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JP7517510B2 - Resin composition - Google Patents

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JP7517510B2 JP2023062063A JP2023062063A JP7517510B2 JP 7517510 B2 JP7517510 B2 JP 7517510B2 JP 2023062063 A JP2023062063 A JP 2023062063A JP 2023062063 A JP2023062063 A JP 2023062063A JP 7517510 B2 JP7517510 B2 JP 7517510B2
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Description

本発明は、樹脂組成物に関する。さらには、当該樹脂組成物を用いて得られる、樹脂シート、プリント配線板、及び半導体装置に関する。 The present invention relates to a resin composition. It also relates to a resin sheet, a printed wiring board, and a semiconductor device obtained using the resin composition.

プリント配線板の製造技術として、絶縁層と導体層を交互に積み重ねるビルドアップ方式による製造方法が知られている。 A known manufacturing technique for printed wiring boards is the build-up method, in which insulating layers and conductor layers are stacked alternately.

このような絶縁層に用いられるプリント配線板の絶縁材料として、例えば、特許文献1に樹脂組成物が開示されている。 For example, Patent Document 1 discloses a resin composition as an insulating material for printed wiring boards used in such insulating layers.

特開2018-199797号公報JP 2018-199797 A

絶縁層は、基板上に樹脂組成物層をラミネートさせ、熱硬化させることにより形成することが一般的である。本発明者らが鋭意検討した結果、従来の樹脂組成物を含む樹脂組成物層をラミネートさせ絶縁層を形成した場合、絶縁層表面の均一性が低下し、ムラが生じやすくなることを知見した(ラミネート後のムラ)。絶縁層表面にこのようなムラがあると絶縁層の配線形成性が劣ってしまうことがある。 An insulating layer is generally formed by laminating a resin composition layer onto a substrate and thermally curing the layer. As a result of intensive research, the present inventors have found that when an insulating layer is formed by laminating a resin composition layer containing a conventional resin composition, the uniformity of the insulating layer surface decreases and unevenness is likely to occur (unevenness after lamination). If there is such unevenness on the insulating layer surface, the wiring formability of the insulating layer may be deteriorated.

本発明の課題は、樹脂組成物をラミネートした場合に生じるムラを抑制できる樹脂組成物;当該樹脂組成物を含む樹脂シート;当該樹脂組成物を用いて形成された絶縁層を備えるプリント配線板、及び半導体装置を提供することにある。 The object of the present invention is to provide a resin composition capable of suppressing unevenness that occurs when a resin composition is laminated; a resin sheet containing the resin composition; a printed wiring board having an insulating layer formed using the resin composition, and a semiconductor device.

本発明者らは、上記課題につき鋭意検討した結果、特定の基を有する活性エステル化合物を含有させることで、上記課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive research into the above-mentioned problems, the inventors discovered that the above-mentioned problems could be solved by incorporating an active ester compound having a specific group, and thus completed the present invention.

すなわち、本発明は以下の内容を含む。
[1] (A)エポキシ樹脂、及び
(B)下記式(1)~(3)で表される基の少なくともいずれかを有する活性エステル化合物、を含有する樹脂組成物。

Figure 0007517510000001
(式中、*は結合手を表す。式(3)中、nは1~5の整数を表す。)
[2] (B)成分が、下記一般式(b-1)で表される活性エステル系化合物である、[1]に記載の樹脂組成物。
Figure 0007517510000002
(一般式(b-1)中、
Ar11は、それぞれ独立に式(1)で表される基、式(2)で表される基、又は式(3)で表される基を表し、
Ar12は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい2価の芳香族炭化水素基を表し、
Ar13は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい2価の芳香族炭化水素基、置換基を有していてもよい2価の脂肪族炭化水素基、酸素原子、硫黄原子、又はこれらの組み合わせからなる2価の基を表す。aは1~6の整数を表し、bは0~10の整数を表す。)
[3] 一般式(b-1)中のAr13が、それぞれ独立に置換基を有していてもよい2価の芳香族炭化水素基及び酸素原子を組み合わせた2価の基を表す、[2]に記載の樹脂組成物。
[4] (B)成分が、下記一般式(b-3)で表される活性エステル系化合物である、[1]~[3]のいずれかに記載の樹脂組成物。
Figure 0007517510000003
(一般式(b-3)中、
Ar31は、それぞれ独立に式(1)で表される基、式(2)で表される基、又は式(3)で表される基を表す。a2は1~6の整数を表し、c2は1~5の整数を表し、dはそれぞれ独立に0~6の整数を表す。)
[5] さらに、(C)無機充填材を含有する、[1]~[4]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[6] 絶縁層形成用である、[1]~[5]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[7] 導体層を形成するための絶縁層形成用である、[1]~[6]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[8] 支持体と、該支持体上に設けられた、[1]~[7]のいずれかに記載の樹脂組成物を含む樹脂組成物層とを含む、樹脂シート。
[9] [1]~[7]のいずれかに記載の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む、プリント配線板。
[10] [9]に記載のプリント配線板を含む、半導体装置。 That is, the present invention includes the following.
[1] A resin composition comprising: (A) an epoxy resin; and (B) an active ester compound having at least one of groups represented by the following formulas (1) to (3):
Figure 0007517510000001
(In the formula, * represents a bond. In formula (3), n represents an integer of 1 to 5.)
[2] The resin composition according to [1], wherein the component (B) is an active ester compound represented by the following general formula (b-1):
Figure 0007517510000002
(In general formula (b-1),
Ar 11 each independently represents a group represented by formula (1), a group represented by formula (2), or a group represented by formula (3);
Ar 12 each independently represents a divalent aromatic hydrocarbon group which may have a substituent;
Ar 13 each independently represents a divalent aromatic hydrocarbon group which may have a substituent, a divalent aliphatic hydrocarbon group which may have a substituent, an oxygen atom, a sulfur atom, or a divalent group consisting of a combination thereof. a represents an integer of 1 to 6, and b represents an integer of 0 to 10.
[3] The resin composition according to [2], wherein Ar 13 in general formula (b-1) represents a divalent group combining a divalent aromatic hydrocarbon group which may have a substituent and an oxygen atom.
[4] The resin composition according to any one of [1] to [3], wherein the component (B) is an active ester compound represented by the following general formula (b-3):
Figure 0007517510000003
(In general formula (b-3),
Ar 31 each independently represents a group represented by formula (1), a group represented by formula (2), or a group represented by formula (3). a2 represents an integer of 1 to 6, c2 represents an integer of 1 to 5, and d each independently represents an integer of 0 to 6.
[5] The resin composition according to any one of [1] to [4], further comprising (C) an inorganic filler.
[6] The resin composition according to any one of [1] to [5], which is for forming an insulating layer.
[7] The resin composition according to any one of [1] to [6], which is for forming an insulating layer for forming a conductor layer.
[8] A resin sheet comprising a support and a resin composition layer provided on the support, the resin composition layer comprising the resin composition according to any one of [1] to [7].
[9] A printed wiring board comprising an insulating layer formed from a cured product of the resin composition according to any one of [1] to [7].
[10] A semiconductor device comprising the printed wiring board according to [9].

本発明によれば、樹脂組成物をラミネートした場合に生じるラミネート後のムラを抑制できる樹脂組成物;当該樹脂組成物を含む樹脂シート;当該樹脂組成物の硬化物で形成された絶縁層を備えるプリント配線板、及び半導体装置を提供することができる。 The present invention provides a resin composition that can suppress unevenness after lamination that occurs when a resin composition is laminated; a resin sheet that includes the resin composition; a printed wiring board that includes an insulating layer formed from a cured product of the resin composition; and a semiconductor device.

以下、本発明をその好適な実施形態に即して詳細に説明する。ただし、本発明は、下記実施形態及び例示物に限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲及びその均等の範囲を逸脱しない範囲において任意に変更して実施され得る。 The present invention will be described in detail below based on its preferred embodiments. However, the present invention is not limited to the following embodiments and examples, and can be modified as desired without departing from the scope of the claims of the present invention and their equivalents.

[樹脂組成物]
本発明の樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、及び(B)下記式(1)~(3)で表される基の少なくともいずれかを有する活性エステル化合物、を含有する。(B)成分を樹脂組成物に含有させることで、樹脂組成物を含む樹脂組成物層をラミネートした場合に生じ得るラミネート後のムラの発生を抑制できる。また、本発明では、通常、めっきピール強度、銅箔密着性、及びHAST後の銅箔密着性にも優れ、さらに、誘電特性が低く、算術平均粗さ(Ra)が低い硬化物を得ることもできる。

Figure 0007517510000004
(式中、*は結合手を表す。式(3)中、nは1~5の整数を表す。) [Resin composition]
The resin composition of the present invention contains (A) an epoxy resin, and (B) an active ester compound having at least one of the groups represented by the following formulas (1) to (3). By including the component (B) in the resin composition, it is possible to suppress the occurrence of unevenness after lamination that may occur when a resin composition layer containing the resin composition is laminated. Furthermore, in the present invention, it is also possible to obtain a cured product that is usually excellent in plating peel strength, copper foil adhesion, and copper foil adhesion after HAST, and further has low dielectric properties and a low arithmetic average roughness (Ra).
Figure 0007517510000004
(In the formula, * represents a bond. In formula (3), n represents an integer of 1 to 5.)

樹脂組成物は、(A)~(B)成分に組み合わせて、さらに任意の成分を含んでいてもよい。任意の成分としては、例えば、(C)無機充填材、(D)硬化剤、(E)硬化促進剤、及び(F)その他の添加剤等が挙げられる。以下、樹脂組成物に含まれる各成分について詳細に説明する。 The resin composition may further contain optional components in combination with components (A) and (B). Examples of optional components include (C) inorganic filler, (D) curing agent, (E) curing accelerator, and (F) other additives. Each component contained in the resin composition is described in detail below.

<(A)エポキシ樹脂>
樹脂組成物は、(A)成分として(A)エポキシ樹脂を含有する。(A)成分としては、例えば、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert-ブチル-カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサン型エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
<(A) Epoxy Resin>
The resin composition contains an epoxy resin (A) as component (A). Examples of component (A) include bixylenol type epoxy resins, bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol S type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins, dicyclopentadiene type epoxy resins, trisphenol type epoxy resins, naphthol novolac type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, tert-butyl-catechol type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, naphthol type epoxy resins, anthracene type epoxy resins, glycidylamine type epoxy resins, glycidyl ester type epoxy resins, cresol novolac type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, linear aliphatic epoxy resins, epoxy resins having a butadiene structure, alicyclic epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, spiro ring-containing epoxy resins, cyclohexane type epoxy resins, cyclohexane dimethanol type epoxy resins, naphthylene ether type epoxy resins, trimethylol type epoxy resins, and tetraphenylethane type epoxy resins. The epoxy resin may be used alone or in combination of two or more kinds.

樹脂組成物は、(A)成分として、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、(A)成分の不揮発成分100質量%に対して、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂の割合は、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上、特に好ましくは70質量%以上である。 The resin composition preferably contains, as component (A), an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. From the viewpoint of obtaining the desired effect of the present invention significantly, the ratio of the epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule to 100% by mass of the non-volatile components of component (A) is preferably 50% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, and particularly preferably 70% by mass or more.

エポキシ樹脂には、温度20℃で液状のエポキシ樹脂(以下「液状エポキシ樹脂」ということがある。)と、温度20℃で固体状のエポキシ樹脂(以下「固体状エポキシ樹脂」ということがある。)とがある。樹脂組成物は、(A)成分として、液状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよく、固体状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよく、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて含んでいてもよいが、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、固体状エポキシ樹脂のみを含むことが好ましい。 Epoxy resins include epoxy resins that are liquid at a temperature of 20°C (hereinafter sometimes referred to as "liquid epoxy resins") and epoxy resins that are solid at a temperature of 20°C (hereinafter sometimes referred to as "solid epoxy resins"). The resin composition may contain only liquid epoxy resins, only solid epoxy resins, or a combination of liquid epoxy resins and solid epoxy resins as component (A), but from the viewpoint of significantly achieving the desired effects of the present invention, it is preferable to contain only solid epoxy resins.

固体状エポキシ樹脂としては、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する固体状エポキシ樹脂が好ましく、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する芳香族系の固体状エポキシ樹脂がより好ましい。 As the solid epoxy resin, a solid epoxy resin having three or more epoxy groups in one molecule is preferable, and an aromatic solid epoxy resin having three or more epoxy groups in one molecule is more preferable.

固体状エポキシ樹脂としては、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂が好ましく、ナフトール型エポキシ樹脂がより好ましい。 As solid epoxy resins, bixylenol type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, naphthalene type tetrafunctional epoxy resins, cresol novolac type epoxy resins, dicyclopentadiene type epoxy resins, trisphenol type epoxy resins, naphthol type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, naphthylene ether type epoxy resins, anthracene type epoxy resins, bisphenol A type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins, and tetraphenylethane type epoxy resins are preferred, with naphthol type epoxy resins being more preferred.

固体状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「HP4032H」(ナフタレン型エポキシ樹脂);DIC社製の「HP-4700」、「HP-4710」(ナフタレン型4官能エポキシ樹脂);DIC社製の「N-690」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂);DIC社製の「N-695」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂);DIC社製の「HP-7200」、「HP-7200HH」、「HP-7200H」(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂);DIC社製の「EXA-7311」、「EXA-7311-G3」、「EXA-7311-G4」、「EXA-7311-G4S」、「HP6000」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「EPPN-502H」(トリスフェノール型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「NC7000L」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「NC3000H」、「NC3000」、「NC3000L」、「NC3100」(ビフェニル型エポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル社製の「ESN475V」(ナフトール型エポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル社製の「ESN485」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX4000H」、「YX4000」、「YL6121」(ビフェニル型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX4000HK」(ビキシレノール型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX8800」(アントラセン型エポキシ樹脂);大阪ガスケミカル社製の「PG-100」、「CG-500」;三菱ケミカル社製の「YL7760」(ビスフェノールAF型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YL7800」(フルオレン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER1010」(固体状ビスフェノールA型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER1031S」(テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。これらは、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Specific examples of solid epoxy resins include DIC's "HP4032H" (naphthalene type epoxy resin); DIC's "HP-4700" and "HP-4710" (naphthalene type tetrafunctional epoxy resin); DIC's "N-690" (cresol novolac type epoxy resin); DIC's "N-695" (cresol novolac type epoxy resin); DIC's "HP-7200", "HP-7200HH", and "HP-7200H" (dicyclopentadiene ether type epoxy resins); DIC Corporation's "EXA-7311", "EXA-7311-G3", "EXA-7311-G4", "EXA-7311-G4S", and "HP6000" (naphthylene ether type epoxy resins); Nippon Kayaku Co., Ltd.'s "EPPN-502H" (trisphenol type epoxy resin); Nippon Kayaku Co., Ltd.'s "NC7000L" (naphthol novolac type epoxy resin); Nippon Kayaku Co., Ltd.'s "NC3000H", "NC3000", and "NC3000L" ","NC3100" (biphenyl type epoxy resin); "ESN475V" (naphthol type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd.; "ESN485" (naphthol novolac type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd.; "YX4000H", "YX4000", "YL6121" (biphenyl type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.; "YX4000HK" (bixylenol type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.; " Examples of such epoxy resins include "YX8800" (anthracene type epoxy resin); "PG-100" and "CG-500" manufactured by Osaka Gas Chemicals; "YL7760" (bisphenol AF type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical; "YL7800" (fluorene type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical; "jER1010" (solid bisphenol A type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical; and "jER1031S" (tetraphenylethane type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical. These may be used alone or in combination of two or more types.

液状エポキシ樹脂としては、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する液状エポキシ樹脂が好ましい。 Preferably, the liquid epoxy resin has two or more epoxy groups in one molecule.

液状エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、シクロヘキサン型エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、及びブタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく、ナフタレン型エポキシ樹脂がより好ましい。 Preferred liquid epoxy resins are bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, glycidyl ester type epoxy resins, glycidyl amine type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, alicyclic epoxy resins having an ester skeleton, cyclohexane type epoxy resins, cyclohexane dimethanol type epoxy resins, glycidyl amine type epoxy resins, and epoxy resins having a butadiene structure, with naphthalene type epoxy resins being more preferable.

液状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」(ナフタレン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「828US」、「jER828EL」、「825」、「エピコート828EL」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER807」、「1750」(ビスフェノールF型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER152」(フェノールノボラック型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「630」、「630LSD」(グリシジルアミン型エポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル社製の「ZX1059」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂の混合品);ナガセケムテックス社製の「EX-721」(グリシジルエステル型エポキシ樹脂);ダイセル社製の「セロキサイド2021P」(エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂);ダイセル社製の「PB-3600」(ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル社製の「ZX1658」、「ZX1658GS」(液状1,4-グリシジルシクロヘキサン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。これらは、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Specific examples of liquid epoxy resins include DIC's "HP4032", "HP4032D", and "HP4032SS" (naphthalene type epoxy resins); Mitsubishi Chemical's "828US", "jER828EL", "825", and "Epicoat 828EL" (bisphenol A type epoxy resins); Mitsubishi Chemical's "jER807" and "1750" (bisphenol F type epoxy resins); Mitsubishi Chemical's "jER152" (phenol novolac type epoxy resin); and Mitsubishi Chemical's "630" and "630LSD" (glycidylamine type epoxy resins). ); "ZX1059" (a mixture of bisphenol A type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd.; "EX-721" (glycidyl ester type epoxy resin) manufactured by Nagase ChemteX Corporation; "Celloxide 2021P" (alicyclic epoxy resin having an ester skeleton) manufactured by Daicel Corporation; "PB-3600" (epoxy resin having a butadiene structure) manufactured by Daicel Corporation; "ZX1658" and "ZX1658GS" (liquid 1,4-glycidylcyclohexane type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd. may be used alone or in combination of two or more types.

(A)成分として液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて用いる場合、それらの量比(液状エポキシ樹脂:固体状エポキシ樹脂)は、質量比で、好ましくは1:1~1:20、より好ましくは1:1.5~1:15、特に好ましくは1:2~1:10である。液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂との量比が斯かる範囲にあることにより、本発明の所望の効果を顕著に得ることができる。さらに、通常は、樹脂シートの形態で使用する場合に、適度な粘着性がもたらされる。また、通常は、樹脂シートの形態で使用する場合に、十分な可撓性が得られ、取り扱い性が向上する。さらに、通常は、十分な破断強度を有する硬化物を得ることができる。 When a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin are used in combination as component (A), the ratio by mass between them (liquid epoxy resin:solid epoxy resin) is preferably 1:1 to 1:20, more preferably 1:1.5 to 1:15, and particularly preferably 1:2 to 1:10. When the ratio between the liquid epoxy resin and the solid epoxy resin is within this range, the desired effects of the present invention can be significantly obtained. Furthermore, when used in the form of a resin sheet, appropriate adhesion is usually achieved. Furthermore, when used in the form of a resin sheet, sufficient flexibility is usually obtained, improving handling. Furthermore, a cured product having sufficient breaking strength can usually be obtained.

(A)成分のエポキシ当量は、好ましくは50g/eq.~5000g/eq.、より好ましくは50g/eq.~3000g/eq.、さらに好ましくは80g/eq.~2000g/eq.、さらにより好ましくは110g/eq.~1000g/eq.である。この範囲となることで、樹脂組成物層の硬化物の架橋密度が十分となり、表面粗さの小さい絶縁層をもたらすことができる。エポキシ当量は、1当量のエポキシ基を含むエポキシ樹脂の質量である。このエポキシ当量は、JIS K7236に従って測定することができる。 The epoxy equivalent of component (A) is preferably 50 g/eq. to 5000 g/eq., more preferably 50 g/eq. to 3000 g/eq., even more preferably 80 g/eq. to 2000 g/eq., and even more preferably 110 g/eq. to 1000 g/eq. Within this range, the crosslink density of the cured product of the resin composition layer is sufficient, resulting in an insulating layer with small surface roughness. The epoxy equivalent is the mass of an epoxy resin containing one equivalent of epoxy groups. This epoxy equivalent can be measured according to JIS K7236.

(A)成分の重量平均分子量(Mw)は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは100~5000、より好ましくは200~3000、さらに好ましくは250~1500である。
樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により、ポリスチレン換算の値として測定できる。
The weight average molecular weight (Mw) of the component (A) is preferably 100 to 5,000, more preferably 200 to 3,000, and even more preferably 250 to 1,500, from the viewpoint of prominently obtaining the desired effects of the present invention.
The weight average molecular weight of the resin can be measured by gel permeation chromatography (GPC) as a polystyrene equivalent value.

(A)成分の含有量は、良好な機械強度、及び絶縁信頼性を示す絶縁層を得る観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、好ましくは1質量%以上、より好ましくは5質量%以上、さらに好ましくは10質量%以上である。エポキシ樹脂の含有量の上限は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは25質量%以下、より好ましくは20質量%以下、特に好ましくは15質量%以下である。
なお、本発明において、樹脂組成物中の各成分の含有量は、別途明示のない限り、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたときの値である。
From the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting good mechanical strength and insulating reliability, the content of the (A) component is preferably 1% by mass or more, more preferably 5% by mass or more, and even more preferably 10% by mass or more, when the non-volatile components in the resin composition are taken as 100% by mass. From the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention, the upper limit of the epoxy resin content is preferably 25% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, and particularly preferably 15% by mass or less.
In the present invention, the content of each component in the resin composition is a value when the non-volatile components in the resin composition are taken as 100 mass %, unless otherwise specified.

<(B)下記式(1)~(3)で表される基の少なくともいずれかを有する活性エステル化合物>
樹脂組成物は、(B)成分として、下記式(1)~(3)で表される基の少なくともいずれかを有する活性エステル化合物を含有する。(B)成分を樹脂組成物に含有させることで、ラミネート後のムラの発生を抑制することが可能となる。また、(B)成分を樹脂組成物に含有させることで、通常、めっきピール強度、銅箔密着性、及びHAST後の銅箔密着性にも優れ、さらに、誘電特性が低く、算術平均粗さ(Ra)が低い硬化物を得ることもできる。
<(B) Active ester compound having at least one of groups represented by the following formulas (1) to (3)>
The resin composition contains, as component (B), an active ester compound having at least one of the groups represented by the following formulas (1) to (3). By including component (B) in the resin composition, it becomes possible to suppress the occurrence of unevenness after lamination. Furthermore, by including component (B) in the resin composition, it is possible to obtain a cured product that is usually excellent in plating peel strength, copper foil adhesion, and copper foil adhesion after HAST, and further has low dielectric properties and a low arithmetic average roughness (Ra).

Figure 0007517510000005
(式中、*は結合手を表す。式(3)中、nは1~5の整数を表す。)
Figure 0007517510000005
(In the formula, * represents a bond. In formula (3), n represents an integer of 1 to 5.)

(B)成分は、式(1)~(3)で表される基の少なくともいずれかを有し、且つ(A)成分と反応し得る活性エステル部位を有する化合物を用いることができる。(B)成分としては、末端に式(1)~(3)で表される基の少なくともいずれかを有することが好ましい。(B)成分としては、両末端が異なる基であってもよく、両末端が同一の基であってもよい。 The (B) component can be a compound having at least one of the groups represented by formulas (1) to (3) and having an active ester moiety capable of reacting with the (A) component. The (B) component preferably has at least one of the groups represented by formulas (1) to (3) at its terminal. The (B) component may have different terminals or the same terminals.

式(1)で表される基は、下記に示したクレゾール由来の基でありうる。式(1)で表される基におけるメチル基は、酸素原子に対してオルト位、メタ位、及びパラ位のいずれかに結合していることが好ましく、オルト位で結合していることがより好ましい。

Figure 0007517510000006
The group represented by formula (1) may be a cresol-derived group as shown below. The methyl group in the group represented by formula (1) is preferably bonded to the oxygen atom at the ortho, meta, or para position, and more preferably at the ortho position.
Figure 0007517510000006

式(2)で表される基は、下記に示したフェニルフェノール由来の基でありうる。式(2)で表される基におけるフェニル基は、フェノール部位の酸素原子に対してオルト位、メタ位、及びパラ位のいずれかに結合していることが好ましく、オルト位で結合していることがより好ましい。

Figure 0007517510000007
The group represented by formula (2) may be a group derived from phenylphenol as shown below. The phenyl group in the group represented by formula (2) is preferably bonded to the oxygen atom of the phenol moiety at any one of the ortho, meta, and para positions, and more preferably at the ortho position.
Figure 0007517510000007

式(3)で表される基は、下記に示したスチレン化フェノール由来の基でありうる。式(3)で表される基におけるスチレン部位は、フェノール部位の酸素原子に対してオルト位、メタ位、及びパラ位のいずれかに結合していることが好ましく、オルト位で結合していることがより好ましい。 The group represented by formula (3) may be a group derived from styrenated phenol shown below. The styrene moiety in the group represented by formula (3) is preferably bonded to the oxygen atom of the phenol moiety at the ortho, meta, or para position, and more preferably at the ortho position.

式(3)中、nは1~5の整数を表し、1~3の整数を表すことが好ましく、1~2の整数を表すことがより好ましい。

Figure 0007517510000008
(式中、n1は、式(3)中のnと同じである。)
(B)成分は、下記一般式(b-1)で表される化合物であることが好ましい。
Figure 0007517510000009
(一般式(b-1)中、Ar11は、それぞれ独立に式(1)で表される基、式(2)で表される基、又は式(3)で表される基を表し、Ar12は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい2価の芳香族炭化水素基を表し、Ar13は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい2価の芳香族炭化水素基、置換基を有していてもよい2価の脂肪族炭化水素基、酸素原子、硫黄原子、又はこれらの組み合わせからなる2価の基を表す。aは1~6の整数を表し、bは0~10の整数を表す。) In formula (3), n represents an integer of 1 to 5, preferably an integer of 1 to 3, and more preferably an integer of 1 or 2.
Figure 0007517510000008
(In the formula, n1 is the same as n in formula (3).)
The component (B) is preferably a compound represented by the following general formula (b-1).
Figure 0007517510000009
(In general formula (b-1), Ar 11 each independently represents a group represented by formula (1), a group represented by formula (2), or a group represented by formula (3); Ar 12 each independently represents a divalent aromatic hydrocarbon group which may have a substituent; and Ar 13 each independently represents a divalent aromatic hydrocarbon group which may have a substituent, a divalent aliphatic hydrocarbon group which may have a substituent, an oxygen atom, a sulfur atom, or a divalent group consisting of a combination thereof; a represents an integer of 1 to 6, and b represents an integer of 0 to 10.)

一般式(b-1)中、Ar11は、それぞれ独立に式(1)で表される基、式(2)で表される基、又は式(3)で表される基を表す。式(1)~(3)で表される基については上述したとおりである。中でも、式(1)で表される基、及び式(2)で表される基が好ましい。 In general formula (b-1), Ar 11 each independently represents a group represented by formula (1), a group represented by formula (2), or a group represented by formula (3). The groups represented by formulas (1) to (3) are as described above. Among them, the group represented by formula (1) and the group represented by formula (2) are preferred.

