JPH0711473B2 - Abnormality detection method and device - Google Patents
Abnormality detection method and deviceInfo
- Publication number
- JPH0711473B2 JPH0711473B2 JP28583290A JP28583290A JPH0711473B2 JP H0711473 B2 JPH0711473 B2 JP H0711473B2 JP 28583290 A JP28583290 A JP 28583290A JP 28583290 A JP28583290 A JP 28583290A JP H0711473 B2 JPH0711473 B2 JP H0711473B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- input
- maximum fluctuation
- fluctuation width
- output signal
- threshold value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、プラントやプラント使用機器の動作異常、例
えば、測定機器の異常特に計測精度の劣化を検出するた
めの異常検出方法および異常検出装置に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to an abnormality detection method and an abnormality detection device for detecting an abnormality in the operation of a plant or equipment used by the plant, for example, an abnormality in measuring equipment, particularly deterioration in measurement accuracy. Regarding
[従来の技術] 従来、プラントにおける各種機器の自動制御を行う場合
は、制御対象の機器に、所定の物性を測定する測定機器
を取り付けその出力信号に基き機器の動作を制御機器に
より制御することが主に行なわれている。[Prior Art] Conventionally, when automatically controlling various equipment in a plant, a measuring equipment for measuring predetermined physical properties is attached to the equipment to be controlled, and the operation of the equipment is controlled by the control equipment based on the output signal. Is mainly performed.
また、このような測定機器の故障検出は、次のように行
っている。すなわち、測定機器から出力されるセンサ信
号のレベルを上下限のしきい値と比較し、例えば測定信
号の出力がなくなったことを検出したときに、測定機器
に異常がある旨を判定する。また、測定信号が上下限し
きい値の範囲を越えたときは制御機器は異常と判定す
る。Further, such failure detection of the measuring device is performed as follows. That is, the level of the sensor signal output from the measuring device is compared with the upper and lower threshold values, and when it is detected that the output of the measuring signal is lost, it is determined that the measuring device is abnormal. When the measured signal exceeds the range of the upper and lower thresholds, the control device judges that it is abnormal.
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、従来この種異常検出方法ではプラントに
用いる測定機器、例えば、温度センサや圧力センサ等や
コントロール弁などの制御機器の異常を早期に検出する
ことができない。例えば、オリフィス流量計の導圧管に
詰まりが一部に生じると、検出ゲインが低下し、センサ
信号の変動が小さくなるが、従来の検出方法では早期に
その異常の傾向を把えることができない。[Problems to be Solved by the Invention] However, conventionally, this type of abnormality detection method cannot detect an abnormality in a measuring device used in a plant, for example, a temperature sensor, a pressure sensor, or a control device such as a control valve at an early stage. For example, if the pressure guiding tube of the orifice flow meter is partially clogged, the detection gain is reduced and the fluctuation of the sensor signal is reduced, but the conventional detection method cannot grasp the tendency of the abnormality early.
また、コントロール弁がスケール等により固着した場合
もセンサ信号の変動幅が小さくなるが、従来の検出方法
では早期にその異常の傾向を把えることができない。Further, when the control valve is stuck due to a scale or the like, the fluctuation range of the sensor signal becomes small, but the conventional detection method cannot grasp the tendency of the abnormality early.
そこで本発明の目的は、上述の点に鑑みて、主として、
センサやコントロール弁の異常を早期に検出することの
可能な異常検出方法および装置を提供することにある。Therefore, in view of the above points, the object of the present invention is mainly to
An object of the present invention is to provide an abnormality detection method and device capable of early detecting an abnormality of a sensor or a control valve.
[課題を解決するための手段] このような目的を達成するために、本発明方法は、検査
対象の入出力信号を一定時間にわたって入力し、当該入
力した入出力信号における一定時間内の最大変動幅を検
出し、当該検出した最大変動幅と予め定めたしきい値と
のレベル比較を行い、その比較の結果、前記最大変動幅
が前記しきい値よりも小さくなったときに前記入出力信
号に異常が発生したと判定することを特徴とする。[Means for Solving the Problem] In order to achieve such an object, the method of the present invention inputs an input / output signal to be inspected for a certain period of time, and changes the maximum input / output signal within the certain period of time. The width is detected, the detected maximum fluctuation width is compared with a predetermined threshold level, and as a result of the comparison, the input / output signal is output when the maximum fluctuation width becomes smaller than the threshold value. It is characterized by determining that an abnormality has occurred in the.
