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JPH0628223Y2 - 回転塗布装置 - Google Patents

回転塗布装置

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Publication number
JPH0628223Y2
JPH0628223Y2 JP1989070199U JP7019989U JPH0628223Y2 JP H0628223 Y2 JPH0628223 Y2 JP H0628223Y2 JP 1989070199 U JP1989070199 U JP 1989070199U JP 7019989 U JP7019989 U JP 7019989U JP H0628223 Y2 JPH0628223 Y2 JP H0628223Y2
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JP
Japan
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cup
cleaning
cleaning liquid
rectifying
peripheral wall
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JP1989070199U
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JPH037978U (ja
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憲司 杉本
充宏 藤田
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この考案は、半導体基板、セラミック基板、ガラス基板
等（以下、単に基板という）を、スピンチャックで保持
して回転させながら、基板の表面にフォトレジストや現
像液等の液剤を塗布する回転塗布装置に関し、殊に、飛
散防止カップの周壁内面や整流傾斜板等に付着する液剤
を効率よく洗浄するようにした装置に関するものであ
る。
〈従来の技術〉 この種の装置は一般に「スピンナ」と呼ばれ、周知のよ
うにフォトレジスト塗布工程、現像処理工程、エッチン
グ処理工程等で用いられる。そして、これらの工程では
液剤の回転塗布に際し、当該液剤が飛散防止カップの周
壁内面や、整流傾斜板等に付着し、それが乾燥して固化
した場合、回転時の振動等により、微粉末状の塵埃とな
って飛散し、被処理基板の表面に付着して、不良品の生
ずる要因となる。この不都合に対処するものとして、従
来より例えば実開昭５８−４０２７５号公報に開示され
たものが知られている。
それは第３図に示すように、飛散防止カップ１０１の周
壁１０３の上部内側に、周壁１０３の内周面を洗浄する
環状の内周面洗浄導管１０４を設け、周壁１０３の内面
に沿って洗浄液を流化させるように構成し、飛散防止カ
ップ１０１内中央部に設けたスピンチャック１１０の下
側に当該カップ１０１の底壁をなす傾斜板１０７を設
け、傾斜板１０７の上面中央部に傾斜面を洗浄する環状
の傾斜面洗浄導管１１７を設け、傾斜面１１６に沿って
洗浄液を流下させるように構成したものである。なお、
同図中、符号１１８・１１９は排気、排液用ドレンであ
る。
〈考案が解決しようとする課題〉 上記従来例のものは、飛散防止カップ１０１の周壁１０
３の内面や傾斜面１１６に付着する液剤を洗浄すること
ができるものの、上記内周面洗浄導管１０４及び傾斜面
洗浄導管１１７を飛散防止カップ１０１内の液剤飛散側
に臨ませて配設してあり、飛散した液剤がこれらの各導
管１０４・１０７に付着することは免れない。このため
前記不都合を完全に払拭するには至らない。
本考案はこのような事情に考慮したもので、上記各洗浄
導管への液剤の付着をなくすることにより、回転塗布工
