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JP7546012B2 - Chip Resistors - Google Patents

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JP7546012B2
JP7546012B2 JP2022078717A JP2022078717A JP7546012B2 JP 7546012 B2 JP7546012 B2 JP 7546012B2 JP 2022078717 A JP2022078717 A JP 2022078717A JP 2022078717 A JP2022078717 A JP 2022078717A JP 7546012 B2 JP7546012 B2 JP 7546012B2
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Japan
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electrode
protective film
chip resistor
resistor
mounting surface
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高徳 篠浦
渉 今橋
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Rohm Co Ltd
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Rohm Co Ltd
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Description

本発明は、チップ抵抗器に関する。 The present invention relates to a chip resistor.

チップ抵抗器の電極の一部を構成する内部電極(上面電極、裏面電極および側面電極)には、主にAgが含まれている。チップ抵抗器が使用される電子機器の周辺環境に硫化ガス(H2S、SO2など)が存在する場合、当該内部電極は硫化ガスと化合して、黒色の硫化銀(Ag2S)を生成する。硫化銀は、電気絶縁性を有するため、内部電極の硫化が進展すると当該内部電極が断線する、すなわちチップ抵抗器の電極が断線するおそれがある。 The internal electrodes (top, back and side electrodes) constituting part of the electrodes of the chip resistor mainly contain Ag. When sulfur gas ( H2S , SO2 , etc.) is present in the surrounding environment of the electronic device in which the chip resistor is used, the internal electrodes combine with the sulfur gas to produce black silver sulfide ( Ag2S ). Since silver sulfide has electrical insulation properties, if the sulfurization of the internal electrodes progresses, the internal electrodes may break, i.e., the electrodes of the chip resistor may break.

こうした事情から、たとえば特許文献1に開示されているように、内部電極のうち上面電極の材料をAg-Pd合金としたチップ抵抗器が従来から知られている。Ag-Pd合金は、耐硫化性能に優れた材質であるものの、高価であるため、経済性に劣るというデメリットを有する。 For these reasons, as disclosed in Patent Document 1, for example, chip resistors have been known in which the material of the upper electrode of the internal electrodes is an Ag-Pd alloy. Although the Ag-Pd alloy is a material with excellent sulfur resistance, it has the disadvantage of being expensive and therefore less economical.

そこで、同じく特許文献1には、上面電極の上に位置するとともに、Agなどの金属粒子と炭素粒子を含むエポキシ樹脂からなる再上面電極をさらに備えるチップ抵抗器が開示されている。前記再上面電極は、上面電極よりも硫化し難い電極であるとともに、Ag-Pd合金からなる電極よりも安価である。したがって、再上面電極を備えるチップ抵抗器は、耐硫化性能を有しつつ、経済性に有利というメリットを有する。 Patent Document 1 also discloses a chip resistor that further includes a top electrode that is located on the top electrode and is made of an epoxy resin containing metal particles such as Ag and carbon particles. The top electrode is less susceptible to sulfurization than the top electrode, and is less expensive than an electrode made of an Ag-Pd alloy. Therefore, a chip resistor that includes a top electrode has the advantage of being economical while also having sulfurization resistance.

ここで、再上面電極を備えるチップ抵抗器は、当該再上面電極を覆うNiめっき層(中間電極)を備える。再上面電極は、炭素粒子を含む。炭素粒子の含有量が多いほど、再上面電極の耐硫化性能が向上する。しかし、炭素粒子の含有量が規定量を超えると、Niめっき層と当該再上面電極との付着力が低下するため、Niめっき層が剥離する場合がある。Niめっき層が剥離すると、硫化ガスが内部電極(上面電極および側面電極)まで進入し、当該内部電極の硫化の進展によりチップ抵抗器の電極が断線するという懸念がある。 Here, the chip resistor with the top electrode has a Ni plating layer (intermediate electrode) covering the top electrode. The top electrode contains carbon particles. The higher the carbon particle content, the better the sulfurization resistance of the top electrode. However, if the carbon particle content exceeds a specified amount, the adhesion between the Ni plating layer and the top electrode decreases, and the Ni plating layer may peel off. If the Ni plating layer peels off, sulfur gas may penetrate to the internal electrodes (top electrode and side electrode), and there is a concern that the electrodes of the chip resistor may break due to the progression of sulfurization of the internal electrodes.

また、一般的には、特許文献2に開示されているチップ抵抗器のように、抵抗体の表面がエポキシ樹脂を含むペーストからなる保護膜により覆われている。 In addition, typically, the surface of the resistor is covered with a protective film made of a paste containing epoxy resin, as in the chip resistor disclosed in Patent Document 2.

チップ抵抗器の使用状態によっては、内部電極を覆うNiめっき層(中間電極)の温度が著しく上昇する。このとき、Niめっき層の先端部(平面視におけるNiめっき層と保護膜との境界部)に熱衝撃が生じる場合がある。当該熱衝撃が保護膜に作用すると、保護膜に亀裂が発生する。当該亀裂が内部電極に向かって進展すると、当該内部電極が露出する。このとき、チップ抵抗器が使用される電子機器の周辺環境に硫化ガスが存在する場合、先述のとおり内部電極は硫化ガスと化合して、チップ抵抗器の電極が断線するおそれがある。 Depending on how the chip resistor is used, the temperature of the Ni plating layer (intermediate electrode) covering the internal electrode may rise significantly. At this time, a thermal shock may occur at the tip of the Ni plating layer (the boundary between the Ni plating layer and the protective film in a plan view). If this thermal shock acts on the protective film, a crack will occur in the protective film. If this crack progresses toward the internal electrode, the internal electrode will be exposed. At this time, if sulfur gas is present in the environment surrounding the electronic device in which the chip resistor is used, the internal electrode may combine with the sulfur gas as mentioned above, and the electrode of the chip resistor may break.

特開2013-258292号公報JP 2013-258292 A 特開2012-151195号公報JP 2012-151195 A

本発明は先述した事情に鑑み、コストを抑えつつ、耐硫化性能の向上を図ったチップ抵抗器およびその製造方法を提供することをその課題とする。また、本発明は先述した事情に鑑み、電極に発生した熱衝撃によって保護膜に亀裂が進展しても、硫化による当該電極の断線を防止することが可能なチップ抵抗器およびその製造方法を提供することをその課題とする。 In view of the above-mentioned circumstances, the present invention aims to provide a chip resistor and a manufacturing method thereof that improves anti-sulfuration performance while suppressing costs. In view of the above-mentioned circumstances, the present invention also aims to provide a chip resistor and a manufacturing method thereof that can prevent disconnection of the electrode due to sulfuration even if a crack develops in the protective film due to thermal shock occurring on the electrode.

本発明の第1の側面によって提供されるチップ抵抗器は、互いに反対側を向く搭載面および実装面を有する基板と、前記基板の前記搭載面の両端に配置された一対の上面電極と、前記基板の前記搭載面と前記実装面との間に位置する前記基板の側面に配置された部分と、前記基板の厚さ方向視において前記搭載面および前記実装面に重なる部分とを有し、かつ前記上面電極に導通している側面電極と、前記基板の前記搭載面において、前記一対の上面電極の間に搭載された抵抗体と、前記側面電極を覆う中間電極と、前記中間電極を覆う外部電極と、を備えるチップ抵抗器であって、前記上面電極と前記中間電極との間に位置し、かつ前記上面電極および前記側面電極に接して配置されている、前記上面電極よりも硫化し難い特性を有する第1保護層と、前記第1保護層と前記中間電極との間に位置し、かつ前記第1保護層、前記側面電極および前記中間電極に接して配置されている、導電性を有する第2保護層と、を有することを特徴としている。 The chip resistor provided by the first aspect of the present invention is a chip resistor comprising: a substrate having a mounting surface and a mounting surface facing in opposite directions; a pair of upper electrodes arranged on both ends of the mounting surface of the substrate; a portion arranged on the side of the substrate between the mounting surface and the mounting surface of the substrate; and a portion overlapping the mounting surface and the mounting surface when viewed in the thickness direction of the substrate, the side electrode being conductive to the upper electrodes; a resistor mounted on the mounting surface of the substrate between the pair of upper electrodes; an intermediate electrode covering the side electrodes; and an external electrode covering the intermediate electrode. The chip resistor is characterized by having a first protective layer that is less susceptible to sulfurization than the upper electrode, which is located between the upper electrode and the intermediate electrode and is arranged in contact with the upper electrode and the side electrode; and a second protective layer that is conductive and is located between the first protective layer and the intermediate electrode and is arranged in contact with the first protective layer, the side electrode, and the intermediate electrode.

本発明の実施において好ましくは、前記第1保護層は、炭素粒子を含む。 In the practice of the present invention, the first protective layer preferably contains carbon particles.

本発明の実施において好ましくは、前記第1保護層は、電気絶縁体である。 In the practice of the present invention, the first protective layer is preferably an electrical insulator.

本発明の実施において好ましくは、前記第2保護層は、Agを含む。 In the practice of the present invention, the second protective layer preferably contains Ag.

本発明の実施において好ましくは、前記側面電極は、Ni-Cr合金からなる。 In the practice of the present invention, the side electrodes are preferably made of a Ni-Cr alloy.

本発明の実施において好ましくは、前記基板の前記実装面の両端に配置された一対の裏面電極をさらに備え、前記側面電極は、前記裏面電極に導通している。 In the implementation of the present invention, preferably, the substrate further includes a pair of back electrodes arranged on both ends of the mounting surface, and the side electrodes are electrically connected to the back electrodes.

本発明の実施において好ましくは、前記裏面電極は、前記中間電極に覆われている。 In the practice of the present invention, the back electrode is preferably covered by the intermediate electrode.

本発明の実施において好ましくは、前記基板は、電気絶縁体である。 In the practice of the present invention, the substrate is preferably an electrical insulator.

本発明の実施において好ましくは、前記基板は、アルミナからなる。 In the practice of the present invention, the substrate is preferably made of alumina.

本発明の実施において好ましくは、前記抵抗体の平面視形状は、サーペンタイン状である。 In the practice of the present invention, the resistor preferably has a serpentine shape in plan view.

本発明の実施において好ましくは、前記抵抗体は、RuO2またはAg-Pd合金を含む。 In the practice of the present invention, the resistor preferably comprises RuO 2 or an Ag-Pd alloy.

本発明の実施において好ましくは、前記抵抗体を貫通するトリミング溝が、前記抵抗体に形成されている。 In the implementation of the present invention, preferably, a trimming groove penetrating the resistor is formed in the resistor.

本発明の実施において好ましくは、前記中間電極および前記外部電極は、めっき層からなる。 In the practice of the present invention, the intermediate electrode and the external electrode preferably consist of a plating layer.

本発明の実施において好ましくは、前記中間電極は、Niめっき層からなる。 In the practice of the present invention, the intermediate electrode preferably comprises a Ni plating layer.

本発明の実施において好ましくは、前記外部電極は、Snめっき層からなる。 In the practice of the present invention, the external electrodes preferably consist of a Sn-plated layer.

本発明の実施において好ましくは、前記抵抗体と、前記上面電極の一部と、を覆う保護膜をさらに備える。 In the implementation of the present invention, it is preferable to further include a protective film that covers the resistor and a portion of the upper electrode.

本発明の実施において好ましくは、前記第1保護層の一部が、前記保護膜に覆われている。 In the practice of the present invention, preferably, a portion of the first protective layer is covered with the protective film.

本発明の実施において好ましくは、前記保護膜は、下部保護膜および上部保護膜を有する。 In the practice of the present invention, the protective film preferably has a lower protective film and an upper protective film.

本発明の実施において好ましくは、前記下部保護膜は、ガラスを含む。 In the practice of the present invention, the lower protective film preferably includes glass.

本発明の実施において好ましくは、前記上部保護膜は、エポキシ樹脂を含む。 In the practice of the present invention, the upper protective film preferably contains an epoxy resin.

本発明の第2の側面によって提供されるチップ抵抗器の製造方法は、互いに反対側を向く搭載面および実装面を有するシート状基板を用意し、前記シート状基板の前記搭載面に、互いに離間した一対の領域を有する上面電極を形成する工程と、前記シート状基板の前記搭載面のうち、前記一対の領域に挟まれた領域に、前記上面電極に導通する抵抗体を搭載する工程と、前記上面電極の上面に、前記上面電極よりも硫化し難い特性を有する第1保護層を形成する工程と、前記第1保護層の上面に、導電性を有する第2保護層を形成する工程と、前記シート状基板を複数の帯状基板に分割する工程と、前記帯状基板の長手方向の両端に沿って位置する側面、前記搭載面および前記実装面に、前記上面電極に導通し、かつ前記第1保護層および前記第2保護層に接する側面電極を形成する工程と、前記側面電極および前記第2保護層を覆う中間電極と、前記中間電極を覆う外部電極と、をそれぞれ形成する工程と、を備えることを特徴としている。 The method for manufacturing a chip resistor provided by the second aspect of the present invention is characterized by comprising the steps of: preparing a sheet-like substrate having a mounting surface and a mounting surface facing opposite each other; forming an upper surface electrode having a pair of regions spaced apart from each other on the mounting surface of the sheet-like substrate; mounting a resistor that is conductive to the upper surface electrode on a region of the mounting surface of the sheet-like substrate sandwiched between the pair of regions; forming a first protective layer that is less susceptible to sulfurization than the upper surface electrode on the upper surface of the upper surface electrode; forming a second protective layer that is conductive on the upper surface of the first protective layer; dividing the sheet-like substrate into a plurality of strip-like substrates; forming side electrodes that are conductive to the upper surface electrode and in contact with the first protective layer and the second protective layer on the side surfaces, the mounting surface, and the mounting surface located along both ends of the longitudinal direction of the strip-like substrate; and forming an intermediate electrode that covers the side electrode and the second protective layer, and an external electrode that covers the intermediate electrode.

