Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JPH0572467A - 焦点検出手段を有した観察装置 - Google Patents

焦点検出手段を有した観察装置

Info

Publication number
JPH0572467A
JPH0572467A JP25965391A JP25965391A JPH0572467A JP H0572467 A JPH0572467 A JP H0572467A JP 25965391 A JP25965391 A JP 25965391A JP 25965391 A JP25965391 A JP 25965391A JP H0572467 A JPH0572467 A JP H0572467A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspected
light flux
objective system
light
illumination
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP25965391A
Other languages
English (en)
Inventor
Osamu Konouchi
修 此内
Masafumi Kamata
雅史 鎌田
Junichi Fukunaga
純一 福永
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP25965391A priority Critical patent/JPH0572467A/ja
Publication of JPH0572467A publication Critical patent/JPH0572467A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 試料面の観察と対物系に対する試料面の合焦
状態を高精度に検出することができる焦点検出手段を有
した観察装置を得ること。 【構成】 照明系からの照明光束を対物系を介して被検
面に照射し、該被検面を該対物系と結像系により観察す
ると共に焦点検出系からの検出光束を該対物系を介して
該被検面に入射させ、該被検面からの反射光を光電変換
素子で受光し、該光電変換素子からの信号を利用して該
被検面に対する該対物系の合焦状態を検出する際、該対
物系の瞳面との共役面に該照明光束と該検出光束とを空
間的に分離する分離手段を設けて該検出光束を該光電変
換素子に導光していること。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は焦点検出手段を有した観
察装置に関し、特に対物系の瞳面の一領域を通過した光
束で物体(被検面)の観察を行うと共に、該対物系の瞳
面の他の領域を通過した光束で該対物系の焦点検出を行
うようにした顕微鏡や顕微分光装置等に好適な焦点検出
手段を有した観察装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より結像光学系の焦点位置を光電的
に検出する焦点検出装置には、種々のタイプのものが提
案されている。例えば特開昭57−210308号公報
では投光手段より光束を物体側に投光し、物体からの反
射光束を利用して焦点検出を行う所謂能動方式の焦点検
出装置が提案されている。又特開昭57−72111号
公報や特開昭60−41013号公報等では結像光学系
により形成された物体像の結像状態を利用して焦点検出
を行う受動方式の焦点検出装置が提案されている。又特
開昭57−22210号公報では能動方式で、このとき
光束を結像光学系を介して物体側へ投光するようにした
TTL(Through The Lens)方式の焦
点検出装置が提案されている。
【0003】図6は従来の能動方式でかつTTL方式を
用いた焦点検出装置を備えた顕微分光装置の光学系の要
部概略図である。
【0004】同図においては白色の光源1から出た光束
21は第1コンデンサーレンズ2により集光され開口絞
り201の面に結像される。さらに視野絞り4を通過
し、第2コンデンサーレンズ5によりハーフミラー6を
介して、対物レンズ8の瞳7の位置に再結像される。そ
して対物レンズ8を介して試料9を照明している。同図
では光源1の像が瞳7に結像される所謂ケーラー照明が
構成されている。
【0005】図6中における光束21が照明光束を示
し、瞳面7での軸上及び最軸外の光束のみ示している。
