JPH08288036A - Bag packaging and assembly method therefor - Google Patents
Bag packaging and assembly method thereforInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はBGAパッケージと試験
装置との電気的な接続を行うBGAパッケージ用ソケッ
トに関し、特にBGAパッケージの半田ボールの変形を
防止したBGAパッケージ用ソケットに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a BGA package socket for electrically connecting a BGA package and a test apparatus, and more particularly to a BGA package socket in which deformation of solder balls of the BGA package is prevented.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、リードピンを挿入孔に挿入して電
気的な接続を行うピン挿入型パッケージに代わって、パ
ッケージ下面に設けられた半田ボールを介して基板上の
電極に半田付けするボールグリッドアレイ型(BGA)
パッケージが開発されている。このようなBGAパッケ
ージの特性試験を行うためには、ピン挿入型パッケージ
用のソケットとは異なった構造のソケットが必要にな
る。2. Description of the Related Art In recent years, instead of a pin insertion type package in which a lead pin is inserted into an insertion hole for electrical connection, a ball grid which is soldered to an electrode on a substrate through a solder ball provided on the lower surface of the package. Array type (BGA)
The package is being developed. In order to perform the characteristic test of such a BGA package, a socket having a different structure from the socket for the pin insertion type package is required.
【0003】以下、図21を用いて、従来のBGAパッ
ケージ用ソケットについて説明する。図21は従来のB
GAパッケージ用ソケットにBGAパッケージを取り付
けた状態を示す断面図である。図21においてテストボ
ード4の上に、ガイド枠3が設けられ、その内部にBG
Aパッケージ1の下面に形成された半田ボールSBが接
触する複数のコンタクタ21を整列させる整列ブロック
2(または板)が配置されてBGAパッケージ用ソケッ
ト5が構成されている。A conventional BGA package socket will be described below with reference to FIG. FIG. 21 shows the conventional B
It is sectional drawing which shows the state which attached the BGA package to the socket for GA packages. In FIG. 21, the guide frame 3 is provided on the test board 4, and the BG is provided inside the guide frame 3.
A BGA package socket 5 is configured by arranging an alignment block 2 (or plate) that aligns a plurality of contactors 21 with which the solder balls SB formed on the lower surface of the A package 1 come into contact.
【0004】整列ブロック2のそれぞれのコンタクタ2
1には、テストボード4に形成されたピン挿入孔との電
気的接続を行うためのピン22が接続されている。ピン
22はテストボード4に形成されたピン挿入孔に挿入さ
れ半田付けされる。Each contactor 2 of the alignment block 2
A pin 22 for electrical connection with a pin insertion hole formed in the test board 4 is connected to the pin 1. The pins 22 are inserted into the pin insertion holes formed in the test board 4 and soldered.
【0005】BGAパッケージ1は半田ボールSBがコ
ンタクタ21に接触するように載置され、ガイド枠3に
付属する蓋31を閉じ、蓋31を固定するための固定つ
め32をガイド枠3に係合させることで半田ボールSB
がコンタクタ21に圧接され電気的接触が確実に得られ
る。The BGA package 1 is placed so that the solder balls SB come into contact with the contactor 21, the lid 31 attached to the guide frame 3 is closed, and a fixing pawl 32 for fixing the lid 31 is engaged with the guide frame 3. Solder ball SB
Is pressed against the contactor 21 to ensure electrical contact.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】従来のBGAパッケー
ジ用ソケット2においては、ピン22の半田付け後のテ
ストボード4の上面から半田ボールSBまでの長さが2
0mm前後となる。このためインダクタンスが20nH
もあり瞬間過渡電流により電源−GND間にインダクタ
ンスにより誘起される電圧ノイズが発生し、電圧ノイズ
により半導体集積回路の機能動作が不安定になるという
問題があった。これは、従来のBGAパッケージ用ソケ
ットが高周波対応、すなわち高速動作する半導体集積回
路に対応していないことを示している。In the conventional BGA package socket 2, the length from the upper surface of the test board 4 after soldering the pins 22 to the solder ball SB is 2
It will be around 0 mm. Therefore, the inductance is 20 nH
Therefore, there is a problem that a voltage noise induced by the inductance is generated between the power supply and the GND due to the instantaneous transient current, and the functional operation of the semiconductor integrated circuit becomes unstable due to the voltage noise. This indicates that the conventional BGA package socket does not support high frequencies, that is, it does not support high-speed semiconductor integrated circuits.
【0007】また、半田ボールSBをコンタクタ21に
押し付けて圧接することで電気的接触得るので、半田ボ
ールSBが圧力により変形するという問題があった。Further, there is a problem that the solder ball SB is deformed by the pressure because the solder ball SB is pressed against the contactor 21 and brought into pressure contact therewith to obtain an electrical contact.
【0008】本発明は上記のような問題点を解消するた
めになされたもので、高速動作する半導体集積回路の特
性試験において、半導体集積回路を安定に機能させるこ
とができるとともに、BGAパッケージの半田ボールの
変形を伴わないBGAパッケージ用ソケットを得ること
を目的とする。The present invention has been made in order to solve the above problems, and in a characteristic test of a semiconductor integrated circuit operating at a high speed, the semiconductor integrated circuit can function stably and the solder of a BGA package can be soldered. The purpose is to obtain a BGA package socket without ball deformation.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明に係る請求項1記
載のBGAパッケージ用ソケットは、弾力性を有する絶
縁板と、その一方の端面にBGAパッケージの半田ボー
ルが接触する半田ボール接触用コンタクタと、その一方
の端面が略球形で前記BGAパッケージの試験装置の電
極板に接触する電極接触用コンタクタとを備え、前記半
田ボール接触用コンタクタは、その他方の端面側が前記
絶縁板の一方の主面内に垂直に挿入され、前記電極接触
用コンタクタは、その他方の端面側が前記絶縁板の他方
の主面内に斜めに挿入され、その側面が前記半田ボール
接触用コンタクタの他方の端面に接触している。According to a first aspect of the present invention, there is provided a socket for a BGA package according to claim 1, wherein a resilient insulating plate and a solder ball contactor whose one end face is in contact with a solder ball of the BGA package. And a contactor for contacting an electrode having one end surface of a substantially spherical shape that comes into contact with an electrode plate of the testing device for the BGA package, and the contactor for contacting the solder ball has one end surface of the insulating plate on the other end surface side. The contactor for electrode contact is vertically inserted in a plane, and the other end face side is obliquely inserted into the other main face of the insulating plate, and the side face thereof contacts the other end face of the contactor for solder ball contact. are doing.
【0010】本発明に係る請求項2記載のBGAパッケ
ージ用ソケットは、前記半田ボール接触用コンタクタの
前記一方の端面の形状が、前記BGAパッケージの半田
ボールの曲率と略一致する曲率を有する凹面形状であ
り、前記半田ボール接触用コンタクタの前記他方の端面
の形状は略球形状であり、前記電極接触用コンタクタの
側面には、前記半田ボール接触用コンタクタの略球形状
の前記他方の端面の曲率に略一致する曲率を有し、前記
半田ボール接触用コンタクタの略球形状の前記他方の端
面に嵌合する嵌合溝が軸方向に沿って備えられている。According to a second aspect of the present invention, in the socket for a BGA package, the shape of the one end surface of the contactor for contacting the solder ball has a concave surface shape having a curvature substantially matching the curvature of the solder ball of the BGA package. The shape of the other end surface of the solder ball contacting contactor is substantially spherical, and the side surface of the electrode contacting contactor has a curvature of the other spherical end surface of the solder ball contacting contactor. And a fitting groove that fits in the other spherical end surface of the contactor for contacting the solder ball is provided along the axial direction.
【0011】本発明に係る請求項3記載のBGAパッケ
ージ用ソケットは、前記半田ボール接触用コンタクタの
前記一方の端面の形状が、前記BGAパッケージの半田
ボールの曲率と略一致する曲率を有する凹面形状であ
り、前記半田ボール接触用コンタクタの前記他方の端面
の形状は、所定の角度で円柱を斜めに切り取った形状で
あり、前記電極接触用コンタクタの側面には、前記半田
ボール接触用コンタクタの前記他方の端面と係合するよ
うに、平面形状が前記半田ボール接触用コンタクタの前
記他方の端面の形状に合致し、かつ、前記所定の角度と
同一の傾斜角となるように形成された係合面を有する突
出した係合部が備えられている。According to a third aspect of the present invention, in the socket for a BGA package according to the present invention, the shape of the one end surface of the contactor for contacting the solder ball has a concave shape having a curvature substantially matching the curvature of the solder ball of the BGA package. The shape of the other end surface of the solder ball contacting contactor is a shape obtained by obliquely cutting a cylinder at a predetermined angle, and the side surface of the electrode contacting contactor includes the solder ball contacting contactor. Engagement that has a planar shape that matches the shape of the other end surface of the contactor for contacting solder balls and that has the same inclination angle as the predetermined angle so as to engage with the other end surface. A protruding engagement portion having a surface is provided.
【0012】本発明に係る請求項4記載のBGAパッケ
ージ用ソケットは、前記半田ボール接触用コンタクタの
前記一方の端面の形状が、前記BGAパッケージの半田
ボールの曲率と略一致する曲率を有する凹面形状であ
り、前記半田ボール接触用コンタクタの前記他方の端面
の形状は、部分的に突出した突出部を備える形状であ
り、前記電極接触用コンタクタの側面には、前記半田ボ
ール接触用コンタクタの突出部の横手幅に略一致する溝
幅を有し、前記半田ボール接触用コンタクタの前記突出
部に嵌合する嵌合溝が軸方向に沿って備えられている。According to a fourth aspect of the present invention, in the socket for a BGA package according to the present invention, the shape of the one end surface of the contactor for contacting the solder ball has a concave shape having a curvature substantially matching the curvature of the solder ball of the BGA package. The shape of the other end surface of the solder ball contacting contactor is a shape including a partially protruding protrusion, and the side surface of the electrode contacting contactor has a protruding portion of the solder ball contacting contactor. A fitting groove is provided along the axial direction, the fitting groove having a groove width that substantially matches the lateral width of the above, and that fits into the protruding portion of the solder ball contactor.
【0013】本発明に係る請求項5記載のBGAパッケ
ージ用ソケットは、その一方の端面にBGAパッケージ
の半田ボールが接触する半田ボール接触体と、その一方
端が前記BGAパッケージの試験装置の電極孔に挿入さ
れるコンタクトピンと、前記半田ボール接触体と前記コ
ンタクトピンとの間を接続するように、前記半田ボール
接触体の他方の端面から前記コンタクトピンの他方端に
渡って等間隔で環状に配列された弾力性を有する複数の
支柱板とを備え、前記複数の支柱板は、前記半田ボール
接触体が押圧された場合には外側に向けて撓み、そうで
ない場合は復元して略直線形状となるように撓み癖を有
している。According to a fifth aspect of the present invention, in a socket for a BGA package, a solder ball contacting body with which a solder ball of the BGA package comes into contact with one end surface of the socket and an electrode hole of the BGA package testing device at one end thereof. So as to connect between the solder ball contact body and the contact pin, the contact pins are arranged in a ring shape at equal intervals from the other end surface of the solder ball contact body to the other end of the contact pin. And a plurality of elastic strut plates, the plural strut plates bend outward when the solder ball contact body is pressed, and otherwise restore to a substantially linear shape. It has a bending tendency.
【0014】本発明に係る請求項6記載のBGAパッケ
ージ用ソケットは、前記支柱板を4枚備えている。A BGA package socket according to a sixth aspect of the present invention is provided with four of the support plates.
【0015】本発明に係る請求項7記載のBGAパッケ
ージ用ソケットは、弾力性を有する導体線で形成され、
試験時にBGAパッケージの半田ボールの表面に巻き付
くように渦を巻きながら螺旋状に広がったスプリング体
と、一方端が前記BGAパッケージの試験装置の電極孔
に挿入され、他方端に前記スプリング体の中央部の巻き
始め部分が接続されたコンタクトピンとを備えている。A BGA package socket according to a seventh aspect of the present invention is formed of an elastic conductor wire,
At the time of the test, the spring body spirally spreads while spiraling around the surface of the solder ball of the BGA package, and one end of the spring body is inserted into the electrode hole of the BGA package testing device and the other end of the spring body is inserted. And a contact pin to which the winding start portion of the central portion is connected.
【0016】本発明に係る請求項8記載のBGAパッケ
ージ用ソケットは、その一方の端面にBGAパッケージ
の半田ボールが接触する半田ボール接触体と、その一方
の端面に前記BGAパッケージの試験装置の電極孔に挿
入される挿入部をを有するコンタクトピンと、前記半田
ボール接触体と前記コンタクトピンとの間を電気的に接
続するように、前記半田ボール接触体の他方の端面と前
記コンタクトピンの他方の端面との間に介挿された導電
性のバネと、前記コンタクトピン、前記バネ、前記半田
ボール接触体を収容する中空状のハウジングとを備え、
前記ハウジングの一方端側には、前記挿入部が前記ハウ
ジングから露出するように前記コンタクトピンが固定し
て配置され、前記ハウジングの他方端側には、前記半田
ボール接触体が前記ハウジングから露出するとともに、
前記半田ボール接触体が前記バネの伸縮に伴って可動す
るように配置されている。According to the eighth aspect of the present invention, in a socket for a BGA package according to the present invention, a solder ball contacting body with which a solder ball of the BGA package comes into contact with one end face thereof, and an electrode of the BGA package testing device with one end face thereof. The other end surface of the solder ball contact body and the other end surface of the contact pin so as to electrically connect the contact pin having an insertion portion inserted into the hole and the solder ball contact body and the contact pin. A conductive spring interposed between the contact pin, the spring, and a hollow housing for housing the solder ball contact body,
The contact pin is fixedly arranged on one end side of the housing so that the insertion portion is exposed from the housing, and the solder ball contact body is exposed from the housing on the other end side of the housing. With
The solder ball contact body is arranged so as to move as the spring expands and contracts.
