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JPH0644151B2 - Pattern forming method for dyeable resin film - Google Patents

Pattern forming method for dyeable resin film

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Publication number
JPH0644151B2
JPH0644151B2 JP24532086A JP24532086A JPH0644151B2 JP H0644151 B2 JPH0644151 B2 JP H0644151B2 JP 24532086 A JP24532086 A JP 24532086A JP 24532086 A JP24532086 A JP 24532086A JP H0644151 B2 JPH0644151 B2 JP H0644151B2
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JP
Japan
Prior art keywords
dyeable
monomer
photosensitive resin
parts
film
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP24532086A
Other languages
Japanese (ja)
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JPS63100443A (en
Inventor
松男 橋本
信之 二村
澄雄 依田
由文 斉木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Kayaku Co Ltd
Original Assignee
Nippon Kayaku Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Nippon Kayaku Co Ltd filed Critical Nippon Kayaku Co Ltd
Priority to JP24532086A priority Critical patent/JPH0644151B2/en
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Publication of JPH0644151B2 publication Critical patent/JPH0644151B2/en
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Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/30Imagewise removal using liquid means
    • G03F7/32Liquid compositions therefor, e.g. developers

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Coloring (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はガラス等の透明な基材を染料によりストライプ
又はモザイク状又はその他の形状に染色する為の可染性
樹脂膜のパターン形成法に関するものである。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a patterning method of a dyeable resin film for dyeing a transparent substrate such as glass into a stripe, mosaic or other shape with a dye. It is a thing.

近年ガラス等の透明基材をストライプ又はモザイク状等
に着色したものが色分解用フイルターとして液晶カラー
TV又はカラーTV用カメラのカラー化の為に増々需要
が増大しつつある。本発明はかかる需要等を満たす為に
なされたガラス等の透明基材にストライプ又はモザイク
状等に又はその他の形状に染色する為の可染性樹脂膜の
パターン形成法に関するものである。
In recent years, a transparent base material such as glass colored in a stripe or mosaic shape has been increasingly used as a color separation filter for colorizing a liquid crystal color TV or a camera for a color TV. The present invention relates to a method for forming a pattern of a dyeable resin film for dyeing a transparent base material such as glass in a stripe shape, a mosaic shape or the like, or in another shape, in order to meet such demands.

(従来の技術) 従来この分野に於いては可染性感光性樹脂組成物が用い
られているが、これら可染性感光性樹脂の用いられた方
は先ず適当な濃度に希釈した溶液をガラス板等に塗布
し、次にマスクを介して露光したのち現像してストライ
プ又はモザイク状の可染性樹脂膜を形成させ、これを所
定の分光特性を有する染料により染色する等の操作を繰
返すことにより色分解用フイルターを作成しているが、
この樹脂膜の現像時に於いては20〜70℃の中性〜酸
性水溶液を使用して現像を行っている。
(Prior Art) Conventionally, dyeable photosensitive resin compositions have been used in this field, but those who use these dyeable photosensitive resins should first dilute a solution to an appropriate concentration. Repeat operations such as applying to a plate, etc., then exposing through a mask and then developing to form a stripe or mosaic dyeable resin film, which is dyed with a dye having a predetermined spectral characteristic. I have created a filter for color separation by
In developing the resin film, a neutral to acidic aqueous solution at 20 to 70 ° C. is used.

(発明が解決しようとする問題点) 前述のように可染性感光性樹脂組成物をガラス板等に塗
布しマスクを介して露光したのち20〜70℃の水を使
用して現像を行うと現像時間が長かったり、一度現像に
より脱落した可染性感光性樹脂組成物の粕状物がガラス
板等に再付着する為に不良品が発生し易いとか、又酸性
溶液で現像を行うと、現像時間は短縮出来るが露光部皮
膜の膜荒れが生じるとかの問題があり、工程の合理化、
収率の点で更に改善が望まれていた。
(Problems to be Solved by the Invention) As described above, when the dyeable photosensitive resin composition is applied to a glass plate or the like, exposed through a mask, and then developed using water at 20 to 70 ° C. If the development time is long, or because the cake-like material of the dyeable photosensitive resin composition once dropped by development is reattached to a glass plate or the like, defective products are likely to occur, or if development is performed with an acidic solution, The development time can be shortened, but there is a problem that the exposed part of the film will be rough, so the process is rationalized,
Further improvements have been desired in terms of yield.

