JPH0899073A - タンク内ドレン水撹拌装置 - Google Patents
タンク内ドレン水撹拌装置Info
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- JPH0899073A JPH0899073A JP6259150A JP25915094A JPH0899073A JP H0899073 A JPH0899073 A JP H0899073A JP 6259150 A JP6259150 A JP 6259150A JP 25915094 A JP25915094 A JP 25915094A JP H0899073 A JPH0899073 A JP H0899073A
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- Japan
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- pipe
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、液化天然ガス用球形タンクの清掃
に用いて好適のタンク内ドレン水撹拌装置に関し、特に
タンク底部内のドレン水中に気泡を放出してドレン水の
流動性を高め、その排出の簡便化をはかったものであ
る。 【構成】 タンク1の底部内へタンク上方から垂設され
るパイプタワー2の壁部に沿ってエア配管15が設けら
れ、同配管15の下端部にエアホース17を介して気泡放出
管としてのリング状の小穴付き気泡放出管18が接続され
ている。タンク1の内部の洗浄後に、タンク底部内のド
レン水中で気泡放出管18の小穴10から気泡19を噴出させ
ることにより、ドレン水中の固形物を溶け込ませたり均
一化させたりしてタンク底部への堆積を抑制し、その流
動性を十分に高めて、人手を要することなくドレン水の
排出がポンプにより効率よく行なわれる。
に用いて好適のタンク内ドレン水撹拌装置に関し、特に
タンク底部内のドレン水中に気泡を放出してドレン水の
流動性を高め、その排出の簡便化をはかったものであ
る。 【構成】 タンク1の底部内へタンク上方から垂設され
るパイプタワー2の壁部に沿ってエア配管15が設けら
れ、同配管15の下端部にエアホース17を介して気泡放出
管としてのリング状の小穴付き気泡放出管18が接続され
ている。タンク1の内部の洗浄後に、タンク底部内のド
レン水中で気泡放出管18の小穴10から気泡19を噴出させ
ることにより、ドレン水中の固形物を溶け込ませたり均
一化させたりしてタンク底部への堆積を抑制し、その流
動性を十分に高めて、人手を要することなくドレン水の
排出がポンプにより効率よく行なわれる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、液化天然ガス用球形タ
ンクの内部の清掃の際に用いて好適のタンク内ドレン水
撹拌装置に関する。
ンクの内部の清掃の際に用いて好適のタンク内ドレン水
撹拌装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、液化天然ガス用タンクの清掃時に
は、タンク内に水を張り、その水面にゴムボートを浮か
べ、このボートに作業員が乗り内面を清掃し、その洗浄
水を排出した後、タンク内底部の堆積物を人手により排
出することが行なわれていた。
は、タンク内に水を張り、その水面にゴムボートを浮か
べ、このボートに作業員が乗り内面を清掃し、その洗浄
水を排出した後、タンク内底部の堆積物を人手により排
出することが行なわれていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、液化天然ガ
ス(以下LNGという。)を貯蔵するタンクの内面は、
反射率を高めるため極めて滑らかに仕上げなければなら
ないが、現在船舶等で使用されているLNG用球形タン
クでは直径が40mにも達し、このタンク内面の清掃後に
タンク底部にとどまる堆積物は多大な量になる。従来
は、この堆積物を人手で回収し排出していたが、その回
収作業は多大な工数を要するとともに、危険も伴って、
最悪の作業環境下で行なわれていた。
ス(以下LNGという。)を貯蔵するタンクの内面は、
反射率を高めるため極めて滑らかに仕上げなければなら
ないが、現在船舶等で使用されているLNG用球形タン
クでは直径が40mにも達し、このタンク内面の清掃後に
タンク底部にとどまる堆積物は多大な量になる。従来