【0017】本発明に係る請求項9記載のBGAパッケ
ージ用ソケットの組み立て方法は、(a)前記絶縁板の一
方の主面の所定位置に垂直方向に第1のガイド孔を形成
する工程と、(b)前記絶縁板の他方の主面の所定位置に
斜め方向に第2のガイド孔を形成する工程と、(c)前記
半田ボール接触用用コンタクタの他方の端面側を前記第
1の未貫通孔に挿入する工程と、(d)前記電極接触用コ
ンタクタの他方の端面側を前記第2の未貫通孔に挿入す
る工程とを備え、前記第1の未貫通孔の直径を前記半田
ボール接触用コンタクタの挿入部分の最大寸法よりも小
さく形成し、前記第2の未貫通孔の直径を前記電極接触
用コンタクタの挿入部分の最大寸法よりも小さく形成す
る。According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a method of assembling a BGA package socket, comprising: (a) forming a first guide hole in a vertical direction at a predetermined position on one main surface of the insulating plate; (b) forming a second guide hole in a predetermined position on the other main surface of the insulating plate in an oblique direction, and (c) attaching the other end surface side of the contactor for contacting the solder ball to the first non-contact surface. And a step of (d) inserting the other end face side of the electrode contactor into the second non-through hole, the diameter of the first non-through hole being equal to the solder ball. The contactor contactor is formed to be smaller than the maximum size of the insertion portion, and the second unpenetrated hole is formed to have a diameter smaller than the maximum size of the insertion portion of the electrode contactor.
【0018】本発明に係る請求項10記載のBGAパッ
ケージ用ソケットの組み立て方法は、前記工程(c)が、
前記接触用コンタクタを加熱した状態で前記第1の未貫
通孔に挿入する工程を含み、前記工程(d)が、前記接触
用コンタクタを加熱した状態で前記第2の未貫通孔に挿
入する工程を含んでいる。In a method of assembling a BGA package socket according to a tenth aspect of the present invention, the step (c) includes
A step of inserting the contactor into the first unpenetrated hole in a heated state, wherein the step (d) inserts the contactor into the second unpenetrated hole in a heated state; Is included.
【0019】[0019]
【作用】本発明に係る請求項1記載のBGAパッケージ
用ソケットによれば、半田ボール接触用コンタクタの他
方の端面が絶縁板の一方の主面内に垂直に挿入され、電
極接触用コンタクタは、その他方の端面側が絶縁板の他
方の主面内に斜めに挿入され、その側面が半田ボール接
触用コンタクタの他方の端面に接触しているので、半田
ボール接触用コンタクタに加わった垂直方向の圧力は電
極接触用コンタクタを介して水平方向に分散されるとと
もに、半田ボール接触用コンタクタの他方の端面が電極
接触用コンタクタの側面を滑るので、半田ボール接触用
コンタクタが垂直方向に沈み込み、半田ボールに加わる
圧力が減殺されることになる。また、半田ボール接触用
コンタクタと電極接触用コンタクタの接続後の長さが短
いのでインダクタンスを低減することができる。According to the socket for BGA package according to claim 1 of the present invention, the other end surface of the contactor for contacting the solder ball is vertically inserted into one main surface of the insulating plate, and the contactor for contacting the electrode comprises: The other end face side is inserted diagonally into the other main face of the insulating plate, and the side face is in contact with the other end face of the solder ball contactor, so the vertical pressure applied to the solder ball contactor. Is dispersed horizontally through the contactor for electrode contact, and the other end surface of the contactor for contacting the solder ball slides on the side surface of the contactor for contacting the solder ball, so that the contactor for contacting the solder ball sinks in the vertical direction. The pressure applied to will be diminished. Further, since the length of the contactor for contacting the solder ball and the contactor for contacting the electrode are short, the inductance can be reduced.
【0020】本発明に係る請求項2記載のBGAパッケ
ージ用ソケットによれば、半田ボール接触用コンタクタ
の一方の端面の形状がBGAパッケージの半田ボールの
曲率と略一致する曲率を有する凹面形状であるので、半
田ボールの接触面積が増加することになり、半田ボール
接触用コンタクタに垂直方向の圧力が加わった場合に、
半田ボールの一点に圧力が集中することが防止される。
また、半田ボール接触用コンタクタの略球形状の他方の
端面が嵌合溝に嵌合することで、半田ボール接触用コン
タクタと電極接触用コンタクタとの電気的接続が良好に
なるとともに、機械的にも強固に接合され、簡単に接続
が断たれることが防止される。According to a second aspect of the BGA package socket of the present invention, the shape of one end surface of the contactor for contacting the solder ball is a concave shape having a curvature substantially matching the curvature of the solder ball of the BGA package. Therefore, the contact area of the solder ball will increase, and when vertical pressure is applied to the contactor for solder ball contact,
The pressure is prevented from concentrating on one point of the solder ball.
Also, by fitting the other end face of the substantially spherical shape of the solder ball contacting contactor into the fitting groove, the electrical connection between the solder ball contacting contactor and the electrode contacting contactor becomes good and mechanically Is also firmly joined, preventing easy disconnection.
【0021】本発明に係る請求項3記載のBGAパッケ
ージ用ソケットによれば、半田ボール接触用コンタクタ
の一方の端面の形状がBGAパッケージの半田ボールの
曲率と略一致する曲率を有する凹面形状であるので、半
田ボールの接触面積が増加することになり、半田ボール
接触用コンタクタに垂直方向の圧力が加わった場合に、
半田ボールの一点に圧力が集中することが防止される。
また、半田ボール接触用コンタクタの円柱を斜めに切り
取った形状の他方の端面が、電極接触用コンタクタの側
面から突出する係合部に係合することで、半田ボール接
触用コンタクタと電極接触用コンタクタとの電気的接続
が良好になるとともに、機械的にも強固に接合され、簡
単に接続が断たれることが防止される。According to the third aspect of the BGA package socket of the present invention, the shape of one end surface of the contactor for contacting the solder ball is a concave shape having a curvature substantially matching the curvature of the solder ball of the BGA package. Therefore, the contact area of the solder ball will increase, and when vertical pressure is applied to the contactor for solder ball contact,
The pressure is prevented from concentrating on one point of the solder ball.
In addition, the other end surface of the shape of the solder ball contacting contactor that is cut out diagonally is engaged with the engaging portion protruding from the side surface of the electrode contacting contactor, so that the solder ball contacting contactor and the electrode contacting contactor are contacted. The electrical connection with the device becomes good, and the device is mechanically firmly joined to prevent the connection from being easily broken.
【0022】本発明に係る請求項4記載のBGAパッケ
ージ用ソケットによれば、半田ボール接触用コンタクタ
の一方の端面の形状がBGAパッケージの半田ボールの
曲率と略一致する曲率を有する凹面形状であるので、半
田ボールの接触面積が増加することになり、半田ボール
接触用コンタクタに垂直方向の圧力が加わった場合に、
半田ボールの一点に圧力が集中することが防止される。
また、半田ボール接触用コンタクタの他方の端面の突出
部が電極接触用コンタクタの嵌合溝に嵌合することで、
半田ボール接触用コンタクタと電極接触用コンタクタと
の電気的接続が良好になるとともに、機械的にも強固に
接合され、簡単に接続が断たれることが防止される。According to the BGA package socket of the fourth aspect of the present invention, the shape of one end surface of the contactor for contacting the solder ball is a concave shape having a curvature substantially matching the curvature of the solder ball of the BGA package. Therefore, the contact area of the solder ball will increase, and when vertical pressure is applied to the contactor for solder ball contact,
The pressure is prevented from concentrating on one point of the solder ball.
Also, by fitting the protruding portion of the other end surface of the solder ball contactor into the fitting groove of the electrode contactor,
The electrical connection between the contactor for contacting the solder ball and the contactor for contacting the electrode is improved, and the contactor is firmly mechanically joined to prevent the connection from being easily broken.
【0023】本発明に係る請求項5記載のBGAパッケ
ージ用ソケットによれば、半田ボール接触体とコンタク
トピンとの間を接続するように、半田ボール接触体の他
方の端面からコンタクトピンの他方端に渡って等間隔で
環状に配列された弾力性を有する複数の支柱板が、半田
ボール接触体が押圧された場合には外側に向けて撓み、
そうでない場合は復元して略直線形状となるように撓み
癖を有しているので、半田ボール接触体に加わった垂直
方向の圧力は支柱板の撓みによって吸収され半田ボール
に加わる圧力が減殺されることになる。また、半田ボー
ル接触体とコンタクトピンとの間に複数の支柱板が並列
に接続されているのでインダクタンスを低減することが
できる。According to the fifth aspect of the BGA package socket of the present invention, the solder ball contact body and the contact pin are connected from the other end face of the solder ball contact body to the other end of the contact pin so as to connect the solder ball contact body and the contact pin. A plurality of elastic strut plates arranged in an annular pattern at equal intervals across the flexure plate bends outward when the solder ball contact body is pressed,
If not, since it has a bending tendency to restore and become a substantially linear shape, the vertical pressure applied to the solder ball contact body is absorbed by the bending of the strut plate and the pressure applied to the solder ball is reduced. Will be. Further, since a plurality of support plates are connected in parallel between the solder ball contact body and the contact pin, the inductance can be reduced.
【0024】本発明に係る請求項6記載のBGAパッケ
ージ用ソケットによれば、支柱板を4枚とすることで、
支柱板が撓んだ状態での半田ボール接触体側から見た平
面視形状は十字型であり、回転させることでX字型とな
る。よって、支柱板の撓み方向を考慮して配列すること
で、隣合うBGAパッケージ用ソケットどうしが接触せ
ず、単位面積当たりの個数を増やすことができる。According to the socket for BGA package according to the sixth aspect of the present invention, by using four support plates,
When viewed from the solder ball contact body side when the strut plate is bent, the plan view shape is a cross shape, and when it is rotated, it becomes an X shape. Therefore, by arranging the support plates in consideration of the bending direction, the adjacent BGA package sockets do not come into contact with each other, and the number per unit area can be increased.
【0025】本発明に係る請求項7記載のBGAパッケ
ージ用ソケットによれば、渦を巻きながら螺旋状に広が
ったスプリング体が、試験時にBGAパッケージの半田
ボールの表面に巻き付くことで半田ボールとの電気的接
続が保たれ、半田ボールに位置ずれがある場合でも、ス
プリング体の弾性により、ずれの方向にスプリング体が
変形するので、半田ボールSBの表面との接触を保つこ
とができる。According to the socket for BGA package according to the seventh aspect of the present invention, the spring body which spirally spreads while swirling is wound around the surface of the solder ball of the BGA package at the time of test to form a solder ball. Even if the solder balls are misaligned, the elasticity of the spring body causes the spring body to deform in the direction of the displacement, so that the contact with the surface of the solder ball SB can be maintained.
【0026】本発明に係る請求項8記載のBGAパッケ
ージ用ソケットによれば、ハウジングの一方端側には、
挿入部がハウジングから露出するようにコンタクトピン
が固定して配置され、ハウジングの他方端側には、半田
ボール接触体がハウジングから露出露出するとともに、
半田ボール接触体がバネの伸縮に伴って可動するように
配置されているので、半田ボール接触用コンタクタに加
わった垂直方向の圧力はバネによって吸収され半田ボー
ルに加わる圧力が減殺されることになる。According to the socket for BGA package according to claim 8 of the present invention, one end of the housing is provided with:
The contact pin is fixedly arranged so that the insertion portion is exposed from the housing, and the solder ball contact body is exposed and exposed from the housing on the other end side of the housing.
Since the solder ball contact body is arranged to move as the spring expands and contracts, the vertical pressure applied to the contactor for contacting the solder ball is absorbed by the spring and the pressure applied to the solder ball is reduced. .
【0027】本発明に係る請求項9記載のBGAパッケ
ージ用ソケットの組み立て方法によれば、第1のガイド
孔の直径を半田ボール接触用コンタクタの挿入部分の最
大寸法よりも小さく形成し、第2のガイド孔の直径を電
極接触用コンタクタの挿入部分の最大寸法よりも小さく
形成することにより、工程(c)において挿入された半田
ボール接触用コンタクタおよび、工程(d)において挿入
された電極接触用コンタクタが絶縁板の弾力性により固
定されることになる。According to the method of assembling the socket for BGA package according to claim 9 of the present invention, the diameter of the first guide hole is formed smaller than the maximum size of the insertion portion of the contactor for contacting the solder ball, and the second By forming the diameter of the guide hole smaller than the maximum size of the insertion portion of the contactor for electrode contact, the contactor for contacting the solder ball inserted in step (c) and the contactor for contacting the electrode inserted in step (d) The contactor is fixed by the elasticity of the insulating plate.
【0028】本発明に係る請求項10記載のBGAパッ
ケージ用ソケットの組み立て方法によれば、工程(c)
が、接触用コンタクタを加熱した状態で第1の未貫通孔
に挿入する工程を含み、工程(d)が、接触用コンタクタ
を加熱した状態で第2の未貫通孔に挿入する工程を含む
ので、半田ボール接触用コンタクタおよび電極接触用コ
ンタクタの挿入部分が熱によって溶けた絶縁板で覆わ
れ、冷却して固化することで絶縁板に固着されることに
なる。According to the assembling method of the BGA package socket according to the tenth aspect of the present invention, the step (c)
Includes the step of inserting the contactor into the first unpenetrated hole in a heated state, and the step (d) includes the step of inserting the contactor into the second unpenetrated hole in a heated state. The inserted portions of the contactor for contacting the solder ball and the contactor for contacting the electrode are covered with an insulating plate melted by heat, and are cooled and solidified to be fixed to the insulating plate.
【0029】[0029]
<A.第1の実施例> <A−1.BGAパッケージ用ソケット100>図1に
本発明に係る第1の実施例としてBGAパッケージ用ソ
ケット100の部分断面図を示す。図1において、弾力
性を有する絶縁性のシート10の一方の主面側から、B
GAパッケージの特性試験に際して半田ボールに接触す
る導伝性のコンタクタ(以後「半田ボール接触用コンタ
クタ」と呼称)20が垂直に挿入され、他方の主面側か
らテストボードとの電気的接続を行う導伝性のコンタク
タ(以後、電極接触用コンタクタと呼称)30が斜めに
挿入されている。ここで、半田ボール接触用コンタクタ
20はBGAパッケージの半田ボールの個数および配列
に合わせて配置されている。なお、便宜上図1において
はシート10内に挿入されている部分も実線で示す。<A. First Example><A-1. BGA Package Socket 100> FIG. 1 is a partial sectional view of a BGA package socket 100 according to a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, from one main surface side of the insulating sheet 10 having elasticity, B
A conductive contactor (hereinafter referred to as a "solder ball contactor") 20 that comes into contact with a solder ball during a characteristic test of a GA package is vertically inserted and electrically connected to a test board from the other main surface side. A conductive contactor (hereinafter referred to as an electrode contactor) 30 is obliquely inserted. Here, the contactors 20 for contacting the solder balls are arranged according to the number and arrangement of the solder balls of the BGA package. Note that, for convenience, in FIG. 1, a portion inserted into the seat 10 is also shown by a solid line.
