JP7554859B2 - 観察装置および観察方法 - Google Patents
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Description
第2態様では、第1態様に加えて、干渉強度画像取得部は、複数の光照射方向それぞれに沿って光が照射された観察対象物の干渉強度画像を取得する。
第2態様では、第1態様に加えて、干渉強度画像取得部は、複数の光照射方向それぞれに沿って光が照射された観察対象物の干渉強度画像を取得する。
Claims (18)
- 複数の光照射方向それぞれに沿って光が照射された観察対象物の干渉強度画像を取得する干渉強度画像取得部と、
複数の光照射方向それぞれについて、前記干渉強度画像に基づいて、平面波の光が第1端面および第2端面のうちの何れか一方に入射して他方まで到達したときの光の第1複素振幅画像を生成する第1複素振幅画像生成部と、
複数の光照射方向それぞれの前記第1複素振幅画像に基づいて、前記第1端面から前記第1端面と前記第2端面との間の第1中間面までの区間の第1屈折率分布画像を生成する屈折率分布画像生成部と、
前記第1屈折率分布画像に基づいて、複数の光照射方向それぞれについて、平面波の光が前記第1端面に入射して前記第1中間面まで到達したときの光の第2複素振幅画像を生成する第2複素振幅画像生成部と、
複数の光照射方向それぞれの前記第1複素振幅画像に基づいてトランスミッション行列Tを生成するとともに、複数の光照射方向それぞれの前記第2複素振幅画像に基づいてトランスミッション行列T1を生成するトランスミッション行列生成部と、
前記トランスミッション行列Tと前記トランスミッション行列T1の逆行列との積に基づいて、複数の光照射方向それぞれについて、平面波の光が前記第1中間面に入射して前記第2端面に到達したときの光の第3複素振幅画像を生成する第3複素振幅画像生成部と、
を備える観察装置。 - 前記干渉強度画像取得部は、複数の光照射方向それぞれに沿って前記観察対象物に照射されて前記観察対象物を経た光と参照光との干渉による干渉強度画像を撮像した撮像部から、前記複数の光照射方向それぞれの前記干渉強度画像を取得する、
請求項1記載の観察装置。 - 前記干渉強度画像取得部は、複数の光照射方向それぞれに沿って前記観察対象物に照射されて前記観察対象物を経た光と、一定の照射方向に沿って前記観察対象物に照射されて前記観察対象物を経た光と、の干渉による干渉強度画像を取得する、
請求項1に記載の観察装置。 - 前記屈折率分布画像生成部は、複数の光照射方向それぞれの前記第3複素振幅画像に基づいて、前記第1中間面から前記第2端面での区間の屈折率分布画像を生成する、
請求項1~3いずれか一項に記載の観察装置。 - 前記屈折率分布画像生成部は、複数の光照射方向それぞれの前記第3複素振幅画像に基づいて、前記第1中間面から前記第1中間面と前記第2端面との間の第2中間面までの区間の第2屈折率分布画像を生成し、
前記第2複素振幅画像生成部は、前記第2屈折率分布画像に基づいて、複数の光照射方向それぞれについて、平面波の光が前記第1中間面に入射して前記第2中間面まで到達したときの光の第4複素振幅画像を生成し、
前記トランスミッション行列生成部は、複数の光照射方向それぞれの前記第3複素振幅画像に基づいてトランスミッション行列T32を生成するとともに、複数の光照射方向それぞれの前記第4複素振幅画像に基づいてトランスミッション行列T2を生成し、
前記第3複素振幅画像生成部は、前記トランスミッション行列T32と前記トランスミッション行列T2の逆行列との積に基づいて、複数の光照射方向それぞれについて、平面波の光が前記第2中間面に入射して前記第2端面に到達したときの光の第5複素振幅画像を生成する、
請求項1~3いずれか一項に記載の観察装置。 - 前記屈折率分布画像生成部は、複数の光照射方向それぞれの前記第3複素振幅画像に基づいて、前記第1中間面から前記第1中間面と前記第2端面との間の第2中間面までの区間の第2屈折率分布画像を生成し、
前記第2複素振幅画像生成部は、前記第2屈折率分布画像に基づいて、複数の光照射方向それぞれについて、前記第2複素振幅画像で表される光が前記第1中間面に入射して前記第2中間面まで到達したときの光の第6複素振幅画像を生成し、
前記トランスミッション行列生成部は、複数の光照射方向それぞれの前記第6複素振幅画像に基づいてトランスミッション行列T21を生成し、