は、この堆積物を人手で回収し排出していたが、その回
収作業は多大な工数を要するとともに、危険も伴って、
最悪の作業環境下で行なわれていた。
【0004】本発明は、上述の問題点の解消をはかろう
とするもので、タンク内の洗浄後に、人手を要すること
なくタンク底部内のドレン水を撹拌して十分な流動性を
もたせることにより、その排出の簡便化をはかれるよう
にしたタンク内ドレン水撹拌装置を提供することを目的
とする。
とするもので、タンク内の洗浄後に、人手を要すること
なくタンク底部内のドレン水を撹拌して十分な流動性を
もたせることにより、その排出の簡便化をはかれるよう
にしたタンク内ドレン水撹拌装置を提供することを目的
とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
め、本発明のタンク内ドレン水撹拌装置は、タンクの上
方から同タンク底部内へ垂設されるエア配管と、同エア
配管の下端部に接続された気泡放出器とをそなえ、同気
泡放出器がタンク底部内のドレン水を撹拌するための多
数の気泡放出用小穴を形成されていることを特徴として
いる。
め、本発明のタンク内ドレン水撹拌装置は、タンクの上
方から同タンク底部内へ垂設されるエア配管と、同エア
配管の下端部に接続された気泡放出器とをそなえ、同気
泡放出器がタンク底部内のドレン水を撹拌するための多
数の気泡放出用小穴を形成されていることを特徴として
いる。
【0006】また、本発明のタンク内ドレン水撹拌装置
は、上記エア配管が上記タンク内に設置されるパイプタ
ワーの壁部に沿って複数本配設され、上記気泡放出器が
上記エア配管の下端にエアホースを介して接続されるリ
ング状の小穴付き気泡放出管として形成されていること
を特徴としている。
は、上記エア配管が上記タンク内に設置されるパイプタ
ワーの壁部に沿って複数本配設され、上記気泡放出器が
上記エア配管の下端にエアホースを介して接続されるリ
ング状の小穴付き気泡放出管として形成されていること
を特徴としている。
【0007】さらに、本発明のタンク内ドレン水撹拌装
置は、上記リング状の小穴付き気泡放出管が上記パイプ
タワーを中心として同心円状に複数個配設されているこ
とを特徴としている。
置は、上記リング状の小穴付き気泡放出管が上記パイプ
タワーを中心として同心円状に複数個配設されているこ
とを特徴としている。
【0008】また、本発明のタンク内ドレン水撹拌装置
は、上記リング状の小穴付き気泡放出管が、多数の小穴
付き短管を相互に接続して形成され、同短管が一端にソ
ケットを有するとともに他端にプラグを有して隣接する
短管に着脱可能に設けられていることを特徴としてい
る。
は、上記リング状の小穴付き気泡放出管が、多数の小穴
付き短管を相互に接続して形成され、同短管が一端にソ
ケットを有するとともに他端にプラグを有して隣接する
短管に着脱可能に設けられていることを特徴としてい
る。
【0009】さらに、本発明のタンク内ドレン水撹拌装
置は、隣接する上記小穴付き短管の相互間に、一端にソ
ケットを有するとともに他端にプラグを有する可撓継手
管が介装されていることを特徴としている。
置は、隣接する上記小穴付き短管の相互間に、一端にソ
ケットを有するとともに他端にプラグを有する可撓継手
管が介装されていることを特徴としている。
【0010】
【作用】上述の本発明のタンク内ドレン水撹拌装置で
は、タンク内に水を張り、その水面にボートを浮かべ
て、順次水面を低下させながらタンク内壁をボート上の
作業者が洗浄した後、タンク外へボートを撤去するとと
もに作業者も退去し、ついでエア配管を通じて供給され
る空気をタンク底部内のドレン水中で気泡放出器の小穴
から噴出させることにより、ドレン水中の固形物を溶け
込ませたり均一化させたりしてタンク底部への堆積を抑
制し、その流動性を十分に高めるようにする作用が行な
われる。
は、タンク内に水を張り、その水面にボートを浮かべ
て、順次水面を低下させながらタンク内壁をボート上の
作業者が洗浄した後、タンク外へボートを撤去するとと
もに作業者も退去し、ついでエア配管を通じて供給され
る空気をタンク底部内のドレン水中で気泡放出器の小穴
から噴出させることにより、ドレン水中の固形物を溶け
込ませたり均一化させたりしてタンク底部への堆積を抑
制し、その流動性を十分に高めるようにする作用が行な
われる。
【0011】その際、上記気泡放出器が上記エア配管の
下端にエアホースを介して接続されるリング状の小穴付
き気泡放出管として形成されていると、タンク底部内の