【0030】半田ボール接触用コンタクタ20は、略円
柱形状の本体201の一方端がBGAパッケージの特性
試験に際しての半田ボール接触面202となっており、
半田ボールの曲率と一致、もしくは3〜4パーセント程
度大きい曲率となるように凹状に湾曲した形状、すなわ
ち凹面形状となっている。また、シート10に挿入され
た他方端は電極接触用コンタクタ30との接触球203
となっており、球形状をなしている。In the solder ball contactor 20, one end of the main body 201 having a substantially cylindrical shape is a solder ball contact surface 202 in the characteristic test of the BGA package.
It has a concave shape, that is, a concave shape so as to have a curvature that is equal to or larger than the curvature of the solder ball by about 3 to 4%. Further, the other end inserted into the sheet 10 has a contact ball 203 with the contactor 30 for electrode contact.
And has a spherical shape.
【0031】一方、電極接触用コンタクタ30は、略円
柱形状の本体301の両端が球形状をなしており、一方
端がテストボード上の接続電極(以後「ランド」と呼
称)に接触するランド接触球302であり、他方端が電
極接触用コンタクタ30の脱落を防止する脱落防止球3
03である。また、略円柱形状の本体301表面には、
半田ボール接触用コンタクタ20の接触球203が嵌合
する嵌合溝304が軸方向に沿って形成されている。嵌
合溝304は、半田ボール接触用コンタクタ20の接触
球203の曲率と略一致する曲率を有するように形成さ
れている。On the other hand, the contactor 30 for electrode contact is a land contact in which both ends of a substantially cylindrical main body 301 are spherical and one end contacts a connection electrode (hereinafter referred to as "land") on the test board. The sphere 302 is the sphere 302, and the other end of the sphere 302 is a fall prevention ball 3 that prevents the contactor 30 for contacting the electrode from falling off
It is 03. Also, on the surface of the substantially cylindrical body 301,
A fitting groove 304 into which the contact ball 203 of the contactor 20 for contacting the solder ball is fitted is formed along the axial direction. The fitting groove 304 is formed so as to have a curvature that substantially matches the curvature of the contact ball 203 of the contactor 20 for contacting the solder ball.
【0032】接触球203と電極接触用コンタクタ30
の嵌合溝304とが嵌合することによって、半田ボール
接触用コンタクタ20と電極接触用コンタクタ30との
電気的接続が良好になるとともに、機械的にも強固に接
合され、簡単に接続が断たれることが防止される。Contact ball 203 and contactor 30 for contacting the electrode
With the fitting groove 304, the contact between the contactor 20 for contacting the solder ball and the contactor 30 for contacting the electrode becomes good, and the contact is made mechanically and firmly so that the connection is easily broken. It is prevented from dripping.
【0033】図2にBGAパッケージ用ソケット100
にBGAパッケージ1を取り付けて特性試験を行う場合
の取付状態の断面図を示す。図2において、テストボー
ド40の主面上にガイド枠50が載置されている。BG
Aパッケージ用ソケット100は電極接触用コンタクタ
30が挿入された面を下にしてガイド枠50内に嵌め込
まれる。ガイド枠50に囲まれたテストボード40の表
面には、電極接触用コンタクタ30の個数および配列に
合わせて複数のランド60が形成されており、BGAパ
ッケージ用ソケット100をガイド枠50に嵌め込むこ
とで、電極接触用コンタクタ30のランド接触球302
がランド60に接触することになる。FIG. 2 shows a BGA package socket 100.
A cross-sectional view of a mounted state when the BGA package 1 is mounted and a characteristic test is performed is shown in FIG. In FIG. 2, the guide frame 50 is placed on the main surface of the test board 40. BG
The A package socket 100 is fitted into the guide frame 50 with the surface into which the electrode contactor 30 is inserted facing down. A plurality of lands 60 are formed on the surface of the test board 40 surrounded by the guide frame 50 according to the number and arrangement of the contactors 30 for electrode contact, and the BGA package socket 100 can be fitted into the guide frame 50. Then, the land contact sphere 302 of the contactor 30 for electrode contact
Will contact the land 60.
【0034】BGAパッケージ用ソケット100の上に
BGAパッケージ1を載置することで、半田ボールSB
と半田ボール接触用コンタクタ20の半田ボール接触面
202とが接触するが、この状態では接触が不完全なの
でガイド枠50に付属する蓋501を閉じ、蓋501を
固定するための固定つめ502をガイド枠50に係合さ
せることで半田ボールSBが半田ボール接触面202に
押し付けられ電気的接触が確実に得られる。By placing the BGA package 1 on the BGA package socket 100, the solder balls SB
And the solder ball contact surface 202 of the contactor 20 for contacting the solder ball are in contact with each other, but since the contact is incomplete in this state, the lid 501 attached to the guide frame 50 is closed and the fixing pawl 502 for fixing the lid 501 is guided. By engaging with the frame 50, the solder ball SB is pressed against the solder ball contact surface 202, and electrical contact is surely obtained.
【0035】BGAパッケージ用ソケット100の構成
において、半田ボール接触用コンタクタ20の半田ボー
ル接触面202からテストボード40のランド60まで
の経路長は、ほぼシート10の厚さに等しく、シート1
0の厚さは半田ボール接触用コンタクタ20および電極
接触用コンタクタ30の寸法によって決まるが、半田ボ
ール接触用コンタクタ20および電極接触用コンタクタ
30の寸法は半田ボールSBの寸法に対応して決められ
る。従って、一般的な寸法の半田ボールSBに合わせる
ならば、シート10の厚さは3〜5mm程度であり、厚
さの均一性はプラスマイナス0.1mm以下となる。ま
た、半田ボール接触用コンタクタ20の半田ボール接触
面202の直径は0.9〜1.0mmである。In the structure of the BGA package socket 100, the path length from the solder ball contact surface 202 of the solder ball contact contactor 20 to the land 60 of the test board 40 is substantially equal to the thickness of the sheet 10.
The thickness of 0 is determined by the dimensions of the solder ball contacting contactor 20 and the electrode contacting contactor 30, but the dimensions of the solder ball contacting contactor 20 and the electrode contacting contactor 30 are determined according to the dimensions of the solder ball SB. Therefore, if the solder ball SB having a general size is used, the thickness of the sheet 10 is about 3 to 5 mm, and the thickness uniformity is plus or minus 0.1 mm or less. The diameter of the solder ball contact surface 202 of the solder ball contactor 20 is 0.9 to 1.0 mm.
【0036】従来のBGAパッケージ4においてはピン
22の半田付け後のテストボード1の上面から半田ボー
ルSBまでの長さが20mm前後であったので、4分の
1程度に短縮されたことになる。従って、インダクタン
スも比例して小さくなり、瞬間過渡電流により誘起され
る電圧ノイズの発生が抑制され、半導体集積回路の機能
動作を安定に保つことができる。In the conventional BGA package 4, the length from the upper surface of the test board 1 after soldering the pins 22 to the solder ball SB is about 20 mm, which means that the length is reduced to about 1/4. . Therefore, the inductance also decreases in proportion, the occurrence of voltage noise induced by the instantaneous transient current is suppressed, and the functional operation of the semiconductor integrated circuit can be stably maintained.
【0037】次に、半田ボールSBの変形防止について
説明する。半田ボールSBを介して半田ボール接触面2
02に加わった垂直下方向の力は、接触球203から電
極接触用コンタクタ30に与えられるが、半田ボール接
触用コンタクタ20に対して斜めに接続された電極接触
用コンタクタ30においては、力が水平方向にも分散さ
れ嵌合溝304内を接触球203が下方向に摺動する。
シート10は弾力性を有しているので、垂直および水平
方向の力が吸収され、接触球203の摺動に伴って半田
ボール接触用コンタクタ20は若干沈み込むことにな
る。従って、半田ボールに加わる圧力が減殺され半田ボ
ールSBの変形が防止されることになる。Next, the prevention of deformation of the solder balls SB will be described. Solder ball contact surface 2 via solder ball SB
The vertical downward force applied to 02 is applied from the contact sphere 203 to the electrode contactor 30. In the electrode contactor 30 diagonally connected to the solder ball contactor 20, the force is horizontal. The contact balls 203 are slid downward in the fitting groove 304.
Since the sheet 10 has elasticity, vertical and horizontal forces are absorbed, and the contactor 20 for contacting the solder ball slightly sinks as the contact ball 203 slides. Therefore, the pressure applied to the solder balls is reduced and the solder balls SB are prevented from being deformed.
【0038】<A−2.BGAパッケージ用ソケット2
00>以上説明したBGAパッケージ用ソケット100
は、半田ボール接触用コンタクタ20の接触球203と
電極接触用コンタクタ30の嵌合溝304とが嵌合する
ことによって電極接触用コンタクタ30とが電気的に接
続されるとともに、機械的にも強固に接合され、簡単に
接続が断たれることが防止される構成であったが、BG
Aパッケージ用ソケット200として以下に説明するよ
うな構成であっても良い。<A-2. Socket 2 for BGA package
00> BGA package socket 100 described above
Is electrically connected to the contact ball 30 of the contactor 20 for contacting the solder ball and the fitting groove 304 of the contactor 30 for contacting the electrode, and is mechanically strong. It was joined to the BG to prevent the connection from being easily broken.
The A package socket 200 may have a configuration described below.
【0039】図3にBGAパッケージ用ソケット200
の部分断面図を示す。図3において、弾力性を有する絶
縁性のシート10の一方の主面側から、半田ボール接触
用コンタクタ20Aが垂直に挿入され、他方の主面側か
ら電極接触用コンタクタ30Aが斜めに挿入されてい
る。FIG. 3 shows a BGA package socket 200.
FIG. In FIG. 3, the solder ball contacting contactor 20A is vertically inserted from one main surface side of the elastic insulating sheet 10, and the electrode contacting contactor 30A is obliquely inserted from the other main surface side. There is.
【0040】半田ボール接触用コンタクタ20Aは、略
円柱形状の本体201Aの一方端がBGAパッケージの
特性試験に際しての半田ボール接触面202Aとなって
おり、半田ボールの曲率と一致、もしくは3〜4パーセ
ント程度大きい曲率となるように凹状に湾曲した形状、
すなわち凹面形状となっている。また、シート10に挿
入された他方端は電極接触用コンタクタ30Aとの接触
端面203Aとなっており、円柱を斜めに切り取った形
状となっている。In the solder ball contactor 20A, one end of the main body 201A having a substantially cylindrical shape is a solder ball contact surface 202A at the time of the characteristic test of the BGA package, which is equal to the curvature of the solder ball or 3 to 4%. A concavely curved shape with a large curvature,
That is, it has a concave shape. Further, the other end inserted into the sheet 10 is a contact end face 203A with the contactor 30A for electrode contact, and has a shape obtained by obliquely cutting a cylinder.
【0041】一方、電極接触用コンタクタ30Aは、略
円柱形状の本体301Aの両端が球形状をなしており、
一方端がランド接触球302Aであり、他方端が電極接
触用コンタクタ30Aの脱落を防止する脱落防止球30
3Aであることは図1を用いて説明した電極接触用コン
タクタ30と同様である。On the other hand, the contactor 30A for electrode contact has a substantially columnar main body 301A in which both ends are spherical.
One end is a land contact ball 302A, and the other end is a fall prevention ball 30 that prevents the contactor 30A for electrode contact from falling off.
3A is the same as that of the contactor 30 for electrode contact described using FIG.
【0042】略円柱形状の本体301Aには、半田ボー
ル接触用コンタクタ20Aの接触端面203Aが係合す
るための係合部304Aが突出するように設けられてい
る。係合部304Aに円柱を斜めに切り取った形状であ
る接触端面203Aが係合して両者が機械的にも強固に
なるためには、係合部304Aに接触端面203Aの傾
斜角と同様の傾斜角を有する平面が必要となる。図3に
おいてはその面を係合面305Aとして示す。係合面3
05Aは接触端面203Aの形状に合致するように形成
されている。従って、半田ボール接触用コンタクタ20
Aおよび電極接触用コンタクタ30Aをシート10に挿
入することによって、係合面305Aと接触端面203
Aとが密着し、半田ボール接触用コンタクタ20Aと電
極接触用コンタクタ30Aとの電気的接続が良好にな
る。An engaging portion 304A for engaging with the contact end surface 203A of the solder ball contacting contactor 20A is provided on the substantially columnar body 301A so as to project therefrom. In order that the contact end surface 203A, which is a shape obtained by obliquely cutting a cylinder, engages with the engaging portion 304A and both of them become mechanically strong, the same inclination as the inclination angle of the contact end surface 203A with respect to the engaging portion 304A. Planes with corners are required. In FIG. 3, that surface is shown as an engagement surface 305A. Engagement surface 3
05A is formed so as to match the shape of the contact end surface 203A. Therefore, the contactor 20 for contacting the solder ball
By inserting A and the contactor 30A for electrode contact into the sheet 10, the engagement surface 305A and the contact end surface 203
A and A are in close contact with each other, and the electrical connection between the solder ball contactor 20A and the electrode contactor 30A is improved.
