸化インジウム・スズ)膜とSnO2(二酸
化スズ)膜を使用し、該透明導電膜の膜厚を厚い領域と
薄い領域とを共存させることにより、温度の均一性と視
認性をもつパネルヒーターがあった。しかしこの方法で
は、膜作成の制御が難しく、大画面の液晶を均一に温め
るためには低抵抗の透明導電膜が必要であり、耐久性の
ある低抵抗の透明導電膜での作成が難しかった。A conventional liquid crystal display element used under conditions such as cold regions is, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 58-126517.
As proposed in Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2003-242242, there is a device in which a mesh-shaped heat generating resistor is arranged and heated. But with this method,
It is difficult to uniformly heat the entire liquid crystal element, and there is a disadvantage that the heating resistor made of an opaque metal becomes an obstacle when viewing the liquid crystal display. In addition, JP-A-3
As proposed in JP-A-172820, an ITO (indium tin oxide) film and a SnO 2 (tin dioxide) film are used for the transparent conductive film, and the transparent conductive film is divided into a thick region and a thin region. There was a panel heater which had temperature uniformity and visibility when coexisted. However, with this method, it is difficult to control the film formation, and a low-resistance transparent conductive film is required to uniformly heat a large-screen liquid crystal, and it is difficult to form a durable low-resistance transparent conductive film. .
【0004】本発明者らは、特願平5−189560に
おいて、透明導電膜上に実質的に透光性のある金属薄膜
層を形成したのち、ウェットプロセスにより金属薄膜層
上に金属電極を形成して透明面状ヒーターを提供出来る
ことを開示した。In Japanese Patent Application No. 5-189560, the inventors of the present invention formed a metal thin film layer having a substantially light-transmitting property on a transparent conductive film and then formed a metal electrode on the metal thin film layer by a wet process. It has been disclosed that a transparent sheet heater can be provided.
【0005】しかし、これらの透明面状ヒーターに用い
られる透明導電性膜の代表的な構成は、金属薄膜を透明
高屈折率薄膜ではさんだ積層体であり、例えば、真空蒸
着、反応性蒸着またはスパッタリングで形成されたIn
OX /Ag/In OX 、SiNX /Ag/SiNX 、T
iO2 /Ag/TiO2 等のサンドイッチ状の構造の積
層体が提案されている。金属層として銀を主成分とする
金属薄膜を用いたものは、銀自身が持つ光学的特性によ
り、可視光領域における透明性が特に優れていること、
また導電性においても好ましく、特に、低電圧での発熱
性に優れる等の点から材料として特に優れている。However, a typical structure of the transparent conductive film used in these transparent planar heaters is a laminated body in which a metal thin film is sandwiched by a transparent high refractive index thin film, for example, vacuum deposition, reactive deposition or sputtering. In formed by
O X / Ag / In O X , SiN X / Ag / SiN X, T
A laminate having a sandwich structure such as iO 2 / Ag / TiO 2 has been proposed. The one using the metal thin film containing silver as the main component as the metal layer has excellent transparency in the visible light region due to the optical characteristics of silver itself,
It is also preferable in terms of conductivity, and is particularly excellent as a material in terms of excellent heat generation at low voltage.
【0006】しかしながら、透明高屈折率薄膜層により
おおわれた銀または銅を主成分とする薄膜層からなる積
層体を発熱層として使用した透明面状ヒーターにおいて
は、該積層体は湿分、チリ、ガス、酸性分及びその他の
汚染物質により、劣化し、透明面状ヒーターとして使用
できなくなる。通常、該発熱面の両面は基板や保護膜層
によりおおわれて、保護されているが、端面またはエッ
チング等で露出した断面はそのまま外気に曝されている
ため、湿分、チリ、ガス、酸性分及びその他の汚染物質
により、端面およびまたは断面より、透明導電性及び低
電圧における発熱性という特性の劣化がおこり、やが
て、該積層体の中心部へ、発熱面の中心部へ進行し、該
特性の劣化が促進され、環境安定性において著しい問題
であった(図1、2参照)。この劣化の原因の多くは環
境因子による金属薄膜層構成成分である金属の表面拡散
あるいは腐食による為、この改善は非常に重要であっ
た。同様な事は電磁波シールド体にも言えた。However, in a transparent planar heater using as a heat generating layer a laminate comprising a thin film layer containing silver or copper as a main component covered with a transparent high refractive index thin film layer, the laminate has moisture, dust, and It deteriorates due to gas, acid and other pollutants, and cannot be used as a transparent heater. Usually, both surfaces of the heat generating surface are covered and protected by a substrate or a protective film layer, but since the end surface or the cross section exposed by etching is exposed to the outside air as it is, moisture, dust, gas, acid content, etc. And other contaminants cause deterioration of the characteristics of transparent conductivity and heat generation at low voltage from the end face and / or cross section, and eventually progress to the center of the laminate and to the center of the heat generation surface. Was promoted, which was a significant problem in environmental stability (see FIGS. 1 and 2). Since most of the causes of this deterioration are surface diffusion or corrosion of the metal that is a constituent component of the metal thin film layer due to environmental factors, this improvement was very important. The same thing can be said for the electromagnetic shield.
【0007】いずれにしても、上記の様な透明導電膜で
ヒーターを作成した場合、透明性に問題があったり、発
熱面の温度はその中心が高く、その周辺が低く、面内温
度の均一化には問題があった。特に、液晶表示体で、液
晶がカイラルスメクチックC相を有する様な強誘電性液
晶の場合、特に問題であった。また、表示体の画面が大
きくなるにつれて、導電膜の表面抵抗の低抵抗化と面内
温度の均一化が要望されていた。In any case, when the heater is made of the transparent conductive film as described above, there is a problem in transparency, the temperature of the heat generating surface is high in the center and low in the periphery, and the in-plane temperature is uniform. There was a problem with the conversion. In particular, in the case of a liquid crystal display, the liquid crystal is a ferroelectric liquid crystal having a chiral smectic C phase, which is a particular problem. Further, as the screen of the display body becomes larger, it has been desired to reduce the surface resistance of the conductive film and make the in-plane temperature uniform.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、低電
圧でも駆動でき、表面の温度分布を均一化し、湿分、チ
リ、ガス、酸性分及びその他の汚染物質に対して耐久性
を有した透明面状ヒーターまたは電磁波シールド体およ
びこの透明面状ヒーター等を備えた液晶表示装置を提供
することである。The object of the present invention is that it can be driven at a low voltage, has a uniform temperature distribution on the surface, and has durability against moisture, dust, gas, acid and other pollutants. Another object of the present invention is to provide a transparent surface heater or an electromagnetic wave shield, and a liquid crystal display device including the transparent surface heater.
【0009】また、液晶表示装置の中で、特に、温度分
布の影響が強い、カイラルスメクチック相等を有する強
誘電性液晶を用いた液晶表示装置に本発明の透明面状ヒ
ーターを使用すれば、より効果的である。Further, among the liquid crystal display devices, the use of the transparent planar heater of the present invention in a liquid crystal display device using a ferroelectric liquid crystal having a chiral smectic phase or the like, which is strongly influenced by temperature distribution, is more advantageous. It is effective.
【0010】また本発明の別の目的は、導電面または導
電面上に形成された電極に外部への接続ができる接続用
電極金具を設けた透明面状ヒーターや電磁波シールド体
を提供することである。Another object of the present invention is to provide a transparent planar heater or an electromagnetic wave shield body in which a conductive surface or an electrode formed on the conductive surface is provided with a connecting electrode fitting for external connection. is there.
【0011】また本発明の別の目的は、他の支持体への
取り付け用として粘着材や接着材を設けた透明面状ヒー
ターや電磁波シールド体を提供することである。Another object of the present invention is to provide a transparent planar heater or an electromagnetic wave shield provided with an adhesive material or an adhesive material for attachment to another support.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するため、鋭意検討した結果、透明基板上に設け
られた透明導電膜を発熱面として使用し、前記透明導電
膜に通電するための一対の電極を備えた透明面状ヒータ
ーにおいて、所定のパターンを持った、低抵抗の導電膜
面を有し、少なくとも透明導電膜断面の一部または全部
及びまたは該周端縁部分の一部または全部を防食成分で
処理したり、有機物保護層を設けたり、または、防食成
分で処理された導電膜に有機物保護層を設けたり、また
は防食成分を含有する有機物保護層を設けたりすること
により、本発明を完成した。In order to solve the above-mentioned problems, the inventors of the present invention have conducted extensive studies and as a result, as a result of using a transparent conductive film provided on a transparent substrate as a heat generating surface and conducting electricity to the transparent conductive film. In a transparent planar heater provided with a pair of electrodes for having a low resistance conductive film surface having a predetermined pattern, at least part or all of the transparent conductive film cross section and / or the peripheral edge part Part or all may be treated with an anticorrosive component, an organic protective layer may be provided, or an organic protective layer may be provided on a conductive film treated with an anticorrosive component, or an organic protective layer containing an anticorrosive component may be provided. As a result, the present invention has been completed.
【0013】また、接続用金具を設けた透明面状ヒータ
ーや電磁波シールド体により、ハンダ付けや熱融着等に
よる外部接続が容易に可能な透明面状ヒーターや電磁波
シールド体である本発明を完成した。Further, the present invention has been completed which is a transparent planar heater or an electromagnetic wave shield body which can be easily connected to the outside by soldering, heat fusion or the like by means of the transparent planar heater or the electromagnetic wave shield body provided with a fitting for connection. did.
【0014】また、粘着剤や接着剤を透明面状ヒーター
や電磁波シールド体に設けることにより、他の支持体へ
の取り付けが容易な透明面状ヒーターや電磁波シールド
体である本発明を完成した。Further, by providing a pressure-sensitive adhesive or an adhesive on a transparent sheet heater or an electromagnetic wave shield, the present invention has been completed which is a transparent sheet heater or an electromagnetic wave shield which can be easily attached to another support.
【0015】すなわち、透明基板の少なくとも一主面上
に設けられた透明導電膜を発熱面または受電波面として
使用し、該透明導電膜に通電または接地するための、少
なくとも一対の電極を備えた透明面状ヒーターまたは電
磁波シールド体において、該発熱面または受電波面が所
定のパターンを有する透明導電膜からなり、かつ、該透
明導電膜上に透明保護層を有し、さらに、少なくとも該
透明導電膜の断面及びまたは該周辺端部の一部または全
部に防蝕層が設けられた透明面状ヒーターまたは電磁波
シールド体であり、または、透明導電膜が片面あるいは
両面を透明薄膜によって覆われた銀及びまたは銅を主成
分とする金属薄膜からなる透明面状ヒーターまたは電磁
波シールド体であり、または、透明薄膜が酸化物、窒化
物、酸窒化物、窒化水素化物、炭化物からなる群から選
ばれた、少なくとも一種以上からなる薄膜の単層または
多層である透明面状ヒーターまたは電磁波シールド体で
あり、または、電極に外部接続用金具が設けられた透明
面状ヒーターまたは電磁波シールド体であり、または、
少なくとも一主面上に接着層が設けられた透明面状ヒー
ターまたは電磁波シールド体である。That is, the transparent conductive film provided on at least one main surface of the transparent substrate is used as a heat generating surface or a radio wave receiving surface, and at least a pair of electrodes are provided for energizing or grounding the transparent conductive film. In the transparent sheet heater or the electromagnetic wave shield, the heating surface or the radio wave receiving surface is made of a transparent conductive film having a predetermined pattern, and a transparent protective layer is provided on the transparent conductive film, and at least the transparent conductive film. A transparent planar heater or an electromagnetic wave shield having a cross-section of the film and / or a part or all of the peripheral edge part thereof provided with a corrosion-resistant layer, or silver having a transparent conductive film covered on one or both sides with a transparent thin film, and Alternatively, it is a transparent planar heater or electromagnetic wave shield made of a metal thin film containing copper as a main component, or the transparent thin film is an oxide, a nitride, an oxynitride, or a nitride. It is a transparent planar heater or an electromagnetic wave shield that is a single layer or a multilayer of a thin film made of at least one or more kinds selected from the group consisting of hydrides and carbides, or a transparent surface provided with an external connection metal fitting on the electrode. Heater or electromagnetic shield, or
A transparent planar heater or an electromagnetic wave shield body having an adhesive layer provided on at least one main surface.
【0016】また上記透明面状ヒーター及びまたは上記
電磁波シールド体を設けた透明面状ヒーター及びまたは
電磁波シールド体付液晶装置である。A liquid crystal device with the transparent sheet heater and / or the electromagnetic wave shield, provided with the transparent sheet heater and / or the electromagnetic wave shield, is also provided.
【0017】[0017]
【発明の実施の形態】透明基板を構成する素材として好
ましいプラスチックを例示するならば、ポリエチレンテ
レフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート
(PEN)等のポリエステル、ポリアミド、ポリエーテ
ル、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン(PE
S)、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリエーテ
ルイミド、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、
ポリイミド、アラミド、ポリメチルメタアクリレート、
ポリアセテート、ポリ−4−メチルペンテン−1ポリア
クリロニトリル系樹脂、フェノキシ樹脂、ポリフェニレ
ンオキサイド系樹脂、ポリスチレン、ノルボルネン系ポ
リマー、ポリパラバン酸などのホモポリマーまたはコポ
リマーからなるものが挙げられる。透明で、可とう性を
有するシートまたはフィルムであれば透明基板に使用で
き、これらの例に限定されるものではない。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), polyamides, polyethers, polysulfones, polyethersulfones ( PE
S), polycarbonate, polyarylate, polyetherimide, polyetheretherketone (PEEK),
Polyimide, aramid, polymethylmethacrylate,
Examples include polyacetate, poly-4-methylpentene-1 polyacrylonitrile-based resin, phenoxy resin, polyphenylene oxide-based resin, polystyrene, norbornene-based polymer, and homopolymer or copolymer of polyparabanic acid. Any transparent or flexible sheet or film can be used as the transparent substrate, and the present invention is not limited to these examples.
【0018】さらに、透明基板と透明導電膜との密着力
を向上させるために、透明基板の上にアンダーコートを
設けて、透明基板としても良い。ここでアンダーコート
とは架橋性樹脂硬化物またはアンカー剤の上に架橋性樹
脂硬化物を設けたものである。架橋性樹脂硬化物として
はアクリルエポキシ樹脂、アクリルシリコーン樹脂、エ
ポキシ樹脂、アクリル樹脂、フェノキシエーテル型架橋
樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、
または紫外線硬化型アクリレート類等が好ましく用いら
れる。またアンカー剤としては水溶性ポリウレタン樹
脂、水溶性ポリアミド樹脂、水溶性ポリエステル樹脂、
A−PET(アモルファス−ポリエチレンテレフタレー
ト)、エチレン−酢酸ビニル系エマルジョン、または
(メタ)アクリル系エマルジョン等が好ましく用いられ
る。言うまでもないが、透明基板と透明導電膜との密着
力を向上させるものならば、いずれのものでも使用可能
である。アンダーコートの厚みは通常は1〜100μm
であり、好ましくは10〜50μmである。Further, in order to improve the adhesion between the transparent substrate and the transparent conductive film, an undercoat may be provided on the transparent substrate to form a transparent substrate. Here, the undercoat is a cured product of the crosslinkable resin or a cured product of the crosslinkable resin provided on the anchor agent. As the crosslinkable resin cured product, acrylic epoxy resin, acrylic silicone resin, epoxy resin, acrylic resin, phenoxyether type crosslinkable resin, melamine resin, phenol resin, urethane resin,
Alternatively, UV-curable acrylates are preferably used. As the anchor agent, water-soluble polyurethane resin, water-soluble polyamide resin, water-soluble polyester resin,
A-PET (amorphous polyethylene terephthalate), ethylene-vinyl acetate emulsion, or (meth) acrylic emulsion is preferably used. Needless to say, any material can be used as long as it improves the adhesion between the transparent substrate and the transparent conductive film. The thickness of the undercoat is usually 1 to 100 μm
And preferably 10 to 50 μm.
【0019】さらに、ポリアクリロニトリル、ポリビニ
ルアルコールまたはPVDC(ポリ塩化ビニリデン)等
の耐透気性樹脂すなわちセルロース成分、ポリアミド系
樹脂成分、ビニルアルコール成分、ハロゲン化ビニリデ
ン成分、アクリロニトリル成分の内、少なくとも1成分
を60モル%以上含有する重合体または混合物である耐
透気性樹脂を1〜100μmの厚みで設け、防湿、ガス
バリヤー性等の機能を付与して、透明基板としても良
い。またこれらにポリウレタン等アンカーコートを0.
5〜200μm厚みで合わせ使用しても良い。Further, at least one component selected from air-permeable resins such as polyacrylonitrile, polyvinyl alcohol or PVDC (polyvinylidene chloride), that is, a cellulose component, a polyamide resin component, a vinyl alcohol component, a vinylidene halide component, and an acrylonitrile component is used. A transparent substrate may be provided by providing a gas-proof resin, which is a polymer or mixture containing 60 mol% or more, with a thickness of 1 to 100 μm and imparting functions such as moisture resistance and gas barrier property. Anchor coat of polyurethane etc.
You may match and use it by 5-200 micrometers thickness.
【0020】また、本発明品を液晶素子間または偏光板
間に用に用いる場合は一軸延伸のPETや光学的等方性
(低複屈折、低リタデーション)の観点から、リタデー
ション値が30nm以下、好ましくは15nm以下、さ
らに好ましくは10nm以下、より好ましくは5nm以
下の透明基板が好ましい。好ましいフィルムの素材とし
てはPES、ポリアリレート、ポリカーボネート、ノル
ボルネン系ポリマー、ポリ−4−メチルペンテン−1等
が例示される。When the product of the present invention is used between liquid crystal elements or between polarizing plates, the retardation value is 30 nm or less from the viewpoint of uniaxially stretched PET and optical isotropy (low birefringence, low retardation). A transparent substrate having a thickness of preferably 15 nm or less, more preferably 10 nm or less, and further preferably 5 nm or less is preferable. Examples of preferable film materials include PES, polyarylate, polycarbonate, norbornene-based polymer, poly-4-methylpentene-1 and the like.
【0021】本発明に用いられるプラスチックシートま
たはフィルムの厚みは、通常は5〜1mmであり、好ま
しくは8〜500μmであり、さらに好ましくは10〜
200μmより好ましくは50〜150μmである。こ
の様なフィルムを作製する方法としては押出成形法、キ
ャステング法、圧延法等の従来法が適応できる。The thickness of the plastic sheet or film used in the present invention is usually 5 to 1 mm, preferably 8 to 500 μm, more preferably 10 to 5.
The thickness is more preferably 200 μm and more preferably 50 to 150 μm. As a method for producing such a film, conventional methods such as an extrusion molding method, a casting method, and a rolling method can be applied.
【0022】本発明おいて透明導電膜としては、金属薄
膜、半導体薄膜の単層や積層体、または金属薄膜と透明
薄膜とを積層したものが適用できる。積層は各一層で
も、それ以上の多層であっても差支えない。In the present invention, as the transparent conductive film, a single layer or a laminate of a metal thin film, a semiconductor thin film, or a laminate of a metal thin film and a transparent thin film can be applied. The laminations may be each single layer or more layers.
【0023】半導体薄膜としては、インジウム、スズ、
亜鉛、アンチモン等を含む酸化物で導電性を示すもので
あれば如何なるものでもよいが、好ましくは酸化インジ
ウム、酸化スズ、ITO(酸化インジウム・スズ)、I
ZO(酸化インジウム・亜鉛)、ITZO(酸化インジ
ウム・亜鉛・スズ)、AZO(酸化亜鉛・アンチモ
ン)、AIZO(酸化インジウム・亜鉛・アンチモン)
等の薄膜が挙げられる。厚みは80〜10,000Åで
あり、好ましくは200〜6,000Åである。As the semiconductor thin film, indium, tin,
Any oxide that contains zinc, antimony, or the like and exhibits conductivity may be used, but indium oxide, tin oxide, ITO (indium tin oxide), I
ZO (indium oxide / zinc oxide), ITZO (indium oxide / zinc / tin), AZO (zinc oxide / antimony), AIZO (indium oxide / zinc / antimony)
And the like. The thickness is 80 to 10,000 Å, preferably 200 to 6,000 Å.
