JPH05215685A - 赤外線ガス分析計 - Google Patents
赤外線ガス分析計Info
- Publication number
- JPH05215685A JPH05215685A JP2033992A JP2033992A JPH05215685A JP H05215685 A JPH05215685 A JP H05215685A JP 2033992 A JP2033992 A JP 2033992A JP 2033992 A JP2033992 A JP 2033992A JP H05215685 A JPH05215685 A JP H05215685A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- infrared
- mounting block
- sensor
- sensor mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 22
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 abstract 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000004451 qualitative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】検出部のセンサ取付ブロックに対する熱的影響
の防止，並びにバンドパスフィルタに対する光の斜め入
射を抑えて成分ガスの分析精度を向上化が図れるように
した赤外線ガス分析計を提供する。 【構成】試料ガスで満たした測定セル１を挟んで入射側
に赤外線光源、出射側に赤外線センサ６をバンドパスフ
ィルタ７とともにセンサ取付ブロック５に組み込んでな
る検出部４を配備した吸光式の赤外線ガス分析計におい
て、測定セルの出射側端面と検出部との間に、赤外線セ
ンサに通じる透光穴９ａを開口してセンサ取付ブロック
の前面を覆う断熱性の遮光スペーサ９を介装配備し、セ
ンサ取付ブロックが測定セルを透過した光束によって不
当に加熱，昇温するのを抑えるとともに、バンドパスフ
ィルタに対して光が斜め方向から入射するのを防止して
サイドバンドの発生を防ぐ。
の防止，並びにバンドパスフィルタに対する光の斜め入
射を抑えて成分ガスの分析精度を向上化が図れるように
した赤外線ガス分析計を提供する。 【構成】試料ガスで満たした測定セル１を挟んで入射側
に赤外線光源、出射側に赤外線センサ６をバンドパスフ
ィルタ７とともにセンサ取付ブロック５に組み込んでな
る検出部４を配備した吸光式の赤外線ガス分析計におい
て、測定セルの出射側端面と検出部との間に、赤外線セ
ンサに通じる透光穴９ａを開口してセンサ取付ブロック
の前面を覆う断熱性の遮光スペーサ９を介装配備し、セ
ンサ取付ブロックが測定セルを透過した光束によって不
当に加熱，昇温するのを抑えるとともに、バンドパスフ
ィルタに対して光が斜め方向から入射するのを防止して
サイドバンドの発生を防ぐ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料ガス中に含まれて
いる各種成分ガスの定性, 定量分析を行う吸光式赤外線
ガス分析計の構成に関する。
いる各種成分ガスの定性, 定量分析を行う吸光式赤外線
ガス分析計の構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】頭記した吸光式の赤外線ガス分析計は、
試料ガス中に含まれる測定成分ガスによる赤外線の吸収
量から試料ガスの定性，定量分析を行うものであり、こ
の方式は一般に選択性が良く、測定感度が高いことから
ガス分析計として各種分野で広く使用されている。
試料ガス中に含まれる測定成分ガスによる赤外線の吸収
量から試料ガスの定性，定量分析を行うものであり、こ
の方式は一般に選択性が良く、測定感度が高いことから
ガス分析計として各種分野で広く使用されている。
【０００３】次に、従来より実施されているシングルビ
ーム方式の吸光式赤外線ガス分析計の構成，並びにその
動作原理を図２により説明する。図において、１は試料
ガスを流す測定セル、２は測定セル１の入射側に備えた
赤外線光源、３は赤外線光源２から出射した光束を断続
させる回転式チョッパ、４は測定セル１の出射側に配備
