JPH0812334B2 - Optical deflector - Google Patents
Optical deflectorInfo
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- JPH0812334B2 JPH0812334B2 JP8447290A JP8447290A JPH0812334B2 JP H0812334 B2 JPH0812334 B2 JP H0812334B2 JP 8447290 A JP8447290 A JP 8447290A JP 8447290 A JP8447290 A JP 8447290A JP H0812334 B2 JPH0812334 B2 JP H0812334B2
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Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は多面鏡型光偏向器(以下単に光偏向器とい
う)に関し、さらに詳言すればフィードバックループを
備えた光偏向器に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a polygon mirror type optical deflector (hereinafter simply referred to as an optical deflector), and more specifically to an optical deflector having a feedback loop.
(従来の技術) 従来の光偏向器においては、第5図に示す如く光偏向
器2を回転駆動するモータ21の回転数を周波数発電機23
で検出する。一方、クロック信号発振器9からの発振ク
ロック信号をカウンタ10に供給してカウントし、カウン
タの計数値と周波数発電機23の発振周波数信号とを比較
器24で比較し、比較器24の比較出力でモータ21の回転数
を制御して、光偏向器2の回転数が一定になるように制
御して、高精度走査に対し、光偏向器の精度を向上させ
ていた。なお19はフィルタである。(Prior Art) In the conventional optical deflector, as shown in FIG. 5, the number of revolutions of the motor 21 for rotationally driving the optical deflector 2 is set to the frequency generator 23.
Detect with. On the other hand, the oscillation clock signal from the clock signal oscillator 9 is supplied to the counter 10 for counting, the count value of the counter is compared with the oscillation frequency signal of the frequency generator 23 by the comparator 24, and the comparison output of the comparator 24 is used. The rotation speed of the motor 21 is controlled so that the rotation speed of the light deflector 2 is kept constant to improve the accuracy of the light deflector with respect to high-precision scanning. Reference numeral 19 is a filter.
(発明が解決しようとする課題) しかし上記の如き従来のフィードバックループを有す
る光偏向器は、モータの速度をフィードバックすること
により、モータの速度を一定に保っても、光偏向器の品
質により光走査の速度が変化してしまうという問題点が
あった。(Problems to be Solved by the Invention) However, in the optical deflector having the conventional feedback loop as described above, by feeding back the speed of the motor, even if the speed of the motor is kept constant, the optical deflector is controlled by the quality of the optical deflector. There is a problem that the scanning speed changes.
さらに光偏向器と受光板との間には通常レンズが使用
されているが、そのレンズ精度により光走査速度が変化
してしまうという問題点があった。Further, a lens is usually used between the optical deflector and the light receiving plate, but there is a problem that the optical scanning speed changes depending on the accuracy of the lens.
またさらに、光偏向器のバランスが悪いと、光走査速
度が変化してしまうという問題点もあった。Further, there is a problem that the optical scanning speed changes when the balance of the optical deflector is poor.
さらに、走査精度を上げるために、周波数発電機、光
偏向器およびレンズ等の精度を上げなければならないと
いう問題点があった。Further, there is a problem that the accuracy of the frequency generator, the optical deflector, the lens, and the like must be increased in order to increase the scanning accuracy.
本発明は、光偏向器にて走査される光ビームの走査角
度を検出し、検出走査角度をフィードバックすることに
より、上記の欠点を解消した光偏向器を提供することを
目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an optical deflector that solves the above-mentioned drawbacks by detecting the scanning angle of a light beam scanned by the optical deflector and feeding back the detected scanning angle.