(問題点を解決する為の手段) 本発明者等はこれらの問題点を解決すべく検討を行った
結果、可染性感光性樹脂液をガラス板等に塗布しマスク
を介して露光したのち非イオン界面界面活性剤を含有す
る水溶液を用いて現像を行うことにより目的を達成する
ことがわかり本発明を完成するに至った。
(Means for Solving Problems) As a result of investigations by the present inventors to solve these problems, the dyeable photosensitive resin liquid was applied to a glass plate or the like and exposed through a mask. It has been found that the object can be achieved by developing using an aqueous solution containing a nonionic surfactant, and the present invention has been completed.

即ち、本発明は、 a)可染性モノマー(A) 10〜80重量% b)可染性モノマー(A)以外の親水性モノマー(B) 2〜60重量% c)疎水性モノマー(C) 5〜50重量% からなる混合物を共重合して得られた共重合体(D)を構
成成分とする可染性感光性樹脂組成物を用いてガラス板
等の基材表面に皮膜を設け、マスクを用いて露光し、現
像液にて現像する際に、現像液として非イオン界面活性
剤を含有する水溶液を用いることを特徴とする可染性樹
脂膜のパターン形成法に関する。
That is, the present invention comprises: a) a dyeable monomer (A) 10 to 80% by weight b) a hydrophilic monomer (B) other than the dyeable monomer (A) 2 to 60% by weight c) a hydrophobic monomer (C) A dyeable photosensitive resin composition comprising a copolymer (D) obtained by copolymerizing a mixture of 5 to 50% by weight is used to form a film on the surface of a substrate such as a glass plate, The present invention relates to a method for forming a pattern of a dyeable resin film, which is characterized in that an aqueous solution containing a nonionic surfactant is used as a developing solution when exposed using a mask and developing with a developing solution.

本発明の非イオン界面活性剤含有水溶液を用いると現像
時間が無添加の場合に比して短縮出来る上に現像により
脱落した未露光部の樹脂の再付着も減少し、工程の合理
化と品質の向上及び収率の向上に役立つ。この場合非イ
オン界面活性剤は未露光部への水の濡れと浸透促進剤、
脱落樹脂の再付着防止剤として作用し、短時間に現像を
可能にするものと推定される。
When the nonionic surfactant-containing aqueous solution of the present invention is used, the development time can be shortened as compared with the case where no addition is made, and the re-adhesion of the resin in the unexposed portion which has fallen off due to the development is also reduced, and the process is rationalized and the quality is improved. It helps to improve the yield and yield. In this case, the nonionic surfactant is a wetting and penetration promoter for water in the unexposed area,
It is presumed that it acts as an anti-redeposition agent for the dropped resin and enables development in a short time.

界面活性剤の中でもアニオン界面活性剤は可染性感光性
樹脂とイオン的に結合する為に、現像液にアニオン界面
活性剤を添加することにより現像性が悪くなる。又、カ
チオン界面活性剤を用いると現像時間の短縮及び未露光
樹脂組成物の再付着がなくなるが、これを染料で染色し
た場合、染色された露光部の透明性が失われ商品価値が
なくなってしまうので不適当であった。
Among the surfactants, the anionic surfactant is ionically bound to the dyeable photosensitive resin, so that the addition of the anionic surfactant to the developer deteriorates the developability. Further, when a cationic surfactant is used, the development time is shortened and the redeposition of the unexposed resin composition is eliminated, but when this is dyed with a dye, the transparency of the dyed exposed part is lost and the commercial value is lost. It was unsuitable because it would end up.