した検出部であり、該検出部４はセンサ取付ブロック５
に試料ガス中に含まれる各種測定成分ガスに対応する複
数の赤外線センサ６がバンドパスフィルタ（赤外線セン
サに波長選択性を持たせるための多層膜干渉フィルタ）
７と対にして組み込まれている。なお、赤外線センサ６
は、例えば焦電型センサ，半導体センサなどの固体セン
サである。
ーム方式の吸光式赤外線ガス分析計の構成，並びにその
動作原理を図２により説明する。図において、１は試料
ガスを流す測定セル、２は測定セル１の入射側に備えた
赤外線光源、３は赤外線光源２から出射した光束を断続
させる回転式チョッパ、４は測定セル１の出射側に配備
した検出部であり、該検出部４はセンサ取付ブロック５
に試料ガス中に含まれる各種測定成分ガスに対応する複
数の赤外線センサ６がバンドパスフィルタ（赤外線セン
サに波長選択性を持たせるための多層膜干渉フィルタ）
７と対にして組み込まれている。なお、赤外線センサ６
は、例えば焦電型センサ，半導体センサなどの固体セン
サである。
【０００４】かかる構成で、光源２から出射した赤外線
はチョッパ３により一定周期で断続した光束８となって
測定セル１に入射し、測定セル内を透過する過程で試料
ガス中に含まれている各種測定成分ガスにより固有の赤
外線波長が成分濃度に応じて吸収される。また、測定セ
ル１を透過した光束の一部はセンサ取付ブロック５の開
口窓よりバンドパスフィルタ７を通じて各赤外線センサ
６に受光され、その光量に応じた検出信号が電気信号に
変換して外部に取り出される。
はチョッパ３により一定周期で断続した光束８となって
測定セル１に入射し、測定セル内を透過する過程で試料
ガス中に含まれている各種測定成分ガスにより固有の赤
外線波長が成分濃度に応じて吸収される。また、測定セ
ル１を透過した光束の一部はセンサ取付ブロック５の開
口窓よりバンドパスフィルタ７を通じて各赤外線センサ
６に受光され、その光量に応じた検出信号が電気信号に
変換して外部に取り出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記のよう
に測定セル１の出射側端面に検出部４を直接向かい合わ
せに配備した構成では次記のような問題点が残る。すな
わち、測定セル１を透過した光束８のうち、符号８ａ，
８ｂで表す一部の光束はバンドパスフィルタ６を通じて
赤外線センサ７に到達するが、それ以外の光束８ｃはセ
ンサ取付ブロック５（例えばアルミ製）を照射してブロ
ックを加熱する。このために、センサ取付ブロック５の
温度が上昇して赤外線センサ６に伝熱し、これがセンサ
検出信号に対するドリフト発生の原因となる。そこで、
従来ではセンサ取付ブロック５に赤外線センサとともに
温度補償素子を組み込み、周囲温度の変化によるセンサ
検出信号の温度補償を行うような手段を講じているが、
この方法でもセンサ取付ブロック５の温度分布のむらが
基で、赤外線センサと温度補償素子との間に異なる温度
変化が加わる場合にはドリフトの発生，Ｓ／Ｎ比の低下
を招くことになる。
に測定セル１の出射側端面に検出部４を直接向かい合わ
せに配備した構成では次記のような問題点が残る。すな
わち、測定セル１を透過した光束８のうち、符号８ａ，
８ｂで表す一部の光束はバンドパスフィルタ６を通じて
赤外線センサ７に到達するが、それ以外の光束８ｃはセ
ンサ取付ブロック５（例えばアルミ製）を照射してブロ
ックを加熱する。このために、センサ取付ブロック５の
温度が上昇して赤外線センサ６に伝熱し、これがセンサ
検出信号に対するドリフト発生の原因となる。そこで、
従来ではセンサ取付ブロック５に赤外線センサとともに
温度補償素子を組み込み、周囲温度の変化によるセンサ
検出信号の温度補償を行うような手段を講じているが、
この方法でもセンサ取付ブロック５の温度分布のむらが
基で、赤外線センサと温度補償素子との間に異なる温度
変化が加わる場合にはドリフトの発生，Ｓ／Ｎ比の低下
を招くことになる。
【０００６】また、別な問題として、赤外線センサ６に
組合わせたバンドパスフィルタ（多層膜干渉フィルタ）
７は、基本的に光軸と平行に光線が入射した条件で所定
の波長選択特性を発揮するように設計されているため、
図示に表した光束８ｂのように測定セル１内を透過する
過程で壁面に全反射して斜め方向から光がバンドパスフ
ィルタ７に入射した場合にはサイドバンドが現れ、赤外
