JPH067109B2 - 光式外観検査装置 - Google Patents
光式外観検査装置Info
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- JPH067109B2 JPH067109B2 JP62179155A JP17915587A JPH067109B2 JP H067109 B2 JPH067109 B2 JP H067109B2 JP 62179155 A JP62179155 A JP 62179155A JP 17915587 A JP17915587 A JP 17915587A JP H067109 B2 JPH067109 B2 JP H067109B2
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- Japan
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- fine powder
- image
- diffusing plate
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、合成樹脂製の板、フィルム、膜や成型品及び
金属、ガラス、セラミックや紙製等、表面が平滑な被検
査物等にレーザー光を照射し、その透過光又は反射光か
らこれらの被検査物の極微小の外観欠陥を検査する光式
外観検査装置に関する。
金属、ガラス、セラミックや紙製等、表面が平滑な被検
査物等にレーザー光を照射し、その透過光又は反射光か
らこれらの被検査物の極微小の外観欠陥を検査する光式
外観検査装置に関する。
［従来の技術］ 従来、この種の光式の外観検査装置としては、被検査物
に光を照射し、その反射光をテレビカメラ等で撮影し、
その画像信号を電気的に処理することによって被検査物
の外観欠陥を検出する方式のものが知られている。
に光を照射し、その反射光をテレビカメラ等で撮影し、
その画像信号を電気的に処理することによって被検査物
の外観欠陥を検出する方式のものが知られている。
［発明が解決しようとする問題点］ 被検査物の極微小傷等の外観欠陥を検出する場合には、
指向性の強いレーザー光を使用し、例えば、被検査物の
表面にレーザー光でスポット照射した時の正常な表面に
おけるレーザー光スポットと、極微小傷等の表面極微小
欠陥部分における反射散乱によって増大したレーザー光
スポットの２つをテレビカメラで直接撮影し、前者と後
者のレーザー光スポットの面積を比較することによって
被検査物の表面の傷等の欠陥を検査する。この時、被検
査物の表面が平滑で光を良く反射する場合には、レーザ
ー光スポットの反射光にハレーションが生じてしまい、
テレビカメラでレーザー光スポットを撮影し、その面積
を測定することができず、被検査物の表面の極微小傷等
の欠陥を検出することができないという大きな欠点があ
った。
指向性の強いレーザー光を使用し、例えば、被検査物の
表面にレーザー光でスポット照射した時の正常な表面に
おけるレーザー光スポットと、極微小傷等の表面極微小
欠陥部分における反射散乱によって増大したレーザー光
スポットの２つをテレビカメラで直接撮影し、前者と後
者のレーザー光スポットの面積を比較することによって
被検査物の表面の傷等の欠陥を検査する。この時、被検
査物の表面が平滑で光を良く反射する場合には、レーザ
ー光スポットの反射光にハレーションが生じてしまい、
テレビカメラでレーザー光スポットを撮影し、その面積
を測定することができず、被検査物の表面の極微小傷等
の欠陥を検出することができないという大きな欠点があ
った。
［問題点を解決するための手段］ 上記問題点を解決する手段を、実施例に対応する第１図
を用いて説明すると、本発明は、被検査物１に対して光
を照射する光源２と、透過率が７５％以上でかつヘイズ
が７０％以上であって、前記被検査物１からの透過光ま
たは反射光の透過映像を写す光拡散板３と、該光拡散板
３の光軸に対して傾斜して設けられていて、該光拡散板
３上の透過映像を撮影する光電式カメラ４と、この光電
式カメラ４で捕えた透過映像の面積変化から被検査物１
の外観欠陥を検出する信号処理器５とを有する光式外観
検査装置である。
を用いて説明すると、本発明は、被検査物１に対して光
を照射する光源２と、透過率が７５％以上でかつヘイズ
