Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JPH0816608B2 - 形状計測装置 - Google Patents

形状計測装置

Info

Publication number
JPH0816608B2
JPH0816608B2 JP3128889A JP12888991A JPH0816608B2 JP H0816608 B2 JPH0816608 B2 JP H0816608B2 JP 3128889 A JP3128889 A JP 3128889A JP 12888991 A JP12888991 A JP 12888991A JP H0816608 B2 JPH0816608 B2 JP H0816608B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
slit light
light
measured
image
shape
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP3128889A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH05332737A (ja
Inventor
幸男 佐藤
Original Assignee
幸男 佐藤
株式会社ネクスタ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 幸男 佐藤, 株式会社ネクスタ filed Critical 幸男 佐藤
Priority to JP3128889A priority Critical patent/JPH0816608B2/ja
Publication of JPH05332737A publication Critical patent/JPH05332737A/ja
Publication of JPH0816608B2 publication Critical patent/JPH0816608B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【産業上の利用分野】本発明は測定対象の三次元形状を
非接触で光学的に計測する形状計測装置に関する。
【従来の技術】光を用いて測定対象の三次元形状を非接
触に計測する技術は能動的計測法と受動的計測法とに大
きく分けられる。受動的計測法はステレオ法に代表され
るように、測定機側は投光手段を持たず、環境光を利用
して計測するものであり、一方能動的計測法は測定機の
投光装置から測定対象に向けて光を照射し、その反射光
を計測するものである。能動的計測法にも様々なものが
あるが、そのうち一般的な方法である三角測量に基づく
方法には、スポット光投影法、スリット光投影法、符号
化法などがある。この符号化法をさらに分類すると、光
に色をつけて符号化する方法、投光装置のスリットの開
口幅を変えることによって符号化する方法、符号化した
複数の開口パターンを順次照射する「時系列符号化格子
法」または「空間コード化法」と呼ばれる方法、があ
る。図6には、空間コード化法を用いた計測原理が示さ
れている。図6において、測定物体Qを視野内にとらえ
ているビデオカメラのレンズの光学中心点11を原点と
して、レンズ光軸をZc軸とし、ビデオカメラの水平走
査方向に平行にXc軸をとり、Xc軸とZc軸に直交し
てYc軸をとってある。ビデオカメラの撮像面12は実
際には光学中心点11の後ろにあるものだが、図では説
明が容易なように光学中心点11の前に描いてある。X
c軸とYc軸に平行して撮像面12内にX’軸とY’軸
をとる。光学中心点11と撮像面12との間の距離をf
とする。Xc軸上でZc軸から距離dだけ離れた位置に
光源10が配置してある。光源10から所定の広がりを
もって投射されてパターンマスク13を通過した光10
0は、測定物体Qに到達し、測定物体Qの表面にパター
ンマスク13に応じた明暗の縞模様を形成する。パター
ンマスク13の縞模様の方向は、図に示すようにYc軸
に平行である。パターンマスク13を所定の規則にした
がって入れ替えることによりパターンを時系列的に変化
させ、測定物体Qの表面を、時系列的な明滅規則により
識別されるn個の領域R1、・・Ri、・・Rnに分割
することができる。領域Riに属する点Pの座標を(X
p、Yp、Zp)とし、点Pが撮像面上に結像した点を
点P’とし、点P’の座標を(X’p、Y’p、f)と
する。領域R1’・・Ri、・・Rnの各領域を与える
光100の部分は薄い楔状をしている。光100のう
ち、領域Riを与える薄い楔状の部分がX軸となす角を
