JPH04266673A - Fluid unit with local controller - Google Patents
Fluid unit with local controllerInfo
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Abstract
Description
【0001】0001
【産業上の利用分野】本発明は、ローカルコントローラ
付流体ユニットに関し、一層詳細には流体ユニットの制
御を行うシーケンサの機能の一部を代替するコントロー
ラを有するローカルコントローラ付流体ユニットに関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluid unit with a local controller, and more particularly to a fluid unit with a local controller having a controller that replaces part of the function of a sequencer that controls the fluid unit.
【0002】0002
【従来の技術】従来の流体ユニット、例えば真空発生用
ユニットは真空もしくは圧縮空気の供給弁や真空破壊弁
、吸着確認スイッチ、タイマ、表示装置等の周辺機器を
有し、それぞれが個別にシーケンサ等の制御機器に接続
され、信号伝達が行われている。[Prior Art] A conventional fluid unit, for example, a vacuum generation unit, has peripheral equipment such as a vacuum or compressed air supply valve, a vacuum break valve, a suction confirmation switch, a timer, and a display device, each of which has an individual sequencer, etc. is connected to the control equipment for signal transmission.
【0003】従来技術の真空発生用ユニットを図10に
示す。図10は、それぞれ異なる真空吸着条件を持つエ
ゼクタを真空源とした真空機器2とシーケンサ4との間
の信号線の接続構造を示している。真空発生用ユニット
6aは、エゼクタを有し真空ポート8aを備えるブロッ
ク10aに圧縮空気供給弁12a、真空破壊弁14a、
吸着確認スイッチ16a等の周辺機器が接続されて構成
され、これと同様に形成された真空発生用ユニット6b
乃至6eとともにマニホールド18に載置して真空機器
2を構成する。マニホールド18は、圧縮空気供給ポー
ト20から前記真空発生用ユニット6a乃至6eに圧縮
空気を供給し、エゼクタにより負圧を発生させる。例え
ば、真空発生用ユニット6c乃至6eでは前記負圧は、
真空ポート8c乃至8eからチューブ22c乃至22e
を介して吸着用パッド24c乃至24eに供給される。
このようにして吸着用パッド24c乃至24eはワーク
26c乃至26eを吸着搬送する。A conventional vacuum generating unit is shown in FIG. FIG. 10 shows a connection structure of signal lines between the vacuum equipment 2 and the sequencer 4, each using an ejector as a vacuum source having different vacuum suction conditions. The vacuum generation unit 6a includes a block 10a having an ejector and a vacuum port 8a, a compressed air supply valve 12a, a vacuum break valve 14a,
A vacuum generation unit 6b configured in the same manner as connected with peripheral devices such as a suction confirmation switch 16a.
The vacuum equipment 2 is configured by placing it on the manifold 18 together with 6e to 6e. The manifold 18 supplies compressed air from the compressed air supply port 20 to the vacuum generation units 6a to 6e, and generates negative pressure using the ejector. For example, in the vacuum generation units 6c to 6e, the negative pressure is
Vacuum ports 8c to 8e to tubes 22c to 22e
The liquid is supplied to the suction pads 24c to 24e through the suction pads 24c to 24e. In this way, the suction pads 24c to 24e suction and transport the works 26c to 26e.
【0004】シーケンサ4は、その上部に入力キー28
とLCD、セグメント、LED、チップLED等の表示
部30を備え、側面には制御対象用の信号端子32を有
する。マニホールド18上の真空発生用ユニット6a乃
至6eの周辺機器は、それぞれ信号線34を有し、シー
ケンサ4の前記信号端子32に個別に接続されている。The sequencer 4 has an input key 28 on its top.
and a display section 30 such as an LCD, segment, LED, chip LED, etc., and has a signal terminal 32 for a controlled object on the side surface. The peripheral devices of the vacuum generation units 6a to 6e on the manifold 18 each have a signal line 34 and are individually connected to the signal terminal 32 of the sequencer 4.
【0005】このようにして構成された吸着搬送システ
ムは以下述べるように作動する。ここでは説明を簡単に
するためにシーケンサ4が真空発生用ユニット6eを制
御する場合を図10および図11を参照して説明する。[0005] The suction conveyance system constructed in this manner operates as described below. Here, to simplify the explanation, a case where the sequencer 4 controls the vacuum generation unit 6e will be explained with reference to FIGS. 10 and 11.
【0006】先ず、シーケンサ4は、圧縮空気供給弁1
2eに作動信号を送る。これにより、真空発生用ユニッ
ト6eの内部のエゼクタに圧縮空気が送入されて負圧が
発生し、真空ポート8eから吸着用パッド24eに負圧
が供給される。First, the sequencer 4 connects the compressed air supply valve 1
Sends an activation signal to 2e. As a result, compressed air is fed into the ejector inside the vacuum generation unit 6e to generate negative pressure, and the negative pressure is supplied from the vacuum port 8e to the suction pad 24e.
【0007】負圧が供給された吸着用パッド24eがワ
ーク26eを吸着すると真空発生用ユニット6eの負圧
がさらに上昇し、その負圧が吸着確認スイッチ16eに
予め設定された圧力を超えると、前記吸着確認スイッチ
16eが作動してシーケンサ4に吸着確認信号を送る。When the suction pad 24e supplied with negative pressure suctions the workpiece 26e, the negative pressure of the vacuum generating unit 6e further increases, and when the negative pressure exceeds the pressure preset on the suction confirmation switch 16e, The suction confirmation switch 16e is activated and sends a suction confirmation signal to the sequencer 4.
【0008】シーケンサ4はこの信号を受けると、タイ
マーにより設定された一定時間後にシリンダ等の搬送機
器上のスイッチ等から送られるワークの移動完了信号を
確認する。その後、圧縮空気供給弁12eに停止信号を
送り、圧縮空気供給弁12eを停止させてエゼクタの負
圧発生を停止させる。When the sequencer 4 receives this signal, it confirms a workpiece movement completion signal sent from a switch on a conveying device such as a cylinder after a certain period of time set by a timer. Thereafter, a stop signal is sent to the compressed air supply valve 12e to stop the compressed air supply valve 12e and stop generating negative pressure in the ejector.
