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JPH05211214A - Ic marking circuit - Google Patents

Ic marking circuit

Info

Publication number
JPH05211214A
JPH05211214A JP1492292A JP1492292A JPH05211214A JP H05211214 A JPH05211214 A JP H05211214A JP 1492292 A JP1492292 A JP 1492292A JP 1492292 A JP1492292 A JP 1492292A JP H05211214 A JPH05211214 A JP H05211214A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fuse
marking
pad
circuit
blown out
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP1492292A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takuya Fujii
卓哉 藤井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP1492292A priority Critical patent/JPH05211214A/en
Publication of JPH05211214A publication Critical patent/JPH05211214A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a marking circuit conducting marking through an electrical method. CONSTITUTION:In the layout of a semiconductor integrated circuit, an IC marking circuit is constituted while having pads 101-112, a fuse circuit 114, a loaded part chip 115 and a substrate 116, the fuse 114 is connected directly to the pads 101, 102 and 103, and the fuse 114 is blown out by applying voltage to the pad 101 and the pad 102 or the pad 101 and the pad 103. When the fuse 114 is blown out by applying voltage, the fuse 114 is manufactured so that blown out fuse can be decided by appearance. Marking can be conducted through an electrical method by the blown out fuse, not by a mechanical method.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はICマーキング回路に関
する。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to an IC marking circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のICマーキングにおいては、針を
用いてチップに傷をつけたり、またはぺンを用いてマー
クをつけたりしており、機械的な方法によりマーキング
を行っているのが一般である。
2. Description of the Related Art In conventional IC marking, a chip is scratched with a needle or a pen is used for marking, and marking is generally performed by a mechanical method. ..

【0003】図4に示されるのは、従来行われているI
Cテスタとプローバとを用いて、ウェハ上のICのテス
トを行う場合の手順を示すフローチャートである。始め
に、プローバにおいて、プローブカードにチップを合わ
せてテストが行われる(ステップ401)。次いでプロ
ーバにおいては、テスト結果とウェハ上のICのアドレ
スとが記憶され(ステップ402)、ウェハ上の全ての
ICのテストが終了したか否かが判定されて(ステップ
403)、終了していない場合にはステップ401に戻
り、また全てのICのテストの終了後においては、前記
プローバ内に記憶されているテスト結果とICのアドレ
スとを用いて、当該プローバによりICに対する機械的
なマーキングが行われる(ステップ404)。
FIG. 4 shows the conventional I
6 is a flowchart showing a procedure for testing an IC on a wafer by using a C tester and a prober. First, in the prober, a test is performed by fitting the chip to the probe card (step 401). Next, in the prober, the test result and the addresses of the ICs on the wafer are stored (step 402), it is judged whether or not the tests of all the ICs on the wafer are completed (step 403), and it is not completed. In this case, the procedure returns to step 401, and after all the ICs have been tested, the prober performs mechanical marking on the ICs using the test results and the IC addresses stored in the prober. (Step 404).

【0004】このように、ICに対して機械的にマーキ
ングを行う場合には、始めに針圧およびペンの圧力の調
整および角度の調整等を行う必要があり、また、ICの
チップサイズが異なる場合には、マーキングを調整する
必要も生じる。また、このような従来のマーキング方法
による場合には、良品と不良品との2種類の選別しかで
きないために、周波数区分等のように、グレード選別を
行う場合には、ウェハを選別する時には、スペックを一
番緩い条件として選別を行い、組上り後における選別に
おいてグレード分けを行う必要がある。しかし、この組
上り後の選別において、目的とするグレードのICが、
目的とする数量分取れるか否かが分らず、不要のグレー
ドのICが多く取れる可能性が十分にある。
As described above, when mechanically marking an IC, it is necessary to first adjust the needle pressure and the pen pressure and the angle, and the IC chip size is different. In some cases, it may be necessary to adjust the marking. Further, in the case of such a conventional marking method, since only two kinds of good products and defective products can be selected, when grade selection is performed like frequency division, when selecting wafers, It is necessary to select with the specifications as the loosest condition, and to perform grade classification in the selection after assembling. However, in the selection after the assembly, the target grade IC is
There is a sufficient possibility that a large number of unnecessary grade ICs can be obtained without knowing whether the target quantity can be obtained.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のICマ
ーキング方法においては、ICの良品と不良品との2種
類の判定しかできず、このため、動作周波数による区分
等のグレード選別を行うためには、ICの組立てた後に
再度周波数の区分等についての選別を行う必要があると
いう欠点があり、また、機械的なマーキングであるため
に、チップサイズの変るたびごとに、マーキングの調節
を行う必要があるという欠点がある。
In the above-mentioned conventional IC marking method, only two types of IC good and defective ICs can be determined. Therefore, in order to perform grade selection such as classification by operating frequency. Has a drawback that it is necessary to select the frequency division and the like again after assembling the IC, and since it is mechanical marking, it is necessary to adjust the marking every time the chip size changes. There is a drawback that there is.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明のICマーキング
回路は、IC内部に、断線の有無を外観により判別する
ことのできるヒューズと、所定の外部端子より入力され
る信号を介して前記ヒューズを溶断する回路配置とを備
えて構成され、当該ICのウェハ状態におけるテスト結
果を参照して、前記ヒューズを溶断することにより前記
ICのマーキングを行うことを特徴としている。
SUMMARY OF THE INVENTION An IC marking circuit of the present invention includes a fuse capable of discriminating the presence / absence of disconnection in the inside of the IC and the fuse through a signal input from a predetermined external terminal. It is characterized in that the IC is marked by blowing the fuse by referring to a test result of the IC in a wafer state.

