JPH09232899A - Package mount method for electronic element - Google Patents
Package mount method for electronic elementInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、電子素子をパッケ
ージ内に密閉封止する電子素子のパッケージ実装方法に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a package mounting method for electronic devices, in which electronic devices are hermetically sealed in a package.
【0002】[0002]
【従来の技術】ICをはじめとする各種の電子素子は外
部からの外力や熱または汚染等による影響から保護する
目的で種々のパッケージ内に封止されたりまたは収納さ
れた状態で使用されている。とりわけ、表面弾性波素子
は、圧電体等から成る固体の表面を伝播するいわゆる表
面弾性波の伝播を利用して高周波帯域の電気信号を伝達
させる性質上、表面を空間に開放した状態で収納したパ
ッケージ体の形で基板等の電子回路に搭載使用されてい
る。2. Description of the Related Art Various electronic devices such as ICs are used in a state where they are sealed or housed in various packages for the purpose of protecting them from the influence of external force, heat, pollution or the like from the outside. . In particular, the surface acoustic wave element is housed in a state where the surface is open because of the property of transmitting electric signals in the high frequency band by utilizing the propagation of so-called surface acoustic waves propagating on the surface of a solid body such as a piezoelectric body. It is mounted and used in electronic circuits such as substrates in the form of packages.
【0003】この種のパッケージとしては、例えば、特
開昭63−314908号に表面弾性波素子の従来の一
般的な構成が記載されている。この記載によれば、図4
(a)に示すように、リード電極21、21が設けられ
た金属製ベース22上に表面弾性波素子23をその裏面
側にて接着剤24を使用して固定し、表面弾性波素子2
3の表面側に設けられた素子電極と対応するリード電極
21、21との間をそれおれワイヤボンディングによる
金線25、25を介して電気的に接続している。As this type of package, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 63-314908 discloses a conventional general structure of a surface acoustic wave device. According to this description, FIG.
As shown in (a), the surface acoustic wave device 23 is fixed on the back surface side of the metal base 22 provided with the lead electrodes 21 and 21 with an adhesive 24, and the surface acoustic wave device 2
The element electrodes provided on the front surface side of No. 3 and the corresponding lead electrodes 21, 21 are electrically connected via the gold wires 25, 25 by wire bonding.
【0004】表面弾性波素子23は、このような電気配
線が施された後、封止用の金属製のキャップ26をベー
ス22上に装着することにより表面を開放した状態で密
閉封止状にベース22とキャップ26間に画成された空
間に収納される。他方、図示しない内部配線がパターン
形成された凹状面から成る内部空間27が設けられたセ
ラミック製のパッケージ本体28内に、接着剤29を介
して表面弾性波素子30を裏面側にて固定し、パッケー
ジ本体28の内部配線と表面弾性波素子30の素子電極
との間をワイヤボンディングによる配線31、31を介
して接続後、蓋体32を接合剤33を介してパッケージ
本体28に固定することにより、表面弾性波素子30を
内部空間27内に封止状態に固定する方法もまた知られ
ている。The surface acoustic wave device 23 is hermetically sealed with its surface open by mounting a metal cap 26 for sealing on the base 22 after such electrical wiring is provided. It is housed in a space defined between the base 22 and the cap 26. On the other hand, a surface acoustic wave device 30 is fixed on the back surface side with an adhesive 29 in a ceramic package body 28 in which an internal space 27 composed of a concave surface on which internal wiring (not shown) is patterned is provided. By connecting the internal wiring of the package body 28 and the element electrode of the surface acoustic wave element 30 via the wiring 31, 31 by wire bonding, the lid 32 is fixed to the package body 28 by the bonding agent 33. A method of fixing the surface acoustic wave element 30 in the internal space 27 in a sealed state is also known.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】表面弾性波素子は、通
常その素子表面に外部接続電極が4乃至6個程度設けら
れ、その電気的接続には外部接続電極の数に対応する数
のワイヤボンディング配線が施される。しかるに、図4
(a)に示した方法では、1個の電子素子24に対して
複数本、即ち4本、のワイヤボンディングを施してお
り、配線工程に煩雑化をきたしている。また、ワイヤボ
ンディングにより配線を行う場合、ある程度の率で配線
不良が不可避的に発生することが知られているが、従来
方法のように、ワイヤボンディング配線が複数の箇所に
ついて使用される場合、ボンディング不良の発生割合は
それに伴い増大せざるを得ない。A surface acoustic wave device is usually provided with about 4 to 6 external connection electrodes on the surface of the device, and its electrical connection is performed by wire bonding in a number corresponding to the number of external connection electrodes. Wiring is applied. However, Figure 4
In the method shown in (a), one electronic element 24 is wire-bonded with a plurality of wires, that is, four wires, which complicates the wiring process. Further, it is known that when wiring is performed by wire bonding, wiring failure inevitably occurs at a certain rate. However, when wire bonding wiring is used at a plurality of locations as in the conventional method, bonding is not possible. The rate of occurrence of defects must be increased accordingly.