本発明の実施において好ましくは、前記第1保護層を形成する工程では、印刷を用いた手法により、前記第1保護層が形成される。 In carrying out the present invention, preferably, in the step of forming the first protective layer, the first protective layer is formed by a method using printing.

本発明の実施において好ましくは、本前記第2保護層を形成する工程では、印刷を用いた手法により、前記第2保護層が形成される。 In carrying out the present invention, preferably, in the step of forming the second protective layer, the second protective layer is formed by a method using printing.

本発明の実施において好ましくは、前記側面電極を形成する工程では、物理蒸着により、前記側面電極が形成される。 In carrying out the present invention, preferably, in the step of forming the side electrode, the side electrode is formed by physical vapor deposition.

本発明の実施において好ましくは、前記物理蒸着は、スパッタリング法である。 In the practice of the present invention, the physical vapor deposition is preferably a sputtering method.

本発明の実施において好ましくは、前記抵抗体を搭載する工程では、印刷を用いた手法により、または物理蒸着およびフォトリソグラフィを用いた手法により、前記抵抗体が搭載される。 In the implementation of the present invention, preferably, in the step of mounting the resistor, the resistor is mounted by a method using printing or a method using physical vapor deposition and photolithography.

本発明の実施において好ましくは、前記中間電極と、前記外部電極と、をそれぞれ形成する工程の前に、前記帯状基板を複数の個片に分割する工程をさらに備える。 In carrying out the present invention, it is preferable to further include a step of dividing the belt-shaped substrate into a plurality of individual pieces before the step of forming the intermediate electrode and the external electrode.

本発明の実施において好ましくは、前記中間電極と、前記外部電極と、をそれぞれ形成する工程では、めっきにより、前記中間電極と前記外部電極とがそれぞれ形成される。 In carrying out the present invention, preferably, in the steps of forming the intermediate electrode and the external electrode, the intermediate electrode and the external electrode are formed by plating.

本発明の実施において好ましくは、前記シート状基板の前記実装面に、互いに離間した一対の領域を有する裏面電極を形成する工程をさらに備える。 The present invention preferably further includes a step of forming a back electrode having a pair of regions spaced apart from each other on the mounting surface of the sheet-like substrate.

本発明の実施において好ましくは、前記抵抗体に、前記抵抗体を貫通するトリミング溝を形成する工程をさらに備える。 In carrying out the present invention, it is preferable to further include a step of forming a trimming groove in the resistor that penetrates the resistor.

本発明の実施において好ましくは、前記抵抗体と、前記上面電極および前記第1保護層のそれぞれの一部と、を覆う保護膜を形成する工程をさらに備える。 The present invention preferably further includes a step of forming a protective film that covers the resistor, the upper electrode, and each of a portion of the first protective layer.

本発明の実施において好ましくは、前記保護膜を形成する工程では、下部保護膜を形成する工程と、上部保護膜を形成する工程と、を含む。 In the practice of the present invention, the step of forming the protective film preferably includes a step of forming a lower protective film and a step of forming an upper protective film.

本発明の第3の側面によって提供されるチップ抵抗器は、互いに反対側を向く搭載面および実装面を有する基板と、前記基板の前記搭載面の両端に配置された一対の上面電極と、前記基板の前記搭載面において、前記一対の上面電極の間に搭載された抵抗体と、前記抵抗体と前記上面電極の一部とを覆う保護膜と、前記基板の前記搭載面と前記実装面との間に位置する前記基板の側面に配置された部分と、前記基板の平面視において前記搭載面および前記実装面に重なる部分とを有し、かつ前記上面電極に導通している側面電極と、前記側面電極を覆う中間電極と、前記中間電極を覆う外部電極と、を備えるチップ抵抗器であって、前記保護膜は、互いに積層された下部保護膜および上部保護膜を有し、前記下部保護膜は、前記上部保護膜よりも熱衝撃に強い材質からなり、前記上面電極の一部が、前記下部保護膜に覆われていることを特徴としている。 The chip resistor provided by the third aspect of the present invention is a chip resistor comprising: a substrate having a mounting surface and an assembly surface facing in opposite directions; a pair of upper electrodes arranged on both ends of the mounting surface of the substrate; a resistor mounted between the pair of upper electrodes on the mounting surface of the substrate; a protective film covering the resistor and a part of the upper electrodes; a part arranged on the side of the substrate between the mounting surface and the assembly surface of the substrate; a part overlapping the mounting surface and the assembly surface in a plan view of the substrate; and a side electrode electrically connected to the upper electrode; an intermediate electrode covering the side electrode; and an external electrode covering the intermediate electrode, the protective film having a lower protective film and an upper protective film laminated together, the lower protective film being made of a material more resistant to thermal shock than the upper protective film, and a part of the upper electrode being covered by the lower protective film.

本発明の実施において好ましくは、前記上面電極および前記上部保護膜のそれぞれの一部ずつが、前記側面電極に覆われている。 In the practice of the present invention, preferably, a portion of each of the upper electrode and the upper protective film is covered by the side electrode.

本発明の実施において好ましくは、前記上面電極の上面の少なくとも一部を覆う、前記上面電極よりも硫化し難い特性を有する保護層をさらに備え、前記保護層の少なくとも一部が前記側面電極に覆われている。 In the implementation of the present invention, preferably, a protective layer that covers at least a portion of the upper surface of the upper electrode and has properties that make it less susceptible to sulfurization than the upper electrode is provided, and at least a portion of the protective layer is covered by the side electrode.

本発明の実施において好ましくは、前記保護層の一部が、前記上部保護膜に覆われている。 In the practice of the present invention, preferably, a portion of the protective layer is covered by the upper protective film.

本発明の実施において好ましくは、前記保護層は、炭素粒子を含む。 In the practice of the present invention, the protective layer preferably contains carbon particles.

本発明の実施において好ましくは、前記保護層は、電気絶縁体である。 In the practice of the present invention, the protective layer is preferably an electrical insulator.

本発明の実施において好ましくは、本前記下部保護膜は、ガラスを含む。 In the practice of the present invention, the lower protective film preferably includes glass.

本発明の実施において好ましくは、前記上部保護膜は、エポキシ樹脂を含む。 In the practice of the present invention, the upper protective film preferably contains an epoxy resin.

本発明の実施において好ましくは、前記側面電極は、Ni―Cr合金からなる。 In the practice of the present invention, the side electrodes are preferably made of a Ni-Cr alloy.

本発明の実施において好ましくは、前記基板の前記実装面の両端に配置された一対の裏面電極をさらに備え、前記側面電極は、前記裏面電極に導通している。 In the implementation of the present invention, preferably, the substrate further includes a pair of back electrodes arranged on both ends of the mounting surface, and the side electrodes are electrically connected to the back electrodes.

本発明の実施において好ましくは、前記裏面電極は、前記中間電極に覆われている。 In the practice of the present invention, the back electrode is preferably covered by the intermediate electrode.

本発明の実施において好ましくは、前記基板は、電気絶縁体である。 In the practice of the present invention, the substrate is preferably an electrical insulator.

本発明の実施において好ましくは、前記基板は、アルミナからなる。 In the practice of the present invention, the substrate is preferably made of alumina.

本発明の実施において好ましくは、前記抵抗体を貫通するトリミング溝が、前記抵抗体に形成されている。 In the implementation of the present invention, preferably, a trimming groove penetrating the resistor is formed in the resistor.

本発明の実施において好ましくは、前記中間電極および前記外部電極は、めっき層からなる。 In the practice of the present invention, the intermediate electrode and the external electrode preferably consist of a plating layer.

本発明の実施において好ましくは、前記中間電極は、Niめっき層からなる。 In the practice of the present invention, the intermediate electrode preferably comprises a Ni plating layer.

本発明の実施において好ましくは、前記外部電極は、Snめっき層からなる。 In the practice of the present invention, the external electrodes preferably consist of a Sn-plated layer.

本発明の第4の側面によって提供されるチップ抵抗器の製造方法は、互いに反対側を向く搭載面および実装面を有するシート状基板を用意し、前記シート状基板の前記搭載面に、互いに離間した一対の領域を有する上面電極を形成する工程と、前記シート状基板の前記搭載面のうち、前記一対の領域に挟まれた領域に、前記上面電極に導通する抵抗体を搭載する工程と、前記抵抗体と、前記上面電極の一部とを覆う下部保護膜を形成する工程と、前記下部保護膜を覆う上部保護膜を形成する工程と、前記シート状基板を複数の帯状基板に分割する工程と、前記帯状基板の長手方向の両端に沿って位置する側面、前記搭載面および前記実装面に、前記上面電極に導通する側面電極を形成する工程と、前記側面電極を覆う中間電極と、前記中間電極を覆う外部電極とをそれぞれ形成する工程と、を備えることを特徴としている。 The method for manufacturing a chip resistor provided by the fourth aspect of the present invention is characterized by comprising the steps of: preparing a sheet-like substrate having a mounting surface and a mounting surface facing in opposite directions; forming an upper surface electrode having a pair of regions spaced apart from each other on the mounting surface of the sheet-like substrate; mounting a resistor that is conductive to the upper surface electrode on a region of the mounting surface of the sheet-like substrate sandwiched between the pair of regions; forming a lower protective film that covers the resistor and a part of the upper surface electrode; forming an upper protective film that covers the lower protective film; dividing the sheet-like substrate into a plurality of strip-like substrates; forming side electrodes that are conductive to the upper surface electrode on the side surfaces, the mounting surface, and the mounting surface located along both ends of the longitudinal direction of the strip-like substrate; and forming intermediate electrodes that cover the side electrodes and external electrodes that cover the intermediate electrodes.

本発明の実施において好ましくは、前記側面電極を形成する工程では、前記上面電極および前記上部保護膜のそれぞれの一部ずつが、前記側面電極に覆われることにより、前記側面電極が形成される。 In the practice of the present invention, preferably, in the step of forming the side electrode, the side electrode is formed by covering a portion of each of the top electrode and the upper protective film with the side electrode.

本発明の実施において好ましくは、前記上面電極の上面の少なくとも一部を覆う、前記上面電極よりも硫化し難い特性を有する保護層を形成する工程をさらに備える。 The present invention preferably further includes a step of forming a protective layer that covers at least a portion of the upper surface of the upper electrode and has characteristics that make it less susceptible to sulfurization than the upper electrode.

本発明の実施において好ましくは、前記保護層を形成する工程では、印刷を用いた手法により、前記保護層が形成される。 In carrying out the present invention, preferably, in the step of forming the protective layer, the protective layer is formed by a printing method.

本発明の実施において好ましくは、前記側面電極を形成する工程では、前記保護層の少なくとも一部が前記側面電極に覆われることにより、前記側面電極が形成される。 In carrying out the present invention, preferably, in the step of forming the side electrode, the side electrode is formed by covering at least a portion of the protective layer with the side electrode.

本発明の実施において好ましくは、前記上部保護膜を形成する工程では、前記保護層の一部が前記上部保護膜に覆われることにより、前記上部保護膜が形成される。 In carrying out the present invention, preferably, in the step of forming the upper protective film, a portion of the protective layer is covered with the upper protective film, thereby forming the upper protective film.

本発明の実施において好ましくは、前記下部保護膜を形成する工程では、印刷を用いた手法により、前記下部保護膜が形成される。 In carrying out the present invention, preferably, in the step of forming the lower protective film, the lower protective film is formed by a method using printing.

本発明の実施において好ましくは、前記上部保護膜を形成する工程では、印刷を用いた手法により、前記上部保護膜が形成される。 In the practice of the present invention, preferably, in the step of forming the upper protective film, the upper protective film is formed by a method using printing.

本発明の実施において好ましくは、前記側面電極を形成する工程では、物理蒸着により、前記側面電極が形成される。 In carrying out the present invention, preferably, in the step of forming the side electrode, the side electrode is formed by physical vapor deposition.

本発明の実施において好ましくは、前記物理蒸着は、スパッタリング法である。 In the practice of the present invention, the physical vapor deposition is preferably a sputtering method.

本発明の実施において好ましくは、本前記中間電極と、前記外部電極とをそれぞれ形成する工程では、めっきにより、前記中間電極と前記外部電極とがそれぞれ形成される。 In carrying out the present invention, preferably, in the process of forming the intermediate electrode and the external electrode, the intermediate electrode and the external electrode are formed by plating.

本発明の実施において好ましくは、前記中間電極と、前記外部電極とをそれぞれ形成する工程の前に、前記帯状基板を複数の個片に分割する工程をさらに備える。 In carrying out the present invention, it is preferable to further include a step of dividing the belt-shaped substrate into a plurality of individual pieces before the step of forming the intermediate electrode and the external electrode.

本発明の実施において好ましくは、前記シート状基板の前記実装面に、互いに離間した一対の領域を有する裏面電極を形成する工程をさらに備える。 The present invention preferably further includes a step of forming a back electrode having a pair of regions spaced apart from each other on the mounting surface of the sheet-like substrate.

本発明の実施において好ましくは、前記抵抗体に、前記抵抗体を貫通するトリミング溝を形成する工程をさらに備える。 In carrying out the present invention, it is preferable to further include a step of forming a trimming groove in the resistor that penetrates the resistor.

