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JPH0829457A - Electric field sensor device - Google Patents

Electric field sensor device

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Publication number
JPH0829457A
JPH0829457A JP6160987A JP16098794A JPH0829457A JP H0829457 A JPH0829457 A JP H0829457A JP 6160987 A JP6160987 A JP 6160987A JP 16098794 A JP16098794 A JP 16098794A JP H0829457 A JPH0829457 A JP H0829457A
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JP
Japan
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optical
electric field
substrate
sensor device
field sensor
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Application number
JP6160987A
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Japanese (ja)
Other versions
JP3049190B2 (en
Inventor
Nobuo Kuwabara
伸夫 桑原
Ryuichi Kobayashi
隆一 小林
Toru Sugamata
徹 菅又
Junichiro Minowa
純一郎 箕輪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Osaka Cement Co Ltd
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Sumitomo Osaka Cement Co Ltd
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
Application filed by Sumitomo Osaka Cement Co Ltd, Nippon Telegraph and Telephone Corp filed Critical Sumitomo Osaka Cement Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To provide a high sensitivity device by deforming a base plate with the application of a stress for changing the length of an optical waveguide so as to produce a phase difference in the light wave, so that the light bias control of a light modulator can be made possible without applying a DC bias. CONSTITUTION:When a stress is applied to a base plate 4 by means of a stress application device 14, the base plate 4 whose one end has been fixed to a casing 8 by a fixing device 15 is deflected. In this case, when two optical waveguides 5a, 5b lie in the position symmetrical with regard to the enter line of the base plate 4, tension is applied to one side of the optical waveguides 5a, 5b, and compression is applied to the other side thereof, so that the one side is extended, while the other side is contracted. Accordingly, the phase of the light wave on one side propagating through the optical waveguide 5a, 5b is advanced, while the phase of the light wave on the other side is delayed, so that a phase difference in the light waves in both the optical waveguides is caused, and a strongly modulated optical signal can be obtained. Thus, even in the state where a voltage is not applied and the DC bias is zero, the light bias control of a light modulator is made possible, and by using this, a device having high sensitibily and large in the dynamic range can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光導波路型光変調器を
用いた電界センサ装置に関し、特に、CATV等のアナ
ログ光信号を用いた高速光通信システム、電磁界計測等
に適用して有効な技術に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electric field sensor device using an optical waveguide type optical modulator, and is particularly effective when applied to a high speed optical communication system using an analog optical signal such as CATV, electromagnetic field measurement and the like. Technology.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般的に、CATV等のアナログ光信号
を用いた高速光通信システム、電磁界計測の分野におい
て、光導波路を用いた光変調器が用いられている。
2. Description of the Related Art Generally, an optical modulator using an optical waveguide is used in the fields of high-speed optical communication systems using analog optical signals such as CATV and electromagnetic field measurement.

【0003】電磁界計測に用いられる電界センサ装置の
構成を図9に示す。図9において、1は光変調器に無変
調の光電力を送るための光源、2は偏波面保持ファイバ
内部を伝搬する光波の偏波と光源の偏波との関係を調整
し、直線偏向の光波がファイバ内を伝搬するようにする
ための偏波補償器、3は光源の光電力を光変調器に伝搬
するための偏波面保持ファイバ、4は光変調器がその上
に形成されている電気光学効果を持つ材料で作られた基
板、5は光導波路、6は光変調器の電極、7は電界セン
サ装置の金属ロッド、8は電界センサ装置の光変調器を
収容した筐体、9は光変調器と光検出器を結ぶシングル
モード光ファイバ、10は光検出器、11は光検出器で
変換した電気信号レベルを測定するためのレベルメータ
である。
FIG. 9 shows the configuration of an electric field sensor device used for electromagnetic field measurement. In FIG. 9, 1 is a light source for sending unmodulated optical power to an optical modulator, 2 is a relationship between the polarization of a light wave propagating in the polarization maintaining fiber and the polarization of the light source, and linear polarization A polarization compensator for propagating a light wave in the fiber, a polarization maintaining fiber 3 for propagating the optical power of the light source to the optical modulator, and an optical modulator 4 formed thereon. A substrate made of a material having an electro-optical effect, 5 an optical waveguide, 6 an electrode of an optical modulator, 7 a metal rod of an electric field sensor device, 8 a housing accommodating an optical modulator of an electric field sensor device, 9 Is a single mode optical fiber connecting an optical modulator and a photodetector, 10 is a photodetector, and 11 is a level meter for measuring the electric signal level converted by the photodetector.

【0004】電磁界計測、特に、EMC(電磁環境)の
分野では、オートマチック車の暴走事件に代表されるよ
うに、近年、電灯のスイッチから放射される妨害波等に
よりディジタル処理回路が誤操作を起こす現象が問題と
なってきており、このようなインパルス性の妨害波レベ
ルを測定するためのアンテナが必要とされている。
In the field of electromagnetic field measurement, especially in the field of EMC (electromagnetic environment), as typified by a runaway accident of an automatic vehicle, a digital processing circuit is erroneously operated by a disturbance wave emitted from a switch of an electric lamp in recent years. The phenomenon is becoming a problem, and an antenna for measuring such impulsive disturbance wave level is required.