【0006】他方、図4(b)に示した方法では、内部
配線がパッケージ本体28自体に一体に設けられている
点で構造の簡素化は図られてはいるが、ワイヤボンディ
ング配線31、31が、依然、複数箇所に用いられてい
る。更に、パッケージ本体28に凹部状の内部空間27
内に電子素子30を正確に配置しなければならない。従
って、本発明の目的は、より簡易な工程でより確実に電
気的接続並びにパッケージの封止が可能な電子素子のパ
ッケージ実装方法を得ることにある。On the other hand, in the method shown in FIG. 4 (b), although the structure is simplified in that the internal wiring is integrally provided on the package body 28 itself, the wire bonding wirings 31, 31 are provided. However, it is still used in multiple places. Further, the package body 28 has a recessed internal space 27.
The electronic device 30 must be placed exactly inside. Therefore, it is an object of the present invention to obtain a package mounting method for an electronic element that can more surely perform electrical connection and package sealing in a simpler process.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに本発明の電子素子のパッケージ実装方法は、表面に
内部電極が形成された凹部により画成された内部空間を
有するパッケージ本体と、前記パッケージ本体に装着可
能に形成された蓋体と、第1接続体が表面に形成された
電子素子と、を準備し、電子素子をその裏面にて蓋体に
貼着し、蓋体を接着材としての第2接続体を介してパッ
ケージ本体に載置し、次いで、第1接続体を介して電子
素子を電極配線に接続すると共に蓋体を第2接続体を介
してパッケージ本体に固定することから成ることを特徴
とする。In order to solve the above problems, a package mounting method for an electronic device according to the present invention comprises a package body having an internal space defined by a recess having an internal electrode formed on the surface thereof, A lid formed so as to be attachable to the package body and an electronic element having a first connection body formed on the front surface are prepared, the electronic element is attached to the lid on the back surface, and the lid is bonded. It is placed on the package body via the second connecting body as a material, and then the electronic element is connected to the electrode wiring via the first connecting body and the lid body is fixed to the package body via the second connecting body. It is characterized by consisting of
【0008】このため、本発明方法では、より簡易な工
程でより確実な電気的接続が施されたパッケージ体を得
ることができる。本発明のパッケージ実装方法は、第1
接続体を介した接続及び第2接続体を介した固定を同一
の工程で行うように構成できる。このように構成するこ
とにより、第1接続体による接続及び第2接続体による
固定のを同時に行うことができる。Therefore, according to the method of the present invention, it is possible to obtain a package body which is more surely electrically connected in a simpler process. The package mounting method of the present invention is the first
The connection via the connecting body and the fixing via the second connecting body can be performed in the same step. With this configuration, the connection by the first connecting body and the fixing by the second connecting body can be performed at the same time.
【0009】[0009]
【発明の実施の形態】次に、本発明による電子素子のパ
ッケージ実装方法の実施の形態について図面を参照しな
がら詳細に説明する。本発明のパッケージ実装方法によ
り形成された電子素子を図1に示す。電子素子は、例え
ば、同図に示すように、表面弾性波素子1から成り、こ
の表面弾性波素子1が収納された凹部により画成された
内部空間2が設けられたセラミック製のパッケージ本体
3と、表面弾性波素子1を収納した内部空間2を閉塞す
るようにパッケージ本体3に装着された蓋体4と、から
なっている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, an embodiment of a package mounting method for an electronic device according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. An electronic element formed by the package mounting method of the present invention is shown in FIG. The electronic element is, for example, as shown in FIG. 1, a surface acoustic wave element 1, and a ceramic package body 3 provided with an internal space 2 defined by a recess in which the surface acoustic wave element 1 is housed. And a lid 4 mounted on the package body 3 so as to close the internal space 2 accommodating the surface acoustic wave element 1.
