JPH09253558A - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カラーフィルタの製造に好適し、その生産性
と品質の向上を両立させることが可能な塗布装置および
塗布方法を提供することにある。 【解決手段】 カラーフィルタの製造に用いられる塗布
方法を実施する塗布装置は、カラーフィルタの基板であ
るガラス基板Ａをその厚みに基づいて選別し、一定の厚
さのガラス基板Ａのみを下流側コンベアライン２ｄに供
給する選別供給装置８と、下流側コンベアライン２ｄ
上を連続して搬送される個々のガラス基板Ａの表面に向
けて塗布液を連続して吐出するスリットダイ１２とを備
えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、枚葉部材の表面
に塗膜を形成する塗布装置および塗布方法に係わり、特
に、カラーフィルタの製造に好適した塗布装置および塗
布方法に関する。

【０００２】

【関連する背景技術】カラー液晶ディスプレイ用のカラ
ーフィルタは、そのガラス基板上に３原色の細かな格子
模様を有しており、このような格子模様はガラス基板上
に先ず黒色の塗膜を形成した後、所定の手順に従い、
赤、青、緑の塗膜を順次形成することで得られる。

【０００３】それゆえ、カラーフィルタの製造にはガラ
ス基板の表面上に黒、赤、青、緑の塗布液を吐出し、各
色の塗膜を順次形成していく塗工工程が必要不可欠とな
る。このような塗工工程には、従来塗布装置としてスピ
ナー、バーコータあるいはロールコータなどが使用され
ていたが、塗布液の消費量を削減し、また、塗膜の物性
向上を図るために、近年に至ってはダイコータの使用が
検討されている。

【０００４】この種のダイコータはたとえば特開平4-10
0571号公報および特開平4-55347号公報に開示されてお
り、これらダイコータは、枚葉部材としての個々のガラ
ス基板を連続して搬送する搬送ラインと、この搬送ライ
ンの上方に配置された塗布器、いわゆるスリットダイと
を備えている。搬送ライン上を個々のガラス基板が連続
して搬送されるに伴い、スリットダイから塗布液が連続
して吐出されると、個々のガラス基板の表面に塗膜が連
続して形成されることになる。したがって、公知のダイ
コータによれば、ガラス基板１枚当たりに要する塗膜の
形成時間、すなわち塗工時間を短縮でき、その生産性を
向上することができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、公知の
ダイコータは、搬送ライン上を搬送されるガラス基板に
関し、それらの厚さを考慮していない。このため、搬送
方向でみて隣接するガラス基板の厚さが互いに異なる
と、これらガラス基板間に段差が生じてしまう。このよ
うな段差がガラス基板の搬送に伴いスリットダイの直下
を通過する際、その段差はスリットダイとガラス基板と
の間に形成されている液溜まりを乱してしまい、ガラス
基板上への均一な膜厚の塗膜の形成を不能にしてしま
う。つまり、ガラス基板の表面全域に亘って均一な塗膜
を形成することができない。

【０００６】一方、公知のダイコータの場合にあって
は、そのスリットダイが塗布液を下向きに吐出するタイ
プであるため、ガラス基板が搬送されてこないと、スリ
ットダイからの塗布液の吐出は停止しておかなければな
らず、スリットダイからの塗布液の吐出動作に関し、そ
の制御が複雑になる。さらに、公知のダイコータは何れ
も個々のガラス基板を連続して搬送することで、その生
産性の向上を図っているが、このためにはガラス基板の
搬送ラインを長く確保する必要がある。それゆえ、搬送
ラインの設置スペースに余裕のない環境では、公知のダ
イコータを使用することはできない。

【０００７】この発明は上述の事情に基づいてなされた
もので、その目的とするところは、第１に、個々の枚葉
部材を連続して搬送させながら枚葉部材の表面に塗膜を
形成する際、隣接する枚葉部材間に段差を発生させるこ
とない塗布装置および塗布方法を提供することにある。
第２に、個々の枚葉部材の連続搬送のための長い搬送ラ
インを使用することなく、個々の枚葉部材の表面に塗膜
を短時間で形成できる塗布装置および塗布方法を提供す
ることにある。

【０００８】第３には、塗布器からの塗布液の吐出動作
に関し、その制御が容易となる塗布装置および塗布方法
を提供することにある。第４に、前述の塗布装置および
塗布方法を使用したカラーフィルタの製造装置および製
造方法を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前述した目的は、この発
明によって達成されており、請求項１の塗布装置は、塗
工搬送ラインを有し、その塗工搬送ラインに沿い個々の
枚葉部材を連続して搬送する搬送手段と、枚葉部材を厚
さに基づいて選別し、所望の厚さの枚葉部材のみを搬送
ラインに供給する選別供給手段と、塗工搬送ライン上で
の搬送中、枚葉部材の表面に塗布液を連続して吐出する
塗布器とを備えている。請求項１の塗布装置によれば、
その塗工搬送ラインには一定の厚さの枚葉部材のみが供
給されるので、搬送方向でみて隣接する枚葉部材間に段
差が発生することはない。したがって、個々の枚葉部材
が塗布器を通過するとき、塗布器と枚葉部材との間に形
成されている液溜まりに乱れが生じることはなく、個々
の枚葉部材の表面には均一な膜厚の塗膜が形成される。

【００１０】請求項２の塗布装置の場合、選別供給手段
はその選別から外れた枚葉部材を受け取って搬送する分
岐搬送ラインを備えている。請求項２の塗布装置によれ
ば、選別から外れた枚葉部材は単に廃棄されるのではな
く、塗工搬送ラインとは別の分岐搬送ラインに供給さ
れ、この分岐搬送ライン上にて、回収またはその塗工を
引き続いて行うことが可能となる。

【００１１】請求項３の塗布装置は、枚葉部材を保持し
た状態で、第１および第２位置との間を往復動可能なス
テージと、このステージに対して接離可能であり、ステ
ージとともに枚葉部材が移動するとき、その枚葉部材の
表面に塗布液を吐出する塗布器と、ステージが第１およ
び第２移動位置にあるか否かに拘わらず、その移動位置
にてステージに枚葉部材が保持された後、枚葉部材の厚
さを検出する検出手段とを備えている。請求項３の塗布
装置によれば、ステージが第１移動位置にあって、その
ステージに枚葉部材が保持されたとき場合には、検出手
段にて検出した枚葉部材の厚さに基づき、塗布器の接離
動作を介して枚葉部材と塗布器との間に所望のクリアラ
ンスを与えるべく塗布器の位置が調整される。この後、
ステージととに枚葉部材を第２移動位置に向けて移動さ
せるに伴い、塗布器から塗布液を吐出させ、その枚葉部
材の表面に塗膜を形成する。逆に、第２移動位置にてス
テージに枚葉部材が保持された場合には、その枚葉部材
の厚さに基づき塗布器を位置調整を行った後、ステージ
ととも枚葉部材を第１移動位置に向けて移動させ、その
枚葉部材の表面に塗膜を形成する。

