JPH06249862A - 分注装置における異常検出方法およびその装置 - Google Patents
分注装置における異常検出方法およびその装置Info
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- JPH06249862A JPH06249862A JP3915693A JP3915693A JPH06249862A JP H06249862 A JPH06249862 A JP H06249862A JP 3915693 A JP3915693 A JP 3915693A JP 3915693 A JP3915693 A JP 3915693A JP H06249862 A JPH06249862 A JP H06249862A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 分注ノズルの内面の面一性を損なうことなく
センサを設けて分注ノズル系の異常を検出する。 【構成】 導電性材料からなる分注ノズル1を軸方向に
2分割して絶縁性部材1cを介在させ、両分割部1a,
1bを電極として、液体吸入動作後の電極間抵抗が大き
い場合に分注ノズルの詰りとして検出する。
センサを設けて分注ノズル系の異常を検出する。 【構成】 導電性材料からなる分注ノズル1を軸方向に
2分割して絶縁性部材1cを介在させ、両分割部1a,
1bを電極として、液体吸入動作後の電極間抵抗が大き
い場合に分注ノズルの詰りとして検出する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は分注装置における異常
検出方法に関し、さらに詳細にいえば、各種検査を行な
うに当って分注対象となる液体の量を正確に設定するた
めの分注装置において、分注対象となる液体の量の正確
な設定を阻害する異常状態の発生を検出するための方法
に関する。
検出方法に関し、さらに詳細にいえば、各種検査を行な
うに当って分注対象となる液体の量を正確に設定するた
めの分注装置において、分注対象となる液体の量の正確
な設定を阻害する異常状態の発生を検出するための方法
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から分注装置において発生する可能
性のある異常状態のうち、分注ノズルの詰りを検出する
ための装置が提案されている(実開平2−135865
号公報参照)。上記装置は、分注ノズルの先端寄り所定
位置の内面に気体か液体かを判別するためのセンサを取
付けてなるものであり、所定量の液体を吸入すべく分注
ノズル系を動作させた場合に、上記センサに対応する位
置に気体が存在するか液体が存在するかを判別する。具
体的には、分注ノズルに詰りが発生している場合には、
上記動作を行なっても液体が吸入されず、センサは気体
が存在すると判別する。逆に、分注ノズルに詰りが発生
していなければ、上記動作に伴なって液体が吸入され、
センサは液体が存在すると判別する。したがって、分注
ノズル系を動作させた状態においてセンサにより気体が
存在すると判別された場合にのみ分注ノズルに詰りが発
生していると判別すればよいことになる。
性のある異常状態のうち、分注ノズルの詰りを検出する
ための装置が提案されている(実開平2−135865
号公報参照)。上記装置は、分注ノズルの先端寄り所定
位置の内面に気体か液体かを判別するためのセンサを取
付けてなるものであり、所定量の液体を吸入すべく分注
ノズル系を動作させた場合に、上記センサに対応する位
置に気体が存在するか液体が存在するかを判別する。具
体的には、分注ノズルに詰りが発生している場合には、
上記動作を行なっても液体が吸入されず、センサは気体
が存在すると判別する。逆に、分注ノズルに詰りが発生
していなければ、上記動作に伴なって液体が吸入され、
センサは液体が存在すると判別する。したがって、分注
ノズル系を動作させた状態においてセンサにより気体が
存在すると判別された場合にのみ分注ノズルに詰りが発
生していると判別すればよいことになる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記分注ノズルは液体
の微小な注入量(通常は数μlないし数百μl程度)を
正確に設定するために用いられるのであるから、分注ノ
ズルの内径は必然的に著しく小径にならざるを得ない
(上記の分注量に対処する場合には、内径を1mm程度
に設定しなければならない)。したがって、このように
小径の分注ノズルの内面に上記公報の開示のように電極
等からなるセンサを設けることは、例えば、分注ノズル
とセンサとの間に絶縁体を介在させなければならない等
の制約があるため著しく困難である。また、この困難性
を克服して分注ノズルの内面にセンサを設けることがで
きた場合であっても、センサに対応する部分のみの内径
が著しく小さくなるので、分注対象液体のブリッジ現象
が発生しやすとともに、センサを設けることに起因して
段部が生じ、しかも分注ノズルの材質とセンサの材質と
は一般的に全く異なるので、分注対象液体に含まれる蛋
白質等に起因する汚れが付着しやすい等の不都合があ
る。
の微小な注入量(通常は数μlないし数百μl程度)を
正確に設定するために用いられるのであるから、分注ノ
ズルの内径は必然的に著しく小径にならざるを得ない
(上記の分注量に対処する場合には、内径を1mm程度
に設定しなければならない)。したがって、このように
小径の分注ノズルの内面に上記公報の開示のように電極
等からなるセンサを設けることは、例えば、分注ノズル
とセンサとの間に絶縁体を介在させなければならない等
の制約があるため著しく困難である。また、この困難性
を克服して分注ノズルの内面にセンサを設けることがで
きた場合であっても、センサに対応する部分のみの内径
が著しく小さくなるので、分注対象液体のブリッジ現象
が発生しやすとともに、センサを設けることに起因して
段部が生じ、しかも分注ノズルの材質とセンサの材質と
は一般的に全く異なるので、分注対象液体に含まれる蛋
白質等に起因する汚れが付着しやすい等の不都合があ
る。
【0004】即ち、分注対象液体のブリッジ現象が発生
すれば、センサにより液体の存在を検出することになる
ので、分注ノズルの詰りを検出できなくなってしまう。
また、蛋白質等に起因する汚れが付着すれば、分注ノズ
ル系の十分な洗浄が必要になるので、洗浄所要時間だけ
測定等のための分注処理を行なうことができる時間が短
くなってしまう。特に、検査等を行なう場合には、一般
的に複数種類の液体を順次分注しなければならないの
で、上記時間の短縮に伴なって、全体として検査等の所
要時間が長くなってしまう。
すれば、センサにより液体の存在を検出することになる
ので、分注ノズルの詰りを検出できなくなってしまう。
また、蛋白質等に起因する汚れが付着すれば、分注ノズ
ル系の十分な洗浄が必要になるので、洗浄所要時間だけ
測定等のための分注処理を行なうことができる時間が短
くなってしまう。特に、検査等を行なう場合には、一般
的に複数種類の液体を順次分注しなければならないの
で、上記時間の短縮に伴なって、全体として検査等の所
要時間が長くなってしまう。
【0005】
【発明の目的】この発明は上記の問題点に鑑みてなされ
たものであり、センサ装着のための加工性を高めること
ができるとともに、分注ノズル内部における分注対象液
体のブリッジ現象の発生、蛋白質等に起因する汚れの付
着を大幅に低減でき、しかも分注ノズル系における異常
を確実に検出できる分注装置における異常検出方法を提
供することを目的としている。
たものであり、センサ装着のための加工性を高めること
ができるとともに、分注ノズル内部における分注対象液
体のブリッジ現象の発生、蛋白質等に起因する汚れの付
着を大幅に低減でき、しかも分注ノズル系における異常
を確実に検出できる分注装置における異常検出方法を提
供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの、請求項1の分注装置における異常検出方法は、分
注ノズルの、分注量に対応する所定位置を電極間隙とす
る1対の電極を分注ノズルの軸方向に設けて、分注のた
めの液体吸入時における電極間抵抗が大きいことに応答
して正常な液体吸入ができていないことを示す異常指示
信号を出力する方法である。
めの、請求項1の分注装置における異常検出方法は、分
注ノズルの、分注量に対応する所定位置を電極間隙とす
る1対の電極を分注ノズルの軸方向に設けて、分注のた
めの液体吸入時における電極間抵抗が大きいことに応答
して正常な液体吸入ができていないことを示す異常指示
信号を出力する方法である。
【0007】請求項2の分注装置における異常検出方法
は、分注対象液体の液面を検知するセンサを所定位置に
設けて、分注のための液体吸入時においてセンサからの
出力信号に応答して正常な液体吸入ができていない状態
か否かを示す異常指示信号を出力する方法である。請求
項3の分注装置における異常検出方法は、分注対象液体
の液面を検知するセンサを、分注ノズル系の最大分注量
よりも多い液量に対応する所定位置に設けておく方法で
ある。
は、分注対象液体の液面を検知するセンサを所定位置に
設けて、分注のための液体吸入時においてセンサからの
出力信号に応答して正常な液体吸入ができていない状態
か否かを示す異常指示信号を出力する方法である。請求
項3の分注装置における異常検出方法は、分注対象液体
の液面を検知するセンサを、分注ノズル系の最大分注量
よりも多い液量に対応する所定位置に設けておく方法で