本発明にかかるチップ抵抗器は、上面電極と中間電極との間に位置し、かつ前記上面電極および側面電極に接して配置されている第1保護層を有する。よって、前記上面電極は、前記第1保護層に覆われた構成となっている。前記第1保護層は、前記上面電極よりも硫化し難い特性を有する。したがって、前記第1保護層によって、前記上面電極の硫化が防止され、前記上面電極の断線が回避される。また、本発明にかかるチップ抵抗器は、前記第1保護層とあわせて、前記第1保護層と前記中間電極との間に位置し、かつ前記第1保護層、前記側面電極および前記中間電極に接して配置されている第2保護層を有する。前記第1保護層は、導電性を有する前記第2保護層および前記側面電極に覆われた構成となっている。よって、前記中間電極は、前記第1保護層に接しない構成となっている。したがって、前記中間電極を構成するめっき層の剥離を回避することができる。以上より、前記第1保護層および前記第2保護層を備えることにより、チップ抵抗器のコストを抑えつつ、耐硫化性能の向上を図ることが可能となる。 The chip resistor according to the present invention has a first protective layer located between the upper electrode and the intermediate electrode and arranged in contact with the upper electrode and the side electrode. Therefore, the upper electrode is configured to be covered with the first protective layer. The first protective layer has a property that is less susceptible to sulfurization than the upper electrode. Therefore, the first protective layer prevents the upper electrode from being sulfurized, and disconnection of the upper electrode is avoided. In addition to the first protective layer, the chip resistor according to the present invention has a second protective layer located between the first protective layer and the intermediate electrode and arranged in contact with the first protective layer, the side electrode, and the intermediate electrode. The first protective layer is configured to be covered with the second protective layer and the side electrode, which have conductivity. Therefore, the intermediate electrode is configured not to be in contact with the first protective layer. Therefore, peeling of the plating layer constituting the intermediate electrode can be avoided. As described above, by providing the first protective layer and the second protective layer, it is possible to improve the sulfurization resistance performance while suppressing the cost of the chip resistor.

また、本発明にかかるチップ抵抗器は、互いに積層された下部保護膜および上部保護膜を有し、上面電極の一部が前記下部保護膜に覆われた構成となっている。前記下部保護膜は、前記上部保護膜よりも熱衝撃に強い材質からなる。このため、中間電極および外部電極であるめっき層の先端部(平面視における前記めっき層と前記上部保護膜との境界部)に生じた熱衝撃によって前記上部保護膜に亀裂が発生しても、前記下部保護膜によって当該亀裂の進展が抑止される。ゆえに、当該亀裂によって前記上面電極が露出しなくなるため、チップ抵抗器の周辺において発生した硫化ガスが、当該亀裂を介して前記上面電極まで進入しなくなる。したがって、電極に生じた熱衝撃によって前記上部保護膜に亀裂が発生しても、硫化による当該電極の断線を防止することが可能となる。 The chip resistor according to the present invention has a lower protective film and an upper protective film laminated on each other, and a part of the upper electrode is covered by the lower protective film. The lower protective film is made of a material that is more resistant to thermal shock than the upper protective film. Therefore, even if a crack occurs in the upper protective film due to a thermal shock occurring at the tip of the plating layer, which is an intermediate electrode and an external electrode (the boundary between the plating layer and the upper protective film in a plan view), the lower protective film prevents the crack from progressing. Therefore, the upper electrode is not exposed due to the crack, and sulfur gas generated around the chip resistor does not enter the upper electrode through the crack. Therefore, even if a crack occurs in the upper protective film due to a thermal shock occurring to the electrode, it is possible to prevent the electrode from being broken due to sulfurization.

本発明のその他の特徴および利点は、添付図面に基づき以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。 Other features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings.

本発明の第1実施形態にかかるチップ抵抗器を示す平面図である。1 is a plan view showing a chip resistor according to a first embodiment of the present invention; 図1のII-II線に沿う断面図である。2 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG. 図2の一部を拡大した部分拡大断面図である。FIG. 3 is a partially enlarged cross-sectional view of a part of FIG. 2 . 図1のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す平面図である。2 is a plan view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 1; 図1のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す平面図である。2 is a plan view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 1; 図1のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す平面図である。2 is a plan view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 1; 図1のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す平面図である。2 is a plan view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 1; 図1のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す平面図である。2 is a plan view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 1; 図1のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す平面図である。2 is a plan view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 1; 図1のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す平面図である。2 is a plan view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 1; 図1のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す平面図である。2 is a plan view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 1; 図1のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す斜視図である。2 is a perspective view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 1; 図1のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す斜視図である。2 is a perspective view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 1; 図1のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す斜視図である。2 is a perspective view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 1; 図1のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す斜視図である。2 is a perspective view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 1; 本発明の第2実施形態にかかるチップ抵抗器を示す平面図である。FIG. 11 is a plan view showing a chip resistor according to a second embodiment of the present invention. 図16のXVII-XVII線に沿う断面図である。17 is a cross-sectional view taken along line XVII-XVII in FIG. 16. 本発明の第3実施形態にかかるチップ抵抗器を示す平面図である。FIG. 13 is a plan view showing a chip resistor according to a third embodiment of the present invention. 図18のXIX-XIX線に沿う断面図である。19 is a cross-sectional view taken along line XIX-XIX in FIG. 18. 図19の一部を拡大した部分拡大断面図である。FIG. 20 is a partially enlarged cross-sectional view of a portion of FIG. 19 . 図18のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す平面図である。19 is a plan view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 18. 図18のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す平面図である。19 is a plan view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 18. 図18のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す平面図である。19 is a plan view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 18. 図18のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す平面図である。19 is a plan view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 18. 図18のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す平面図である。19 is a plan view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 18. 図18のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す平面図である。19 is a plan view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 18. 図18のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す斜視図である。19 is a perspective view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 18. 図18のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す斜視図である。19 is a perspective view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 18. 図18のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す斜視図である。19 is a perspective view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 18. 図18のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す斜視図である。19 is a perspective view showing a process for manufacturing the chip resistor shown in FIG. 18. 本発明の第4実施形態にかかるチップ抵抗器を示す平面図である。FIG. 13 is a plan view showing a chip resistor according to a fourth embodiment of the present invention. 図31のXXXII-XXXII線に沿う断面図である。This is a cross-sectional view taken along line XXXII-XXXII in Figure 31. 図32の一部を拡大した部分拡大断面図である。FIG. 33 is a partially enlarged cross-sectional view of a portion of FIG. 32 . 図31のチップ抵抗器の製造方法にかかる工程を示す平面図である。32 is a plan view showing a process for manufacturing the chip resistor of FIG. 31.

本発明を実施するための形態について、添付図面に基づいて説明する。 The embodiment of the present invention will be described with reference to the attached drawings.

〔第1実施形態〕
図1~図3に基づき、本発明の第1実施形態にかかるチップ抵抗器A1について説明する。ここで、図1は、理解の便宜上、後述する中間電極34、外部電極35および保護膜5を省略している。
First Embodiment
A chip resistor A1 according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to Figures 1 to 3. For ease of understanding, intermediate electrodes 34, external electrodes 35, and a protective film 5, which will be described later, are omitted from Figure 1.

これらの図に示すチップ抵抗器A1は、各種電子機器の回路基板に表面実装される形式のものである。本実施形態にかかるチップ抵抗器A1は、基板1、抵抗体2、電極3、保護層4および保護膜5を備える。本実施形態においては、チップ抵抗器A1は、平面視矩形状である。本実施形態にかかるチップ抵抗器A1は、いわゆる厚膜(メタルグレーズ皮膜)チップ抵抗器である。 The chip resistor A1 shown in these figures is of a type that is surface-mounted on the circuit board of various electronic devices. The chip resistor A1 of this embodiment comprises a substrate 1, a resistive element 2, an electrode 3, a protective layer 4, and a protective film 5. In this embodiment, the chip resistor A1 is rectangular in plan view. The chip resistor A1 of this embodiment is a so-called thick-film (metal glaze film) chip resistor.

基板1は、図1および図2に示すように、抵抗体2を搭載し、かつチップ抵抗器A1を各種電子機器の回路基板に実装するための部材である。基板1は、電気絶縁体である。本実施形態においては、基板1は、たとえばアルミナ(Al23)からなる。チップ抵抗器A1の使用時に、抵抗体2より発生した熱を外部に放熱しやすくするため、基板1は、熱伝導率が高い材質であることが好ましい。基板1は、搭載面11、実装面12および側面13を有する。本実施形態においては、基板1は、平面視矩形状である。 As shown in Figures 1 and 2, the substrate 1 is a member for mounting the resistive element 2 and for mounting the chip resistor A1 on a circuit board of various electronic devices. The substrate 1 is an electrical insulator . In this embodiment, the substrate 1 is made of alumina ( Al2O3 ), for example. In order to easily dissipate heat generated by the resistive element 2 to the outside when the chip resistor A1 is in use, the substrate 1 is preferably made of a material with high thermal conductivity. The substrate 1 has a mounting surface 11, a mounting surface 12, and a side surface 13. In this embodiment, the substrate 1 is rectangular in plan view.

搭載面11は、図2に示す基板1の上面であり、抵抗体2が搭載される面である。実装面12は、図2に示す基板1の下面であり、チップ抵抗器A1を各種電子機器の回路基板に実装する際に利用される面である。搭載面11と実装面12は、互いに反対側を向いている。側面13は、図1および図2に示すように、搭載面11および実装面12に対し直交し、かつ基板1の長手方向(図1に示す方向X)を向く一対の面である。側面13は、搭載面11と実装面12との間に位置している。 The mounting surface 11 is the upper surface of the substrate 1 shown in FIG. 2, and is the surface on which the resistor 2 is mounted. The mounting surface 12 is the lower surface of the substrate 1 shown in FIG. 2, and is the surface used when mounting the chip resistor A1 to a circuit board of various electronic devices. The mounting surface 11 and the mounting surface 12 face in opposite directions. As shown in FIGS. 1 and 2, the side surface 13 is a pair of surfaces that are perpendicular to the mounting surface 11 and the mounting surface 12 and face in the longitudinal direction of the substrate 1 (direction X shown in FIG. 1). The side surface 13 is located between the mounting surface 11 and the mounting surface 12.

抵抗体2は、電流を制限するまたは電流を検出するなどの機能を果たす素子である。本実施形態においては、抵抗体2の平面視形状は、図1に示す方向Xに延びる帯状である。抵抗体2は、たとえばRuO2またはAg-Pd合金などの金属を含むペーストからなる。本実施形態においては、抵抗体2の平面視形状は帯状であるが、当該形状をたとえばサーペンタイン状とするなど、いずれの形状とすることができる。抵抗体2は、トリミング溝21を有する。 The resistor 2 is an element that performs functions such as limiting or detecting a current. In this embodiment, the resistor 2 has a strip shape extending in the direction X shown in FIG. 1 in a plan view. The resistor 2 is made of a paste containing a metal such as RuO2 or an Ag-Pd alloy. In this embodiment, the resistor 2 has a strip shape in a plan view, but the shape may be any shape, such as a serpentine shape. The resistor 2 has a trimming groove 21.

トリミング溝21は、図1および図2に示すように、抵抗体2の厚さ方向に貫通する溝である。トリミング溝21により、抵抗体2の長手方向(図1に示す方向X)に沿う側面に開口部が形成される。本実施形態においては、平面視L字状のトリミング溝21が抵抗体2に形成されている。トリミング溝21は、抵抗体2の抵抗値が規定値とすべく調整するために形成される。 As shown in Figs. 1 and 2, the trimming groove 21 is a groove that penetrates the resistor 2 in the thickness direction. The trimming groove 21 forms an opening on the side surface along the longitudinal direction of the resistor 2 (direction X shown in Fig. 1). In this embodiment, the trimming groove 21 that is L-shaped in plan view is formed in the resistor 2. The trimming groove 21 is formed to adjust the resistance value of the resistor 2 to a specified value.

電極3は、図1~図3に示すように、抵抗体2に導通するとともに、チップ抵抗器A1と各種電子機器の回路基板の配線パターンとを相互接続するための、互いに離間した一対の部材である。電極3は、図1に示す方向Xにおいて抵抗体2を挟んだ両側に配置されている。本実施形態においては、電極3は、上面電極31、裏面電極32、側面電極33、中間電極34および外部電極35を有する。 As shown in Figs. 1 to 3, the electrodes 3 are a pair of spaced apart members that are electrically connected to the resistor 2 and interconnect the chip resistor A1 with the wiring pattern of the circuit board of various electronic devices. The electrodes 3 are disposed on both sides of the resistor 2 in the direction X shown in Fig. 1. In this embodiment, the electrodes 3 include a top electrode 31, a back electrode 32, a side electrode 33, an intermediate electrode 34, and an external electrode 35.

上面電極31は、図1~図3に示すように、基板1の搭載面11上の両端に配置された、互いに離間した一対の領域を有する。上面電極31は、平面視矩形状である。また、上面電極31の一部が、搭載面11と抵抗体2との間に挟まれている。したがって、抵抗体2は上面電極31に導通している。上面電極31は、たとえばAgを含むペーストからなる。 As shown in Figs. 1 to 3, the top electrode 31 has a pair of regions that are spaced apart and disposed at both ends on the mounting surface 11 of the substrate 1. The top electrode 31 is rectangular in plan view. A portion of the top electrode 31 is sandwiched between the mounting surface 11 and the resistor 2. Therefore, the resistor 2 is electrically connected to the top electrode 31. The top electrode 31 is made of a paste containing Ag, for example.