【００１２】請求項４の塗布装置は、ステージが第１お
よび第２移動位置の何れの位置にあっても、そのステー
ジに枚葉部材を供給可能な供給手段並びにそのステージ
から枚葉部材を取り外し可能な取り外し手段をそれぞれ
備え、これら供給手段および取り外し手段をステージの
往復動ラインの両側に配置している。請求項４の塗布装
置によれば、ステージが第１および第２移動位置の何れ
の位置にあっても、ステージの往復動ラインでみて、そ
の一方の側から枚葉部材がステージに供給され、また、
ステージからはその他方の側に塗膜形成済みの枚葉部材
が取り外される。

【００１３】請求項５の塗布装置は、塗工搬送ラインを
有し、この塗工搬送ラインに沿い枚葉部材をその表面を
下向きにして搬送する搬送手段と、この塗工搬送ライン
の下方に配置され、枚葉部材の表面に塗布液を連続して
吐出する塗布器と、塗布器から吐出された余剰の塗布液
を回収する回収手段と、枚葉部材の厚みを検出する検出
手段と、検出され枚葉部材の厚さに応じて塗布器を昇降
させる昇降手段とを備えている。請求項５の塗布装置に
よれば、塗工搬送ラインに沿い枚葉部材が搬送されてい
るか否かに拘わらず、塗布器は塗布液を連続して吐出し
ており、その塗布器の上方を枚葉部材が通過すれば、そ
の枚葉部材の表面に塗膜が形成され、そして、塗膜の形
成に使用されない余剰の塗布液は回収手段により回収さ
れる。

【００１４】請求項６の塗布装置は、その搬送手段が塗
工搬送ラインに沿って移動し、その下面に枚葉部材を吸
着可能な吸着テーブルを備えることで実現されており、
この場合、枚葉部材は吸着テーブルに吸着保持された状
態で、その吸着テーブルとともに搬送される。請求項７
の塗布装置は、その搬送手段が下方に向けて開口したサ
クションチャンバと、サクションチャンバの開口部に配
置されたローラコンベアとから実現されている。この場
合、ローラコンベアはそのローラ間の間隙がサクション
チャンバに連通しているので、ローラコンベアの下面は
枚葉部材のためのサクション面となっている。したがっ
て、枚葉部材は、ローラコンベアの下面に吸着保持され
た状態て、そのローラコンベアにより搬送される。

【００１５】請求項８のカラーフィルタの製造装置は、
請求項１〜７のいずれかに記載の塗布装置を備えてお
り、この場合、その塗布装置を使用し、枚葉部材である
基板の表面に塗膜を形成することで、カラーフィルタが
製造される。請求項９の塗布方法は、塗工搬送ラインに
沿い個々の枚葉部材を連続的に搬送しながら、枚葉部材
の表面に塗布液を連続して吐出して個々の枚葉部材の表
面に塗膜を形成する際、塗工搬送ラインに供給すべき枚
葉部材を厚さに基づいて選別し、所望の厚さの枚葉部材
のみを塗工搬送ラインに供給している。

【００１６】請求項１０の塗布方法は、選別から洩れた
枚葉部材を塗工搬送ラインとは別の分岐搬送ラインに供
給している。請求項１１の塗布方法は、往復動可能なス
テージに枚葉部材を保持し、ステージとともに枚葉部材
を移動させながら、枚葉部材の表面に塗布液を吐出して
塗膜を形成するにあたり、ステージの往動時および復動
時の場合ともに、ステージの移動に伴い、枚葉部材の表
面に塗膜を形成する。

【００１７】請求項１２の塗布方法は、ステージへの枚
葉部材の供給およびステージからの塗膜形成済みの枚葉
部材の取り出しを同一の方向にて行い、これら供給およ
び取り出しの方向に対して交差する方向にステージを往
復動させている。請求項１３の塗布方法は、塗布器から
上方に塗布液を連続して吐出するとともに吐出された余
剰の塗布液を回収する状態とし、検出した枚葉部材の厚
さに応じて塗布器と枚葉部材の表面との間に所望のクリ
アランスを与えるべく塗布器を位置付け、この後、枚葉
部材を搬送させて塗布器の上方を通過させることで、枚
葉部材の下向きの表面に塗膜を形成する。

【００１８】請求項１４の塗布方法は、吸着テーブルの
下面に枚葉部材を吸着して搬送し、請求項１５の塗布方
法は、ローラコンベアの下面にサクションを利用して枚
葉部材を吸着し、そして、この状態でローラコンベアに
より枚葉部材を搬送する。請求項１６のカラーフィルタ
の製造方法は、請求項９〜１５のいずれかに記載の塗布
方法を用いてカラーフィルタを製造する。

【００１９】上述した請求項９〜１６の塗布方法および
カラーフィルタの製造方法は、対応する塗布装置および
カラーフィルタの製造装置の場合と同様な作用を発揮す
る。

【００２０】

【発明の実施の形態】図１には、カラー液晶ディスプレ
イ用のカラーフィルタの製造に適用される第１タイプの
塗布装置が概略的に示されている。この塗布装置は、水
平に延びる搬送ライン２を備えており、搬送ライン２は
ローラコンベアから構成されている。なお、図１中矢印
は搬送ライン２での搬送方向を示している。搬送ライン
２の始端、すなわち、図１でみてその左端部には洗浄機
４を介してローダ６が接続されており、ローダ６はたと
えばカセットに所定の枚数ずつ収容されているガラス基
板（枚葉部材）Ａをそのカセットから１枚ずつ洗浄機４
に向けて送出し、そして、洗浄機４はガラス基板Ａを洗
浄した後、ローラコンベア２上に順次供給する。

【００２１】搬送ライン２の途中には選別供給装置８が
配置されており、この選別供給装置８は搬送ライン２を
上流側コンベアライン2uと下流側コンベアライン（塗工
搬送ライン）２ｄとに分割している。選別供給装置８
は、後述するように上流側コンベアライン２ｕ上を搬送
されてくるガラス基板Ａをその厚さに応じて選別し、所
定の厚さを有したガラス基板Ａのみを下流側コンベアラ
イン２ｄに供給する。

【００２２】選別供給装置８による選別のため、上流側
コンベアライン２ｕの終端上方には厚さセンサ１０が配
置されており、厚さセンサ１０は上流側コンベアライン
２ｕ上を搬送されてくるガラス基板Ａの厚さを検出し、
その検出信号を選別供給装置８に出力する。厚さセンサ
１０としては、ガラス基板Ａの上面および裏面からの反
射光に基づき、その厚さを検出する反射光型厚さ計が使
用されるが、これに限らず、レーザ変位計、電子マイク
ロ変位計、超音波厚さ計などを使用することができる。
なお、ガラス基板Ａの厚さ測定はその搬送を停止した状
態で行うのが好ましい。