(課題を解決するための手段) 本発明の光偏向器は、光偏向器による光の有効走査角
を挟んで設けた2つのビーム検出器と、一方のビーム検
出器の出力でセットされかつ他方のビーム検出器の出力
でリセットされるRSフリップフロップと、クロック信号
発振器と、一方のビーム検出器の出力でリセットされか
つクロック信号発振器の出力クロック信号を分周する分
周手段と、分周手段の出力とRSフリップフロップの出力
とを位相比較する排他論理和手段と、排他論理和手段の
出力とRSフリップフロップの出力とを論理積演算する第
1論理積演算手段と、排他論理和手段の出力と分周手段
の出力とを論理積演算する第2論理積手段とを備え、第
1論理積演算手段の出力に対応した信号を光偏向器駆動
モータの加速信号とし、第2論理和演算手段の出力に対
応した信号を光偏向器駆動モータの減速信号としたこと
を特徴とする。(Means for Solving the Problem) An optical deflector according to the present invention is set with two beam detectors provided with an effective scanning angle of light by the optical deflector sandwiched therebetween, and the output of one beam detector and the other. RS flip-flop reset by the output of the beam detector, a clock signal oscillator, frequency dividing means reset by the output of one beam detector and dividing the output clock signal of the clock signal oscillator, and frequency dividing means Of the exclusive-OR means for phase-comparing the output of the RS flip-flop and the output of the RS flip-flop, a first logical-AND calculating means for performing an AND operation of the output of the exclusive-OR means and the output of the RS flip-flop, and A second logical product means for performing a logical product operation of the output and the output of the frequency dividing means, and a signal corresponding to the output of the first logical product operation means is used as an acceleration signal of the optical deflector drive motor to perform a second logical sum operation. Of means It is characterized in that the signal corresponding to the output is the deceleration signal of the optical deflector drive motor.
(作 用) 上記の如く構成した本発明において、光偏向器を駆動
モータにより駆動したとき、光偏向器に照射された光は
光偏向器で反射し、走査される。この走査によって一方
のビーム検出器が光を検出した出力でRSフリップフロッ
プはセットされ、他方のビーム検出器が光を検出した出
力でRSフリップフロップはリセットされて、RSフリップ
フロップの出力は光偏向器の回転速度が遅いときは周期
が長く、回転速度が早いときは周期が短い。一方分周手
段の出力は一方のビーム検出器の出力でリセットされる
ため一方のビーム検出器の出力と同期した出力であっ
て、光偏向器の回転速度が早いときは周期が長く、回転
速度が遅いときは周期は短い。(Operation) In the present invention configured as described above, when the optical deflector is driven by the drive motor, the light emitted to the optical deflector is reflected by the optical deflector and scanned. This scanning causes one of the beam detectors to detect the light, which sets the RS flip-flop, and the other beam detector to detect the light, which resets the RS flip-flop and causes the output of the RS flip-flop to deflect. When the rotation speed of the container is slow, the cycle is long, and when the rotation speed is fast, the cycle is short. On the other hand, since the output of the frequency dividing means is reset by the output of one beam detector, it is an output synchronized with the output of one beam detector.When the rotation speed of the optical deflector is high, the cycle is long and the rotation speed is high. When is slow, the cycle is short.
そこでRSフリップフロップの出力と分周手段の出力と
を排他論理和手段で位相比較した出力とRSフリップフロ
ップの出力とを論理積演算した第1論理積演算手段は光
偏向器の回転速度が遅いときに出力を発生する。また排
他論理和手段で位相比較した出力と分周手段の出力とを
論理積演算した第2論理積演算手段は光偏向器の回転速
度が早いときに出力を発生する。Therefore, the first AND operation means for ANDing the output of the RS flip-flop and the output of the frequency dividing means by the phase comparison by the exclusive OR means and the output of the RS flip-flop has a slow rotation speed of the optical deflector. Sometimes produce output. Further, the second logical product calculating means which performs the logical product operation of the output of the phase comparison by the exclusive OR means and the output of the frequency dividing means produces an output when the rotation speed of the optical deflector is high.