θiとする。点Pの座標は次の式で得られる。 Zp=f・d/(f.tanθi+X’p) ・・・(第1式) Xp=X’p・Zp/f ・・・(第2式) Yp=Y’p・Zp/f ・・・(第3式) 従来の空間コード化法では、パターンマスクとしてパタ
ーンを開口した数種の板やフィルムを機械的に入れ替え
たり、円盤状のパターンマスクを回転させたりすること
により時系列に光パターンを生成していた。また、「液
晶レンジファインダー液晶シャッタによる高速距離画像
計測システム」(佐藤宏介、井口征士:電子情報通信学
会論文誌.88/7Vol.J71−D No.7およ
び特開昭64−54208に示されている方法では、パ
ターンマスクとして液晶シャッターを用いており、光源
には光プロジェクタを用いていた。
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来のよ
うに光源と測定対象との間にパターンマスク等の物理的
な装置を配置する方法では、装置全体の小型化が困難で
あった。しかもパターンマスクを時系列に変化させるた
めの機械機構や液晶シャッターの駆動装置を必要とする
ため、装置が複雑になる欠点があった。また、機械機構
あるいは液晶の動作速度の限界のために、パターンマス
クを時系列に変化させる速度を高速化することに困難が
あった。さらに、光源が光プロジェクタ等の白色光源で
あったため、バックグラウンド光の影響をなくすために
は、測定環境を暗室にしたり、特別な操作や演算をする
などの手間が必要であった。また、光源に用いられてい
た白熱燈やハロゲンランプは小型のものにすると充分な
光量が得られないため、測定装置の小型化が困難であっ
た。さらに、入り組んだ場所にある物体を測定するのは
困難であった。本発明は上記従来の課題に鑑みなされた
ものであり、その目的は、空間コード化法を用いた非接
触形状計測において、物理的なパターンマスクを用いる
ことなく、高速に測定でき、かつ小型で簡易な構成の形
状計測装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、レーザ光を発生させるレーザ光源と、前
記レーザ光をスリット光に整形するレンズ系と、前記ス
リット光を所定の走査制御下で被測定物体の表面に向け
て偏向走査する偏向照射装置と、前記スリット光を所定
の規則に従って点滅させる点滅装置と、前記スリット光
により前記被測定物体の表面に生じる光学像を撮像する
CCDカメラと、前記CCDカメラから出力される画像
情報を蓄える記憶装置と、前記画像情報の複数フレーム
を通じて各画素の明暗情報を調べることにより、各画素
に対応する前記被測定物体上の点が前記スリット光に照
射されたときの、前記スリット光の偏向角情報を得る偏
向角識別部と、各画素の前記偏向角情報を用いて被測定
物体の形状を求める演算処理部と、を有することを特徴
とする。また、本発明は、前記記憶装置が、1フレーム
分の2値画像を蓄える1ビットの深さを持つメモリを並
列に複数枚接続して構成され、各フレームごとに1枚の
前記メモリを割当てて各フレームごとの2値画像を蓄
え、読み出し時には前記各メモリに並列にアドレスを指
定し並列に値を読み出すこと、を特徴とする。また、本
発明は、前記スリット光を前記偏向照射装置から伝送す
る光ファイバー束と、前記光ファイバー束の被測定物体
側の端面から出る光を前記被測定物体上に結像させる投
射レンズ系と、を設けたことを特徴とする。
【作用】上記構成によれば、CCDカメラのCCD素子
のデータ蓄積時間内に、点滅装置を用いてスリット光を
所定の規則に従って点滅させながら被測定物体上に照射
し走査することにより、従来のようにパターンマスクを
用いて光パターンを被測定物体表面に形成した場合と同
様な画像データを、CCD素子に蓄積することができ
る。このようにしてCCD素子に蓄えられた画像データ
は、記憶装置へ転送され蓄えられる。静止している被測
定物体に対して、さらに、スリット光の点滅規則をスリ
ット光の走査毎に所定の規則に従って変更しながら、こ
れらの操作を複数回繰り返すことにより、記憶装置には
複数枚の画像データが蓄えられる。スリット光の各走査
における点滅規則を適切に設定することにより、記憶装
置に蓄えられた複数枚の画像データと、スリット光の走
査速度と、スリット光の点滅のタイミングとを用いて、
CCD素子の各画素に対応する被測定物体上の点がスリ
ット光に照射されたときのスリット光の偏向角情報を、
偏向角識別部において得ることができる。さらに、演算
処理部において、各画素の偏向角情報と、各画素の位置
とを用いて、三角測量の原理に基づき、各画素に対応す
る被測定物体上の点の座標を得ることにより、被測定物
体の形状を測定することが可能となる。また、前述の構
成によれば、記憶装置に複数フレーム分の1ビットのメ
