JP7548468B2

JP7548468B2 - Sensors

Info

Publication number: JP7548468B2
Application number: JP2024506031A
Authority: JP
Inventors: 克己大西
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2022-03-09
Filing date: 2023-02-21
Publication date: 2024-09-10
Anticipated expiration: 2043-02-21
Also published as: WO2023171354A1; CN118829855A; JPWO2023171354A1

Description

本発明は、被測定物の変形を検知するセンサに関する。 The present invention relates to a sensor that detects deformation of an object to be measured.

従来のセンサに関する発明としては、例えば、特許文献１に記載の変位センサが知られている。この変位センサは、弾性体及び平膜型圧電素子を備えている。平膜型圧電素子は、弾性体の第１主面に取り付けられる。また、平膜型圧電素子は、圧電性シートを含み、圧電性シートの両面に電極が形成された構造を有している。この変位センサは、接着部材により被測定物に取り付けられ、被測定物の変形を検知する。 As an example of an invention relating to a conventional sensor, the displacement sensor described in Patent Document 1 is known. This displacement sensor comprises an elastic body and a flat membrane type piezoelectric element. The flat membrane type piezoelectric element is attached to a first main surface of the elastic body. The flat membrane type piezoelectric element also includes a piezoelectric sheet, and has a structure in which electrodes are formed on both sides of the piezoelectric sheet. This displacement sensor is attached to the object to be measured by an adhesive member, and detects deformation of the object to be measured.

国際公開第２０１２／１３７８９７号International Publication No. 2012/137897

ところで、特許文献１に記載の変位センサにおいて、被測定物の変形を検知する感度を向上したいという要望がある。However, there is a demand for improving the sensitivity of the displacement sensor described in Patent Document 1 in detecting deformation of the object being measured.

そこで、本発明の目的は、被測定物の変形を検知する感度を向上することができるセンサを提供することである。 Therefore, the object of the present invention is to provide a sensor that can improve the sensitivity of detecting deformation of the object to be measured.

本発明の一形態に係るセンサは、
上下方向に並ぶ第１上主面及び第１下主面と左右方向に並ぶ左側面及び右側面を有し、かつ、前記左右方向に延びる長手方向を有しているセンサ部と、
下面を有する１以上の第１接着部材と、を備えており、
前記センサ部は、
前記上下方向に並ぶ第２上主面及び第２下主面を有している圧電フィルムと、
前記第２上主面に設けられている上電極と、
前記第２下主面に設けられている電極部材と、を含んでおり、
前記電極部材は、下電極を有し、
前記第１接着部材は、第１下面を有する左接着部及び第２下面を有する右接着部を含んでおり、
前記左接着部は、前記左側面に接し、
前記第１下面は、前記上下方向に視て、前記センサ部の左の領域において前記センサ部と重ならない部分を有し、
前記右接着部は、前記第１下主面に接しておらず、かつ、前記センサ部の右端部に接し、
前記第２下面は、前記上下方向に視て、前記右端部の前、右又は後の領域において前記センサ部と重ならない部分を有する。 A sensor according to one aspect of the present invention includes:
a sensor unit having a first upper main surface and a first lower main surface aligned in a vertical direction and a left side surface and a right side surface aligned in a horizontal direction, the sensor unit having a longitudinal direction extending in the horizontal direction;
one or more first adhesive members having a lower surface;
The sensor unit includes:
a piezoelectric film having a second upper principal surface and a second lower principal surface aligned in the vertical direction;
an upper electrode provided on the second upper principal surface;
an electrode member provided on the second lower main surface,
The electrode member has a lower electrode,
the first adhesive member includes a left adhesive portion having a first lower surface and a right adhesive portion having a second lower surface;
The left adhesive portion is in contact with the left side surface,
the first lower surface has a portion that does not overlap with the sensor unit in a left region of the sensor unit when viewed in the up-down direction,
the right adhesive portion is not in contact with the first lower main surface and is in contact with a right end portion of the sensor portion;
The second lower surface has a portion that does not overlap with the sensor unit in a region in front, to the right, or behind the right end portion when viewed in the up-down direction.

本明細書において、方向を以下のように定義する。センサ１において、センサ１の第１上主面ＵＳ１及び第１下主面ＬＳ１が並ぶ方向を上下方向と定義する。また、上下方向に視て、センサ１の長辺が延びる方向を左右方向と定義する。上下方向に視て、センサ１の短辺が延びる方向を前後方向と定義する。上下方向、左右方向及び前後方向は、互いに直交している。なお、本明細書における方向の定義は、一例である。従って、センサ１の実使用時における方向と本明細書における方向とが一致している必要はない。また、図１において上下方向が反転してもよい。図１において左右方向が反転してもよい。図１において前後方向が反転してもよい。In this specification, directions are defined as follows. In sensor 1, the direction in which the first upper principal surface US1 and the first lower principal surface LS1 of sensor 1 are aligned is defined as the up-down direction. Furthermore, the direction in which the long side of sensor 1 extends when viewed in the up-down direction is defined as the left-right direction. The direction in which the short side of sensor 1 extends when viewed in the up-down direction is defined as the front-rear direction. The up-down direction, left-right direction, and front-rear direction are perpendicular to each other. Note that the definitions of directions in this specification are merely examples. Therefore, the directions in which sensor 1 is actually used do not need to match the directions in this specification. Furthermore, the up-down direction may be reversed in FIG. 1. The left-right direction may be reversed in FIG. 1. The front-rear direction may be reversed in FIG. 1.

以下では、Ｘ，Ｙは、センサ１の部品又は部材である。本明細書において、特に断りのない場合には、Ｘの各部について以下のように定義する。Ｘの上部とは、Ｘの上半分を意味する。Ｘの上端とは、Ｘの上方向の端を意味する。Ｘの上端部とは、Ｘの上端及びその近傍を意味する。この定義は、上方向以外の方向にも適用される。 In the following, X and Y are parts or members of sensor 1. In this specification, unless otherwise specified, each part of X is defined as follows: The upper part of X means the upper half of X. The upper end of X means the upper end of X. The upper end part of X means the upper end of X and its vicinity. This definition also applies to directions other than the upward direction.

また、「Ｘは、Ｙの上に位置している。」とは、ＸがＹの真上に位置していることを意味する。従って、上下方向に視て、Ｘは、Ｙと重なっている。「Ｘは、Ｙより上に位置している。」とは、ＸがＹの真上に位置していること、及び、ＸがＹの斜め上に位置していることを意味する。従って、上下方向に視て、Ｘは、Ｙと重なっていてもよいし、Ｙと重なっていなくてもよい。この定義は、上方向以外の方向にも適用される。 Furthermore, "X is located above Y" means that X is located directly above Y. Therefore, when viewed in the vertical direction, X overlaps with Y. "X is located above Y" means that X is located directly above Y, and that X is located diagonally above Y. Therefore, when viewed in the vertical direction, X may or may not overlap with Y. This definition also applies to directions other than the upward direction.

本明細書において、「ＸとＹとが電気的に接続される」とは、ＸとＹとの間で電気が導通していることを意味する。従って、ＸとＹとが接触していてもよいし、ＸとＹとが接触していなくてもよい。ＸとＹとが接触していない場合には、ＸとＹとの間に導電性を有するＺが配置されている。In this specification, "X and Y are electrically connected" means that electricity is conducted between X and Y. Therefore, X and Y may or may not be in contact with each other. When X and Y are not in contact with each other, a conductive Z is disposed between X and Y.

本発明に係るセンサによれば、被測定物の変形を検知する感度を向上することができる。 The sensor of the present invention can improve the sensitivity for detecting deformation of the object being measured.