【0009】また、同時にシーケンサ4は真空破壊弁1
4eに作動信号を送る。これにより、真空発生用ユニッ
ト6eの真空ポート8eから吸着用パッド24eに圧縮
空気が供給され、吸着用パッド24eのワーク26eに
対する吸着状態を解除する。シーケンサ4は、その内部
にあるタイマーにより設定された一定時間が過ぎると真
空破壊弁14eに停止信号を送る。これにより、吸着用
パッド24eの吸着搬送動作を終了する。At the same time, the sequencer 4 also operates the vacuum breaker valve 1.
Send an activation signal to 4e. As a result, compressed air is supplied from the vacuum port 8e of the vacuum generation unit 6e to the suction pad 24e, and the suction state of the suction pad 24e to the workpiece 26e is released. The sequencer 4 sends a stop signal to the vacuum breaker valve 14e after a certain period of time set by an internal timer has passed. This completes the suction conveyance operation of the suction pad 24e.
【0010】0010
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の技術では以下に述べるような問題がある。However, the above-mentioned conventional techniques have the following problems.
【0011】すなわち、シーケンサ4は真空発生用ユニ
ット6a乃至6eの周辺機器の信号線34を全て管理し
、前記周辺機器の切り換えのタイミングも全てその内部
で処理している。したがって、シーケンサ4に接続され
る真空発生用ユニットが増大するとシーケンサ4の負担
が大きくなりすぎて各真空発生用ユニットごとに個別制
御が不可能になるという問題を生じている。That is, the sequencer 4 manages all the signal lines 34 of the peripheral devices of the vacuum generation units 6a to 6e, and also processes all switching timings of the peripheral devices internally. Therefore, if the number of vacuum generation units connected to the sequencer 4 increases, the load on the sequencer 4 becomes too large, creating a problem that individual control of each vacuum generation unit becomes impossible.
【0012】さらに図10を参照すれば明らかなように
、真空発生用ユニット6a乃至6eの周辺機器からシー
ケンサ4への信号線34は非常に数が多く、配線に煩雑
さ、誤配線のおそれ、さらにはノイズにより周辺機器に
誤作動を生じさせる等のおそれがある。この問題は、真
空発生用ユニットのみならず、他の流体ユニットにも共
通するものである。Furthermore, as is clear from FIG. 10, the number of signal lines 34 from the peripheral devices of the vacuum generation units 6a to 6e to the sequencer 4 is extremely large, resulting in complicated wiring, the risk of incorrect wiring, and Furthermore, there is a risk that the noise may cause peripheral equipment to malfunction. This problem is common not only to vacuum generation units but also to other fluid units.
【0013】本発明はこの種の問題を解決するために、
シーケンサの負担を軽減し、流体ユニットの個別制御が
可能な流体ユニットを提供することにある。[0013] In order to solve this kind of problem, the present invention
It is an object of the present invention to provide a fluid unit that can reduce the load on a sequencer and allow individual control of the fluid units.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、少なくとも、流体の供給、遮断を行う
切換弁と、装置内の流体の状態を確認するための検出手
段と、を備える流体ユニットにおいて、前記検出手段お
よび切換弁の切り換えをローカルに制御するコントロー
ラを有していることを特徴とする。[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the present invention provides at least a switching valve for supplying and shutting off fluid, a detection means for confirming the state of the fluid in the device, and The fluid unit includes a controller that locally controls switching of the detection means and the switching valve.
【0015】[0015]
【作用】本発明に係るローカルコントローラ付流体ユニ
ットでは、それぞれの流体ユニットにコントローラを有
しているため、マニホールドによって多数連設されてい
る場合でもシーケンサの負担が軽減され、個別制御が可
能となる。さらに、各流体ユニットの周辺機器、例えば
、真空発生用ユニットの圧縮空気供給弁、真空破壊弁お
よび吸着確認スイッチとコントローラ間を電気配線し、
コントローラとシーケンサ間を電気配線するため、コン
トローラとシーケンサ間の電気配線が簡略化する。[Operation] In the fluid unit with a local controller according to the present invention, since each fluid unit has a controller, the load on the sequencer is reduced even when a large number of fluid units are connected by a manifold, and individual control is possible. . Furthermore, electrical wiring is provided between the peripheral devices of each fluid unit, such as the compressed air supply valve, vacuum breaker valve, and suction confirmation switch of the vacuum generation unit, and the controller.
The electrical wiring between the controller and the sequencer is simplified because it is electrically wired between the controller and the sequencer.
【0016】[0016]
【実施例】本発明に係るローカルコントローラ付流体ユ
ニットについて、好適な実施例を挙げ、添付の図面を参
照しながら以下詳細に説明する。ここでは、従来例と同
様の構成要素には従来例と同一の参照符号を付し、その
詳細な説明を省略する。以下の実施例は、全て真空発生
用ユニットについて説明したものであるが、もちろん真
空発生用ユニットに限らず他の流体ユニットにも対応可
能である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A preferred embodiment of a fluid unit with a local controller according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. Here, the same reference numerals as in the conventional example are given to the same components as in the conventional example, and detailed explanation thereof will be omitted. Although all of the following embodiments are explained with respect to a vacuum generation unit, it is of course applicable not only to the vacuum generation unit but also to other fluid units.