一般式(b-1)中、Ar12は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい2価の芳香族炭化水素基を表す。2価の芳香族炭化水素基としては、アリーレン基、アラルキレン基等が挙げられ、アリーレン基が好ましい。アリーレン基としては、炭素原子数6~30のアリーレン基が好ましく、炭素原子数6~20のアリーレン基がより好ましく、炭素原子数6~10のアリーレン基がさらに好ましい。このようなアリーレン基としては、例えば、フェニレン基、ナフチレン基、アントラセニレン基、ビフェニレン基等が挙げられる。アラルキレン基としては、炭素原子数7~30のアラルキレン基が好ましく、炭素原子数7~20のアラルキレン基がより好ましく、炭素原子数7~15のアラルキレン基がさらに好ましい。これらの中でも、フェニレン基が好ましい。 In the general formula (b-1), Ar 12 each independently represents a divalent aromatic hydrocarbon group which may have a substituent. Examples of the divalent aromatic hydrocarbon group include an arylene group and an aralkylene group, and an arylene group is preferred. As the arylene group, an arylene group having 6 to 30 carbon atoms is preferred, an arylene group having 6 to 20 carbon atoms is more preferred, and an arylene group having 6 to 10 carbon atoms is even more preferred. Examples of such an arylene group include a phenylene group, a naphthylene group, an anthracenylene group, and a biphenylene group. As the aralkylene group, an aralkylene group having 7 to 30 carbon atoms is preferred, an aralkylene group having 7 to 20 carbon atoms is more preferred, and an aralkylene group having 7 to 15 carbon atoms is even more preferred. Among these, a phenylene group is preferred.

一般式(b-1)中、Ar13は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい2価の芳香族炭化水素基、置換基を有していてもよい2価の脂肪族炭化水素基、酸素原子、硫黄原子、又はこれらの組み合わせからなる2価の基を表し、これらの組み合わせからなる2価の基が好ましい。2価の芳香族炭化水素基としては、Ar12が表す2価の芳香族炭化水素基と同様である。 In general formula (b-1), Ar 13 each independently represents a divalent aromatic hydrocarbon group which may have a substituent, a divalent aliphatic hydrocarbon group which may have a substituent, an oxygen atom, a sulfur atom, or a divalent group consisting of a combination thereof, and a divalent group consisting of a combination thereof is preferable. The divalent aromatic hydrocarbon group is the same as the divalent aromatic hydrocarbon group represented by Ar 12 .

2価の脂肪族炭化水素基としては、2価の飽和脂肪族炭化水素基がより好ましく、アルキレン基、シクロアルキレン基が好ましく、シクロアルキレン基がより好ましい。 As the divalent aliphatic hydrocarbon group, a divalent saturated aliphatic hydrocarbon group is more preferable, an alkylene group or a cycloalkylene group is more preferable, and a cycloalkylene group is more preferable.

アルキレン基としては、炭素原子数1~10のアルキレン基が好ましく、炭素原子数1~6のアルキレン基がより好ましく、炭素原子数1~3のアルキレン基がさらに好ましい。アルキレン基としては、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、1-メチルメチレン基、1,1-ジメチルメチレン基、1-メチルエチレン基、1,1-ジメチルエチレン基、1,2-ジメチルエチレン基、ブチレン基、1-メチルプロピレン基、2-メチルプロピレン基、ペンチレン基、ヘキシレン基等が挙げられる。 As the alkylene group, an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms is preferable, an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms is more preferable, and an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms is even more preferable. Examples of the alkylene group include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a 1-methylmethylene group, a 1,1-dimethylmethylene group, a 1-methylethylene group, a 1,1-dimethylethylene group, a 1,2-dimethylethylene group, a butylene group, a 1-methylpropylene group, a 2-methylpropylene group, a pentylene group, and a hexylene group.

シクロアルキレン基としては、炭素原子数3~20のシクロアルキレン基が好ましく、3~15のシクロアルキレン基がより好ましく、5~10のシクロアルキレン基がさらに好ましい。シクロアルキレン基としては、例えば、シクロプロピレン基、シクロブチレン基、シクロペンチレン基、シクロヘキシレン基、シクロペンチレン基、シクロヘプチレン基等が挙げられる。 The cycloalkylene group is preferably a cycloalkylene group having 3 to 20 carbon atoms, more preferably a cycloalkylene group having 3 to 15 carbon atoms, and even more preferably a cycloalkylene group having 5 to 10 carbon atoms. Examples of the cycloalkylene group include a cyclopropylene group, a cyclobutylene group, a cyclopentylene group, a cyclohexylene group, a cyclopentylene group, and a cycloheptylene group.

これらの組み合わせからなる2価の基としては、置換基を有していてもよい2価の芳香族炭化水素基及び酸素原子を組み合わせた2価の基が好ましく、1以上の置換基を有していてもよい2価の芳香族炭化水素基、及び1以上の酸素原子を交互に組み合わせた2価の基がより好ましく、1以上の置換基を有していてもよいナフチレン基及び1以上の酸素原子を交互に組み合わせた2価の基がさらに好ましい。よって、置換基を有していてもよいナフチレンオキシ基がさらに好ましい。 As a divalent group consisting of these combinations, a divalent group consisting of a divalent aromatic hydrocarbon group which may have a substituent and an oxygen atom is preferred, a divalent group consisting of a divalent aromatic hydrocarbon group which may have one or more substituents and an alternating combination of one or more oxygen atoms is more preferred, and a divalent group consisting of a naphthylene group which may have one or more substituents and an alternating combination of one or more oxygen atoms is even more preferred. Thus, a naphthyleneoxy group which may have a substituent is even more preferred.

Ar12が表す2価の芳香族炭化水素基、Ar13が表す2価の芳香族炭化水素基、及び2価の脂肪族炭化水素基は、置換基を有していてもよい。置換基は1個でもよく、複数でもよい。置換基としては、例えば、炭素原子数6~20のアリール基、炭素原子数1~10のアルキル基、炭素原子数1~10のアルコキシ基、ハロゲン原子等が挙げられる。置換基は、単独で含んでいても、2種以上を組み合わせて含んでいてもよい。 The divalent aromatic hydrocarbon group represented by Ar 12 , the divalent aromatic hydrocarbon group represented by Ar 13 , and the divalent aliphatic hydrocarbon group may have a substituent. The number of the substituent may be one or more. Examples of the substituent include an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, and a halogen atom. The substituent may be contained alone or in combination of two or more kinds.

炭素原子数6~20のアリール基としては、例えば、ベンジル基、フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基、トリル基、キシリル基等が挙げられ、ベンジル基が好ましい。 Examples of aryl groups having 6 to 20 carbon atoms include benzyl, phenyl, naphthyl, anthracenyl, tolyl, and xylyl groups, with benzyl being preferred.

炭素原子数1~10のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、n-ペンチル基、イソペンチル基、tert-ペンチル基、ネオペンチル基、1,2-ジメチルプロピル基、n-ヘキシル基、イソヘキシル基、n-ノニル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基が挙げられる。 Examples of alkyl groups having 1 to 10 carbon atoms include methyl, ethyl, propyl, isopropyl, n-butyl, isobutyl, sec-butyl, tert-butyl, n-pentyl, isopentyl, tert-pentyl, neopentyl, 1,2-dimethylpropyl, n-hexyl, isohexyl, n-nonyl, cyclopropyl, cyclobutyl, cyclopentyl, cyclohexyl, cycloheptyl, cyclooctyl, and cyclononyl.

炭素原子数1~10のアルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、2-エチルヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、ノニルオキシ基等が挙げられる。 Examples of alkoxy groups having 1 to 10 carbon atoms include methoxy, ethoxy, propoxy, isopropoxy, butoxy, pentyloxy, hexyloxy, 2-ethylhexyloxy, octyloxy, and nonyloxy.

ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等が挙げられる。上述の置換基は、さらに置換基(以下、「二次置換基」という場合がある。)を有していてもよい。二次置換基としては、特に記載のない限り、上述の置換基と同じものを用いてよい。 Examples of halogen atoms include fluorine atoms, chlorine atoms, bromine atoms, and iodine atoms. The above-mentioned substituents may further have a substituent (hereinafter, sometimes referred to as a "secondary substituent"). Unless otherwise specified, the secondary substituent may be the same as the above-mentioned substituent.

一般式(b-1)中、aは、1~6の整数を表し、1~5の整数を表すことが好ましく、1~3の整数を表すことがより好ましい。なお、一般式(b-1)で表される化合物がオリゴマー又はポリマーである場合、aはその平均値を表す。 In general formula (b-1), a represents an integer of 1 to 6, preferably an integer of 1 to 5, and more preferably an integer of 1 to 3. When the compound represented by general formula (b-1) is an oligomer or polymer, a represents the average value.

一般式(b-1)中、bは、0~10の整数を表し、0~5の整数を表すことが好ましく、0~3の整数を表すことがより好ましく、0がさらに好ましい。なお、一般式(b-1)で表される化合物がオリゴマー又はポリマーである場合、bはその平均値を表す。 In general formula (b-1), b represents an integer from 0 to 10, preferably an integer from 0 to 5, more preferably an integer from 0 to 3, and even more preferably 0. When the compound represented by general formula (b-1) is an oligomer or polymer, b represents the average value.

(B)成分は、一般式(b-2)で表される化合物であることが好ましい。

Figure 0007517510000010
(一般式(b-2)中、Ar21は、それぞれ独立に式(1)で表される基、式(2)で表される基、又は式(3)で表される基を表し、Ar22は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい2価の芳香族炭化水素基を表し、Ar23は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい2価の芳香族炭化水素基を表す。a1は1~6の整数を表し、c1は1~5の整数を表す。) The component (B) is preferably a compound represented by general formula (b-2).
Figure 0007517510000010
(In general formula (b-2), Ar 21 each independently represents a group represented by formula (1), a group represented by formula (2), or a group represented by formula (3); Ar 22 each independently represents a divalent aromatic hydrocarbon group which may have a substituent; and Ar 23 each independently represents a divalent aromatic hydrocarbon group which may have a substituent. a1 represents an integer of 1 to 6, and c1 represents an integer of 1 to 5.)

Ar21は、それぞれ独立に、それぞれ独立に式(1)で表される基、式(2)で表される基、又は式(3)で表される基を表す。式(1)~(3)で表される基については上述したとおりである。中でも、式(1)で表される基、及び式(2)で表される基が好ましい。 Ar 21 each independently represents a group represented by formula (1), a group represented by formula (2), or a group represented by formula (3). The groups represented by formulas (1) to (3) are as described above. Among them, the group represented by formula (1) and the group represented by formula (2) are preferred.

Ar22は、それぞれ独立に置換基を有していてもよい2価の芳香族炭化水素基を表す。Ar22は、一般式(b-1)中のAr12と同様である。 Each Ar 22 independently represents a divalent aromatic hydrocarbon group which may have a substituent, and Ar 22 is the same as Ar 12 in general formula (b-1).

Ar23は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい2価の芳香族炭化水素基を表す。Ar23は、一般式(b-1)中のAr13の置換基を有していてもよい2価の芳香族炭化水素基と同様である。 Each Ar 23 independently represents a divalent aromatic hydrocarbon group which may have a substituent. Ar 23 is the same as the divalent aromatic hydrocarbon group which may have a substituent of Ar 13 in general formula (b-1).

一般式(b-2)中、a1は、1~6の整数を表す。a1は、一般式(b-1)中のaと同様である。 In general formula (b-2), a1 represents an integer from 1 to 6. a1 is the same as a in general formula (b-1).

一般式(b-2)中、c1は、1~5の整数を表す。c1は、1~4の整数を表すことが好ましく、1~3の整数を表すことがより好ましい。 In general formula (b-2), c1 represents an integer of 1 to 5. It is preferable that c1 represents an integer of 1 to 4, and more preferably an integer of 1 to 3.

(B)成分は、一般式(b-3)で表される化合物であることが好ましい。

Figure 0007517510000011
(一般式(b-3)中、Ar31は、それぞれ独立に式(1)で表される基、式(2)で表される基、又は式(3)で表される基を表す。a2は1~6の整数を表し、c2は1~5の整数を表し、dはそれぞれ独立に0~6の整数を表す。) The component (B) is preferably a compound represented by general formula (b-3).
Figure 0007517510000011
(In general formula (b-3), Ar 31 each independently represents a group represented by formula (1), a group represented by formula (2), or a group represented by formula (3). a2 represents an integer of 1 to 6, c2 represents an integer of 1 to 5, and d each independently represents an integer of 0 to 6.)

Ar31は、それぞれ独立に、式(1)で表される基、式(2)で表される基、又は式(3)で表される基を表す。式(1)~(3)で表される基については上述したとおりである。中でも、式(1)で表される基、及び式(2)で表される基が好ましい。 Ar 31 each independently represents a group represented by formula (1), a group represented by formula (2), or a group represented by formula (3). The groups represented by formulas (1) to (3) are as described above. Among them, the group represented by formula (1) and the group represented by formula (2) are preferred.

一般式(b-3)中、a2は、1~6の整数を表す。a2は、一般式(b-1)中のaと同様である。 In general formula (b-3), a2 represents an integer from 1 to 6. a2 is the same as a in general formula (b-1).

一般式(b-3)中、c2は、1~5の整数を表す。c2は、一般式(b-2)中のc1と同様である。 In general formula (b-3), c2 represents an integer from 1 to 5. c2 is the same as c1 in general formula (b-2).

一般式(b-3)中、dは、それぞれ独立に0~6の整数を表す。dは、1~5の整数を表すことが好ましく、1~4の整数を表すことがより好ましい。 In general formula (b-3), each d independently represents an integer from 0 to 6. It is preferable that d represents an integer from 1 to 5, and more preferably an integer from 1 to 4.

(B)成分は、公知の方法により合成したものを使用してよく、例えば、下記実施例に記載の方法にて合成することができる。(B)成分の合成は、例えば、国際公開第2018/235424号、又は国際公開第2018/235425号に記載の方法によって行うことができる。 Component (B) may be synthesized by a known method, for example, by the method described in the following examples. Component (B) can be synthesized by the method described in WO 2018/235424 or WO 2018/235425, for example.

(B)成分の重量平均分子量としては、本発明の効果を顕著に得る観点から、好ましくは150以上、より好ましくは200以上、さらに好ましくは250以上であり、好ましくは4000以下、より好ましくは3000以下、さらに好ましくは2500以下である。(B)成分の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。 From the viewpoint of obtaining a significant effect of the present invention, the weight average molecular weight of component (B) is preferably 150 or more, more preferably 200 or more, and even more preferably 250 or more, and is preferably 4000 or less, more preferably 3000 or less, and even more preferably 2500 or less. The weight average molecular weight of component (B) is a polystyrene-equivalent weight average molecular weight measured by gel permeation chromatography (GPC).

(B)成分の活性エステル当量(不飽和結合当量)は、本発明の効果を顕著に得る観点から、好ましくは50g/eq以上、より好ましくは100g/eq.以上、さらに好ましくは150g/eq.であり、好ましくは2000g/eq.以下、より好ましくは1000g/eq.以下、さらに好ましくは500g/eq.以下である。活性エステル当量は、1当量の不飽和結合を含む(B)成分の質量である。 From the viewpoint of obtaining a significant effect of the present invention, the active ester equivalent (unsaturated bond equivalent) of component (B) is preferably 50 g/eq or more, more preferably 100 g/eq. or more, even more preferably 150 g/eq., and is preferably 2000 g/eq. or less, more preferably 1000 g/eq. or less, even more preferably 500 g/eq. or less. The active ester equivalent is the mass of component (B) containing one equivalent of an unsaturated bond.

(A)成分と(B)成分との量比は、[(A)成分のエポキシ基の合計数]:[(B)成分の活性エステル基の合計数]の比率で、1:0.01~1:20の範囲が好ましく、1:0.1~1:10がより好ましく、1:0.5~1:5がさらに好ましい。ここで、「(A)成分のエポキシ基の合計数」とは、樹脂組成物中に存在する(A)成分の不揮発成分の質量をエポキシ当量で除した値を全て合計した値である。また、「(B)成分の活性エステル基の合計数」とは、樹脂組成物中に存在する(B)成分の不揮発成分の質量を活性エステル基当量で除した値を全て合計した値である。(A)成分と(B)成分との量比をかかる範囲内とすることにより、本発明の効果を顕著に得ることができる。 The ratio of the amount of the (A) component to the (B) component is the ratio of [total number of epoxy groups in the (A) component] to [total number of active ester groups in the (B) component], and is preferably in the range of 1:0.01 to 1:20, more preferably 1:0.1 to 1:10, and even more preferably 1:0.5 to 1:5. Here, the "total number of epoxy groups in the (A) component" refers to the total value obtained by dividing the mass of the non-volatile components of the (A) component present in the resin composition by the epoxy equivalent. In addition, the "total number of active ester groups in the (B) component" refers to the total value obtained by dividing the mass of the non-volatile components of the (B) component present in the resin composition by the active ester group equivalent. By setting the ratio of the (A) component to the (B) component within this range, the effects of the present invention can be obtained significantly.

(B)成分の含有量は、ラミネート後のムラの発生を抑制する観点から、樹脂組成物中の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上、さらに好ましくは15質量%以上であり、好ましくは30質量%以下であり、好ましくは25質量%以下、より好ましくは20質量%以下である。 From the viewpoint of suppressing the occurrence of unevenness after lamination, the content of component (B) is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, and even more preferably 15% by mass or more, based on 100% by mass of non-volatile components in the resin composition, and is preferably 30% by mass or less, preferably 25% by mass or less, and more preferably 20% by mass or less.

<(C)無機充填材>
樹脂組成物は、上述した成分以外に、任意の成分として、更に、(C)成分として無機充填材を含有していてもよい。(C)無機充填材を用いることにより、樹脂組成物の硬化物の誘電特性及び絶縁性能を向上させることができる。
<(C) Inorganic filler>
The resin composition may further contain an inorganic filler as component (C) as an optional component in addition to the above-mentioned components. By using the inorganic filler (C), the curing of the resin composition is improved. The dielectric properties and insulating performance of the material can be improved.

無機充填材の材料としては、無機化合物を用いる。無機充填材の材料の例としては、シリカ、アルミナ、ガラス、コーディエライト、シリコン酸化物、硫酸バリウム、炭酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、酸化亜鉛、ハイドロタルサイト、ベーマイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化マンガン、ホウ酸アルミニウム、炭酸ストロンチウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、酸化ジルコニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、リン酸ジルコニウム、及びリン酸タングステン酸ジルコニウム等が挙げられる。これらの中でもシリカが特に好適である。シリカとしては、例えば、無定形シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、合成シリカ、中空シリカ等が挙げられる。また、シリカとしては、球状シリカが好ましい。(C)無機充填材は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 As the material of the inorganic filler, an inorganic compound is used. Examples of the material of the inorganic filler include silica, alumina, glass, cordierite, silicon oxide, barium sulfate, barium carbonate, talc, clay, mica powder, zinc oxide, hydrotalcite, boehmite, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum nitride, manganese nitride, aluminum borate, strontium carbonate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide, zirconium oxide, barium titanate, barium zirconate titanate, barium zirconate, calcium zirconate, zirconium phosphate, and zirconium tungstate phosphate. Among these, silica is particularly suitable. Examples of silica include amorphous silica, fused silica, crystalline silica, synthetic silica, and hollow silica. In addition, spherical silica is preferable as the silica. (C) The inorganic filler may be used alone or in combination of two or more types.

(C)成分の市販品としては、例えば、デンカ社製の「UFP-30」;新日鉄住金マテリアルズ社製の「SP60-05」、「SP507-05」;アドマテックス社製の「YC100C」、「YA050C」、「YA050C-MJE」、「YA010C」;トクヤマ社製の「シルフィルNSS-3N」、「シルフィルNSS-4N」、「シルフィルNSS-5N」;アドマテックス社製の「SC2500SQ」、「SO-C4」、「SO-C2」、「SO-C1」;などが挙げられる。 Examples of commercially available products of component (C) include "UFP-30" manufactured by Denka; "SP60-05" and "SP507-05" manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Materials; "YC100C", "YA050C", "YA050C-MJE", and "YA010C" manufactured by Admatechs; "Silfil NSS-3N", "Silfil NSS-4N", and "Silfil NSS-5N" manufactured by Tokuyama Corporation; and "SC2500SQ", "SO-C4", "SO-C2", and "SO-C1" manufactured by Admatechs.

(C)成分の比表面積としては、好ましくは1m/g以上、より好ましくは2m/g以上、特に好ましくは3m/g以上である。上限に特段の制限は無いが、好ましくは60m/g以下、50m/g以下又は40m/g以下である。比表面積は、BET法に従って、比表面積測定装置(マウンテック社製Macsorb HM-1210)を使用して試料表面に窒素ガスを吸着させ、BET多点法を用いて比表面積を算出することで得られる。 The specific surface area of component (C) is preferably 1 m 2 /g or more, more preferably 2 m 2 /g or more, and particularly preferably 3 m 2 /g or more. There is no particular upper limit, but it is preferably 60 m 2 /g or less, 50 m 2 /g or less, or 40 m 2 /g or less. The specific surface area is obtained according to the BET method by adsorbing nitrogen gas onto the surface of a sample using a specific surface area measuring device (Macsorb HM-1210 manufactured by Mountech Co., Ltd.) and calculating the specific surface area using the BET multipoint method.

(C)成分の平均粒径は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは0.01μm以上、より好ましくは0.05μm以上、特に好ましくは0.1μm以上であり、好ましくは5μm以下、より好ましくは2μm以下、さらに好ましくは1μm以下である。 From the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention, the average particle size of component (C) is preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.05 μm or more, and particularly preferably 0.1 μm or more, and is preferably 5 μm or less, more preferably 2 μm or less, and even more preferably 1 μm or less.

(C)成分の平均粒径は、ミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的には、レーザー回折散乱式粒径分布測定装置により、無機充填材の粒径分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填材100mg、メチルエチルケトン10gをバイアル瓶に秤取り、超音波にて10分間分散させたものを使用することができる。測定サンプルを、レーザー回折式粒径分布測定装置を使用して、使用光源波長を青色及び赤色とし、フローセル方式で(C)成分の体積基準の粒径分布を測定し、得られた粒径分布からメディアン径として平均粒径を算出できる。レーザー回折式粒径分布測定装置としては、例えば堀場製作所社製「LA-960」等が挙げられる。 The average particle size of component (C) can be measured by a laser diffraction/scattering method based on the Mie scattering theory. Specifically, a particle size distribution of the inorganic filler is created on a volume basis using a laser diffraction/scattering particle size distribution measuring device, and the median diameter is used as the average particle size. The measurement sample can be prepared by weighing 100 mg of inorganic filler and 10 g of methyl ethyl ketone into a vial and dispersing the mixture ultrasonically for 10 minutes. The measurement sample is measured using a laser diffraction particle size distribution measuring device with blue and red light wavelengths as the light source, and the volume-based particle size distribution of component (C) is measured using a flow cell method, and the average particle size can be calculated as the median diameter from the particle size distribution obtained. An example of a laser diffraction particle size distribution measuring device is the "LA-960" manufactured by Horiba, Ltd.

(C)成分は、耐湿性及び分散性を高める観点から、表面処理剤で処理されていることが好ましい。表面処理剤としては、例えば、ビニルシラン系カップリング剤、(メタ)アクリル系カップリング剤、フッ素含有シランカップリング剤、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、シラン系カップリング剤、アルコキシシラン、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤等が挙げられる。中でも、本発明の効果を顕著に得る観点から、ビニルシラン系カップリング剤、(メタ)アクリル系カップリング剤、アミノシラン系カップリング剤が好ましい。また、表面処理剤は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を任意に組み合わせて用いてもよい。 From the viewpoint of improving moisture resistance and dispersibility, it is preferable that the (C) component is treated with a surface treatment agent. Examples of the surface treatment agent include vinylsilane coupling agents, (meth)acrylic coupling agents, fluorine-containing silane coupling agents, aminosilane coupling agents, epoxysilane coupling agents, mercaptosilane coupling agents, silane coupling agents, alkoxysilanes, organosilazane compounds, and titanate coupling agents. Among them, from the viewpoint of obtaining the effects of the present invention significantly, vinylsilane coupling agents, (meth)acrylic coupling agents, and aminosilane coupling agents are preferred. Moreover, the surface treatment agent may be used alone or in any combination of two or more types.

表面処理剤の市販品としては、例えば、信越化学工業社製「KBM1003」(ビニルトリエトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM503」(3-メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM403」(3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM803」(3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBE903」(3-アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM573」(N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「SZ-31」(ヘキサメチルジシラザン)、信越化学工業社製「KBM103」(フェニルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM-4803」(長鎖エポキシ型シランカップリング剤)、信越化学工業社製「KBM-7103」(3,3,3-トリフルオロプロピルトリメトキシシラン)等が挙げられる。 Commercially available surface treatment agents include, for example, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM1003" (vinyltriethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM503" (3-methacryloxypropyltriethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM403" (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM803" (3-mercaptopropyltrimethoxysilane), and Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBE903" (3-aminopropyltriethoxy silane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM573" (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "SZ-31" (hexamethyldisilazane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM103" (phenyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM-4803" (long-chain epoxy-type silane coupling agent), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM-7103" (3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane), etc.

表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の分散性向上の観点から、所定の範囲に収まることが好ましい。具体的には、無機充填材100質量部は、0.2質量部~5質量部の表面処理剤で表面処理されていることが好ましく、0.2質量部~3質量部で表面処理されていることが好ましく、0.3質量部~2質量部で表面処理されていることが好ましい。 From the viewpoint of improving the dispersibility of the inorganic filler, it is preferable that the degree of surface treatment with the surface treatment agent falls within a specified range. Specifically, 100 parts by mass of the inorganic filler is preferably surface-treated with 0.2 parts by mass to 5 parts by mass of the surface treatment agent, more preferably with 0.2 parts by mass to 3 parts by mass, and more preferably with 0.3 parts by mass to 2 parts by mass.

表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量によって評価することができる。無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、無機充填材の分散性向上の観点から、0.02mg/m以上が好ましく、0.1mg/m以上がより好ましく、0.2mg/m以上が更に好ましい。一方、樹脂ワニスの溶融粘度及びシート形態での溶融粘度の上昇を抑制する観点から、1mg/m以下が好ましく、0.8mg/m以下がより好ましく、0.5mg/m以下が更に好ましい。 The degree of surface treatment by the surface treatment agent can be evaluated by the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler. From the viewpoint of improving the dispersibility of the inorganic filler, the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler is preferably 0.02 mg/m 2 or more, more preferably 0.1 mg/m 2 or more, and even more preferably 0.2 mg/m 2 or more. On the other hand, from the viewpoint of suppressing the increase in the melt viscosity of the resin varnish and the melt viscosity in the sheet form, it is preferably 1 mg/m 2 or less, more preferably 0.8 mg/m 2 or less, and even more preferably 0.5 mg/m 2 or less.

