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JPH09304637A - Optical device - Google Patents

Optical device

Info

Publication number
JPH09304637A
JPH09304637A JP8143645A JP14364596A JPH09304637A JP H09304637 A JPH09304637 A JP H09304637A JP 8143645 A JP8143645 A JP 8143645A JP 14364596 A JP14364596 A JP 14364596A JP H09304637 A JPH09304637 A JP H09304637A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical waveguide
refractive index
electromagnetic field
optical
dispersive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8143645A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Katsumi Morishita
克己 森下
Masamichi Yataki
正道 矢瀧
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tatsuta Electric Wire and Cable Co Ltd
Original Assignee
Tatsuta Electric Wire and Cable Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tatsuta Electric Wire and Cable Co Ltd filed Critical Tatsuta Electric Wire and Cable Co Ltd
Priority to JP8143645A priority Critical patent/JPH09304637A/en
Publication of JPH09304637A publication Critical patent/JPH09304637A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an optical device which is easy to manufacture and handle since an electromagnetic field can be expanded where a refractive index difference is small between two parts, by using a divergent optical waveguide element which is different in the refractive index difference between a core and a clad between the two parts without changing the shapes and components. SOLUTION: The cores 2 and 12 and clads 3 and 13 of divergent optical waveguide elements 1 and 11 are composed of optical glass which differs in transition temperature, and parts 4b and 14b of optical waveguide element main bodies 4 and 14 are thermally treated and different in refractive index between the cores 2 and 12 and clads 3 and 13 from thermally untreated parts 4a and 14a; and the electromagnetic field of waveguide light is expanded parts (electromagnetic field expansion part) which are smaller in refractive index difference between the thermally treated parts 4b and 14b and thermally untreated parts 4a and 14a. Projections films 5 and 15 are formed of materials which are properly selected from silicone resin, ultraviolet-ray setting resin, etc.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、分散性光導波路素
子及びそれを用いた光デバイスに関するものであり、さ
らに詳しくは光導波路のコアとクラッドの屈折率の差を
局部的に他の部分より減少又は逆転させ、その部分で電
磁界を拡大させた分散性光導波路素子を用いた光デバイ
スに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dispersive optical waveguide device and an optical device using the same, and more specifically, to a difference in refractive index between a core and a clad of an optical waveguide from other parts locally. The present invention relates to an optical device using a dispersive optical waveguide element in which the electromagnetic field is increased or reduced by reducing or reversing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ファイバ形光デバイスには、通信
用光伝送路と同様、石英光ファイバが用いられていた。
ところが、石英光ファイバは帯域と損失に重点をおいて
作られているため、コアとクラッドの屈折率の差は光の
波長に依存せず、波長特性に多様性がないため、それを
利用したファイバ形光デバイスも種類が限られていた。
2. Description of the Related Art Conventionally, a quartz optical fiber has been used in a fiber type optical device as in an optical transmission line for communication.
However, since the silica optical fiber is made with emphasis on the band and the loss, the difference in the refractive index between the core and the clad does not depend on the wavelength of the light, and there is no diversity in the wavelength characteristics, so it was used. The types of fiber-type optical devices were also limited.

【0003】例えば、光ファイバを利用した光分岐・結
合器としては、導波される光の電磁界がある領域で別の
光ファイバのコアに伝搬されるようにする必要があり、
そのため図10に示すように、2本の石英光ファイバ1
1及び121を、その一部分Eを加熱し、部分Mを融着
させながら延伸して分岐部130を作製した光分岐・結
合器100が用いられている。石英光ファイバ111,
121はそれぞれコア112,122の上にクラッド1
13,123を被覆したものである。この光分岐・結合
器100では、矢印のように光ファイバ111で導波さ
れる光Lの電磁界は、細くなっている分岐部130のと
ころで、コア112からクラッド113の方に漏れて光
ファイバ121にもアクセスされ、光L1,L2に分岐
される。しかし、この光分岐・結合器100は分岐部1
30の外径を部分Fにおける外径の10分の1程度以下
にする必要があり、製造及び使用時に損壊しないよう細
心の注意を払う必要がある。また、通常の取り扱いに耐
え得る実用的な素子とするためには、適正な補強が必要
であるため、高価なものとなる。さらに、そのため製造
にあたっては加熱や延伸を制御する高度な制御技術と制
御装置も必要となる。
For example, as an optical branching / coupling device using an optical fiber, it is necessary to allow the electromagnetic field of the guided light to propagate to a core of another optical fiber in a certain region.
Therefore, as shown in FIG. 10, two quartz optical fibers 1
An optical branching / combining device 100 is used in which 1 and 121 are heated at a part E thereof and stretched while melting a part M to form a branch part 130. Quartz optical fiber 111,
121 is the clad 1 on the cores 112 and 122, respectively.
It is coated with 13,123. In this optical branching / coupling device 100, the electromagnetic field of the light L guided by the optical fiber 111 as shown by the arrow leaks from the core 112 toward the clad 113 at the narrow branching portion 130, and the optical fiber. 121 is also accessed and branched into lights L1 and L2. However, this optical branching / combining device 100 has a branching unit 1
It is necessary to make the outer diameter of 30 about 1/10 or less of the outer diameter of the portion F, and it is necessary to pay close attention so as not to damage it during manufacturing and use. Further, in order to obtain a practical element that can withstand normal handling, appropriate reinforcement is required, which is expensive. Further, therefore, advanced control technology and control device for controlling heating and stretching are also required for manufacturing.

【0004】そこで、このような延伸工程を必要とせ
ず、細径化部分のない光導波路とその製造方法が提案さ
れている。この光導波路は、石英光ファイバにおいて、
コアに添加されているドーパントを、加熱することによ
り拡散させ、コアとクラッドの屈折率の差を小さくした
ものであり、コア内に閉じ込められて導波される光が、
屈折率差を小さくした部分でクラッドの方にも広がる
(換言すれば、導波光の電磁界が拡大される)ため隣接
する石英光ファイバにアクセスされる。しかし、材料が
純度の高い石英であるところから、ドーパントを所望の
ように拡散させるためには、摂氏千数百度に及ぶ加熱が
必要であり、そのための加熱装置と光ファイバを溶融す
ることなくドーパントを拡散させるための高度な制御技
術が必要であり、所望の特性を出すためには、1時間程
度の作業時間が必要である。しかも、コアからクラッド
へ拡散するドーパントの濃度は、コアに残留するドーパ
ントの濃度に達すると平衡し、それ以上になることはな
いから、クラッドの屈折率をコアの屈折率より大きくす
ることはできない。
Therefore, there has been proposed an optical waveguide which does not require such a stretching process and has no diameter-reduced portion, and a manufacturing method thereof. This optical waveguide is a quartz optical fiber
The dopant added to the core is diffused by heating to reduce the difference in the refractive index between the core and the clad, and the light that is confined in the core and guided is
The portion where the difference in the refractive index is reduced spreads toward the cladding (in other words, the electromagnetic field of the guided light is enlarged), so that the adjacent silica optical fiber is accessed. However, since the material is high-purity quartz, heating up to several thousand degrees centigrade is necessary for the desired diffusion of the dopant, and therefore the heating device and the optical fiber for melting the dopant are required. Requires a high-level control technique for diffusing, and about 1 hour of working time is required to obtain desired characteristics. Moreover, the concentration of the dopant diffusing from the core to the clad is in equilibrium when it reaches the concentration of the dopant remaining in the core, and does not exceed the equilibrium. Therefore, the refractive index of the clad cannot be made larger than that of the core. .

【0005】さらに、石英光ファイバにおいては、コア
とクラッドの屈折率の差は波長に関係なくほぼ一定であ
るため、上記ドーパントの拡散部分においても、屈折率
の差は全体として減少するが、導波される光の波長によ
って屈折率の差が異なるわけではなく、用途に応じた多
様な特性を得ることも困難である。
Further, in the silica optical fiber, the difference in the refractive index between the core and the clad is almost constant regardless of the wavelength, so that the difference in the refractive index is reduced as a whole even in the portion where the dopant is diffused. The difference in the refractive index does not differ depending on the wavelength of the wave that is oscillated, and it is difficult to obtain various characteristics according to the application.

【0006】光デバイスに多様な波長特性を与えるもの
として、コアとクラッドの屈折率の差が波長に大きく依
存する分散性光ファイバが提案されている(電子通信学
会論文誌C−1,Vol.J78−C−1,No.1
2,pp658−663,1995年12月)。このよ
うな光ファイバがあれば、波長の選択によって光デバイ
スに必要な任意の屈折率の差を有する光ファイバとして
使用できる。しかしながら、光デバイスに利用可能な適
切な屈折率分散を有するコア材とクラッド材を探し出す
ことは容易ではなく、またそのような光導波路を創り出
す製造方法も見い出されていないため、その創出が強く
望まれていた。
Dispersive optical fibers in which the difference in the refractive index between the core and the clad greatly depends on the wavelength have been proposed to give various wavelength characteristics to an optical device (IEICE Transactions C-1, Vol. J78-C-1, No. 1
2, pp 658-663, December 1995). With such an optical fiber, it can be used as an optical fiber having an arbitrary difference in refractive index required for an optical device by selecting the wavelength. However, it is not easy to find a core material and a clad material having an appropriate refractive index dispersion that can be used for an optical device, and a manufacturing method for creating such an optical waveguide has not been found. It was rare.