【0024】金属薄膜としては、銀、金、銅、アルミニ
ウム、ニッケル、クロム、等の金属が使われるが、銀、
金、銅が好ましい。特に好ましくは、銀、銅等の金属
または合金の薄膜からなる金属薄膜、銀または銅等の
単金属やそれらを含む合金の金属薄膜と窒化珪素等の窒
化物や酸化インジウム、酸化チタン等の金属酸化物や炭
化珪素等の金属炭化物などの透明薄膜、特に透明高屈折
率薄膜とを積層されたものなどが用いられる。透明性お
よび導電性から金属薄膜と透明薄膜の積層体や金属薄膜
を透明薄膜でサンドイッチ状の構造に積層したものが好
ましい。特に、窒化物、酸化物または炭化物の群から選
ばれた、少なくとも、一種以上を含む透明薄膜と実質的
に透明性の金属薄膜とを少なくとも各一層以上積層した
ものが好ましい。多層構造の透明薄膜や多層構造の金属
薄膜も使用できる。金属薄膜をA、透明薄膜をBとし
て、好ましい一例を挙げれば、AB、ABAB、ABA
BAB、BA、BABA、BABABA、BAB、BA
BAB、BABABAB等である。これ以外の多層体で
あっても使用できる。As the metal thin film, metals such as silver, gold, copper, aluminum, nickel, chromium are used.
Gold and copper are preferable. Particularly preferably, a metal thin film made of a metal or alloy thin film of silver, copper or the like, a metal thin film of a single metal such as silver or copper or an alloy containing them, and a nitride such as silicon nitride or a metal such as indium oxide or titanium oxide. A transparent thin film such as an oxide or a metal carbide such as silicon carbide, in particular, a laminate of a transparent high refractive index thin film is used. From the viewpoint of transparency and conductivity, a laminate of a metal thin film and a transparent thin film or a laminate of metal thin films in a sandwich structure is preferable. Particularly, it is preferable that at least one layer of a transparent thin film containing at least one selected from the group of nitrides, oxides or carbides and at least one layer of a substantially transparent metal thin film are laminated. A transparent thin film having a multilayer structure or a metal thin film having a multilayer structure can also be used. A preferable example is AB, ABAB, and ABA where the metal thin film is A and the transparent thin film is B.
BAB, BA, BABA, BABABA, BAB, BA
BAB, BABABAB and the like. Other multi-layered bodies can also be used.
【0025】ここで透明薄膜と金属薄膜の組合せからな
る透明導電膜の金属薄膜としては銀または銀を含む合金
もしくは混合物のうち少なくとも一種を含む単層体また
は積層体が挙げられる。銀およびまたは銅を含む合金も
しくは混合物の場合の銀の含有量は望ましくは30重量
%以上、好ましくは50重量%以上、さらに好ましくは
70重量%以上、であり、銅の含有量は望ましくは30
重量%以上、好ましくは50重量%以上、さらに好まし
くは70重量%以上、である。勿論、ここで述べた範囲
外であっても、場合によっては使用可能である。Here, the metal thin film of the transparent conductive film comprising a combination of the transparent thin film and the metal thin film may be a single layer or a laminate containing at least one of silver or an alloy or mixture containing silver. In the case of an alloy or mixture containing silver and / or copper, the content of silver is preferably 30% by weight or more, preferably 50% by weight or more, more preferably 70% by weight or more, and the content of copper is preferably 30%.
It is at least 50% by weight, preferably at least 50% by weight, more preferably at least 70% by weight. Of course, even if it is out of the range described here, it can be used in some cases.
【0026】また銀の合金、または混合物に含まれる金
属としては劣化防止の観点から、金、銅、パラジウム、
白金のほか、タングステン、チタン、コバルト、クロ
ム、ニッケル、スズ、インジウム、IT(インジウム・
スズ)、珪素、亜鉛等の金属が好ましい。As the metal contained in the silver alloy or the mixture, gold, copper, palladium,
In addition to platinum, tungsten, titanium, cobalt, chromium, nickel, tin, indium, IT (indium
Metals such as tin), silicon and zinc are preferred.
【0027】ここで含有される金属の含有量は劣化防止
可能な量なら使用可能であるが、好ましくは2重量%か
ら60重量%、より好ましくは5重量%から50重量
%、さらに好ましくは8重量%から30重量%である。
これら各金属薄膜の厚みは基本的に1nmから500n
mであり、好ましくは5nmから50nmであり、さら
に好ましくは10nmから30nmである。The content of the metal contained here can be used as long as it can prevent deterioration, but it is preferably 2 to 60% by weight, more preferably 5 to 50% by weight, further preferably 8% by weight. % To 30% by weight.
The thickness of each of these metal thin films is basically 1 nm to 500 n.
m, preferably 5 nm to 50 nm, and more preferably 10 nm to 30 nm.
【0028】また、透明薄膜層への銀または銀を含む金
属薄膜の密着力を向上するために銀以外の金属薄膜を銀
または銀を主成分とする薄膜の少なくとも片面に積層し
て、ここで使用する金属薄膜とする場合、透明薄膜層へ
の金属薄膜の密着力を向上するための銀以外の金属とし
ては、ニッケル、クロム、チタン、金、銅、白金、タン
グステン、モリブデン、イリジウム、鉛、スズ、インジ
ウム、亜鉛、パラジウム、コバルト、珪素、アルミニウ
ム、ゲルマニウム、マンガン、ガリウム、タンタル、バ
ナジウム、ジルコニウム、バリウム、ニオブのいずれか
の単金属またはこれらを一種以上を含む合金またはその
混合物が好ましい。また該銀以外の金属の厚さは、0.
1nm〜50nmが望ましい。好ましくは0.3nm〜
30nm、さらに好ましくは0.5nm〜10nm、よ
り好ましくは0.5nm〜5nmである。In order to improve the adhesion of silver or a metal thin film containing silver to the transparent thin film layer, a metal thin film other than silver is laminated on at least one surface of silver or a thin film containing silver as a main component. When using a metal thin film to be used, as the metal other than silver for improving the adhesion of the metal thin film to the transparent thin film layer, nickel, chromium, titanium, gold, copper, platinum, tungsten, molybdenum, iridium, lead, A single metal selected from tin, indium, zinc, palladium, cobalt, silicon, aluminum, germanium, manganese, gallium, tantalum, vanadium, zirconium, barium, and niobium, an alloy containing one or more of these, or a mixture thereof is preferable. The thickness of the metal other than the silver is 0.
1 nm to 50 nm is desirable. Preferably 0.3 nm ~
30 nm, more preferably 0.5 nm to 10 nm, and still more preferably 0.5 nm to 5 nm.
【0029】本発明おいて透明薄膜としては高屈折率誘
電体が好ましいが、高屈折率誘電体としては、窒化物薄
膜や酸化物薄膜や炭化物薄膜が例示される。In the present invention, the transparent thin film is preferably a high refractive index dielectric, and the high refractive index dielectric is exemplified by a nitride thin film, an oxide thin film or a carbide thin film.
【0030】本発明おいて窒化物薄膜を構成する素材と
しては好ましくは窒化珪素、窒化アルミニウム、窒化イ
ンジウム、窒化ガリウム、窒化スズ、窒化ホウ素、窒化
クロム、窒化炭化ケイ素等の窒化物または酸窒化ケイ
素、酸窒化スズ、酸窒化ホウ素、酸窒化アルミニウム、
酸窒化インジウム、酸窒化ガリウム、酸窒化クロム、酸
窒化炭化ケイ素等の酸窒化物もしくは水素化窒化アルミ
ニウム、水素化窒化インジウム、水素化窒化ガリウム、
水素化窒化ケイ素、水素化窒化スズ、水素化窒化ホウ
素、水素化窒化クロム、水素化窒化炭化ケイ素等の水素
化窒化物等が例示される。通常、窒化物、酸窒化物、水
素化窒化物ならいずれでも使用できるが、好ましくは屈
折1.6以上、さらに好ましくは屈折率1.8以上、よ
り好ましくは屈折率2.0以上の窒化物及びまたは酸窒
化物及びまたは水素化窒化物からなる高屈折率透明薄膜
が好ましい。なお、光線透過率は通常50%以上、好ま
しくは70%以上、さらに好ましくは80%以上であ
る。In the present invention, the material forming the nitride thin film is preferably a nitride such as silicon nitride, aluminum nitride, indium nitride, gallium nitride, tin nitride, boron nitride, chromium nitride, silicon nitride carbide or silicon oxynitride. , Tin oxynitride, boron oxynitride, aluminum oxynitride,
Indium oxynitride, gallium oxynitride, chromium oxynitride, oxynitride such as silicon oxynitride carbide, or aluminum hydronitride, indium hydronitride, gallium hydronitride,
Examples thereof include hydronitrides such as silicon hydronitride, tin hydronitride, boron hydronitride, chromium hydronitride, and silicon hydronitride carbide. Usually, any of nitrides, oxynitrides, and hydrogenated nitrides can be used, but nitrides having a refractive index of 1.6 or more, further preferably 1.8 or more, and more preferably 2.0 or more. And / or a high refractive index transparent thin film made of oxynitride and / or hydrogenated nitride is preferable. The light transmittance is usually 50% or more, preferably 70% or more, more preferably 80% or more.
【0031】これら酸窒化物の金属を除く成分は、酸素
と窒素を主な成分とし、含有窒素の原子量の全量を含有
窒素の原子量の全量と含有酸素の原子量の全量との和で
割った比の百分率で、窒素分は1原子%以上、好ましく
は3原子%以上、より好ましくは30原子%以上、さら
に好ましくは、50原子%以上である。またこれら水素
化窒化物の金属を除く成分中の窒素分は50原子%さら
に好ましくは、80原子%以上である。これら窒化物層
の厚さは、通常0.3nm〜100nmであり、好まし
くは1nm〜100nmであり、さらに好ましくは5n
m〜50nm、より好ましくは10nm〜30nmであ
る。The components of these oxynitrides excluding the metal are mainly oxygen and nitrogen, and the ratio of the total atomic weight of contained nitrogen divided by the sum of the total atomic weight of contained nitrogen and the total atomic weight of oxygen contained. The nitrogen content is 1 atomic% or more, preferably 3 atomic% or more, more preferably 30 atomic% or more, and further preferably 50 atomic% or more. Further, the nitrogen content in the components other than the metal of these hydronitrides is 50 atomic% or more preferably 80 atomic% or more. The thickness of these nitride layers is usually 0.3 nm to 100 nm, preferably 1 nm to 100 nm, and more preferably 5 n.
m to 50 nm, more preferably 10 nm to 30 nm.
【0032】本発明おいて酸化物薄膜を構成する素材と
しては好ましくは酸化インジウム、酸化スズ、酸化イン
ジウム・スズ(ITO)、酸化インジウム・亜鉛(IZ
O)、酸化インジウム・亜鉛・スズ(ITZO)、酸化
インジウム・亜鉛・アンチモン(AIZO)等のインジ
ウムを含む酸化物、酸化亜鉛・アンチモン(AZO)、
酸化アルミニウム、酸化ゲルマニウム、酸化亜鉛、酸化
ジルコニウム、酸化チタン、酸化イットリウ、酸化セリ
ウム、酸化タンタル、もしくは酸化ハフニム等が例示さ
れる。通常、酸化物ならいずれも使用できが、好ましく
は屈折1.6以上、さらに好ましくは屈折率1.8以
上、より好しくは屈折率2.0以上の酸化物からなる高
屈折率透明薄膜が好ましい。なお、光線透過率は通常5
0%以上、好ましくは70%以上、さらに好ましくは8
0%以上である。The material forming the oxide thin film in the present invention is preferably indium oxide, tin oxide, indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZ).
O), indium oxide / zinc / tin (ITZO), oxides containing indium such as indium oxide / zinc / antimony (AIZO), zinc oxide / antimony (AZO),
Examples thereof include aluminum oxide, germanium oxide, zinc oxide, zirconium oxide, titanium oxide, yttrium oxide, cerium oxide, tantalum oxide, and hafnium oxide. Usually, any oxide can be used, but a high refractive index transparent thin film made of an oxide having a refractive index of 1.6 or more, more preferably a refractive index of 1.8 or more, and more preferably a refractive index of 2.0 or more is preferable. preferable. The light transmittance is usually 5
0% or more, preferably 70% or more, more preferably 8
0% or more.
【0033】これら酸化物薄膜の少なくとも一層の厚み
が通常5nm〜600nm、好ましくは60nm〜10
0nm、さらに好ましくは20nm〜80nmである。
また、これら透明導電膜を構成する各層間や透明導電膜
と透明基板間において、各層がお互の成分を含む混合状
態で形成されていても本発明の機能を損なうものでな
い。The thickness of at least one layer of these oxide thin films is usually 5 nm to 600 nm, preferably 60 nm to 10 nm.
It is 0 nm, more preferably 20 nm to 80 nm.
Further, even if each layer is formed in a mixed state containing components of each other between the layers forming the transparent conductive film or between the transparent conductive film and the transparent substrate, the function of the present invention is not impaired.
【0034】これら、金属薄膜、透明薄膜、透明導電膜
を透明基板上に形成する方法としては、スプレー法、塗
布法の他、物理的蒸着法等の公知の方法が利用できる。
ここで、物理的蒸着法とは減圧下もしくは真空下で金属
等の薄膜を形成する方法であって、真空蒸着法、スパッ
タリング法、イオンプレ−ティング法、イオンビ−ムア
シスト蒸着法、イオンクラスタ−ビ−ム法、分子線エピ
タキシー法(MBE)、CVD法、MOCVD法、プラ
ズマCVD法等の方法が例示される。透明保護層として
は導電面または電極を保護できるものならいずれでも使
用できる。好ましい透明保護層としては、例えば、公知
のUV硬化型のレジストインキを塗布硬化せしめたも
の、電子線硬化型のレジストインキを塗布硬化せしめた
もの、熱硬化型のレジストインキを塗布硬化せしめたも
の、UV硬化型樹脂を塗布硬化せしめたもの、電子線硬
化型樹脂を塗布硬化せしめたもの、熱硬化型樹脂を塗布
硬化せしめたものの外、熱可塑性樹脂層やドライフィル
ムなどが挙げられる。この他、耐水性、耐薬品性のある
透明な膜が得られるものであれば、透明保護層として使
用でき、例えば、透明な塗料、硬化性モノマーまたはオ
リゴマー、ポリエステル等のプラスチックフィルムに接
着剤(含粘着剤)を塗布したものや、エチレン−酢酸ビ
ニル共重合体等の自己粘着性を有するフィルムを積層し
て、透明保護層を形成することができる。言うまでもな
いが、これらを混合したり、積層したものも透明保護層
として使用可能である。As a method for forming these metal thin film, transparent thin film and transparent conductive film on a transparent substrate, known methods such as a physical vapor deposition method as well as a spray method and a coating method can be used.
Here, the physical vapor deposition method is a method of forming a thin film of a metal or the like under reduced pressure or under vacuum, and it is a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, an ion beam assisted vapor deposition method, an ion cluster beam. Examples of the methods include a film method, a molecular beam epitaxy method (MBE), a CVD method, a MOCVD method, and a plasma CVD method. As the transparent protective layer, any layer can be used as long as it can protect the conductive surface or the electrode. Preferred transparent protective layers include, for example, a known UV curable resist ink applied and cured, an electron beam curable resist ink applied and cured, and a thermosetting resist ink applied and cured. Examples thereof include those obtained by applying and curing a UV-curable resin, those obtained by applying and curing an electron beam curing resin, those obtained by applying and curing a thermosetting resin, and thermoplastic resin layers and dry films. In addition to this, a transparent protective layer can be used as long as a transparent film having water resistance and chemical resistance can be obtained. For example, a transparent paint, a curable monomer or oligomer, a plastic film such as polyester with an adhesive ( A transparent protective layer can be formed by laminating a self-adhesive film such as an ethylene-vinyl acetate copolymer or the like coated with a pressure-sensitive adhesive). Needless to say, a mixture or a laminate of these can be used as the transparent protective layer.
【0035】ここでUV硬化型樹脂としてはアルキルア
クリレート、エポキシアクリレート、ウレタンアクリレ
ート、ポリエステルアクリレート、多官能性アクリレー
ト、単官能性アクリレート、ポリエーテルアクリレー
ト、シリコンアクリレート、ポリブタジエンアクリレー
ト、不飽和ポリエステル/スチレン、ポリエン/チオー
ル、ポリスチリルアクリレート、UV硬化ラッカー等が
好ましく用いられる。Here, as the UV curable resin, alkyl acrylate, epoxy acrylate, urethane acrylate, polyester acrylate, polyfunctional acrylate, monofunctional acrylate, polyether acrylate, silicon acrylate, polybutadiene acrylate, unsaturated polyester / styrene, polyene are used. / Thiol, polystyryl acrylate, UV-curable lacquer and the like are preferably used.
【0036】電子線硬化型樹脂としてはアルキルアクリ
レート、エポキシアクリレート、ウレタンアクリレー
ト、ポリエステルアクリレート、多官能性アクリレー
ト、単官能性アクリレート、ポリエーテルアクリレー
ト、シリコンアクリレート、ポリブタジエンアクリレー
ト、不飽和ポリエステル/スチレン、ポリエン/チオー
ル、ポリスチリルアクリレート、UV硬化ラッカー等が
好ましく用いられる。Examples of electron beam curable resins include alkyl acrylate, epoxy acrylate, urethane acrylate, polyester acrylate, polyfunctional acrylate, monofunctional acrylate, polyether acrylate, silicon acrylate, polybutadiene acrylate, unsaturated polyester / styrene, polyene / Thiol, polystyryl acrylate, UV curing lacquer and the like are preferably used.
【0037】尚、上記アクリレート類にはメタクリレー
ト類も含まれる。The above acrylates also include methacrylates.
【0038】熱硬化型樹脂としては、エポキシ樹脂、キ
シレン樹脂、グアナミン樹脂、ジアリルフタレート樹
脂、ポリウレタン、ビニルエステル樹脂、不飽和ポリエ
ステル樹脂、、ポリイミド、メラミン樹脂、マレイン酸
樹脂、ユリヤ樹脂、アクリル樹脂、アクリル酸エステル
樹脂、フェノキシエーテル系架橋樹脂、キシレン樹脂、
グアナミン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、フェノール
樹脂、珪素樹脂、アルキッド樹脂等が好ましく用いられ
る。As the thermosetting resin, epoxy resin, xylene resin, guanamine resin, diallyl phthalate resin, polyurethane, vinyl ester resin, unsaturated polyester resin, polyimide, melamine resin, maleic acid resin, urea resin, acrylic resin, Acrylic ester resin, phenoxy ether cross-linking resin, xylene resin,
Guanamine resin, diallyl phthalate resin, phenol resin, silicon resin, alkyd resin and the like are preferably used.