試料9上の照明範囲は、視野絞り4の内径により決ま
る。又瞳面7での照明光束の通過領域径は、開口絞り2
01の内径により決まる。
【0006】図7は瞳面7の光束の状態を示している。
顕微分光装置においては、図7に示す様に、照明光束の
通過領域径72は瞳径71よりも若干小さくなるように
設定されている。これは、観察における解像力の向上、
及び照明の際の試料の傾きを低減させることを目標とし
て行われる。試料9からの反射光束22は最終的には試
料9と光学的に共役位置におかれたピンホール13に入
射する。
【0007】即ち、そのピンホール13の試料9面上へ
の逆投影像の中に相当する位置から反射してくる光束の
みが、順にハーフミラー6、ハーフミラー208、結像
レンズ10、ビームスプリッター11そしてピンホール
13を介して分光器14へと導光される。これにより試
料9の各位置の分光特性が測定される。又ビームスプリ
ッター11を透過した光はTVカメラ12上に結像さ
れ、試料9の観察の為に用いられる。
【0008】一方、601は焦点合わせ用の光源で例え
ばレーザーダイオード、LED(発光ダイオード)等か
ら成っている。光源601からの光束(検出光束、AF
光束)はコンデンサーレンズ602により集光される。
コンデンサーレンズ602で集光された光束の一部は光
軸に対して一方の側の部分が反射面603b、他方の側
の部分が透過面603aになっているナイフエッジミラ
ー603の透過面603aを通過する。透過面603a
を通過した光束はビームスプリッター208により反射
され光束607としてハーフミラー6を通過し対物レン
ズ8に入射する。
【0009】対物レンズ8への入射光束は図7で示すよ
うにその瞳面71上で対物レンズ8の光軸8aに対して
主光線が偏心した光束であり、瞳面7中の斜線で示す領
域73の前述した照明光束21と同じ領域72の一領域
内を通過する。
【0010】対物レンズ8を通過した光束607は物体
(被検面)9に投光され、その近傍に光源601の発光
部のスポット像を結像する。物体9で反射した光束のう
ち、投光時とは光軸8aに対して略対称な光路に沿って
反射した光束608は対物レンズ8を再通過する。そし
てビームスプリッター208で反射し、ナイフエッジミ
ラー603の反射面603bで反射してコンデンサーレ
ンズ604により集光されてバンドパスフィルター60
5を介して所定の波長の光束のみを通過させて焦点検出
用の光電変換素子(光検出器、CCD)606の受光面
にスポット像を形成する。
【0011】この結果、図8に示すようにCCD606
からの出力は、合焦位置では通常試料9とCCD606
は結像関係にある為、図8(B)に示す様に急峻な信号
81となる。さらに、CCD606面へは照明光束も導
光される為、信号81は照明光束21の信号84の上に
重なった形と成る。試料9の上・下側のディフォーカス
により図8(A)、又は図8(C)に示すようにAF光
束の信号82,83はそのピークが低下して、かつ左右
に動いた形状になる。この時、信号84は大きな変化は
起こさない。信号81,82,83の位置の変化から、
対物レンズ8の焦点合せを行っている。
【0012】特に、顕微分光装置の場合は照明波長域の
広さにもよるが、照明波長域の中に、焦点検出用の光源
の波長があることが多く、図8でのバックライトとなる
信号84をなくすことは難しい。バックライトとなる信
号84をなくす方法としては、例えば照明波長域外に焦
点検出用の波長を設定し、かつ照明光束をエッジフィル
ター等により、焦点検出用の波長付近はカットすればよ
い。しかしながら照明波長域が広い時はこの方法は難し
くなる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】図6に示す顕微分光装
置では焦点検出系のCCD606面に不要な照明光束2
1がバックライト光として入射してくる。このとき焦点
検出を良好に行うには焦点検出用の信号81の出力値が
照明光束21に基づく信号84の出力値よりも常に大き
くなるように各要素を設定する必要がある。
【0014】この為には例えば焦点検出系の光学系(コ
ンデンサーレンズ602)のNAを大きくする必要があ
り、そうするとコンデンサーレンズ602の焦点距離が
短くなり組立調整が難かしくなってくるという問題点が
生じてくる。又焦点検出系にレーザダイオード等の高出
力の光源が必要となり、その結果使用波長が限定されて
しまい、例えばその波長での試料9の反射率が低いとき
には焦点検出精度が低下してくるという問題点が生じて
くる。