【0005】インパルス性の電磁界を測定するためのア
ンテナとして現在は、微小ダイポールアンテナ、円錐ア
ンテナやホーンアンテナが使用されている。しかし、こ
れらのアンテナはアンテナと信号の測定器間の接続に同
軸ケーブルを使用しているため、測定した電磁界の特性
にケーブルの影響が出てしまい、測定レベルがケーブル
の配置状況により変動してしまう。そこで、電磁界を検
出するセンサ部と測定器間を光ファイバで結ぶ電界セン
サ装置が検討されている。
At present, a small dipole antenna, a conical antenna or a horn antenna is used as an antenna for measuring an impulsive electromagnetic field. However, these antennas use a coaxial cable to connect between the antenna and the signal measuring instrument, so the measured electromagnetic field characteristics are affected by the cable, and the measurement level varies depending on the cable layout. Will end up. Therefore, an electric field sensor device in which a sensor unit for detecting an electromagnetic field and a measuring instrument are connected by an optical fiber is under study.

【0006】特に、図9に示す電界センサ装置は、バッ
テリーを内蔵する必要がなく、広い周波数帯域に渡って
一定の感度特性が得られるので、パルス性の妨害波の測
定や情報装置の妨害波に対する耐力を試験するための試
験装置の特性評価に有効である。
In particular, the electric field sensor device shown in FIG. 9 does not need to have a built-in battery and can obtain a constant sensitivity characteristic over a wide frequency band. Therefore, it is possible to measure a pulsed interference wave or an interference wave of an information device. It is effective for the characteristic evaluation of the test equipment for testing the proof stress against.

【0007】この電界センサ装置は、光源として波長
1.3μmのレーザダイオードを、電気光学効果を持つ
結晶としてニオブ酸リチウムを使用している。レーザダ
イオードを出た光波は偏波面保持ファイバ3を伝搬し
て、基板4、光導波路5、光変調器の電極6、電界セン
サ装置の金属ロッド7、筐体8に達する。
This electric field sensor device uses a laser diode having a wavelength of 1.3 μm as a light source and lithium niobate as a crystal having an electro-optical effect. The light wave emitted from the laser diode propagates through the polarization maintaining fiber 3 and reaches the substrate 4, the optical waveguide 5, the electrode 6 of the optical modulator, the metal rod 7 of the electric field sensor device, and the housing 8.

【0008】光変調器の構造を図10に示す。図10で
12、13は光導波路である。図10に示す光変調器
は、マツハチェンダ光干渉計を用いており、入射した光
は2つの光導波路12、13にいったん分離され再び結
合され、2本の導波路を通る光の位相差により強度変調
された光信号が得られる。
The structure of the optical modulator is shown in FIG. In FIG. 10, 12 and 13 are optical waveguides. The optical modulator shown in FIG. 10 uses a Matsuhachender optical interferometer, and the incident light is once separated into two optical waveguides 12 and 13 and recombined, and the intensity is increased by the phase difference of the light passing through the two waveguides. A modulated optical signal is obtained.

【0009】いま、金属ロッド7を電界中に置くと、電
磁誘導により電極6間に電圧が誘起され、図11に示す
ように電界が印加される。このとき、図11に示すよう
に、導波路12には下方向の電界が導波路13には上方
向の電界が印加される。電界が印加されると、電気光学
効果により導波路の屈折率が変化する。この場合、電界
の印加する方向が導波路12と導波路13では反対方向
であるため、一方の導波路を進む光波は位相が進み、一
方の導波路の光波は位相が遅れる。従って、これらの導
波路を伝搬する光波の位相差、すなわち、印加された電
圧に比例した強度変調光信号が得られる。
Now, when the metal rod 7 is placed in an electric field, a voltage is induced between the electrodes 6 by electromagnetic induction, and the electric field is applied as shown in FIG. At this time, as shown in FIG. 11, a downward electric field is applied to the waveguide 12 and an upward electric field is applied to the waveguide 13. When an electric field is applied, the refractive index of the waveguide changes due to the electro-optic effect. In this case, since the directions in which the electric field is applied are the opposite directions in the waveguide 12 and the waveguide 13, the phase of the light wave traveling through one of the waveguides is advanced, and the phase of the light wave of the one waveguide is delayed. Therefore, an intensity-modulated optical signal proportional to the phase difference of the light waves propagating through these waveguides, that is, the applied voltage can be obtained.

【0010】光信号はシングルモード光ファイバ9を伝
搬し、光検出器10に送られる。光検出器10で電気信
号に変換された光信号レベルをレベルメータで測定する
ことにより、電界強度を求めることができる。
The optical signal propagates through the single mode optical fiber 9 and is sent to the photodetector 10. The electric field strength can be obtained by measuring the optical signal level converted into an electric signal by the photodetector 10 with a level meter.

【0011】この時の、電界強度Eと光検出器の出力レ
ベルVの関係は式(1)で表される。
At this time, the relationship between the electric field strength E and the output level V of the photodetector is expressed by the equation (1).

【0012】[0012]

【数1】 Vr=0.5ηlout *〔1+cos{((Ehe/(1+jωCma))/V0)π+φ}〕 …(1) 数1において、 V0:光変調器の半波長電圧 lout:光変調器の最大光電力出力レベル η:光検出器の変換効率 he:2本の金属ロッドで構成されるダイポールエレメ
ントの実効長 Cm:光変調器の入力容量 Za:2本の金属ロッドで構成されるダイポールエレメ
ントの駆動点インピーダンス φ:電界を印加しない時の導波路12と13を伝搬する
光波の位相差(光バイアス角) である。
## EQU1 ## V r = 0.5 ηl out * [1 + cos {((Eh e / (1 + jωC m Z a )) / V 0 ) π + φ}] (1) In Expression 1, V 0 : Half of the optical modulator wavelength voltage l out: maximum optical power output level of the optical modulator eta: conversion efficiency h e photodetectors: effective length of the dipole elements composed of two metal rods C m: input capacitance of the optical modulator Z a : Drive point impedance of dipole element composed of two metal rods φ: Phase difference (optical bias angle) of light waves propagating in the waveguides 12 and 13 when no electric field is applied.