【0007】[0007]

【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, the present invention will be described with reference to the drawings.

【0008】図1は本発明の第1の実施例が適用される
半導体集積回路のレイアウトを示す図である。図1に示
されるように、当該半導体集積回路は、パッド101〜
112と、ヒューズ回路113および114と、搭載部
品チップ115と、基板116とを備えて構成される。
FIG. 1 is a diagram showing a layout of a semiconductor integrated circuit to which the first embodiment of the present invention is applied. As shown in FIG. 1, the semiconductor integrated circuit includes pads 101 to 101.
112, fuse circuits 113 and 114, a mounting component chip 115, and a substrate 116.

【0009】図1において、ヒューズ113および11
4は、パッド101、102および103に直接接続さ
れており、パッド101とパッド102、またはパッド
101とパッド103に電圧を印加することにより、ヒ
ューズ113またはヒューズ114は溶断される。ヒュ
ーズ113およびヒューズ114は、電圧の印加により
溶断した場合には、外観により当該溶断が判定すること
ができるように作られており、また配置されている。
In FIG. 1, fuses 113 and 11
Reference numeral 4 is directly connected to the pads 101, 102 and 103, and the fuse 113 or the fuse 114 is blown by applying a voltage to the pad 101 and the pad 102 or the pad 101 and the pad 103. When the fuse 113 and the fuse 114 are blown by the application of a voltage, the fuse 113 and the fuse 114 are formed and arranged so that the blow can be judged from the appearance.

【0010】図2に示されるのは、本実施例における、
ICテスタとプローバとを用いて、ウェハ上のICのテ
ストを行う場合の手順を示すフローチャートである。始
めに、プローバにおいて、プローブカードにチップを合
わせてテストが行われる(ステップ201)。次いで当
該テストの終了後に、テスタにより、テスト結果によっ
てヒューズに対して電圧が印加され、当該ヒューズを溶
断してマーキングが行われる(ステップ202)。次
に、ウェハ上の全てのICのテストが終了したか否かが
判定されて(ステップ203)、終了していない場合に
はステップ201に戻り、終了している場合にはマーキ
ング終了となる。
FIG. 2 shows, in this embodiment,
7 is a flowchart showing a procedure for testing an IC on a wafer using an IC tester and a prober. First, in the prober, a test is performed by fitting the chip to the probe card (step 201). Then, after the test is finished, a voltage is applied to the fuse by the tester according to the test result, and the fuse is blown to perform marking (step 202). Next, it is determined whether or not the tests of all the ICs on the wafer have been completed (step 203). If not completed, the process returns to step 201, and if completed, the marking is completed.