【0015】本発明は照明系からの照明光束と焦点検出
系からの検出光束双方の光束の対物系の瞳面上への入射
領域を適切に設定することにより、焦点検出系の光電変
換素子(CCD)面上には検出光束のみが入射するよう
にし、焦点検出系に高NAの光学系や高出力の光源を用
いなくても高精度な焦点検出が可能な顕微鏡や顕微分光
装置等に好適な焦点検出手段を有した観察装置の提供を
目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明の焦点検出手段を
有した観察装置は、照明系からの照明光束を対物系を介
して被検面に照射し、該被検面からの反射光を該対物系
を介して結像系により所定面上に導光して、該被検面を
観察する際、焦点検出系からの検出光束を該対物系の瞳
面上の該照明光束が通過しない領域を通過させて該被検
面に入射させ、該被検面からの反射光を用いて該被検面
に対する該対物系の合焦状態を検出したことを特徴とし
ている。
【0017】この他本発明の焦点検出手段を有した観察
装置は、照明系からの照明光束を対物系を介して被検面
に照射し、該被検面からの反射光を該対物系を介して結
像系により所定面上に導光して、該被検面を観察すると
共に焦点検出系からの検出光束を該対物系を介して該被
検面に入射させ、該被検面からの反射光を光電変換素子
で受光し、該光電変換素子からの信号を利用して該被検
面に対する該対物系の合焦状態を検出する際、焦点検出
系からの検出光束を該対物系の瞳面上の該照明光束が通
過しない領域を通過させて該被検面に入射させ、該対物
系の瞳面との共役面に該照明光束による該被検面からの
正反射光と該検出光束による該被検面からの反射光とを
空間的に分離する分離手段を設け、該分離手段を利用し
て該検出光束を該光電変換素子に導光していることを特
徴としている。
【0018】
【実施例】図1は本発明を顕微分光装置に適用したとき
の実施例1の要部概略図である。本実施例では照明系に
より試料(物体)9を照明する各要素の構成は図6の従
来の顕微分光装置と基本的に同じである。
【0019】本実施例の構成を図6の顕微分光装置での
説明と一部重複するが順次説明する。まず照明系につい
て説明する。
【0020】白色の光源1から出た光束21は第1コン
デンサーレンズ2により集光され、開口周辺部に反射面
3aを設けた光束の分割手段としての開口絞り3の面に
結像される。さらに、視野絞り4を通過し、第2コンデ
ンサーレンズ5により、ハーフミラー6を介して、対物
系としての対物レンズ8の瞳(絞り)7の中央領域の位
置に再結像される。そして対物レンズ8を介して試料9
を照明している。同図では光源1の像が無限遠に結像さ
れる所謂ケーラー照明が構成されている。
【0021】対物レンズ(8)は試料側がテレセントリ
ック(射出テレセン)な系であり、絞り(7)はレンズ
(8)の分光器(14,13)側の焦点位置におかれ、
この絞り(7)の開口に光源(1)の像が投影される。
【0022】図1中における光束21が照明光束を示
し、瞳面7での軸上及び最軸外の光束のみ示している。
試料9上の照明範囲は視野絞り4の内径により決まる。
又瞳面7での照明光束径は開口絞り3の内径により決ま
る。
【0023】図3は瞳面7の光束の状態を示している。
本実施例においては図3に示す様に照明光束径32は瞳
径31よりも後述する焦点検出用の検出光束19が瞳面
7の周辺領域の検出光束径33に入射できる程度に小さ
くなるように設定している。
【0024】このように瞳面7上で照明光束21と焦点
検出用の検出光束を分離させて後述するように試料9か
ら反射した照明光束が焦点検出系の光検出器18に入射
しないようにしている。
【0025】この他、観察における解像力の向上、及び
照明の際の試料の傾きを低減させることを目標として行
われる。試料9からの反射光束22は最終的には試料9
と光学的に共役位置におかれたピンホール13に入射す
る。即ちそのピンホール13の試料9面上への逆投影像
の中に相当する位置から反射してくる光束のみが、順に
ハーフミラー6、観察系としての結像レンズ10、ビー
ムスプリッター11そしてピンホール13を介して分光
器14へと導光される。これにより試料9の分光特性が
測定される。又ビームスプリッター11を透過した光は
TVカメラ12上に結像され、試料の観察の為に用いら
れる。
【0026】次に焦点検出系について説明する。15は
焦点検出系の光源(AF光源)である。AF光源15か
らの光束(以下「検出光束」又は「AF光束」とい
う。)はコンデンサーレンズ16により集光し、開口周