モリを並列に接続することにより、画像データの明暗情
報を効率良く記憶することができ、記憶した各フレーム
の同位置の画素の明暗情報を並列に読み出しデコードす
ることにより、効率良く偏向角情報を得ることが可能と
なる。また、前述の構成によれば、スリット光を偏向照
射装置で偏向し、光ファイバー束の端面上に照射し走査
することにより、光ファイバー束によってスリット光を
光ファイバー束の被測定物体側の端面まで伝送すること
ができ、光ファイバー束の被測定物体側の端面から出る
光の像を、投射レンズ系を用いて被測定物体上に結像さ
せることにより、偏向照射装置で偏向したスリット光を
直接照射することのできない位置にある被測定物体に対
してもスリット光を照射し走査することが可能となる。
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を図面に基づい
て説明する。図1には、本発明に係る形状計測装置の全
体構成が示されている。図1において、レーザ光源37
から出射されたレーザ光は、レンズ系38でスリット光
に整形され、偏向照射装置39で偏向された後、被測定
物体Qに向けて照射される。偏向照射装置39は、例え
ばポリゴンミラーやガルバノミラーの光反射面を回転ま
たは振動させることによって、被測定物体Qに向けてス
リット光110を照射走査することができる。レーザ光
源37は、所定の規則に従って点滅するように点滅装置
36により制御され、さらに、点滅装置36は計測コン
トロール部35からの点滅同期信号253により制御さ
れている。CCDカメラ31の1フレーム分の蓄積時間
内に、偏向照射装置39によるスリット光110の1回
の走査が行なわれるように、CCDカメラ31に対して
計測コントロール部から撮像同期信号252が与えら
れ、偏向照射装置39に対して計測コントロール部から
偏向同期信号254が与えられている。スリット光11
0は、被測定物体Qを照射し走査する間に所定の規則に
したがって点滅するため、被測定物体Qの表面には、ス
リット光110が照射された部分と照射されなかった部
分とが縞模様状に生じる。スリット光110の1回の走
査はCCDカメラ31の1フレーム分の蓄積時間内に行
なわれるため、の画像データ1フレーム内には、上記被
測定物体Qの表面がスリット光110にて照射された部
分は明るく、照射されなかった部分は暗い縞模様状の画
像が蓄積される。この画像データ202は記憶装置32
へと送られ蓄えられる。このようにして、複数回の走査
にわたって所定の規則にしたがってスリット光点滅規則
を変化させながら撮像した画像データを、複数フレーム
分記憶装置32に蓄える。記憶装置32に蓄えた複数フ
レーム分の画像データを用いて、偏向角識別部33にお
いて、各画素に対応するスリット光偏向角情報251を
検出する。この部分の詳細については後述する。演算処
理部では、各画素の撮像面内の位置とスリット光偏向角
情報251とを用いて、対応する被測定物体Q上の点R
の座標(Xr、Yr、Zr)を算出することができる。
この算出原理については後述する。さて、スリット光1
10は、被計測物体Qを照射し走査する間に、所定の規
則に従って点滅し、その走査はCCDカメラ31の1フ
レーム分の蓄積時間内に行なわれるため、被測定物体Q
の表面にスリット光110が照射された部分と照射され
なかった部分とにより、CCDカメラ31の画像データ
1フレーム分には縞模様を生じる。これを第2図を用い
て説明する。図2(a)、(b)、(c)、(d)は、
レーザ光源37の点滅規則の例を示すものである。した
がって、スリット光110もこれにしたがって同じ点滅
をすることになる。(a)、(b)、(c)、(d)の
点滅規則は各々第1回、第2回、第3回、第4回のスリ
ット光走査に対応している。図2において、第1回のス
リット光走査の際に(a)のようにレーザ光源を点滅さ
せながらCCDカメラ1フレーム蓄積時間内に被測定物
体表面を走査すると、CCDカメラの1フレームには
(a’)で示されるような明暗のパターンが得られる。
このパターンは被測定物体Qの表面形状により歪むが、
図2では図示の簡略化のため、被測定物体表面が平面で
ある場合を例にとっている。CCDカメラ31に蓄積さ
れた図2(a’)に示すフレームデータは記憶装置32
ヘと送られ記憶される。次に、第2回のスリット光走査
の際に、図2(b)に示すようにレーザ光源37を点滅
させることにより、図2(b’)に示すような明暗のパ
ターンがCCDカメラ31に蓄積される。このフレーム
データは記憶装置32へと送られる。このようにして、
第4回までのスリット光走査が終了した後には、記憶装
置32内には(a’)、(b’)、(c’)、(d’)
に示すフレームデータが記憶されている。上記(a)、
