Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JPH07148653A - レンズ保持装置 - Google Patents

レンズ保持装置

Info

Publication number
JPH07148653A
JPH07148653A JP32132293A JP32132293A JPH07148653A JP H07148653 A JPH07148653 A JP H07148653A JP 32132293 A JP32132293 A JP 32132293A JP 32132293 A JP32132293 A JP 32132293A JP H07148653 A JPH07148653 A JP H07148653A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
holder
polishing
ring
view
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP32132293A
Other languages
English (en)
Inventor
Mitsuaki Takahashi
光明 高橋
Toshiya Akita
俊哉 秋田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Optical Co Ltd
Priority to JP32132293A priority Critical patent/JPH07148653A/ja
Publication of JPH07148653A publication Critical patent/JPH07148653A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 レンズと研磨工具の回転数を制御して行う加
工方法に応用でき、レンズを短時間で研削・研磨できる
レンズ保持装置を得る。 【構成】 保持体2の軸部下端にはレンズ1を保持する
ための逆カップ状の凹部2aが形成されている。凹部2
a内の上面にはレンズ1の裏面を受けるOリング3が装
着されている。また、凹部2a下端内周面には防水体4
が固着されている。防水体4は水を弾く性質を有する弾
性材料から成り、レンズ1の外周面または裏面と密着す
るように構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レンズを研削・研磨す
る際に用いるレンズ保持装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、レンズを研削・研磨する際に用い
るレンズ保持装置の研磨ホルダー機構として、例えば特
開昭64−45556号公報記載の発明がある。上記発
明を図10〜図12を用いて説明する。なお、図10は
研磨皿が凹状の場合の断面図、図11は図10の要部拡
大半截断面図、図12は研磨皿が凸状の場合の部分断面
図である。
【0003】ホルダースピンドル71の軸芯には孔71
aが穿設されている。ホルダースピンドル71の上端は
ホルダーシャフト72に螺着され、下端は上部研磨ホル
ダー73に螺着されている。上部研磨ホルダー73は円
筒状に形成され、その内周面73aには状溝73bが刻
設されている。下部研磨ホルダー74は上部研磨ホルダ
ー73の内周の径とほぼ同寸法の円盤状に形成されてお
り、その外周面には環状溝74aが刻設され、その軸芯
部にはレンズ吸引孔74bが穿設され、さらにその下面
にはゆるやかな凹面が形成されている。この凹面には布
等のクッション材75が貼られ、被研磨レンズLに対す
るクッションとなっている。
【0004】上部および下部研磨ホルダー73,74の
環状溝73b,74aの間にOリング状の弾材76が嵌
められ、上部および下部研磨ホルダー73,74は弾材
76を介して係合されている。なお、図12は図10に
示した下部研磨ホルダー74の他の実施例を示すもの
で、凹レンズを研磨する場合である。
【0005】上記構成の装置は、まず下部研磨ホルダー
74の凹面に研磨レンズLを装着する。次に、ホルダー
スピンドル71の孔71a内を減圧して研磨レンズLを
吸着する。この状態で、研磨皿77を回転および揺動さ
せることによって被研磨レンズLを研磨する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、前記従来技
術の研磨ホルダー機構にあっては、被研磨レンズLが下
部研磨ホルダー74の下端凹部に貼られたクッション材
75に当接した状態で研磨が行われるため、加工液が被
研磨レンズLの裏面とクッション材75との間に入り込
んでしまう。レンズと研磨工具の回転数を制御して行う
加工方法(レンズの研磨は加工液を供給しつつ、レンズ
と研磨工具を互いにすり合わせて行う。効率良く研磨を
行うには、それに最も適したすり合わせ速度で行えばよ
い。その最適なすり合わせ速度を設定する方法としてレ
ンズと研磨工具の回転数を設定する方法がある。その方
法による加工方法をレンズと研磨工具の回転数を制御し
て行う加工方法とする。)に応用しようとしても、被検
レンズLが下部研磨ホルダー74内で滑って回転してし
まい、レンズの回転数を制御できない欠点があった。ま
た、レンズLが滑って回転してしまうため、ロスが生じ
て加工時間が長くなるという欠点もあった。
【0007】因って、本発明は前記従来技術における欠
点に鑑みて開発されたもので、レンズと研磨工具の回転
数を制御して行う加工方法に応用できるとともに、レン
ズを短時間で研削・研磨できるレンズ保持装置の提供を
目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】図1および図2は本発明
の概念図で、図1は半截断面図、図2は底面図である。
2は保持体で、この保持体2の軸部下端にはレンズ1を
保持するための逆カップ状の凹部2aが形成されてい
る。凹部2a内の上面にはレンズ1の裏面を受けるOリ
ング3が装着されている。また、凹部2a下端内周面に
は防水体4が固着されている。防水体4は水を弾く性質
を有する弾性材料から成り、レンズ1の外周面または裏
面と密着するように構成されている。
【0009】
【作用】本発明では、保持体2の凹部2aに装着された
Oリング3へ加工するレンズ1の裏面を当接させる。こ
の時、防水体4の内周面がレンズ1の外周面と密着し、
凹部2a内は水密状態となる。この状態で研削・研磨を
行ってもレンズ1の裏面側には加工液が侵入せず、Oリ
ング2とレンズ1との摩擦抵抗の低下が阻止できる。
【0010】
【実施例1】図3〜図5は本実施例を示し、図3は正面
図、図4は側面図、図5は部分斜視図である。11は加