【００２３】下流側コンベアライン２ｄの途中にはその
上方にスリットダイ（塗布器）１２が配置されている。
スリットダイ１２は、下流側コンベアライン２ｄ上を搬
送されるガラス基板Ａの幅方向、つまり、ガラス基板Ａ
の搬送方向と直交する方向に延び、その下部は先細状の
ノズル部として形成されている。スリットダイ１２内に
は図示されていないけれどもマニホールドが形成されて
おり、このマニホールドからはスリットが下方に延び、
そのノズル部の下面にて開口している。このスリットの
開口は吐出口となっており、この吐出口もまたガラス基
板Ａの幅方向に延びている。

【００２４】スリットダイ１２のマニホールドには、塗
布液の供給ライン１４が接続されており、供給ライン１
４は塗布液の供給タンク１６に接続されている。供給ラ
イン１４にはギヤポンプ１８が介挿されており、ギヤポ
ンプ１８は図示しない電動モータにより駆動される。ギ
ヤポンプ１８は、供給タンク１６から吸い上げた塗布液
をスリットダイ１２のマニホールドに供給し、この供給
を受けてスリットダイ１２の吐出口からは塗布液が一様
に吐出される。

【００２５】さらに、スリットダイ１２は昇降機構２０
に連結されており、昇降機構２０はスリットダイ１２を
上下動させ、これにより、下流側コンベアライン２ｄ上
を搬送されるガラス基板Ａとスリットダイ１２の吐出口
との間に所定のクリアランスを与えることができる。図
１中には詳細に示されていないが、昇降機構２０はたと
えばスリットダイ１２のためのホルダが取り付けられて
いるフィードスクリューと、このフィードスクリューを
正逆回転させるＡＣサーボモータとにより簡単に実現す
ることができる。

【００２６】下流側コンベアライン２ｄの終端には、乾
燥機２２およびアンローダ２４が順次接続されている。
乾燥機２２は下流側コンベアライン２ｄから後述する塗
膜形成済みのガラス基板Ａを順次受け取って、これらガ
ラス基板Ａ上の塗膜を乾燥処理つまり安定させ、この
後、アンローダ２４に供給する。アンローダ２４は受け
取ったガラス基板Ａをカセットに所定の枚数ずつ収容す
る。なお、カセットはアンローダ２４から取り外された
後、次工程に向けて供給され、カラーフィルタ製造のた
めの他の工程が引き続いて実施される。

【００２７】図２および図３を参照すると、前述した選
別供給装置８が示されている。選別供給装置８は、たと
えば円筒座標系産業ロボットから構成されており、その
ロボット本体２６はその上面から突出した昇降ポスト２
８を有している。昇降ポスト２８は図２中矢印Ｂ方向に
上下動可能であるとともに、その軸線回りを矢印Ｃ方向
に旋回可能となっている。昇降ポスト２８には受け渡し
アーム３０がアームベース３２を介して取り付けられて
おり、受け渡しアーム３０はそのアームベース３２に対
して図２中矢印Ｄ方向、すなわち、水平方向に移動可能
となっている。そして、受け渡しアーム３０の先端部に
は、ガラス基板Ａを吸着可能な吸着パッド３４が複数個
設けられている。なお、通常、受け渡しアーム３０は搬
送ライン２と同一の高さレベルに位置付けられている。

【００２８】さらに、選別供給装置８は搬送ライン２に
対して直交する方向に延びる分岐搬送ライン３６を備え
ており、分岐搬送ライン３６もまたローラコンベアから
構成されている。図示されていないけれども分岐搬送ラ
イン３６は前述したアンローダと同様なアンローダに接
続されるか、または、前述した搬送ライン２と同様な別
の搬送ラインに接続されている。

【００２９】次に、上述した塗布装置を使用して行われ
る塗布方法、つまり、カラーフィルタの製造に係わる１
つの塗工工程を説明する。ローダタ６から１枚ずつ送出
されたガラス基板Ａは、洗浄機４により洗浄処理された
後、搬送ライン２の上流側コンベアライン２ｕ上に供給
されて搬送される。上流側コンベアライン２ｕ上の先頭
のガラス基板Ａが厚さセンサ１０の直下に到達すると、
上流側コンベアライン２ｕによるガラス基板Ａの搬送は
一時的に停止される。この状態で、厚さセンサ１０はそ
の先頭のガラス基板Ａの厚さを検出し、その検出信号を
選別供給装置８のコントローラ（図示しない）に出力す
る。

【００３０】一方、上述したガラス基板Ａの厚み測定と
並行して、選別供給装置８ではそのロボット本体２６の
昇降ポスト２８が旋回され、これにより、受け渡しアー
ム３０は上流側コンベアライン２ｕ側に向けられて、上
流側コンベアライン２ｕと一直線上に位置付けられる。
そして、受け渡しアーム３０は上流側コンベアライン２
ｕに向けて移動され、その先端が上流側コンベアライン
２uの終端に位置することで、ガラス基板Ａの受け取り
準備が完了する。

【００３１】この状態で、上流側コンベアライン２ｕが
再び駆動されると、その厚さが検出されたガラス基板Ａ
はその前部が受け渡しアーム３０上に受け取られ、その
吸着パッド３４に吸着保持される。この吸着保持と同時
に、受け渡しアーム３０は逆向きに移動され、吸着保持
したガラス基板Ａとともに上流側コンベアライン２ｕか
ら離間する。

【００３２】この後、ロボット本体２６の昇降ポスト２
８が厚みセンサ１０からの検出信号に基づいて９０°ま
たは１８０°旋回され、受け渡しアーム３０は分岐搬送
ライン３６または下流側コンベアライン２ｄの一方と一
直線上に並ぶべく位置付けられる。すなわち、厚さセン
サ１０からの検出信号に基づき、受け渡しアーム３０に
受け取ったガラス基板Ａの厚さが許容範囲にある場合、
受け渡しアーム３０は下流側コンベアライン２ｄと一直
線上に並ぶべく旋回され、これに対し、そのガラス基板
Ａの厚さが許容範囲から外れている場合には、受け渡し
アーム３０は分岐搬送ライン３６と一直線上に並ぶべく
旋回される。

【００３３】この後、受け渡しアーム３０は下流側コン
ベアライン２ｄまたは分岐搬送ライン３６に向けて移動
され、受け渡しアーム３０に吸着保持されているガラス
基板Ａはその一部が対応するライン２ｄまたは３６の始
端上に載置される。ここで、下流側コンベアライン２ｄ
および分岐搬送ライン３６は常時駆動されており、これ
により、受け渡しアーム３０側での吸着パッド３４によ
るガラス基板Ａの吸着が解除されると、そのガラス基板
Ａは下流側コンベアライン２ｄまたは分岐搬送ライン３
６に受け取られ、そして、そのライン上を搬送される。
したがって、選別供給装置８に受け取られたガラス基板
Ａは、その厚さに応じて下流側コンベアライン２ｄまた
は分岐搬送ライン３６に供給される。