無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、表面処理後の無機充填材を溶剤(例えば、メチルエチルケトン(MEK))により洗浄処理した後に測定することができる。具体的には、溶剤として十分な量のMEKを表面処理剤で表面処理された無機充填材に加えて、25℃で5分間超音波洗浄する。上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を測定することができる。カーボン分析計としては、堀場製作所社製「EMIA-320V」等を使用することができる。 The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured after the surface-treated inorganic filler is washed with a solvent (e.g., methyl ethyl ketone (MEK)). Specifically, a sufficient amount of MEK as a solvent is added to the inorganic filler that has been surface-treated with a surface treatment agent, and ultrasonic cleaning is performed at 25°C for 5 minutes. After removing the supernatant and drying the solids, the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured using a carbon analyzer. An example of a carbon analyzer that can be used is the "EMIA-320V" manufactured by Horiba, Ltd.

無機充填材の含有量としては、本発明の効果を顕著に得る観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上、さらに好ましくは70質量%以上であり、好ましくは90質量%以下、より好ましくは80質量%以下、さらに好ましくは75質量%以下である。 In order to obtain a significant effect of the present invention, the content of the inorganic filler is preferably 50% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, and even more preferably 70% by mass or more, and is preferably 90% by mass or less, more preferably 80% by mass or less, and even more preferably 75% by mass or less, assuming that the non-volatile components in the resin composition are 100% by mass.

<(D)硬化剤>
樹脂組成物は、上述した成分以外に、任意の成分として、更に、(D)成分として硬化剤を含有していてもよい。但し、(B)成分に該当するものは除く。
<(D) Curing Agent>
In addition to the above-mentioned components, the resin composition may further contain a curing agent as an optional component (D), except for those corresponding to the component (B).

(D)硬化剤としては、(A)成分と反応して樹脂組成物を硬化させることができる化合物を用いることができ、例えば、(B)成分に該当しない活性エステル系硬化剤、フェノール系硬化剤、ベンゾオキサジン系硬化剤、カルボジイミド系硬化剤、酸無水物系硬化剤、アミン系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤、マレイミド系硬化剤、ポリフェニレンエーテル系硬化剤(スチレン系硬化剤)などが挙げられる。中でも、本発明の効果を顕著に得る観点からフェノール系硬化剤、カルボジイミド系硬化剤、マレイミド系硬化剤、及びポリフェニレンエーテル系硬化剤のいずれかが好ましい。 As the (D) curing agent, a compound capable of reacting with the (A) component to cure the resin composition can be used, and examples thereof include active ester-based curing agents not corresponding to the (B) component, phenol-based curing agents, benzoxazine-based curing agents, carbodiimide-based curing agents, acid anhydride-based curing agents, amine-based curing agents, cyanate ester-based curing agents, maleimide-based curing agents, polyphenylene ether-based curing agents (styrene-based curing agents), etc. Among these, from the viewpoint of obtaining the effects of the present invention significantly, any of the phenol-based curing agents, carbodiimide-based curing agents, maleimide-based curing agents, and polyphenylene ether-based curing agents is preferable.

活性エステル系硬化剤としては、1分子中に1個以上の活性エステル基を有する硬化剤が挙げられる。中でも、活性エステル系硬化剤としては、フェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N-ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の、反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する化合物が好ましい。当該活性エステル系硬化剤は、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物とヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物との縮合反応によって得られるものが好ましい。特に、耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物とヒドロキシ化合物とから得られる活性エステル系硬化剤が好ましく、カルボン酸化合物とフェノール化合物及び/又はナフトール化合物とから得られる活性エステル系硬化剤がより好ましい。 Examples of active ester curing agents include curing agents having one or more active ester groups in one molecule. Among them, active ester curing agents are preferably compounds having two or more highly reactive ester groups in one molecule, such as phenol esters, thiophenol esters, N-hydroxyamine esters, and esters of heterocyclic hydroxy compounds. The active ester curing agent is preferably one obtained by a condensation reaction between a carboxylic acid compound and/or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound and/or a thiol compound. In particular, from the viewpoint of improving heat resistance, active ester curing agents obtained from a carboxylic acid compound and a hydroxy compound are preferred, and active ester curing agents obtained from a carboxylic acid compound and a phenol compound and/or a naphthol compound are more preferred.

カルボン酸化合物としては、例えば、安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。 Examples of carboxylic acid compounds include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and pyromellitic acid.

フェノール化合物又はナフトール化合物としては、例えば、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o-クレゾール、m-クレゾール、p-クレゾール、カテコール、α-ナフトール、β-ナフトール、1,5-ジヒドロキシナフタレン、1,6-ジヒドロキシナフタレン、2,6-ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物、フェノールノボラック等が挙げられる。ここで、「ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物」とは、ジシクロペンタジエン1分子にフェノール2分子が縮合して得られるジフェノール化合物をいう。 Examples of phenol compounds or naphthol compounds include hydroquinone, resorcin, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthaline, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, benzenetriol, dicyclopentadiene-type diphenol compounds, and phenol novolak. Here, "dicyclopentadiene-type diphenol compounds" refers to diphenol compounds obtained by condensing one molecule of dicyclopentadiene with two molecules of phenol.

活性エステル系硬化剤の好ましい具体例としては、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物が挙げられる。中でも、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物がより好ましい。「ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造」とは、フェニレン-ジシクロペンチレン-フェニレンからなる2価の構造を表す。 Specific examples of preferred active ester-based curing agents include active ester compounds containing a dicyclopentadiene-type diphenol structure, active ester compounds containing a naphthalene structure, active ester compounds containing an acetylated product of phenol novolac, and active ester compounds containing a benzoylated product of phenol novolac. Among these, active ester compounds containing a naphthalene structure and active ester compounds containing a dicyclopentadiene-type diphenol structure are more preferred. The term "dicyclopentadiene-type diphenol structure" refers to a divalent structure consisting of phenylene-dicyclopentylene-phenylene.

活性エステル系硬化剤の市販品としては、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物として、「EXB9451」、「EXB9460」、「EXB9460S」、「HPC-8000」、「HPC-8000H」、「HPC-8000-65T」、「HPC-8000H-65TM」、「EXB-8000L-65TM」、(DIC社製);ナフタレン構造を含む活性エステル化合物として「HPC-8150-62T」、「EXB-8100L-65T」、「EXB-8150L-65T」、「EXB9416-70BK」、「HPC-8900-70BK」(DIC社製);フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物として「DC808」(三菱ケミカル社製);フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物として「YLH1026」(三菱ケミカル社製);フェノールノボラックのアセチル化物である活性エステル系硬化剤として「DC808」(三菱ケミカル社製);フェノールノボラックのベンゾイル化物である活性エステル系硬化剤として「YLH1026」(三菱ケミカル社製)、「YLH1030」(三菱ケミカル社製)、「YLH1048」(三菱ケミカル社製);等が挙げられる。 Commercially available active ester curing agents include active ester compounds containing a dicyclopentadiene-type diphenol structure such as "EXB9451", "EXB9460", "EXB9460S", "HPC-8000", "HPC-8000H", "HPC-8000-65T", "HPC-8000H-65TM", and "EXB-8000L-65TM" (manufactured by DIC Corporation); active ester compounds containing a naphthalene structure such as "HPC-8150-62T", "EXB-8100L-65T", "EXB-8150L-65T", "EXB9416-70BK", and "HPC-8900-70BK". (manufactured by DIC Corporation); "DC808" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as an active ester compound containing an acetylated product of phenol novolac; "YLH1026" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as an active ester compound containing a benzoylated product of phenol novolac; "DC808" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as an active ester-based hardener which is an acetylated product of phenol novolac; "YLH1026" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), "YLH1030" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), and "YLH1048" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as active ester-based hardeners which are benzoylated products of phenol novolac; and the like.

フェノール系硬化剤としては、芳香環(ベンゼン環、ナフタレン環等)に結合した水酸基を1分子中に1個以上、好ましくは2個以上有する硬化剤が挙げられる。中でも、ベンゼン環に結合した水酸基を有する化合物が好ましい。また、耐熱性及び耐水性の観点からは、ノボラック構造を有するフェノール系硬化剤が好ましい。さらに、密着性の観点からは、含窒素フェノール系硬化剤が好ましく、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤がより好ましい。特に、耐熱性、耐水性、及び密着性を高度に満足させる観点からは、トリアジン骨格含有フェノールノボラック硬化剤が好ましい。 Examples of phenol-based hardeners include hardeners having one or more, preferably two or more, hydroxyl groups bonded to an aromatic ring (such as a benzene ring or a naphthalene ring) in one molecule. Among these, compounds having a hydroxyl group bonded to a benzene ring are preferred. From the viewpoint of heat resistance and water resistance, phenol-based hardeners having a novolac structure are preferred. From the viewpoint of adhesion, nitrogen-containing phenol-based hardeners are preferred, and triazine skeleton-containing phenol-based hardeners are more preferred. In particular, from the viewpoint of highly satisfying heat resistance, water resistance, and adhesion, triazine skeleton-containing phenol novolac hardeners are preferred.

フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤の具体例としては、明和化成社製の「MEH-7700」、「MEH-7810」、「MEH-7851」、「MEH-8000H」;日本化薬社製の「NHN」、「CBN」、「GPH」;日鉄ケミカル&マテリアル社製の「SN-170」、「SN-180」、「SN-190」、「SN-475」、「SN-485」、「SN-495」、「SN-495V」、「SN-375」、「SN-395」;DIC社製の「TD-2090」、「TD-2090-60M」、「LA-7052」、「LA-7054」、「LA-1356」、「LA-3018」、「LA-3018-50P」、「EXB-9500」、「HPC-9500」、「KA-1160」、「KA-1163」、「KA-1165」;群栄化学社製の「GDP-6115L」、「GDP-6115H」、「ELPC75」等が挙げられる。 Specific examples of phenol-based and naphthol-based hardeners include "MEH-7700", "MEH-7810", "MEH-7851", and "MEH-8000H" manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.; "NHN", "CBN", and "GPH" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.; and "SN-170", "SN-180", "SN-190", "SN-475", "SN-485", "SN-495", "SN-495V", and "SN-375" manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd. , "SN-395"; "TD-2090", "TD-2090-60M", "LA-7052", "LA-7054", "LA-1356", "LA-3018", "LA-3018-50P", "EXB-9500", "HPC-9500", "KA-1160", "KA-1163", "KA-1165" manufactured by DIC; "GDP-6115L", "GDP-6115H", "ELPC75" manufactured by Gun-ei Chemical Co., Ltd., etc.

ベンゾオキサジン系硬化剤の具体例としては、昭和高分子社製の「HFB2006M」、四国化成工業社製の「P-d」、「F-a」、「ALP-d」、JFEケミカル社製の「ODA-BOZ」が挙げられる。 Specific examples of benzoxazine-based curing agents include "HFB2006M" manufactured by Showa Polymer Co., Ltd., "P-d", "F-a", and "ALP-d" manufactured by Shikoku Chemical Industry Co., Ltd., and "ODA-BOZ" manufactured by JFE Chemical Corporation.

カルボジイミド系硬化剤の具体例としては、日清紡ケミカル社製の「V-03」、「V-05」、「V-07」;ラインケミー社製のスタバクゾール(登録商標)P等が挙げられる。 Specific examples of carbodiimide-based curing agents include "V-03", "V-05", and "V-07" manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd.; and Stavaxol (registered trademark) P manufactured by Rhein Chemie.

酸無水物系硬化剤としては、1分子内中に1個以上の酸無水物基を有する硬化剤が挙げられる。酸無水物系硬化剤の具体例としては、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、4-メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルナジック酸無水物、水素化メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ドデセニル無水コハク酸、5-(2,5-ジオキソテトラヒドロ-3-フラニル)-3-メチル-3-シクロヘキセン-1,2-ジカルボン酸無水物、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンソフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、オキシジフタル酸二無水物、3,3’-4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,3,3a,4,5,9b-ヘキサヒドロ-5-(テトラヒドロ-2,5-ジオキソ-3-フラニル)-ナフト[1,2-C]フラン-1,3-ジオン、エチレングリコールビス(アンヒドロトリメリテート)、スチレンとマレイン酸とが共重合したスチレン・マレイン酸樹脂などのポリマー型の酸無水物などが挙げられる。酸無水物系硬化剤は市販品を用いてもよく、例えば、新日本理化社製の「MH-700」等が挙げられる。 Examples of acid anhydride curing agents include curing agents having one or more acid anhydride groups in one molecule. Specific examples of acid anhydride curing agents include phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, 4-methylhexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, methylnadic anhydride, hydrogenated methylnadic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, 5-(2,5-dioxotetrahydro-3-furanyl)-3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, and benzophenone. Examples of the acid anhydride include tetracarboxylic dianhydride, biphenyltetracarboxylic dianhydride, naphthalenetetracarboxylic dianhydride, oxydiphthalic dianhydride, 3,3'-4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 1,3,3a,4,5,9b-hexahydro-5-(tetrahydro-2,5-dioxo-3-furanyl)-naphtho[1,2-C]furan-1,3-dione, ethylene glycol bis(anhydrotrimellitate), and polymeric acid anhydrides such as styrene-maleic acid resins in which styrene and maleic acid are copolymerized. Commercially available acid anhydride curing agents may be used, such as "MH-700" manufactured by New Japan Chemical Co., Ltd.

アミン系硬化剤としては、1分子内中に1個以上のアミノ基を有する硬化剤が挙げられ、例えば、脂肪族アミン類、ポリエーテルアミン類、脂環式アミン類、芳香族アミン類等が挙げられ、中でも、本発明の所望の効果を奏する観点から、芳香族アミン類が好ましい。アミン系硬化剤は、第1級アミン又は第2級アミンが好ましく、第1級アミンがより好ましい。アミン系硬化剤の具体例としては、4,4’-メチレンビス(2,6-ジメチルアニリン)、ジフェニルジアミノスルホン、4,4’-ジアミノジフェニルメタン、4,4’-ジアミノジフェニルスルホン、3,3’-ジアミノジフェニルスルホン、m-フェニレンジアミン、m-キシリレンジアミン、ジエチルトルエンジアミン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、2,2’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、3,3’-ジヒドロキシベンジジン、2,2-ビス(3-アミノ-4-ヒドロキシフェニル)プロパン、3,3-ジメチル-5,5-ジエチル-4,4-ジフェニルメタンジアミン、2,2-ビス(4-アミノフェニル)プロパン、2,2-ビス(4-(4-アミノフェノキシ)フェニル)プロパン、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス(4-(4-アミノフェノキシ)フェニル)スルホン、ビス(4-(3-アミノフェノキシ)フェニル)スルホン、等が挙げられる。アミン系硬化剤は市販品を用いてもよく、例えば、日本化薬社製の「KAYABOND C-200S」、「KAYABOND C-100」、「カヤハードA-A」、「カヤハードA-B」、「カヤハードA-S」、三菱ケミカル社製の「エピキュアW」等が挙げられる。 Amine-based curing agents include curing agents having one or more amino groups in one molecule, such as aliphatic amines, polyether amines, alicyclic amines, and aromatic amines. Among these, aromatic amines are preferred from the viewpoint of achieving the desired effects of the present invention. The amine-based curing agent is preferably a primary amine or secondary amine, and more preferably a primary amine. Specific examples of amine-based curing agents include 4,4'-methylenebis(2,6-dimethylaniline), diphenyldiaminosulfone, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, m-phenylenediamine, m-xylylenediamine, diethyltoluenediamine, 4,4'-diaminodiphenylether, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-dihydroxybenzidine, 2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)-2,2'-diphenyl ... bis(4-aminophenoxy)phenyl)propane, 3,3-dimethyl-5,5-diethyl-4,4-diphenylmethanediamine, 2,2-bis(4-aminophenyl)propane, 2,2-bis(4-(4-aminophenoxy)phenyl)propane, 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene, 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene, 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene, 4,4'-bis(4-aminophenoxy)biphenyl, bis(4-(4-aminophenoxy)phenyl)sulfone, bis(4-(3-aminophenoxy)phenyl)sulfone, and the like. Commercially available amine-based curing agents may be used, such as "KAYABOND C-200S", "KAYABOND C-100", "KAYAHARD A-A", "KAYAHARD A-B", and "KAYAHARD A-S" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., and "Epicure W" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.

シアネートエステル系硬化剤としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート、オリゴ(3-メチレン-1,5-フェニレンシアネート)、4,4’-メチレンビス(2,6-ジメチルフェニルシアネート)、4,4’-エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2-ビス(4-シアネート)フェニルプロパン、1,1-ビス(4-シアネートフェニルメタン)、ビス(4-シアネート-3,5-ジメチルフェニル)メタン、1,3-ビス(4-シアネートフェニル-1-(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4-シアネートフェニル)チオエーテル、及びビス(4-シアネートフェニル)エーテル、等の2官能シアネート樹脂;フェノールノボラック及びクレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂;これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマー;などが挙げられる。シアネートエステル系硬化剤の具体例としては、ロンザジャパン社製の「PT30」及び「PT60」(いずれもフェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂);「ULL-950S」(多官能シアネートエステル樹脂);「BA230」、「BA230S75」(ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー);等が挙げられる。 Examples of cyanate ester curing agents include bifunctional cyanate resins such as bisphenol A dicyanate, polyphenol cyanate, oligo(3-methylene-1,5-phenylene cyanate), 4,4'-methylenebis(2,6-dimethylphenyl cyanate), 4,4'-ethylidene diphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis(4-cyanate)phenylpropane, 1,1-bis(4-cyanate phenylmethane), bis(4-cyanate-3,5-dimethylphenyl)methane, 1,3-bis(4-cyanate phenyl-1-(methylethylidene))benzene, bis(4-cyanate phenyl)thioether, and bis(4-cyanate phenyl)ether; polyfunctional cyanate resins derived from phenol novolac and cresol novolac; and prepolymers in which these cyanate resins have been partially converted to triazine. Specific examples of cyanate ester-based hardeners include Lonza Japan's "PT30" and "PT60" (both phenol novolac-type multifunctional cyanate ester resins); "ULL-950S" (multifunctional cyanate ester resin); "BA230" and "BA230S75" (prepolymers in which part or all of bisphenol A dicyanate has been converted to triazine and formed into a trimer); and others.

マレイミド系硬化剤は、下記式(D-1)で表されるマレイミド基を分子中に含有する化合物である。マレイミド系硬化剤は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。

Figure 0007517510000012
The maleimide-based curing agent is a compound containing a maleimide group represented by the following formula (D-1) in the molecule. The maleimide-based curing agent may be used alone or in combination of two or more kinds.
Figure 0007517510000012

マレイミド系硬化剤の1分子当たりのマレイミド基の数は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは1個以上、より好ましくは2個以上で、さらに好ましくは3個以上であり、好ましくは10個以下、より好ましく6個以下、特に好ましくは3個以下である。 The number of maleimide groups per molecule of the maleimide-based curing agent is preferably 1 or more, more preferably 2 or more, and even more preferably 3 or more, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effect of the present invention, and is preferably 10 or less, more preferably 6 or less, and particularly preferably 3 or less.

マレイミド系硬化剤は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、脂肪族炭化水素基及び芳香族炭化水素基のいずれかを有することが好ましく、脂肪族炭化水素基及び芳香族炭化水素基を有することがより好ましい。 From the viewpoint of significantly achieving the desired effects of the present invention, the maleimide-based curing agent preferably has either an aliphatic hydrocarbon group or an aromatic hydrocarbon group, and more preferably has an aliphatic hydrocarbon group or an aromatic hydrocarbon group.

脂肪族炭化水素基としては、2価の脂肪族炭化水素基が好ましく、2価の飽和脂肪族炭化水素基がより好ましく、アルキレン基がさらに好ましい。アルキレン基としては、炭素原子数1~10のアルキレン基が好ましく、炭素原子数1~6のアルキレン基がより好ましく、炭素原子数1~3のアルキレン基がさらに好ましく、メチレン基が特に好ましい。 As the aliphatic hydrocarbon group, a divalent aliphatic hydrocarbon group is preferable, a divalent saturated aliphatic hydrocarbon group is more preferable, and an alkylene group is even more preferable. As the alkylene group, an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms is preferable, an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms is more preferable, an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms is even more preferable, and a methylene group is particularly preferable.

芳香族炭化水素基としては、1価及び2価の芳香族炭化水素基が好ましく、アリール基及びアリーレン基がより好ましい。アリーレン基としては、炭素原子数6~30のアリーレン基が好ましく、炭素原子数6~20のアリーレン基がより好ましく、炭素原子数6~10のアリーレン基がさらに好ましい。このようなアリーレン基としては、例えば、フェニレン基、ナフチレン基、アントラセニレン基、アラルキル基、ビフェニレン基、ビフェニルアラルキル基等が挙げられ、中でも、フェニレン基、アラルキル基、ビフェニレン基、ビフェニルアラルキル基が好ましく、フェニレン基、アラルキル基、ビフェニレン基がより好ましい。アリール基としては、炭素原子数6~30のアリール基が好ましく、炭素原子数6~20のアリール基がより好ましく、炭素原子数6~10のアリール基がさらに好ましく、フェニル基が特に好ましい。 As the aromatic hydrocarbon group, monovalent and divalent aromatic hydrocarbon groups are preferred, and aryl and arylene groups are more preferred. As the arylene group, an arylene group having 6 to 30 carbon atoms is preferred, an arylene group having 6 to 20 carbon atoms is more preferred, and an arylene group having 6 to 10 carbon atoms is even more preferred. Examples of such arylene groups include phenylene groups, naphthylene groups, anthracenylene groups, aralkyl groups, biphenylene groups, and biphenylaralkyl groups, among which phenylene groups, aralkyl groups, biphenylene groups, and biphenylaralkyl groups are preferred, and phenylene groups, aralkyl groups, and biphenylene groups are more preferred. As the aryl group, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms is preferred, an aryl group having 6 to 20 carbon atoms is more preferred, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms is even more preferred, and a phenyl group is particularly preferred.

マレイミド系硬化剤において、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、マレイミド基の窒素原子は、1価又は2価の芳香族炭化水素基と直接結合していることが好ましい。ここで、「直接」とは、マレイミド基の窒素原子と芳香族炭化水素基との間に他の基がないことをいう。 In the maleimide-based curing agent, in order to obtain the desired effect of the present invention significantly, it is preferable that the nitrogen atom of the maleimide group is directly bonded to a monovalent or divalent aromatic hydrocarbon group. Here, "directly" means that there is no other group between the nitrogen atom of the maleimide group and the aromatic hydrocarbon group.

マレイミド系硬化剤は、例えば下記式(D-2)により表される構造であることが好ましい。

Figure 0007517510000013
式(D-2)中、R31及びR36はマレイミド基を表し、R32、R33、R34及びR35は、それぞれ独立に水素原子、アルキル基、又はアリール基を表し、Dはそれぞれ独立に2価の芳香族基を表す。m1及びm2はそれぞれ独立に1~10の整数を表し、aは1~100の整数を表す。 The maleimide-based curing agent preferably has a structure represented by the following formula (D-2).
Figure 0007517510000013
In formula (D-2), R 31 and R 36 represent a maleimide group, R 32 , R 33 , R 34 and R 35 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group or an aryl group, and D each independently represents a divalent aromatic group. m1 and m2 each independently represent an integer of 1 to 10, and a represents an integer of 1 to 100.

式(D-2)中のR32、R33、R34及びR35は、それぞれ独立に水素原子、アルキル基、又はアリール基を表し、水素原子が好ましい。 In formula (D-2), R 32 , R 33 , R 34 and R 35 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group or an aryl group, and preferably a hydrogen atom.

アルキル基としては、炭素原子数1~10のアルキル基が好ましく、炭素原子数1~6のアルキル基がより好ましく、炭素原子数1~3のアルキル基がさらに好ましい。アルキル基は、直鎖状、分枝状又は環状であってもよい。このようなアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、イソプロピル基等が挙げられる。 As the alkyl group, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms is preferable, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms is more preferable, and an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms is even more preferable. The alkyl group may be linear, branched, or cyclic. Examples of such alkyl groups include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, and an isopropyl group.

アリール基は、炭素原子数6~20のアリール基が好ましく、炭素原子数6~15のアリール基がより好ましく、炭素原子数6~10のアリール基がさらに好ましい。アリール基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。このようなアリール基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基等が挙げられる。 The aryl group is preferably an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, more preferably an aryl group having 6 to 15 carbon atoms, and even more preferably an aryl group having 6 to 10 carbon atoms. The aryl group may be a single ring or a condensed ring. Examples of such aryl groups include a phenyl group, a naphthyl group, and an anthracenyl group.

アルキル基及びアリール基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、例えば、ハロゲン原子、-OH、-O-C1-6アルキル基、-N(C1-10アルキル基)、C1-10アルキル基、C6-10アリール基、-NH、-CN、-C(O)O-C1-10アルキル基、-COOH、-C(O)H、-NO等が挙げられる。ここで、「Cp-q」(p及びqは正の整数であり、p<qを満たす。)という用語は、この用語の直後に記載された有機基の炭素原子数がp~qであることを表す。例えば、「C1-10アルキル基」という表現は、炭素原子数1~10のアルキル基を示す。これら置換基は、互いに結合して環を形成していてもよく、環構造は、スピロ環や縮合環も含む。 The alkyl group and the aryl group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, -OH, -O-C 1-6 alkyl group, -N(C 1-10 alkyl group) 2 , a C 1-10 alkyl group, a C 6-10 aryl group, -NH 2 , -CN, -C(O)O-C 1-10 alkyl group, -COOH, -C(O)H, and -NO 2. Here, the term "C p-q " (p and q are positive integers, and p<q is satisfied) indicates that the number of carbon atoms in the organic group described immediately after this term is p to q. For example, the expression "C 1-10 alkyl group" indicates an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms. These substituents may be bonded to each other to form a ring, and the ring structure also includes a spiro ring and a fused ring.