線センサに対する波長選択性に悪影響を及ぼすといった
不具合が生じる。
組合わせたバンドパスフィルタ（多層膜干渉フィルタ）
７は、基本的に光軸と平行に光線が入射した条件で所定
の波長選択特性を発揮するように設計されているため、
図示に表した光束８ｂのように測定セル１内を透過する
過程で壁面に全反射して斜め方向から光がバンドパスフ
ィルタ７に入射した場合にはサイドバンドが現れ、赤外
線センサに対する波長選択性に悪影響を及ぼすといった
不具合が生じる。
【０００７】本発明は上記の点にかんがみなされたもの
であり、その目的は前記した課題を解決して検出部のセ
ンサ取付ブロックに対する熱的影響の防止，並びにバン
ドパスフィルタに対する光の斜め入射を抑えて成分ガス
の分析精度の向上化が図れるようにした赤外線ガス分析
計を提供することにある。
であり、その目的は前記した課題を解決して検出部のセ
ンサ取付ブロックに対する熱的影響の防止，並びにバン
ドパスフィルタに対する光の斜め入射を抑えて成分ガス
の分析精度の向上化が図れるようにした赤外線ガス分析
計を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の赤外線ガス分析計においては、測定セルの
出射側端面と検出部との間に、赤外線センサに通じる透
光穴を開口してセンサ取付ブロックの前面を覆う断熱性
の遮光スペーサを介装配備して構成するものとする。
に、本発明の赤外線ガス分析計においては、測定セルの
出射側端面と検出部との間に、赤外線センサに通じる透
光穴を開口してセンサ取付ブロックの前面を覆う断熱性
の遮光スペーサを介装配備して構成するものとする。
【０００９】また、前記構成における遮光スペーサにつ
いては、スペーサに開口した透光穴の内周壁面を光反射
率の低い光吸収面として構成するのが好ましい。
いては、スペーサに開口した透光穴の内周壁面を光反射
率の低い光吸収面として構成するのが好ましい。
【００１０】
【作用】上記の構成により、測定セルを透過した光束
は、遮光スペーサの透光穴を除いて遮光スペーサにより
遮光されので、センサ取付ブロックが直接赤外線の照射
を受けて加熱されることがない。しかも、遮光スペーサ
自身は例えばゴムなどの断熱材で作られたものであって
センサ取付ブロック側への伝熱も殆どなく、赤外線セン
サの検出信号に対する熱的なドリフトの影響が軽減され
る。
は、遮光スペーサの透光穴を除いて遮光スペーサにより
遮光されので、センサ取付ブロックが直接赤外線の照射
を受けて加熱されることがない。しかも、遮光スペーサ
自身は例えばゴムなどの断熱材で作られたものであって
センサ取付ブロック側への伝熱も殆どなく、赤外線セン
サの検出信号に対する熱的なドリフトの影響が軽減され
る。
【００１１】また、遮光スペーサの厚さ寸法をあらかじ
め大きく選定しておくことにより、前方斜め方向からス
ペーサの透光穴に入光した光は大半がバンドパスフィル
タへ到達する以前に透光穴の内周壁面に当たる。ここ
で、透光穴の内周壁面を光反射率の低い光吸収面として
おくことにより、斜め方向から遮光スペーサの透光穴に
入光したたった光は壁面に吸収カットされる。したがっ
て、後段のバンドパスフィルタに対し斜め方向からの入
射光の割合は極小となり、斜め入射光に起因して生じる
サイドバンドなど、赤外線センサに対する波長選択性の
悪影響が殆ど現れなくなる。
め大きく選定しておくことにより、前方斜め方向からス
ペーサの透光穴に入光した光は大半がバンドパスフィル
タへ到達する以前に透光穴の内周壁面に当たる。ここ
で、透光穴の内周壁面を光反射率の低い光吸収面として
おくことにより、斜め方向から遮光スペーサの透光穴に
入光したたった光は壁面に吸収カットされる。したがっ
て、後段のバンドパスフィルタに対し斜め方向からの入
射光の割合は極小となり、斜め入射光に起因して生じる
サイドバンドなど、赤外線センサに対する波長選択性の
悪影響が殆ど現れなくなる。
【００１２】
【実施例】図１は本発明の実施例を示すものであり、図
２に対応する同一部材には同じ符号が付してある。図示
実施例においては、測定セル１の出射側端面と検出部４
との間に例えばゴムなどのように光反射率の低い断熱材
で作られた遮光スペーサ９が新た介装配備されている。
そして、遮光スペーサ９には検出部４のセンサ取付ブロ