【００３４】一方、上流側コンベアライン２ｕ上では、
次のガラス基板Ａが厚さセンサ１０の直下に到達する
と、その駆動が再び停止され、次のガラス基板Ａの厚さ
が厚さセンサ１０により同様にして検出され、その検出
信号が選択供給装置８に供給される。空の受け渡しアー
ム３０は、対応するライン２ｄまたは３６から離間する
方向に一旦移動した後、上流側コンベアライン２ｕに向
けて旋回され、上述の動作が繰り返される。つまり、受
け渡しアーム３０は次のガラス基板Ａを上流側コンベア
ライン２ｕから受け取り、そして、受け取ったガラス基
板Ａをその厚さに応じて下流側コンベアライン２ｄまた
は分岐搬送ライン３６に供給することになる。この結
果、下流側コンベアライン２ｄには同一の厚さを有する
ガラス基板Ａのみが供給される。ここで、下流側コンベ
アライン２ｄに供給されるガラス基板Ａはその厚さのば
らつきが３０μmの許容範囲内に収められている。

【００３５】上述したように下流側コンベアライン２ｄ
は、選択供給装置８から一定の厚さを有したガラス基板
Ａのみを間欠的にしか受け取ることができない。しかし
ながら、選択供給装置８によるガラス基板Ａの受け渡し
速度、具体的には、その受け渡しアーム３０がガラス基
板Ａを受け取ってから、そのガラス基板Ａを下流側コン
ベアライン２ｄまたは分岐搬送ライン３６に供給した
後、次のガラス基板Ａを受け取り、そして、そのガラス
基板Ａを下流側コンベアライン２ｄまたは分岐搬送ライ
ン３６に供給するのに要する時間は、下流側コンベアラ
イン２ｄ上でのガラス基板Ａの搬送速度に比べて十分に
短い。それゆえ、分岐搬送ライン３６に供給されるガラ
ス基板Ａがたとえば２枚以上連続しなければ、つまり、
その厚さが許容範囲から外れるようなガラス基板Ａが２
枚以上連続しなしなければ、下流側コンベアライン２ｄ
に供給された個々のガラス基板Ａはその下流側コンベア
ライン２ｄ上を連続した状態で、スリットダイ１２に向
けて搬送される。

【００３６】一方、昇降機構２０は、下流側コンベアラ
イン２ｄに供給されるガラス基板Ａの厚さに応じてスリ
ットダイ１２を所定のレベル位置に予め位置付けてお
り、これにより、下流側コンベアライン２ｄ上のガラス
基板Ａがスリットダイ１２を通過するとき、これらガラ
ス基板Ａとスリットダイ１２の吐出口との間に所定のク
リアランス（たとえば100μm）が与えられるようになっ
ている。なお、一枚毎にスリットダイ１２をガラス基板
Ａの厚さに応じて昇降させてもよいが、通常は、ガラス
基板Ａの厚さのばらつきが３０μm以下となっているの
で、先頭のガラス基板Ａで一度クリアランスを与えた後
は、昇降機構を動かさず、その設定を固定している。こ
れにより、スリットダイ１２の昇降時に現れる液溜まり
Ｅの乱れを防止でき、塗膜の厚さをより均一にできる。

【００３７】下流側コンベアライン２ｄ上を搬送される
ガラス基板列において、その先頭のガラス基板Ａがスリ
ットダイ１２に到達したとき、詳しくは、その先頭のガ
ラス基板Ａの前端縁がスリットダイ１２の吐出口に到達
したとき、スリットダイ１２の吐出口から塗布液が一様
に吐出される。これにより、図１に示されているよう
に、スリットダイ１２の吐出口とガラス基板Ａとの間に
は液溜まりＥが形成され、そして、この液溜まりＥを維
持つつ、先頭のガラス基板Ａの移動に伴い、そのガラス
基板Ａ上に塗布液の塗膜Ｆが形成される。この後、先頭
のガラス基板Ａがスリットダイ１２を通過し、次のガラ
ス基板Ａがスリットダイ１２を通過すると、このガラス
基板Ａ上にも塗膜Ｆが連続して形成される。したがっ
て、前述したように下流側コンベアライン２ｄ上では、
個々のガラス基板Ａの表面に塗膜Ｆが連続して形成され
る。

【００３８】ここで、下流側コンベアライン２ｄ上のガ
ラス基板Ａは、その厚さのばらつきか３０μmの許容範
囲内に収められているので、隣接するガラス基板Ａ間に
実質的な段差が生じることはない。それゆえ、ガラス基
板Ａ間の境目がスリットダイ１２の吐出口を通過する
際、ガラス基板Ａがスリットダイ１２に衝突してしまっ
たり、前述した液溜まりＥが段差により乱されることに
起因して、その液溜まりＥに振動が発生することもな
い。この結果、上述の塗布装置によれば、個々のガラス
基板Ａ上に塗膜Ｆを連続して形成できるばかりでなく、
個々のガラス基板Ａ上の塗膜Ｆはその全域に亘って膜厚
が均一となる。

【００３９】塗膜Ｆが形成されたガラス基板Ａは乾燥機
２２を通過する際に乾燥されて、その塗膜Ｆの安定化が
図られ、この後、乾燥機２２からアンローダ２４に供給
され、そして、カセットに所定の枚数ずつ収納される。
前述した選択供給装置８での選別により、分岐搬送ライ
ン３６に供給されたガラス基板Ａはアンローダを介して
カセットに収納されるか、または、前述した搬送ライン
２とは別の搬送ラインに供給される。ここで、分岐搬送
ライン３６が別の搬送ラインに接続されている場合、こ
の別の搬送ラインでもそのガラス基板Ａに同様にして塗
膜を形成できることになる。しかしながら、ここでの塗
工と下流側コンベアライン２ｄ上での塗工とでは、スリ
ットダイのレベル位置のみが異なり、これにより、別の
搬送ライン上にあっても、その塗工時、スリットダイ１
２の吐出口とガラス基板Ａとの間に所望のクリアランス
を与えることができる。

【００４０】次に、他のタイプの塗布装置を以下に順次
説明するが、ここで、前述したタイプの塗布装置の構成
部位と同様な機能を有する構成部位には同一の参照符号
を付して説明を省略し、説明の重複を避けることにす
る。図４および図５には第２タイプの塗布装置が示され
ている。この第２タイプの塗布装置は搬送ライン２の途
中に、塗工セクション３７を備えており、この塗工セク
ション３７は搬送ライン２を上流側コンベアライン２ｕ
と下流側コンベアライン２ｄとに分割している。塗工セ
クション３７は基台３８を有し、この基台３８は搬送ラ
イン２と直交する方向に延びている。基台３８上には一
対のガイドレール４０が配置されており、これらガイド
レール４０は基台３８の長手方向、つまり、搬送ライン
２と直交する方向に延びている。一対のガイドレール４
０上には往復動可動なステージ４２が配置されており、
ステージ４２の上面はガラス基板Ａを吸着保持するサク
ション面として形成されている。また、図示されていな
いけれども、ステージ４２にはそのサクション面に対し
て突没可能な複数のピンが備えられており、これらのピ
ンは後述するようにガラス基板Ａのローディングおよび
アンローディングに使用される。