本発明で用いられる非イオン界面活性剤としてはポリオ
キシエチレンアルキルエーテル及びポリオキシエチレン
アルキルフエノールエーテル系、ソルビタン脂肪酸エス
テル系、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル
系、ポリオキシエチレンアシルエステル系、オキシエチ
レンオキシプロピレンブロックポリマー、脂肪酸モノグ
リセライド、等が挙げられる。これらは1種又は2種以
上の混合系でも良い。これら非イオン界面活性剤の使用
量は水1000部に対して0.1〜50部が好ましく、特
に0.5〜10部が好ましい。又現像温度は15〜80℃
が好ましい。
Examples of the nonionic surfactant used in the present invention include polyoxyethylene alkyl ether and polyoxyethylene alkylphenol ether-based, sorbitan fatty acid ester-based, polyoxyethylene sorbitan fatty acid ester-based, polyoxyethylene acyl ester-based, oxyethyleneoxypropylene. Block polymers, fatty acid monoglycerides, etc. may be mentioned. These may be one type or a mixed system of two or more types. The amount of these nonionic surfactants used is preferably 0.1 to 50 parts, and particularly preferably 0.5 to 10 parts, per 1000 parts of water. The developing temperature is 15-80 ° C.
Is preferred.

本発明で用いられる可染性感光性樹脂組成物としては例
えば次のようなものが挙げられる。
Examples of the dyeable photosensitive resin composition used in the present invention include the following.

即ち、可染性モノマー(A)、親水性モノマー(B)、疎水性
モノマー(C)より成る共重合体(D)又はこれに感光剤、例
えば4,4′−ジアジドカルコン、2,6−ビス(4′
−アジドベンザル)シクロヘキサノン、2,6−ビス
(4′−アジドベンザル)シクロヘキサノン、2,6−
ビス(4′−アジドベンザル)4−メチルシクロヘキサ
ノン、1,3−ビス(4′−アジドベンザル)−2−プ
ロパノン等を組合せて可染性感光性樹脂組成物としたも
の、又はこの共重合体(D)に感光性基例えばシンナモイ
ル基、アジド基、アクリル基、スチリルピリジニウム塩
構造又はスチリルキノリウム塩構造等を有する化合物を
反応させて可染性感光性樹脂組成物としたもの等があ
る。可染性モノマー(A)、親水性モノマー(B)、疎水性モ
ノマー(C)よりなる共重合体(D)それ自体を可染性感光性
樹脂組成物として用いる場合、モノマーとしてシンナモ
イル基、アジド基、アクリル基、スチリルピエリジニウ
ム塩構造又はスチリルキノリウム塩構造等を有するモノ
マーを共重合させて得た可染性感光性樹脂組成物が好ま
しい。
That is, a copolymer (D) comprising a dyeable monomer (A), a hydrophilic monomer (B) and a hydrophobic monomer (C) or a sensitizer such as 4,4'-diazidochalcone, 2,6 -Bis (4 '
-Azidobenzal) cyclohexanone, 2,6-bis (4'-azidobenzal) cyclohexanone, 2,6-
A dyeable photosensitive resin composition obtained by combining bis (4'-azidobenzal) 4-methylcyclohexanone, 1,3-bis (4'-azidobenzal) -2-propanone, or a copolymer thereof (D ) Is reacted with a compound having a photosensitive group such as a cinnamoyl group, an azido group, an acrylic group, a styrylpyridinium salt structure or a styrylquinolium salt structure to give a dyeable photosensitive resin composition. When the dyeable monomer (A), the hydrophilic monomer (B), and the copolymer (D) itself composed of the hydrophobic monomer (C) are used as the dyeable photosensitive resin composition, a cinnamoyl group and an azide are used as the monomer. A dyeable photosensitive resin composition obtained by copolymerizing a monomer having a group, an acrylic group, a styrylpieridinium salt structure, a styrylquinolium salt structure, or the like is preferable.

本発明で用いられる可染性モノマー(A)としては例えば
次のものが挙げられる。
Examples of the dyeable monomer (A) used in the present invention include the following.