ある。
【0008】請求項4の分注装置における異常検出方法
は、分注ノズル系の所定位置に気体と液体とを判別する
センサを設け、液体分離のために空気層を介在させるべ
く吸入動作および吐出動作を行なわせ、これらの動作中
にセンサにより2以上の空気層が検出されたことに応答
して分注ノズル系内部の汚れを示す異常指示信号を出力
する方法である。
は、分注ノズル系の所定位置に気体と液体とを判別する
センサを設け、液体分離のために空気層を介在させるべ
く吸入動作および吐出動作を行なわせ、これらの動作中
にセンサにより2以上の空気層が検出されたことに応答
して分注ノズル系内部の汚れを示す異常指示信号を出力
する方法である。
【0009】請求項5の分注装置における異常検出方法
は、分注ノズル系の所定位置に気体と液体とを判別する
センサを設け、液体分離のための空気層の介在を未然に
阻止すべく吸入動作および/または吐出動作を行なわ
せ、これらの動作中にセンサにより空気層が検出された
ことに応答して分注ノズル系の液洩れを示す異常指示信
号を出力する方法である。
は、分注ノズル系の所定位置に気体と液体とを判別する
センサを設け、液体分離のための空気層の介在を未然に
阻止すべく吸入動作および/または吐出動作を行なわ
せ、これらの動作中にセンサにより空気層が検出された
ことに応答して分注ノズル系の液洩れを示す異常指示信
号を出力する方法である。
【0010】請求項6の分注装置における異常検出装置
は、分注ノズルの、分注量に対応する所定位置を電極間
隙とすべく1対の電極を分注ノズルの軸方向に設けてあ
るとともに、電極の内面を分注ノズルの内面と面一状に
すべく1対の電極が形成されてあり、分注のための液体
吸入時における電極間抵抗が大きいことに応答して正常
な液体吸入ができていないことを示す異常指示信号を出
力する異常信号出力手段が設けられてある。
は、分注ノズルの、分注量に対応する所定位置を電極間
隙とすべく1対の電極を分注ノズルの軸方向に設けてあ
るとともに、電極の内面を分注ノズルの内面と面一状に
すべく1対の電極が形成されてあり、分注のための液体
吸入時における電極間抵抗が大きいことに応答して正常
な液体吸入ができていないことを示す異常指示信号を出
力する異常信号出力手段が設けられてある。
【0011】
【作用】請求項1の分注装置における異常検出方法であ
れば、分注ノズルの、分注量に対応する所定位置を電極
間隙とする1対の電極を分注ノズルの軸方向に設けてあ
るので、分注ノズルが導電性材料で構成されている場合
には、所定位置において分注ノズルを区分し、区分した
部分に絶縁性部材を介在させ、逆に、分注ノズルが絶縁
性材料で構成されている場合には、分注ノズルを3つの
部分に区分し、各区分した部分に導電性部材を介在させ
ることにより、分注ノズルに対する電極の装着を達成で
きる。したがって、分注ノズルの内面にセンサを装着す
る従来例と比較して加工性を著しく高めることができ
る。また、分注のための液体吸入時における電極間抵抗
が大きいことに応答して正常な液体吸入ができていない
ことを示す異常指示信号を出力するのであるから、従来
例において問題となっていたブリッジ現象の影響を未然
に防止して、正確な異常検出を達成できる。さらに、導
電性部分と絶縁性部分との内面を面一にできるのである
から、蛋白質等に起因する汚れの付着を大幅に低減で
き、分注ノズルの洗浄を必要最小限にできる。この結
果、検査等の所要時間を従来例と比較して短縮できる。
れば、分注ノズルの、分注量に対応する所定位置を電極
間隙とする1対の電極を分注ノズルの軸方向に設けてあ
るので、分注ノズルが導電性材料で構成されている場合
には、所定位置において分注ノズルを区分し、区分した
部分に絶縁性部材を介在させ、逆に、分注ノズルが絶縁
性材料で構成されている場合には、分注ノズルを3つの
部分に区分し、各区分した部分に導電性部材を介在させ
ることにより、分注ノズルに対する電極の装着を達成で
きる。したがって、分注ノズルの内面にセンサを装着す
る従来例と比較して加工性を著しく高めることができ
る。また、分注のための液体吸入時における電極間抵抗
が大きいことに応答して正常な液体吸入ができていない
ことを示す異常指示信号を出力するのであるから、従来
例において問題となっていたブリッジ現象の影響を未然
に防止して、正確な異常検出を達成できる。さらに、導
電性部分と絶縁性部分との内面を面一にできるのである
から、蛋白質等に起因する汚れの付着を大幅に低減で
き、分注ノズルの洗浄を必要最小限にできる。この結
果、検査等の所要時間を従来例と比較して短縮できる。
【0012】請求項2の分注装置における異常検出方法
であれば、分注対象液体の液面を検知するセンサを所定
位置に設けてあるので、センサを分注ノズルの外面所定
位置、分注対象溶液収容部等に設けるだけでよく、分注
ノズルの内面にセンサを設ける従来例と比較して加工性
を著しく高めることができる。また、分注のための液体
吸入時においてセンサからの出力信号に応答して正常な
液体吸入ができていない状態か否かを示す異常指示信号
を出力するのであるから、従来例において問題となって
いたブリッジ現象の影響を未然に防止して、正確な異常
検出を達成できる。さらに、分注ノズル内面の面一性を
維持できるのであるから、蛋白質等に起因する汚れの付
着を大幅に低減でき、分注ノズルの洗浄を必要最小限に
できる。この結果、検査等の所要時間を従来例と比較し
て短縮できる。
であれば、分注対象液体の液面を検知するセンサを所定
位置に設けてあるので、センサを分注ノズルの外面所定
位置、分注対象溶液収容部等に設けるだけでよく、分注
ノズルの内面にセンサを設ける従来例と比較して加工性
を著しく高めることができる。また、分注のための液体
吸入時においてセンサからの出力信号に応答して正常な
液体吸入ができていない状態か否かを示す異常指示信号
を出力するのであるから、従来例において問題となって
いたブリッジ現象の影響を未然に防止して、正確な異常
検出を達成できる。さらに、分注ノズル内面の面一性を
維持できるのであるから、蛋白質等に起因する汚れの付
着を大幅に低減でき、分注ノズルの洗浄を必要最小限に
できる。この結果、検査等の所要時間を従来例と比較し
て短縮できる。
【0013】請求項3の分注装置における異常検出方法
であれば、分注対象液体の液面を検知するセンサを、分
注ノズル系の最大分注量よりも多い液量に対応する所定
位置に設けておくのであるから、液体を吸入すべく分注
ノズル系を動作させた後に気体を吸入すべく分注ノズル
系を動作させ、この状態においてセンサにより液面が検
出されていなければ、分注ノズルに詰りが発生している
ことを検出できる。また、液体の吸入量が変化しても、
気体の吸入量を補完的に変化させることにより液面検出
位置を一定に保持できるのであるから、種々の分注量に
簡単に対処できるとともに、分注ノズルの詰りの検出を
確実化できる。
であれば、分注対象液体の液面を検知するセンサを、分
注ノズル系の最大分注量よりも多い液量に対応する所定
位置に設けておくのであるから、液体を吸入すべく分注
ノズル系を動作させた後に気体を吸入すべく分注ノズル
系を動作させ、この状態においてセンサにより液面が検
出されていなければ、分注ノズルに詰りが発生している
ことを検出できる。また、液体の吸入量が変化しても、
気体の吸入量を補完的に変化させることにより液面検出
位置を一定に保持できるのであるから、種々の分注量に
簡単に対処できるとともに、分注ノズルの詰りの検出を
確実化できる。
【0014】請求項4の分注装置における異常検出方法
であれば、分注ノズル系の所定位置に気体と液体とを判
別するセンサを設け、液体分離のために空気層を介在さ
せるべく吸入動作および吐出動作を行なわせ、これらの
動作中にセンサにより2以上の空気層が検出されたこと
に応答して分注ノズル系内部の汚れを示す異常指示信号
を出力するのであるから、分注ノズル系内部の汚れを直
接検出するセンサを設ける必要がなくなり、単に液体分
離のための空気層を介在させて吸入動作および吐出動作
を行なわせながら2以上の空気層が検出されるか否かの
みに基づいて汚れの検出を達成できる。
であれば、分注ノズル系の所定位置に気体と液体とを判
別するセンサを設け、液体分離のために空気層を介在さ
せるべく吸入動作および吐出動作を行なわせ、これらの
動作中にセンサにより2以上の空気層が検出されたこと
に応答して分注ノズル系内部の汚れを示す異常指示信号
を出力するのであるから、分注ノズル系内部の汚れを直
接検出するセンサを設ける必要がなくなり、単に液体分
離のための空気層を介在させて吸入動作および吐出動作
を行なわせながら2以上の空気層が検出されるか否かの
みに基づいて汚れの検出を達成できる。
【0015】請求項5の分注装置における異常検出方法
であれば、分注ノズル系の所定位置に気体と液体とを判
別するセンサを設け、液体分離のための空気層の介在を
未然に阻止すべく吸入動作および/または吐出動作を行
なわせ、これらの動作中にセンサにより空気層が検出さ
れたことに応答して分注ノズル系の液洩れを示す異常指
示信号を出力するのであるから、分注ノズル系の洗浄等
を行なうために、空気層を介在させることのない吸入動
作および/または吐出動作を行なっている間に空気層が
検出されれば、液洩れが生じていると判別できる。した
がって、液漏れが生じる可能性がある箇所に個別に液洩
れセンサを設ける必要がなくなり、構成を大幅に簡素化
できる。
であれば、分注ノズル系の所定位置に気体と液体とを判
別するセンサを設け、液体分離のための空気層の介在を