図１は、第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２の分解斜視図である。FIG. 1 is an exploded perspective view of a sensor 1 and an object to be measured 2 according to the first embodiment. 図２は、第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２を下方向に視た平面図である。FIG. 2 is a plan view of the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the first embodiment, viewed downward. 図３は、第１の実施形態に係るセンサ部３を下方向に視た平面図である。FIG. 3 is a plan view of the sensor unit 3 according to the first embodiment viewed downward. 図４は、第１の実施形態に係るセンサ部３のＡ－Ａにおける断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA of the sensor unit 3 according to the first embodiment. 図５は、第１の実施形態に係るセンサ１を上方向に視た平面図である。FIG. 5 is a plan view of the sensor 1 according to the first embodiment viewed from above. 図６は、第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２を前方向に視た断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the first embodiment, viewed in the front direction. 図７は、第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２を左方向に視た断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view of the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the first embodiment, viewed from the left. 図８は、比較例に係るセンサ及び被測定物２の分解斜視図である。FIG. 8 is an exploded perspective view of a sensor and an object to be measured 2 according to a comparative example. 図９は、被測定物２が変形したときの比較例に係るセンサ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view of the sensor according to the comparative example and the object to be measured 2 when the object to be measured 2 is deformed, as viewed in the forward direction. 図１０は、比較例に係るセンサ及び被測定物２に対し、ピエゾアクチュエータ５により振動を与えた実験のモデル図である。FIG. 10 is a model diagram of an experiment in which vibration is applied by a piezoelectric actuator 5 to a sensor according to a comparative example and an object to be measured 2 . 図１１は、センサ１及び被測定物２に対し、ピエゾアクチュエータ５により振動を与えた実験のモデル図である。FIG. 11 is a model diagram of an experiment in which vibration is applied to a sensor 1 and an object to be measured 2 by a piezoelectric actuator 5. 図１２は、第１の実施形態における検知信号の一例である。FIG. 12 is an example of a detection signal in the first embodiment. 図１３は、被測定物２が変形したときの第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２を前方向に視た断面図である。FIG. 13 is a cross-sectional view of the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the first embodiment when the object to be measured 2 is deformed, as viewed in the forward direction. 図１４は、第１の変形例に係るセンサ１ａ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。FIG. 14 is a plan view of a sensor 1a and an object to be measured 2 according to a first modified example, viewed downward. 図１５は、第１の変形例に係るセンサ１ａ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。FIG. 15 is a cross-sectional view of a sensor 1a and an object to be measured 2 according to a first modified example, viewed in the front direction. 図１６は、第２の変形例に係るセンサ１ｂ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。FIG. 16 is a plan view of a sensor 1b according to the second modified example and an object to be measured 2 viewed downward. 図１７は、第２の変形例に係るセンサ１ｂ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。FIG. 17 is a cross-sectional view of a sensor 1b and an object to be measured 2 according to the second modified example, viewed in the front direction. 図１８は、第３の変形例に係るセンサ１ｃ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。FIG. 18 is a plan view of a sensor 1c and an object to be measured 2 according to the third modified example, viewed from below. 図１９は、第３の変形例に係るセンサ１ｃ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。FIG. 19 is a cross-sectional view of a sensor 1c and an object to be measured 2 according to the third modified example, viewed in the front direction. 図２０は、第２の実施形態に係るセンサ１ｄ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。FIG. 20 is a plan view of a sensor 1d and an object to be measured 2 according to the second embodiment, viewed from below. 図２１は、第２の実施形態に係るセンサ１ｄを上方向に視た平面図である。FIG. 21 is a plan view of a sensor 1d according to the second embodiment viewed from above. 図２２は、第２の実施形態に係るセンサ１ｄ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。FIG. 22 is a cross-sectional view of a sensor 1d and an object to be measured 2 according to the second embodiment, viewed in the front direction. 図２３は、第４の変形例に係るセンサ１ｅ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。FIG. 23 is a plan view of a sensor 1e according to the fourth modified example and an object to be measured 2 viewed downward. 図２４は、第４の変形例に係るセンサ１ｅ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。FIG. 24 is a cross-sectional view of a sensor 1e according to a fourth modified example and an object to be measured 2, viewed in the front direction. 図２５は、第３の実施形態に係るセンサ１ｆ及び被測定物２の分解斜視図である。FIG. 25 is an exploded perspective view of a sensor 1f and an object to be measured 2 according to the third embodiment. 図２６は、第３の実施形態に係るセンサ１ｆ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。FIG. 26 is a plan view of a sensor 1f and an object to be measured 2 according to the third embodiment viewed downward. 図２７は、第３の実施形態に係るセンサ１ｆを上方向に視た平面図である。FIG. 27 is a plan view of a sensor 1f according to the third embodiment viewed from above.

［第１の実施形態］
以下に、本発明の第１の実施形態に係るセンサ１の構成について図面を参照しながら説明する。図１は、第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２の分解斜視図である。図２は、第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２を下方向に視た平面図である。図３は、第１の実施形態に係るセンサ部３を下方向に視た平面図である。図４は、第１の実施形態に係るセンサ部３のＡ－Ａにおける断面図である。図５は、第１の実施形態に係るセンサ１を上方向に視た平面図である。図６は、第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２を前方向に視た断面図である。図７は、第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２を左方向に視た断面図である。 [First embodiment]
The configuration of the sensor 1 according to the first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an exploded perspective view of the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the first embodiment. FIG. 2 is a plan view of the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the first embodiment viewed downward. FIG. 3 is a plan view of the sensor unit 3 according to the first embodiment viewed downward. FIG. 4 is a cross-sectional view of the sensor unit 3 according to the first embodiment taken along line A-A. FIG. 5 is a plan view of the sensor 1 according to the first embodiment viewed upward. FIG. 6 is a cross-sectional view of the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the first embodiment viewed forward. FIG. 7 is a cross-sectional view of the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the first embodiment viewed leftward.

センサ１は、被測定物２の変形を検出するセンサである。被測定物２は、例えば、板形状を有している。本実施形態では、被測定物２は、上下方向に並ぶ上主面及び下主面を有している。The sensor 1 is a sensor that detects deformation of the object to be measured 2. The object to be measured 2 has, for example, a plate shape. In this embodiment, the object to be measured 2 has an upper main surface and a lower main surface aligned in the vertical direction.

センサ１は、図１に示すように、センサ部３及び第１接着部材４を備えている。例えば、被測定物２が上方向又は下方向に撓むと、センサ部３も上方向又は下方向に撓む。これにより、センサ部３は、被測定物２の変形に応じた検知信号を出力する。As shown in Figure 1, the sensor 1 includes a sensor section 3 and a first adhesive member 4. For example, when the object to be measured 2 bends upward or downward, the sensor section 3 also bends upward or downward. As a result, the sensor section 3 outputs a detection signal corresponding to the deformation of the object to be measured 2.

センサ部３は、図１に示すように、上下方向に並ぶ第１上主面ＵＳ１及び第１下主面ＬＳ１を有している。第１上主面ＵＳ１は、第１下主面ＬＳ１の上に位置している。また、センサ部３は、左右方向に並ぶ左側面及び右側面を有している。左側面は、右側面の左に位置している。また、センサ部３は、前後方向に並ぶ前側面及び後側面を有している。前側面は、後側面の前に位置している。As shown in FIG. 1, the sensor unit 3 has a first upper main surface US1 and a first lower main surface LS1 aligned in the up-down direction. The first upper main surface US1 is located above the first lower main surface LS1. The sensor unit 3 also has a left side surface and a right side surface aligned in the left-right direction. The left side surface is located to the left of the right side surface. The sensor unit 3 also has a front side surface and a rear side surface aligned in the front-to-rear direction. The front side surface is located in front of the rear side surface.

センサ部３は、図２に示すように、上下方向に視て、矩形状を有している。センサ部３は、左右方向に延びる長手方向を有している。また、センサ部３は、前後方向に延びる短手方向を有している。すなわち、センサ部３の左右方向の長さは、センサ部３の前後方向の長さより長い。As shown in Fig. 2, the sensor unit 3 has a rectangular shape when viewed in the up-down direction. The sensor unit 3 has a longitudinal direction extending in the left-right direction. The sensor unit 3 also has a short side extending in the front-rear direction. In other words, the length of the sensor unit 3 in the left-right direction is longer than the length of the sensor unit 3 in the front-rear direction.

センサ部３は、図３に示すように、圧電フィルム１４、上電極１５ａ及び電極部材１３を含んでいる。圧電フィルム１４は、シート形状を有している。従って、圧電フィルム１４は、図４に示すように、上下方向に並ぶ第２上主面ＵＳ２及び第２下主面ＬＳ２を有している。圧電フィルム１４の左右方向の長さは、圧電フィルム１４の前後方向の長さより長い。本実施形態では、圧電フィルム１４は、上下方向に視て、左右方向に延びる長辺を有する矩形状を有している。圧電フィルム１４は、圧電フィルム１４の変形量に応じた電荷を発生する。本実施形態では、圧電フィルム１４は、ＰＬＡフィルムである。以下に、圧電フィルム１４について、より詳細に説明する。 As shown in FIG. 3, the sensor unit 3 includes a piezoelectric film 14, an upper electrode 15a, and an electrode member 13. The piezoelectric film 14 has a sheet shape. Therefore, as shown in FIG. 4, the piezoelectric film 14 has a second upper main surface US2 and a second lower main surface LS2 aligned in the vertical direction. The length of the piezoelectric film 14 in the left-right direction is longer than the length of the piezoelectric film 14 in the front-back direction. In this embodiment, the piezoelectric film 14 has a rectangular shape with long sides extending in the left-right direction when viewed in the vertical direction. The piezoelectric film 14 generates an electric charge according to the deformation amount of the piezoelectric film 14. In this embodiment, the piezoelectric film 14 is a PLA film. The piezoelectric film 14 will be described in more detail below.

