JPH0480937A - Lead bending measuring device - Google Patents
Lead bending measuring deviceInfo
- Publication number
- JPH0480937A JPH0480937A JP19562990A JP19562990A JPH0480937A JP H0480937 A JPH0480937 A JP H0480937A JP 19562990 A JP19562990 A JP 19562990A JP 19562990 A JP19562990 A JP 19562990A JP H0480937 A JPH0480937 A JP H0480937A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead
- measuring device
- bending
- light
- projected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005452 bending Methods 0.000 title claims abstract description 59
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 26
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 22
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 20
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 16
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 19
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、表面実装型集積回路装置の外郭体より外方に
伸びる複数のリードにおけるリードにおいて、この伸び
る方向でのリード曲り量を測定し、かつリードの先端面
の同一平面度(以下単に平坦度と言う)を測定するリー
ド曲り測定装置に関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention measures the amount of lead bending in the extending direction of a plurality of leads extending outward from the outer shell of a surface mount integrated circuit device. The present invention also relates to a lead bending measuring device for measuring the coplanarity (hereinafter simply referred to as flatness) of the tip end surface of a lead.
従来、表面実装型4AM回路装置(以下単にfCと言う
)は、プリント配線板のパッドにリードの先端部をはん
だ付けすることによって、実装されていた。また、最近
は、ICのリードの本数が増化傾向にあり、プリント配
線板のパッドも、そのピッチ間隔及びその位置精度が厳
しくなるとともになり、このため、リードの曲り及び平
坦度についても厳しい要求がなされるように至った。Conventionally, surface-mounted 4AM circuit devices (hereinafter simply referred to as fC) have been mounted by soldering the tips of leads to pads on a printed wiring board. In addition, recently, the number of IC leads has been increasing, and the pitch spacing and positional accuracy of the pads on printed wiring boards have become stricter.Therefore, strict requirements have also been placed on the bending and flatness of the leads. It has come to be done.
このリード曲り測定装置は、リードの伸る方向でのリー
ド曲りを測定する測定装置と、リードの先端部の曲り、
すなわち、リードの先端面の平坦度測定装置の二種類の
測定装置とにより構成されている。また、このリード曲
り測定検査においてはけ、まず、いずれかの測定装置を
使用して一方向の曲りを測定し、次に、この一方向に対
して直角方向のリードの曲りを測定し、これらの測定値
とそれぞれの判定基準値と比較して、測定値の両者が判
定基準値以下であれば、曲りのないリードをもつICと
して良品としていた。This lead bend measuring device consists of a measuring device that measures lead bending in the direction in which the lead extends, and a measuring device that measures the bending of the lead tip.
That is, it is composed of two types of measuring devices: a flatness measuring device for the tip end surface of a lead. In addition, in this lead bend measurement test, first measure the bend in one direction using one of the measuring devices, then measure the bend of the lead in a direction perpendicular to this one direction, and The measured value was compared with each judgment reference value, and if both of the measured values were less than the judgment reference value, the IC was considered to be a good product as having an unbent lead.
第11図、第12図及び第13図は従来のリード曲り測
定装置におけるリードの先端面の平坦度を測定する測定
装置の例を説明するためのそれぞれ概略を示す図である
。従来、この種のリード先端部の平坦度測定装置の一例
としては、例えば、第11図に示すように、IC3を搭
載した検査ステージ2aの外方より光源21よりリード
24の先端面及び検査ステージ2aに光を投射し、その
透過光によりエリアセンサカメラ1で撮像し、この撮像
データを二値化して、各リード24が示す明点部でなる
プロファイルと検査ステージ2aの表面が示す暗点群で
なるプロファイルとの間隔を算出して、この全算出され
た結果の中から最大値を求め、リードの平坦度としてい
た。FIGS. 11, 12, and 13 are diagrams each schematically showing an example of a measuring device for measuring the flatness of the tip end surface of a lead in a conventional lead bending measuring device. Conventionally, as an example of this type of lead tip flatness measuring device, as shown in FIG. 2a, the transmitted light is used to capture an image with the area sensor camera 1, and this captured data is binarized to create a profile consisting of bright spot areas indicated by each lead 24 and a dark spot group indicated by the surface of the inspection stage 2a. The distance between the lead and the profile was calculated, and the maximum value was found from all the calculated results, which was taken as the flatness of the lead.
また、第12図に示すような測定装置を使用して、例え
ば、光源21をIC3の他端側より照射し、リード24
と検査ステージ2aとの隙間を撮像して、この隙間を最
大値を検索することにより、リードの平坦度を求める方
法もあった。Further, using a measuring device as shown in FIG. 12, for example, the light source 21 is irradiated from the other end side of the IC 3, and
There is also a method of determining the flatness of the lead by imaging the gap between the lead and the inspection stage 2a and searching for the maximum value of this gap.
さらに、第13図に示すように、リード24と検査ステ
ージ2aの間に、光フアイバアレイ34を挿入し、この
光フアイバアレイ34より発する光で、リード24を投
影し、この投影像をエリアセンサカメラ1で撮像し、前
述の例で述べた方法で、リードの平坦度を測定していた
。Furthermore, as shown in FIG. 13, an optical fiber array 34 is inserted between the leads 24 and the inspection stage 2a, and the leads 24 are projected with light emitted from the optical fiber array 34, and this projected image is sent to the area sensor. An image was taken with camera 1, and the flatness of the lead was measured using the method described in the above example.
