JPH0782157B2 - 面倒れ補正機能をもつ走査光学系 - Google Patents
面倒れ補正機能をもつ走査光学系Info
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- JPH0782157B2 JPH0782157B2 JP61013320A JP1332086A JPH0782157B2 JP H0782157 B2 JPH0782157 B2 JP H0782157B2 JP 61013320 A JP61013320 A JP 61013320A JP 1332086 A JP1332086 A JP 1332086A JP H0782157 B2 JPH0782157 B2 JP H0782157B2
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- Japan
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- optical system
- lens
- image forming
- deflector
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/125—Details of the optical system between the polygonal mirror and the image plane
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0025—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
- G02B27/0031—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration for scanning purposes
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lenses (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明は、面倒れ補正機能を有する走査光学系に関す
る。
る。
(従来技術) 光により被走被媒体を走査する走査光学系は、従来から
良く知られている。かかる走査光学系において光束を偏
向させるのに反射面を用いると、偏向の際の、反射面の
面倒れのため、主走査線のピッチにむらが生ずることは
良く知られており、この面倒れの補正を、長尺のシリン
ドリカルレンズを用いて行なう技術が知られている(特
開昭50−93720号公報)。
良く知られている。かかる走査光学系において光束を偏
向させるのに反射面を用いると、偏向の際の、反射面の
面倒れのため、主走査線のピッチにむらが生ずることは
良く知られており、この面倒れの補正を、長尺のシリン
ドリカルレンズを用いて行なう技術が知られている(特
開昭50−93720号公報)。
しかし、長尺のシリンドリカルレンズは、作製が必らず
しも容易ではなく、かかる長尺シリンドリカルレンズを
有する走査光学系は、コストが高くつく。
しも容易ではなく、かかる長尺シリンドリカルレンズを
有する走査光学系は、コストが高くつく。
また、偏向角を大きくとると、高密度なスポット径を得
るには、結像系による像面湾曲が、主走査方向,副走査
方向ともに十分に補正されていなければならない。
るには、結像系による像面湾曲が、主走査方向,副走査
方向ともに十分に補正されていなければならない。
(目的) 本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであっ
て、長尺のシリンドリカルレンズを用いることなく面倒
れ補正が行なわれ、像面湾曲が主・副走査方向とも良好
に補正された、新規な走査光学系の提供を目的とする。
て、長尺のシリンドリカルレンズを用いることなく面倒
れ補正が行なわれ、像面湾曲が主・副走査方向とも良好
に補正された、新規な走査光学系の提供を目的とする。
(構成) 以下、本発明を説明する。
本発明の走査光学系は、光源部と、第1および第2の結
像光学系と、偏向器とを有する。
像光学系と、偏向器とを有する。
光源部は、単独の光源のみ、あるいは、光源と、コリメ
ートレンズの如き集光光学系とを有する。
ートレンズの如き集光光学系とを有する。
第1の結像光学系は、光源部からの光束を線状に結像さ
せる機能を有する。
せる機能を有する。
偏向器は、光束を、反射面の回転かたは揺動によって偏
向させる方式のものであって、偏向反射面は、上記第1
の結像光学系による結像部の近傍に位置する。この発明
における偏向器は、回転多面鏡である。