式(D-2)中のDは2価の芳香族基を表す。2価の芳香族基としては、例えば、フェニレン基、フチレン基、アントラセニレン基、アラルキル基、ビフェニレン基、ビフェニルアラルキル基等が挙げられ、中でも、ビフェニレン基、ビフェニルアラルキル基が好ましく、ビフェニレン基がより好ましい。2価の芳香族基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、一般式(D-2)中のR32が表すアルキル基が有していてもよい置換基と同様である。 D in formula (D-2) represents a divalent aromatic group. Examples of the divalent aromatic group include a phenylene group, a phthalene group, an anthracenylene group, an aralkyl group, a biphenylene group, and a biphenylaralkyl group. Among them, a biphenylene group and a biphenylaralkyl group are preferable, and a biphenylene group is more preferable. The divalent aromatic group may have a substituent. The substituent is the same as the substituent that the alkyl group represented by R 32 in general formula (D-2) may have.

m1及びm2はそれぞれ独立に1~10の整数を表し、好ましくは1~6、より好ましくは1~3、さらに好ましくは1~2であり、1がよりさらに好ましい。 m1 and m2 each independently represent an integer from 1 to 10, preferably 1 to 6, more preferably 1 to 3, even more preferably 1 to 2, and even more preferably 1.

aは1~100の整数を表し、好ましくは1~50、より好ましくは1~20、さらに好ましくは1~5である。 a represents an integer from 1 to 100, preferably from 1 to 50, more preferably from 1 to 20, and even more preferably from 1 to 5.

マレイミド系硬化剤としては、式(D-3)で表される樹脂が好ましい。

Figure 0007517510000014
式(D-3)中、R37及びR38はマレイミド基を表す。a1は1~100の整数を表す。 As the maleimide-based curing agent, a resin represented by formula (D-3) is preferable.
Figure 0007517510000014
In formula (D-3), R 37 and R 38 each represent a maleimide group, and a1 represents an integer of 1 to 100.

a1は、式(D-2)中のaと同じであり、好ましい範囲も同様である。 a1 is the same as a in formula (D-2), and the preferred range is also the same.

このようなマレイミド系硬化剤は、市販品を用いることができる。市販品としては、例えば、日本化薬社製の「MIR-3000-70MT」等が挙げられる。 Such maleimide-based curing agents can be commercially available. For example, "MIR-3000-70MT" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. can be used.

また、マレイミド系硬化剤の他の実施形態としては、マレイミド基を分子中に少なくとも1つ有する化合物である。 Another embodiment of the maleimide-based curing agent is a compound having at least one maleimide group in the molecule.

このマレイミド系硬化剤において、炭素原子数が5以上のアルキル基及び炭素原子数が5以上のアルキレン基は、マレイミド基の窒素原子に直接結合していることが好ましい。 In this maleimide-based curing agent, it is preferable that the alkyl group having 5 or more carbon atoms and the alkylene group having 5 or more carbon atoms are directly bonded to the nitrogen atom of the maleimide group.

マレイミド系硬化剤の1分子当たりのマレイミド基の数は、1個でもよいが、好ましくは2個以上であり、好ましくは10個以下、より好ましく6個以下、特に好ましくは3個以下である。1分子当たり2個以上のマレイミド基を有するマレイミド系硬化剤を用いることにより、本発明の効果を顕著に得ることができる。 The number of maleimide groups per molecule of the maleimide curing agent may be one, but is preferably two or more, and is preferably ten or less, more preferably six or less, and particularly preferably three or less. By using a maleimide curing agent having two or more maleimide groups per molecule, the effects of the present invention can be significantly obtained.

マレイミド系硬化剤は、下記一般式(D-4)で表されることが好ましい。

Figure 0007517510000015
一般式(D-4)中、Mは置換基を有していてもよい炭素原子数が5以上のアルキレン基を表し、Lは単結合又は2価の連結基を表す。 The maleimide-based curing agent is preferably represented by the following general formula (D-4).
Figure 0007517510000015
In formula (D-4), M represents an alkylene group having 5 or more carbon atoms which may have a substituent, and L represents a single bond or a divalent linking group.

Mは、置換基を有していてもよい炭素原子数が5以上のアルキレン基を表す。Mのアルキレン基は、上記した炭素原子数が5以上のアルキレン基と同様である。Mの置換基としては、一般式(D-2)中のR32が表すアルキル基が有していてもよい置換基と同様であり、置換基は、好ましくは炭素原子数が5以上のアルキル基である。 M represents an alkylene group having 5 or more carbon atoms which may have a substituent. The alkylene group of M is the same as the alkylene group having 5 or more carbon atoms described above. The substituent of M is the same as the substituent that may be possessed by the alkyl group represented by R 32 in general formula (D-2), and the substituent is preferably an alkyl group having 5 or more carbon atoms.

Lは単結合又は2価の連結基を表す。2価の連結基としては、アルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン基、アリーレン基、-C(=O)-、-C(=O)-O-、-NR-(Rは水素原子、炭素原子数1~3のアルキル基)、酸素原子、硫黄原子、C(=O)NR-、フタルイミド由来の2価の基、ピロメリット酸ジイミド由来の2価の基、及びこれら2種以上の2価の基の組み合わせからなる基等が挙げられる。アルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン基、アリーレン基、フタルイミド由来の2価の基、ピロメリット酸ジイミド由来の2価の基、及び2種以上の2価の基の組み合わせからなる基は、炭素原子数が5以上のアルキル基を置換基として有していてもよい。フタルイミド由来の2価の基とは、フタルイミドから誘導される2価の基を表し、具体的には一般式(D-5)で表される基である。ピロメリット酸ジイミド由来の2価の基とは、ピロメリット酸ジイミドから誘導される2価の基を表し、具体的には一般式(D-6)で表される基である。式中、「*」は結合手を表す。

Figure 0007517510000016
L represents a single bond or a divalent linking group. Examples of the divalent linking group include an alkylene group, an alkenylene group, an alkynylene group, an arylene group, -C(=O)-, -C(=O)-O-, -NR 0 - (R 0 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms), an oxygen atom, a sulfur atom, C(=O)NR 0 -, a divalent group derived from phthalimide, a divalent group derived from pyromellitic diimide, and a group consisting of a combination of two or more of these divalent groups. The alkylene group, the alkenylene group, the alkynylene group, the arylene group, the divalent group derived from phthalimide, the divalent group derived from pyromellitic diimide, and a group consisting of a combination of two or more of these divalent groups may have an alkyl group having 5 or more carbon atoms as a substituent. The divalent group derived from phthalimide represents a divalent group derived from phthalimide, and specifically, is a group represented by the general formula (D-5). The divalent group derived from pyromellitic diimide refers to a divalent group derived from pyromellitic diimide, specifically, a group represented by general formula (D-6), in which "*" represents a bond.
Figure 0007517510000016

Lのおける2価の連結基としてのアルキレン基は、炭素原子数1~50のアルキレン基が好ましく、炭素原子数1~45のアルキレン基がより好ましく、炭素原子数1~40のアルキレン基が特に好ましい。このアルキレン基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれであってもよい。このようなアルキレン基としては、例えば、メチルエチレン基、シクロヘキシレン基、ペンチレン基、ヘキシレン基、ヘプチレン基、オクチレン基、ノニレン基、デシレン基、ウンデシレン基、ドデシレン基、トリデシレン基、ヘプタデシレン基、ヘキサトリアコンチレン基、オクチレン-シクロヘキシレン構造を有する基、オクチレン-シクロヘキシレン-オクチレン構造を有する基、プロピレン-シクロヘキシレン-オクチレン構造を有する基等が挙げられる。 The alkylene group as the divalent linking group in L is preferably an alkylene group having 1 to 50 carbon atoms, more preferably an alkylene group having 1 to 45 carbon atoms, and particularly preferably an alkylene group having 1 to 40 carbon atoms. This alkylene group may be linear, branched, or cyclic. Examples of such alkylene groups include methylethylene, cyclohexylene, pentylene, hexylene, heptylene, octylene, nonylene, decylene, undecylene, dodecylene, tridecylene, heptadecylene, hexatriacontylene, groups having an octylene-cyclohexylene structure, groups having an octylene-cyclohexylene-octylene structure, and groups having a propylene-cyclohexylene-octylene structure.

Lにおける2価の連結基としてのアルケニレン基は、炭素原子数2~20のアルケニレン基が好ましく、炭素原子数2~15のアルケニレン基がより好ましく、炭素原子数2~10のアルケニレン基が特に好ましい。このアルケニレン基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれであってもよい。このようなアルケニレン基としては、例えば、メチルエチレニレン基、シクロヘキセニレン基、ペンテニレン基、へキセニレン基、ヘプテニレン基、オクテニレン基等が挙げられる。 The alkenylene group as the divalent linking group in L is preferably an alkenylene group having 2 to 20 carbon atoms, more preferably an alkenylene group having 2 to 15 carbon atoms, and particularly preferably an alkenylene group having 2 to 10 carbon atoms. This alkenylene group may be linear, branched, or cyclic. Examples of such alkenylene groups include a methylethylenylene group, a cyclohexenylene group, a pentenylene group, a hexenylene group, a heptenylene group, and an octenylene group.

Lにおける2価の連結基としてのアルキニレン基は、炭素原子数2~20のアルキニレン基が好ましく、炭素原子数2~15のアルキニレン基がより好ましく、炭素原子数2~10のアルキニレン基が特に好ましい。このアルキニレン基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれであってもよい。このようなアルキニレン基としては、例えば、メチルエチニレン基、シクロヘキシニレン基、ペンチニレン基、へキシニレン基、ヘプチニレン基、オクチニレン基等が挙げられる。 The alkynylene group as the divalent linking group in L is preferably an alkynylene group having 2 to 20 carbon atoms, more preferably an alkynylene group having 2 to 15 carbon atoms, and particularly preferably an alkynylene group having 2 to 10 carbon atoms. This alkynylene group may be linear, branched, or cyclic. Examples of such alkynylene groups include a methylethynylene group, a cyclohexynylene group, a pentynylene group, a hexynylene group, a heptynylene group, and an octynylene group.

Lにおける2価の連結基としてのアリーレン基は、炭素原子数6~24のアリーレン基が好ましく、炭素原子数6~18のアリーレン基がより好ましく、炭素原子数6~14のアリーレン基がさらに好ましく、炭素原子数6~10のアリーレン基がさらにより好ましい。アリーレン基としては、例えば、フェニレン基、ナフチレン基、アントラセニレン基等が挙げられる。 The arylene group as the divalent linking group in L is preferably an arylene group having 6 to 24 carbon atoms, more preferably an arylene group having 6 to 18 carbon atoms, even more preferably an arylene group having 6 to 14 carbon atoms, and even more preferably an arylene group having 6 to 10 carbon atoms. Examples of the arylene group include a phenylene group, a naphthylene group, and an anthracenylene group.

Lにおける2価の連結基であるアルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン基、及びアリーレン基は置換基を有していてもよい。置換基としては、一般式(D-2)中のR32が表すアルキル基が有していてもよい置換基と同様であり、好ましくは炭素原子数が5以上のアルキル基である。 The alkylene group, alkenylene group, alkynylene group, and arylene group which are the divalent linking group in L may have a substituent. The substituent is the same as the substituent which the alkyl group represented by R 32 in the general formula (D-2) may have, and is preferably an alkyl group having 5 or more carbon atoms.

Lにおける2種以上の2価の基の組み合わせからなる基としては、例えば、アルキレン基、フタルイミド由来の2価の基及び酸素原子との組み合わせからなる2価の基;フタルイミド由来の2価の基、酸素原子、アリーレン基及びアルキレン基の組み合わせからなる2価の基;アルキレン基及びピロメリット酸ジイミド由来の2価の基の組み合わせからなる2価の基;等が挙げられる。2種以上の2価の基の組み合わせからなる基は、それぞれの基の組み合わせにより縮合環等の環を形成してもよい。また、2種以上の2価の基の組み合わせからなる基は、繰り返し単位数が1~10の繰り返し単位であってもよい。 Examples of groups consisting of a combination of two or more divalent groups in L include a divalent group consisting of a combination of an alkylene group, a divalent group derived from phthalimide, and an oxygen atom; a divalent group consisting of a combination of a divalent group derived from phthalimide, an oxygen atom, an arylene group, and an alkylene group; a divalent group consisting of a combination of an alkylene group and a divalent group derived from pyromellitic diimide; and the like. A group consisting of a combination of two or more divalent groups may form a ring such as a condensed ring by the combination of the respective groups. In addition, a group consisting of a combination of two or more divalent groups may have a repeating unit number of 1 to 10.

中でも、一般式(D-4)中のLとしては、酸素原子、置換基を有していてもよい炭素原子数6~24のアリーレン基、置換基を有していてもよい炭素原子数が1~50のアルキレン基、炭素原子数が5以上のアルキル基、フタルイミド由来の2価の基、ピロメリット酸ジイミド由来の2価の基、又はこれらの基の2以上の組み合わせからなる2価の基であることが好ましい。中でも、Lとしては、アルキレン基;アルキレン基-フタルイミド由来の2価の基-酸素原子-フタルイミド由来の2価の基の構造を有する2価の基;アルキレン基-フタルイミド由来の2価の基-酸素原子-アリーレン基-アルキレン基-アリーレン基-酸素原子-フタルイミド由来の2価の基の構造を有する2価の基;アルキレン-ピロメリット酸ジイミド由来の2価の基の構造を有する2価の基がより好ましい。 Among these, L in the general formula (D-4) is preferably an oxygen atom, an arylene group having 6 to 24 carbon atoms which may have a substituent, an alkylene group having 1 to 50 carbon atoms which may have a substituent, an alkyl group having 5 or more carbon atoms, a divalent group derived from phthalimide, a divalent group derived from pyromellitic diimide, or a divalent group consisting of a combination of two or more of these groups. Among these, L is more preferably an alkylene group; a divalent group having a structure of an alkylene group-phthalimide-derived divalent group-oxygen atom-phthalimide-derived divalent group; an alkylene group-phthalimide-derived divalent group-oxygen atom-arylene group-alkylene group-arylene group-oxygen atom-phthalimide-derived divalent group; or an alkylene-pyromellitic diimide-derived divalent group structure.

一般式(D-4)で表されるマレイミド系硬化剤は、一般式(D-7)で表されることが好ましい。

Figure 0007517510000017
一般式(D-7)中、Mはそれぞれ独立に置換基を有していてもよい炭素原子数が5以上のアルキレン基を表し、Zはそれぞれ独立に置換基を有していてもよい炭素原子数が5以上のアルキレン基又は置換基を有していてもよい芳香環を有する2価の基を表す。tは1~10の整数を表す。 The maleimide-based curing agent represented by general formula (D-4) is preferably represented by general formula (D-7).
Figure 0007517510000017
In formula (D-7), M 1 's each independently represent an alkylene group having 5 or more carbon atoms which may have a substituent, Z's each independently represent an alkylene group having 5 or more carbon atoms which may have a substituent or a divalent group having an aromatic ring which may have a substituent, and t represents an integer from 1 to 10.

はそれぞれ独立に置換基を有していてもよい炭素原子数が5以上のアルキレン基を表す。Mは、一般式(D-4)中のMと同様である。 Each M1 independently represents an alkylene group having 5 or more carbon atoms which may have a substituent. M1 is the same as M in formula (D-4).

Zはそれぞれ独立に置換基を有していてもよい炭素原子数が5以上のアルキレン基又は置換基を有していてもよい芳香環を有する2価の基を表す。Zにおけるアルキレン基としては、鎖状、分岐鎖状、環状のいずれであってもよく、中でも環状、即ち置換基を有していてもよい炭素原子数が5以上の環状のアルキレン基が好ましい。アルキレン基の炭素原子数は、好ましくは6以上、より好ましくは8以上、好ましくは50以下、より好ましくは45以下、さらに好ましくは40以下である。このようなアルキレン基としては、例えば、オクチレン-シクロヘキシレン構造を有する基、オクチレン-シクロヘキシレン-オクチレン構造を有する基、プロピレン-シクロヘキシレン-オクチレン構造を有する基等が挙げられる。 Each Z independently represents an alkylene group having 5 or more carbon atoms which may have a substituent, or a divalent group having an aromatic ring which may have a substituent. The alkylene group in Z may be linear, branched, or cyclic, and is preferably a cyclic alkylene group having 5 or more carbon atoms which may have a substituent. The number of carbon atoms in the alkylene group is preferably 6 or more, more preferably 8 or more, preferably 50 or less, more preferably 45 or less, and even more preferably 40 or less. Examples of such alkylene groups include groups having an octylene-cyclohexylene structure, groups having an octylene-cyclohexylene-octylene structure, and groups having a propylene-cyclohexylene-octylene structure.

Zが表す芳香環を有する2価の基における芳香環としては、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フタルイミド環、ピロメリット酸ジイミド環、芳香族複素環等が挙げられ、ベンゼン環、フタルイミド環、ピロメリット酸ジイミド環が好ましい。即ち、芳香環を有する2価の基としては、置換基を有していてもよいベンゼン環を有する2価の基、置換基を有していてもよいフタルイミド環を有する2価の基、置換基を有していてもよいピロメリット酸ジイミド環を有する2価の基が好ましい。芳香環を有する2価の基としては、例えば、フタルイミド由来の2価の基及び酸素原子との組み合わせからなる基;フタルイミド由来の2価の基、酸素原子、アリーレン基及びアルキレン基の組み合わせからなる基;アルキレン基及びピロメリット酸ジイミド由来の2価の基の組み合わせからなる基;ピロメリット酸ジイミド由来の2価の基;フタルイミド由来の2価の基及びアルキレン基の組み合わせからなる基;等が挙げられる。上記アリーレン基及びアルキレン基は、一般式(F-4)中のLが表す2価の連結基におけるアリーレン基及びアルキレン基と同様である。 Examples of the aromatic ring in the divalent group having an aromatic ring represented by Z include a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phthalimide ring, a pyromellitic diimide ring, and an aromatic heterocycle, and the like are mentioned, with a benzene ring, a phthalimide ring, and a pyromellitic diimide ring being preferred. That is, examples of the divalent group having an aromatic ring include a divalent group having a benzene ring which may have a substituent, a divalent group having a phthalimide ring which may have a substituent, and a divalent group having a pyromellitic diimide ring which may have a substituent. Examples of the divalent group having an aromatic ring include a group consisting of a combination of a divalent group derived from phthalimide and an oxygen atom; a group consisting of a combination of a divalent group derived from phthalimide, an oxygen atom, an arylene group, and an alkylene group; a group consisting of a combination of an alkylene group and a divalent group derived from pyromellitic diimide; a divalent group derived from pyromellitic diimide; a group consisting of a combination of a divalent group derived from phthalimide and an alkylene group; and the like. The above arylene group and alkylene group are the same as the arylene group and alkylene group in the divalent linking group represented by L in general formula (F-4).

Zが表す、アルキレン基及び芳香環を有する2価の基は置換基を有していてもよい。置換基としては、一般式(D-2)中のR32が表すアルキル基が有していてもよい置換基と同様である。 The alkylene group and the divalent group having an aromatic ring represented by Z may have a substituent. The substituent is the same as the substituent that the alkyl group represented by R 32 in the general formula (D-2) may have.

Zが表す基の具体例としては、以下の基を挙げることができる。式中、「*」は結合手を表す。

Figure 0007517510000018
Figure 0007517510000019
Specific examples of the group represented by Z include the following groups: In the formula, "*" represents a bond.
Figure 0007517510000018
Figure 0007517510000019

一般式(D-4)で表されるマレイミド系硬化剤は、一般式(D-8)で表されるマレイミド系硬化剤、及び一般式(D-9)で表されるマレイミド系硬化剤のいずれかであることが好ましい。

Figure 0007517510000020
一般式(D-8)中、M及びMはそれぞれ独立に置換基を有していてもよい炭素原子数が5以上のアルキレン基を表し、R40はそれぞれ独立に、酸素原子、アリーレン基、アルキレン基、又はこれらの基の2以上の組み合わせからなる2価の基を表す。t1は1~10の整数を表す。
一般式(D-9)中、M、M及びMはそれぞれ独立に置換基を有していてもよい炭素原子数が5以上のアルキレン基を表し、Mはそれぞれ独立に置換基を有していてもよい芳香環を有する2価の基を表し、R41及びR42はそれぞれ独立に炭素原子数が5以上のアルキル基を表す。t2は0~10の整数を表し、u1及びu2はそれぞれ独立に0~4の整数を表す。 The maleimide curing agent represented by general formula (D-4) is preferably any one of a maleimide curing agent represented by general formula (D-8) and a maleimide curing agent represented by general formula (D-9).
Figure 0007517510000020
In formula (D-8), M2 and M3 each independently represent an alkylene group having 5 or more carbon atoms which may have a substituent, R40 each independently represent an oxygen atom, an arylene group, an alkylene group, or a divalent group consisting of a combination of two or more of these groups, and t1 represents an integer from 1 to 10.
In formula (D-9), M4 , M6 , and M7 each independently represent an alkylene group having 5 or more carbon atoms which may have a substituent, M5 each independently represent a divalent group having an aromatic ring which may have a substituent, R41 and R each independently represent an alkyl group having 5 or more carbon atoms, t2 represents an integer of 0 to 10, and u1 and u2 each independently represent an integer of 0 to 4.

及びMはそれぞれ独立に置換基を有していてもよい炭素原子数が5以上のアルキレン基を表す。M及びMは、一般式(D-4)中のMが表す炭素原子数が5以上のアルキレン基と同様であり、ヘキサトリアコンチレン基が好ましい。 M2 and M3 each independently represent an alkylene group having 5 or more carbon atoms which may have a substituent. M2 and M3 are the same as the alkylene group having 5 or more carbon atoms represented by M in general formula (D-4), and are preferably a hexatriacontylene group.

40はそれぞれ独立に、酸素原子、アリーレン基、アルキレン基、又はこれら2種以上の2価の基の組み合わせからなる基を表す。アリーレン基、アルキレン基は、一般式(F-4)中のLが表す2価の連結基におけるアリーレン基及びアルキレン基と同様である。R40としては、2種以上の2価の基の組み合わせからなる基又は酸素原子であることが好ましい。 Each R 40 independently represents an oxygen atom, an arylene group, an alkylene group, or a group consisting of a combination of two or more of these divalent groups. The arylene group and the alkylene group are the same as the arylene group and the alkylene group in the divalent linking group represented by L in the general formula (F-4). R 40 is preferably an oxygen atom or a group consisting of a combination of two or more of these divalent groups.

40における2種以上の2価の基の組み合わせからなる基としては、酸素原子、アリーレン基、及びアルキレン基の組み合わせが挙げられる。2種以上の2価の基の組み合わせからなる基の具体例としては、以下の基を挙げることができる。式中、「*」は結合手を表す。

Figure 0007517510000021
Examples of the group consisting of a combination of two or more divalent groups in R40 include a combination of an oxygen atom, an arylene group, and an alkylene group. Specific examples of the group consisting of a combination of two or more divalent groups include the following groups. In the formula, "*" represents a bond.
Figure 0007517510000021

、M及びMはそれぞれ独立に置換基を有していてもよい炭素原子数が5以上のアルキレン基を表す。M、M及びMは、一般式(D-4)中のMが表す置換基を有していてもよい炭素原子数が5以上のアルキレン基と同様であり、ヘキシレン基、ヘプチレン基、オクチレン基、ノニレン基、デシレン基が好ましく、オクチレン基がより好ましい。 M 4 , M 6 and M 7 each independently represent an alkylene group having 5 or more carbon atoms which may have a substituent. M 4 , M 6 and M 7 are the same as the alkylene group having 5 or more carbon atoms which may have a substituent represented by M in general formula (D-4), and are preferably a hexylene group, a heptylene group, an octylene group, a nonylene group or a decylene group, and more preferably an octylene group.

はそれぞれ独立に置換基を有していてもよい芳香環を有する2価の基を表す。Mは、一般式(D-7)中のZが表す置換基を有していてもよい芳香環を有する2価の基と同様であり、アルキレン基及びピロメリット酸ジイミド由来の2価の基の組み合わせからなる基;フタルイミド由来の2価の基及びアルキレン基の組み合わせからなる基が好ましく、アルキレン基及びピロメリット酸ジイミド由来の2価の基の組み合わせからなる基がより好ましい。上記アリーレン基及びアルキレン基は、一般式(D-4)中のLが表す2価の連結基におけるアリーレン基及びアルキレン基と同様である。 M 5 each independently represents a divalent group having an aromatic ring which may have a substituent. M 5 is the same as the divalent group having an aromatic ring which may have a substituent represented by Z in the general formula (D-7), and is preferably a group consisting of a combination of an alkylene group and a divalent group derived from pyromellitic diimide; a group consisting of a combination of a divalent group derived from phthalimide and an alkylene group, and more preferably a group consisting of a combination of an alkylene group and a divalent group derived from pyromellitic diimide. The arylene group and alkylene group are the same as the arylene group and alkylene group in the divalent linking group represented by L in the general formula (D-4).

が表す基の具体例としては、例えば以下の基を挙げることができる。式中、「*」は結合手を表す。

Figure 0007517510000022
Specific examples of the group represented by M5 include the following groups: In the formula, "*" represents a bond.
Figure 0007517510000022

41及びR42はそれぞれ独立に炭素原子数が5以上のアルキル基を表す。R41及びR42は、上記した炭素原子数が5以上のアルキル基と同様であり、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基が好ましく、ヘキシル基、オクチル基がより好ましい。 R 41 and R 42 each independently represent an alkyl group having 5 or more carbon atoms. R 41 and R 42 are the same as the alkyl group having 5 or more carbon atoms described above, and are preferably a hexyl group, a heptyl group, an octyl group, a nonyl group, or a decyl group, and more preferably a hexyl group or an octyl group.

u1及びu2はそれぞれ独立に1~15の整数を表し、1~10の整数が好ましい。 u1 and u2 each independently represent an integer from 1 to 15, preferably an integer from 1 to 10.

マレイミド系硬化剤の具体例としては、以下の(D1)~(D3)の化合物を挙げることができる。但し、マレイミド系硬化剤はこれら具体例に限定されるものではない。式中、vは1~10の整数を表す。

Figure 0007517510000023
Figure 0007517510000024
Specific examples of the maleimide-based curing agent include the following compounds (D1) to (D3). However, the maleimide-based curing agent is not limited to these specific examples. In the formula, v represents an integer of 1 to 10.
Figure 0007517510000023
Figure 0007517510000024

マレイミド系硬化剤の具体例としては、DMI社製の「BMI1500」(式(D1)の化合物)、「BMI1700」(式(D2)の化合物)、「BMI689」(式(D3)の化合物)、等が挙げられる。 Specific examples of maleimide-based curing agents include "BMI1500" (compound of formula (D1)), "BMI1700" (compound of formula (D2)), and "BMI689" (compound of formula (D3)), all manufactured by DMI Corporation.

マレイミド系硬化剤のマレイミド基当量は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは50g/eq.~2000g/eq.、より好ましくは100g/eq.~1000g/eq.、さらに好ましくは150g/eq.~500g/eq.である。マレイミド基当量は、1当量のマレイミド基を含むマレイミド系硬化剤の質量である。 From the viewpoint of significantly obtaining the desired effect of the present invention, the maleimide group equivalent of the maleimide-based curing agent is preferably 50 g/eq. to 2000 g/eq., more preferably 100 g/eq. to 1000 g/eq., and even more preferably 150 g/eq. to 500 g/eq. The maleimide group equivalent is the mass of the maleimide-based curing agent containing one equivalent of maleimide group.

