JPH0557753U - Fluorescent display tube - Google Patents
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- JPH0557753U JPH0557753U JP5892U JP5892U JPH0557753U JP H0557753 U JPH0557753 U JP H0557753U JP 5892 U JP5892 U JP 5892U JP 5892 U JP5892 U JP 5892U JP H0557753 U JPH0557753 U JP H0557753U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ゲッター室が不要で、ゲッターを高温加熱す
る必要のない蛍光表示管を提供する。
【構成】 バックプレート4の内面には電界放出素子が
形成されている。フェイスプレート3の内面には蛍光体
層を有するアノードが形成されている。両プレート3,
4は枠状のサイドシール5を介して封着されている。サ
イドシール5の四隅には、外囲器6内に連通するゲッタ
ー室7が設けられ、ゲッター室7内にはゲッター室7よ
りも一回り小さい表面活性形のバルクゲッター1が収納
されている。外囲器6内は排気されて高真空状態となっ
ている。この排気時に、外囲器6は250〜350℃で
加熱され、前記バルクゲッター1は活性化される。
(57) [Abstract] [Purpose] To provide a fluorescent display tube that does not require a getter chamber and does not need to heat the getter at high temperature. [Structure] A field emission device is formed on the inner surface of the back plate 4. An anode having a phosphor layer is formed on the inner surface of the face plate 3. Both plates 3,
4 is sealed by a frame-shaped side seal 5. A getter chamber 7 communicating with the inside of the envelope 6 is provided at four corners of the side seal 5, and the getter chamber 7 accommodates a surface-active bulk getter 1 which is slightly smaller than the getter chamber 7. The inside of the envelope 6 is evacuated and is in a high vacuum state. During this evacuation, the envelope 6 is heated at 250 to 350 ° C., and the bulk getter 1 is activated.
Description
【0001】[0001]
本考案は蛍光表示管に係り、特に電子源として冷陰極である電界放出素子を利 用した薄形の蛍光表示管(以下FEDと略称する。)に関するものである。 The present invention relates to a fluorescent display tube, and more particularly to a thin fluorescent display tube (hereinafter abbreviated as FED) using a field emission device which is a cold cathode as an electron source.
【0002】[0002]
図6は、電界放出素子を用いた従来の蛍光表示管100の一例を示す断面図で ある。この蛍光表示管100の外囲器101は、対面するカソード基板102と アノード基板103をスペーサ104を介して封着した構造となっている。カソ ード基板102の内面には電界放出素子が設けられ、これに対面するようにアノ ード基板103の内面には蛍光体層を備えた表示部としてのアノード電極が設け られている。上記の構造において、電界放出素子とアノード電極は可能な限り接 近させてあり、その間隔は例えば0.2mm程度となっている。このため、スペ ーサ104の厚さは一般に1mm以下に設定され、この蛍光表示管100は薄形 の表示素子となっている。ところが、従来のゲッター105は、図中に示すよう に環状の開口した金属容器内にBa−Al等のゲッター材料を充填した飛散形の ゲッターで、その厚さは数mm程度になっている。このため、従来はゲッター1 05を外囲器101内に配設することができず、図6に示すように外囲器101 のカソード基板102の裏面に箱形のゲッター室106を設けて外囲器101内 と排気孔107で導通させ、このゲッター室106内にゲッター105を設けて いた。そして、外囲器101及びゲッター室106内の空気は、ゲッター室10 6に設けられた排気孔108及び排気管109を介して排気され、その後排気管 109を封止することによって外囲器101内は高真空雰囲気に保持される。そ して、前記ゲッター105はボンバーターで高周波加熱され、ゲッター材料はゲ ッター室106の内面に蒸着してゲッター膜110を形成する。 FIG. 6 is a sectional view showing an example of a conventional fluorescent display tube 100 using a field emission device. The envelope 101 of the fluorescent display tube 100 has a structure in which a cathode substrate 102 and an anode substrate 103 facing each other are sealed with a spacer 104 interposed therebetween. A field emission device is provided on the inner surface of the cathode substrate 102, and an anode electrode as a display unit having a phosphor layer is provided on the inner surface of the anode substrate 103 so as to face the field emission device. In the above structure, the field emission device and the anode electrode are as close to each other as possible, and the distance between them is, for example, about 0.2 mm. Therefore, the thickness of the spacer 104 is generally set to 1 mm or less, and the fluorescent display tube 100 is a thin display element. However, the conventional getter 105 is a scattered getter in which a getter material such as Ba-Al is filled in a metal container having an annular opening as shown in the figure, and the thickness thereof is about several mm. Therefore, conventionally, the getter 105 cannot be arranged in the envelope 101, and the box-shaped getter chamber 106 is provided on the back surface of the cathode substrate 102 of the envelope 101 as shown in FIG. The getter 105 was provided in the getter chamber 106 by connecting the inside of the envelope 101 with the exhaust hole 107. Then, the air in the envelope 101 and the getter chamber 106 is exhausted through the exhaust hole 108 and the exhaust pipe 109 provided in the getter chamber 106, and then the exhaust pipe 109 is sealed to enclose the envelope 101. The inside is kept in a high vacuum atmosphere. Then, the getter 105 is heated at high frequency by a bomber, and the getter material is deposited on the inner surface of the getter chamber 106 to form a getter film 110.