【0007】[0007]

【発明が実現しようとする課題】本発明は、前記問題点
を解消し、要望に応えるべく鋭意研究の結果なされたも
ので、請求項1及び2記載の発明は、光導波路素子の形
状と成分に変化を加えることなく、その一部分で導波光
の電磁界が拡大され又は導波光が放射される光導波路素
子を用いることにより製造や取り扱いの容易な光デバイ
スを提供することを課題とする。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has been made as a result of earnest research to solve the above-mentioned problems and meet the needs. The inventions according to claims 1 and 2 are the shape and composition of an optical waveguide device. It is an object of the present invention to provide an optical device which is easy to manufacture and handle by using an optical waveguide element in which the electromagnetic field of guided light is expanded or the guided light is radiated at a part thereof without changing the above.

【0008】請求項3記載の発明は、請求項1及び2記
載の発明の課題に加えて、前記光導波路素子の端部で電
磁界が拡大され、軸合わせが容易で、接続損失の少ない
光コネクタの提供を課題とする。
According to a third aspect of the present invention, in addition to the problems of the first and second aspects of the present invention, the electromagnetic field is enlarged at the end of the optical waveguide element, the axis alignment is easy, and the optical loss is small. The challenge is to provide connectors.

【0009】請求項4記載の発明は、請求項1及び2記
載の発明の課題に加えて、複数本の分散性光導波路素子
の電磁界拡大部分を相互に接触又は接近させるだけで導
波光が分配又は結合される光分岐・結合器の提供を課題
とする。
According to a fourth aspect of the present invention, in addition to the problems of the first and second aspects of the present invention, the guided light can be generated by simply bringing the electromagnetic field expanding portions of a plurality of dispersive optical waveguide elements into contact with or close to each other. An object is to provide an optical branching / combining device that is distributed or combined.

【0010】請求項5記載の発明は、請求項4記載の発
明の課題に加えて、分岐比の設定が容易な光分岐・結合
器の提供を課題とする。
An object of the invention of claim 5 is to provide an optical branching / coupling device in which the branching ratio can be easily set, in addition to the object of the invention of claim 4.

【0011】請求項6記載の発明は、請求項4記載の発
明の課題に加えて、さらに安価な光分岐・結合器の提供
を課題とする。
In addition to the object of the invention described in claim 4, it is an object of the invention in claim 6 to provide an inexpensive optical branching / coupling device.

【0012】請求項7記載の発明は、請求項1及び2記
載の発明の課題に加えて、検知感度のよい安価なセンサ
の提供を課題とする。
In addition to the problems of the inventions of claims 1 and 2, the invention of claim 7 is to provide an inexpensive sensor with good detection sensitivity.

【0013】請求項8記載の発明は、請求項1及び2記
載の発明の課題に加えて、多モードの導波光から任意の
高次モードを除去しうる高次モード除去フィルタの提供
を課題とする。
In addition to the problems of the inventions of claims 1 and 2, the invention of claim 8 is to provide a high-order mode elimination filter capable of eliminating any high-order mode from multimode guided light. To do.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明は、前記問題点を
解消し、要望に応えるべく鋭意研究の結果なされたもの
で、請求項1記載の発明の光デバイスは、光学ガラスか
らなるコアの上にコアとは転移温度の異なる光学ガラス
からなるクラッドを被覆してなり、その一部分のコアと
クラッドの屈折率差をその形状と成分を変化させること
なく他の部分とは異ならせた光導波路素子であって、前
記一部分又は他の部分のうち屈折率差の小さい部分で導
波光の電磁界を拡大させる分散性光導波路素子を具備し
たことを特徴とする。分散性光導波路素子の一部分又は
他の部分のうち屈折率差の小さい部分で導波光の電磁界
が拡大され、他の光導波路素子との結合が容易であり、
しかも形状と成分を変化させることがないので、製造や
取り扱いが容易で、安価である。なお、ここで屈折率差
とは、コアの屈折率からクラッドの屈折率を引いた差を
いい、その絶対値を意味するものではない。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has been made as a result of earnest research to solve the above-mentioned problems and meet the needs, and the optical device of the invention according to claim 1 comprises a core made of optical glass. An optical waveguide in which the core is covered with a cladding made of optical glass with a different transition temperature, and the difference in the refractive index between the core and the cladding of one part is different from that of the other part without changing its shape and composition. An element is provided with a dispersive optical waveguide element for expanding an electromagnetic field of guided light in a portion having a small difference in refractive index among the portion or the other portion. The electromagnetic field of the guided light is expanded in a portion of the dispersive optical waveguide element or a portion having a small difference in refractive index among other portions, and coupling with other optical waveguide elements is easy,
Moreover, since the shape and components are not changed, the manufacturing and handling are easy and the cost is low. Here, the refractive index difference means a difference obtained by subtracting the refractive index of the clad from the refractive index of the core, and does not mean the absolute value thereof.

【0015】請求項2記載の発明は、請求項1記載の光
デバイスにおいて、前記分散性光導波路素子は、前記一
部分を熱処理することにより、この熱処理部分のコアと
クラッドの屈折率差を他の非熱処理部分とは異ならせた
分散性光導波路素子であることを特徴とする。コア材と
クラッド材が、転移温度の異なる光学ガラスからなるた
め、熱処理するだけでその部分のコアとクラッドの屈折
率差を異ならせた光導波路素子が得られ、そのうち屈折
率差の小さい部分で導波光の電磁界が拡大される。
According to a second aspect of the present invention, in the optical device according to the first aspect, the dispersive optical waveguide element heat-treats the part, so that the difference in refractive index between the core and the clad in the heat-treated part is changed to another value. The dispersive optical waveguide element is different from the non-heat-treated portion. Since the core material and the clad material are made of optical glass with different transition temperatures, an optical waveguide device with a different refractive index difference between the core and the clad can be obtained only by heat treatment. The electromagnetic field of the guided light is expanded.

【0016】請求項3記載の発明の光コネクタは、互い
に当接可能な接続端面を有する二つの光導波路素子と、
両接続端面を当接させ前記二つの光導波路素子を着脱自
在に接続する接続具とを有する光コネクタにおいて、前
記光導波路素子の少なくとも一方が前記分散性光導波路
素子からなり、その電磁界拡大部分の端面を他の光導波
路素子との接続端面とすることを特徴とする。分散性光
導波路素子の電磁界拡大部分の端面を接続端面とするの
で、軸ずれによる接続損失が少なく、軸合わせが容易で
ある。
An optical connector according to a third aspect of the present invention includes two optical waveguide elements each having a connection end face capable of abutting each other.
In an optical connector having a connector for abutting both connection end faces and detachably connecting the two optical waveguide elements, at least one of the optical waveguide elements is the dispersive optical waveguide element, and an electromagnetic field expansion portion thereof is provided. Is used as a connection end face with another optical waveguide device. Since the end face of the electromagnetic field expansion portion of the dispersive optical waveguide device is used as the connection end face, the connection loss due to the axis shift is small and the axis alignment is easy.

【0017】また、請求項4記載の発明の光分岐・結合
器は、光導波路素子の複数本からなる光分岐・結合器に
おいて、前記光導波路素子は、その中央部にコアとクラ
ッドの成分を他の部分と異ならせることなくその屈折率
差を小さくした電磁界拡大部分を有する分散性光導波路
素子であって、前記中央部の電磁界拡大部分が相互に接
触又は接近してなり、前記複数本の分散性光導波路素子
の電磁界拡大部分において導波光が分配又は結合される
ことを特徴とする。複数本の分散性光導波路素子の電磁
界拡大部分を相互に接触又は接近させるだけで導波光が
分配又は結合され、細径化したり、成分を変える必要が
ないので、製造や取り扱いが容易である。なお、本明細
書において中央部とは、両端部を除く適宜の部分を意味
し、幾何学的な中心部を意味するものではない。
Further, the optical branching / coupling device of the present invention is an optical branching / coupling device comprising a plurality of optical waveguide devices, wherein the optical waveguide device has a core and a clad component at the center thereof. A dispersive optical waveguide device having an electromagnetic field expanding portion whose refractive index difference is reduced without making it different from other portions, wherein the central electromagnetic field expanding portions are in contact with or close to each other. It is characterized in that guided light is distributed or coupled in an electromagnetic field expansion portion of the dispersive optical waveguide device of the present invention. The guided light is distributed or combined only by bringing the electromagnetic field expansion portions of a plurality of dispersive optical waveguide elements into contact with or close to each other, and there is no need to reduce the diameter or change the component, so that manufacturing and handling are easy. . In addition, in this specification, the central part means an appropriate part excluding both end parts, and does not mean a geometrical central part.