【0043】BGAパッケージ1の特性試験のための構
成は図2に示したBGAパッケージ用ソケット100を
用いる場合とほぼ同様の構成であるので重複する説明は
省略する。BGAパッケージ1の特性試験において半田
ボールSBを介して半田ボール接触面202Aに加わっ
た垂直下方向の力は、電極接触用コンタクタ30を下方
向に押し付けるように加わり、係合面305Aおよび接
触端面203Aは垂直下方向の力を受けてより強固に密
着することになる。シート10は弾力性を有しているの
で、垂直下方向の力が吸収され半田ボール接触用コンタ
クタ20Aは若干沈み込むことになる。従って、半田ボ
ールに加わる圧力が減殺され半田ボールSBの変形が防
止されることになる。Since the structure for the characteristic test of the BGA package 1 is almost the same as the structure for using the BGA package socket 100 shown in FIG. 2, duplicate description will be omitted. In the characteristic test of the BGA package 1, the vertically downward force applied to the solder ball contact surface 202A via the solder ball SB is applied so as to press the electrode contactor 30 downward, and thus the engagement surface 305A and the contact end surface 203A. Receives a vertical downward force and adheres more firmly. Since the seat 10 has elasticity, the vertically downward force is absorbed and the solder ball contactor 20A is slightly depressed. Therefore, the pressure applied to the solder balls is reduced and the solder balls SB are prevented from being deformed.
【0044】なお、半田ボール接触用コンタクタ20A
の半田ボール接触面202Aからテストボード40のラ
ンド60までの経路長が、従来のBGAパッケージ4の
テストボード1の上面から半田ボールSBまでの長さの
4分の1程度に短縮されることについてはBGAパッケ
ージ用ソケット100の場合と同様である。The contactor 20A for contacting the solder ball
The path length from the solder ball contact surface 202A to the land 60 of the test board 40 is shortened to about a quarter of the length from the upper surface of the test board 1 of the conventional BGA package 4 to the solder ball SB. Is similar to the case of the BGA package socket 100.
【0045】<A−3.BGAパッケージ用ソケット3
00>以下にBGAパッケージ用ソケット300の構成
について説明する。図4にBGAパッケージ用ソケット
300の部分断面図を示す。図4において、弾力性を有
する絶縁性のシート10の一方の主面側から、半田ボー
ル接触用コンタクタ20Bが垂直に挿入され、他方の主
面側から電極接触用コンタクタ30Bが斜めに挿入され
ている。<A-3. Socket for BGA package 3
00> The configuration of the BGA package socket 300 will be described below. FIG. 4 shows a partial cross-sectional view of the BGA package socket 300. In FIG. 4, the solder ball contacting contactor 20B is vertically inserted from one main surface side of the elastic insulating sheet 10, and the electrode contacting contactor 30B is obliquely inserted from the other main surface side. There is.
【0046】半田ボール接触用コンタクタ20Bは、略
円柱形状の本体201Bの一方端がBGAパッケージの
特性試験に際しての半田ボール接触面202Bとなって
おり、半田ボールの曲率と略一致、もしくは3〜4パー
セント程度大きい曲率となるように凹状に湾曲した形状
となっている。また、シート10に挿入された他方端は
電極接触用コンタクタ30Bとの接触のための突出部2
03Bとなっており、端面のほぼ中央部が突出した形状
となっている。In the solder ball contactor 20B, one end of the main body 201B having a substantially cylindrical shape serves as a solder ball contact surface 202B in the characteristic test of the BGA package, and is substantially the same as the curvature of the solder ball, or 3 to 4. It has a concavely curved shape with a curvature of about a large percentage. Further, the other end inserted into the sheet 10 has a protrusion 2 for contact with the contactor 30B for electrode contact.
03B, which has a shape in which almost the center of the end face is projected.
【0047】一方、電極接触用コンタクタ30Bは、略
円柱形状の本体301Bの両端が球形状をなしており、
一方端がランド接触球302Bであり、他方端が電極接
触用コンタクタ30Bの脱落を防止する脱落防止球30
3Bであることは図1を用いて説明した電極接触用コン
タクタ30と同様である。On the other hand, in the contactor 30B for electrode contact, both ends of a substantially cylindrical main body 301B are spherical,
One end is a land contact ball 302B, and the other end is a fall prevention ball 30 that prevents the contactor 30B for electrode contact from falling off.
3B is similar to the contactor 30 for electrode contact described with reference to FIG.
【0048】略円柱形状の本体301Bの表面には、半
田ボール接触用コンタクタ20Bの突出部203Bが嵌
合する嵌合溝304Bが軸方向に沿って形成されてい
る。嵌合溝304Bは、半田ボール接触用コンタクタ2
0Bの突出部203Bの横幅とと略一致する溝幅を有す
るように形成されている。また、突出部203Bの突出
長さは、斜めに配置された電極接触用コンタクタ30B
の嵌合溝304B内に十分達する長さに設定される。A fitting groove 304B into which the protrusion 203B of the contactor 20B for contacting the solder ball is fitted is formed on the surface of the main body 301B having a substantially cylindrical shape along the axial direction. The fitting groove 304B is used for the contactor 2 for contacting the solder ball.
It is formed to have a groove width that substantially matches the lateral width of the protruding portion 203B of 0B. In addition, the protruding length of the protruding portion 203B is the same as that of the contactor 30B for contacting electrodes which is obliquely arranged.
The length is set to sufficiently reach the fitting groove 304B.
【0049】突出部203Bと電極接触用コンタクタ3
0Bの嵌合溝304Bとが嵌合することによって、半田
ボール接触用コンタクタ20Bと電極接触用コンタクタ
30Bとが電気的に接続されるとともに、機械的にも強
固に接合され、簡単に接続が断たれることが防止され
る。Contactor 3 for contacting the protrusion 203B and the electrode
By fitting with the fitting groove 304B of 0B, the contactor 20B for contacting the solder ball and the contactor 30B for contacting the electrode are electrically connected, and also mechanically and firmly joined, and the connection is easily broken. It is prevented from dripping.
【0050】BGAパッケージ1の特性試験のための構
成については、図2に示したBGAパッケージ用ソケッ
ト100を用いる場合とほぼ同様であるので重複する説
明は省略する。BGAパッケージ1の特性試験におい
て、半田ボールSBを介して半田ボール接触面202B
に加わった垂直下方向の力は、突出部203Bから電極
接触用コンタクタ30Bに与えられるが、半田ボール接
触用コンタクタ20Bに対して斜めに接続された電極接
触用コンタクタ30Bにおいては、力が水平方向にも分
散され嵌合溝304B内を突出部203Bが下方向に摺
動する。シート10は弾力性を有しているので、垂直お
よび水平方向の力が吸収され、突出部203Bの摺動に
伴って半田ボール接触用コンタクタ20Bは若干沈み込
むことになる。従って、半田ボールSBの変形が防止さ
れることになる。The structure for the characteristic test of the BGA package 1 is almost the same as the case of using the BGA package socket 100 shown in FIG. In the characteristic test of the BGA package 1, the solder ball contact surface 202B via the solder ball SB
The vertical downward force applied to the electrode contactor 30B is applied to the electrode contactor 30B from the protrusion 203B. However, in the electrode contactor 30B obliquely connected to the solder ball contactor 20B, the force is applied horizontally. Also, the protrusions 203B slide downward in the fitting groove 304B. Since the seat 10 has elasticity, the vertical and horizontal forces are absorbed, and the contactor 20B for contacting the solder ball slightly sinks as the protrusion 203B slides. Therefore, the deformation of the solder ball SB is prevented.
【0051】なお、半田ボール接触用コンタクタ20B
の半田ボール接触面202Bからテストボード40のラ
ンド60までの経路長が、従来のBGAパッケージ4の
テストボード1の上面から半田ボールSBまでの長さの
4分の1程度に短縮されることについてはBGAパッケ
ージ用ソケット100の場合と同様である。The contactor 20B for contacting the solder ball
The path length from the solder ball contact surface 202B to the land 60 of the test board 40 is shortened to about a quarter of the length from the upper surface of the test board 1 of the conventional BGA package 4 to the solder ball SB. Is similar to the case of the BGA package socket 100.
【0052】なお、以上説明したBGAパッケージ用ソ
ケット100〜300では電極接触用コンタクタ30、
30A、30Bの一方端に、脱落防止のための脱落防止
球303、303A、303Bを付加した構成を示して
いるが、必ずしも脱落防止球303、303A、303
Bを設ける必要はない。In the BGA package sockets 100 to 300 described above, the contactor 30 for electrode contact,
Although the caps 30A and 30B are provided with drop-prevention balls 303, 303A, and 303B for preventing the caps from falling off, the caps 303, 303A, and 303 are not necessarily removed.
It is not necessary to provide B.
【0053】<A−4.本発明に係るBGAパッケージ
用ソケットの製造方法>以上説明した本発明に係るBG
Aパッケージ用ソケット100〜300は何れも以下の
ようにして形成される。一例としてBGAパッケージ用
ソケット100の製造工程を示す断面図を図5および図
6に示す。<A-4. Method for Manufacturing Socket for BGA Package According to Present Invention> BG According to Present Invention Described Above
Each of the A package sockets 100 to 300 is formed as follows. 5 and 6 are cross-sectional views showing the manufacturing process of the BGA package socket 100 as an example.
【0054】図5に示す工程において、シート10を準
備し、半田ボール接触用コンタクタ20および電極接触
用コンタクタ30を挿入するためのガイド孔H1および
H2を所定の位置に形成する。図5にはガイド孔H1お
よびH2はそれぞれ1つしか示していないが、先に説明
したように半田ボール接触用コンタクタ20および電極
接触用コンタクタ30はBGAパッケージ1の半田ボー
ルSBの個数および配列に合わせて形成されるので、ガ
イド孔H1およびH2も半田ボールSBの個数に合わせ
て形成される。また、ガイド孔H1およびH2を形成す
る所定の位置は半田ボールSBの配列に合わせて設定さ
れる。なお、半田ボール接触用コンタクタ20および電
極接触用コンタクタ30の配列ピッチには、1mm、
1.27mm、1.50mm、2.57mmなどの種類
があり、これらの配列ピッチに対応する半田ボール接触
用コンタクタ20および電極接触用コンタクタ30の本
体201および301の直径は0.8mm以下となる。In the step shown in FIG. 5, the sheet 10 is prepared, and guide holes H1 and H2 for inserting the contactors 20 for contacting the solder balls and the contactors 30 for contacting the electrodes are formed at predetermined positions. Although only one guide hole H1 and H2 is shown in FIG. 5, as described above, the solder ball contactor 20 and the electrode contactor 30 have the same number and arrangement of the solder balls SB of the BGA package 1. Since they are also formed, the guide holes H1 and H2 are also formed according to the number of solder balls SB. The predetermined positions for forming the guide holes H1 and H2 are set according to the arrangement of the solder balls SB. The arrangement pitch of the contactors 20 for contacting the solder balls and the contactors 30 for contacting the electrodes is 1 mm.
There are types such as 1.27 mm, 1.50 mm, and 2.57 mm, and the diameters of the main bodies 201 and 301 of the contactor 20 for contacting the solder ball and the contactor 30 for contacting the electrode corresponding to these arrangement pitches are 0.8 mm or less. .
【0055】ガイド孔H1およびH2の形状は、半田ボ
ール接触用コンタクタ20および電極接触用コンタクタ
30の形状に合わせる必要はなく単純な孔形状で良い
が、孔径はそれぞれのコンタクタの最大幅より少なくと
も1割程度は小さくする必要がある。このとき、ガイド
孔H1はガイド孔H2と貫通させるが、ガイド孔H2が
シート10を貫通しないようにする。The shape of the guide holes H1 and H2 does not need to match the shapes of the solder ball contacting contactor 20 and the electrode contacting contactor 30, and may be a simple hole shape, but the hole diameter is at least 1 greater than the maximum width of each contactor. It is necessary to make the size small. At this time, the guide hole H1 penetrates the guide hole H2, but the guide hole H2 does not penetrate the sheet 10.
【0056】次に図6に示す工程において、シート10
が溶ける程の温度に熱した半田ボール接触用コンタクタ
20および電極接触用コンタクタ30を、それぞれガイ
ド孔H1およびH2に挿入する。熱された半田ボール接
触用コンタクタ20および電極接触用コンタクタ30
は、小さめに形成されたガイド孔H1およびH2の壁面
を溶かしながら進み、予め設定された所定位置に達した
段階で挿入を停止する。ここで予め設定された所定位置
とは、半田ボール接触用コンタクタ20の接触球203
が電極接触用コンタクタ30の嵌合溝304に嵌合する
位置である。ここで、シート10はバーンイン試験にも
適応できるように少なくとも175℃の温度では物性が
劣化しないような材質で形成されている。Next, in the step shown in FIG. 6, the sheet 10
The contactor 20 for contacting the solder ball and the contactor 30 for contacting the electrode, which have been heated to such a temperature that they melt, are inserted into the guide holes H1 and H2, respectively. Contactor 20 for contacting a heated solder ball and contactor 30 for contacting an electrode
Moves while melting the wall surfaces of the guide holes H1 and H2 that are formed to be smaller, and stops the insertion when reaching a preset predetermined position. Here, the predetermined position set in advance means the contact ball 203 of the contactor 20 for contacting the solder ball.
Is a position to be fitted into the fitting groove 304 of the contactor 30 for electrode contact. Here, the sheet 10 is formed of a material whose physical properties do not deteriorate at a temperature of at least 175 ° C. so as to be applicable to the burn-in test.
【0057】シート10の熱によって溶けた部分は、挿
入された半田ボール接触用コンタクタ20および電極接
触用コンタクタ30を覆いながら冷却して固化する。従
って、半田ボール接触用コンタクタ20および電極接触
用コンタクタ30がシート10に固着され、脱落が防止
されることになる。なお、接触球203と嵌合溝304
との嵌合は、冷却後に熱によって溶けたシート10を破
るように再度行われる。これは、BGAパッケージ用ソ
ケット200および300においても同様である。The portion of the sheet 10 melted by heat is cooled and solidified while covering the inserted solder ball contactor 20 and electrode contactor 30. Therefore, the contactor 20 for contacting the solder ball and the contactor 30 for contacting the electrode are fixed to the sheet 10 and prevented from falling off. The contact ball 203 and the fitting groove 304
The fitting with and is performed again so as to break the sheet 10 melted by heat after cooling. The same applies to the BGA package sockets 200 and 300.
【0058】以上の工程を複数回繰り返すことで、複数
の半田ボール接触用コンタクタ20および電極接触用コ
ンタクタ30を有するBGAパッケージ用ソケット10
0が完成する。By repeating the above steps a plurality of times, the BGA package socket 10 having a plurality of solder ball contacting contactors 20 and electrode contacting contactors 30.
0 is completed.