【0039】熱可塑性樹脂としては、ポリロピレン、ポ
リエチレン、エチレン−プロピレン共重合体などのポリ
オレフィン、ポリエステル、ポリアミド、アイオノマ
ー、エチレンー酢ビ共重合体、アクリル酸エステル、メ
タアクリル酸ステルなどのアクリル樹脂、ポリビニール
アセタール、フェノール、変性エポキシ樹脂、酢酸ビニ
ル樹脂、シリコーンRTV、ポリマーアロイ型ポリイミ
ドおよびこれらの共重合体や、混合物が好ましい。言う
までもないが、異種型、例えば熱硬化型樹脂とUV硬化
型樹脂との混合物を硬化樹脂として用いたり、同種型、
例えばアルキルアクリレートとウレタンアクリレートの
UV硬化型樹脂同士との混合物を硬化樹脂として使用で
きる。すなわち、これらどの樹脂との混合物でも使用で
きる。Examples of the thermoplastic resin include polyolefins such as polypropylene, polyethylene and ethylene-propylene copolymer, polyesters, polyamides, ionomers, ethylene-vinyl acetate copolymers, acrylic resins such as acrylic acid ester and methacrylic acid stellate, and polyacrylics. Vinyl acetal, phenol, modified epoxy resin, vinyl acetate resin, silicone RTV, polymer alloy type polyimide, copolymers thereof, and mixtures thereof are preferable. Needless to say, different types, for example, a mixture of thermosetting resin and UV curable resin is used as a curing resin,
For example, a mixture of UV-curable resins of alkyl acrylate and urethane acrylate can be used as the cured resin. That is, a mixture with any of these resins can be used.
【0040】塗料としては、ニトロセルロースラッカ
ー、アクリルラッカー、アセチルセルロースラッカー等
の繊維素誘導体塗料やアルキッド樹脂塗料、アミノアル
キッド樹脂塗料、グアナミン樹脂塗料、塩化ビニル樹脂
塗料、ブチラール樹脂塗料、スチレン・ブタジエン樹脂
塗料、熱硬化型アクリル樹脂塗料、エポキシ樹脂塗料、
不飽和ポリエステル塗料、ポリウレタン樹脂塗料、ケイ
素樹脂塗料等が好ましく用いられる。Examples of the paint include fibrin derivative paints such as nitrocellulose lacquer, acrylic lacquer and acetylcellulose lacquer, alkyd resin paints, aminoalkyd resin paints, guanamine resin paints, vinyl chloride resin paints, butyral resin paints, styrene-butadiene resins. Paint, thermosetting acrylic resin paint, epoxy resin paint,
Unsaturated polyester paint, polyurethane resin paint, silicon resin paint and the like are preferably used.
【0041】透明保護層の厚みは、通常は1μm〜10
0μmであり、好ましくは5μm〜50μmであり、さ
らに好ましくは10μm〜30μmである。これら透明
保護層を透明基板のアンダーコートとして使用しても良
い。The thickness of the transparent protective layer is usually 1 μm to 10 μm.
It is 0 μm, preferably 5 μm to 50 μm, and more preferably 10 μm to 30 μm. You may use these transparent protective layers as an undercoat of a transparent substrate.
【0042】透明プラスチックフィルムに接着層を設け
た接着剤付透明プラスチックフィルを透明保護層として
使用しても良い。ここで、使用される透明プラスチック
フィルムは透明基板に使用される素材が使用できる。ま
た接着剤としては透明基板及びまたは導電膜と接着また
は粘着できるものであるならば、如何なるのもでも使用
できる。ここで、一例を示せば、 感圧性接着剤(含粘着剤):アクリル系等 溶剤型接着剤:酢酸ビニル樹脂系、クロロプレンゴム
系、ニトリルゴム系、セルロース系、多液混合系等 エマルジョン型接着剤:α−オレフィン系、硬化酢酸ビ
ニル樹脂系、酢酸ビニル樹脂系、酢ビ−アクリル系、ア
クリル共重合物系、ビニル・ウレタン系、エポキシ系、
塩化ビニリデン系、塩化ビニル系、非水エマルジョン
系、粉末エマルジョン系、合成ゴムラテックス系等 化学反応型接着剤:シアノアクリレート系、エポキシ
系、ポリウレタン樹脂系等 ホットメルト型接着剤:EVA系、ポリアミド系、ポリ
エステル系等、 他に、ユリア樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、レ
ゾルシノール樹脂、α−オレフィン樹脂、エポキシ樹
脂、ポリウレタン、アクリル樹脂、メタクリル樹脂また
はそれらの誘導体樹脂や共重合体等を使用した接着剤も
使用できる。また紫外線硬化型接着剤、電子線硬化型接
着剤、熱硬化型接着剤等も使用できる。A transparent plastic film with an adhesive, which is a transparent plastic film provided with an adhesive layer, may be used as the transparent protective layer. Here, as the transparent plastic film used, the material used for the transparent substrate can be used. As the adhesive, any adhesive can be used as long as it can be adhered or adhered to the transparent substrate and / or the conductive film. Here, as an example, pressure-sensitive adhesive (adhesive): Acrylic, etc. Solvent-type adhesive: Vinyl acetate resin, chloroprene rubber, nitrile rubber, cellulose, multi-liquid mixed system, etc. Emulsion type adhesive Agent: α-olefin type, cured vinyl acetate resin type, vinyl acetate resin type, vinyl acetate-acrylic type, acrylic copolymer type, vinyl / urethane type, epoxy type,
Vinylidene chloride type, vinyl chloride type, non-aqueous emulsion type, powder emulsion type, synthetic rubber latex type, etc. Chemical reaction type adhesives: cyanoacrylate type, epoxy type, polyurethane resin type, etc. Hot melt type adhesives: EVA type, polyamide type , Polyester, etc., and other adhesives using urea resin, melamine resin, phenol resin, resorcinol resin, α-olefin resin, epoxy resin, polyurethane, acrylic resin, methacrylic resin or their derivative resins or copolymers, etc. Can also be used. Further, an ultraviolet curable adhesive, an electron beam curable adhesive, a thermosetting adhesive, etc. can also be used.
【0043】場合によっては、透明基板及びまたは接着
剤付透明プラスチックフィルムのフィルムにシラン系カ
ップリング剤等のカップリング剤を使用して、接着力の
向上を図ってもよい。一例として、シラン系カップリン
グ剤を挙げれば、ビニルトリクロロシラン、ビニルエト
キシシラン、ビニル−トリス−(βーメトキシエトキ
シ)シラン、γメタクリロキシプロピルトリメトキシシ
ラン、βー(3,4エポキシシクロヘキシル)エチルト
リメトキシシラン、γーグリシドキシプロピルトリメト
キシシラン、γーアミノプロピルトリエトキシシラン、
Nーβー(アミノエチル)ーγアミノプロピルトリメト
キシシラン、N(ジメトキシメチルシリルプロピル)エ
チレンジアミン、Nー(トリメトキシシリルプロピル)
ーエチレンジアミン等である。In some cases, a coupling agent such as a silane coupling agent may be used in the film of the transparent substrate and / or the transparent plastic film with an adhesive to improve the adhesive strength. Examples of the silane coupling agent include vinyltrichlorosilane, vinylethoxysilane, vinyl-tris- (β-methoxyethoxy) silane, γmethacryloxypropyltrimethoxysilane, β- (3,4epoxycyclohexyl) ethyl. Trimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane,
N-β- (aminoethyl) -γ aminopropyltrimethoxysilane, N (dimethoxymethylsilylpropyl) ethylenediamine, N- (trimethoxysilylpropyl)
-Such as ethylenediamine.
【0044】本発明に用いられる接着剤付透明プラスチ
ックフィルムのフィルムの厚みは、通常は1μm〜2m
mであり、好ましくは5〜500μmであり、さらに好
ましくは10〜250μmであり、より好ましくは50
〜150μmである。また接着剤の厚みは、通常は0.
1〜300μmであり、好ましく1〜100μmであ
り、さらに好ましくは5〜50μmである。The thickness of the transparent plastic film with an adhesive used in the present invention is usually 1 μm to 2 m.
m, preferably 5 to 500 μm, more preferably 10 to 250 μm, and more preferably 50.
150150 μm. The thickness of the adhesive is usually 0.
It is 1 to 300 μm, preferably 1 to 100 μm, and more preferably 5 to 50 μm.
【0045】本発明に用いられる電極としては、導電性
を有するものであれば如何なるものでも使用可能である
が、好ましい電極の例としては 1)導電性樹脂 2)
導電性樹脂と金属箔 3)導電性樹脂に金属めっき層
4)金属めっき層 が挙げられる。As the electrode used in the present invention, any electrode can be used as long as it has conductivity, but preferable examples of the electrode are 1) conductive resin 2)
Conductive resin and metal foil 3) Metal plating layer on conductive resin
4) Metal plating layer.
【0046】導電性樹脂としてはポリピロール等の樹脂
その物が導電性を有しているもの、銀ペースト、銅ペー
ストや銀−銅ペースト等の銀や銅等の金属粉やカーボン
ブラック等の炭素を単独または混合物で樹脂に混合した
もの等が例示される。金属箔としては金属の箔であれ
ば、如何なるものでも使用できるが、好ましくは銅箔や
ニッケル箔等の金属箔が例示される。金属めっき層とし
てはニッケル、銅等、通常めっき可能な金属からなる層
が例示される。これらを単独あるいは積層または混合層
として使用し、電極とすることが可能である。言うまで
もなく、これらを多層にして使用しても良い。As the conductive resin, resin such as polypyrrole having conductivity, metal powder such as silver or copper such as silver paste, copper paste or silver-copper paste, or carbon such as carbon black is used. Examples thereof include a single resin or a mixture of resins and the like. As the metal foil, any metal foil can be used, but preferably, a metal foil such as a copper foil or a nickel foil is exemplified. Examples of the metal plating layer include a layer made of a metal such as nickel and copper that can be normally plated. These can be used alone or as a layer or a mixed layer to form an electrode. Needless to say, these may be used in multiple layers.
【0047】導電性樹脂層は通常の印刷法等により設置
され、金属箔を使用する場合は、その片面に接着剤を設
けて、導電性樹脂層に接着させ、接着剤の塗布されてい
ない面に導電性樹脂を設けた電極の形成が例示される。
金属めっき層は電気めっき法、無電解めっき法またはダ
イレクトプレーティング法等のウェットプロセスから選
ばれた方法により形成される。The conductive resin layer is set by an ordinary printing method or the like. When a metal foil is used, an adhesive is provided on one side of the metal foil to adhere it to the conductive resin layer, and the surface not coated with the adhesive. The formation of an electrode provided with a conductive resin is exemplified.
The metal plating layer is formed by a method selected from wet processes such as electroplating, electroless plating and direct plating.
【0048】電極の厚みは、透明導電膜が発熱面として
機能できるだけの電流が流すことができるだけの厚みが
あれば良いが、通常 0.1μm以上あるが、好ましく
は0.5〜100μm、さらに好ましくは1〜50μ
m、より好ましくは5から20μmである。The electrode may have any thickness as long as the transparent conductive film can pass an electric current capable of functioning as a heating surface, but it is usually 0.1 μm or more, preferably 0.5 to 100 μm, and more preferably. Is 1 to 50μ
m, more preferably 5 to 20 μm.
【0049】また電極がめっき金属層を含む場合、めっ
き金属が透明導電膜のいずれの部分に到達していても良
いし、透明導電膜の成分とめっき金属が混合された状態
になっていても良い。即ち、透明導電膜が多層体である
場合、めっき金属が透明薄膜成分である金属酸化物及び
または窒化物及びまたは炭化物まで到達しようと、さら
に侵入し、金属層、さらにその下の透明薄膜成分である
金属酸化物及びまたは窒化物及びまたは炭化物や透明基
板まで達しても良い。さらに、めっき金属と金属酸化
物、窒化物や炭化物およびまたは金属層の金属成分が少
なくとも部分的に混合された状態で存在していても良
い。また、電極設置部の透明導電膜の一部又は全部がめ
っき金属で置換されても良い。電極から透明導電膜に電
流が流れ、発熱面が発熱できるものなら、電極と透明導
電膜の間は如何なる状態になっていても良い。When the electrode includes a plated metal layer, the plated metal may reach any part of the transparent conductive film, or the components of the transparent conductive film and the plated metal may be mixed. good. That is, when the transparent conductive film is a multi-layered body, the plated metal further penetrates to reach the transparent thin film component metal oxide and / or nitride and / or carbide, and the metal layer and the transparent thin film component below the metal layer penetrate further. Some metal oxides and / or nitrides and / or carbides and even transparent substrates may be reached. Furthermore, the plating metal and the metal oxide, nitride or carbide and / or the metal component of the metal layer may be present in a state of being at least partially mixed. Further, a part or all of the transparent conductive film of the electrode installation part may be replaced with the plating metal. Any state may be provided between the electrode and the transparent conductive film as long as a current flows from the electrode to the transparent conductive film and the heating surface can generate heat.
【0050】本発明の透明面状ヒーターを支持体に接着
する場合には、透明基板あるいは透明保護プスチックフ
ィルムをふくむ透明保護プラスチックの少なくとも一部
の表面に接着層を設ければよい。透明保護プラスチック
フィルムで覆われた透明面状ヒーターの場合は少なくと
も片面の一部に接着層を設ければ良い。また、透明面状
ヒーターの両面に接着層を設け、例えば、片面を液晶素
子側ともう一方の面を冷陰極管等のバックライト側と接
着させても良い。In the case of adhering the transparent sheet heater of the present invention to a support, an adhesive layer may be provided on at least a part of the surface of a transparent substrate or a transparent protective plastic including a transparent protective plastic film. In the case of a transparent heater covered with a transparent protective plastic film, an adhesive layer may be provided on at least a part of one side. In addition, an adhesive layer may be provided on both surfaces of the transparent planar heater, and one surface may be bonded to the liquid crystal element side and the other surface may be bonded to the backlight side such as a cold cathode tube.
【0051】この接着層としては、接着剤付き透明保護
フィルムで使用した接着剤や透明性のある一般の粘着剤
や接着剤または両面接着テープを使用することが出来
る。好ましい接着剤としてはアクリル系の感圧接着剤
(含粘着剤)、シアノアクリレート系反応型接着剤を例
示することが出来る。また、接着層付き透明保護プラス
チックフィルムで使用した接着剤も使用できる。As the adhesive layer, the adhesive used in the transparent protective film with an adhesive, a general transparent adhesive, an adhesive, or a double-sided adhesive tape can be used. Examples of preferable adhesives include acrylic pressure-sensitive adhesives (adhesives) and cyanoacrylate-based reactive adhesives. Also, the adhesive used in the transparent protective plastic film with an adhesive layer can be used.
【0052】本発明の透明面状ヒーターへの接着剤の塗
布は使用時に塗布し、支持体たとえば液晶表示体へ圧着
し、該透明面状ヒーターに固定できるが、予め接着層を
該透明面状ヒーターに設ける場合、接着剤面は、必要に
応じてセパレータ(離型シート)を積層しておき、製品
を搬送する場合や保管時に接着剤面が付着しないように
しておくことが望ましい。当然のことながら、この透明
面状ヒーターを実際に支持体に取りつける場合にはセパ
レーターは剥離除去される。セパレータとしては、通常
使用される離型紙の外、ポリエチレン、ポリプロピレン
フィルム、ポリエステルフィルム等を用いることが出来
る。セパレータの厚みとしては、通常1μm〜200μ
mであり、好ましくは2μm〜100μmであり、さら
に好ましくは5μm〜50μmである。The adhesive can be applied to the transparent sheet heater of the present invention at the time of use and pressure-bonded to a support such as a liquid crystal display to fix it to the transparent sheet heater. When it is provided in the heater, it is desirable that the adhesive surface is laminated with a separator (release sheet) if necessary so that the adhesive surface does not adhere when the product is transported or stored. As a matter of course, when the transparent sheet heater is actually attached to the support, the separator is peeled off. As the separator, polyethylene, polypropylene film, polyester film, etc. can be used in addition to the release paper usually used. The thickness of the separator is usually 1 μm to 200 μm.
m, preferably 2 μm to 100 μm, and more preferably 5 μm to 50 μm.
【0053】本発明の接続用電極金具を取りつけた透明
面状ヒーターの接続用電極金具に電線等をはんだ付けな
どで取りつけて、使用する場合、前記接続用電極金具は
電極上なら、どこでも良い。言うまでもなく、接着層ま
たはセパレーター上に設置して、電極と電気的な連結を
はかっても良い。また、導線と該金具が一体になったも
のも使用できる。When a wire or the like is attached to the connecting electrode fitting of the transparent sheet heater having the connecting electrode fitting of the present invention mounted thereto by soldering or the like, the connecting electrode fitting may be anywhere on the electrode. Needless to say, it may be installed on the adhesive layer or the separator to electrically connect with the electrode. In addition, an integrated conductor and the metal fitting can be used.
【0054】本発明の透明面状ヒーターを支持体に接着
する場合には、透明基板あるいは透明保護プスチックフ
ィルムをふくむ透明保護プラスチックの少なくとも一部
の表面に接着層を設ければよい。透明保護プラスチック
フィルムで覆われた透明面状ヒーターの場合は少なくと
も片面の一部に接着層を設ければ良い。また、透明面状
ヒーターの両面に接着層を設け、例えば、片面を液晶素
子側ともう一方の面を冷陰極管等のバックライト側と接
着させても良い。When the transparent sheet heater of the present invention is adhered to a support, an adhesive layer may be provided on at least part of the surface of a transparent substrate or a transparent protective plastic including a transparent protective plastic film. In the case of a transparent heater covered with a transparent protective plastic film, an adhesive layer may be provided on at least a part of one side. In addition, an adhesive layer may be provided on both surfaces of the transparent planar heater, and one surface may be bonded to the liquid crystal element side and the other surface may be bonded to the backlight side such as a cold cathode tube.
【0055】この接着層としては、接着剤付き透明保護
フィルムで使用した接着剤や透明性のある一般の粘着剤
や接着剤または両面接着テープを使用することが出来
る。好ましい接着剤としてはアクリル系の感圧粘着剤、
シアノアクリレート系の反応型接着剤を例示することが
出来る。また、接着層付き透明保護プラッスチックフィ
ルムで使用した接着剤も使用できる。As the adhesive layer, the adhesive used in the transparent protective film with an adhesive, a general transparent adhesive, an adhesive, or a double-sided adhesive tape can be used. As a preferred adhesive, an acrylic pressure-sensitive adhesive,
A cyanoacrylate-based reactive adhesive can be exemplified. Further, the adhesive used in the transparent protective plastic film with an adhesive layer can also be used.
【0056】本発明の透明面状ヒーターへの接着剤の塗
布は使用時に塗布し、支持体たとえば液晶表示体へ圧着
し、該透明面状ヒーターに固定できるが、予め接着層を
該透明面状ヒーターに設ける場合、接着剤面は、必要に
応じてセパレータ(離型シート)を積層しておき、製品
を搬送する場合や保管時に接着剤面が付着しないように
しておくことが望ましい。セパレータとしては、通常使
用される離型紙の他、ポリエチレン、ポリプロピレンフ
ィルム、ポリエステルフィルム等を用いることが出来
る。セパレータの厚みとしては、通常1μm〜200μ
mであり、好ましくは2μm〜100μmであり、さら
に好ましくは5μm〜50μmである。The adhesive can be applied to the transparent sheet heater of the present invention at the time of use and pressure-bonded to a support such as a liquid crystal display to fix it to the transparent sheet heater. When it is provided in the heater, it is desirable that the adhesive surface is laminated with a separator (release sheet) if necessary so that the adhesive surface does not adhere when the product is transported or stored. As the separator, polyethylene, polypropylene film, polyester film and the like can be used in addition to release paper which is usually used. The thickness of the separator is usually 1 μm to 200 μm.
m, preferably 2 μm to 100 μm, and more preferably 5 μm to 50 μm.
【0057】本発明でのレジストとしては通常使用され
るレジストなら如何なるものでも使用できるが、アルカ
リ剥離型や溶剤剥離型のエッチングレジスト、メッキレ
ジスト、穴埋めインキ、ソルダーレジスト、アクティブ
用レジスト等が好ましい。すなわち、環化ゴム、ポリけ
い皮酸等をベースにしたネガ型ホトレジストやフェノー
ル及びクレゾール、ノボラック樹脂等をベースにしたポ
ジ型フォトレジスト等のフォトレジスト、メラミン樹脂
系、エポキシ樹脂系、イミド変性系等の加熱硬化型ソル
ダーレジスト、ラジカル重合系、カチオン重合系、ポリ
エン/ポリチオール系等の紫外線硬化型ソルダーレジス
ト、紫外線/熱併用型ソルダーレジストやドライフィル
ムレジスト等が例示される。As the resist in the present invention, any resist that is usually used can be used, but alkali peeling type or solvent peeling type etching resist, plating resist, hole filling ink, solder resist, active resist and the like are preferable. That is, cyclized rubber, negative photoresist based on polycinnamic acid and the like, and photoresist such as phenol and cresol, positive photoresist based on novolac resin, melamine resin-based, epoxy resin-based and imide-modified photoresist Examples thereof include heat-curable solder resists such as, radical polymerization type, cationic polymerization type, UV curing type solder resists such as polyene / polythiol type, UV / heat combined type solder resists and dry film resists.