程における歩留まり向上を図ることを目的とする。
〈課題を解決するための手段〉 本考案は上記課題を解決するものとして、以下のように
構成される。
即ち、飛散防止カップの周壁上部に環状の内周面洗浄導
管を設け、周壁の内面に沿って洗浄液を流下させるよう
に構成し、飛散防止カップ内中央部に設けたスピンチャ
ックの下側に平面視円形の整流傾斜板を設け、整流傾斜
板に環状の傾斜面洗浄導管を設け、整流傾斜面に沿って
洗浄液を流下させるように構成した回転塗布装置におい
て、飛散防止カップの周壁上部外側に、内周面洗浄導管
を一体に形成するとともに、多数の洗浄液吐出孔を周壁
上部内面に臨ませて開口し、整流傾斜板の下側上半部に
傾斜面洗浄導管を一体に形成するとともに、多数の洗浄
液吐出孔を整流傾斜面の上方寄りに臨ませて開口したこ
とを特徴とするものである。
〈作用〉 本考案では内周面洗浄導管を飛散防止カップの周壁の上
部外側へ形成するとともに、傾斜面洗浄導管を整流傾斜
板の下側上半部に形成し、飛散防止カップ内の周壁内面
側及び傾斜面側にそれら洗浄導管を臨ませない構造であ
り、飛散した液剤が当該洗浄導管に付着して微粉末状の
塵埃を発生するおそれはない。これにより、前記不都合
は完全に払拭されることになる。
〈実施例〉 第１図は本考案の一実施例を示す回転塗布装置の要部縦
断面図である。
この回転塗布装置は、液剤の回収及び液剤の飛沫の飛散
を防止する飛散防止カップ１と、飛散防止カップ１内の
中央部に水平回転可能に設けられ、基板Ｗと吸着保持し
て水平回転するスピンチャック１０と、スピンチャック
１０の上方に設けられ、フォトレジスト等の液剤を供給
するノズル１１と、スピンチャック１０の下側に設けら
れ、平面視円形の整流傾斜板１５とを備えて成り、排気
ダクト９を図示しない排気手段に接続して飛散防止カッ
プ１内を排気するとともに、回収した液剤を廃液ドレン
８より排出するように構成されている。
飛散防止カップ１は下カップ１Ｂと、下カップ１Ｂに対
して分離着脱可能な上カップ１Ａとから成る。上カップ
１Ａは上面に外気取入口２を有し、周壁３Ａを傾斜状に
形成して、その周壁３Ａの上部外側に内周面洗浄導管４
を一体に形成して成り、下カップ１Ｂは上カップ１Ａの
周壁３Ａに連接させて周壁３Ｂを形成するとともに、底
壁７に廃液ドレン８と排気ダクト９とを一体に形成して
構成されている。
上記内周面洗浄導管４は上カップ１Ａの傾斜状周壁３の
外側に沿わせて環状に一体形成され、多数の洗浄液吐出
孔５が当該周壁３の上部内面に臨ませて開口されてお
り、内周面洗浄導管４へ給送された洗浄液Ｓが当該吐出
孔５より吐出して周壁３の内面３ａに沿って流下するよ
うに構成されている。
上記洗浄液吐出孔５は周壁３の内面３ａに対して周方向
へゆるい傾斜をなすようにあけられており、洗浄液６が
周壁内面３ａに沿って周方向へ吐出して広がり、その後
流下するように形成されている。
一方、飛散防止カップ１の周壁３Ａ・３Ｂの内面は、い
わゆる梨地処理がなされており、洗浄液Ｓの広がりを促
進するとともに、流下速度を緩和して、周壁内面３ａ・
３ｂ全域を洗浄液の皮膜で覆うことができるように形成
されている。
これにより、飛散した液剤の飛沫は周壁内面３ａ・３ｂ
に付着せず、しかも洗浄液の消費量は少なくて済む。
一方、整流傾斜板１５はスピンチャック１０の下方に位
置するように、下カップ１Ｂの下壁中央上部７ａに着座
させて設けられ、外気取入口２から流入して基板Ｗの周
縁に沿って流下する空気流Ａを整流傾斜面１６で整流し
て下カップ１Ｂへ案内するとともに、上カップ１Ａの傾
斜内周面３ａによって下方へ案内された液剤の飛沫を、
この空気流Ａに乗せて下カップ１Ｂへ案内するように形
成されている。
この整流傾斜板１５には、その下側上半部に沿わせて傾
斜面洗浄導管１７が一体に形成され、第２図に示すよう
に、多数の洗浄液吐出孔１８が整流傾斜面１６の上方寄
りに臨ませて開口されており、傾斜面洗浄導管１７へ給