ック５に組み込まれた赤外線センサ６に対応する位置に
透光穴９ａが開口している。なお、遮光スペーサの材料
自身が光を良く反射するものである場合には、少なくと
も透光穴９ａの内周壁面を粗面化する，あるいは光吸収
性のよい材料をコーティングするなどして光反射率を低
めるようにするのがよい。
２に対応する同一部材には同じ符号が付してある。図示
実施例においては、測定セル１の出射側端面と検出部４
との間に例えばゴムなどのように光反射率の低い断熱材
で作られた遮光スペーサ９が新た介装配備されている。
そして、遮光スペーサ９には検出部４のセンサ取付ブロ
ック５に組み込まれた赤外線センサ６に対応する位置に
透光穴９ａが開口している。なお、遮光スペーサの材料
自身が光を良く反射するものである場合には、少なくと
も透光穴９ａの内周壁面を粗面化する，あるいは光吸収
性のよい材料をコーティングするなどして光反射率を低
めるようにするのがよい。
【００１３】かかる構成により、赤外線光源（図２参
照）より出射して測定セル１を透過した光束８のうち、
遮光スペーサ９の透光穴９ａに入光する光束８ａ，８ｂ
を除く光束８ｃは遮光スペーサ９に遮光され、後部のセ
ンサ取付ブロック５に直接照射されることがない。しか
も遮光スペーサ自身は断熱性を有するので検出部４への
伝熱も殆どなく、センサ取付ブロック５に対する不当な
加熱，温度むらが防止される。
照）より出射して測定セル１を透過した光束８のうち、
遮光スペーサ９の透光穴９ａに入光する光束８ａ，８ｂ
を除く光束８ｃは遮光スペーサ９に遮光され、後部のセ
ンサ取付ブロック５に直接照射されることがない。しか
も遮光スペーサ自身は断熱性を有するので検出部４への
伝熱も殆どなく、センサ取付ブロック５に対する不当な
加熱，温度むらが防止される。
【００１４】また、遮光スペーサ９の透光穴９ａに入光
する前記光束８ａ，８ｂのうち、光軸と平行な光束８ａ
はそのまま透光穴９ａを透過してバンドパスフィルタ７
に入射するのに対し、斜め方向から入射する光束８ｂは
透光穴９ａを通過する過程で殆どが透光穴の内周壁面に
当たって吸収カットされる。したがって、後段のバンド
パスフィルタ７へ斜め方向から入射する光の割合は極め
て小さくなり、サイドバンドに起因する測定分析結果へ
の影響が大幅に低減されることになる。
する前記光束８ａ，８ｂのうち、光軸と平行な光束８ａ
はそのまま透光穴９ａを透過してバンドパスフィルタ７
に入射するのに対し、斜め方向から入射する光束８ｂは
透光穴９ａを通過する過程で殆どが透光穴の内周壁面に
当たって吸収カットされる。したがって、後段のバンド
パスフィルタ７へ斜め方向から入射する光の割合は極め
て小さくなり、サイドバンドに起因する測定分析結果へ
の影響が大幅に低減されることになる。
【００１５】
【発明の効果】以上述べたように本発明の構成によれ
ば、測定セルの出射側端面と検出部との間に介装した断
熱性遮光スペーサの機能により、検出部のセンサ取付ブ
ロックが測定セルを透過した光束の直接照射を受けて不
当に加熱，昇温するのが良好に防止される。これによ
り、センサ取付ブロックに組み込まれた赤外線センサ周
辺の不当な加熱，温度変動が小さくなるので、検出部に
おいて安定した温度補償を行うことができる。さらに、
遮光スペーサの介在により、バンドパスフィルタに対す
る斜め方向からの入射光の割合を低めてサイサドバンド
の発生を抑制できるなど、赤外線ガス分析計の測定分析
精度の大幅な向上化が図れる。
ば、測定セルの出射側端面と検出部との間に介装した断
熱性遮光スペーサの機能により、検出部のセンサ取付ブ
ロックが測定セルを透過した光束の直接照射を受けて不
当に加熱，昇温するのが良好に防止される。これによ
り、センサ取付ブロックに組み込まれた赤外線センサ周
辺の不当な加熱，温度変動が小さくなるので、検出部に
おいて安定した温度補償を行うことができる。さらに、
遮光スペーサの介在により、バンドパスフィルタに対す
る斜め方向からの入射光の割合を低めてサイサドバンド
の発生を抑制できるなど、赤外線ガス分析計の測定分析
精度の大幅な向上化が図れる。
【図１】本発明実施例の要部構成断面図
【図２】従来におけるシングルビーム式赤外線ガス分析
計の全体構成図
計の全体構成図
１ 測定セル ２ 赤外線光源 ４ 検出部 ５ センサ取付ブロック ６ 赤外線センサ ７ バンドパスフィルタ ８ 光束 ９ 遮光スペーサ ９ａ 透光穴