【0018】そして、請求項5記載の発明は、請求項4
記載の光分岐・結合器において、前記中央部に電磁界拡
大部分を有する分散性光導波路素子の複数本を、前記電
磁界拡大部分を接触又は接近させてなり、電磁界拡大部
分の屈折率差又は長さが異なることを特徴とする。分散
性光導波路素子の電磁界拡大部分の屈折率差又は長さが
異なると、電磁界拡大部分の端面における電磁界の広が
りが異なり、他の導波路素子への分岐比が異なる。した
がって、複数本の分散性光導波路素子の中から、所望の
分岐比で他の導波路素子に分配される導波路素子を任意
に選択することができる。
The invention according to claim 5 is the same as claim 4
In the optical branching / coupling device described above, a plurality of dispersive optical waveguide elements having an electromagnetic field expanding portion in the central portion are brought into contact or close to each other, and the refractive index difference of the electromagnetic field expanding portion is made. Alternatively, the lengths are different. If the difference in the refractive index or the length of the electromagnetic field expanding portion of the dispersive optical waveguide element is different, the spread of the electromagnetic field at the end face of the electromagnetic field expanding portion is different, and the branching ratio to another waveguide element is different. Therefore, it is possible to arbitrarily select a waveguide element to be distributed to other waveguide elements at a desired branching ratio from a plurality of dispersive optical waveguide elements.

【0019】さらに、請求項6記載の発明は、請求項4
記載の光分岐・結合器において、光学ガラスからなるコ
アの上にコアとは転移温度の異なる光学ガラスからなる
クラッドを被覆してなる光導波路素子の複数本を束ね、
その中央部を一括して熱処理することにより、前記各光
導波路素子を前記分散性光導波路素子とするとともに、
相互に熱融着してなることを特徴とする。各光導波路素
子の熱処理と熱融着を同時になし得るので、複数本の光
導波路素子相互の位置関係を固定するために別途の工程
を必要とせず、製造工程が少なく、安価に製造できる。
Furthermore, the invention according to claim 6 is the invention according to claim 4.
In the optical branching / coupling device described above, a plurality of optical waveguide elements formed by coating a core made of optical glass and a clad made of optical glass having a transition temperature different from that of the core are bundled,
By heat-treating the central part at once, each of the optical waveguide elements becomes the dispersive optical waveguide element,
It is characterized in that they are mutually heat-sealed. Since the heat treatment and the heat fusion of each optical waveguide element can be performed at the same time, a separate step is not required to fix the positional relationship between the plurality of optical waveguide elements, and the number of manufacturing steps is small and the manufacturing can be performed at low cost.

【0020】請求項7の発明のセンサは、前記分散性光
導波路素子とこの分散性光導波路素子によって導波され
る光のパラメータの変化を測定する測定器とを有し、電
磁界がクラッドの外部にまで拡大される前記分散性光導
波路素子の電磁界拡大部分を検出部として、この検出部
における電磁界に変化を与える検知対象を検知すること
を特徴とする。検知対象に応じて電磁界拡大部分の屈折
率差を適宜選択することにより、放射モードと導波モー
ドの比率を適宜変えて、検知感度のよいセンサが得られ
る。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a sensor having the dispersive optical waveguide element and a measuring device for measuring a change in a parameter of light guided by the dispersive optical waveguide element, and the electromagnetic field is a clad. The electromagnetic field expansion portion of the dispersive optical waveguide device that is expanded to the outside is used as a detection unit to detect a detection target that changes the electromagnetic field in the detection unit. By appropriately selecting the refractive index difference in the electromagnetic field enlarged portion according to the detection target, the ratio of the radiation mode and the guided mode can be appropriately changed, and a sensor with high detection sensitivity can be obtained.

【0021】請求項8の発明の高次モード除去フィルタ
は、光導波路に挿入し、導波光の高次モードを除去する
フィルターであって、前記分散性光導波路素子の中央部
に電磁界拡大部分を有し、その最小屈折率差が除去すべ
きモードのうち最低次のモードの臨界角に対応する屈折
率差と除去しないモードのうち最高次のモードに対応す
る屈折率差との間の屈折率差としたことを特徴とする。
中央部に設けられた電磁界拡大部分の最小屈折率差の選
定により任意の高次モードを除去することができる。
The high-order mode removing filter according to the invention of claim 8 is a filter which is inserted into an optical waveguide to remove a higher-order mode of guided light, wherein an electromagnetic field expanding portion is provided at a central portion of the dispersive optical waveguide element. The refractive index difference between the refractive index difference corresponding to the critical angle of the lowest mode of the modes whose minimum refractive index difference is to be eliminated and the refractive index difference corresponding to the highest order mode of the modes not to be eliminated. It is characterized by the difference.
Arbitrary higher-order modes can be eliminated by selecting the minimum refractive index difference in the electromagnetic field expansion portion provided in the central portion.

【0022】[0022]

【実施の形態】以下、本発明の実施の形態について説明
する。図1は、本発明の光デバイスの一例である光コネ
クタ10の模式図であり、図2は、このコネクタ10に
用いられる分散性光導波路素子1,11の断面図であ
り、同図(a)は縦断面図、同図(b)はそのY−Y断
面図である。図1及び図2において、分散性光導波路素
子1,11は、コア2,12の上にクラッド3,13を
被覆した分散性光導波路素子本体4,14に保護被膜
5,15(図1では図示せず)を被覆してなる分散性光
ファイバからなる。コア2,12及びクラッド3,13
は、転移温度の異なる光学ガラスからなり、光導波路素
子本体4,14の一部4b,14bは後述する熱処理が
施されていて、コア2,12とクラッド3,13の屈折
率差が非熱処理部分4a,14aとは異なり、前記熱処
理部分4b,14b又は非熱処理部分4a,14aのう
ち屈折率差の小さい部分(電磁界拡大部分)で導波光の
電磁界が拡大される。保護皮膜5,15は、シリコーン
樹脂、紫外線硬化樹脂など適宜選択される材料で形成さ
れる。
Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 is a schematic view of an optical connector 10 which is an example of the optical device of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view of dispersive optical waveguide elements 1 and 11 used in this connector 10. ) Is a vertical sectional view, and FIG. 7B is a YY sectional view thereof. In FIGS. 1 and 2, the dispersive optical waveguide elements 1 and 11 include protective films 5 and 15 (in FIG. 1), a dispersive optical waveguide element body 4 and 14 in which cores 2 and 12 are covered with claddings 3 and 13, respectively. It consists of a dispersive optical fiber coated with (not shown). Cores 2, 12 and clads 3, 13
Are made of optical glass having different transition temperatures, and the parts 4b and 14b of the optical waveguide element bodies 4 and 14 have been subjected to the heat treatment described later, and the difference in refractive index between the cores 2 and 12 and the clads 3 and 13 is not heat treated. Unlike the portions 4a and 14a, the electromagnetic field of the guided light is enlarged in the portion (electromagnetic field enlargement portion) having a small difference in refractive index among the heat treated portions 4b and 14b or the non-heat treated portions 4a and 14a. The protective films 5 and 15 are made of a material such as a silicone resin or an ultraviolet curable resin that is appropriately selected.

【0023】20は、分散性光導波路素子1,11を着
脱自在に接続する接続具であり、例えばプラグ21,2
2及びスリーブ23からなる。分散性光導波路素子1,
11は、その熱処理部分(電磁界拡大部分)4b,14
bが先端部6,16となるようにプラグ21,22に挿
入、固定される。そして、プラグ21,22は例えばス
リーブ23にそれぞれ嵌着される。嵌着は、例えばプラ
グ21に設けられた凹溝21a及びプラグ22に設けら
れた凹溝22bと、スリーブ23に設けられた凸リング
23a及び23bとをそれぞれ嵌合することにより行わ
れる。図1は、既にプラグ22がスリーブ23に嵌着さ
れた状態を示しており、プラグ21を矢印Iの方向に挿
入し、スリーブ23に嵌着させると、分散性光導波路素
子1の接続端面6aは、分散性光導波路素子11の接続
端面16aに当接され、接続が完了する。
Reference numeral 20 is a connector for detachably connecting the dispersive optical waveguide elements 1 and 11, for example, plugs 21 and 2.
2 and sleeve 23. Dispersive optical waveguide device 1,
11 is the heat treatment part (electromagnetic field expansion part) 4b, 14
The plugs 21 and 22 are inserted and fixed so that b is the tip portions 6 and 16. The plugs 21 and 22 are fitted into the sleeve 23, for example. The fitting is performed, for example, by fitting the concave groove 21a provided in the plug 21 and the concave groove 22b provided in the plug 22, and the convex rings 23a and 23b provided in the sleeve 23, respectively. FIG. 1 shows a state in which the plug 22 is already fitted in the sleeve 23. When the plug 21 is inserted in the direction of the arrow I and fitted in the sleeve 23, the connection end face 6a of the dispersive optical waveguide device 1 is formed. Is brought into contact with the connection end face 16a of the dispersive optical waveguide device 11 to complete the connection.