(b)、(c)、(d)は必ずしもこの順序どうりでな
くてもよく、例えば(d)、(c)、(b)、(a)の
順でもよい。また、ここでは図から分かるように
(a)、(b)、(c)、(d)の点滅が純2進符号を
生成するようにした例を示してあるが、点滅規則として
は、この他に、グレイコードを生成するような点滅規則
を用いてもよい。さらに、図2では、説明が簡易になる
ように、走査回数を4回としているが、実際に使用する
場合には走査回数を8回程度にして、より高い解像度を
得られるようにしてもよい。(a’)、(b’)、
(c’)、(d’)を通じてのフレーム内の画素の明暗
情報250は偏向角識別部へと送られる。偏向角識別部
においては、以下のようにしてスリット光110が照射
走査された空間は薄い楔形の空間に分割され識別される
ことになる。図2(d’)に示すような縞模様s’1、
・・・s’16の中のある1点Rについて考える。この
被測定物体上の点Rが図2のフレームデータ(a’)内
の点41に対応するとすると、(a’)では点41はス
リット光に照射されていず暗である。フレームデータ
(b’)内で点Rに対応する点を点42とすると、点4
2は明である。同様に(c’)で点Rに対応する点を点
43とし、(d’)で点Rに対応する点を点44とする
と、点41から点44までの明暗状態は順に暗明暗暗で
あることが分かり、したがって、この点Rは縞模様S’
12を含む楔形空間内に存在することが分かる。このよ
うにして、偏向角識別部33では、空間コード化された
画像データをデコードすることによって、各画素がどの
楔型空間に属するのかを識別し、各楔型空間に対応した
偏向角情報251を出力することができる。次に、図3
を用いて、演算処理部において点Rの座標(Xr、Y
r、Zr)を算出する原理を説明する。CCDカメラの
レンズ中心点11の座標を(0、0、0)とし、撮像面
12の中心点60の座標を(0、0、f)とする。偏向
照射装置39の回転中心軸Mは座標(M、0、M)を通
りYc軸に平行に配置されている。被測定物体Q上の点
Rが属する楔形空間120の偏向角情報を用いて楔形空
間120がZc軸となす角φを求めることができる。楔
形空間120は厚みを持つので、この厚み分の角度δφ
は測定誤差となる。すなわち、スリット光の範囲がZc
軸に対してφ0度からφm度であるようにあらかじめ設
定しておいたとき、偏向角情報251より、着目してい
る楔型空間の中心線がZc軸となす角度φを得ることが
できる。点Rが撮像面12上に結像した点を点R’と
し、その座標を(xi、yi、f)とする。幾何学的に
点Rの座標は次の式で得ることができる。 Zr=f・(Mx+Mz・tanφ)/(xi+f・t
anφ)・・・・・(第4式) Xr=Zr・xi/f ・・・・・(第5式) Yr=Zr・yi/f ・・・・・(第6式) 以上のように、本実施例の装置によれば、機械的なパタ
ーンマスクを使用しないため、装置全体を極めて小型に
することが可能であり、さらに高速な測定が可能である
という利点を有する。また、光源に半導体レーザを用い
ることにより、さらに小型化が容易になるという特徴も
ある。レーザ光源37としては半導体レーザが最も適し
ているが、気体レーザを用いてもよい。また、バックグ
ラウンド光の影響をなくすために、フィルター40をC
CDカメラ31の前に配置してもよい。次に図4を用い
て、本発明に係る記憶装置の実施例を説明する。図4に
は、メモリを4個用いた場合の例が示されている。CC
Dカメラ31内のCCD撮像素子50からの画像信号2
01は、2値化回路52へと送られる。2値化された画
像データ202は各々1ビットの深さを持つ第1メモリ
から第4メモリへ並列に供給されている。CCD駆動回
路51からの垂直同期信号205を得てセレクタ54は
画像データのフレームごとにメモリをセレクトする。す
なわち、第1フレームの画像データが画像信号202と
して記憶装置32に供給されているときには、セレクタ
54は第1メモリ55をセレクトしており、したがって
第1フレームの画像データは第1メモリ55のみに蓄え
られる。次に、第2フレームの画像データが画像信号2
02として記憶装置32に供給されているときには、セ
レクタ54は第2メモリ56をセレクトしており、した
がって第2フレームの画像データは第2メモリ56のみ
に蓄えられる。同様にして、第3、第4フレームの画像
データは各々第3メモリ57と第4メモリ58に蓄えら
れる。各メモリにデータを蓄える際のアドレスの指定
は、CCD駆動回路51からのCCD駆動パルス215
をカウンタ53でカウントすることによりアドレス信号
203を作成して各メモリに並列に供給することにより
なされる。各メモリに蓄えられたデータの読み出しは次
のように行なわれるまず、計測コントロール部からアド