【0058】さらに、メタアクリレート共重合体等をベ
ースにしたポジ型X線レジストやアクリレート等をベー
スにしたネガ型X線レジスト等のX線レジストやメタア
クリレート及びその共重合体等をベースにしたポジ型電
子線レジストやポトレジスト系、シリコーン樹脂系、エ
ポキシ高分子系、ポリシオキサン系等のネガ型電子線レ
ジスト等の電子線レジストも使用できる。Further, a positive type X-ray resist based on a methacrylate copolymer or the like, a negative type X-ray resist based on an acrylate or the like, an X-ray resist or a methacrylate and its copolymer or the like are used as a base. An electron beam resist such as a positive type electron beam resist, a negative type electron beam resist such as a photoresist type, a silicone resin type, an epoxy polymer type, or a polycioxane type can also be used.
【0059】本発明の防蝕層は防蝕剤で処理されたも
の、透明プラスチックからなるもの、透明護プラスチッ
クと防蝕剤の混合物からなるもの、防食剤で処理された
層に透明プラスチックを積層したもの等があり、防蝕剤
は、 1)ベンゾトリアゾール、インダゾール、イミダゾール
及びまたはその誘導体 2)アミノ酸及びまたはその誘導体 3)メルカプタン及びまたはその誘導体 4)銅キレート化合物から選ばれた少なくとも一種以上
を含む有効成分またはそれらの混合物が挙げられる。The anticorrosion layer of the present invention is treated with an anticorrosion agent, is made of transparent plastic, is made of a mixture of transparent protective plastic and anticorrosion agent, is laminated with transparent plastic on the anticorrosion agent-treated layer, etc. The anticorrosive agent is 1) benzotriazole, indazole, imidazole and / or its derivative 2) amino acid and / or its derivative 3) mercaptan and / or its derivative 4) an active ingredient containing at least one or more selected from copper chelate compounds or Mention may be made of mixtures thereof.
【0060】本発明の防蝕処理に使用されるベンゾトリ
アゾール類、インダゾール類、イミダゾール類はそれぞ
れ、ベンゾトリアゾール核、インダゾール核、イミダゾ
ール核を持つものであれば、如何なるものでも良いが、
好ましい一例を挙げれば、下記の様である。The benzotriazoles, indazoles and imidazoles used in the anticorrosion treatment of the present invention may be any as long as they have a benzotriazole nucleus, an indazole nucleus and an imidazole nucleus, respectively.
A preferred example is as follows.
【0061】本発明の防蝕処理に使用される好ましいベ
ンゾトリアゾール類の一例は1・2・3ベンゾトリアゾ
ール及びその誘導体であり、2メチルベンゾトリアゾー
ル等の2アルキル化ベンゾトリアゾール、2フェニルベ
ンゾトリアゾール、5、6メチルベンゾトリアゾール、
5ベンゾトリアゾールカルボン酸、ハロゲン化ベンゾト
リアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、ドデシル
ベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、
およびカルボキシベンゾトリアゾールのエステル、例え
ば、メチル、エチル、イソプロピル、ブチル、ヘキシ
ル、オクチル、ドデシルなどのエステルあるいは可溶性
塩等である。One example of the preferred benzotriazoles used in the anticorrosion treatment of the present invention is 1,2,3 benzotriazole and its derivatives, which are 2-alkylated benzotriazoles such as 2-methylbenzotriazole, 2-phenylbenzotriazole and 5 , 6-methylbenzotriazole,
5 benzotriazolecarboxylic acid, halogenated benzotriazole, hydroxybenzotriazole, dodecylbenzotriazole, carboxybenzotriazole,
And esters of carboxybenzotriazole, for example, esters or soluble salts of methyl, ethyl, isopropyl, butyl, hexyl, octyl, dodecyl and the like.
【0062】本発明の防蝕処理に使用される好ましいイ
ンダゾール類の一例は4−クロロインダゾール、4−ニ
トロインダゾール、4−クロロ−5ニトロインダゾー
ル、5−ニトロ−3メチルインダゾール、4・6ジニト
ロ−5・7ジメチルインダゾール、5・7ジニトロ−6
メチルインダゾール等である。Examples of preferable indazoles used in the corrosion protection treatment of the present invention include 4-chloroindazole, 4-nitroindazole, 4-chloro-5nitroindazole, 5-nitro-3methylindazole, and 4.6 dinitro-5. * 7 dimethylindazole, 5.7 dinitro-6
Methylindazole and the like.
【0063】本発明の防蝕処理に使用される好ましいイ
ミダゾール類の一例は2−オクチルイミダゾール、2−
ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタンデシルイミダゾ
ールなどのアルキルイミダゾール類やイミダゾール、ニ
トロイミダゾール、オキシイミダゾール、ベンゾイミダ
ゾール、N−アセチルイミダゾール、N−ベンゾイルイ
ミダゾール、ピクラート等である。Examples of preferable imidazoles used for the anticorrosion treatment of the present invention include 2-octylimidazole and 2-octylimidazole.
Examples include alkylimidazoles such as undecylimidazole and 2-heptandecylimidazole, imidazole, nitroimidazole, oxyimidazole, benzimidazole, N-acetylimidazole, N-benzoylimidazole and picrate.
【0064】本発明の防蝕処理に使用されるアミノ酸に
は銅及び銅系金属と反応して錯化合物を形成することの
できる中性アミノ酸、塩基性アミノ酸、酸性アミノ酸、
含硫アミノ酸、芳香属アミノ酸および異節環状アミノ酸
が含まれる。好ましいアミノ酸の例としては、グリシ
ン、アラニン、バリン、ロイシン、ヂソロイシン、ルイ
シン、セリン、アルギニン、グルタミン、グルタミン
酸、アスパラギン酸、システイン、メチオニン、フェニ
ルアラニン、ヒスチジン、オキシプロリン、ヒドロキシ
プロテイン等、およびそれらのエステル類が挙げること
ができ、とくに親水性の大きいものが望ましい。ここ
で、エステル類のアルコール成分は炭素数が8以下であ
ることが望ましく、飽和、不飽和のいずれの炭化水素基
でも良く、メチル、エチル、プロピル、ベンジル、アミ
ル、オクチル、などが挙げられる。The amino acid used in the anticorrosion treatment of the present invention includes a neutral amino acid, a basic amino acid and an acidic amino acid which can react with copper and a copper-based metal to form a complex compound.
Sulfur-containing amino acids, aromatic amino acids and heterocyclic amino acids are included. Examples of preferred amino acids include glycine, alanine, valine, leucine, disoloucine, ruisin, serine, arginine, glutamine, glutamic acid, aspartic acid, cysteine, methionine, phenylalanine, histidine, oxyproline, hydroxyprotein, etc., and their esters. Can be mentioned, and those having a particularly high hydrophilicity are desirable. Here, the alcohol component of the esters preferably has 8 or less carbon atoms, and may be a saturated or unsaturated hydrocarbon group, such as methyl, ethyl, propyl, benzyl, amyl, octyl and the like.
【0065】本発明の防蝕処理に使用されるメルカプタ
ン類はメルカプト酢酸、3−メルカプトプロピオン酸、
1−メルカプトウンデシル酸、チオフェノール、フェニ
ルジスルフィッド、N−(2−ヒドロキシメチル)メル
カプトアセトアミド、2、2’ジメメルカプトジエチル
エーテル、2、2’−ジメルカプトジエチルチオエーテ
ル、1,2−エタンジチオール 、3−メルカプトプロ
ピルトリメトキシシラン、グリコールビス(3−メルカ
プトプロピオネート)、トリメチロールプロパントリス
(3−メルカプトプロピオネート)、グリコールジメル
カプトアセテート等である。The mercaptans used in the anticorrosion treatment of the present invention are mercaptoacetic acid, 3-mercaptopropionic acid,
1-mercaptoundecyl acid, thiophenol, phenyldisulfide, N- (2-hydroxymethyl) mercaptoacetamide, 2,2'-dimercaptodiethyl ether, 2,2'-dimercapto-diethylthioether, 1,2- Examples thereof include ethanedithiol, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, glycol bis (3-mercaptopropionate), trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), and glycol dimercaptoacetate.
【0066】本発明の防蝕処理に使用される銅キレート
化合物は主に有機銅キレート化合物であり、アセチルア
セトン銅、トリフルオロアセチルアセトン銅、エチレン
ジアミン銅、トリフルオロアセチルアセトン銅、エチレ
ンジアミン銅、フタロシアニン銅、ヘモシアニン、エチ
レンジアミンテトラアセテート銅、ジメチルジチオカル
バメート銅、ジエチルジチオカルバメート銅、ヒドロキ
シキノリン銅等が挙げられる。またクエン酸銅、酒石酸
銅、乳酸銅、酢酸銅等の有機酸銅塩も同等に用いること
ができる。The copper chelate compound used in the anticorrosion treatment of the present invention is mainly an organic copper chelate compound, and includes acetylacetone copper, trifluoroacetylacetone copper, ethylenediamine copper, trifluoroacetylacetone copper, ethylenediamine copper, phthalocyanine copper, hemocyanin, ethylenediamine. Examples include tetraacetate copper, dimethyldithiocarbamate copper, diethyldithiocarbamate copper, hydroxyquinoline copper and the like. Further, organic acid copper salts such as copper citrate, copper tartrate, copper lactate, and copper acetate can also be used equivalently.
【0067】本発明の防蝕処理に使用される透明プラス
チックは透明保護層に使用された素材が使用できる外、
変成アクリレート等の紫外線硬化型やエポキシシール剤
等の熱硬化型やそれらの混合物等の紫外線加熱併用硬化
型の液晶封止剤やエポキシ樹脂、ウレタン樹脂、フェノ
ール樹脂、シリコーン樹脂、シリコーンエポキシ樹脂、
DPAエポキシ樹脂等からなるシール剤やポリサルファ
イド系、アクリル系、アクリルウレタン系、ブチルゴム
系、SBR系等からなる建築用シーリング剤、鏡の周端
縁部分の腐蝕防止に使用される縁塗り用塗料やシーリン
グ剤、またはそのほかポリメタアクリル酸メチル等のア
クリル酸エステル系樹脂、ポリアクリロニトリルあるい
はポリメタアクリルニトリル等のアクリル樹脂、ポリエ
チレンあるいはポリプロピレン等のポリオレフィン系樹
脂、エチルシリケートより得られる重合体等の珪素樹
脂、ポリエステル系樹脂、メラミン樹脂、フッ素樹脂、
フェノール樹脂等の有機物質等が適用できる。The transparent plastic used for the anticorrosion treatment of the present invention can be made of the same material as the transparent protective layer,
UV curable type such as modified acrylate, thermosetting type such as epoxy sealant, and curable type combined with UV heating such as mixture thereof, epoxy resin, urethane resin, phenol resin, silicone resin, silicone epoxy resin,
Sealing agent made of DPA epoxy resin or the like, construction sealing agent made of polysulfide type, acrylic type, acrylic urethane type, butyl rubber type, SBR type, etc., edge coating used to prevent corrosion of the peripheral edge of the mirror, Sealing agent, or other acrylic ester resin such as polymethylmethacrylate, acrylic resin such as polyacrylonitrile or polymethacrylonitrile, polyolefin resin such as polyethylene or polypropylene, silicon resin such as polymer obtained from ethyl silicate , Polyester resin, melamine resin, fluororesin,
Organic substances such as phenolic resin can be applied.
【0068】他に透明基板に使用される素材や防蝕層に
使用される素材の適用できる。また上記化合物の中から
目的に応じて、数種の樹脂あるいは物質を混合したり、
積層させて使用しても何ら本発の目的にはさしつかえな
い。Besides, materials used for the transparent substrate and materials used for the anticorrosion layer can be applied. Depending on the purpose, from among the above compounds, several resins or substances may be mixed,
It can be used for any purpose even if it is used by stacking.
【0069】電極の素材として銅を使用した場合には特
にアミノ酸類、ベンゾトリアゾール類またはアミノ酸類
とベンゾトリアゾール類との併用をして、端面からの電
極の防蝕をすることが有効である。When copper is used as the electrode material, it is particularly effective to use amino acids, benzotriazoles or amino acids in combination with benzotriazoles to prevent corrosion of the electrodes from the end faces.
【0070】本発明の防蝕処理に使用される防蝕有効成
分を含む防蝕層は上記ベンゾイミダゾール類、インダゾ
ール類、イミダゾール類、アミノ酸類およびそれらのエ
ステル類の中から選ばれた少なくとも1種類あるいは2
種類以上の混合物を上記素材に混合したもの等が挙げら
れる。防湿処理においては、上記防食有効成分、上記防
蝕層、上記防蝕有効成分を含む防蝕層の中から選ばれた
1種以上の処理及びまたは積層物が使用できる。The anticorrosion layer containing the anticorrosion active ingredient used in the anticorrosion treatment of the present invention is at least one or two selected from the above benzimidazoles, indazoles, imidazoles, amino acids and their esters.
Examples include a mixture of at least one kind of the above materials. In the moisture-proof treatment, one or more kinds of treatments and / or laminates selected from the above-mentioned anticorrosive active ingredient, the above-mentioned anticorrosive layer, and the anticorrosive layer containing the above anticorrosive active ingredient can be used.
【0071】本発明の目的とする積層体における銀及び
または銅を主成分とする第一の金属層を含む金属層の断
面部に防蝕有効成分を含有させる方法としては従来良く
知られている方法で行う事が可能である。つまり、透明
面状ヒーターの断面の金属層上及びまたは電極及びまた
は断面の一部または全部に適当な溶剤等に溶かした防蝕
成分(ベンゾトリアゾール類、インダゾール類、イミダ
ゾール類、アミノ酸類、メルカプタン類、銅キレート化
合物類)を塗工する方法、スプレーガンで吹きつける噴
霧法あるいはかかる溶剤中に断面を浸漬する方法があ
る。またはかかる防蝕成分が昇華性を有する場合、適当
な温度に加温された該化合物の上に、透明面状ヒーター
の断面を接触処理することによっても、本発明の目的を
達成することができる。断面の表面あるいは内部に接触
あるいは進入している状態を含有と称するが、これによ
り、本発明の目的は充分に達成される。また、断面の金
属層及びまたは電極または断面の一部または全部に有機
樹脂成分を塗布、または噴霧、または浸漬し、硬化させ
るか、溶剤を乾燥させて、防蝕層としても本発明を達成
できる。また防蝕成分を樹脂成分に混合させるか、溶剤
を使用し混合後、上記方法にて、断面の金属層及びまた
は電極または断面の一部または全部にその樹脂成分を設
け、加熱、乾燥、UV照射等で防蝕層を設けても良い。
また上記防蝕成分を一種類以上含有する接着層を設けた
高分子フィルムまたはシートをかかる断面の金属層及び
または電極または断面の一部または全部に、接着層が接
触するように貼り合わせても本発明を達成できる。ま
た、少なくとも導電膜の断面の一部または全部または周
端縁部分のほかに電極、透明保護層、防蝕層および透明
基板の少なくとも何れかに上記防蝕有効成分、防蝕層、
上記防蝕有効成分を含む防蝕層を設けても、本発明の機
能を何ら損なうことはない。言うまでもなく、これら方
法の二種類以上を併用し、積層すれば、さらに、効果が
上がる。A method well known in the art as a method for incorporating an anticorrosion effective component into the cross-section of a metal layer containing a first metal layer containing silver and / or copper as a main component in the laminate for the purpose of the present invention. Can be done in. That is, the anticorrosion component (benzotriazoles, indazoles, imidazoles, amino acids, mercaptans, which is dissolved in a suitable solvent or the like on the metal layer of the cross section of the transparent planar heater and / or the electrode and / or a part or all of the cross section, Copper chelate compounds), a spraying method of spraying with a spray gun, or a method of immersing the cross section in such a solvent. Alternatively, when the anticorrosion component has a sublimation property, the object of the present invention can be achieved also by subjecting the cross-section of the transparent sheet heater to a contact treatment on the compound heated to an appropriate temperature. The state of being in contact with or entering the surface or the inside of the cross section is referred to as containing, and the object of the present invention is sufficiently achieved by this. The present invention can also be achieved as a corrosion-resistant layer by coating, spraying, or immersing the organic resin component on the metal layer and / or the electrode of the cross section or a part or all of the cross section to cure or dry the solvent. Further, the anticorrosion component is mixed with the resin component, or after mixing with a solvent, the resin component is provided on the metal layer and / or the electrode of the cross section or a part or all of the cross section by the above-mentioned method, followed by heating, drying and UV irradiation. You may provide an anticorrosion layer.
Further, a polymer film or sheet provided with an adhesive layer containing one or more types of the above-mentioned anticorrosive components may be adhered to the metal layer and / or the electrode or a part or all of the cross section so that the adhesive layer contacts. The invention can be achieved. Further, at least a part or all of the cross section of the conductive film or in addition to the peripheral edge portion, the electrode, the transparent protective layer, the anticorrosion layer and / or the transparent substrate, the anticorrosion active ingredient, the anticorrosion layer,
The provision of the anticorrosion layer containing the anticorrosion effective component does not impair the function of the present invention. Needless to say, if two or more of these methods are used together and laminated, the effect is further enhanced.
【0072】かかる防蝕成分の濃度はできる限り、高い
方が好ましいが、表面保護層を形成しうる樹脂の固形成
分量に対して20重量%以下であることが好ましく、1
0重量%以下であることが特に好ましい。また溶剤、酸
またはアルカリ等に溶解した溶液として、直接、該断面
又は全体を前記の塗布、噴霧、浸漬等の方法により防蝕
処理することもできる。この場合、溶剤、酸、アルカリ
はこれら防蝕剤を溶解できれば如何なるものでも良い。
好ましい一例を挙げれば、溶剤としてはメタノール、ト
ルエン、メチルエチルケトン等、酸としては塩酸、硫
酸、硝酸、燐酸、スルファミン酸等、アルカリとして
は、NaOH、KOH、LiOH、Na2 CO3 、K2
CO3 、Li2 CO3 等である。濃度は高い方がよい
が、溶液濃度で20重量%以下、好ましくは5重量%以
下、さらに好ましくは3重量%以下が好ましい。The concentration of the anticorrosion component is preferably as high as possible, but is preferably 20% by weight or less based on the solid component amount of the resin capable of forming the surface protective layer.
It is particularly preferably 0% by weight or less. Further, as a solution dissolved in a solvent, an acid, an alkali or the like, the cross section or the whole can be directly subjected to anticorrosion treatment by a method such as coating, spraying or dipping as described above. In this case, any solvent, acid, or alkali may be used as long as these corrosion inhibitors can be dissolved.
As a preferred example, the solvent is methanol, toluene, methyl ethyl ketone or the like, the acid is hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, phosphoric acid, sulfamic acid or the like, and the alkali is NaOH, KOH, LiOH, Na 2 CO 3 , K 2
CO 3 , Li 2 CO 3 and the like. The higher the concentration, the better, but the solution concentration is preferably 20% by weight or less, preferably 5% by weight or less, and more preferably 3% by weight or less.