【0003】[0003]
前述した従来のFEDによれば次のような問題点があった。 (1)薄形の外囲器の外側にゲッター室を設けなければならない。しかもゲッ ターとゲッター室の内面との間にある程度の距離がないと、ゲッター膜の蒸着面 積が小さくなって吸着効率が悪化する。このため、ゲッター室の寸法を大きくと らなけらばならない。 (2)飛散形のBa−Alゲッターは高周波電気炉で850℃位の高温に加熱 されてBa金属のみを飛散させる。従って、ゲッターと基板が接近していると外 囲器に熱が伝わり、部分的熱膨張が起って外囲器にクラックが生じてしまう。 The conventional FED described above has the following problems. (1) The getter chamber must be provided outside the thin envelope. Moreover, if there is no distance between the getter and the inner surface of the getter chamber, the vapor deposition area of the getter film becomes small and the adsorption efficiency deteriorates. For this reason, the size of the getter room must be large. (2) The scattered Ba-Al getter is heated to a high temperature of about 850 ° C. in a high frequency electric furnace to scatter only Ba metal. Therefore, when the getter and the substrate are close to each other, heat is transferred to the envelope, causing partial thermal expansion and causing cracks in the envelope.
【0004】 本考案は、ゲッター室を不要として薄形であるというFEDの特長を生かすこ とができ、従来ゲッター膜を形成するために行なわれていた高温加熱による悪影 響をとりのぞいた蛍光表示管を提供することを目的としている。The present invention can take advantage of the thinness of the FED that does not require a getter chamber, and eliminates the adverse effects of high temperature heating that was conventionally performed to form a getter film. It is intended to provide a display tube.
【0005】[0005]
本考案の蛍光表示管は、外囲器の内部の所定位置に取付け手段を介して表面活 性形のバルクゲッターを固定したことを特徴としている。 The fluorescent display tube of the present invention is characterized in that a surface-active bulk getter is fixed to a predetermined position inside the envelope through a mounting means.
【0006】 また本考案によれば、前記外囲器の内部の空間に開放されたゲッター室を前記 取付け手段として前記外囲器の内部に設け、該ゲッター室内に表面活性形の前記 バルクゲッターを保持させてもよい。Further, according to the present invention, a getter chamber opened to a space inside the envelope is provided inside the envelope as the mounting means, and the surface-active bulk getter is provided in the getter chamber. It may be held.
【0007】 さらに本考案によれば、表面活性形の前記バルクゲッターをZr−Ni粉末で 形成してもよいし、また前記外囲器内で電子を放出するカソードに電界放出素子 を用いてもよい。Further, according to the present invention, the surface active bulk getter may be formed of Zr-Ni powder, or a field emission device may be used as a cathode that emits electrons in the envelope. Good.
【0008】[0008]
外囲器の内部に固定された表面活性形のバルクゲッターは比較的低温の加熱で 表面が活性化してゲッター作用を有する。このバルクゲッターは外囲器内の表示 部に接近しているため、ゲッター効果は有効に働く。 The surface-active bulk getter fixed inside the envelope has a getter function by activating the surface by heating at a relatively low temperature. Since this bulk getter is close to the display part inside the envelope, the getter effect works effectively.