レス信号203が各メモリに並列に送られる。図では省
略してあるが、このとき計測コントロール部からのセレ
クト信号で全てのメモリは読み出し可能となっている。
次に、アドレス信号203で指定された各メモリ内の
値、すなわち各フレームの画像データにおけるアドレス
信号203で指定される特定の画素の持つ画像データ2
11〜214、を偏向角識別部33へと送られる。偏向
角識別部33において画像データ211〜214を用い
てデコーディングが行なわれる。以上のように、本実施
例の装置によれば、各フレームごとに1枚の前記メモリ
を割当てて各フレームごとの2値画像を蓄え、読み出し
時には前記各メモリに並列にアドレスを指定し並列に値
を読み出すことによって、空間コード化法における画像
データの蓄積とデコーディングを簡易に行なうことがで
きる。次に図5を用いて、本発明に係る形状計測装置の
うち光ファイバー束を用いた実施例を説明する。図5に
おいて、レーザ光源37から出射されたレーザ光は、レ
ンズ系38でスリット光に整形され、偏向照射装置39
で偏向された後、光ファイバー束71の偏向照射装置3
9側の端面に照射される。光ファイバー束71は光ファ
イバーを整列させて束ねたものであり、したがって、ス
リット光が照射された端面の反対側の端面、すなわち光
ファイバー束71の被測定物体側の端面には、照射され
たスリット光が形を変えずに現われる。この光ファイバ
ー束71の被測定物体側の端面と被測定物体Qとの間に
投射レンズ系70が設けてあり、光ファイバー束71の
被測定物体側の端面から出る光131を前記被測定物体
上に結像させる働きをする。偏向照射装置39によっ
て、スリット光は光ファイバー束71の偏向照射装置3
9側の端面上を走査してゆくが、これに応じて被測定物
体Q上のスリット光像も移動してゆく。光ファイバー束
71をこのように用いることにより、レーザ光源37と
レンズ系38と偏向照射装置39とを、被測定物体Qか
ら離れた位置に任意の方向を向けて置くことができる。
以上のように、本実施例の装置によれば、レーザ光源と
偏向照射装置を離れた位置に任意の方向に向けて配置す
ることが可能なため、測定機のヘッド部分の小型化がし
やすくなり、入り組んだ場所や管状の空間の奥にある物
体などの測定も容易になる。
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る形状
計測装置によれば、スリット光を点滅させながら照射し
走査することによって、機械的なパターンマスクを使用
することなしに、空間コード化の原理を用いた物体形状
測定が可能となる。スリット光の点滅により照射パター
ンを生成するので、機械的なパターンマスクや液晶シャ
ッターを用いるよりも迅速にパターンを生成することが
できる。また、構造も機械的動作部分としては偏向照射
装置のみとなり、より簡便で、小型化に適するものであ
る。また、並列に配置した1ビットのメモリに、各パタ
ーン照射時の明暗情報の画像データを蓄えることによ
り、全フレームについて同位置の画素の明暗情報を並列
に読み出しデコードすることにより、効率良く偏向角情
報を得ることが可能となり、簡便な構成にして高速なデ
ータ処理が可能となる。また、偏向照射装置から被測定
物体ヘ光ファイバーを用いてスリット光を伝送すること
により、偏向照射装置で偏向したスリット光を直接照射
することのできない入り組んだ場所にある被測定物体の
計測も容易に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】は本発明に係る形状計測装置の全体構成を示す
ブロック図。
【図2】本発明に係る空間コード化手法の原理を示す説
明図。
【図3】本発明に係る形状計測原理を示す説明図。
【図4】本発明に係る記憶装置の構成を示すブロック
図。
【図5】本発明に係る光ファイバーを用いた形状計測装
置の構成を示す説明図、
【図6】従来の空間コード化法による形状計測原理を示
す説明図。
【符号の説明】
10 ・・・光源 11 ・・・CCDカメラレンズ中心点 12 ・・・撮像面 13 ・・・パターンマスク 31 ・・・CCDカメラ 37 ・・・レーザ光源 38 ・・・レンズ系 39 ・・・偏向照射装置 40 ・・・フィルター 60 ・・・撮像面の中心点 70 ・・・投射レンズ系 71 ・・・光ファイバー束 100・・・パターンマスクを通過した光 110・・・スリット光 120・・・楔形空間 131・・・光ファイバー束の端面から出る光 201・・・画像信号 202・・・画像データ 203・・・アドレス信号 205・・・垂直同期信号 250・・・明暗情報 251・・・スリット光偏向角情報 252・・・撮像同期信号 253・・・点滅同期信号 254・・・偏向同期信号