【0010】表面弾性波素子1の表面弾性波が伝播され
る表面は図1中下向きの面として表されているが、この
表面には、図示しない、互いに噛合する櫛歯状の素子電
極が左右の両側に1組ずつ合計4個設けられている。こ
れらの素子電極には外部接続用の第1接続体としての導
電性バンプ1a、1a(図1中には紙面前方に位置する
2個のみが示されている)がそれぞれ対応して形成され
ている。第1接続体1a、1aは、例えば、Au−Sn
合金により形成される。The surface of the surface acoustic wave element 1 through which the surface acoustic wave propagates is shown as a downward surface in FIG. 1. On this surface, there are left and right comb-teeth-shaped element electrodes (not shown) that mesh with each other. There are a total of four on each side. Conductive bumps 1a, 1a (only two of which are located in front of the paper in FIG. 1 are shown) are formed correspondingly to these element electrodes as a first connecting body for external connection. There is. The first connector 1a, 1a is, for example, Au-Sn.
It is formed of an alloy.
【0011】パッケージ本体3には、また、その下面側
に導出された電極配線5,5aが一体に形成されてい
る。各電極配線5は、図2のパッケージ本体3の平面図
に示すように、周壁3a及びスルーホール技術により形
成された端壁3bを介してパッケージ本体3の内外に亘
って延びるように形成されている。ここで、表面弾性波
素子1は、再び図1に従い説明すると、その裏面にて接
着剤6を介して蓋体4の内面に固定されている。表面弾
性波素子1のバンプ1a,1aはパッケージ本体3内部
の電極配線5、5に電気的に接続されている一方、蓋体
4はその内面の周縁部分にて第2接続体7を介してパッ
ケージ本体3の周壁3aに固定されている。第2接続体
7は、例えば、第1接続体1a、1aに使用したと同様
のAu−Sn合金により形成することができる。The package body 3 is also integrally formed with electrode wirings 5 and 5a led out to the lower surface side thereof. As shown in the plan view of the package body 3 in FIG. 2, each electrode wiring 5 is formed to extend inside and outside the package body 3 via a peripheral wall 3a and an end wall 3b formed by a through hole technique. There is. Here, the surface acoustic wave element 1 will be described again with reference to FIG. 1. The back surface of the surface acoustic wave element 1 is fixed to the inner surface of the lid body 4 with the adhesive 6. The bumps 1a, 1a of the surface acoustic wave device 1 are electrically connected to the electrode wirings 5, 5 inside the package body 3, while the lid body 4 has a second connecting body 7 at a peripheral portion of its inner surface. It is fixed to the peripheral wall 3 a of the package body 3. The second connection body 7 can be formed of, for example, the same Au—Sn alloy as that used for the first connection bodies 1a and 1a.
【0012】次に、本発明の電子素子のパッケージ実装
方法について説明する。まず、上方に開放された空間が
内部に画成された概略箱状のセラミック製のパッケージ
本体と、この内部空間を閉塞するようにパッケージ本体
に装着可能なコバール製の蓋体と、表面に導電性材料、
例えばAu−Sn合金、から成る第1接続体としてのバ
ンプが形成された電子素子としての表面弾性波素子、を
準備する。パッケージ本体には収納する電子素子の第1
接続体に対応するように電極配線が予め形成されている
と共に、周壁3aの上端部には高融点金属層を介してA
u及びNiのメッキ層が形成されている。。Next, a package mounting method of the electronic device of the present invention will be described. First, a box-shaped ceramic package body with an open space defined inside, a Kovar lid that can be attached to the package body to close the internal space, and a conductive surface. Material,
For example, a surface acoustic wave element as an electronic element having a bump as a first connection body made of an Au-Sn alloy is prepared. The first electronic element to be stored in the package body
Electrode wiring is formed in advance so as to correspond to the connection body, and a refractory metal layer is provided on the upper end of the peripheral wall 3a through a high melting point metal layer.
A plated layer of u and Ni is formed. .
【0013】これらの準備に際して、図3(a)に示す
ように、第2接続体7を蓋体4の内面の周縁に沿って例
えばAu−Sn合金により角リング状に形成しておく。
このような第2接続体7が形成された内面の中央部に、
図3(b)に示すように、接着剤6を例えばディスペン
サを用いて塗布し、電子素子1をその裏面にて貼着す
る。電子素子1の表面、即ち第1接続体1aが設けられ
た面、は上方に臨む状態になる。接着剤6としては例え
ば熱硬化性接着剤を簡易に使用できる。At the time of these preparations, as shown in FIG. 3A, the second connecting body 7 is formed along the peripheral edge of the inner surface of the lid 4 in the shape of a square ring of, for example, an Au--Sn alloy.
