JPH08203984A - ベルヌーイチャック及びそれを用いたウエハの搬送方法 - Google Patents
ベルヌーイチャック及びそれを用いたウエハの搬送方法Info
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- JPH08203984A JPH08203984A JP941895A JP941895A JPH08203984A JP H08203984 A JPH08203984 A JP H08203984A JP 941895 A JP941895 A JP 941895A JP 941895 A JP941895 A JP 941895A JP H08203984 A JPH08203984 A JP H08203984A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 ウエハのチャック及びアンチャック時の窒素
ガス流量の急激な変動をなくし、汚染を防止し、ウエハ
表面を清浄な状態のまま搬送できるベルヌーイチャック
及びそれを用いたウエハの搬送方法を提供する。 【構成】 窒素ガス流出経路１７ａ〜１７ｄを形成する
上部１５と下部１６の一対の円盤と、下部円盤１６に形
成され、前記窒素ガス流出経路１７ａ〜１７ｄに連通さ
れた窒素ガス流出口１７ｅ〜１７ｈと、前記下部円盤１
６に対向配置され、前記ガス流出口１７ｅ〜１７ｈに対
応する開口部２１ａ〜２１ｄが形成し、制限された角度
範囲で回転可能な回転プレート２０とを備える。ウエハ
のチャック時およびアンチャック時に窒素ガスを一定流
量流しながら、前記窒素ガス流出口１７ｅ〜１７ｈと前
記開口部２１ａ〜２１ｄのオーバーラップ面積の変化で
ガスの流量を変えて、ウエハのチャック及びアンチャッ
クを行う。
ガス流量の急激な変動をなくし、汚染を防止し、ウエハ
表面を清浄な状態のまま搬送できるベルヌーイチャック
及びそれを用いたウエハの搬送方法を提供する。 【構成】 窒素ガス流出経路１７ａ〜１７ｄを形成する
上部１５と下部１６の一対の円盤と、下部円盤１６に形
成され、前記窒素ガス流出経路１７ａ〜１７ｄに連通さ
れた窒素ガス流出口１７ｅ〜１７ｈと、前記下部円盤１
６に対向配置され、前記ガス流出口１７ｅ〜１７ｈに対
応する開口部２１ａ〜２１ｄが形成し、制限された角度
範囲で回転可能な回転プレート２０とを備える。ウエハ
のチャック時およびアンチャック時に窒素ガスを一定流
量流しながら、前記窒素ガス流出口１７ｅ〜１７ｈと前
記開口部２１ａ〜２１ｄのオーバーラップ面積の変化で
ガスの流量を変えて、ウエハのチャック及びアンチャッ
クを行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハなどの搬
送に使用されるベルヌーイチャックの構造に関するもの
である。
送に使用されるベルヌーイチャックの構造に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハの製造装置内部での搬送方
法としては、現在までに様々な方法が提案されてきた。
その中でも、ベルヌーイ法を利用した方法は、ウエハを
非接触で搬送できる利点があり、高温のウエハ搬送やレ
ジストコートウエハ等の搬送に用いられてきた。
法としては、現在までに様々な方法が提案されてきた。
その中でも、ベルヌーイ法を利用した方法は、ウエハを
非接触で搬送できる利点があり、高温のウエハ搬送やレ
ジストコートウエハ等の搬送に用いられてきた。
【０００３】図４はかかる従来のベルヌーイチャックの
構成図であり、図４（ａ）はそのベルヌーイチャックの
平面図、図４（ｂ）はそのベルヌーイチャックの断面図
である。これらの図に示すように、搬送時には多量の窒
素ガスが、チューブ１，３内に導入され、フィルター
２，４等でパーティクル等のコンタミネーションが除去
される。前記チューブの先端には石英材料等による、搬
送ウエハとほぼ同程度サイズの円盤５，６が接続されて
いる。この円盤５，６は、上下２枚一対の構造になって
おり、内部には窒素ガスの流れる経路があり、周辺の４
箇所の窒素ガス流出口７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄから下方
に窒素ガスを円盤５，６と垂直方向に流し出す構造にな
っている。なお、図４において、８はウエハである。
構成図であり、図４（ａ）はそのベルヌーイチャックの
平面図、図４（ｂ）はそのベルヌーイチャックの断面図
である。これらの図に示すように、搬送時には多量の窒
素ガスが、チューブ１，３内に導入され、フィルター
２，４等でパーティクル等のコンタミネーションが除去
される。前記チューブの先端には石英材料等による、搬
送ウエハとほぼ同程度サイズの円盤５，６が接続されて
いる。この円盤５，６は、上下２枚一対の構造になって
おり、内部には窒素ガスの流れる経路があり、周辺の４
箇所の窒素ガス流出口７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄから下方
に窒素ガスを円盤５，６と垂直方向に流し出す構造にな
っている。なお、図４において、８はウエハである。
【０００４】以下、従来のベルヌーイチャックを用いた
ウエハの搬送方法について、図５を参照しながら説明す
る。ウエハ８を搬送するためには、まず窒素ガスＮ2 を
流さない状態（ｔ1 ）から、ウエハ８直上数ミリ以内に
前記円盤５，６を移動させ、その後、窒素ガスを数ＳＬ
Ｍ（スタンダード・リットル／ミニット）程度流す。こ
れにより、ウエハ８は、前記円盤５，６と非接触状態
で、かつ１ミリ程度の間隔を経て前記円盤５，６にチャ