第14図は従来のリード曲り測定装置におけるリードの
伸る方向でのリード曲りを測定する測定装置の例を説明
するための概略を示す図、第15図は第14図の測定装
置の動作を説明するためのフロ−チャ1ト図、第16図
(a>及び(b)は第14図の測定装置のアルゴリズム
を説明するための図である。一方、ICのリードの伸る
方向での曲りを測定する測定装置は、例えば、第14図
に示すように、IC3を搭載するとともに導電性ガラス
板等で製作された検査ステージ2bと、この検査ステー
ジ2bの裏面から光を照射する光源21と、検査ステー
ジ2bより光が透過して外部に拡散する光で投影される
リード24の像を撮像するエリアセンサカメラ1とを有
している。FIG. 14 is a diagram schematically showing an example of a conventional lead bending measuring device that measures lead bending in the direction in which the lead extends, and FIG. 15 shows the operation of the measuring device shown in FIG. 16 (a> and (b)) are diagrams for explaining the algorithm of the measuring device shown in FIG. 14. On the other hand, in the direction in which the IC leads extend For example, as shown in FIG. 14, a measuring device for measuring bending includes an inspection stage 2b mounted with an IC 3 and made of a conductive glass plate, etc., and a light source 21 that irradiates light from the back side of this inspection stage 2b. and an area sensor camera 1 that captures an image of the lead 24 projected by light transmitted from the inspection stage 2b and diffused to the outside.
この測定装置で、リードの曲りを測定する場合は、まず
、第15図の(wINDoW3.4の設定)で、リード
24の根元の撮像領域と、リードの先端部の撮像領域を
、例えば、第16図(a>に示すように、リード24に
対するWINDOW3及びWINDOW4の撮像領域に
設定する。次に、(各WINDOWの垂直10ファイル
作成)で、エリアセンサカメラ1でWINDOW領域を
撮像し明暗の二値化処理する。このことにより、第16
図(b)に示すように、リードの先端部と根元部のプロ
ファイルが得られる7次に、(プロファイルの立上り、
立下り点、e、f、g−hの検索)で、第16図(b)
のe、f、g及びhの座標点を求める5次に、(中点、
ml、m2算出)で、第16図(b)の中点m1及びm
2を下記の式で求める。すなわち、
m l = e 十f、/2、 m 2 = g +
h /’ 2を求め、次に、〈曲り量算出m2−m1)
で、リートの曲り量を測定していた。When measuring the bending of a lead with this measuring device, first, the imaging area of the root of the lead 24 and the imaging area of the tip of the lead are set to As shown in Figure 16 (a), set the imaging areas of WINDOW 3 and WINDOW 4 for the lead 24.Next, in (Creating 10 vertical files for each WINDOW), image the WINDOW area with the area sensor camera 1 and set the bright and dark areas. The 16th
As shown in Figure (b), the 7th order (rise of the profile,
16(b)
Find the coordinate points e, f, g, and h of (midpoint,
ml, m2 calculation), and the midpoints m1 and m of Fig. 16(b)
2 is calculated using the following formula. That is, m l = e 10f, /2, m 2 = g +
Find h/' 2, then (calculate the amount of bending m2 - m1)
I was measuring the amount of bending of the lead.
しかしながら、上述した従来のリード曲り測定装置では
、リードの曲りとリードの先端部の平面度を測定する装
置が、それぞれ独立しであるため、装置自体が大きくな
るという欠点がある。また、二度に分けて測定するため
、リードと検査ステージの接触回数が増え、リードのめ
つき面が損傷しやすいという欠点がある。However, the conventional lead bending measuring device described above has a drawback that the device itself becomes large because the devices that measure the bending of the lead and the flatness of the tip of the lead are independent. In addition, since the measurement is carried out in two parts, the number of times the lead contacts the inspection stage increases, and the plated surface of the lead is easily damaged.
一方、第14図に示した曲り測定装置では、WINDO
Wの領域の大きさの設定や、リードの曲り竜により測定
値の誤差を生ずるという欠点がある。例えは、リードの
幅が200μm、リードの外郭体より突出量が700μ
mで、実際の曲り角度がリードの伸る方向に対して12
であったとすると、リードの実際の曲り量140μmに
対して測定装置の算出量が90μmを測定するといった
誤差を生じ、不良品を良品と判定する誤判定を起すとい
う問題がある。On the other hand, in the bending measuring device shown in FIG.
There is a drawback that errors in measurement values occur due to the setting of the size of the W area and the bending of the lead. For example, the width of the lead is 200μm, and the amount of protrusion from the lead outer shell is 700μm.
m, the actual bending angle is 12
If this were the case, there would be an error in that the calculated amount of the measuring device would measure 90 μm compared to the actual bending amount of the lead of 140 μm, resulting in a problem that a defective product would be erroneously judged as a non-defective product.
本発明の目的は、かかる欠点を解消するリード曲り測定
装置を提供することである。An object of the present invention is to provide a lead bending measuring device that eliminates such drawbacks.