が７０％以上であって、前記被検査物１からの透過光ま
たは反射光の透過映像を写す光拡散板３と、該光拡散板
３の光軸に対して傾斜して設けられていて、該光拡散板
３上の透過映像を撮影する光電式カメラ４と、この光電
式カメラ４で捕えた透過映像の面積変化から被検査物１
の外観欠陥を検出する信号処理器５とを有する光式外観
検査装置である。
［作用］ 被検査物１上に傷がある場合、その傷による光の散乱に
よって、表面で反射されたレーザー光スポットの透過映
像は傷のない場合に比べて拡大される。したがって、あ
らかじめ欠陥のない被検査物の透過映像を光電式カメラ
で撮影し、その面積を設定しておけば、実際の被検査物
における面積が設定面積より大きい場合のみ信号が検出
されることになり、傷の有無が判別される。
よって、表面で反射されたレーザー光スポットの透過映
像は傷のない場合に比べて拡大される。したがって、あ
らかじめ欠陥のない被検査物の透過映像を光電式カメラ
で撮影し、その面積を設定しておけば、実際の被検査物
における面積が設定面積より大きい場合のみ信号が検出
されることになり、傷の有無が判別される。
本発明は、被検査物からの反射光を直接カメラで撮影す
るのではなく、反射光を特定の透過率とヘイズを有する
光拡散板に受け、その透過映像を光拡散板の光軸に対し
て傾斜した設けた光電式カメラで撮影するようにしたも
のである。このため、被検査物の表面が平滑で光を良く
反射する場合であっても、ハレーションの影響を受ける
ことなく、確実な傷検出を行なうことができる。
るのではなく、反射光を特定の透過率とヘイズを有する
光拡散板に受け、その透過映像を光拡散板の光軸に対し
て傾斜した設けた光電式カメラで撮影するようにしたも
のである。このため、被検査物の表面が平滑で光を良く
反射する場合であっても、ハレーションの影響を受ける
ことなく、確実な傷検出を行なうことができる。
［実施例］ 第１図は本発明の一実施例を示す構成図である。第１図
に示されるように、アクリル樹脂製の乳白色半透明板の
被検査物１上には、He−Neレーザーを発する光源２と、
この光源２からの反射光に対して光軸が垂直となるよう
に配置された光拡散板３が設けられ、さらに光拡散板３
の光軸に対して15°の傾きをもって光電式カメラ４が設
けられている。
に示されるように、アクリル樹脂製の乳白色半透明板の
被検査物１上には、He−Neレーザーを発する光源２と、
この光源２からの反射光に対して光軸が垂直となるよう
に配置された光拡散板３が設けられ、さらに光拡散板３
の光軸に対して15°の傾きをもって光電式カメラ４が設
けられている。
光拡散板の透過率及びヘイズ（曇価）は傷の大きさによ
り適宜選択されるが、一般的傾向として傷が大きい場合
には透過率、ヘイズは小さくてもよく、傷が微小になる
に伴って透過率、ヘイズは大きくすることが必要とな
る。
り適宜選択されるが、一般的傾向として傷が大きい場合
には透過率、ヘイズは小さくてもよく、傷が微小になる
に伴って透過率、ヘイズは大きくすることが必要とな
る。
本発明においては、従来測定不可能であった深さ１μ、
ピッチ５μ程度の傷を検知することができ、この場合、
透過率は75％以上、ヘイズは70％以上とすることが必要
である。このように光拡散板の透過率を75％以上とし、
かつヘイズを70％以上とする理由は下記の通りである。
すなわち、透過率が75％未満の場合には、光拡散板の透
過映像の輝度が小さく即ち像が暗くなって、光電式カメ
ラ４の撮影が困難となる。
ピッチ５μ程度の傷を検知することができ、この場合、
透過率は75％以上、ヘイズは70％以上とすることが必要
である。このように光拡散板の透過率を75％以上とし、
かつヘイズを70％以上とする理由は下記の通りである。
すなわち、透過率が75％未満の場合には、光拡散板の透
過映像の輝度が小さく即ち像が暗くなって、光電式カメ
ラ４の撮影が困難となる。
また、透過率が75％以上であっても、ヘイズが70％未満
の場合には、光拡散板３における光の拡散が不充分のた
めにレーザー光スポットの反射光の光拡散板３上の透過
映像にハレーションが生じて、レーザー光スポットを光
電式カメラ４で撮影することが困難となる。
の場合には、光拡散板３における光の拡散が不充分のた
めにレーザー光スポットの反射光の光拡散板３上の透過
映像にハレーションが生じて、レーザー光スポットを光