辺部に反射面3aを有した開口絞り3の反射面3aに斜
入射し、反射した後視野絞り面4の光軸付近に結像され
る。さらに第2コンデンサーレンズ5、ハーフミラー
6、対物レンズ8を介して、試料9上に再結像される。
この際、対物レンズ8の瞳面7で、図3に示した様に瞳
径31の中心部の照明光束用の領域32は瞳径31よ
り、一般に小さく、周辺部は照明光束は通らない。この
周辺部の領域33にAF光束19が通過するようにAF
光源15、コンデンサーレンズ16を配置する。
【0027】試料9からの反射光束20は対物レンズ8
の瞳面7上で図3に示すように光軸8aに対して領域3
3と対称な領域34を通過する。そしてハーフミラー
6、第2コンデンサーレンズ5を介して視野絞り面4に
結像する。その後開口絞り3の反射面3aで反射し、レ
ンズ17によりCCD等から成る光電変換素子(センサ
ー)18面上に集光する。
【0028】センサー(18)からの出力を用いて、試
料(9)の表面が対物レンズ(8)の焦点位置にくるよ
うに試料(9)をレンズ(8)の光軸方向に動かして焦
点検出を行なう。これは不図示の可動試料台、試料台駆
動装置、制御器により行なわれる。
【0029】本実施例においては瞳面7と光学的に共役
位置の開口絞り3の位置において図3に示すように照明
光束22と検出光束19,20とが領域32と領域33
又は領域34の如く空間的に分離するようにしている。
これにより試料9で反射した照明光束は開口絞り3の反
射面3aには入射しないようにしている。この為センサ
ー18に入射する光束がAF光源15から出た光束の反
射光のみとなるようにし、照明光束21に基づく光束は
入射しないようにしている。
【0030】尚、本実施例においては光源15として、
波長が異なる光を発する複数個のLEDを用意してお
き、試料(9)面での反射率がよいものを選択して用い
ている。又、光源(1)からの光束に含まれる波長と同
じ波長の光を発するLEDをLED(15)として用い
ても良く、波長が可変な光を発する光源(レーザ)をL
ED(15)の代りに用いても良い。又光電変換素子
(18)はCCD以外にも、PSD(ポジション・セン
シティブ・ディテクター)や2分割センサー等を用いて
も良い。
【0031】図4はこのときセンサ−18から得られる
出力信号の模式図である。図4に示すようにセンサー1
8で得られる信号には図8で示した照明光束であるバッ
クライトに基づく信号は存在しなく検出光束に基づく信
号41,42,43のみとなる。
【0032】対物レンズ8と試料9とが合焦状態にある
場合の信号41を示し、図4(A)、(C)は対物レン
ズ8が試料9の下方又は上方のフォーカスしている場合
の信号42,43を示している。
【0033】本実施例ではバックライトがセンサーに入
射しない為、AF光源15として特に高出力のレーザダ
イオード(L・D)に限られず、例えばLED等も使用
可能で、又波長の選択性が広がり、局所的にある波長で
反射率が低下した試料のときでも高精度の焦点検出が可
能となる。又高NA比のコンデンサーレンズを用いる必
要もなく、組立調整が容易となる等の特長を有してい
る。
【0034】図2は本発明を顕微分光装置に適用した実
施例2の要部概略図である。本実施例では焦点検出系の
各要素が図1の実施例1と異っており、照明系等その他
の構成は同じである。
【0035】同図において202はAF光源、203は
コリメーターレンズ、204はミラー、209は結像レ
ンズ、210はAF光束のみを透過させる為の開口部を
有した光束の分離手段としてのストッパー、205はコ
ンデンサーレンズ、206はバンドパスフィルター、2
07はCCD等のセンサーである。
【0036】AF光源202からの光束19はコリメー
ターレンズ203により略平行光束となり、ミラー20
4とハーフミラー208で反射され、ハーフミラー6と
対物レンズ8を通過して試料9へ投光され、その面上に
スポットを結像する。その後試料9からの反射光20は
瞳面7上では投光時とは光軸8aに対して対称な位置を
通り、ハーフミラー6を通過した後、ハーフミラー20
8で反射し、結像レンズ209に入射する。
【0037】そして結像レンズ209を通過し、瞳面7
と略共役位置に配置したストッパー210に導光され
る。このストッパー210においては瞳面7と同様に照
明光束とAF光束は空間的に分離され入射している。
【0038】ストッパー5は図5に示すようにAF光束
20の通過領域52のみに開口部が設けられており、照
明光束の入射領域53は遮光部となっている。尚図5に