At the center of the inner surface where the second connecting body 7 is formed,
As shown in FIG. 3B, the adhesive 6 is applied using, for example, a dispenser, and the electronic element 1 is attached on the back surface thereof. The surface of the electronic element 1, that is, the surface on which the first connection body 1a is provided faces upward. As the adhesive 6, for example, a thermosetting adhesive can be easily used.
【0014】電子素子1を貼着したら、図3(c)に示
すように、蓋体4を電子素子1がパッケージ本体3の内
部空間に収納されるようにパッケージ本体3の周壁3a
上に載置する。この蓋体4の載置により、電子素子1の
第1接続体1aがパッケージ本体3内の電極配線に当接
すると共に、蓋体4に設けられた第2接続体7がパッケ
ージ本体3の周壁3aの上端に当接した状態になる。After the electronic element 1 is attached, as shown in FIG. 3C, the lid 4 is placed on the peripheral wall 3a of the package body 3 so that the electronic element 1 is housed in the internal space of the package body 3.
Place on top. By mounting the lid body 4, the first connection body 1a of the electronic element 1 abuts on the electrode wiring in the package body 3, and the second connection body 7 provided on the lid body 4 is attached to the peripheral wall 3a of the package body 3. Is in contact with the upper end of.
【0015】このようにパッケージ本体3に蓋体4を載
置した状態で加熱炉に装入し、約280℃℃の温度に約
数秒間保持した後冷却または放置することにより第1及
び第2接続体1a、7は溶融され、図3(d)に示すよ
うに、第1接続体1aを介して電子素子1を電極配線5
bに対して電気的に接続されると共に、第2接続体7を
介して蓋体4とパッケージ本体3との間が固定される。As described above, the lid 4 is placed on the package body 3 and then placed in a heating furnace. The temperature is kept at about 280 ° C. for about several seconds and then cooled or left to stand for the first and the second. The connection bodies 1a and 7 are melted, and the electronic element 1 is connected to the electrode wiring 5 through the first connection body 1a as shown in FIG.
While being electrically connected to b, the lid 4 and the package body 3 are fixed via the second connecting body 7.
【0016】この場合、第2接続体7は予め蓋体4の周
縁に沿って角リング状に形成されているので溶融による
パッケージ本体3への融着により、電子素子1が収納さ
れたパッケージ3の内部空間2は外部から気密状に封止
される。このようにして得られたパッケージ体は、パッ
ケージ本体の外部に導出された電極配線を介して基板等
の表面に形成された回路に電気的に接続する等すること
により搭載使用が可能になる。In this case, since the second connecting body 7 is formed in advance in the shape of a square ring along the peripheral edge of the lid body 4, it is fused to the package body 3 by melting and the package 3 in which the electronic element 1 is housed. The internal space 2 is sealed from the outside in an airtight manner. The package body thus obtained can be mounted and used by electrically connecting it to a circuit formed on the surface of the substrate or the like through the electrode wiring led to the outside of the package body.
【0017】[0017]
【発明の効果】以上に詳細に説明したように、本発明の
電子素子のパッケージ実装方法によれば、表面に内部電
極が形成された凹部により画成された内部空間を有する
パッケージ本体と、パッケージ本体に装着可能に形成さ
れた蓋体と、第1の接続体が表面に形成された電子素子
と、を準備し、電子素子をその裏面にて蓋体に貼着し、
蓋体を第2の接続体を介してパッケージ本体に載置し、
次いで、第1接続体を介して電子素子を内部電極に接続
すると共に蓋体を第2接続体を介してパッケージ本体に
固定することから成るので、より簡易な工程でより確実
な電気的接続が施されたパッケージ体を得ることができ
る。As described above in detail, according to the package mounting method of the electronic device of the present invention, the package body having the internal space defined by the recess having the internal electrode formed on the surface thereof, and the package A lid formed to be attachable to the main body and an electronic element having a first connection body formed on the surface are prepared, and the electronic element is attached to the lid on the back surface thereof.
Place the lid on the package body via the second connector,
Next, since the electronic element is connected to the internal electrode via the first connection body and the lid body is fixed to the package body via the second connection body, more reliable electrical connection can be achieved by a simpler process. An applied package body can be obtained.