【００４１】基台３８上の中央にはダイ支柱４４が立設
されており、ダイ支柱４４は一対のガイドレール４０の
片側に位置付けられている。ダイ支柱４４は、ステージ
４２の往復動経路の上方に張り出した先端部を有してお
り、この先端部に昇降機構２０をしてスリットダイ１２
が取り付けられている。この場合、スリットダイ４０は
搬送ライン２と平行、つまり、ステージ４２の往復動方
向と直交する方向に延びている。ここでも、スリットダ
イ１２は塗布液の供給ライン１４を介して供給タンク１
６に接続されているが、供給ライン１４にはギヤポンプ
１８の代わりにシリンジポンプ４７が介挿されている。
シリンジポンプ４７は、スリットダイ１２に塗布液を連
続して供給するのではなく、所定量の塗布液を間欠的に
供給することができる。図５に示されているように、基
台３８の上方には厚さセンサ１０が一対備えられてお
り、これら厚さセンサ１０はステージ４２の往復動方向
でみて、スリットダイ１２を挟む両側に配置されてい
る。詳しくは、ステージ４２がスリットダイ１２を挟む
第１移動位置と第２移動位置との間で往復動する場合、
一対の厚さセンサ１０は第１および第２移動位置の上方
にそれぞれ配置されている。一対の厚さセンサ１０は、
後述するようにガラス基板Ａの厚さを検出すると、その
検出信号をスリットダイ１２の昇降機構２０に供給す
る。

【００４２】上流側コンベアライン２uと塗工セクショ
ン３７との間、また、塗工セクション３７と下流側コン
ベアライン２dとの間には移載機４６，４８がそれぞれ
配置されている。これら移載機４６，４８は同様な構成
を有し、また、それらの主要部は前述した選択供給装置
８と同一となっている。すなわち、各移載機は、基台６
の長手方向に沿い、搬送ライン２と直交する方向に延び
る一対のガイドレール５０と、これらガイドレール５０
上を往復動可能で、かつ選択供給装置８と同一構成の移
載機本体５２とからなっている。なお、各移載機の往復
動は、塗工セクション３７でのステージ４２の移動位置
に応じて制御される。

【００４３】上述した第２タイプの塗布装置によれば、
洗浄機４を経て上流側コンベアライン２ｕの終端に先頭
のガラス基板Ａが到達すると、上流側コンベアライン２
ｕの駆動が一時的に停止される。このとき、移載機４６
はその移載機本体５２が上流側コンベアライン２ｕの延
長線上に位置したセンタ位置に配置されており、そし
て、その受け渡しアームは上流側コンベアライン２ｕの
終端に連なるように位置付けられている。したがって、
この後、上流側コンベアライン２ｕの駆動が再開される
と、先頭のガラス基板Ａは移載機４６の受け渡しアーム
上に受け取られ、この受け渡しアームに吸着保持され
る。なお、上流側コンベアライン２ｕの駆動は次のガラ
ス基板Ａがその終端に到達した時点で再度停止される。

【００４４】ここで、塗工セクション３７のステージ４
２が図４中実線で示されている第１移動位置にあると、
ガラス基板Ａを受け取った移載機４６はその移載機本体
５２が第１移動位置にあるステージ４２に向けて移動さ
れ、そのステージ４２の側方位置にて、つまり、一方の
ローディング位置にて停止される。このとき、前述した
ステージ４２のピンはそのサクション面から突出した状
態にある。この状態で、移載機４６の移載機本体５２は
その受け渡しアームを介して、そのガラス基板Ａをステ
ージ４２の突出状態にあるピン上に載せ、前述のセンタ
位置に戻る。ステージ４２では、この後、ピンがステー
ジ４２内に没入し、ガラス基板Ａはステージ４２のサク
ション面に載置され、そして、そのサクション面に吸着
される。これにより、ステージ４２へのガラス基板Ａの
ローディングが完了する。一方、ステージ４２が図４中
２点鎖線で示されている第２移動位置にある場合には、
ガラス基板Ａを受け取った移載機４６はその移載機本体
５２が第２移動位置にあるステージ４２の側方、つま
り、他方のローディング位置まで移動され、そのガラス
基板Ａを同様にしてステージ４２のサクション面に載置
する。したがって、上述の移載機４６によれば、ステー
ジ４２が第１または第２移動位置の何れにあっても、そ
のステージ４２上にガラス基板Ａをローディングするこ
とができる。

【００４５】ガラス基板Ａのローディングが完了する
と、一方の厚さセンサ１０、すなわち、ステージ４２の
上方に位置した厚さセンサ１０がステージ４２上のガラ
ス基板Ａの厚さを検出し、その検出信号をスリットダイ
１２の昇降機構２０に供給する。昇降機構２０は、厚さ
センサ１０からの検出信号に基づき、ステージ４２上の
ガラス基板Ａとスリットダイ１２の吐出口との間に所定
のクリアランスを与えるべく、ステージ４２に対するス
リットダイ１２のレベル位置を調整する。

【００４６】この後、ガラス基板Ａはステージ４２とと
もに一方の移動位置から他方の移動位置に向けて移動さ
れる。この移動過程にて、ガラス基板Ａの前端縁がスリ
ットダイ１２の吐出口に到達すると、前述したシリンジ
ポンプ４７が塗布液の吐出動作を開始し、この時点で、
スリットダイ１２の吐出口からガラス基板Ａ上に塗布液
が吐出され、ガラス基板Ａの移動に伴い、ガラス基板Ａ
の上面に塗膜Ｆが形成されていく。ガラス基板Ａの後端
縁がスリットダイ１２の吐出口を通過する時点、または
直前で、シリンジポンプ４７はその吐出動作を停止し、
スリットダイ１２からの塗布液の吐出が停止される。そ
して、ステージ４２が他方の移動位置に到達すると、こ
の時点で、ステージ４２の移動が停止される。このと
き、他方の移載機４８における移載機本体５２は下流側
コンベアライン２ｄの延長線上に位置したセンタ位置か
ら、そのステージ側方の一方のアンローディング位置に
既に位置付けられている。

【００４７】この後、ステージ４２へのガラス基板Ａの
サクションが解除されると同時に、ステージ４２のサク
ション面からピンが突出し、塗膜Ｆが形成されたガラス
基板Ａはピンの突出分だけステージ４２から持ち上げら
れる。この状態で、移載機４８の移載機本体５２はその
受け渡しアームにガラス基板Ａを受け取り、ガラス基板
Ａをステージ４２からアンロードする。この後、移載機
４８の移載機本体５２はセンタ位置まで戻り、そのセン
タ位置にて、その移載機本体５２は受け渡しアームを介
して塗膜形成済みのガラス基板Ａを下流側コンベアライ
ン２ｄに供給する。下流側コンベアライン２ｄ上に供給
されたガラス基板Ａは、この後、乾燥機２２を経て、そ
の塗膜Ｆが乾燥され、そして、アンローダに向けて供給
される。