【0017】先ず、第1の実施例を図1を参照して説明
する。図1は、マニホールド18によってローカルコン
トローラ付真空発生用ユニット40a乃至40eを複数
個連設した真空機器42を示す。マニホールド18の上
部に載置されるローカルコントローラ付真空発生用ユニ
ット40aは、エゼクタを有するブロック10a、圧縮
空気供給弁12a、真空破壊弁14a、吸着確認スイッ
チ16aおよびコントローラ44aから構成される。前
記ローカルコントローラ付真空発生用ユニット40aの
周辺機器、すなわち圧縮空気供給弁12a、真空破壊弁
14a、圧力センサあるいは空気圧ブリッジを用いた吸
着確認スイッチ16aは、それぞれ信号線46aを有し
、コントローラ44aに個別に接続されている。コント
ローラ44aは、その上部に信号端子48aを有し、コ
ネクタ50aを介して信号線34に接続している。他の
ローカルコントローラ付真空発生用ユニット40b乃至
40eも同様である。各コントローラ44a乃至44e
の信号端子48a乃至48eは、コネクタ50a乃至5
0eおよび信号線34を介して接続され、マニホールド
18の端部にある信号端子48eから図示しないシーケ
ンサに接続される。信号線34は、シーケンサと個々の
コントローラ44a乃至44eの信号を識別するために
アドレス用の信号線と情報伝達のためのデータ用の信号
線に分かれており、各コントローラおよびユニットはア
ドレス設定手段を有する。したがって、アドレス用の信
号線を介してシーケンサと個々のコントローラ44a乃
至44eの通信を確定することによりコントローラ44
a乃至44eの信号配線のバスライン化を可能としてい
る。さらにシーケンサとコントローラ44a乃至44e
の通信を完全なシリアル通信で行うことにより配線を一
本で行うことも可能である。また、この通信手段とバス
ラインおよび信号線をワイヤレス、光、電波等の空間電
送を機器内外で行っても良い。First, a first embodiment will be explained with reference to FIG. FIG. 1 shows a vacuum device 42 in which a plurality of vacuum generating units 40a to 40e with local controllers are arranged in series by a manifold 18. A vacuum generation unit 40a with a local controller placed on the upper part of the manifold 18 includes a block 10a having an ejector, a compressed air supply valve 12a, a vacuum break valve 14a, an adsorption confirmation switch 16a, and a controller 44a. The peripheral devices of the vacuum generation unit 40a with a local controller, that is, the compressed air supply valve 12a, the vacuum break valve 14a, the suction confirmation switch 16a using a pressure sensor or a pneumatic bridge, each have a signal line 46a, and are connected to the controller 44a. individually connected. The controller 44a has a signal terminal 48a on its upper part, and is connected to the signal line 34 via a connector 50a. The same applies to the other vacuum generation units 40b to 40e with local controllers. Each controller 44a to 44e
The signal terminals 48a to 48e are connected to the connectors 50a to 50a.
0e and a signal line 34, and is connected from a signal terminal 48e at the end of the manifold 18 to a sequencer (not shown). The signal line 34 is divided into an address signal line and a data signal line for information transmission in order to identify the signals of the sequencer and the individual controllers 44a to 44e, and each controller and unit has an address setting means. have Therefore, by establishing communication between the sequencer and the individual controllers 44a to 44e via address signal lines, the controller 44
It is possible to convert the signal wirings a to 44e into bus lines. Furthermore, the sequencer and controllers 44a to 44e
It is also possible to perform the communication using a single wire by using complete serial communication. Further, space transmission such as wireless, light, radio waves, etc. may be performed between the communication means, the bus line, and the signal line inside and outside the device.
【0018】本実施例ではマニホールド18による多連
運用にもかかわらず、シーケンサと真空発生用ユニット
40a乃至40eの周辺機器との間にコントローラ44
a乃至44eを設置し、シーケンサの負担を軽減すると
ともに、信号線34をバスライン化することにより信号
線を大幅に削減している。In this embodiment, despite the multiple operation using the manifold 18, the controller 44 is connected between the sequencer and the peripheral devices of the vacuum generation units 40a to 40e.
A to 44e are installed to reduce the load on the sequencer, and the signal line 34 is converted into a bus line, thereby significantly reducing the number of signal lines.
【0019】次に、第2の実施例を説明することにより
、シーケンサの負担を軽減し、個別制御が可能となる状
態の動作説明を行う。本実施例は、1つのシーケンサに
よる1つのローカルコントローラ付真空発生用ユニット
の制御を図2に示している。このローカルコントローラ
付真空発生用ユニットはエゼクタを真空源とし、圧縮空
気供給弁と真空破壊弁、圧力表示部を備えた圧力センサ
等の周辺機器と、各種の表示装置を有するコントローラ
を備える。これらの周辺機器の信号線は、コントローラ
にそれぞれ接続される。このローカルコントローラ付真
空発生用ユニットの動作は、吸着用パッド等によるワー
クの吸着搬送を想定している。Next, by explaining the second embodiment, the operation will be explained in a state where the load on the sequencer is reduced and individual control is possible. In this embodiment, FIG. 2 shows control of one vacuum generation unit with a local controller by one sequencer. This vacuum generation unit with a local controller uses an ejector as a vacuum source, and includes peripheral devices such as a compressed air supply valve, a vacuum breaker valve, a pressure sensor with a pressure display, and a controller with various display devices. The signal lines of these peripheral devices are respectively connected to the controller. The operation of this vacuum generation unit with a local controller is based on the assumption that a workpiece is suctioned and conveyed using a suction pad or the like.
【0020】先ず、シーケンサは作動指令をローカルコ
ントローラ付真空発生用ユニットのコントローラに送る
。コントローラは前記作動信号を圧縮空気供給弁に送り
、その直後に圧力センサにも送る。したがって、ローカ
ルコントローラ付真空発生用ユニット内部のエゼクタに
圧縮空気が送入されて真空圧力が発生し、チューブを介
して吸着用パッドに導入される。この間、圧力センサは
真空ポートの真空圧力を測定しその情報を表示するとと
もに、コントローラに逐次送る。コントローラではこの
情報を予め設定された真空故障予知限界と吸着確認真空
圧力に照らし合わせる。表示は、コントローラから表示
回路によって表示してもよい。First, the sequencer sends an operation command to the controller of the vacuum generation unit with local controller. The controller sends said actuation signal to the compressed air supply valve and immediately thereafter also to the pressure sensor. Therefore, compressed air is fed into the ejector inside the vacuum generation unit with a local controller to generate vacuum pressure, which is then introduced into the suction pad via the tube. During this time, the pressure sensor measures the vacuum pressure at the vacuum port, displays this information, and sequentially sends it to the controller. The controller compares this information with preset vacuum failure prediction limits and suction confirmation vacuum pressure. The display may be displayed by a display circuit from the controller.
【0021】真空故障予知限界とは、ローカルコントロ
ーラ付真空発生用ユニットによる吸着搬送に支障を生じ
るおそれのある限界の真空圧力である。仮に真空ポート
の真空圧力が該真空故障予知限界を満たさない場合、コ
ントローラに故障予知表示を行い、同時にその信号をシ
ーケンサに送る。[0021] The vacuum failure prediction limit is a vacuum pressure limit that may cause a problem in suction conveyance by the vacuum generation unit with a local controller. If the vacuum pressure at the vacuum port does not satisfy the vacuum failure prediction limit, a failure prediction is displayed on the controller, and at the same time, the signal is sent to the sequencer.
