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JPH07285088A - スタッカロボット - Google Patents

スタッカロボット

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Publication number
JPH07285088A
JPH07285088A JP10205194A JP10205194A JPH07285088A JP H07285088 A JPH07285088 A JP H07285088A JP 10205194 A JP10205194 A JP 10205194A JP 10205194 A JP10205194 A JP 10205194A JP H07285088 A JPH07285088 A JP H07285088A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cassette
inter
chucking
stacker robot
process cassette
Prior art date
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Granted
Application number
JP10205194A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3434014B2 (ja
Inventor
Tsuyoshi Matsumoto
剛志 松本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinko Electric Co Ltd
Original Assignee
Shinko Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Shinko Electric Co Ltd filed Critical Shinko Electric Co Ltd
Priority to JP10205194A priority Critical patent/JP3434014B2/ja
Publication of JPH07285088A publication Critical patent/JPH07285088A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 工程間用カセット5の塵埃を工程内用カセッ
ト3に付着させることなく両カセット3・5を搬送し、
工程内の清浄度を高い状態に維持できるスタッカロボッ
ト1を提供する。 【構成】 工程内用カセット3を保持する第1チャッキ
ング部23aと、工程間用カセット5を保持する第2チ
ャッキング部23bとを有している。工程内用カセット
3と工程間用カセット5とを第1チャッキング部23a
と第2チャッキング部23bとでそれぞれ別個に保持す
るように、工程内用カセット3を保持して搬送するとき
は第1チャッキング部23aを使用し、工程間用カセッ
ト5を保持して搬送するときは第2チャッキング部23
bを使用する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体前処理工程にお
ける工程間でウエーハの搬送に使用される工程間用カセ
ットと、工程内でウエーハの搬送に使用される工程内用
カセットとを保持して搬送するスタッカロボットに関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体前処理工程(ウエーハプロ
セス工程)は、歩留りに大きな影響を与える塵埃の除去
が不可欠であるため、作業員による生産からフルオート
メーションによる生産に移行されつつある。従って、各
工程間においては、ウエーハの自動搬送を実現させるた
め、図6に示すように、各工程に設置されたストッカ5
2に対してウエーハを収容した工程間用カセット51を
自動搬送装置により搬入および搬出するようになってい
る。
【0003】また、ストッカ52内においては、スタッ
カロボット54により自動搬送が実現されている。即
ち、従来のスタッカロボット54は、図5に示すよう
に、工程間用カセット51を保持するチャッキング部5
6を有しており、図6に示すように、工程間用の入出庫
口53aに入庫された工程間用カセット51をチャッキ
ング部56により保持して入出庫口53aから取り出
し、棚55に搬送して一時保管させた後、半導体製造装
置の要求時に棚55から工程内用の出庫口53bに搬送
することによって、ストッカ52内の自動搬送を実現さ
せている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、各工程の半
導体製造装置は、高い清浄度が要求されるクリーンルー
ムに設置されており、半導体製造装置にウエーハを搬入
する際には、処理上の都合および高清浄度の維持のた
め、工程間で使用される工程間用カセット51から工程
内で使用される工程内用カセットにウエーハを移動させ
るウエーハ移替処理を行う必要がある。
【0005】従って、ストッカ52および半導体製造装
置間におけるウエーハの搬送を自動化して工程内におけ
る搬送の自動化をさらに押し進めようとすると、ストッ
カ52内にウエーハ移替装置を設置し、このウエーハ移
替装置に工程間用カセット51と工程内用カセットとを