前記第3複素振幅画像生成部は、前記トランスミッション行列Tと前記トランスミッション行列T21の逆行列との積に基づいて、複数の光照射方向それぞれについて、平面波の光が前記第2中間面に入射して前記第2端面に到達したときの光の第7複素振幅画像を生成する、
請求項1~3いずれか一項に記載の観察装置。 - 前記干渉強度画像取得部は、第1期間および第2期間それぞれにおいて複数の光照射方向それぞれの前記干渉強度画像を取得し、
前記第1複素振幅画像生成部は、前記第1期間および前記第2期間それぞれについて、複数の光照射方向それぞれの前記干渉強度画像に基づいて、複数の光照射方向それぞれの前記第1複素振幅画像を生成し、
前記屈折率分布画像生成部は、前記第1期間の複数の光照射方向それぞれの前記第1複素振幅画像に基づいて、前記第1屈折率分布画像を生成し、
前記第2複素振幅画像生成部は、前記第1屈折率分布画像に基づいて、複数の光照射方向それぞれの前記第2複素振幅画像を生成し、
前記トランスミッション行列生成部は、前記第2期間の複数の光照射方向それぞれの前記第1複素振幅画像に基づいてトランスミッション行列Tを生成するとともに、前記第1期間の複数の光照射方向それぞれの前記第2複素振幅画像に基づいてトランスミッション行列T1を生成し、
前記第3複素振幅画像生成部は、前記第2期間のトランスミッション行列Tと前記第1期間のトランスミッション行列T1の逆行列との積に基づいて、複数の光照射方向それぞれの前記第3複素振幅画像を生成する、
請求項1~3いずれか一項に記載の観察装置。 - 前記干渉強度画像取得部は、波数空間において光照射方向を表す波数ベクトルの位置が離散的かつ周期的に分布する前記複数の光照射方向それぞれに沿って光が観察対象物に照射されたときに前記干渉強度画像を撮像した撮像部から、前記複数の光照射方向それぞれの前記干渉強度画像を取得し、
前記第3複素振幅画像生成部は、前記複数の光照射方向それぞれの波数ベクトルの前記波数空間における位置の周期的分布に基づいて区分される複数の領域それぞれにおいて前記トランスミッション行列Tと前記トランスミッション行列T1の逆行列との積を求め、これら複数の領域それぞれの前記積に基づいて複数の光照射方向それぞれの前記第3複素振幅画像を生成する、
請求項2に記載の観察装置。 - 複数の光照射方向それぞれに沿って光が照射された観察対象物の干渉強度画像を取得する干渉強度画像取得ステップと、
複数の光照射方向それぞれについて、前記干渉強度画像に基づいて、平面波の光が第1端面および第2端面のうちの何れか一方に入射して他方まで到達したときの光の第1複素振幅画像を生成する第1複素振幅画像生成ステップと、
複数の光照射方向それぞれの前記第1複素振幅画像に基づいて、前記第1端面から前記第1端面と前記第2端面との間の第1中間面までの区間の第1屈折率分布画像を生成する屈折率分布画像生成ステップと、
前記第1屈折率分布画像に基づいて、複数の光照射方向それぞれについて、平面波の光が前記第1端面に入射して前記第1中間面まで到達したときの光の第2複素振幅画像を生成する第2複素振幅画像生成ステップと、
複数の光照射方向それぞれの前記第1複素振幅画像に基づいてトランスミッション行列Tを生成するとともに、複数の光照射方向それぞれの前記第2複素振幅画像に基づいてトランスミッション行列T1を生成するトランスミッション行列生成ステップと、
前記トランスミッション行列Tと前記トランスミッション行列T1の逆行列との積に基づいて、複数の光照射方向それぞれについて、平面波の光が前記第1中間面に入射して前記第2端面に到達したときの光の第3複素振幅画像を生成する第3複素振幅画像生成ステップと、
を備える観察方法。 - 前記干渉強度画像取得ステップにおいて、複数の光照射方向それぞれに沿って観察対象物に照射されて前記観察対象物を経た光と参照光との干渉による干渉強度画像を撮像した撮像部から、前記複数の光照射方向それぞれの前記干渉強度画像を取得する、
請求項9記載の観察方法。 - 前記干渉強度画像取得ステップにおいて、複数の光照射方向それぞれに沿って前記観察対象物に照射されて前記観察対象物を経た光と、一定の照射方向に沿って前記観察対象物に照射されて前記観察対象物を経た光と、の干渉による干渉強度画像を取得する、
請求項9に記載の観察方法。 - 前記屈折率分布画像生成ステップにおいて、複数の光照射方向それぞれの前記第3複素振幅画像に基づいて、前記第1中間面から前記第2端面での区間の屈折率分布画像を生成する、