圧電フィルム１４は、圧電フィルム１４が左右方向に伸張されたときに発生する電荷の極性が、圧電フィルム１４が前後方向に伸張されたときに発生する電荷の極性と逆となる特性を有している。具体的には、圧電フィルム１４は、キラル高分子から形成されるフィルムである。キラル高分子とは、例えば、ポリ乳酸（ＰＬＡ）、特にＬ型ポリ乳酸（ＰＬＬＡ）である。キラル高分子からなるＰＬＬＡは、主鎖が螺旋構造を有する。ＰＬＬＡは、一軸延伸されて分子が配向する圧電性を有する。圧電フィルム１４は、ｄ１４の圧電定数を有している。圧電フィルム１４の一軸延伸方向（配向方向）は、前後方向及び左右方向のそれぞれに対して４５度の角度を形成している。この４５度は、例えば、４５度±１０度程度を含む角度を含む。これにより、圧電フィルム１４は、圧電フィルム１４が左右方向に伸張されること又は前後方向に伸張されることにより、電荷を発生する。圧電フィルム１４が左右方向に伸張されたときに圧電フィルム１４が発生する電荷の極性は、圧電フィルム１４が前後方向に伸張されたときに圧電フィルム１４が発生する電荷の極性と異なる。圧電フィルム１４は、例えば、左右方向に伸張されると正の電荷を発生する。圧電フィルム１４は、例えば、前後方向に伸張されると負の電荷を発生する。電荷の大きさは、伸張又は圧縮による圧電フィルム１４の変形量に依存する。より正確には、電荷の大きさは、伸張又は圧縮による圧電フィルム１４の変形量の微分値に比例する。The piezoelectric film 14 has a characteristic that the polarity of the electric charge generated when the piezoelectric film 14 is stretched in the left-right direction is opposite to the polarity of the electric charge generated when the piezoelectric film 14 is stretched in the front-back direction. Specifically, the piezoelectric film 14 is a film formed from a chiral polymer. The chiral polymer is, for example, polylactic acid (PLA), particularly L-type polylactic acid (PLLA). PLLA, which is made of a chiral polymer, has a helical structure in the main chain. PLLA has a piezoelectricity in which the molecules are oriented by uniaxial stretching. The piezoelectric film 14 has a piezoelectric constant of d14. The uniaxial stretching direction (orientation direction) of the piezoelectric film 14 forms an angle of 45 degrees with respect to each of the front-back direction and the left-right direction. This 45 degrees includes, for example, an angle of about 45 degrees ± 10 degrees. As a result, the piezoelectric film 14 generates an electric charge when the piezoelectric film 14 is stretched in the left-right direction or the front-back direction. The polarity of the charge generated by the piezoelectric film 14 when it is stretched in the left-right direction is different from the polarity of the charge generated by the piezoelectric film 14 when it is stretched in the front-back direction. For example, the piezoelectric film 14 generates a positive charge when it is stretched in the left-right direction. For example, the piezoelectric film 14 generates a negative charge when it is stretched in the front-back direction. The magnitude of the charge depends on the amount of deformation of the piezoelectric film 14 due to stretching or compression. More precisely, the magnitude of the charge is proportional to the derivative of the amount of deformation of the piezoelectric film 14 due to stretching or compression.

上電極１５ａは、グランド電極である。上電極１５ａは、グランドに接続される。上電極１５ａは、図４に示すように、圧電フィルム１４の第２上主面ＵＳ２に設けられている。上電極１５ａは、圧電フィルム１４の第２上主面ＵＳ２の全体を覆っている。上電極１５ａは、図示しない粘着層を含んでいる。そして、この粘着層により、上電極１５ａが圧電フィルム１４の第２上主面ＵＳ２に固定されている。The upper electrode 15a is a ground electrode. The upper electrode 15a is connected to ground. As shown in FIG. 4, the upper electrode 15a is provided on the second upper principal surface US2 of the piezoelectric film 14. The upper electrode 15a covers the entire second upper principal surface US2 of the piezoelectric film 14. The upper electrode 15a includes an adhesive layer (not shown). The upper electrode 15a is fixed to the second upper principal surface US2 of the piezoelectric film 14 by this adhesive layer.

電極部材１３は、図４に示すように、圧電フィルム１４の第２下主面ＬＳ２に設けられている。また、電極部材１３は、下電極１５ｂ及びフレキシブルプリント基板１９を有している。As shown in Figure 4, the electrode member 13 is provided on the second lower main surface LS2 of the piezoelectric film 14. The electrode member 13 also has a lower electrode 15b and a flexible printed circuit board 19.

下電極１５ｂは、信号電極である。下電極１５ｂから検知信号が出力される。本実施形態では、下電極１５ｂは、図４に示すように、後述するフレキシブルプリント基板１９の上主面に設けられている。すなわち、下電極１５ｂは、後述するフレキシブルプリント基板１９の複数の絶縁体層の内の最も上に位置する絶縁体層の上主面に設けられている導体層である。The lower electrode 15b is a signal electrode. A detection signal is output from the lower electrode 15b. In this embodiment, the lower electrode 15b is provided on the upper main surface of a flexible printed circuit board 19, which will be described later, as shown in FIG. 4. In other words, the lower electrode 15b is a conductor layer provided on the upper main surface of the uppermost insulator layer of the multiple insulator layers of the flexible printed circuit board 19, which will be described later.

フレキシブルプリント基板１９は、可撓性を有する回路基板である。フレキシブルプリント基板１９は、上下方向に並ぶ上主面及び下主面を有している。フレキシブルプリント基板１９は、信号線、グランド線及び複数の絶縁体層を含んでいる。複数の絶縁体層は、上下方向に積層されている。信号線及びグランド線は、絶縁体層に設けられている導体層である。信号線は、下電極１５ｂと電気的に接続されている。信号線には、下電極１５ｂが出力する検知信号が伝送される。グランド線は、上電極１５ａと電気的に接続されている。グランド線は、グランド電位に接続されている。 The flexible printed circuit board 19 is a flexible circuit board. The flexible printed circuit board 19 has upper and lower main surfaces aligned in the vertical direction. The flexible printed circuit board 19 includes a signal line, a ground line, and multiple insulator layers. The multiple insulator layers are stacked in the vertical direction. The signal line and the ground line are conductor layers provided on the insulator layers. The signal line is electrically connected to the lower electrode 15b. A detection signal output by the lower electrode 15b is transmitted to the signal line. The ground line is electrically connected to the upper electrode 15a. The ground line is connected to a ground potential.

第１接着部材４は、図１に示すように、センサ部３を被測定物２に固定する。第１接着部材４は、例えば、片面テープ、両面テープ、熱硬化接着剤、熱可塑性接着剤又はＵＶ硬化接着剤である。本実施形態では、第１接着部材４は、図１に示すように、上下方向に視て、左右方向に延びる長辺を有する矩形状を有している。また、第１接着部材４は、センサ部３の第１上主面ＵＳ１、左側面、右側面、前側面及び後側面の全体を覆っている。これにより、第１接着部材４の外縁は、図２に示すように、上下方向に視て、センサ部３を囲んでいる。また、本実施形態では、第１接着部材４は、図６に示すように、センサ部３の左側面、第１上主面ＵＳ１及び右側面に跨って設けられる。 As shown in FIG. 1, the first adhesive member 4 fixes the sensor unit 3 to the object to be measured 2. The first adhesive member 4 is, for example, a single-sided tape, a double-sided tape, a thermosetting adhesive, a thermoplastic adhesive, or a UV-curing adhesive. In this embodiment, the first adhesive member 4 has a rectangular shape with long sides extending in the left-right direction when viewed in the up-down direction, as shown in FIG. 1. The first adhesive member 4 also covers the entire first upper main surface US1, left side surface, right side surface, front side surface, and rear side surface of the sensor unit 3. As a result, the outer edge of the first adhesive member 4 surrounds the sensor unit 3 when viewed in the up-down direction, as shown in FIG. 2. In this embodiment, the first adhesive member 4 is provided across the left side surface, the first upper main surface US1, and the right side surface of the sensor unit 3, as shown in FIG. 6.

第１接着部材４は、図１に示すように、上下方向に並ぶ上面ＵＳ４及び下面ＬＳ４を有している。下面ＬＳ４は、上面ＵＳ４の下に位置している。また、下面ＬＳ４の法線方向は、下方向である。As shown in FIG. 1, the first adhesive member 4 has an upper surface US4 and a lower surface LS4 aligned in the vertical direction. The lower surface LS4 is located below the upper surface US4. The normal direction of the lower surface LS4 is the downward direction.

第１接着部材４は、図１に示すように、第１下面ＬＳ４Ｌを有する左接着部４Ｌ及び第２下面ＬＳ４Ｒを有する右接着部４Ｒを含んでいる。左接着部４Ｌは、図１に示すように、第１接着部材４の左部である。右接着部４Ｒは、第１接着部材４の右部である。第１下面ＬＳ４Ｌは、下面ＬＳ４の左部である。第２下面ＬＳ４Ｒは、下面ＬＳ４の右部である。従って、第１下面ＬＳ４Ｌ及び第２下面ＬＳ４Ｒのそれぞれの法線方向は、下方向である。 As shown in FIG. 1, the first adhesive member 4 includes a left adhesive portion 4L having a first underside surface LS4L and a right adhesive portion 4R having a second underside surface LS4R. As shown in FIG. 1, the left adhesive portion 4L is the left portion of the first adhesive member 4. The right adhesive portion 4R is the right portion of the first adhesive member 4. The first underside surface LS4L is the left portion of the underside surface LS4. The second underside surface LS4R is the right portion of the underside surface LS4. Therefore, the normal direction of each of the first underside surface LS4L and the second underside surface LS4R is a downward direction.

本実施形態では、左接着部４Ｌは、図１に示すように、上下方向に視て、センサ部３の左部と重なっている。また、左接着部４Ｌは、センサ部３の左端部に接している。より詳細には、左接着部４Ｌは、図６に示すように、センサ部３の左側面に接している。また、左接着部４Ｌは、センサ部３の前側面及び後側面のそれぞれに接している。In this embodiment, the left adhesive portion 4L overlaps with the left portion of the sensor unit 3 when viewed in the up-down direction as shown in Fig. 1. The left adhesive portion 4L is in contact with the left end portion of the sensor unit 3. More specifically, the left adhesive portion 4L is in contact with the left side surface of the sensor unit 3 as shown in Fig. 6. The left adhesive portion 4L is in contact with each of the front and rear side surfaces of the sensor unit 3.