裏面電極32は、図1~図3に示すように、基板1の実装面12上の両端に配置された、互いに離間した一対の領域を有する。裏面電極32の平面視形状は、上面電極31と略同一である(図示略)。裏面電極32は、上面電極31と同じく、たとえばAgを含むペーストからなる。なお、裏面電極32は、省略することができる。 As shown in Figs. 1 to 3, the back electrode 32 has a pair of regions that are spaced apart from each other and disposed at both ends on the mounting surface 12 of the substrate 1. The shape of the back electrode 32 in a plan view is substantially the same as that of the top electrode 31 (not shown). Like the top electrode 31, the back electrode 32 is made of a paste that contains, for example, Ag. Note that the back electrode 32 can be omitted.

側面電極33は、図1~図3に示すように、基板1の側面13に配置された、互いに離間した一対の領域を有する。側面電極33は、側面13に加え、上面電極31、裏面電極32および保護層4のそれぞれ一部を覆っている。すなわち、側面電極33は、側面13に配置された部分と、基板1の厚さ方向視において、基板1の搭載面11および実装面12と重なる部分とを有する。側面電極33により、上面電極31と裏面電極32とが互いに導通している。したがって、上面電極31および側面電極33によって、抵抗体2は裏面電極32に導通している。本実施形態においては、側面電極33は、たとえばNi-Cr合金からなる。なお、側面電極33の材質は、導電性を有し、かつ硫化し難い特性を有する金属であれば、いずれでもよい。 As shown in Figs. 1 to 3, the side electrode 33 has a pair of regions that are spaced apart from each other and are arranged on the side surface 13 of the substrate 1. The side electrode 33 covers parts of the top electrode 31, the back electrode 32, and the protective layer 4 in addition to the side surface 13. That is, the side electrode 33 has a portion arranged on the side surface 13 and a portion that overlaps with the mounting surface 11 and the mounting surface 12 of the substrate 1 when viewed in the thickness direction of the substrate 1. The top electrode 31 and the back electrode 32 are electrically connected to each other by the side electrode 33. Therefore, the resistor 2 is electrically connected to the back electrode 32 by the top electrode 31 and the side electrode 33. In this embodiment, the side electrode 33 is made of, for example, a Ni-Cr alloy. The material of the side electrode 33 may be any metal that is conductive and has properties that are difficult to sulfurize.

中間電極34は、図2および図3に示すように、裏面電極32、側面電極33および保護層4を覆う、互いに離間した一対の部位である。本実施形態においては、中間電極34は、たとえばNiめっき層からなる。中間電極34は、電極3を熱や衝撃から保護する機能を果たす。 As shown in Figs. 2 and 3, the intermediate electrode 34 is a pair of parts that are spaced apart from each other and cover the back electrode 32, the side electrode 33, and the protective layer 4. In this embodiment, the intermediate electrode 34 is made of, for example, a Ni plating layer. The intermediate electrode 34 functions to protect the electrode 3 from heat and impact.

外部電極35は、図2および図3に示すように、中間電極34を覆う、互いに離間した一対の部位である。本実施形態においては、外部電極35は、たとえばSnめっき層からなる。外部電極35に半田が付着して、外部電極35が半田と一体化することで、チップ抵抗器A1と各種電子機器の回路基板の配線パターンとが相互接続される。本実施形態においては、中間電極34はNiめっき層からなるため、中間電極34に半田を直接付着させることが困難である。したがって、Snめっき層からなる外部電極35が必要となる。 As shown in Figures 2 and 3, the external electrodes 35 are a pair of spaced apart portions that cover the intermediate electrode 34. In this embodiment, the external electrodes 35 are made of, for example, a Sn plating layer. When solder is applied to the external electrodes 35 and the external electrodes 35 are integrated with the solder, the chip resistor A1 is interconnected with the wiring patterns of the circuit boards of various electronic devices. In this embodiment, since the intermediate electrode 34 is made of a Ni plating layer, it is difficult to apply solder directly to the intermediate electrode 34. Therefore, an external electrode 35 made of a Sn plating layer is required.

保護層4は、図1~図3に示すように、上面電極31の少なくとも一部を覆う、互いに離間した一対の部材である。本実施形態においては、保護層4は、第1保護層41および第2保護層42を有する。保護層4は、上面電極31の硫化を防止する機能を果たす。 As shown in Figures 1 to 3, the protective layer 4 is a pair of members spaced apart from each other and covers at least a portion of the upper electrode 31. In this embodiment, the protective layer 4 has a first protective layer 41 and a second protective layer 42. The protective layer 4 serves to prevent sulfurization of the upper electrode 31.

第1保護層41は、図2および図3に示す上面電極31の上面に形成された、互いに離間した一対の領域を有する。第1保護層41は、上面電極31よりも硫化し難い特性を有する。また、第1保護層41は、上面電極31と中間電極34との間に位置し、かつ上面電極31および側面電極33に接して配置されている。本実施形態においては、第1保護層41は、たとえばRuなどよりなるガラスおよび金属酸化物と、炭素粒子(カーボンブラック)と、エポキシ樹脂とを含むペーストからなる。この場合、第1保護層41は、導電性を有する。ここで、第1保護層41は、電気絶縁体であってもよい。電気絶縁体である第1保護層41は、たとえばガラスを含むペーストからなる。 The first protective layer 41 has a pair of regions spaced apart from each other and formed on the upper surface of the upper electrode 31 shown in FIG. 2 and FIG. 3. The first protective layer 41 is less susceptible to sulfurization than the upper electrode 31. The first protective layer 41 is located between the upper electrode 31 and the intermediate electrode 34, and is disposed in contact with the upper electrode 31 and the side electrode 33. In this embodiment, the first protective layer 41 is made of a paste containing glass and a metal oxide such as Ru, carbon particles (carbon black), and an epoxy resin. In this case, the first protective layer 41 is conductive. Here, the first protective layer 41 may be an electrical insulator. The first protective layer 41, which is an electrical insulator, is made of a paste containing, for example, glass.

第2保護層42は、図2および図3に示す第1保護層41の上面に形成された、互いに離間した一対の領域を有する。第2保護層42は、導電性を有する。また、第2保護層42は、第1保護層41と中間電極34との間に位置し、かつ第1保護層41、側面電極33および中間電極34に接して配置されている。本実施形態においては、第2保護層42は、たとえばAgとエポキシ樹脂とを含むペーストからなる。 The second protective layer 42 has a pair of regions spaced apart from each other and formed on the upper surface of the first protective layer 41 shown in Figures 2 and 3. The second protective layer 42 is conductive. The second protective layer 42 is located between the first protective layer 41 and the intermediate electrode 34, and is disposed in contact with the first protective layer 41, the side electrode 33, and the intermediate electrode 34. In this embodiment, the second protective layer 42 is made of a paste containing, for example, Ag and an epoxy resin.

保護膜5は、図1~図3に示すように、抵抗体2を覆い、抵抗体2を外部から保護する機能を果たす部材である。保護膜5は、下部保護膜51および上部保護膜52を有する。下部保護膜51は、抵抗体2の表面(図2に示す抵抗体2の上面)を覆っている。下部保護膜51は、たとえばガラスを含むペーストからなる。上部保護膜52は、基板1の一部と、抵抗体2と、上面電極31の一部とを覆っている。本実施形態においては、第1保護層41の一部が、上部保護膜52に覆われた構造となっている。ここで、上部保護膜52の一部が、第1保護層41に覆われた構造となっていてもよい。上部保護膜52は、たとえばエポキシ樹脂を含むペーストからなる。 As shown in Figs. 1 to 3, the protective film 5 is a member that covers the resistor 2 and functions to protect the resistor 2 from the outside. The protective film 5 has a lower protective film 51 and an upper protective film 52. The lower protective film 51 covers the surface of the resistor 2 (the upper surface of the resistor 2 shown in Fig. 2). The lower protective film 51 is made of a paste containing glass, for example. The upper protective film 52 covers a part of the substrate 1, the resistor 2, and a part of the upper electrode 31. In this embodiment, a part of the first protective layer 41 is covered by the upper protective film 52. Here, a part of the upper protective film 52 may be covered by the first protective layer 41. The upper protective film 52 is made of a paste containing epoxy resin, for example.

次に、図4~図15に基づき、チップ抵抗器A1の製造方法について説明する。図4~図11は、チップ抵抗器A1の製造方法にかかる工程を示す平面図である。図12~図15は、チップ抵抗器A1の製造方法にかかる工程を示す斜視図である。なお、図10~図15は、理解の便宜上、保護膜5の下部保護膜51を省略している。また、図12および図13は、理解の便宜上、抵抗体2、上面電極31、側面電極33、第1保護層41、第2保護層42および上部保護膜52について、それぞれの厚さを無視している。 Next, a method for manufacturing the chip resistor A1 will be described with reference to Figures 4 to 15. Figures 4 to 11 are plan views showing the steps involved in the method for manufacturing the chip resistor A1. Figures 12 to 15 are perspective views showing the steps involved in the method for manufacturing the chip resistor A1. For ease of understanding, the lower protective film 51 of the protective film 5 is omitted in Figures 10 to 15. For ease of understanding, Figures 12 and 13 ignore the respective thicknesses of the resistor 2, upper electrode 31, side electrode 33, first protective layer 41, second protective layer 42 and upper protective film 52.

最初に、図4に示すように、アルミナからなるシート状基板81を用意する。シート状基板81は、搭載面11および実装面12を有する。搭載面11と実装面12は、互いに反対側を向いている。図4は、シート状基板81の搭載面11を示している。搭載面11においては、図4に示す縦方向に複数の一次分割溝811が、図4に示す横方向に複数の二次分割溝812が碁盤目状に形成されている。一次分割溝811および二次分割溝812は、搭載面11とは反対側の実装面12においても同一本数が形成されている(図示略)。一次分割溝811および二次分割溝812の平面視における位置は、搭載面11および実装面12ともに同一である。一次分割溝811と二次分割溝812とによって形成される区画が、チップ抵抗器A1の基板1に相当する領域である。 First, as shown in FIG. 4, a sheet-like substrate 81 made of alumina is prepared. The sheet-like substrate 81 has a mounting surface 11 and a mounting surface 12. The mounting surface 11 and the mounting surface 12 face in opposite directions. FIG. 4 shows the mounting surface 11 of the sheet-like substrate 81. On the mounting surface 11, a plurality of primary division grooves 811 are formed in the vertical direction shown in FIG. 4, and a plurality of secondary division grooves 812 are formed in the horizontal direction shown in FIG. 4 in a checkerboard pattern. The same number of primary division grooves 811 and secondary division grooves 812 are also formed on the mounting surface 12 opposite to the mounting surface 11 (not shown). The positions of the primary division grooves 811 and secondary division grooves 812 in a plan view are the same on both the mounting surface 11 and the mounting surface 12. The section formed by the primary division grooves 811 and the secondary division grooves 812 is the area corresponding to the substrate 1 of the chip resistor A1.

次いで、図5に示すように、シート状基板81の搭載面11上に、シート状基板81の一次分割溝811を跨ぐように上面電極31を形成する。あわせて、シート状基板81の実装面12上に、一次分割溝811を跨ぐように裏面電極32を形成する(図示略)。上面電極31および裏面電極32の平面視における位置および大きさは、略同一である。本実施形態においては、上面電極31および裏面電極32は、Agにガラスフリットを含有させたペーストを、搭載面11および実装面12にシルクスクリーンを用いてそれぞれ印刷し、焼成炉により焼成することで形成される。当該工程により、互いに離間した一対の領域を有する上面電極31および裏面電極32が、搭載面11および実装面12に形成される。 5, an upper electrode 31 is formed on the mounting surface 11 of the sheet-like substrate 81 so as to straddle the primary division groove 811 of the sheet-like substrate 81. In addition, a back electrode 32 is formed on the mounting surface 12 of the sheet-like substrate 81 so as to straddle the primary division groove 811 (not shown). The positions and sizes of the upper electrode 31 and the back electrode 32 in a plan view are approximately the same. In this embodiment, the upper electrode 31 and the back electrode 32 are formed by printing a paste containing Ag and glass frit on the mounting surface 11 and the mounting surface 12 using a silk screen, respectively, and firing in a firing furnace. Through this process, the upper electrode 31 and the back electrode 32 having a pair of regions spaced apart from each other are formed on the mounting surface 11 and the mounting surface 12.

次いで、図6に示すように、シート状基板81の搭載面11のうち、上面電極31が有する前記一対の領域により挟まれた領域に、上面電極31に導通する抵抗体2を搭載する。本実施形態においては、抵抗体2は、RuO2またはAg-Pd合金などの金属にガラスフリットを含有させたペーストを、シルクスクリーンを用いて印刷し、焼成炉により焼成することで搭載される。 Next, as shown in FIG. 6, the resistor 2 that is conductive to the upper electrode 31 is mounted on the mounting surface 11 of the sheet-like substrate 81 in the region sandwiched between the pair of regions of the upper electrode 31. In this embodiment, the resistor 2 is mounted by printing a paste made of a metal such as RuO2 or an Ag-Pd alloy containing glass frit using a silk screen, and then firing it in a firing furnace.