電式カメラ４で撮影することが困難となる。
光拡散板３としては、その材質は特に規定されないが、
透過率75％以上、ヘイズ70％以上を得るための最適な材
質としては、メタクリル酸メチル重合体100部に対し
て、炭酸カルシウム微粉体(CaCo3)及び／又は硫酸バリ
ウム微粉体(BaSO4)が0.1〜0.6部を配合してなるアクリ
ル樹脂板、またはメタクリル酸メチル重合体100部に対
して、ホワイトカーボン微粉体(SiO2・nH2O)1.0〜4.5部
と炭酸カルシウム微粉体及び／又は硫酸バリウム微粉体
が０〜0.5部を配合してなるアクリル樹脂板等が挙げら
れる。
透過率75％以上、ヘイズ70％以上を得るための最適な材
質としては、メタクリル酸メチル重合体100部に対し
て、炭酸カルシウム微粉体(CaCo3)及び／又は硫酸バリ
ウム微粉体(BaSO4)が0.1〜0.6部を配合してなるアクリ
ル樹脂板、またはメタクリル酸メチル重合体100部に対
して、ホワイトカーボン微粉体(SiO2・nH2O)1.0〜4.5部
と炭酸カルシウム微粉体及び／又は硫酸バリウム微粉体
が０〜0.5部を配合してなるアクリル樹脂板等が挙げら
れる。
メタクリル酸メチル重合体への炭酸カルシウム微粉体及
び／又は硫酸バリウム微粉体の配合において、炭酸カル
シウム微粉体及び／又は硫酸バリウム微粉体の配合比率
が0.1部未満の場合は、ヘイズが70％未満となり、0.6部
を超えると透過率が75％未満となる。また、メタクリル
酸メチル重合体へのホワイトカーボン微粉体と炭酸カル
シウム及び／又は硫酸バリウム微粉体の配合において、
ホワイトカーボン微粉体が1.0部未満の場合は、炭酸カ
ルシウム微粉体及び／又は硫酸バリウム微粉体がゼロ部
の場合にヘイズが70％未満となり、4.5部を超えると透
過率が75％未満となる。炭酸カルシウム微粉体及び／又
は硫酸バリウム微粉体が0.5部を超えると、ホワイトカ
ーボン微粉体が1.0部の場合に透過率が75％未満とな
る。
び／又は硫酸バリウム微粉体の配合において、炭酸カル
シウム微粉体及び／又は硫酸バリウム微粉体の配合比率
が0.1部未満の場合は、ヘイズが70％未満となり、0.6部
を超えると透過率が75％未満となる。また、メタクリル
酸メチル重合体へのホワイトカーボン微粉体と炭酸カル
シウム及び／又は硫酸バリウム微粉体の配合において、
ホワイトカーボン微粉体が1.0部未満の場合は、炭酸カ
ルシウム微粉体及び／又は硫酸バリウム微粉体がゼロ部
の場合にヘイズが70％未満となり、4.5部を超えると透
過率が75％未満となる。炭酸カルシウム微粉体及び／又
は硫酸バリウム微粉体が0.5部を超えると、ホワイトカ
ーボン微粉体が1.0部の場合に透過率が75％未満とな
る。
本実施例においては、被検査物１と光源２との間隔を10
0cm、被検査物１と光拡散板３との間隔を50cm、光拡散
板３と光電式カメラ４との間隔を50cmとした。
0cm、被検査物１と光拡散板３との間隔を50cm、光拡散
板３と光電式カメラ４との間隔を50cmとした。
第１図において、光源２より出射されたレーザー光スポ
ットは、被検査物１の表面で反射し、光拡散板３の光軸
に垂直に入射する。
ットは、被検査物１の表面で反射し、光拡散板３の光軸
に垂直に入射する。
光電式カメラ４としては、光拡散板３上の透過映像を撮
影してこれを電気信号化できるものであれば特に限定さ
れないが、信頼性が高くかつ小型であることから、電荷
結合素子カメラ（CCDカメラ）が好ましい。
影してこれを電気信号化できるものであれば特に限定さ
れないが、信頼性が高くかつ小型であることから、電荷
結合素子カメラ（CCDカメラ）が好ましい。
光拡散板３上の透過映像を光電式カメラ４で撮影する理
由は、例えば、透過映像でなく鏡上の反射映像の場合
は、レーザー光スポットを直接に光電式カメラで撮影す
るのと全く同じことになるため前記ハレーションの欠点
があるからであり、また、反射型のスクリーン上の反射
映像の場合には、スクリーンが光を反射させるとともに
散乱させる材質である必要があり、基本的に光の反射効
率が小さく、スクリーン上の反射映像の輝度は、透過映
像に比べて非常に小さく、即ち像が暗くなるからであ
る。したがって、被検査物１表面の極微小傷等の欠陥部
分にレーザー光スポットを照射した場合、欠陥部分にお
ける反射散乱の程度が極めて微弱のために、スクリーン