未然に阻止すべく吸入動作および/または吐出動作を行
なわせ、これらの動作中にセンサにより空気層が検出さ
れたことに応答して分注ノズル系の液洩れを示す異常指
示信号を出力するのであるから、分注ノズル系の洗浄等
を行なうために、空気層を介在させることのない吸入動
作および/または吐出動作を行なっている間に空気層が
検出されれば、液洩れが生じていると判別できる。した
がって、液漏れが生じる可能性がある箇所に個別に液洩
れセンサを設ける必要がなくなり、構成を大幅に簡素化
できる。
【0016】請求項6の分注装置における異常検出装置
であれば、分注ノズルの、分注量に対応する所定位置を
電極間隙とすべく1対の電極を分注ノズルの軸方向に設
けてあるとともに、電極の内面を分注ノズルの内面と面
一状にすべく1対の電極が形成されてあり、分注のため
の液体吸入時における電極間抵抗が大きいことに応答し
て正常な液体吸入ができていないことを示す異常指示信
号を出力する異常信号出力手段が設けられてあるので、
分注ノズルが導電性材料で構成されている場合には、所
定位置において分注ノズルを区分し、区分した部分に絶
縁性部材を介在させ、逆に、分注ノズルが絶縁性材料で
構成されている場合には、分注ノズルを3つの部分に区
分し、各区分した部分に導電性部材を介在させることに
より、分注ノズルに対する電極の装着を達成できる。し
たがって、分注ノズルの内面にセンサを装着する従来例
と比較して加工性を著しく高めることができる。また、
分注のための液体吸入時における電極間抵抗が大きいこ
とに応答して正常な液体吸入ができていないことを示す
異常指示信号を出力するのであるから、従来例において
問題となっていたブリッジ現象の影響を未然に防止し
て、正確な異常検出を達成できる。さらに、導電性部分
と絶縁性部分との内面を面一にできるのであるから、蛋
白質等に起因する汚れの付着を大幅に低減でき、分注ノ
ズルの洗浄を必要最小限にできる。この結果、検査等の
所要時間を従来例と比較して短縮できる。
であれば、分注ノズルの、分注量に対応する所定位置を
電極間隙とすべく1対の電極を分注ノズルの軸方向に設
けてあるとともに、電極の内面を分注ノズルの内面と面
一状にすべく1対の電極が形成されてあり、分注のため
の液体吸入時における電極間抵抗が大きいことに応答し
て正常な液体吸入ができていないことを示す異常指示信
号を出力する異常信号出力手段が設けられてあるので、
分注ノズルが導電性材料で構成されている場合には、所
定位置において分注ノズルを区分し、区分した部分に絶
縁性部材を介在させ、逆に、分注ノズルが絶縁性材料で
構成されている場合には、分注ノズルを3つの部分に区
分し、各区分した部分に導電性部材を介在させることに
より、分注ノズルに対する電極の装着を達成できる。し
たがって、分注ノズルの内面にセンサを装着する従来例
と比較して加工性を著しく高めることができる。また、
分注のための液体吸入時における電極間抵抗が大きいこ
とに応答して正常な液体吸入ができていないことを示す
異常指示信号を出力するのであるから、従来例において
問題となっていたブリッジ現象の影響を未然に防止し
て、正確な異常検出を達成できる。さらに、導電性部分
と絶縁性部分との内面を面一にできるのであるから、蛋
白質等に起因する汚れの付着を大幅に低減でき、分注ノ
ズルの洗浄を必要最小限にできる。この結果、検査等の
所要時間を従来例と比較して短縮できる。
【0017】
【実施例】以下、実施例を示す添付図面によって詳細に
説明する。図2はこの発明の分注装置における異常検出
方法が実施される分注ノズルの構成の一例を示す中央縦
断面図であり、ステンレス等の導電性材料からなる分注
ノズル1を軸方向に2分割しているとともに、分注ノズ
ル1の分割部1a,1b同士の間に絶縁性部材1cを介
在させている。そして、分割部1a,1bを1対の電極
としている。また、1対の分割部1a,1b間の電気抵
抗が所定の閾値よりも大きいか否かを判別して、電気抵
抗が所定の閾値よりも大きいことに応答して分注ノズル
1に詰まりが発生していることを示す信号を出力する異
常指示信号出力部10を有している。尚、絶縁性部材1
cの介在位置は分注ノズル1の内径および分注量に基づ
いて定まる所定位置に設定され、絶縁性部材1cにより
規定される電極間隔は、液体分離のために形成されるべ
き空気層の厚みに対応して定められている。もちろん、
各分割部1a,1bの内面と絶縁性部材1cの内面とは
面一状に形成されている。尚、上記絶縁性部材1cとし
ては、撥水性を有していることが好ましく、例えば、フ
ッ素系樹脂、表面にフッ素コーティングが施された合成
樹脂等が例示できる。
説明する。図2はこの発明の分注装置における異常検出
方法が実施される分注ノズルの構成の一例を示す中央縦
断面図であり、ステンレス等の導電性材料からなる分注
ノズル1を軸方向に2分割しているとともに、分注ノズ
ル1の分割部1a,1b同士の間に絶縁性部材1cを介
在させている。そして、分割部1a,1bを1対の電極
としている。また、1対の分割部1a,1b間の電気抵
抗が所定の閾値よりも大きいか否かを判別して、電気抵
抗が所定の閾値よりも大きいことに応答して分注ノズル
1に詰まりが発生していることを示す信号を出力する異
常指示信号出力部10を有している。尚、絶縁性部材1
cの介在位置は分注ノズル1の内径および分注量に基づ
いて定まる所定位置に設定され、絶縁性部材1cにより
規定される電極間隔は、液体分離のために形成されるべ
き空気層の厚みに対応して定められている。もちろん、
各分割部1a,1bの内面と絶縁性部材1cの内面とは
面一状に形成されている。尚、上記絶縁性部材1cとし
ては、撥水性を有していることが好ましく、例えば、フ
ッ素系樹脂、表面にフッ素コーティングが施された合成
樹脂等が例示できる。
【0018】図1はこの発明の分注装置における異常検
出方法の一実施例を説明するフローチャートであり、ス
テップSP1において空気層を形成すべく第1の吸入動
作を行なわせ、ステップSP2において所定量の液体を
吸入すべく第2の吸入動作を行なわせ、ステップSP3
において両電極1a,1b間の電気抵抗値を測定し、ス
テップSP4において電気抵抗値が所定の閾値よりも大
きいか否かを判別する。そして、電気抵抗値が所定の閾
値よりも大きいと判別された場合には、ステップSP5
において分注ノズル1に詰りが発生していることを表示
する。ステップSP5の処理が行なわれた後、またはス
テップSP4において電気抵抗値が所定の閾値以下であ
ると判別された場合には、そのまま一連の処理を終了す
る。
出方法の一実施例を説明するフローチャートであり、ス
テップSP1において空気層を形成すべく第1の吸入動
作を行なわせ、ステップSP2において所定量の液体を
吸入すべく第2の吸入動作を行なわせ、ステップSP3
において両電極1a,1b間の電気抵抗値を測定し、ス
テップSP4において電気抵抗値が所定の閾値よりも大
きいか否かを判別する。そして、電気抵抗値が所定の閾
値よりも大きいと判別された場合には、ステップSP5
において分注ノズル1に詰りが発生していることを表示
する。ステップSP5の処理が行なわれた後、またはス
テップSP4において電気抵抗値が所定の閾値以下であ
ると判別された場合には、そのまま一連の処理を終了す
る。
【0019】さらに詳細に説明する。分注ノズル1を含
む分注ノズル系を用いて正確な液量の分注を行なう場合
には、分注ノズル系を非圧縮性の液体、例えば水で充填
しておくことが好ましく、また、分注対象液体が水と混
合されることに起因する濃度の変化を防止することが必
要であるから、先ず、水と分注対象液体との混合を未然
に防止すべく微量の空気を吸入する。その後、分注対象
液体を所定量だけ吸入する。次いで、分注対象液体およ
び空気を吐出することにより分注対象液体の正確な分注
を達成できる。したがって、所定量の分注対象液体が吸
入された状態において両分割部1a,1bが分注対象液
体と接触するように絶縁性部材1cの位置を設定してお
けば、所定量の分注対象液体を吸入すべく所定の吸入動
作を行なわせた時点において、両分割部1a,1b間の
電気抵抗値を測定し、所定の閾値よりも大きいか否かを
判別することにより、分注対象液体が実際には吸入され
ていないか否か、即ち、分注ノズル1に詰りが発生して
いるか否かを判別できる。
む分注ノズル系を用いて正確な液量の分注を行なう場合
には、分注ノズル系を非圧縮性の液体、例えば水で充填
しておくことが好ましく、また、分注対象液体が水と混
合されることに起因する濃度の変化を防止することが必
要であるから、先ず、水と分注対象液体との混合を未然
に防止すべく微量の空気を吸入する。その後、分注対象
液体を所定量だけ吸入する。次いで、分注対象液体およ
び空気を吐出することにより分注対象液体の正確な分注
を達成できる。したがって、所定量の分注対象液体が吸
入された状態において両分割部1a,1bが分注対象液
体と接触するように絶縁性部材1cの位置を設定してお
けば、所定量の分注対象液体を吸入すべく所定の吸入動
作を行なわせた時点において、両分割部1a,1b間の
電気抵抗値を測定し、所定の閾値よりも大きいか否かを
判別することにより、分注対象液体が実際には吸入され
ていないか否か、即ち、分注ノズル1に詰りが発生して
いるか否かを判別できる。
【0020】そして、分注ノズル1に詰りが発生してい
る場合には、所期の検査等を達成できないのであるか
ら、分注ノズル1に詰りが発生していることを表示して
そのまま一連の処理を終了する。逆に、分注ノズル1に