ポリフェニレンエーテル系硬化剤は、ビニルフェニル基を有する硬化剤である。ビニルフェニル基とは、以下に示す構造を有する基である。

Figure 0007517510000025
(*は結合手を表す。) The polyphenylene ether-based curing agent is a curing agent having a vinylphenyl group, which is a group having the structure shown below.
Figure 0007517510000025
(* represents a bond.)

ポリフェニレンエーテル系硬化剤は、誘電正接が低い硬化物を得る観点から、1分子あたり2個以上のビニルフェニル基を有することが好ましい。 In order to obtain a cured product with a low dielectric tangent, it is preferable that the polyphenylene ether curing agent has two or more vinyl phenyl groups per molecule.

ポリフェニレンエーテル系硬化剤は、誘電正接が低い硬化物を得る観点から、環状構造を有することが好ましい。環状構造としては、2価の環状基が好ましい。2価の環状基としては、脂環式構造を含む環状基及び芳香環構造を含む環状基のいずれであってもよい。また、2価の環状基は、複数有していてもよい。 The polyphenylene ether curing agent preferably has a cyclic structure from the viewpoint of obtaining a cured product with a low dielectric tangent. The cyclic structure is preferably a divalent cyclic group. The divalent cyclic group may be either a cyclic group containing an alicyclic structure or a cyclic group containing an aromatic ring structure. In addition, the polyphenylene ether curing agent may have a plurality of divalent cyclic groups.

2価の環状基は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは3員環以上、より好ましくは4員環以上、さらに好ましくは5員環以上であり、好ましくは20員環以下、より好ましくは15員環以下、さらに好ましくは10員環以下である。また、2価の環状基としては、単環構造であってもよく、多環構造であってもよい。 From the viewpoint of significantly obtaining the desired effect of the present invention, the divalent cyclic group is preferably a 3-membered ring or more, more preferably a 4-membered ring or more, and even more preferably a 5-membered ring or more, and is preferably a 20-membered ring or less, more preferably a 15-membered ring or less, and even more preferably a 10-membered ring or less. In addition, the divalent cyclic group may be a monocyclic structure or a polycyclic structure.

2価の環状基における環は、炭素原子以外にヘテロ原子により環の骨格が構成されていてもよい。ヘテロ原子としては、例えば、酸素原子、硫黄原子、窒素原子等が挙げられ、酸素原子が好ましい。ヘテロ原子は前記の環に1つ有していてもよく、2つ以上を有していてもよい。 The ring in the divalent cyclic group may have a ring skeleton formed by heteroatoms in addition to carbon atoms. Examples of heteroatoms include oxygen atoms, sulfur atoms, and nitrogen atoms, with oxygen atoms being preferred. The ring may have one heteroatom or two or more heteroatoms.

2価の環状基の具体例としては、下記の2価の基(i)又は(ii)が挙げられる。

Figure 0007517510000026
(2価の基(i)、(ii)中、R51、R52、R55、R56、R57、R61、及びR62は、それぞれ独立にハロゲン原子、炭素原子数が6以下のアルキル基、又はフェニル基を表し、R53、R54、R58、R59、及びR60は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、炭素原子数6以下のアルキル基、又はフェニル基を表す。) Specific examples of the divalent cyclic group include the following divalent groups (i) and (ii).
Figure 0007517510000026
(In the divalent groups (i) and (ii), R 51 , R 52 , R 55 , R 56 , R 57 , R 61 , and R 62 each independently represent a halogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group, and R 53 , R 54 , R 58 , R 59 , and R 60 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group.)

ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。炭素原子数が6以下のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等が挙げられ、メチル基であることが好ましい。R51、R52、R55、R56、R57、R61、及びR62としては、メチル基を表すことが好ましい。R53、R54、R58、R59、及びR60は、水素原子又はメチル基であることが好ましい。 Examples of halogen atoms include fluorine, chlorine, bromine, and iodine atoms. Examples of alkyl groups having 6 or less carbon atoms include methyl, ethyl, propyl, butyl, pentyl, and hexyl groups, and are preferably methyl. R 51 , R 52 , R 55 , R 56 , R 57 , R 61 , and R 62 are preferably methyl groups. R 53 , R 54 , R 58 , R 59 , and R 60 are preferably hydrogen atoms or methyl groups.

また、2価の環状基は、複数の2価の環状基を組み合わせてもよい。2価の環状基を組み合わせた場合の具体例としては、下記の式(D4)で表される2価の環状基が挙げられる。

Figure 0007517510000027
(式(D4)中、R71、R72、R75、R76、R77、R81、R82、R85及びR86は、それぞれ独立にハロゲン原子、炭素原子数が6以下のアルキル基、又はフェニル基を表し、R73、R74、R78、R79、R80、R83及びR84は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、炭素原子数6以下のアルキル基、又はフェニル基を表す。d1及びd2は、0~300の整数を表す。但し、d1及びd2の一方は0である場合を除く。) In addition, the divalent cyclic group may be a combination of a plurality of divalent cyclic groups. Specific examples of the combination of divalent cyclic groups include the divalent cyclic groups represented by the following formula (D4).
Figure 0007517510000027
(In formula (D4), R 71 , R 72 , R 75 , R 76 , R 77 , R 81 , R 82 , R 85 and R 86 each independently represent a halogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group; R 73 , R 74 , R 78 , R 79 , R 80 , R 83 and R 84 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group; d1 and d2 each independently represent an integer of 0 to 300, except for the case where one of d1 and d2 is 0.)

71、R72、R85及びR86は、式(i)中のR51と同じである。R73、R74、R83及びR84は、式(i)中のR53と同じである。R75、R76、R77、R81、及びR82は、式(ii)中のR55と同じである。R78、R79、及びR80は、式(ii)中のR58と同じである。 R 71 , R 72 , R 85 and R 86 are the same as R 51 in formula (i). R 73 , R 74 , R 83 and R 84 are the same as R 53 in formula (i). R 75 , R 76 , R 77 , R 81 and R 82 are the same as R 55 in formula (ii). R 78 , R 79 and R 80 are the same as R 58 in formula (ii).

d1及びd2は0~300の整数を表す。但し、d1及びd2の一方は0である場合を除く。d1及びd2としては、1~100の整数を表すことが好ましく、1~50の整数を表すことがより好ましく、1~10の整数を表すことがさらに好ましい。d1及びd2は同じであってもよく、異なっていてもよい。 d1 and d2 represent integers from 0 to 300, except when one of d1 and d2 is 0. d1 and d2 preferably represent integers from 1 to 100, more preferably from 1 to 50, and even more preferably from 1 to 10. d1 and d2 may be the same or different.

2価の環状基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、例えば、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アリールアルキル基、シリル基、アシル基、アシルオキシ基、カルボキシ基、スルホ基、シアノ基、ニトロ基、ヒドロキシ基、メルカプト基、オキソ基等が挙げられ、アルキル基が好ましい。 The divalent cyclic group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, an alkyl group, an alkoxy group, an aryl group, an arylalkyl group, a silyl group, an acyl group, an acyloxy group, a carboxy group, a sulfo group, a cyano group, a nitro group, a hydroxy group, a mercapto group, and an oxo group. An alkyl group is preferable.

ビニルフェニル基は、2価の環状基に直接結合していてもよく、2価の連結基を介して結合していてもよい。2価の連結基としては、例えば、アルキレン基、アルケニレン基、アリーレン基、ヘテロアリーレン基、-C(=O)O-、-O-、-NHC(=O)-、-NC(=O)N-、-NHC(=O)O-、-C(=O)-、-S-、-SO-、-NH-等が挙げられ、これらを複数組み合わせた基であってもよい。アルキレン基としては、炭素原子数1~10のアルキレン基が好ましく、炭素原子数1~6のアルキレン基がより好ましく、炭素原子数1~5のアルキレン基、又は炭素原子数1~4のアルキレン基がさらに好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよい。このようなアルキレン基としては、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ペンチレン基、へキシレン基、1,1-ジメチルエチレン基等が挙げられ、メチレン基、エチレン基、1,1-ジメチルエチレン基が好ましい。アルケニレン基としては、炭素原子数2~10のアルケニレン基が好ましく、炭素原子数2~6のアルケニレン基がより好ましく、炭素原子数2~5のアルケニレン基がさらに好ましい。アリーレン基、ヘテロアリーレン基としては、炭素原子数6~20のアリーレン基又はヘテロアリーレン基が好ましく、炭素原子数6~10のアリーレン基又はヘテロアリーレン基がより好ましい。2価の連結基としては、アルキレン基が好ましく、中でもメチレン基が好ましい。 The vinylphenyl group may be directly bonded to the divalent cyclic group, or may be bonded via a divalent linking group. Examples of the divalent linking group include alkylene groups, alkenylene groups, arylene groups, heteroarylene groups, -C(=O)O-, -O-, -NHC(=O)-, -NC(=O)N-, -NHC(=O)O-, -C(=O)-, -S-, -SO-, -NH-, and the like, and may be groups in which a plurality of these are combined. As the alkylene group, an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms is preferable, an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms is more preferable, an alkylene group having 1 to 5 carbon atoms, or an alkylene group having 1 to 4 carbon atoms is even more preferable. The alkylene group may be linear, branched, or cyclic. Examples of such alkylene groups include methylene, ethylene, propylene, butylene, pentylene, hexylene, and 1,1-dimethylethylene groups, with methylene, ethylene, and 1,1-dimethylethylene being preferred. As the alkenylene group, an alkenylene group having 2 to 10 carbon atoms is preferred, an alkenylene group having 2 to 6 carbon atoms is more preferred, and an alkenylene group having 2 to 5 carbon atoms is even more preferred. As the arylene group and heteroarylene group, an arylene group or heteroarylene group having 6 to 20 carbon atoms is preferred, and an arylene group or heteroarylene group having 6 to 10 carbon atoms is more preferred. As the divalent linking group, an alkylene group is preferred, with a methylene group being preferred.

ポリフェニレンエーテル系硬化剤は、下記式(D-10)で表されることが好ましい。

Figure 0007517510000028
(式(D-10)中、R91及びR92はそれぞれ独立に2価の連結基を表す。環B1は、2価の環状基を表す。) The polyphenylene ether-based curing agent is preferably represented by the following formula (D-10).
Figure 0007517510000028
(In formula (D-10), R 91 and R 92 each independently represent a divalent linking group. Ring B1 represents a divalent cyclic group.)

91及びR92はそれぞれ独立に2価の連結基を表す。2価の連結基としては、上記の2価の連結基と同様である。 R 91 and R 92 each independently represent a divalent linking group. The divalent linking group is the same as the divalent linking group described above.

環B1は、2価の環状基を表す。環B1としては、上記の2価の環状基と同様である。 Ring B1 represents a divalent cyclic group. Ring B1 is the same as the divalent cyclic group described above.

環B1は、置換基を有していてもよい。置換基としては、上記の2価の環状基が有していてもよい置換基と同様である。 Ring B1 may have a substituent. The substituent is the same as the substituent that the divalent cyclic group may have.

以下、ポリフェニレンエーテル系硬化剤の具体例を示すが、本発明はこれに限定されるものではない。

Figure 0007517510000029
(q1は、式(D4)中のd1と同じであり、q1は、式(D4)中のd2と同じである。) Specific examples of polyphenylene ether-based curing agents are shown below, but the present invention is not limited to these.
Figure 0007517510000029
(q1 is the same as d1 in formula (D4), and q1 is the same as d2 in formula (D4).)

ポリフェニレンエーテル系硬化剤は、市販品を用いてもよく、例えば、三菱ガス化学社製の「OPE-2St」等が挙げられる。ポリフェニレンエーテル系硬化剤は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 The polyphenylene ether-based hardener may be a commercially available product, such as "OPE-2St" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. One type of polyphenylene ether-based hardener may be used alone, or two or more types may be used in combination.

ポリフェニレンエーテル系硬化剤の数平均分子量は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは3000以下、より好ましくは2500以下、さらに好ましくは2000以下、1500以下である。下限は、好ましくは100以上、より好ましくは300以上、さらに好ましくは500以上、1000以上である。数平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)を使用して測定されるポリスチレン換算の数平均分子量である。 The number average molecular weight of the polyphenylene ether-based curing agent is preferably 3000 or less, more preferably 2500 or less, even more preferably 2000 or less, or 1500 or less, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention. The lower limit is preferably 100 or more, more preferably 300 or more, even more preferably 500 or more, or 1000 or more. The number average molecular weight is the number average molecular weight in terms of polystyrene measured using gel permeation chromatography (GPC).

(D)硬化剤の含有量は、本発明の効果を顕著に得る観点から、樹脂組成物中の不揮発成分100質量%とした場合、好ましくは1質量%以上、より好ましくは5質量%以上、さらに好ましくは10質量%以上であり、好ましくは25質量%以下、より好ましくは20質量%以下、さらに好ましくは15質量%以下である。 The content of (D) the curing agent is preferably 1% by mass or more, more preferably 5% by mass or more, and even more preferably 10% by mass or more, and is preferably 25% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, and even more preferably 15% by mass or less, based on 100% by mass of non-volatile components in the resin composition, in order to obtain a significant effect of the present invention.

(A)成分のエポキシ基数を1とした場合、(D)硬化剤の活性基数は、好ましくは0.1以上、より好ましくは0.2以上、更に好ましくは0.3以上であり、好ましくは2以下、より好ましくは1.8以下、更に好ましくは1.6以下、特に好ましくは1.4以下である。ここで、「(D)硬化剤の活性基数」とは、樹脂組成物中に存在する(D)硬化剤の不揮発成分の質量を活性基当量で除した値を全て合計した値である。(A)成分のエポキシ基数を1とした場合の(D)硬化剤の活性基数が前記範囲にあることにより、本発明の所望の効果を顕著に得ることができる。 When the number of epoxy groups in component (A) is taken as 1, the number of active groups in the (D) curing agent is preferably 0.1 or more, more preferably 0.2 or more, even more preferably 0.3 or more, and preferably 2 or less, more preferably 1.8 or less, even more preferably 1.6 or less, and particularly preferably 1.4 or less. Here, the "number of active groups in the (D) curing agent" refers to the total value obtained by dividing the mass of the non-volatile components of the (D) curing agent present in the resin composition by the active group equivalent. When the number of epoxy groups in component (A) is taken as 1, the desired effect of the present invention can be significantly obtained by having the number of active groups in the (D) curing agent within the above range.

<(E)硬化促進剤>
樹脂組成物は、上述した成分以外に、任意の成分として、更に、(E)成分として硬化促進剤を含有していてもよい。
<(E) Curing Accelerator>
In addition to the above-mentioned components, the resin composition may further contain, as an optional component, a curing accelerator as component (E).

(E)成分としては、例えば、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤、金属系硬化促進剤等が挙げられる。(E)成分は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of the (E) component include phosphorus-based curing accelerators, amine-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, guanidine-based curing accelerators, and metal-based curing accelerators. The (E) component may be used alone or in combination of two or more types.

リン系硬化促進剤としては、例えば、トリフェニルホスフィン、ホスホニウムボレート化合物、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、n-ブチルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩、(4-メチルフェニル)トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、ブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネート等が挙げられ、トリフェニルホスフィン、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩が好ましい。 Examples of phosphorus-based curing accelerators include triphenylphosphine, phosphonium borate compounds, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, n-butylphosphonium tetraphenylborate, tetrabutylphosphonium decanoate, (4-methylphenyl)triphenylphosphonium thiocyanate, tetraphenylphosphonium thiocyanate, butyltriphenylphosphonium thiocyanate, etc., with triphenylphosphine and tetrabutylphosphonium decanoate being preferred.

アミン系硬化促進剤としては、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミン等のトリアルキルアミン、4-ジメチルアミノピリジン、ベンジルジメチルアミン、2,4,6,-トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8-ジアザビシクロ(5,4,0)-ウンデセン等が挙げられ、4-ジメチルアミノピリジン、1,8-ジアザビシクロ(5,4,0)-ウンデセンが好ましい。 Examples of amine-based curing accelerators include trialkylamines such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine, benzyldimethylamine, 2,4,6-tris(dimethylaminomethyl)phenol, and 1,8-diazabicyclo(5,4,0)-undecene, with 4-dimethylaminopyridine and 1,8-diazabicyclo(5,4,0)-undecene being preferred.

イミダゾール系硬化促進剤としては、例えば、2-メチルイミダゾール、2-ウンデシルイミダゾール、2-ヘプタデシルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾール、1-シアノエチル-2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-ウンデシルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-エチル-4’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジンイソシアヌル酸付加物、2-フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール、2-フェニル-4-メチル-5-ヒドロキシメチルイミダゾール、2,3-ジヒドロ-1H-ピロロ[1,2-a]ベンズイミダゾール、1-ドデシル-2-メチル-3-ベンジルイミダゾリウムクロライド、2-メチルイミダゾリン、2-フェニルイミダゾリン等のイミダゾール化合物及びイミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体が挙げられ、2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾールが好ましい。 Examples of imidazole-based curing accelerators include 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4 -diamino-6-[2'-undecylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-ethyl-4'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl Examples of the imidazole compounds include 1-dodecyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2,3-dihydro-1H-pyrrolo[1,2-a]benzimidazole, 1-dodecyl-2-methyl-3-benzylimidazolium chloride, 2-methylimidazoline, 2-phenylimidazoline, and adducts of imidazole compounds and epoxy resins, with 2-ethyl-4-methylimidazole and 1-benzyl-2-phenylimidazole being preferred.

イミダゾール系硬化促進剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、三菱ケミカル社製の「P200-H50」等が挙げられる。 Commercially available imidazole curing accelerators may be used, such as "P200-H50" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.

グアニジン系硬化促進剤としては、例えば、ジシアンジアミド、1-メチルグアニジン、1-エチルグアニジン、1-シクロヘキシルグアニジン、1-フェニルグアニジン、1-(o-トリル)グアニジン、ジメチルグアニジン、ジフェニルグアニジン、トリメチルグアニジン、テトラメチルグアニジン、ペンタメチルグアニジン、1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、7-メチル-1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、1-メチルビグアニド、1-エチルビグアニド、1-n-ブチルビグアニド、1-n-オクタデシルビグアニド、1,1-ジメチルビグアニド、1,1-ジエチルビグアニド、1-シクロヘキシルビグアニド、1-アリルビグアニド、1-フェニルビグアニド、1-(o-トリル)ビグアニド等が挙げられ、ジシアンジアミド、1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エンが好ましい。 Examples of guanidine-based curing accelerators include dicyandiamide, 1-methylguanidine, 1-ethylguanidine, 1-cyclohexylguanidine, 1-phenylguanidine, 1-(o-tolyl)guanidine, dimethylguanidine, diphenylguanidine, trimethylguanidine, tetramethylguanidine, pentamethylguanidine, 1,5,7-triazabicyclo[4.4.0]dec-5-ene, 7-methyl-1,5,7-triazabicyclo[4.4.0]dec-5-ene, Examples include o[4.4.0]dec-5-ene, 1-methylbiguanide, 1-ethylbiguanide, 1-n-butylbiguanide, 1-n-octadecylbiguanide, 1,1-dimethylbiguanide, 1,1-diethylbiguanide, 1-cyclohexylbiguanide, 1-allylbiguanide, 1-phenylbiguanide, and 1-(o-tolyl)biguanide, and dicyandiamide and 1,5,7-triazabicyclo[4.4.0]dec-5-ene are preferred.

金属系硬化促進剤としては、例えば、コバルト、銅、亜鉛、鉄、ニッケル、マンガン、スズ等の金属の、有機金属錯体又は有機金属塩が挙げられる。有機金属錯体の具体例としては、コバルト(II)アセチルアセトナート、コバルト(III)アセチルアセトナート等の有機コバルト錯体、銅(II)アセチルアセトナート等の有機銅錯体、亜鉛(II)アセチルアセトナート等の有機亜鉛錯体、鉄(III)アセチルアセトナート等の有機鉄錯体、ニッケル(II)アセチルアセトナート等の有機ニッケル錯体、マンガン(II)アセチルアセトナート等の有機マンガン錯体等が挙げられる。有機金属塩としては、例えば、オクチル酸亜鉛、オクチル酸錫、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、ステアリン酸スズ、ステアリン酸亜鉛等が挙げられる。 Metal-based curing accelerators include, for example, organometallic complexes or organometallic salts of metals such as cobalt, copper, zinc, iron, nickel, manganese, and tin. Specific examples of organometallic complexes include organocobalt complexes such as cobalt (II) acetylacetonate and cobalt (III) acetylacetonate, organocopper complexes such as copper (II) acetylacetonate, organozinc complexes such as zinc (II) acetylacetonate, organoiron complexes such as iron (III) acetylacetonate, organonickel complexes such as nickel (II) acetylacetonate, and organomanganese complexes such as manganese (II) acetylacetonate. Organometallic salts include, for example, zinc octylate, tin octylate, zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin stearate, and zinc stearate.

(E)成分の含有量は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは0.01質量%以上、より好ましくは0.02質量%以上、さらに好ましくは0.03質量%以上であり、好ましくは1質量%以下、より好ましくは0.5質量%以下、さらに好ましくは0.1質量%以下である。 From the viewpoint of significantly achieving the desired effect of the present invention, the content of component (E) is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.02% by mass or more, and even more preferably 0.03% by mass or more, and is preferably 1% by mass or less, more preferably 0.5% by mass or less, and even more preferably 0.1% by mass or less, based on 100% by mass of non-volatile components in the resin composition.

<(F)その他の添加剤>
樹脂組成物は、上述した成分以外に、任意の成分として、更にその他の添加剤を含んでいてもよい。このような添加剤としては、例えば、熱可塑性樹脂、難燃剤、増粘剤、消泡剤、レベリング剤、密着性付与剤等の樹脂添加剤などが挙げられる。これらの添加剤は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。それぞれの含有量は当業者であれば適宜設定できる。
<(F) Other Additives>
The resin composition may further contain other additives as optional components in addition to the above-mentioned components. Examples of such additives include resin additives such as thermoplastic resins, flame retardants, thickeners, defoamers, leveling agents, and adhesion promoters. These additives may be used alone or in combination of two or more. The content of each additive can be appropriately set by a person skilled in the art.

本発明の樹脂組成物の調製方法は、特に限定されるものではなく、例えば、配合成分を、必要により溶媒等を添加し、回転ミキサーなどを用いて混合・分散する方法などが挙げられる。 The method for preparing the resin composition of the present invention is not particularly limited, and examples include a method in which the blending components are mixed and dispersed using a rotary mixer, etc., with the addition of a solvent, etc., as necessary.

<樹脂組成物の物性、用途>
樹脂組成物は、(A)成分及び(B)成分を含む。これにより、樹脂組成物を含む樹脂組成物層をラミネートした場合に生じるムラの発生を抑制できる。また、本発明では、通常、めっきピール強度、銅箔密着性、及びHAST後の銅箔密着性にも優れ、さらに、誘電特性が低く、算術平均粗さ(Ra)が低い硬化物を得ることもできる。
<Physical properties and applications of resin composition>
The resin composition includes the (A) component and the (B) component. This can suppress the occurrence of unevenness that occurs when a resin composition layer containing the resin composition is laminated. In addition, in the present invention, it is also possible to obtain a cured product that is usually excellent in plating peel strength, copper foil adhesion, and copper foil adhesion after HAST, and further has low dielectric properties and low arithmetic average roughness (Ra).

樹脂組成物は、樹脂組成物を含む樹脂組成物層をラミネートした場合にムラの発生を抑制できるという特性を示す。具体的には、後述する実施例に記載の方法に従って行う。このとき、通常はムラが全く観察されず、完全に均一な表面である。ラミネート後のムラの評価の詳細は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。 The resin composition exhibits the characteristic of being able to suppress the occurrence of unevenness when a resin composition layer containing the resin composition is laminated. Specifically, this is performed according to the method described in the Examples below. At this time, usually no unevenness is observed at all, resulting in a completely uniform surface. Details of the evaluation of unevenness after lamination can be measured according to the method described in the Examples below.

樹脂組成物を130℃で30分間、その後170℃で30分間熱硬化させた硬化物表面を粗化処理した後の粗化面は、通常、算術平均粗さ(Ra)が低いという特性を示す。よって、前記の硬化物は、算術平均粗さが低い絶縁層をもたらす。算術平均粗さとしては、好ましくは300nm以下、より好ましくは250nm以下、さらに好ましくは200nm以下である。一方、算術平均粗さの下限値は、30nm以上等とし得る。算術平均粗さ(Ra)の評価は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。 The resin composition is thermally cured at 130°C for 30 minutes, and then at 170°C for 30 minutes. The roughened surface of the cured product is then subjected to a roughening treatment. The roughened surface usually exhibits a low arithmetic mean roughness (Ra). Thus, the cured product provides an insulating layer with a low arithmetic mean roughness. The arithmetic mean roughness is preferably 300 nm or less, more preferably 250 nm or less, and even more preferably 200 nm or less. On the other hand, the lower limit of the arithmetic mean roughness may be 30 nm or more. The arithmetic mean roughness (Ra) can be measured according to the method described in the examples below.

樹脂組成物を190℃で90分間熱硬化させた硬化物は、通常、誘電特性(誘電正接)が低いという特性を示す。よって、前記硬化物は、誘電正接が低い絶縁層をもたらす。誘電正接は、好ましくは0.005以下、より好ましくは0.004以下、さらに好ましくは0.003以下である。誘電正接の下限値は、0.0001以上等とし得る。誘電正接の測定は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。 The cured product obtained by thermally curing the resin composition at 190°C for 90 minutes usually exhibits low dielectric properties (dielectric loss tangent). Thus, the cured product produces an insulating layer with a low dielectric loss tangent. The dielectric loss tangent is preferably 0.005 or less, more preferably 0.004 or less, and even more preferably 0.003 or less. The lower limit of the dielectric loss tangent may be 0.0001 or more. The dielectric loss tangent can be measured according to the method described in the examples below.

樹脂組成物を130℃で30分間、次に170℃で30分間、その後200℃で90分間熱硬化させた硬化物は、通常、めっきで形成された導体層(めっき導体層)との間のピール強度に優れるという特性を示す。よって、前記硬化物は、めっき導体層との間のピール強度に優れる絶縁層をもたらす。ピール強度は、好ましくは0.3kgf/cm以上、より好ましくは0.35kgf/cm以上、さらに好ましくは0.4kgf/cm以上である。ピール強度の上限値は、10kgf/cm以下等とし得る。めっき導体層のピール強度の測定は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。 The resin composition is thermally cured at 130°C for 30 minutes, then at 170°C for 30 minutes, and then at 200°C for 90 minutes, and the cured product usually exhibits the property of excellent peel strength between the resin composition and the conductor layer (plated conductor layer) formed by plating. Therefore, the cured product provides an insulating layer with excellent peel strength between the resin composition and the plated conductor layer. The peel strength is preferably 0.3 kgf/cm or more, more preferably 0.35 kgf/cm or more, and even more preferably 0.4 kgf/cm or more. The upper limit of the peel strength may be 10 kgf/cm or less. The peel strength of the plated conductor layer can be measured according to the method described in the examples below.