【0022】吸着確認真空圧力とは、真空が導入された
吸着用パッドにワークが吸着し、真空ポートの真空圧力
が上昇したことを確認する真空圧力である。真空ポート
の真空圧力が予め設定された該吸着確認真空圧力を超え
るとコントローラは、吸着確認表示を行う。The suction confirmation vacuum pressure is the vacuum pressure used to confirm that the workpiece has been suctioned to the suction pad to which vacuum has been introduced and that the vacuum pressure at the vacuum port has increased. When the vacuum pressure of the vacuum port exceeds the preset suction confirmation vacuum pressure, the controller displays a suction confirmation display.
【0023】その後、コントローラは供給弁タイマーに
より設定された一定時間後、シリンダ等の搬送機器上の
スイッチ等からの信号によりワークの移動を確認したシ
リンダ等の搬送機器から送られた信号を受けると、圧縮
空気供給弁の作動停止の信号を送る。[0023] Thereafter, after a certain period of time set by the supply valve timer, the controller receives a signal sent from a transfer device such as a cylinder that confirms the movement of the workpiece by a signal from a switch on the transfer device such as a cylinder. , sends a signal to stop the operation of the compressed air supply valve.
【0024】圧縮空気供給弁はこの信号により動作を停
止し、エゼクタの真空圧力発生は停止する。また同時に
、コントローラは真空破壊弁の作動指令を真空破壊弁に
送り、これにより真空破壊弁が作動し圧縮空気を真空ポ
ートを経て吸着用パッドに送入し、真空を破壊する。
この時、タイマー等により空気送給時間を制御したり、
スイッチや他の外部からの信号を受けて破壊を行う。The compressed air supply valve stops operating in response to this signal, and the ejector stops generating vacuum pressure. At the same time, the controller sends an activation command to the vacuum breaker valve, which operates the vacuum breaker valve to send compressed air to the suction pad through the vacuum port to break the vacuum. At this time, you can control the air supply time using a timer, etc.
It performs destruction by receiving signals from switches and other external sources.
【0025】この間、圧力センサは真空ポートの圧力を
測定し、その情報を表示するとともにコントローラに逐
次送る。コントローラは、この情報を予め設定された破
壊確認空気圧に照らし合わせる。During this time, the pressure sensor measures the pressure in the vacuum port, displays this information and sequentially sends it to the controller. The controller compares this information with a preset destruction confirmation air pressure.
【0026】破壊確認空気圧とは、吸着用パッドからワ
ークが完全に離脱し、真空ポートの破壊空気圧が大気圧
に接近したことを確認する空気圧である。空気圧がコン
トローラに予め設定されたこの破壊確認空気圧を下回る
と、コントローラは破壊確認表示を行い、同時に真空破
壊弁および圧力センサの作動停止信号を送る。これによ
り真空破壊弁と圧力センサが動作を停止する。その後、
コントローラは一連の作動完了報告をシーケンサに送り
、ローカルコントローラ付真空発生用ユニットの吸着搬
送の全ての動作を終了する。The destruction confirmation air pressure is the air pressure used to confirm that the workpiece has completely detached from the suction pad and that the destruction air pressure of the vacuum port has approached atmospheric pressure. When the air pressure falls below this destruction confirmation air pressure preset in the controller, the controller displays a destruction confirmation display and at the same time sends a signal to stop the operation of the vacuum breaker valve and the pressure sensor. This causes the vacuum breaker valve and pressure sensor to stop operating. after that,
The controller sends a series of operation completion reports to the sequencer, and completes all suction and conveyance operations of the vacuum generation unit with local controller.
【0027】本実施例では、図2のようにコントローラ
にシーケンサの制御の一部を負担させることにより、シ
ーケンサの負担を軽減している。このシーケンサの負担
軽減によりさらに多数の真空発生用ユニットが制御可能
となる。あるいは、コントローラの制御能力を十分にと
れば、従来では不可能であった細かな真空発生用ユニッ
トの制御が可能である。In this embodiment, as shown in FIG. 2, the load on the sequencer is reduced by having the controller take over part of the control of the sequencer. By reducing the load on the sequencer, it becomes possible to control a larger number of vacuum generation units. Alternatively, if the controller has sufficient control capability, it is possible to perform detailed control of the vacuum generation unit, which was previously impossible.
【0028】このような、シーケンサの負担を軽減する
コントローラには、様々の形態、機能を考えることがで
きる。先ず、機能を実現する手段として、コントローラ
は電気回路等の完全なハードウエアによる方法、CPU
、メモリ等によるプログラマブルなソフトウエアによる
方法、前記の両者の複合による判断機能、設定項目等の
プログラム的設定が考えられる。また、制御方法、ある
いはセンサ、アドレス、プログラム等の設定方法につい
ても、コントローラ上のディップ、ロータリーマルチ、
ワイアマトリックス等のスイッチ、トリマ等により直接
行う方法、ティーチングボックス等のプログラム装置を
コントローラに接続して行う方法、起動時等にシーケン
サ等の親制御装置から一括してプログラム等のデータを
ダウンロードする方法、さらに、ROM、メモリーカー
ド等の記憶装置の直接接続による方法等が考えられる。
次に、コントローラからの情報表示については、LCD
、LED、ランプ、ブザー等によるコントローラによる
直接表示、表示装置によりマニホールド等の複数のコン
トローラの表示を集中的に表示する方法、シーケンサ等
の親制御機器による集中的な一括表示等が考えられる。
さらに、流体ユニットの制御機能については、実施例に
示したような流体ユニットの故障予知の他に故障時の故
障部位、故障種別の表示、サイレンサ、フィルタ等の要
交換部品の交換時の表示、プログラムエラー、あるいは
シーケンスエラー等のコントローラ自体の自己故障診断
と自己再設定、再プログラム等による自己回復機能、さ
らに、故障、流体圧不良、電源停止等の緊急時のワーク
落下防止、流体噴出防止等の安全な停止および電源、セ
ンサ、回路等の予備装置を設けそれらの切り換えによる
流体システムの機能回復、シーケンサ等の親制御装置と
のシリアルまたはパラレル通信時のアドレス設定と、親
制御装置との通信の優先順位づけ、作動弁や破壊弁等の
作動時間のタイマー機能、ワークの状態や種類をセンサ
により読み取り、流体の圧力や流量を制御して流体ユニ
ットの能力を対応させる等の機能が考えられる。Various forms and functions can be considered for such a controller that reduces the burden on the sequencer. First, as a means of realizing functions, the controller uses a complete hardware method such as an electric circuit, or a CPU.