【００４８】ステージ４２上から塗膜形成済みのガラス
基板Ａが取り外された後、移載機４６は、上流側コンベ
アライン２ｕから受け取った新たなガラス基板Ａを空の
ステージ４２上にローディングし、この後、そのガラス
基板Ａに同様にして塗膜Ｆが形成される。上述した第２
タイプの塗布装置によれば、ステージ４２は第１移動位
置または第２移動位置の何れにあっても、ガラス基板Ａ
の供給を受けることができ、そして、ステージ４２の往
動時および復動時のいずれ場合にあっても、ステージ４
２上のガラス基板Ａに塗膜Ｆを形成することができる。
それゆえ、ステージ４２の往動時のみ、ガラス基板Ａに
塗膜Ｆを形成する場合に比べ、その生産性は大幅に向上
する。また、基台３８の両側に移載機４６，４８をそれ
ぞれ配置したことにより、ステージ４２に対するガラス
基板Ａのローディングおよびアンローディングが容易と
なる。

【００４９】図６には第３タイプの塗布装置が示されて
いる。この塗布装置は第２タイプの塗布装置と実質的に
同様な構成を有しているが、第３タイプの場合にはスリ
ットダイ１２が一対備えられている。これは、ステージ
４２の移動方向に関し、スリットダイ１２の形状に方向
性があることによる。この場合、図６に示されているよ
うに各スリットダイ１２は対応する側の厚さセンサ１０
からの検出信号に基づき、自身の昇降機構２０により上
下動されるのようになっている。

【００５０】図７には第４タイプの塗布装置が示されて
いる。この塗布装置の搬送ライン２は水平方向に延びる
複数のサクションチャンバを備えており、図７では、連
続する３つのサクションチャンバ５４，５６，５８が示
されている。これらサクションチャンバ５４，５６，５
８はその下面が開口されており、それらの開口部にはロ
ーラコンベア６０がそれぞれ配置されている。これらロ
ーラコンベア６０は互いに同一の水平レベル位置に位置
付けられている。サクションチャンバ５４，５６，５８
は真空ポンプに接続されており、真空ポンプは各サクシ
ョンチャンバ内を常時排気している。これにより、サク
ションチャンバ５４，５６，５８内は所定の真空度に常
時維持され、各サクションチャンバにおいて、そのロー
ラコンベア６０の下面はサクション面として構成されて
いる。つまり、ローラコンベア６０はそれらのローラ間
の間隙がサクションスリットになっている。したがっ
て、各サクションチャンバのローラコンベア６０はその
下面にガラス基板Ａを吸着保持した状態で、図７中の実
線の矢印方向にガラス基板Ａを搬送することができる。
ここで、ガラス基板Ａは、塗膜Ｆを形成すべき表面が下
向きとなるようにローラコンベア６０に吸着されてい
る。

【００５１】搬送ライン２の上流部分、たとえばサクシ
ョンチャンバ５４の下方には、厚さセンサ１０が上向き
にして配置されており、そして、次のサクションチャン
バ５６の下方には、スリットダイ１２がその吐出口を上
向きにして配置されている。この場合、スリットダイ１
２は、上面が開口した回収容器６２内に配置され、その
吐出口が回収容器６２から上方に突出されている。回収
容器６２には昇降機構２０が接続されており、昇降機構
２０は回収容器６２とともにスリットダイ１２を上下動
させることができる。スリットダイ１２は供給ライン１
４を介して塗布液の供給タンク１６に接続されており、
供給タンク１６は塗布液の戻りライン６４を介して回収
容器６２に接続されている。供給ライン１４にはギヤポ
ンプ１８が介挿されており、このギヤポンプ１８はスリ
ットダイ１２に塗布液を常時供給する。したがって、こ
の場合、スリットダイ１２の上向きの吐出口からは塗布
液が連続して吐出されている。スリットダイ１２から吐
出された塗布液のうち、後述する塗膜の形成に使用され
ない塗布液は、回収容器６２に受け取られ、そして、回
収容器６２から供給タンク１６に戻される。

【００５２】上述した第４タイプの塗布装置によれば、
洗浄機にて洗浄処理されたガラス基板は、搬送ライン２
を構成するサクションチャンバ５４のローラコンベア６
０にその表面を下向きにして吸着保持され、ローラコン
ベア６０により搬送される。ガラス基板がサクションチ
ャンバ５４の終端に到達すると、サクションチャンバ５
４のローラコンベア６０はガラス基板Ａの移動を停止
し、この状態で、厚さセンサ１０はガラス基板Ａの厚さ
を検出し、その検出信号を昇降機構２０に供給する。こ
の検出信号を受けて、昇降機構２０は回収容器６２とと
もにスリットダイ１２を上下動させ、ガラス基板Ａの表
面とスリットダイ１２の吐出口との間に所望のクリアラ
ンスを与えるべく、つまり、サクションチャンバ５６に
おけるローラコンベア６０の下面に対して、スリットダ
イ１２の吐出口を所定のレベル位置に位置付ける。

【００５３】サクションチャンバ５４のローラコンベア
６０がガラス基板Ａの搬送を再開すると、そのガラス基
板Ａの吸着搬送はサクションチャンバ５６のローラコン
ベア６０に引き継がれ、これより、ガラス基板Ａはサク
ションチャンバ５６のローラコンベア６０によりスリッ
トダイ１２に向けて搬送される。なお、サクションチャ
ンバ５４側では、次のガラス基板Ａが厚さセンサ１０の
上方に達すると、サクションチャンバ５４におけるロー
ラコンベア６０の駆動は再び停止され、そのガラス基板
Ａの厚さが厚さセンサ１０により検出される。

【００５４】サクションチャンバ５６のローラコンベア
６０に受け取られたガラス基板Ａがスリットダイ１２の
吐出口の上方を通過すると、その吐出口から常時吐出さ
れてる塗布液がガラス基板Ａの表面に塗布され、ガラス
基板Ａの下向きの表面に塗膜Ｆが形成されていく。この
後、ガラス基板Ａがサクションチャンバ５６のローラコ
ンベア６０の終端に到達すると、その吸着搬送はサクシ
ョンチャンバ５８のローラコンベア６０に引き継がれ、
そして、サクションチャンバ５８のローラコンベア６０
を通過したガラス基板Ａは乾燥機を経てアンローダに供
給される。

【００５５】ガラス基板Ａがスリットダイ１２の吐出口
を通過した時点で、次のガラス基板Ａの厚さに基づき、
スリットダイ１２のレベル位置調整が必要に応じて実施
され、そして、サクションチャンバ５４のローラコンベ
ア６０からサクションチャンバ５６のローラコンベア６
０に次のガラス基板Ａが供給される。この後、その次の
ガラス基板Ａに対して同様に塗膜Ｆが形成される。