しかるに第1論理積演算手段の出力は光偏向器駆動モ
ータに加速信号として供給されて、光偏向器の回転速度
は早められる。また第2論理積演算手段の出力は光偏向
器駆動モータに減速信号として供給されて、光偏向器の
回転速度は減少させられる。この様にして光学系も含め
たフィードバックループが形成されて、光偏向器の回転
速度が制御されることになる。したがって光偏向器の品
質による光走査の変化は抑圧され、光偏向器と受光板と
の間にレンズが使用され、そのレンズ精度による影響に
よる走査速度が変化することも抑圧される。However, the output of the first AND operation means is supplied to the optical deflector drive motor as an acceleration signal, and the rotation speed of the optical deflector is accelerated. The output of the second AND operation means is supplied to the optical deflector drive motor as a deceleration signal, and the rotation speed of the optical deflector is reduced. In this way, a feedback loop including the optical system is formed, and the rotation speed of the optical deflector is controlled. Therefore, the change in the optical scanning due to the quality of the optical deflector is suppressed, and the lens is used between the optical deflector and the light receiving plate, and the change in the scanning speed due to the influence of the accuracy of the lens is also suppressed.
また周波数発電機も不要となり、その精度が問題とな
ることもなくなる。Further, the frequency generator is not necessary, and its accuracy does not become a problem.
(実施例) 以下、本発明を実施例により説明する。(Examples) Hereinafter, the present invention will be described with reference to Examples.
第1図は本発明の一実施例の配置を示すための構成図
を、第2図は本発明の一実施例のフィードバックシステ
ムのブロック図を、第3図は本発明の一実施例における
制御信号発生回路の回路図をそれぞれ示している。FIG. 1 is a block diagram showing the arrangement of one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a block diagram of a feedback system of one embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a control in one embodiment of the present invention. The circuit diagrams of the signal generation circuits are shown respectively.
モータ21にて回転駆動される多面体ミラからなる光偏
向器2に光源1からの光を照射し、光偏向器2からの反
射光を受光板5で受光する。光偏向器2の有効走査角8
を挟んでビーム検出器3および4が配置してあり、ビー
ム検出器3および4により光偏向器2からの反射光を検
出して有効走査角8だけ光走査されるようにフィードバ
ックシステムでモータ21の回転を制御する。6は例えば
半透鏡等からなるビームスプリッタである。The light from the light source 1 is applied to the light deflector 2 composed of a polyhedral mirror that is rotationally driven by the motor 21, and the reflected light from the light deflector 2 is received by the light receiving plate 5. Effective scanning angle 8 of the optical deflector 2
The beam detectors 3 and 4 are disposed with the motor 21 with a feedback system so that the beam detectors 3 and 4 detect the reflected light from the optical deflector 2 and optically scan the effective scanning angle 8. Control the rotation of. Reference numeral 6 is a beam splitter composed of, for example, a semitransparent mirror.
制御信号発生回路は、インバータ7−1、7−2ナン
ドゲート12−1、12−2からなるRSフリップフロップ12
を有し、ビーム検出器3の出力でRSフリップフロップ12
をセットし、ビーム検出器4の出力でRSフリップフロッ
プ12をリセットする。また、クロック信号発振器9から
の出力はビーム検出器3の出力でリセットされるカウン
タからなる分周器101に供給して分周し、分周器101の出
力はインバータ11で反転する。インバータ11の出力とRS
フリップフロップ12のQ出力とは排他論理和回路13で位
相比較する。Control signal generating circuit, RS flip-flop 12 comprised of the inverters 7-1, 7-2 NAND gates 12 1, 12 2
And an RS flip-flop 12 at the output of the beam detector 3.
Is set, and the RS flip-flop 12 is reset by the output of the beam detector 4. Further, the output from the clock signal oscillator 9 is supplied to a frequency divider 10 1 composed of a counter which is reset by the output of the beam detector 3 to divide the frequency, and the output of the frequency divider 10 1 is inverted by an inverter 11. Inverter 11 output and RS
The exclusive OR circuit 13 performs a phase comparison with the Q output of the flip-flop 12.