向させる方式のものであって、偏向反射面は、上記第1
の結像光学系による結像部の近傍に位置する。この発明
における偏向器は、回転多面鏡である。
第2の結像光学系は、上記偏向器により偏向された光束
を、被走査媒体上に結像させる機能を有する。そして、
本発明の特徴は、主として、この第2の結像光学系にあ
る。
を、被走査媒体上に結像させる機能を有する。そして、
本発明の特徴は、主として、この第2の結像光学系にあ
る。
第2の結像光学系は、3枚の単レンズにより構成され
る。すなわち、第2の結像光学系は、偏向器の側から、
被走査媒体に向って、アナモフィックな単レンズ、正の
屈折力を有する球面単レンズ、トーリック面を有する単
レンズを、配列することによって構成される。
る。すなわち、第2の結像光学系は、偏向器の側から、
被走査媒体に向って、アナモフィックな単レンズ、正の
屈折力を有する球面単レンズ、トーリック面を有する単
レンズを、配列することによって構成される。
さらに、上記アナモフィックな単レンズは、偏向器側の
レンズ面(以下、射出面という)が球面、被走査媒体側
のレンズ面(以下、射出面という)がシリンダー面であ
って、偏向面内で平凹レンズ、これに直交する方向では
両凹レンズである。また、トーリック面を有する単レン
ズは、偏向面内で平凸レンズ、これに直交する方向でメ
ニスカス凸レンズである。
レンズ面(以下、射出面という)が球面、被走査媒体側
のレンズ面(以下、射出面という)がシリンダー面であ
って、偏向面内で平凹レンズ、これに直交する方向では
両凹レンズである。また、トーリック面を有する単レン
ズは、偏向面内で平凸レンズ、これに直交する方向でメ
ニスカス凸レンズである。
以下、図面を参照しながら説明する。
第1図は、本発明の構成の具体的1例を説明図的に示し
ている。
ている。
光源部1は、単独の光源あるいは、光源と集光光学系と
により構成され、平行光束を発する。この光束は、第1
の結像光学系たるシリンドリカルレンズ2によって、線
状に結像される。
により構成され、平行光束を発する。この光束は、第1
の結像光学系たるシリンドリカルレンズ2によって、線
状に結像される。
偏向器たる回転多面鏡3は、その偏向反射面4が、上記
光束の線状の結像部の近傍にあるように配備され、多面
鏡は矢印方向へ回転する。
光束の線状の結像部の近傍にあるように配備され、多面
鏡は矢印方向へ回転する。
偏向器たる回転多面鏡3と、被走査媒体(例えば、光導
電性の感光体)8との間に配備された3枚のレンズは、
回転多面鏡3の側から順に、アナモフィックな単レンズ
5、正の屈折力を有する球面単レンズ6、トーリック面
を有する単レンズ7であって、これらレンズ5,6,7が、
第2の結像光学系を構成する。
電性の感光体)8との間に配備された3枚のレンズは、
回転多面鏡3の側から順に、アナモフィックな単レンズ
5、正の屈折力を有する球面単レンズ6、トーリック面
を有する単レンズ7であって、これらレンズ5,6,7が、
第2の結像光学系を構成する。
第2の結像光学系を構成する3枚の単レンズ5,6,7は、
回転多面鏡3による偏向光束を、被走査媒体8上に、ス
ポット状に結像される。この結像スポットは、多面鏡の
回転により、被走査媒体8上を走査する。
回転多面鏡3による偏向光束を、被走査媒体8上に、ス
ポット状に結像される。この結像スポットは、多面鏡の
回転により、被走査媒体8上を走査する。
第2図は、第1図の走査光学系を、多面鏡の回転軸方向
からみた状態を示し、偏向面は図面に平行である。
からみた状態を示し、偏向面は図面に平行である。
光源部1からの平行光束は、シリンドリカルレンズ2を
介して、回転多面鏡3の偏向反射面4に入射し、同反射
面4により反射されると、反射光束は、レンズ5,6,7の
作用で、被走査媒体8上にスポット状に結像される。回
転多面鏡2の多面鏡が矢印方向へ回転すると、反射光束
は、偏向し、被走査媒体8は矢印方向へ光走査される。
なお、第2の結像光学系はfθ機能を有し、光走査は等
速的に行なわれる。
介して、回転多面鏡3の偏向反射面4に入射し、同反射
面4により反射されると、反射光束は、レンズ5,6,7の
作用で、被走査媒体8上にスポット状に結像される。回
転多面鏡2の多面鏡が矢印方向へ回転すると、反射光束
は、偏向し、被走査媒体8は矢印方向へ光走査される。
なお、第2の結像光学系はfθ機能を有し、光走査は等
速的に行なわれる。
第3図は、第1図の走査光学系を光路に沿って展開し、
これを偏向面内に目をおいて見て状態を示している。従
って、第3図の上下方向は、副走査方向に対応する。
これを偏向面内に目をおいて見て状態を示している。従
って、第3図の上下方向は、副走査方向に対応する。