1、本発明の第1のリード曲り測定装置は、ICを本体
の表面に載置するとともに裏面より入光して本体の他面
外に前記光を拡散させる検査ステージと、ICの外郭体
の側面より伸びるリードにその伸びる方向とこの方向と
直角方向に前記光を二方向に分岐し、かつこれら光を異
なる輝度に形成するとともに前記検査ステージの表面上
に形成される光学機構と、これら二方向の光に投影され
る前記リードのそれぞれの各部の投影像を撮像する撮像
機構と、これら投影像の画像データを二値化処理する二
値化処理機構と、これらの二値化処理される画像データ
によって前記リードの投影輪郭を作成するプロファイル
処理機構と、前記り−ドの伸る方向の投影輪郭における
二値化データにより複数の前記リードの先端面でなる面
の平面度を算出する第1の算出機構と、前記リードの伸
びる方向に対して直角方向の投影輪郭における二値化デ
ータにより前記リードの伸る方向での曲り量を算出する
第2の算出機構とを有することを特徴としている。1. The first lead bending measuring device of the present invention includes an inspection stage that places an IC on the front surface of a main body, enters light from the back surface, and diffuses the light outside the other surface of the main body, and an optical mechanism formed on the surface of the inspection stage, which splits the light into two directions in the direction in which the lead extends from the side surface and in a direction perpendicular to this direction, and forms these lights with different brightness; an imaging mechanism that captures projected images of each part of the lead projected in the direction of light; a binarization processing mechanism that binarizes the image data of these projected images; a profile processing mechanism that creates a projected contour of the lead based on image data; and a profile processing mechanism that calculates the flatness of a surface formed by the distal end surfaces of the plurality of leads using binarized data on the projected contour in the extending direction of the lead. and a second calculation mechanism that calculates the amount of bending in the extending direction of the lead based on binarized data on the projected contour in the direction perpendicular to the extending direction of the lead. There is.
2、本発明の第2のリード曲り測定装置は、前記第2の
算出機構が三角関数演算を行なうことを特徴としている
。2. The second lead bending measuring device of the present invention is characterized in that the second calculation mechanism performs trigonometric function calculations.
3、本発明の第3のリード曲り測定装置は、前記光学機
構が前記リードの先端部と前記外郭体より突出する部分
との間に曲り部内に入込むとともに前記検査ステージ表
面より突起する形状であることを特徴としている。3. The third lead bending measuring device of the present invention has a shape in which the optical mechanism is inserted into a bent part between the tip end of the lead and a part protruding from the outer shell, and protrudes from the surface of the inspection stage. It is characterized by certain things.
4、本発明の第4のリード曲り測定装置は、前記撮像機
構が線状の投影像を撮像することを特徴としている。4. The fourth lead bending measuring device of the present invention is characterized in that the imaging mechanism captures a linear projected image.
次に、本発明について図面を参照して説明する。 Next, the present invention will be explained with reference to the drawings.
第1図は本発明の一実施例を示すリード曲り測定装置の
主要部の構造を示す斜視図、第2図は第1図のリード曲
り測定装置における光路を説明するための図、第3図は
第1図のリード曲り測定装置の全体の構成を示すブロッ
ク図である。FIG. 1 is a perspective view showing the structure of the main part of a lead bend measuring device showing one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram for explaining the optical path in the lead bend measuring device shown in FIG. 1, and FIG. 2 is a block diagram showing the overall configuration of the lead bending measuring device shown in FIG. 1. FIG.
この実施例でのリード曲り測定装置の主要部は、第1図
及び第2図に示すように、IC3を表面に載置するとと
もに裏面側に置かれた光源21より入光して本体の他面
外に前記光を拡散させる検査ステージ2である導電性乳
白色拡散樹脂体と、第2図に示すように、IC3の外郭
体の側面より伸るリード24にその伸る方向及びこの方
向と直角方向に光を分岐し、かつこれら光を異なる輝度
に形成するとともに検査ステージ2の表面上に形成され
る光学プリズム機能をもつ突起部7と、これら分岐され
る二方向の光に投影されるリード24のそれぞれの各部
の投影像をプリズム6あるいはミラー5を介して撮像す
る撮像機構であるエリアセンサカメラ1とを有している
。As shown in FIGS. 1 and 2, the main parts of the lead bending measuring device in this embodiment include an IC 3 placed on the front surface and light entering from a light source 21 placed on the back surface of the main body. As shown in FIG. 2, there is a conductive milky white diffusion resin body which is the inspection stage 2 that diffuses the light out of the plane, and a lead 24 extending from the side surface of the outer body of the IC 3 in the direction in which it extends and at right angles to this direction. A protrusion 7 having an optical prism function is formed on the surface of the inspection stage 2 to split light in different directions and form the light into different brightnesses, and a lead is projected onto the light in these two directions. It has an area sensor camera 1 which is an imaging mechanism that captures a projected image of each part of 24 through a prism 6 or a mirror 5.
ここで、導電性1乳白色拡散樹脂4と導電性製乳白色拡
散樹脂22は乳濁度が異なり、光源21からの光は、二
の2種類の乳白色拡散樹脂を通ることによって、検査ス
テージ2上面での輝度に変化を付けている。すなわち、
検査ステージ2の面に平行な光が、上方に発生される光
より輝度が弱いと、この上方に発する光と乱反射を起し
、平坦度を測定する平行な光が食われ、平坦度測定にお
いて、誤差を生ずるので、より輝度が強くなるように、
混濁度を設計している。Here, the conductive milky-white diffusion resin 4 and the conductive milky-white diffusion resin 22 have different emulsities, and the light from the light source 21 passes through the two types of milky-white diffusion resin 2 and reaches the upper surface of the inspection stage 2. The brightness of the image is changed. That is,
If the light parallel to the surface of the inspection stage 2 is weaker in brightness than the light emitted above, it will cause diffuse reflection with the light emitted above, and the parallel light used to measure flatness will be eaten up, causing problems in flatness measurement. , to make the brightness stronger, as this will cause an error.
The turbidity is designed.
また、金属性遮光板23は不要な光が発散しないように
設けられている。さらに、突起部7は、■Cの外郭体と
リード24の湾曲部内に入り込む形状をしており、エリ
アセンサカメラ1に対する位置ずれや、角度補正するこ
となく、IC3を載置することが出来る。Further, the metallic light shielding plate 23 is provided to prevent unnecessary light from being emitted. Furthermore, the protrusion 7 has a shape that fits into the curved part of the outer body of C and the lead 24, and the IC 3 can be placed thereon without positional deviation or angle correction with respect to the area sensor camera 1.