(N,N−ジメチルアミノ)エチルアクリレート(N,
N−ジメチルアミノ)エチルメタクリレート、(N,N
−ジエチルアミノ)エチルアクリレート、(N,N−ジ
エチルアミノ)エチルメタクリレート、(N,N−ジメ
チルアミノ)プロピルアクリルアミド、(N,N−ジメ
チルアミノ)プロピルメタクリルアミド、(N,N−ジ
メチルアミノ)エチルビニルエーテル、(N,N−ジメ
チルアミノ)プロピルアクリレート、(N,N−ジメチ
ルアミノ)プロピルメタクリレート、4−ビニルピリジ
ン、ジアリルアミン、2−ヒドロキシ−3−メタクリロ
イルオキシプロピル、トリメチルアンモニウムクロライ
ド、メタクリロイルオキシエチルトリメチルアンモニウ
ムクロライド。又本発明で用いられる親水性モノマー
(B)としては次のものが挙げられる。
(N, N-dimethylamino) ethyl acrylate (N,
N-dimethylamino) ethyl methacrylate, (N, N
-Diethylamino) ethyl acrylate, (N, N-diethylamino) ethyl methacrylate, (N, N-dimethylamino) propylacrylamide, (N, N-dimethylamino) propylmethacrylamide, (N, N-dimethylamino) ethyl vinyl ether, (N, N-dimethylamino) propyl acrylate, (N, N-dimethylamino) propyl methacrylate, 4-vinylpyridine, diallylamine, 2-hydroxy-3-methacryloyloxypropyl, trimethylammonium chloride, methacryloyloxyethyltrimethylammonium chloride. The hydrophilic monomer used in the present invention
Examples of (B) include the following.

ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタ
クリレート、アクリルアミド、メタクリルアミド、ビニ
ルピロリドン、N,N−ジメチルアクリルアミド。
Hydroxyethyl acrylate, hydroxyethyl methacrylate, acrylamide, methacrylamide, vinylpyrrolidone, N, N-dimethylacrylamide.

又本発明で用いられる疎水性モノマー(C)としてはメチ
ルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリ
レート、スチレン、p−メチルスチレン、ブチルアクリ
レート、ブチルメタクリレート等が挙げられる。
Examples of the hydrophobic monomer (C) used in the present invention include methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, styrene, p-methylstyrene, butyl acrylate and butyl methacrylate.

本発明で使用する共重合(D)は可染性モノマー(A)10〜80
重量%、親水性モノマー(B)2〜60重量%、疎水性モノ
マー(C)5〜50重量%からなる混合物を従来技術により
重合することによってえられる。
The copolymer (D) used in the present invention is a dyeable monomer (A) 10 to 80.
It can be obtained by polymerizing a mixture consisting of 2% to 60% by weight of hydrophilic monomer (B) and 5 to 50% by weight of hydrophobic monomer (C) by conventional techniques.

又本発明で用いられる可染性感光性樹脂組成物はガラス
板等に塗布し易くする為に有機溶剤に希釈されて用いら
れる。有機溶剤としては例えばメチルセロソルブ、エチ
ルセロソルブ、エチレングリコールモノエチルエーテル
アセテート、ジグライム、メチルイソブチルケトン、ト
ルエン、キシレン等が挙げられる。
The dyeable photosensitive resin composition used in the present invention is used by diluting it with an organic solvent so that it can be easily applied to a glass plate or the like. Examples of the organic solvent include methyl cellosolve, ethyl cellosolve, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diglyme, methyl isobutyl ketone, toluene and xylene.

この可染性感光性樹脂組成物を塗布したガラス等の基材
はマスクを介して紫外線等により露光される。未露光部
は非イオン界面活性剤を含有する水溶液により現像され
る。
The substrate such as glass coated with the dyeable photosensitive resin composition is exposed to ultraviolet rays or the like through a mask. The unexposed area is developed with an aqueous solution containing a nonionic surfactant.