光源部1からの平行光束は、シリンドリカルレンズ2の
作用にて、偏向反射面4の近傍に、第3図の図面に直交
する方向の線状に結像する。第3図の図面内におけるレ
ンズ5,7の屈折力は、偏向面内におけるレンズ5,7の屈折
力とことなっており、第3図の面内においては、レンズ
5,6,7は、上記偏向反射面4と被走査媒体8との位置関
係をほぼ共役な関係とする。このため、偏向反射面が、
多面鏡の回転に伴い、例えば、符号4′で示す如くに面
倒れしても、偏向光束の結像位置は、被走査媒体8上に
おいて副走査方向へは殆ど変化しない。
作用にて、偏向反射面4の近傍に、第3図の図面に直交
する方向の線状に結像する。第3図の図面内におけるレ
ンズ5,7の屈折力は、偏向面内におけるレンズ5,7の屈折
力とことなっており、第3図の面内においては、レンズ
5,6,7は、上記偏向反射面4と被走査媒体8との位置関
係をほぼ共役な関係とする。このため、偏向反射面が、
多面鏡の回転に伴い、例えば、符号4′で示す如くに面
倒れしても、偏向光束の結像位置は、被走査媒体8上に
おいて副走査方向へは殆ど変化しない。
さて、偏向器として、回転多面鏡3を用いる場合、多面
鏡が回転すると、第4図に示すように、偏向反射面4の
反射位置と、シリンドリカルレンズ2による線状の結像
部Aとの間に、ずれΔxが生ずる。このずれΔxは、第
2の結像光学系による。結像部Aの像A′と被走査媒体
8の走査面との間に、ずれΔx′を生ずる。
鏡が回転すると、第4図に示すように、偏向反射面4の
反射位置と、シリンドリカルレンズ2による線状の結像
部Aとの間に、ずれΔxが生ずる。このずれΔxは、第
2の結像光学系による。結像部Aの像A′と被走査媒体
8の走査面との間に、ずれΔx′を生ずる。
レンズ5,6,7による線状の倍率をβとすると、ΔxとΔ
x′との間には、 Δx′−β2Δx ・・・・(1) なる関係が成立する。
x′との間には、 Δx′−β2Δx ・・・・(1) なる関係が成立する。
そこで、偏向光束の中心光線が、レンズ5,6,7の光軸と
偏向面内でなす角をθとし、θとΔxの関係を図示する
と、第5図のようになる。パラメーターのRは、回転多
面鏡における多面鏡の内接円半径、またαは、偏向反射
面4に入射する光束の中心光線と、レンズ5,6,7の光軸
がなす角とする。
偏向面内でなす角をθとし、θとΔxの関係を図示する
と、第5図のようになる。パラメーターのRは、回転多
面鏡における多面鏡の内接円半径、またαは、偏向反射
面4に入射する光束の中心光線と、レンズ5,6,7の光軸
がなす角とする。
第5図から明らかなように、Δxは、回転多面鏡におけ
る多面鏡の内接円半径Rが大きくなるにつれて大きくな
る。また、第6図に示すように、Δxは、角αによって
も変動する。
る多面鏡の内接円半径Rが大きくなるにつれて大きくな
る。また、第6図に示すように、Δxは、角αによって
も変動する。
偏向器としてガルバノミラーを用いる場合は、偏向反射
面の揺動軸が反射面と一致しているため、上記Δxにあ
たる変動はない。
面の揺動軸が反射面と一致しているため、上記Δxにあ
たる変動はない。
しかし、回転多面鏡の場合は、上記Δxの変動があると
ともに、これに直交する方向でも線像の位置が変化す
る。すなわち、多面鏡の回転に伴い、シリンドリカルレ
ンズ2(第1の結像光学系)による線像の結像位置は、
2次元的に移動し、かつ、この移動は、第2の結像光学
系(レンズ5,6,7)の光軸に関して、一般に非対称であ
る。
ともに、これに直交する方向でも線像の位置が変化す
る。すなわち、多面鏡の回転に伴い、シリンドリカルレ
ンズ2(第1の結像光学系)による線像の結像位置は、
2次元的に移動し、かつ、この移動は、第2の結像光学
系(レンズ5,6,7)の光軸に関して、一般に非対称であ
る。
従って、回転多面鏡を偏向器として用いる場合有効走査
領域の全域にわたり、主走査方向と副走査方向の両者に
ついて、像面湾曲を良好に補正する必要があり、さら
に、走査の等速性も良好でなければならない。
領域の全域にわたり、主走査方向と副走査方向の両者に
ついて、像面湾曲を良好に補正する必要があり、さら
に、走査の等速性も良好でなければならない。
第1図の例では、光源部1から放射される光束の中心光
線と、第2の結像光学系の光軸となす角αが90度の場合
を示したが、第7図に、より一般的な場合として、α<
90度の場合を示す。第1図では、回転多面鏡2の鏡面数
は6であったが、一般に鏡面数をNとし、第7図にはN
=8の場合を示している。なお、今まで説明してきたこ
とは、鏡面数Nの如何に拘らず成立つ。
線と、第2の結像光学系の光軸となす角αが90度の場合
を示したが、第7図に、より一般的な場合として、α<
90度の場合を示す。第1図では、回転多面鏡2の鏡面数