ックされ、載置部９より移動可能となる（ｔ2 ）。その
後、所定の位置にウエハ８を搬送し（ｔ3 ）、窒素ガス
Ｎ2 のパージを止めることにより、ウエハ８と前記円盤
５，６とのチャックは解かれ、ウエハ８は移載部１０に
搬送される。
ウエハの搬送方法について、図５を参照しながら説明す
る。ウエハ８を搬送するためには、まず窒素ガスＮ2 を
流さない状態（ｔ1 ）から、ウエハ８直上数ミリ以内に
前記円盤５，６を移動させ、その後、窒素ガスを数ＳＬ
Ｍ（スタンダード・リットル／ミニット）程度流す。こ
れにより、ウエハ８は、前記円盤５，６と非接触状態
で、かつ１ミリ程度の間隔を経て前記円盤５，６にチャ
ックされ、載置部９より移動可能となる（ｔ2 ）。その
後、所定の位置にウエハ８を搬送し（ｔ3 ）、窒素ガス
Ｎ2 のパージを止めることにより、ウエハ８と前記円盤
５，６とのチャックは解かれ、ウエハ８は移載部１０に
搬送される。
【０００５】上記した方法によりウエハを非接触で搬送
することが可能となり、例えば高温のウエハ等の搬送に
対して極めて有効となった。
することが可能となり、例えば高温のウエハ等の搬送に
対して極めて有効となった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のベルヌーイチャック及びそれを用いたウエハ搬
送方法では、ウエハチャック時に窒素ガスが開口より流
出されはじめ、ウエハ表面上へ多量の窒素ガスを吹き付
けることになり、ウエハ表面上への粒子状のコンタミネ
ーション等の付着が問題になっていた。つまり、ウエハ
のチャック時に窒素ガス流量の急激な変動があり、チュ
ーブ内部やフィルター部のコンタミネーションを誘発
し、ウエハ表面に付着されることになる。このため、製
品の歩留りを著しく低下させる原因となっていた。
た従来のベルヌーイチャック及びそれを用いたウエハ搬
送方法では、ウエハチャック時に窒素ガスが開口より流
出されはじめ、ウエハ表面上へ多量の窒素ガスを吹き付
けることになり、ウエハ表面上への粒子状のコンタミネ
ーション等の付着が問題になっていた。つまり、ウエハ
のチャック時に窒素ガス流量の急激な変動があり、チュ
ーブ内部やフィルター部のコンタミネーションを誘発
し、ウエハ表面に付着されることになる。このため、製
品の歩留りを著しく低下させる原因となっていた。
【０００７】本発明は、上記問題点を解決するために、
ウエハのチャック及びアンチャック時に窒素ガス流量の
急激な変動をなくし、コンタミネーションを防止し、ウ
エハ表面を清浄な状態で搬送できるベルヌーイチャック
及びそれを用いたウエハの搬送方法を提供することを目
的とする。
ウエハのチャック及びアンチャック時に窒素ガス流量の
急激な変動をなくし、コンタミネーションを防止し、ウ
エハ表面を清浄な状態で搬送できるベルヌーイチャック
及びそれを用いたウエハの搬送方法を提供することを目
的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 （１）ウエハ搬送に用いるベルヌーイチャックにおい
て、ガス系に接続され、ガス経路を形成する上部円盤と
下部円盤からなる一対の円盤と、前記下部円盤に形成さ
れるとともに、前記ガス経路に連通されるガス流出口
と、前記下部円盤に対向配置され、前記ガス流出口と対
応可能な開口部が形成されるとともに、制限された角度
回転可能な回転プレートとを備え、ウエハのチャック時
およびアンチャック時にガスを一定流量流しながら、前
記ガス流出口と前記開口部のオーバーラップ面積を変化
させ、ウエハをチャックするためのガス流量を変化させ
ることにより、ウエハのチャック及びアンチャックを行
うようにしたものである。
成するために、 （１）ウエハ搬送に用いるベルヌーイチャックにおい
て、ガス系に接続され、ガス経路を形成する上部円盤と
下部円盤からなる一対の円盤と、前記下部円盤に形成さ
れるとともに、前記ガス経路に連通されるガス流出口
と、前記下部円盤に対向配置され、前記ガス流出口と対
応可能な開口部が形成されるとともに、制限された角度
回転可能な回転プレートとを備え、ウエハのチャック時
およびアンチャック時にガスを一定流量流しながら、前
記ガス流出口と前記開口部のオーバーラップ面積を変化
させ、ウエハをチャックするためのガス流量を変化させ
ることにより、ウエハのチャック及びアンチャックを行
うようにしたものである。
【０００９】（２）ベルヌーイチャックを用いたウエハ
の搬送方法において、ガス系に接続され、ガス経路を形
成する上部円盤と下部円盤からなる一対の円盤と、前記
下部円盤に形成されるとともに、前記ガス経路に連通さ
れるガス流出口と、前記下部円盤に対向配置され、前記
ガス流出口と対応可能な開口部が形成されるとともに、
制限された角度回転可能な回転プレートとを備えるベル
ヌーイチャックを用意し、ガスを一定流量流しながら前
記ガス流出口と前記開口部がオーバーラップする面積を
低減してウエハをアンチャック状態にする工程と、ガス
を一定流量流しながら前記ガス流出口と前記開口部がオ
ーバーラップする面積を増加させてウエハをチャック状
態にする工程と、ガスを一定流量流しながらウエハを搬
送する工程と、ガスを一定流量流しながら前記ガス流出
口と前記開口部がオーバーラップする面積を低減してウ
エハをアンチャック状態にし、ウエハを離脱する工程と
を施すようにしたものである。
の搬送方法において、ガス系に接続され、ガス経路を形
成する上部円盤と下部円盤からなる一対の円盤と、前記
下部円盤に形成されるとともに、前記ガス経路に連通さ
れるガス流出口と、前記下部円盤に対向配置され、前記
ガス流出口と対応可能な開口部が形成されるとともに、