【0024】図3は、分散性光導波路素子1,11の屈
折率波長特性を示す図であり、図3(a)は、非熱処理
部分4aの屈折率波長特性の一例であり、A1 はコア2
の屈折率波長特性、B1 はクラッド3の屈折率波長特性
である。そして、図3(b)は、熱処理部分4bの屈折
率波長特性の一例であり、A2 はコア2の屈折率波長特
性、B2 はクラッド3の屈折率波長特性である。両者を
比較すれば明らかなように、熱処理によって、コア2b
の屈折率波長曲線がA1 からA2 に、クラッド3bの屈
折率波長曲線がB1 からB2 に変化したものである。導
波光の波長がλ1の場合、屈折率差は、非熱処理分では
δ11であったものが熱処理部分ではδ12に減少してお
り、また波長λ2に対しては、非熱処理分ではδ21であ
ったものが熱処理部分では逆転した差がδ22となってい
る。
FIG. 3 is a diagram showing the refractive index wavelength characteristics of the dispersive optical waveguide elements 1 and 11, FIG. 3 (a) is an example of the refractive index wavelength characteristics of the non-heat-treated portion 4a, and A 1 is Core 2
, And B 1 is the refractive index wavelength characteristic of the cladding 3. 3B shows an example of the refractive index wavelength characteristic of the heat-treated portion 4b, where A 2 is the refractive index wavelength characteristic of the core 2 and B 2 is the refractive index wavelength characteristic of the cladding 3. As is clear from a comparison between the two, the core 2b was
The refractive index wavelength curve of A is changed from A 1 to A 2 , and the refractive index wavelength curve of the clad 3b is changed from B 1 to B 2 . If the wavelength of the guided light is .lambda.1, the refractive index difference, a non-heat content is reduced to [delta] 12 in the heat treatment section that was [delta] 11, also with respect to the wavelength .lambda.2, a non-heat amount [delta] 21 However, in the heat-treated part, the reversed difference is δ 22 .

【0025】次に図2において導波路素子を伝搬する波
長λ1の光の電磁界の拡大態様を説明する。非熱処理部
分4aでは、屈折率は、波長がλ1であっても、λ2で
あってもコア2aの方がクラッド3aよりも屈折率が大
きいから、図2に示すように、導波光の電磁界Laはコ
ア2a内に閉じ込められて伝搬される。しかし、熱処理
部分4bに至ると、屈折率差δ12が小さいから、導波光
の電磁界Lbは非熱処理部分4aでの電磁界Laよりも
広がる。しかし、分散性光導波路素子1,11が単一モ
ード導波路素子であるから、電磁界拡大部分4b,14
bの屈折率差δ12及び長さを適当に選択すると、電磁界
の広がりは進行にしたがってLb1 ,Lb2 と大きくな
り、その後再び小さくなって、非熱処理部分14aに入
り、電磁界Laとなる。
Next, the mode of expansion of the electromagnetic field of light of wavelength λ1 propagating through the waveguide element in FIG. 2 will be described. In the non-heat-treated portion 4a, the refractive index of the core 2a is larger than that of the cladding 3a regardless of whether the wavelength is λ1 or λ2. Therefore, as shown in FIG. La is confined in the core 2a and propagated. However, when reaching the heat-treated portion 4b, since the refractive index difference δ 12 is small, the electromagnetic field Lb of the guided light becomes wider than the electromagnetic field La at the non-heat-treated portion 4a. However, since the dispersive optical waveguide elements 1 and 11 are single-mode waveguide elements, the electromagnetic field expansion portions 4b and 14
If the refractive index difference δ 12 and the length of b are properly selected, the spread of the electromagnetic field increases to Lb 1 and Lb 2 as it progresses, then decreases again, enters the non-heat-treated portion 14a, and becomes the electromagnetic field La. Become.

【0026】光導波路の突き合わせ接続において、軸ず
れによる接続損失が問題となるが、特に単一モード光導
波路の場合には、コア径が小さいのでその問題の解決が
重要であり、プラグやスリーブなどの接続具の寸法精度
や、プラグへの光ファイバの装着時の調整には細心の注
意を払わなければならなかった。しかし、上記の光コネ
クタ10を用いると、電磁界拡大部分4b,14bで電
磁界が拡大されるので、実効的にはコア径が拡大された
のと同様になる。したがって、多少の軸ずれが生じても
損失の生じる割合ははるかに小さくなり、軸合わせが容
易になる。
In the butt connection of optical waveguides, there is a problem of connection loss due to axial misalignment, but especially in the case of a single mode optical waveguide, it is important to solve the problem because the core diameter is small, such as plugs and sleeves. It was necessary to pay close attention to the dimensional accuracy of the connector and the adjustment when the optical fiber was attached to the plug. However, when the above-mentioned optical connector 10 is used, the electromagnetic field is enlarged in the electromagnetic field enlarged portions 4b and 14b, so that it is effectively the same as when the core diameter is enlarged. Therefore, even if some axis deviation occurs, the rate of loss is much smaller, and axis alignment becomes easier.

【0027】上記の例では、図2(a)において、非熱
処理部分4aのコアの屈折率波長曲線A1 が、クラッド
の屈折率波長曲線B1 よりも大きいものとしたが、その
逆であってもよい。また、非熱処理部分4aが図2
(b)のように屈折率波長曲線が交差していて、熱処理
部分が図2(a)のように両屈折率波長曲線が離れたも
のであってもよい。後述するように、コア材、クラッド
ー材の性質と熱処理のしかたによって、両屈折率波長曲
線が接近し、交差する場合もあれば、逆に離れる場合も
あるので、コアとクラッドの材料に応じて、熱処理方法
を適宜選択すればよく、要は屈折率差の小さい部分を電
磁界拡大部分とすればよい。また、図1、図2におい
て、分散性光導波路素子1及び11は、電磁界拡大部分
4b及び14bの屈折率差及び長さが等しいものに限定
されるものではなく、両者の端面6a,16aにおける
電磁界の広がりがほぼ一致するものであればよい。
In the above example, in FIG. 2A, the refractive index wavelength curve A 1 of the core of the non-heat-treated portion 4a is larger than the refractive index wavelength curve B 1 of the clad, but the opposite is true. May be. In addition, the non-heat treated portion 4a is shown in FIG.
The refractive index wavelength curves may intersect as shown in (b), and the heat treated portion may have the two refractive index wavelength curves separated from each other as shown in FIG. 2 (a). As will be described later, depending on the properties of the core material and the clad material and the heat treatment method, the two refractive index wavelength curves may come close to each other, may intersect, or may come apart from each other, so depending on the materials of the core and the clad. The heat treatment method may be appropriately selected, and in short, the portion having a small difference in refractive index may be used as the electromagnetic field expansion portion. Further, in FIG. 1 and FIG. 2, the dispersive optical waveguide elements 1 and 11 are not limited to those in which the difference in the refractive index and the length of the electromagnetic field expanding portions 4b and 14b are equal, and the end surfaces 6a and 16a of the both portions are the same. It suffices that the spreads of the electromagnetic fields at are almost the same.

【0028】したがって、上記光コネクタ10を製作す
るには、分散性光導波路素子1及び11のそれぞれの先
端6a及び16aをそれぞれ熱処理してもよいが、コア
とクラッドを転移温度の異なる光学ガラスとし、その一
部を熱処理して、その熱処理部分の長さを前記分散性光
導波路素子1及び11の熱処理部分4b及び14bと屈
折率が等しく、且つ長さが両者4b及び14bの和に等
しいものとし、その熱処理部分を切断してそれぞれの先
端6a及び16aを電磁界拡大部分4a及び14bとし
てもよい。
Therefore, in order to manufacture the optical connector 10, the tips 6a and 16a of the dispersive optical waveguide elements 1 and 11 may be heat-treated, but the core and the clad are made of optical glass having different transition temperatures. A part of which is heat-treated so that the length of the heat-treated portion is equal to that of the heat-treated portions 4b and 14b of the dispersive optical waveguide elements 1 and 11 and the length is equal to the sum of both 4b and 14b. The heat treated portions may be cut and the tips 6a and 16a may be used as the electromagnetic field enlarged portions 4a and 14b.

【0029】次に、図4に基づいて、本発明の光デバイ
スの一例である光分岐・結合器30について、説明す
る。図4において、光分岐・結合器30は、2本の分散
性光導波路素子41及び51からなり、分散性光導波路
素子41及び51は、例えば光導波路素子本体44及び
54とその上に被覆された図示されない保護被膜とから
なる分散性光ファイバからなる。図4は、その保護被膜
を除いた光導波路素子本体44及び54を接触させた状
態を示している。分散性光導波路素子本体44,54
は、コア42,52及びクラッド43,53からなり、
それらは転移温度の異なる光学ガラスからなる。分散性
光導波路素子本体44,54は、それぞれ中央部44
b,54bを熱処理して電磁波拡大部分とし、少なくと
もその中央部の電磁界拡大部分44b,54bを相互に
接触させてある。
Next, an optical branching / combining device 30 as an example of the optical device of the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 4, the optical branching / coupling device 30 is composed of two dispersive optical waveguide elements 41 and 51, and the dispersive optical waveguide elements 41 and 51 are, for example, optical waveguide element bodies 44 and 54 and are coated thereon. And a protective coating (not shown). FIG. 4 shows a state where the optical waveguide element bodies 44 and 54 excluding the protective coating are in contact with each other. Dispersive optical waveguide device bodies 44, 54
Consists of cores 42 and 52 and clads 43 and 53,
They consist of optical glasses with different transition temperatures. The dispersive optical waveguide element bodies 44 and 54 are respectively formed in the central portion 44.
b and 54b are heat-treated to be electromagnetic wave expanding portions, and at least central electromagnetic field expanding portions 44b and 54b are in contact with each other.