は6であったが、一般に鏡面数をNとし、第7図にはN
=8の場合を示している。なお、今まで説明してきたこ
とは、鏡面数Nの如何に拘らず成立つ。
さて、第7図において、符号aは、光源部1から放射さ
れる光束の中心光線、符号bは、第2の結像光学系た
る、レンズ5,6,7の光軸を示す。また、回転多面鏡3Aに
よる偏向光束の中心光線と上記光軸bとのなす角を、従
前通りθとする。
れる光束の中心光線、符号bは、第2の結像光学系た
る、レンズ5,6,7の光軸を示す。また、回転多面鏡3Aに
よる偏向光束の中心光線と上記光軸bとのなす角を、従
前通りθとする。
さらに、第7図に示す如く、中心光線aと光軸bとの交
点を原点として光軸bに合致させてx軸を設定し、偏向
面内でx軸に直交するy軸を図の如く設定する。このX
−Y座標系において、回転多面鏡3Aの多面鏡の回転軸の
座標を(xp,yp)とする。このとき の条件が満足されねばならない。
点を原点として光軸bに合致させてx軸を設定し、偏向
面内でx軸に直交するy軸を図の如く設定する。このX
−Y座標系において、回転多面鏡3Aの多面鏡の回転軸の
座標を(xp,yp)とする。このとき の条件が満足されねばならない。
条件(2)の下限は、中心光線aが、有効偏向領域外に
あることを意味し、上限は、被走査媒体8に入射した光
束が散乱され、再び、回転多面鏡3Aの偏向反射面で反射
されて被走査媒体8上にゴースト像を形成するのを、有
効走査域外にするための条件である。
あることを意味し、上限は、被走査媒体8に入射した光
束が散乱され、再び、回転多面鏡3Aの偏向反射面で反射
されて被走査媒体8上にゴースト像を形成するのを、有
効走査域外にするための条件である。
条件(3),(4)におけるRは、多面鏡の内接円半径
をあらわす。これらの条件(3),(4)は、第5,第6
図に示した、線像と偏向反射面との間のずれΔxをでき
るだけ少くするための条件である。
をあらわす。これらの条件(3),(4)は、第5,第6
図に示した、線像と偏向反射面との間のずれΔxをでき
るだけ少くするための条件である。
そこで、本発明では、上述した事情を考慮し、被走査媒
体の有効走査領域全域にわたり、主走査方向および副走
査方向の像面湾曲を良好に補正した。
体の有効走査領域全域にわたり、主走査方向および副走
査方向の像面湾曲を良好に補正した。
以下、第2の結像光学系を構成するレンズ5,6,7に関す
る具体的な実施例をあげる。各実施例において、α,R,
は、従来通り、中心光線aと光軸のなす角および、多面
鏡の内接円半径を示し、θは偏向角を示す。また、fは
偏向面に平行な面内におけるレンズ5,6,7の合成焦点距
離を示す。
る具体的な実施例をあげる。各実施例において、α,R,
は、従来通り、中心光線aと光軸のなす角および、多面
鏡の内接円半径を示し、θは偏向角を示す。また、fは
偏向面に平行な面内におけるレンズ5,6,7の合成焦点距
離を示す。
r1ないしr6は偏向面に平行な面内のレンズ5,6,7の曲率
半径を、偏向器側から順次あらわす。従って、r1は、レ
ンズ5の入射面の上記曲率半径、r6は、レンズ7の射出
面のそれである。
半径を、偏向器側から順次あらわす。従って、r1は、レ
ンズ5の入射面の上記曲率半径、r6は、レンズ7の射出
面のそれである。
また、r1′ないしr6′は、同様にレンズ5,6,7の、偏向
面に直交する面内での曲率半径を示す。d1,d3,d5は、光
軸上のレンズ肉厚、d2,d4は光軸上の空気間隔、n1,n2,n
3は、それぞれレンズ5,6,7の屈折率を示す。
面に直交する面内での曲率半径を示す。d1,d3,d5は、光
軸上のレンズ肉厚、d2,d4は光軸上の空気間隔、n1,n2,n
3は、それぞれレンズ5,6,7の屈折率を示す。
第8図は、第1実施例の収差図を示す。像面湾曲におけ
る実線は副走査方向、破線は主走査方向の結像を示して
いる。fθ特性は、主走査の等速性を表す量であり、理
想像高をfθ(θは偏向角)、h′を実際の像高とする
とき、 で表わされる。
る実線は副走査方向、破線は主走査方向の結像を示して
いる。fθ特性は、主走査の等速性を表す量であり、理
想像高をfθ(θは偏向角)、h′を実際の像高とする
とき、 で表わされる。
なお、像面湾曲とfθ特性は、偏向器(回転多面鏡)に
よる第2の結像光学系への入射光束の変動のための非対
称性を示すために偏向領域全域を示す。
よる第2の結像光学系への入射光束の変動のための非対
称性を示すために偏向領域全域を示す。
球面収差,正弦条件は、それぞれ実線と破線で示す。
第9図ないし第20図は、それぞれ第2ないし第13実施例
に関する収差図である。
に関する収差図である。
ただし、第8図ないし第14図はf=672.0のとき、第15