詰りが発生していない場合には、そのまま所期の検査等
を行なうべく必要な処理を遂行する。以上の説明から明
らかなように、この実施例においては、分注ノズル1の
内面に電極を設けるのではなく、導電性材料からなる分
注ノズル1を2つの部分に分割し、両分割部1a,1b
の間に絶縁性部材1cを介在させるのであるから、加工
性を著しく高めることができる。また、分注ノズル1の
内面を全範囲にわたって面一にできるのであるから、ブ
リッジ現象の発生、蛋白質等に起因する汚れの付着等を
未然に防止できる。
る場合には、所期の検査等を達成できないのであるか
ら、分注ノズル1に詰りが発生していることを表示して
そのまま一連の処理を終了する。逆に、分注ノズル1に
詰りが発生していない場合には、そのまま所期の検査等
を行なうべく必要な処理を遂行する。以上の説明から明
らかなように、この実施例においては、分注ノズル1の
内面に電極を設けるのではなく、導電性材料からなる分
注ノズル1を2つの部分に分割し、両分割部1a,1b
の間に絶縁性部材1cを介在させるのであるから、加工
性を著しく高めることができる。また、分注ノズル1の
内面を全範囲にわたって面一にできるのであるから、ブ
リッジ現象の発生、蛋白質等に起因する汚れの付着等を
未然に防止できる。
【0021】図3は分注ノズルの他の構成例を示す縦断
面図であり、合成樹脂等の絶縁性材料からなる分注ノズ
ル2を軸方向に3分割しているとともに、分割部2a,
2bの間および分割部2b,2cの間に導電性部材2
d,2eを介在させている。そして、導電性部材2d,
2eを1対の電極としている。また、1対の導電性部材
2d,2e間の電気抵抗が所定の閾値よりも大きいか否
かを判別して、電気抵抗が所定の閾値よりも大きいこと
に応答して分注ノズル2に詰まりが発生していることを
示す信号を出力する異常指示信号出力部10を有してい
る。尚、導電性部材2d,2eの介在位置は分注ノズル
1の内径および分注量に基づいて定まる所定位置に設定
され、分割部2bにより規定される電極間隔は、液体分
離のために形成されるべき空気層の厚みに対応して定め
られている。もちろん、各分割部2a,2b,2cの内
面と導電性部材2d,2eの内面とは面一状に形成され
ている。尚、上記各分割部2a,2b,2cとしては、
撥水性を有していることが好ましく、例えば、フッ素系
樹脂、表面にフッ素コーティングが施された合成樹脂等
が例示できる。
面図であり、合成樹脂等の絶縁性材料からなる分注ノズ
ル2を軸方向に3分割しているとともに、分割部2a,
2bの間および分割部2b,2cの間に導電性部材2
d,2eを介在させている。そして、導電性部材2d,
2eを1対の電極としている。また、1対の導電性部材
2d,2e間の電気抵抗が所定の閾値よりも大きいか否
かを判別して、電気抵抗が所定の閾値よりも大きいこと
に応答して分注ノズル2に詰まりが発生していることを
示す信号を出力する異常指示信号出力部10を有してい
る。尚、導電性部材2d,2eの介在位置は分注ノズル
1の内径および分注量に基づいて定まる所定位置に設定
され、分割部2bにより規定される電極間隔は、液体分
離のために形成されるべき空気層の厚みに対応して定め
られている。もちろん、各分割部2a,2b,2cの内
面と導電性部材2d,2eの内面とは面一状に形成され
ている。尚、上記各分割部2a,2b,2cとしては、
撥水性を有していることが好ましく、例えば、フッ素系
樹脂、表面にフッ素コーティングが施された合成樹脂等
が例示できる。
【0022】したがって、この場合にも図1のフローチ
ャートの処理を行なうことにより、分注ノズル2に詰り
が発生しているか否かを確実に判別てきる。
ャートの処理を行なうことにより、分注ノズル2に詰り
が発生しているか否かを確実に判別てきる。
【0023】
【実施例2】図5はこの発明の分注装置における異常検
出方法が実施される分注ノズルおよび分注対象液体収容
部の構成の一例を示す中央縦断面図であり、分注ノズル
3の外面であって、中心軸と垂直な平面上の所定位置に
1対の電極3a,3bを設けてある。尚、この場合に
は、分注ノズル3は導電性材料からなるものであっても
よく、また絶縁性材料からなるものであってもよい。但
し、分注ノズル3が導電性材料からなるものである場合
には、絶縁層(図示せず)を介在させて電極3a,3b
を設けることになる。尚、3cが分注対象液体収容部で
ある。
出方法が実施される分注ノズルおよび分注対象液体収容
部の構成の一例を示す中央縦断面図であり、分注ノズル
3の外面であって、中心軸と垂直な平面上の所定位置に
1対の電極3a,3bを設けてある。尚、この場合に
は、分注ノズル3は導電性材料からなるものであっても
よく、また絶縁性材料からなるものであってもよい。但
し、分注ノズル3が導電性材料からなるものである場合
には、絶縁層(図示せず)を介在させて電極3a,3b
を設けることになる。尚、3cが分注対象液体収容部で
ある。
【0024】図4はこの発明の分注装置における異常検
出方法の他の実施例を説明するフローチャートであり、
ステップSP1において1対の電極3a,3bが共に分
注対象液体と接触するように分注ノズル3を移動させ、
ステップSP2において1対の電極3a,3b間の電気
抵抗値を測定し、ステップSP3において電気抵抗値が
所定の閾値以下であるか否かを判別する。ステップSP
3において電気抵抗値が所定の閾値よりも大きいと判別
された場合には、再びステップSP1の処理を反復す
る。
出方法の他の実施例を説明するフローチャートであり、
ステップSP1において1対の電極3a,3bが共に分
注対象液体と接触するように分注ノズル3を移動させ、
ステップSP2において1対の電極3a,3b間の電気
抵抗値を測定し、ステップSP3において電気抵抗値が
所定の閾値以下であるか否かを判別する。ステップSP
3において電気抵抗値が所定の閾値よりも大きいと判別
された場合には、再びステップSP1の処理を反復す
る。
【0025】上記ステップSP3において電気抵抗値が
所定の閾値以下であると判別された場合には、ステップ
SP4において所定量の液体を吸入すべく吸入動作を行
なわせ、ステップSP5において両電極3a,3b間の
電気抵抗値を測定し、ステップSP6において電気抵抗
値が所定の閾値よりも大きいか否かを判別する。そし
て、電気抵抗値が所定の閾値以下であると判別された場
合には、ステップSP7において分注ノズル1に詰りが
発生していることを表示する。ステップSP7の処理が
行なわれた後、またはステップSP6において電気抵抗
値が所定の閾値よりも大きいと判別された場合には、そ
のまま一連の処理を終了する。
所定の閾値以下であると判別された場合には、ステップ
SP4において所定量の液体を吸入すべく吸入動作を行
なわせ、ステップSP5において両電極3a,3b間の
電気抵抗値を測定し、ステップSP6において電気抵抗
値が所定の閾値よりも大きいか否かを判別する。そし
て、電気抵抗値が所定の閾値以下であると判別された場
合には、ステップSP7において分注ノズル1に詰りが
発生していることを表示する。ステップSP7の処理が
行なわれた後、またはステップSP6において電気抵抗
値が所定の閾値よりも大きいと判別された場合には、そ
のまま一連の処理を終了する。
【0026】即ち、分注ノズル3に詰りが発生していな
ければ液体吸入動作を行なうことにより分注対象液体収
容部3cにおける分注対象液体の液面が下降するので電
極3a,3b間の電気抵抗値が所定の閾値よりも大きく
なる。逆に、分注ノズル3に詰りが発生していれば、液
体吸入のための動作を行なっても分注対象液体収容部3
cにおける分注対象液体の液面が変化しないので、電極
3a,3b間の電気抵抗値が所定の閾値以下のままに保
持される。
ければ液体吸入動作を行なうことにより分注対象液体収
容部3cにおける分注対象液体の液面が下降するので電
極3a,3b間の電気抵抗値が所定の閾値よりも大きく
なる。逆に、分注ノズル3に詰りが発生していれば、液
体吸入のための動作を行なっても分注対象液体収容部3
cにおける分注対象液体の液面が変化しないので、電極
3a,3b間の電気抵抗値が所定の閾値以下のままに保
持される。
【0027】したがって、電極3a,3b間の電気抵抗
値と所定の閾値との大小を比較するだけで、確実に分注
ノズル3に詰りが発生しているか否かを判別できる。も
ちろん、分注ノズル3の内部ではなく、外部に電極3
a,3b設けるのであるから、加工性を著しく高めるこ
とができ、しかもブリッジ現象の発生、汚れの付着を確
実に防止できる。
値と所定の閾値との大小を比較するだけで、確実に分注
ノズル3に詰りが発生しているか否かを判別できる。も
ちろん、分注ノズル3の内部ではなく、外部に電極3
a,3b設けるのであるから、加工性を著しく高めるこ
とができ、しかもブリッジ現象の発生、汚れの付着を確
実に防止できる。
【0028】また、液体を分注量だけ吸入した状態で上
述のように十分な液面の変化が生じるように分注対象液
体収容部の横断面積を設定しておくことが好ましいが、
横断面積が大きい場合には、分注量よりも多い所定量だ
け分注対象液体を吸入することにより詰りの有無を判別
し、詰りがないと判別された場合にのみ改めて分注量だ
け分注対象液体を吸入すればよい。
述のように十分な液面の変化が生じるように分注対象液
体収容部の横断面積を設定しておくことが好ましいが、
横断面積が大きい場合には、分注量よりも多い所定量だ
け分注対象液体を吸入することにより詰りの有無を判別