左接着部４Ｌは、図１に示すように、センサ部３の第１上主面ＵＳ１に接している。より詳細には、第１下面ＬＳ４Ｌは、センサ部３の第１上主面ＵＳ１に接している。しかし、左接着部４Ｌは、図５に示すように、センサ部３の第１下主面ＬＳ１に接していない。第１下面ＬＳ４Ｌは、上下方向に視て、センサ部３の左端部の前の領域ＰＬＦ、センサ部３の左端部の左の領域ＰＬＬ及びセンサ部３の左端部の後の領域ＰＬＢにおいて重ならない部分を有している。従って、第１下面ＬＳ４Ｌは、上下方向に視て、センサ部３の左の領域ＰＬＬにおいてセンサ部３と重ならない部分Ｐ１を有している。部分Ｐ１は、被測定物２の上主面に接する。これにより、センサ部３の左端部は、被測定物２の上主面に固定される。 The left adhesive portion 4L is in contact with the first upper main surface US1 of the sensor unit 3, as shown in FIG. 1. More specifically, the first lower surface LS4L is in contact with the first upper main surface US1 of the sensor unit 3. However, the left adhesive portion 4L is not in contact with the first lower main surface LS1 of the sensor unit 3, as shown in FIG. 5. When viewed in the vertical direction, the first lower surface LS4L has a portion that does not overlap in the region PLF in front of the left end of the sensor unit 3, the region PLL to the left of the left end of the sensor unit 3, and the region PLB after the left end of the sensor unit 3. Therefore, when viewed in the vertical direction, the first lower surface LS4L has a portion P1 that does not overlap with the sensor unit 3 in the region PLL to the left of the sensor unit 3. The portion P1 is in contact with the upper main surface of the object to be measured 2. As a result, the left end of the sensor unit 3 is fixed to the upper main surface of the object to be measured 2.

本実施形態では、右接着部４Ｒは、図１に示すように、上下方向に視て、センサ部３の右部と重なっている。また、右接着部４Ｒは、センサ部３の右端部に接している。より詳細には、右接着部４Ｒは、図６に示すように、センサ部３の右側面に接している。また、右接着部４Ｒは、センサ部３の前側面及び後側面のそれぞれに接している。In this embodiment, as shown in Fig. 1, the right adhesive portion 4R overlaps with the right portion of the sensor unit 3 when viewed in the up-down direction. The right adhesive portion 4R also contacts the right end portion of the sensor unit 3. More specifically, as shown in Fig. 6, the right adhesive portion 4R contacts the right side surface of the sensor unit 3. The right adhesive portion 4R also contacts each of the front and rear side surfaces of the sensor unit 3.

右接着部４Ｒは、図１に示すように、センサ部３の第１上主面ＵＳ１に接している。より詳細には、第２下面ＬＳ４Ｒは、センサ部３の第１上主面ＵＳ１に接している。しかし、右接着部４Ｒは、図５に示すように、センサ部３の第１下主面ＬＳ１に接していない。第２下面ＬＳ４Ｒは、上下方向に視て、センサ部３の右端部の前の領域ＰＲＦ、センサ部３の右端部の右の領域ＰＲＲ及びセンサ部３の右端部の後の領域ＰＲＢにおいてセンサ部３と重ならない部分Ｐ２を有している。従って、第２下面ＬＳ４Ｒは、上下方向に視て、センサ部３の右の領域ＰＲＲにおいてセンサ部３と重ならない部分を有している。部分Ｐ２は、被測定物２の上主面に接する。これにより、センサ部３の右端部は、被測定物２の上主面に固定される。 The right adhesive portion 4R is in contact with the first upper main surface US1 of the sensor unit 3, as shown in FIG. 1. More specifically, the second lower surface LS4R is in contact with the first upper main surface US1 of the sensor unit 3. However, the right adhesive portion 4R is not in contact with the first lower main surface LS1 of the sensor unit 3, as shown in FIG. 5. The second lower surface LS4R has a portion P2 that does not overlap with the sensor unit 3 in the region PRF in front of the right end of the sensor unit 3, the region PRR to the right of the right end of the sensor unit 3, and the region PRB after the right end of the sensor unit 3, as viewed in the vertical direction. Therefore, the second lower surface LS4R has a portion that does not overlap with the sensor unit 3 in the region PRR to the right of the sensor unit 3, as viewed in the vertical direction. The portion P2 is in contact with the upper main surface of the object to be measured 2. As a result, the right end of the sensor unit 3 is fixed to the upper main surface of the object to be measured 2.

ところで、センサ１は、被測定物２の変形を検知する感度を向上できる構造を有している。以下にこの構造について説明する。図８は、比較例に係るセンサ及び被測定物２の分解斜視図である。図９は、被測定物２が変形したときの比較例に係るセンサ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。図１０は、比較例に係るセンサ及び被測定物２に対し、ピエゾアクチュエータ５により振動を与えた実験のモデル図である。図１１は、センサ１及び被測定物２に対し、ピエゾアクチュエータ５により振動を与えた実験のモデル図である。図１２は、第１の実施形態における検知信号の一例である。なお、図１２において、横軸は、時刻の値を示し、かつ、縦軸は、検知信号の値を示す。図１３は、被測定物２が変形したときの第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２を前方向に視た断面図である。 The sensor 1 has a structure that can improve the sensitivity of detecting the deformation of the object to be measured 2. This structure will be described below. FIG. 8 is an exploded perspective view of the sensor and the object to be measured 2 according to the comparative example. FIG. 9 is a cross-sectional view of the sensor and the object to be measured 2 according to the comparative example when the object to be measured 2 is deformed, viewed in the forward direction. FIG. 10 is a model diagram of an experiment in which the sensor and the object to be measured 2 according to the comparative example are vibrated by the piezoelectric actuator 5. FIG. 11 is a model diagram of an experiment in which the sensor 1 and the object to be measured 2 are vibrated by the piezoelectric actuator 5. FIG. 12 is an example of a detection signal in the first embodiment. In FIG. 12, the horizontal axis indicates the value of the time, and the vertical axis indicates the value of the detection signal. FIG. 13 is a cross-sectional view of the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the first embodiment when the object to be measured 2 is deformed, viewed in the forward direction.

まず、比較例に係るセンサについて説明する。比較例に係るセンサでは、第１接着部材４は、両面テープである。第１接着部材４は、センサ部３を被測定物２に固定する。より詳細には、第１接着部材４は、図８に示すように、センサ部３の第１下主面ＬＳ１に設けられる。これにより、センサ部３は、第１接着部材４を介して、被測定物２の上主面に固定される。 First, the sensor according to the comparative example will be described. In the sensor according to the comparative example, the first adhesive member 4 is double-sided tape. The first adhesive member 4 fixes the sensor section 3 to the object to be measured 2. More specifically, the first adhesive member 4 is provided on the first lower main surface LS1 of the sensor section 3, as shown in FIG. 8. As a result, the sensor section 3 is fixed to the upper main surface of the object to be measured 2 via the first adhesive member 4.

次に、比較例に係るセンサの問題点について説明する。被測定物２が上方向又は下方向に撓むと、図９に示すように、センサ部３及び第１接着部材４も上方向又は下方向に撓む。このとき、被測定物２は、上下方向に直交する方向に伸張する。上下方向に直交する方向は、例えば、左右方向である。センサ部３及び第１接着部材４は、被測定物２の上主面に固定される。そのため、センサ部３及び第１接着部材４は、例えば、左右方向に伸張する。すなわち、圧電フィルム１４は、例えば、左右方向に伸張する。その結果、センサ部３が出力する検知信号の絶対値は、上昇する。 Next, the problems with the sensor in the comparative example will be explained. When the object to be measured 2 bends upward or downward, as shown in FIG. 9, the sensor unit 3 and the first adhesive member 4 also bend upward or downward. At this time, the object to be measured 2 expands in a direction perpendicular to the up-down direction. The direction perpendicular to the up-down direction is, for example, the left-right direction. The sensor unit 3 and the first adhesive member 4 are fixed to the upper main surface of the object to be measured 2. Therefore, the sensor unit 3 and the first adhesive member 4 expand, for example, in the left-right direction. In other words, the piezoelectric film 14 expands, for example, in the left-right direction. As a result, the absolute value of the detection signal output by the sensor unit 3 increases.

しかし、第１接着部材４が変形しやすい構造を有していると、第１接着部材４は、図９に示すように、左右方向に縮むように変形しようとする。そのため、圧電フィルム１４の伸張量は、減少する。その結果、センサ部３が出力する検知信号の絶対値の上昇量は、減少する。However, if the first adhesive member 4 has a structure that is easily deformed, the first adhesive member 4 will tend to deform so as to shrink in the left-right direction, as shown in Figure 9. This will reduce the amount of expansion of the piezoelectric film 14. As a result, the increase in the absolute value of the detection signal output by the sensor unit 3 will decrease.

そこで、本願発明者は、検知信号の絶対値の減少を抑制するために、実験を行った。具体的には、比較例に係るセンサ及び被測定物２とセンサ１及び被測定物２のそれぞれに対し、図１０及び図１１に示すように、ピエゾアクチュエータ５により正弦波の振動を与えて、比較例に係るセンサが出力する検知信号とセンサ１が出力する検知信号とを調べた。なお、本実験では、被測定物２の材料は、ＳＵＳ（ＳｔａｉｎｌｅｓｓＵｓｅｄＳｔｅｅｌ）である。また、支持部材６及び支持部材７の形状は、円柱である。また、その円柱の軸方向は、前後方向である。また、支持部材６及び支持部材７は、図９及び図１０に示すように、被測定物２を机の上面Ｓ７に支持している。なお、本実験では、比較例に係るセンサが出力する検知信号及びセンサ１が出力する検知信号のそれぞれをチャージアンプ（図示せず）により電圧信号に変換し、その電圧信号をＡＤコンバータ（図示せず）によりデジタル信号に変換している。Therefore, the inventor of the present application conducted an experiment to suppress the decrease in the absolute value of the detection signal. Specifically, as shown in Figs. 10 and 11, a sine wave vibration was applied by a piezoelectric actuator 5 to the sensor and the object to be measured 2 according to the comparative example, and the sensor 1 and the object to be measured 2, and the detection signal output by the sensor and the sensor 1 according to the comparative example was examined. In this experiment, the material of the object to be measured 2 is SUS (Stainless Used Steel). The support members 6 and 7 are cylindrical in shape. The axial direction of the cylinder is the front-rear direction. The support members 6 and 7 support the object to be measured 2 on the top surface S7 of the desk, as shown in Figs. 9 and 10. In this experiment, the detection signal output by the sensor and the detection signal output by the sensor 1 according to the comparative example are converted into a voltage signal by a charge amplifier (not shown), and the voltage signal is converted into a digital signal by an AD converter (not shown).