【0030】分散性光導波路素子本体44のコア42に
入射された光の電磁界La1 ,La2 は、電磁界拡大部
分44bにおいて、電磁界Lb1 となって広がり、その
一部が隣接する分散性光導波路素子本体54に分配さ
れ、二つの電磁界Lb21 ,Lb22となり、さらに分配
が進むと電磁界Lb3 となって、殆どが光導波路素子本
体54の方に移行する。図示例では、模式的にすべての
電磁界が分散性光導波路素子本体54の方へ移行してい
るが、実際には光導波路素子本体44を伝搬する電磁界
もある。全光パワーのうち、分散性光導波路素子54に
移行する光パワーーとそのまま分散性光導波路素子44
を伝搬する光パワーとの割合を分岐比というが、この分
岐比は、両電磁界拡大部分44b,54bにおける屈折
率差を異ならせることにより変化する。また、図示例で
は、両電磁界拡大部分44b,54bの長さは等しくし
てあるが、これを変えることによっても分岐比が変化す
る。
The electromagnetic fields La 1 and La 2 of the light incident on the core 42 of the dispersive optical waveguide element body 44 spread as an electromagnetic field Lb 1 in the electromagnetic field enlarged portion 44b, and some of them are adjacent to each other. It is distributed to the dispersive optical waveguide element body 54 and becomes two electromagnetic fields Lb 21 and Lb 22 , and when the distribution further proceeds, it becomes an electromagnetic field Lb 3, and most of the electromagnetic field shifts to the optical waveguide element body 54. In the illustrated example, all the electromagnetic fields are schematically moved to the dispersive optical waveguide element body 54, but actually, there is also an electromagnetic field propagating in the optical waveguide element body 44. Of the total optical power, the optical power transferred to the dispersive optical waveguide element 54 and the dispersive optical waveguide element 44 as they are.
The ratio with the optical power propagating through the is called a branching ratio, and this branching ratio is changed by making the difference in refractive index between the electromagnetic field expanding portions 44b and 54b different. Further, in the illustrated example, the lengths of both the electromagnetic field expanding portions 44b and 54b are made equal, but the branching ratio is also changed by changing them.

【0031】また、図示例では両電磁界拡大部分44
b,54bは、接触しているが、接近状態、すなわち、
多少の間隔を隔てた状態であっても、電磁界の広がりが
大きければ他の光導波路素子に分配される。したがっ
て、両光導波路素子本体44,54の間隔を調整するこ
とによっても分岐比が変化する。このように、分散性光
導波路素子のそれぞれに電磁界拡大部分44b,54b
を設けてそれらを接触又は接近させるようにすると、分
岐比の調整が容易である。なお、光の分配について述べ
たが、勿論、その逆に2本の光導波路素子に入射した光
を1本の光導波路素子に合流させることも可能であるこ
とはいうまでもない。
Further, in the illustrated example, both electromagnetic field expansion portions 44
b and 54b are in contact with each other, but in an approaching state, that is,
Even if they are separated by some distance, if the spread of the electromagnetic field is large, they are distributed to other optical waveguide elements. Therefore, the branching ratio also changes by adjusting the distance between the two optical waveguide element bodies 44 and 54. In this way, the electromagnetic field expansion portions 44b and 54b are provided in the dispersive optical waveguide elements, respectively.
The branching ratio can be easily adjusted by providing the above to bring them into contact with or close to each other. Although the distribution of light has been described, it goes without saying that the light incident on the two optical waveguide elements can be joined to the one optical waveguide element on the contrary.

【0032】図5は、光分岐・結合器の別の実施の形態
を示す図であり、同図(a)は、その縦断面図、同図
(b)は、長手方向における横断面の変化を示す図であ
る。図5において、光分岐・結合器30は、図4の例と
同様、2本の光導波路素子44,54からなり、各光導
波路素子44,54は、光学ガラスからなるコア42,
52の上にコア42,52とは転移温度の異なる光学ガ
ラスからなるクラッド43,53を被覆し、その上に図
示されない保護被膜を施した分散性光ファイバである。
そして、この光導波路素子本体44,54を束ね、その
中央部を一括して熱処理することにより、各光導波路素
子本体44,54に電磁界拡大部分44b,54bを形
成したものである。
FIG. 5 is a diagram showing another embodiment of the optical branching / coupling device. FIG. 5 (a) is a longitudinal sectional view thereof, and FIG. 5 (b) is a change in transverse section in the longitudinal direction. FIG. In FIG. 5, the optical branching / coupling device 30 is composed of two optical waveguide elements 44 and 54 as in the example of FIG. 4, and each optical waveguide element 44 and 54 is a core 42 made of optical glass.
A dispersive optical fiber is formed by covering the cores 52 and 52 with the clads 43 and 53 made of optical glass having different transition temperatures, and applying a protective film (not shown) thereon.
Then, the optical waveguide element bodies 44 and 54 are bundled and the central portions thereof are collectively heat-treated to form the electromagnetic field enlarged portions 44b and 54b in the respective optical waveguide element bodies 44 and 54.

【0033】2本の光導波路素子44,54は一括して
熱処理する際、互いに熱融着されるので、2本の光導波
路素子44,54を固定するための工程を別に設ける必
要がない。また、熱融着された2本の光導波路素子4
4,54の長径は、電磁界拡大部分において、非熱処理
部分の長径よりも多少小さくなる。光の電磁界の伝搬の
説明は、図4の場合と同様であるから省略するが、熱融
着により、横断面が同図(b)に示すようにS1・・・
S5と変化するので、電磁界拡大部分44b,54bに
おいては、横断面はS2,S3,S4のようにその長径
が小さくなり、同時にコア42bとコア52bの間隔が
小さくなる。そのため、電磁界を大きく拡大しなくて
も、光の分配が容易におこなわれる。なお、上記の図
4、図5の例では、2分岐形の光分岐・結合器(光方向
性結合器)についてのみ説明したが、光導波路素子の本
数は2本に限定されるものではなく、3本以上の多分岐
形光分岐・結合器(光スターカプラ)も本発明に含まれ
る。
Since the two optical waveguide elements 44 and 54 are heat-sealed to each other when collectively heat-treated, there is no need to separately provide a step for fixing the two optical waveguide elements 44 and 54. In addition, the two heat-sealed optical waveguide elements 4
The major axis of 4, 54 is slightly smaller than the major axis of the non-heat treated portion in the electromagnetic field enlarged portion. The description of the propagation of the electromagnetic field of light is omitted because it is the same as in the case of FIG. 4, but due to thermal fusion, the cross section is S1 ... As shown in FIG.
Since it changes to S5, in the electromagnetic field enlarged portions 44b and 54b, the cross section has a smaller major axis like S2, S3, and S4, and at the same time, the interval between the core 42b and the core 52b becomes smaller. Therefore, light can be easily distributed without greatly expanding the electromagnetic field. In the examples of FIGS. 4 and 5 described above, only the two-branch type optical branching / coupling device (optical directional coupler) has been described, but the number of optical waveguide elements is not limited to two. The present invention includes three or more multi-branching type optical branching / combining devices (optical star couplers).

【0034】図6は、本発明の光デバイスの一例である
光センサを示す説明図である。図6において、光センサ
60は、分散性光導波路素子61と図示されない発光素
子、受光素子及び発光素子から出射された光と受光素子
によって受光された光の変化を分析する測定器とからな
る。分散性光導波路素子61は、分散性光導波路素子1
と同様コア62の上にクラッド63を被覆した分散性光
導波路素子本体64とその上に被覆された図示されない
保護被膜からなり、少なくともセンサ部である電磁界拡
大部分64bは、保護被膜が除かれている。そして、分
散性光導波路素子61は、熱処理部分64bにおけるコ
ア62bとクラッド63bの屈折率差を小さくし、導波
モードが、光導波路素子本体64の外へ漏れるように形
成されている。
FIG. 6 is an explanatory view showing an optical sensor which is an example of the optical device of the present invention. In FIG. 6, an optical sensor 60 is composed of a dispersive optical waveguide element 61, a light emitting element (not shown), a light receiving element, and a measuring instrument that analyzes changes in the light emitted from the light emitting element and the light received by the light receiving element. The dispersive optical waveguide element 61 is the dispersive optical waveguide element 1
Similarly to the above, the core 62 is composed of a dispersive optical waveguide element body 64 in which the clad 63 is coated, and a protective coating (not shown) coated thereon, and at least the electromagnetic field expansion portion 64b which is the sensor portion has the protective coating removed. ing. The dispersive optical waveguide device 61 is formed so that the refractive index difference between the core 62b and the clad 63b in the heat-treated portion 64b is reduced, and the waveguide mode leaks to the outside of the optical waveguide device main body 64.

【0035】発光素子から分散性光導波路素子61の非
熱処理部分64aのコア62aに入射された光の電磁界
La1 ,La 2は、熱処理部分64bに至ると広がって
電磁界Lb1 ,Lb2 となり、再び狭まってLb3 とな
り、さらに非熱処理部分64aではLa3 ,La 4とな
る。検知対象Mを含む物質が、電磁界拡大部分64bに
接触するように配置されているものとし、電磁界拡大部
分64bから漏れ出たエバネッセント波を吸収する物質
であるとすると、分散性光導波路素子61から出射され
る光パワーLP1 は発光素子から入射された光パワーL
0 より小さくなっている筈である。したがって、この
吸収波長の光パワーの減衰量を測定することにより、検
知対象物質に含まれる検知対象Mの含有量を知ることが
できる。
The electromagnetic fields La 1 and La 2 of the light incident on the core 62a of the non-heat-treated portion 64a of the dispersive optical waveguide element 61 from the light emitting element spread to the heat-treated portion 64b and spread to the electromagnetic fields Lb 1 and Lb 2. And becomes narrower again to Lb 3 , and further becomes La 3 and La 4 in the non-heat-treated portion 64a. Assuming that the substance including the detection target M is arranged so as to contact the electromagnetic field expanding portion 64b and absorbs the evanescent wave leaking from the electromagnetic field expanding portion 64b, the dispersive optical waveguide element is assumed. The optical power LP 1 emitted from 61 is the optical power L incident from the light emitting element.
It should be smaller than P 0 . Therefore, by measuring the amount of attenuation of the optical power of this absorption wavelength, the content of the detection target M contained in the detection target substance can be known.