し、詰りがないと判別された場合にのみ改めて分注量だ
け分注対象液体を吸入すればよい。
【0029】さらに、各分注動作毎に上記の判別を行な
う代わりに、実際に分注動作を行なうに先立って所定量
だけ分注対象液体を吸入することにより詰りの有無を判
別し、詰まりがないと判別された場合にのみ分注のため
の液体吸入を行なうようにすれば、横断面積の多少に拘
らず、確実に分注ノズルに詰まりが発生しているか否か
を判別できる。
う代わりに、実際に分注動作を行なうに先立って所定量
だけ分注対象液体を吸入することにより詰りの有無を判
別し、詰まりがないと判別された場合にのみ分注のため
の液体吸入を行なうようにすれば、横断面積の多少に拘
らず、確実に分注ノズルに詰まりが発生しているか否か
を判別できる。
【0030】図6は分注ノズルおよび分注対象液体収容
部の他の構成例を示す中央縦断面図であり、図5の構成
例と異なる点は、電極3a,3bを分注ノズル3に設け
る代わりに、分注対象液体収容部3cにフォトセンサな
どからなる液面検知センサ3dを設けた点のみである。
したがって、この構成例の場合にも、分注対象液体を吸
入するための動作を行なった場合において液面が変化し
なかったか否かに基づいて分注ノズル3に詰りが発生し
ているか否かを判別できる。但し、この構成例の場合に
は、吸入のための動作を開始する時点における分注対象
液体の液面を液面検知センサ3dに対して正確に設定し
ておかなければならないのに対して、図5の具体例では
このような液面の設定が不要であるから、図5の構成例
を採用することが好ましい。
部の他の構成例を示す中央縦断面図であり、図5の構成
例と異なる点は、電極3a,3bを分注ノズル3に設け
る代わりに、分注対象液体収容部3cにフォトセンサな
どからなる液面検知センサ3dを設けた点のみである。
したがって、この構成例の場合にも、分注対象液体を吸
入するための動作を行なった場合において液面が変化し
なかったか否かに基づいて分注ノズル3に詰りが発生し
ているか否かを判別できる。但し、この構成例の場合に
は、吸入のための動作を開始する時点における分注対象
液体の液面を液面検知センサ3dに対して正確に設定し
ておかなければならないのに対して、図5の具体例では
このような液面の設定が不要であるから、図5の構成例
を採用することが好ましい。
【0031】図7は分注ノズルおよび分注対象液体収容
部のさらに他の構成例を示す中央縦断面図であり、図5
の構成例と異なる点は、電極3a,3bを分注ノズル3
に設ける代わりに、光学的液面センサ3eを設けた点の
みである。この光学的液面センサ3eは、気体に接触し
ている状態と液体に接触している状態とで反射光強度が
変化することを利用したものである。
部のさらに他の構成例を示す中央縦断面図であり、図5
の構成例と異なる点は、電極3a,3bを分注ノズル3
に設ける代わりに、光学的液面センサ3eを設けた点の
みである。この光学的液面センサ3eは、気体に接触し
ている状態と液体に接触している状態とで反射光強度が
変化することを利用したものである。
【0032】したがって、この構成例の場合にも、図5
の構成例と同様に分注ノズル3における詰りの有無を判
別できる。
の構成例と同様に分注ノズル3における詰りの有無を判
別できる。
【0033】
【実施例3】図9はこの発明の分注装置における異常検
出方法が実施される分注ノズル系の構成の一例を示す概
略図であり、分注ノズル4と、シリンジ5と、洗浄液タ
ンク6と、これらの間を連通する連通管路7と、シリン
ジ5が分注ノズル4と連通される状態、洗浄液タンク6
と連通される状態を選択的に制御する切替弁8とを有し
ている。したがって、切替弁8によりシリンジ5と分注
ノズル4とを連通しておいて、シリンジ5を往復動させ
ることにより、分注対象液体の吸入および吐出を行なわ
せることができる。また、切替弁8によりシリンジ5と
洗浄液タンク6とを連通してシリンジ5を一方に動作さ
せ、次いで切替弁8によりシリンジ5と分注ノズル4と
を連通してシリンジ5を逆方向に動作させることによ
り、洗浄液タンク6から洗浄液を吸い出し、分注ノズル
4を通して吐出して分注ノズル系の洗浄を行なわせるこ
とができる。
出方法が実施される分注ノズル系の構成の一例を示す概
略図であり、分注ノズル4と、シリンジ5と、洗浄液タ
ンク6と、これらの間を連通する連通管路7と、シリン
ジ5が分注ノズル4と連通される状態、洗浄液タンク6
と連通される状態を選択的に制御する切替弁8とを有し
ている。したがって、切替弁8によりシリンジ5と分注
ノズル4とを連通しておいて、シリンジ5を往復動させ
ることにより、分注対象液体の吸入および吐出を行なわ
せることができる。また、切替弁8によりシリンジ5と
洗浄液タンク6とを連通してシリンジ5を一方に動作さ
せ、次いで切替弁8によりシリンジ5と分注ノズル4と
を連通してシリンジ5を逆方向に動作させることによ
り、洗浄液タンク6から洗浄液を吸い出し、分注ノズル
4を通して吐出して分注ノズル系の洗浄を行なわせるこ
とができる。
【0034】図10は分注ノズル4と連通管路7とを示
す拡大断面図であり、連通管路7が透光性のある材質で
構成されているとともに、連通管路7の所定位置(分注
ノズル4に近接する所定位置であることが好ましい)に
発光素子9aおよび受光素子9bからなる透過型のフォ
トセンサ9が設けられている。図8はこの発明の分注装
置における異常検出方法のさらに他の実施例を説明する
フローチャートであり、ステップSP1において分注ノ
ズル4とシリンジ5とを連通させ、ステップSP2にお
いて液体分離用の空気層を形成すべくシリンジ5を動作
させ、ステップSP3において分注対象液体を吸入させ
るべくシリンジ5を動作させる。そして、ステップSP
4において、分注量と、フォトセンサ9の配置位置に基
づいて定まる量との差に相当する量の空気を吸入すべく
シリンジ5をさらに動作させる。その後、ステップSP
5において、フォトセンサからの出力信号に基づいて該
当位置に気体が存在しているか液体が存在しているかを
判別する。そして、気体が存在していると判別された場
合には、ステップSP6において分注ノズル4に詰りが
発生していることを表示する。ステップSP6の処理が
行なわれた後、またはステップSP5において液体が存
在していると判別された場合には、そのまま一連の処理
を終了する。
す拡大断面図であり、連通管路7が透光性のある材質で
構成されているとともに、連通管路7の所定位置(分注
ノズル4に近接する所定位置であることが好ましい)に
発光素子9aおよび受光素子9bからなる透過型のフォ
トセンサ9が設けられている。図8はこの発明の分注装
置における異常検出方法のさらに他の実施例を説明する
フローチャートであり、ステップSP1において分注ノ
ズル4とシリンジ5とを連通させ、ステップSP2にお
いて液体分離用の空気層を形成すべくシリンジ5を動作
させ、ステップSP3において分注対象液体を吸入させ
るべくシリンジ5を動作させる。そして、ステップSP
4において、分注量と、フォトセンサ9の配置位置に基
づいて定まる量との差に相当する量の空気を吸入すべく
シリンジ5をさらに動作させる。その後、ステップSP
5において、フォトセンサからの出力信号に基づいて該
当位置に気体が存在しているか液体が存在しているかを
判別する。そして、気体が存在していると判別された場
合には、ステップSP6において分注ノズル4に詰りが
発生していることを表示する。ステップSP6の処理が
行なわれた後、またはステップSP5において液体が存
在していると判別された場合には、そのまま一連の処理
を終了する。
【0035】液体吸入状態を示す図11を参照しながら
さらに詳細に説明する。ステップSP2の処理が行なわ
れることにより、図11(A)に示すように、分注ノズ
ル4の先端部に空気層が形成される。次いで、ステップ
SP3の処理が行なわれることにより、図11(B)に
示すように、分注対象液体が分注ノズル4の先端から吸
入される。その後、ステップSP4の処理が行なわれる
ことにより、図11(C)に示すように、分注ノズル4
の先端からさらに空気が吸入され、分注対象液体の液面
がフォトセンサ9と正対する。したがって、フォトセン
サ9の出力信号に基づいて分注ノズル4に詰りが発生し
ていないことを判別できる。 逆に、分注ノズル4に詰
りが発生している場合には、シリンジ5を動作させるこ
とにより空気層が膨脹されるので、空気層がフォトセン
サ9と正対する。したがって、フォトセンサ9の出力信
号に基づいて分注ノズル4に詰りが発生していることを
判別できる。
さらに詳細に説明する。ステップSP2の処理が行なわ
れることにより、図11(A)に示すように、分注ノズ
ル4の先端部に空気層が形成される。次いで、ステップ
SP3の処理が行なわれることにより、図11(B)に
示すように、分注対象液体が分注ノズル4の先端から吸
入される。その後、ステップSP4の処理が行なわれる
ことにより、図11(C)に示すように、分注ノズル4
の先端からさらに空気が吸入され、分注対象液体の液面
がフォトセンサ9と正対する。したがって、フォトセン
サ9の出力信号に基づいて分注ノズル4に詰りが発生し
ていないことを判別できる。 逆に、分注ノズル4に詰
りが発生している場合には、シリンジ5を動作させるこ
とにより空気層が膨脹されるので、空気層がフォトセン
サ9と正対する。したがって、フォトセンサ9の出力信
号に基づいて分注ノズル4に詰りが発生していることを
判別できる。
【0036】以上の説明から明らかなように、分注対象