Claims (2)
- 【請求項１】試料ガスで満たした測定セルを挟んでその
入射側に赤外線光源を、出射側には赤外線センサをバン
ドパスフィルタとともにセンサ取付ブロックに組み込ん
でなる検出部を配備した吸光式の赤外線ガス分析計にお
いて、測定セルの出射側端面と検出部との間に、赤外線
センサに通じる透光穴を開口してセンサ取付ブロックの
前面を覆う断熱性の遮光スペーサを介装配備したことを
特徴とする赤外線ガス分析計。 - 【請求項２】請求項１記載の赤外線ガス分析計におい
て、遮光スペーサに開口した透光穴の内周壁面を光反射
率の低い光吸収面としたことを特徴とする赤外線ガス分
析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2033992A JPH05215685A (ja) | 1992-02-06 | 1992-02-06 | 赤外線ガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2033992A JPH05215685A (ja) | 1992-02-06 | 1992-02-06 | 赤外線ガス分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05215685A true JPH05215685A (ja) | 1993-08-24 |
Family
ID=12024384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2033992A Pending JPH05215685A (ja) | 1992-02-06 | 1992-02-06 | 赤外線ガス分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05215685A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2389177A (en) * | 2002-05-31 | 2003-12-03 | Marconi Applied Techn Ltd | An optical gas sensor whose sensor has a predetermined range of angle of reception |
| JP2007225386A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Horiba Ltd | ガス分析装置及び半導体製造装置 |
| US7488942B2 (en) | 2002-11-07 | 2009-02-10 | E2V Technologies (Uk) Limited | Gas sensors |
| JP2009047612A (ja) * | 2007-08-21 | 2009-03-05 | Toyota Motor Corp | 排ガス分析用センサ |
| JP2014509383A (ja) * | 2010-12-20 | 2014-04-17 | バインダー ゲーエムベーハー | 耐候性試験機またはインキュベータの中のｃｏ２濃度を測定するための測定システム |
| EP2772749A4 (en) * | 2011-10-24 | 2015-03-18 | Panasonic Ip Man Co Ltd | DETECTOR |
| CN112129743A (zh) * | 2020-10-20 | 2020-12-25 | 西安交通大学 | 一种基于libs技术在线测量烟气汞含量系统和方法 |
-
1992
- 1992-02-06 JP JP2033992A patent/JPH05215685A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2389177A (en) * | 2002-05-31 | 2003-12-03 | Marconi Applied Techn Ltd | An optical gas sensor whose sensor has a predetermined range of angle of reception |
| GB2389177B (en) * | 2002-05-31 | 2006-03-15 | Marconi Applied Techn Ltd | Gas sensors |