一方、この主要部以外に、第3図に示すように、エリア
センサカメラ1からの投影像を取り込む画像取り込み部
8と、この投影画像データを一時的に記憶する画像メモ
リ9と、このの画像データを二値化処理する二値化処理
部8aと、これらの二値化処理される画像データによっ
てリード24の投影輪郭を作成するプロファイル作成部
12と、演算処理及び記憶部からなるCPU32より構
成される。On the other hand, in addition to this main part, as shown in FIG. Consists of a binarization processing unit 8a that binarizes data, a profile creation unit 12 that creates a projected contour of the lead 24 from these binarized image data, and a CPU 32 that includes an arithmetic processing and storage unit. be done.
また、このCPU32は、リードの伸る方向の投影輪郭
における二値化データにより複数の前記リードの先端面
でなる面の平面度を算出するコプラナリティ算出部13
と、リードの伸びる方向に対して直角方向の投影輪郭に
おける二値化データによりリードの伸る方向での曲り量
を算出するリード曲り算出部33である中心値算出部1
0及び三角演算部11と、コプラナリティ算出部13と
曲り菫算出部33の結果と外部記憶装W16が記憶する
良否判定基準と比較して良否を判定する良否判定部14
とで構成される。The CPU 32 also operates a coplanarity calculation unit 13 that calculates the flatness of a surface formed by the distal end surfaces of a plurality of leads using binarized data on projected contours in the extending direction of the leads.
and a center value calculation unit 1 which is a lead bending calculation unit 33 that calculates the amount of bending in the lead extension direction based on binary data on the projected contour in the direction perpendicular to the lead extension direction.
0 and trigonometric calculation unit 11, and a quality determination unit 14 that determines quality by comparing the results of the coplanarity calculation unit 13 and the curved violet calculation unit 33 with the quality determination criteria stored in the external storage device W16.
It consists of
さらに、このCPU32には、算出結果と判定結果をI
/ 017 a及び17bを介して記憶する外部記憶
装置15及16と、この算出結果及び判定結果をI /
017 c及び17dを表示したり、プリントアウト
しなりするCRT18及びプリンタ1つと、判定基準を
l10L7dを介して外部記憶装置16に入力するキー
ボード20を有している。Furthermore, this CPU 32 has an I
/017a and 17b to store the calculation results and judgment results in the external storage devices 15 and 16 and I/017.
It has a CRT 18 for displaying and printing out 017c and 17d, a printer, and a keyboard 20 for inputting judgment criteria into the external storage device 16 via 110L7d.
第4図は第1図のリード曲り測定装置の平坦度を算出す
るアルゴリズムを説明するための図、第5図から第7図
までは測定値を算出する方法を説明するためのフローチ
ャート図、第8図は平坦度を算出する方法を説明するた
めの図である。FIG. 4 is a diagram for explaining the algorithm for calculating the flatness of the lead bending measuring device shown in FIG. FIG. 8 is a diagram for explaining a method for calculating flatness.
次に、このリード曲り測定装置の測定手順及び測定値算
出方法を説明する。まず、IC3に透過した光による投
影像はそれぞれのエリアセンサカメラ1で撮像される。Next, the measurement procedure and measurement value calculation method of this lead bending measuring device will be explained. First, a projected image of light transmitted through the IC 3 is captured by each area sensor camera 1.
次に、この投影像は画像取り込み部7により取り込まれ
、例えば、6ビツト、64階調の多値データとして処理
され、−旦、画像メモリ9に蓄積される。次に、この蓄
積された多値データは、予め設定されたスレッショルド
レベルで二値化され、再び、画像メモリ9に二値データ
として蓄積される。Next, this projected image is captured by the image capturing section 7, processed as, for example, 6-bit, 64-gradation multivalued data, and then stored in the image memory 9. Next, this accumulated multivalued data is binarized at a preset threshold level, and is again stored in the image memory 9 as binary data.
次に、平坦度を測定するには、IC3の四隅のエリアセ
ンサカメラ1で得られる画像により平坦度を算出する。Next, to measure the flatness, the flatness is calculated using images obtained by the area sensor cameras 1 at the four corners of the IC 3.
これには、第8図に示すように、WINDOW5内のり
−ド24のプロファイル及び金属性遮光板23(検査ス
テージ面)は暗黒魚群として、リード24と検査ステー
ジ面との間は明点群として画像メモリ9に蓄積されてい
る。次に、プロファイル作成部12は、各リードに対応
するWINDOWS毎に明点群でなる明点群プロファイ
ル35を作成する。次に、コプラナリティ算出部13は
、まず、各WINDOW5毎に、その垂直高さの最小値
を検索し、全てのWINDOW5毎の最小値の中の最大
値を抽出し、これを平坦度とする。次に、この平坦度値
は、l1017aを通して外部記憶装置15に記憶され
ると同時に良否判定部14に送られる。次に、外部記憶
装置16に記憶された平坦度の判定基準と比較し、良否
を判定する。As shown in FIG. 8, the profile of the lead 24 in the WINDOW 5 and the metallic light-shielding plate 23 (inspection stage surface) are imaged as a group of dark fish, and the area between the lead 24 and the inspection stage surface is imaged as a group of bright points. It is stored in memory 9. Next, the profile creation unit 12 creates a bright point group profile 35 consisting of a bright point group for each WINDOWS corresponding to each lead. Next, the coplanarity calculation unit 13 first searches for the minimum value of the vertical height for each WINDOW 5, extracts the maximum value among the minimum values for all the WINDOWs 5, and uses this as the flatness. Next, this flatness value is stored in the external storage device 15 through l1017a and simultaneously sent to the quality determining section 14. Next, it is compared with the flatness criteria stored in the external storage device 16 to determine whether it is good or bad.