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】レーザ光を発生させるレーザ光源と、 前記レーザ光をスリット光に整形するレンズ系と、 前記スリット光を所定の走査制御下で被測定物体の表面
    に向けて偏向走査する偏向照射装置と、 前記スリット光を所定の規則に従って点滅させる点滅装
    置と、 前記スリット光により前記被測定物体の表面に生じる光
    学像を撮像するCCDカメラと、 前記CCDカメラから出力される画像情報を蓄える記憶
    装置と、 前記画像情報の複数フレームを通じて各画素の明暗情報
    を調べることにより、各画素に対応する前記被測定物体
    上の点が前記スリット光に照射されたときの、前記スリ
    ット光の偏向角情報を得る偏向角識別部と、各画素の前
    記偏向角情報を用いて被測定物体の形状を求める演算処
    理部と、を有することを特徴とする形状計測装置。
  2. 【請求項2】請求項1に記載の形状計測装置において、
    前記記憶装置が、1フレーム分の2値画像を蓄える1ビ
    ットの深さを持つメモリを並列に複数枚接続して構成さ
    れ、 各フレームごとに1枚の前記メモリを割当てて各フレー
    ムごとの2値画像を蓄え、読み出し時には前記各メモリ
    に並列にアドレスを指定し並列に値を読み出すこと、 を特徴とする形状計測装置。
  3. 【請求項3】請求項1に記載の形状計測装置において、 前記スリット光を前記偏向照射装置から伝送する光ファ
    イバー束と、前記光ファイバー束の被測定物体側の端面
    から出る光を前記被測定物体上に結像させる投射レンズ
    系と、を設けたことを特徴とする形状計測装置。
JP3128889A 1991-03-15 1991-03-15 形状計測装置 Expired - Lifetime JPH0816608B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3128889A JPH0816608B2 (ja) 1991-03-15 1991-03-15 形状計測装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3128889A JPH0816608B2 (ja) 1991-03-15 1991-03-15 形状計測装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05332737A JPH05332737A (ja) 1993-12-14
JPH0816608B2 true JPH0816608B2 (ja) 1996-02-21