上の反射映像が暗いと光電式カメラでの撮影による極微
小傷等の欠陥の検出ができなくなる。
由は、例えば、透過映像でなく鏡上の反射映像の場合
は、レーザー光スポットを直接に光電式カメラで撮影す
るのと全く同じことになるため前記ハレーションの欠点
があるからであり、また、反射型のスクリーン上の反射
映像の場合には、スクリーンが光を反射させるとともに
散乱させる材質である必要があり、基本的に光の反射効
率が小さく、スクリーン上の反射映像の輝度は、透過映
像に比べて非常に小さく、即ち像が暗くなるからであ
る。したがって、被検査物１表面の極微小傷等の欠陥部
分にレーザー光スポットを照射した場合、欠陥部分にお
ける反射散乱の程度が極めて微弱のために、スクリーン
上の反射映像が暗いと光電式カメラでの撮影による極微
小傷等の欠陥の検出ができなくなる。
入射したレーザー光スポットは光拡散板３の表面で透過
映像を形成し、この透過映像が光電式カメラ４によって
撮影される。光電式カメラ４における画像信号は、信号
処理器５に入力される。信号処理器５においては、光電
式カメラ４からの画像信号をA/D変換した後、得られた
デジタル信号に基づいてレーザー光スポットの透過映像
の面積を算出する。ここで、あらかじめ表面に極微小傷
等の欠陥のない被検査物にレーザー光スポットを照射
し、被検査物の表面で反射されたレーザー光スポットの
拡散板上の透過映像を光電式カメラで撮影し、画像信号
を処理して得られたレーザー光スポットの透過映像の面
積を設定しておく。次いで、その設定面積に対する前記
の算出面積との面積比率を算出して、この面積比率の信
号をD/A変換し、得られたアナログ信号をハイパスフィ
ルターに通すと、算出面積が設定面積より大きい場合に
アナログ信号のみがハイパスフィルターを通過し、被検
査物１の表面の極微小傷等の欠陥が検出される。
映像を形成し、この透過映像が光電式カメラ４によって
撮影される。光電式カメラ４における画像信号は、信号
処理器５に入力される。信号処理器５においては、光電
式カメラ４からの画像信号をA/D変換した後、得られた
デジタル信号に基づいてレーザー光スポットの透過映像
の面積を算出する。ここで、あらかじめ表面に極微小傷
等の欠陥のない被検査物にレーザー光スポットを照射
し、被検査物の表面で反射されたレーザー光スポットの
拡散板上の透過映像を光電式カメラで撮影し、画像信号
を処理して得られたレーザー光スポットの透過映像の面
積を設定しておく。次いで、その設定面積に対する前記
の算出面積との面積比率を算出して、この面積比率の信
号をD/A変換し、得られたアナログ信号をハイパスフィ
ルターに通すと、算出面積が設定面積より大きい場合に
アナログ信号のみがハイパスフィルターを通過し、被検
査物１の表面の極微小傷等の欠陥が検出される。
実施例１ 被検査物１として、深さ１μ、ピッチ５μの凹凸の極微
小欠陥を表面に有する乳白色半透明アクリル樹脂板を用
い、光拡散板３として、メタクリル酸メチル重合体100
部に対して、炭酸カルシウム微粉体及び／又は硫酸バリ
ウム微粉体が0.1〜0.6部を配合してなるアクリル樹脂板
（板厚３mm）を用いた場合の光拡散板３の透過率，ヘイ
ズを測定するとともに、第２図に示すように、光拡散板
３上のレーザー光スポットの透過映像を光軸に対して15
°の傾きを取って光拡散板３より50cm離れた位置におけ
る目視によるハレーションの有無及び輝度計６による輝
度(cd/ft2)を測定し、さらに第１図に示すように光電式
カメラ４で撮影し、画像信号を処理しての極微小欠陥の
肉眼による検出の可否の結果を表１に示す。
小欠陥を表面に有する乳白色半透明アクリル樹脂板を用
い、光拡散板３として、メタクリル酸メチル重合体100
部に対して、炭酸カルシウム微粉体及び／又は硫酸バリ
ウム微粉体が0.1〜0.6部を配合してなるアクリル樹脂板
（板厚３mm）を用いた場合の光拡散板３の透過率，ヘイ
ズを測定するとともに、第２図に示すように、光拡散板
３上のレーザー光スポットの透過映像を光軸に対して15
°の傾きを取って光拡散板３より50cm離れた位置におけ
る目視によるハレーションの有無及び輝度計６による輝
度(cd/ft2)を測定し、さらに第１図に示すように光電式
カメラ４で撮影し、画像信号を処理しての極微小欠陥の
肉眼による検出の可否の結果を表１に示す。
また、光拡散板３として、メタクリル酸メチル重合体10
0部に対して、ホワイトカーボン微粉体1.0〜4.5部と炭
酸カルシウム微粉体及び／又は硫酸バリウム微粉体が０
部，５部を配合してなるアクリル樹脂板（板厚３mm）を
用いて、前記と同様に行った結果を表１に示す。
0部に対して、ホワイトカーボン微粉体1.0〜4.5部と炭
酸カルシウム微粉体及び／又は硫酸バリウム微粉体が０
部，５部を配合してなるアクリル樹脂板（板厚３mm）を
用いて、前記と同様に行った結果を表１に示す。
比較例１ 光拡散板３として、メタクリル酸メチル重合体100部に
対して、炭酸カルシウム微粉体及び／又は硫酸バリウム
微粉体を0.05部，0.8部を配合してなるアクリル樹脂板
（板厚３mm）を用いること以外は前記実施例１と同様に
行った結果、及び光拡散板３として、メタクリル酸メチ
ル重合体100部に対して、ホワイトカーボン微粉体0.5
部，５部を配合してなるアクリル樹脂板（板厚３mm）を
用いること以外は前記実施例１と同様に行った結果を表
１に示す。
対して、炭酸カルシウム微粉体及び／又は硫酸バリウム
微粉体を0.05部，0.8部を配合してなるアクリル樹脂板
（板厚３mm）を用いること以外は前記実施例１と同様に
行った結果、及び光拡散板３として、メタクリル酸メチ
ル重合体100部に対して、ホワイトカーボン微粉体0.5
部，５部を配合してなるアクリル樹脂板（板厚３mm）を
用いること以外は前記実施例１と同様に行った結果を表
１に示す。
比較例２ 前記実施例１における光拡散板３の替わりに、第３図に
示すように反射型白色スクリーン７を用い、この反射型
白色スクリーン７上のレーザー光スポットの反射映像を
前記実施例１の光拡散板３上の透過映像の替わりにする
こと以外は、前記実施例１と同様に行った結果を表１に
示す。
示すように反射型白色スクリーン７を用い、この反射型
白色スクリーン７上のレーザー光スポットの反射映像を
前記実施例１の光拡散板３上の透過映像の替わりにする
こと以外は、前記実施例１と同様に行った結果を表１に
示す。
実施例１及び比較例１，２の結果における光拡散板の透
過率（縦軸）と光拡散板上の透過映像の輝度（横軸）と
の関係を第４図に、また光拡散板の透過率（縦軸）とヘ
イズ（横軸）と光拡散板上の透過映像のハレーションの
有無の関係を第５図に示す。
過率（縦軸）と光拡散板上の透過映像の輝度（横軸）と
の関係を第４図に、また光拡散板の透過率（縦軸）とヘ
イズ（横軸）と光拡散板上の透過映像のハレーションの
有無の関係を第５図に示す。
表１の結果及び第４図，第５図より明らかなように、本
発明の光式外観検査装置においては、従来の装置では検
出することのできなかった極微小の外観欠陥の検出が可
能となる。
発明の光式外観検査装置においては、従来の装置では検
出することのできなかった極微小の外観欠陥の検出が可
能となる。
上記実施例においては、被検査物の反射光を光拡散板で
受ける場合について説明したが、被検査物が透明体の場
合には、その透過光を光拡散板に受けて透過映像を形成
し、これを光電式カメラで撮影すれば同様の効果を得る
ことができる。
受ける場合について説明したが、被検査物が透明体の場
合には、その透過光を光拡散板に受けて透過映像を形成
し、これを光電式カメラで撮影すれば同様の効果を得る
ことができる。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、被検査物の表面
が平滑で光を良く反射するものであっても、光拡散板に
よりハレーションの影響が防止され、表面の極微小傷等
の欠陥を確実に検出することができる。
が平滑で光を良く反射するものであっても、光拡散板に
よりハレーションの影響が防止され、表面の極微小傷等
の欠陥を確実に検出することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は本発
明の実施例１及び比較例１における構成図、第３図は比
較例２における構成図、第４図は光拡散板の透過率と透
過映像の輝度との関係を示す図、第５図は光拡散板の透
過率とヘイズに対するハレーションの有無の関係を示す
図である。 １：被検査物、２：光源、３：光拡散板、 ４：光電式カメラ、５：信号処理器。
明の実施例１及び比較例１における構成図、第３図は比
較例２における構成図、第４図は光拡散板の透過率と透
過映像の輝度との関係を示す図、第５図は光拡散板の透
過率とヘイズに対するハレーションの有無の関係を示す
図である。 １：被検査物、２：光源、３：光拡散板、 ４：光電式カメラ、５：信号処理器。
Claims (1)
- 【請求項１】被検査物に対して光を照射する光源と、透
過率が７５％以上でかつヘイズが７０％以上であって、
前記被検査物からの透過光または反射光の透過映像を写
す光拡散板と、該光拡散板の光軸に対して傾斜して設け
られていて、該光拡散板上の透過映像を撮影する光電式
カメラと、該光電式カメラで捕らえた透過映像の面積変
化から前記被検査物の外観欠陥を検出する信号処理器と
を有する光式外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62179155A JPH067109B2 (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 | 光式外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62179155A JPH067109B2 (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 | 光式外観検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6423145A JPS6423145A (en) | 1989-01-25 |
| JPH067109B2 true JPH067109B2 (ja) | 1994-01-26 |
Family
ID=16060911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62179155A Expired - Fee Related JPH067109B2 (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 | 光式外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH067109B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011043415A (ja) * | 2009-08-21 | 2011-03-03 | Central Glass Co Ltd | ガラス板面の付着物の検出方法および装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08311268A (ja) * | 1995-05-19 | 1996-11-26 | Mitsui Toatsu Chem Inc | コンデンサー絶縁フィルム用ポリプロピレン樹脂およびその評価方法 |
| JP4879087B2 (ja) * | 2007-05-18 | 2012-02-15 | 株式会社山武 | エッジ検出装置及びエッジ検出装置用ラインセセンサ |
| JP6759869B2 (ja) * | 2016-08-31 | 2020-09-23 | 株式会社リコー | 検査装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6036013A (ja) * | 1983-08-10 | 1985-02-25 | 矢野 利人 | 椅子 |
| JPS60228908A (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-14 | Nissan Motor Co Ltd | 表面欠陥検査方法 |
-
1987
- 1987-07-20 JP JP62179155A patent/JPH067109B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011043415A (ja) * | 2009-08-21 | 2011-03-03 | Central Glass Co Ltd | ガラス板面の付着物の検出方法および装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6423145A (en) | 1989-01-25 |
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