図ないし第20図は、f=264.0のときの収差図である。
図ないし第20図は、f=264.0のときの収差図である。
(効果) 以上本発明によれば、新規な走査光学系を提供できる。
この走査光学系では、偏向器と被走査媒体と間に配備さ
れる第2の結像光学系が、トーリック面を1面、シリン
ダー面を2面、球面を3面有する構成となっているた
め、高価な長尺シリンドリカルレンズを用いることな
く、面倒れを補正でき、主走査、副走査方向とも像面湾
曲を良好に補正することが可能である。
この走査光学系では、偏向器と被走査媒体と間に配備さ
れる第2の結像光学系が、トーリック面を1面、シリン
ダー面を2面、球面を3面有する構成となっているた
め、高価な長尺シリンドリカルレンズを用いることな
く、面倒れを補正でき、主走査、副走査方向とも像面湾
曲を良好に補正することが可能である。
第1図ないし第7図は本発明を説明するための図、第8
図ないし第20図は、収差図である。 1……光源部、2……第1の結像光学系としてのシリン
ドリカルレンズ、3……偏向器としての回転多面鏡、4
……偏向反射面、5……アナモフィックな単レンズ、6
……球面単レンズ、7……トーリック面を有する単レン
ズ、8……被走査媒体。
図ないし第20図は、収差図である。 1……光源部、2……第1の結像光学系としてのシリン
ドリカルレンズ、3……偏向器としての回転多面鏡、4
……偏向反射面、5……アナモフィックな単レンズ、6
……球面単レンズ、7……トーリック面を有する単レン
ズ、8……被走査媒体。
Claims (1)
- 【請求項1】光源部と、この光源部からの光束を線状に
結像する第1の結像光学系と、この第1の結像光学系に
よる結像部の近傍に偏向反射面を有する偏向器と、この
偏向器により偏向された光束を、被走査媒体上に結像す
る第2の結像光学系とを有し、 上記第2の結像光学系が、上記偏向器の側から被走査媒
体に向って、順に、アナモフィックな単レンズ、正の屈
折力を有する球面単レンズ、トーリック面を有する単レ
ンズを配列して成り、 上記偏向器が回転多面鏡であり、 上記第2の結像光学系におけるアナモフィックな単レン
ズは、偏向器側のレンズ面が球面であり、被走査媒体側
のレンズ面がシリンダー面であって、偏向面内で平凹レ
ンズ、これに直交する方向で両凹レンズであることを特
徴とする、面倒れ補正機能をもつ走査光学系。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61013320A JPH0782157B2 (ja) | 1986-01-24 | 1986-01-24 | 面倒れ補正機能をもつ走査光学系 |
US07/007,402 US4756584A (en) | 1986-01-24 | 1987-01-27 | Scanning optical system with irregular deflecting surface correction |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61013320A JPH0782157B2 (ja) | 1986-01-24 | 1986-01-24 | 面倒れ補正機能をもつ走査光学系 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62172317A JPS62172317A (ja) | 1987-07-29 |
JPH0782157B2 true JPH0782157B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=11829872
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61013320A Expired - Fee Related JPH0782157B2 (ja) | 1986-01-24 | 1986-01-24 | 面倒れ補正機能をもつ走査光学系 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4756584A (ja) |
JP (1) | JPH0782157B2 (ja) |
Families Citing this family (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0627904B2 (ja) * | 1986-02-06 | 1994-04-13 | 旭光学工業株式会社 | レーザービームの走査光学系 |
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