【0036】このような光センサの例として、メタンガ
スのガス濃度センサがある。これは波長3.39μmの
He−Neレーザを光源とし、検知部は、光ファイバを
加工延伸し、直径数μmにして、この部分からエバネッ
セント波が出るようにしたものである。このタイプのも
のでは、細径化された部分が損壊され易いので、その部
分を支持するのに注意が必要であるが、本発明によれ
ば、細径化部分がないので、支持するのが容易である。
An example of such an optical sensor is a methane gas concentration sensor. This uses a He-Ne laser having a wavelength of 3.39 μm as a light source, and a detecting portion is formed by processing and extending an optical fiber to have a diameter of several μm so that an evanescent wave is emitted from this portion. In this type, since the thinned portion is easily damaged, care must be taken to support that portion, but according to the present invention, since there is no thinned portion, it is necessary to support it. It's easy.

【0037】図7は、本発明の光デバイスである高次モ
ード除去フィルターの説明図であり、同図(a)はその
縦断面図、同図(b)は、その長さ方向の屈折率差の変
化を示す図である。高次モード除去フィルター70は、
分散性光導波路素子本体71と図示されない保護被膜と
からなる。分散性光導波路素子本体71は、分散性光導
波路素子1と同様、コア72の上にクラッド73を被覆
した本体74を有する多モードの分散性光ファイバから
なり、そのコア72の屈折率ncoとクラッド73の屈折
率nclとの差δは、電磁界拡大部分74bにおいて小さ
くなり、長手方向に図7(b)のように変化しており、
その最小屈折率差はδmin となっている。
7A and 7B are explanatory views of a high-order mode elimination filter which is an optical device of the present invention. FIG. 7A is a longitudinal sectional view thereof, and FIG. 7B is a refractive index in the length direction thereof. It is a figure which shows the change of a difference. The high-order mode removal filter 70 is
It is composed of a dispersive optical waveguide device body 71 and a protective film (not shown). Similar to the dispersive optical waveguide device 1, the dispersive optical waveguide device body 71 is composed of a multimode dispersive optical fiber having a body 74 in which a clad 73 is coated on a core 72, and the refractive index n co of the core 72 is The difference δ between the refractive index n cl of the clad 73 and the refractive index n cl of the clad 73 decreases in the electromagnetic field enlarged portion 74 b and changes in the longitudinal direction as shown in FIG.
The minimum refractive index difference is δ min .

【0038】臨界角θc は屈折率差δに対応し、屈折率
差δが小さくなるにつれて、臨界角θc も小さくなるの
で、高次のモードから順次放射されることになる。図7
(a)に示すように、モードLP01,LP11,LP21
LP02,LP31を含む光が分散性光導波路素子71のコ
ア72aに入射されるものとし、また同図(b)に示す
ように、モードLP31の臨界角に対応する屈折率差をδ
1 ,モードLP21,LP02の臨界角に対応する屈折率差
をδ2 ,モードLP11に対応する屈折率差をδ3 とする
と、屈折率差δ1 のところでモードLP31が放射され、
δ2のところでモードLP21とLP02が放射され、δ3
のところでモードLP11が放射される。このようにし
て、臨界角に対応する屈折率差が最小屈折率差δmin
り小さい基本モードLP01だけが通過する。また、最小
屈折率差δmin をδ2 とδ3 の間にあるようにすると、
モードLP11も通過する。このように、最小屈折率差δ
min を適宜選択することにより、任意の高次モードを除
去できる。
The critical angle θ c corresponds to the refractive index difference δ, and as the refractive index difference δ becomes smaller, the critical angle θ c also becomes smaller, so that higher-order modes are sequentially radiated. Figure 7
As shown in (a), modes LP 01 , LP 11 , LP 21 ,
It is assumed that light including LP 02 and LP 31 is incident on the core 72a of the dispersive optical waveguide device 71, and as shown in FIG. 7B, the refractive index difference corresponding to the critical angle of the mode LP 31 is δ.
If the refractive index difference corresponding to the critical angle of 1 and modes LP 21 and LP 02 is δ 2 , and the refractive index difference corresponding to mode LP 11 is δ 3 , the mode LP 31 is radiated at the refractive index difference δ 1 ,
Modes LP 21 and LP 02 are radiated at δ 2 and δ 3
At that point, mode LP 11 is radiated. In this way, only the fundamental mode LP 01 whose refractive index difference corresponding to the critical angle is smaller than the minimum refractive index difference δ min passes. If the minimum refractive index difference δ min is between δ 2 and δ 3 ,
Mode LP 11 also passes. Thus, the minimum refractive index difference δ
By selecting min appropriately, any higher order mode can be removed.

【0039】次に、上記各光デバイスにおいて用いられ
る分散性光導波路素子の製造方法について略述する。図
8は、本発明の分散性光導波路素子の製造方法の説明図
である。図8において、分散性光導波路素子本体4は、
例えばロッドインチューブ法などによって、光学ガラス
からなるコア2の上にコア2とは転移温度の異なる光学
ガラスからなるクラッド3を被覆して形成される。さら
に、その上に適宜選択されるシリコーン樹脂、紫外線硬
化樹脂などが塗布され硬化されて保護被膜5となり、分
散性光ファイバ1が形成される。コア2及びクラッド3
の材料は、転移温度の異なる光学ガラスであればよい
が、例えば、コア材にHOYA社製のBaCED4(主な成分
SiO2-B2O3-BaO )を、クラッド材には小原硝子社製の F
11(主な成分SiO2-B2O3-Na2O-K2O-TiO2 )などの多成分
ガラスを用いることが好ましい。コア2の転移温度TA
とクラッド3の転移温度TB との差θが、10℃以上あ
れば、加熱により屈折率差δを変化させるのが容易であ
るが、10℃未満であるとコア2とクラッド3に与える
熱処理の影響の差が少ないため屈折率差δの変化も生じ
にくい。また、転移温度の差θが大き過ぎると母材やフ
ァイバの製造がむずかしくなるので、100℃以下であ
ることが望ましい。
Next, a method of manufacturing the dispersive optical waveguide element used in each of the above optical devices will be briefly described. FIG. 8 is an explanatory view of the method for manufacturing the dispersive optical waveguide device of the present invention. In FIG. 8, the dispersive optical waveguide device body 4 is
For example, by a rod-in-tube method or the like, a core 2 made of optical glass is coated with a clad 3 made of optical glass having a transition temperature different from that of the core 2. Further, a silicone resin, an ultraviolet curable resin, or the like, which is appropriately selected, is applied and cured thereon to form the protective coating 5, and the dispersive optical fiber 1 is formed. Core 2 and clad 3
The material may be any optical glass having a different transition temperature. For example, for the core material, BaCED4 (main component by HOYA)
SiO 2 -B 2 O 3 -BaO) and the cladding material F made by Ohara Glass Co., Ltd.
It is preferable to use a multi-component glass such as 11 (main component SiO 2 —B 2 O 3 —Na 2 OK 2 O—TiO 2 ). Core 2 transition temperature T A
The difference between the transition temperature T B of the cladding 3 theta is, if 10 ° C. Although it is easy to change the refractive index difference δ by heating, giving a less than 10 ° C. in the core 2 and the cladding 3 heat treatment Since the difference in the influence of 1 is small, the change in the refractive index difference δ hardly occurs. Further, if the transition temperature difference θ is too large, it becomes difficult to manufacture the base material and the fiber. Therefore, it is preferably 100 ° C. or lower.

【0040】次いで、その一部の区間4cの保護被膜5
を除去し、分散性光導波路素子本体4を露出させる。露
出した分散性光導波路素子本体4の一部4bを所定の条
件で加熱器H、例えば電熱ヒータを用いて熱処理する。
加熱器Hは電熱ヒータに限られるものではなく、ガスバ
ーナその他温度制御が可能なものであればよい。図9
は、熱処理工程の温度−時間曲線の一例である。熱処理
工程は、時間t0から時間t1 までの加熱により温度を
上昇させる加熱ステップa、時間t1 から時間t2 まで
のほぼ一定の温度に保持する保持ステップb、時間t2
から時間t3 までの冷却により温度を下降させる冷却ス
テップcからなる。
Next, the protective film 5 of the part 4c
Is removed to expose the dispersive optical waveguide device body 4. The exposed part 4b of the dispersive optical waveguide device body 4 is heat-treated under a predetermined condition by using a heater H, for example, an electric heater.
The heater H is not limited to the electric heater, but may be a gas burner or any other device capable of controlling the temperature. FIG.
Is an example of the temperature-time curve of the heat treatment process. The heat treatment process includes a heating step a for raising the temperature by heating from time t 0 to time t 1 , a holding step b for holding at a substantially constant temperature from time t 1 to time t 2 , and a time t 2.
Consisting cooling step c lowering the temperature by cooling to time t 3 from.