【００５６】上述した第４タイプの塗布装置によれば、
サクションチャンバ５６のローラコンベア６０に対し、
個々のガラス基板Ａを短い時間間隔で供給することがで
きるので、ガラス基板Ａ１枚当たりに要する塗膜Ｆの形
成時間、すなわち、その塗工時間を短縮でき、その生産
性の向上を図ることができる。また、この場合、スリッ
トダイ１２の吐出口からは塗布液が連続して吐出されて
いるだけであるので、スリットダイ１２からの塗布液の
吐出制御、つまり、ギヤポンプ１８の駆動制御が実質的
に不要となり、塗布装置全体の制御も容易となる。

【００５７】なお、第４タイプの塗布装置に前述した選
択供給装置８が組み込まれていれば、個々のガラス基板
Ａに対するスリットダイ１２のレベル位置調整が不要と
なって、サクションチャンバ５６のローラコンベア６０
はガラス基板Ａを連続的に受け取ることかでき、その生
産性をさらに向上することができる。図８および図９に
は第５タイプの塗布装置が示されており、この第５タイ
プの塗布装置は第４タイプの塗布装置と同様な構成であ
るが、その搬送ライン２が異なっている。すなわち、こ
の場合、その搬送ライン２の途中には、矩形または正方
形のシーリングベース６６が配置され、このシーリング
ベース６６は搬送ライン２を上流側コンベアラインと下
流側コンベアラインとに分離している。上流側コンベア
ラインとシーリングベース６６との間、また、下流側コ
ンベアラインとシーリングベース６６との間には移載機
がそれぞれ配置されており、これら移載機は、第１タイ
プの塗布装置に組み込まれている選択供給装置８と同様
な構成を有している。

【００５８】シーリングベース６６の下面にはその四隅
にステージ６８がそれぞれ取り付けられており、これら
ステージ６８のうちの２つは、搬送ラインと同一線上に
配置されている。詳しくは、搬送ライン上のステージ６
８の一方はローディング位置にあり、その他方はアンロ
ーディング位置に位置付けられている。４つのステージ
６８は図９中の矢印で示すように互いに連動して移動
し、その位置が順次入れ換えられるようになっている。
つまり、各ステージ６８はローディング位置に順次位置
付けられ、そして、ローディング位置にあるステージ６
８はアンローディング位置に向けて移動する。各ステー
ジ６８はその下面がサクション面として構成されてお
り、ローディング位置にあるステージ６８は移載機から
ガラス基板を受け取り、そのサクション面にガラス基板
Ａを吸着保持することができる。この場合、上流側コン
ベアライン上では個々のガラス基板Ａがその表面を下向
きにして搬送されており、それゆえ、ステージ６８で
は、ガラス基板Ａはその表面を下向きにして吸着され
る。また、アンローディング位置では、ステージ６８に
吸着されているガラス基板Ａが移載機により取り外さ
れ、そして、下流側コンベアラインに供給される。

【００５９】第５タイプの塗布装置の場合、スリットダ
イ１２は回収容器６２とともにシーリングベース６６の
下方、かつ、そのローディング位置とアンローディング
位置との間の中間に配置されており、そして、厚さセン
サ１０はローディング位置にあるステージ６８の下方に
配置されている。上述した第５タイプの塗布装置によれ
ば、上流側コンベアライン側から移載機を介して、ロー
ディング位置にあるステージ６８にガラス基板Ａが供給
されると、厚さセンサ１０はそのガラス基板Ａの厚さを
検出し、その検出信号をスリットダイ１２の昇降機構２
０に出力する。その検出信号を受けて、昇降機構２０は
スリットダイ１２を回収容器６２とともに上下動させ、
スリットダイ１２のレベル位置調整を行う。この後、ガ
ラス基板Ａを受け取ったステージ６８はローディング位
置からアンローディング位置に向けて移動し、この過程
で、ガラス基板Ａがスリットダイ１２の吐出口を通過し
ていくことにより、ガラス基板Ａの下向きの表面に塗膜
が形成される。なお、そのステージ６８がアンローディ
ング位置に到達すると、塗膜が形成されたガラス基板Ａ
は移載機によりステージ６８から取り外され、下流側コ
ンベアラインに供給される。また、このとき、ローディ
ング位置には次のステージ６８が位置付けられ、そのス
テージ６８に次のガラス基板Ａが供給されることにな
る。

【００６０】上述した第５タイプの塗布装置にあって
も、第４タイプの塗布装置の場合と同様に、個々のガラ
ス基板Ａに対して連続的に塗膜を形成でき、また、スリ
ットダイ１２からの塗布液の吐出制御もまた容易とな
る。なお、本実施例では、４台のステージ６８が順次移
動していくタイプのものを示したが、１台のステージが
往復動するタイプのものにも本発明は適用できる。

【００６１】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１，９の塗
布装置および塗布方法によれば、個々の枚葉部材をその
厚さに基づいて選別し、塗工搬送ラインに厚さを揃えた
枚葉部材のみを供給して、これら枚葉部材を連続搬送す
るようにしたから、個々の枚葉部材に要する塗膜の形成
時間、つまり、塗工時間が大幅に短縮され、その生産性
を向上することができる。また、塗工搬送ライン上の個
々の枚葉部材はそれらの厚さが揃えられているので、隣
接する枚葉部材間に段差が生じることはない。したがっ
て、その段差が塗布器と衝突したり、また、枚葉部材の
表面に形成される塗膜の膜厚に悪影響を与えることはな
く、個々の枚葉部材の塗膜を均一な膜厚に維持すること
ができる。

【００６２】請求項２，１０の塗布装置および塗布方法
によれば、選別から外れた枚葉部材を塗工搬送ラインと
は別の分岐搬送ラインに供給するようにしたから、この
分岐搬送ライン上を搬送される枚葉部材に対しても、そ
の塗膜の形成を引き続いて行うことが可能となる。請求
項３，１１の塗布装置および塗布方法によれば、ステー
ジの往復時および復動時の何れにあっても、ステージに
供給された枚葉部材に塗膜を形成するようにしたから、
枚葉部材１枚当たりの塗工時間を短縮でき、その生産性
の向上を図ることができる。

【００６３】請求項４，１２の塗布装置および塗布方法
によれば、ステージへの枚葉部材の供給およびステージ
からの枚葉部材の取り外しをステージの両側にて行える
から、ステージへの枚葉部材の供給、ステージからの枚
葉部材の取り外しが容易に行える。請求項５，１３の塗
布装置および塗布方法によれば、塗布器から塗布液を連
続して吐出するようにしたので、塗布液の吐出制御が容
易に行えるばかりでなく、個々の枚葉部材を連続的に搬
送し、個々の枚葉部材に塗膜を連続的に形成することが
できる。