スタッカロボット54により搬送してウエーハ移替処理
を行わせることが必要となる。
【0006】ところが、上記従来のスタッカロボット5
4では、工程間の空気清浄度が工程内の空気清浄度より
も低いため、ウエーハ移替装置に工程間用カセット51
と工程内用カセットとをチャッキング部56により保持
して搬送する際に、工程間用カセット51に付着してい
る多くの塵埃がチャッキング部56を介して工程内用カ
セットに付着し、工程内の空気清浄度を低下させるとい
う問題がある。
【0007】従って、本発明は、工程間用カセット51
の塵埃を工程内用カセットに付着させることなく工程間
用カセット51と工程内用カセットとを搬送することが
できるスタッカロボット54を提供することを目的とし
ている。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を解決するため
に、工程間でウエーハの搬送に使用される工程間用カセ
ットと、上記工程間よりも高い空気清浄度が要求される
工程内でウエーハの搬送に使用される工程内用カセット
とをチャッキング手段により保持して搬送するものであ
り、下記の特徴を有している。
【0009】即ち、チャッキング手段は、工程内用カセ
ットを保持する第1チャッキング部と、工程間用カセッ
トを保持する第2チャッキング部とを有していることを
特徴としている。
【0010】
【作用】スタッカロボットは、工程内用カセットと工程
間用カセットとを第1チャッキング部と第2チャッキン
グ部とでそれぞれ別個に保持するようになっている。従
って、清浄度の低い工程間の搬送により工程間用カセッ
トに多くの塵埃が付着している場合でも、この塵埃は、
工程間用カセットを保持する第2チャッキング部に付着
するだけで、第1チャッキング部により保持される工程
内用カセットに付着することはない。従って、スタッカ
ロボットは、工程間用カセットの塵埃を工程内用カセッ
トに付着させることなく両カセットを搬送できるため、
工程内用カセットが使用される工程内の清浄度を高い状
態に維持させることが可能になっている。
【0011】
【実施例】本発明の一実施例を図1ないし図4を用いて
説明する。本実施例に係るスタッカロボットは、図3に
示すように、クリーンルーム内で半導体前処理を行う各
工程に設置されたストッカ2に設けられている。ストッ
カ2は、工程内用棚4…と、これらの工程内用棚4…に
対向された工程間用棚6…と、両棚5…・6…間に敷設
された走行台8・8と、両カセット3…・4…間でウエ
ーハを移動させるウエーハ移替装置9・9とを工程内リ
ムライナー7を中心として左右対称に有している。
【0012】上記の工程内用棚4…は、工程内用カセッ
ト3…を載置して一時保管するようになっており、工程
内用カセット3…は、工程間よりも高い清浄度が要求さ
れる工程内で使用されるようになっている。一方、工程
間用棚6…は、工程間で使用される工程間用カセット5
…を載置して一時保管するようになっており、工程間用
カセット5…には、工程内用カセット3…よりも多くの
塵埃が付着したものになっている。
【0013】また、両棚5…・6…間に敷設された走行
台8には、スタッカロボット1が矢符方向に往復移動可
能に設けられている。スタッカロボット1は、図4に示
すように、走行台8上を走行する走行部10と、走行部
10に縦設されたポスト部11と、ポスト部11に上下
動可能に設けられたカセット保持部14とを有してお
り、カセット保持部14は、ポスト部11に対して旋回
可能なアーム部12と、アーム部12に対して旋回可能
なハンド部13とからなっている。
【0014】上記のハンド部13は、図2に示すよう
に、正逆回動可能な駆動軸15と、駆動軸15にキー1
6により係止された中心軸17と、中心軸17に一端部
が回動自在に設けられた一対のクランク部材18・18
と、これらのクランク部材18・18の端部に回動自在
に設けられた移動部材19・19と、移動部材19・1
9に固設されたスライドブロック20・20と、スライ
ドブロック20・20が摺動自在に係合されたスライド
レール21・21とを有しており、駆動軸15の回動に
より移動部材19・19を互いに反対方向にスライドレ
ール21に沿って移動させるようになっている。
【0015】また、移動部材19・19には、連結軸2
2・22を介してハンドグリッパ23・23が固設され
ており、ハンドグリッパ23・23は、移動部材19・
19が互いに反対方向に移動することにより、保持動作
と開放動作とを行うようになっている。各ハンドグリッ
パ23には、図1に示すように、工程内用の第1チャッ
キング部23a(チャッキング手段)と工程間用の第2
チャッキング部23b(チャッキング手段)とが上下方
向にずらして形成されており、第1チャッキング部23
aは、工程内用カセット3を搬送する際に、工程内用カ
セット3の上端部を保持するようになっている。一方、
第2チャッキング部23bは、工程間用カセット5を搬
送する際に、工程間用カセット5の上端部を保持するよ
うになっている。
【0016】上記の構成において、スタッカロボット1
の動作について説明する。図3に示すように、工程間用
カセット5が自動搬送装置により搬送され、工程間用の
入出庫口に搬入されると、図4に示すように、この入出
庫口方向にスタッカロボット1が走行台8を走行して移
動することになる。そして、スタッカロボット1が入出
庫口に到達すると、カセット保持部14を上下動させる