【0041】保持温度TMAX の選択によって、コア2と
クラッド3に与える影響の程度を変えうるので、コアと
クラッドのうち転移温度が保持温度TMAX に近い方が、
相対的に屈折率が大きく変化するので、屈折率差も変化
する。また、保持温度TMAX は、コアの転移温度TA
クラッドの転移温度TB のうち低い方の温度よりもあま
り高くし過ぎると、転移温度の低い方の材料が溶融して
しまうおそれがあり好ましくない。保持温度TMAX は上
記二つの点を考慮して適宜選択し所望の屈折率差を得
る。
Since the degree of influence on the core 2 and the cladding 3 can be changed by selecting the holding temperature T MAX, the transition temperature closer to the holding temperature T MAX of the core and the cladding is
Since the refractive index relatively greatly changes, the refractive index difference also changes. If the holding temperature T MAX is too much higher than the lower one of the core transition temperature T A and the clad transition temperature T B , the material with the lower transition temperature may melt. Not preferable. The holding temperature T MAX is appropriately selected in consideration of the above two points to obtain a desired refractive index difference.

【0042】冷却ステップcにおいて、冷却速度が速い
ほど屈折率の低下は大きく、この低下の度合はガラスの
材質により異なるので、材質に応じた冷却速度の選択に
よって屈折率の低下の度合が変化する。したがって、冷
却速度の調整によっても、屈折率差を調整できる。冷却
速度を遅くすると、加熱ステップ、保持ステップで拡大
された屈折率差が保持され易いので好ましい。また、冷
却ステップを、時間t2 から時間tm までの間に相対的
に遅い速度で最高温度TMAX から中間温度TMED まで冷
却する徐冷ステップc1と、時間tmから時間t3 まで
の間に相対的に速い速度で中間温度TMED から常温T0
まで冷却する急冷ステップc2とに分けるのが好まし
い。中間温度までの徐冷過程を設けることにより、加熱
ステップ、保持ステップで拡大された屈折率差が保持さ
れ易くなるので屈折率差の制御が容易になり、しかも中
間温度からの急冷過程を設けることにより、熱処理時間
を短縮できるからである。
In the cooling step c, the higher the cooling rate, the greater the decrease in the refractive index, and the degree of this decrease depends on the material of the glass. Therefore, the degree of the decrease in the refractive index changes depending on the selection of the cooling rate according to the material. . Therefore, the refractive index difference can also be adjusted by adjusting the cooling rate. When the cooling rate is slowed down, the difference in refractive index enlarged in the heating step and the holding step is easily maintained, which is preferable. Further, the cooling step includes a slow cooling step c1 of cooling from the maximum temperature T MAX to the intermediate temperature T MED at a relatively slow rate from time t 2 to time t m, and a cooling step from time t m to time t 3 . In between, the intermediate temperature T MED to the room temperature T 0 is relatively fast.
It is preferable to divide into a rapid cooling step c2 for cooling up to. By providing a gradual cooling process to the intermediate temperature, it becomes easier to maintain the refractive index difference expanded in the heating step and the holding step, making it easier to control the refractive index difference, and providing a quenching process from the intermediate temperature. Thereby, the heat treatment time can be shortened.

【0043】なお、以上の実施の形態では、光導波路素
子として、コアが1本の分散性光ファイバを用いたが、
光導波路素子の種類はこれに限定されるものではなく、
コアが複数のもの、クラッドが矩形状のもの、水平に配
設された複数のコアを矩形状にクラッドで被覆した光フ
ァイバアレイなど各種の形態のものが含まれる。
In the above embodiment, the dispersive optical fiber having one core is used as the optical waveguide element.
The type of optical waveguide element is not limited to this,
Various forms such as a plurality of cores, a clad having a rectangular shape, and an optical fiber array in which a plurality of horizontally arranged cores are covered with a clad in a rectangular shape are included.

【0044】[0044]

【発明の効果】以上に説明したように、本発明のうち請
求項1記載の発明によれば、その一部分のコアとクラッ
ドの屈折率差を、その形状と成分を変化させることなく
他の部分と異ならせた分散性光導波路素子を用いること
により、その一部分と他の部分のうち屈折率差の小さい
部分で電磁界を拡大することができるので、製造や取り
扱いが容易な光デバイスが得られる。
As described above, according to the invention described in claim 1 of the present invention, the difference in the refractive index between the core and the clad of one part of the present invention is changed to the other part without changing the shape and the component. By using different dispersive optical waveguide elements, it is possible to expand the electromagnetic field in that part and the other part where the difference in refractive index is small, so an optical device that is easy to manufacture and handle can be obtained. .

【0045】請求項2記載の発明によれば、請求項1の
発明の効果に加え、コア材とクラッド材が転移温度の異
なる光学ガラスからなる光導波路素子の一部分を加熱す
るだけで電磁界拡大部分が安価に得られる。
According to the invention of claim 2, in addition to the effect of the invention of claim 1, the electromagnetic field is expanded only by heating a part of the optical waveguide element in which the core material and the clad material are made of optical glass having different transition temperatures. Parts can be obtained at low cost.

【0046】請求項3記載の発明によれば、請求項1又
は2記載の発明の効果に加えて、電磁界拡大部分の端面
を接続端面とすることにより、軸ずれによる接続損失が
少なく、軸合わせの容易な光コネクタが得られる。
According to the invention of claim 3, in addition to the effect of the invention of claim 1 or 2, by making the end face of the electromagnetic field expanding portion a connection end face, the connection loss due to axis deviation is small and the shaft An optical connector that can be easily aligned is obtained.

【0047】また、請求項4記載の発明によれば、請求
項1又は2記載の発明の効果に加えて、複数本の分散性
光導波路素子の電磁界拡大部分を相互に接触又は接近さ
せるだけで導波光が分配又は結合される光分岐・結合器
が得られる。
According to the invention described in claim 4, in addition to the effect of the invention described in claim 1 or 2, the electromagnetic field expansion portions of the plurality of dispersive optical waveguide elements are only brought into contact with or close to each other. An optical branching / combining device in which guided light is distributed or combined is obtained.

【0048】そして、請求項5記載の発明によれば、請
求項4の発明の効果に加えて、電磁界拡大部分の屈折率
差又は長さを異ならせることにより、電磁界拡大部分の
端面における電磁界の広がりを異ならせることができ、
また複数の光導波路素子間の間隔を変えることによって
も結合度を変えるかとができ、それらによって他の導波
路素子への分岐比を変えることができるので、所望の分
岐比で他の導波路素子に分配される光分岐・結合器が得
られる。
According to the invention of claim 5, in addition to the effect of the invention of claim 4, by making the difference in the refractive index or the length of the electromagnetic field expanding portion different, the end surface of the electromagnetic field expanding portion is changed. The spread of the electromagnetic field can be different,
Further, the degree of coupling can be changed by changing the spacing between the plurality of optical waveguide elements, and the branching ratio to other waveguide elements can be changed by using them, so that the other waveguide element can be obtained at a desired branching ratio. An optical branching / combining device is obtained.

【0049】さらに、請求項6記載の発明によれば、請
求項4記載の発明の効果に加えて、各光導波路素子の熱
処理と熱融着を同時になし得るので、製造工程が少な
く、安価な光分岐・結合器が得られる。
Further, according to the invention of claim 6, in addition to the effect of the invention of claim 4, heat treatment and heat fusion of each optical waveguide element can be performed at the same time, so the number of manufacturing steps is small and the cost is low. An optical branching / combining device is obtained.

【0050】請求項7記載の発明によれば、請求項1又
は2記載の発明の効果に加えて、検知対象に応じて電磁
界拡大部分の屈折率差を適宜選択することにより、エバ
ネッセント波の量を調整することができ、検知感度のよ
い光センサが得られる。
According to the invention of claim 7, in addition to the effect of the invention of claim 1 or 2, the evanescent wave of the evanescent wave can be generated by appropriately selecting the refractive index difference of the electromagnetic field enlarged portion according to the object to be detected. The amount can be adjusted, and an optical sensor with high detection sensitivity can be obtained.

【0051】また、請求項8記載の発明によれば、請求
項1又は2記載の発明の効果に加えて、光導波路素子の
中央部に設けられた電磁界拡大部分における最小屈折率
差が除去すべきモードのうち最低次のモードの臨界角に
対応する屈折率差と除去しないモードのうち最高次のモ
ードに対応する屈折率差との間に設定されるので、除去
したい任意の高次モードを簡単に除去しうる高次モード
除去フィルタが得られる。
According to the invention described in claim 8, in addition to the effect of the invention described in claim 1 or 2, the minimum refractive index difference in the electromagnetic field enlarged portion provided in the central portion of the optical waveguide element is removed. Since it is set between the refractive index difference corresponding to the critical angle of the lowest mode of the modes to be performed and the refractive index difference corresponding to the highest mode of the modes not to be removed, any higher order mode to be removed A high-order mode removal filter that can easily remove

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の光コネクタの模式図である。FIG. 1 is a schematic view of an optical connector of the present invention.