本発明装置は、検査対象の入出力信号を入力する入力手
段と、当該入力した入出力信号における一定時間内の最
大変動幅を検出する最大変動幅検出手段と、当該検出し
た最大変動幅と予め定めたしきい値との大小比較を行
い、比較の結果、前記最大変動幅が前記しきい値よりも
小さくなったとき前記入出力信号に異常が発生したとを
具えたことを特徴とする。The device of the present invention comprises an input means for inputting an input / output signal to be inspected, a maximum fluctuation width detecting means for detecting a maximum fluctuation width in the input / output signal within a fixed time, and a maximum fluctuation width detected in advance. It is characterized in that a magnitude comparison with a predetermined threshold value is performed, and as a result of the comparison, an abnormality occurs in the input / output signal when the maximum fluctuation width becomes smaller than the threshold value.
[作用] 本発明では、センサやコントロール弁に異常が発生する
と、センサ信号またはコントロール弁に入力する制御信
号の変動幅も小さくなる場合があることに着目し、セン
サ信号の一定時間内の最大変動幅を所定しきい値と比較
することによりその異常を早期に検出する。[Operation] In the present invention, it is noted that when an abnormality occurs in the sensor or the control valve, the fluctuation width of the sensor signal or the control signal input to the control valve may be reduced, and the maximum fluctuation of the sensor signal within a certain period of time is considered. The abnormality is detected early by comparing the width with a predetermined threshold value.
[実施例] 以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明す
る。Embodiments Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
第1図は本発明実施例の基本構成を示す。FIG. 1 shows the basic configuration of the embodiment of the present invention.
第1図において、10はセンサ信号を入力する入力手段で
ある。In FIG. 1, 10 is an input means for inputting a sensor signal.
20は当該入力した信号における最大変動幅を検出する最
大変動幅検出手段である。Reference numeral 20 is a maximum fluctuation width detecting means for detecting the maximum fluctuation width in the input signal.
30は当該検出した最大変動幅と予め定めたしきい値との
比較を行い、その比較の結果、前記最大変動幅が前記し
きい値よりも小さくなったときプラントに異常が発生し
たと判定する判定手段である。30 performs a comparison between the detected maximum fluctuation range and a predetermined threshold value, and as a result of the comparison, it is determined that an abnormality has occurred in the plant when the maximum fluctuation range becomes smaller than the threshold value. It is a determination means.
第2図は本発明実施例の具体的な回路構成を示す。FIG. 2 shows a concrete circuit configuration of the embodiment of the present invention.
第2図において、異常検出装置1000はマイクロコンピュ
ータ100,デジタル/アナログ(D/A)変換器110,表示ラ
ンプ(LED)130から構成されている。In FIG. 2, the abnormality detecting device 1000 comprises a microcomputer 100, a digital / analog (D / A) converter 110, and a display lamp (LED) 130.
マイクロコンピュータ100はD/A変換器110を介してデジ
タル値に変換されたオリフィス流量計のセンサ信号を入
力し、オリフィス流量計120の異常の有無の検出を行
う。The microcomputer 100 inputs the sensor signal of the orifice flow meter converted into a digital value through the D / A converter 110, and detects whether the orifice flow meter 120 is abnormal.
本実施例ではD/A変換器110が本発明の入力手段として動
作し、マイクロコンピュータ100が最大変動幅検出手
段,判定手段として動作する。In this embodiment, the D / A converter 110 operates as the input means of the present invention, and the microcomputer 100 operates as the maximum fluctuation width detecting means and the determining means.
また、オリフィス流量計120に異常が生じたときはマイ
クロコンピュータ100がLED130を点灯させ、警告表示を
行う。Further, when an abnormality occurs in the orifice flow meter 120, the microcomputer 100 turns on the LED 130 and displays a warning.
本発明の動作原理を次に説明する。The operating principle of the present invention will be described below.