圧機構(図示省略)を有した上下動可能な研磨軸の上軸
で、この上軸11にはネジ12により取付具13が取り
付けられるとともに、この取付具13を介してステー1
4が固設されている。ステー14の下端部には、コの字
状の第1揺動部材15が、その中心軸線を揺動中心とし
て揺動(a)できるように軸受け16を介して支軸17
により支承されている。支軸17は、ステー14に嵌着
された受け18に螺合されるとともに、ステー14に対
して第1揺動部材15の反対側からナット19によって
締め付けられてステー14に取り付けられている。
【0011】第1揺動部材15の両先端部には、コの字
状の第2揺動部材20の両先端部が支軸21により取り
付けられ、第2揺動部材20は支軸21を揺動中心とし
て揺動(b)できるようになっている。支軸17,21
の各軸線はO点で交わるように構成されており、第1揺
動部材15および第2揺動部材20はO点を中心に揺動
(a)および(b)するように構成されている。
【0012】第2揺動部材20の中央部には下端部にて
被研磨体であるレンズ1を保持する保持体2が、その軸
線がO点で交わるように軸受け24を介して回転自在に
取り付けられている。保持体2の下端には凹部2aが形
成され、レンズ1の裏面を受けるニトリルゴム製のOリ
ング3がセットされている。さらに、Oリング3の外側
にはニトリルゴム製のVリング4が下向きにセットされ
ている。なお、Vリング4の材質はニトリルゴムに限定
するものではなく、防水性の弾性体ならば何でも良い。
【0013】上記取付具13にはプーリ軸30が螺着さ
れ、プーリ軸30と上軸11とを連結している。取付具
13とプーリ軸30との間にはシール31が装着されて
いる。プーリ軸30には、軸受け32を介してプーリ3
3が回転可能に取り付けられ、両者間にシール34が装
着されている。プーリ33の下端部と上記保持体2の上
端部とは、可撓性を有しかつ流体に対して気密性を有す
る継手35によって連結され、プーリ33の回転を保持
体2に伝達し得るようになっている。
【0014】プーリ33は、ベルト36およびプーリ3
7を介してモータ38と連結されており、モータ38を
回転することにより保持体2と共にレンズ1を回転でき
るようになっている。モータ38側のプーリ37は、軸
方向に幅広く形成してあり、上軸11の上下動、すなわ
ちプーリ33の上下動に伴って、ベルト36が上下方向
に移動できるようになっている。
【0015】以上の構成から成る装置は、まずレンズ1
の裏面を保持体2のOリング3に当接する。次に、図示
省略した空圧機構により中空孔2b,継手35,プーリ
33,プーリ軸30および上軸11を介して吸引し、レ
ンズ1を保持体2に吸引保持させる。すると、Vリング
4の下端部はレンズ1裏面と保持体2の凹部2a下端内
周面とに密着する。
【0016】次に、上軸11を下降させてレンズ1の加
工面を研磨工具29に当接させる。しかる後、加工液を
供給(図示省略)し、モーター28によりプーリ37,
ベルト36,プーリ33,継手35および保持体2を介
してレンズ1を回転させるとともに、研磨工具29を回
転させつつ揺動運動(図示省略)を与えてレンズ1の加
工を開始する。
【0017】加工を終了する際には、上軸11を上昇さ
せて、レンズ1を研磨工具29から離反させる。同時
に、保持体2の回転,研磨工具29の回転と揺動および
加工液の供給を停止する。しかる後、空圧機構によりエ
アーを排出し、レンズ1を保持体2から取り出す。
【0018】本実施例によれば、レンズが保持体内で滑
らず、レンズを短時間で研磨することができる。
【0019】
【実施例2】図6および図7は本実施例を示し、図6は
要部半截断面図、図7はシリコンゴムリングの斜視図で
ある。本実施例は、前記実施例1におけるVリング4を
廃止し、代わりに防水体としてシリコンゴムリング41
を保持体2の凹部2a内周面に固着した点が異なり、他
の構成は同一な構成部分から成るもので、同一構成部分
には同一番号を付し、構成の説明を省略する。
【0020】本実施例の作用は、前記実施例1の作用と
同様であり、作用の説明を省略する。
【0021】本実施例によれば、前記実施例1と同様の
効果が得られるとともに、シリコンゴムリングの硬度を
幅広く設定できるため、レンズへの密着性をより適切に
設定できるという利点がある。
【0022】
【実施例3】図8および図9は本実施例を示し、図8は
要部半截断面図、図9はバルーンの斜視図である。本実
施例は、前記実施例1におけるVリング4を廃止し、代
わりにバルーンを設けて構成した点が異なり、他の構成
は同一な構成部分から成るもので、同一構成部分には同
一番号を付してその説明を省略する。
【0023】本実施例では、防水体としてゴム製の中空
バルーン51を応用した。バルーン51は、図9に示す
ように、レンズ裏面受け部51a,パイプ51bおよび
レンズ側面受け部51cの3つの部分から成っている。
レンズ裏面受け部51aの上面は保持体2の凹部2a上
面中央部に固着され、レンズ側面受け部51cは保持体
2の凹部2a内周面に固着されている。
【0024】本実施例でレンズ1を加工する際には、ま
ずレンズ1の裏面を保持体2のOリング3に当接する。
次に、図示しない空圧機構により吸引し、レンズ1を保
持体2に吸引保持させる。この時、バルーン51のレン
ズ裏面受け部51aはレンズ1により押圧され、中の空
気はパイプ51bを通ってレンズ側面受け部51cに流
入する。これにより、レンズ側面受け部51cは膨張
し、レンズ1の側面に密着する。以後の手順は前記実施
例1と同様であり、その説明を省略する。
【0025】本実施例によれば、前記実施例1と同様の
効果が得られるとともに、レンズ側面受け部でレンズの
外周を支持するため、レンズの回転防止効果を高められ
るという利点がある。
【0026】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明に係るレンズ
保持装置によれば、レンズと研磨工具の回転数を制御し
て行う加工方法に応用できる。さらに、レンズを短時間
で研削・研磨できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を示す概念図である。
【図2】本発明を示す概念図である。
【図3】実施例1を示す正面図である。
【図4】実施例1を示す側面図である。
【図5】実施例1を示す部分斜視図である。
【図6】実施例2を示す要部半截断面図である。
【図7】実施例2を示す斜視図である。
【図8】実施例3を示す要部半截断面図である。
【図9】実施例3を示す斜視図である。
【図10】従来例を示す断面図である。
【図11】従来例を示す要部拡大半截断面図である。
【図12】従来例を示す部分断面図である。
【符号の説明】
1 レンズ 2 保持体 3 Oリング 4 防水体