液体の分注量が変化しても、補完的に空気を吸入した状
態におけるフォトセンサ9の出力信号に基づいて分注ノ
ズル4における詰りの有無を確実に判別できる。
液体の分注量が変化しても、補完的に空気を吸入した状
態におけるフォトセンサ9の出力信号に基づいて分注ノ
ズル4における詰りの有無を確実に判別できる。
【0037】
【実施例4】図12はこの発明の分注装置における異常
検出方法のさらに他の実施例を説明するフローチャート
であり、1種類の分注対象液体の分注が行なわれた後
に、ステップSP1において液体同士の接触を防止する
ための空気を吸入すべくシリンジを動作させ、ステップ
SP2においてフォトセンサによる空気層の検出回数の
計数を開始し、ステップSP3において、少なくとも分
注対象液体が接触した範囲を越える量だけ洗浄液を吸入
すべくシリンジを動作させる。次いで、ステップSP4
において、吸入された洗浄液および空気層を吐出させる
べくシリンジを逆に動作させ、ステップSP5において
空気層の検出回数の計数を停止し、ステップSP6にお
いて空気層の検出回数が2回であるか3回以上であるか
を判別する。ステップSP6において空気層の検出回数
が3回以上であると判別された場合には、ステップSP
7において汚れが付着していることを表示して、再びス
テップSP1の処理を行なう。逆に、ステップSP6に
おいて空気層の検出回数が2回であると判別された場合
には、そのまま一連の処理を終了する。
検出方法のさらに他の実施例を説明するフローチャート
であり、1種類の分注対象液体の分注が行なわれた後
に、ステップSP1において液体同士の接触を防止する
ための空気を吸入すべくシリンジを動作させ、ステップ
SP2においてフォトセンサによる空気層の検出回数の
計数を開始し、ステップSP3において、少なくとも分
注対象液体が接触した範囲を越える量だけ洗浄液を吸入
すべくシリンジを動作させる。次いで、ステップSP4
において、吸入された洗浄液および空気層を吐出させる
べくシリンジを逆に動作させ、ステップSP5において
空気層の検出回数の計数を停止し、ステップSP6にお
いて空気層の検出回数が2回であるか3回以上であるか
を判別する。ステップSP6において空気層の検出回数
が3回以上であると判別された場合には、ステップSP
7において汚れが付着していることを表示して、再びス
テップSP1の処理を行なう。逆に、ステップSP6に
おいて空気層の検出回数が2回であると判別された場合
には、そのまま一連の処理を終了する。
【0038】尚、図12の方法は、例えば、図9、図1
0の分注ノズル系に基づいて行なわれる。さらに詳細に
説明すると、分注ノズルの内径のみならず連通管路も内
径がかなり小さく設定されているので、例えば、連通管
路の内壁に、分注対象液体に含まれる蛋白質等が汚れと
して付着する可能性がある。そして、汚れが付着すれ
ば、空気、洗浄液がスムーズには流れなくなってしまう
ので、分注ノズルにおいては1かたまりの空気層であっ
たにも拘らず、この1かたまりの空気層が不連続になっ
てしまい、吸入回数と吐出回数との和よりも多い数の空
気層が検出されてしまうことを本件発明者は見出した。
この実施例は上記知見に基づいてなされたものであり、
洗浄液の吸入、吐出を1回ずつ行なう間における空気層
の検出回数が2回であるか3回以上であるかを判別する
ことにより汚れが付着しているか否かを判別することが
できる。もちろん、汚れが付着していると判別された場
合に、洗浄液タンクの洗浄液を用いて分注ノズル系の洗
浄を行なうようにしてもよい。また、電源投入初期に上
記動作を行なわせるようにしてもよい。
0の分注ノズル系に基づいて行なわれる。さらに詳細に
説明すると、分注ノズルの内径のみならず連通管路も内
径がかなり小さく設定されているので、例えば、連通管
路の内壁に、分注対象液体に含まれる蛋白質等が汚れと
して付着する可能性がある。そして、汚れが付着すれ
ば、空気、洗浄液がスムーズには流れなくなってしまう
ので、分注ノズルにおいては1かたまりの空気層であっ
たにも拘らず、この1かたまりの空気層が不連続になっ
てしまい、吸入回数と吐出回数との和よりも多い数の空
気層が検出されてしまうことを本件発明者は見出した。
この実施例は上記知見に基づいてなされたものであり、
洗浄液の吸入、吐出を1回ずつ行なう間における空気層
の検出回数が2回であるか3回以上であるかを判別する
ことにより汚れが付着しているか否かを判別することが
できる。もちろん、汚れが付着していると判別された場
合に、洗浄液タンクの洗浄液を用いて分注ノズル系の洗
浄を行なうようにしてもよい。また、電源投入初期に上
記動作を行なわせるようにしてもよい。
【0039】
【実施例5】図13はこの発明の分注装置における異常
検出方法のさらに他の実施例を説明するフローチャート
であり、ステップSP1においてシリンジと洗浄液タン
クとを連通し、ステップSP2においてシリンジにより
洗浄液を吸入し、ステップSP3においてフォトセンサ
による空気層の検出回数の計数を開始し、ステップSP
4においてシリンジを分注ノズルと連通し、ステップS
P5においてシリンジに吸入した洗浄液を分注ノズルを
通して吐出する。そして、ステップSP6において洗浄
動作を反復すべきことが指示されているか否かを判別
し、洗浄動作の反復が指示されている場合には再びステ
ップSP1の処理を行なう。逆に、ステップSP6にお
いて洗浄動作を反復すべきでないことが指示されている
と判別された場合には、ステップSP7においてフォト
センサによる空気層の検出回数の計数を停止し、ステッ
プSP8において空気層の検出回数が0か否かを判別
し、検出回数が0でない場合には、ステップSP9にお
いて液洩れが発生していることを表示して一連の処理を
終了する。もちろん、ステップSP8において空気層の
検出回数が0であると判別された場合には、そのまま一
連の処理を終了する。
検出方法のさらに他の実施例を説明するフローチャート
であり、ステップSP1においてシリンジと洗浄液タン
クとを連通し、ステップSP2においてシリンジにより
洗浄液を吸入し、ステップSP3においてフォトセンサ
による空気層の検出回数の計数を開始し、ステップSP
4においてシリンジを分注ノズルと連通し、ステップS
P5においてシリンジに吸入した洗浄液を分注ノズルを
通して吐出する。そして、ステップSP6において洗浄
動作を反復すべきことが指示されているか否かを判別
し、洗浄動作の反復が指示されている場合には再びステ
ップSP1の処理を行なう。逆に、ステップSP6にお
いて洗浄動作を反復すべきでないことが指示されている
と判別された場合には、ステップSP7においてフォト
センサによる空気層の検出回数の計数を停止し、ステッ
プSP8において空気層の検出回数が0か否かを判別
し、検出回数が0でない場合には、ステップSP9にお
いて液洩れが発生していることを表示して一連の処理を
終了する。もちろん、ステップSP8において空気層の
検出回数が0であると判別された場合には、そのまま一
連の処理を終了する。
【0040】尚、図13の方法は、例えば、図9、図1
0の分注ノズル系に基づいて行なわれる。以上の説明か
ら明らかなように、ステップSP1からステップSP5
までの処理において、分注ノズル系に意図的に空気層を
導入する処理は存在していないのであるから、異常が発
生していなければ空気層の計数回数は0であり、計数回
数が0以外の場合には液漏れが発生していることにな
る。したがって、液漏れが発生する可能性がある全ての
箇所に液洩れセンサを設ける必要がなくなり、連通管路
の所定位置にフォトセンサを配置しておくだけで確実に
液漏れを判別できる。
0の分注ノズル系に基づいて行なわれる。以上の説明か
ら明らかなように、ステップSP1からステップSP5
までの処理において、分注ノズル系に意図的に空気層を
導入する処理は存在していないのであるから、異常が発
生していなければ空気層の計数回数は0であり、計数回
数が0以外の場合には液漏れが発生していることにな
る。したがって、液漏れが発生する可能性がある全ての
箇所に液洩れセンサを設ける必要がなくなり、連通管路
の所定位置にフォトセンサを配置しておくだけで確実に
液漏れを判別できる。
【0041】但し、この処理は液漏れが発生した場合
と、洗浄液タンクが空になった場合とで同じ判別結果を
得ることになるので、例えば、事前に洗浄液タンクに洗
浄液を十分に注入しておくか、重量センサ、液面センサ
等を用いて洗浄液タンクが空でないことを検出すること
により、液漏れのみを確実に判別できる。
と、洗浄液タンクが空になった場合とで同じ判別結果を
得ることになるので、例えば、事前に洗浄液タンクに洗
浄液を十分に注入しておくか、重量センサ、液面センサ
等を用いて洗浄液タンクが空でないことを検出すること
により、液漏れのみを確実に判別できる。
【0042】
【発明の効果】以上のように請求項1の発明は、分注ノ
ズルが導電性材料で構成されている場合には、所定位置
において分注ノズルを区分し、区分した部分に絶縁性部
材を介在させ、逆に、分注ノズルが絶縁性材料で構成さ
れている場合には、分注ノズルを3つの部分に区分し、
各区分した部分に導電性部材を介在させることにより、
分注ノズルに対する電極の装着を達成できるので、分注
ノズルの内面にセンサを装着する従来例と比較して加工
性を著しく高めることができ、しかも、従来例において
問題となっていたブリッジ現象の影響を未然に防止し
て、正確な異常検出を達成でき、さらに、導電性部分と
絶縁性部分との内面を面一にできるのであるから、蛋白