制限された角度回転可能な回転プレートとを備えるベル
ヌーイチャックを用意し、ガスを一定流量流しながら前
記ガス流出口と前記開口部がオーバーラップする面積を
低減してウエハをアンチャック状態にする工程と、ガス
を一定流量流しながら前記ガス流出口と前記開口部がオ
ーバーラップする面積を増加させてウエハをチャック状
態にする工程と、ガスを一定流量流しながらウエハを搬
送する工程と、ガスを一定流量流しながら前記ガス流出
口と前記開口部がオーバーラップする面積を低減してウ
エハをアンチャック状態にし、ウエハを離脱する工程と
を施すようにしたものである。
【００１０】（３）ウエハ搬送に用いるベルヌーイチャ
ックにおいて、ガス系に接続され、ガス経路を形成する
上部円盤と下部円盤からなる一対の円盤と、前記下部円
盤に形成されるとともに、前記ガス経路に連通されるガ
ス流出口と、このガス流出口により吸着可能なウエハに
機械的に作用する押圧子を備え、前記ウエハのチャック
時およびアンチャック時にガスを一定流量流しながら、
前記押圧子の昇降により、前記ガス流出口と前記ウエハ
間の距離を変化させ、このウエハのチャック及びアンチ
ャックを行うようにしたものである。
ックにおいて、ガス系に接続され、ガス経路を形成する
上部円盤と下部円盤からなる一対の円盤と、前記下部円
盤に形成されるとともに、前記ガス経路に連通されるガ
ス流出口と、このガス流出口により吸着可能なウエハに
機械的に作用する押圧子を備え、前記ウエハのチャック
時およびアンチャック時にガスを一定流量流しながら、
前記押圧子の昇降により、前記ガス流出口と前記ウエハ
間の距離を変化させ、このウエハのチャック及びアンチ
ャックを行うようにしたものである。
【００１１】（４）ベルヌーイチャックを用いたウエハ
の搬送方法において、ガス系に接続され、ガス経路を形
成する上部円盤と下部円盤からなる一対の円盤と、前記
下部円盤に形成されるとともに、前記ガス経路に連通さ
れるガス流出口と、このガス流出口により吸着可能なウ
エハに機械的に作用する押圧子を備えるベルヌーイチャ
ックを用意し、ガスを一定流量流しながら前記押圧子を
下降させておき、前記ガス流出口とウエハ間の距離を増
加させてウエハをアンチャック状態にする工程と、ガス
を一定流量流しながら前記押圧子を上昇させ前記ガス流
出口と前記ウエハ間の距離を低減させて前記ウエハをチ
ャック状態にする工程と、ガスを一定流量流しながら前
記ウエハを搬送する工程と、ガスを一定流量流しながら
前記押圧子を下降させ前記ガス流出口と前記ウエハ間の
距離を増加させて前記ウエハをアンチャック状態にする
工程とを施すようにしたものである。
の搬送方法において、ガス系に接続され、ガス経路を形
成する上部円盤と下部円盤からなる一対の円盤と、前記
下部円盤に形成されるとともに、前記ガス経路に連通さ
れるガス流出口と、このガス流出口により吸着可能なウ
エハに機械的に作用する押圧子を備えるベルヌーイチャ
ックを用意し、ガスを一定流量流しながら前記押圧子を
下降させておき、前記ガス流出口とウエハ間の距離を増
加させてウエハをアンチャック状態にする工程と、ガス
を一定流量流しながら前記押圧子を上昇させ前記ガス流
出口と前記ウエハ間の距離を低減させて前記ウエハをチ
ャック状態にする工程と、ガスを一定流量流しながら前
記ウエハを搬送する工程と、ガスを一定流量流しながら
前記押圧子を下降させ前記ガス流出口と前記ウエハ間の
距離を増加させて前記ウエハをアンチャック状態にする
工程とを施すようにしたものである。
【００１２】
（１）請求項１記載のウエハ搬送に用いるベルヌーイチ
ャックによれば、回転プレートの回転角により、任意に
ガス流量を調整することにより、ガスを一定流量流しな
がらウエハをチャック及びアンチャックすることが可能
となり、ガス流量変動によるコンタミネーションを発生
させることなしに、ウエハをチャック及びアンチャック
することができる。
ャックによれば、回転プレートの回転角により、任意に
ガス流量を調整することにより、ガスを一定流量流しな
がらウエハをチャック及びアンチャックすることが可能
となり、ガス流量変動によるコンタミネーションを発生
させることなしに、ウエハをチャック及びアンチャック
することができる。
【００１３】（２）請求項２記載のベルヌーイチャック
を用いたウエハの搬送方法によれば、ガスを一定流量流
しながらウエハをチャック及びアンチャックすることが
可能となり、ガス流量変動によるコンタミネーションを
発生させることなしに、ウエハを完全非接触で搬送する
ことができる。 （３）請求項３記載のウエハ搬送に用いるベルヌーイチ
ャックによれば、押圧子の昇降により、下部円盤のガス
流出口とウエハ間の距離を変化させ、ガスを一定流量流
しながらウエハをチャック及びアンチャックすることが
できる。
を用いたウエハの搬送方法によれば、ガスを一定流量流
しながらウエハをチャック及びアンチャックすることが
可能となり、ガス流量変動によるコンタミネーションを
発生させることなしに、ウエハを完全非接触で搬送する
ことができる。 （３）請求項３記載のウエハ搬送に用いるベルヌーイチ
ャックによれば、押圧子の昇降により、下部円盤のガス
流出口とウエハ間の距離を変化させ、ガスを一定流量流
しながらウエハをチャック及びアンチャックすることが
できる。
【００１４】（４）請求項４記載のベルヌーイチャック
を用いたウエハの搬送方法によれば、ガスを一定流量流
しながらウエハをチャック及びアンチャックすることが
可能となり、ガス流量変動によるコンタミネーションを
発生させることなしに、簡単な構成でもって、ウエハを
完全非接触で搬送することができる。
を用いたウエハの搬送方法によれば、ガスを一定流量流