次に、リードの伸る方向での曲りの測定について説明す
る。これも、前述したように、ます、エリアセンサカメ
ラ1による撮像領域WINDOW1及び2は、第5図の
ステップAで、予め設定される9次に、ステップBで、
二値化処理された撮像データより、中心値算出部10で
、第4図に示す、WINDOWIの一辺Ll (座標
値wcr1yとする)とリード24の交点a、bと、W
IND−〇W2の一辺L2 (座標値WG2yとする
)とリード24との交点C,dを求める。Next, measurement of bending in the direction in which the lead extends will be explained. Also, as mentioned above, the imaging areas WINDOW1 and WINDOW2 by the area sensor camera 1 are set in advance in step A of FIG. 5, and then in step B.
From the binarized imaging data, the center value calculation unit 10 calculates the intersections a, b, and
Find the intersections C and d between one side L2 (coordinate value WG2y) of IND-〇W2 and the lead 24.
次に、第4図に示す中点WGI、WG2を上記のa、b
、c及びd点の座標より算出する。Next, the midpoints WGI and WG2 shown in FIG. 4 are set to the above a and b.
, calculated from the coordinates of points c and d.
すなわち、
WG 1 (WG 1 x、WG 1 y >、WG2
(WG2x、WG2y)を求める。That is, WG 1 (WG 1 x, WG 1 y >, WG 2
Find (WG2x, WG2y).
次に、第5図のステップCで、第4図に示す曲り角度θ
を算出する。Next, in step C of FIG. 5, the bending angle θ shown in FIG.
Calculate.
すなわち、 WG 2 x −WG l x θ=a rctan WG2y−WGly を求める。That is, WG 2 x - WG l x θ=a rctan WG2y-WGly seek.
次に、ステップEで、第4図のSTPの座標値を求める
。そして、引続き、ステ・ツブFで、SBPの座標値を
求める。そして、ステップGで、曲り量を算出する。Next, in step E, the coordinate values of STP in FIG. 4 are determined. Subsequently, the coordinate values of SBP are determined using step F. Then, in step G, the amount of bending is calculated.
なお、STP及びSBPの各座標の求める算出フローは
、第6図及び第7図に示すように、曲り角度θより三角
関数を利用して三角演算部11で算出される。Note that the calculation flow for determining the respective coordinates of STP and SBP is as shown in FIGS. 6 and 7, in which the trigonometric calculation unit 11 calculates the coordinates from the bending angle θ using trigonometric functions.
このように求められた各リードの曲り量は、■/’01
−/aを還して外部記憶装置115に蓄積される。また
、各リードの曲り量の中の最大値は、良否判定部14に
送られる。次に、規格データ用の外部記憶装置16はl
1017dを介してキーボード20より入力されたリー
ド面り量の判定基準値及び平坦度の判定基準値を蓄積す
る。The amount of bending of each lead obtained in this way is: ■/'01
−/a is returned and stored in the external storage device 115. Further, the maximum value among the amounts of bending of each lead is sent to the quality determining section 14. Next, the external storage device 16 for standard data is
The lead surface level determination reference value and the flatness determination reference value inputted from the keyboard 20 via 1017d are accumulated.
次に、良否判定部14は、三角演算部11及びコプラナ
リティ算出部13から送られるリードの曲り量及び平坦
度と、T1017bを介して送られる外部記憶装W16
の判定基準値と比較し、測定結果に対する良否判定を行
なう。そして、その良否を外部記憶装置15に蓄積する
。また、CRT18、プリンタ19はI、1017c及
び17dを介して外部記憶装置15及び16から、デー
タ及び測定結果の表示及び出力を行なう。Next, the pass/fail determining section 14 calculates the bending amount and flatness of the lead sent from the trigonometric calculation section 11 and the coplanarity calculation section 13, and the external storage device W16 sent via T1017b.
The quality of the measurement results is determined by comparing them with the determination reference values. Then, the quality information is stored in the external storage device 15. Further, the CRT 18 and printer 19 display and output data and measurement results from the external storage devices 15 and 16 via I, 1017c and 17d.
第9図は本発明の他の実施例を示すリード面り測定装置
の主要部を説明するための図、第10図は第9図のリー
ド面り測定装置の全体の構成を示すブロック図である。FIG. 9 is a diagram for explaining the main parts of a lead surface measuring device showing another embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a block diagram showing the overall configuration of the lead surface measuring device shown in FIG. be.
この実施例におけるリード面り測定装置は、第9図及び
第10図に示すように、前述の実施例で説明したエリア
センサカメラの代りにラインセンサカメラとしたことで
ある。The lead surface measuring device in this embodiment, as shown in FIGS. 9 and 10, uses a line sensor camera instead of the area sensor camera described in the previous embodiment.
そして、このラインセンサカメラ25をIC3の一端側
にあるリード24から他端側にあるリード24まで、移
動し、各リード面を走査し、線状の透過光を入光して撮
像し、これら撮像データを値化し、前述の実施例と同様
に演算処理することによって、リードのリードの伸びる
方向の曲り及びリードの先端部の同一平面度を測定する
ことである。Then, the line sensor camera 25 is moved from the lead 24 at one end of the IC 3 to the lead 24 at the other end, scans each lead surface, and images the linear transmitted light. The purpose of this method is to measure the bending of the lead in the direction in which the lead extends and the coplanarity of the tip of the lead by converting the imaged data into values and performing arithmetic processing in the same manner as in the above-described embodiments.