オリフィス流量計120のセンサ信号値により流体の流量
制御を行った場合、流量設定を中心にしてセンサ信号の
レベルは正常時には第4図P0−P1のように変動する。し
かし、オリフィス流量計の導圧管の一部につまりが生じ
ると、センサ信号はP1−P2の間のように変動幅が小さく
なる。このような特性に着目し、本実施例では一定時間
の間に得られたセンサ信号の最大変動幅を検出する。検
出の最大変動幅が予め定めたしきい値よりも大きい間は
オリフィス流量計120は正常と判定する。また、最大変
動幅が予め定めたしきい値よりも小さくなったときにオ
リフィス流量計120は異常と判定する。When the flow rate of the fluid is controlled by the sensor signal value of the orifice flow meter 120, the level of the sensor signal fluctuates as shown in P0-P1 in FIG. However, when a part of the pressure guiding tube of the orifice flow meter is clogged, the fluctuation range of the sensor signal becomes small such as between P1 and P2. Focusing on such characteristics, in the present embodiment, the maximum fluctuation width of the sensor signal obtained during a fixed time is detected. While the maximum fluctuation width of detection is larger than a predetermined threshold value, the orifice flow meter 120 is determined to be normal. Further, when the maximum fluctuation width becomes smaller than a predetermined threshold value, the orifice flow meter 120 is determined to be abnormal.
このような異常の検出原理に基く第2図の回路動作を第
3図のフローチャートを参照して説明する。The circuit operation of FIG. 2 based on such an abnormality detection principle will be described with reference to the flowchart of FIG.
第3図は第2図のマイクロコンピュータ100の実行する
制御手順を示し、この制御手順は実際にはマイクロコン
ピュータ100の実行可能なプログラム言語で記載され、
マイクロコンピュータ100内のリードオンリメモリ(RO
M)に予め格納されている。FIG. 3 shows a control procedure executed by the microcomputer 100 of FIG. 2, and this control procedure is actually described in a program language executable by the microcomputer 100.
Read-only memory (RO
Pre-stored in M).
電源投入に応じて、第3図の制御手順が開始される。す
なわちオペレータが計測すべき最小変動幅をしきい値と
してディップスイッチ140により指示入力すると、マイ
クロコンピュータ100は入力データを内部メモリに記憶
する(第3図のステップS10〜S20)。When the power is turned on, the control procedure shown in FIG. 3 is started. That is, when the operator inputs an instruction with the dip switch 140 using the minimum fluctuation width to be measured as a threshold value, the microcomputer 100 stores the input data in the internal memory (steps S10 to S20 in FIG. 3).
制御システムの起動信号をマイクロコンピュータ100が
入力すると、センサ信号の変動幅の検出に用いる内部レ
ジスタを初期値設定する。本実施例ではセンサ信号の最
大値を記憶するレジスタ(MAX)に初期値“0"、最小値
を記憶するレジスタ(MIN)に初期値として大きい数値
たとえば1010を設定する(第3図のステップS40)。When the microcomputer 100 inputs the control system start-up signal, the internal register used for detecting the fluctuation range of the sensor signal is set to an initial value. In this embodiment, an initial value "0" is set in the register (MAX) that stores the maximum value of the sensor signal, and a large numerical value such as 10 10 is set as the initial value in the register (MIN) that stores the minimum value (step in FIG. 3). S40).
次に、内部タイマを作動させ、内部タイマの一定時間の
計時毎に、所定数個の流量計120のセンサ信号の入力を
開始する(第3図のステップS60)。Next, the internal timer is activated to start inputting the sensor signals of the predetermined number of flowmeters 120 every time the internal timer measures a fixed time (step S60 in FIG. 3).
このとき、マイクロコンピュータ100はレジスタMAXの格
納値とセンサ信号とのレベル比較を行って、センサ信号
の方が大きい場合にはセンサ信号をレジスタMAXに更新
的に記憶する(第3図のステップS71〜S72)。At this time, the microcomputer 100 compares the level of the value stored in the register MAX with the sensor signal, and if the sensor signal is larger, stores the sensor signal in the register MAX in an updated manner (step S71 in FIG. 3). ~ S72).