しながらウエハをチャック及びアンチャックすることが
可能となり、ガス流量変動によるコンタミネーションを
発生させることなしに、簡単な構成でもって、ウエハを
完全非接触で搬送することができる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の第１実施例を図面を参照しな
がら説明する。図１は本発明の第１実施例を示すベルヌ
ーイチャックの構成図であり、図１（ａ）はそのベルヌ
ーイチャックの平面図、図１（ｂ）はそのベルヌーイチ
ャックの断面図、図２はそのベルヌーイチャックの開閉
動作の説明図、図３はそのベルヌーイチャックを用いた
ウエハの搬送方法を示す図である。
がら説明する。図１は本発明の第１実施例を示すベルヌ
ーイチャックの構成図であり、図１（ａ）はそのベルヌ
ーイチャックの平面図、図１（ｂ）はそのベルヌーイチ
ャックの断面図、図２はそのベルヌーイチャックの開閉
動作の説明図、図３はそのベルヌーイチャックを用いた
ウエハの搬送方法を示す図である。
【００１６】図１に示すように、ガスフィルター１２，
１４を挟んだステンレス製チューブ１１，１３の先端に
石英製の円盤１５，１６が装着されている。この石英製
の円盤は２枚１対の構造になっている。つまり、上部円
盤１５と下部円盤１６が対向しており、それらの内部に
は、窒素ガスを流す窒素ガス流出経路１７ａ〜１７ｄが
形成されており、更に、下部円盤１６の４箇所に窒素ガ
ス流出口１７ｅ〜１７ｈが形成されている。
１４を挟んだステンレス製チューブ１１，１３の先端に
石英製の円盤１５，１６が装着されている。この石英製
の円盤は２枚１対の構造になっている。つまり、上部円
盤１５と下部円盤１６が対向しており、それらの内部に
は、窒素ガスを流す窒素ガス流出経路１７ａ〜１７ｄが
形成されており、更に、下部円盤１６の４箇所に窒素ガ
ス流出口１７ｅ〜１７ｈが形成されている。
【００１７】そこで、窒素ガスは、窒素ガス流出経路１
７ａ〜１７ｄを通って、下部円盤１６の４箇所の窒素ガ
ス流出口１７ｅ〜１７ｈから外部に流れる。ここで、上
部円盤１５の上側中央部には、制限された角度だけ回転
可能な機構を持つモータ１８が設置されており、前記円
盤１５，１６の中心部をモータ１８に連動する回転軸１
９が貫通している。モータ１８と反対側の回転軸１９の
先端には下部円盤１６と対向する部分に開口部２１ａ〜
２１ｄを有する回転プレート２０が装着されている。
７ａ〜１７ｄを通って、下部円盤１６の４箇所の窒素ガ
ス流出口１７ｅ〜１７ｈから外部に流れる。ここで、上
部円盤１５の上側中央部には、制限された角度だけ回転
可能な機構を持つモータ１８が設置されており、前記円
盤１５，１６の中心部をモータ１８に連動する回転軸１
９が貫通している。モータ１８と反対側の回転軸１９の
先端には下部円盤１６と対向する部分に開口部２１ａ〜
２１ｄを有する回転プレート２０が装着されている。
【００１８】以下、本発明の第１実施例を示すベルヌー
イチャックの動作を図２及び図３を参照しながら説明す
る。まず、ベルヌーイチャックがオフの場合には、図２
（ａ）に示すように、ベルヌーイチャックの下部円盤１
６の窒素ガス流出口１７ｅ〜１７ｈと、回転プレート２
０の開口部２１ａ〜２１ｄとはずれた位置にあって、回
転プレート２０の開口部２１ａ〜２１ｄを通って、ウエ
ハ２２に直角に供給される窒素ガスの流量は少なく、大
半は下部円盤１６の窒素ガス流出口１７ｅ〜１７ｈから
回転プレート２０の開口部２１ａ〜２１ｄを通ることな
く周囲へと流れる。したがって、この状態では、ウエハ
２２はチャックされない。
イチャックの動作を図２及び図３を参照しながら説明す
る。まず、ベルヌーイチャックがオフの場合には、図２
（ａ）に示すように、ベルヌーイチャックの下部円盤１
６の窒素ガス流出口１７ｅ〜１７ｈと、回転プレート２
０の開口部２１ａ〜２１ｄとはずれた位置にあって、回
転プレート２０の開口部２１ａ〜２１ｄを通って、ウエ
ハ２２に直角に供給される窒素ガスの流量は少なく、大
半は下部円盤１６の窒素ガス流出口１７ｅ〜１７ｈから
回転プレート２０の開口部２１ａ〜２１ｄを通ることな
く周囲へと流れる。したがって、この状態では、ウエハ
２２はチャックされない。
【００１９】一方、図２（ｂ）に示すように、ベルヌー
イチャックの下部円盤１６の窒素ガス流出口１７ｅ〜１
７ｈと、回転プレート２０の開口部２１ａ〜２１ｄとが
一致すると、大半の窒素ガスが回転プレート２０の開口
部２１ａ〜２１ｄを通って、ウエハ２２に直角に供給さ
れることになり、ウエハ２２はチャックされることにな
る。
イチャックの下部円盤１６の窒素ガス流出口１７ｅ〜１
７ｈと、回転プレート２０の開口部２１ａ〜２１ｄとが
一致すると、大半の窒素ガスが回転プレート２０の開口
部２１ａ〜２１ｄを通って、ウエハ２２に直角に供給さ
れることになり、ウエハ２２はチャックされることにな
る。
【００２０】このように、回転プレート２０の制限され
た角度の回転運動により、下部円盤１６の窒素ガス流出
口１７ｅ〜１７ｈは開閉可能であり、ウエハ表面にパー
ジされる窒素ガスの流量が変化する。これにより、ウエ
ハのチャックやアンチャックが行われる。この時、窒素
ガスは常に一定の流量で流れ続けることになる。次に、
このベルヌーイチャックを用いたウエハの搬送方法につ
いて説明する。
た角度の回転運動により、下部円盤１６の窒素ガス流出
口１７ｅ〜１７ｈは開閉可能であり、ウエハ表面にパー
ジされる窒素ガスの流量が変化する。これにより、ウエ
ハのチャックやアンチャックが行われる。この時、窒素
ガスは常に一定の流量で流れ続けることになる。次に、