ドレン水中への気泡の放出が一様に行なわれるので、ド
レン水の撹拌による流動性の付与が効率よく行なわれる
ようになり、特に上記リング状の小穴付き気泡放出管が
同心円状に複数個配設されていると、上記流動性の付与
作用が一層効率よく行なわれるようになる。
下端にエアホースを介して接続されるリング状の小穴付
き気泡放出管として形成されていると、タンク底部内の
ドレン水中への気泡の放出が一様に行なわれるので、ド
レン水の撹拌による流動性の付与が効率よく行なわれる
ようになり、特に上記リング状の小穴付き気泡放出管が
同心円状に複数個配設されていると、上記流動性の付与
作用が一層効率よく行なわれるようになる。
【0012】また上記リング状の小穴付き気泡放出管
が、多数の小穴付き短管を相互に接続して形成され、同
短管が一端にソケットを有するとともに他端にプラグを
有して隣接する短管に着脱可能に設けられていると、タ
ンク底部内での上記気泡放出管の組み立てや分解撤去が
容易に行なわれるようになる。さらに隣接する上記小穴
付き短管の相互間に、一端にソケットを有するとともに
他端にプラグを有する可撓継手管が介装されていると、
上記気泡放出管をタンク底部内でリング状に配設する作
業が大幅に簡易化されるようになる。
が、多数の小穴付き短管を相互に接続して形成され、同
短管が一端にソケットを有するとともに他端にプラグを
有して隣接する短管に着脱可能に設けられていると、タ
ンク底部内での上記気泡放出管の組み立てや分解撤去が
容易に行なわれるようになる。さらに隣接する上記小穴
付き短管の相互間に、一端にソケットを有するとともに
他端にプラグを有する可撓継手管が介装されていると、
上記気泡放出管をタンク底部内でリング状に配設する作
業が大幅に簡易化されるようになる。
【0013】
【実施例】以下、図面により本発明の一実施例としての
タンク内ドレン水撹拌装置について説明すると、図1は
その概略構成をタンクの一部を破断して示す斜視図、図
2(a),(b)はそのリング状小穴付き気泡放出管の構成部
品としての可撓継手管および小穴付き短管をそれぞれ示
す平面図、図3は上記装置の具体的構成を示す斜視図で
ある。図1に示すように、LNG船のアルミ合金製の球
形タンク1において、タンク上方からタンク底部内へ垂
下されるパイプタワー2が設けられ、同パイプタワー2
は作業者の昇降や、タンク内への注排水,保守用電力の
供給等の用に供される。
タンク内ドレン水撹拌装置について説明すると、図1は
その概略構成をタンクの一部を破断して示す斜視図、図
2(a),(b)はそのリング状小穴付き気泡放出管の構成部
品としての可撓継手管および小穴付き短管をそれぞれ示
す平面図、図3は上記装置の具体的構成を示す斜視図で
ある。図1に示すように、LNG船のアルミ合金製の球
形タンク1において、タンク上方からタンク底部内へ垂
下されるパイプタワー2が設けられ、同パイプタワー2
は作業者の昇降や、タンク内への注排水,保守用電力の
供給等の用に供される。
【0014】またパイプタワー2には、図3に示すよう
に、その壁部に沿って複数本のエア配管15が配設され、
各エア配管15の下端部は、パイプタワー2の下端部に形
成された工事孔4に臨ませられていて、気泡放出器とし
てのリング状の小穴10付き気泡放出管18にエアホース17
を介して接続されている。なお、エア配管15の上端はエ
アホース16を介して工場エアタンク14に接続されてお
り、またリング状の気泡放出管18は、パイプタワー2を
中心として同心円状に複数個配設されている。
に、その壁部に沿って複数本のエア配管15が配設され、
各エア配管15の下端部は、パイプタワー2の下端部に形
成された工事孔4に臨ませられていて、気泡放出器とし
てのリング状の小穴10付き気泡放出管18にエアホース17
を介して接続されている。なお、エア配管15の上端はエ
アホース16を介して工場エアタンク14に接続されてお
り、またリング状の気泡放出管18は、パイプタワー2を
中心として同心円状に複数個配設されている。
【0015】本実施例ではリング状の気泡放出管18は図
2(b)に示す小穴10付き短管6を多数結合するようにし
て構成されており、各短管6はその一端にソケット7を
有するとともに他端にプラグ8を有して隣接する短管に
対し着脱可能になっている。そして隣接する短管6の相
互間には、図2(a)に示す可撓継手管11が介装されるよ
うになっており、このため同可撓継手管11の一端にソケ