次いで、図7に示すように、上面電極31の上面で、かつ抵抗体2によって挟まれた領域に、上面電極31よりも硫化し難い特性を有する第1保護層41を形成する。本実施形態においては、第1保護層41は、Ruなどよりなるガラスおよび金属酸化物と、炭素粒子と、エポキシ樹脂とを含むペーストを、シルクスクリーンを用いて印刷し、硬化させることで形成される。この場合の第1保護層41は、導電性を有する。第1保護層41を電気絶縁体とする場合は、ガラスを含むペーストを、シルクスクリーンを用いて印刷し、焼成炉により焼成することで形成される。ここで、導電性を有する第1保護層41の形成にあたっては、第1保護層41が抵抗体2に接しないよう、平面視において第1保護層41と抵抗体2との間に隙間を設ける。第1保護層41が抵抗体2に接すると、チップ抵抗器A1の抵抗値が変動するためである。当該工程により、上面電極31の一部が第1保護層41に覆われる。 7, a first protective layer 41 having a property of being less susceptible to sulfurization than the upper electrode 31 is formed on the upper surface of the upper electrode 31 and in the region sandwiched by the resistor 2. In this embodiment, the first protective layer 41 is formed by printing a paste containing glass and metal oxide such as Ru, carbon particles, and epoxy resin using a silk screen and hardening it. In this case, the first protective layer 41 has electrical conductivity. When the first protective layer 41 is an electrical insulator, it is formed by printing a paste containing glass using a silk screen and baking it in a baking furnace. Here, when forming the first protective layer 41 having electrical conductivity, a gap is provided between the first protective layer 41 and the resistor 2 in a plan view so that the first protective layer 41 does not contact the resistor 2. This is because the resistance value of the chip resistor A1 fluctuates when the first protective layer 41 contacts the resistor 2. By this process, a part of the upper electrode 31 is covered with the first protective layer 41.

次いで、図8に示すように、第1保護層41の上面に、導電性を有する第2保護層42を形成する。本実施形態においては、第2保護層42は、Agとエポキシ樹脂とを含むペーストを、シルクスクリーンを用いて印刷し、硬化させることで形成される。第2保護層42の形成にあたっては、第2保護層42の抵抗体2に隣接する端部において、第1保護層41が露出するようにする。当該工程により、第1保護層41の一部が第2保護層42に覆われる。 Next, as shown in FIG. 8, a conductive second protective layer 42 is formed on the upper surface of the first protective layer 41. In this embodiment, the second protective layer 42 is formed by printing a paste containing Ag and epoxy resin using a silk screen and then curing it. When forming the second protective layer 42, the first protective layer 41 is exposed at the end of the second protective layer 42 adjacent to the resistor 2. By this process, a part of the first protective layer 41 is covered with the second protective layer 42.

次いで、図9に示すように、抵抗体2の表面を覆う下部保護膜51を形成する。本実施形態においては、下部保護膜51は、ガラスを含むペーストを、シルクスクリーンを用いて印刷し、焼成炉により焼成することで形成される。当該後工程の後工程である、抵抗体2にトリミング溝21を形成する工程では、当該溝をレーザにより形成するため、抵抗体2に熱衝撃が作用するとともに、抵抗体2の微粒子が発生する。そこで、下部保護膜51は、前記熱衝撃を緩和しつつ、前記微粒子が抵抗体2に再付着して、抵抗体2の抵抗値が変動することを防止する機能を果たす。 Next, as shown in FIG. 9, a lower protective film 51 is formed to cover the surface of the resistor 2. In this embodiment, the lower protective film 51 is formed by printing a paste containing glass using a silk screen and firing it in a firing furnace. In the process of forming the trimming groove 21 in the resistor 2, which is the process after the above process, the groove is formed by a laser, so that a thermal shock acts on the resistor 2 and fine particles are generated in the resistor 2. Therefore, the lower protective film 51 functions to alleviate the thermal shock and prevent the fine particles from reattaching to the resistor 2, which would cause the resistance value of the resistor 2 to fluctuate.

次いで、図10に示すように、抵抗体2を貫通するトリミング溝21を抵抗体2に形成する。トリミング溝21は、レーザトリミング装置(図示略)により形成される。トリミング溝21の形成手順は次のとおりである。最初に、抵抗体2の長手方向に沿う一対の側面のうち、一方の側面から他方の側面に向かって、抵抗体2を流れる電流の方向に対し直交するように、トリミング溝21を形成する。次いで、抵抗体2の抵抗値が、チップ抵抗器A1の所要の値に近い値まで上昇した後、抵抗体2を流れる電流の方向(抵抗体2の長手方向)と平行になるように、そのまま向きを90°転換してトリミング溝21を形成する。抵抗体2の抵抗値が、チップ抵抗器A1の所要の値になったとき、トリミング溝21の形成を終了する。当該工程により、平面視L字状のトリミング溝21が抵抗体2に形成される。なお、トリミング溝21は、抵抗体2の長手方向の両端に、抵抗値測定用のプローブ(図示略)を当接した状態の下で形成される。 Next, as shown in FIG. 10, a trimming groove 21 penetrating the resistor 2 is formed in the resistor 2. The trimming groove 21 is formed by a laser trimming device (not shown). The procedure for forming the trimming groove 21 is as follows. First, the trimming groove 21 is formed from one side to the other side of a pair of side surfaces along the longitudinal direction of the resistor 2 so as to be perpendicular to the direction of the current flowing through the resistor 2. Next, after the resistance value of the resistor 2 rises to a value close to the required value of the chip resistor A1, the trimming groove 21 is formed by changing the direction by 90° so as to be parallel to the direction of the current flowing through the resistor 2 (the longitudinal direction of the resistor 2). When the resistance value of the resistor 2 reaches the required value of the chip resistor A1, the formation of the trimming groove 21 is completed. By this process, a trimming groove 21 having an L-shape in plan view is formed in the resistor 2. The trimming groove 21 is formed with a probe (not shown) for measuring the resistance value in contact with both longitudinal ends of the resistor 2.

次いで、図11に示すように、シート状基板81の搭載面11上に、上部保護膜52を形成する。このとき、抵抗体2に加え、上面電極31および第1保護層41のそれぞれの一部が上部保護膜52に覆われる。なお、第2保護層42は、上部保護膜52に覆われない。本実施形態においては、上部保護膜52は、シート状基板81の二次分割溝812を跨ぐように、シート状基板81の一次分割溝811に沿って延びる複数の帯状に形成される。また、本実施形態においては、上部保護膜52は、エポキシ樹脂を含むペーストを、シルクスクリーンを用いて印刷し、硬化させることで形成される。なお、上部保護膜52は、図9に示す保護膜5の下部保護膜51と同様に、各々の抵抗体2ごとに分離された状態となるように形成してもよい。 11, an upper protective film 52 is formed on the mounting surface 11 of the sheet-like substrate 81. At this time, in addition to the resistor 2, a part of each of the upper electrode 31 and the first protective layer 41 is covered by the upper protective film 52. The second protective layer 42 is not covered by the upper protective film 52. In this embodiment, the upper protective film 52 is formed in a plurality of strips extending along the primary dividing groove 811 of the sheet-like substrate 81 so as to straddle the secondary dividing groove 812 of the sheet-like substrate 81. In this embodiment, the upper protective film 52 is formed by printing a paste containing an epoxy resin using a silk screen and hardening it. The upper protective film 52 may be formed so as to be separated for each resistor 2, similar to the lower protective film 51 of the protective film 5 shown in FIG. 9.

次いで、図12に示すように、シート状基板81を、シート状基板81の一次分割溝811で切断し、複数の帯状基板86に分割する。このとき、帯状基板86の長手方向に沿って、側面13が帯状基板86の両側にそれぞれ形成される。 Next, as shown in FIG. 12, the sheet-like substrate 81 is cut along the primary dividing grooves 811 of the sheet-like substrate 81 to divide it into a plurality of strip-like substrates 86. At this time, side surfaces 13 are formed on both sides of the strip-like substrate 86 along the longitudinal direction of the strip-like substrate 86.

次いで、図13に示すように、帯状基板86の長手方向の両端に沿って位置する側面13と、搭載面11および実装面12のそれぞれ一部とに、側面電極33を形成する。本実施形態においては、側面電極33は、スパッタリング法などによる物理蒸着(PVD:Physical Vapor Deposition)により、Ni-Cr合金を成膜することで形成される。側面電極33の形成にあたっては、側面13と、側面13と直交して配置されている第2保護層42および裏面電極32のそれぞれの表面の一部とが、側面電極33に一体として覆われるようにする(裏面電極32について図示略)。このとき、側面電極33は、第2保護層42、第1保護層41、上面電極31および裏面電極32の側面13に沿ったそれぞれの端部に接する。当該工程により、上面電極31と裏面電極32とが、側面電極33によって互いに導通する。 Next, as shown in FIG. 13, side electrodes 33 are formed on the side surfaces 13 located along both ends of the longitudinal direction of the belt-shaped substrate 86 and on parts of the mounting surface 11 and the mounting surface 12. In this embodiment, the side electrodes 33 are formed by depositing a Ni-Cr alloy film by physical vapor deposition (PVD) such as sputtering. When forming the side electrodes 33, the side surfaces 13 and parts of the surfaces of the second protective layer 42 and the back electrode 32 arranged perpendicular to the side surfaces 13 are integrally covered by the side electrodes 33 (the back electrode 32 is not shown). At this time, the side electrodes 33 contact the ends of the second protective layer 42, the first protective layer 41, the upper electrode 31, and the back electrode 32 along the side surfaces 13. This process allows the upper electrode 31 and the back electrode 32 to be electrically connected to each other by the side electrodes 33.

次いで、図14に示すように、帯状基板86を、帯状基板86の二次分割溝812で切断し、複数の個片87に分割する。このとき、側面電極33の形状は、基板1を挟むコの字状となる。また、側面電極33は、第2保護層42および裏面電極32のそれぞれの表面の一部に形成された側面電極33の部位を挟んだ両端に位置する、基板1の搭載面11および実装面12の一部にもそれぞれ形成される(裏面電極32について図示略)。 Next, as shown in FIG. 14, the belt-shaped substrate 86 is cut at the secondary dividing grooves 812 of the belt-shaped substrate 86 and divided into a plurality of individual pieces 87. At this time, the shape of the side electrode 33 becomes a U-shape that sandwiches the substrate 1. The side electrode 33 is also formed on a portion of the mounting surface 11 and the mounting surface 12 of the substrate 1, which are located at both ends of the side electrode 33 formed on a portion of the surface of each of the second protective layer 42 and the back electrode 32 (the back electrode 32 is not shown).

次いで、図15に示すように、個片87において、裏面電極32、側面電極33および第2保護層42を覆う中間電極34と、中間電極34を覆う外部電極35とをそれぞれ形成する(裏面電極32について図示略)。本実施形態においては、中間電極34はNiめっき、外部電極35はSnめっきによりそれぞれ形成される。当該工程により、抵抗体2に導通する一対の電極3が形成される。以上の工程を経ることにより、チップ抵抗器A1が製造される。 Next, as shown in FIG. 15, an intermediate electrode 34 that covers the back electrode 32, the side electrode 33, and the second protective layer 42, and an external electrode 35 that covers the intermediate electrode 34 are formed on the individual piece 87 (the back electrode 32 is not shown). In this embodiment, the intermediate electrode 34 is formed by Ni plating, and the external electrode 35 is formed by Sn plating. This process forms a pair of electrodes 3 that are conductive to the resistor 2. Through the above processes, the chip resistor A1 is manufactured.

次に、チップ抵抗器A1の作用効果について説明する。 Next, we will explain the effects of chip resistor A1.

本実施形態によれば、チップ抵抗器A1は、上面電極31と中間電極34との間に位置し、かつ上面電極31および側面電極33に接して配置されている第1保護層41を有する。よって、上面電極31の少なくとも一部が、第1保護層41に覆われた構成となっている。第1保護層41は、炭素粒子を含むため、上面電極31よりも硫化し難い特性を有する。したがって、第1保護層41によって、上面電極31の硫化が防止され、上面電極31の断線が回避される。 According to this embodiment, the chip resistor A1 has a first protective layer 41 that is located between the top electrode 31 and the intermediate electrode 34 and is disposed in contact with the top electrode 31 and the side electrode 33. Therefore, at least a portion of the top electrode 31 is covered with the first protective layer 41. The first protective layer 41 contains carbon particles, and therefore has the characteristic of being less susceptible to sulfurization than the top electrode 31. Therefore, the first protective layer 41 prevents the top electrode 31 from being sulfurized, and disconnection of the top electrode 31 is avoided.

また、チップ抵抗器A1は、第1保護層41とあわせて、第1保護層41と中間電極34との間に位置し、かつ第1保護層41、側面電極33および中間電極34に接して配置されている第2保護層42を有する。第2保護層42は、Agを含むため導電性を有する。第1保護層41は、第2保護層42と、同じく導電性を有する側面電極33とに覆われた構成となっている。よって、中間電極34は、炭素粒子を含む第1保護層41に接しない構成となっている。したがって、中間電極34であるNiめっき層の剥離を回避することができる。 In addition to the first protective layer 41, the chip resistor A1 also has a second protective layer 42 that is located between the first protective layer 41 and the intermediate electrode 34 and is disposed in contact with the first protective layer 41, the side electrode 33, and the intermediate electrode 34. The second protective layer 42 is conductive because it contains Ag. The first protective layer 41 is covered with the second protective layer 42 and the side electrode 33, which is also conductive. Therefore, the intermediate electrode 34 is not in contact with the first protective layer 41, which contains carbon particles. Therefore, peeling of the Ni plating layer that is the intermediate electrode 34 can be avoided.