このため、第9図に示すように、IC3の一側面のリー
ドを撮像する二つのラインセンサカメラ25を一つのブ
ロック体に収納し、このブロック体をIC3の側面に沿
って移動させるボールねじ31及びナツトを設け、この
ボールねじ31を回転させるサーボモータ27を取り付
け、さらに、ラインセンサカメラ25の位置検出用のリ
ニアスケール26及びサーボモータ27と、このリニア
スケール26を読み取るデコーダ29と、このデコーダ
29によりドライバ28を制御するコントローラ30と
を設けたことである。Therefore, as shown in FIG. 9, two line sensor cameras 25 that image the leads on one side of the IC 3 are housed in one block, and a ball screw 31 moves this block along the side of the IC 3. and a nut, and a servo motor 27 for rotating this ball screw 31 is attached.Furthermore, a linear scale 26 and a servo motor 27 for detecting the position of the line sensor camera 25, a decoder 29 for reading this linear scale 26, and this decoder are provided. 29 and a controller 30 for controlling the driver 28.
勿論、本図面では、IC3の四隅からそれぞれリード2
4が突出しているので、このラインセンサカメラ25を
移動するブロック及び駆動機構は四対が設けられること
になる。また、リード24を撮像するラインセンサカメ
ラを同一ブロックに収納するために、リード表面を撮像
するラインセンサカメラ25の前段には、光路を変更す
るために、プリズム6a、6b、6C及びミラー5aが
設けられている。なお、第9図では、紙面都合上、ボー
ルねじ31の方向が実際の方行と90度ずらして描かれ
ている。Of course, in this drawing, leads 2 are connected from each of the four corners of IC3.
4 protrudes, so four pairs of blocks and drive mechanisms for moving this line sensor camera 25 are provided. Furthermore, in order to accommodate the line sensor camera that images the lead 24 in the same block, prisms 6a, 6b, 6C and a mirror 5a are installed in front of the line sensor camera 25 that images the lead surface in order to change the optical path. It is provided. In addition, in FIG. 9, the direction of the ball screw 31 is shown shifted by 90 degrees from the actual direction due to space limitations.
さらに、このリード曲り測定装置は、第10図に示すよ
うに、ラインセンサカメラ25の位置制御するコントロ
ーラ30がCPU32に接続されている。それ以外は、
画像取込み部8を含めた以降の構成は、前述の実施例と
同じである。Furthermore, as shown in FIG. 10, in this lead bending measuring device, a controller 30 that controls the position of the line sensor camera 25 is connected to a CPU 32. Other than that,
The subsequent configuration including the image capturing section 8 is the same as the previous embodiment.
次に、このリード曲り測定装置の動作を説明する。まず
、IC3のり−ド24における透過像の一つは、ミラー
5を介してラインセンサカメラ25の1つに、他の透過
像はプリズム6a、6b、6c及びミラー5aを介して
他のラインセンサカメラ25に入光し、撮像される。こ
のとき、ラインセンサカメラ25を収納しているブロッ
クがサーボモータ27及びボールねじ31で一方向に送
られ、各リード24を順次撮像する。次に、これら投影
像は、画像取込み部7にとり込まれ、二値化処理部8a
により二値化される。次に、前述の実施例と同様に、デ
ータ処理され、演算が行なわれ、リードの曲り、及び平
坦度が測定され、判定基準と比較され良否判定される。Next, the operation of this lead bend measuring device will be explained. First, one of the transmitted images in the IC3 board 24 is sent to one of the line sensor cameras 25 via the mirror 5, and the other transmitted image is sent to the other line sensor via the prisms 6a, 6b, 6c and the mirror 5a. The light enters the camera 25 and is imaged. At this time, the block housing the line sensor camera 25 is sent in one direction by the servo motor 27 and the ball screw 31 to sequentially image each lead 24. Next, these projected images are captured into the image capturing section 7, and the binarization processing section 8a
It is binarized by Next, as in the previous embodiment, data is processed, calculations are performed, bending and flatness of the lead are measured, and the results are compared with criteria to determine quality.
この実施例のリード曲り測定装置は、前述の実施例のそ
れと比べ、領域を撮像するのではなく、走査方向である
幅をスリット状の線とし、かつ水平解像度の高いライン
センサカメラを用いることによって、リード曲り量の測
定精度をより向上することが出来る利点がある。また、
センサカメラの視野に制限されることがないので、よる
大きなrcにも適用出来るという利点もある。The lead bending measuring device of this embodiment differs from that of the previous embodiment in that it uses a slit-like line with a certain width in the scanning direction, and uses a line sensor camera with high horizontal resolution, rather than imaging an area. , there is an advantage that the measurement accuracy of the amount of lead bending can be further improved. Also,
Since it is not limited by the field of view of the sensor camera, it also has the advantage of being applicable to larger RCs.
以上説明したように本発明は、リードの伸びる方向に透
過する光及びこの方向と直角方向に透過する光を同時に
分割発生する光学機構と、これら透過光によるリードの
投影像を撮像する二つの撮像機構とを設け、これら撮像
データを二値化し、一方向の撮像データを演算処理して
リード先端部の平坦度を求め、他方向の撮像データを三
角関数演算処理することによってリードの伸びる方向の
曲りと、リードの伸びる方向での曲り及びリードの先端
部の同一平面度とを同時に測定出来、また、より正確に
判定することが出来る小型のリード曲り測定装置が得ら
れるという効果がある。As explained above, the present invention includes an optical mechanism that simultaneously splits and generates light transmitted in the direction in which the lead extends and light transmitted in a direction perpendicular to this direction, and two imaging systems that capture a projected image of the lead using these transmitted lights. A mechanism is installed to binarize these imaging data, calculate the flatness of the lead tip by processing the imaging data in one direction, and calculate the flatness of the lead tip by trigonometrically processing the imaging data in the other direction. This has the effect of providing a compact lead bend measuring device that can simultaneously measure the bend, the bend in the direction in which the lead extends, and the coplanarity of the tip of the lead, and can more accurately determine the bend.