【0059】なお、BGAパッケージ用ソケット100
などは、半田ボール接触用コンタクタ20および電極接
触用コンタクタ30の形状が比較的簡単であるので、熱
しない状態でガイド孔H1およびH2に押し込むように
して挿入するだけでも良い。Incidentally, the BGA package socket 100
Since the contactor 20 for contacting the solder ball and the contactor 30 for contacting the electrode are relatively simple in shape, etc., they may be inserted into the guide holes H1 and H2 without being heated.
【0060】<B.第2の実施例> <B−1.BGAパッケージ用ソケット400>図7に
本発明に係る第2の実施例としてBGAパッケージ用ソ
ケット400の斜視図を示す。図7において、BGAパ
ッケージ用ソケット400はBGAパッケージの特性試
験に際して半田ボールと接触する円錐形状の半田ボール
接触体70を有し、半田ボール接触体70の頂上部には
4本の支柱板80が等間隔で接続されている。また、4
本の支柱板80の一方端はテストボードに接続される円
錐形状のコンタクトピン90の底面部に等間隔で接続さ
れてBGAパッケージ用ソケット400をなしている。<B. Second Example><B-1. BGA Package Socket 400> FIG. 7 is a perspective view of a BGA package socket 400 according to a second embodiment of the present invention. In FIG. 7, a BGA package socket 400 has a conical solder ball contact body 70 that comes into contact with a solder ball during a BGA package characteristic test, and four pillar plates 80 are provided on top of the solder ball contact body 70. Connected at equal intervals. Also, 4
One end of the pillar plate 80 of the book is connected to the bottom surface of the conical contact pin 90 connected to the test board at equal intervals to form a BGA package socket 400.
【0061】半田ボール接触体70の底面は半田ボール
と接触する半田ボール接触面701であり、半田ボール
の曲率と一致、もしくは3〜4パーセント程度大きい曲
率となるように凹状に湾曲した形状、すなわち凹面形状
となっている。The bottom surface of the solder ball contact body 70 is a solder ball contact surface 701 that comes into contact with the solder ball, and has a concavely curved shape that matches the curvature of the solder ball or has a curvature larger by about 3 to 4%, that is, It has a concave shape.
【0062】支柱板80はバネ性を有した導電体板で形
成され、通常はほぼ直線形状を保っているが、半田ボー
ル接触体70の半田ボール接触面701の方向から力が
加わると、外側に向けて撓むように撓み癖を有してい
る。なお、図7では力が加わって支柱板80が撓んだ状
態を示している。The support plate 80 is formed of a conductive plate having a spring property and normally maintains a substantially linear shape. However, when a force is applied from the direction of the solder ball contact surface 701 of the solder ball contact body 70, the support plate 80 is exposed to the outside. It has a bending tendency to bend toward. It should be noted that FIG. 7 shows a state in which the strut plate 80 is bent by applying a force.
【0063】図8にBGAパッケージ用ソケット400
を用いてBGAパッケージ1の特性試験を行う場合の取
付状態の断面図を示す。図8において、テストボード4
0Aの主面上にガイド枠50が載置され、テストボード
40Aに形成されたピン挿入孔PHにはBGAパッケー
ジ用ソケット400のコンタクトピン90が挿入され、
半田付けによってテストボード40Aとの電気的接触を
得るとともに、位置が固定されている。ここで、ピン挿
入孔PHはBGAパッケージ用ソケット400の個数お
よび配列、すなわちBGAパッケージ1の半田ボールS
Bの個数および配列に合わせて形成されている。FIG. 8 shows a BGA package socket 400.
A sectional view of a mounted state when a characteristic test of the BGA package 1 is performed by using is shown. In FIG. 8, the test board 4
The guide frame 50 is placed on the main surface of 0A, and the contact pin 90 of the BGA package socket 400 is inserted into the pin insertion hole PH formed in the test board 40A.
The position is fixed while electrical contact with the test board 40A is obtained by soldering. Here, the pin insertion hole PH is the number and arrangement of the BGA package sockets 400, that is, the solder balls S of the BGA package 1.
It is formed according to the number and arrangement of B.
【0064】BGAパッケージ1を、配列された複数の
BGAパッケージ用ソケット400の上に載置すること
で半田ボールSBと半田ボール接触体70の半田ボール
接触面701とが接触するが、この状態では接触が不完
全なのでガイド枠50に付属する蓋501を閉じ、蓋5
01を固定するための固定つめ502をガイド枠50に
係合させることで半田ボールSBが半田ボール接触面7
01に押し付けられ電気的接触が確実に得られる。When the BGA package 1 is placed on the plurality of arranged BGA package sockets 400, the solder balls SB and the solder ball contact surface 701 of the solder ball contact body 70 come into contact with each other, but in this state. Since the contact is incomplete, the lid 501 attached to the guide frame 50 is closed, and the lid 5
When the fixing claw 502 for fixing 01 is engaged with the guide frame 50, the solder ball SB moves to the solder ball contact surface 7
It is pressed against 01 to ensure electrical contact.
【0065】BGAパッケージ用ソケット400の構成
において、半田ボール接触体70の半田ボール接触面7
01からテストボード40Aのピン挿入孔PHまでの経
路長は、ほぼ支柱板80の長さに等しく、その長さは3
〜5mm程度となり、従来のBGAパッケージ4におい
てはピン22の半田付け後のテストボード1の上面から
半田ボールSBまでの長さが20mm前後であったの
で、4分の1程度に短縮されたことになる。また、半田
ボール接触体70とコンタクトピン90との間には4本
の支柱板80が並列に接続されているので、支柱板80
が1本の場合に比べてインダクタンスは4分の1にな
る。従って、従来のBGAパッケージ4と比較すると、
インダクタンスは16分の1になる。インダクタンスが
小さくなることにより、瞬間過渡電流により誘起される
電圧ノイズの発生が抑制され、半導体集積回路の機能動
作を安定に保つことができる。In the structure of the BGA package socket 400, the solder ball contact surface 7 of the solder ball contact body 70 is
The path length from 01 to the pin insertion hole PH of the test board 40A is substantially equal to the length of the support plate 80, and the length is 3
In the conventional BGA package 4, the length from the upper surface of the test board 1 after soldering the pins 22 to the solder ball SB was about 20 mm, which was reduced to about 1/4. become. Further, since the four strut plates 80 are connected in parallel between the solder ball contact body 70 and the contact pins 90, the strut plates 80
In comparison with the case where there is only one, the inductance is 1/4. Therefore, comparing with the conventional BGA package 4,
The inductance is 1/16. By reducing the inductance, the generation of voltage noise induced by the instantaneous transient current is suppressed, and the functional operation of the semiconductor integrated circuit can be stably maintained.
【0066】また、ガイド枠50に付属する蓋501を
閉じ、蓋501を固定するための固定つめ502をガイ
ド枠50に係合させることで半田ボールSBが半田ボー
ル接触面701に押し付けられた場合、先に説明したよ
うに4本の支柱板80は外側に向けて撓み、垂直方向の
力が水平方向に分散される。従って、半田ボールに加わ
る圧力が減殺され半田ボールSBの変形が防止されるこ
とになる。When the lid 501 attached to the guide frame 50 is closed and the fixing pawl 502 for fixing the lid 501 is engaged with the guide frame 50, the solder ball SB is pressed against the solder ball contact surface 701. As described above, the four support plates 80 bend outward and the vertical force is dispersed in the horizontal direction. Therefore, the pressure applied to the solder balls is reduced and the solder balls SB are prevented from being deformed.
【0067】なお、図7を用いて説明したBGAパッケ
ージ用ソケット400は、半田ボール接触体70の半田
ボール接触面701が半田ボールの曲率とほぼ一致、も
しくは3〜4パーセント程度大きい曲率となるように凹
状に湾曲した形状であったが、図9に示すように平面で
あっても良い。In the BGA package socket 400 described with reference to FIG. 7, the solder ball contact surface 701 of the solder ball contact body 70 substantially matches the curvature of the solder ball, or has a curvature larger by about 3 to 4%. Although it was concavely curved, it may be flat as shown in FIG.
【0068】次に、図10および図11を用いてテスト
ボード40A上におけるBGAパッケージ用ソケット4
00の配置状態を説明する。図10はテストボード40
A上にBGAパッケージ用ソケット400が配置され、
圧力が加えられていない状態をBGAパッケージ1側か
ら見た平面図であり、図11はBGAパッケージ用ソケ
ット400に圧力を加えた状態をBGAパッケージ1側
から見た平面図である。Next, the BGA package socket 4 on the test board 40A will be described with reference to FIGS.
The arrangement state of 00 will be described. FIG. 10 shows a test board 40
BGA package socket 400 is placed on A,
FIG. 11 is a plan view of the BGA package 1 side when no pressure is applied, and FIG. 11 is a plan view of the BGA package 1 side when a pressure is applied to the BGA package socket 400.
【0069】図10に示すように、BGAパッケージ用
ソケット400は縦横等間隔の格子状に配置されおり、
圧力が加えられていない状態では支柱板80は半田ボー
ル接触体70に隠れて見えないが、圧力が加えられて支
柱板80が外側に撓んだ場合に隣合って配置されたBG
Aパッケージ用ソケット400の支柱板どうしが相互に
接触しないように、支柱板80の撓み方向を考慮してB
GAパッケージ用ソケット400を配列する。すなわ
ち、図11に示すように支柱板80が縦横方向に撓むよ
うに配置されたもの、すなわち平面視形状が十字型にな
るように配置されたものと、支柱板80が左右斜め方向
に撓むように配置されたもの、すなわち平面視形状がX
字型になるように配置されたものとが交互になるように
配列する。As shown in FIG. 10, the BGA package sockets 400 are arranged in a grid pattern with equal vertical and horizontal intervals.
The pillar plates 80 are hidden by the solder ball contact body 70 and invisible when no pressure is applied. However, when the pillar plates 80 are bent outward due to pressure, the BGs arranged next to each other are arranged.
A Considering the bending direction of the strut plate 80 so that the strut plates of the package socket 400 do not contact each other B
The GA package sockets 400 are arranged. That is, as shown in FIG. 11, the support plates 80 are arranged so as to bend in the vertical and horizontal directions, that is, the support plates 80 are arranged so as to have a cross shape in plan view, and the support plates 80 are arranged so as to bend in the left and right diagonal directions. That is, the shape in plan view is X
Arrange them so that the ones arranged in the shape of a letter are alternated.
【0070】ここで、図11においてBGAパッケージ
用ソケット400の中心間のピッチをL、加圧時の支柱
板80の広がりの長さ(BGAパッケージ用ソケット4
00の中心からの長さ)をMとすると、少なくともHere, in FIG. 11, the pitch between the centers of the BGA package socket 400 is L, and the spread length of the support plate 80 at the time of pressurization (the BGA package socket 4
If the length from the center of 00) is M, then at least
【0071】[0071]
【数1】 [Equation 1]
【0072】の関係を満たすように配列する。Arrange so as to satisfy the relationship of.
【0073】以上のように配列することで、隣合うBG
Aパッケージ用ソケット400どうしが接触することな
く、かつ単位面積当たりのBGAパッケージ用ソケット
400の個数を増やすことができる。By arranging as described above, adjacent BGs
It is possible to increase the number of BGA package sockets 400 per unit area without the A package sockets 400 contacting each other.
【0074】<B−2.変形例>以上説明したBGAパ
ッケージ用ソケット400は半田ボール接触体70の頂
上部とコンタクトピン90の底面部との間に4本の支柱
板80を等間隔で並列に接続した構成であったが、支柱
板80を3本としても良い。<B-2. Modification> The BGA package socket 400 described above has a configuration in which four support plates 80 are connected in parallel between the top of the solder ball contact body 70 and the bottom of the contact pin 90 at equal intervals. The number of support plates 80 may be three.
【0075】図12に3本の支柱板80で構成されるB
GAパッケージ用ソケット400Aに圧力を加えた状態
をBGAパッケージ1側から見た平面図を示す。支柱板
80が3本であれば図12に示すように千鳥状に配列す
ることができ、単位面積当たりのBGAパッケージ用ソ
ケットの個数をさらに増やすことができる。In FIG. 12, B composed of three support plates 80
The top view which looked at the state where pressure was applied to the socket 400A for GA packages from the BGA package 1 side is shown. If the pillar plates 80 are three, they can be arranged in a staggered manner as shown in FIG. 12, and the number of BGA package sockets per unit area can be further increased.
【0076】<C.第3の実施例>図13に本発明に係
る第3の実施例としてBGAパッケージ用ソケット50
0の斜視図を示す。図13において、BGAパッケージ
用ソケット500はBGAパッケージの特性試験に際し
て半田ボールと接触するスプリング体110と、スプリ
ング体110の一方端に接続されたコンタクトピン12
0とを有している。<C. Third Embodiment> FIG. 13 shows a BGA package socket 50 according to a third embodiment of the present invention.
0 shows a perspective view of 0. In FIG. 13, a BGA package socket 500 includes a spring body 110 that comes into contact with a solder ball in a BGA package characteristic test, and a contact pin 12 connected to one end of the spring body 110.
0.
【0077】スプリング体110はバネ性を有した導体
線で形成され、コンタクトピン120に接続された一方
端から螺旋を描いて広がった形状であり、広がりの程度
は半田ボールの表面に接しながら半田ボールを覆うよう
に設定されている。図14にBGAパッケージ用ソケッ
ト500を半田ボール側から見た平面図を示す。また、
図14のA−A’線における断面図を図15に示す。The spring body 110 is formed of a conductive wire having a spring property, and has a shape that spreads in a spiral form from one end connected to the contact pin 120. The extent of the spread is such that the solder ball is in contact with the surface of the solder ball. It is set to cover the ball. FIG. 14 shows a plan view of the BGA package socket 500 viewed from the solder ball side. Also,
A cross-sectional view taken along the line AA 'in FIG. 14 is shown in FIG.