【0011】次に本発明の第2の実施例について説明す
る。前述の第1の実施例においては、ヒューズとパッド
とが直接に接続されており、そのためにヒューズ用のパ
ッドが必要になっている。この第2の実施例において
は、図3のヒューズ周辺の部分回路図に示されるよう
に、ヒューズ303に対応して、通常の入力ピン304
に対する高電圧入力時においてのみ動作するバッファ3
01が付加されている。入力ピン304に対する通常電
圧の入力時においては、バッファ302のみが動作する
ために、ヒューズ303は溶断することがなく、ヒュー
ズ用のポッドは不要となる。また、入力ピン304に高
電圧が入力された場合には、バッファ301が動作して
ヒューズ303が溶断し、マーキングとして利用するこ
とができる。このように、2種類のバッファを用いるこ
とにより、パッドを有効に利用することができるという
利点がある。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the above-described first embodiment, the fuse and the pad are directly connected, and therefore the fuse pad is required. In the second embodiment, as shown in the partial circuit diagram around the fuse in FIG. 3, a normal input pin 304 is provided corresponding to the fuse 303.
Buffer 3 that operates only at high voltage input
01 is added. At the time of inputting the normal voltage to the input pin 304, only the buffer 302 operates, so the fuse 303 is not blown, and the pod for the fuse becomes unnecessary. In addition, when a high voltage is input to the input pin 304, the buffer 301 operates and the fuse 303 is blown, which can be used as marking. As described above, by using the two types of buffers, there is an advantage that the pad can be effectively used.

【0012】この第2の実施例の場合における、ウェハ
上のICのテストを行う場合の手順については、前述の
第1の実施例におけるフローチャートと同様である。
In the case of the second embodiment, the procedure for testing the IC on the wafer is the same as that of the flow chart in the first embodiment.

【0013】[0013]

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、IC内
に配置されるヒューズの溶断により、テスト結果をマー
キングすることのできるという効果とともに、マーキン
グが回路としてICチップ内に組込まれているために、
チップサイズが異なる場合においても、その調整を行う
必要がなく、且つ小さいチップに対してもマーキングを
行うとができるという効果がある。
As described above, according to the present invention, the test result can be marked by fusing the fuse arranged in the IC, and the marking is incorporated in the IC chip as a circuit. for,
Even if the chip size is different, there is an effect that it is not necessary to perform the adjustment, and marking can be performed even for a small chip.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例が適用される半導体集積
回路のレイアウトを示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a layout of a semiconductor integrated circuit to which a first embodiment of the present invention is applied.

【図2】本発明におけるテスト手順を示すフローチャー
トである。
FIG. 2 is a flowchart showing a test procedure in the present invention.

【図3】本発明の第2の実施例におけるヒューズ周辺を
示す部分回路図である。
FIG. 3 is a partial circuit diagram showing the periphery of a fuse in the second embodiment of the present invention.

【図4】
/従来例におけるテスト手順を示すフ
ローチャートである。
[Figure 4]
/ It is a flowchart which shows the test procedure in a prior art example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101〜112 パッド 113、114、303 ヒューズ 115 搭載部品チップ 116 基板 301、302 バッファ 304 入力ピン 101 to 112 pads 113, 114, 303 fuses 115 mounted component chips 116 substrates 301, 302 buffers 304 input pins

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 IC内部に、断線の有無を外観により判
別することのできるヒューズと、所定の外部端子より入
力される信号を介して前記ヒューズを溶断する回路配置
とを備えて構成され、当該ICのウェハ状態におけるテ
スト結果を参照して、前記ヒューズを溶断することによ
り前記ICのマーキングを行うことを特徴とするICマ
ーキング回路。
1. An IC is provided with a fuse capable of discriminating the presence / absence of a disconnection according to its appearance, and a circuit arrangement for fusing the fuse through a signal input from a predetermined external terminal. An IC marking circuit, wherein the IC is marked by blowing the fuse with reference to a test result in a wafer state of the IC.
JP1492292A 1992-01-30 1992-01-30 Ic marking circuit Withdrawn JPH05211214A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1492292A JPH05211214A (en) 1992-01-30 1992-01-30 Ic marking circuit

Applications Claiming Priority (1)

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JP1492292A JPH05211214A (en) 1992-01-30 1992-01-30 Ic marking circuit

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05211214A true JPH05211214A (en) 1993-08-20

Family

ID=11874455

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1492292A Withdrawn JPH05211214A (en) 1992-01-30 1992-01-30 Ic marking circuit

Country Status (1)

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JP (1) JPH05211214A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5661330A (en) * 1995-03-14 1997-08-26 International Business Machines Corporation Fabrication, testing and repair of multichip semiconductor structures having connect assemblies with fuses

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5661330A (en) * 1995-03-14 1997-08-26 International Business Machines Corporation Fabrication, testing and repair of multichip semiconductor structures having connect assemblies with fuses

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Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19990408