【0073】防蝕層として透明プラスチック層、樹脂
層、塗料やシール剤を用いる場合、その厚みは特に制限
はないが、1μm〜1,000μmであり、好ましくは
5μm〜500μmであり、より好ましくは10μm〜
200μmである。When a transparent plastic layer, a resin layer, a paint or a sealant is used as the anticorrosion layer, its thickness is not particularly limited, but it is 1 μm to 1,000 μm, preferably 5 μm to 500 μm, more preferably 10 μm. ~
200 μm.
【0074】つぎに、透明プラスチックを使用した防蝕
層の設置方法の一例を挙げる。Next, an example of a method of installing the anticorrosion layer using transparent plastic will be described.
【0075】1.透明導電性フィルム上に設置された透
明保護層で覆われ、所定のパターンを持つ導電膜からな
る発熱面と電極以外の透明導電膜をエッチング等により
除去し、透明面状ヒーター原反を作成する。1. A transparent flat conductive sheet is prepared by removing the heat generating surface made of a conductive film having a predetermined pattern and the transparent conductive film other than the electrodes covered with the transparent protective layer provided on the transparent conductive film by etching or the like. .
【0076】1)透明保護プラスチックを該ヒーター原
反の透明保護層側全面に、印刷等により設け、乾燥また
は硬化する。つぎに、透明基板の透明導電膜が除去され
た領域を透明プラスチックが覆った接合部で切り離し、
少なくとも透明導電膜の断面及びまたは周端縁部分の一
部または全部が透明プラスチックで覆われた透明面状ヒ
ーターとする。1) A transparent protective plastic is provided on the entire transparent protective layer side of the raw material of the heater by printing or the like, and dried or cured. Next, the region where the transparent conductive film of the transparent substrate is removed is separated at the joint covered with transparent plastic,
At least a cross section of the transparent conductive film and / or a part or all of the peripheral edge portion is covered with a transparent plastic heater.
【0077】2)透明プラスチックを電極の外部電極接
続相当部領域を除き、該ヒーター原反の全面に、印刷等
により設け、乾燥または硬化する。つぎに、透明基板の
透明導電膜が除去された領域を透明プラスチックが覆っ
た接合部で切り離し、少なくとも透明導電膜の断面及び
または周端縁部分の一部または全部が透明プラスチック
で覆われた透明面状ヒーターとする。2) A transparent plastic is provided on the entire surface of the raw material of the heater by printing or the like, except for the area corresponding to the external electrode connection of the electrode, and dried or cured. Next, the area where the transparent conductive film of the transparent substrate is removed is cut off at the joint covered with the transparent plastic, and at least part or all of the cross section and / or the peripheral edge of the transparent conductive film is covered with the transparent plastic. Use a sheet heater.
【0078】3)透明プラスチックフィルムを該ヒータ
ー原反の透明導電膜側と合わせ、透明基板の透明導電膜
が除去された領域で熱圧着する。つぎに、透明基板の透
明導電膜が除去された領域を透明プラスチックが覆った
接合部で切り離し、少なくとも透明導電膜の断面及びま
たは周端縁部分の一部または全部が透明保護プラスチッ
クで覆われた透明面状ヒーターとする。3) A transparent plastic film is combined with the transparent conductive film side of the raw material of the heater, and thermocompression bonding is performed in the region of the transparent substrate where the transparent conductive film is removed. Next, the region of the transparent substrate where the transparent conductive film was removed was separated at the joint covered with the transparent plastic, and at least part or all of the cross section and / or the peripheral edge portion of the transparent conductive film was covered with the transparent protective plastic. Use a transparent sheet heater.
【0079】4)外部電極接続用領域として、電極領域
と重なる相当部の一部に穴を開けた透明プラスチックフ
ィルムを該穴が電極領域と重なる様にして該ヒーター原
反の透明導電膜側と合わせ、透明基板の透明導電膜が除
去された領域で熱圧着する。つぎに、3)と同様にし
て、該ヒーター原反から切り離し、少なくとも透明導電
膜の断面及びまたは周端縁部分の一部または全部が透明
プラスチックで覆われた透明面状ヒーターとする。4) As a region for external electrode connection, a transparent plastic film having a hole formed in a part of a corresponding portion overlapping the electrode region is formed on the transparent conductive film side of the raw material of the heater so that the hole overlaps the electrode region. In addition, thermocompression bonding is performed in a region of the transparent substrate where the transparent conductive film is removed. Then, in the same manner as in 3), the transparent sheet heater is separated from the raw material of the heater to obtain a transparent sheet heater in which at least a part of the cross section and / or the peripheral edge portion of the transparent conductive film is covered with transparent plastic.
【0080】5)接着剤または粘着剤付透明プラスチッ
クフィルムを透明面状ヒーター原反の導電膜側と合わ
せ、つぎに、3)と同様にして、該ヒーター原反から切
り離し、少なくとも透明導電膜の断面及びまたは周端縁
部分の一部または全部が透明プラスチックで覆われた透
明面状ヒーターとする。5) A transparent plastic film with an adhesive or a pressure-sensitive adhesive is combined with the conductive sheet side of the transparent sheet heater, and then separated from the heater sheet in the same manner as in 3) to remove at least the transparent conductive film. A transparent planar heater in which a part or all of the cross section and / or the peripheral edge portion is covered with transparent plastic is used.
【0081】6)外部電極接続用領域として電極領域と
重なる相当部の一部に穴を開けた、接着剤または粘着剤
付透明プラスチックフィルムを該穴が電極領域と重なる
様にして透明面状ヒーター原反の導電膜側と合わせ、接
着する。つぎに、3)と同様にして、該ヒーター原反か
ら切り離し、少なくとも透明導電膜の断面及びまたは周
端縁部分の一部または全部が透明プラスチックで覆われ
た透明面状ヒーターとする。6) As a region for connecting an external electrode, a transparent plastic film with an adhesive or a pressure sensitive adhesive is prepared by forming a hole in a portion of the corresponding region overlapping the electrode region so that the hole overlaps the electrode region. Align and bond with the conductive film side of the original fabric. Then, in the same manner as in 3), the transparent sheet heater is separated from the raw material of the heater to obtain a transparent sheet heater in which at least a part of the cross section and / or the peripheral edge portion of the transparent conductive film is covered with transparent plastic.
【0082】7)1)で作成した透明面状ヒーターの電
極の一部に接続用金具を取付け、透明面状ヒーターとす
る。7) A connecting metal fitting is attached to a part of the electrode of the transparent sheet heater prepared in 1) to obtain a transparent sheet heater.
【0083】8)2)で作成した透明面状ヒーターの透
明プラスチックで覆われていない電極に接続用金具を取
付け、透明面状ヒーターとする。8) A connecting metal fitting is attached to the electrode of the transparent sheet heater prepared in 2) that is not covered with the transparent plastic to obtain a transparent sheet heater.
【0084】9)3)で作成した透明面状ヒーターの透
明プラスチックフィルムで覆われている電極部に接続用
金具を取付け、透明面状ヒーターとする。9) A transparent metal heater is prepared by attaching a connecting metal fitting to the electrode portion of the transparent metal heater covered with the transparent plastic film prepared in 3).
【0085】10)4)で作成した透明面状ヒーターの
透明プラスチックフィルムで覆われていない電極部に接
続用金具を取付け、透明面状ヒーターとする。10) A transparent metal heater is prepared by attaching a connecting metal fitting to the electrode portion of the transparent metal heater prepared in 4) that is not covered with the transparent plastic film.
【0086】11)5)で作成した透明面状ヒーターの
接着剤または粘着剤付透明プラスチックフィルムで覆わ
れている電極部に接続用金具を取付け、透明面状ヒータ
ーとする。11) A connecting metal fitting is attached to the electrode portion covered with the adhesive or the transparent plastic film with an adhesive of the transparent sheet heater prepared in 5) to obtain a sheet heater.
【0087】12)6)で作成した透明面状ヒーターの
接着接着剤または粘着剤付透明プラスチックフィルムで
覆われていない電極部に接続用金具を取付け、透明面状
ヒーターとする。12) The transparent flat heater is prepared by attaching the connecting metal fittings to the electrode portion of the transparent flat heater prepared in 6) which is not covered with the adhesive or the transparent plastic film with the adhesive.
【0088】ここで、さらに、少なくとも、透明プラス
チックの上に、透明プラスチックフィルムや接着層付透
明プラスチックフィルムを設けても良い。Further, at least a transparent plastic film or a transparent plastic film with an adhesive layer may be provided on the transparent plastic.
【0089】2.透明導電性フィルム上に設置された透
明保護層に覆われ、所定のパターンを持つ導電膜からな
る透明保護層付発熱面と電極からなる透明面状ヒーター
から透明保護層付発熱面と電極部分を切出し、透明面状
ヒーター原反とする。2. A transparent protective layer placed on a transparent conductive film covers the heating surface with a transparent protective layer made of a conductive film having a predetermined pattern, and a transparent planar heater made of an electrode from the heating surface with a transparent protective layer to the electrode portion. Cut out and use as a transparent sheet heater.
【0090】1)透明プラスチックフィルムを透明面状
ヒーター原反の導電膜側と合わせその反対側の面にも透
明プラスチックフィルムを合わせ、透明面状ヒーター原
反周辺で熱圧着し、透明面状ヒーター原反が透明保護プ
ラスチックフィルムで覆われた透明面状ヒーターとす
る。1) A transparent plastic film is attached to the conductive film side of the raw material of the transparent planar heater, a transparent plastic film is also attached to the opposite surface, and thermocompression bonding is performed around the raw material of the transparent planar heater to form a transparent planar heater. The original sheet is a transparent sheet heater covered with a transparent protective plastic film.
【0091】2)外部電極接続用領域として電極領域と
重なる相当部の一部に穴を開けた、透明プラスチックフ
ィルムを該穴が電極領域と重なる様にして透明面状ヒー
ター原反の導電膜側と合わせ、その反対側の面に穴の空
いていない透明プラスチックフィルムを合わせ、透明面
状ヒーター原反周辺を熱圧着し、透明面状ヒーター原反
が透明プラスチックフィルムで覆われた透明面状ヒータ
ーとする。2) As a region for connecting an external electrode, a hole is made in a part of the corresponding portion which overlaps with the electrode region, and a transparent plastic film is formed so that the hole overlaps with the electrode region. And a transparent plastic film with no holes on the opposite side, and thermocompression-bonded the surrounding area of the transparent sheet heater, and the transparent sheet heater covered with transparent plastic film. And
【0092】3)接着剤または粘着剤付透明プラスチッ
クフィルムを透明面状ヒーター原反の導電膜側と合わ
せ、つぎに、その反対側の面に透明プラスチックフィル
ムを合わせ、全面もしくは周辺部を圧着し、透明面状ヒ
ーター原反が透明プラスチックフィルムで覆われた透明
面状ヒーターとする。言うまでもないが、導電膜側と反
対側の面にも接着剤または粘着剤付透明プラスチックフ
ィルムを使用しても良い。3) An adhesive or a transparent plastic film with a pressure-sensitive adhesive was put together with the conductive film side of the raw material of the transparent sheet heater, then the transparent plastic film was put on the opposite side, and the whole surface or the peripheral part was pressure-bonded. , Transparent sheet heater The original sheet of transparent sheet heater is covered with a transparent plastic film. Needless to say, an adhesive or a transparent plastic film with an adhesive may be used on the surface opposite to the conductive film side.
【0093】4)ベンゾイミダゾール等の防食剤を含む
溶液に、透明面状ヒーター原反を浸漬後、水洗、乾燥
し、端面が防食された透明面状ヒーターとする。4) A transparent sheet heater is immersed in a solution containing an anticorrosive agent such as benzimidazole, washed with water, and dried to obtain a transparent sheet heater whose end faces are protected from corrosion.
【0094】5)外部電極接続用領域として電極領域と
重なる相当部の一部に穴を開けた、接着剤または粘着剤
付透明プラスチックフィルムを該穴が電極領域と重なる
様にして透明面状ヒーター原反の導電膜側と合わせ、つ
ぎに、その反対側の面に穴の空いていない透明プラスチ
ックフィルムを合わせ、圧着し、透明面状ヒーター原反
が透明プラスチックフィルムで覆われた透明面状ヒータ
ーとする。言うまでもないが、導電膜側と反対側の面に
も接着剤または粘着剤付透明プラスチックフィルムを使
用しても良い。5) As a region for external electrode connection, a transparent plastic film with an adhesive or a pressure-sensitive adhesive, in which a hole is made in a portion corresponding to the electrode region so that the hole overlaps the electrode region, is a transparent sheet heater. Align with the conductive film side of the original fabric, then align the transparent plastic film with no holes on the opposite side, press-bond it, transparent planar heater Transparent planar heater in which the original fabric is covered with transparent plastic film And Needless to say, an adhesive or a transparent plastic film with an adhesive may be used on the surface opposite to the conductive film side.
【0095】6)1)で作成した透明面状ヒーターの透
明プラスチックフィルムで覆われていない電極部に接続
用金具を取付け、透明面状ヒーターとする。6) A transparent metal heater is prepared by attaching a connecting metal fitting to the electrode portion of the transparent metal heater prepared in 1) that is not covered with the transparent plastic film.
【0096】7)2)で作成した透明面状ヒーターの透
明プラスチックフィルムで覆われていない電極部に接続
用金具を取付け、透明面状ヒーターとする。7) A transparent metal heater is prepared by attaching a connecting metal fitting to the electrode portion of the transparent metal heater prepared in 2) which is not covered with the transparent plastic film.
【0097】8)3)で作成した透明面状ヒーターの透
明プラスチックフィルムで覆われていない電極部に接続
用金具を取付け、透明面状ヒーターとする。8) Attach a fitting for connection to the electrode portion of the transparent sheet heater prepared in 3) that is not covered with the transparent plastic film to obtain a transparent sheet heater.
【0098】9)4)で作成した透明面状ヒーターの透
明プラスチックフィルムで覆われていない電極部に接続
用金具を取付け、透明面状ヒーターとする。9) A transparent metal heater is prepared by attaching a connecting metal fitting to the electrode portion of the transparent metal heater prepared in 4) which is not covered with the transparent plastic film.
【0099】10)5)で作成した透明面状ヒーターの
透明プラスチックフィルムで覆われていない電極部に接
続用金具を取付け、透明面状ヒーターとする。10) A transparent metal heater is prepared by attaching a connecting metal fitting to the electrode portion of the transparent metal heater prepared in 5) which is not covered with the transparent plastic film.
【0100】3.透明導電性フィルム上に設置された透
明保護層に覆われ、所定のパターンを持つ導電膜からな
る透明保護層付発熱面と電極からなる透明面状ヒーター
が連なるシートの各電極に頭部差し込み型の接続用金具
を取付けた透明面状ヒーターシートを作成する。次に、
概接続用金具付きシートから透明保護層付発熱面と電極
部分を切出し、透明面状ヒーター原反とする。3. Covered with a transparent protective layer placed on a transparent conductive film, a heating surface with a transparent protective layer made of a conductive film having a predetermined pattern and a transparent planar heater made of an electrode are connected to the head of each sheet electrode Create a transparent sheet heater with the metal fittings for. next,
The heat generating surface with transparent protective layer and the electrode part are cut out from the sheet with the metal fittings for connection to make the raw material of the transparent planar heater.
【0101】該透明面状ヒーター原反をベンゾイミダゾ
ール等の防食剤を含む溶液に、浸漬後、水洗、乾燥し、
端面が防食された透明面状ヒーターとする。もちろん、
袋状の透明プラスチックフィルムや接着剤付透明保護プ
ラスチックフィルムも使用可能である。また、EL(エ
レクトロルミネッセンス)や電界発光の分野での素子作
製時に使用される電極設置法や、発光面保護のための保
護シートやフィルム等での熱圧着法や封止法または防湿
法も使用できる。言うまでもないが、これ以外の方法で
も導電膜が透明プラスチック、透明プラスチックフィル
ムまたは接着剤または粘着剤付透明プラスチックフィル
ムで覆い、導電膜や電極を保護できるものなら如何なる
方法でも適用できる。透明面状ヒーターの防蝕層で覆わ
れる断面の一例を示せば、 A:半導体薄膜、金属薄膜、金属薄膜/透明薄膜、金属
薄膜/透明薄膜/金属薄膜/透明薄膜、金属薄膜/透明
薄膜/金属薄膜/透明薄膜/金属薄膜/透明薄膜、透明
薄膜/金属薄膜、透明薄膜/金属薄膜/透明薄膜、透明
薄膜/金属薄膜/透明薄膜/金属薄膜/透明薄膜、透明
薄膜/金属薄膜/透明薄膜/金属薄膜/透明薄膜/金属
薄膜/透明薄膜、 B:A/透明保護層、 C:透明基板/A、A/透明基板/A、 D:透明基板/B、B/透明基板/B、 F:A/透明基板/B、 等であり、これら以外でも少なくとも透明導電膜の断面
及びまたは周端縁部分の一部または全部が防蝕保護層で
覆われた断面構造であれば何れでも良い。The transparent sheet heater is immersed in a solution containing an anticorrosive such as benzimidazole, washed with water and dried,
A transparent flat heater with end faces protected from corrosion. of course,
A bag-shaped transparent plastic film or a transparent protective plastic film with an adhesive can also be used. In addition, the electrode installation method used when manufacturing elements in the field of EL (electroluminescence) and electroluminescence, the thermocompression bonding method with a protective sheet or film for protecting the light emitting surface, the sealing method or the moistureproof method is also used. it can. Needless to say, any other method can be applied as long as the conductive film can be covered with a transparent plastic, a transparent plastic film or a transparent plastic film with an adhesive or a pressure-sensitive adhesive to protect the conductive film and electrodes. An example of the cross section covered by the anticorrosion layer of the transparent sheet heater is as follows: A: semiconductor thin film, metal thin film, metal thin film / transparent thin film, metal thin film / transparent thin film / metal thin film / transparent thin film, metal thin film / transparent thin film / metal Thin film / transparent thin film / metal thin film / transparent thin film, transparent thin film / metal thin film, transparent thin film / metal thin film / transparent thin film, transparent thin film / metal thin film / transparent thin film / metal thin film / transparent thin film, transparent thin film / metal thin film / transparent thin film / Metal thin film / transparent thin film / metal thin film / transparent thin film, B: A / transparent protective layer, C: transparent substrate / A, A / transparent substrate / A, D: transparent substrate / B, B / transparent substrate / B, F: A / transparent substrate / B, etc., and any other cross-sectional structure having at least a cross section of the transparent conductive film and / or a part or all of the peripheral edge portion covered with an anticorrosion protective layer may be used.
【0102】また、不要透明導電膜が除去されず、残留
していても、酸、アルカリ、防蝕剤またはその他の薬品
により、導電成分が不動体化し、湿分等による断面及び
または周端縁部分からの透明導電膜の浸食が防止されて
おれば、不要透明導電膜が残留していても良い。ここ
で、防蝕層として、前記透明基板や透明保護層の素材が
使用できる。Even if the unnecessary transparent conductive film is not removed and remains, the conductive component is immobilized by acid, alkali, anticorrosive or other chemicals, and the cross section and / or the peripheral edge portion due to moisture or the like. The unnecessary transparent conductive film may remain as long as the transparent conductive film is prevented from being eroded. Here, the material of the transparent substrate or the transparent protective layer can be used as the anticorrosion layer.