【0013】電界センサ装置の電極に印加させる電圧と
電界センサ装置の光電力出力レベルの関係を図12に示
す。測定では電界センサ装置のエレメントに三角波を印
加し、光検出器の出力レベルVr変化を測定した。式
(1)より電極間に印加される電圧Vxと光検出器の出
力レベルVrの関係は式(2)となる。
FIG. 12 shows the relationship between the voltage applied to the electrodes of the electric field sensor device and the optical power output level of the electric field sensor device. In the measurement, a triangular wave was applied to the element of the electric field sensor device, and the output level V r change of the photodetector was measured. From the equation (1), the relationship between the voltage V x applied between the electrodes and the output level V r of the photodetector is given by the equation (2).

【0014】[0014]

【数2】 Vr=0.5ηlout*〔1+cos{(Vx/V0)π+φ}〕 …(2) 光電力出力レベルは、光検出器の出力レベルVrに比例
するので、光検出器の出力レベルを測定することによ
り、光電力出力レベルの変動を測定することができる。
式(2)に示すように、印加電圧Vxを変化させると図
12に示すようなサインカーブを描く。印加電圧がゼロ
の時、式(2)は式(3)となる。
V r = 0.5 ηl out * [1 + cos {(V x / V 0 ) π + φ}] (2) Since the optical power output level is proportional to the output level V r of the photodetector, the optical detection By measuring the output level of the lamp, the fluctuation of the optical power output level can be measured.
As shown in Expression (2), when the applied voltage V x is changed, a sine curve as shown in FIG. 12 is drawn. When the applied voltage is zero, equation (2) becomes equation (3).

【0015】[0015]

【数3】 Vr=0.5ηlout*〔1+cos{φ}〕…(3) 図9に示すように、電界センサ装置に使用する光変調器
は、DCバイアスを印加しないので、この状態で動作す
る。式(3)に示すように、この時の光電力レベルは光
バイアス角(φ)により決まる。
## EQU00003 ## V r = 0.5 ηl out * [1 + cos {φ}] (3) As shown in FIG. 9, the optical modulator used in the electric field sensor device does not apply a DC bias. Operate. As shown in Expression (3), the optical power level at this time is determined by the optical bias angle (φ).

【0016】[0016]

【発明が解決しようとする課題】ところで、マツハチェ
ンダ光干渉計の場合、通常、光導波路12、13の長さ
は同じになるように製造される。なぜならば、現在の技
術では、導波路の個々の長さを光の位相を考慮してコン
トロールすることは困難であるからである。その場合、
電圧を印加しない状態(DCバイアスがゼロの場合)で
は2つの導波路を伝搬する光波の位相差がゼロ(光バイ
アス角がゼロ)となり、式(3)より光電力出力レベル
は最大となる。図12では、印加電圧がゼロの時、光電
力出力レベルはほぼ最大となっており、従来の変調器は
光バイアス角をほぼゼロの状態で使用していることがわ
かる。
By the way, in the case of the Matsuhachender optical interferometer, the optical waveguides 12 and 13 are usually manufactured so that the lengths thereof are the same. This is because with the current technology, it is difficult to control the individual lengths of the waveguides in consideration of the phase of light. In that case,
In the state where no voltage is applied (when the DC bias is zero), the phase difference between the light waves propagating through the two waveguides is zero (the optical bias angle is zero), and the optical power output level becomes maximum from the formula (3). In FIG. 12, when the applied voltage is zero, the optical power output level is almost maximum, and it can be seen that the conventional modulator is used with the optical bias angle being almost zero.

【0017】この場合の光変調器の入力レベルと変調さ
れた光信号レベルの関係を図13に示す。図13に示す
ように、光バイアス角がゼロ(図の光電力の値が最大に
なる点)に近づくと、光電力出力レベルと印加電圧の関
係を表す曲線の傾きが小さくなり(光バイアス角がゼロ
の場合、曲線の傾きはゼロ)、変調効率が悪くなる(す
なわち、電界センサ装置の感度が下がる)ことがわか
る。また、この位置では、曲線の直線部分が短く、ダイ
ナミックレンジが小さくなる欠点があることもわかる。
FIG. 13 shows the relationship between the input level of the optical modulator and the modulated optical signal level in this case. As shown in FIG. 13, when the optical bias angle approaches zero (the point where the value of the optical power in the figure is the maximum), the slope of the curve representing the relationship between the optical power output level and the applied voltage decreases (the optical bias angle It can be seen that when is zero, the slope of the curve is zero) and the modulation efficiency becomes poor (that is, the sensitivity of the electric field sensor device decreases). It can also be seen that at this position, the straight line portion of the curve is short and the dynamic range is small.

【0018】本発明は、前記問題点を解決するためにな
されたものであり、本発明の目的は、DCバイアスを印
加しなくても、光バイアスの制御が可能な導波路型光変
調器を用いて、高感度でダイナミックレンジの大きな電
界センサ装置を実現することが可能な技術を提供するこ
とにある。
The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a waveguide type optical modulator capable of controlling an optical bias without applying a DC bias. It is intended to provide a technique capable of realizing an electric field sensor device having high sensitivity and a large dynamic range by using the electric field sensor device.

【0019】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
にする。
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

【0020】[0020]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば以下
のとおりである。
The outline of the representative one of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.