【0009】[0009]
図1〜図3によって第1実施例を説明する。 本実施例で用いられるゲッターは、従来の飛散形のゲッターではなく、表面活 性形のバルク形のゲッター(バルクゲッター)である。本実施例による表面活性 形のバルクゲッター1(以下、単にバルクゲッター1と略称する。)は、Zr− Niの粉末を材厚0.1〜0.2mmの正方形又はリボン状に成形したものであ る。このバルクゲッター1は、真空に引いた状態で200〜400℃程度に加熱 することによって表面が活性化されてゲッター機能が得られる。 A first embodiment will be described with reference to FIGS. The getter used in this example is not a conventional scattered getter but a surface-active bulk type getter (bulk getter). The surface-active bulk getter 1 (hereinafter, simply referred to as bulk getter 1) according to the present embodiment is formed by molding Zr-Ni powder into a square or ribbon shape having a material thickness of 0.1 to 0.2 mm. is there. The surface of the bulk getter 1 is activated by heating to about 200 to 400 ° C. in a vacuumed state, and a getter function is obtained.
【0010】 さて、図1〜3に示すように、本実施例の蛍光表示管2はFEDであり、所定 間隔をおいて対向するフェースプレート3とバックプレート4をサイドシール5 を介して一体に固着した外囲器6を有している。 図示はしないが、バックプレート4の内面には、カソード配線・コーン形状の エミッタ・絶縁層・ゲート等からなる電界放出素子が形成されている。 図示はしないが、フェースプレート3の内面には、アノード配線・陽極導体・ 蛍光体層等からなるアノードが形成されている。Now, as shown in FIGS. 1 to 3, the fluorescent display tube 2 of this embodiment is an FED, and a face plate 3 and a back plate 4 facing each other at a predetermined interval are integrally formed via a side seal 5. It has a fixed envelope 6. Although not shown, on the inner surface of the back plate 4, a field emission device including a cathode wiring, a cone-shaped emitter, an insulating layer, a gate, etc. is formed. Although not shown, on the inner surface of the face plate 3, an anode including an anode wiring, an anode conductor, a phosphor layer, etc. is formed.
【0011】 前記バックプレート4及びフェースプレート3を封着しているサイドシール5 は、低融点ガラスを主成分とするガラス接着材からなり、所定厚さの枠状のパタ ーンに形成されている。その四隅には、前記バルクゲッター1に合せた形状で外 囲器6の内部空間に連通したゲッター室7が形成されており、その内部には前述 した板状のバルクゲッター1が収納・保持されている。バルクゲッター1の厚さ は、ゲッター室7の高さよりも小さく、バルクゲッター1の表面は外囲器6内の 空間に露出している。即ち、本実施例においては、このゲッター室7が、バルク ゲッター1を外囲器6内の所定位置に固定する取付け手段となっている。The side seal 5 that seals the back plate 4 and the face plate 3 is made of a glass adhesive material having a low melting point glass as a main component, and is formed into a frame-shaped pattern having a predetermined thickness. There is. At the four corners, a getter chamber 7 is formed in a shape that matches the bulk getter 1 and communicates with the internal space of the envelope 6, and the plate-shaped bulk getter 1 described above is housed and held therein. ing. The thickness of the bulk getter 1 is smaller than the height of the getter chamber 7, and the surface of the bulk getter 1 is exposed to the space inside the envelope 6. That is, in this embodiment, the getter chamber 7 serves as a mounting means for fixing the bulk getter 1 at a predetermined position in the envelope 6.
【0012】 次に、製造工程について説明すると、スクリーン印刷の手法を用い、バックプ レート4に前述したパターン及び所定の厚さでサイドシール5を印刷する。ゲッ ター室7にバルクゲッター1を収め、フェースプレート3を重ねる。そして、こ れを焼成してバックプレート4とフェイスプレート3を封着し、外囲器6を構成 する。Next, the manufacturing process will be described. The side seal 5 is printed on the back plate 4 with the above-described pattern and a predetermined thickness by using a screen printing method. The bulk getter 1 is placed in the getter chamber 7, and the face plate 3 is overlaid. Then, this is fired to seal the back plate 4 and the face plate 3 to form the envelope 6.
【0013】 次に、バックプレート4に設けた排気孔8から外囲器6内を排気して真空にし 、蓋材9によって排気孔8を封止する。この排気工程において、排気効率を良く するために外囲器6を周囲から250〜350℃の温度で加熱する。この加熱に より、前記バルクゲッター1の表面が活性化され、ゲッター作用が増大する。Next, the inside of the envelope 6 is evacuated from the exhaust hole 8 provided in the back plate 4 to make a vacuum, and the exhaust hole 8 is sealed by the lid member 9. In this exhaust step, the envelope 6 is heated from the surroundings at a temperature of 250 to 350 ° C. in order to improve the exhaust efficiency. By this heating, the surface of the bulk getter 1 is activated and the getter action is increased.