【0103】導電膜のパターン形成法としては導電膜で
所定のパターンが形成できるものであればいかなるもの
でも使用できるが、一例としては、プリントサーキット
基板で使用している方法や、印刷法で、所定のパターン
を持つレジストを導電膜上に設け、塩酸、硝酸、硫酸等
の酸またはこれらの酸とエッチング液との混合液で、導
電膜をエッチングして、さらに、レジスト剥離、水洗、
乾燥して所定のパターンを持つ導電膜を形成する方法が
挙げられる。印刷法の代わりにフォトレジスト法(フォ
トエッチング法)で導電膜上に所定のパターンを形成
し、エッチング、レジスト剥離後、所定のパターンを持
つ導電膜を形成することもできる。ここで使用されるレ
ジストは通常使用されるレジストなら如何なるものでも
使用できるが、一例として、アルカリ剥離型や溶剤剥離
型のエッチングレジスト、メッキレジスト、穴埋めイン
キ、ソルダーレジスト、アクティブ用レジスト等が挙げ
られる。Any method can be used as the pattern forming method of the conductive film as long as it can form a predetermined pattern with the conductive film. As an example, a method used for a printed circuit board or a printing method can be used. A resist having a predetermined pattern is provided on the conductive film, and the conductive film is etched with an acid such as hydrochloric acid, nitric acid, sulfuric acid or a mixed solution of these acids and an etching solution, and further, resist stripping, washing with water,
There is a method of forming a conductive film having a predetermined pattern by drying. It is also possible to form a predetermined pattern on the conductive film by a photoresist method (photoetching method) instead of the printing method, and after etching and removing the resist, form a conductive film having a predetermined pattern. As the resist used here, any resist can be used as long as it is a commonly used resist, but examples thereof include an alkali peeling type or solvent peeling type etching resist, a plating resist, a filling ink, a solder resist, an active resist and the like. .
【0104】また、レジストの代わりに前記透明保護層
または防食層で使用された素材が使用できる。または透
明な樹脂またはそれを形成可能なモノマー、オリゴマー
またはそれらの混合物も使用できる。この場合は透明プ
ラスチックを使用した防食層の設置方法が使用できる。
この場合はエッチングの際の導電膜の保護層が最終ヒー
ターの透明保護膜となる。レジスト剥離時に前記防蝕剤
を含むレジスト剥離液を使用してもよい。The material used for the transparent protective layer or the anticorrosion layer may be used in place of the resist. Alternatively, a transparent resin or a monomer, an oligomer or a mixture thereof which can form the transparent resin can be used. In this case, an anticorrosion layer installation method using transparent plastic can be used.
In this case, the protective layer of the conductive film at the time of etching becomes the transparent protective film of the final heater. A resist stripping solution containing the anticorrosive agent may be used at the time of stripping the resist.
【0105】パターンの形状は発熱面は均一になるもの
であればいかなるものでも良いが、一例をあげれば、透
明導電膜の存在しない、または導電性を有しない領域の
密度が発熱面の中央部で高く、周辺に行くに従い、低く
なる様にしたパーンが挙げられる。また、電極部付近の
導電膜領域の密度を低くして、電極部周辺の過剰加熱を
避けることも有用である。透明電極のパターン形状が見
えてしまう等の視認性が問題である場合には、透明導電
膜が存在しない領域、例えば透明導電性線間巾を通常、
500μm以下、好ましくは200μm以下、より好ま
しくは100μm以下、さらに好ましくは50μm以下
にして、より良い視認性を得ても良い。また、色々な大
きさの該透明導電膜が存在しない領域が発熱面に混在し
ていても良い。The shape of the pattern may be any as long as the heating surface is uniform, but as an example, the density of the region where the transparent conductive film does not exist or has no conductivity is the central portion of the heating surface. One example is a pan that is higher in the area and lower in the area. It is also useful to reduce the density of the conductive film region near the electrode portion to avoid excessive heating around the electrode portion. When the visibility such as the pattern shape of the transparent electrode is visible, a region where the transparent conductive film does not exist, for example, the transparent conductive line width is usually
Better visibility may be obtained by setting the thickness to 500 μm or less, preferably 200 μm or less, more preferably 100 μm or less, and further preferably 50 μm or less. In addition, regions where the transparent conductive film of various sizes does not exist may be mixed on the heating surface.
【0106】また、高分子フィルムの少なくとも片面に
防湿層及びまたはガスバリアー層を設けた防湿性及びま
たはガスバリアー性透明フィルムを透明基板または透明
プラスチックフィルムとして使用できる。ここで、防湿
層及びまたはガスバリアー層は透明薄膜で用いられた酸
化物、窒化物、窒化酸化物、水素窒化物、炭化物や透明
高分子からなる群より選ばれた1種の薄膜またはこれら
を少なくとも2種以上を含む薄膜の単層または多層であ
り、これらの群から選ばれた薄膜が多層で設けられた場
合、それぞれの層が、それぞれを含む混合層になってい
ても差し支えない。A moisture-proof and / or gas-barrier transparent film having a moisture-proof layer and / or a gas barrier layer provided on at least one side of a polymer film can be used as a transparent substrate or a transparent plastic film. Here, the moisture-proof layer and / or the gas barrier layer is one kind of thin film selected from the group consisting of oxides, nitrides, nitrided oxides, hydrogen nitrides, carbides and transparent polymers used in transparent thin films, or these. When it is a single layer or a multi-layer of a thin film containing at least two or more kinds, and when the thin films selected from these groups are provided in the multi-layer, each layer may be a mixed layer containing each.
【0107】また、酸化物としてはポリシラザンの分解
により作成されるか、またはテトラメチルジシロキサン
やヘキサエチルジシロキサン等のシラン誘導体を酸素存
在下、ケミカル−プラズマ−デポジション(CPD)に
より作成された酸化珪素膜が一例として挙げられるが、
言うまでもなく、他の物質、他の方法で作成されたもの
でも、同様な機能があれば使用できる。該酸化物層、窒
化物層、酸窒化物層、水素化窒化物層、炭化物層の厚さ
は、それぞれ、通常0.3nm〜500nmであり、好
ましくは1nm〜100nmであり、さらに好ましくは
5nm〜80nm、より好ましくは5nm〜60nmで
ある。The oxide is prepared by decomposing polysilazane or is prepared by chemical-plasma-deposition (CPD) in the presence of oxygen with a silane derivative such as tetramethyldisiloxane or hexaethyldisiloxane. A silicon oxide film is given as an example,
Needless to say, other substances and materials created by other methods can be used as long as they have similar functions. The oxide layer, the nitride layer, the oxynitride layer, the hydronitride layer, and the carbide layer each have a thickness of usually 0.3 nm to 500 nm, preferably 1 nm to 100 nm, and more preferably 5 nm. -80 nm, more preferably 5-60 nm.
【0108】さらに、光線透過率を向上させるため、屈
折率が1.5以下のMgF2 、SiO2 等の無機化合物
や含フッ素有機化合物を透明基板、透明保護層及びまた
は防食層に設けても良し、透明保護層及びまたは防蝕層
として使用しても良い。Further, in order to improve the light transmittance, an inorganic compound such as MgF 2 or SiO 2 having a refractive index of 1.5 or less or a fluorine-containing organic compound may be provided on the transparent substrate, the transparent protective layer and / or the anticorrosion layer. It may be used as a transparent protective layer and / or an anticorrosion layer.
【0109】好ましい一例を挙げれば、無機化合物とし
てはポリシラザンの分解により作成されるか、またはテ
トラメチジシロキサンやヘキサエチルジシロキサン等の
シラン誘導体を酸素存在下、ケミカル−プラズマ−デポ
ジション(CPD)により作成された酸化珪素膜が一例
として挙げられるが、言うまでもなく、上記酸化物、窒
化物、酸窒化物、水素化窒化物、炭化物や他の物質、他
の方法で作成されたものでも、同様な機能があれば使用
できる。As a preferred example, the inorganic compound is prepared by decomposing polysilazane, or a silane derivative such as tetramethydisiloxane or hexaethyldisiloxane is used in the presence of oxygen in the chemical-plasma-deposition (CPD). An example is a silicon oxide film formed by, but it goes without saying that the same applies to the above oxides, nitrides, oxynitrides, hydronitrides, carbides and other substances, and those formed by other methods. It can be used if it has such functions.
【0110】含フッ素有機化合物としては、側鎖にパー
フルオロアルキル基を有する重合モノマーであるアクリ
ル酸−3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,
8,9,9,10,10,10−ヘプタデカフルオロデ
シル等のアクリル酸含フッ素アルキルエステルやメタク
リル酸含フッ素アルキルエステルを含む重合体やジ(メ
タ)アクリル酸含フッ素アルキルエステルを含む重合体
である。Examples of the fluorine-containing organic compound include acrylic acid -3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8, which is a polymerizing monomer having a perfluoroalkyl group in its side chain.
Polymer containing acrylic acid fluorine-containing alkyl ester such as 8,9,9,10,10,10,10-heptadecafluorodecyl or methacrylic acid fluorine-containing alkyl ester, and polymer containing di (meth) acrylic acid fluorine-containing alkyl ester Is.
【0111】ここで、ジ(メタ)アクリル酸含フッ素ア
ルキルエステルを含む重合体を構成するモノマーの一例
としてはジアクリル酸−2,2,3,3,4,4,5,
5,6,6,7,7,8,8,9,9,9−ヘプタデカ
フルオロノニルエチレングリコール、ジメタクリル酸−
2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,
8,8,9,9,9−ヘプタデカフルオロノニルエチレ
ングリコール、ジアクリル酸−ペルフルオロ−9−メチ
ルオクチルメチルエチレングリコール等の一般式CH2
=CBCOOC(A)HCH2 OOCCB’=CH2 で
表せるジ(メタ)アクリル酸含フッ素アルキルエステル
で、これを50重量%以上含む含フッ素硬化液を紫外
線、電子線、熱等で硬化させた膜が低屈折率膜として使
用できる。Here, as an example of a monomer constituting a polymer containing a fluorine-containing alkyl ester of di (meth) acrylic acid, diacrylic acid-2,2,3,3,4,4,5,5
5,6,6,7,7,8,8,9,9,9-heptadecafluorononyl ethylene glycol, dimethacrylic acid
2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,
General formula CH 2 such as 8,8,9,9,9-heptadecafluorononylethylene glycol and diacrylic acid-perfluoro-9-methyloctylmethylethylene glycol
= In CBCOOC (A) HCH 2 OOCCB ' = represented by CH 2 di (meth) acrylate San含fluorine alkyl ester, ultraviolet fluorinated curable liquid containing the same 50 wt% or more, electron beam, a cured film by heat or the like Can be used as a low refractive index film.
【0112】ここで、B、B’は同一もしくは異なる基
であって、水素原子またはメチル基を示し、Aはフッ素
原子を3以上有する炭素数は2〜12のフルオロアルキ
ル基またはフッ素原子を4個以上有する炭素数4から1
2のフルオロシクロアルキル基を示す。該含フッ素硬化
液に含まれるものとしては重合開始剤、必要ならば、溶
媒等である。ここで、重合開始剤の一例としてはアゾビ
スイソブチロニトリル等のアゾ系ラジカル重合開始剤、
過酸化ベンゾイル等の有機過酸化物の重合開始剤、アセ
トフェノンやベンゾフェノン等のカルボニル化合物等の
光重合開始剤であり、含フッ素硬化剤塗料液100重量
部に対し、0.01から10重量部を加えるのが好まし
い。Here, B and B ′ are the same or different groups and represent a hydrogen atom or a methyl group, and A is a fluoroalkyl group having 3 or more fluorine atoms and having 2 to 12 carbon atoms or 4 fluorine atoms. 4 or more carbons with 1 or more
2 represents a fluorocycloalkyl group. The fluorine-containing curing liquid contains a polymerization initiator and, if necessary, a solvent and the like. Here, as an example of a polymerization initiator, an azo radical polymerization initiator such as azobisisobutyronitrile,
Polymerization initiators for organic peroxides such as benzoyl peroxide and photopolymerization initiators for carbonyl compounds such as acetophenone and benzophenone. 0.01 to 10 parts by weight per 100 parts by weight of the fluorine-containing curing agent coating liquid. It is preferable to add.
【0113】溶剤は、1,1,2−トリクロロ−1,
2,2−トリフルオロエタン、トリフルオロメチルベン
ゼン、1,4−ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン等
である。The solvent is 1,1,2-trichloro-1,
2,2-trifluoroethane, trifluoromethylbenzene, 1,4-bis (trifluoromethyl) benzene and the like.
【0114】含フッ素硬化液の塗布膜のレベリングや乾
燥条件は、室温〜200℃、時間は0.1分から100
時間が好ましい。加熱により、重合開始する場合でも該
条件より選択すれば良い。紫外線で光硬化させる場合の
光エネルギーは塗布膜が硬化すれば良く、特に特定され
るものではないが、一例を挙げれば50μm厚みで、3
30nm紫外線で、1000mJあれば良い。また、該
透明プラスチックに上記防蝕剤を含有または塗布したも
のも使用できる。The leveling and drying conditions of the coating film of the fluorine-containing curing liquid are room temperature to 200 ° C. and time is 0.1 minutes to 100.
Time is preferred. Even when the polymerization is initiated by heating, it may be selected from the above conditions. The light energy in the case of photo-curing with ultraviolet rays is not particularly limited as long as the coating film is cured, but one example is 50 μm thick and 3
It is sufficient to use 1000 nmJ with 30 nm ultraviolet light. Also, the transparent plastic containing or coated with the above-mentioned anticorrosive agent can be used.
【0115】また、透明基板に偏光フィルムを使用する
か、少なくとも一主面上に偏光フィルムを粘着剤や接着
剤で貼り、反射防止や光調節した面状ヒーターや電磁波
シールド体にしても良い。ここで、偏光フィルムは通常
の偏光フィルムであれば如何なるものでもよいが、ポリ
エステル(PET)フィルムに染料を分散し、延伸した
ものや、延伸フィルムを染料で染色したのやTACを染
料で染色したものが挙げられる。さらに、前記屈折率
1.5以下の無機物や含フッ素有機化合物を反射防止層
として使用して、偏光フィルムや防眩層と組合せ、外部
光の影響を少なくした(光調節付き)透明面状ヒーター
や電磁波シールド体も作製できる。Further, a polarizing film may be used for the transparent substrate, or a polarizing film may be attached to at least one main surface with a pressure sensitive adhesive or an adhesive to provide a planar heater or an electromagnetic wave shield that is antireflection or light adjusted. Here, the polarizing film may be any one as long as it is an ordinary polarizing film, but it is obtained by dispersing a dye in a polyester (PET) film and stretching it, or when the stretched film is dyed with dye or TAC is dyed with dye. There are things. Furthermore, by using an inorganic material or a fluorine-containing organic compound having a refractive index of 1.5 or less as an antireflection layer, it is combined with a polarizing film or an antiglare layer to reduce the influence of external light (with light control) transparent planar heater. Also, electromagnetic wave shields can be manufactured.
【0116】外部接続用金具としては、ハトメ、ギボ
シ、その他の外部接続用金具が使用できる。また、導電
膜または導電膜に設けられた電極と圧着または熱圧着
(熱融着)することにより導電膜または導電膜に設けら
れた電極と電気的に接続可能で、かつ、透明面状ヒータ
ーを外部電極等への接続がハンダ接続を介して容易にな
る。その他の外部接続用金具の一例としては少なくとも
平な金属板2枚が、少なくともそれぞれの一辺の少なく
とも一部で結合している接続用導電性金具であり、必要
に応じて、辺の一部にスリットを入れたもの良い。As the external connection fitting, eyelets, castellates, or other external connection fittings can be used. In addition, a transparent planar heater can be electrically connected to the conductive film or the electrode provided on the conductive film by pressure bonding or thermocompression bonding (thermal fusion) with the conductive film or the electrode provided on the conductive film. Connection to external electrodes etc. is facilitated via solder connection. Another example of the external connection metal fitting is a conductive metal fitting for connection in which at least two flat metal plates are bonded to each other at least at a part of one side of each metal. Good with slits.
【0117】また、目的に応じて、少なくともその導電
面または導電面上に形成された電極に接する側の面に凸
部及び/または凹部を設けても良い。その形状は△形で
あったり、Ω形であったり、如何なるものであっても良
い。Depending on the purpose, at least a conductive surface or a surface formed on the conductive surface and in contact with an electrode may be provided with a convex portion and / or a concave portion. The shape may be a Δ shape, an Ω shape, or any shape.
【0118】また、平な面を持つ接続用金具や凸部及び
/または凹部を設けた接続用金具の最外層を防蝕性の金
属や外部との接続を容易にすための低融点金属または合
金等で覆っても良い。この金属や低融点金属または合金
は接続用金具の片面または両面や全体に設けても良い。Further, the outermost layer of the metal fitting for connection having a flat surface and the metal fitting for connection provided with the projections and / or recesses is made of a corrosion-resistant metal or a low melting point metal or alloy for facilitating connection with the outside. It may be covered with etc. This metal or low melting point metal or alloy may be provided on one side or both sides or the whole of the connecting fitting.
【0119】接続用電極金具と、たとえば電極と圧着す
ることにより、該接続用電極金具と電極とが接すること
により、電気的に接続する。低融点金属または合金を設
けるを設けた接続用電極金具、たとえば、銅にハンダを
めっきした接続用電極金具はより低い温度で熱圧着で
き、電極へハンダが融着することにより、物理的にも電
気的にも接続でき、信頼性も増す。By electrically crimping the connecting electrode fitting and the electrode, for example, the connecting electrode fitting and the electrode are brought into contact with each other to electrically connect. A connection electrode fitting provided with a low melting point metal or alloy, for example, a connection electrode fitting plated with solder on copper can be thermocompression-bonded at a lower temperature, and the solder is fused to the electrode to physically It can be electrically connected and reliability is increased.
【0120】本発明おいて接続用金具を構成する金属と
しては金、銅、パラジウム、白金、タングステン、ニッ
ケル、スズ、亜鉛、イリジウム、クロム、コバルト、マ
ンガン、カドミニウム、鉄、珪素、インジウム、ゲルマ
ニウム、モリブデン、鉛、ニオブ、バリウム、ガリウ
ム、チタンの群から選ばれた単金属またはこれら1種以
上を含む合金あるいは混合物が好ましいが、導電性のあ
る金属、合金または混合物であればこれ以外の金属、ま
たは混合物でも用いられる。導電面または電極への金属
の密着性を向上するために、少なくとも導電面または電
極に接する金属の面に金属薄膜を少なくても一層以上積
層して金属金具としても良い。また金属の片面または両
面に金属薄膜を積層するときは、同種類の金属薄膜でも
良いし、異種の金属薄膜で積層しても良い。金属及び金
属薄膜の厚さは、各々、0.3nm〜5mmが望まし
い。好ましくは5nm〜1mmさらに好ましくは10n
m〜0.5mmである。In the present invention, the metal constituting the connection fitting is gold, copper, palladium, platinum, tungsten, nickel, tin, zinc, iridium, chromium, cobalt, manganese, cadmium, iron, silicon, indium, germanium, A single metal selected from the group consisting of molybdenum, lead, niobium, barium, gallium, and titanium, or an alloy or mixture containing at least one of these is preferable, but a metal, an alloy, or a mixture other than these is a metal having conductivity. Alternatively, it is also used as a mixture. In order to improve the adhesion of the metal to the conductive surface or the electrode, at least a metal thin film may be laminated on at least the surface of the metal in contact with the conductive surface or the electrode to form a metal fitting. When a metal thin film is laminated on one side or both sides of a metal, the same type of metal thin film may be used, or different types of metal thin films may be used. The thickness of each of the metal and the metal thin film is preferably 0.3 nm to 5 mm. Preferably 5 nm to 1 mm, more preferably 10 n
It is m to 0.5 mm.
【0121】本発明おいて金属薄膜を構成する金属とし
ては銅、亜鉛、金、スズ、鉛、銀、もしくははんだの群
から選ばれた少なくとも1種以上を含む単金属又は合金
もしくは混合物からなる単層体または積層体であるが、
導電面または電極に対する密着性が向上するものなら、
いかなるものでも使用できるが、接続加工の点から融点
が1,100℃以下のものが好ましい。In the present invention, the metal constituting the metal thin film is a single metal or an alloy or mixture containing at least one selected from the group consisting of copper, zinc, gold, tin, lead, silver, and solder. Although it is a layered body or a laminated body,
If the adhesion to the conductive surface or electrode is improved,
Any material can be used, but a material having a melting point of 1,100 ° C. or less is preferable from the viewpoint of connection processing.