【0021】(1)直列に配置された2つの金属棒と、
該金属棒間に形成された空隙と、該空隙内に設けられた
光変調器とを有する電界センサ装置であって、前記光変
調器が、電気光学効果を有する基板に少なくとも2本の
光導波路と、これらの光導波路を伝搬する光波を制御す
る制御電極と、前記基板上の各光導波路の長さに差を生
じさせる手段を備えたものである。
(1) Two metal rods arranged in series,
An electric field sensor device comprising an air gap formed between the metal rods and an optical modulator provided in the air gap, wherein the optical modulator has at least two optical waveguides on a substrate having an electro-optical effect. And a control electrode for controlling a light wave propagating through these optical waveguides, and a means for producing a difference in length between the optical waveguides on the substrate.

【0022】(2)直列に配置された2つの金属棒と、
該金属棒間に形成された空隙と、該空隙内に設けられた
光変調器とを有する電界センサ装置であって、前記光変
調器が、電気光学効果を有する基板に少なくとも2本の
光導波路と、これらの光導波路を伝搬する光波を制御す
る制御電極と、前記基板の各光導波路の光波の伝搬方向
とは直角でかつ導波路が形成されている面及びその対向
面以外の面の1点から応力を印加して前記基板を変形さ
せ、前記各光導波路を伝搬する光波の位相差を変化させ
る手段を備えたものである。
(2) Two metal rods arranged in series,
An electric field sensor device comprising an air gap formed between the metal rods and an optical modulator provided in the air gap, wherein the optical modulator has at least two optical waveguides on a substrate having an electro-optical effect. A control electrode for controlling a light wave propagating through these optical waveguides, and a surface other than a surface which is perpendicular to the propagation direction of the light wave of each optical waveguide of the substrate and on which the waveguide is formed and its opposing surface. It is provided with a means for applying a stress from a point to deform the substrate to change the phase difference of the light waves propagating through the respective optical waveguides.

【0023】(3)前記(1)または(2)の電界セン
サ装置において、光変調器は、2本の光導波路の干渉を
用いたマツハチェンダ型光変調器である。
(3) In the electric field sensor device according to the above (1) or (2), the optical modulator is a Matsuhachender type optical modulator using the interference of two optical waveguides.

【0024】(4)前記(1)乃至(3)のうちいずれ
か1つの電界センサ装置において、光変調器の基板を形
成する電気光学結晶はニオブ酸リチウムである。
(4) In the electric field sensor device according to any one of (1) to (3), the electro-optical crystal forming the substrate of the optical modulator is lithium niobate.

【0025】[0025]

【作用】前述した手段によれば、印加電圧と光電力出力
の関係はサイン曲線で表されるので、光電力出力レベル
が最大値の半分の位置(光バイアス角φが90度)に調
整すれば、ダイナミックレンジ及び感度を最も良くする
ことができる。この光バイアス角での印加電圧レベルと
光変調信号出力レベルの関係を図8に示す。図8に示す
ように、この光バイアス角での曲線の傾きが最も大き
く、感度もこの光バイアス角で最も大きいことがわか
る。
According to the above-mentioned means, since the relationship between the applied voltage and the optical power output is represented by a sine curve, it is possible to adjust the optical power output level to the half of the maximum value (optical bias angle φ is 90 degrees). If so, the dynamic range and sensitivity can be maximized. FIG. 8 shows the relationship between the applied voltage level and the optical modulation signal output level at this optical bias angle. As shown in FIG. 8, it can be seen that the slope of the curve at this optical bias angle is the largest and the sensitivity is also the largest at this optical bias angle.

【0026】[0026]

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0027】なお、実施例を説明するための全図におい
て、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り
返しの説明は省略する。
In all the drawings for explaining the embodiments, those having the same function are designated by the same reference numerals, and the repeated description thereof will be omitted.

【0028】図1は本発明による一実施例の電界センサ
装置の概略構成を示す平面図、図2は図1の丸印で示す
部分の拡大図、図3は図1のA−A線で切った断面図、
図4は図1のB−B線で切った断面図、図5は本実施例
の光導波路の変形量の解析に用いたモデルを示す図であ
る。
FIG. 1 is a plan view showing a schematic structure of an electric field sensor device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged view of a portion indicated by a circle in FIG. 1, and FIG. 3 is a line AA in FIG. Cross section,
FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 1, and FIG. 5 is a diagram showing a model used for analyzing the amount of deformation of the optical waveguide of this embodiment.

【0029】図1乃至図5において、3は光源の光電力
を光変調器に伝搬するための偏波面保持ファイバ、4は
光変調器がその上に形成されている電気光学効果を持つ
材料で作られた基板、5a,5bは光導波路、6は光変
調器の電極、7は金属ロッド(金属棒)、8は電界セン
サ装置の光変調器を収容した筐体、9は光変調器と光検
出器を結ぶシングルモード光ファイバ、14は光変調器
が形成されている基板に外力を与えて応力を印加するた
めの応力印加装置(例えば、応力印加用のナイロン製の
ネジを用いる)、15は基板4を固定するための固定装
置、16はナイロン製のナットである。
In FIGS. 1 to 5, 3 is a polarization-maintaining fiber for propagating the optical power of the light source to the optical modulator, and 4 is a material having an electro-optical effect on which the optical modulator is formed. The fabricated substrates, 5a and 5b are optical waveguides, 6 is an electrode of an optical modulator, 7 is a metal rod (metal rod), 8 is a housing containing the optical modulator of the electric field sensor device, and 9 is an optical modulator. A single mode optical fiber connecting the photodetectors, 14 is a stress applying device for applying an external force to the substrate on which the optical modulator is formed to apply stress (for example, a nylon screw for stress application is used), Reference numeral 15 is a fixing device for fixing the substrate 4, and 16 is a nylon nut.