【0014】 なお、ゲッター材料としては、前述したZr−Ni粉末の他、Ta,Ti,T h,Nb,Ce等が利用でき、これら材料を板状にしたものを用いてもよい。As the getter material, Ta, Ti, Th, Nb, Ce or the like can be used in addition to the Zr—Ni powder described above, and a plate-shaped material of these materials may be used.
【0015】 図4によって第2実施例を説明する。 この実施例では、厚さ0.1mmのバルクゲッター1の取付け手段であるゲッ ター室10を、感光性ガラスからなるスペーサ11を用いて構成している。感光 性ガラスからなるスペーサ11は、厚さ0.2mmの四角い枠状の部材である。 その四隅には、フォトリソグラフィの手法を用いてゲッター室10となる凹部が 形成されている。ゲッター室10の形状・構造・寸法等は第1実施例のゲッター 室7とほぼ同じであり、即ちバルクゲッター1よりも一回り大きいゲッター室1 0は外囲器12内に連通している。A second embodiment will be described with reference to FIG. In this embodiment, the getter chamber 10 which is a means for mounting the bulk getter 1 having a thickness of 0.1 mm is constructed by using the spacer 11 made of photosensitive glass. The spacer 11 made of photosensitive glass is a square frame-shaped member having a thickness of 0.2 mm. At the four corners, recesses to be the getter chambers 10 are formed by using photolithography. The shape, structure, dimensions, etc. of the getter chamber 10 are almost the same as those of the getter chamber 7 of the first embodiment, that is, the getter chamber 10 which is slightly larger than the bulk getter 1 communicates with the inside of the envelope 12.
【0016】 バックプレート13上に接着ガラスを介して固定された前記スペーサ11のま わりには、シールガラス14が設けられている。またスペーサ11の上面にも固 定用の接着ガラス15が設けられている。そして、前記ゲッター室10内にはバ ルクゲッター1が収納され、バックプレート13に対面してフェイスプレートが 封着されて外囲器12が構成される。外囲器12の排気・封止工程と、バルクゲ ッター1の活性化は第1実施例と同じである。A seal glass 14 is provided in front of the spacer 11 fixed on the back plate 13 via an adhesive glass. Further, a fixing adhesive glass 15 is also provided on the upper surface of the spacer 11. The bulk getter 1 is housed in the getter chamber 10, and the face plate is sealed to face the back plate 13 to form the envelope 12. The steps of exhausting / sealing the envelope 12 and activating the bulk getter 1 are the same as in the first embodiment.
【0017】 以上説明した各実施例では、バルクゲッター1の取付け手段として外囲器6, 12内の空間に連通するゲッター室7,10を外囲器6,12内に設けた。この ようなゲッター室を外囲器内に設けた構造としては、以上のほか図5に示すよう に、外囲器を構成する基板20にゲッター室21となる凹部を設けてバルクゲッ ター1を収納し、孔付きの蓋22で該バルクゲッター1をゲッター室21内に保 持するようにしてもよい。In each of the embodiments described above, the getter chambers 7 and 10 communicating with the spaces inside the envelopes 6 and 12 are provided inside the envelopes 6 and 12 as the attachment means of the bulk getter 1. As a structure in which such a getter chamber is provided in the envelope, as shown in FIG. 5, the substrate 20 forming the envelope is provided with a recess serving as the getter chamber 21 to accommodate the bulk getter 1 as shown in FIG. However, the bulk getter 1 may be held in the getter chamber 21 by the lid 22 having a hole.
【0018】 また、バルクゲッターの取付け手段は、ゲッター室に限定されるものではなく 、例えばガラス接着材を取付け手段としてバルクゲッターを外囲器内の要所に直 接固定するようにしてもよい。Further, the mounting means of the bulk getter is not limited to the getter chamber, and for example, the glass getter may be used as the mounting means to directly fix the bulk getter to a key place in the envelope. ..
【0019】[0019]
本考案の蛍光表示管は、外囲器の内部にバルクゲッターを直接固定した構造な ので、次のような効果を有している。 (1)真空中で200〜400℃程度の温度に加熱するだけでバルクゲッター を活性化させることができる。このため、従来のような高周波加熱炉が不要にな り、ゲッターフラッシュ工程も省略でき、ゲッターの活性化を排気工程で同時に 行うことができる。 Since the fluorescent display tube of the present invention has a structure in which a bulk getter is directly fixed inside the envelope, it has the following effects. (1) The bulk getter can be activated only by heating to a temperature of about 200 to 400 ° C. in vacuum. Therefore, the conventional high-frequency heating furnace is not required, the getter flash step can be omitted, and the getter can be activated at the same time in the exhaust step.