質等に起因する汚れの付着を大幅に低減して、分注ノズ
ルの洗浄を必要最小限にでき、ひいては、検査等の所要
時間を従来例と比較して短縮できるという特有の効果を
奏する。
ズルが導電性材料で構成されている場合には、所定位置
において分注ノズルを区分し、区分した部分に絶縁性部
材を介在させ、逆に、分注ノズルが絶縁性材料で構成さ
れている場合には、分注ノズルを3つの部分に区分し、
各区分した部分に導電性部材を介在させることにより、
分注ノズルに対する電極の装着を達成できるので、分注
ノズルの内面にセンサを装着する従来例と比較して加工
性を著しく高めることができ、しかも、従来例において
問題となっていたブリッジ現象の影響を未然に防止し
て、正確な異常検出を達成でき、さらに、導電性部分と
絶縁性部分との内面を面一にできるのであるから、蛋白
質等に起因する汚れの付着を大幅に低減して、分注ノズ
ルの洗浄を必要最小限にでき、ひいては、検査等の所要
時間を従来例と比較して短縮できるという特有の効果を
奏する。
【0043】請求項2の発明は、センサを分注ノズルの
外面所定位置、分注対象溶液収容部等に設けるだけでよ
く、分注ノズルの内面にセンサを設ける従来例と比較し
て加工性を著しく高めることができ、しかも、従来例に
おいて問題となっていたブリッジ現象の影響を未然に防
止して、正確な異常検出を達成でき、さらに、分注ノズ
ル内面の面一性を維持できるのであるから、蛋白質等に
起因する汚れの付着を大幅に低減して、分注ノズルの洗
浄を必要最小限にでき、ひいては、検査等の所要時間を
従来例と比較して短縮できるという特有りの効果を奏す
る。
外面所定位置、分注対象溶液収容部等に設けるだけでよ
く、分注ノズルの内面にセンサを設ける従来例と比較し
て加工性を著しく高めることができ、しかも、従来例に
おいて問題となっていたブリッジ現象の影響を未然に防
止して、正確な異常検出を達成でき、さらに、分注ノズ
ル内面の面一性を維持できるのであるから、蛋白質等に
起因する汚れの付着を大幅に低減して、分注ノズルの洗
浄を必要最小限にでき、ひいては、検査等の所要時間を
従来例と比較して短縮できるという特有りの効果を奏す
る。
【0044】請求項3の発明は、請求項2の効果に加
え、液体の吸入量が変化しても、気体の吸入量を補完的
に変化させることにより液面検出位置を一定に保持でき
るのであるから、種々の分注量に簡単に対処できるとと
もに、分注ノズルの詰りの検出を確実化できるという特
有の効果を奏する。請求項4の発明は、分注ノズル系内
部の汚れを直接検出するセンサを設ける必要がなくな
り、単に液体分離のための空気層を介在させて吸入動作
および吐出動作を行なわせながら2以上の空気層が検出
されるか否のみに基づいて簡単に、かつ確実に汚れの検
出を達成できるという特有の効果を奏する。
え、液体の吸入量が変化しても、気体の吸入量を補完的
に変化させることにより液面検出位置を一定に保持でき
るのであるから、種々の分注量に簡単に対処できるとと
もに、分注ノズルの詰りの検出を確実化できるという特
有の効果を奏する。請求項4の発明は、分注ノズル系内
部の汚れを直接検出するセンサを設ける必要がなくな
り、単に液体分離のための空気層を介在させて吸入動作
および吐出動作を行なわせながら2以上の空気層が検出
されるか否のみに基づいて簡単に、かつ確実に汚れの検
出を達成できるという特有の効果を奏する。
【0045】請求項5の発明は、、分注ノズル系の洗浄
等を行なうために、空気層を介在させることのない吸入
動作および/または吐出動作を行なっている間に空気層
が検出されたことに応答して、液洩れが生じていると判
別でき、ひいては、液漏れが生じる可能性がある箇所に
個別に液洩れセンサを設ける必要がなくなり、構成を大
幅に簡素化できるという特有の効果を奏する。
等を行なうために、空気層を介在させることのない吸入
動作および/または吐出動作を行なっている間に空気層
が検出されたことに応答して、液洩れが生じていると判
別でき、ひいては、液漏れが生じる可能性がある箇所に
個別に液洩れセンサを設ける必要がなくなり、構成を大
幅に簡素化できるという特有の効果を奏する。
【0046】請求項6の発明は、分注ノズルが導電性材
料で構成されている場合には、所定位置において分注ノ
ズルを区分し、区分した部分に絶縁性部材を介在させ、
逆に、分注ノズルが絶縁性材料で構成されている場合に
は、分注ノズルを3つの部分に区分し、各区分した部分
に導電性部材を介在させることにより、分注ノズルに対
する電極の装着を達成できるので、分注ノズルの内面に
センサを装着する従来例と比較して加工性を著しく高め
ることができ、しかも、従来例において問題となってい
たブリッジ現象の影響を未然に防止して、正確な異常検
出を達成でき、さらに、導電性部分と絶縁性部分との内
面を面一にできるのであるから、蛋白質等に起因する汚
れの付着を大幅に低減して、分注ノズルの洗浄を必要最
小限にでき、ひいては、検査等の所要時間を従来例と比
較して短縮できるという特有の効果を奏する。
料で構成されている場合には、所定位置において分注ノ
ズルを区分し、区分した部分に絶縁性部材を介在させ、
逆に、分注ノズルが絶縁性材料で構成されている場合に
は、分注ノズルを3つの部分に区分し、各区分した部分
に導電性部材を介在させることにより、分注ノズルに対
する電極の装着を達成できるので、分注ノズルの内面に
センサを装着する従来例と比較して加工性を著しく高め
ることができ、しかも、従来例において問題となってい
たブリッジ現象の影響を未然に防止して、正確な異常検
出を達成でき、さらに、導電性部分と絶縁性部分との内
面を面一にできるのであるから、蛋白質等に起因する汚
れの付着を大幅に低減して、分注ノズルの洗浄を必要最
小限にでき、ひいては、検査等の所要時間を従来例と比
較して短縮できるという特有の効果を奏する。
【図1】この発明の分注装置における異常検出方法の一
実施例を説明するフローチャートである。
実施例を説明するフローチャートである。
【図2】この発明の分注装置における異常検出方法が実
施される分注ノズルの構成の一例を示す中央縦断面図で
ある。
施される分注ノズルの構成の一例を示す中央縦断面図で
ある。
【図3】分注ノズルの他の構成例を示す縦断面図であ
る。
る。
【図4】この発明の分注装置における異常検出方法の他
の実施例を説明するフローチャートである。
の実施例を説明するフローチャートである。
【図5】この発明の分注装置における異常検出方法が実
施される分注ノズルおよび分注対象液体収容部の構成の
一例を示す中央縦断面図である。
施される分注ノズルおよび分注対象液体収容部の構成の
一例を示す中央縦断面図である。
【図6】分注ノズルおよび分注対象液体収容部の他の構
成例を示す中央縦断面図である。
成例を示す中央縦断面図である。
【図7】分注ノズルおよび分注対象液体収容部のさらに
他の構成例を示す中央縦断面図である。
他の構成例を示す中央縦断面図である。
【図8】この発明の分注装置における異常検出方法のさ
らに他の実施例を説明するフローチャートである。
らに他の実施例を説明するフローチャートである。
【図9】この発明の分注装置における異常検出方法が実
施される分注ノズル系の構成の一例を示す概略図であ
る。
施される分注ノズル系の構成の一例を示す概略図であ
る。
【図10】分注ノズルと連通管路とを示す拡大断面図で
ある。
ある。
【図11】液体吸入状態を説明する図である。
【図12】この発明の分注装置における異常検出方法の
さらに他の実施例を説明するフローチャートである。
さらに他の実施例を説明するフローチャートである。
【図13】この発明の分注装置における異常検出方法の
さらに他の実施例を説明するフローチャートである。
さらに他の実施例を説明するフローチャートである。
1,2 分注ノズル 1a,1b 分割部 2d,2e 導電性部材 3a,3b 電極 3d 液面検知センサ 3e 光学的液面センサ 9 透過型のフォトセンサ 10 異常指示信号出力
部
部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西野 悌弘 滋賀県草津市岡本町字大谷1000番地の2 ダイキン工業株式会社滋賀製作所内 (72)発明者 大神 光司 滋賀県草津市岡本町字大谷1000番地の2 ダイキン工業株式会社滋賀製作所内
Claims (6)
- 【請求項1】 分注ノズル(1)(2)の、分注量に対
応する所定位置を電極間隙とする1対の電極(1a)
(1b)(2d)(2e)を分注ノズルの軸方向に設け
て、分注のための液体吸入時における電極間抵抗が大き
いことに応答して正常な液体吸入ができていないことを
示す異常指示信号を出力することを特徴とする分注装置
における異常検出方法。 - 【請求項2】 分注対象液体の液面を検知するセンサ
(3a)(3b)(3d)(3e)(9)を所定位置に
設けて、分注のための液体吸入時においてセンサ(3
a)(3b)(3d)(3e)(9)からの出力信号に
応答して正常な液体吸入ができていない状態か否かを示
す異常指示信号を出力することを特徴とする分注装置に
おける異常検出方法。 - 【請求項3】 分注対象液体の液面を検知するセンサ
(9)が、分注ノズル系の最大分注量よりも多い液量に
対応する所定位置に設けてある請求項2に記載の分注装
置における異常検出方法。 - 【請求項4】 分注ノズル系の所定位置に気体と液体と
を判別するセンサ(9)を設け、液体分離のために空気
層を介在させるべく吸入動作および吐出動作を行なわ
せ、これらの動作中にセンサ(9)により2以上の空気