【0078】次に図16および図17を用いてBGAパ
ッケージ用ソケット500の動作について説明する。図
16および図17は半田ボールSBをスプリング体11
0内に保持した状態を模式的に示した断面図であり、半
田ボールSBを単なる球体として示している。図16は
半田ボールSBに位置ずれがない場合に半田ボールSB
を保持するスプリング体110の状態を表し、図17は
半田ボールSBの位置がずれている場合に半田ボールS
Bを保持するスプリング体110の状態を表している。
図16に示すように半田ボールSBに位置ずれがない場
合、スプリング体110は半田ボールSBの表面に接触
し良好な導通状態が得られている。一方、図17に示す
ように半田ボールSBに位置ずれがある場合でも、スプ
リング体110の弾性により、ずれの方向にスプリング
体110が変形するので、半田ボールSBの表面との接
触が保たれ、良好な導通状態が得られることになる。な
お、半田ボールSBの位置ずれはBGAパッケージ1の
製作時に、半田位置がずれることにより発生する。ま
た、半田ボールSBの位置ずれは前後、左右、上下方向
に発生し、BGAパッケージ用ソケット500はいずれ
の場合でもスプリング体110の変形により対応するこ
とができる。Next, the operation of the BGA package socket 500 will be described with reference to FIGS. 16 and 17. 16 and 17 show the solder ball SB with the spring body 11
It is a cross-sectional view schematically showing a state of being held in 0, the solder ball SB is shown as a mere sphere. FIG. 16 shows the solder balls SB when the solder balls SB are not displaced.
FIG. 17 shows the state of the spring body 110 holding the solder ball S. FIG. 17 shows the solder ball S when the position of the solder ball SB is displaced.
The state of the spring body 110 holding B is shown.
As shown in FIG. 16, when the solder balls SB are not displaced, the spring body 110 comes into contact with the surface of the solder balls SB and a good conductive state is obtained. On the other hand, even if the solder balls SB are displaced as shown in FIG. 17, the elasticity of the spring bodies 110 deforms the spring bodies 110 in the direction of displacement, so that contact with the surface of the solder balls SB is maintained. A good conduction state can be obtained. The positional deviation of the solder ball SB occurs due to the positional deviation of the solder when the BGA package 1 is manufactured. Further, the displacement of the solder balls SB occurs in the front-back, left-right, and up-down directions, and the BGA package socket 500 can be dealt with by the deformation of the spring body 110 in any case.
【0079】BGAパッケージ用ソケット500の構成
において、スプリング体110のインダクタンスは半田
ボールSBと接触していない部分の長さで決まるが、ス
プリング体110の大部分は半田ボールSBと接触して
おり、接触していない部分の長さは僅かであるのでイン
ダクタンスは小さくなる。インダクタンスが小さくなる
ことにより、瞬間過渡電流により誘起される電圧ノイズ
の発生が抑制され、半導体集積回路の機能動作を安定に
保つことができる。In the structure of the BGA package socket 500, the inductance of the spring body 110 is determined by the length of the portion which is not in contact with the solder ball SB, but most of the spring body 110 is in contact with the solder ball SB, Since the length of the portion which is not in contact is small, the inductance is small. By reducing the inductance, the generation of voltage noise induced by the instantaneous transient current is suppressed, and the functional operation of the semiconductor integrated circuit can be stably maintained.
【0080】図18にBGAパッケージ用ソケット50
0を用いてBGAパッケージ1の特性試験を行う場合の
取付状態の断面図を示す。図18において、テストボー
ド40Aの主面上にガイド枠50が載置され、テストボ
ード40Bに形成されたピン挿入孔PHにはBGAパッ
ケージ用ソケット500のコンタクトピン120が挿入
され、半田付けによってテストボード40Bとの電気的
接触を得るとともに、位置が固定されている。ここで、
ピン挿入孔PHはBGAパッケージ用ソケット500の
個数および配列、すなわちBGAパッケージ1の半田ボ
ールSBの個数および配列に合わせて形成されている。FIG. 18 shows a BGA package socket 50.
2 is a cross-sectional view of a mounted state when a characteristic test of the BGA package 1 is performed using 0. In FIG. 18, the guide frame 50 is placed on the main surface of the test board 40A, the contact pins 120 of the BGA package socket 500 are inserted into the pin insertion holes PH formed in the test board 40B, and the test is performed by soldering. It makes electrical contact with the board 40B and is fixed in position. here,
The pin insertion holes PH are formed according to the number and arrangement of the BGA package sockets 500, that is, the number and arrangement of the solder balls SB of the BGA package 1.
【0081】BGAパッケージ1を、配列された複数の
BGAパッケージ用ソケット500の上に載置すること
で半田ボールSBとスプリング体110とが接触する
が、この状態では接触が不完全なのでガイド枠50に付
属する蓋501を閉じ、蓋501を固定するための固定
つめ502をガイド枠50に係合させることで半田ボー
ルSBがスプリング体110に押し付けられ電気的接触
が確実に得られる。By placing the BGA package 1 on the plurality of BGA package sockets 500 arranged, the solder balls SB and the spring body 110 come into contact with each other. The lid 501 attached to is closed, and the fixing pawl 502 for fixing the lid 501 is engaged with the guide frame 50, so that the solder ball SB is pressed against the spring body 110 and electric contact is surely obtained.
【0082】ここで、ガイド枠50に付属する蓋501
を閉じ、蓋501を固定するための固定つめ502をガ
イド枠50に係合させることで半田ボールSBがスプリ
ング体110に押し付けられた場合、スプリング体11
0が圧縮されて垂直方向の力が吸収される。従って、半
田ボールに加わる圧力が減殺され半田ボールSBの変形
が防止されることになる。Here, a lid 501 attached to the guide frame 50
And the fixing pawl 502 for fixing the lid 501 is engaged with the guide frame 50 to press the solder ball SB against the spring body 110.
0 is compressed and the vertical force is absorbed. Therefore, the pressure applied to the solder balls is reduced and the solder balls SB are prevented from being deformed.
【0083】<D.第4の実施例>図19に本発明に係
る第4の実施例としてBGAパッケージ用ソケット60
0の部分断面図を示す。図19において、BGAパッケ
ージ用ソケット600はBGAパッケージの特性試験に
際して半田ボールと接触する半田ボール接触体210お
よびテストボードに接続されるコンタクトピン220
と、半田ボール接触体210とコンタクトピン220と
の間に介挿された導電性のバネ230と、それらを収容
する中空円筒形状の導電性のハウジング240とを備え
て構成されている。<D. Fourth Preferred Embodiment> FIG. 19 shows a BGA package socket 60 according to a fourth preferred embodiment of the present invention.
0 shows a partial sectional view of 0. In FIG. 19, a BGA package socket 600 includes a solder ball contact body 210 that contacts a solder ball and a contact pin 220 that is connected to a test board in a characteristic test of the BGA package.
And a conductive spring 230 inserted between the solder ball contact body 210 and the contact pin 220, and a hollow cylindrical conductive housing 240 that accommodates them.
【0084】半田ボール接触体210は、ハウジング2
40外にあって半田ボールが接触する半田ボール接触面
211と、ハウジング240内にあってバネ230の一
方端が接続される底部212と、半田ボール接触面21
1と底部212との間の支柱部213で構成されてい
る。なお、半田ボール接触面211は半田ボールの曲率
と一致、もしくは3〜4パーセント程度大きい曲率とな
るように凹状に湾曲した形状、すなわち凹面形状となっ
ている。The solder ball contact body 210 is used for the housing 2
40, a solder ball contact surface 211 that is in contact with a solder ball, a bottom portion 212 that is inside the housing 240 and is connected to one end of a spring 230, and a solder ball contact surface 21.
It is composed of a column portion 213 between 1 and the bottom portion 212. In addition, the solder ball contact surface 211 has a concave curved shape, that is, a concave shape so as to match the curvature of the solder ball or have a curvature larger by about 3 to 4%.
【0085】また、コンタクトピン220はテストボー
ドのピン挿入孔内に挿入され半田付けにより固定される
挿入部221と、ハウジング240内にあってバネ23
0の一方端が接続される底部222とで構成されてい
る。Further, the contact pin 220 is inserted into the pin insertion hole of the test board and fixed by soldering, and the spring 23 is provided in the housing 240.
And a bottom portion 222 to which one end of 0 is connected.
【0086】ハウジング240の形状は、一方の端部に
蓋241を有する中空円筒であり、蓋の中央部には開口
部242を有している。開口部242はコンタクトピン
220の挿入部221が通過できる大きさであり、開口
部242から挿入部221が突出するようにコンタクト
ピン220が配置される。また、ハウジング240の他
方の端部は半田ボール接触体210の底部212および
バネ230、コンタクトピン220の底部222の寸法
よりも若干小さな開口部243を有している。The shape of the housing 240 is a hollow cylinder having a lid 241 at one end, and an opening 242 is provided at the center of the lid. The opening 242 has a size that allows the insertion portion 221 of the contact pin 220 to pass therethrough, and the contact pin 220 is arranged so that the insertion portion 221 projects from the opening 242. The other end of the housing 240 has an opening 243 that is slightly smaller than the dimensions of the bottom 212 of the solder ball contact body 210, the spring 230, and the bottom 222 of the contact pin 220.
【0087】BGAパッケージ用ソケット600の組み
立て手順は、挿入部221が開口部242を通過するよ
うにコンタクトピン220をハウジング240内に挿入
する。このとき、コンタクトピン220の底部にはバネ
230が予め接続され、バネ230を介して半田ボール
接触体210が接続されている。従って、コンタクトピ
ン220を挿入することでバネ230および半田ボール
接触体210が連続的に挿入されることになる。なお、
バネ230は導電性であるのでコンタクトピン220は
バネ230を介して半田ボール接触体210に電気的に
つながっていることになる。In the procedure for assembling the BGA package socket 600, the contact pin 220 is inserted into the housing 240 so that the insertion portion 221 passes through the opening 242. At this time, the spring 230 is previously connected to the bottom of the contact pin 220, and the solder ball contact body 210 is connected via the spring 230. Therefore, by inserting the contact pin 220, the spring 230 and the solder ball contact body 210 are continuously inserted. In addition,
Since the spring 230 is conductive, the contact pin 220 is electrically connected to the solder ball contact body 210 via the spring 230.
【0088】ここで、ハウジング240の開口部243
の寸法は、半田ボール接触体210の底部212および
バネ230、コンタクトピン220の底部222の寸法
よりも若干小さいが、それはミクロン単位で小さいとい
うことを意味している。例えば、開口部243の寸法が
半田ボール接触体210の底部212の寸法(円筒形の
場合は直径)よりも10〜20μm程度小さい場合であ
れば、半田ボール接触体210の挿入の際に若干強く押
込めば、半田ボール接触体210の底部212は開口部
243を通過してハウジング240内に挿入されること
になる。これは、コンタクトピン220およびバネ23
0においても同様である。また、ハウジング240内の
寸法(円筒形の場合は直径)は底部212の寸法よりも
大きく形成されているので、半田ボール接触体210は
自由にスライドできる。なお、バネ230の弾性力では
半田ボール接触体210の底部212は開口部243を
通過して飛び出すことはできないので、BGAパッケー
ジ用ソケット600が配列されたテストボードを傾斜さ
せても半田ボール接触体210およびバネ230がハウ
ジング240から飛び出すことはない。Here, the opening 243 of the housing 240.
The dimension of is slightly smaller than the dimensions of the bottom portion 212 and the spring 230 of the solder ball contact body 210 and the bottom portion 222 of the contact pin 220, but it means that it is smaller in units of microns. For example, when the size of the opening 243 is smaller than the size (diameter in the case of a cylindrical shape) of the bottom part 212 of the solder ball contact body 210 by about 10 to 20 μm, it is slightly stronger when the solder ball contact body 210 is inserted. When pushed in, the bottom portion 212 of the solder ball contact body 210 passes through the opening 243 and is inserted into the housing 240. This is the contact pin 220 and the spring 23.
The same applies to 0. Further, since the size (diameter in the case of a cylindrical shape) inside the housing 240 is formed larger than the size of the bottom portion 212, the solder ball contact body 210 can freely slide. Since the bottom portion 212 of the solder ball contact member 210 cannot pass through the opening 243 due to the elastic force of the spring 230, the solder ball contact member cannot be jumped out even if the test board on which the BGA package sockets 600 are arranged is tilted. 210 and spring 230 do not spring out of housing 240.
【0089】図20にBGAパッケージ用ソケット60
0を用いてBGAパッケージ1の特性試験を行う場合の
取付状態の断面図を示す。図20において、テストボー
ド40Cの主面上にガイド枠50が載置され、テストボ
ード40Cに形成されたピン挿入孔PHにはBGAパッ
ケージ用ソケット500のコンタクトピン220の挿入
部221が挿入され、半田付けによってテストボード4
0Cとの電気的接触を得るとともに、位置が固定されて
いる。ここで、ピン挿入孔PHはBGAパッケージ用ソ
ケット600の個数および配列、すなわちBGAパッケ
ージ1の半田ボールSBの個数および配列に合わせて形
成されている。FIG. 20 shows a BGA package socket 60.
2 is a cross-sectional view of a mounted state when a characteristic test of the BGA package 1 is performed using 0. 20, the guide frame 50 is placed on the main surface of the test board 40C, and the insertion portion 221 of the contact pin 220 of the BGA package socket 500 is inserted into the pin insertion hole PH formed in the test board 40C. Test board 4 by soldering
It makes electrical contact with 0C and is fixed in position. Here, the pin insertion holes PH are formed according to the number and arrangement of the BGA package sockets 600, that is, the number and arrangement of the solder balls SB of the BGA package 1.
【0090】BGAパッケージ1を、配列された複数の
BGAパッケージ用ソケット600の上に載置すること
で半田ボールSBと半田ボール接触体210の半田ボー
ル接触面211とが接触するが、この状態では接触が不
完全なのでガイド枠50に付属する蓋501を閉じ、蓋
501を固定するための固定つめ502をガイド枠50
に係合させることで半田ボールSBが半田ボール接触面
211に押し付けられ電気的接触が確実に得られる。When the BGA package 1 is placed on the plurality of arranged BGA package sockets 600, the solder balls SB and the solder ball contact surface 211 of the solder ball contact body 210 come into contact with each other, but in this state. Since the contact is incomplete, the lid 501 attached to the guide frame 50 is closed, and the fixing pawl 502 for fixing the lid 501 is attached to the guide frame 50.
By engaging with the solder ball SB, the solder ball SB is pressed against the solder ball contact surface 211, and electrical contact is surely obtained.