樹脂組成物を130℃で30分間、次に170℃で30分間、その後200℃で90分間熱硬化させた硬化物は、通常、銅箔との間のピール強度(銅箔密着性)に優れるという特性を示す。よって、前記硬化物は、銅箔との間のピール強度に優れる絶縁層をもたらす。ピール強度は、好ましくは0.3kgf/cm以上、より好ましくは0.4kgf/cm以上、さらに好ましくは0.5kgf/cm以上である。ピール強度の上限値は、10kgf/cm以下等とし得る。銅箔密着性の測定は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。 The resin composition is thermally cured at 130°C for 30 minutes, then at 170°C for 30 minutes, and then at 200°C for 90 minutes, and the cured product usually exhibits excellent peel strength (copper foil adhesion) between the resin composition and the copper foil. Therefore, the cured product provides an insulating layer with excellent peel strength between the resin composition and the copper foil. The peel strength is preferably 0.3 kgf/cm or more, more preferably 0.4 kgf/cm or more, and even more preferably 0.5 kgf/cm or more. The upper limit of the peel strength may be 10 kgf/cm or less. The copper foil adhesion can be measured according to the method described in the examples below.

樹脂組成物を130℃で30分間、その後170℃で30分間熱硬化させた硬化物は、通常、HAST試験(130℃、湿度85%RH、100時間)後の銅箔との間のピール強度(HAST後の銅箔密着性)に優れるという特性を示す。よって、前記硬化物は、銅箔との間のHAST後のピール強度に優れる絶縁層をもたらす。HAST後の銅箔密着性は、好ましくは0.15kgf/cm以上、より好ましくは0.2kgf/cm以上、さらに好ましくは0.25kgf/cm以上である。HAST後の銅箔密着性の上限値は、10kgf/cm以下等とし得る。HAST後の銅箔密着性の測定は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。 The resin composition is thermally cured at 130°C for 30 minutes and then at 170°C for 30 minutes. The cured product usually exhibits excellent peel strength (copper foil adhesion after HAST) between the resin composition and the copper foil after a HAST test (130°C, 85% RH, 100 hours). Therefore, the cured product provides an insulating layer with excellent peel strength between the resin composition and the copper foil after HAST. The copper foil adhesion after HAST is preferably 0.15 kgf/cm or more, more preferably 0.2 kgf/cm or more, and even more preferably 0.25 kgf/cm or more. The upper limit of the copper foil adhesion after HAST can be 10 kgf/cm or less. The copper foil adhesion after HAST can be measured according to the method described in the examples below.

本発明の樹脂組成物は、樹脂組成物を含む樹脂組成物層をラミネートした場合にムラの発生を抑制できる。したがって、本発明の樹脂組成物は、絶縁用途の樹脂組成物として好適に使用することができる。具体的には、絶縁層上に形成される導体層(再配線層を含む)を形成するための当該絶縁層を形成するための樹脂組成物(導体層を形成するための絶縁層形成用樹脂組成物)として好適に使用することができる。 The resin composition of the present invention can suppress the occurrence of unevenness when a resin composition layer containing the resin composition is laminated. Therefore, the resin composition of the present invention can be suitably used as a resin composition for insulation purposes. Specifically, it can be suitably used as a resin composition for forming an insulating layer (resin composition for forming an insulating layer for forming a conductor layer) to form a conductor layer (including a rewiring layer) formed on an insulating layer.

また、後述する多層プリント配線板において、多層プリント配線板の絶縁層を形成するための樹脂組成物(多層プリント配線板の絶縁層形成用樹脂組成物)、プリント配線板の層間絶縁層を形成するための樹脂組成物(プリント配線板の層間絶縁層形成用樹脂組成物)として好適に使用することができる。 In addition, in the multilayer printed wiring board described below, the resin composition can be suitably used as a resin composition for forming an insulating layer of a multilayer printed wiring board (resin composition for forming an insulating layer of a multilayer printed wiring board) and as a resin composition for forming an interlayer insulating layer of a printed wiring board (resin composition for forming an interlayer insulating layer of a printed wiring board).

また、例えば、以下の(1)~(6)工程を経て半導体チップパッケージが製造される場合、本発明の樹脂組成物は、再配線層を形成するための絶縁層としての再配線形成層用の樹脂組成物(再配線形成層形成用の樹脂組成物)、及び半導体チップを封止するための樹脂組成物(半導体チップ封止用の樹脂組成物)としても好適に使用することができる。半導体チップパッケージが製造される際、封止層上に更に再配線層を形成してもよい。
(1)基材に仮固定フィルムを積層する工程、
(2)半導体チップを、仮固定フィルム上に仮固定する工程、
(3)半導体チップ上に封止層を形成する工程、
(4)基材及び仮固定フィルムを半導体チップから剥離する工程、
(5)半導体チップの基材及び仮固定フィルムを剥離した面に、絶縁層としての再配線形成層を形成する工程、及び
(6)再配線形成層上に、導体層としての再配線層を形成する工程
Furthermore, for example, when a semiconductor chip package is manufactured through the following steps (1) to (6), the resin composition of the present invention can be suitably used as a resin composition for a rewiring formation layer serving as an insulating layer for forming a rewiring layer (resin composition for forming a rewiring formation layer) and as a resin composition for sealing a semiconductor chip (resin composition for sealing a semiconductor chip). When a semiconductor chip package is manufactured, a rewiring layer may be further formed on the sealing layer.
(1) A step of laminating a temporary fixing film on a substrate;
(2) A step of temporarily fixing a semiconductor chip on a temporary fixing film;
(3) forming an encapsulation layer on the semiconductor chip;
(4) peeling the substrate and the temporary fixing film from the semiconductor chip;
(5) forming a rewiring formation layer as an insulating layer on the surface of the semiconductor chip from which the base material and the temporary fixing film have been peeled off; and (6) forming a rewiring layer as a conductor layer on the rewiring formation layer.

[樹脂シート]
本発明の樹脂シートは、支持体と、該支持体上に設けられた、本発明の樹脂組成物で形成された樹脂組成物層を含む。
[Resin sheet]
The resin sheet of the present invention includes a support and a resin composition layer formed from the resin composition of the present invention provided on the support.

樹脂組成物層の厚さは、プリント配線板の薄型化、及び当該樹脂組成物の硬化物が薄膜であっても絶縁性に優れた硬化物を提供できるという観点から、好ましくは50μm以下、より好ましくは40μm以下、さらに好ましくは30μm以下である。樹脂組成物層の厚さの下限は、特に限定されないが、通常、5μm以上等とし得る。 The thickness of the resin composition layer is preferably 50 μm or less, more preferably 40 μm or less, and even more preferably 30 μm or less, from the viewpoint of making the printed wiring board thinner and being able to provide a cured product with excellent insulating properties even if the cured product of the resin composition is a thin film. The lower limit of the thickness of the resin composition layer is not particularly limited, but can usually be 5 μm or more.

支持体としては、例えば、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔、離型紙が挙げられ、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔が好ましい。 Examples of the support include films made of plastic materials, metal foils, and release paper, with films made of plastic materials and metal foils being preferred.

支持体としてプラスチック材料からなるフィルムを使用する場合、プラスチック材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(以下「PET」と略称することがある。)、ポリエチレンナフタレート(以下「PEN」と略称することがある。)等のポリエステル、ポリカーボネート(以下「PC」と略称することがある。)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリル、環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリエーテルサルファイド(PES)、ポリエーテルケトン、ポリイミド等が挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、安価なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。 When a film made of a plastic material is used as the support, examples of the plastic material include polyesters such as polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes abbreviated as "PET") and polyethylene naphthalate (hereinafter sometimes abbreviated as "PEN"), polycarbonate (hereinafter sometimes abbreviated as "PC"), acrylics such as polymethyl methacrylate (PMMA), cyclic polyolefins, triacetyl cellulose (TAC), polyether sulfide (PES), polyether ketone, polyimide, etc. Among these, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferred, and inexpensive polyethylene terephthalate is particularly preferred.

支持体として金属箔を使用する場合、金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられ、銅箔が好ましい。銅箔としては、銅の単金属からなる箔を用いてもよく、銅と他の金属(例えば、スズ、クロム、銀、マグネシウム、ニッケル、ジルコニウム、ケイ素、チタン等)との合金からなる箔を用いてもよい。 When a metal foil is used as the support, examples of the metal foil include copper foil and aluminum foil, with copper foil being preferred. As the copper foil, a foil made of a single metal, copper, or an alloy of copper and another metal (e.g., tin, chromium, silver, magnesium, nickel, zirconium, silicon, titanium, etc.) may be used.

支持体は、樹脂組成物層と接合する面にマット処理、コロナ処理、帯電防止処理を施してあってもよい。 The support may be subjected to a matte treatment, corona treatment, or antistatic treatment on the surface that is to be bonded to the resin composition layer.

また、支持体としては、樹脂組成物層と接合する面に離型層を有する離型層付き支持体を使用してもよい。離型層付き支持体の離型層に使用する離型剤としては、例えば、アルキド樹脂、ポリオレフィン樹脂、ウレタン樹脂、及びシリコーン樹脂からなる群から選択される1種以上の離型剤が挙げられる。離型層付き支持体は、市販品を用いてもよく、例えば、アルキド樹脂系離型剤を主成分とする離型層を有するPETフィルムである、リンテック社製の「SK-1」、「AL-5」、「AL-7」、東レ社製の「ルミラーT60」、帝人社製の「ピューレックス」、ユニチカ社製の「ユニピール」等が挙げられる。 As the support, a support with a release layer having a release layer on the surface to be bonded to the resin composition layer may be used. Examples of the release agent used in the release layer of the support with a release layer include one or more release agents selected from the group consisting of alkyd resins, polyolefin resins, urethane resins, and silicone resins. The support with a release layer may be a commercially available product, such as "SK-1", "AL-5", and "AL-7" manufactured by Lintec Corporation, "Lumirror T60" manufactured by Toray Industries, "Purex" manufactured by Teijin Limited, and "Unipeel" manufactured by Unitika Limited, which are PET films having a release layer mainly composed of an alkyd resin-based release agent.

支持体の厚みとしては、特に限定されないが、5μm~75μmの範囲が好ましく、10μm~60μmの範囲がより好ましい。なお、離型層付き支持体を使用する場合、離型層付き支持体全体の厚さが上記範囲であることが好ましい。 The thickness of the support is not particularly limited, but is preferably in the range of 5 μm to 75 μm, and more preferably in the range of 10 μm to 60 μm. When using a support with a release layer, it is preferable that the thickness of the entire support with the release layer is in the above range.

一実施形態において、樹脂シートは、さらに必要に応じて、その他の層を含んでいてもよい。斯かるその他の層としては、例えば、樹脂組成物層の支持体と接合していない面(即ち、支持体とは反対側の面)に設けられた、支持体に準じた保護フィルム等が挙げられる。保護フィルムの厚さは、特に限定されるものではないが、例えば、1μm~40μmである。保護フィルムを積層することにより、樹脂組成物層の表面へのゴミ等の付着やキズを抑制することができる。 In one embodiment, the resin sheet may further include other layers as necessary. Examples of such other layers include a protective film similar to the support provided on the surface of the resin composition layer that is not bonded to the support (i.e., the surface opposite the support). The thickness of the protective film is not particularly limited, but is, for example, 1 μm to 40 μm. By laminating the protective film, it is possible to suppress adhesion of dirt and the like and scratches on the surface of the resin composition layer.

樹脂シートは、例えば、有機溶剤に樹脂組成物を溶解した樹脂ワニスを調製し、この樹脂ワニスを、ダイコーター等を用いて支持体上に塗布し、更に乾燥させて樹脂組成物層を形成させることにより製造することができる。 The resin sheet can be produced, for example, by preparing a resin varnish by dissolving a resin composition in an organic solvent, applying this resin varnish onto a support using a die coater or the like, and then drying it to form a resin composition layer.

有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン(MEK)及びシクロヘキサノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びカルビトールアセテート等の酢酸エステル類;セロソルブ及びブチルカルビトール等のカルビトール類;トルエン及びキシレン等の芳香族炭化水素類;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド(DMAc)及びN-メチルピロリドン等のアミド系溶剤等を挙げることができる。有機溶剤は1種単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。 Examples of organic solvents include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone (MEK), and cyclohexanone; acetate esters such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and carbitol acetate; carbitols such as cellosolve and butyl carbitol; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; and amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide (DMAc), and N-methylpyrrolidone. The organic solvents may be used alone or in combination of two or more.

乾燥は、加熱、熱風吹きつけ等の公知の方法により実施してよい。乾燥条件は特に限定されないが、樹脂組成物層中の有機溶剤の含有量が10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。樹脂ワニス中の有機溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30質量%~60質量%の有機溶剤を含む樹脂ワニスを用いる場合、50℃~150℃で3分間~10分間乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成することができる。 Drying may be performed by known methods such as heating or blowing hot air. There are no particular limitations on the drying conditions, but drying is performed so that the content of organic solvent in the resin composition layer is 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. Although it varies depending on the boiling point of the organic solvent in the resin varnish, for example, when using a resin varnish containing 30% by mass to 60% by mass of organic solvent, the resin composition layer can be formed by drying at 50°C to 150°C for 3 to 10 minutes.

樹脂シートは、ロール状に巻きとって保存することが可能である。樹脂シートが保護フィルムを有する場合、保護フィルムを剥がすことによって使用可能となる。 The resin sheet can be stored in a roll. If the resin sheet has a protective film, it can be used by peeling off the protective film.

[プリント配線板]
本発明のプリント配線板は、本発明の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む。
[Printed wiring board]
The printed wiring board of the present invention includes an insulating layer formed from a cured product of the resin composition of the present invention.

プリント配線板は、例えば、上述の樹脂シートを用いて、下記(I)及び(II)の工程を含む方法により製造することができる。
(I)内層基板上に、樹脂シートの樹脂組成物層が内層基板と接合するように積層する工程
(II)樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する工程
The printed wiring board can be produced, for example, by using the above-mentioned resin sheet by a method including the following steps (I) and (II).
(I) a step of laminating the resin sheet on the inner layer substrate so that the resin composition layer of the resin sheet is bonded to the inner layer substrate; and (II) a step of thermally curing the resin composition layer to form an insulating layer.

工程(I)で用いる「内層基板」とは、プリント配線板の基板となる部材であって、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等が挙げられる。また、該基板は、その片面又は両面に導体層を有していてもよく、この導体層はパターン加工されていてもよい。基板の片面または両面に導体層(回路)が形成された内層基板は「内層回路基板」ということがある。またプリント配線板を製造する際に、さらに絶縁層及び/又は導体層が形成されるべき中間製造物も本発明でいう「内層基板」に含まれる。プリント配線板が部品内蔵回路板である場合、部品を内蔵した内層基板を使用し得る。 The "inner layer substrate" used in step (I) is a member that will be the substrate of the printed wiring board, and examples thereof include glass epoxy substrates, metal substrates, polyester substrates, polyimide substrates, BT resin substrates, and thermosetting polyphenylene ether substrates. The substrate may have a conductor layer on one or both sides, and the conductor layer may be patterned. An inner layer substrate having a conductor layer (circuit) formed on one or both sides of the substrate may be called an "inner layer circuit substrate." In addition, intermediate products on which an insulating layer and/or a conductor layer is to be formed during the manufacture of a printed wiring board are also included in the "inner layer substrate" of the present invention. When the printed wiring board is a component-embedded circuit board, an inner layer substrate with a component embedded therein may be used.

内層基板と樹脂シートの積層は、例えば、支持体側から樹脂シートを内層基板に加熱圧着することにより行うことができる。樹脂シートを内層基板に加熱圧着する部材(以下、「加熱圧着部材」ともいう。)としては、例えば、加熱された金属板(SUS鏡板等)又は金属ロール(SUSロール)等が挙げられる。なお、加熱圧着部材を樹脂シートに直接プレスするのではなく、内層基板の表面凹凸に樹脂シートが十分に追随するよう、耐熱ゴム等の弾性材を介してプレスするのが好ましい。 The lamination of the inner layer substrate and the resin sheet can be carried out, for example, by heat-pressing the resin sheet to the inner layer substrate from the support side. Examples of the member for heat-pressing the resin sheet to the inner layer substrate (hereinafter also referred to as the "heat-pressing member") include a heated metal plate (such as a SUS panel) or a metal roll (SUS roll). Note that rather than pressing the heat-pressing member directly onto the resin sheet, it is preferable to press it via an elastic material such as heat-resistant rubber so that the resin sheet can sufficiently follow the surface irregularities of the inner layer substrate.

内層基板と樹脂シートの積層は、真空ラミネート法により実施してよい。真空ラミネート法において、加熱圧着温度は、好ましくは60℃~160℃、より好ましくは80℃~140℃の範囲であり、加熱圧着圧力は、好ましくは0.098MPa~1.77MPa、より好ましくは0.29MPa~1.47MPaの範囲であり、加熱圧着時間は、好ましくは20秒間~400秒間、より好ましくは30秒間~300秒間の範囲である。積層は、好ましくは圧力26.7hPa以下の減圧条件下で実施する。 The lamination of the inner layer substrate and the resin sheet may be performed by a vacuum lamination method. In the vacuum lamination method, the heat-pressure bonding temperature is preferably in the range of 60°C to 160°C, more preferably in the range of 80°C to 140°C, the heat-pressure bonding pressure is preferably in the range of 0.098MPa to 1.77MPa, more preferably in the range of 0.29MPa to 1.47MPa, and the heat-pressure bonding time is preferably in the range of 20 seconds to 400 seconds, more preferably in the range of 30 seconds to 300 seconds. The lamination is preferably performed under reduced pressure conditions of a pressure of 26.7hPa or less.

積層は、市販の真空ラミネーターによって行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、名機製作所社製の真空加圧式ラミネーター、ニッコー・マテリアルズ社製のバキュームアップリケーター、バッチ式真空加圧ラミネーター等が挙げられる。 Lamination can be performed using a commercially available vacuum laminator. Examples of commercially available vacuum laminators include a vacuum pressure laminator manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd., a vacuum applicator manufactured by Nikko Materials Co., Ltd., and a batch-type vacuum pressure laminator.

積層の後に、常圧下(大気圧下)、例えば、加熱圧着部材を支持体側からプレスすることにより、積層された樹脂シートの平滑化処理を行ってもよい。平滑化処理のプレス条件は、上記積層の加熱圧着条件と同様の条件とすることができる。平滑化処理は、市販のラミネーターによって行うことができる。なお、積層と平滑化処理は、上記の市販の真空ラミネーターを用いて連続的に行ってもよい。 After lamination, the laminated resin sheets may be smoothed under normal pressure (atmospheric pressure), for example by pressing a heat-pressure bonding member from the support side. The pressing conditions for the smoothing treatment may be the same as the heat-pressure bonding conditions for the lamination. The smoothing treatment may be performed using a commercially available laminator. Note that lamination and smoothing treatment may be performed consecutively using the commercially available vacuum laminator.

支持体は、工程(I)と工程(II)の間に除去してもよく、工程(II)の後に除去してもよい。 The support may be removed between steps (I) and (II), or after step (II).

工程(II)において、樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する。樹脂組成物層の熱硬化条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常採用される条件を使用してよい。 In step (II), the resin composition layer is thermally cured to form an insulating layer. The thermal curing conditions for the resin composition layer are not particularly limited, and conditions that are typically used when forming an insulating layer for a printed wiring board may be used.

例えば、樹脂組成物層の熱硬化条件は、樹脂組成物の種類等によっても異なるが、硬化温度は好ましくは120℃~240℃、より好ましくは150℃~220℃、さらに好ましくは170℃~210℃である。硬化時間は好ましくは5分間~120分間、より好ましくは10分間~100分間、さらに好ましくは15分間~100分間とすることができる。 For example, the thermal curing conditions for the resin composition layer vary depending on the type of resin composition, but the curing temperature is preferably 120°C to 240°C, more preferably 150°C to 220°C, and even more preferably 170°C to 210°C. The curing time is preferably 5 minutes to 120 minutes, more preferably 10 minutes to 100 minutes, and even more preferably 15 minutes to 100 minutes.

樹脂組成物層を熱硬化させる前に、樹脂組成物層を硬化温度よりも低い温度にて予備加熱してもよい。例えば、樹脂組成物層を熱硬化させるのに先立ち、50℃以上120℃未満(好ましくは60℃以上115℃以下、より好ましくは70℃以上110℃以下)の温度にて、樹脂組成物層を5分間以上(好ましくは5分間~150分間、より好ましくは15分間~120分間、さらに好ましくは15分間~100分間)予備加熱してもよい。 Before the resin composition layer is thermally cured, the resin composition layer may be preheated at a temperature lower than the curing temperature. For example, prior to thermally curing the resin composition layer, the resin composition layer may be preheated for 5 minutes or more (preferably 5 minutes to 150 minutes, more preferably 15 minutes to 120 minutes, and even more preferably 15 minutes to 100 minutes) at a temperature of 50°C or more and less than 120°C (preferably 60°C or more and 115°C or less, and more preferably 70°C or more and 110°C or less).

プリント配線板を製造するに際しては、(III)絶縁層に穴あけする工程、(IV)絶縁層を粗化処理する工程、(V)導体層を形成する工程をさらに実施してもよい。これらの工程(III)乃至工程(V)は、プリント配線板の製造に用いられる、当業者に公知の各種方法に従って実施してよい。なお、支持体を工程(II)の後に除去する場合、該支持体の除去は、工程(II)と工程(III)との間、工程(III)と工程(IV)の間、又は工程(IV)と工程(V)との間に実施してよい。また、必要に応じて、工程(II)~工程(V)の絶縁層及び導体層の形成を繰り返して実施し、多層配線板を形成してもよい。 When manufacturing a printed wiring board, the steps of (III) drilling holes in the insulating layer, (IV) roughening the insulating layer, and (V) forming a conductor layer may be further carried out. These steps (III) to (V) may be carried out according to various methods known to those skilled in the art that are used in the manufacture of printed wiring boards. When the support is removed after step (II), the removal of the support may be carried out between steps (II) and (III), between steps (III) and (IV), or between steps (IV) and (V). Furthermore, the formation of the insulating layer and the conductor layer in steps (II) to (V) may be repeated as necessary to form a multilayer wiring board.

工程(III)は、絶縁層に穴あけする工程であり、これにより絶縁層にビアホール、スルーホール等のホールを形成することができる。工程(III)は、絶縁層の形成に使用した樹脂組成物の組成等に応じて、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等を使用して実施してよい。ホールの寸法や形状は、プリント配線板のデザインに応じて適宜決定してよい。 Step (III) is a step of drilling holes in the insulating layer, which allows holes such as via holes and through holes to be formed in the insulating layer. Step (III) may be performed using, for example, a drill, a laser, plasma, etc., depending on the composition of the resin composition used to form the insulating layer. The dimensions and shape of the holes may be appropriately determined depending on the design of the printed wiring board.

工程(IV)は、絶縁層を粗化処理する工程である。通常、この工程(IV)において、スミアの除去も行われる。粗化処理の手順、条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常使用される公知の手順、条件を採用することができる。例えば、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理、中和液による中和処理をこの順に実施して絶縁層を粗化処理することができる。粗化処理に用いる膨潤液としては特に限定されないが、アルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液であり、該アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液がより好ましい。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン社製の「スウェリング・ディップ・セキュリガンスP」、「スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU」、「スウェリングディップ・セキュリガントP」等が挙げられる。膨潤液による膨潤処理は、特に限定されないが、例えば、30℃~90℃の膨潤液に絶縁層を1分間~20分間浸漬することにより行うことができる。絶縁層の樹脂の膨潤を適度なレベルに抑える観点から、40℃~80℃の膨潤液に絶縁層を5分間~15分間浸漬させることが好ましい。粗化処理に用いる酸化剤としては、特に限定されないが、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウムや過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。アルカリ性過マンガン酸溶液等の酸化剤による粗化処理は、60℃~100℃に加熱した酸化剤溶液に絶縁層を10分間~30分間浸漬させて行うことが好ましい。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5質量%~10質量%が好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン社製の「コンセントレート・コンパクトCP」、「ドージングソリューション・セキュリガンスP」等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。また、粗化処理に用いる中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、例えば、アトテックジャパン社製の「リダクションソリューション・セキュリガントP」が挙げられる。中和液による処理は、酸化剤による粗化処理がなされた処理面を30℃~80℃の中和液に1分間~30分間浸漬させることにより行うことができる。作業性等の点から、酸化剤による粗化処理がなされた対象物を、40℃~70℃の中和液に5分間~20分間浸漬する方法が好ましい。 Step (IV) is a step of roughening the insulating layer. Usually, smears are also removed in this step (IV). The procedure and conditions of the roughening treatment are not particularly limited, and known procedures and conditions that are usually used when forming an insulating layer of a printed wiring board can be adopted. For example, the insulating layer can be roughened by performing a swelling treatment with a swelling liquid, a roughening treatment with an oxidizing agent, and a neutralization treatment with a neutralizing liquid in this order. The swelling liquid used for the roughening treatment is not particularly limited, but examples thereof include an alkaline solution, a surfactant solution, etc., and preferably an alkaline solution, and as the alkaline solution, a sodium hydroxide solution or a potassium hydroxide solution is more preferable. Examples of commercially available swelling liquids include "Swelling Dip Securigans P", "Swelling Dip Securigans SBU", and "Swelling Dip Securigant P" manufactured by Atotech Japan. The swelling treatment using the swelling liquid is not particularly limited, but can be performed by, for example, immersing the insulating layer in a swelling liquid at 30°C to 90°C for 1 to 20 minutes. From the viewpoint of suppressing the swelling of the resin of the insulating layer to an appropriate level, it is preferable to immerse the insulating layer in a swelling liquid at 40°C to 80°C for 5 to 15 minutes. The oxidizing agent used in the roughening treatment is not particularly limited, but examples thereof include an alkaline permanganate solution in which potassium permanganate or sodium permanganate is dissolved in an aqueous solution of sodium hydroxide. The roughening treatment using an oxidizing agent such as an alkaline permanganate solution is preferably performed by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution heated to 60°C to 100°C for 10 to 30 minutes. In addition, the concentration of the permanganate in the alkaline permanganate solution is preferably 5% by mass to 10% by mass. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganate solutions such as "Concentrate Compact CP" and "Dosing Solution Securiganth P" manufactured by Atotech Japan. In addition, an acidic aqueous solution is preferable as the neutralizing solution used for the roughening treatment, and an example of a commercially available product is "Reduction Solution Securiganth P" manufactured by Atotech Japan. Treatment with a neutralizing solution can be performed by immersing the treated surface that has been roughened with an oxidizing agent in a neutralizing solution at 30°C to 80°C for 1 to 30 minutes. From the viewpoint of workability, etc., a method in which the object that has been roughened with an oxidizing agent is immersed in a neutralizing solution at 40°C to 70°C for 5 to 20 minutes is preferable.