ット12が設けられるとともに他端にはプラグ13が設けら
れている。すなわち可撓継手管11のソケット12に短管6
のプラグ8が結合され、可撓継手管11のプラグ13には他
の短管6のソケット7が結合される。
2(b)に示す小穴10付き短管6を多数結合するようにし
て構成されており、各短管6はその一端にソケット7を
有するとともに他端にプラグ8を有して隣接する短管に
対し着脱可能になっている。そして隣接する短管6の相
互間には、図2(a)に示す可撓継手管11が介装されるよ
うになっており、このため同可撓継手管11の一端にソケ
ット12が設けられるとともに他端にはプラグ13が設けら
れている。すなわち可撓継手管11のソケット12に短管6
のプラグ8が結合され、可撓継手管11のプラグ13には他
の短管6のソケット7が結合される。
【0016】また短管6の中間部には、エアホース17と
接続するためのソケット9が設けられている。なお、短
管6は、パイプタワー2の内部を通り、さらにその下端
部の工事孔4を経由してタンク底部内への出入を行なえ
るように、その長さを短く設定されている。
接続するためのソケット9が設けられている。なお、短
管6は、パイプタワー2の内部を通り、さらにその下端
部の工事孔4を経由してタンク底部内への出入を行なえ
るように、その長さを短く設定されている。
【0017】本実施例のタンク内ドレン水撹拌装置は、
上述のように構成されているので、タンク1の内部の清
掃に際しては、パイプタワー2内の図示しない注水管を
通じてタンク1の内部へ水3を注入し、その水面にボー
トを浮かべて、順次水面を低下させながらタンク内壁を
ボート上の作業者が洗浄する。そして、タンク洗浄後、
タンク外へボートを撤去するとともに作業者も退去し、
ついでエア配管15を通じて供給される圧縮空気をタンク
底部内のドレン水5の内部で気泡放出管6の小穴10から
噴出させることにより、ドレン水5中の固形物を溶け込
ませたり均一化させたりしてタンク底部への堆積を抑制
し、その流動性を十分に高めるようにする。
上述のように構成されているので、タンク1の内部の清
掃に際しては、パイプタワー2内の図示しない注水管を
通じてタンク1の内部へ水3を注入し、その水面にボー
トを浮かべて、順次水面を低下させながらタンク内壁を
ボート上の作業者が洗浄する。そして、タンク洗浄後、
タンク外へボートを撤去するとともに作業者も退去し、
ついでエア配管15を通じて供給される圧縮空気をタンク
底部内のドレン水5の内部で気泡放出管6の小穴10から
噴出させることにより、ドレン水5中の固形物を溶け込
ませたり均一化させたりしてタンク底部への堆積を抑制
し、その流動性を十分に高めるようにする。
【0018】その際、気泡放出管18がエア配管15の下端
にエアホース17を介して接続されるリング状の小穴10付
き配管として形成されているので、タンク底部内のドレ
ン水5中への気泡19の放出が一様に行なわれるようにな
り、ドレン水5の撹拌による流動性の付与が効率よく行
なわれるようになる。特に本実施例のようにリング状の
小穴付き気泡放出管18が同心円状に複数個配設されてい
ると、上記流動性の付与作用が一層効率よく行なわれる
ようになる。
にエアホース17を介して接続されるリング状の小穴10付
き配管として形成されているので、タンク底部内のドレ
ン水5中への気泡19の放出が一様に行なわれるようにな
り、ドレン水5の撹拌による流動性の付与が効率よく行
なわれるようになる。特に本実施例のようにリング状の
小穴付き気泡放出管18が同心円状に複数個配設されてい
ると、上記流動性の付与作用が一層効率よく行なわれる
ようになる。
【0019】またリング状の小穴付き気泡放出管18が、
多数の小穴付き短管6を相互に接続して形成され、同短
管6が一端にソケット7を有するとともに他端にプラグ
8を有して隣接する短管6に着脱可能に設けられている
と、タンク底部内での気泡放出管18の組み立てや分解撤
去が容易に行なわれるようになる。さらに隣接する小穴
付き短管6の相互間に、一端にソケット12を有するとと
もに他端にプラグ13を有する可撓継手管11が介装されて
いると、気泡放出管18をタンク底部内でリング状に配設
する作業が大幅に簡易化されるようになる。
多数の小穴付き短管6を相互に接続して形成され、同短
管6が一端にソケット7を有するとともに他端にプラグ
8を有して隣接する短管6に着脱可能に設けられている
と、タンク底部内での気泡放出管18の組み立てや分解撤
去が容易に行なわれるようになる。さらに隣接する小穴