, a method using programmable software using memory or the like, a judgment function based on a combination of the above, and a programmatic setting of setting items, etc. can be considered. In addition, regarding the control method or the setting method of sensors, addresses, programs, etc., we also provide information on dip, rotary multi,
Directly using wire matrix switches, trimmers, etc., connecting a programming device such as a teaching pendant to the controller, and downloading data such as programs all at once from a parent control device such as a sequencer at startup, etc. Furthermore, a method of directly connecting a storage device such as a ROM or a memory card may be considered. Next, to display information from the controller, use the LCD
Possible methods include direct display by a controller using LEDs, lamps, buzzers, etc., a method of centrally displaying the displays of a plurality of controllers such as a manifold using a display device, and a method of centrally displaying the display of a plurality of controllers such as a manifold using a parent control device such as a sequencer. Furthermore, regarding the control function of the fluid unit, in addition to predicting the failure of the fluid unit as shown in the embodiment, display of the failure location and failure type at the time of failure, display when replacing parts such as silencers and filters, etc. Self-failure diagnosis of the controller itself such as program errors or sequence errors, self-resetting by self-resetting, self-recovery function by reprogramming, etc.Furthermore, workpiece fall prevention and fluid spout prevention in emergencies such as failures, fluid pressure failures, power outages, etc. Safely shutting down and restoring fluid system functionality by installing backup equipment such as power supplies, sensors, circuits, etc., setting addresses for serial or parallel communication with a parent control device such as a sequencer, and communicating with the parent control device. Possible functions include prioritizing workpieces, a timer function for the operating time of operating valves and release valves, etc., reading the status and type of the workpiece using sensors, and controlling the pressure and flow rate of the fluid to match the capacity of the fluid unit. .
【0029】一方、シーケンサ等の制御機器とコントロ
ーラ、流体ユニットによる構成においても、一つのコン
トローラによる複数の流体システムの制御やマニホール
ド等の複数のコントローラを単位としてそれらコントロ
ーラの通信、設定、プログラム、情報表示等の管理を行
う中間(管理)コントローラによる制御構造の階層化等
が考えられる。On the other hand, even in a configuration consisting of a control device such as a sequencer, a controller, and a fluid unit, one controller can control multiple fluid systems, and multiple controllers such as a manifold can be used as a unit to communicate, set, program, and information the controllers. It is conceivable to hierarchize the control structure using an intermediate (management) controller that manages display and the like.
【0030】さらに第3の実施例について図3を参照し
て説明する。図3は、機能別にブロック体で構成された
ローカルコントローラ付真空発生用ユニット52a乃至
52cを示す。前記真空発生用ユニット52aは、マニ
ホールドブロック54aの上部にフィルタブロック56
a、エゼクタブロック58a、圧力センサブロック60
a、圧縮空気供給弁と真空破壊弁を有するバルブブロッ
ク62a、条件設定部64aと表示部66aを備えるコ
ントロールブロック68aを積層し、接続部材70aに
より接続される。それぞれのブロック54a乃至62a
、68aは、ラバーコンタクトからなる電気接続部72
aを備える。Further, a third embodiment will be explained with reference to FIG. FIG. 3 shows vacuum generation units 52a to 52c with local controllers, which are constructed of blocks for each function. The vacuum generation unit 52a includes a filter block 56 on the top of the manifold block 54a.
a, ejector block 58a, pressure sensor block 60
a, a valve block 62a having a compressed air supply valve and a vacuum break valve, a control block 68a having a condition setting section 64a and a display section 66a, and are connected by a connecting member 70a. Each block 54a to 62a
, 68a are electrical connection parts 72 made of rubber contacts.
Equipped with a.
【0031】ラバーコンタクトは、図4に示すように、
導電性弾性体74と非導電性弾性体76を交互に積層し
て構成されている。前記のように構成されるラバーコン
タクトを隣接するブロック体の基板78、80の間に挟
むことにより電気的接続を行う。The rubber contact, as shown in FIG.
It is constructed by alternately laminating conductive elastic bodies 74 and non-conductive elastic bodies 76. Electrical connection is achieved by sandwiching the rubber contacts configured as described above between the substrates 78 and 80 of adjacent blocks.
【0032】他の真空発生用ユニット52b、52cも
同様の構成である。この真空発生用ユニット52a乃至
52cは、マニホールド54a乃至54cのロッキング
プレート82a乃至82cで隣接するブロックと接続す
る。このように連設された場合、マニホールドブロック
54aは、接続しない側の側面で図示しない圧縮空気供
給源に接続している。The other vacuum generating units 52b and 52c have similar constructions. The vacuum generating units 52a to 52c are connected to adjacent blocks through locking plates 82a to 82c of the manifolds 54a to 54c. When connected in this way, the manifold block 54a is connected to a compressed air supply source (not shown) at the non-connected side surface.
【0033】一方、真空発生用ユニット52cには、配
線ブロック84が接続しており、ここから信号線86で
図示しないシーケンサに接続される。On the other hand, a wiring block 84 is connected to the vacuum generation unit 52c, and is connected from there to a sequencer (not shown) via a signal line 86.
【0034】配線ブロック84は、シリアル−パラレル
変換器で空気圧機器上のローカルコントローラとの通信
を、電気接続部72aを介してパラレルに行い、シーケ
ンサとの外部制御機器との通信は数本の信号線86で行
う。配線ブロック84はその上部に作動状態を示す表示
部と、信号端子を備える。ここで、配線ブロック84は
コントロールブロック68a乃至68cの通信の管理を
行う中間コントローラとして機能しているが、設定およ
びプログラム、情報表示、さらに、コントローラの統合
された制御を行ってもよい。The wiring block 84 is a serial-parallel converter that communicates with the local controller on the pneumatic equipment in parallel via the electrical connection 72a, and communicates with the sequencer and external control equipment using several signals. This is done on line 86. The wiring block 84 is provided with a display section indicating the operating state and a signal terminal on its upper part. Here, the wiring block 84 functions as an intermediate controller that manages communication between the control blocks 68a to 68c, but it may also perform settings, programs, information display, and integrated control of the controllers.