以上より、炭素粒子を含む上面電極31よりも硫化し難い特性を有する第1保護層41と、Agを含む導電性を有する第2保護層42とを備えることにより、チップ抵抗器A1のコストを抑えつつ、耐硫化性能の向上を図ることが可能となる。 As described above, by providing a first protective layer 41 that is less susceptible to sulfurization than the upper electrode 31 that contains carbon particles, and a second protective layer 42 that contains Ag and has electrical conductivity, it is possible to reduce the cost of the chip resistor A1 while improving its sulfurization resistance.

上面電極31などの硫化の要因となる硫化ガスの大半は、チップ抵抗器A1において、中間電極34および外部電極35を構成するめっき層と、保護膜5の上部保護膜52との界面に沿ってチップ抵抗器A1の内部へ進入する。そこで、第1保護層41の一部が上部保護膜52に覆われた構成とすることで、前記界面に沿って進入した前記硫化ガスを遮へいする効果がより大きくなる。なお、第1保護層41が、上部保護膜52の一部を覆う構成であっても、チップ抵抗器A1の耐硫化性能は確保されている。 Most of the sulfurization gas that causes sulfurization of the upper electrode 31 and the like in the chip resistor A1 enters the chip resistor A1 along the interface between the plating layer that constitutes the intermediate electrode 34 and the external electrode 35 and the upper protective film 52 of the protective film 5. Therefore, by configuring the first protective layer 41 so that a portion of it is covered by the upper protective film 52, the effect of blocking the sulfurization gas that enters along the interface is greater. Note that even if the first protective layer 41 is configured to cover a portion of the upper protective film 52, the sulfurization resistance of the chip resistor A1 is ensured.

仮に、前記界面に沿って硫化ガスが進入した場合、Agを含む第2保護層42が優先的に硫化する。すなわち、第2保護層42は、犠牲電極に類似した機能を果たす。また、第2保護層42は、第1保護層41および側面電極33によって上面電極31に接しない構成となっているため、第2保護層42が硫化しても上面電極31は硫化しない。したがって、Agを含む第2保護層42を有することで、チップ抵抗器A1の耐硫化性能をより向上させることが可能となる。 If sulfurizing gas enters along the interface, the second protective layer 42 containing Ag will be preferentially sulfurized. In other words, the second protective layer 42 performs a function similar to that of a sacrificial electrode. In addition, since the second protective layer 42 is configured not to come into contact with the top electrode 31 due to the first protective layer 41 and the side electrode 33, even if the second protective layer 42 is sulfurized, the top electrode 31 will not be sulfurized. Therefore, by having the second protective layer 42 containing Ag, it is possible to further improve the sulfurization resistance performance of the chip resistor A1.

側面電極33の材質を、導電性を有し、かつ硫化し難い特性を有するNi-Cr合金とすることで、側面電極33は硫化しなくなる。よって、側面電極33の断線が回避されるとともに、側面電極33を介した上面電極31の硫化が防止される。また、側面電極33は、スパッタリング法などによる物理蒸着によって形成されることから、側面電極33と接する第1保護層41を電気絶縁体とすることができる。この場合、第1保護層41は、たとえばガラスを含むペーストからなるため、チップ抵抗器A1のコストをより縮減することが可能となる。 By using a Ni-Cr alloy as the material for the side electrode 33, which is conductive and resistant to sulfurization, the side electrode 33 will not sulfurize. This avoids disconnection of the side electrode 33 and prevents sulfurization of the top electrode 31 via the side electrode 33. In addition, since the side electrode 33 is formed by physical vapor deposition using a sputtering method or the like, the first protective layer 41 in contact with the side electrode 33 can be made an electrical insulator. In this case, the first protective layer 41 is made of a paste containing glass, for example, which makes it possible to further reduce the cost of the chip resistor A1.

〔第2実施形態〕
図16および図17に基づき、本発明の第2実施形態にかかるチップ抵抗器A2について説明する。これらの図において、先述したチップ抵抗器A1と同一または類似の要素には同一の符号を付して、重複する説明を省略することとする。
Second Embodiment
A chip resistor A2 according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to Fig. 16 and Fig. 17. In these figures, elements that are the same as or similar to those of the chip resistor A1 described above are given the same reference numerals, and duplicated descriptions will be omitted.

ここで、図16は、理解の便宜上、中間電極34、外部電極35および保護膜5を省略している。本実施形態においては、チップ抵抗器A2は、平面視矩形状である。 For ease of understanding, FIG. 16 omits the intermediate electrode 34, the external electrode 35, and the protective film 5. In this embodiment, the chip resistor A2 is rectangular in plan view.

本実施形態にかかるチップ抵抗器A2は、抵抗体2の平面視形状および保護膜5の構成が、チップ抵抗器A1と異なる。本実施形態においては、抵抗体2の平面視形状は、サーペンタイン状である。当該形状の抵抗体2は、スパッタリング法などによる物理蒸着によって基板1の搭載面11に抵抗体2を搭載した後、フォトリソグラフィを用いた手法によって形成することができる。この場合、抵抗体2は、たとえばNi-Cr合金などからなる。すなわち、本実施形態にかかるチップ抵抗器A2は、いわゆる薄膜チップ抵抗器である。また、本実施形態においては、保護膜5の下部保護膜51が省略されている。 The chip resistor A2 of this embodiment differs from the chip resistor A1 in the planar shape of the resistor 2 and the configuration of the protective film 5. In this embodiment, the planar shape of the resistor 2 is serpentine. The resistor 2 of this shape can be formed by a method using photolithography after mounting the resistor 2 on the mounting surface 11 of the substrate 1 by physical vapor deposition such as sputtering. In this case, the resistor 2 is made of, for example, a Ni-Cr alloy. In other words, the chip resistor A2 of this embodiment is a so-called thin film chip resistor. Also, in this embodiment, the lower protective film 51 of the protective film 5 is omitted.

次に、チップ抵抗器A2の作用効果について説明する。 Next, we will explain the effects of chip resistor A2.

本実施形態によっても、チップ抵抗器A1と同様に、炭素粒子を含む上面電極31よりも硫化し難い特性を有する第1保護層41と、Agを含む導電性を有する第2保護層42とを備えることにより、チップ抵抗器A2のコストを抑えつつ、耐硫化性能の向上を図ることが可能である。また、抵抗体2の平面視形状をサーペンタイン状とすることで、チップ抵抗器A2の抵抗値を、チップ抵抗器A1よりも相対的に高くするとともに、抵抗値の精度向上を図ることができる。 In this embodiment, like the chip resistor A1, the chip resistor A2 is provided with a first protective layer 41 that is less susceptible to sulfurization than the upper electrode 31 that contains carbon particles, and a second protective layer 42 that contains Ag and has electrical conductivity, thereby making it possible to reduce the cost of the chip resistor A2 while improving its sulfurization resistance. In addition, by making the planar shape of the resistor 2 serpentine, the resistance value of the chip resistor A2 can be made relatively higher than that of the chip resistor A1, and the accuracy of the resistance value can be improved.

〔第3実施形態〕
図18~図20に基づき、本発明の第3実施形態にかかるチップ抵抗器A3について説明する。これらの図において、先述したチップ抵抗器A1と同一または類似の要素には同一の符号を付して、重複する説明を省略することとする。
Third Embodiment
A chip resistor A3 according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to Figures 18 to 20. In these figures, elements that are the same as or similar to those of the chip resistor A1 described above are given the same reference numerals, and duplicated descriptions will be omitted.

ここで、図18は、理解の便宜上、中間電極34および外部電極35を省略している。本実施形態にかかるチップ抵抗器A3は、チップ抵抗器A1と同じく、いわゆる厚膜チップ抵抗器である。また、本実施形態においては、チップ抵抗器A3は、平面視矩形状である。 For ease of understanding, FIG. 18 omits the intermediate electrode 34 and the external electrode 35. The chip resistor A3 of this embodiment is a so-called thick-film chip resistor, similar to the chip resistor A1. In this embodiment, the chip resistor A3 is rectangular in plan view.

本実施形態のチップ抵抗器A3は、保護層4が省略されていることと、電極3および保護膜5の構成が、チップ抵抗器A1と異なる。 The chip resistor A3 of this embodiment differs from the chip resistor A1 in that the protective layer 4 is omitted and the configuration of the electrodes 3 and protective film 5 is different.

本実施形態にかかる電極3は、チップ抵抗器A1と同様に、上面電極31、裏面電極32、側面電極33、中間電極34および外部電極35を有する。これらのうち、側面電極33、中間電極34および外部電極35の構成が、チップ抵抗器A1と異なる。 The electrode 3 in this embodiment, like the chip resistor A1, has a top electrode 31, a back electrode 32, a side electrode 33, an intermediate electrode 34, and an external electrode 35. Of these, the configurations of the side electrode 33, the intermediate electrode 34, and the external electrode 35 differ from those of the chip resistor A1.

側面電極33は、図18~図20に示すように、基板1の側面13に配置された部位である。側面電極33は、側面13に加え、上面電極31、裏面電極32および上部保護膜52のそれぞれ一部を覆っている。すなわち、側面電極33は、側面13に配置された部分と、基板1の平面視において、基板1の搭載面11および実装面12と重なる部分とを有する。側面電極33により、上面電極31と裏面電極32とが互いに導通している。したがって、上面電極31および側面電極33によって、抵抗体2は裏面電極32に導通している。本実施形態においては、側面電極33は、たとえばNi-Cr合金からなる。なお、側面電極33の材質は、導電性を有し、かつ硫化し難い特性を有する金属であれば、いずれでもよい。 As shown in Figs. 18 to 20, the side electrode 33 is a portion disposed on the side surface 13 of the substrate 1. The side electrode 33 covers the side surface 13 as well as a portion of the top electrode 31, the back electrode 32, and the upper protective film 52. That is, the side electrode 33 has a portion disposed on the side surface 13 and a portion overlapping the mounting surface 11 and the mounting surface 12 of the substrate 1 in a plan view of the substrate 1. The side electrode 33 provides electrical continuity between the top electrode 31 and the back electrode 32. Therefore, the resistor 2 is electrically connected to the back electrode 32 by the top electrode 31 and the side electrode 33. In this embodiment, the side electrode 33 is made of, for example, a Ni-Cr alloy. The material of the side electrode 33 may be any metal that is electrically conductive and difficult to sulfurize.

中間電極34は、図19および図20に示すように、裏面電極32と、側面電極33とを覆う部位である。本実施形態においては、中間電極34は、たとえばNiめっき層からなる。 As shown in Figures 19 and 20, the intermediate electrode 34 is a portion that covers the back electrode 32 and the side electrode 33. In this embodiment, the intermediate electrode 34 is made of, for example, a Ni plating layer.

外部電極35は、図19および図20に示すように、中間電極34を覆う部位である。本実施形態においては、外部電極35は、たとえばSnめっき層からなる。 As shown in Figures 19 and 20, the external electrode 35 is a portion that covers the intermediate electrode 34. In this embodiment, the external electrode 35 is made of, for example, a Sn plating layer.

保護膜5は、図18~図20に示すように、抵抗体2を覆い、抵抗体2を外部から保護する機能を果たす部材である。保護膜5は、下部保護膜51および上部保護膜52を有する。下部保護膜51と上部保護膜52は、互いに積層されている。下部保護膜51および上部保護膜52は、ともに電気絶縁体である。本実施形態にかかる下部保護膜51は、上部保護膜52よりも熱衝撃に強い材質からなる。 As shown in Figures 18 to 20, the protective film 5 is a member that covers the resistor 2 and functions to protect the resistor 2 from the outside. The protective film 5 has a lower protective film 51 and an upper protective film 52. The lower protective film 51 and the upper protective film 52 are laminated on top of each other. The lower protective film 51 and the upper protective film 52 are both electrical insulators. In this embodiment, the lower protective film 51 is made of a material that is more resistant to thermal shock than the upper protective film 52.

下部保護膜51は、抵抗体2を覆う部位である。下部保護膜51は、図19および図20に示す上部保護膜52の下方に位置している。下部保護膜51は、抵抗体2に加え、上面電極31の表面(図19および図20に示す上面電極31の上面)の一部を覆っている。下部保護膜51は、図18に示すように、チップ抵抗器A3の平面視における側面電極33と上部保護膜52との境界部よりも、基板1の側面13に向かって外側に延出した形状となっている。下部保護膜51は、たとえばガラスを含むペーストからなる。 The lower protective film 51 is a portion that covers the resistor 2. The lower protective film 51 is located below the upper protective film 52 shown in Figs. 19 and 20. The lower protective film 51 covers not only the resistor 2 but also part of the surface of the upper electrode 31 (the upper surface of the upper electrode 31 shown in Figs. 19 and 20). As shown in Fig. 18, the lower protective film 51 extends outward toward the side surface 13 of the substrate 1 beyond the boundary between the side electrode 33 and the upper protective film 52 in a plan view of the chip resistor A3. The lower protective film 51 is made of a paste containing glass, for example.

上部保護膜52は、基板1および上面電極31のそれぞれ一部と、抵抗体2を覆う下部保護膜51とを覆う部位である。上部保護膜52は、図19および図20に示す下部保護膜51の上方に位置している。本実施形態においては、上部保護膜52の一部が、側面電極33に覆われた構成となっている。上部保護膜52は、たとえばエポキシ樹脂を含むペーストからなる。 The upper protective film 52 is a portion that covers each part of the substrate 1 and the upper electrode 31, and the lower protective film 51 that covers the resistor 2. The upper protective film 52 is located above the lower protective film 51 shown in Figures 19 and 20. In this embodiment, a portion of the upper protective film 52 is covered by the side electrode 33. The upper protective film 52 is made of a paste containing, for example, epoxy resin.