【0030】前記基板4としては、長さ55mm、幅1
mm、厚さ0.5mmのニオブ酸リチウムの結晶を使用
し、この結晶上にチタンを拡散してマツハチェンダ光干
渉計を構成している。電極6の長さは40mm、半波長
電圧は約3V、電極間容量は約10pFである。
The substrate 4 has a length of 55 mm and a width of 1
A lithium niobate crystal having a thickness of 0.5 mm and a thickness of 0.5 mm is used, and titanium is diffused on the crystal to form a Matsuhachender optical interferometer. The electrode 6 has a length of 40 mm, a half-wave voltage of about 3 V, and an inter-electrode capacitance of about 10 pF.

【0031】また、図3に示すように、筐体8はアクリ
ル製であり、その側面にナイロン製の応力印加装置(応
力印加用のナイロン製のネジ)14が取り付けられてい
る。このナイロン製の応力印加装置14がゆるまないよ
うにナイロン製のナット17を介在させてある。このよ
うして、アクリル製の筐体8にナイロン製の応力印加装
置14を取り付けることにより、基板4の側面方向に応
力を印加している。
Further, as shown in FIG. 3, the housing 8 is made of acrylic, and a nylon stress applying device (stress applying nylon screw) 14 is attached to the side surface thereof. A nylon nut 17 is interposed so that the nylon stress applying device 14 does not loosen. In this way, by attaching the nylon stress applying device 14 to the acrylic housing 8, stress is applied in the lateral direction of the substrate 4.

【0032】本実施例の電界センサ装置は、図1,図
2、図3及び図4に示すように、基板4上に設けられて
いる2つの光導波路5a,5bを備え、これらの2つの
光導波路5a,5bの長手方向と直角でかつ光導波路が
形成されている面及びその対抗する面ではない面から応
力をナイロン製の応力印加装置14により印加し、基板
4を変形させ、光導波路5a,5bの長さを変えること
により、2つの光導波路5a,5bを伝搬する光波の位
相差を変化させ、光バイアス角を制御する光変調器を用
いている。
As shown in FIGS. 1, 2, 3, and 4, the electric field sensor device of this embodiment is provided with two optical waveguides 5a and 5b provided on the substrate 4, and these two optical waveguides 5a and 5b are provided. Stress is applied by a stress applying device 14 made of nylon from a surface that is perpendicular to the longitudinal direction of the optical waveguides 5a and 5b and is not a surface on which the optical waveguides are formed or a surface that opposes the optical waveguides, and the substrate 4 is deformed. An optical modulator is used which controls the optical bias angle by changing the phase difference between the light waves propagating through the two optical waveguides 5a and 5b by changing the lengths of 5a and 5b.

【0033】図1,図2、図3及び図4において、応力
印加装置14により基板4に応力を印加すると、基板4
の別の端は、固定装置15により筐体8に固定されてい
るので、図1に示すようにたわむ。この場合、2本の光
導波路5a,5bが基板4の中心線に対して対称の位置
にあれば、一方の光導波路5aには引っ張り応力が、も
う一方の光導波路5bには圧縮応力が加わるため、一方
の導波路5aの長さは伸び、もう一方の導波路5bの長
さは縮む。
In FIGS. 1, 2, 3 and 4, when stress is applied to the substrate 4 by the stress applying device 14, the substrate 4
The other end of is fixed to the housing 8 by the fixing device 15 and therefore bends as shown in FIG. In this case, if the two optical waveguides 5a and 5b are located symmetrically with respect to the center line of the substrate 4, a tensile stress is applied to one optical waveguide 5a and a compressive stress is applied to the other optical waveguide 5b. Therefore, the length of the one waveguide 5a extends and the length of the other waveguide 5b contracts.

【0034】この解析モデルを図5に示す。このような
場合、基板4は一端を固定された弾性体と考えられ、別
の一端に変形を与えた場合、基板4は変位量で決まる半
径rの円の円弧の一部を描く。従って、2つの光導波路
5a,5bの長さ、L1、L2は、図5に示す解析モデル
を用いれば、近似的には式(4)、(5)で表される。
This analytical model is shown in FIG. In such a case, the substrate 4 is considered as an elastic body having one end fixed, and when the other end is deformed, the substrate 4 draws a part of an arc of a circle having a radius r determined by the displacement amount. Therefore, the lengths L 1 and L 2 of the two optical waveguides 5a and 5b are approximately represented by equations (4) and (5) using the analytical model shown in FIG.

【0035】[0035]

【数4】 L1=2*(r+△r/2)α+k△L0/2…(4)[Number 4] L 1 = 2 * (r + △ r / 2) α + k △ L 0/2 ... (4)

【0036】[0036]

【数5】 L2=2*(r−△r/2)α−k△L0/2…(5) ここで[Number 5] L 2 = 2 * (r- △ r / 2) α-k △ L 0/2 ... (5) here

【0037】[0037]

【数6】r=d/(2*sin2α)…(6)[Equation 6] r = d / (2 * sin 2 α) (6)

【0038】[0038]

【数7】α=Tan~1(d/a)…(7) d:基板4の応力印加による変形量(図5参照) a:基板4の固定部と応力印加部との距離(図5参照) △r:2つの光導波路5a,5bの間隔 △L0:応力を印加しない時の光導波路の長さの差 k:係数(L1の方が長い時は1、L2の方が長い時は−
1) である。
## EQU7 ## α = Tan to 1 (d / a) (7) d: Deformation amount of substrate 4 due to stress application (see FIG. 5) a: Distance between fixed part of substrate 4 and stress application part (FIG. 5) Δr: Distance between the two optical waveguides 5a and 5b ΔL 0 : Difference in length of optical waveguide when stress is not applied k: Coefficient ( 1 when L 1 is longer, L 2 is longer Long time-
1) is.