このベルヌーイチャックを用いたウエハの搬送方法につ
いて説明する。
【００２１】図３に示すように、ウエハ２２を吸着する
前から窒素ガスは流しておく。すなわち、ｔ1 の時点
で、窒素ガスを流し始め、ｔ2 の時点になると、モータ
１８を駆動して、回転プレート２０の開口部２１ａ〜２
１ｄを一定角度回転させて下部円盤１６の窒素ガス流出
口１７ｅ〜１７ｈと一致させて、ウエハ２２を吸着し
て、ウエハ２２の載置部２３より搬送する。この時に
は、既に窒素ガスは流されたままである。
前から窒素ガスは流しておく。すなわち、ｔ1 の時点
で、窒素ガスを流し始め、ｔ2 の時点になると、モータ
１８を駆動して、回転プレート２０の開口部２１ａ〜２
１ｄを一定角度回転させて下部円盤１６の窒素ガス流出
口１７ｅ〜１７ｈと一致させて、ウエハ２２を吸着し
て、ウエハ２２の載置部２３より搬送する。この時に
は、既に窒素ガスは流されたままである。
【００２２】そのウエハ２２を吸着して、所定位置に搬
送される（ｔ3 の時点）と、モータ１８を逆方向に回転
させて、プレート２０の開口部２１ａ〜２１ｄを逆の方
向へ一定角度回転させて元の位置にすると、下部円盤１
６の窒素ガス流出口１７ｅ〜１７ｈと、回転プレート２
０の開口部２１ａ〜２１ｄとはずれた位置に戻り、回転
プレート２０の開口部２１ａ〜２１ｄを通って、ウエハ
２２に直角に供給される窒素ガスの流量は少なくなり、
大半は下部円盤１６の窒素ガス流出口１７ｅ〜１７ｈか
ら回転プレート２０の開口部２１ａ〜２１ｄを通ること
なく周囲へと流れる。したがって、ウエハ２２はチャッ
クされなくなり、ウエハ２２はチャックより離脱し、ウ
エハ２２は所定の移載部２４に移載されることになる。
送される（ｔ3 の時点）と、モータ１８を逆方向に回転
させて、プレート２０の開口部２１ａ〜２１ｄを逆の方
向へ一定角度回転させて元の位置にすると、下部円盤１
６の窒素ガス流出口１７ｅ〜１７ｈと、回転プレート２
０の開口部２１ａ〜２１ｄとはずれた位置に戻り、回転
プレート２０の開口部２１ａ〜２１ｄを通って、ウエハ
２２に直角に供給される窒素ガスの流量は少なくなり、
大半は下部円盤１６の窒素ガス流出口１７ｅ〜１７ｈか
ら回転プレート２０の開口部２１ａ〜２１ｄを通ること
なく周囲へと流れる。したがって、ウエハ２２はチャッ
クされなくなり、ウエハ２２はチャックより離脱し、ウ
エハ２２は所定の移載部２４に移載されることになる。
【００２３】ウエハ２２は移載が完了した後（ｔ4 時
点）に、窒素ガスを停止して、ウエハ２２の搬送を終了
する。このように、ウエハ２２の吸着及び離脱機構を付
加するだけで、ウエハのチャック及びアンチャック時に
は窒素ガスは流したままであるので、窒素ガス流量の急
変によるパーティクルの発生の問題を解消することがで
きる。
点）に、窒素ガスを停止して、ウエハ２２の搬送を終了
する。このように、ウエハ２２の吸着及び離脱機構を付
加するだけで、ウエハのチャック及びアンチャック時に
は窒素ガスは流したままであるので、窒素ガス流量の急
変によるパーティクルの発生の問題を解消することがで
きる。
【００２４】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。図６は本発明の第２実施例を示すベルヌーイチャッ
クの構成図であり、図６（ａ）はそのベルヌーイチャッ
クの平面図、図６（ｂ）はそのベルヌーイチャックの断
面図、図７はそのベルヌーイチャックの部分平面図であ
る。この実施例では、ガスフィルター３２，３４を挟ん
だステンレス製チューブ３１，３３の先端に石英製の円
盤３５，３６が装着されている。この石英製縁円盤は２
枚一対の構造になっている。つまり、上部円盤３５と下
部円盤３６が対向しており、それらの内部には、窒素ガ
スを流す窒素ガス流出経路３７ａ〜３７ｄが形成されて
おり、更に、下部円盤３６の４箇所に窒素ガス流出口３
７ｅ〜３７ｈが形成されている。
る。図６は本発明の第２実施例を示すベルヌーイチャッ
クの構成図であり、図６（ａ）はそのベルヌーイチャッ
クの平面図、図６（ｂ）はそのベルヌーイチャックの断
面図、図７はそのベルヌーイチャックの部分平面図であ
る。この実施例では、ガスフィルター３２，３４を挟ん
だステンレス製チューブ３１，３３の先端に石英製の円
盤３５，３６が装着されている。この石英製縁円盤は２
枚一対の構造になっている。つまり、上部円盤３５と下
部円盤３６が対向しており、それらの内部には、窒素ガ
スを流す窒素ガス流出経路３７ａ〜３７ｄが形成されて
おり、更に、下部円盤３６の４箇所に窒素ガス流出口３
７ｅ〜３７ｈが形成されている。
【００２５】また、ステンレス製チューブ３３の上部に
は昇降駆動機構３８が配置され、この昇降駆動機構３８
は昇降アーム３９を有し、この昇降アーム３９には、チ
ャックされるウエハをチャック面より離脱させ、アンチ
ャック可能な４本の押圧子４０ａ〜４０ｄを備えてい
る。そこで、窒素ガスは、窒素ガス流出経路３７ａ〜３
７ｄを通って、下部円盤３６の４箇所の窒素ガス流出口
３７ｅ〜３７ｈから外部に流れる。その場合、図６
（ｂ）に示すように、昇降アーム３９が上昇している時
は、チャック面へウエハ４１の面が接近できるため、窒
素ガス流出口３７ｅ〜３７ｈからウエハ４１に直角に吹
きつけられる窒素ガスによりチャックされる。
は昇降駆動機構３８が配置され、この昇降駆動機構３８
は昇降アーム３９を有し、この昇降アーム３９には、チ
ャックされるウエハをチャック面より離脱させ、アンチ
ャック可能な４本の押圧子４０ａ〜４０ｄを備えてい
る。そこで、窒素ガスは、窒素ガス流出経路３７ａ〜３
７ｄを通って、下部円盤３６の４箇所の窒素ガス流出口
３７ｅ〜３７ｈから外部に流れる。その場合、図６