このように現像された樹脂の膜厚は例えば0.2〜10μ
の任意の厚さに膜を作成出来る。現像された所定のパタ
ーンを有するガラス、プラスチック等の基材はアニオン
染料により染色される。
The film thickness of the resin thus developed is, for example, 0.2 to 10 μm.
It is possible to create a film of any thickness. The developed base material such as glass or plastic having a predetermined pattern is dyed with an anionic dye.

アニオン性染料としてはカラーインデックス(Society
of Dyers and Colourlsts発行)にC.I Acidとして記載
されている酸性染料、同じくC.I Directとして記載され
ている直接染料及び同じくC.I Reactiveとして記載され
ている反応性染料等が挙げられるが、特に酸性染料が好
ましい。
Color Index (Society
Acid dyes described as CI Acid in Dyers and Colorlsts), direct dyes also described as CI Direct and reactive dyes also described as CI Reactive, etc., but particularly acid dyes are preferable. .

(実施例) 実施例1. ジメチルアミノプロピルアクリルアミド 30部 2−ヒドロキシエチルメタクリレート 15部 ビニルピロリドン 14〃 メチルエタクリレート 30〃 ジメチルアミノアクリルアミド 9〃 より成る共重合体16部に4,4′−ジアジドカルコン
0.65部、エチルセロソルブ84部を混合溶解させた溶液
を可染性感光性樹脂液とした。
(Example) Example 1. Dimethylaminopropyl acrylamide 30 parts 2-Hydroxyethyl methacrylate 15 parts Vinylpyrrolidone 14 〃 Methyl ethacrylate 30 〃 Dimethylaminoacrylamide 9 〃 Copolymer 16 parts to 4,4'-diazide chalcone
A solution in which 0.65 parts and 84 parts of ethyl cellosolve were mixed and dissolved was used as a dyeable photosensitive resin liquid.

次にガラス基板にシランカップリング剤KBM503
(信越化学工業(株))10%エタノール溶液を塗布し
風乾後110℃、5分間加熱乾燥したものを塗布用基材
とした。
Next, the silane coupling agent KBM503 is applied to the glass substrate.
(Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) A 10% ethanol solution was applied, air-dried, and then dried by heating at 110 ° C. for 5 minutes to obtain a coating substrate.

この塗布用基材表面にロールコーター法により前記可染
性感光性樹脂液を塗布し、これを100℃、30分乾燥
後、所定のパターンを有するマスクを介して面照度8mW
/cm2のUV照射を15秒間行い、エマルゲン913
(花王石鹸(株)製、ポリオキシエチレンノニルフェノ
ールエーテル型非イオン界面活性剤)を水1000部に
対して2部、含有する60℃の現像液にて攪拌下、5分
間現像を行うと照射部のみ可染膜を有するガラス基板が
得られた。この可染性膜は0.7μの膜厚であった。
The dyeable photosensitive resin liquid is applied to the surface of the coating substrate by the roll coater method, dried at 100 ° C. for 30 minutes, and then the surface illuminance is 8 mW through a mask having a predetermined pattern.
UV irradiation of / cm 2 for 15 seconds, and then Emulgen 913
(Polyoxyethylene nonylphenol ether type nonionic surfactant manufactured by Kao Soap Co., Ltd.) 2 parts with respect to 1000 parts of water is developed with stirring at a developing solution of 60 ° C. for 5 minutes to develop an irradiated part. A glass substrate having a dyeable film was obtained. This dyeable film had a film thickness of 0.7μ.

このガラス基板を150℃、30分間乾燥後、レッド2
1P(日本化薬(株)製、カラーフイルター用色素)を
0.2%となるように水に溶解させ、60℃、10分間染
色を行うと濃厚赤色のパターンに染色されたガラス板が
得られた。このガラス板は未露光部への現像による脱落
樹脂の再付着も極めて少く画像は極めて鮮明であった。
After drying this glass substrate at 150 ° C for 30 minutes, red 2
1P (Nippon Kayaku Co., Ltd., color filter dye)
When it was dissolved in water to a concentration of 0.2% and dyed at 60 ° C. for 10 minutes, a glass plate dyed in a deep red pattern was obtained. The glass plate had very little reattachment of the resin dropped to the unexposed area due to development, and the image was extremely clear.