【0020】 (2)FEDにおいてゲッター室を設ける必要がなくなり、薄形の蛍光表示管 の作製が可能となる。(2) It is not necessary to provide a getter chamber in the FED, and a thin fluorescent display tube can be manufactured.
【0021】 (3)従来のような飛散形のゲッターを支持するための部材や、高周波加熱が 可能な金属容器等が不要になり、構造が簡略化される。(3) The structure for simplifying the structure becomes unnecessary because a conventional member for supporting the scattered getter, a metal container capable of high-frequency heating, and the like are unnecessary.
【0022】 (4)バルクゲッターが表示部に近接しているため、ゲッター効果が有効に働 く。(4) Since the bulk getter is close to the display section, the getter effect works effectively.
【図1】第1実施例の一部を切欠いた正面図である。FIG. 1 is a partially cutaway front view of a first embodiment.
【図2】図1のA部を拡大した斜視図である。FIG. 2 is an enlarged perspective view of a portion A of FIG.
【図3】第1実施例の断面図である。FIG. 3 is a sectional view of the first embodiment.
【図4】第2実施例の断面図である。FIG. 4 is a sectional view of a second embodiment.
【図5】他の実施例の要部拡大断面図である。FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of a main part of another embodiment.
【図6】従来の蛍光表示管の断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a conventional fluorescent display tube.
1 表面活性形のバルクゲッター(バルクゲッター) 2 蛍光表示管 6,12 外囲器 7,21 取付け手段としてのゲッター室 1 Surface active type bulk getter (bulk getter) 2 Fluorescent display tube 6,12 Envelope 7,21 Getter chamber as mounting means
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 横山 三喜男 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株式 会社内 (72)考案者 利根川 武 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株式 会社内 (72)考案者 新山 剛宏 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株式 会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Creator Mikio Yokoyama 629 Oshiba, Mobara, Chiba Prefecture Futaba Electronics Co., Ltd. (72) Creator Takeshi Tonegawa 629 Oshiba, Mobara City, Chiba Futaba Electronics Co., Ltd. (72) Creator Takehiro Niiyama 629 Oshiba, Mobara-shi, Chiba Futaba Electronics Co., Ltd.
Claims (4)
介して表面活性形のバルクゲッターを固定したことを特
徴とする蛍光表示管。1. A fluorescent display tube characterized in that a surface-active bulk getter is fixed to a predetermined position inside an envelope via a mounting means.
ッター室を前記取付け手段として前記外囲器の内部に設
け、該ゲッター室内に表面活性形の前記バルクゲッター
を保持したことを特徴とする請求項1記載の蛍光表示
管。2. A getter chamber opened to a space inside the envelope is provided inside the envelope as the mounting means, and the surface-activated bulk getter is held in the getter chamber. The fluorescent display tube according to claim 1.
−Ni粉末を主体としている請求項1記載の蛍光表示
管。3. The surface active form of the bulk getter is Zr.
-The fluorescent display tube according to claim 1, which is mainly composed of Ni powder.
が電界放出素子である請求項1記載の蛍光表示管。4. The fluorescent display tube according to claim 1, wherein the cathode that emits electrons in the envelope is a field emission device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1992000058U JPH0754914Y2 (en) | 1992-01-06 | 1992-01-06 | Field emission emitter light emitting device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1992000058U JPH0754914Y2 (en) | 1992-01-06 | 1992-01-06 | Field emission emitter light emitting device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0557753U true JPH0557753U (en) | 1993-07-30 |
JPH0754914Y2 JPH0754914Y2 (en) | 1995-12-18 |
Family
ID=11463617
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1992000058U Expired - Fee Related JPH0754914Y2 (en) | 1992-01-06 | 1992-01-06 | Field emission emitter light emitting device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0754914Y2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006185813A (en) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Hitachi Ltd | Display device |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS552435A (en) * | 1978-06-21 | 1980-01-09 | Tokyo Shibaura Electric Co | Ultrasoniccwave diagnosis device |
JPS61218055A (en) * | 1985-03-25 | 1986-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Image display device |
-
1992
- 1992-01-06 JP JP1992000058U patent/JPH0754914Y2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS552435A (en) * | 1978-06-21 | 1980-01-09 | Tokyo Shibaura Electric Co | Ultrasoniccwave diagnosis device |
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JP2006185813A (en) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Hitachi Ltd | Display device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPH0754914Y2 (en) | 1995-12-18 |
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