ピエゾアクチュエータ５により正弦波の振動を与えているため、検知信号は、図１２に示すように、正弦波状である。なお、図１２において、基準値は、ＡＤコンバータにより設定される。検知信号と基準値との差が伸張又は圧縮による圧電フィルム１４の変形量の微分値に比例する。比較例に係るセンサでは、検知信号の極大値と検知信号の極小値との差ＶＰＰは、０．５２３Ｖであった。一方、センサ１では、検知信号の極大値と検知信号の極小値との差ＶＰＰは、０．８１８Ｖであった。センサ１の検知信号の極大値と検知信号の極小値との差ＶＰＰは、比較例に係るセンサの検知信号の極大値と検知信号の極小値との差ＶＰＰに対して、約５６％大きい。このように、センサ１は、被測定物２の変形を検知する感度を向上できる。 Since the piezoelectric actuator 5 applies a sine wave vibration, the detection signal is sine wave-shaped as shown in FIG. 12. In FIG. 12, the reference value is set by the AD converter. The difference between the detection signal and the reference value is proportional to the differential value of the deformation amount of the piezoelectric film 14 due to expansion or compression. In the sensor according to the comparative example, the difference VPP between the maximum value of the detection signal and the minimum value of the detection signal was 0.523 V. On the other hand, in the sensor 1, the difference VPP between the maximum value of the detection signal and the minimum value of the detection signal was 0.818 V. The difference VPP between the maximum value of the detection signal and the minimum value of the detection signal of the sensor 1 is about 56% larger than the difference VPP between the maximum value of the detection signal and the minimum value of the detection signal of the sensor according to the comparative example. In this way, the sensor 1 can improve the sensitivity of detecting the deformation of the measured object 2.

ここで、本願発明者は、センサ１において、被測定物２の変形を検知する感度を向上できる理由について以下のように考えた。第１接着部材４が変形しやすい構造を有していると、比較例に係るセンサでは、第１接着部材４が左右方向に縮むように変形しようとする。そのため、被測定物２の変形がセンサ部３に効率良く伝わらない。これにより、圧電フィルム１４の左右方向の伸張量は、減少する。その結果、センサ部３が出力する検知信号の極大値と検知信号の極小値との差ＶＰＰは、減少する。 Here, the inventors of the present application considered the reason why the sensitivity of the sensor 1 in detecting deformation of the object to be measured 2 can be improved as follows. If the first adhesive member 4 has a structure that is easily deformed, in the sensor of the comparative example, the first adhesive member 4 will tend to deform so as to shrink in the left-right direction. Therefore, the deformation of the object to be measured 2 is not efficiently transmitted to the sensor unit 3. This reduces the amount of left-right expansion of the piezoelectric film 14. As a result, the difference VPP between the maximum value and the minimum value of the detection signal output by the sensor unit 3 decreases.

一方、センサ１のように、第１接着部材４がセンサ部３の第１下主面ＬＳ１に接しないようにすると、第１接着部材４に対する力の加わり方が変化する。これにより、第１接着部材４が変形することが抑制されて、被測定物２の変形がセンサ部３に効率良く伝わる。そのため、圧電フィルム１４の左右方向の伸張量は、比較例に係るセンサの圧電フィルム１４の左右方向の伸張量より大きくなる。従って、圧電フィルム１４が発生する電荷量は、大きくなる。その結果、センサ１によれば、被測定物２の変形を検知する感度を向上することができる。 On the other hand, when the first adhesive member 4 is not in contact with the first lower main surface LS1 of the sensor section 3, as in sensor 1, the way in which force is applied to the first adhesive member 4 changes. This prevents the first adhesive member 4 from deforming, and the deformation of the object to be measured 2 is efficiently transmitted to the sensor section 3. Therefore, the amount of left-right expansion of the piezoelectric film 14 is greater than the amount of left-right expansion of the piezoelectric film 14 of the sensor in the comparative example. Therefore, the amount of charge generated by the piezoelectric film 14 is greater. As a result, sensor 1 can improve the sensitivity of detecting deformation of the object to be measured 2.

［第１の変形例］
以下に第１の変形例に係るセンサ１ａについて図を参照しながら説明する。図１４は、第１の変形例に係るセンサ１ａ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。図１５は、第１の変形例に係るセンサ１ａ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。なお、第１の変形例に係るセンサ１ａについては、第１の実施形態に係るセンサ１と異なる部分のみ説明し、後は省略する。 [First Modification]
The sensor 1a according to the first modified example will be described below with reference to the drawings. Fig. 14 is a plan view of the sensor 1a according to the first modified example and the object to be measured 2 viewed downward. Fig. 15 is a cross-sectional view of the sensor 1a according to the first modified example and the object to be measured 2 viewed forward. Note that with respect to the sensor 1a according to the first modified example, only the parts different from the sensor 1 according to the first embodiment will be described, and the rest will be omitted.

センサ１ａは、第１接着部材４がセンサ部３の前側面及び後側面を覆っていない点において、センサ１と相違する。Sensor 1a differs from sensor 1 in that the first adhesive member 4 does not cover the front and rear sides of the sensor portion 3.

本変形例では、第１接着部材４は、図１４に示すように、センサ部３の第１上主面ＵＳ１、左側面及び右側面の全体を覆っている。従って、第１接着部材４は、図１５に示すように、センサ部３の左側面、第１上主面ＵＳ１及び右側面に跨って設けられる。一方、第１接着部材４は、センサ部３の前側面及び後側面のそれぞれに接していない。In this modified example, the first adhesive member 4 covers the entire first upper main surface US1, left side surface, and right side surface of the sensor unit 3, as shown in Fig. 14. Therefore, the first adhesive member 4 is provided across the left side surface, first upper main surface US1, and right side surface of the sensor unit 3, as shown in Fig. 15. On the other hand, the first adhesive member 4 does not contact either the front side surface or the rear side surface of the sensor unit 3.

以上のようなセンサ１ａにおいても、センサ１と同じ効果を奏する。 Sensor 1a as described above has the same effect as sensor 1.

［第２の変形例］
以下に第２の変形例に係るセンサ１ｂについて図を参照しながら説明する。図１６は、第２の変形例に係るセンサ１ｂ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。図１７は、第２の変形例に係るセンサ１ｂ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。なお、第２の変形例に係るセンサ１ｂについては、第１の実施形態に係るセンサ１と異なる部分のみ説明し、後は省略する。 [Second Modification]
The sensor 1b according to the second modified example will be described below with reference to the drawings. Fig. 16 is a plan view of the sensor 1b according to the second modified example and the object to be measured 2 viewed downward. Fig. 17 is a cross-sectional view of the sensor 1b according to the second modified example and the object to be measured 2 viewed forward. Note that with respect to the sensor 1b according to the second modified example, only the parts different from the sensor 1 according to the first embodiment will be described, and the rest will be omitted.

センサ１ｂは、第１接着部材４がセンサ部３の右側面を覆っていない点において、センサ１と相違する。Sensor 1b differs from sensor 1 in that the first adhesive member 4 does not cover the right side of the sensor portion 3.

本変形例では、第１接着部材４は、図１６に示すように、センサ部３の第１上主面ＵＳ１、左側面、前側面及び後側面の全体を覆っている。従って、第１接着部材４は、図１７に示すように、センサ部３の左側面及び第１上主面ＵＳ１に跨って設けられる。一方、第１接着部材４は、センサ部３の右側面に接していない。In this modified example, the first adhesive member 4 covers the entire first upper main surface US1, left side surface, front side surface, and rear side surface of the sensor unit 3, as shown in Fig. 16. Therefore, the first adhesive member 4 is provided across the left side surface and first upper main surface US1 of the sensor unit 3, as shown in Fig. 17. On the other hand, the first adhesive member 4 does not contact the right side surface of the sensor unit 3.

以上のようなセンサ１ｂにおいても、センサ１と同じ効果を奏する。Sensor 1b as described above also has the same effect as sensor 1.

［第３の変形例］
以下に第３の変形例に係るセンサ１ｃについて図を参照しながら説明する。図１８は、第３の変形例に係るセンサ１ｃ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。図１９は、第３の変形例に係るセンサ１ｃ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。なお、第３の変形例に係るセンサ１ｃについては、第１の実施形態に係るセンサ１と異なる部分のみ説明し、後は省略する。 [Third Modification]
The sensor 1c according to the third modified example will be described below with reference to the drawings. Fig. 18 is a plan view of the sensor 1c according to the third modified example and the object to be measured 2 viewed downward. Fig. 19 is a cross-sectional view of the sensor 1c according to the third modified example and the object to be measured 2 viewed forward. Note that with respect to the sensor 1c according to the third modified example, only the parts different from the sensor 1 according to the first embodiment will be described, and the rest will be omitted.