請求項9に記載の観察方法。 - 前記屈折率分布画像生成ステップにおいて、複数の光照射方向それぞれの前記第3複素振幅画像に基づいて、前記第1中間面から前記第1中間面と前記第2端面との間の第2中間面までの区間の第2屈折率分布画像を生成し、
前記第2複素振幅画像生成ステップにおいて、前記第2屈折率分布画像に基づいて、複数の光照射方向それぞれについて、平面波の光が前記第1中間面に入射して前記第2中間面まで到達したときの光の第4複素振幅画像を生成し、
前記トランスミッション行列生成ステップにおいて、複数の光照射方向それぞれの前記第3複素振幅画像に基づいてトランスミッション行列T32を生成するとともに、複数の光照射方向それぞれの前記第4複素振幅画像に基づいてトランスミッション行列T2を生成し、
前記第3複素振幅画像生成ステップにおいて、前記トランスミッション行列T32と前記トランスミッション行列T2の逆行列との積に基づいて、複数の光照射方向それぞれについて、平面波の光が前記第2中間面に入射して前記第2端面に到達したときの光の第5複素振幅画像を生成する、
請求項9に記載の観察方法。 - 前記屈折率分布画像生成ステップにおいて、複数の光照射方向それぞれの前記第3複素振幅画像に基づいて、前記第1中間面から前記第1中間面と前記第2端面との間の第2中間面までの区間の第2屈折率分布画像を生成し、
前記第2複素振幅画像生成ステップにおいて、前記第2屈折率分布画像に基づいて、複数の光照射方向それぞれについて、前記第2複素振幅画像で表される光が前記第1中間面に入射して前記第2中間面まで到達したときの光の第6複素振幅画像を生成し、
前記トランスミッション行列生成ステップにおいて、複数の光照射方向それぞれの前記第6複素振幅画像に基づいてトランスミッション行列T21を生成し、
前記第3複素振幅画像生成ステップにおいて、前記トランスミッション行列Tと前記トランスミッション行列T21の逆行列との積に基づいて、複数の光照射方向それぞれについて、平面波の光が前記第2中間面に入射して前記第2端面に到達したときの光の第7複素振幅画像を生成する、
請求項9に記載の観察方法。 - 前記干渉強度画像取得ステップにおいて、第1期間および第2期間それぞれにおいて複数の光照射方向それぞれの前記干渉強度画像を取得し、
前記第1複素振幅画像生成ステップにおいて、前記第1期間および前記第2期間それぞれについて、複数の光照射方向それぞれの前記干渉強度画像に基づいて、複数の光照射方向それぞれの前記第1複素振幅画像を生成し、
前記屈折率分布画像生成ステップにおいて、前記第1期間の複数の光照射方向それぞれの前記第1複素振幅画像に基づいて、前記第1屈折率分布画像を生成し、
前記第2複素振幅画像生成ステップにおいて、前記第1屈折率分布画像に基づいて、複数の光照射方向それぞれの前記第2複素振幅画像を生成し、
前記トランスミッション行列生成ステップにおいて、前記第2期間の複数の光照射方向それぞれの前記第1複素振幅画像に基づいてトランスミッション行列Tを生成するとともに、前記第1期間の複数の光照射方向それぞれの前記第2複素振幅画像に基づいてトランスミッション行列T1を生成し、
前記第3複素振幅画像生成ステップにおいて、前記第2期間のトランスミッション行列Tと前記第1期間のトランスミッション行列T1の逆行列との積に基づいて、複数の光照射方向それぞれの前記第3複素振幅画像を生成する、
請求項9に記載の観察方法。 - 前記干渉強度画像取得ステップにおいて、波数空間において光照射方向を表す波数ベクトルの位置が離散的かつ周期的に分布する前記複数の光照射方向それぞれに沿って光が観察対象物に照射されたときに前記干渉強度画像を撮像した撮像部から、前記複数の光照射方向それぞれの前記干渉強度画像を取得し、
前記第3複素振幅画像生成ステップにおいて、前記複数の光照射方向それぞれの波数ベクトルの前記波数空間における位置の周期的分布に基づいて区分される複数の領域それぞれにおいて前記トランスミッション行列Tと前記トランスミッション行列T1の逆行列との積を求め、これら複数の領域それぞれの前記積に基づいて複数の光照射方向それぞれの前記第3複素振幅画像を生成する、
請求項10に記載の観察方法。 - 請求項9~16の何れか1項に記載の観察方法の各ステップをコンピュータに実行させるためのプログラム。
- 請求項17に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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