【0122】金属薄膜としてはんだを用いる場合、はん
だめっき層の厚みとしては、通常0.05μm〜80μ
m、好ましくは0.5μm〜50μm、より好ましくは
2μm〜10μmが適当である。本発明においてはんだ
とは、材料間の接合に用いる低融点の金属や合金を指し
ている。このような金属あるいは合金は、特に融点が絶
対温度で723Kより低いものであり、たとえば、I
n,Sn,Pb,Znの金属の単体または合金が挙げら
れる。一般的なものとしては、共晶はんだなどをつくる
Sn−Pb合金がある。このほか、ホムベルグ合金、メ
ロッテ合金、ニュートンメタル、ダルスメタル、リヒテ
ンベルグ合金、クローズ合金、ローズメタル、ウッドメ
タル、リボウッチメタル、低融点はんだ、耐アルカリ性
はんだ、共晶はんだ、JISはんだ、熱起電力小はん
だ、アルミはんだ等が挙げられる。さらに、合金名とし
て挙げたもの以外の合金であっても、接合に使用できる
ものであれば、金属薄膜として使用できる。When solder is used as the metal thin film, the thickness of the solder plating layer is usually 0.05 μm to 80 μm.
m, preferably 0.5 μm to 50 μm, more preferably 2 μm to 10 μm. In the present invention, solder refers to a low melting point metal or alloy used for joining materials. Such metals or alloys have a melting point especially lower than 723 K in absolute temperature.
Examples include simple metals or alloys of n, Sn, Pb, and Zn. A common one is Sn-Pb alloy which produces eutectic solder. In addition, Homberg alloy, Mellotte alloy, Newton metal, Dals metal, Lichtenberg alloy, Close alloy, Rose metal, Wood metal, Revouchi metal, Low melting point solder, Alkali resistant solder, Eutectic solder, JIS solder, Small thermoelectric power Examples include solder and aluminum solder. Furthermore, even alloys other than those listed as alloy names can be used as the metal thin film as long as they can be used for bonding.
【0123】かくして得られた透明面状ヒーターは一例
として、偏光板(1)/液晶素子/偏光板(2)で構成
された液晶表示体の表示画面と反対面の偏光板(1)に
接着剤等で固定したものが挙げられる。また、偏光板
(1)/液晶素子/低リタデーション透明面状ヒーター
/液晶素子/偏光板(2)で構成された液晶表示体が挙
げられる。使用の仕方は液晶表示体が、特に、低温環境
下で、スイッチング特性の改善、駆動回路の簡略化等が
図れるものであれば、いかなる使用の仕方でも良い(図
6参照)。The transparent sheet heater thus obtained is, for example, adhered to the polarizing plate (1) opposite to the display screen of the liquid crystal display composed of the polarizing plate (1) / liquid crystal element / polarizing plate (2). Those fixed with an agent or the like can be mentioned. Further, a liquid crystal display body composed of polarizing plate (1) / liquid crystal element / low retardation transparent planar heater / liquid crystal element / polarizing plate (2) can be mentioned. The liquid crystal display may be used in any manner as long as it can improve the switching characteristics and simplify the driving circuit, especially in a low temperature environment (see FIG. 6).
【0124】また、本発明品は透明導電性フィルムの導
電膜にグランド用の外部接続用金具を設けた電磁波シー
ルド体でもある。The product of the present invention is also an electromagnetic wave shield having a conductive film of a transparent conductive film provided with a metal fitting for external connection for grounding.
【0125】さらに一個以上の電極を設けた透明な導電
体において、電極に外部接続用金具を取りつけ、グラン
ドをとり、LCD等の電磁波シールド体としても良い
し、粘着剤や接着剤や両面接着テープ等を使用して、他
の支持体に取りつけて使用できる。また、上記電磁波シ
ールド体の外に、本発明の透明面状ヒーターを電磁波シ
ールド体として使用しても良い。Further, in a transparent conductor provided with one or more electrodes, a metal for external connection may be attached to the electrodes to establish a ground to serve as an electromagnetic wave shield for LCDs, etc., or an adhesive, an adhesive or a double-sided adhesive tape. It can be used by attaching it to another support using the above. In addition to the above electromagnetic wave shield, the transparent sheet heater of the present invention may be used as an electromagnetic wave shield.
【0126】本発明の両電極間に電流計を設け、磁界
(磁石等)や電界の変化による電極間に流れる電流を測
定して、磁界や電界の検知体としても利用できる。必要
ならば、電極間に弱電流を流し、電流の変化を大きくし
て、検知体としても良い。An ammeter may be provided between both electrodes of the present invention to measure a current flowing between the electrodes due to a change in a magnetic field (magnet or the like) or an electric field to be used as a magnetic field or electric field detector. If necessary, a weak current may be passed between the electrodes to increase the change in the current, thereby providing a detector.
【0127】透明面状ヒーターの電極の少なくも一方に
外部接続用金具を設けた電極をグランド用として使用し
て、LCD(液晶表示体)の電磁波シールド体としても
良いし、接着層や両面接着テープを使用してLCD等の
支持体に取付けて使用してもよい。この場合、接続用電
極金具を設けた電極が一本のみ設置されたものでも、ま
た、受電波面の周辺全部に接地用電極を設けたもので
も、機能は充分に果たせる。また、導電性樹脂からなる
接地用電極上に透明プラスチックからなる防蝕層が設け
られた場合、その電極に通電性があれば接地用電極とし
て使用できる。At least one of the electrodes of the transparent sheet heater may be used as an electromagnetic wave shield for LCD (liquid crystal display) by using an electrode provided with an external connection metal fitting as a ground, or as an adhesive layer or double-sided adhesive. It may be used by attaching it to a support such as an LCD using a tape. In this case, the function can be sufficiently achieved even if only one electrode provided with the connecting electrode fitting is installed, or if the grounding electrode is provided all around the receiving radio wave surface. Further, when the anticorrosion layer made of transparent plastic is provided on the grounding electrode made of a conductive resin, it can be used as a grounding electrode if the electrode has electrical conductivity.
【0128】[0128]
【実施例】以下に、本発明を実施例により具体的に説明
する。The present invention will be described below in more detail with reference to examples.
【0129】<実施例1>可視光線透過率89%、10
0μm厚のポリエチレンテレフタレート(PET)フィ
ルム上に銀(厚さ10nm)/銅(厚さ1nm)/窒化
ケイ素厚さ30nm)/酸化インジウム(厚さ60n
m)からなる積層膜を金属ターゲットを使った反応性D
Cマグネトロンスパッタリング法により、堆積させ、透
明導電性フィルムを形成した。得られた透明導電性フィ
ルムの可視光線透過率は76%、表面抵抗は7Ω/□で
あった。<Example 1> Visible light transmittance 89%, 10
Silver (thickness 10 nm) / copper (thickness 1 nm) / silicon nitride thickness 30 nm) / indium oxide (thickness 60 n) on a 0 μm thick polyethylene terephthalate (PET) film.
Reactivity D using a metal target for the laminated film consisting of m)
It was deposited by the C magnetron sputtering method to form a transparent conductive film. The visible light transmittance of the obtained transparent conductive film was 76%, and the surface resistance was 7Ω / □.
【0130】得られた透明導電膜の上に、透明基板と防
蝕層との接合予定領域、発熱面上のパターン化した導電
膜以外の領域、ヒーター用電極形成領域部及びめっき用
電極部を除いて,溶剤型のUV(紫外線)硬化型透明ウ
レタンアクリレートを塗布硬化し、所定のパターンを持
つ厚み10μmの透明保護層を形成した。次に、透明基
板と防蝕層との接合予定領域、にレジストを設けた。次
いで、pH4.5のスルファミン酸ニッケルめっき浴で
電気メッキを行い5μm厚みのニッケル膜を形成し、電
極とした。さらに、レジストを除去後、塩酸系エッチン
グ液に浸漬し、中央部での導電性膜線間巾を200μm
とした所定のパターンを持つ導電膜を形成すると共に、
不要な導電膜を除去した(図5参照)。電極の大きさは
125mm(長さ)×4mm(幅)であり、電極間の距
離は90mmであった。さらに、電極内の外部電極との
接続部相当領域を残して20μm厚みの透明ウレタンア
クリレートで、防蝕層を形成した。On the obtained transparent conductive film, a region to be joined between the transparent substrate and the anticorrosion layer, a region other than the patterned conductive film on the heating surface, a heater electrode forming region and a plating electrode are removed. Then, a solvent-type UV (ultraviolet) curable transparent urethane acrylate was applied and cured to form a transparent protective layer having a predetermined pattern and a thickness of 10 μm. Next, a resist was provided in a region where the transparent substrate and the anticorrosion layer were to be joined. Then, electroplating was performed in a nickel sulfamate plating bath having a pH of 4.5 to form a nickel film having a thickness of 5 μm, which was used as an electrode. Further, after removing the resist, it is dipped in a hydrochloric acid-based etching solution so that the conductive film line width at the center is 200 μm.
While forming a conductive film having a predetermined pattern
The unnecessary conductive film was removed (see FIG. 5). The size of the electrodes was 125 mm (length) × 4 mm (width), and the distance between the electrodes was 90 mm. Further, an anticorrosion layer was formed from a transparent urethane acrylate having a thickness of 20 μm, leaving a region corresponding to the connection portion with the external electrode in the electrode.
【0131】透明導電膜が除去された透明基板領域と防
蝕層との接合部で、切離した後、電極上で防蝕層が設け
られていない外部電極との接続部相当領域に接続用金具
を抵抗溶接で電極へ熱融着し、取りつけた。そして、透
明基板側にセパレーター(離型シート)付き感圧性接着
層(粘着層)を設けて、接続用端子付透明面状ヒーター
を完成させた。At the junction between the transparent substrate area from which the transparent conductive film is removed and the anticorrosion layer, the connection metal fitting is placed in the area corresponding to the connection area with the external electrode on which no anticorrosion layer is provided. The electrodes were heat-sealed by welding and attached. Then, a pressure sensitive adhesive layer (adhesive layer) with a separator (release sheet) was provided on the transparent substrate side to complete a transparent sheet heater with connecting terminals.
【0132】形成された透明面状ヒーターの両電極間の
抵抗は5Ωであった。接続用金具にはんだ付けで電源の
導線を接続した透明面状ヒーターのセパレーターを剥が
し、ガラス板に貼り、ガラス板とともにこの透明面状ヒ
ーターを−20℃の恒温槽内に入れて放置し、その後、
13Vの電圧を投入したところ、1分間で+2℃まで表
面温度が上昇した。すなわち温度上昇分は、22℃であ
った。また、発熱面内の温度分布は±1℃であり、均一
であった。The resistance between both electrodes of the formed transparent sheet heater was 5Ω. Peel off the separator of the transparent sheet heater to which the power supply wire is connected by soldering to the metal fittings and stick it on a glass plate. Put this transparent sheet heater together with the glass plate in a constant temperature bath at -20 ° C and leave it there. ,
When a voltage of 13 V was applied, the surface temperature rose to + 2 ° C in 1 minute. That is, the temperature rise was 22 ° C. The temperature distribution within the heating surface was ± 1 ° C, which was uniform.
【0133】次に、1N塩酸に1時間浸漬したところ、
端面に変化はなかった。また65℃×95%での高温高
湿試験を行ったが、1、000時間後、端面に変化は見
られなかった。その後、発熱テストを行ったが、異常無
く発熱した。Next, when immersed in 1N hydrochloric acid for 1 hour,
There was no change in the end faces. Further, a high temperature and high humidity test was performed at 65 ° C. × 95%, but after 1,000 hours, no change was observed on the end faces. After that, a heat generation test was conducted, and heat was generated without any abnormality.
【0134】<実施例2>可視光線透過率89%、10
0μm厚のポリエチレンテレフタレート(PET)フィ
ルム上に銀(厚さ10nm)/銅(厚さ1nm)/窒化
ケイ素厚さ30nm)/酸化インジウム(厚さ60n
m)からなる積層膜を金属ターゲットを使った反応性D
Cマグネトロンスパッタリング法により、堆積させ、透
明導電性フィルムを形成した。得られた透明導電性フィ
ルムの可視光線透過率は76%、表面抵抗は7Ω/□で
あった。得られた透明導電膜の上に、ヒーター用電極形
成領域部及びめっき用電極部を除いて,アルカリ剥離型
のレジストを塗布硬化し、めっき保護層を形成した。Example 2 Visible Light Transmittance 89%, 10
Silver (thickness 10 nm) / copper (thickness 1 nm) / silicon nitride thickness 30 nm) / indium oxide (thickness 60 n) on a 0 μm thick polyethylene terephthalate (PET) film.
Reactivity D using a metal target for the laminated film consisting of m)
It was deposited by the C magnetron sputtering method to form a transparent conductive film. The visible light transmittance of the obtained transparent conductive film was 76%, and the surface resistance was 7Ω / □. On the obtained transparent conductive film, an alkali peeling resist was applied and cured except for the heater electrode formation region and the plating electrode to form a plating protective layer.
【0135】次いで、pH4.5のスルファミン酸ニッ
ケルめっき浴で電気メッキを行い9μm厚みのニッケル
膜を形成し、電極とした後、レジストを除去し水洗、乾
燥した。次に、実施例1と同じパターの導電膜ができる
様にアルカリ剥離型のレジストを塗布硬化した後、塩酸
系エッチング液に浸漬し、実施例1と同じパターの導電
膜を形成するとともに、不要な導電膜を除去した。続い
て、UV(紫外線)硬化型透明ウレタンアクリレートを
塗布硬化し、厚み10μmの防蝕層を形成した。電極の
大きさは125mm(長さ)×4mm(幅)であり、電
極間の距離は90mmであった。さらに、電極内の外部
電極との接続部相当領域を残して20μm厚みの透明ウ
レタンアクリレートで、防蝕層を形成した。Next, electroplating was carried out in a nickel sulfamate plating bath having a pH of 4.5 to form a nickel film having a thickness of 9 μm, which was used as an electrode, after which the resist was removed, washed with water and dried. Next, an alkali peeling resist is applied and cured so that a conductive film having the same pattern as that of Example 1 is formed, and then immersed in a hydrochloric acid-based etching solution to form a conductive film having the same pattern as that of Example 1, and unnecessary. The conductive film was removed. Then, UV (ultraviolet) curable transparent urethane acrylate was applied and cured to form a corrosion-resistant layer having a thickness of 10 μm. The size of the electrodes was 125 mm (length) × 4 mm (width), and the distance between the electrodes was 90 mm. Further, an anticorrosion layer was formed from a transparent urethane acrylate having a thickness of 20 μm, leaving a region corresponding to the connection portion with the external electrode in the electrode.
【0136】透明導電膜が除去された透明基板領域と防
蝕層との接合部で、切離した後、電極上で防蝕層が設け
られていない外部電極との接続部相当領域に接続用金具
を抵抗溶接で電極へ熱融着し、取りつけた。そして、透
明基板側にセパレーター(離型シート)付き感圧性接着
層(粘着層)を設けて、接続用端子付透明面状ヒーター
を完成させた。After separating the transparent substrate region from which the transparent conductive film is removed and the anticorrosion layer, the connection metal fitting is removed in the region corresponding to the connection portion with the external electrode on which the anticorrosion layer is not provided on the electrode. The electrodes were heat-sealed by welding and attached. Then, a pressure sensitive adhesive layer (adhesive layer) with a separator (release sheet) was provided on the transparent substrate side to complete a transparent sheet heater with connecting terminals.
【0137】形成された透明面状ヒーターの両電極間の
抵抗は5Ωであった。接続用金具にはんだ付けで電源の
導線を接続した透明面状ヒーターのセパレーターを剥が
し、ガラス板に貼り、ガラス板とともにこの透明面状ヒ
ーターを−20℃の恒温槽内に入れて放置し、その後、
13Vの電圧を投入したところ、1分間で+2℃まで表
面温度が上昇した。すなわち温度上昇分は、22℃であ
った。発熱面内の温度分布は±1℃であり、均一であっ
た。次に、1N塩酸に1時間浸漬したところ、端面に変
化はなかった。また、65℃×95%での高温高湿試験
を行ったが、1、000時間後、端面に変化は見られな
かった。その後、発熱テストを行ったが、異常無く発熱
した。The resistance between both electrodes of the formed transparent sheet heater was 5Ω. Peel off the separator of the transparent sheet heater to which the power supply wire is connected by soldering to the connecting metal fitting, and stick it on a glass plate. Put this transparent sheet heater together with the glass plate in a constant temperature bath at -20 ° C and leave it there. ,
When a voltage of 13 V was applied, the surface temperature rose to + 2 ° C in 1 minute. That is, the temperature rise was 22 ° C. The temperature distribution in the heat generation surface was ± 1 ° C, which was uniform. Next, when it was immersed in 1N hydrochloric acid for 1 hour, there was no change in the end surface. Further, a high temperature and high humidity test was performed at 65 ° C. × 95%, but after 1,000 hours, no change was observed on the end faces. After that, a heat generation test was conducted, and heat was generated without any abnormality.
【0138】<実施例3>可視光線透過率89%、10
0μm厚のポリエーテルサルフォン(PES)フィルム
上に酸窒化ケイ素(厚さ8nm)/銅(厚さ1nm)/
銀(厚さ10nm)/銅(厚さ1nm)/窒化ケイ素
(厚さ10nm)/酸化インジウム(厚さ60nm)か
らなる積層膜を金属ターゲットを使った反応性RFマグ
ネトロンスパッタリング法により、堆積させ、透明導電
性フィルムを形成した。得られた透明導電性フィルムの
可視光線透過率は73%、表面抵抗は7Ω/□であっ
た。Example 3 Visible Light Transmittance 89%, 10
Silicon oxynitride (thickness 8 nm) / copper (thickness 1 nm) / on 0 μm thick polyether sulfone (PES) film
A laminated film of silver (thickness 10 nm) / copper (thickness 1 nm) / silicon nitride (thickness 10 nm) / indium oxide (thickness 60 nm) is deposited by a reactive RF magnetron sputtering method using a metal target, A transparent conductive film was formed. The visible light transmittance of the obtained transparent conductive film was 73%, and the surface resistance was 7Ω / □.
【0139】この導電性フィルムを使用し、実施例1と
同様にして、防蝕層がなく、透明保護層と所定のパター
ンを持つ導電膜面を持ち、125mm(長さ)×4mm
(幅)の電極が2本、90mmの電極間距離を持つ透明
面状ヒーターを作製した(図5参照)。Using this conductive film, in the same manner as in Example 1, without the anticorrosion layer, with the transparent protective layer and the conductive film surface having a predetermined pattern, 125 mm (length) × 4 mm
A transparent planar heater having two (width) electrodes and a distance between the electrodes of 90 mm was produced (see FIG. 5).
【0140】次に、4%KOH水溶液を使って、4%ベ
ンゾイミダゾール液を作り、室温で1分間浸漬した。次
に水洗、乾燥し、導電膜の断面が防蝕加工されたヒータ
ーを作製した。さらに、電極に外部接続用金具を抵抗溶
接で熱融着し、外部接続用金具付透明面状ヒーターを完
成させた。以下、実施例1と同様の試験をして、実施例
1と同様の結果を得た。Next, using a 4% KOH aqueous solution, a 4% benzimidazole solution was prepared and immersed at room temperature for 1 minute. Next, it was washed with water and dried to prepare a heater in which the cross section of the conductive film was subjected to anticorrosion processing. Further, a metal for external connection was heat-bonded to the electrode by resistance welding to complete a transparent planar heater with a metal for external connection. Hereinafter, the same test as that of Example 1 was performed, and the same result as that of Example 1 was obtained.