（ｂ）に示すように、昇降アーム３９が上昇している時
は、チャック面へウエハ４１の面が接近できるため、窒
素ガス流出口３７ｅ〜３７ｈからウエハ４１に直角に吹
きつけられる窒素ガスによりチャックされる。
【００２６】一方、ウエハ４１をチャック面より離脱す
る場合には、昇降駆動機構３８を駆動して、昇降アーム
３９を下げ、押圧子４０ａ〜４０ｄにより、ウエハ４１
を押し下げて、チャック面より遠ざけることにより、ウ
エハ４１を離脱させることができる。次に、このベルヌ
ーイチャックを用いたウエハの搬送方法について説明す
る。
る場合には、昇降駆動機構３８を駆動して、昇降アーム
３９を下げ、押圧子４０ａ〜４０ｄにより、ウエハ４１
を押し下げて、チャック面より遠ざけることにより、ウ
エハ４１を離脱させることができる。次に、このベルヌ
ーイチャックを用いたウエハの搬送方法について説明す
る。
【００２７】図７に示すように、ウエハ４１を吸着する
前から窒素ガスは流しておく。すなわち、ｔ1 の時点
で、窒素ガスを流し始め、この時点では、押圧子４０ａ
〜４０ｄは下降しており、ウエハ４１はチャックできな
い状態にある。ｔ2 の時点になると、昇降駆動機構３８
を駆動して、押圧子４０ａ〜４０ｄを上昇させて、ウエ
ハ４１を吸着し、ウエハ４１の載置部４２より搬送す
る。この時には、既に窒素ガスは流されたままである。
前から窒素ガスは流しておく。すなわち、ｔ1 の時点
で、窒素ガスを流し始め、この時点では、押圧子４０ａ
〜４０ｄは下降しており、ウエハ４１はチャックできな
い状態にある。ｔ2 の時点になると、昇降駆動機構３８
を駆動して、押圧子４０ａ〜４０ｄを上昇させて、ウエ
ハ４１を吸着し、ウエハ４１の載置部４２より搬送す
る。この時には、既に窒素ガスは流されたままである。
【００２８】そのウエハ４１を吸着して、所定位置に搬
送される（ｔ3 の時点）と、昇降駆動機構３８を駆動し
て、押圧子４０ａ〜４０ｄを下降させて、ウエハ４１を
吸着面より押し下げて、離脱させ、ウエハ４１は移載部
４３に移載される。この時も、窒素ガスは流されたまま
であり、窒素ガス流量の急変によるパーティクルの発生
の問題はない。
送される（ｔ3 の時点）と、昇降駆動機構３８を駆動し
て、押圧子４０ａ〜４０ｄを下降させて、ウエハ４１を
吸着面より押し下げて、離脱させ、ウエハ４１は移載部
４３に移載される。この時も、窒素ガスは流されたまま
であり、窒素ガス流量の急変によるパーティクルの発生
の問題はない。
【００２９】ウエハ４１は移載が完了した後（ｔ4 時
点）に、窒素ガスを停止して、ウエハ４１の搬送工程を
終了する。このように、ウエハ４１の吸着及び離脱機構
を付加するだけで、ウエハのチャック及びアンチャック
時には窒素ガスは流したままであるので、窒素ガス流量
の急変によるパーティクルの発生の問題を解消すること
ができる。
点）に、窒素ガスを停止して、ウエハ４１の搬送工程を
終了する。このように、ウエハ４１の吸着及び離脱機構
を付加するだけで、ウエハのチャック及びアンチャック
時には窒素ガスは流したままであるので、窒素ガス流量
の急変によるパーティクルの発生の問題を解消すること
ができる。
【００３０】また、この実施例ではウエハの周辺を僅か
に接触させることになるが、ウエハの着脱のために行う
押圧子の駆動機構部を、外部の固定位置に設置すること
も可能で、チャック部の構造を簡便にできる利点を持
つ。なお、本発明は上記実施例に限定されるものではな
く、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、
これらを本発明の範囲から排除するものではない。
に接触させることになるが、ウエハの着脱のために行う
押圧子の駆動機構部を、外部の固定位置に設置すること
も可能で、チャック部の構造を簡便にできる利点を持
つ。なお、本発明は上記実施例に限定されるものではな
く、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、
これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【００３１】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、 （１）請求項１記載の発明によれば、回転プレートの回
転角により、任意にガス流量を調整することにより、ガ
スを一定流量流しながらウエハをチャック及びアンチャ
ックすることが可能となり、ガス流量変動によるコンタ
ミネーションを発生させることなしに、ウエハをチャッ
ク及びアンチャックすることができる。
転角により、任意にガス流量を調整することにより、ガ
スを一定流量流しながらウエハをチャック及びアンチャ
ックすることが可能となり、ガス流量変動によるコンタ
ミネーションを発生させることなしに、ウエハをチャッ
ク及びアンチャックすることができる。
【００３２】（２）請求項２記載の発明によれば、ガス
を一定流量流しながらウエハをチャック及びアンチャッ
クすることが可能となり、ガス流量変動によるコンタミ
ネーションを発生させることなしに、ウエハを完全非接
触で搬送することができる。 （３）請求項３記載の発明によれば、押圧子の昇降によ
り、下部円盤のガス流出口とウエハ間の距離を変化さ
せ、ガスを一定流量流しながらウエハをチャック及びア
ンチャックすることができる。
を一定流量流しながらウエハをチャック及びアンチャッ
クすることが可能となり、ガス流量変動によるコンタミ
ネーションを発生させることなしに、ウエハを完全非接
触で搬送することができる。 （３）請求項３記載の発明によれば、押圧子の昇降によ