おいて8aは光軸である。
【0039】ストッパー210の開口部52を通過した
AF光束はバンドパスフィルター206を通過し、セン
サー207に入射する。これにより本実施例ではセンサ
ー207に入射する光束がAF光束のみとなるようにし
照明光束は入射しないようにしている。この為センサー
207で得られる信号はバックライトに基づく信号が存
在しなく例えば図4と同様の信号となる。これにより図
1の実施例1と同様の効果を得ている。
【0040】
【発明の効果】本発明によれば前述の如く、照明系から
の照明光束と焦点検出系からの検出光束の双方の光束の
対物系の瞳面上への入射領域を適切に設定することによ
り、焦点検出系の光電変換素子(CCD)面上には検出
光束のみが入射するようにし、焦点検出系に高NAの光
学系や高出力の光源を用いなくても高精度な焦点検出が
可能な顕微鏡や顕微分光装置等に好適な焦点検出手段を
有した観察装置を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明を顕微分光装置に適用したときの実施
例1の要部概略図
【図2】 本発明を顕微分光装置に適用したときの実施
例2の要部概略図
【図3】 図1の対物系の瞳面の光束の説明図
【図4】 図1の光電変換素子から得られる信号の模式
【図5】 図2のストッパーに入射する光束の説明図
【図6】 従来の顕微分光装置の要部概略図
【図7】 図6の対物レンズの瞳面の光束の説明図
【図8】 図6の光電変換素子から得られる信号の模式
【符号の説明】
1 光源 2 第1コンデンサーレンズ 3 開口絞り(分離手段) 4 視野絞り 5 第2コンデンサーレンズ 6 ハーフミラー 7 瞳面 8 対物系 10 結像系 11 ハーフミラー 12 テレビカメラ 13 ピンホール 14 分光器 15,202 AF光源 16,203 コンデンサーレンズ 17 レンズ 18,207 光電変換素子 19 検出光束 21 照明光束 210 ストッパー

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 照明系からの照明光束を対物系を介して
    被検面に照射し、該被検面からの反射光を該対物系を介
    して結像系により所定面上に導光して、該被検面を観察
    する際、焦点検出系からの検出光束を該対物系の瞳面上
    の該照明光束が通過しない領域を通過させて該被検面に
    入射させ、該被検面からの反射光を用いて該被検面に対
    する該対物系の合焦状態を検出したことを特徴とする焦
    点検出手段を有した観察装置。
  2. 【請求項2】 照明系からの照明光束を対物系を介して
    被検面に照射し、該被検面からの反射光を該対物系を介
    して結像系により所定面上に導光して、該被検面を観察
    すると共に焦点検出系からの検出光束を該対物系を介し
    て該被検面に入射させ、該被検面からの反射光を光電変
    換素子で受光し、該光電変換素子からの信号を利用して
    該被検面に対する該対物系の合焦状態を検出する際、焦
    点検出系からの検出光束を該対物系の瞳面上の該照明光
    束が通過しない領域を通過させて該被検面に入射させ、
    該対物系の瞳面との共役面に該照明光束による該被検面
    からの正反射光と該検出光束による該被検面からの反射
    光とを空間的に分離する分離手段を設け、該分離手段を
    利用して該検出光束を該光電変換素子に導光しているこ
    とを特徴とする焦点検出手段を有した観察装置。
  3. 【請求項3】 前記照明光束は前記対物系の瞳面の中央
    領域を通過し、前記検出光束は該対物系の瞳面の周辺領
    域を通過していることを特徴とする請求項1又は2の焦
    点検出手段を有した観察装置。
  4. 【請求項4】 前記照明系中の前記対物系の瞳面と共役
    な位置に開口周辺部に反射面を設けた開口絞りを配置
    し、前記焦点検出系からの検出光束を該開口絞りの反射
    面を介して該対物系に導光していることを特徴とする請
    求項1又は2の焦点検出手段を有した観察装置。