また、レジスタMINとセンサ信号とのレベル比較を行っ
てセンサ信号の方が小さい場合は、センサ信号をレジス
タMINに更新的に記憶する(第3図のステップS81→S8
2)。Further, when the level of the register MIN and the sensor signal is compared and the sensor signal is smaller, the sensor signal is updated and stored in the register MIN (steps S81 → S8 in FIG. 3).
2).
このようなセンサ信号のサンプリング処理およびセンサ
信号に対する比較処理を所定数回繰り返す(第3図のス
テップS60〜S90のループ処理)。The sampling process of the sensor signal and the comparison process with respect to the sensor signal are repeated a predetermined number of times (loop process of steps S60 to S90 in FIG. 3).
所定回数のループ処理を終了した後、マイクロコンピュ
ータ100は次回のサンプリング周期に到達するまでは他
の処理を実行する。内部タイマの計時終了信号に応じ
て、上述の処理を再び繰り返す(第3図のステップS50
〜S100のループ処理)。このようにして一定時間、すな
わち複数周期分についてセンサ信号のサンプリングおよ
びレジスタの格納値との比較処理等をマイクロコンピュ
ータ100が実行すると、この時点でレジスタMAXにはこれ
までにサンプリングしたセンサ信号の中の最大値が格納
され、レジスタMINには最小値が格納される。After completing the loop processing a predetermined number of times, the microcomputer 100 executes other processing until the next sampling cycle is reached. The above-mentioned processing is repeated again in response to the time measurement end signal of the internal timer (step S50 in FIG. 3).
~ S100 loop processing). In this way, when the microcomputer 100 executes sampling of the sensor signal and comparison processing with the stored value of the register for a certain period of time, that is, a plurality of cycles, at this point, the register MAX contains the sensor signals sampled so far. The maximum value of is stored, and the minimum value is stored in the register MIN.
そこでマイクロコンピュータ100はレジスタMAXの格納値
とレジスタMINの格納値、すなわち、センサ信号の最大
値と最小値の差をセンサ信号の最大変動幅として算出し
た後、この最大変動幅と予め入力されたしきい値Yとの
比較を行う。このときのマイクロコンピュータ100が本
発明の最大幅検出手段として動作する。この比較の結
果、最大変動幅がしきい値よりも小さい場合は、計測精
度が劣化したと判断し、マイクロコンピュータ100はLED
130を点灯させ、警告表示を行う(第3図のステップS11
0〜S130)。このときのマイクロコンピュータ100が本発
明の判定手段として動作する。Therefore, the microcomputer 100 calculates the stored value of the register MAX and the stored value of the register MIN, that is, the difference between the maximum value and the minimum value of the sensor signal as the maximum fluctuation width of the sensor signal, and then inputs this maximum fluctuation width in advance. The threshold value Y is compared. At this time, the microcomputer 100 operates as the maximum width detecting means of the present invention. As a result of this comparison, if the maximum fluctuation width is smaller than the threshold value, it is determined that the measurement accuracy has deteriorated, and the microcomputer 100 determines that the LED
130 is turned on and a warning is displayed (step S11 in FIG. 3).
0 ~ S130). At this time, the microcomputer 100 operates as the determination means of the present invention.
一方、センサ信号の最大変動幅がしきい値よりも大きい
場合には、オリフィス流量計120は正常と判断し、マイ
クロコンピュータ100は第3図のステップS40へ実行手順
を戻し、レジスタMAX,MINを初期化した後、センサ信号
の変動幅についての監視を続行する。On the other hand, when the maximum fluctuation range of the sensor signal is larger than the threshold value, the orifice flow meter 120 determines that it is normal, the microcomputer 100 returns the execution procedure to step S40 in FIG. 3, and sets the registers MAX and MIN. After the initialization, the monitoring of the fluctuation range of the sensor signal is continued.
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、以
下に述べるように種々変更して実施することもできる。The present invention is not limited to the above-described embodiments, but can be implemented with various modifications as described below.
1)上記実施例では異常検出装置を汎用化するために、
最大変動幅と比較するしきい値をオペレータにより入力
するようにしているが、装置の小型化,自動化を図りた
い場合には、これまでに検出したセンサ信号の最大変動
幅の所定数分の1を新しいしきい値に更新するようにし
て自動設定することもできる。1) In the above embodiment, in order to generalize the abnormality detection device,
The operator inputs the threshold value to be compared with the maximum fluctuation width, but if the size and automation of the device are to be reduced, a predetermined fraction of the maximum fluctuation width of the sensor signal detected so far is required. Can also be set automatically by updating to a new threshold.