【図2】本発明の光コネクタに用いられる分散性光導波
路素子の断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a dispersive optical waveguide device used in the optical connector of the present invention.

【図3】分散性光導波路素子の屈折率屈折率波長曲線を
示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a refractive index wavelength curve of a dispersive optical waveguide device.

【図4】本発明の光分岐・結合器の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of an optical branching / coupling device of the present invention.

【図5】本発明の光分岐・結合器の他の例の説明図であ
る。
FIG. 5 is an explanatory diagram of another example of the optical branching / coupling device of the present invention.

【図6】本発明の光センサの説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of an optical sensor of the present invention.

【図7】本発明の高次モード除去フィルタの説明図であ
る。
FIG. 7 is an explanatory diagram of a high-order mode removal filter of the present invention.

【図8】分散性光導波路素子の製造方法の説明図であ
る。
FIG. 8 is an explanatory diagram of a method for manufacturing a dispersive optical waveguide device.

【図9】分散性光導波路素子の熱処理工程の温度−時間
曲線を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a temperature-time curve in a heat treatment process of a dispersive optical waveguide device.

【図10】従来の光分岐・結合器の模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram of a conventional optical branching / coupling device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,11,41,51,61,71 分散性光導波路素
子 2,12,42,52,62,72 分散性光導波路素
子のコア 3,13,43,53,63,73 分散性光導波路素
子のクラッド 4,14,44,54,64,74 分散性光導波路素
子本体 4a,14a,44a,54a,64a,74a 分散
性光導波路素子本体の非電磁界拡大部分 4b,14b,44b,54b,64b,74b 分散
性光導波路素子本体の電磁界拡大部分 5 保護被膜 10 本発明の光コネクタ 30 本発明の光分岐・結合器 60 本発明の光センサ 70 本発明の高次モード除去フィルタ A1 非電磁界拡大部分のコアの屈折率波長曲線 B1 非電磁界拡大部分のクラッドの屈折率波長曲線 A2 電磁界拡大部分のコアの屈折率波長曲線 B2 電磁界拡大部分のクラッドの屈折率波長曲線 δ 屈折率差 λ 導波光の波長 TMAX 保持温度
1, 11, 41, 51, 61, 71 Dispersive optical waveguide element 2, 12, 42, 52, 62, 72 Dispersive optical waveguide element core 3, 13, 43, 53, 63, 73 Dispersive optical waveguide element Cladding 4, 14, 44, 54, 64, 74 Dispersive optical waveguide element body 4a, 14a, 44a, 54a, 64a, 74a Non-electromagnetic field expansion portion 4b, 14b, 44b, 54b of dispersive optical waveguide element body 64b, 74b Electromagnetic field expansion part of dispersive optical waveguide element body 5 Protective film 10 Optical connector 30 of the present invention 30 Optical branching / coupling device 60 of the present invention Optical sensor 70 of the present invention Higher-order mode elimination filter A1 of the present invention A1 non-electromagnetic The refractive index wavelength curve of the core in the field expansion portion B1 The refractive index wavelength curve of the cladding in the non-electromagnetic field expansion portion A2 The refractive index wavelength curve of the core in the electromagnetic field expansion portion B2 The electromagnetic field expansion portion Wavelength T MAX holding temperature Rad refractive index wavelength curve δ refractive index difference λ guided wave

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光学ガラスからなるコアの上に、コアと
は転移温度の異なる光学ガラスからなるクラッドを被覆
してなり、その一部分のコアとクラッドの屈折率差をそ
の形状と成分を変化させることなく他の部分とは異なら
せた光導波路素子であって、前記一部分又は他の部分の
うち屈折率差の小さい部分で導波光の電磁界を拡大させ
る分散性光導波路素子を具備したことを特徴とする光デ
バイス。
1. A core made of optical glass is coated with a clad made of optical glass having a transition temperature different from that of the core, and the shape and composition of the refractive index difference between a part of the core and the clad are changed. The optical waveguide element which is different from the other portion, and which comprises a dispersive optical waveguide element for expanding the electromagnetic field of the guided light in the portion having a small refractive index difference among the portion or the other portion. Characteristic optical device.
【請求項2】 前記分散性光導波路素子は、前記一部分
を熱処理することにより、この熱処理部分のコアとクラ
ッドの屈折率差を他の非熱処理部分とは異ならせた分散
性光導波路素子であることを特徴とする請求項1記載の
光デバイス。
2. The dispersive optical waveguide element is a dispersive optical waveguide element in which the difference in the refractive index between the core and the clad of the heat-treated portion is different from that of the other non-heat-treated portion by heat-treating the portion. The optical device according to claim 1, wherein:
【請求項3】 互いに当接可能な接続端面を有する二つ
の光導波路素子と、両接続端面を当接させ前記二つの光
導波路素子を着脱自在に接続する接続具とを有する光コ
ネクタにおいて、 前記光導波路素子の一方が前記分散性光導波路素子から
なり、その電磁界拡大部分の端面を他の光導波路素子と
の接続端面とすることを特徴とする光コネクタ。
3. An optical connector comprising: two optical waveguide elements having connection end surfaces capable of abutting each other; and a connector for abutting both connection end surfaces to detachably connect the two optical waveguide elements. An optical connector, wherein one of the optical waveguide elements is composed of the dispersive optical waveguide element, and an end face of the electromagnetic field expanding portion is a connection end face with another optical waveguide device.
【請求項4】 光導波路素子の複数本からなる光分岐・
結合器において、前記光導波路素子は、その中央部にコ
アとクラッドの成分を他の部分と変えることなくその屈
折率差を小さくした電磁波拡大部分を有する分散性光導
波路素子であって、前記中央部の電磁界拡大部分が相互
に接触又は接近してなり、前記複数本の分散性光導波路
素子の一つに入射された光が前記接触又は接近した電磁
界拡大部分において他の分散性光導波路素子に分配され
ることを特徴とする光分岐・結合器。
4. An optical branch comprising a plurality of optical waveguide elements
In the coupler, the optical waveguide element is a dispersive optical waveguide element having an electromagnetic wave expanding portion in the central portion of which the refractive index difference is reduced without changing the components of the core and the clad from other portions. Of the plurality of dispersive optical waveguide elements contacting each other or approaching each other, and the light incident on one of the plurality of dispersive optical waveguide elements contact or approach the other dispersive optical waveguide portion. An optical branching / combining device characterized by being distributed to elements.
【請求項5】 前記中央部に電磁界拡大部分を有する分
散性光導波路素子の複数本は、前記電磁界拡大部分を接
触又は接近させてなり、電磁界拡大部分の屈折率差又は
長さが異なることを特徴とする請求項4記載の光分岐・
結合器。
5. A plurality of dispersive optical waveguide elements having an electromagnetic field expanding portion in the central portion are formed by contacting or approaching the electromagnetic field expanding portion, and a difference in refractive index or length of the electromagnetic field expanding portion is The optical branching according to claim 4, characterized in that they are different.
Combiner.
【請求項6】 光学ガラスからなるコアの上にコアとは
転移温度の異なる光学ガラスからなるクラッドを被覆し
てなる光導波路素子の複数本を束ね、その中央部を一括
して熱処理することにより、前記各光導波路素子を前記
分散性光導波路素子とし、且つ相互に熱融着して固定し
てなることを特徴とする請求項4記載の光分岐・結合
器。
6. A plurality of optical waveguide elements comprising a core made of optical glass and a cladding made of optical glass having a transition temperature different from that of the core are bundled together, and the central portion thereof is heat treated collectively. 5. The optical branching / coupling device according to claim 4, wherein each of the optical waveguide elements is used as the dispersive optical waveguide element, and the optical waveguide elements are thermally fused and fixed to each other.
【請求項7】 前記分散性光導波路素子とこの分散性光
導波路素子によって導波される光のパラメータの変化を
測定する測定器とを有し、電磁界がクラッドの外部にま
で拡大される前記分散性光導波路素子の電磁界拡大部分
を検出部として、この検出部における電磁界に変化を与
える検知対象を検知することを特徴とするセンサ。
7. The dispersive optical waveguide element and a measuring device for measuring a change in a parameter of light guided by the dispersive optical waveguide element, wherein the electromagnetic field is expanded to the outside of the clad. A sensor characterized in that an electromagnetic field expanded portion of a dispersive optical waveguide element is used as a detection unit to detect a detection target that changes the electromagnetic field in the detection unit.
【請求項8】 光導波路に挿入し、導波光の高次モード
を除去するフィルターであって、前記分散性光導波路素
子の中央部に電磁界拡大部分を有し、その最小屈折率差
が除去すべきモードのうち最低次のモードの臨界角に対
応する屈折率差と除去しないモードのうち最高次のモー
ドに対応する屈折率差との間の屈折率差としたことを特
徴とする高次モード除去フィルタ。
8. A filter that is inserted into an optical waveguide to remove higher-order modes of guided light, wherein the dispersive optical waveguide element has an electromagnetic field expansion portion at the center thereof, and the minimum refractive index difference is removed. A high-order feature characterized in that the difference between the index of refraction corresponding to the critical angle of the lowest-order mode of the modes to be performed and the index of refraction corresponding to the highest-order mode of the modes not to be removed is set. Mode removal filter.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002539616A (en) * 1999-03-08 2002-11-19 オプティゲイン インコーポレイテッド Side-pump fiber laser

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