参考例1 実施例1に於いてエマルゲン913を含まない60℃の
現像液を用いて同様の操作を行った所、未露光部ガラス
板への脱落樹脂の再付着は実施例1に比して多く、実施
例1と同様の鮮明な画像を得るに要する現像時間は13
分を要した。この場合でも未露光部ガラス板への脱落樹
脂の再付着の防止は不充分であった。
Reference Example 1 The same operation as in Example 1 was carried out using a developing solution at 60 ° C. containing no emulgen 913. In many cases, the development time required to obtain a clear image similar to that in Example 1 was 13
It took a minute. Even in this case, prevention of reattachment of the dropped resin to the unexposed glass plate was insufficient.

実施例2. 実施例1に於いてエマルゲン913の代りにエマルゲン
930(花王石鹸(株)製、ポリオキシエチレンノニル
フェノールエーテル型非イオン界面活性剤)を水100
0部に対して1.8部含有する現像液を用いて実施例1と
同様の操作を行った所、実施例1と同様の結果が得られ
た。
Example 2. In Example 1, instead of Emulgen 913, Emulgen 930 (manufactured by Kao Soap Co., Ltd., polyoxyethylene nonylphenol ether type nonionic surfactant) was added to water 100.
When the same operation as in Example 1 was carried out using a developing solution containing 1.8 parts per 0 part, the same results as in Example 1 were obtained.

実施例3 ジメチルアミノプロピルアクリルアミド 32部 2−ヒドロキシエチルメタクリレート 12〃 ビニルピロリドン 16〃 ジメチルアミノアクリルアミド 11〃 ブチルアクリレート 11〃 メチルメタクリレート 14〃 より成る共重合体17部に2,6−ビス(4′アジドベ
ンザル)4−メチルシクロヘキサノン0.78部、エチルセ
ロソルブ83部を混合溶解させた溶液を可染性感光性樹
脂液とした。
Example 3 Dimethylaminopropylacrylamide 32 parts 2-Hydroxyethylmethacrylate 12〃 Vinylpyrrolidone 16〃 Dimethylaminoacrylamide 11〃 Butylacrylate 11〃 Methylmethacrylate 14〃 Copolymer containing 17 parts and 2,6-bis (4'azidobenzal) ) A solution in which 0.78 parts of 4-methylcyclohexanone and 83 parts of ethyl cellosolve were mixed and dissolved was used as a dyeable photosensitive resin liquid.

この可染性感光性樹脂液を実施例1と同様の操作により
ガラス板に塗布、乾燥、パターンを有するマスクを介し
てのUV照射を行った。
This dyeable photosensitive resin liquid was applied to a glass plate by the same operation as in Example 1, dried, and UV-irradiated through a mask having a pattern.

次にエマルゲン430(花王石鹸(株)製、ポリオキシ
エチレンオレイルエーテル)を水1000部に対して2.
5部含有する58℃の現像液にて8分間現像を行うと照
射部のみ可染膜を有するガラス基板が得られた。この可
染性膜の膜厚は0.8μであった。このガラス基板を15
0℃、30分間乾燥後、グリーン1P(日本化薬(株)
製、カラーフイルター用色素)を0.1%となるように水
に溶解させ、62℃、12分間染色を行うと濃厚緑色の
パターンに染色されたガラス板が得られた。このガラス
板は未露光部への現像による脱落樹脂の再付着もなく、
画像は極めて鮮明であった。
Next, Emulgen 430 (polyoxyethylene oleyl ether, manufactured by Kao Soap Co., Ltd.) was added to 1000 parts of water for 2.
When development was carried out for 8 minutes with a developer containing 5 parts of 58 ° C., a glass substrate having a dyeable film only on the irradiated part was obtained. The film thickness of this dyeable film was 0.8 μm. This glass substrate 15
After drying at 0 ° C for 30 minutes, Green 1P (Nippon Kayaku Co., Ltd.)
(Manufactured by Color Filter Co., Ltd.) was dissolved in water to 0.1%, and dyeing was carried out at 62 ° C. for 12 minutes to obtain a glass plate dyed in a dark green pattern. This glass plate has no redeposition of resin that has fallen off due to development on the unexposed area,
The image was extremely sharp.