センサ１ｃは、第１接着部材４がセンサ部３の第１上主面ＵＳ１を覆っていない点において、センサ１と相違する。Sensor 1c differs from sensor 1 in that the first adhesive member 4 does not cover the first upper principal surface US1 of the sensor portion 3.

本変形例では、第１接着部材４は、図１８に示すように、センサ部３の左側面、右側面、前側面及び後側面の全体を覆っている。すなわち、第１接着部材４は、上下方向に視て、センサ部３の周りを１周する環形状を有している。これにより、第１接着部材４の内縁は、上下方向に視て、センサ部３を囲んでいる。一方、第１接着部材４は、センサ部３の第１上主面ＵＳ１に接していない。In this modified example, as shown in Fig. 18, the first adhesive member 4 covers the entire left side, right side, front side, and rear side of the sensor unit 3. That is, the first adhesive member 4 has a ring shape that goes around the sensor unit 3 when viewed in the vertical direction. As a result, the inner edge of the first adhesive member 4 surrounds the sensor unit 3 when viewed in the vertical direction. On the other hand, the first adhesive member 4 does not contact the first upper main surface US1 of the sensor unit 3.

以上のようなセンサ１ｃにおいても、センサ１と同じ効果を奏する。 Sensor 1c as described above has the same effect as sensor 1.

［第２の実施形態］
以下に第２の実施形態に係るセンサ１ｄについて図を参照しながら説明する。図２０は、第２の実施形態に係るセンサ１ｄ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。図２１は、第２の実施形態に係るセンサ１ｄを上方向に視た平面図である。図２２は、第２の実施形態に係るセンサ１ｄ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。なお、第２の実施形態に係るセンサ１ｄについては、第１の実施形態に係るセンサ１と異なる部分のみ説明し、後は省略する。 Second Embodiment
The sensor 1d according to the second embodiment will be described below with reference to the drawings. Fig. 20 is a plan view of the sensor 1d according to the second embodiment and the object to be measured 2 viewed downward. Fig. 21 is a plan view of the sensor 1d according to the second embodiment viewed upward. Fig. 22 is a cross-sectional view of the sensor 1d according to the second embodiment and the object to be measured 2 viewed forward. Note that with respect to the sensor 1d according to the second embodiment, only the parts different from the sensor 1 according to the first embodiment will be described, and the rest will be omitted.

センサ１ｄは、左接着部４Ｌが左接着部材４１である点及び右接着部４Ｒが右接着部材４２である点において、センサ１と相違する。左接着部材４１と右接着部材４２とは、別の部材である。Sensor 1d differs from sensor 1 in that the left adhesive portion 4L is the left adhesive member 41 and the right adhesive portion 4R is the right adhesive member 42. The left adhesive member 41 and the right adhesive member 42 are separate members.

左接着部材４１及び右接着部材４２のそれぞれは、センサ部３を被測定物２に固定する。 The left adhesive member 41 and the right adhesive member 42 each fix the sensor unit 3 to the object to be measured 2.

左接着部材４１及び右接着部材４２のそれぞれは、例えば、片面テープ、両面テープ、熱硬化接着剤、熱可塑性接着剤又はＵＶ硬化接着剤である。本実施形態では、左接着部材４１及び右接着部材４２のそれぞれは、図２０に示すように、上下方向に視て、前後方向に延びる長辺を有する矩形状を有している。Each of the left adhesive member 41 and the right adhesive member 42 is, for example, a single-sided tape, a double-sided tape, a heat-curing adhesive, a thermoplastic adhesive, or a UV-curing adhesive. In this embodiment, each of the left adhesive member 41 and the right adhesive member 42 has a rectangular shape with long sides extending in the front-rear direction when viewed in the up-down direction, as shown in FIG. 20.

左接着部材４１は、図２０に示すように、上下方向に視て、センサ部３の左部と重なっている。また、本実施形態では、左接着部材４１は、図２２に示すように、センサ部３の左側面及び第１上主面ＵＳ１に跨って設けられる。As shown in Fig. 20, the left adhesive member 41 overlaps with the left portion of the sensor unit 3 when viewed in the up-down direction. In this embodiment, the left adhesive member 41 is provided across the left side surface of the sensor unit 3 and the first upper principal surface US1 as shown in Fig. 22.

左接着部材４１は、図２０に示すように、上下方向に並ぶ第３上面ＵＳ４１及び第３下面ＬＳ４１を有している。第３下面ＬＳ４１は、第３上面ＵＳ４１の下に位置している。また、第３下面ＬＳ４１の法線方向は、下方向である。 As shown in Figure 20, the left adhesive member 41 has a third upper surface US41 and a third lower surface LS41 that are aligned in the vertical direction. The third lower surface LS41 is located below the third upper surface US41. The normal direction of the third lower surface LS41 is the downward direction.

左接着部材４１は、センサ部３の左端部に接している。より詳細には、左接着部材４１は、図２２に示すように、センサ部３の左側面と接している。また、左接着部材４１は、センサ部３の前側面及び後側面のそれぞれと接している。The left adhesive member 41 is in contact with the left end of the sensor unit 3. More specifically, as shown in Fig. 22, the left adhesive member 41 is in contact with the left side surface of the sensor unit 3. The left adhesive member 41 is also in contact with each of the front and rear side surfaces of the sensor unit 3.

左接着部材４１は、図２２に示すように、センサ部３の第１上主面ＵＳ１と接している。より詳細には、第３下面ＬＳ４１は、センサ部３の第１上主面ＵＳ１と接している。しかし、左接着部材４１は、図２１に示すように、センサ部３の第１下主面ＬＳ１と接していない。第３下面ＬＳ４１は、上下方向に視て、センサ部３の左端部の前の領域ＰＬＦ、センサ部３の左端部の左の領域ＰＬＬ及びセンサ部３の左端部の後の領域ＰＬＢにおいて重ならない部分を有している。従って、第３下面ＬＳ４１は、センサ部３の左の領域ＰＬＬにおいてセンサ部３と重ならない部分Ｐ１を有している。部分Ｐ１は、被測定物２の上主面に接する。これにより、センサ部３の左端部は、被測定物２の上主面に固定される。22, the left adhesive member 41 is in contact with the first upper main surface US1 of the sensor unit 3. More specifically, the third lower surface LS41 is in contact with the first upper main surface US1 of the sensor unit 3. However, the left adhesive member 41 is not in contact with the first lower main surface LS1 of the sensor unit 3 as shown in FIG. 21. When viewed in the up-down direction, the third lower surface LS41 has a non-overlapping portion in the region PLF in front of the left end of the sensor unit 3, the region PLL to the left of the left end of the sensor unit 3, and the region PLB after the left end of the sensor unit 3. Therefore, the third lower surface LS41 has a portion P1 that does not overlap with the sensor unit 3 in the left region PLL of the sensor unit 3. The portion P1 is in contact with the upper main surface of the object to be measured 2. As a result, the left end of the sensor unit 3 is fixed to the upper main surface of the object to be measured 2.

右接着部材４２は、図２０に示すように、上下方向に視て、センサ部３の右部と重なっている。また、本実施形態では、右接着部材４２は、図２２に示すように、センサ部３の右側面及び第１上主面ＵＳ１に跨って設けられる。As shown in Fig. 20, the right adhesive member 42 overlaps with the right part of the sensor unit 3 when viewed in the up-down direction. In this embodiment, the right adhesive member 42 is provided across the right side surface of the sensor unit 3 and the first upper principal surface US1 as shown in Fig. 22.

右接着部材４２は、図２０に示すように、上下方向に並ぶ第４上面ＵＳ４２及び第４下面ＬＳ４２を有している。第４下面ＬＳ４２は、第４上面ＵＳ４２の下に位置している。また、第４下面ＬＳ４２の法線方向は、下方向である。20, the right adhesive member 42 has a fourth upper surface US42 and a fourth lower surface LS42 aligned in the vertical direction. The fourth lower surface LS42 is located below the fourth upper surface US42. The normal direction of the fourth lower surface LS42 is the downward direction.

右接着部材４２は、センサ部３の右端部に接している。より詳細には、右接着部材４２は、図２２に示すように、センサ部３の右側面と接している。また、右接着部材４２は、センサ部３の前側面及び後側面のそれぞれと接している。The right adhesive member 42 is in contact with the right end of the sensor unit 3. More specifically, as shown in Fig. 22, the right adhesive member 42 is in contact with the right side surface of the sensor unit 3. The right adhesive member 42 is also in contact with each of the front and rear side surfaces of the sensor unit 3.

右接着部材４２は、図２２に示すように、センサ部３の第１上主面ＵＳ１と接している。より詳細には、第４下面ＬＳ４２は、センサ部３の第１上主面ＵＳ１と接している。しかし、右接着部材４２は、図２１に示すように、センサ部３の第１下主面ＬＳ１と接していない。第４下面ＬＳ４２は、上下方向に視て、センサ部３の右端部の前の領域ＰＲＦ、センサ部３の右端部の右の領域ＰＲＲ及びセンサ部３の右端部の後の領域ＰＲＢにおいて重ならない部分を有している。従って、第４下面ＬＳ４２は、センサ部３の右の領域ＰＲＲにおいてセンサ部３と重ならない部分Ｐ２を有している。部分Ｐ２は、被測定物２の上主面に接する。これにより、センサ部３の右端部は、被測定物２の上主面に固定される。22, the right adhesive member 42 is in contact with the first upper main surface US1 of the sensor unit 3. More specifically, the fourth lower surface LS42 is in contact with the first upper main surface US1 of the sensor unit 3. However, the right adhesive member 42 is not in contact with the first lower main surface LS1 of the sensor unit 3 as shown in FIG. 21. When viewed in the up-down direction, the fourth lower surface LS42 has a portion that does not overlap in the region PRF in front of the right end of the sensor unit 3, the region PRR to the right of the right end of the sensor unit 3, and the region PRB after the right end of the sensor unit 3. Therefore, the fourth lower surface LS42 has a portion P2 that does not overlap with the sensor unit 3 in the right region PRR of the sensor unit 3. The portion P2 is in contact with the upper main surface of the object to be measured 2. As a result, the right end of the sensor unit 3 is fixed to the upper main surface of the object to be measured 2.

以上のようなセンサ１ｄにおいても、センサ１と同じ効果を奏する。また、センサ１ｄによれば、第１接着部材４の使用量を抑制することができる。The sensor 1d described above has the same effect as the sensor 1. Furthermore, the sensor 1d can reduce the amount of the first adhesive member 4 used.

［第４の変形例］
以下に第４の変形例に係るセンサ１ｅについて図を参照しながら説明する。図２３は、第４の変形例に係るセンサ１ｅ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。図２４は、第４の変形例に係るセンサ１ｅ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。なお、第４の変形例に係るセンサ１ｅについては、第２の実施形態に係るセンサ１ｄと異なる部分のみ説明し、後は省略する。 [Fourth Modification]
The sensor 1e according to the fourth modification will be described below with reference to the drawings. Fig. 23 is a plan view of the sensor 1e according to the fourth modification and the object to be measured 2 viewed downward. Fig. 24 is a cross-sectional view of the sensor 1e according to the fourth modification and the object to be measured 2 viewed forward. Note that with respect to the sensor 1e according to the fourth modification, only the parts different from the sensor 1d according to the second embodiment will be described, and the rest will be omitted.

センサ１ｅは、図２３及び図２４に示すように、左接着部材４１がセンサ部３の前側面及び後側面のそれぞれと接していない点及び右接着部材４２がセンサ部３の前側面及び後側面のそれぞれと接していない点において、センサ１ｄと相違する。As shown in Figures 23 and 24, sensor 1e differs from sensor 1d in that the left adhesive member 41 is not in contact with either the front or rear side of the sensor unit 3, and the right adhesive member 42 is not in contact with either the front or rear side of the sensor unit 3.

以上のようなセンサ１ｅにおいても、センサ１ｄと同じ効果を奏する。 Sensor 1e as described above has the same effect as sensor 1d.

［第３の実施形態］
以下に第３の実施形態に係るセンサ１ｆについて図を参照しながら説明する。図２５は、第３の実施形態に係るセンサ１ｆ及び被測定物２の分解斜視図である。図２６は、第３の実施形態に係るセンサ１ｆ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。図２７は、第３の実施形態に係るセンサ１ｆを上方向に視た平面図である。なお、第３の実施形態に係るセンサ１ｆについては、第１の実施形態に係るセンサ１と異なる部分のみ説明し、後は省略する。 [Third embodiment]
The sensor 1f according to the third embodiment will be described below with reference to the drawings. Fig. 25 is an exploded perspective view of the sensor 1f and the object to be measured 2 according to the third embodiment. Fig. 26 is a plan view of the sensor 1f and the object to be measured 2 according to the third embodiment viewed from below. Fig. 27 is a plan view of the sensor 1f according to the third embodiment viewed from above. Note that with regard to the sensor 1f according to the third embodiment, only the parts different from the sensor 1 according to the first embodiment will be described, and the rest will be omitted.

センサ１ｆは、第２接着部材９を更に備えている点において、センサ１と相違する。Sensor 1f differs from sensor 1 in that it further comprises a second adhesive member 9.

第２接着部材９は、センサ部３を被測定物２に固定する。第２接着部材９は、例えば、両面テープ、熱硬化接着剤、熱可塑性接着剤又はＵＶ硬化接着剤である。本実施形態では、第２接着部材９は、図２５に示すように、上下方向に視て、左右方向に延びる長辺を有する矩形状を有している。The second adhesive member 9 fixes the sensor unit 3 to the object to be measured 2. The second adhesive member 9 is, for example, a double-sided tape, a heat-curing adhesive, a thermoplastic adhesive, or a UV-curing adhesive. In this embodiment, the second adhesive member 9 has a rectangular shape with long sides extending in the left-right direction when viewed in the up-down direction, as shown in Figure 25.

第２接着部材９は、図２５に示すように、上下方向に並ぶ上面ＵＳ９及び下面ＬＳ９を有している。下面ＬＳ９は、上面ＵＳ９の下に位置している。第２接着部材９は、センサ部３の第１下主面ＬＳ１に設けられる。これにより、第２接着部材９は、センサ部３の第１下主面ＬＳ１を被測定物２の上主面に固定する。25, the second adhesive member 9 has an upper surface US9 and a lower surface LS9 aligned in the vertical direction. The lower surface LS9 is located below the upper surface US9. The second adhesive member 9 is provided on the first lower principal surface LS1 of the sensor section 3. As a result, the second adhesive member 9 fixes the first lower principal surface LS1 of the sensor section 3 to the upper principal surface of the object to be measured 2.

センサ部３の第１上主面ＵＳ１の外縁は、図２６に示すように、上下方向に視て、第２接着部材９を囲んでいる。また、センサ部３の第１下主面ＬＳ１の外縁は、図２７に示すように、上下方向に視て、第２接着部材９を囲んでいる。 The outer edge of the first upper principal surface US1 of the sensor unit 3 surrounds the second adhesive member 9 when viewed in the up-down direction as shown in Fig. 26. Also, the outer edge of the first lower principal surface LS1 of the sensor unit 3 surrounds the second adhesive member 9 when viewed in the up-down direction as shown in Fig. 27.

以上のようなセンサ１ｆにおいても、センサ１と同じ効果を奏する。また、センサ１ｆによれば、センサ部３をより強固に被測定物２に固定することができる。The sensor 1f described above has the same effect as the sensor 1. Furthermore, the sensor 1f allows the sensor unit 3 to be more firmly fixed to the object 2 to be measured.

［その他の実施形態］
本発明に係るセンサは、センサ１，１ａ～１ｆに限らず、その要旨の範囲において変更可能である。また、センサ１，１ａ～１ｆの構造を任意に組み合わせてもよい。 [Other embodiments]
The sensor according to the present invention is not limited to the sensors 1 and 1a to 1f, and may be modified within the scope of the present invention. In addition, the structures of the sensors 1 and 1a to 1f may be arbitrarily combined.

なお、被測定物２は、板形状を有していなくてもよい。 In addition, the object to be measured 2 does not have to have a plate shape.

なお、センサ１，１ａ～１ｆは、複数の第１接着部材４を備えていてもよい。 In addition, the sensors 1, 1a to 1f may be provided with multiple first adhesive members 4.

なお、センサ部３は、上下方向に視て、矩形状を有していなくてもよい。この場合、センサ部３は、左右方向に延びる長手方向を有していればよい。In addition, the sensor unit 3 does not have to have a rectangular shape when viewed in the vertical direction. In this case, the sensor unit 3 only needs to have a longitudinal direction extending in the left-right direction.

なお、圧電フィルム１４の左右方向の長さは、圧電フィルム１４の前後方向の長さと同じであってもよい。 In addition, the left-right length of the piezoelectric film 14 may be the same as the front-to-back length of the piezoelectric film 14.

なお、圧電フィルム１４は、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）フィルムであってもよい。また、圧電フィルム１４は、圧電セラミックであってもよい。The piezoelectric film 14 may be a PVDF (polyvinylidene fluoride) film. The piezoelectric film 14 may be a piezoelectric ceramic.

なお、圧電フィルム１４が左右方向に伸張されたときに圧電フィルム１４が発生する電荷の極性は、圧電フィルム１４が前後方向に伸張されたときに圧電フィルム１４が発生する電荷の極性と同じであってもよい。 In addition, the polarity of the charge generated by the piezoelectric film 14 when the piezoelectric film 14 is stretched in the left-right direction may be the same as the polarity of the charge generated by the piezoelectric film 14 when the piezoelectric film 14 is stretched in the front-back direction.

なお、圧電フィルム１４の一軸延伸方向（配向方向）と前後方向及び左右方向のそれぞれとが形成する角度は、４５度に限られない。 In addition, the angles formed between the uniaxial stretching direction (orientation direction) of the piezoelectric film 14 and each of the front-to-back and left-to-right directions are not limited to 45 degrees.

なお、上電極１５ａが信号電極であり、下電極１５ｂがグランド電極であってもよい。 In addition, the upper electrode 15a may be a signal electrode and the lower electrode 15b may be a ground electrode.

なお、下電極１５ｂは、フレキシブルプリント基板１９の上主面と下主面との間に設けられていてもよい。すなわち、下電極１５ｂは、フレキシブルプリント基板１９内に位置していてもよい。The lower electrode 15b may be provided between the upper and lower main surfaces of the flexible printed circuit board 19. In other words, the lower electrode 15b may be located within the flexible printed circuit board 19.

なお、フレキシブルプリント基板１９は、必須の構成要件ではない。 Note that the flexible printed circuit board 19 is not a required component.

なお、センサ１において、第２下面ＬＳ４Ｒは、上下方向に視て、センサ部３の右端部の前の領域ＰＲＦ、センサ部３の右端部の右の領域ＰＲＲ又はセンサ部３の右端部の後の領域ＰＲＢにおいて重ならない部分Ｐ２を有していればよい。In addition, in the sensor 1, the second lower surface LS4R has a portion P2 that does not overlap with the region PRF in front of the right end of the sensor unit 3, the region PRR to the right of the right end of the sensor unit 3, or the region PRB after the right end of the sensor unit 3, when viewed in the vertical direction.

なお、センサ１において、第１接着部材４の外縁は、上下方向に視て、センサ部３を囲んでいなくてもよい。 In addition, in the sensor 1, the outer edge of the first adhesive member 4 does not have to surround the sensor portion 3 when viewed in the vertical direction.

なお、センサ１ａにおいて、第１接着部材４は、センサ部３の前側面又は後側面に接していてもよい。In addition, in the sensor 1a, the first adhesive member 4 may be in contact with the front or rear side of the sensor portion 3.

なお、センサ１ｂにおいて、第１接着部材４は、センサ部３の前側面又は後側面を覆っていなくてもよい。 In addition, in sensor 1b, the first adhesive member 4 does not have to cover the front or rear side of the sensor portion 3.

なお、センサ１ｄにおいて、第４下面ＬＳ４２は、上下方向に視て、センサ部３の右端部の前の領域ＰＲＦ、センサ部３の右端部の右の領域ＰＲＲ又はセンサ部３の右端部の後の領域ＰＲＢにおいて重ならない部分を有していればよい。In addition, in sensor 1d, the fourth lower surface LS42, when viewed in the vertical direction, only needs to have a portion that does not overlap with the region PRF in front of the right end of the sensor unit 3, the region PRR to the right of the right end of the sensor unit 3, or the region PRB after the right end of the sensor unit 3.

なお、センサ１ｄにおいて、左接着部材４１及び右接着部材４２のそれぞれは、上下方向に視て、前後方向に延びる長辺を有する矩形状を有していなくてもよい。In addition, in sensor 1d, each of the left adhesive member 41 and the right adhesive member 42 does not have to have a rectangular shape with long sides extending in the front-to-rear direction when viewed in the up-down direction.

なお、センサ１ｄにおいて、左接着部材４１は、センサ部３の左側面及び第１上主面ＵＳ１に跨って設けられなくてもよい。 In addition, in sensor 1d, the left adhesive member 41 does not have to be provided across the left side surface of the sensor unit 3 and the first upper main surface US1.

なお、センサ１ｄにおいて、右接着部材４２は、センサ部３の右側面及び第１上主面ＵＳ１に跨って設けられなくてもよい。 In addition, in sensor 1d, the right adhesive member 42 does not have to be provided across the right side surface of the sensor unit 3 and the first upper main surface US1.

なお、センサ１ｆにおいて、センサ部３の第１下主面ＬＳ１の外縁は、上下方向に視て、第２接着部材９を囲んでいなくてもよい。第２接着部材９は、上下方向に視て、第１接着部材４の内縁に囲まれていてもよい。In addition, in sensor 1f, the outer edge of the first lower main surface LS1 of the sensor unit 3 does not have to surround the second adhesive member 9 when viewed in the vertical direction. The second adhesive member 9 may be surrounded by the inner edge of the first adhesive member 4 when viewed in the vertical direction.

なお、左接着部材４１と右接着部材４２とは、互いに接していてもよい。 The left adhesive member 41 and the right adhesive member 42 may be in contact with each other.

１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ，１ｆ：センサ
２：被測定物
３：センサ部
４：第１接着部材
４Ｌ：左接着部
４Ｒ：右接着部
５：ピエゾアクチュエータ
６，７：支持部材
９：第２接着部材
１３：電極部材
１４：圧電フィルム
１５ａ：上電極
１５ｂ：下電極
１９：フレキシブルプリント基板
４１：左接着部材
４２：右接着部材
ＬＳ１：第１下主面
ＬＳ２：第２下主面
ＬＳ４，ＬＳ９：下面
ＬＳ４１：第３下面
ＬＳ４２：第４下面
ＬＳ４Ｌ：第１下面
ＬＳ４Ｒ：第２下面
Ｐ１，Ｐ２：部分
ＵＳ１：第１上主面
ＵＳ２：第２上主面
Ｓ７，ＵＳ４，ＵＳ９：上面
ＵＳ４１：第３上面
ＵＳ４２：第４上面 1, 1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f: Sensor 2: Measured object 3: Sensor section 4: First adhesive member 4L: Left adhesive section 4R: Right adhesive section 5: Piezo actuator 6, 7: Support member 9: Second adhesive member 13: Electrode member 14: Piezoelectric film 15a: Upper electrode 15b: Lower electrode 19: Flexible printed circuit board 41: Left adhesive member 42: Right adhesive member LS1: First lower main surface LS2: Second lower main surface Surfaces LS4, LS9: Lower surface LS41: Third lower surface LS42: Fourth lower surface LS4L: First lower surface LS4R: Second lower surface P1, P2: Part US1: First upper main surface US2: Second upper main surface S7, US4, US9 :Top surface US41:Third top surface US42:Fourth top surface

Claims

a sensor unit having a first upper main surface and a first lower main surface aligned in a vertical direction and a left side surface and a right side surface aligned in a horizontal direction, the sensor unit having a longitudinal direction extending in the horizontal direction;
one or more first adhesive members having a lower surface;
The sensor unit includes:
a piezoelectric film having a second upper principal surface and a second lower principal surface aligned in the vertical direction;
an upper electrode provided on the second upper principal surface;
an electrode member provided on the second lower main surface,
The electrode member has a lower electrode,
The first adhesive member is
a left adhesive member having a first lower surface;
a right adhesive member having a second lower surface and being a separate member from the left adhesive member ;
the left adhesive member contacts the left side surface,
the first lower surface has a portion that does not overlap with the sensor unit in a left region of the sensor unit when viewed in the up-down direction,
the right adhesive member is not in contact with the first lower main surface and is in contact with a right end portion of the sensor portion;
The second lower surface has a portion that does not overlap with the sensor unit in a front, right, or rear region of the right end portion when viewed in the up-down direction.
Sensor.

The first adhesive member is provided across the left side surface and the first upper main surface.
The sensor of claim 1 .

The first adhesive member is provided across the left side surface, the first upper main surface, and the right side surface.
The sensor according to claim 1 or 2.

The left adhesive member is provided across the left side surface and the first upper main surface.
The sensor according to claim 1 or 2 .

The right adhesive member is provided across the right side surface and the first upper main surface.
The sensor according to claim 1 or 2 .

The electrode member further includes a flexible printed circuit board.
The sensor according to claim 1 or 2 .

An outer edge of the first adhesive member surrounds the sensor portion when viewed in the up-down direction.
The sensor according to claim 1 or 2 .

An inner edge of the first adhesive member surrounds the sensor portion when viewed in the up-down direction.
The sensor according to claim 1 or 2 .

Further comprising a second adhesive member,
The second adhesive member is provided on the first lower main surface.
The sensor according to claim 1 or 2 .

An outer edge of the first lower main surface surrounds the second adhesive member when viewed in the up-down direction.
The sensor of claim 9 .

a sensor unit having a first upper main surface and a first lower main surface aligned in a vertical direction and a left side surface and a right side surface aligned in a horizontal direction, the sensor unit having a longitudinal direction extending in the horizontal direction;
one or more first adhesive members having a lower surface;
The sensor unit includes:
a piezoelectric film having a second upper principal surface and a second lower principal surface aligned in the vertical direction;
an upper electrode provided on the second upper principal surface;
an electrode member provided on the second lower main surface,
The electrode member is
A lower electrode;
A flexible printed circuit board,
the first adhesive member includes a left adhesive portion having a first lower surface and a right adhesive portion having a second lower surface;
The left adhesive portion is in contact with the left side surface,
the first lower surface has a portion that does not overlap with the sensor unit in a left region of the sensor unit when viewed in the up-down direction,
the right adhesive portion is not in contact with the first lower main surface and is in contact with a right end portion of the sensor portion;
The second lower surface has a portion that does not overlap with the sensor unit in a front, right, or rear region of the right end portion when viewed in the up-down direction.
Sensor.

a sensor unit having a first upper main surface and a first lower main surface aligned in a vertical direction and a left side surface and a right side surface aligned in a horizontal direction, the sensor unit having a longitudinal direction extending in the horizontal direction;
one or more first adhesive members having a lower surface;
and a second adhesive member,
The sensor unit includes:
a piezoelectric film having a second upper principal surface and a second lower principal surface aligned in the vertical direction;
an upper electrode provided on the second upper principal surface;
an electrode member provided on the second lower main surface,
The electrode member has a lower electrode,
the first adhesive member includes a left adhesive portion having a first lower surface and a right adhesive portion having a second lower surface;
The left adhesive portion is in contact with the left side surface,
the first lower surface has a portion that does not overlap with the sensor unit in a left region of the sensor unit when viewed in the up-down direction,
the right adhesive portion is not in contact with the first lower main surface and is in contact with a right end portion of the sensor portion;
the second lower surface has a portion that does not overlap with the sensor unit in a front, right, or rear region of the right end portion when viewed in the up-down direction,
The second adhesive member is provided on the first lower main surface.
Sensor.