Family

ID=14995860

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3128889A Expired - Lifetime JPH0816608B2 (ja) 1991-03-15 1991-03-15 形状計測装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0816608B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7436525B2 (en) 2006-06-08 2008-10-14 Konica Minolta Sensing, Inc. Three-dimensional shape measuring method, three-dimensional shape measuring apparatus, and focus adjusting method

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2931218B2 (ja) * 1994-09-08 1999-08-09 シーケーディ株式会社 形状計測装置
US5848188A (en) * 1994-09-08 1998-12-08 Ckd Corporation Shape measure device
JP3914638B2 (ja) * 1997-09-09 2007-05-16 シーケーディ株式会社 形状計測装置
JP3384329B2 (ja) * 1998-06-22 2003-03-10 富士ゼロックス株式会社 3次元画像撮影装置
JP3482990B2 (ja) 1998-08-18 2004-01-06 富士ゼロックス株式会社 3次元画像撮影装置
JP3714063B2 (ja) 1999-10-19 2005-11-09 富士ゼロックス株式会社 3次元形状計測装置
JP3867512B2 (ja) 2000-06-29 2007-01-10 富士ゼロックス株式会社 画像処理装置および画像処理方法、並びにプログラム
JP3852285B2 (ja) * 2001-01-10 2006-11-29 富士ゼロックス株式会社 3次元形状計測装置および3次元形状計測方法
KR100422987B1 (ko) * 2001-02-22 2004-03-12 주식회사 파미 3차원 영상 데이터 획득 센서
US20040041996A1 (en) 2002-08-28 2004-03-04 Fuji Xerox Co., Ltd. Range finder and method
JP2005293075A (ja) 2004-03-31 2005-10-20 Brother Ind Ltd 3次元形状検出装置、3次元形状検出方法、3次元形状検出プログラム
DE102006062536A1 (de) * 2006-12-29 2008-07-03 Krones Ag Vorrichtung und Verfahren zum Befüllen von Behältnissen
JP4931728B2 (ja) 2007-08-08 2012-05-16 シーケーディ株式会社 三次元計測装置及び基板検査機
GB0921461D0 (en) * 2009-12-08 2010-01-20 Qinetiq Ltd Range based sensing
DE112017001464B4 (de) 2016-03-22 2021-09-23 Mitsubishi Electric Corporation Abstandsmessvorrichtung und Abstandsmessverfahren

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7436525B2 (en) 2006-06-08 2008-10-14 Konica Minolta Sensing, Inc. Three-dimensional shape measuring method, three-dimensional shape measuring apparatus, and focus adjusting method

Also Published As

Publication number Publication date
JPH05332737A (ja) 1993-12-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6674893B1 (en) Three-dimensional shape measuring apparatus
JPH0816608B2 (ja) 形状計測装置
US6600168B1 (en) High speed laser three-dimensional imager
US6765606B1 (en) Three dimension imaging by dual wavelength triangulation
JP3482990B2 (ja) 3次元画像撮影装置
JP2714152B2 (ja) 物体形状測定方法
JP3384329B2 (ja) 3次元画像撮影装置
JP3991501B2 (ja) 3次元入力装置
JPH0791927A (ja) 三次元計測装置
CN114705131B (zh) 一种用于3d测量的可定位多线扫描产生方法和系统
JP2002027501A (ja) 3次元画像撮像装置および3次元画像撮像方法
JPH0886622A (ja) 形状計測装置
JPH05322526A (ja) 3次元形状測定装置
JP4158300B2 (ja) 3次元入力方法及び3次元入力装置
US6411918B1 (en) Method and apparatus for inputting three-dimensional data
JP3852285B2 (ja) 3次元形状計測装置および3次元形状計測方法
JP2875832B2 (ja) 測距システム
JP2000088539A (ja) 3次元入力方法及び3次元入力装置
JP2001264017A (ja) 3次元画像撮影装置
JP3932776B2 (ja) 3次元画像生成装置および3次元画像生成方法
JP3798212B2 (ja) 三次元形状測定装置
JP3013690B2 (ja) 3次元曲面形状の測定方法及び装置
JP2001033236A (ja) ステレオ画像計測装置およびステレオ画像計測方法
JP2000171222A (ja) 3次元入力方法及び3次元入力装置
JP3695169B2 (ja) 3次元入力方法及び3次元入力装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100221

Year of fee payment: 14

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100221

Year of fee payment: 14

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100221

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120221

Year of fee payment: 16

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120221

Year of fee payment: 16