付き短管6の相互間に、一端にソケット12を有するとと
もに他端にプラグ13を有する可撓継手管11が介装されて
いると、気泡放出管18をタンク底部内でリング状に配設
する作業が大幅に簡易化されるようになる。
【0020】上述のように本実施例のタンク内ドレン水
撹拌装置では、タンク内の洗浄後に人手を要することな
くタンク底部内のドレン水を撹拌して十分な流動性をも
たせることにより、その排出が図示しないポンプ等を用
いて簡便に行なわれるようになる。なお、ドレン水5の
排出に用いられるポンプとしては、ドレン水中に多数の
気泡が混在することからみて、エダクタ方式のものを用
いることが好ましい。
撹拌装置では、タンク内の洗浄後に人手を要することな
くタンク底部内のドレン水を撹拌して十分な流動性をも
たせることにより、その排出が図示しないポンプ等を用
いて簡便に行なわれるようになる。なお、ドレン水5の
排出に用いられるポンプとしては、ドレン水中に多数の
気泡が混在することからみて、エダクタ方式のものを用
いることが好ましい。
【0021】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明のタンク内
ドレン水撹拌装置によれば、次のような効果が得られ
る。 (1) エア配管を通じて供給される空気をタンク底部内の
ドレン水中で気泡放出器の小穴から噴出させることによ
りドレン水を撹拌して、ドレン水中の固形物を溶け込ま
せたり均一化させたりしてタンク底部への堆積を抑制
し、その流動性を十分に高めるようにしながらポンプ等
でドレン水の排出を行なうことができる。したがってタ
ンク底部の堆積物を人手により排出するというような従
来の危険な作業が不要になる。 (2) 上記気泡放出器が上記エア配管の下端にエアホース
を介して接続されるリング状の小穴付き気泡放出管とし
て形成されていると、タンク底部内のドレン水中への気
泡の放出が一様に行なわれるので、ドレン水の撹拌によ
る流動性の付与が効率よく行なわれるようになる。 (3) 上記リング状の小穴付き気泡放出管が同心円状に複
数個配設されていると、上記流動性の付与作用が一層効
率よく行なわれるようになる。 (4) 上記リング状の小穴付き気泡放出管が、多数の小穴
付き短管を相互に接続して形成され、同短管が一端にソ
ケットを有するとともに他端にプラグを有して隣接する
短管に着脱可能に設けられていると、タンク底部内での
上記気泡放出管の組み立てや分解撤去が容易に行なわれ
るようになる。 (5) 隣接する上記小穴付き短管の相互間に、一端にソケ
ットを有するとともに他端にプラグを有する可撓継手管
が介装されていると、上記気泡放出管をタンク底部内で
リング状に配設する作業が大幅に簡易化されるようにな
る。
ドレン水撹拌装置によれば、次のような効果が得られ
る。 (1) エア配管を通じて供給される空気をタンク底部内の
ドレン水中で気泡放出器の小穴から噴出させることによ
りドレン水を撹拌して、ドレン水中の固形物を溶け込ま
せたり均一化させたりしてタンク底部への堆積を抑制
し、その流動性を十分に高めるようにしながらポンプ等
でドレン水の排出を行なうことができる。したがってタ
ンク底部の堆積物を人手により排出するというような従
来の危険な作業が不要になる。 (2) 上記気泡放出器が上記エア配管の下端にエアホース
を介して接続されるリング状の小穴付き気泡放出管とし
て形成されていると、タンク底部内のドレン水中への気
泡の放出が一様に行なわれるので、ドレン水の撹拌によ
る流動性の付与が効率よく行なわれるようになる。 (3) 上記リング状の小穴付き気泡放出管が同心円状に複
数個配設されていると、上記流動性の付与作用が一層効
率よく行なわれるようになる。 (4) 上記リング状の小穴付き気泡放出管が、多数の小穴
付き短管を相互に接続して形成され、同短管が一端にソ
ケットを有するとともに他端にプラグを有して隣接する
短管に着脱可能に設けられていると、タンク底部内での
上記気泡放出管の組み立てや分解撤去が容易に行なわれ
るようになる。 (5) 隣接する上記小穴付き短管の相互間に、一端にソケ
ットを有するとともに他端にプラグを有する可撓継手管
が介装されていると、上記気泡放出管をタンク底部内で
リング状に配設する作業が大幅に簡易化されるようにな
る。
【図1】本発明の一実施例としてのタンク内ドレン水撹
拌装置の概略構成をタンクの一部を破断して示す斜視図
である。
拌装置の概略構成をタンクの一部を破断して示す斜視図
である。