送された洗浄液Ｓが当該吐出孔１８より吐出して整流傾
斜面１６に沿って流下するように構成されている。
上記吐出孔１８は前記洗浄液吐出孔５と同様、傾斜面１
６に対して周方向へゆるい傾斜をなすようにあけられて
おり、洗浄液１９が傾斜面１６に沿って周方向へ吐出し
て広がり、その後ゆっくりと流下するように形成されて
いる。
また、整流傾斜面１６は、洗浄液吐出孔１８よりも上流
領域１６ａがいわゆる鏡面処理され、洗浄液吐出孔１８
よりも下流領域１６ｂが梨地処理されており、洗浄液が
整流傾斜板１５の中央凹陥部２０へ廻り込むのを上流領
域１６ａで阻止するとともに、下流領域１６ｂでは飛散
防止カップ１の内周面３ａ・３ｂと同様、その全域１６
ｂを洗浄液の皮膜で覆うことができるように形成されて
いる。
これにより、飛散した液剤の飛沫は整流傾斜面１６に付
着せず、しかも前記同様洗浄液の消費量は少なくて済
む。
なお、下カップ１Ｂには上記傾斜板１５の下方にリング
形状をなす突起壁７ｂが形成され、このリング状の突起
壁７ｂによって、これより外側に位置する排液ゾーンＺ
１と、それより内側に位置する排気ゾーンＺ２とに区画
し、傾斜整流面１６に沿って流化する空気流Ａを排気ゾ
ーンＺ１を経由して排気ゾーンＺ２へ流通させることに
より、液剤の飛沫が排気ゾーンＺ２へ侵入するのを最小
限に防いでいる。
上記実施例では、飛散防止カップ１の上カップ１Ａが下
カップ１Ｂに対して分離着脱可能に構成されているが、
これに限るものではなく、これらを一体に構成してもよ
い。
また、上記実施例では飛散防止カップ１の下壁７とは別
体に円形の整流傾斜板１５を設け、その傾斜板の下側に
傾斜面洗浄導管１７を一体に形成しているがこれに限る
ものではなく、従来例（第３図）のように飛散防止カッ
プ１０１の下壁１０７を整流傾斜板としてその下壁１０
７の下側に傾斜面洗浄導管を付設してもよく、その他多
様な変形を加えて本考案を実施することができる。
〈考案の効果〉 以上の説明で明らかなように、本考案では内周面洗浄導
管及び傾斜面洗浄導管を飛散防止カップ内の液剤が飛散
する側には臨ませないように配置構成したので、従来例
のように、飛散した液剤がそれらの洗浄導管に付着し
て、微粉末状の塵埃を発生するおそれはない。これによ
り、基板処理工程における歩留まりを一層向上させるこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る回転塗布装置の要部縦断面図、第
２図は整流傾斜板の平面図、第３図は従来例を示す第１
図相当図である。 １……飛散防止カップ、３・３Ａ・３Ｂ……周壁、４…
…内周面洗浄導管、５……洗浄液吐出孔、１０……スピ
ンチャック、１５……整流傾斜板、１６……整流傾斜
面、１８……洗浄液吐出孔、Ｓ……洗浄液。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】飛散防止カップの周壁上部に環状の内周面
    洗浄導管を設け、周壁の内面に沿って洗浄液を流下させ
    るように構成し、飛散防止カップ内中央部に設けたスピ
    ンチャックの下側に平面視円形の整流傾斜板を設け、整
    流傾斜板に環状の傾斜面洗浄導管を設け、整流傾斜面に
    沿って洗浄液を流下させるように構成した回転塗布装置
    において、 飛散防止カップの周壁上部外側に、内周面洗浄導管を一
    体に形成するとともに、多数の洗浄液吐出孔を周壁上部
    内面に臨ませて開口し、 整流傾斜板の下側上半部に傾斜面洗浄導管を一体に形成
    するとともに、多数の洗浄液吐出孔を整流傾斜面の上方
    寄りに臨ませて開口したことを特徴とする回転塗布装置
JP1989070199U 1989-06-14 1989-06-14 回転塗布装置 Expired - Lifetime JPH0628223Y2 (ja)

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