| US7488942B2 (en) | 2002-11-07 | 2009-02-10 | E2V Technologies (Uk) Limited | Gas sensors |
| JP2007225386A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Horiba Ltd | ガス分析装置及び半導体製造装置 |
| JP4727444B2 (ja) * | 2006-02-22 | 2011-07-20 | 株式会社堀場製作所 | ガス分析装置及び半導体製造装置 |
| JP2009047612A (ja) * | 2007-08-21 | 2009-03-05 | Toyota Motor Corp | 排ガス分析用センサ |
| JP2014509383A (ja) * | 2010-12-20 | 2014-04-17 | バインダー ゲーエムベーハー | 耐候性試験機またはインキュベータの中のｃｏ２濃度を測定するための測定システム |
| EP2772749A4 (en) * | 2011-10-24 | 2015-03-18 | Panasonic Ip Man Co Ltd | DETECTOR |
| US9239291B2 (en) | 2011-10-24 | 2016-01-19 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Detector |
| CN112129743A (zh) * | 2020-10-20 | 2020-12-25 | 西安交通大学 | 一种基于libs技术在线测量烟气汞含量系统和方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2788036B2 (ja) | 光学的ガス分析器 | |
| KR900005916B1 (ko) | 적외선 검출기 | |
| US20130248736A1 (en) | Gas sensor | |
| JPH09281039A (ja) | 輻射線吸収を利用した気体混合物中のアルコール濃度を測定する方法及び装置 | |
| US6191421B1 (en) | Gas analyzer using infrared radiation to determine the concentration of a target gas in a gaseous mixture | |
| US4794255A (en) | Absorption analyzer | |
| JPS6312938A (ja) | ガス分析装置及びガス分析方法 | |
| JPH05215685A (ja) | 赤外線ガス分析計 | |
| US3471698A (en) | Infrared detection of surface contamination | |
| JPH0252980B2 (ja) | ||
| US4501968A (en) | Infrared radiation gas analyzer | |
| JP2000187786A (ja) | 火災検出装置及び火災検出装置における汚れ補償方法 | |
| JP2613511B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JPH0222687Y2 (ja) | ||
| JPH06148069A (ja) | 赤外線ガス分析計 | |
| JPH05203573A (ja) | 赤外線ガス分析計 | |
| JP3126759B2 (ja) | 光学式分析装置 | |
| JP3302208B2 (ja) | 赤外線分析計 | |
| JPS6138448A (ja) | ガス又は液体分析用光度計 | |
| JPH0620131Y2 (ja) | 非分散型ガス分析計 | |
| JPH0443222B2 (ja) | ||
| JPH06222003A (ja) | ガス濃度測定装置 | |
| JP3325690B2 (ja) | ガス濃度測定装置 | |
| JPH06213811A (ja) | 赤外線分析計 | |
| JPS58103646A (ja) | 放射測定の較正のための方法および装置 |