【００６４】請求項６，７，１４，１５の塗布装置およ
び塗布方法によれば、枚葉部材の搬送を簡単に行え、請
求項８，１６のカラーフィルタの製造装置および製造装
置によれば、カラーフィルタの品質を高め、かつ、その
生産性を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１タイプの塗布装置を示した概略構成図であ
る。

【図２】図１の選別供給装置の具体例を示した側面図で
ある。

【図３】図２の選別供給装置の平面図である。

【図４】第２タイプの塗布装置を示した概略平面図であ
る。

【図５】図５の塗布装置の塗工セクションを示した正面
図である。

【図６】第３タイプの塗布装置における塗工セクション
を示した正面図である。

【図７】第４タイプの塗布装置を示した概略構成図であ
る。

【図８】第５タイプの塗布装置を示した概略構成図であ
る。

【図９】図８の塗布装置のシーリングベースの下面を示
した図である。

【符号の説明】

２ 搬送ライン ２ｄ 下流側コンベアライン（塗工搬送ライン） ８ 選別供給装置 １０ 厚さセンサ １２ スリットダイ １４ 供給ライン １６ 供給タンク １８ ギヤポンプ ２０ 昇降機構 ２６ ロボット本体 ３０ 移動アーム ３４ 吸着パッド ３６ 分岐搬送ライン ３７ 塗工セクション ３８ 基台 ４０ ガイドレール ４２ ステージ ４６ 移載機 ４７ シリンジポンプ ４８ 移載機 ５０ ガイドレール ５２ 移載機本体 ５４ サクションチャンバ ５６ サクションチャンバ ５８ サクションチャンバ ６０ ローラコンベア ６２ 回収容器 ６４ 戻りライン ６６ シーリングベース ６８ ステージ

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 塗工搬送ラインを有し、前記塗工搬送ラ
   インに沿って個々の枚葉部材を連続して搬送する搬送手
   段と、 枚葉部材を厚さに基づいて選別し、所望の厚さの枚葉部
   材のみを前記塗工搬送ラインに供給する選別供給手段
   と、 前記塗工搬送ライン上を搬送される前記枚葉部材の表面
   に塗布液を連続して吐出する塗布器とを具備したことを
   特徴とする塗布装置。
2. 【請求項２】 前記選別供給手段は、選別から外れた枚
   葉部材を受け取って搬送する分岐搬送ラインを備えてい
   ることを特徴とする、請求項１に記載の塗布装置。
3. 【請求項３】 枚葉部材を保持した状態で、第１および
   第２移動位置との間を往復動可能なステージと、 前記ステージに対して接離可能であり、前記ステージと
   ともに枚葉部材が移動するとき、その枚葉部材の表面に
   塗布液を吐出する塗布器と、 前記ステージが前記第１および第２移動位置の何れにあ
   るに否かに拘わらず、その移動位置にて前記ステージに
   枚葉部材が保持された後、枚葉部材の厚さを検出する検
   出手段とを具備したことを特徴とする塗布装置。
4. 【請求項４】 前記ステージが第１および第２移動位置
   の何れの位置にあっても、そのステージに枚葉部材を供
   給可能な供給手段並びにそのステージから枚葉部材を取
   り外し可能な取り外し手段を備え、これら供給手段およ
   び取り外し手段を前記ステージの往復動ラインの両側に
   それぞれ配置したことを特徴とする、請求項３に記載の
   塗布装置。
5. 【請求項５】 塗工搬送ラインを有し、前記塗工搬送ラ
   インに沿い、枚葉部材をその表面を下向きにして搬送す
   る搬送手段と、 前記塗工搬送ラインの下方に配置され、前記枚葉部材の
   表面に塗布液を連続して吐出する塗布器と、 前記塗布器から吐出された余剰の塗布液を回収する回収
   手段と、 前記枚葉部材の厚みを検出する検出手段と、 検出され枚葉部材の厚さに応じ、前記塗布器を昇降させ
   る昇降手段とを具備したことを特徴とする塗布装置。
6. 【請求項６】 前記搬送手段は、前記塗工ラインに沿っ
   て移動し、下面に枚葉部材を吸着可能な吸着テーブルを
   備えていることを特徴とする、請求項５に記載の塗布装
   置。
7. 【請求項７】 前記搬送手段は、下方に向けて開口した
   サクションチャンバと、前記サクションチャンバの開口
   部に配置されたローラコンベアとを備えていることを特
   徴とする請求項５に記載の塗布装置。
8. 【請求項８】 請求項１〜７のいずれかに記載の塗布装
   置を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
9. 【請求項９】 塗工搬送ラインに沿い個々の枚葉部材を
   連続的に搬送しながら、前記枚葉部材の表面に塗布液を
   連続して吐出し、個々の枚葉部材の表面に塗膜を形成す
   る塗布方法において、 前記塗工搬送ラインに供給すべき枚葉部材を厚さに基づ
   いて選別し、所望の厚さの枚葉部材のみを前記塗工搬送
   ラインに供給することを特徴とする塗布方法。
10. 【請求項１０】 選別から洩れた枚葉部材を前記塗工搬
    送ラインとは別の分岐搬送ラインに供給することを特徴
    とする、請求項９に記載の塗布方法。
11. 【請求項１１】 往復動可能なステージに枚葉部材を保
    持し、ステージとともに前記枚葉部材を移動させなが
    ら、前記枚葉部材の表面に塗布液を吐出して塗膜を形成
    する塗布方法において、 前記ステージの往動時および復動時の何れの場合にも、
    前記ステージの移動に伴い、枚葉部材の表面に塗膜を形
    成することを特徴とする塗布方法。
12. 【請求項１２】 前記ステージへの枚葉部材の供給およ
    び前記ステージからの塗膜形成済みの枚葉部材の取り出
    しを同一の方向から行い、これら供給および取り出しの
    方向に対して、前記ステージを交差する方向に往復動さ
    せることを特徴とする、請求項１１の塗布方法。
13. 【請求項１３】 塗布器から上方に塗布液を連続して吐
    出するとともに吐出された余剰の塗布液を回収する状態
    にあり、検出した枚葉部材の厚さに応じて塗布器と前記
    枚葉部材の表面との間に所定のクリアランスを与えるべ
    く塗布器を位置付け、この後、前記枚葉部材を搬送して
    前記塗布器の上方を通過させることにより、前記枚葉部
    材の表面に塗膜を形成することを特徴とする塗布方法。
14. 【請求項１４】 吸着テーブルの下面に前記枚葉部材を
    吸着して搬送することを特徴とする、請求項１３に記載
    の塗布方法。
15. 【請求項１５】 ローラコンベアの下面にサクションを
    利用して前記枚葉部材を吸着し、この状態で前記ローラ
    コンベアにより前記枚葉部材を搬送することを特徴とす
    る、請求項１３に記載の塗布方法。
16. 【請求項１６】 請求項９〜１５のいずれかに記載の塗
    布方法を用いて、カラーフィルタを製造することを特徴
    とするカラーフィルタの製造方法。