第1図は本発明の一実施例を示すリード曲り測定装置の
主要部の構造を示す斜視図、第2図は第1図のリード曲
り測定装置における光路を説明するための図、第3図は
第1図のリード曲り測定装置の全体の構成を示すブロッ
ク図、第4図は第1図のリード曲り測定装置の平坦度を
算出するアルゴリズムを説明するための図、第5図がら
第7図までは測定値を算出する方法を説明するためのフ
ローチャート図、第8図は平坦度を算出する方法を説明
するための図、第9図は本発明の他の実施例を示すリー
ド曲り測定装置の主要部を説明するための図、第10図
は第9図のリード曲り測定装置の全体の構成を示すブロ
ック図、第11図、第12図及び第13図は従来のリー
ド曲り測定装置におけるリードの先端面の平坦度を測定
する測定装置の例を説明するためのそれぞれ概略を示す
図、第14図は従来のリード曲り測定装置におけるリー
ドの伸る方向でのリード曲りを測定する測定装置の例を
説明するための概略を示す図、第15図は第14図の測
定装置の動作を説明するためのフローチャート図、第1
6図(a>及び(b)は第14図の測定装置のアルゴリ
ズムを説明するための図である。
■・・・エリアセンサカ、メラ、2.2a、2b・・・
検査ステージ、3・・−IC14・・・導電性乳薄白色
拡散樹脂、5.5 a−ミラー、6.6a、6b、6c
・・・プリズム、7・・・突起部、8・・・画像取込み
部、8a・・・二値化処理部、9−・・画像メモリ、1
o・・・中心値算出部、11・・・三角演算部、12・
・・プロファイル作成部、13・・・コプラナリティ算
出部、14・・・良否判定部、15.16・−・外部記
憶装置、17a、17b、17c、17d−Ilo、1
8−CRT、19・・・プリンタ、20・・・キーボー
ド、21・・・光源、22・・・導電性製乳白色拡散樹
脂、23・−金属性遮光板、24・・−リード、25・
・・ラインセンサカメラ、26・・・リニアスケール、
27・・・サーボモータ、28・・・ドライバ、29・
・・デコーダ、3o・・・コントロ−ラ、31・・・ボ
ールねし。32・・・CPU、33・・・リード曲り算
出部、34・−・光フアイバアレイ、35・・・明点群
プロファイル。FIG. 1 is a perspective view showing the structure of the main part of a lead bend measuring device showing one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram for explaining the optical path in the lead bend measuring device shown in FIG. 1, and FIG. is a block diagram showing the overall configuration of the lead bending measuring device shown in FIG. 1, FIG. 4 is a diagram for explaining an algorithm for calculating the flatness of the lead bending measuring device shown in FIG. The figures up to the figure are flowcharts for explaining the method of calculating measured values, Fig. 8 is a figure for explaining the method of calculating flatness, and Fig. 9 is a lead bending measurement showing another embodiment of the present invention. A diagram for explaining the main parts of the device, FIG. 10 is a block diagram showing the overall configuration of the lead bending measuring device of FIG. 9, and FIGS. 11, 12, and 13 are diagrams of the conventional lead bending measuring device. Fig. 14 is a diagram schematically showing an example of a measuring device for measuring the flatness of the tip end surface of a lead in a conventional lead bending measuring device. FIG. 15 is a schematic diagram for explaining an example of the device; FIG. 15 is a flow chart diagram for explaining the operation of the measuring device in FIG. 14;
Figures 6 (a> and (b) are diagrams for explaining the algorithm of the measuring device in Figure 14. ■...Area sensor camera, camera, 2.2a, 2b...
Inspection stage, 3...-IC14... Conductive milky white diffusion resin, 5.5 a-Mirror, 6.6a, 6b, 6c
... Prism, 7... Protrusion, 8... Image capture section, 8a... Binarization processing section, 9-... Image memory, 1
o... Center value calculation unit, 11... Trigonometric calculation unit, 12.
... Profile creation section, 13... Coplanarity calculation section, 14... Quality determination section, 15.16... External storage device, 17a, 17b, 17c, 17d-Ilo, 1
8-CRT, 19... Printer, 20... Keyboard, 21... Light source, 22... Conductive milky white diffusion resin, 23... Metallic light shielding plate, 24...- Lead, 25...
...Line sensor camera, 26...Linear scale,
27... Servo motor, 28... Driver, 29...
... Decoder, 3o... Controller, 31... Ball connection. 32... CPU, 33... Lead bend calculation unit, 34... Optical fiber array, 35... Bright point group profile.