排他論理和回路13の出力、すなわち位相比較出力はア
ンドゲート14および15の一方の入力とし、アンドゲート
14にはRSフリップフロップ12のQ出力を他方の入力とし
て供給し、アンドゲート15にはインバータ11の出力を他
方の入力として供給し、アンドゲート14および15により
光偏向器2の回転の遅、速を検出する。The output of the exclusive OR circuit 13, that is, the phase comparison output is used as one input of the AND gates 14 and 15, and
14 is supplied with the Q output of the RS flip-flop 12 as the other input, the AND gate 15 is supplied with the output of the inverter 11 as the other input, and the AND gates 14 and 15 delay the rotation of the optical deflector 2. Detect speed.
アンドゲート14の出力iトランジスタ17を駆動し、ト
ランジスタ17により直列接続されたコンプリメンタリト
ランジスタの一方PNPトランジスタ16を駆動し、アンド
ゲート15の出力でNPNトランジスタ18を駆動し、トラン
ジスタ16のコレクタとトランジスタ18のコレクタとの接
続点から制御出力Fを取り出す。The output i-transistor 17 of the AND gate 14 is driven, one PNP transistor 16 of the complementary transistors connected in series by the transistor 17 is driven, the NPN transistor 18 is driven by the output of the AND gate 15, and the collector of the transistor 16 and the transistor 18 The control output F is taken out from the connection point with the collector of.
制御出力Fはフィルタ19を介して増幅器20で増幅し、
モータ21を駆動する。The control output F is amplified by the amplifier 20 via the filter 19,
The motor 21 is driven.
上記の如く構成された本発明の一実施例において、光
偏向器2の回転速度が遅いときはビーム検出器3および
4の出力は第4図(a)および(b)の左半分に示す如
く周期が長く、回転速度が早いときはビーム検出器3お
よび4の出力は第4図(a)および(b)の右半分に示
す如く周期が短くなる。RSフリップフロップ12はビーム
検出器3の出力にてセットされ、ビーム検出器4の出力
にてリセットされて、RSフリップフロップ12のQ出力は
第4図(c)に示す如くになる。RSフリップフロップ12
のQ出力は光偏向器2の回転速度が遅いときは第4図
(c)の左半分に示す如く周期が長く、回転速度が早い
ときは第4図(c)の右半分に示す如く周期は短くな
る。In the embodiment of the present invention constructed as described above, when the rotation speed of the optical deflector 2 is slow, the outputs of the beam detectors 3 and 4 are as shown in the left half of FIGS. 4 (a) and 4 (b). When the cycle is long and the rotation speed is fast, the outputs of the beam detectors 3 and 4 have a short cycle as shown in the right half of FIGS. 4 (a) and 4 (b). The RS flip-flop 12 is set by the output of the beam detector 3 and reset by the output of the beam detector 4, and the Q output of the RS flip-flop 12 becomes as shown in FIG. 4 (c). RS flip-flop 12
Q output has a long cycle as shown in the left half of FIG. 4 (c) when the rotation speed of the optical deflector 2 is slow, and as shown in the right half of FIG. 4 (c) when the rotation speed is fast. Becomes shorter.
一方、クロック信号発振器9からの出力クロック信号
を分周し、かつビーム検出器3の出力でリセットされる
分周器10の分周出力をインバータ11で反転した出力は第
4図(d)に示す如くである。インバータ11の出力の論
理“1"の期間は分周器10の分周比で定まるが、ビーム検
出器3の出力でリセットされるため、論理“0"の期間は
光偏向器2の回転速度が遅い程長く、回転速度が早い程
短くなる。On the other hand, the output obtained by dividing the output clock signal from the clock signal oscillator 9 and inverting the divided output of the frequency divider 10 which is reset by the output of the beam detector 3 by the inverter 11 is shown in FIG. As shown. The period of logic "1" of the output of the inverter 11 is determined by the frequency division ratio of the frequency divider 10, but since it is reset by the output of the beam detector 3, the period of logic "0" is the rotation speed of the optical deflector 2. Becomes slower and longer, and faster becomes shorter.