り、下部円盤のガス流出口とウエハ間の距離を変化さ
せ、ガスを一定流量流しながらウエハをチャック及びア
ンチャックすることができる。
【００３３】（４）請求項４記載の発明によれば、ガス
を一定流量流しながらウエハをチャック及びアンチャッ
クすることが可能となり、ガス流量変動によるコンタミ
ネーションを発生させることなしに、簡単な構成でもっ
て、ウエハを完全非接触で搬送することができる。
を一定流量流しながらウエハをチャック及びアンチャッ
クすることが可能となり、ガス流量変動によるコンタミ
ネーションを発生させることなしに、簡単な構成でもっ
て、ウエハを完全非接触で搬送することができる。
【図１】本発明の第１実施例を示すベルヌーイチャック
の構成図である。
の構成図である。
【図２】本発明の第１実施例を示すベルヌーイチャック
の開閉動作の説明図である。
の開閉動作の説明図である。
【図３】本発明の第１実施例を示すベルヌーイチャック
を用いたウエハの搬送方法を示す図である。
を用いたウエハの搬送方法を示す図である。
【図４】従来のベルヌーイチャックの構成図である。
【図５】従来のベルヌーイチャックを用いたウエハの搬
送方法を示す図である。
送方法を示す図である。
【図６】本発明の第２実施例を示すベルヌーイチャック
の構成図である。
の構成図である。
【図７】本発明の第２実施例を示すベルヌーイチャック
を用いたウエハの搬送方法を示す図である。
を用いたウエハの搬送方法を示す図である。
１１，１３，３１，３３ ステンレス製チューブ １２，１４，３２，３４ ガスフィルター １５，３５ 上部円盤 １６，３６ 下部円盤 １７ａ〜１７ｄ，３７ａ〜３７ｄ 窒素ガス流出経路 １７ｅ〜１７ｈ，３７ｅ〜３７ｈ 窒素ガス流出口 １８ モータ １９ 回転軸 ２０ 回転プレート ２１ａ〜２１ｄ 開口部 ２２，４１ ウエハ ２３，４２ 載置部 ２４，４３ 移載部 ３８ 昇降駆動機構 ３９ 昇降アーム ４０ａ〜４０ｄ 押圧子
Claims (4)
- 【請求項１】 ウエハ搬送に用いるベルヌーイチャック
において、（ａ）ガス系に接続され、ガス経路を形成す
る上部円盤と下部円盤からなる一対の円盤と、（ｂ）前
記下部円盤に形成されるとともに、前記ガス経路に連通
されるガス流出口と、（ｃ）前記下部円盤に対向配置さ
れ、前記ガス流出口と対応可能な開口部が形成されると
ともに、制限された角度回転可能な回転プレートとを備
え、（ｄ）ウエハのチャック時およびアンチャック時に
ガスを一定流量流しながら、前記ガス流出口と前記開口
部のオーバーラップ面積を変化させ、ウエハをチャック
するためのガス流量を変化させることにより、ウエハの
チャック及びアンチャックを行うことを特徴とするベル
ヌーイチャック。 - 【請求項２】 ベルヌーイチャックを用いたウエハの搬
送方法において、（ａ）ガス系に接続され、ガス経路を
形成する上部円盤と下部円盤からなる一対の円盤と、前
記下部円盤に形成されるとともに、前記ガス経路に連通
されるガス流出口と、前記下部円盤に対向配置され、前
記ガス流出口と対応可能な開口部が形成されるととも
に、制限された角度回転可能な回転プレートとを備える
ベルヌーイチャックを用意し、（ｂ）ガスを一定流量流
しながら前記ガス流出口と前記開口部がオーバーラップ
する面積を低減してウエハをアンチャック状態にする工
程と、（ｃ）ガスを一定流量流しながら前記ガス流出口
と前記開口部がオーバーラップする面積を増加させてウ
エハをチャック状態にする工程と、（ｄ）ガスを一定流
量流しながらウエハを搬送する工程と、（ｅ）ガスを一
定流量流しながら前記ガス流出口と前記開口部がオーバ
ーラップする面積を低減してウエハをアンチャック状態
にし、ウエハを離脱する工程とを施すことを特徴とする
ベルヌーイチャックを用いたウエハの搬送方法。 - 【請求項３】 ウエハ搬送に用いるベルヌーイチャック
において、（ａ）ガス系に接続され、ガス経路を形成す
る上部円盤と下部円盤からなる一対の円盤と、（ｂ）前
記下部円盤に形成されるとともに、前記ガス経路に連通
されるガス流出口と、（ｃ）該ガス流出口により吸着可
能なウエハに機械的に作用する押圧子を備え、（ｄ）前
記ウエハのチャック時およびアンチャック時にガスを一
定流量流しながら、前記押圧子の昇降により、前記ガス
流出口と前記ウエハ間の距離を変化させ、該ウエハのチ
ャック及びアンチャックを行うことを特徴とするベルヌ
ーイチャック。 - 【請求項４】 ベルヌーイチャックを用いたウエハの搬
送方法において、（ａ）ガス系に接続され、ガス経路を
形成する上部円盤と下部円盤からなる一対の円盤と、前
記下部円盤に形成されるとともに、前記ガス経路に連通
されるガス流出口と、該ガス流出口により吸着可能なウ
エハに機械的に作用する押圧子を備えるベルヌーイチャ
ックを用意し、（ｂ）ガスを一定流量流しながら前記押
圧子を下降させておき、前記ガス流出口とウエハ間の距
離を増加させてウエハをアンチャック状態にする工程
と、（ｃ）ガスを一定流量流しながら前記押圧子を上昇
させ前記ガス流出口と前記ウエハ間の距離を低減させて
前記ウエハをチャック状態にする工程と、（ｄ）ガスを
一定流量流しながらウエハを搬送する工程と、（ｅ）ガ
スを一定流量流しながら前記押圧子を下降させ前記ガス
流出口と前記ウエハ間の距離を増加させて前記ウエハを
アンチャック状態にする工程とを施すことを特徴とする