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レンズを研削・研磨する際に用いるレン
    ズ保持装置において、軸部の下端に逆カップ状の凹部が
    形成された保持体と、前記凹部内の上面に装着されたO
    リングと、前記凹部内に一端が固着されて他端がレンズ
    の外周面または裏面に密着する弾性材料から成る防水体
    とを有すること特徴とするレンズ保持装置。
JP32132293A 1993-11-26 1993-11-26 レンズ保持装置 Withdrawn JPH07148653A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32132293A JPH07148653A (ja) 1993-11-26 1993-11-26 レンズ保持装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32132293A JPH07148653A (ja) 1993-11-26 1993-11-26 レンズ保持装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07148653A true JPH07148653A (ja) 1995-06-13

Family

ID=18131302

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP32132293A Withdrawn JPH07148653A (ja) 1993-11-26 1993-11-26 レンズ保持装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07148653A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2223488A1 (en) Wafer scrubbing device
KR19990069594A (ko) 웨이퍼 연마 설비 및 웨이퍼 후면 연마 방법
JP3734878B2 (ja) ウェーハの研磨装置
US6123610A (en) Polisher for spherical and non-spherical surfaces
US6678911B2 (en) Multiple vertical wafer cleaner
JP3173041B2 (ja) ドレッサー付きウェハー研磨装置及びその研磨布表面のドレッシング方法
JPH07148653A (ja) レンズ保持装置
JP3183388B2 (ja) 半導体ウェーハ研磨装置
JP3840154B2 (ja) レンズ心出し方法、レンズ加工方法およびレンズ
JP3304168B2 (ja) レンズ研磨方法
JP4229582B2 (ja) 研削研磨装置
JP2886205B2 (ja) 研摩用ワークホルダー
US6089960A (en) Semiconductor wafer polishing mechanism
JPH1029142A (ja) 円盤状半導体ウェーハ面取部のミラー面取加工方法
JPH1044029A (ja) ウエハ研磨装置
JPH07164298A (ja) レンズ保持装置
JP3795198B2 (ja) 基板保持装置及び該基板保持装置を備えたポリッシング装置
JP2715379B2 (ja) 研摩用ワークホルダー
JP2002254305A (ja) 研磨ヘッド
JP3781576B2 (ja) ポリッシング装置
JPH04201039A (ja) レンズ保持具
JPH01274960A (ja) レンズ加工方法
JP2010076018A (ja) レンズ搬送加工用のレンズホルダーおよびレンズ搬送加工装置
JPH08281553A (ja) 半導体ウェーハ鏡面研磨方法及び装置
JP2002283226A (ja) 研磨装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20010130