【0035】本実施例においても第1の実施例と同様の
効果が得られるとともに、ブロック体を組んで真空発生
用ユニットを構成するだけで配線が終了し、信号線を接
続する手間が削減される。また、図3より明らかなよう
にシーケンサと接続される信号線は1本となってその構
造がより一層簡略化される。In this embodiment, the same effects as in the first embodiment can be obtained, and the wiring can be completed simply by assembling blocks to form a vacuum generation unit, reducing the effort required to connect signal lines. Ru. Furthermore, as is clear from FIG. 3, only one signal line is connected to the sequencer, further simplifying the structure.
【0036】最後に第4の実施例を示す。第3実施例と
同様な構成の真空発生用ユニットを図5の模式的縦断面
図および図6の流体回路説明図で説明する。Finally, a fourth embodiment will be described. A vacuum generating unit having a configuration similar to that of the third embodiment will be explained with reference to a schematic vertical sectional view in FIG. 5 and a fluid circuit explanatory diagram in FIG. 6.
【0037】真空発生用ユニット250は、基本的にマ
ニホールド252、その上部にフィルタユニット254
、エゼクタユニット256、バルブユニット258、コ
ントロールユニット260から構成されている。The vacuum generation unit 250 basically includes a manifold 252 and a filter unit 254 on top of the manifold 252.
, an ejector unit 256, a valve unit 258, and a control unit 260.
【0038】マニホールド252は、供給通路262、
排気通路264およびパイロット弁排気通路266が設
けられるとともに電気接続用に導電性弾性体と非導電性
弾性体を交互に積層して構成されるコネクタ268を備
える。前記通路262、264、266およびコネクタ
268は、マニホールド252相互に接続するように設
けられるとともに各マニホールド252の上部に搭載さ
れる流体機器に接続されるように設けられる。[0038] The manifold 252 includes a supply passage 262,
An exhaust passage 264 and a pilot valve exhaust passage 266 are provided, and a connector 268 configured by alternately laminating conductive elastic bodies and non-conductive elastic bodies is provided for electrical connection. The passages 262, 264, 266 and the connectors 268 are provided to connect the manifolds 252 to each other and to the fluid equipment mounted on the upper part of each manifold 252.
【0039】マニホールド252の上部に搭載されるフ
ィルタユニット254は、吸着用パッド等の作業機器に
接続すべくワンタッチ式継手を内蔵した真空ポート27
0が備えられている。前記真空ポート270は、圧力セ
ンサ304やエゼクタ280等に連通する通路が形成さ
れ、それぞれの通路上には、多孔性フッ素樹脂メンブレ
ン等の疏水性あるいは阻水性のフィルタ272、274
およびチェック弁276、278が設けられている。フ
ィルタ272は、エレメントがカートリッジ化されてお
り、カートリッジ自体がごみを捕獲し、フィルタカバー
を外すことができる。必要に応じて破線部のごとく変更
できる。チェック弁278は、吸着用パッドの真空破壊
の際に閉成するが、その際、例えばチェック弁278に
設けられた微小な孔部により流体が侵入して徐々に負圧
状態を解除し、圧力センサ304が吸着状態を示す信号
を出力し続けるのを阻止する。The filter unit 254 mounted on the upper part of the manifold 252 has a vacuum port 27 with a built-in one-touch joint for connection to work equipment such as a suction pad.
0 is provided. The vacuum port 270 is formed with a passage communicating with the pressure sensor 304, the ejector 280, etc., and a hydrophobic or water-repellent filter 272, 274 such as a porous fluororesin membrane is provided on each passage.
and check valves 276, 278 are provided. The element of the filter 272 is a cartridge, and the cartridge itself captures dust, and the filter cover can be removed. It can be changed as shown in the dashed line if necessary. The check valve 278 closes when the vacuum of the suction pad is broken, but at that time, for example, fluid enters through a minute hole provided in the check valve 278 and gradually releases the negative pressure state, reducing the pressure. The sensor 304 is prevented from continuing to output a signal indicating the adsorption state.
【0040】フィルタユニット254の上部に搭載され
るエゼクタユニット256は、エゼクタ280を備える
。The ejector unit 256 mounted above the filter unit 254 includes an ejector 280.
【0041】エゼクタユニット256の上部に搭載され
るバルブユニット258は、供給弁282と真空破壊弁
284を備える。図7乃至図9に示すように供給弁28
2a乃至282cおよび真空破壊弁284a乃至284
cと交換可能である。A valve unit 258 mounted above the ejector unit 256 includes a supply valve 282 and a vacuum break valve 284. As shown in FIGS. 7 to 9, the supply valve 28
2a to 282c and vacuum break valves 284a to 284
It is interchangeable with c.
【0042】バルブユニット258の上部に搭載される
コントロールユニット260は、その上面に圧力スイッ
チ作動表示灯286、センサ等の条件設定用のスイッチ
288、パイロット弁作動表示灯290を備える。内部
には、メモリーおよびタイマー用のコントローラ補助基
板292、流量制御弁294、上面に表示用のLCD2
96、その下部にLCD、スイッチ用基板298、コン
トローラメイン基板300、圧力センサ用基板302、
圧力センサ304、疏水性および阻水性のフィルタ30
6、さらに電磁パイロット弁308a、308b、弁駆
動制御用基板310を備えている。The control unit 260 mounted on the upper part of the valve unit 258 has a pressure switch operation indicator light 286, a switch 288 for setting conditions such as sensors, and a pilot valve operation indicator light 290 on its upper surface. Inside, there is a controller auxiliary board 292 for memory and timer, a flow control valve 294, and an LCD 2 for display on the top surface.
96, at the bottom there is an LCD, a switch board 298, a controller main board 300, a pressure sensor board 302,
Pressure sensor 304, hydrophobic and water-blocking filter 30
6. Furthermore, electromagnetic pilot valves 308a, 308b and a valve drive control board 310 are provided.
【0043】このコントローラ回路は、その働きにより
幾つかのブロックに分けられる。LCDおよびスイッチ
等の制御部、通信インターフェイス部、メイン(中央制
御部)、タイマー部、圧力センサ駆動部、弁駆動部、メ
モリー等である。これらは、一枚の基板に構成されても
よいし、複数の基板に分割されてもよい。また、大部分
をワンチップ化、もしくは少数の専用IC、ASIC、
ハイブリッどIC等により構成してもよい。また、基板
についても、スペース効率の点から屈曲可能なフレキシ
ブル基板等を用いても良い。This controller circuit is divided into several blocks depending on their functions. These include a control section such as an LCD and a switch, a communication interface section, a main (central control section), a timer section, a pressure sensor drive section, a valve drive section, and a memory. These may be configured on a single substrate or may be divided into a plurality of substrates. In addition, most parts can be integrated into one chip, or a small number of dedicated ICs, ASICs,
It may also be configured using a hybrid IC or the like. Further, as for the substrate, a bendable flexible substrate or the like may be used from the viewpoint of space efficiency.