RSフリップフロップ12のQ出力とインバータ11の出力
とは排他論理和回路13で位相比較され、位相比較出力は
第4図(e)に示す如くになる。したがってアンドゲー
ト14から、光偏向器2の回転速度が遅いとき論理“1"の
出力が得られ、このときアンドゲート15の出力は論理
“0"である。したがってトランジスタ17および16はオン
状態になり、出力端Fに第4図(e)の左半分に示す部
分において論理“1"の期間、電源+Vの電圧が現れ、こ
れがフィルタ19で平滑化され、平滑化された出力端Fの
出力が増幅器20で増幅されて、モータ21に加速信号とし
て与えられる。The Q output of the RS flip-flop 12 and the output of the inverter 11 are phase-compared by the exclusive OR circuit 13, and the phase comparison output is as shown in FIG. 4 (e). Therefore, when the rotation speed of the optical deflector 2 is slow, the AND gate 14 outputs a logical "1", and at this time, the output of the AND gate 15 is a logical "0". Therefore, the transistors 17 and 16 are turned on, and the voltage of the power source + V appears at the output terminal F for a period of logic "1" in the portion shown in the left half of FIG. 4 (e), which is smoothed by the filter 19. The output of the smoothed output terminal F is amplified by the amplifier 20 and given to the motor 21 as an acceleration signal.
また、アンドゲート15から、光偏向器2の回転速度が
早いとき論理“1"の出力が得られ、このときアンドゲー
ト14の出力は論理“0"である。したがってトランジスタ
17および16はオフ状態になり、第4図(f)の右半分に
示す部分において論理“1"の期間トランジスタ18はオフ
状態になり、この期間出力端Fはアースされ、これがモ
ータ21に減速信号として与えられる。Further, the AND gate 15 obtains an output of logic "1" when the rotation speed of the optical deflector 2 is high, and at this time, the output of the AND gate 14 is logic "0". Therefore the transistor
17 and 16 are turned off, and in the portion shown in the right half of FIG. 4 (f), the transistor 18 is turned off during the logic "1" period, the output terminal F is grounded during this period, and the motor 21 is decelerated. Given as a signal.
出力端Fをフィルタ19に印加するときは、演算増幅器
等の動作電圧(基準電圧)がトランジスタ(16)エミッ
タ電圧の約半分位になるように設定すると、加速パルス
および減速パルスがうまく動作し、高精度のサーボ動作
が期待できる。When the output terminal F is applied to the filter 19, if the operating voltage (reference voltage) of the operational amplifier or the like is set to about half of the transistor (16) emitter voltage, the acceleration pulse and the deceleration pulse operate well, Highly accurate servo operation can be expected.
また分周器10にプリセット形のカウンタを使用して、
インバータ11の出力パルス幅を細く調整できるようにす
ることにより、モータの回転速度を細く制御することが
できる。Also, using a preset type counter for the frequency divider 10,
By allowing the output pulse width of the inverter 11 to be finely adjusted, the rotation speed of the motor can be finely controlled.
上記の如く本発明の一実施例において、光偏向器2は
光学形を含んだフィードバックシステムで速度制御され
ることになる。As described above, in one embodiment of the present invention, the speed of the optical deflector 2 is controlled by a feedback system including an optical type.
(発明の効果) 以上説明した如く本発明によれば、光偏向器の有効走
査角を挟んでビーム検出器をビーム検出器の出力にとも
なって、光偏向器駆動モータの回転数を制御するように
したため、精度の高い走査が可能となるほか、光偏向器
駆動モータの回転数を検出するための駆動モータに内蔵
もしくは付加していた周波数発電機が不要となって、駆
動モータ本来の構成要素であるマグネット等の大きさが
大きくとれる効果がある。(Effect of the Invention) As described above, according to the present invention, the beam detector controls the rotation speed of the optical deflector drive motor with the output of the beam detector across the effective scanning angle of the optical deflector. This enables high-precision scanning and eliminates the need for a frequency generator built in or added to the drive motor to detect the rotation speed of the light deflector drive motor, which is an essential component of the drive motor. There is an effect that the size of the magnet etc. can be made large.