層が検出されたことに応答して分注ノズル系内部の汚れ
を示す異常指示信号を出力することを特徴とする分注装
置における異常検出方法。 - 【請求項5】 分注ノズル系の所定位置に気体と液体と
を判別するセンサ(9)を設け、液体分離のための空気
層の介在を未然に阻止すべく吸入動作および/または吐
出動作を行なわせ、これらの動作中にセンサ(9)によ
り空気層が検出されたことに応答して分注ノズル系の液
洩れを示す異常指示信号を出力することを特徴とする分
注装置における異常検出方法。 - 【請求項6】 分注ノズル(1)(2)の、分注量に対
応する所定位置を電極間隙とすべく1対の電極(1a)
(1b)(2d)(2e)を分注ノズルの軸方向に設け
てあるとともに、電極(1a)(1b)(2d)(2
e)の内面を分注ノズル(1)(2)の内面と面一状に
すべく1対の電極(1a)(1b)(2d)(2e)が
形成されてあり、分注のための液体吸入時における電極
間抵抗が大きいことに応答して正常な液体吸入ができて
いないことを示す異常指示信号を出力する異常信号出力
手段(10)が設けられてあることを特徴とする分注装
置における異常検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3915693A JPH06249862A (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 分注装置における異常検出方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3915693A JPH06249862A (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 分注装置における異常検出方法およびその装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06249862A true JPH06249862A (ja) | 1994-09-09 |
Family
ID=12545254
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3915693A Pending JPH06249862A (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 分注装置における異常検出方法およびその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06249862A (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1019903A (ja) * | 1996-06-27 | 1998-01-23 | Aloka Co Ltd | 分注装置 |
JP2001183382A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-07-06 | Roche Diagnostics Gmbh | 分注機の動作確認装置および確認方法 |
JP2008119652A (ja) * | 2006-11-15 | 2008-05-29 | Yokogawa Electric Corp | 液体供給装置およびその不具合検出方法 |
WO2009001463A1 (ja) * | 2007-06-28 | 2008-12-31 | Olympus Corporation | 洗浄装置、吸引ノズルの詰り検知方法及び自動分析装置 |
WO2009001464A1 (ja) * | 2007-06-28 | 2008-12-31 | Olympus Corporation | 洗浄装置、洗浄ノズルの詰り検知方法及び自動分析装置 |
JP2009281877A (ja) * | 2008-05-22 | 2009-12-03 | Hitachi High-Technologies Corp | 分注装置 |
JP2010002237A (ja) * | 2008-06-18 | 2010-01-07 | Olympus Corp | ノズル詰まり検知方法および自動分析装置 |
JP2010509578A (ja) * | 2006-11-09 | 2010-03-25 | ダイアシス ダイアグノスティック システムズ ゲーエムベーハー | 注入用ニードルの受口における閉塞、凝塊又は凝固を認識する方法 |
JP2011185645A (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Toshiba Corp | 自動分析装置 |
US8087549B2 (en) | 2006-11-13 | 2012-01-03 | Yokogawa Electric Corporation | Liquid supply apparatus and method of detecting fault thereof |
WO2023032336A1 (ja) * | 2021-08-30 | 2023-03-09 | ソニーグループ株式会社 | 検出システム、吸引システム、および液体吸引方法 |
-
1993
- 1993-03-01 JP JP3915693A patent/JPH06249862A/ja active Pending
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1019903A (ja) * | 1996-06-27 | 1998-01-23 | Aloka Co Ltd | 分注装置 |
JP2001183382A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-07-06 | Roche Diagnostics Gmbh | 分注機の動作確認装置および確認方法 |
JP2010509578A (ja) * | 2006-11-09 | 2010-03-25 | ダイアシス ダイアグノスティック システムズ ゲーエムベーハー | 注入用ニードルの受口における閉塞、凝塊又は凝固を認識する方法 |
US8087549B2 (en) | 2006-11-13 | 2012-01-03 | Yokogawa Electric Corporation | Liquid supply apparatus and method of detecting fault thereof |
JP2008119652A (ja) * | 2006-11-15 | 2008-05-29 | Yokogawa Electric Corp | 液体供給装置およびその不具合検出方法 |
JPWO2009001464A1 (ja) * | 2007-06-28 | 2010-08-26 | ベックマン・コールター・インコーポレーテッド | 洗浄装置、洗浄ノズルの詰り検知方法及び自動分析装置 |
WO2009001464A1 (ja) * | 2007-06-28 | 2008-12-31 | Olympus Corporation | 洗浄装置、洗浄ノズルの詰り検知方法及び自動分析装置 |
JPWO2009001463A1 (ja) * | 2007-06-28 | 2010-08-26 | ベックマン・コールター・インコーポレーテッド | 洗浄装置、吸引ノズルの詰り検知方法及び自動分析装置 |
WO2009001463A1 (ja) * | 2007-06-28 | 2008-12-31 | Olympus Corporation | 洗浄装置、吸引ノズルの詰り検知方法及び自動分析装置 |
US8894948B2 (en) | 2007-06-28 | 2014-11-25 | Beckman Coulter, Inc. | Cleaning device, method for detecting suction nozzle clogging, and automatic analyzer |
US8894949B2 (en) | 2007-06-28 | 2014-11-25 | Beckman Coulter, Inc. | Cleaning device, method for cleaning nozzle clogging, and automatic analyzer |
JP2009281877A (ja) * | 2008-05-22 | 2009-12-03 | Hitachi High-Technologies Corp | 分注装置 |
JP2010002237A (ja) * | 2008-06-18 | 2010-01-07 | Olympus Corp | ノズル詰まり検知方法および自動分析装置 |
JP2011185645A (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Toshiba Corp | 自動分析装置 |
US8852530B2 (en) | 2010-03-05 | 2014-10-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Automated analyzer |
WO2023032336A1 (ja) * | 2021-08-30 | 2023-03-09 | ソニーグループ株式会社 | 検出システム、吸引システム、および液体吸引方法 |
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