ベルヌーイチャックを用いたウエハの搬送方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP941895A JPH08203984A (ja) | 1995-01-25 | 1995-01-25 | ベルヌーイチャック及びそれを用いたウエハの搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP941895A JPH08203984A (ja) | 1995-01-25 | 1995-01-25 | ベルヌーイチャック及びそれを用いたウエハの搬送方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08203984A true JPH08203984A (ja) | 1996-08-09 |
Family
ID=11719828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP941895A Withdrawn JPH08203984A (ja) | 1995-01-25 | 1995-01-25 | ベルヌーイチャック及びそれを用いたウエハの搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08203984A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100245649B1 (ko) * | 1996-09-16 | 2000-02-15 | 윤종용 | 반도체 웨이퍼 이송척 |
| JP2005251948A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Izumi Akiyama | 非接触保持装置および非接触保持搬送装置 |
| JP2006261377A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Ulvac Japan Ltd | 基板搬送ロボット及びこれを備えた基板搬送システム |
| JP2009032744A (ja) * | 2007-07-24 | 2009-02-12 | Fluoro Mechanic Kk | ベルヌーイチャック |
| WO2014084228A1 (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-05 | 株式会社ニコン | 吸引装置、搬入方法、搬送システム及び露光装置、並びにデバイス製造方法 |
| CN107895708A (zh) * | 2016-10-04 | 2018-04-10 | 株式会社迪思科 | 搬送垫和晶片的搬送方法 |
-
1995
- 1995-01-25 JP JP941895A patent/JPH08203984A/ja not_active Withdrawn
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100245649B1 (ko) * | 1996-09-16 | 2000-02-15 | 윤종용 | 반도체 웨이퍼 이송척 |
| US7510226B2 (en) | 2004-03-03 | 2009-03-31 | Izumi Akiyama | Non-contact holder device and non-contact holding and conveying device |
| JP2005251948A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Izumi Akiyama | 非接触保持装置および非接触保持搬送装置 |
| WO2005086225A1 (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Izumi Akiyama | 非接触保持装置および非接触保持搬送装置 |
| CN100433288C (zh) * | 2004-03-03 | 2008-11-12 | 秋山泉 | 非接触保持装置和非接触保持传送装置 |
| JP2006261377A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Ulvac Japan Ltd | 基板搬送ロボット及びこれを備えた基板搬送システム |
| JP4570037B2 (ja) * | 2005-03-17 | 2010-10-27 | 株式会社アルバック | 基板搬送システム |
| JP2009032744A (ja) * | 2007-07-24 | 2009-02-12 | Fluoro Mechanic Kk | ベルヌーイチャック |
| WO2014084228A1 (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-05 | 株式会社ニコン | 吸引装置、搬入方法、搬送システム及び露光装置、並びにデバイス製造方法 |
| JPWO2014084228A1 (ja) * | 2012-11-30 | 2017-01-05 | 株式会社ニコン | 吸引装置、搬入方法、搬送システム及び露光装置、並びにデバイス製造方法 |
| CN107895708A (zh) * | 2016-10-04 | 2018-04-10 | 株式会社迪思科 | 搬送垫和晶片的搬送方法 |
| KR20180037576A (ko) * | 2016-10-04 | 2018-04-12 | 가부시기가이샤 디스코 | 반송 패드 및 웨이퍼의 반송 방법 |
| CN107895708B (zh) * | 2016-10-04 | 2023-07-25 | 株式会社迪思科 | 晶片的搬送方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020402 |