次に、図21~図30に基づき、チップ抵抗器A3の製造方法について説明する。図21~図6は、チップ抵抗器A3の製造方法にかかる工程を示す平面図である。図27~図30は、チップ抵抗器A3の製造方法にかかる工程を示す斜視図である。なお、図27および図28は、理解の便宜上、抵抗体2、上面電極31、側面電極33、下部保護膜51および上部保護膜52について、それぞれの厚さを無視している。 Next, the method for manufacturing the chip resistor A3 will be described with reference to Figures 21 to 30. Figures 21 to 6 are plan views showing the steps in the method for manufacturing the chip resistor A3. Figures 27 to 30 are perspective views showing the steps in the method for manufacturing the chip resistor A3. For ease of understanding, Figures 27 and 28 ignore the thicknesses of the resistor 2, upper electrode 31, side electrode 33, lower protective film 51, and upper protective film 52.

最初に、図21に示すように、アルミナからなるシート状基板81を用意する。シート状基板81は、搭載面11および実装面12を有している。搭載面11および実装面12は、互いに反対側を向いている。図21は、シート状基板81の搭載面11を示している。搭載面11においては、図21に示す縦方向に複数の一次分割溝811が、図21に示す横方向に複数の二次分割溝812が碁盤目状に形成されている。一次分割溝811および二次分割溝812は、実装面12においても搭載面11に形成されている本数と同一本数が形成されている(図示略)。一次分割溝811および二次分割溝812の平面視における位置は、搭載面11および実装面12ともに同一である。一次分割溝811と二次分割溝812とによって形成される区画が、チップ抵抗器A3の基板1となる領域である。 First, as shown in FIG. 21, a sheet-like substrate 81 made of alumina is prepared. The sheet-like substrate 81 has a mounting surface 11 and a mounting surface 12. The mounting surface 11 and the mounting surface 12 face in opposite directions. FIG. 21 shows the mounting surface 11 of the sheet-like substrate 81. On the mounting surface 11, a plurality of primary division grooves 811 are formed in the vertical direction shown in FIG. 21, and a plurality of secondary division grooves 812 are formed in the horizontal direction shown in FIG. 21 in a checkerboard pattern. The same number of primary division grooves 811 and secondary division grooves 812 are formed on the mounting surface 12 as on the mounting surface 11 (not shown). The positions of the primary division grooves 811 and secondary division grooves 812 in a plan view are the same on both the mounting surface 11 and the mounting surface 12. The section formed by the primary division grooves 811 and the secondary division grooves 812 is the region that becomes the substrate 1 of the chip resistor A3.

次いで、図22に示すように、シート状基板81の搭載面11上に、シート状基板81の一次分割溝811を跨ぐように上面電極31を形成する。あわせて、シート状基板81の実装面12上に、一次分割溝811を跨ぐように裏面電極32を形成する(図示略)。上面電極31および裏面電極32の平面視における位置は、略同一である。本実施形態においては、上面電極31および裏面電極32は、Agにガラスフリットを含有させたペーストを、搭載面11および実装面12にシルクスクリーンを用いてそれぞれ印刷し、焼成炉により焼成することで形成される。当該工程により、互いに離間した一対の領域を有する上面電極31および裏面電極32が、搭載面11および実装面12に形成される。 22, an upper electrode 31 is formed on the mounting surface 11 of the sheet-like substrate 81 so as to straddle the primary division groove 811 of the sheet-like substrate 81. In addition, a back electrode 32 is formed on the mounting surface 12 of the sheet-like substrate 81 so as to straddle the primary division groove 811 (not shown). The positions of the upper electrode 31 and the back electrode 32 in a plan view are approximately the same. In this embodiment, the upper electrode 31 and the back electrode 32 are formed by printing a paste containing Ag and glass frit on the mounting surface 11 and the mounting surface 12 using a silk screen, respectively, and firing in a firing furnace. Through this process, the upper electrode 31 and the back electrode 32 having a pair of regions spaced apart from each other are formed on the mounting surface 11 and the mounting surface 12.

次いで、図23に示すように、シート状基板81の搭載面11のうち、上面電極31が有する前記一対の領域により挟まれた領域に、上面電極31に導通する抵抗体2を搭載する。本実施形態においては、抵抗体2は、RuO2またはAg-Pd合金などの金属にガラスフリットを含有させたペーストを、シルクスクリーンを用いて印刷し、焼成炉により焼成することで搭載される。 Next, as shown in FIG. 23, the resistor 2 that is conductive to the upper electrode 31 is mounted on the mounting surface 11 of the sheet-like substrate 81 in the region sandwiched between the pair of regions of the upper electrode 31. In this embodiment, the resistor 2 is mounted by printing a paste made of a metal such as RuO2 or an Ag-Pd alloy containing glass frit using a silk screen, and then firing it in a firing furnace.

次いで、図24に示すように、抵抗体2の表面を覆う下部保護膜51を形成する。本実施形態においては、下部保護膜51は、ガラスを含むペーストを、シルクスクリーンを用いて印刷し、焼成炉により焼成することで形成される。当該工程により、抵抗体2の表面と、上面電極31の一部とが、下部保護膜51に覆われる。 Next, as shown in FIG. 24, a lower protective film 51 is formed to cover the surface of the resistor 2. In this embodiment, the lower protective film 51 is formed by printing a paste containing glass using a silk screen and firing it in a firing furnace. Through this process, the surface of the resistor 2 and a part of the upper electrode 31 are covered with the lower protective film 51.

次いで、図25に示すように、抵抗体2を貫通するトリミング溝21を、抵抗体2の各々に形成する。トリミング溝21は、レーザトリミング装置(図示略)により形成される。トリミング溝21の形成手順は、先述した図10に示すチップ抵抗器A1におけるトリミング溝21の形成手順と同一である。当該工程により、平面視L字状のトリミング溝21が抵抗体2に形成される。なお、トリミング溝21は、抵抗体2を挟む一対の上面電極31の露出部に、抵抗値測定用のプローブ(図示略)を当接した状態の下で形成される。 25, a trimming groove 21 penetrating the resistor 2 is formed in each resistor 2. The trimming groove 21 is formed by a laser trimming device (not shown). The procedure for forming the trimming groove 21 is the same as the procedure for forming the trimming groove 21 in the chip resistor A1 shown in FIG. 10 described above. This process forms the trimming groove 21 in an L-shape in plan view in the resistor 2. The trimming groove 21 is formed with a probe (not shown) for measuring resistance in contact with the exposed portion of a pair of upper electrodes 31 that sandwich the resistor 2.

次いで、図26に示すように、シート状基板81の搭載面11上に上部保護膜52を形成する。このとき、抵抗体2の表面と上面電極31の一部とを覆う下部保護膜51と、上面電極31の一部とが、上部保護膜52に覆われる。本実施形態においては、上部保護膜52は、シート状基板81の二次分割溝812を跨ぐように、シート状基板81の一次分割溝811に沿って延びる複数の帯状に形成される。また、本実施形態においては、上部保護膜52は、エポキシ樹脂を含むペーストを、シルクスクリーンを用いて印刷し、硬化させることで形成される。なお、上部保護膜52は、図24に示す下部保護膜51と同様に、各々の抵抗体2ごとに分離された状態となるように形成してもよい。 26, the upper protective film 52 is formed on the mounting surface 11 of the sheet-like substrate 81. At this time, the lower protective film 51 covering the surface of the resistor 2 and a part of the upper electrode 31, and a part of the upper electrode 31 are covered by the upper protective film 52. In this embodiment, the upper protective film 52 is formed in a plurality of strips extending along the primary dividing groove 811 of the sheet-like substrate 81 so as to straddle the secondary dividing groove 812 of the sheet-like substrate 81. In this embodiment, the upper protective film 52 is formed by printing a paste containing epoxy resin using a silk screen and hardening it. Note that the upper protective film 52 may be formed so as to be separated for each resistor 2, similar to the lower protective film 51 shown in FIG. 24.

次いで、図27に示すように、シート状基板81を、シート状基板81の一次分割溝811で切断し、複数の帯状基板86に分割する。このとき、帯状基板86の長手方向に沿って、側面13が帯状基板86の両側にそれぞれ形成される。 Next, as shown in FIG. 27, the sheet-like substrate 81 is cut along the primary dividing grooves 811 of the sheet-like substrate 81 to divide it into a plurality of belt-like substrates 86. At this time, side surfaces 13 are formed on both sides of the belt-like substrate 86 along the longitudinal direction of the belt-like substrate 86.

次いで、図28に示すように、帯状基板86の長手方向の両端に沿って位置する側面13と、搭載面11および実装面12のそれぞれ一部とに、側面電極33を形成する。本実施形態においては、側面電極33は、スパッタリング法などによる物理蒸着により、Ni-Cr合金を成膜することで形成される。側面電極33の形成にあたっては、側面13と、側面13と直交して配置されている上面電極31、裏面電極32および上部保護膜52のそれぞれの表面の一部とが、側面電極33に一体として覆われるようにする(裏面電極32について図示略)。このとき、側面電極33は、上面電極31および裏面電極32の側面13に沿ったそれぞれの端部に接する。当該工程により、上面電極31と裏面電極32とが、側面電極33によって互いに導通する。 28, side electrodes 33 are formed on the side surfaces 13 located along both ends of the longitudinal direction of the belt-shaped substrate 86 and on parts of the mounting surface 11 and the mounting surface 12. In this embodiment, the side electrodes 33 are formed by depositing a Ni-Cr alloy by physical vapor deposition such as sputtering. When forming the side electrodes 33, the side electrodes 33 are integrally covered with the side surfaces 13 and parts of the surfaces of the upper electrode 31, the back electrode 32, and the upper protective film 52 arranged perpendicular to the side surfaces 13 (the back electrode 32 is not shown). At this time, the side electrodes 33 contact the ends of the upper electrode 31 and the back electrode 32 along the side surfaces 13. This process allows the upper electrode 31 and the back electrode 32 to be electrically connected to each other by the side electrodes 33.

次いで、図29に示すように、帯状基板86を、帯状基板86の二次分割溝812で切断し、複数の個片87に分割する。このとき、側面電極33の形状は、基板1を挟むコの字状となる。また、側面電極33は、上面電極31および裏面電極32のそれぞれの表面の一部に形成された側面電極33の部分を挟んだ両側に位置する、基板1の搭載面11および実装面12の一部にもそれぞれ形成される。 29, the belt-shaped substrate 86 is cut at the secondary dividing grooves 812 of the belt-shaped substrate 86 and divided into a plurality of individual pieces 87. At this time, the shape of the side electrode 33 becomes a U-shape that sandwiches the substrate 1. The side electrode 33 is also formed on parts of the mounting surface 11 and the mounting surface 12 of the substrate 1, which are located on both sides of the side electrode 33 formed on parts of the surfaces of the upper electrode 31 and the back electrode 32.

次いで、図30に示すように、個片87において、裏面電極32および側面電極33を覆う中間電極34と、中間電極34を覆う外部電極35とをそれぞれ形成する(裏面電極32について図示略)。本実施形態においては、中間電極34はNiめっき、外部電極35はSnめっきによりそれぞれ形成される。当該工程により、抵抗体2に導通する一対の電極3が形成される。以上の工程を経ることにより、チップ抵抗器A3が製造される。 Next, as shown in FIG. 30, an intermediate electrode 34 that covers the back electrode 32 and the side electrode 33, and an external electrode 35 that covers the intermediate electrode 34 are formed on the individual piece 87 (the back electrode 32 is not shown). In this embodiment, the intermediate electrode 34 is formed by Ni plating, and the external electrode 35 is formed by Sn plating. This process forms a pair of electrodes 3 that are conductive to the resistor 2. Through the above process, the chip resistor A3 is manufactured.

次に、チップ抵抗器A3の作用効果について説明する。 Next, we will explain the effects of chip resistor A3.

本実施形態によれば、チップ抵抗器A3は、互いに積層された下部保護膜51および上部保護膜52を有し、上面電極31の一部が下部保護膜51に覆われた構成となっている。下部保護膜51は、上部保護膜52よりも熱衝撃に強い材質からなる。このため、中間電極34および外部電極35であるめっき層の先端部(平面視における前記めっき層と上部保護膜52との境界部)に生じた熱衝撃によって上部保護膜52に亀裂が発生しても、下部保護膜51によって前記亀裂の進展が抑止される。ゆえに、前記亀裂によって上面電極31が露出しなくなるため、チップ抵抗器A3の周辺において発生した硫化ガスが、前記亀裂を介して上面電極31まで進入しなくなる。したがって、電極3に生じた熱衝撃によって上部保護膜52に亀裂が発生しても、硫化による電極3の断線を防止することが可能となる。 According to this embodiment, the chip resistor A3 has a lower protective film 51 and an upper protective film 52 laminated to each other, and a part of the upper electrode 31 is covered by the lower protective film 51. The lower protective film 51 is made of a material that is more resistant to thermal shock than the upper protective film 52. Therefore, even if a crack occurs in the upper protective film 52 due to a thermal shock occurring at the tip of the plating layer that is the intermediate electrode 34 and the external electrode 35 (the boundary between the plating layer and the upper protective film 52 in a plan view), the lower protective film 51 suppresses the progression of the crack. Therefore, since the upper electrode 31 is not exposed due to the crack, the sulfur gas generated around the chip resistor A3 does not enter the upper electrode 31 through the crack. Therefore, even if a crack occurs in the upper protective film 52 due to a thermal shock occurring on the electrode 3, it is possible to prevent the electrode 3 from being broken due to sulfurization.