参考例2. 実施例3に於いてエマルゲン430を含まない58℃の
現像液を用いて同様の操作を行った所、未露光部ガラス
板への脱落樹脂の再付着は実施例3に比して多く、又実
施例3と同様の鮮明な画像を得るに要する現像時間は1
5分を要した。この場合でも未露光部ガラス板への脱落
樹脂の再付着の防止は不充分であった。
Reference example 2. When the same operation was carried out in Example 3 using a developer at 58 ° C. containing no Emulgen 430, the re-adhesion of the dropped resin to the unexposed glass plate was higher than that in Example 3, and The developing time required to obtain a clear image similar to that in Example 3 is 1
It took 5 minutes. Even in this case, prevention of reattachment of the dropped resin to the unexposed glass plate was insufficient.

実施例4. 実施例3に於いてエマルゲン430の代りにエマルゲン
913を水1000部に対して2.3部含有する現像液を
用いて実施例3と同様の操作を行った所、実施例3と同
様の結果が得られた。
Example 4. The same operation as in Example 3 was carried out by using the developing solution containing 2.3 parts of Emulgen 913 in place of Emulgen 430 in 1000 parts of water, and the same result as in Example 3 was obtained. Was given.

(発明の効果) 本発明は可染性感光性樹脂膜の現像に非イオン界面活性
剤含有水溶液を使用するので現像時間が短縮出来るから
工程の合理化に役立つ。更に又未露光部への脱落樹脂の
再付着が防止出来るからより高品質のものが得られると
共に収率の向上に役立つ。従って本法は色分解用フイル
ターの品質向上が計れる上に工程の合理化によるコスト
ダウンに役立つ。
(Effects of the Invention) The present invention uses a nonionic surfactant-containing aqueous solution for the development of a dyeable photosensitive resin film, so that the development time can be shortened, which is useful for streamlining the process. Furthermore, since redeposited resin can be prevented from adhering to the unexposed area, higher quality can be obtained and the yield can be improved. Therefore, this method can improve the quality of the color separation filter and also contribute to cost reduction by streamlining the process.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭50−26601(JP,A) 特開 昭60−79349(JP,A) 特開 昭56−11906(JP,A) 特開 昭60−129742(JP,A) 特開 昭60−129743(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A-50-26601 (JP, A) JP-A-60-79349 (JP, A) JP-A-56-11906 (JP, A) JP-A-60- 129742 (JP, A) JP-A-60-129743 (JP, A)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】a)可染性モノマー(A) 10〜80重
量% b)可染性モノマー(A)以外の親水性モノマー(B) 2〜60重量% c)疎水性モノマー(C) 5〜50重量% からなる混合物を共重合して得られた共重合体(D)を構
成成分とする可染性感光性樹脂組成物を用いて基材表面
に皮膜を設けマスクを用いて露光し、現像液にて現像す
る際に、現像液として非イオン界面活性剤を含有する水
溶液を用いることを特徴とする可染性樹脂膜のパターン
形成法。
1. A) dyeable monomer (A) 10 to 80% by weight b) hydrophilic monomer (B) other than dyeable monomer (A) 2 to 60% by weight c) hydrophobic monomer (C) 5 ~ 50% by weight of a mixture, a dyeable photosensitive resin composition containing the copolymer (D) obtained as a constituent component is coated to form a film on the surface of the substrate and exposed using a mask. A method for forming a pattern of a dyeable resin film, wherein an aqueous solution containing a nonionic surfactant is used as a developing solution when developing with a developing solution.
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