2)上述の実施例では最大変動幅算出のためにサンプリ
ングしたセンサ信号の中の最大値および最小値を検出す
るようにしているが、雑音の影響を小さくしたい場合
は、1周期の間にサンプリングしたセンサ信号の平均値
を求め、さらにこのようにして複数周期にわたって得ら
れた平均値についての最大値および最小値を検出しても
よい。2) In the above-described embodiment, the maximum value and the minimum value of the sampled sensor signals are detected to calculate the maximum fluctuation range, but if it is desired to reduce the influence of noise, sampling is performed during one cycle. The average value of the sensor signals obtained may be obtained, and the maximum value and the minimum value of the average value thus obtained over a plurality of periods may be detected.
3)上記実施例ではオリフィス流量計をセンサの一例と
しているが他のセンサに本発明を適用可能なことは言う
までもない。なお、対象とするセンサが作動中に動作停
止状態となることがある場合には、上記機器に対する動
作停止信号を入力し、動作停止信号が発生している間の
警報出力を停止することにより、異常検出の誤作動を防
止することができる。3) In the above embodiment, the orifice flow meter is taken as an example of the sensor, but it goes without saying that the present invention can be applied to other sensors. In addition, when the target sensor may be in the operation stop state during operation, by inputting the operation stop signal to the above device and stopping the alarm output while the operation stop signal is generated, It is possible to prevent malfunction of abnormality detection.
[発明の効果] 以上に説明したように、本発明によれば、プラント特に
センサやコントロール弁の異常を早期に検出することが
できるので、センサを用いるシステムやプラントにおい
て誤作動や故障が発生する前にセンサやコントロール弁
の修理,効果が可能となる効果が得られる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, an abnormality of a plant, particularly a sensor or a control valve, can be detected at an early stage, so that a malfunction or failure occurs in a system or a plant using the sensor. The effect that the sensor and control valve can be repaired and effected before can be obtained.
第1図は本発明実施例の基本構成を示すブロック図、 第2図は本発明実施例の具体的な回路構成を示すブロッ
ク図、 第3図は第2図のマイクロコンピュータ100の実行手順
の一例を示すフローチャート、 第4図は本発明実施例のセンサ信号の波形例を示す波形
図である。 100……マイクロコンピュータ、110……D/A変換器、120
……オリフィス流量計、130……表示灯(LED)。FIG. 1 is a block diagram showing a basic configuration of the embodiment of the present invention, FIG. 2 is a block diagram showing a concrete circuit configuration of the embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a diagram showing an execution procedure of the microcomputer 100 of FIG. FIG. 4 is a flow chart showing an example, and FIG. 4 is a waveform diagram showing a waveform example of the sensor signal of the embodiment of the present invention. 100 …… Microcomputer, 110 …… D / A converter, 120
...... Orifice flow meter, 130 …… Indicator light (LED).
Claims (2)
て入力し、 当該入力した入出力信号における一定時間内の最大変動
幅を検出し、 当該検出した最大変動幅と予め定めたしきい値とのレベ
ル比較を行い、その比較の結果、前記最大変動幅が前記
しきい値よりも小さくなったときに前記入出力信号に異
常が発生したと判定する ことを特徴とする異常検出方法。1. An input / output signal to be inspected is input for a certain period of time, a maximum fluctuation width in the input / output signal within the constant time is detected, and the detected maximum fluctuation width and a predetermined threshold value are set. And comparing the levels, and as a result of the comparison, it is determined that an abnormality has occurred in the input / output signal when the maximum fluctuation width becomes smaller than the threshold value.