【0044】基板および各ユニット間の電気的接続は、
前記の導電性弾性体をしようしたコネクタ268で行わ
れる。しかし、前記コネクタ268以外の雄雌のピンを
備えたコネクタ等で行うものもある。Electrical connections between the board and each unit are as follows:
This is done with the connector 268 that uses the conductive elastic body described above. However, there are also connectors equipped with male and female pins other than the connector 268.
【0045】このように構成された真空発生用ユニット
250は、次のように作動する。すなわち、先ず、コン
トローラで設定された条件にしたがって、電磁パイロッ
ト弁308に電気信号を送って開成させ、マニホールド
252の供給通路262と供給弁282のパイロット室
を連通させ、供給弁282を開成する。したがって、供
給通路262とエゼクタ280は連通し、吸着用パッド
等の作業機器から空気を真空ポート270、フィルタ2
72を介し、チェック弁276を開成して吸引する。吸
引された空気およびエゼクタ280に使用された空気は
、マニホールド252の排気通路264から排気される
。その際、圧力センサ304は、シリコンダイヤフラム
等でつくられており水に弱く、劣化を防ぐためフィルタ
274、306を介して水分を除去した状態で前記作業
機器の圧力状態を検出し、前記作業機器を制御する信号
を発する。一方、真空破壊を行う場合は、コントローラ
から電磁パイロット弁308aに信号が送られ供給弁2
82が閉成するとともに電磁パイロット弁308bに信
号が送られ真空破壊弁284が開成する。したがって、
供給通路262と作業機器に連通する真空ポート270
が連通し、作業機器の負圧状態を解除する。この際、チ
ェック弁278は閉成し、急激な圧力変動による圧力セ
ンサ304の破壊を阻止するとともに、前記チェック弁
278に設けられた微小な孔部により、徐々に負圧状態
を解除して誤った作動信号が発せられるのを阻止する。The vacuum generating unit 250 constructed as described above operates as follows. That is, first, according to the conditions set by the controller, an electric signal is sent to the electromagnetic pilot valve 308 to open it, thereby communicating the supply passage 262 of the manifold 252 with the pilot chamber of the supply valve 282, and opening the supply valve 282. Therefore, the supply passage 262 and the ejector 280 communicate with each other, and air is transferred from the work equipment such as the suction pad to the vacuum port 270 and the filter 2.
72, the check valve 276 is opened to draw suction. The aspirated air and the air used in the ejector 280 are exhausted from the exhaust passage 264 of the manifold 252. At this time, the pressure sensor 304 is made of a silicon diaphragm or the like and is sensitive to water, so it detects the pressure state of the working equipment in a state in which water is removed through the filters 274 and 306 to prevent deterioration, and detects the pressure state of the working equipment. emit a signal to control the On the other hand, when breaking the vacuum, a signal is sent from the controller to the electromagnetic pilot valve 308a and the supply valve 2
82 is closed, a signal is sent to the electromagnetic pilot valve 308b, and the vacuum breaker valve 284 is opened. therefore,
Vacuum port 270 communicating with supply passage 262 and work equipment
communicates and releases the negative pressure state of the work equipment. At this time, the check valve 278 closes to prevent the pressure sensor 304 from being destroyed due to rapid pressure fluctuations, and the minute hole provided in the check valve 278 gradually releases the negative pressure state to prevent accidental damage. This prevents the activation signal from being emitted.
【0046】全体または一部を透明なプラスチックによ
って形成し、フィルタ、エゼクタ、弁、コイル、コント
ローラ、通路、サイレンサ、配線等の目視によるメンテ
ナンスを行ってもよい。また、エゼクタユニット256
を取り除き、供給弁282を真空切換弁として真空ポン
プ対応ユニットとして構成可能である。[0046] The whole or a part may be made of transparent plastic, and the filter, ejector, valve, coil, controller, passage, silencer, wiring, etc. may be visually maintained. In addition, the ejector unit 256
It is possible to remove the supply valve 282 and configure it as a vacuum pump compatible unit by using the vacuum switching valve.
【0047】本実施例も第3実施例と同様の効果が得ら
れる。This embodiment also provides the same effects as the third embodiment.
【0048】[0048]
【発明の効果】本発明に係るローカルコントローラ付流
体ユニットによれば、以下の効果が得られる。[Effects of the Invention] According to the fluid unit with a local controller according to the present invention, the following effects can be obtained.
【0049】すなわち、流体ユニットの内部にコントロ
ーラを設けることによりシーケンサの負担が軽減され、
ワークに対応した個別制御等のより高度な制御が可能と
なる。流体ユニットの周辺機器から直接シーケンサに接
続されていた信号線をコントローラからの信号線に、さ
らに信号線をバスライン化、シリアル化、あるいはブロ
ック体の内部配線としたため配線が簡略化される。In other words, by providing a controller inside the fluid unit, the load on the sequencer is reduced.
More advanced control such as individual control corresponding to the workpiece is possible. Wiring is simplified by replacing the signal line that was directly connected to the sequencer from the peripheral equipment of the fluid unit with the signal line from the controller, and converting the signal line into a bus line, serialization, or internal wiring of the block body.
【図1】本発明に係る第1の実施例のローカルコントロ
ーラ付真空発生用ユニットとシーケンサの電気的接続状
態図である。FIG. 1 is an electrical connection state diagram of a vacuum generation unit with a local controller and a sequencer according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明に係る第2の実施例のシーケンサのロー
カルコントローラ付真空発生用ユニット制御説明図であ
る。FIG. 2 is an explanatory diagram of control of a vacuum generation unit with a local controller of a sequencer according to a second embodiment of the present invention.
【図3】本発明に係る第3の実施例のローカルコントロ
ーラ付真空発生用ユニットとシーケンサの電気的接続状
態図である。FIG. 3 is an electrical connection state diagram of a vacuum generation unit with a local controller and a sequencer according to a third embodiment of the present invention.