さらに、集積回路化も容易であり、フィルタ、ビーム
検出器を外付として集積回路化することにより、制御装
置が小形化できる効果もある。Further, it can be easily integrated into a circuit, and the control device can be downsized by integrating the filter and the beam detector as an external circuit.
第1図は本発明の一実施例の配置を示すための構成図。 第2図は本発明の一実施例のフィードバックシステムの
ブロック図。 第3図は本発明の一実施例における制御信号発生回路の
回路図。 第4図は本発明の一実施例における制御信号発生回路の
作用の説明に供するタイミング図。 第5図は従来例におけるフィードバックシステムのブロ
ック図。 1……光源、2……光偏向器、3および4……ビーム検
出器、5……受光板、8……有効走査角、9……クロッ
ク信号発振器、10……分周器、12……RSフリップフロッ
プ、13……排他論理和回路、19……ローパスフィルタ、
21……モータ。FIG. 1 is a block diagram showing the arrangement of an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a block diagram of a feedback system according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a circuit diagram of a control signal generating circuit in an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a timing chart for explaining the operation of the control signal generating circuit in the embodiment of the present invention. FIG. 5 is a block diagram of a feedback system in a conventional example. 1 ... Light source, 2 ... Optical deflector, 3 and 4 ... Beam detector, 5 ... Photosensitive plate, 8 ... Effective scanning angle, 9 ... Clock signal oscillator, 10 ... Divider, 12 ... … RS flip-flop, 13 …… Exclusive OR circuit, 19 …… Low-pass filter,
21 ... motor.
Claims (1)
けた2つのビーム検出器と、一方のビーム検出器の出力
でセットされかつ他方のビーム検出器の出力でリセット
されるRSフリップフロップと、クロック信号発振器と、
一方のビーム検出器の出力でリセットされかつクロック
信号発振器の出力クロック信号を分周する分周手段と、
分周手段の出力とRSフリップフロップの出力とを位相比
較する排他論理和手段と、排他論理和手段の出力とRSフ
リップフロップの出力とを論理積演算する第1論理積演
算手段と、排他論理和手段の出力と分周手段の出力とを
論理積演算する第2論理積演算手段とを具え、第1論理
積手段の出力に対応した信号を光偏向器駆動モータの加
速信号とし、第2論理積手段の出力に対応した信号を光
偏向器駆動モータの減速信号としたことを特徴とする光
偏向器。1. An RS flip-flop which is set by the output of one beam detector and reset by the output of the other beam detector, and two beam detectors provided with an effective scanning angle of light by an optical deflector interposed therebetween. And a clock signal oscillator,
A frequency dividing means that is reset by the output of one beam detector and divides the output clock signal of the clock signal oscillator;
Exclusive-OR means for phase-comparing the output of the frequency-dividing means and the output of the RS flip-flop, a first AND-operation calculating means for performing an AND operation on the output of the exclusive-OR means and the output of the RS flip-flop, and the exclusive-logical logic A second AND operation means for performing an AND operation on the output of the summing means and the output of the frequency dividing means, and a signal corresponding to the output of the first AND operation means is used as an acceleration signal of the optical deflector drive motor, and An optical deflector characterized in that a signal corresponding to the output of the logical product means is used as a deceleration signal of the optical deflector drive motor.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP8447290A JPH0812334B2 (en) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | Optical deflector |
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JP8447290A JPH0812334B2 (en) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | Optical deflector |
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- 1990-03-30 JP JP8447290A patent/JPH0812334B2/en not_active Expired - Fee Related
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