Claims (1)
ともに裏面より入光して本体の他面外に前記光を拡散さ
せる検査ステージと、 前記表面実装型集積回路装置の外郭体の側面より伸びる
リードにその伸びる方向とこの方向と直角方向に前記光
を二方向に分岐し、かつこれら光を異なる輝度に形成す
るとともに前記検査ステージの表面上に形成される光学
機構と、 これら二方向の光に投影される前記リードのそれぞれの
各部の投影像を撮像する撮像機構と、これら投影像の画
像データを二値化処理する二値化処理機構と、 これらの二値化処理される画像データによって前記リー
ドの投影輪郭を作成するプロファイル処理機構と、 前記リードの伸る方向の投影輪郭における二値化データ
により複数の前記リードの先端面でなる面の平面度を算
出する第1の算出機構と、 前記リードの伸びる方向に対して直角方向の投影輪郭に
おける二値化データにより前記リードの伸る方向での曲
り量を算出する第2の算出機構とを有することを特徴と
するリード曲り測定装置。 2、前記第2の算出機構が三角関数演算を行なうことを
特徴とする請求項1記載のリード曲り測定装置。 3、前記光学機構が前記リードの先端部と前記外郭体よ
り突出する部分との間に曲り部内に入込むとともに前記
検査ステージ表面より突起する形状であることを特徴と
する請求項1及び2記載のリード曲り測定装置。 4、前記撮像機構が線状の投影像を撮像することを特徴
とする請求項1及び2並びに3記載のリード曲り測定装
置。[Claims] 1. An inspection stage that places a surface-mounted integrated circuit device on the front surface of a main body, enters light from the back surface, and diffuses the light outside the other surface of the main body; and the surface-mounted integrated circuit. An optical system that splits the light into two directions in the direction in which the lead extends from the side surface of the outer body of the apparatus and in a direction perpendicular to this direction, and forms these lights with different brightness, and is formed on the surface of the inspection stage. a mechanism, an imaging mechanism that captures projected images of each part of the lead projected by light in these two directions, and a binarization processing mechanism that binarizes image data of these projected images; a profile processing mechanism that creates a projected contour of the lead using digitized image data; and a profile processing mechanism that creates a projected contour of the lead in the direction in which the lead extends; and a second calculation mechanism that calculates an amount of bending in the extending direction of the lead based on binary data on a projected contour in a direction perpendicular to the extending direction of the lead. A lead bending measuring device featuring: 2. The lead bending measuring device according to claim 1, wherein the second calculation mechanism performs trigonometric function calculations. 3. Claims 1 and 2 characterized in that the optical mechanism has a shape that is inserted into a bent part between the tip end of the lead and a part protruding from the outer body and protrudes from the surface of the inspection stage. lead bend measurement device. 4. The lead bending measuring device according to claims 1, 2, and 3, wherein the imaging mechanism captures a linear projection image.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2195629A JP2630034B2 (en) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | Lead bending measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2195629A JP2630034B2 (en) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | Lead bending measuring device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0480937A true JPH0480937A (en) | 1992-03-13 |
JP2630034B2 JP2630034B2 (en) | 1997-07-16 |
Family
ID=16344346
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2195629A Expired - Lifetime JP2630034B2 (en) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | Lead bending measuring device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2630034B2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0560096A2 (en) * | 1992-02-18 | 1993-09-15 | Nec Corporation | Apparatus for measuring bend amount of IC leads |
CN117781959A (en) * | 2023-12-26 | 2024-03-29 | 成都宏明双新科技股份有限公司 | Shielding cover Pin Pin flatness detection device and calibration method |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0229600U (en) * | 1988-08-16 | 1990-02-26 |
-
1990
- 1990-07-24 JP JP2195629A patent/JP2630034B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0229600U (en) * | 1988-08-16 | 1990-02-26 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0560096A2 (en) * | 1992-02-18 | 1993-09-15 | Nec Corporation | Apparatus for measuring bend amount of IC leads |
EP0560096A3 (en) * | 1992-02-18 | 1993-11-03 | Nec Corp | Apparatus for measuring bend amount of ic leads |
CN117781959A (en) * | 2023-12-26 | 2024-03-29 | 成都宏明双新科技股份有限公司 | Shielding cover Pin Pin flatness detection device and calibration method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2630034B2 (en) | 1997-07-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6141040A (en) | Measurement and inspection of leads on integrated circuit packages | |
US6064756A (en) | Apparatus for three dimensional inspection of electronic components | |
JP2870142B2 (en) | Coplanarity measuring method and apparatus | |
JP4901903B2 (en) | 3D inspection system | |
JPH11351827A (en) | Image processor | |
JPH04105341A (en) | Method and equipment for detecting bending and floating of lead of semiconductor device | |
JPH07260701A (en) | Recognition method of area of inspection | |
JP2019197018A (en) | Flatness detection method, flatness detection device and flatness detection program | |
CN109219730B (en) | System and method for pin angle inspection using multi-view stereo vision | |
JPH0480937A (en) | Lead bending measuring device | |
GB2297379A (en) | Inspection of semiconductor device for defective leads | |
JPH09196625A (en) | Coplanarity inspection apparatus | |
JPH0629705B2 (en) | Plate inspection method | |
JP2000018919A (en) | Imaging device, optical measuring apparatus, and optical system inspecting apparatus | |
JPH0429007A (en) | Optical inspection device | |
JPS61193007A (en) | Inspecting method for rod type projection body | |
JP3273049B2 (en) | Wafer alignment method | |
JPH11132735A (en) | Ic lead floating inspection device and inspection method | |
JP3189604B2 (en) | Inspection method and device | |
JPH0399207A (en) | Inspection apparatus for mounting board | |
Koezuka et al. | Visual inspection system using multidirectional 3-D imager | |
JP3006566B2 (en) | Lead bending inspection equipment | |
JPH07104136B2 (en) | Terminal tilt detection method | |
JP2795790B2 (en) | Sensor coordinate correction method for three-dimensional measuring device | |
JP2884581B2 (en) | Teaching method of reference data in inspection device of mounted printed circuit board |