【0039】従って、応力を印加した時の、導波路の長
さの差(△L)は式(8)となる。
Therefore, the difference (ΔL) in the length of the waveguide when stress is applied is given by equation (8).

【0040】[0040]

【数8】 △L=L1−L2=2*△rα+k△L0…(8) 従って位相差(△β)は式(9)となる。[Formula 8] ΔL = L 1 −L 2 = 2 * Δrα + kΔL 0 (8) Therefore, the phase difference (Δβ) is given by the formula (9).

【0041】[0041]

【数9】 △β=β(L1−L2)=β△L …(9) β:光波の位相定数 ここでΔβ = β (L 1 −L 2 ) = βΔL (9) β: phase constant of light wave

【0042】[0042]

【数10】 β=2π/λg=2π/(λ/n)…(10) λ:光波の自由空間での波長 n:導波路の屈折率 であるので、Β = 2π / λ g = 2π / (λ / n) (10) λ: wavelength of light wave in free space n: refractive index of waveguide

【0043】[0043]

【数11】△β=2π(n/λ)△L=4π(n/λ)
*△rα+2π(n/λ)k△L0…(11) となる。
Δβ = 2π (n / λ) ΔL = 4π (n / λ)
* Δrα + 2π (n / λ) kΔL 0 (11)

【0044】式(11)おいて、第1項目は、応力を印
加し、基板4を変形させることにより生じる位相変化、
第2項目は製造工程の中で生じる位相変化である。現在
の技術では、光導波路の長さを制御することは困難であ
る。本発明は、このような製造工程で発生した誤差を応
力を印加することにより補正できる特徴もある。
In equation (11), the first item is a phase change caused by applying stress to deform the substrate 4,
The second item is the phase change that occurs during the manufacturing process. With the current technology, it is difficult to control the length of the optical waveguide. The present invention also has a feature that an error generated in such a manufacturing process can be corrected by applying stress.

【0045】基板4の変形量と光バイアス角の関係の測
定例を図6に示す。測定では、ニオブ酸リチウムからな
る基板(厚さ0.5mm、幅1mm、長さ55mm)4
上に形成したマツハチェンダ型光変調器を用いて固定部
から50mmの位置で基板4の幅方向に応力を印加し、
印加部における基板4の変形量と光バイアス角の関係を
測定した。
FIG. 6 shows a measurement example of the relationship between the amount of deformation of the substrate 4 and the optical bias angle. In the measurement, a substrate made of lithium niobate (thickness 0.5 mm, width 1 mm, length 55 mm) 4
A stress is applied in the width direction of the substrate 4 at a position of 50 mm from the fixed portion by using the above-mentioned Matsuha Chenda type optical modulator,
The relationship between the amount of deformation of the substrate 4 and the optical bias angle in the applying section was measured.

【0046】また、図6に示す直線は、式(11)を用
いて求めた理論値である。k△Lの値は応力を印加しな
い時の光バイアス角から求めた。光波の波長は測定に用
いた1.3μmとし、光導波路の屈折率nはニオブ酸リ
チウムからなる基板4の平均的な値として2.2とし
た。
The straight line shown in FIG. 6 is a theoretical value obtained by using the equation (11). The value of kΔL was obtained from the optical bias angle when no stress was applied. The wavelength of the light wave was 1.3 μm used in the measurement, and the refractive index n of the optical waveguide was 2.2 as the average value of the substrate 4 made of lithium niobate.

【0047】図6に示すように、理論値と測定値は良く
一致しており、この位相変化が光導波路の長さの変化に
より生じていることがわかる。
As shown in FIG. 6, the theoretical value and the measured value are in good agreement, and it can be seen that this phase change is caused by the change in the length of the optical waveguide.

【0048】ニオブ酸リチウムは応力を加えることによ
り、光学定数が変化する特徴もあるが、図6に示すよう
に、変形量は0.2mmと非常に少なく、印加した応力
も4g以下であり、応力による光学定数の変化は光バイ
アス角にほとんど影響を与えていない。例えば、応力を
印加する冶具としてナイロン(線膨張係数1.0×10~
4/℃)を使用すれば、1℃当りの光バイアス角変化は
0.001deg/℃以下となる。
Lithium niobate has a characteristic that the optical constant changes by applying stress, but as shown in FIG. 6, the deformation amount is very small as 0.2 mm, and the applied stress is 4 g or less. The change of the optical constant due to the stress has little effect on the optical bias angle. For example, nylon (a linear expansion coefficient of 1.0 × 10 ~
4 / ° C.), the change in the optical bias angle per 1 ° C. is 0.001 deg / ° C. or less.

【0049】また、応力を印加することにより、基板の
光学定数を変化させ、光バイアス角を制御することも考
えられるが、そのためには、大きな応力を印加する必要
があり、また、温度を変化させた場合、印加冶具の少し
の膨張・収縮により印加する応力が大きく変化し、安定
な制御ができないという問題がある。
It is also conceivable that the optical constant of the substrate is changed by applying stress to control the optical bias angle, but in order to do so, it is necessary to apply large stress and the temperature is changed. In such a case, there is a problem that the applied stress changes greatly due to a slight expansion / contraction of the application jig, and stable control cannot be performed.