【図2】(a)図は可撓継手管を示す平面図であり、(b)図
は小穴付き短管を示す平面図である。
は小穴付き短管を示す平面図である。
【図3】図1のタンク内ドレン水撹拌装置の具体的構成
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
1 球形タンク 2 パイプタワー 3 注水された水 4 工事孔 5 ドレン水 6 小穴付き短管 7 ソケット 8 プラグ 9 ソケット 10 小穴 11 可撓継手管 12 ソケット 13 プラグ 14 工場エアタンク 15 エア配管 16,17 エアホース 18 気泡放出器としてのリング状の小穴付き気泡放出管 19 気泡
Claims (5)
- 【請求項1】 タンクの上方から同タンク底部内へ垂設
されるエア配管と、同エア配管の下端部に接続された気
泡放出器とをそなえ、同気泡放出器がタンク底部内のド
レン水を撹拌するための多数の気泡放出用小穴を形成さ
れていることを特徴とする、タンク内ドレン水撹拌装
置。 - 【請求項2】 請求項1に記載のタンク内ドレン水撹拌
装置において、上記エア配管が上記タンク内に設置され
るパイプタワーの壁部に沿って複数本配設され、上記気
泡放出器が上記エア配管の下端にエアホースを介して接
続されるリング状の小穴付き気泡放出管として形成され
ていることを特徴とする、タンク内ドレン水撹拌装置。 - 【請求項3】 請求項2に記載のタンク内ドレン水撹拌
装置において、上記リング状の小穴付き気泡放出管が上
記パイプタワーを中心として同心円状に複数個配設され
ていることを特徴とする、タンク内ドレン水撹拌装置。 - 【請求項4】 請求項2または3に記載のタンク内ドレ
ン水撹拌装置において、上記リング状の小穴付き気泡放
出管が、多数の小穴付き短管を相互に接続して形成さ
れ、同短管が一端にソケットを有するとともに他端にプ
ラグを有して隣接する短管に着脱可能に設けられている
ことを特徴とする、タンク内ドレン水撹拌装置。 - 【請求項5】 請求項4に記載のタンク内ドレン水撹拌
装置において、隣接する上記小穴付き短管の相互間に、
一端にソケットを有するとともに他端にプラグを有する
可撓継手管が介装されていることを特徴とする、タンク
内ドレン水撹拌装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6259150A JPH0899073A (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | タンク内ドレン水撹拌装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6259150A JPH0899073A (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | タンク内ドレン水撹拌装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0899073A true JPH0899073A (ja) | 1996-04-16 |
Family
ID=17330037
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6259150A Withdrawn JPH0899073A (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | タンク内ドレン水撹拌装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0899073A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100523935B1 (ko) * | 2003-12-15 | 2005-10-26 | 한국표준과학연구원 | 화학 기상 증착공정을 위한 전구체의 기화장치 |
-
1994
- 1994-09-29 JP JP6259150A patent/JPH0899073A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100523935B1 (ko) * | 2003-12-15 | 2005-10-26 | 한국표준과학연구원 | 화학 기상 증착공정을 위한 전구체의 기화장치 |
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