ことによって、図1に示すように、ハンド部13のハン
ドグリッパ23に形成された第2チャッキング部23b
を工程間用カセット5の上端部の高さ位置となるように
調整することになる。
【0017】高さ位置の調整が完了すると、アーム部1
2およびハンド部13を旋回させ、図2に示すように、
ハンド部13のハンドグリッパ23・23間に工程間用
カセット5を位置させることになる。そして、駆動軸1
5を回動させ、クランク部材18・18、移動部材19
・19、および連結軸22・22を介してハンドグリッ
パ23・23の間隔を狭めることによって、第2チャッ
キング部23b・23bにより工程間用カセット5の上
端部を保持することになる。この後、図3に示すよう
に、工程間用カセット5を入出庫口から取り出し、工程
間用棚6に搬送して保管することになる。
【0018】次に、ウエーハ移替処理を行う場合、スタ
ッカロボット1は、工程間用棚6に移動し、図1に示す
ように、工程間用カセット5の上端部を第2チャッキン
グ部23b・23bにより保持し、工程間用棚6から取
り出して図3のウエーハ移替装置9に搬送することにな
る。この後、スタッカロボット1は、工程内用棚4に移
動し、図1に示すように、ウエーハを未収納の工程間用
カセット5の上端部を第1チャッキング部23a・23
aにより保持し、図3のウエーハ移替装置9に搬送する
ことになる。そして、ウエーハ移替装置9が工程間用カ
セット5から工程内用カセット3にウエーハを移動させ
ると、工程内用カセット3が第1チャッキング部23a
・23aにより保持されて工程内用棚4に搬送されるこ
とになると共に、工程間用カセット5が第2チャッキン
グ部23b・23bにより保持されて工程間用棚6に搬
送されることになる。
【0019】この後、半導体製造装置から処理の開始指
示があった場合、処理対象となる工程内用カセット3が
第1チャッキング部23a・23aにより保持されて工
程内用の入出庫口に移動されることになる。
【0020】このように、本実施例のスタッカロボット
1は、工程内用カセット3を保持する第1チャッキング
部23a・23aと、工程間用カセット5を保持する第
2チャッキング部23b・23bとを有しており、工程
内用カセット3と工程間用カセット5とを第1チャッキ
ング部23a・23aと第2チャッキング部23b・2
3bとでそれぞれ別個に保持するように、工程内用カセ
ット3を保持して搬送するときは第1チャッキング部2
3a・23aを使用し、工程間用カセット5を保持して
搬送するときは第2チャッキング部23b・23bを使
用するようになっている。
【0021】これにより、清浄度の低い工程間の搬送に
より工程間用カセット5に多くの塵埃が付着している場
合、この塵埃は、工程間用カセット5を保持する第2チ
ャッキング部23b・23bに付着することになるが、
第1チャッキング部23a・23aにより保持される工
程内用カセット3には、第2チャッキング部23b・2
3bが接触していないため、第2チャッキング部23b
・23bの塵埃が付着することがない。従って、スタッ
カロボット1は、工程間用カセット5の塵埃を工程内用
カセット3に付着させることなく両カセット3・5を搬
送できるため、工程内の清浄度を高い状態に維持させる
ことが可能になっている。
【0022】
【発明の効果】本発明は、以上のように、チャッキング
手段が、工程内用カセットを保持する第1チャッキング
部と、工程間用カセットを保持する第2チャッキング部
とを有し、工程内用カセットと工程間用カセットとを第
1チャッキング部と第2チャッキング部とでそれぞれ別
個に保持するようになっていることから、工程間用カセ
ットの塵埃を工程内用カセットに付着させることなく両
カセットを搬送し、工程内の清浄度を高い状態に維持さ
せることが可能であるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を示すものであり、スタッカロボットの
縦断面を示す概略構成図である。
【図2】スタッカロボットの横断面を示す概略構成図で
ある。
【図3】ストッカの平面図である。
【図4】走行台上に設置されたスタッカロボットの正面
図である。
【図5】従来例を示すものであり、スタッカロボットの
縦断面を示す概略構成図である。
【図6】従来例を示すものであり、ストッカの平面図で
ある。
【符号の説明】
1 スタッカロボット 2 ストッカ 3 工程内用カセット 4 工程内用棚 5 工程間用カセット 6 工程間用棚 7 工程内リムライナー 8 走行台 9 ウエーハ移替装置 10 走行部 11 ポスト部 12 アーム部 13 ハンド部 14 カセット保持部 23 ハンドグリッパ 23a 第1チャッキング部 23b 第2チャッキング部

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 工程間でウエーハの搬送に使用される工
    程間用カセットと、上記工程間よりも高い空気清浄度が
    要求される工程内でウエーハの搬送に使用される工程内
    用カセットとをチャッキング手段により保持して搬送す
    るスタッカロボットにおいて、 上記チャッキング手段
    は、工程内用カセットを保持する第1チャッキング部
    と、工程間用カセットを保持する第2チャッキング部と
    を有していることを特徴とするスタッカロボット。
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