一実施形態において、粗化処理後の絶縁層表面の算術平均粗さ(Ra)は、好ましくは300nm以下、より好ましくは250nm以下、さらに好ましくは200nm以下である。下限については特に限定されないが、好ましくは30nm以上、より好ましくは40nm以上、さらに好ましくは50nm以上である。絶縁層表面の算術平均粗さ(Ra)は、非接触型表面粗さ計を用いて測定することができる。 In one embodiment, the arithmetic mean roughness (Ra) of the insulating layer surface after the roughening treatment is preferably 300 nm or less, more preferably 250 nm or less, and even more preferably 200 nm or less. There is no particular lower limit, but it is preferably 30 nm or more, more preferably 40 nm or more, and even more preferably 50 nm or more. The arithmetic mean roughness (Ra) of the insulating layer surface can be measured using a non-contact surface roughness meter.

工程(V)は、導体層を形成する工程であり、絶縁層上に導体層を形成する。導体層に使用する導体材料は特に限定されない。好適な実施形態では、導体層は、金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、コバルト、クロム、亜鉛、ニッケル、チタン、タングステン、鉄、スズ及びインジウムからなる群から選択される1種以上の金属を含む。導体層は、単金属層であっても合金層であってもよく、合金層としては、例えば、上記の群から選択される2種以上の金属の合金(例えば、ニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金及び銅・チタン合金)から形成された層が挙げられる。中でも、導体層形成の汎用性、コスト、パターニングの容易性等の観点から、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金、銅・チタン合金の合金層が好ましく、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層がより好ましく、銅の単金属層が更に好ましい。 Step (V) is a step of forming a conductor layer, and the conductor layer is formed on the insulating layer. The conductor material used for the conductor layer is not particularly limited. In a preferred embodiment, the conductor layer contains one or more metals selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, iron, tin and indium. The conductor layer may be a single metal layer or an alloy layer, and examples of the alloy layer include layers formed from alloys of two or more metals selected from the above group (e.g., nickel-chromium alloy, copper-nickel alloy and copper-titanium alloy). Among these, from the viewpoints of versatility in forming the conductor layer, cost, ease of patterning, etc., a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver, or copper, or an alloy layer of a nickel-chromium alloy, a copper-nickel alloy, or a copper-titanium alloy is preferred, a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver, or copper, or an alloy layer of a nickel-chromium alloy is more preferred, and a single metal layer of copper is even more preferred.

導体層は、単層構造であっても、異なる種類の金属若しくは合金からなる単金属層又は合金層が2層以上積層した複層構造であってもよい。導体層が複層構造である場合、絶縁層と接する層は、クロム、亜鉛若しくはチタンの単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層であることが好ましい。 The conductor layer may be a single-layer structure, or a multi-layer structure in which two or more single metal layers or alloy layers made of different types of metals or alloys are laminated. When the conductor layer has a multi-layer structure, the layer in contact with the insulating layer is preferably a single metal layer of chromium, zinc, or titanium, or an alloy layer of a nickel-chromium alloy.

導体層の厚さは、所望のプリント配線板のデザインによるが、一般に3μm~35μm、好ましくは5μm~30μmである。 The thickness of the conductor layer depends on the desired printed wiring board design, but is generally between 3 μm and 35 μm, preferably between 5 μm and 30 μm.

一実施形態において、導体層は、めっきにより形成してよい。例えば、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の従来公知の技術により絶縁層の表面にめっきして、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができ、製造の簡便性の観点から、セミアディティブ法により形成することが好ましい。以下、導体層をセミアディティブ法により形成する例を示す。 In one embodiment, the conductor layer may be formed by plating. For example, a conductor layer having a desired wiring pattern can be formed by plating the surface of the insulating layer using a conventionally known technique such as a semi-additive method or a full-additive method, and from the viewpoint of ease of production, it is preferable to form the conductor layer by a semi-additive method. Below, an example of forming the conductor layer by a semi-additive method is shown.

まず、絶縁層の表面に、無電解めっきによりめっきシード層を形成する。次いで、形成されためっきシード層上に、所望の配線パターンに対応してめっきシード層の一部を露出させるマスクパターンを形成する。露出しためっきシード層上に、電解めっきにより金属層を形成した後、マスクパターンを除去する。その後、不要なめっきシード層をエッチング等により除去して、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。 First, a plating seed layer is formed on the surface of the insulating layer by electroless plating. Next, a mask pattern is formed on the formed plating seed layer to expose a portion of the plating seed layer corresponding to the desired wiring pattern. A metal layer is formed on the exposed plating seed layer by electrolytic plating, and the mask pattern is then removed. Thereafter, unnecessary plating seed layer is removed by etching or the like, and a conductor layer having the desired wiring pattern can be formed.

[半導体装置]
本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板を含む。本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板を用いて製造することができる。
[Semiconductor device]
The semiconductor device of the present invention includes the printed wiring board of the present invention. The semiconductor device of the present invention can be manufactured using the printed wiring board of the present invention.

半導体装置としては、電気製品(例えば、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラ及びテレビ等)及び乗物(例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶及び航空機等)等に供される各種半導体装置が挙げられる。 Semiconductor devices include various semiconductor devices used in electrical appliances (e.g., computers, mobile phones, digital cameras, and televisions) and vehicles (e.g., motorcycles, automobiles, trains, ships, and aircraft).

本発明の半導体装置は、プリント配線板の導通箇所に、部品(半導体チップ)を実装することにより製造することができる。「導通箇所」とは、「プリント配線板における電気信号を伝える箇所」であって、その場所は表面であっても、埋め込まれた箇所であってもいずれでも構わない。また、半導体チップは半導体を材料とする電気回路素子であれば特に限定されない。 The semiconductor device of the present invention can be manufactured by mounting a component (semiconductor chip) on a conductive portion of a printed wiring board. A "conductive portion" is a portion of a printed wiring board that transmits an electrical signal, and the portion may be either on the surface or embedded. There are no particular limitations on the semiconductor chip, so long as it is an electrical circuit element made of semiconductor material.

半導体装置を製造する際の半導体チップの実装方法は、半導体チップが有効に機能しさえすれば、特に限定されないが、具体的には、ワイヤボンディング実装方法、フリップチップ実装方法、バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法、異方性導電フィルム(ACF)による実装方法、非導電性フィルム(NCF)による実装方法、等が挙げられる。ここで、「バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法」とは、「半導体チップをプリント配線板の凹部に直接埋め込み、半導体チップとプリント配線板上の配線とを接続させる実装方法」のことである。 The method of mounting semiconductor chips when manufacturing semiconductor devices is not particularly limited as long as the semiconductor chip functions effectively, but specific examples include wire bonding mounting, flip chip mounting, bumpless buildup layer (BBUL) mounting, anisotropic conductive film (ACF) mounting, non-conductive film (NCF) mounting, etc. Here, "bumpless buildup layer (BBUL) mounting" refers to "a mounting method in which a semiconductor chip is directly embedded in a recess in a printed wiring board and the semiconductor chip is connected to the wiring on the printed wiring board."

以下、実施例を用いて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、以下の記載において、別途明示のない限り、「部」及び「%」は「質量部」及び「質量%」をそれぞれ意味する。 The present invention will be described in more detail below using examples, but the present invention is not limited to these examples. In the following description, unless otherwise specified, "parts" and "%" mean "parts by mass" and "% by mass", respectively.

<合成例1:活性エステル化合物(B-1)の合成>
温度計、滴下ロート、冷却管、分留管、撹拌器を取り付けたフラスコに、2,7-ジヒドロキシナフタレン320g(2.0モル)、ベンジルアルコール184g(1.7モル)、パラトルエンスルホン酸・1水和物5.0gを仕込み、室温下、窒素を吹き込みながら撹拌した。その後、150℃に昇温し、生成する水を系外に留去しながら4時間攪拌した。反応終了後、メチルイソブチルケトン900g、20%水酸化ナトリウム水溶液5.4gを添加して中和した後、分液により水層を除去し、水280gで3回水洗を行い、メチルイソブチルケトンを減圧下除去してベンジル変性ナフタレン化合物(A-1)を460g得た。得られたベンジル変性ナフタレン化合物(A-1)は黒色固体であり、水酸基当量は180グラム/当量であった。
Synthesis Example 1: Synthesis of active ester compound (B-1)
In a flask equipped with a thermometer, a dropping funnel, a cooling tube, a fractionating tube, and a stirrer, 320 g (2.0 mol) of 2,7-dihydroxynaphthalene, 184 g (1.7 mol) of benzyl alcohol, and 5.0 g of paratoluenesulfonic acid monohydrate were charged, and stirred at room temperature while blowing in nitrogen. The temperature was then raised to 150°C, and the mixture was stirred for 4 hours while distilling off the water produced. After the reaction was completed, 900 g of methyl isobutyl ketone and 5.4 g of a 20% aqueous sodium hydroxide solution were added for neutralization, and the aqueous layer was removed by separation, and the mixture was washed three times with 280 g of water. The methyl isobutyl ketone was removed under reduced pressure to obtain 460 g of a benzyl-modified naphthalene compound (A-1). The obtained benzyl-modified naphthalene compound (A-1) was a black solid, and had a hydroxyl equivalent of 180 g/equivalent.

温度計、滴下ロート、冷却管、分留管、撹拌器を取り付けたフラスコに、イソフタル酸クロリド203.0g(酸クロリド基のモル数:2.0モル)とトルエン1400gを仕込み、系内を減圧窒素置換し溶解させた。次いで、オルトクレゾール72.4g(0.67モル)、ベンジル変性ナフタレン化合物(A-1)240g(フェノール性水酸基のモル数:1.33モル)を仕込み、系内を減圧窒素置換し溶解させた。その後、テトラブチルアンモニウムブロマイド0.70gを溶解させ、窒素ガスパージを施しながら、系内を60℃以下に制御して、20%水酸化ナトリウム水溶液400gを3時間かけて滴下した。次いでこの条件下で1.0時間撹拌を続けた。反応終了後、静置分液し、水層を取り除いた。更に反応物が溶解しているトルエン層に水を投入して15分間撹拌混合し、静置分液して水層を取り除いた。水層のpHが7になるまでこの操作を繰り返した。その後、デカンタ脱水で水分を除去し不揮発分65質量%のトルエン溶液状態にある活性エステル化合物(B-1)を得た。得られた活性エステル化合物(B-1)の活性エステル当量は、238g/eq.であった。 203.0g of isophthalic acid chloride (molar number of acid chloride groups: 2.0 mol) and 1400g of toluene were charged into a flask equipped with a thermometer, a dropping funnel, a cooling tube, a fractionating tube, and a stirrer, and the system was reduced in pressure and replaced with nitrogen to dissolve. Next, 72.4g (0.67 mol) of orthocresol and 240g of benzyl-modified naphthalene compound (A-1) (molar number of phenolic hydroxyl groups: 1.33 mol) were charged, and the system was reduced in pressure and replaced with nitrogen to dissolve. Then, 0.70g of tetrabutylammonium bromide was dissolved, and while applying a nitrogen gas purge, the system was controlled to 60°C or less, and 400g of 20% aqueous sodium hydroxide solution was dropped over 3 hours. Stirring was then continued under these conditions for 1.0 hour. After the reaction was completed, the mixture was left to stand and separated, and the aqueous layer was removed. Water was then added to the toluene layer in which the reactants were dissolved, and the mixture was stirred and mixed for 15 minutes, then allowed to stand and separated to remove the aqueous layer. This operation was repeated until the pH of the aqueous layer reached 7. Water was then removed by decanting to obtain an active ester compound (B-1) in a toluene solution state with a non-volatile content of 65% by mass. The active ester equivalent of the obtained active ester compound (B-1) was 238 g/eq.

<合成例2:活性エステル化合物(B-2)の合成>
温度計、滴下ロート、冷却管、分留管、撹拌器を取り付けたフラスコに、イソフタル酸クロリド203.0g(酸クロリド基のモル数:2.0モル)とトルエン1400gを仕込み、系内を減圧窒素置換し溶解させた。次いで、オルトフェニルフェノール113.9g(0.67モル)、ベンジル変性ナフタレン化合物(A-1)240g(フェノール性水酸基のモル数:1.33モル)を仕込み、系内を減圧窒素置換し溶解させた。その後、テトラブチルアンモニウムブロマイド0.70gを溶解させ、窒素ガスパージを施しながら、系内を60℃以下に制御して、20%水酸化ナトリウム水溶液400gを3時間かけて滴下した。次いでこの条件下で1.0時間撹拌を続けた。反応終了後、静置分液し、水層を取り除いた。更に反応物が溶解しているトルエン層に水を投入して15分間撹拌混合し、静置分液して水層を取り除いた。水層のpHが7になるまでこの操作を繰り返した。その後、デカンタ脱水で水分を除去し不揮発分65質量%のトルエン溶液状態にある活性エステル化合物(B-2)を得た。得られた活性エステル化合物(B-2)の活性エステル当量は、206g/eq.であった。
<Synthesis Example 2: Synthesis of active ester compound (B-2)>
In a flask equipped with a thermometer, a dropping funnel, a cooling tube, a fractionating tube, and a stirrer, 203.0 g of isophthalic acid chloride (molar number of acid chloride groups: 2.0 mol) and 1400 g of toluene were charged, and the system was purged with nitrogen under reduced pressure to dissolve. Next, 113.9 g (0.67 mol) of orthophenylphenol and 240 g of benzyl-modified naphthalene compound (A-1) (molar number of phenolic hydroxyl groups: 1.33 mol) were charged, and the system was purged with nitrogen under reduced pressure to dissolve. Thereafter, 0.70 g of tetrabutylammonium bromide was dissolved, and while purging with nitrogen gas, the system was controlled to 60°C or less, and 400 g of 20% aqueous sodium hydroxide solution was dropped over 3 hours. Then, stirring was continued under these conditions for 1.0 hour. After the reaction was completed, the mixture was left to stand for liquid separation, and the aqueous layer was removed. Further, water was added to the toluene layer in which the reactant was dissolved, and the mixture was stirred and mixed for 15 minutes, and then the mixture was allowed to stand and separated to remove the aqueous layer. This operation was repeated until the pH of the aqueous layer reached 7. Thereafter, water was removed by decanting to obtain an active ester compound (B-2) in the form of a toluene solution with a non-volatile content of 65% by mass. The active ester equivalent of the obtained active ester compound (B-2) was 206 g/eq.

<合成例3:活性エステル化合物(B-3)の合成>
温度計、滴下ロート、冷却管、分留管、撹拌器を取り付けたフラスコに、イソフタル酸クロリド203.0g(酸クロリド基のモル数:2.0モル)とトルエン1400gを仕込み、系内を減圧窒素置換し溶解させた。次いで、スチレン化フェノールフェノール132.7g(0.67モル)、ベンジル変性ナフタレン化合物(A-1)240g(フェノール性水酸基のモル数:1.33モル)を仕込み、系内を減圧窒素置換し溶解させた。その後、テトラブチルアンモニウムブロマイド0.70gを溶解させ、窒素ガスパージを施しながら、系内を60℃以下に制御して、20%水酸化ナトリウム水溶液400gを3時間かけて滴下した。次いでこの条件下で1.0時間撹拌を続けた。反応終了後、静置分液し、水層を取り除いた。更に反応物が溶解しているトルエン層に水を投入して15分間撹拌混合し、静置分液して水層を取り除いた。水層のpHが7になるまでこの操作を繰り返した。その後、デカンタ脱水で水分を除去し不揮発分65質量%のトルエン溶液状態にある活性エステル化合物(B-3)を得た。得られた活性エステル化合物(B-3)の活性エステル当量は、259g/eq.であった。
Synthesis Example 3: Synthesis of active ester compound (B-3)
In a flask equipped with a thermometer, a dropping funnel, a cooling tube, a fractionating tube, and a stirrer, 203.0 g of isophthalic acid chloride (molar number of acid chloride groups: 2.0 mol) and 1400 g of toluene were charged, and the system was substituted with nitrogen under reduced pressure to dissolve. Next, 132.7 g (0.67 mol) of styrenated phenol and 240 g of benzyl-modified naphthalene compound (A-1) (molar number of phenolic hydroxyl groups: 1.33 mol) were charged, and the system was substituted with nitrogen under reduced pressure to dissolve. Thereafter, 0.70 g of tetrabutylammonium bromide was dissolved, and while applying a nitrogen gas purge, the system was controlled to 60°C or less, and 400 g of 20% aqueous sodium hydroxide solution was dropped over 3 hours. Then, stirring was continued under these conditions for 1.0 hour. After the reaction was completed, the mixture was left to stand for liquid separation, and the aqueous layer was removed. Further, water was added to the toluene layer in which the reactant was dissolved, and the mixture was stirred and mixed for 15 minutes, and then the mixture was allowed to stand and separated to remove the aqueous layer. This operation was repeated until the pH of the aqueous layer reached 7. Thereafter, water was removed by decanting to obtain an active ester compound (B-3) in the form of a toluene solution with a non-volatile content of 65 mass %. The active ester equivalent of the obtained active ester compound (B-3) was 259 g/eq.

活性エステル化合物(B-1)~活性エステル化合物(B-3)の同定は以下のように行った。同定の結果、活性エステル化合物(B-1)は、一般式(b-3)中のAr31が式(1)で表される基を有し、活性エステル化合物(B-2)は、一般式(b-3)中のAr31が式(2)で表される基を有し、活性エステル化合物(B-3)は、一般式(b-3)中のAr31が式(3)で表される基(n=1~5)を有することがわかった。 The active ester compound (B-1) to the active ester compound (B-3) were identified as follows. As a result of the identification, it was found that in the active ester compound (B-1), Ar 31 in the general formula (b-3) has a group represented by formula (1), in the active ester compound (B-2), Ar 31 in the general formula (b-3) has a group represented by formula (2), and in the active ester compound (B-3), Ar 31 in the general formula (b-3) has a group represented by formula (3) (n = 1 to 5).

<実施例1:樹脂組成物1の調製>
(A)成分としてのエポキシ樹脂「ESN475V」(日鉄ケミカル&マテリアル社製、エポキシ当量:約330g/eq.)3部と、(A)成分としてのエポキシ樹脂「HP-4032-SS」(DIC社製、エポキシ当量:約144g/eq.)7部を、メチルエチルケトン(MEK)10部に溶解させ、エポキシ樹脂溶液Aを得た。
当該エポキシ樹脂溶液Aへ、(B)成分として活性エステル化合物(B-1)25部、(C)成分としての、アミン系アルコキシシラン化合物(信越化学工業社製「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.77μm、アドマテックス社製「SO-C2」)(以下、「無機充填材A」ともいう)65部、(E)成分としてのイミダゾール化合物「1B2PZ」(四国化成社製)0.2部を加え、高速回転ミキサーで均一に分散して樹脂ワニスAを調製した。
無機充填材Aの平均粒径は0.5μmであり、比表面積が5.9m/gであった。
<Example 1: Preparation of resin composition 1>
Epoxy resin solution A was obtained by dissolving 3 parts of an epoxy resin "ESN475V" (manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd., epoxy equivalent: approximately 330 g/eq.) as component (A) and 7 parts of an epoxy resin "HP-4032-SS" (manufactured by DIC Corporation, epoxy equivalent: approximately 144 g/eq.) as component (A) in 10 parts of methyl ethyl ketone (MEK).
To the epoxy resin solution A, 25 parts of an active ester compound (B-1) as the component (B), 65 parts of spherical silica (average particle size 0.77 μm, manufactured by Admatechs Co., Ltd. "SO-C2") (hereinafter also referred to as "inorganic filler A") surface-treated with an amine-based alkoxysilane compound (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM573") as the component (C) and 0.2 parts of an imidazole compound "1B2PZ" (manufactured by Shikoku Chemical Industry Co., Ltd.) as the component (E) were added, and the mixture was uniformly dispersed in a high-speed rotating mixer to prepare a resin varnish A.
The inorganic filler A had an average particle size of 0.5 μm and a specific surface area of 5.9 m 2 /g.

<実施例2:樹脂組成物2の調製>
実施例1において、活性エステル化合物(B-1)25部を、活性エステル化合物(B-2)25部に変えた。
以上の事項以外は実施例1と同様に樹脂組成物2を調製した。
<Example 2: Preparation of resin composition 2>
In Example 1, 25 parts of the active ester compound (B-1) was changed to 25 parts of the active ester compound (B-2).
Resin composition 2 was prepared in the same manner as in Example 1 except for the above.

<実施例3:樹脂組成物3の調製>
実施例1において、活性エステル化合物(B-1)25部を、活性エステル化合物(B-3)25部に変えた。
以上の事項以外は実施例1と同様に樹脂組成物3を調製した。
<Example 3: Preparation of resin composition 3>
In Example 1, 25 parts of the active ester compound (B-1) was changed to 25 parts of the active ester compound (B-3).
Resin composition 3 was prepared in the same manner as in Example 1 except for the above.

<実施例4:樹脂組成物4の調製>
実施例1において、
活性エステル化合物(B-1)の量を25部から22部に変え、
イミダゾール化合物(四国化成工業社製1B2PZ)の量を0.2部から0.02部に変え、
トリアジン含有クレゾールノボラック樹脂(DIC製「LA-3018-50P」、固形分50質量%のメトキシプロパノール溶液)2部、カルボジイミド系樹脂(日清紡ケミカル社製「V-03」、活性基当量約216、固形分50質量%のトルエン溶液)1部を用いた。
以上の事項以外は実施例1と同様に樹脂組成物4を調製した。
<Example 4: Preparation of resin composition 4>
In Example 1,
The amount of the active ester compound (B-1) was changed from 25 parts to 22 parts.
The amount of imidazole compound (1B2PZ manufactured by Shikoku Chemical Industry Co., Ltd.) was changed from 0.2 parts to 0.02 parts.
Two parts of a triazine-containing cresol novolak resin (DIC's "LA-3018-50P", a methoxypropanol solution with a solid content of 50% by mass) and one part of a carbodiimide resin (Nisshinbo Chemical's "V-03", active group equivalent of approximately 216, a toluene solution with a solid content of 50% by mass) were used.
Resin composition 4 was prepared in the same manner as in Example 1 except for the above.

<実施例5:樹脂組成物5の調製>
実施例2において、
活性エステル化合物(B-2)の量を25部から22部に変え、
イミダゾール化合物(四国化成工業社製1B2PZ)の量を0.2部から0.02部に変え、
トリアジン含有クレゾールノボラック樹脂(DIC製「LA-3018-50P」、固形分50質量%のメトキシプロパノール溶液)2部、カルボジイミド系樹脂(日清紡ケミカル社製「V-03」、活性基当量約216、固形分50質量%のトルエン溶液)1部を用いた。
以上の事項以外は実施例2と同様に樹脂組成物5を調製した。
Example 5: Preparation of resin composition 5
In Example 2,
The amount of the active ester compound (B-2) was changed from 25 parts to 22 parts.
The amount of imidazole compound (1B2PZ manufactured by Shikoku Chemical Industry Co., Ltd.) was changed from 0.2 parts to 0.02 parts.
Two parts of a triazine-containing cresol novolak resin (DIC's "LA-3018-50P", a methoxypropanol solution with a solid content of 50% by mass) and one part of a carbodiimide resin (Nisshinbo Chemical's "V-03", active group equivalent of approximately 216, a toluene solution with a solid content of 50% by mass) were used.
Resin composition 5 was prepared in the same manner as in Example 2 except for the above.

<実施例6:樹脂組成物6の調製>
実施例3において、
活性エステル化合物(B-3)の量を25部から22部に変え、
イミダゾール化合物(四国化成工業社製1B2PZ)の量を0.2部から0.02部に変え、
トリアジン含有クレゾールノボラック樹脂(DIC製「LA-3018-50P」、固形分50質量%のメトキシプロパノール溶液)2部、カルボジイミド系樹脂(日清紡ケミカル社製「V-03」、活性基当量約216、固形分50質量%のトルエン溶液)1部を用いた。
以上の事項以外は実施例3と同様に樹脂組成物6を調製した。
<Example 6: Preparation of resin composition 6>
In Example 3,
The amount of the active ester compound (B-3) was changed from 25 parts to 22 parts.
The amount of imidazole compound (1B2PZ manufactured by Shikoku Chemical Industry Co., Ltd.) was changed from 0.2 parts to 0.02 parts.
Two parts of a triazine-containing cresol novolak resin (DIC's "LA-3018-50P", a methoxypropanol solution with a solid content of 50% by mass) and one part of a carbodiimide resin (Nisshinbo Chemical's "V-03", active group equivalent of approximately 216, a toluene solution with a solid content of 50% by mass) were used.
Resin composition 6 was prepared in the same manner as in Example 3 except for the above.

<実施例7:樹脂組成物7の調製>
実施例1において、
活性エステル化合物(B-1)の量を25部から22部に変え、
イミダゾール化合物(四国化成工業社製1B2PZ)の量を0.2部から0.02部に変え、
トリアジン含有クレゾールノボラック樹脂(DIC製「LA-3018-50P」、固形分50質量%のメトキシプロパノール溶液)2部を用い、
ビニルベンジル樹脂(三菱瓦斯化学社製「OPE-2St」、固形分65質量%のトルエン溶液)2部を用いた。
以上の事項以外は実施例1と同様に樹脂組成物7を調製した。
<Example 7: Preparation of resin composition 7>
In Example 1,
The amount of the active ester compound (B-1) was changed from 25 parts to 22 parts.
The amount of imidazole compound (1B2PZ manufactured by Shikoku Chemical Industry Co., Ltd.) was changed from 0.2 parts to 0.02 parts.
Using 2 parts of triazine-containing cresol novolak resin (DIC "LA-3018-50P", a methoxypropanol solution with a solid content of 50% by mass),
Two parts of vinylbenzyl resin ("OPE-2St" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., a toluene solution with a solid content of 65% by mass) was used.
Resin composition 7 was prepared in the same manner as in Example 1 except for the above.

<実施例8:樹脂組成物8の調製>
実施例7において、
ビニルベンジル樹脂(三菱ガス化学社製「OPE-2St」、固形分65質量%のトルエン溶液)2部を、マレイミド樹脂(日本化薬社製「MIR-3000-70MT」、固形分70質量%のトルエン・MEK溶液)2部に変えた。
以上の事項以外は実施例7と同様に樹脂組成物8を調製した。
<Example 8: Preparation of resin composition 8>
In Example 7,
Two parts of vinylbenzyl resin ("OPE-2St" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc., a toluene solution having a solid content of 65% by mass) was changed to two parts of maleimide resin ("MIR-3000-70MT" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., a toluene/MEK solution having a solid content of 70% by mass).
Resin composition 8 was prepared in the same manner as in Example 7 except for the above.