【0050】しかし、本発明の方法では、基板4に変形
を加えているのみであるので、応力印加冶具の温度変形
に対しても、基板4の変形はゆるやかであり、光バイア
ス角は大きく変化しない。従って、周囲温度変動に対し
て安定な光変調器を提供できる。
However, in the method of the present invention, since the substrate 4 is only deformed, the deformation of the substrate 4 is gentle even with the temperature deformation of the stress applying jig, and the optical bias angle changes greatly. do not do. Therefore, it is possible to provide an optical modulator that is stable against ambient temperature fluctuations.

【0051】また、これまでに述べた電界センサ装置用
光変調器は、電界センサ装置だけでなく、従来は光変調
器を最も直線性の良い位置に制御するために、DCバイ
アスを加えていた、CATV等のアナログ光信号を用い
た光通信に用いる場合についても、応用が可能である。
特に、DCバイアスを印加した場合、DCドリフトとい
う現象が生じ、一定のDC電圧を印加しても、光バイア
ス角を一定値に保てない問題点があり、この問題点を解
決した光通信システムを実現できる特徴がある。
The optical modulator for the electric field sensor device described so far has been applied with a DC bias not only to control the electric field sensor device but also to control the optical modulator to the position with the best linearity. The present invention can also be applied to the case of using for optical communication using analog optical signals such as CATV.
In particular, when a DC bias is applied, a phenomenon called DC drift occurs, and even if a constant DC voltage is applied, there is a problem that the optical bias angle cannot be maintained at a constant value. An optical communication system that solves this problem There is a feature that can be realized.

【0052】また、基板4に応力を印加し光導波路に非
対称な歪みを加えるためには、基板4の幅はできるだけ
狭いことが望ましいが、あまり狭いと機械的強度が落ち
るので、10mm程度から1mm程度までが実際的な値
である。
Further, in order to apply stress to the substrate 4 and apply asymmetrical strain to the optical waveguide, it is desirable that the width of the substrate 4 be as narrow as possible, but if it is too narrow, the mechanical strength will drop, so it is from about 10 mm to 1 mm. The degree is a practical value.

【0053】本実施例の半波長電圧の測定結果を図7に
示す。図7に示すように、本実施例では、光バイアス角
の調整機構を持っているため、最もダイナミックレンジ
の大きくなる位置(光電力レベルが最大レベルの半分に
なる位置)に光バイアス角を調整することができる。
The measurement result of the half-wave voltage of this embodiment is shown in FIG. As shown in FIG. 7, in this embodiment, since the optical bias angle adjusting mechanism is provided, the optical bias angle is adjusted to the position where the dynamic range is the largest (the position where the optical power level is half the maximum level). can do.

【0054】電磁パルスの測定では、大きな電界強度を
測定する必要があるので、光バイアス角が最適な位置に
設定されている場合は、ダイナミックレンジが大きくな
り、それだけ正確に強いパルス波形が測定できることに
なりその効果は非常に大きい。
Since it is necessary to measure a large electric field strength in the measurement of the electromagnetic pulse, when the optical bias angle is set to the optimum position, the dynamic range becomes large, and the stronger pulse waveform can be measured more accurately. And the effect is very large.

【0055】以上の説明からわかるように、本実施例に
よれば、印加電圧と光電力出力の関係はサイン曲線で表
されるので、光電力出力レベルが最大値の半分の位置
(光バイアス角φが90度)に調整すれば、ダイナミッ
クレンジを最も良くすることができる。この光バイアス
角での印加電圧レベルと光変調信号出力レベルの関係を
図8に示す。図8に示すように、この光バイアス角での
曲線の傾きが最も大きく、感度もこの光バイアス角で最
も大きいことがわかる。
As can be seen from the above description, according to the present embodiment, the relationship between the applied voltage and the optical power output is represented by a sine curve, so that the optical power output level is at a position half the maximum value (optical bias angle). If φ is adjusted to 90 degrees, the dynamic range can be maximized. FIG. 8 shows the relationship between the applied voltage level and the optical modulation signal output level at this optical bias angle. As shown in FIG. 8, it can be seen that the slope of the curve at this optical bias angle is the largest and the sensitivity is also the largest at this optical bias angle.

【0056】以上、本発明を前記実施例に基づき具体的
に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更
可能であることは勿論である。
Although the present invention has been specifically described based on the above embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Is.

【0057】[0057]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである光導波路を用いた光変調器が形成され
た基板に応力を印加し、基板を変形させて光導波路の長
さを変え、光導波路間の光波の位相差を変化させること
により、光バイアス角を最適な値に調整することが可能
な光変調器が得られる。これにより、高感度でダイナミ
ックレンジの大きな電界センサ装置が実現できる。
The effects obtained by the typical one of the inventions disclosed in the present application will be briefly described. A stress is applied to a substrate on which an optical modulator using an optical waveguide as described below is formed. Then, by deforming the substrate to change the length of the optical waveguide and changing the phase difference of the optical wave between the optical waveguides, an optical modulator capable of adjusting the optical bias angle to an optimum value can be obtained. As a result, an electric field sensor device having high sensitivity and a large dynamic range can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 図1は本発明による一実施例の電界センサ装
置の概略構成を示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of an electric field sensor device according to an embodiment of the present invention.

【図2】 図1の丸印で示す部分の拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view of a portion indicated by a circle in FIG.

【図3】 図1のA−A線で切った断面図である。3 is a sectional view taken along line AA of FIG.

【図4】 図1のB−B線で切った断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG.