と、 当該入力した入出力信号における一定時間内の最大変動
幅を検出する最大変動幅検出手段と、 当該検出した最大変動幅と予め定めたしきい値との大小
比較を行い、比較の結果、前記最大変動幅が前記しきい
値よりも小さくなったとき前記入出力信号に異常が発生
したと判定する判定手段と を具えたことを特徴とする異常検出装置。2. Input means for inputting an input / output signal to be inspected, maximum fluctuation width detecting means for detecting the maximum fluctuation width of the input / output signal within a fixed time, and the detected maximum fluctuation width in advance. And a judging means for judging whether or not an abnormality has occurred in the input / output signal when the maximum fluctuation range is smaller than the threshold value as a result of comparison with a predetermined threshold value. Anomaly detection device characterized by.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28583290A JPH0711473B2 (en) | 1990-10-25 | 1990-10-25 | Abnormality detection method and device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28583290A JPH0711473B2 (en) | 1990-10-25 | 1990-10-25 | Abnormality detection method and device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04160319A JPH04160319A (en) | 1992-06-03 |
JPH0711473B2 true JPH0711473B2 (en) | 1995-02-08 |
Family
ID=17696659
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28583290A Expired - Fee Related JPH0711473B2 (en) | 1990-10-25 | 1990-10-25 | Abnormality detection method and device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0711473B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8850870B2 (en) | 2008-12-01 | 2014-10-07 | Azbil Corporation | Pressure guiding tube blockage diagnosing device and blockage diagnosing method |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3554509B2 (en) * | 1999-08-10 | 2004-08-18 | 忠弘 大見 | Flow rate abnormality detection method in pressure flow control device |
DE10305067A1 (en) * | 2003-02-07 | 2004-08-19 | Fag Kugelfischer Ag | Method for determining and quantitatively evaluating an imbalance in a shaft-bearing system |
US6973375B2 (en) * | 2004-02-12 | 2005-12-06 | Mykrolis Corporation | System and method for flow monitoring and control |
JP4685497B2 (en) * | 2005-04-11 | 2011-05-18 | 新日本製鐵株式会社 | Sintering machine exhaust gas flow measurement system |
JP5011365B2 (en) | 2009-10-30 | 2012-08-29 | 株式会社モリタ製作所 | Air driven rotary cutting machine |
JP7211177B2 (en) * | 2019-03-14 | 2023-01-24 | 栗田工業株式会社 | Control method for pure water production device |
-
1990
- 1990-10-25 JP JP28583290A patent/JPH0711473B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8850870B2 (en) | 2008-12-01 | 2014-10-07 | Azbil Corporation | Pressure guiding tube blockage diagnosing device and blockage diagnosing method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04160319A (en) | 1992-06-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4214301A (en) | Diagnostic device for use with automatic control systems | |
US6904783B2 (en) | System and method for detecting faulty fuel tank level sensor | |
US5361622A (en) | Device and method for detection of leaks in pressurized fluid vessels | |
JPH11510898A (en) | Method and apparatus for detecting and identifying defect sensors in a process | |
US20130060485A1 (en) | Method for automatically operating a measuring device for measuring particles in gases | |
JPH0711473B2 (en) | Abnormality detection method and device | |
US5007283A (en) | Method and device for processing measured values | |
US5982290A (en) | Automatic recognition of different types of liquid level sensors | |
JPH10232714A (en) | Diagnostic device for flow controller | |
KR101951592B1 (en) | Apparatus for estimating maintenance decision indicator, flow rate controlling apparatus, and method for estimating maintenance decision indicator | |
JPH0711472B2 (en) | Abnormality detection method and device | |
JP3161792B2 (en) | Gas leak alarm | |
US5249119A (en) | Apparatus for and method of detecting a malfunction of a controller | |
JP4278722B2 (en) | Gas shut-off device | |
JP2922665B2 (en) | Abnormality detection device for control instruments | |
JP2000227350A (en) | Judging device | |
JPH06194203A (en) | Mass flow controller with abnormality diagnosis function and its diagnosis method | |
JPS5924311A (en) | Program timer | |
KR930702732A (en) | How to check the characteristics of an object or condition | |
JP4605619B2 (en) | Remote gas concentration measuring device | |
JP2969218B2 (en) | Process analyzer | |
JPH07281736A (en) | Facility diagnostic device | |
JPH0296613A (en) | Apparatus for detecting abnormal indication in plant | |
JPS6227672A (en) | Apparatus for self-diagnosis of sensor | |
JP2601896B2 (en) | Plant abnormality diagnosis system |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |