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JPH0646314A - Two-dimensional driving device - Google Patents

Two-dimensional driving device

Info

Publication number
JPH0646314A
JPH0646314A JP463892A JP463892A JPH0646314A JP H0646314 A JPH0646314 A JP H0646314A JP 463892 A JP463892 A JP 463892A JP 463892 A JP463892 A JP 463892A JP H0646314 A JPH0646314 A JP H0646314A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
moving
dimensional
drive device
magnetic circuit
parallel leaf
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP463892A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Minoru Kimura
実 木村
Ryuichi Toyoda
隆一 豊田
Koichi Sato
公一 佐藤
Kunihiko Nakamura
邦彦 中村
Yoshikazu Kawachi
義和 河内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP463892A priority Critical patent/JPH0646314A/en
Publication of JPH0646314A publication Critical patent/JPH0646314A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Adjustment Of Camera Lenses (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain a compact and low power consumption two-dimensional driving device which drives the CCD of a video camera directly and corrects the shaking of a screen in a moving table displacing a small light-weight object slightly and two-dimensionally. CONSTITUTION:The two moving axes of a first driving mechanism 4 and a second driving mechanism 10 are arranged orthogonally and each moving axis is driven by electromagnetic force of first and second rectangular coils 9, 15 and first and second magnetic circuit 8, 14. A CCD 3 flexibly moves on a driving surface and holds a stable moving table surface by the rigidity of a parallel leaf spring and a contact type supporting means capable of sliding on the driving surface in a direction perpendicular to the driving surface. Thus, a low power consumption two-dimensional driving device which is compact and is possible to perform a stable operation is obtained.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、小型軽量の対象物を2
次元に微小変位する移動テーブルにおいて、特にビデオ
カメラのCCDをダイレクトに駆動し、画面の手振れを
補正する2次元駆動装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a small and lightweight object.
In particular, the present invention relates to a two-dimensional driving device that directly drives a CCD of a video camera in a moving table that is minutely displaced in two dimensions to correct camera shake on a screen.

【0002】[0002]

【従来の技術】ビデオカメラで手持ち撮影を行うと手振
れによる画面の揺れが発生し、TV(テジョン・セッ
ト)で再生した時に鑑賞者とTV画面の相対関係のズレ
による船酔いに似た感覚を経験する事がある。このよう
な、画面振れの補正には、撮影した画面を時系列に観測
することによって振れの動ベクトルを検出し、画面の1
部を切り出して表示し、振れの無い安定した画像を得る
方法が考案され、製品としても普及している。(例え
ば、中山正明、ビデオムービー、電子写真学会誌、第3
0巻、第1号(1991)P73−81) 画像の切り出しを行わない機構系による手振れ補正の技
術に関しては、レンズ、オートフォーカス機構系、自動
絞り機構系、CCDを一体の光学系としてジンバル機構
を用いて支持し、2つのアクチュエータで駆動し、手振
れ補正を行う例がある(例えば、稲治利夫、ビデオカメ
ラの画振れ防止技術の開発、TV学会技術報告、第11
巻、第28号(1987)P19−24)。
2. Description of the Related Art When hand-held shooting is performed with a video camera, a screen shake occurs due to camera shake, and when reproduced on a TV (Tejon set), a feeling similar to sea sickness due to a shift in the relative relationship between the viewer and the TV screen is produced. I have experience. To correct such screen shake, the motion vector of the shake is detected by observing the captured screen in time series, and
A method for obtaining a stable image without blurring by cutting out and displaying a part has been devised, and it is widely used as a product. (For example, Masaaki Nakayama, video movie, The Electrophotographic Society of Japan, 3rd
Volume 0, No. 1 (1991) P73-81) Regarding the technology for image stabilization by a mechanical system that does not cut out an image, a gimbal mechanism with a lens, an autofocus mechanism system, an automatic diaphragm mechanism system, and a CCD as an integrated optical system. There is an example in which camera shake correction is performed by driving with two actuators (for example, Toshio Inaji, Development of image blur prevention technology for video cameras, Technical Report of TV Society, No. 11).
Vol. 28 (1987) P19-24).

【0003】機構系を用いて手振れを補正する従来例
を、図6を参照しながら説明する。ビデオカメラの本体
25は、光軸26を向いて撮影を行っている。手振れに
よるビデオカメラの本体25の振れはヨーイング(左右
のカメラぶれ)27とピッチング(上下のカメラぶれ)
28として加速度センサ(1)(2)29、30で検出
される。CCD3を含む光学系31は、ジンバル機構3
2によりヨーイング方向27、ピッチング方向28に回
転自在に支持されている。そして、光学系31を各々の
回動方向に駆動するために、コイルとマグネットにより
構成された平面対向型アクチュエータ(1)(2)3
3、34が各々の回動軸に設けられ、光学系31がアク
チュエータ(1)(2)33、34により直接駆動され
る。加速度センサ(1)(2)29、30からの検出信
号35をサーボ回路36に入力してアクチュエータ
(1)(2)33、34への電力供給を制御することに
より、揺れの少ない安定した画像を撮影する。
A conventional example of correcting a camera shake using a mechanical system will be described with reference to FIG. The main body 25 of the video camera faces the optical axis 26 and shoots. Shaking of the video camera body 25 due to camera shake is yawing 27 (left and right camera shake) and pitching (up and down camera shake).
The acceleration sensor (1) (2) 29, 30 is detected as 28. The optical system 31 including the CCD 3 has a gimbal mechanism 3
It is rotatably supported by the yawing direction 27 and the pitching direction 28. Then, in order to drive the optical system 31 in the respective rotating directions, the planar facing type actuators (1) (2) 3 composed of coils and magnets.
3, 34 are provided on the respective rotary shafts, and the optical system 31 is directly driven by the actuators (1) (2) 33, 34. By inputting the detection signal 35 from the acceleration sensor (1) (2) 29, 30 to the servo circuit 36 to control the power supply to the actuator (1) (2) 33, 34, a stable image with less shaking can be obtained. To shoot.

【0004】画像の手振れ補正とは用途が異なるが、従
来、小型軽量の対象物を2次元に微小距離だけ駆動する
装置として最も普及しているものは、例えば光ディスク
の光学ピックアップアクチュエータである。光学ピック
アップアクチュエータとしては、光学ピックアップに取
り付けられたコイルに電流を流し、固定したマグネット
との電磁力で光学ピックアップを駆動する可動コイル型
アクチュエータが最も多く見られる。
Although its application is different from that of image shake correction, the most popular apparatus for driving a small and lightweight object two-dimensionally by a minute distance is an optical pickup actuator for an optical disk, for example. As the optical pickup actuator, a movable coil type actuator is most often used in which a current is passed through a coil attached to the optical pickup and the optical pickup is driven by an electromagnetic force with a fixed magnet.

【0005】光学ピックアップは、固定部に対して4本
の細いピアノ線やプラスチックのリンク機構等の弾性支
持体により支持される。
The optical pickup is supported on the fixed portion by four thin piano wires or an elastic support such as a plastic link mechanism.

【0006】従来の光学ピックアップアクチュエータ
は、例えば宍倉正美、コンパクトディスク用モータ、機
械設計、第32巻、第6号(1988)P28−38に
示されており、以下図7を用いて説明する。なお、図7
(a)は光学ピックアップアクチュエータ斜視図、図7
(b)は同分解斜視図である。
A conventional optical pickup actuator is shown in, for example, Masami Shishikura, Motor for Compact Disc, Mechanical Design, Volume 32, No. 6 (1988) P28-38, which will be described below with reference to FIG. Note that FIG.
7A is a perspective view of an optical pickup actuator, FIG.
(B) is an exploded perspective view of the same.

【0007】光学ピックアップアクチュエータ37は、
対物レンズ38、コイル39、40が搭載された可動部
41、可動部41を支持するリンク42、磁気回路43
を搭載した固定部44から成る。コイル39に通電して
回動センタ45を中心として対物レンズ38を回転させ
トラッキング46を行い、コイル39に通電してリンク
42により対物レンズ38を上下に平行移動しフォーカ
ス47を行う。
The optical pickup actuator 37 is
Objective part 38, movable part 41 on which coils 39 and 40 are mounted, link 42 supporting movable part 41, magnetic circuit 43
It is composed of a fixing portion 44 on which is mounted. The coil 39 is energized to rotate the objective lens 38 about the rotation center 45 for tracking 46, and the coil 39 is energized to move the objective lens 38 up and down in parallel by the link 42 to perform focusing 47.

【0008】この従来例の磁気回路43は2回路構成さ
れており、コイル39、40はリンク42を挟んで対称
に作られている。
The magnetic circuit 43 of this conventional example is composed of two circuits, and the coils 39 and 40 are symmetrically arranged with the link 42 interposed therebetween.

【0009】コイル39は、矩形コイル2個で1対を成
し、隣合ったコイルの辺での電流Iの流れる方向を同じ
くし、磁束密度Bの磁界の中で発生する力Fの方向を一
致させる。コイル39の1対8辺の内、力F1を発生す
るのに寄与するのは2辺である。
In the coil 39, two rectangular coils form a pair, the directions of the currents I on the sides of adjacent coils are the same, and the direction of the force F generated in the magnetic field of the magnetic flux density B is set. Match. Of the 1 to 8 sides of the coil 39, two sides contribute to generating the force F1.

【0010】コイル40もまた矩形に形成されており、
1辺が磁気回路の中に挿入され、コイル39と同じ磁界
の中で力F2を発生する。コイル40の4辺の内、力F
2を発生するのに寄与するのは1辺である。
The coil 40 is also formed in a rectangular shape,
One side is inserted into the magnetic circuit and generates force F2 in the same magnetic field as coil 39. Force F of the four sides of coil 40
It is one side that contributes to generating 2.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の構成では、以下に示す課題を有していた。 1)画像処理による手振れのある画像からの切り出しで
は、画面全体の画素数が36万画素であったとしても、
手振れを補正した後の画素数は30万画素程度に減少し
てしまい、高画質化を要求する時代の要請とは逆行す
る。 2)機構系を用いて光学系全体をジンバル機構を用いて
支持し、2つのアクチュエータで駆動する方式では、光
学系の回動角度に応じたビデオカメラの本体25の大き
さの余裕が必要であり、小型化ができない。仮に、手振
れ補正の回動角度が±6度である場合、光学系の回動中
心からの長さが100mmであるとしても光学系と本体
の間は±10mmの隙間が必要である。 3)光学ピックアップアクチュエータのコイル39は、
矩形コイル2個で1対を成し、隣合ったコイルの辺での
電流Iの流れる方向を同じくし、磁束密度Bの磁界の中
で発生する力Fの方向を一致させているが、コイルの1
対8辺の内、力F1を発生するのに寄与するのは2辺で
あり、コイルの利用効率が25%と小さい。
However, the above conventional configuration has the following problems. 1) When clipping from an image with camera shake by image processing, even if the number of pixels on the entire screen is 360,000,
The number of pixels after correction of camera shake is reduced to about 300,000 pixels, which is contrary to the demand of the times when high image quality is required. 2) In the system in which the entire optical system is supported by the gimbal mechanism using the mechanical system and is driven by two actuators, it is necessary to have a margin of the size of the main body 25 of the video camera according to the rotation angle of the optical system. Yes, it cannot be miniaturized. If the rotation angle for camera shake correction is ± 6 degrees, a gap of ± 10 mm is required between the optical system and the main body even if the length from the rotation center of the optical system is 100 mm. 3) The coil 39 of the optical pickup actuator is
Two rectangular coils form a pair, the directions of the currents I on the sides of the adjacent coils are the same, and the directions of the force F generated in the magnetic field of the magnetic flux density B are the same. Of 1
Of the eight sides, the two sides contribute to the generation of the force F1, and the utilization efficiency of the coil is as small as 25%.

【0012】発生力Fは、磁界の中の電流Iが流れる線
の長さをLとし、磁束と電流の交差する角度をθとした
時 F=B・I・L・sinθ (1) であり、線の長さL、すなわち、コイルの辺の長さと巻
数の積に比例するので、コイルの辺の利用効率は、アク
チュエータの効率に大きく作用する。
The generated force F is F = B · I · L · sin θ (1), where L is the length of the line through which the current I flows in the magnetic field and θ is the angle at which the magnetic flux intersects the current. Since the wire length L is proportional to the product of the coil side length and the number of turns, the utilization efficiency of the coil side greatly affects the efficiency of the actuator.

【0013】本発明は、上記従来の課題を解決するもの
で、小型の2次元駆動装置でビデオカメラのCCDを直
接駆動し、小型の光学系で、画素の減少を生じさせない
で手振れ補正を行うもので、さらに、コイルの利用効率
を上げて低消費電力でこれを実現する2次元駆動装置を
提供することを目的とするものである。
The present invention solves the above-mentioned problems of the prior art by directly driving a CCD of a video camera with a small two-dimensional driving device and performing a camera shake correction without causing a reduction in pixels with a small optical system. Further, it is an object of the present invention to provide a two-dimensional driving device that raises the utilization efficiency of the coil and realizes this with low power consumption.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の2次元駆動装置は、固定された筐体に第1の
平行板ばねで支持された第1の駆動機構と、第1の駆動
機構の移動片に第2の平行板ばねで支持された第2の駆
動機構を有し、前記2つの移動辺の移動軸は直角に配置
され、各移動辺にはそれぞれ第1および第2の矩形状コ
イルが装着され、矩形状コイルを挟むように構成された
第1の磁気回路は筐体に固定され、第2の磁気回路は第
1の移動片に固定された構成を有するものである。
In order to achieve this object, a two-dimensional drive device of the present invention comprises a first drive mechanism supported by a first parallel leaf spring in a fixed housing, and a first drive mechanism. Has a second driving mechanism supported by a second parallel leaf spring on a moving piece of the driving mechanism, the moving axes of the two moving sides are arranged at right angles, and the first and the second moving sides respectively have the moving axes. Two rectangular coils are mounted, the first magnetic circuit configured to sandwich the rectangular coil is fixed to the housing, and the second magnetic circuit is fixed to the first moving piece. Is.

【0015】さらに、第1および第2の矩形状コイルは
少なくとも3個以上のn個の多重巻コイルから成り、n
個のコイルの隣合うコイルの辺での電流方向を一致さ
せ、前記コイル辺の隣合う(n−1)ヵ所で磁束を直交
し、発生する力の方向が一致するように、第1および第
2の磁気回路を、磁気回路の磁束の方向が側の磁束方向
と逆になるように(n−1)磁気回路構成としたもので
ある。
Further, the first and second rectangular coils are composed of at least three or more n multi-turn coils, and n
The first and the first coils are arranged so that the current directions on the sides of adjacent coils of the individual coils are made coincident with each other, and the magnetic fluxes are orthogonalized at the adjacent (n-1) positions on the sides of the coils so that the directions of the generated forces coincide. The second magnetic circuit has a (n-1) magnetic circuit configuration such that the direction of the magnetic flux of the magnetic circuit is opposite to the side magnetic flux direction.

【0016】そして、第1および第2の平行板ばねは、
0.1mm以下の薄い金属片で幅を略3〜4mmとし、
移動片が平行板ばねの板厚方向には略10g/mm以下
のばね定数で変位、平行板ばねの幅方向(2次元駆動平
面に垂直)へは剛性を有したものである。さらに、2次
元駆動平面に垂直な方向への耐荷重性を増すために摺動
可能な支持手段を有する。
The first and second parallel leaf springs are
With a thin metal piece of 0.1 mm or less and a width of about 3 to 4 mm,
The moving piece is displaced in the plate thickness direction of the parallel leaf spring with a spring constant of about 10 g / mm or less, and has rigidity in the width direction of the parallel leaf spring (perpendicular to the two-dimensional drive plane). Furthermore, it has a slidable support means for increasing load bearing in a direction perpendicular to the two-dimensional drive plane.

【0017】また、第2の移動片に取り付けられた対象
物の移動平面を垂直として使用する場合において、垂直
に移動する移動辺に対して対象物の自重に等しい荷重
を、平行板ばねの応力曲げまたはバイアスばねを用いて
重力と反対向きに働かせた構成を有する。
In addition, when the moving plane of the object attached to the second moving piece is used as the vertical, a load equal to the weight of the object is applied to the moving side moving vertically and the stress of the parallel leaf spring is applied. It has a construction in which it is made to work against gravity by using a bending or bias spring.

【0018】[0018]

【作用】この構成によって、2重に構成された平行板ば
ねに支持された第2の移動片に取り付けられた対象物は
2次元に駆動される。
With this configuration, the object attached to the second moving piece supported by the parallel leaf springs that are doubled is two-dimensionally driven.

【0019】駆動機構の矩形コイルを少なくとも3個以
上のn個構成とし、磁気回路を(n−1)磁気回路とし
たことにより、例えばnを4とした場合、矩形コイルの
4個16辺の内6辺が電磁作用に寄与し、入力電力に対
する出力は従来の1.5倍とすることができるものであ
る。
When at least three rectangular coils of the driving mechanism are constructed and the magnetic circuit is an (n-1) magnetic circuit, for example, when n is 4, four rectangular coils of 16 sides are provided. The six sides contribute to the electromagnetic action, and the output with respect to the input power can be 1.5 times that of the conventional one.

【0020】また、平行板ばねは、0.1mm以下の薄
い金属片で幅が略3〜4mmであり、2重に構成された
ことにより、薄型の2次元駆動装置を実現するものであ
り、ばね定数を略10g/mm以下とすることで低消費
電力での駆動を容易成らしめ、かつ、2次元駆動平面に
直交する軸に対しては剛性を有し、また、摺動可能な支
持手段の併用によって安定したテーブル面の姿勢を保持
できるものである。
The parallel leaf spring is a thin metal piece of 0.1 mm or less and has a width of about 3 to 4 mm. The parallel leaf spring realizes a thin two-dimensional drive device by being doubled. By setting the spring constant to about 10 g / mm or less, driving with low power consumption can be easily performed, and the supporting means has a rigidity with respect to an axis orthogonal to the two-dimensional driving plane and is slidable. By using the combination of the above, it is possible to maintain a stable posture of the table surface.

【0021】対象物の移動平面を垂直として使用する場
合には、対象物および移動辺の自重により平行板ばねが
たわみを生じるが、重力と反対向きに自重と同じ荷重を
発生することにより、重力的にバランスが取れた構成に
することができ、低消費電力での駆動を容易成らしめ
る。
When the moving plane of the object is used as a vertical plane, the parallel leaf springs bend due to the weight of the object and the moving side, but the same load as the own weight is generated in the direction opposite to the gravity. It is possible to achieve a well-balanced configuration, which facilitates driving with low power consumption.

【0022】[0022]

【実施例】(実施例1)以下本発明の第1の実施例につ
いて、図面を参照にしながら説明する。
(Embodiment 1) A first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0023】図1は本発明の第1の実施例における2次
元駆動装置であり、(a)は3面図、(b)は立体図で
あり、2次元駆動装置1の移動テーブル2にCCD3を
搭載した状態を示している。
1A and 1B show a two-dimensional driving device according to a first embodiment of the present invention. FIG. 1A is a three-dimensional view, and FIG. 1B is a three-dimensional view. A CCD 3 is mounted on a moving table 2 of the two-dimensional driving device 1. It shows a state where is mounted.

【0024】2次元駆動装置1は、第1の駆動機構4と
第2の駆動機構10から成り、2つの駆動機構が2重に
構成されているため、2次元駆動装置1の厚さは筐体5
の部分で6.5mmと、薄型にすることが可能となっ
た。
The two-dimensional driving device 1 is composed of the first driving mechanism 4 and the second driving mechanism 10, and the two driving mechanisms are doubled. Therefore, the thickness of the two-dimensional driving device 1 is a casing. Body 5
It became possible to reduce the thickness to 6.5 mm.

【0025】第1の駆動機構4は、筐体5に第1の平行
板ばね6で支持された第1の移動辺7と筐体5に固定さ
れた第1の磁気回路8および第1の移動辺7に固定され
た第1の矩形コイル9から構成されている。
The first drive mechanism 4 includes a first moving side 7 supported by a first parallel leaf spring 6 on the housing 5, a first magnetic circuit 8 fixed on the housing 5, and a first magnetic circuit 8. It is composed of a first rectangular coil 9 fixed to the moving side 7.

【0026】第2の駆動機構10は、第1の移動辺7に
固定された固定辺11に第2の平行板ばね12で支持さ
れた第2の移動辺13と第1の移動辺7に固定された第
2の磁気回路14および第2の移動辺13に固定された
第2の矩形コイル15から構成されている。
The second drive mechanism 10 includes a fixed side 11 fixed to the first moving side 7 and a second moving side 13 supported by a second parallel leaf spring 12 and a first moving side 7. It is composed of a fixed second magnetic circuit 14 and a second rectangular coil 15 fixed to the second moving side 13.

【0027】搭載したCCD3は、1/3インチサイズ
であり、2次元駆動装置1の大きさは対象物による寸法
の制限を受けるが、手振れ補正を全画面の20%を行う
に必要な±500μmの2次元駆動を行う本実施例にお
ける2次元駆動装置1の大きさは、30×29mmの寸
法である。
The mounted CCD 3 has a size of 1/3 inch, and the size of the two-dimensional driving device 1 is limited by the size of the object, but ± 500 μm necessary for performing the image stabilization 20% of the entire screen. The size of the two-dimensional driving device 1 in the present embodiment for performing the two-dimensional driving is 30 × 29 mm.

【0028】図2は、同2次元駆動装置1における要部
である第2の駆動機構10の分解図であり、この図を用
いて磁気回路14の詳細を説明する。
FIG. 2 is an exploded view of the second drive mechanism 10 which is a main part of the two-dimensional drive device 1. The magnetic circuit 14 will be described in detail with reference to this figure.

【0029】固定辺11と磁気回路14は、図示しない
第1の駆動機構4の移動辺に固定されている。したがっ
て、第2の駆動機構10は第1の駆動機構4の移動軸1
6方向に移動することができる。
The fixed side 11 and the magnetic circuit 14 are fixed to the moving side of the first drive mechanism 4 not shown. Therefore, the second drive mechanism 10 is the moving shaft 1 of the first drive mechanism 4.
It can move in 6 directions.

【0030】移動辺13は、平行板ばね12で固定辺1
1に支持され、移動方向17には平行板ばね12のばね
定数で計算される荷重で変位可能である。本実施例では
平行板ばね13に、0.1mm以下の厚さで、幅3.5
mmのリン青銅またはステンレスの薄板を使用した。ば
ね定数としては、2〜10g/mmの間のものを製作し
た。したがって、無負荷での±500μmの2次元駆動
に必要な力は1〜5g程度である。また、2次元駆動平
面に直交する軸に対しては高い剛性を持っているのでた
わみを生じることはない。たわみ量としては、10gの
荷重が生じた場合でも、最大1μm以内に押さえること
ができている。
The moving side 13 is a parallel plate spring 12 and is a fixed side 1.
It is supported by 1 and can be displaced in the moving direction 17 by a load calculated by the spring constant of the parallel leaf spring 12. In this embodiment, the parallel leaf spring 13 has a thickness of 0.1 mm or less and a width of 3.5.
mm thin plate of phosphor bronze or stainless steel was used. As the spring constant, a spring constant of 2 to 10 g / mm was manufactured. Therefore, the force required for two-dimensional driving of ± 500 μm without load is about 1 to 5 g. Further, since it has a high rigidity with respect to the axis orthogonal to the two-dimensional drive plane, it does not bend. The amount of deflection can be suppressed within a maximum of 1 μm even when a load of 10 g is generated.

【0031】さらに耐荷重性を持たせるために、対象物
が荷重による移動面に対する垂直の変位を生じさせない
ための駆動平面に摺動可能な支持手段を有している。図
3は当該摺動可能な支持手段の一実施例であり、筐体5
とCCD3の間に小球22を3個挟んだものである。C
CD3の表面は平滑な光学硝子で形成されており、実際
の結像面よりもはるかに大きな面積を有している。その
ため、光学的には使用していない部分を小球22の摺動
面として用いることができる。この摺動可能な支持手段
を有することにより、2次元駆動装置1の大きさを変え
る事なく耐荷重性に優れた駆動機構を実現できる。
Further, in order to have load resistance, it has a supporting means slidable on a driving plane for preventing the object from being displaced vertically to the moving surface by the load. FIG. 3 shows an embodiment of the slidable supporting means, which is a housing 5
3 small balls 22 are sandwiched between the CCD 3 and the CCD 3. C
The surface of CD3 is formed of smooth optical glass and has a much larger area than the actual image plane. Therefore, a portion that is not optically used can be used as the sliding surface of the small ball 22. By having this slidable support means, it is possible to realize a drive mechanism having excellent load resistance without changing the size of the two-dimensional drive device 1.

【0032】移動辺13には溝が形成されており、正規
の位置に矩形コイル15を容易に装着することができ
る。
A groove is formed on the moving side 13 so that the rectangular coil 15 can be easily mounted at a regular position.

【0033】矩形コイル15はn=4個の多重巻コイル
から成り、各コイルが隣合った辺18が、磁気回路14
の磁界中に設置され、辺18に電流を流すことによっ
て、式1により計算される発生力Fを得る。
The rectangular coil 15 is composed of n = 4 multi-turn coils, and the side 18 adjacent to each coil is the magnetic circuit 14.
The generated force F calculated by the equation (1) is obtained by being installed in the magnetic field of (1) and applying a current to the side (18).

【0034】1個のコイルに電流を流すと、電流の向き
は向かい合う辺で逆になる。したがって、コイルに流す
電流の向きは、1ヵ所の辺18では同一方向で、3ヵ所
の辺18同士では交互になるようにする。
When a current is applied to one coil, the directions of the currents are reversed on the opposite sides. Therefore, the direction of the current flowing through the coil is set to be the same in the side 18 at one location and alternate in the sides 18 at three locations.

【0035】すなわち、図4の矩形コイルの接続図に示
すように、4つのコイルを直列接続する場合には巻線方
向を隣合うコイルで逆にする(図4(a))、又はコイ
ルを並列接続して使用する(図4(b))、あるいはコ
イルを直並列混在して使用する(図4(c))、の3つ
のケースのいずれにおいても2つのコイルが隣合う辺1
8では同一方向にするように通電する。
That is, as shown in the rectangular coil connection diagram of FIG. 4, when four coils are connected in series, the winding directions are reversed between adjacent coils (FIG. 4 (a)), or In any of the three cases of connecting in parallel (FIG. 4 (b)) or using coils in series and parallel (FIG. 4 (c)), the side 1 where two coils are adjacent to each other 1
In 8, the electric current is applied so that the directions are the same.

【0036】磁気回路14は(n−1)=3磁気回路構
成となっており、矩形コイル15の辺18を流れる電流
の向きが交互になっているため、中央のマグネット19
と両端のマグネット20の極性は逆向きでヨーク21と
の間の磁界の向きは交互になっている。そして、移動辺
13に設けられた長穴にヨーク21が入り、磁界中に矩
形コイル15が挟まれるように磁気回路14を設置す
る。
The magnetic circuit 14 has a (n-1) = 3 magnetic circuit configuration, and since the directions of the currents flowing through the sides 18 of the rectangular coil 15 are alternated, the central magnet 19 is provided.
The polarities of the magnets 20 at both ends are opposite, and the directions of the magnetic fields with the yoke 21 are alternate. Then, the yoke 21 is inserted into the elongated hole provided on the moving side 13, and the magnetic circuit 14 is installed so that the rectangular coil 15 is sandwiched in the magnetic field.

【0037】本実施例では磁気回路14をマグネット1
9、20とヨーク21としたが、ヨーク21の代わりに
マグネットを用いても良い。実験によれば、磁気回路1
4をマグネットだけで構成したときの発生力は、ヨーク
21を使用したときの1.3倍得られている。
In this embodiment, the magnetic circuit 14 is replaced by the magnet 1.
Although 9 and 20 and the yoke 21 are used, a magnet may be used instead of the yoke 21. According to the experiment, the magnetic circuit 1
The generated force when 4 is composed of only a magnet is 1.3 times that when the yoke 21 is used.

【0038】(実施例2)図5は、2次元駆動装置1を
垂直に立てて使用する場合の駆動機構の構成他の実施例
であり、図中、磁気回路は省略してある。また、符号は
図1の要素に関しては同一番号を付した。
(Embodiment 2) FIG. 5 shows another embodiment of the structure of the drive mechanism when the two-dimensional drive device 1 is used in a vertically standing state, in which the magnetic circuit is omitted. The same reference numerals are given to the elements in FIG.

【0039】本実施例では、2次元駆動装置1は垂直に
立っており、第1の駆動機構4は筐体5に吊り下げら
れ、第2の駆動機構10は移動の方向17が重力方向2
3と一致している。このため、移動テーブル2、CCD
3、第2の移動辺13の自重により平行板ばね12はた
わみ、所定の位置にCCD3を維持できなくなる。 そ
こで、自重と等しい荷重を重力と反対の向きに与えるこ
とによって、重力の影響を相殺する。本実施例では、こ
のための手段としてバイアスばね24を第2の移動辺1
3と第1の移動辺7の間に挿入したものである。
In this embodiment, the two-dimensional driving device 1 is standing vertically, the first driving mechanism 4 is suspended in the housing 5, and the second driving mechanism 10 has a moving direction 17 in the direction of gravity 2.
It agrees with 3. Therefore, the moving table 2 and the CCD
3. The parallel leaf spring 12 bends due to the weight of the second moving side 13, and the CCD 3 cannot be maintained at a predetermined position. Therefore, the influence of gravity is offset by applying a load equal to its own weight in the direction opposite to gravity. In this embodiment, as a means for this, the bias spring 24 is provided on the second moving side 1.
It is inserted between 3 and the first moving side 7.

【0040】ここで、重力の影響を受ける要素の自重が
4gであった場合、ばね定数が1g/mmのバイアスば
ね24を用いれば4mm縮んだ状態でバランスすること
になる。したがって、バイアスばね24が4mm縮んだ
状態で、CCD3が所定の位置にあるように設計を行え
ば、重力の影響を排除できる。
Here, if the weight of the element that is affected by gravity is 4 g, the bias spring 24 having a spring constant of 1 g / mm will be used to balance the compressed 4 mm. Therefore, if the CCD 3 is designed to be in a predetermined position with the bias spring 24 contracted by 4 mm, the influence of gravity can be eliminated.

【0041】本実施例では、バイアスばね24を用いる
例で説明したが、平行板ばね12に上向きに応力曲げを
与えておき、無負荷では上に持ち上がっており、負荷が
乗った状態でCCD3が所定の位置にあるように設計を
行えば、バイアスばね24を用いた時と同様に重力の影
響を排除できる。
In this embodiment, the bias spring 24 is used as an example. However, the parallel leaf spring 12 is stress-bent upward and lifted up without load, and the CCD 3 is loaded under load. By designing to be in a predetermined position, the influence of gravity can be eliminated as in the case of using the bias spring 24.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上、実施例で説明したように本発明の
2次元駆動装置は、以下の利点を有する。 1)駆動機構の構成は平行板ばねで移動辺を支持するも
のであり、直交する2軸を2重に構成することで薄型の
2次元駆動装置が実現できる。 2)機構系による手振れ補正のため、画素数の減少を生
じず、さらに、CCDを直接駆動するため、光学系全体
を駆動する場合に比較して、駆動変位を小さくでき(±
500μm)、ビデオカメラの小型化が可能となる。 3)矩形コイルを少なくとも3個以上のn個用い、隣合
う(n−1)ヵ所の辺での電流方向を一致させ、この
(n−1)ヵ所の辺に磁気回路を構成し、電磁力により
発生する力の方向を一致させるため(n−1)個の磁気
回路が交互の磁束方向を持つようにしている。このこと
により、例えばn=4の矩形コイルの利用効率は従来の
1.5倍とすることができ、消費電力を低減することが
できた。 4)平行板ばねのばね定数を10g/mm以下とするこ
とで、小さい力でCCDを駆動することができる。ま
た、駆動軸と垂直の軸方向には平行板ばねが剛性を持っ
ているので、荷重を受けても変位が小さい。 5)駆動平面に対して摺動可能な接触型の支持手段を有
することによって、さらに駆動軸と垂直の軸方向への耐
荷重性を有することができ、安定した移動テーブル面の
姿勢を保持できる。 6)2次元駆動装置を垂直に立てて使用する場合、重力
を相殺するようにバイアスばねまたは平行板ばねの応力
曲げを付加することによって、重力の影響を受けずに駆
動を行うことができる。
As described above, the two-dimensional driving device of the present invention as described in the embodiments has the following advantages. 1) The structure of the drive mechanism is one in which the moving side is supported by parallel leaf springs, and a thin two-dimensional drive device can be realized by forming two orthogonal axes in double. 2) Since the number of pixels does not decrease due to camera shake correction by the mechanical system, and since the CCD is driven directly, the drive displacement can be made smaller (±) compared to the case where the entire optical system is driven.
The size of the video camera can be reduced. 3) At least three rectangular coils are used, and the current directions at the adjacent (n-1) sides are matched, and a magnetic circuit is formed at these (n-1) sides, and electromagnetic force is applied. The (n-1) magnetic circuits have alternating magnetic flux directions in order to match the directions of the forces generated by. As a result, for example, the utilization efficiency of the rectangular coil with n = 4 can be 1.5 times that of the conventional one, and the power consumption can be reduced. 4) By setting the spring constant of the parallel leaf spring to 10 g / mm or less, the CCD can be driven with a small force. Further, since the parallel leaf spring has rigidity in the axial direction perpendicular to the drive shaft, the displacement is small even when receiving a load. 5) By having the contact-type supporting means slidable with respect to the driving plane, the load bearing property in the axial direction perpendicular to the driving shaft can be further provided, and the stable posture of the moving table surface can be maintained. . 6) When the two-dimensional drive device is used vertically, it can be driven without being influenced by gravity by adding stress bending of the bias spring or the parallel leaf spring so as to cancel the gravity.

【0043】以上説明したように、本発明の2次元駆動
装置は多くの利点を持つものであり、実施例に示したビ
デオカメラの手振れ補正のみならず、小型の2次元駆動
装置としての数多くの応用ができるものである。
As described above, the two-dimensional driving device of the present invention has many advantages, and in addition to the camera-shake correction of the video camera shown in the embodiments, it has many advantages as a small two-dimensional driving device. It can be applied.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(a) 本発明の第1の実施例における2次元
駆動装置の3面図 (b) 同立体図
FIG. 1A is a three-dimensional view of a two-dimensional drive device according to a first embodiment of the present invention, and FIG.

【図2】本発明の第1の実施例における2次元駆動装置
の要部である第2の駆動機構の分解図
FIG. 2 is an exploded view of a second drive mechanism that is a main part of the two-dimensional drive device according to the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第1の実施例における2次元駆動装置
の要部である摺動可能な支持手段の3面図
FIG. 3 is a three-sided view of a slidable support means which is a main part of the two-dimensional drive device according to the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明本発明の第1の実施例における2次元駆
動装置の要部である矩形コイルの接続図
FIG. 4 is a connection diagram of a rectangular coil which is a main part of a two-dimensional driving device according to the first embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第2の実施例における2次元駆動装置
を垂直に立てて使用する場合の駆動機構の平面図
FIG. 5 is a plan view of a driving mechanism when the two-dimensional driving device according to the second embodiment of the present invention is used while standing vertically.

【図6】従来の機構系を用いた手振れ補正装置の透過斜
視図
FIG. 6 is a transparent perspective view of a conventional image stabilization apparatus using a mechanical system.

【図7】(a) 従来の光学ピックアップアクチュエー
タの斜視図 (b) 同分解斜視図
FIG. 7A is a perspective view of a conventional optical pickup actuator. FIG. 7B is an exploded perspective view of the same.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 2次元駆動装置 2 移動テーブル 3 CCD 4 第1の駆動機構 5 筐体 6 第1の平行板ばね 7 第1の移動辺 8 第1の磁気回路 9 第1の矩形コイル 10 第2の駆動機構 11 固定辺 12 第2の平行板ばね 13 第2の移動辺 14 第2の磁気回路 15 第2の矩形コイル 16 第1の駆動機構の移動軸 17 移動方向 18 辺 19 中央のマグネット 20 両端のマグネット 21 ヨーク 22 小球 23 重力方向 24 バイアスばね 25 ビデオカメラの本体 26 光軸 27 ヨーイング(左右のカメラぶれ) 28 ピッチング(上下のカメラぶれ) 29 加速度センサ(1) 30 加速度センサ(2) 31 光学系 32 ジンバル機構 33 アクチュエータ(1) 34 アクチュエータ(2) 35 検出信号 36 サーボ回路 37 光学ピックアップアクチュエータ 38 対物レンズ 39 コイル 40 コイル 41 可動部 42 リンク 43 磁気回路 44 固定部 45 回動センタ 46 トラッキング 47 フォーカス DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Two-dimensional drive device 2 Moving table 3 CCD 4 1st drive mechanism 5 Housing 6 1st parallel leaf spring 7 1st moving side 8 1st magnetic circuit 9 1st rectangular coil 10 2nd drive mechanism 11 fixed side 12 second parallel leaf spring 13 second moving side 14 second magnetic circuit 15 second rectangular coil 16 moving axis of first drive mechanism 17 moving direction 18 side 19 central magnet 20 magnets at both ends 21 yoke 22 small ball 23 gravity direction 24 bias spring 25 video camera body 26 optical axis 27 yawing (left and right camera shake) 28 pitching (upper and lower camera shake) 29 acceleration sensor (1) 30 acceleration sensor (2) 31 optical system 32 gimbal mechanism 33 actuator (1) 34 actuator (2) 35 detection signal 36 servo circuit 37 optical pick-up Actuator 38 Objective lens 39 Coil 40 Coil 41 Movable part 42 Link 43 Magnetic circuit 44 Fixed part 45 Rotation center 46 Tracking 47 Focus

フロントページの続き (72)発明者 中村 邦彦 神奈川県川崎市多摩区東三田3丁目10番1 号 松下技研株式会社内 (72)発明者 河内 義和 神奈川県川崎市多摩区東三田3丁目10番1 号 松下技研株式会社内Front page continued (72) Inventor Kunihiko Nakamura 3-10-1 Higashisanda, Tama-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Matsushita Giken Co., Ltd. No. Matsushita Giken Co., Ltd.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 固定された筐体に第1の平行板ばねで支
持された第1の移動片と第1の矩形状コイルと、前記第
1の矩形状コイルを挟むように構成した前記筐体に固定
された第1の磁気回路から成る第1の駆動機構と、固定
片に第2の平行板ばねで支持された第2の移動片と第2
の矩形状コイルと、前記第2の矩形状コイルを挟むよう
に構成した前記第2の磁気回路から成る第2の駆動機構
とを具備し、前記第2の駆動機構の固定片と前記第2の
磁気回路は前記第1の移動片に搭載し、前記第1の駆動
機構と前記第2の駆動機構の移動軸を直角に配置するこ
とにより前記第2の移動片に取り付けられた対象物を2
次元に駆動する2次元駆動装置。
1. A first moving piece supported by a first parallel leaf spring in a fixed housing, a first rectangular coil, and the housing configured to sandwich the first rectangular coil. A first drive mechanism which is fixed to the body and which comprises a first magnetic circuit; a second moving piece which is supported by a second parallel leaf spring on the fixed piece;
And a second drive mechanism composed of the second magnetic circuit configured to sandwich the second rectangular coil, and a fixed piece of the second drive mechanism and the second drive mechanism. Is mounted on the first moving piece, and by arranging the moving axes of the first driving mechanism and the second driving mechanism at a right angle, the object attached to the second moving piece is moved. Two
A two-dimensional drive device that drives in two dimensions.
【請求項2】 第1および第2の矩形状コイルが少なく
とも3個以上のn個の多重巻コイルから成り、n個のコ
イルの隣合うコイルの辺での電流方向を一致させ、前記
コイル辺の隣合う(n−1)ヵ所で磁束を直交し、発生
する力の方向が一致するように、第1および第2の磁気
回路を、磁気回路の磁束の方向が隣合う側の磁束方向と
逆にした(n−1)磁気回路構成としたことを特徴とす
る請求項1記載の2次元駆動装置。
2. The first and second rectangular coils are composed of at least three or more n multi-winding coils, the current directions of adjacent coils of the n coils are made to coincide with each other, and the coil sides are The magnetic fluxes are orthogonal to each other at (n-1) points adjacent to each other, and the first and second magnetic circuits are aligned with the magnetic flux directions on the side where the magnetic flux directions of the magnetic circuits are adjacent to each other. The two-dimensional driving device according to claim 1, wherein the magnetic circuit has an inverted (n-1) magnetic circuit configuration.
【請求項3】 第1および第2の平行板ばねは、0.1
mm以下の薄い金属片で幅を略3〜4mmとし、移動片
が平行板ばねの板厚方向には略10g/mm以下のばね
定数で変位、平行板ばねの幅方向(2次元駆動平面に垂
直)へは剛性を有したことを特徴とする請求項1記載の
2次元駆動装置。
3. The first and second parallel leaf springs are 0.1
The width of the thin metal piece is 3 mm to 4 mm, and the moving piece is displaced in the plate thickness direction of the parallel leaf spring with a spring constant of 10 g / mm or less. The two-dimensional drive device according to claim 1, wherein the two-dimensional drive device has rigidity in a vertical direction.
【請求項4】 2次元駆動平面に垂直な荷重を受ける場
合、対象物が荷重による移動面に対する垂直の変位を生
じさせないために摺動可能な接触型の支持手段を有する
ことを特徴とする請求項1記載の2次元駆動装置。
4. When a load perpendicular to a two-dimensional drive plane is applied, the object has a contact type support means that is slidable so as not to cause a vertical displacement of the object with respect to the moving surface. Item 2. A two-dimensional drive device according to item 1.
【請求項5】 2次元駆動平面を垂直として使用する場
合において、垂直に移動する移動辺に対して対象物の自
重に等しい荷重を、平行板ばねの応力曲げまたはバイア
スばねを用いて重力と反対向きに働かせたことを特徴と
する請求項1記載の2次元駆動装置。
5. When a two-dimensional drive plane is used as a vertical, a load equal to the weight of the object with respect to a moving side moving vertically is opposed to gravity using a stress bending of a parallel leaf spring or a bias spring. The two-dimensional drive device according to claim 1, wherein the two-dimensional drive device is operated in the direction.
【請求項6】 第2の移動片に取り付けられた対象物を
ビデオカメラの撮像素子とし、手振れによる画像の振れ
を補正するために前記撮像素子を直接2次元駆動するこ
とを特徴とする請求項5記載の2次元駆動装置。
6. The object mounted on the second moving piece is used as an image pickup device of a video camera, and the image pickup device is directly driven two-dimensionally in order to correct image shake due to camera shake. The two-dimensional drive device according to item 5.
【請求項7】 第2の移動片に取り付けられた対象物を
ビデオカメラの撮像素子とし、手振れによる画像の振れ
を補正するために前記撮像素子を直接2次元駆動するこ
とを特徴とする請求項1記載の2次元駆動装置。
7. The object attached to the second moving piece is used as an image pickup device of a video camera, and the image pickup device is directly driven two-dimensionally in order to correct image shake due to camera shake. The two-dimensional drive device according to 1.
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