JP25965391A 1991-09-11 1991-09-11 焦点検出手段を有した観察装置 Pending JPH0572467A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25965391A JPH0572467A (ja) 1991-09-11 1991-09-11 焦点検出手段を有した観察装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25965391A JPH0572467A (ja) 1991-09-11 1991-09-11 焦点検出手段を有した観察装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0572467A true JPH0572467A (ja) 1993-03-26

Family

ID=17337043

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25965391A Pending JPH0572467A (ja) 1991-09-11 1991-09-11 焦点検出手段を有した観察装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0572467A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005091615A (ja) * 2003-09-16 2005-04-07 Olympus Corp 顕微鏡
JP2007101494A (ja) * 2005-10-07 2007-04-19 Nikon Corp 表面検査装置
JP2016038408A (ja) * 2014-08-05 2016-03-22 オリンパス株式会社 オートフォーカス装置、及び、標本観察装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005091615A (ja) * 2003-09-16 2005-04-07 Olympus Corp 顕微鏡
JP4546056B2 (ja) * 2003-09-16 2010-09-15 オリンパス株式会社 顕微鏡
JP2007101494A (ja) * 2005-10-07 2007-04-19 Nikon Corp 表面検査装置
JP2016038408A (ja) * 2014-08-05 2016-03-22 オリンパス株式会社 オートフォーカス装置、及び、標本観察装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4251129A (en) Photoelectric detecting device
US6823079B1 (en) Device for examining samples
US4406546A (en) Photoelectric detecting device
US6812446B2 (en) Autofocus module for microscope-based systems
JP2003232989A (ja) 顕微鏡ベースのシステムに対するオートフォーカスモジュール、オートフォーカスモジュールを有する顕微鏡システム、および顕微鏡ベースのシステムに対する自動焦点合わせ方法
JPH10161195A (ja) オートフォーカス方法及びオートフォーカス装置
US20070012859A1 (en) Focus detection apparatus
JP2006184777A (ja) 焦点検出装置
JPH0572467A (ja) 焦点検出手段を有した観察装置
JPS6026311A (ja) 暗視野顕微鏡用焦点検出装置
JPH0580246A (ja) 自動合焦装置及びそれを備えた観察装置
JP2757541B2 (ja) 焦点検出装置及びそれを備えた観察装置
JP2002156578A (ja) 焦点検出装置、及びそれを備えた対物レンズ、光学顕微鏡又は光学検査装置
JP2003083723A (ja) 3次元形状測定光学系
JPH1195114A (ja) 走査型光学顕微鏡装置
JPS63259521A (ja) 複合型合焦検出装置
JPH1164719A (ja) 焦点検出手段を備えた顕微鏡および変位計測装置
JPH07174962A (ja) 自動焦点調節装置
JPH10133117A (ja) 焦点検出装置を備えた顕微鏡
JPH11121357A (ja) 位置検出装置及び位置検出方法
JP2001083101A (ja) 光学的パターン検査装置
JP4827344B2 (ja) 光学測定装置
JPH08240765A (ja) 自動焦点検出装置
JP2007148084A (ja) 焦点検出装置
JPH05346532A (ja) 顕微鏡における自動焦点合わせ装置及び暗視野顕微鏡