<実施例9:樹脂組成物9の調製>
実施例7において、
ビニルベンジル樹脂(三菱ガス化学社製「OPE-2St」、固形分65質量%のトルエン溶液)2部を、マレイミド樹脂(DMI社製「BMI-689」)1部に変えた。
以上の事項以外は実施例7と同様に樹脂組成物9を調製した。
<Example 9: Preparation of resin composition 9>
In Example 7,
Two parts of vinylbenzyl resin ("OPE-2St" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc., a toluene solution with a solid content of 65% by mass) was changed to one part of maleimide resin ("BMI-689" manufactured by DMI Corporation).
Resin composition 9 was prepared in the same manner as in Example 7 except for the above.

<実施例10:樹脂組成物10の調製>
実施例7において、
ビニルベンジル樹脂(三菱ガス化学社製「OPE-2St」、固形分65質量%のトルエン溶液)2部を、マレイミド系樹脂(DMI社製「BMI-1500」)1部に変えた。
以上の事項以外は実施例7と同様に樹脂組成物10を調製した。
<Example 10: Preparation of resin composition 10>
In Example 7,
Two parts of vinylbenzyl resin ("OPE-2St" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc., a toluene solution with a solid content of 65% by mass) was changed to one part of maleimide resin ("BMI-1500" manufactured by DMI Corporation).
Resin composition 10 was prepared in the same manner as in Example 7 except for the above.

<比較例1:樹脂組成物11の調製>
実施例1において、活性エステル化合物(B-1)25部を、その他の硬化剤(活性エステル系硬化剤、DIC社製、「HPC8150-62T」、固形分62%のトルエン溶液)25部に変えた。
以上の事項以外は実施例1と同様に樹脂組成物11を調製した。
<Comparative Example 1: Preparation of Resin Composition 11>
In Example 1, 25 parts of the active ester compound (B-1) was changed to 25 parts of another curing agent (active ester curing agent, manufactured by DIC Corporation, "HPC8150-62T", a toluene solution with a solid content of 62%).
Resin composition 11 was prepared in the same manner as in Example 1 except for the above.

<比較例2:樹脂組成物12の調製>
実施例1において、活性エステル化合物(B-1)25部を、その他の硬化剤(活性エステル系硬化剤、DIC社製、「HPC8000-65T」、固形分65%のトルエン溶液)23部に変えた。
以上の事項以外は実施例1と同様に樹脂組成物12を調製した。
<Comparative Example 2: Preparation of Resin Composition 12>
In Example 1, 25 parts of the active ester compound (B-1) was changed to 23 parts of another curing agent (active ester curing agent, manufactured by DIC Corporation, "HPC8000-65T", a toluene solution with a solid content of 65%).
Resin composition 12 was prepared in the same manner as in Example 1 except for the above.

<比較例3:樹脂組成物13の調製>
実施例4において、活性エステル化合物(B-1)22部を、その他の硬化剤(活性エステル系硬化剤、DIC社製、「HPC8150-62T」、固形分62%のトルエン溶液22部に変えた。
以上の事項以外は実施例4と同様に樹脂組成物13を調製した。
Comparative Example 3: Preparation of Resin Composition 13
In Example 4, 22 parts of the active ester compound (B-1) was changed to 22 parts of another curing agent (active ester curing agent, manufactured by DIC Corporation, "HPC8150-62T", a toluene solution with a solid content of 62%).
Resin composition 13 was prepared in the same manner as in Example 4 except for the above.

<比較例4:樹脂組成物14の調製>
実施例3において、活性エステル化合物(B-2)22部を、その他の硬化剤(活性エステル系硬化剤、DIC社製、「HPC8000-65T」、固形分65%のトルエン溶液)21部に変えた。
以上の事項以外は実施例3と同様に樹脂組成物14を調製した。
<Comparative Example 4: Preparation of Resin Composition 14>
In Example 3, 22 parts of the active ester compound (B-2) was changed to 21 parts of another curing agent (active ester curing agent, manufactured by DIC Corporation, "HPC8000-65T", a toluene solution with a solid content of 65%).
Resin composition 14 was prepared in the same manner as in Example 3 except for the above.

<ラミネート後のムラの評価、算術平均粗さ、めっき導体層のピール強度の測定>
(1)樹脂組成物層の厚さが40μmの樹脂シートAの作製
支持体として、離型層を備えたポリエチレンテレフタレートフィルム(リンテック社製「AL5」、厚さ38μm)を用意した。この支持体の離型層上に、実施例及び比較例で得られた樹脂組成物を、乾燥後の樹脂組成物層の厚さが40μmとなるように均一に塗布した。その後、樹脂組成物を80℃~100℃(平均90℃)で4分間乾燥させて、支持体及び樹脂組成物層を含む樹脂シートAを得た。
<Evaluation of unevenness after lamination, arithmetic mean roughness, and measurement of peel strength of plated conductor layer>
(1) Preparation of resin sheet A having a resin composition layer thickness of 40 μm A polyethylene terephthalate film ("AL5" manufactured by Lintec Corporation, thickness 38 μm) equipped with a release layer was prepared as a support. The resin compositions obtained in the examples and comparative examples were uniformly applied onto the release layer of this support so that the thickness of the resin composition layer after drying was 40 μm. Thereafter, the resin composition was dried at 80° C. to 100° C. (average 90° C.) for 4 minutes to obtain a resin sheet A including a support and a resin composition layer.

(2)内層基板の用意
内層回路を形成したガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、基板の厚さ0.4mm、パナソニック社製「R1515A」)の両面をマイクロエッチング剤(メック社製「CZ8101」)にて1μmエッチングして銅表面の粗化処理を行った。
(2) Preparation of Inner Layer Board Both sides of a glass cloth-based epoxy resin double-sided copper-clad laminate (copper foil thickness 18 μm, board thickness 0.4 mm, Panasonic Corporation "R1515A") on which an inner layer circuit was formed was etched by 1 μm with a microetching agent (Mech Corporation "CZ8101") to roughen the copper surface.

(3)樹脂シートAのラミネート
バッチ式真空加圧ラミネーター(ニッコー・マテリアルズ社製、2ステージビルドアップラミネーター「CVP700」)を用いて、樹脂組成物層が内層基板と接するように、内層基板の両面にラミネートした。ラミネートは、30秒間減圧して気圧を13hPa以下に調整した後、120℃、圧力0.74MPaにて30秒間圧着させることにより実施した。次いで、100℃、圧力0.5MPaにて60秒間熱プレスを行った。
(3) Lamination of resin sheet A Using a batch type vacuum pressure laminator (two-stage build-up laminator "CVP700" manufactured by Nikko Materials Co., Ltd.), the resin composition layer was laminated on both sides of the inner layer substrate so that it was in contact with the inner layer substrate. The lamination was performed by reducing the pressure for 30 seconds to adjust the air pressure to 13 hPa or less, and then pressing at 120°C and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds. Next, a heat press was performed at 100°C and a pressure of 0.5 MPa for 60 seconds.

(4)樹脂組成物層の熱硬化
その後、樹脂シートAがラミネートされた内層基板を、130℃のオーブンに投入して30分間加熱し、次いで170℃のオーブンに移し替えて30分間加熱して、樹脂組成物層を熱硬化させて、絶縁層を形成した。その後、支持体を剥離して、絶縁層、内層基板及び絶縁層をこの順に有する硬化基板Aを得た。
(4) Thermal curing of resin composition layer The inner layer substrate laminated with resin sheet A was then placed in an oven at 130° C. and heated for 30 minutes, and then transferred to an oven at 170° C. and heated for 30 minutes to thermally cure the resin composition layer and form an insulating layer. The support was then peeled off to obtain a cured substrate A having the insulating layer, the inner layer substrate, and the insulating layer in this order.

(5)ラミネート後のムラの評価
硬化基板Aの両面について、樹脂シートAがラミネートされた部分(積層板とは反対側の表面)の表面均一性の観察を目視にて行い、下記のように評価した。
〇:ムラが全く観察されず、完全に均一な表面である。
×:樹脂シートがラミネートされた部分に、不均一な部分が観察される。
(5) Evaluation of Unevenness after Lamination The surface uniformity of the portions where the resin sheet A was laminated (the surfaces opposite the laminated plate) on both sides of the cured substrate A was visually observed and evaluated as follows.
◯: No unevenness was observed at all, and the surface was completely uniform.
×: Uneven areas were observed in the area where the resin sheet was laminated.

(6)粗化処理
硬化基板Aに、粗化処理としてのデスミア処理を行った。デスミア処理としては、下記の湿式デスミア処理を実施した。
(6) Roughening Treatment A desmear treatment was carried out as a roughening treatment on the cured substrate A. As the desmear treatment, the following wet desmear treatment was carried out.

(湿式デスミア処理)
硬化基板Aを、膨潤液(アトテックジャパン社製「スウェリング・ディップ・セキュリガントP」、ジエチレングリコールモノブチルエーテル及び水酸化ナトリウムの水溶液)に60℃で5分間浸漬し、次いで、酸化剤溶液(アトテックジャパン社製「コンセントレート・コンパクトCP」、過マンガン酸カリウム濃度約6%、水酸化ナトリウム濃度約4%の水溶液)に80℃で20分間浸漬した。次いで、中和液(アトテックジャパン社製「リダクションソリューション・セキュリガントP」、硫酸水溶液)に40℃で5分間浸漬した後、80℃で15分間乾燥した。
(Wet desmear treatment)
The cured substrate A was immersed in a swelling liquid (Atotech Japan's "Swelling Dip Securigant P", an aqueous solution of diethylene glycol monobutyl ether and sodium hydroxide) at 60° C. for 5 minutes, and then immersed in an oxidizing agent solution (Atotech Japan's "Concentrate Compact CP", an aqueous solution of potassium permanganate at about 6% and sodium hydroxide at about 4%) at 80° C. for 20 minutes. It was then immersed in a neutralizing liquid (Atotech Japan's "Reduction Solution Securigant P", an aqueous solution of sulfuric acid) at 40° C. for 5 minutes, and then dried at 80° C. for 15 minutes.

(7)粗化処理後の絶縁層表面の算術平均粗さ(Ra)の測定
粗化処理後の絶縁層表面の算術平均粗さ(Ra)を、非接触型表面粗さ計(ブルカー社製WYKO NT3300)を用いて、VSIモード、50倍レンズにより測定範囲を121μm×92μmとして得られる数値により求めた。それぞれ10点の平均値を求めることにより測定した。
(7) Measurement of arithmetic mean roughness (Ra) of insulating layer surface after roughening treatment The arithmetic mean roughness (Ra) of the insulating layer surface after roughening treatment was determined using a non-contact surface roughness meter (WYKO NT3300 manufactured by Bruker Corp.) in VSI mode with a 50x lens to obtain a measurement range of 121 μm×92 μm. The measurements were performed by calculating the average value of 10 points.

(8)導体層の形成
セミアディティブ法に従って、絶縁層の粗化面に導体層を形成した。すなわち、粗化処理後の基板を、PdClを含む無電解めっき液に40℃で5分間浸漬した後、無電解銅めっき液に25℃で20分間浸漬した。次いで、150℃にて30分間加熱してアニール処理を行った後に、エッチングレジストを形成し、エッチングによりパターン形成した。その後、硫酸銅電解めっきを行い、厚さ25μmの導体層を形成し、アニール処理を190℃にて60分間行った。得られた基板を「評価基板B」と称する。
(8) Formation of Conductive Layer According to the semi-additive method, a conductive layer was formed on the roughened surface of the insulating layer. That is, the substrate after the roughening treatment was immersed in an electroless plating solution containing PdCl2 at 40 ° C for 5 minutes, and then immersed in an electroless copper plating solution at 25 ° C for 20 minutes. Next, after heating at 150 ° C for 30 minutes and performing an annealing treatment, an etching resist was formed, and a pattern was formed by etching. Then, copper sulfate electrolytic plating was performed to form a conductive layer having a thickness of 25 μm, and an annealing treatment was performed at 190 ° C for 60 minutes. The obtained substrate is called "evaluation substrate B".

(9)めっき導体層のピール強度の測定
絶縁層と導体層のピール強度の測定は、日本工業規格(JIS C6481)に準拠して行った。具体的には、評価基板Bの導体層に、幅10mm、長さ100mmの部分の切込みをいれ、この一端を剥がしてつかみ具で掴み、室温中にて、50mm/分の速度で垂直方向に35mmを引き剥がした時の荷重(kgf/cm)を測定し、剥離強度を求めた。測定には、引っ張り試験機(TSE社製「AC-50C-SL」)を使用した。
(9) Measurement of peel strength of plated conductor layer The peel strength of the insulating layer and conductor layer was measured in accordance with the Japanese Industrial Standards (JIS C6481). Specifically, a cut was made in the conductor layer of evaluation board B, measuring 10 mm wide and 100 mm long, and one end of the cut was peeled off and held with a gripper. The load (kgf/cm) when 35 mm was peeled off in the vertical direction at a speed of 50 mm/min at room temperature was measured to determine the peel strength. A tensile tester ("AC-50C-SL" manufactured by TSE) was used for the measurement.

<誘電特性の評価>
誘電特性の評価は、誘電正接(Df)の値を測定することにより行った。具体的には、以下のようにして、評価用硬化物Bを作製し、誘電正接(Df)を測定した。
<Evaluation of dielectric properties>
The dielectric properties were evaluated by measuring the dielectric loss tangent (Df). Specifically, a cured product B for evaluation was prepared as follows, and the dielectric loss tangent (Df) was measured.

実施例及び比較例で得られた樹脂シートAを190℃のオーブンで90分硬化した。オーブンから取り出した樹脂シートAから支持体を剥がすことにより、樹脂組成物層の硬化物を得た。その硬化物を長さ80mm、幅2mmに切り出し評価用硬化物Bとした。 The resin sheet A obtained in the examples and comparative examples was cured in an oven at 190°C for 90 minutes. The support was peeled off from the resin sheet A taken out of the oven to obtain a cured resin composition layer. The cured product was cut into a length of 80 mm and a width of 2 mm to be used as cured product B for evaluation.

各評価用硬化物Bについて、アジレントテクノロジーズ(AgilentTechnologies)社製「HP8362B」を用いて、空洞共振摂動法により測定周波数5.8GHz、測定温度23℃にて、誘電正接の値(Df値)を測定した。2本の試験片にて測定を実施し、その平均を算出した。 For each evaluation cured product B, the dielectric tangent value (Df value) was measured by the cavity resonance perturbation method using an Agilent Technologies "HP8362B" at a measurement frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23°C. Measurements were performed on two test pieces, and the average was calculated.

<銅箔密着性(ピール強度)の測定>
(1)密着評価用基板の作製
内層基板として、表面に銅箔を有するガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、基板の厚さ0.8mm、パナソニック社製「R1515A」)を用意した。この内層基板の表面の銅箔を、すべてエッチングして除去した。その後、190℃にて30分乾燥を行った。
<Measurement of copper foil adhesion (peel strength)>
(1) Preparation of Adhesion Evaluation Substrate A glass cloth-based epoxy resin double-sided copper-clad laminate (copper foil thickness 18 μm, substrate thickness 0.8 mm, Panasonic "R1515A") was prepared as an inner layer substrate. The copper foil on the surface of this inner layer substrate was completely removed by etching. It was then dried at 190° C. for 30 minutes.

上述した実施例及び比較例で得た樹脂シートAを、バッチ式真空加圧ラミネーター(ニッコー・マテリアルズ社製、2ステージビルドアップラミネーター「CVP700」)を用いて、樹脂組成物層が前記の内層基板と接合するように、内層基板の両面にラミネートした。このラミネートは、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とした後、温度100℃、圧力0.74MPaにて30秒間圧着することにより、実施した。 The resin sheet A obtained in the above-mentioned examples and comparative examples was laminated on both sides of the inner layer substrate using a batch-type vacuum pressure laminator (two-stage build-up laminator "CVP700" manufactured by Nikko Materials Co., Ltd.) so that the resin composition layer was bonded to the inner layer substrate. This lamination was performed by reducing the pressure for 30 seconds to 13 hPa or less, and then pressing at a temperature of 100°C and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds.

次いで、ラミネートされた樹脂シートAを、大気圧下、100℃、圧力0.5MPaにて60秒間、熱プレスして平滑化した。その後、支持体を剥離して、樹脂組成物層、内層基板及び樹脂組成物層をこの順で含む「中間複層体I」を得た。 Next, the laminated resin sheet A was heat-pressed at atmospheric pressure at 100°C and a pressure of 0.5 MPa for 60 seconds to smooth it. The support was then peeled off to obtain an "intermediate laminate I" containing a resin composition layer, an inner layer substrate, and a resin composition layer in this order.

他方、光沢面を有する銅箔(厚み35μm、三井金属社製「3EC-III」)を用意した。この銅箔の光沢面を、マイクロエッチング剤(メック社製「CZ8101」)を用いて、銅エッチング量1μmにてエッチングして、粗化処理を行った。こうして得られた銅箔を「粗化銅箔」という。 On the other hand, copper foil with a shiny surface (thickness 35 μm, Mitsui Kinzoku Co., Ltd. "3EC-III") was prepared. The shiny surface of this copper foil was roughened by etching it with a microetching agent (Mec Co., Ltd. "CZ8101") with a copper etching amount of 1 μm. The copper foil obtained in this way is called "roughened copper foil."

この粗化銅箔を、当該粗化銅箔の粗化処理を施された面が中間複層体Iの樹脂組成物層に接合するように、中間複層体Iの両面にラミネートした。このラミネートは、前述した内層基板への樹脂シートのラミネートと同じ条件で行った。これにより、粗化銅箔、樹脂組成物層、内層基板、樹脂組成物層及び粗化銅箔をこの順で含む「中間複層体II」を得た。 This roughened copper foil was laminated to both sides of intermediate laminate I so that the roughened surface of the roughened copper foil was bonded to the resin composition layer of intermediate laminate I. This lamination was performed under the same conditions as the lamination of the resin sheet to the inner layer substrate described above. In this way, an "intermediate laminate II" was obtained that contained the roughened copper foil, resin composition layer, inner layer substrate, resin composition layer, and roughened copper foil in this order.

この中間複層体IIを、100℃のオーブンに投入して30分間加熱し、次いで170℃のオーブンに移し替えて30分間加熱した。次いで、中間複層体IIを、オーブンから室温雰囲気下に取り出した後、更に200℃のオーブンに投入して90分間追加で加熱した。これにより、樹脂組成物層の熱硬化が行われて、粗化銅箔、樹脂組成物層の硬化物としての絶縁層、内層基板、樹脂組成物層の硬化物としての絶縁層、及び、粗化銅箔をこの順で含む「評価基板C」を得た。この評価基板Cにおいて、粗化銅箔が、導体層に相当する。 This intermediate laminate II was placed in a 100°C oven and heated for 30 minutes, then transferred to a 170°C oven and heated for 30 minutes. Next, the intermediate laminate II was removed from the oven to room temperature and placed in a 200°C oven and heated for an additional 90 minutes. This resulted in thermal curing of the resin composition layer, and an "evaluation substrate C" was obtained that contained, in this order, the roughened copper foil, an insulating layer as a cured product of the resin composition layer, an inner layer substrate, an insulating layer as a cured product of the resin composition layer, and the roughened copper foil. In this evaluation substrate C, the roughened copper foil corresponds to the conductor layer.

(2)銅箔密着性(ピール強度)の測定
前記の評価基板Cを用いて、粗化銅箔と絶縁層との間のピール強度の測定を行った。このピール強度の測定は、JIS C6481に準拠して行った。具体的には、下記の操作によって、ピール強度の測定を行った。
(2) Measurement of Copper Foil Adhesion (Peel Strength) The peel strength between the roughened copper foil and the insulating layer was measured using the evaluation substrate C. This peel strength measurement was performed in accordance with JIS C6481. Specifically, the peel strength measurement was performed by the following procedure.

評価基板Cの粗化銅箔に、幅10mm、長さ100mmの矩形部分を囲む切込みをいれた。この矩形部分の一端を剥がして、つかみ具(ティー・エス・イー社製、オートコム型試験機「AC-50C-SL」)で掴んだ。前記矩形部分の長さ35mmの範囲を垂直方向に引き剥がし、この引き剥がし時の荷重(kgf/cm)を、ピール強度として測定した。前記の引き剥がしは、室温中にて、50mm/分の速度で行った。さらに、HAST試験(130℃、湿度85%RH、100時間)後に再度銅箔密着性(ピール強度)を測定した。 A cut was made in the roughened copper foil of evaluation board C, surrounding a rectangular portion 10 mm wide and 100 mm long. One end of this rectangular portion was peeled off and gripped with a gripping tool (Autocom type testing machine "AC-50C-SL" manufactured by TSE Corporation). A range of 35 mm in length of the rectangular portion was peeled off vertically, and the load (kgf/cm) at the time of peeling was measured as the peel strength. The peeling was performed at room temperature at a speed of 50 mm/min. Furthermore, the copper foil adhesion (peel strength) was measured again after the HAST test (130°C, humidity 85% RH, 100 hours).

Figure 0007517510000030
*表中、「(C)成分の含有量」は、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合の(C)成分の含有量を表す。
Figure 0007517510000030
*In the table, "Content of component (C)" represents the content of component (C) when the total amount of non-volatile components in the resin composition is 100 mass %.

実施例1~10において、(C)成分~(E)成分を含有しない場合であっても、程度に差はあるものの、上記実施例と同様の結果に帰着することを確認している。 In Examples 1 to 10, it has been confirmed that even when components (C) to (E) are not included, the results are similar to those of the above examples, although to a lesser extent.

Claims (8)

(A)エポキシ樹脂、
(B)下記一般式(b-)で表される活性エステル化合物、及び
(C)無機充填材
を含有する樹脂組成物であって、
(A)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、1質量%以上であり、
(C)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、50質量%以上であり、
当該樹脂組成物を190℃90分で硬化した硬化物の空洞共振摂動法による測定周波数5.8GHz、測定温度23℃における誘電正接の値が0.002以下である、樹脂組成物。
Figure 0007517510000031
(一般式(b-)中、
Ar 31 は、それぞれ独立に式(1)で表される基、式(2)で表される基、又は式(3)で表される基を表し、
Figure 0007517510000032
(式中、*は結合手を表す。式(3)中、nは1~5の整数を表す。
a2は1~6の整数を表し、c2は1~5の整数を表し、dはそれぞれ独立に0~6の整数を表す。)
(A) an epoxy resin,
(B) an active ester compound represented by the following general formula (b- 3 ), and (C) a resin composition containing an inorganic filler,
The content of the component (A) is 1% by mass or more when the total amount of non-volatile components in the resin composition is 100% by mass,
The content of the component (C) is 50% by mass or more, based on 100% by mass of the non-volatile components in the resin composition;
The resin composition is cured at 190°C for 90 minutes, and the cured product has a dielectric tangent value of 0.002 or less at a measurement frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23°C according to a cavity resonance perturbation method.
Figure 0007517510000031
(In general formula (b- 3 ),
Ar 31 each independently represents a group represented by formula (1), a group represented by formula (2), or a group represented by formula (3);
Figure 0007517510000032
(In the formula, * represents a bond. In formula (3), n represents an integer of 1 to 5. )
a2 represents an integer of 1 to 6, c2 represents an integer of 1 to 5, and each d independently represents an integer of 0 to 6 .
(A)エポキシ樹脂
B)下記一般式(b-)で表される活性エステル化合物、及び
(C)無機充填材を含有する樹脂組成物であって、
(A)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、1質量%以上であり、
(C)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、50質量%以上である、樹脂組成物
Figure 0007517510000033
(一般式(b-)中、
Ar 31 は、それぞれ独立に式(1)で表される基、式(2)で表される基、又は式(3)で表される基を表し、
Figure 0007517510000034
(式中、*は結合手を表す。式(3)中、nは1~5の整数を表す。)
a2は1~6の整数を表し、c2は1~5の整数を表し、dはそれぞれ独立に1~6の整数を表す。)
(A) an epoxy resin ,
( B) an active ester compound represented by the following general formula (b- 3 ) , and
(C) a resin composition containing an inorganic filler ,
The content of the component (A) is 1% by mass or more when the total amount of non-volatile components in the resin composition is 100% by mass,
A resin composition, wherein the content of the component (C) is 50% by mass or more, relative to 100% by mass of non-volatile components in the resin composition .
Figure 0007517510000033
(In general formula (b- 3 ),
Ar 31 each independently represents a group represented by formula (1), a group represented by formula (2) , or a group represented by formula (3) ;
Figure 0007517510000034
(In the formula, * represents a bond. In formula (3), n represents an integer of 1 to 5.)
a2 represents an integer of 1 to 6, c2 represents an integer of 1 to 5, and each d independently represents an integer of 1 to 6 .
絶縁層形成用である、請求項1又は2に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to claim 1 or 2 , which is for forming an insulating layer. 導体層を形成するための絶縁層形成用である、請求項1又は2に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to claim 1 or 2 , which is for forming an insulating layer for forming a conductor layer. 支持体と、該支持体上に設けられた、請求項1又は2に記載の樹脂組成物を含む樹脂組成物層とを含む、樹脂シート。 A resin sheet comprising: a support; and a resin composition layer provided on the support, the resin composition layer comprising the resin composition according to claim 1 or 2 . 請求項1又は2に記載の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む、プリント配線板。 A printed wiring board comprising an insulating layer formed from the cured product of the resin composition according to claim 1 or 2 . 請求項に記載のプリント配線板を含む、半導体装置。 A semiconductor device comprising the printed wiring board according to claim 6 . 下記一般式(b-)で表される活性エステル化合物。
Figure 0007517510000035
(一般式(b-)中、
Ar 31 は、それぞれ独立に式(1)で表される基、式(2)で表される基、又は式(3)で表される基を表し、
Figure 0007517510000036
(式中、*は結合手を表す。式(3)中、nは1~5の整数を表す。)
a2は1~6の整数を表し、c2は1~5の整数を表し、dはそれぞれ独立に1~6の整数を表す。)
An active ester compound represented by the following general formula (b- 3 ):
Figure 0007517510000035
(In general formula (b- 3 ),
Ar 31 each independently represents a group represented by formula (1), a group represented by formula (2) , or a group represented by formula (3) ;
Figure 0007517510000036
(In the formula, * represents a bond. In formula (3), n represents an integer of 1 to 5.)
a2 represents an integer of 1 to 6, c2 represents an integer of 1 to 5, and each d independently represents an integer of 1 to 6 .
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