【0091】半田ボールSBが半田ボール接触面211
に押し付けられた場合、バネ230が縮んで垂直方向の
力が吸収される。従って、半田ボールに加わる圧力が減
殺され半田ボールSBの変形が防止されることになる。The solder balls SB are the solder ball contact surfaces 211.
When pressed against, the spring 230 contracts and the vertical force is absorbed. Therefore, the pressure applied to the solder balls is reduced and the solder balls SB are prevented from being deformed.
【0092】また、バネ230の長さは引き延ばした状
態でも3〜5mm程度であり、従来のBGAパッケージ
4においてはピン22の半田付け後のテストボード1の
上面から半田ボールSBまでの長さが20mm前後であ
ったので、4分の1程度に短縮されたことになる。従っ
てインダクタンスが小さくなり、瞬間過渡電流により誘
起される電圧ノイズの発生が抑制され、半導体集積回路
の機能動作を安定に保つことができる。Further, the length of the spring 230 is about 3 to 5 mm even in the extended state, and in the conventional BGA package 4, the length from the upper surface of the test board 1 after soldering the pins 22 to the solder ball SB is large. Since it was around 20 mm, it was shortened to about 1/4. Therefore, the inductance is reduced, the generation of voltage noise induced by the instantaneous transient current is suppressed, and the functional operation of the semiconductor integrated circuit can be stably maintained.
【0093】[0093]
【発明の効果】本発明に係る請求項1記載のBGAパッ
ケージ用ソケットによれば、半田ボール接触用コンタク
タに加わった垂直方向の圧力は電極接触用コンタクタを
介して水平方向に分散されるとともに、半田ボール接触
用コンタクタの他方の端面が電極接触用コンタクタの側
面を滑るので、半田ボール接触用コンタクタが垂直方向
に沈み込み、半田ボールに加わる圧力が減殺され、テス
ト時に半田ボールが損傷することが防止される。また、
半田ボール接触用コンタクタと電極接触用コンタクタの
接続後の長さが短いのでインダクタンスを低減すること
ができ、高速動作する半導体集積回路の特性試験におい
て、半導体集積回路を安定に機能させることができるB
GAパッケージ用ソケットが得られる。According to the socket for BGA package according to claim 1 of the present invention, the vertical pressure applied to the contactor for contacting the solder ball is dispersed horizontally through the contactor for contacting the electrode, and Since the other end surface of the contactor for contacting the solder ball slides on the side surface of the contactor for contacting the electrode, the contactor for contacting the solder ball sinks vertically, the pressure applied to the solder ball is reduced, and the solder ball may be damaged during the test. To be prevented. Also,
Since the contactor for contacting the solder ball and the contactor for contacting the electrode are short in length after connection, the inductance can be reduced and the semiconductor integrated circuit can be stably operated in the characteristic test of the semiconductor integrated circuit operating at high speed.
A GA package socket is obtained.
【0094】本発明に係る請求項2記載のBGAパッケ
ージ用ソケットによれば、半田ボールの一点に圧力が集
中することが防止されるので半田ボールに加わる圧力が
減殺され、テスト時に半田ボールが損傷することが防止
される。また、半田ボール接触用コンタクタの略球形状
の他方の端面が嵌合溝に嵌合することで、半田ボール接
触用コンタクタと電極接触用コンタクタとの電気的接続
が良好になるとともに、機械的にも強固に接合され、簡
単に接続が断たれることが防止されるので、耐久力のあ
るBGAパッケージ用ソケットが得られる。According to the socket for BGA package according to claim 2 of the present invention, the pressure is prevented from concentrating on one point of the solder ball, so that the pressure applied to the solder ball is reduced and the solder ball is damaged during the test. Is prevented. Also, by fitting the other end face of the substantially spherical shape of the solder ball contacting contactor into the fitting groove, the electrical connection between the solder ball contacting contactor and the electrode contacting contactor becomes good and mechanically Since it is firmly joined and the connection is prevented from being easily broken, a durable BGA package socket can be obtained.
【0095】本発明に係る請求項3記載のBGAパッケ
ージ用ソケットによれば、半田ボールの接触面積が増加
することになり、半田ボール接触用コンタクタに垂直方
向の圧力が加わった場合に、半田ボールの一点に圧力が
集中することが防止され半田ボールが損傷することが防
止されるとともに、半田ボールとの接触抵抗が低下して
良好な電気的接続を達成できる。また、半田ボール接触
用コンタクタと電極接触用コンタクタとの電気的接続が
良好になるとともに、機械的にも強固に接合され、簡単
に接続が断たれることが防止されるので、耐久力のある
BGAパッケージ用ソケットが得られる。According to the socket for BGA package according to claim 3 of the present invention, the contact area of the solder ball is increased, and when the vertical pressure is applied to the contactor for contacting the solder ball, the solder ball is contacted. It is possible to prevent the pressure from concentrating on one point, prevent the solder ball from being damaged, and reduce the contact resistance with the solder ball to achieve good electrical connection. Further, the contact between the contactor for contacting the solder ball and the contactor for contacting the electrode is improved, and the contactor is firmly mechanically joined to prevent the connection from being easily broken. A BGA package socket is obtained.
【0096】本発明に係る請求項4記載のBGAパッケ
ージ用ソケットによれば、半田ボールの接触面積が増加
することになり、半田ボール接触用コンタクタに垂直方
向の圧力が加わった場合に、半田ボールの一点に圧力が
集中することが防止され半田ボールが損傷することが防
止されるとともに、半田ボールとの接触抵抗が低下して
良好な電気的接続を達成できる。また、半田ボール接触
用コンタクタと電極接触用コンタクタとの電気的接続が
良好になるとともに、機械的にも強固に接合され、簡単
に接続が断たれることが防止されるので、耐久力のある
BGAパッケージ用ソケットが得られる。According to the socket for BGA package according to the fourth aspect of the present invention, the contact area of the solder ball is increased, and when the vertical pressure is applied to the contactor for contacting the solder ball, the solder ball is contacted. It is possible to prevent the pressure from concentrating on one point, prevent the solder ball from being damaged, and reduce the contact resistance with the solder ball to achieve good electrical connection. Further, the contact between the contactor for contacting the solder ball and the contactor for contacting the electrode is improved, and the contactor is firmly mechanically joined to prevent the connection from being easily broken. A BGA package socket is obtained.
【0097】本発明に係る請求項5記載のBGAパッケ
ージ用ソケットによれば、半田ボール接触体に加わった
垂直方向の圧力は支柱板の撓みによって吸収され半田ボ
ールに加わる圧力が減殺され、テスト時に半田ボールが
損傷することが防止される。また、半田ボール接触体と
コンタクトピンとの間に複数の支柱板が並列に接続され
ているのでインダクタンスを低減することができ、高速
動作する半導体集積回路の特性試験において、半導体集
積回路を安定に機能させることができるBGAパッケー
ジ用ソケットが得られる。According to the socket for BGA package according to claim 5 of the present invention, the vertical pressure applied to the solder ball contact body is absorbed by the bending of the support plate, and the pressure applied to the solder ball is reduced. Damage to the solder balls is prevented. Further, since a plurality of support plates are connected in parallel between the solder ball contact body and the contact pin, the inductance can be reduced and the semiconductor integrated circuit can be stably operated in the characteristic test of the semiconductor integrated circuit operating at high speed. A socket for a BGA package that can be used is obtained.
【0098】本発明に係る請求項6記載のBGAパッケ
ージ用ソケットによれば、支柱板の撓み方向を考慮して
配列することで、隣合うBGAパッケージ用ソケットど
うしが接触せず、単位面積当たりのソケットの個数を増
やすことができるので、端子数の多いBGAパッケージ
に対応することができる。According to the socket for BGA package according to the sixth aspect of the present invention, by arranging in consideration of the bending direction of the support plate, the adjacent sockets for BGA package do not come into contact with each other, and a unit area per unit area is reduced. Since the number of sockets can be increased, it is possible to support a BGA package having a large number of terminals.
【0099】本発明に係る請求項7記載のBGAパッケ
ージ用ソケットによれば、半田ボールに位置ずれがある
場合でも、スプリング体の弾性により、ずれの方向にス
プリング体が変形するので、半田ボールの表面との接触
を保つことができ、製作時に半田ボールの位置ずれが生
じたBGAパッケージに対応したBGAパッケージ用ソ
ケットが得られる。According to the BGA package socket of the seventh aspect of the present invention, even if the solder ball is displaced, the elasticity of the spring body causes the spring body to deform in the direction of the displacement. The contact with the surface can be maintained, and the BGA package socket corresponding to the BGA package in which the position of the solder ball is displaced during manufacturing can be obtained.
【0100】本発明に係る請求項8記載のBGAパッケ
ージ用ソケットによれば、半田ボール接触用コンタクタ
に加わった垂直方向の圧力はバネによって吸収され半田
ボールに加わる圧力が減殺されることになるので、テス
ト時に半田ボールが損傷することを防止したBGAパッ
ケージ用ソケットが得られる。According to the eighth aspect of the BGA package socket of the present invention, the vertical pressure applied to the solder ball contactor is absorbed by the spring and the pressure applied to the solder ball is reduced. A BGA package socket in which solder balls are prevented from being damaged during a test can be obtained.
【0101】本発明に係る請求項9記載のBGAパッケ
ージ用ソケットの組み立て方法によれば、工程(c)にお
いて挿入された半田ボール接触用コンタクタおよび、工
程(d)において挿入された電極接触用コンタクタが絶縁
板の弾力性により固定されることになるので、簡単な工
程で請求項1記載のBGAパッケージ用ソケットが得ら
れる。According to the assembling method of the socket for BGA package according to claim 9 of the present invention, the contactor for contacting the solder ball inserted in step (c) and the contactor for contacting electrode inserted in step (d). Is fixed by the elasticity of the insulating plate, so that the BGA package socket according to claim 1 can be obtained by a simple process.
【0102】本発明に係る請求項10記載のBGAパッ
ケージ用ソケットの組み立て方法によれば、半田ボール
接触用コンタクタおよび電極接触用コンタクタの挿入部
分が熱によって溶けた絶縁板で覆われ、冷却して固化す
ることで絶縁板に固着されることになるので、半田ボー
ル接触用コンタクタおよび電極接触用コンタクタが確実
に固定され、脱落や位置変動のないBGAパッケージ用
ソケットが得られる。According to the method for assembling the BGA package socket of the tenth aspect of the present invention, the insertion portions of the solder ball contactor and the electrode contactor are covered with an insulating plate melted by heat and cooled. Since it is fixed to the insulating plate by solidifying, the contactor for contacting the solder ball and the contactor for contacting the electrode are surely fixed, and a socket for BGA package which does not fall off or change in position can be obtained.
【図1】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケットの
第1の実施例を説明する斜視図である。FIG. 1 is a perspective view illustrating a first embodiment of a BGA package socket according to the present invention.
【図2】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケットの
第1の実施例を用いた特性試験の装置構成を示す図であ
る。FIG. 2 is a diagram showing a device configuration for a characteristic test using the first embodiment of the BGA package socket according to the present invention.
【図3】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケットの
第1の実施例の変形例を説明する斜視図である。FIG. 3 is a perspective view illustrating a modified example of the first embodiment of the BGA package socket according to the present invention.
【図4】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケットの
第1の実施例の変形例を説明する斜視図である。FIG. 4 is a perspective view illustrating a modified example of the first embodiment of the BGA package socket according to the present invention.
【図5】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケットの
組み立て方法を説明する工程図である。FIG. 5 is a process diagram illustrating a method for assembling the BGA package socket according to the present invention.
【図6】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケットの
組み立て方法を説明する工程図である。FIG. 6 is a process diagram illustrating a method for assembling a BGA package socket according to the present invention.
【図7】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケットの
第2の実施例を説明する斜視図である。FIG. 7 is a perspective view illustrating a second embodiment of the BGA package socket according to the present invention.
【図8】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケットの
第2の実施例を用いた特性試験の装置構成を示す図であ
る。FIG. 8 is a diagram showing a device configuration of a characteristic test using a second embodiment of the BGA package socket according to the present invention.
【図9】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケットの
第2の実施例を説明する斜視図である。FIG. 9 is a perspective view illustrating a second embodiment of the BGA package socket according to the present invention.
【図10】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケット
の第2の実施例の配列状態を示す平面図である。FIG. 10 is a plan view showing an arrangement state of a second embodiment of the BGA package socket according to the present invention.
【図11】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケット
の第2の実施例の配列状態を示す平面図である。FIG. 11 is a plan view showing an arrangement state of a second embodiment of the BGA package socket according to the present invention.
【図12】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケット
の第2の実施例の変形例の配列状態を示す平面図であ
る。FIG. 12 is a plan view showing an arrangement state of a modified example of the second embodiment of the BGA package socket according to the present invention.
【図13】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケット
の第3の実施例を説明する斜視図である。FIG. 13 is a perspective view illustrating a third embodiment of the BGA package socket according to the present invention.
【図14】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケット
の第3の実施例を説明する平面図である。FIG. 14 is a plan view illustrating a third embodiment of the BGA package socket according to the present invention.
【図15】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケット
の第3の実施例を説明する断面図である。FIG. 15 is a sectional view illustrating a third embodiment of the BGA package socket according to the present invention.
【図16】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケット
の第3の実施例の動作を説明する図である。FIG. 16 is a diagram for explaining the operation of the third embodiment of the BGA package socket according to the present invention.
【図17】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケット
の第3の実施例の動作を説明する図である。FIG. 17 is a diagram for explaining the operation of the third embodiment of the BGA package socket according to the present invention.
【図18】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケット
の第3の実施例を用いた特性試験の構成を示す図であ
る。FIG. 18 is a diagram showing a configuration of a characteristic test using a BGA package socket according to a third embodiment of the present invention.
【図19】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケット
の第4の実施例を説明する断面図である。FIG. 19 is a sectional view illustrating a fourth embodiment of the BGA package socket according to the present invention.
【図20】 本発明に係るBGAパッケージ用ソケット
の第4の実施例を用いた特性試験の構成を示す図であ
る。FIG. 20 is a diagram showing a configuration of a characteristic test using a BGA package socket according to a fourth embodiment of the present invention.
【図21】 従来のBGAパッケージ用ソケットを用い
た特性試験の装置構成を示す図である。FIG. 21 is a diagram showing a device configuration of a characteristic test using a conventional BGA package socket.