【図4】本発明に係る第3の実施例のラバーコンタクト
の電気的接続説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of electrical connections of a rubber contact according to a third embodiment of the present invention.
【図5】本発明に係る第4実施例における真空発生用ユ
ニットの模式的縦断面図である。FIG. 5 is a schematic vertical sectional view of a vacuum generation unit in a fourth embodiment of the present invention.
【図6】本発明に係る第4実施例における真空発生用ユ
ニットの流体回路説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a fluid circuit of a vacuum generation unit in a fourth embodiment of the present invention.
【図7】本発明に係る第4実施例における真空発生用ユ
ニットに使用される弁体の縦断面図である。FIG. 7 is a longitudinal sectional view of a valve body used in a vacuum generation unit in a fourth embodiment of the present invention.
【図8】本発明に係る第4実施例における真空発生用ユ
ニットに使用される弁体の縦断面図である。FIG. 8 is a longitudinal sectional view of a valve body used in a vacuum generation unit in a fourth embodiment of the present invention.
【図9】本発明に係る第4実施例における真空発生用ユ
ニットに使用される弁体の縦断面図である。FIG. 9 is a longitudinal sectional view of a valve body used in a vacuum generation unit in a fourth embodiment of the present invention.
【図10】従来技術による真空発生用ユニットとシーケ
ンサの電気的接続状態図である。FIG. 10 is an electrical connection state diagram of a vacuum generation unit and a sequencer according to the prior art.
【図11】従来技術によるシーケンサの真空発生用ユニ
ット制御説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram of the vacuum generation unit control of the sequencer according to the prior art.
34、46、86…信号線
40、52…ローカルコントローラ付真空発生用ユニッ
ト
44…コントローラ
48…信号端子
50…コネクタ
72…電気接続部34, 46, 86...Signal lines 40, 52...Vacuum generation unit with local controller 44...Controller 48...Signal terminal 50...Connector 72...Electrical connection part
Claims (8)
弁と、装置内の流体の状態を確認するための検出手段と
、を備える流体ユニットにおいて、前記検出手段および
切換弁の切り換えをローカルに制御するコントローラを
有していることを特徴とするローカルコントローラ付流
体ユニット。Claims: 1. A fluid unit comprising at least a switching valve for supplying and shutting off fluid, and a detection means for checking the state of the fluid in the device, wherein switching of the detection means and the switching valve is performed locally. A fluid unit with a local controller, characterized in that it has a controller for controlling the fluid.
体ユニットにおいて、前記コントローラと流体ユニット
の外部に設けられたシーケンサとを信号的に接続すると
共に、マニホールドによって流体ユニットを複数個連設
した際に、相互に信号的に接続して信号を伝達するため
に隣接する流体ユニットを接続することを特徴とするロ
ーカルコントローラ付流体ユニット。2. A fluid unit with a local controller according to claim 1, wherein the controller and a sequencer provided outside the fluid unit are connected in a signal manner, and when a plurality of fluid units are connected in series by a manifold. , a fluid unit with a local controller, characterized in that adjacent fluid units are connected to each other in order to signally connect and transmit signals.
ーラ付流体ユニットにおいて、前記流体ユニットとシー
ケンサとが連設され、前記コントローラとシーケンサを
結ぶ電気配線が流体ユニット内部に設けられることを特
徴とするローカルコントローラ付流体ユニット。3. The fluid unit with a local controller according to claim 1 or 2, wherein the fluid unit and a sequencer are connected to each other, and an electric wiring connecting the controller and the sequencer is provided inside the fluid unit. Fluid unit with local controller.
トローラ付流体ユニットにおいて、前記流体ユニットは
機能ごとに分割されたブロック体で構成し、該ブロック
体は導電性弾性体コネクタを備え、隣接するブロック体
の電気的接続を前記コネクタの導電性弾性体を介して行
うことを特徴とするローカルコントローラ付流体ユニッ
ト。4. The fluid unit with a local controller according to claim 1, 2 or 3, wherein the fluid unit is constituted by a block body divided according to function, and the block body is provided with a conductive elastic connector, and A fluid unit with a local controller, characterized in that the block body is electrically connected via the conductive elastic body of the connector.
体ユニットにおいて、前記流体ユニットのブロック体は
導電性と非導電性の弾性体によるコネクタを備え、隣接
するブロック体の電気的接続を前記コネクタの導電性弾
性体を介して行うことを特徴とするローカルコントロー
ラ付流体ユニット。5. A fluid unit with a local controller according to claim 4, wherein the block body of the fluid unit is provided with a connector made of conductive and non-conductive elastic bodies, and the electrical connection between adjacent block bodies is made by connecting the connector to the block body of the fluid unit. A fluid unit with a local controller that operates via a conductive elastic body.
ーラ付流体ユニットにおいて、前記流体ユニットのブロ
ック体は導電性と非導電性の弾性体を交互に積層したコ
ネクタを備え、隣接するブロック体の電気的接続を前記
コネクタの導電性弾性体を介して行うことを特徴とする
ローカルコントローラ付流体ユニット。6. A fluid unit with a local controller according to claim 4 or 5, wherein the block body of the fluid unit is provided with a connector in which conductive and non-conductive elastic bodies are alternately laminated, and the block body of the fluid unit has a A fluid unit with a local controller, wherein the connection is made through a conductive elastic body of the connector.
トローラ付流体ユニットにおいて、前記流体ユニットの
ブロック体のコネクタが備える弾性体の材質として、合
成樹脂あるいはゴムを用いることを特徴とするローカル
コントローラ付流体ユニット。7. The fluid unit with a local controller according to claim 4, 5 or 6, wherein the elastic body included in the connector of the block body of the fluid unit is made of synthetic resin or rubber. Fluid unit with.
いずれかに記載のローカルコントローラ付流体ユニット
において、前記流体ユニットを真空機器とすることを特
徴とするローカルコントローラ付流体ユニット。8. The fluid unit with a local controller according to claim 1, wherein the fluid unit is a vacuum device. unit.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02889891A JP3150352B2 (en) | 1991-02-22 | 1991-02-22 | Fluid unit with local controller |
Applications Claiming Priority (1)
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JP02889891A JP3150352B2 (en) | 1991-02-22 | 1991-02-22 | Fluid unit with local controller |
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