【図5】 本実施例の光導波路の変形量の解析に用いた
モデルを示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a model used for analyzing the amount of deformation of the optical waveguide of the present embodiment.

【図6】 本実施例の基板の変形量と光バイアス角の関
係を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a relationship between a substrate deformation amount and an optical bias angle in the present embodiment.

【図7】 本実施例の電極間電圧と光電力出力レベルの
関係を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing the relationship between the inter-electrode voltage and the optical power output level in the present embodiment.

【図8】 本実施例の光バイアス角と光変調信号出力レ
ベルの関係を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing a relationship between an optical bias angle and an optical modulation signal output level in the present embodiment.

【図9】 従来の電界センサ装置の基本的な全体の概略
構成を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a basic overall schematic configuration of a conventional electric field sensor device.

【図10】 従来の光変調器の概略構成を示す図であ
る。
FIG. 10 is a diagram showing a schematic configuration of a conventional optical modulator.

【図11】 図10に示す光変調器の光導波路に印加さ
れる電界を示す図である。
11 is a diagram showing an electric field applied to an optical waveguide of the optical modulator shown in FIG.

【図12】 従来の電界センサ装置の光バイアス角の測
定例を示す図である。
FIG. 12 is a diagram showing an example of measurement of an optical bias angle of a conventional electric field sensor device.

【図13】 従来の電界センサ装置の光バイアス角と光
変調信号出力レベルの関係を示す図である。
FIG. 13 is a diagram showing a relationship between an optical bias angle and an optical modulation signal output level of a conventional electric field sensor device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…光源、2…偏波補償器、3…偏波面保持ファイバ、
4…基板、5,5a,5b…光導波路、6…光変調器の
電極、7…金属ロッド(金属棒)、8…筐体、9…シン
グルモード光ファイバ、10…光検出器、11…レベル
メータ、12,13…光導波路、14…応力印加装置、
15…基板の固定装置、16…ナイロンナット。
1 ... Light source, 2 ... Polarization compensator, 3 ... Polarization maintaining fiber,
4 ... Substrate, 5, 5a, 5b ... Optical waveguide, 6 ... Electrode of optical modulator, 7 ... Metal rod (metal rod), 8 ... Housing, 9 ... Single-mode optical fiber, 10 ... Photodetector, 11 ... Level meter, 12, 13 ... Optical waveguide, 14 ... Stress applying device,
15 ... Board fixing device, 16 ... Nylon nut.

フロントページの続き (72)発明者 菅又 徹 東京都千代田区神田美土代町1番地 住友 セメント株式会社内 (72)発明者 箕輪 純一郎 東京都千代田区神田美土代町1番地 住友 セメント株式会社内Front page continuation (72) Inventor Toru Sugamata, Sumitomo Cement Co., Ltd., 1 Kanda Mitoshiro-cho, Chiyoda-ku, Tokyo (72) Inventor Junichiro Minowa 1 Kami-Mishiro-cho, Chiyoda-ku, Tokyo Sumitomo Cement Co., Ltd.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 直列に配置された2つの金属棒と、該金
属棒間に形成された空隙と、該空隙内に設けられた光変
調器とを有する電界センサ装置であって、前記光変調器
が、電気光学効果を有する基板に少なくとも2本の光導
波路と、これらの光導波路を伝搬する光波を制御する制
御電極と、前記基板上の各光導波路の長さに差を生じさ
せる手段を備えたことを特徴とする電界センサ装置。
1. An electric field sensor device comprising two metal rods arranged in series, a void formed between the metal rods, and an optical modulator provided in the void, wherein the optical modulator A device for providing at least two optical waveguides on a substrate having an electro-optical effect, a control electrode for controlling a light wave propagating through these optical waveguides, and means for causing a difference in length between the optical waveguides on the substrate. An electric field sensor device characterized by being provided.
【請求項2】 直列に配置された2つの金属棒と、該金
属棒間に形成された空隙と、該空隙内に設けられた光変
調器とを有する電界センサ装置であって、前記光変調器
が、電気光学効果を有する基板に少なくとも2本の光導
波路と、これらの光導波路を伝搬する光波を制御する制
御電極と、前記基板上の各光導波路の光波の伝搬方向と
は直角でかつ導波路が形成されている面及びその対向面
以外の面の1点から応力を印加して前記基板を変形さ
せ、前記各光導波路を伝搬する光波の位相差を変化させ
る手段を備えたことを特徴とする電界センサ装置。
2. An electric field sensor device having two metal rods arranged in series, a void formed between the metal rods, and an optical modulator provided in the void, wherein the optical modulator A container having at least two optical waveguides on a substrate having an electro-optical effect, a control electrode for controlling light waves propagating through these optical waveguides, and a propagation direction of the light waves of the respective optical waveguides on the substrate at right angles and A means is provided for applying stress from one point of a surface other than the surface on which the waveguide is formed and the surface opposite to the waveguide to deform the substrate and change the phase difference of the light waves propagating through the optical waveguides. A characteristic electric field sensor device.
【請求項3】 前記光変調器は、2本の光導波路の干渉
を用いたマツハチェンダ型光変調器であることを特徴と
する請求項1または2に記載の電界センサ装置。
3. The electric field sensor device according to claim 1, wherein the optical modulator is a Matsuhachender type optical modulator using interference of two optical waveguides.
【請求項4】 前記光変調器の基板を形成する電気光学
結晶は、ニオブ酸リチウムであることを特徴とする請求
項1乃至3のうちいずれか1項に記載の電界センサ装
置。
4. The electric field sensor device according to claim 1, wherein the electro-optic crystal forming the substrate of the optical modulator is lithium niobate.
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