1 BGAパッケージ、10 シート、20,20A,
20B 半田ボール接触用コンタクタ、30,30A,
30B 電極接触用コンタクタ、40,40A,40
B,40C テストボード、50 ガイド枠、60 ラ
ンド、70 半田ボール接触体、80 支柱板、90
コンタクトピン、110 スプリング体、120 コン
タクトピン、201,201A,201B 本体、30
1,301A,301B 本体、202,202A,2
02B 半田ボール接触面、203A 接触端面、20
3B 突出部、203 接触球、302,302A ラ
ンド接触球、304A 係合部、305A 係合面、2
10 半田ボール接触体、211 半田ボール接触面、
212 底部、213 支柱部、220 コンタクトピ
ン、221 挿入部、222 底部、230 バネ、2
40 ハウジング、241 蓋、242、243 開口
部。1 BGA package, 10 sheets, 20, 20A,
20B Solder ball contactor, 30, 30A,
30B Contactor for electrode contact, 40, 40A, 40
B, 40C test board, 50 guide frame, 60 land, 70 solder ball contact body, 80 support plate, 90
Contact pin, 110 spring body, 120 contact pin, 201, 201A, 201B body, 30
1, 301A, 301B main body, 202, 202A, 2
02B solder ball contact surface, 203A contact end surface, 20
3B Projection part, 203 Contact ball, 302, 302A Land contact ball, 304A Engagement part, 305A Engagement surface, 2
10 solder ball contact body, 211 solder ball contact surface,
212 bottom part, 213 column part, 220 contact pin, 221 insertion part, 222 bottom part, 230 spring, 2
40 housing, 241 lid, 242, 243 openings.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 兵三 正彦 兵庫県伊丹市瑞原4丁目1番地 三菱電機 株式会社システムエル・エス・アイ開発研 究所内 (72)発明者 垣内 裕隆 兵庫県伊丹市東野四丁目61番5号 三菱電 機エンジニアリング株式会社エル・エス・ アイ設計センター内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued Front Page (72) Inventor Masahiko Hyosan 4-Chome, Mizuhara, Itami City, Hyogo Prefecture Mitsubishi Electric Corporation System LSI Development Laboratory (72) Inventor Hirotaka Kakiuchi Higashino Itami City, Hyogo Prefecture 4-61-5 Mitsubishi Electric Engineering Co., Ltd. LSI Design Center
Claims (10)
する半田ボール接触用コンタクタと、 その一方の端面が略球形で前記BGAパッケージの試験
装置の電極板に接触する電極接触用コンタクタとを備
え、 前記半田ボール接触用コンタクタは、その他方の端面側
が前記絶縁板の一方の主面内に垂直に挿入され、 前記電極接触用コンタクタは、その他方の端面側が前記
絶縁板の他方の主面内に斜めに挿入され、その側面が前
記半田ボール接触用コンタクタの他方の端面に接触して
いることを特徴とするBGAパッケージ用ソケット。1. An elastic insulating plate, a solder ball contactor whose one end surface is in contact with a solder ball of a BGA package, and one end surface of which is substantially spherical, and an electrode plate of the BGA package testing device. And a contactor for contacting an electrode, wherein the contactor for contacting the solder ball is vertically inserted into one main surface of the insulating plate at the other end face side, and the contactor for contacting the electrode is the other end face. A BGA package socket characterized in that a side thereof is obliquely inserted into the other main surface of the insulating plate, and a side surface thereof is in contact with the other end surface of the solder ball contactor.
一方の端面の形状は、前記BGAパッケージの半田ボー
ルの曲率と略一致する曲率を有する凹面形状であり、 前記半田ボール接触用コンタクタの前記他方の端面の形
状は略球形状であり、 前記電極接触用コンタクタの側面には、前記半田ボール
接触用コンタクタの略球形状の前記他方の端面の曲率に
略一致する曲率を有し、前記半田ボール接触用コンタク
タの略球形状の前記他方の端面に嵌合する嵌合溝が軸方
向に沿って備えられる請求項1記載のBGAパッケージ
用ソケット。2. The shape of the one end surface of the solder ball contacting contactor is a concave shape having a curvature that substantially matches the curvature of the solder ball of the BGA package, and the other end surface of the solder ball contacting contactor is formed. The end surface has a substantially spherical shape, and a side surface of the contactor for contacting the electrode has a curvature that substantially matches the curvature of the other end surface of the contactor for contacting the solder ball, which has a substantially spherical shape. The socket for a BGA package according to claim 1, wherein a fitting groove that fits into the substantially spherical end surface of the contactor is provided along the axial direction.
一方の端面の形状は、前記BGAパッケージの半田ボー
ルの曲率と略一致する曲率を有する凹面形状であり、 前記半田ボール接触用コンタクタの前記他方の端面の形
状は、所定の角度で円柱を斜めに切り取った形状であ
り、 前記電極接触用コンタクタの側面には、前記半田ボール
接触用コンタクタの前記他方の端面と係合するように、
平面形状が前記半田ボール接触用コンタクタの前記他方
の端面の形状に合致し、かつ、前記所定の角度と同一の
傾斜角となるように形成された係合面を有する突出した
係合部が備えられる請求項1記載のBGAパッケージ用
ソケット。3. The shape of the one end surface of the solder ball contacting contactor is a concave shape having a curvature that substantially matches the curvature of the solder ball of the BGA package, and the other end surface of the solder ball contacting contactor is the same. The shape of the end surface is a shape obtained by obliquely cutting a cylinder at a predetermined angle, and the side surface of the contactor for electrode contact is engaged with the other end surface of the contactor for solder ball contact,
A projecting engaging portion having an engaging surface formed so that its planar shape matches the shape of the other end surface of the contactor for contacting the solder ball and has an inclination angle equal to the predetermined angle is provided. The socket for BGA package according to claim 1.
一方の端面の形状は、前記BGAパッケージの半田ボー
ルの曲率と略一致する曲率を有する凹面形状であり、 前記半田ボール接触用コンタクタの前記他方の端面の形
状は、部分的に突出した突出部を備える形状であり、 前記電極接触用コンタクタの側面には、前記半田ボール
接触用コンタクタの突出部の横手幅に略一致する溝幅を
有し、前記半田ボール接触用コンタクタの前記突出部に
嵌合する嵌合溝が軸方向に沿って備えられる請求項1記
載のBGAパッケージ用ソケット。4. The shape of the one end surface of the solder ball contacting contactor is a concave shape having a curvature that substantially matches the curvature of the solder ball of the BGA package, and the other end surface of the solder ball contacting contactor is formed. The shape of the end surface is a shape including a protruding portion that partially protrudes, and the side surface of the electrode contacting contactor has a groove width that substantially matches the lateral width of the protruding portion of the solder ball contacting contactor, The socket for a BGA package according to claim 1, wherein a fitting groove that fits into the protrusion of the contactor for contacting the solder ball is provided along the axial direction.
田ボールが接触する半田ボール接触体と、 その一方端が前記BGAパッケージの試験装置の電極孔
に挿入されるコンタクトピンと、 前記半田ボール接触体と前記コンタクトピンとの間を接
続するように、前記半田ボール接触体の他方の端面から
前記コンタクトピンの他方端に渡って等間隔で環状に配
列された弾力性を有する複数の支柱板とを備え、 前記複数の支柱板は、前記半田ボール接触体が押圧され
た場合には外側に向けて撓み、そうでない場合は復元し
て略直線形状となるように撓み癖を有していることを特
徴とするBGAパッケージ用ソケット。5. A solder ball contact body having a solder ball of a BGA package in contact with one end surface thereof, a contact pin having one end thereof inserted into an electrode hole of a testing device of the BGA package, and the solder ball contact body. To connect between the contact pins, a plurality of elastic strut plates arranged annularly at equal intervals from the other end surface of the solder ball contact body to the other end of the contact pin, The plurality of strut plates have a bending tendency so as to bend outward when the solder ball contact body is pressed, and restore to a substantially linear shape otherwise. Socket for BGA package.
BGAパッケージ用ソケット。6. The BGA package socket according to claim 5, comprising four said support plates.
時にBGAパッケージの半田ボールの表面に巻き付くよ
うに渦を巻きながら螺旋状に広がったスプリング体と、 一方端が前記BGAパッケージの試験装置の電極孔に挿
入され、他方端に前記スプリング体の中央部の巻き始め
部分が接続されたコンタクトピンとを備えるBGAパッ
ケージ用ソケット。7. A spring body formed of a conductive wire having elasticity and spirally expanding while swirling so as to be wound around the surface of a solder ball of a BGA package during a test, and one end of the BGA package is tested. A socket for a BGA package, comprising a contact pin which is inserted into an electrode hole of a device and which is connected at the other end to a winding start portion of a central portion of the spring body.
田ボールが接触する半田ボール接触体と、 その一方の端面に前記BGAパッケージの試験装置の電
極孔に挿入される挿入部をを有するコンタクトピンと、 前記半田ボール接触体と前記コンタクトピンとの間を電
気的に接続するように、前記半田ボール接触体の他方の
端面と前記コンタクトピンの他方の端面との間に介挿さ
れた導電性のバネと、 前記コンタクトピン、前記バネ、前記半田ボール接触体
を収容する中空状のハウジングとを備え、 前記ハウジングの一方端側には、前記挿入部が前記ハウ
ジングから露出するように前記コンタクトピンが固定し
て配置され、 前記ハウジングの他方端側には、前記半田ボール接触体
が前記ハウジングから露出するとともに、前記半田ボー
ル接触体が前記バネの伸縮に伴って可動するように配置
されていることを特徴とするBGAパッケージ用ソケッ
ト。8. A solder ball contact body on one end surface of which a solder ball of a BGA package contacts, and a contact pin having an insertion portion inserted on one end surface thereof into an electrode hole of a testing device of the BGA package, A conductive spring interposed between the other end surface of the solder ball contact body and the other end surface of the contact pin so as to electrically connect the solder ball contact body and the contact pin. A hollow housing that houses the contact pin, the spring, and the solder ball contact body, and the contact pin is fixed to one end of the housing so that the insertion portion is exposed from the housing. The solder ball contact body is exposed from the housing on the other end side of the housing, and the solder ball contact body is exposed. There BGA package socket, characterized in that it is arranged so as to movable with the expansion and contraction of said spring.
ットの組み立て方法であって、 (a)前記絶縁板の一方の主面の所定位置に垂直方向に第
1のガイド孔を形成する工程と、 (b)前記絶縁板の他方の主面の所定位置に斜め方向に第
2のガイド孔を形成する工程と、 (c)前記半田ボール接触用用コンタクタの他方の端面側
を前記第1の未貫通孔に挿入する工程と、 (d)前記電極接触用コンタクタの他方の端面側を前記第
2の未貫通孔に挿入する工程とを備え、 前記第1の未貫通孔の直径を前記半田ボール接触用コン
タクタの挿入部分の最大寸法よりも小さく形成し、 前記第2の未貫通孔の直径を前記電極接触用コンタクタ
の挿入部分の最大寸法よりも小さく形成することを特徴
とするBGAパッケージ用ソケットの組み立て方法。9. A method for assembling a BGA package socket according to claim 1, wherein: (a) a step of vertically forming a first guide hole at a predetermined position on one main surface of the insulating plate; (b) a step of obliquely forming a second guide hole at a predetermined position on the other main surface of the insulating plate, and (c) setting the other end surface side of the contactor for contacting the solder ball to the first non-contact surface. And a step of (d) inserting the other end face side of the electrode contactor into the second non-through hole, the diameter of the first non-through hole being equal to the solder ball. A socket for a BGA package, which is formed to be smaller than a maximum dimension of an insertion portion of a contactor for contacting, and a diameter of the second non-through hole is formed to be smaller than a maximum dimension of an insertion portion of the contactor for electrode contacting. How to assemble.
タを加熱した状態で前記第1の未貫通孔に挿入する工程
を含み、 前記工程(d)は、前記接触用コンタクタを加熱した状態
で前記第2の未貫通孔に挿入する工程を含む請求項9記
載のBGAパッケージ用ソケットの組み立て方法。10. The step (c) includes a step of inserting the contactor into the first unpenetrated hole in a heated state, and the step (d) includes a state in which the contactor is heated. The method for assembling a BGA package socket according to claim 9, further comprising the step of inserting the socket into the second non-through hole.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7084082A JPH08288036A (en) | 1995-04-10 | 1995-04-10 | Bag packaging and assembly method therefor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7084082A JPH08288036A (en) | 1995-04-10 | 1995-04-10 | Bag packaging and assembly method therefor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08288036A true JPH08288036A (en) | 1996-11-01 |
Family
ID=13820576
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7084082A Pending JPH08288036A (en) | 1995-04-10 | 1995-04-10 | Bag packaging and assembly method therefor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08288036A (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5932891A (en) * | 1997-08-28 | 1999-08-03 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor device with test terminal and IC socket |
WO2009084547A1 (en) * | 2007-12-28 | 2009-07-09 | Alps Electric Co., Ltd. | Probe card |
JP2015078931A (en) * | 2013-10-17 | 2015-04-23 | 富士通コンポーネント株式会社 | Connector |
JP2015530725A (en) * | 2012-10-05 | 2015-10-15 | タイコ・エレクトロニクス・コーポレイションTyco Electronics Corporation | Electrical contact assembly |
KR20220015688A (en) * | 2020-07-31 | 2022-02-08 | 주식회사 유씨에스 | Socket for test of semiconductor |
-
1995
- 1995-04-10 JP JP7084082A patent/JPH08288036A/en active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5932891A (en) * | 1997-08-28 | 1999-08-03 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor device with test terminal and IC socket |
WO2009084547A1 (en) * | 2007-12-28 | 2009-07-09 | Alps Electric Co., Ltd. | Probe card |
JP2015530725A (en) * | 2012-10-05 | 2015-10-15 | タイコ・エレクトロニクス・コーポレイションTyco Electronics Corporation | Electrical contact assembly |
JP2015078931A (en) * | 2013-10-17 | 2015-04-23 | 富士通コンポーネント株式会社 | Connector |
KR20220015688A (en) * | 2020-07-31 | 2022-02-08 | 주식회사 유씨에스 | Socket for test of semiconductor |
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