【0018】このため、本発明方法では、より簡易な工
程でより確実な電気的接続が施されたパッケージ体を得
ることができる。本発明のパッケージ実装方法は、第2
接続体を第1接続体と同一材料を主成分とし第1接続体
を介した接続及び第2接続体を介した固定を同一の工程
で行うように構成できる。Therefore, according to the method of the present invention, it is possible to obtain a package body which is more surely electrically connected in a simpler process. The package mounting method of the present invention is the second
The connecting body may be configured such that the same material as that of the first connecting body is the main component and the connection through the first connecting body and the fixing through the second connecting body are performed in the same step.
【0019】このように構成することにより、第1接続
体による接続及び第2接続体による固定のを同時に行う
ことができる。With this structure, the connection by the first connecting body and the fixing by the second connecting body can be performed at the same time.
【図1】本発明方法によるパッケージ構造の断面図であ
る。1 is a cross-sectional view of a package structure according to the method of the present invention.
【図2】図1のハッケージ構造のパッケージ本体の平面
図である。FIG. 2 is a plan view of a package body having the package structure of FIG.
【図3】本発明のパッケージ実装方法の主要工程を示す
図である。FIG. 3 is a diagram showing main steps of a package mounting method of the present invention.
【図4】従来のパッケージ構造を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a conventional package structure.
1 電子素子 1a 第1接続体 2 内部空間 3 パッケージ本体 4 蓋体 5 電極配線 6 接着剤 7 第2接続体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electronic element 1a 1st connection body 2 Internal space 3 Package body 4 Lid body 5 Electrode wiring 6 Adhesive 7 Second connection body
Claims (4)
成された内部空間を有するパッケージ本体と、前記パッ
ケージ本体に装着可能に形成された蓋体と、第1の接続
体が表面に形成された電子素子と、を準備し、前記電子
素子をその裏面にて前記蓋体に貼着し、前記蓋体を第2
の接続体を介して前記パッケージ本体に載置し、次い
で、前記第1接続体を介して前記電子素子を前記電極配
線に接続すると共に前記蓋体を前記第2接続体を介して
前記パッケージ本体に固定することから成ることを特徴
とする電子素子のパッケージ実装方法。1. A package main body having an internal space defined by a recess having electrode wiring formed on the surface, a lid body mountable on the package main body, and a first connecting body formed on the surface. And the electronic element is attached to the lid body at the back surface thereof, and the lid body is
Mounted on the package main body via the connection body, then the electronic element is connected to the electrode wiring via the first connection body, and the lid body is connected to the package main body via the second connection body. A package mounting method for an electronic device, comprising: fixing to an electronic device.
接続体を介した固定を同一工程で行う請求項1に記載の
パッケージ実装方法。2. The connection through the first connection body and the second connection
The package mounting method according to claim 1, wherein the fixing through the connecting body is performed in the same step.
ジ本体への載置に先だって前記蓋体に設けられる請求項
1に記載のパッケージ実装方法。3. The package mounting method according to claim 1, wherein the second connection body is provided on the lid body prior to placing the lid body on the package body.
接続体を介した固定は前記第1及び第2接続体の加熱に
よるリフローにより行う請求項1に記載のパッケージ実
装方法。4. The connection through the first connecting body and the second
The package mounting method according to claim 1, wherein the fixing through the connection body is performed by reflow by heating the first and second connection bodies.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3692696A JPH09232899A (en) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | Package mount method for electronic element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3692696A JPH09232899A (en) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | Package mount method for electronic element |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09232899A true JPH09232899A (en) | 1997-09-05 |
Family
ID=12483372
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3692696A Pending JPH09232899A (en) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | Package mount method for electronic element |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09232899A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002141761A (en) * | 2000-10-31 | 2002-05-17 | Kinseki Ltd | Sealing method for surface acoustic wave device |
US6543109B1 (en) | 1999-03-02 | 2003-04-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of manufacturing a surface acoustic wave apparatus |
-
1996
- 1996-02-23 JP JP3692696A patent/JPH09232899A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6543109B1 (en) | 1999-03-02 | 2003-04-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of manufacturing a surface acoustic wave apparatus |
JP2002141761A (en) * | 2000-10-31 | 2002-05-17 | Kinseki Ltd | Sealing method for surface acoustic wave device |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040525 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040527 |