【0141】<実施例4>可視光線透過率88%、10
0μm厚のポリエチレンテレフタレート(PET)フィ
ルム上に酸化インジウム・スズ(ITO)を金属ターゲ
ットを使った反応性DCマグネトロンムスパッタリング
法により、堆積させ、可視光線透過率81%、表面抵抗
は31Ω/□の透明導電性フィルムを形成した。得られ
た透明導電膜の上に銀ペーストを印刷し、140℃で3
0分保ち、電極を形成した。次に、透明基板と防蝕層と
の接合予定領域、発熱面上のパターン化した導電膜以外
の領域、ヒーター用電極形成領域部及びめっき用電極部
を除いて,溶剤型のUV(紫外線)硬化型透明ウレタン
アクリレートを塗布硬化し、所定のパターンを持つ厚み
10μmの透明保護層を形成した。さらに、5%塩酸水
溶液に浸漬し、不要な導電膜を除去した。続いて、電極
内の外部接続用電極を取り付ける領域を除いて、UV
(紫外線)硬化型透明ウレタンアクリレートを塗布硬化
し、厚み10μmの防蝕層を形成した。次に、電極に外
部接続用金具を抵抗溶接で熱融着し、外部接続用金具
付、所定パターンの導電膜面を持つ透明面状ヒーターを
完成させた(図3、4参照)。Example 4 Visible Light Transmittance 88%, 10
Indium tin oxide (ITO) was deposited on a 0 μm thick polyethylene terephthalate (PET) film by the reactive DC magnetron sputtering method using a metal target, and the visible light transmittance was 81% and the surface resistance was 31 Ω / □. A transparent conductive film was formed. Print silver paste on the obtained transparent conductive film and
Hold for 0 minutes to form an electrode. Next, solvent-type UV (ultraviolet) curing is performed except for a region to be joined with the transparent substrate and the anticorrosion layer, a region other than the patterned conductive film on the heating surface, a heater electrode forming region and a plating electrode. A type transparent urethane acrylate was applied and cured to form a transparent protective layer having a predetermined pattern and a thickness of 10 μm. Furthermore, it was immersed in a 5% hydrochloric acid aqueous solution to remove the unnecessary conductive film. Then, except for the area in the electrode where the external connection electrode is attached, UV
(UV) curable transparent urethane acrylate was applied and cured to form a corrosion-resistant layer having a thickness of 10 μm. Next, a metal for external connection was heat-welded to the electrode by resistance welding to complete a transparent planar heater with a metal film for external connection and having a conductive film surface of a predetermined pattern (see FIGS. 3 and 4).
【0142】室温で、18Vの電圧をかけ、2分後に6
0℃まで、温度が上昇した。温度分布は±1℃であり、
均一であった。次に、1N塩酸に1時間浸漬したとこ
ろ、端面に変化はなかった。また、浸漬後、18Vの電
圧をかけ、上記と同様の試験をしたが、浸漬前と同等で
あった。A voltage of 18 V was applied at room temperature, and after 2 minutes, 6
The temperature rose to 0 ° C. The temperature distribution is ± 1 ° C,
It was uniform. Next, when it was immersed in 1N hydrochloric acid for 1 hour, there was no change in the end surface. After immersion, a voltage of 18 V was applied and the same test as above was performed, but it was the same as before immersion.
【0143】<実施例5>実施例1で作製した可視光線
透過率は76%、表面抵抗は7Ω/□の透明導電性フィ
ルムを用いて、銀ペーストを使い、実施例4の方法に準
じて、線間200μm、線幅500μm、の図7、8に
例示する電磁波シールド体を作製した。可視光線透過率
は82%であり、受電波面の周辺に設けられた電極から
接地(グランド)を取り、電界シールド効果をアドバン
ス法により測定したところ、電磁波シールド力は下記の
様であった。Example 5 A transparent conductive film having a visible light transmittance of 76% and a surface resistance of 7 Ω / □ prepared in Example 1 was used, and a silver paste was used according to the method of Example 4. An electromagnetic wave shield body illustrated in FIGS. 7 and 8 having a line spacing of 200 μm and a line width of 500 μm was produced. The visible light transmittance was 82%, and when the electric field shielding effect was measured by the advance method with the ground (ground) taken from the electrode provided around the radio wave receiving surface, the electromagnetic wave shielding force was as follows.
【0144】[0144]
【表1】 <比較例1>所定のパターンを設けない以外は実施例1
と同一の透明面状ヒーターを作成し、実施例1と同様の
試験をしたところ、温度分布は±4℃であった。[Table 1] <Comparative Example 1> Example 1 except that a predetermined pattern is not provided.
When the same transparent planar heater as in Example 1 was prepared and the same test as in Example 1 was performed, the temperature distribution was ± 4 ° C.
【0145】<比較例2>防蝕層を設けない以外は実施
例1を同一の透明面状ヒーターを作成し、実施例1と同
様にして、1N塩酸に1時間浸漬したところ、端面から
白化が侵攻し、透明面状ヒーターとして、使用出来なく
なった。次に、65℃×95%での高温高湿試験を行っ
たが、200時間後、端面から中心部にかけ、白化がお
こり、透明面状ヒーターとして、使用出来なくなった。<Comparative Example 2> The same transparent planar heater as in Example 1 was prepared except that the anticorrosion layer was not provided, and when immersed in 1N hydrochloric acid for 1 hour in the same manner as in Example 1, whitening occurred from the end faces. It invaded and could not be used as a transparent heater. Next, a high temperature and high humidity test was performed at 65 ° C. × 95%, but after 200 hours, whitening occurred from the end face to the central part, and it could not be used as a transparent planar heater.
【0146】<比較例3>発熱面が所定のパターンを持
たない、平面の導電膜面を使用し、防蝕層を設けない以
外は実施例4と同様にして、透明面状ヒーターを作製し
た。次に、実施例4と同様な試験をした所、2分後に7
5℃まで、温度が上昇したが、温度分布は±5℃であっ
た。1N塩酸に1時間浸漬後は導電膜が浸食され、発熱
しなかった。<Comparative Example 3> A transparent planar heater was produced in the same manner as in Example 4 except that a flat conductive film surface having a heating pattern having no predetermined pattern was used and no anticorrosion layer was provided. Then, the same test as in Example 4 was performed, and after 2 minutes, 7
The temperature increased to 5 ° C, but the temperature distribution was ± 5 ° C. After immersion in 1N hydrochloric acid for 1 hour, the conductive film was eroded and did not generate heat.
【0147】[0147]
【発明の効果】以上の実施例ならびに比較例から明らか
なように、本発明によって、高電圧は言うまでもなく低
電圧でも駆動でき、表面の温度分布の均一性が改善さ
れ、湿分、チリ、ガス、酸性分及びその他の汚染物質に
対して耐久性を有した、信頼性の高い透明面状ヒーター
または電磁波シールド体の製造が可能となった、有用な
発明である。As is apparent from the above Examples and Comparative Examples, according to the present invention, it is possible to drive not only high voltage but also low voltage, the uniformity of temperature distribution on the surface is improved, moisture, dust, gas It is a useful invention that makes it possible to manufacture a highly reliable transparent planar heater or an electromagnetic wave shield having durability against acidic components and other pollutants.
【0148】また、この透明面状ヒーターを備えた低温
駆動用液晶表示装置の製造が可能となった。Further, it has become possible to manufacture a low-temperature driving liquid crystal display device equipped with this transparent sheet heater.
【0149】さらに、液晶表示装置の中で、特に、温度
分布の影響が強い、カイラルスメクチック相等を有する
強誘電性液晶を用いた液晶表示装置に本発明の透明面状
ヒーターを使用すれば、より効果的である。Further, in the liquid crystal display device, particularly, when the transparent planar heater of the present invention is used in a liquid crystal display device using a ferroelectric liquid crystal having a chiral smectic phase or the like, which is strongly influenced by temperature distribution, It is effective.
【図1】従来例の平面図である。FIG. 1 is a plan view of a conventional example.
【図2】従来例の断面図(X−Yでの断面)である。FIG. 2 is a cross-sectional view (cross-section in XY) of a conventional example.
【図3】本発明の構成の平面図である。FIG. 3 is a plan view of the configuration of the present invention.
【図4】本発明の好ましい一例を示す構成の断面図(A
−Bでの断面)である。FIG. 4 is a sectional view of a structure showing a preferred example of the present invention (A
-B).
【図5】本発明の好ましい一例を示す構成の平面図であ
る。FIG. 5 is a plan view of a configuration showing a preferred example of the present invention.
【図6】本発明の透明面状ヒーターと液晶素子との組合
せで使用した場合の断面概念図である。FIG. 6 is a conceptual cross-sectional view when used in combination with the transparent sheet heater of the present invention and a liquid crystal element.
【図7】本発明の電磁波シールド体の好ましい一例を示
す構成の平面図である。FIG. 7 is a plan view of a configuration showing a preferred example of the electromagnetic wave shield of the invention.
【図8】本発明の好ましい一例を示す構成の断面図(C
−Dでの断面)である。FIG. 8 is a sectional view of a structure showing a preferred example of the present invention (C
It is a cross section at -D).
1 透明面状ヒーター 2 透明基板 3 透明導電膜 5 電極 6 接続部 7 透明保護層 8 防蝕層 9 接着層 10 外部接続用金具 11 液晶表示素子 12 液晶表示素子画面 13 バックライト 14 電磁波シールド体 15 接地用電極 51 透明基板 52 透明導電膜 53 電極 54 透明保護層 55 外部接続用電極 56 接続部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transparent planar heater 2 Transparent substrate 3 Transparent conductive film 5 Electrode 6 Connection part 7 Transparent protective layer 8 Corrosion preventive layer 9 Adhesive layer 10 External connection metal fitting 11 Liquid crystal display element 12 Liquid crystal display element screen 13 Backlight 14 Electromagnetic wave shield body 15 Grounding Electrode 51 transparent substrate 52 transparent conductive film 53 electrode 54 transparent protective layer 55 external connection electrode 56 connection part
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 原田 祐一郎 愛知県名古屋市南区丹後通2丁目1番地 三井東圧化学株式会社内 (72)発明者 坂井 ▲祥▼浩 愛知県名古屋市南区丹後通2丁目1番地 三井東圧化学株式会社内 (72)発明者 百々 寿浩 東京都千代田区霞が関三丁目2番5号 三 井東圧化学株式会社内 (72)発明者 鈴木 彰 愛知県名古屋市南区丹後通2丁目1番地 三井東圧化学株式会社内 (72)発明者 中島 明美 愛知県名古屋市南区丹後通2丁目1番地 三井東圧化学株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Yuichiro Harada 2-1-1 Tango-dori, Minami-ku, Nagoya City, Aichi Prefecture Inside Mitsui Toatsu Chemicals Co., Ltd. (72) Inventor Sakai 2-1-1, Mitsui Toatsu Chemical Co., Ltd. (72) Inventor Toshihiro Hyodo 3-5-2-5 Kasumigaseki, Chiyoda-ku, Tokyo Mitsui Toatsu Chemical Co., Ltd. (72) Inventor Akira Suzuki Minami-ku, Nagoya-shi, Aichi 2-1-1 Tango-dori, Mitsui Toatsu Chemical Co., Ltd. (72) Inventor Akemi Nakajima 2-1-1 Tangodori, Minami-ku, Nagoya-shi, Aichi Mitsui Toatsu Chemical Co., Ltd.
Claims (11)
れた透明導電膜を発熱面または受電波面として使用し、
該透明導電膜に通電または接地するための、少なくとも
一対の電極を備えた透明面状ヒーターにおいて、該発熱
面または受電波面が所定のパターンを有する透明導電膜
からなり、かつ、該透明導電膜上に透明保護層を有し、
さらに、少なくとも該透明導電膜の断面及びまたは該周
辺端部の一部または全部に防蝕層が設けられた透明面状
ヒーター。1. A transparent conductive film provided on at least one main surface of a transparent substrate is used as a heating surface or a radio wave receiving surface,
A transparent planar heater having at least a pair of electrodes for energizing or grounding the transparent conductive film, wherein the heating surface or the radio wave receiving surface is made of a transparent conductive film having a predetermined pattern. Has a transparent protective layer on top,
Furthermore, a transparent sheet heater in which a corrosion-resistant layer is provided on at least a part of the cross section of the transparent conductive film and / or the peripheral edge portion.
薄膜によって覆われた銀及びまたは銅を主成分とする金
属薄膜からなる請求項1記載の透明面状ヒーター。2. The transparent planar heater according to claim 1, wherein the transparent conductive film comprises a metal thin film containing silver and / or copper as a main component, one surface or both surfaces of which is covered with a transparent thin film.
水素化窒化物、炭化物からなる群から選ばれた、少なく
とも一種以上からなる薄膜の単層または多層である請求
項2記載の透明面状ヒーター。3. The transparent thin film is an oxide, a nitride, an oxynitride,
The transparent planar heater according to claim 2, which is a single layer or a multilayer of a thin film made of at least one selected from the group consisting of hydronitrides and carbides.
求項1ないし3の何れか一項記載の透明面状ヒーター。4. The transparent sheet heater according to claim 1, wherein the electrode is provided with a metal fitting for external connection.
た請求項1ないし4の何れか一項記載の透明面状ヒータ
ー。5. The transparent planar heater according to claim 1, wherein an adhesive layer is provided on at least one main surface.
れた透明導電膜を発熱面または受電波面として使用し、
該透明導電膜に通電または接地するための、少なくとも
一対の電極を備えた電磁波シールド体において、該発熱
面または受電波面が所定のパターンを有する透明導電膜
からなり、かつ、該透明導電膜上に透明保護層を有し、
さらに、少なくとも該透明導電膜の断面及びまたは該周
辺端部の一部または全部に防蝕層が設けられた電磁波シ
ールド体。6. A transparent conductive film provided on at least one main surface of a transparent substrate is used as a heat generating surface or a radio wave receiving surface,
An electromagnetic wave shield body having at least a pair of electrodes for energizing or grounding the transparent conductive film, wherein the heating surface or the receiving wave surface is made of a transparent conductive film having a predetermined pattern, and on the transparent conductive film. Has a transparent protective layer on
Furthermore, an electromagnetic wave shield body in which a corrosion-resistant layer is provided on at least a cross section of the transparent conductive film and / or a part or all of the peripheral edge portion.
薄膜によって覆われた銀及びまたは銅を主成分とする金
属薄膜からなる請求項6記載の電磁波シールド体。7. The electromagnetic wave shield according to claim 6, wherein the transparent conductive film is a metal thin film containing silver and / or copper as a main component, one surface or both surfaces of which is covered with a transparent thin film.
水素化窒化物、炭化物からなる群から選ばれた、少なく
とも一種以上からなる薄膜の単層または多層である請求
項7記載の電磁波シールド体。8. The transparent thin film is an oxide, a nitride, an oxynitride,
The electromagnetic wave shield according to claim 7, which is a single layer or a multi-layer of a thin film made of at least one selected from the group consisting of hydrogenated nitrides and carbides.
求項6ないし8の何れか一項記載の電磁波シールド体。9. The electromagnetic wave shield according to claim 6, wherein the electrode is provided with a metal fitting for external connection.
れた請求項6ないし9の何れか一項記載の電磁波シール
ド体。10. The electromagnetic wave shield according to claim 6, wherein an adhesive layer is provided on at least one main surface.
の透明面状ヒーター及びまたは電磁波シールド体を設け
た透明面状ヒーター及びまたは電磁波シールド体付液晶
装置。11. A transparent sheet heater and / or a liquid crystal device with an electromagnetic wave shield provided with the transparent sheet heater and / or the electromagnetic wave shield body according to claim 1.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12335296A JPH09306647A (en) | 1996-05-17 | 1996-05-17 | Transparent surface heater, electromagnetic wave shield, and liquid crystal device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12335296A JPH09306647A (en) | 1996-05-17 | 1996-05-17 | Transparent surface heater, electromagnetic wave shield, and liquid crystal device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09306647A true JPH09306647A (en) | 1997-11-28 |
Family
ID=14858455
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12335296A Pending JPH09306647A (en) | 1996-05-17 | 1996-05-17 | Transparent surface heater, electromagnetic wave shield, and liquid crystal device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09306647A (en) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001318318A (en) * | 2000-05-10 | 2001-11-16 | Tokai Hit:Kk | Specimen temperature controller for microscope |
JP2002368482A (en) * | 2001-06-11 | 2002-12-20 | Gunze Ltd | Electromagnetic wave shielding member and method of manufacturing the same |
JP2006024500A (en) * | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Gunze Ltd | Transparent surface exothermic body and its manufacturing method |
JP2006024501A (en) * | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Gunze Ltd | Transparent surface exothermic body and its manufacturing method |
JP2006049006A (en) * | 2004-08-02 | 2006-02-16 | Gunze Ltd | Transparent surface heating element and its manufacturing method |
JP2007516007A (en) * | 2003-09-17 | 2007-06-21 | ザィサン バグ | Heating device with heater manufactured by PCB |
CN100346003C (en) * | 2002-07-12 | 2007-10-31 | 藤森工业株式会社 | Electromagnetic wave shield material and process for producing the same |
JP2008159534A (en) * | 2006-12-26 | 2008-07-10 | Nippon Electric Glass Co Ltd | Conductive frit material, transparent planar heater and electromagnetic wave shielding body |
JP2008218350A (en) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Fukuju Sangyo Kk | Planar heating element and its manufacturing method |
JP2010135841A (en) * | 2010-03-01 | 2010-06-17 | Idemitsu Kosan Co Ltd | Inorganic nondegenerate semiconductor |
KR101523325B1 (en) * | 2015-02-04 | 2015-05-28 | 에스맥 (주) | Transparent Heater and Manufacturing Method Thereof |
JP2016157551A (en) * | 2015-02-24 | 2016-09-01 | 三菱樹脂株式会社 | Laminate colored film heater |
JP2018029064A (en) * | 2012-11-21 | 2018-02-22 | サン−ゴバン グラス フランスSaint−Gobain Glass France | Plate glass comprising electrical connection member and connection bridge and manufacturing method for the same |
JP2018085299A (en) * | 2016-11-25 | 2018-05-31 | 学校法人関東学院 | Planar heater |
-
1996
- 1996-05-17 JP JP12335296A patent/JPH09306647A/en active Pending
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001318318A (en) * | 2000-05-10 | 2001-11-16 | Tokai Hit:Kk | Specimen temperature controller for microscope |
JP2002368482A (en) * | 2001-06-11 | 2002-12-20 | Gunze Ltd | Electromagnetic wave shielding member and method of manufacturing the same |
CN100346003C (en) * | 2002-07-12 | 2007-10-31 | 藤森工业株式会社 | Electromagnetic wave shield material and process for producing the same |
JP2007516007A (en) * | 2003-09-17 | 2007-06-21 | ザィサン バグ | Heating device with heater manufactured by PCB |
JP2006024501A (en) * | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Gunze Ltd | Transparent surface exothermic body and its manufacturing method |
JP2006024500A (en) * | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Gunze Ltd | Transparent surface exothermic body and its manufacturing method |
JP2006049006A (en) * | 2004-08-02 | 2006-02-16 | Gunze Ltd | Transparent surface heating element and its manufacturing method |
JP2008159534A (en) * | 2006-12-26 | 2008-07-10 | Nippon Electric Glass Co Ltd | Conductive frit material, transparent planar heater and electromagnetic wave shielding body |
JP2008218350A (en) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Fukuju Sangyo Kk | Planar heating element and its manufacturing method |
JP2010135841A (en) * | 2010-03-01 | 2010-06-17 | Idemitsu Kosan Co Ltd | Inorganic nondegenerate semiconductor |
JP2018029064A (en) * | 2012-11-21 | 2018-02-22 | サン−ゴバン グラス フランスSaint−Gobain Glass France | Plate glass comprising electrical connection member and connection bridge and manufacturing method for the same |
KR101523325B1 (en) * | 2015-02-04 | 2015-05-28 | 에스맥 (주) | Transparent Heater and Manufacturing Method Thereof |
JP2016157551A (en) * | 2015-02-24 | 2016-09-01 | 三菱樹脂株式会社 | Laminate colored film heater |
JP2018085299A (en) * | 2016-11-25 | 2018-05-31 | 学校法人関東学院 | Planar heater |
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