側面電極33の材質を、導電性を有し、かつ硫化し難い特性を有するNi-Cr合金とすることで、側面電極33の硫化が抑止される。よって、側面電極33の断線が回避されるとともに、側面電極33を介した上面電極31の硫化が回避される。また、側面電極33は、スパッタリング法などによる物理蒸着によって形成されることから、電気絶縁体である上部保護膜52との付着性能がより向上する。したがって、側面電極33とともに中間電極34であるNiめっき層の剥離が回避されるため、当該剥離によって上面電極31の一部が露出し、当該露出部が硫化する懸念が解消される。 By using a Ni-Cr alloy, which is conductive and resistant to sulfurization, as the material for the side electrode 33, sulfurization of the side electrode 33 is suppressed. This prevents the side electrode 33 from breaking, and also prevents the top electrode 31 from sulfurizing through the side electrode 33. In addition, since the side electrode 33 is formed by physical vapor deposition using a method such as sputtering, the adhesion performance with the upper protective film 52, which is an electrical insulator, is improved. This prevents the Ni plating layer, which is the intermediate electrode 34, from peeling off along with the side electrode 33, eliminating the concern that a part of the top electrode 31 would be exposed due to the peeling and that the exposed part would be sulfurized.

〔第4実施形態〕
図31~図33に基づき、本発明の第4実施形態にかかるチップ抵抗器A4について説明する。これらの図において、先述したチップ抵抗器A1と同一または類似の要素には同一の符号を付して、重複する説明を省略することとする。
Fourth Embodiment
A chip resistor A4 according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to Figures 31 to 33. In these figures, elements that are the same as or similar to those of the chip resistor A1 described above are given the same reference numerals, and duplicated descriptions will be omitted.

ここで、図31は、理解の便宜上、中間電極34および外部電極35を省略している。本実施形態にかかるチップ抵抗器A4は、チップ抵抗器A1と同じく、いわゆる厚膜チップ抵抗器である。また、本実施形態においては、チップ抵抗器A4は、平面視矩形状である。 For ease of understanding, FIG. 31 omits the intermediate electrode 34 and the external electrode 35. The chip resistor A4 of this embodiment is a so-called thick-film chip resistor, similar to the chip resistor A1. In this embodiment, the chip resistor A4 is rectangular in plan view.

本実施形態のチップ抵抗器A4は、保護層4および保護膜5の構成が、チップ抵抗器A1と異なる。 The chip resistor A4 of this embodiment differs from the chip resistor A1 in the configuration of the protective layer 4 and protective film 5.

保護層4は、図31~図33に示すように、上面電極31の上面に形成された、互いに離間した一対の領域を有する部材である。保護層4は、上面電極31よりも硫化し難い特性を有している。本実施形態においては、保護層4は、上面電極31および下部保護膜51の、それぞれの一部を覆っている。なお、保護層4は、下部保護膜51の一部を覆っていなくてもよい。また、本実施形態においては、保護層4の一部ずつが、側面電極33および上部保護膜52のそれぞれに覆われ、かつ基板1の側面13に揃う面において、側面電極33と接している。本実施形態にかかる保護層4は、チップ抵抗器A1の第1保護層41と同じく、たとえばRuなどよりなるガラスおよび金属酸化物と、炭素粒子(カーボンブラック)と、エポキシ樹脂とを含むペーストからなる。この場合、保護層4は導電性を有する。なお、保護層4は、たとえばガラスを含むペーストからなる電気絶縁体であってもよい。 As shown in Figs. 31 to 33, the protective layer 4 is a member having a pair of regions spaced apart from each other and formed on the upper surface of the upper electrode 31. The protective layer 4 has a property of being less susceptible to sulfurization than the upper electrode 31. In this embodiment, the protective layer 4 covers a part of each of the upper electrode 31 and the lower protective film 51. The protective layer 4 does not have to cover a part of the lower protective film 51. In this embodiment, each part of the protective layer 4 is covered by the side electrode 33 and the upper protective film 52, respectively, and is in contact with the side electrode 33 on the surface aligned with the side surface 13 of the substrate 1. The protective layer 4 according to this embodiment is made of a paste containing glass and metal oxide such as Ru, carbon particles (carbon black), and epoxy resin, as with the first protective layer 41 of the chip resistor A1. In this case, the protective layer 4 is conductive. The protective layer 4 may be an electrical insulator made of a paste containing glass, for example.

保護膜5は、図31~図33に示すように、抵抗体2を覆い、抵抗体2を外部から保護する機能を果たす部材である。保護膜5は、下部保護膜51および上部保護膜52を有する。下部保護膜51と上部保護膜52は、互いに積層されている。下部保護膜51および上部保護膜52は、ともに電気絶縁体である。本実施形態にかかる下部保護膜51の材質はチップ抵抗器A3の下部保護膜51と同一であり、上部保護膜52の材質はチップ抵抗器A3の材質と同一である。 As shown in Figures 31 to 33, the protective film 5 is a member that covers the resistor 2 and functions to protect the resistor 2 from the outside. The protective film 5 has a lower protective film 51 and an upper protective film 52. The lower protective film 51 and the upper protective film 52 are laminated on top of each other. The lower protective film 51 and the upper protective film 52 are both electrical insulators. The material of the lower protective film 51 in this embodiment is the same as that of the lower protective film 51 of the chip resistor A3, and the material of the upper protective film 52 is the same as that of the chip resistor A3.

下部保護膜51は、抵抗体2を覆う部位である。下部保護膜51は、図32および図33に示す上部保護膜52の下方に位置している。チップ抵抗器A3と同様に、下部保護膜51は、抵抗体2に加え、上面電極31の表面(図32および図33に示す上面電極31の上面)の一部を覆っている。下部保護膜51は、図31に示すように、チップ抵抗器A4の平面視における側面電極33と上部保護膜52との境界部よりも、基板1の側面13に向かって外側に延出した形状となっている。 The lower protective film 51 is a portion that covers the resistor 2. The lower protective film 51 is located below the upper protective film 52 shown in Figures 32 and 33. As with the chip resistor A3, the lower protective film 51 covers not only the resistor 2 but also part of the surface of the upper electrode 31 (the upper surface of the upper electrode 31 shown in Figures 32 and 33). As shown in Figure 31, the lower protective film 51 extends outward toward the side surface 13 of the substrate 1 beyond the boundary between the side electrode 33 and the upper protective film 52 in a plan view of the chip resistor A4.

上部保護膜52は、基板1および保護層4のそれぞれ一部と、抵抗体2を覆う下部保護膜51とを覆う部位である。上部保護膜52は、図32および図33に示す下部保護膜51の上方に位置している。本実施形態においては、上部保護膜52の一部が、側面電極33、中間電極34および外部電極35に接している。 The upper protective film 52 is a portion that covers each of the substrate 1 and the protective layer 4, and the lower protective film 51 that covers the resistor 2. The upper protective film 52 is located above the lower protective film 51 shown in Figures 32 and 33. In this embodiment, a portion of the upper protective film 52 contacts the side electrode 33, the intermediate electrode 34, and the external electrode 35.

次に、図34に基づき、チップ抵抗器A4の製造方法について説明する。先述したチップ抵抗器A3の製造において、図21および図22に示すシート状基板81を用意し、上面電極31を形成する工程と、図23に示す抵抗体2を搭載する工程と、図24に示す下部保護膜51を形成する工程と、図25に示すトリミング溝21を形成する工程とが、チップ抵抗器A4の製造においても同一である。 Next, a method for manufacturing the chip resistor A4 will be described with reference to FIG. 34. In the manufacturing of the chip resistor A3 described above, the steps of preparing the sheet-like substrate 81 shown in FIG. 21 and FIG. 22, forming the upper electrode 31, mounting the resistor 2 shown in FIG. 23, forming the lower protective film 51 shown in FIG. 24, and forming the trimming groove 21 shown in FIG. 25 are the same in the manufacturing of the chip resistor A4.

図34に示すように、抵抗体2にトリミング溝21を形成した後、上面電極31が露出している部分に、上面電極31よりも硫化し難い特性を有する保護層4を形成する。本実施形態においては、保護層4は、たとえばRuなどよりなるガラスおよび金属酸化物と、炭素粒子と、エポキシ樹脂とを含むペーストを、シルクスクリーンを用いて印刷し、硬化させることで形成される。この場合の保護層4は、導電性を有している。保護層4を電気絶縁体とする場合は、ガラスを含むペーストを、シルクスクリーンを用いて印刷し、焼成炉により焼成することで形成される。当該工程により、上面電極31が露出している部分と、下部保護膜51の一部とが、保護層4に覆われる。 As shown in FIG. 34, after forming the trimming groove 21 in the resistor 2, a protective layer 4 having a property of being less susceptible to sulfurization than the upper electrode 31 is formed in the portion where the upper electrode 31 is exposed. In this embodiment, the protective layer 4 is formed by printing a paste containing glass and a metal oxide such as Ru, carbon particles, and epoxy resin using a silk screen and hardening it. In this case, the protective layer 4 is conductive. When the protective layer 4 is to be an electrical insulator, it is formed by printing a paste containing glass using a silk screen and firing it in a firing furnace. Through this process, the portion where the upper electrode 31 is exposed and a part of the lower protective film 51 are covered with the protective layer 4.

次いで、シート状基板81の搭載面11上に上部保護膜52を形成する。このとき、抵抗体2の表面と上面電極31の一部とを覆う下部保護膜51と、保護層4の一部とが、上部保護膜52に覆われる。上部保護膜52の形成方法は、図26に示すチップ抵抗器A3の製造方法にかかる工程における形成方法と同様である。上部保護膜52を形成した後、チップ抵抗器A4が製造されるまでの工程は、チップ抵抗器A3と同一である。 Next, an upper protective film 52 is formed on the mounting surface 11 of the sheet-like substrate 81. At this time, the lower protective film 51, which covers the surface of the resistor 2 and part of the upper electrode 31, and part of the protective layer 4 are covered by the upper protective film 52. The method of forming the upper protective film 52 is the same as the method of forming the upper protective film 52 in the process of the method of manufacturing the chip resistor A3 shown in FIG. 26. After forming the upper protective film 52, the process of manufacturing the chip resistor A4 is the same as that of the chip resistor A3.

次に、チップ抵抗器A4の作用効果について説明する。 Next, we will explain the effects of chip resistor A4.

本実施形態によっても、チップ抵抗器A3と同様に、上面電極31の一部が下部保護膜51に覆われた構成とすることにより、電極3に生じた熱衝撃によって上部保護膜52に亀裂が発生しても、硫化による電極3の断線を防止することが可能となる。また、保護層4を備えることにより、上面電極31の上面が、下部保護膜51に加え、保護層4にも覆われた構成となる。保護層4は、上面電極31よりも硫化し難い特性を有している。したがって、チップ抵抗器A4の耐硫化性能を、チップ抵抗器A3よりもさらに向上させることが可能となる。 In this embodiment, as in the chip resistor A3, a portion of the upper electrode 31 is covered with the lower protective film 51, so that even if a crack occurs in the upper protective film 52 due to a thermal shock to the electrode 3, it is possible to prevent disconnection of the electrode 3 due to sulfurization. In addition, by providing the protective layer 4, the upper surface of the upper electrode 31 is covered by the protective layer 4 in addition to the lower protective film 51. The protective layer 4 has characteristics that make it less susceptible to sulfurization than the upper electrode 31. Therefore, it is possible to further improve the sulfurization resistance of the chip resistor A4 compared to the chip resistor A3.

本発明にかかるチップ抵抗器は、先述した実施形態に限定されるものではない。本発明にかかるチップ抵抗器の各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。 The chip resistor according to the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment. The specific configuration of each part of the chip resistor according to the present invention can be freely designed in various ways.

A1,A2,A3,A4:チップ抵抗器
1:基板
11:搭載面
12:実装面
13:側面
2:抵抗体
21:トリミング溝
3:電極
31:上面電極
32:裏面電極
33:側面電極
34:中間電極
35:外部電極
4:保護層
41:第1保護層
42:第2保護層
5:保護膜
51:下部保護膜
52:上部保護膜
81:シート状基板
811:一次分割溝
812:二次分割溝
86:帯状基板
87:個片
X:方向
A1, A2, A3, A4: Chip resistor 1: Substrate 11: Mounting surface 12: Mounting surface 13: Side surface 2: Resistor 21: Trimming groove 3: Electrode 31: Top electrode 32: Back electrode 33: Side electrode 34: Intermediate electrode 35: External electrode 4: Protective layer 41: First protective layer 42: Second protective layer 5: Protective film 51: Lower protective film 52: Upper protective film 81: Sheet-like substrate 811: Primary dividing groove 812: Secondary dividing groove 86: Band-like substrate 87: Individual piece X: Direction

Claims (9)

互いに反対側を向く搭載面および実装面と、前記搭載面と前記実装面との間に位置する側面と、を有する基板と、
前記搭載面の両端に配置された一対の上面電極と、
前記搭載面において、前記一対の上面電極の間に搭載された抵抗体と、
前記抵抗体と、前記一対の上面電極の各々の一部と、を覆う保護膜と、
前記側面に配置された第1部と、平面視において前記搭載面に重なる第2部と、前記平面視において前記実装面に重なる第3部と、を有するとともに、前記一対の上面電極のいずれかに導通している側面電極と、
前記側面電極を覆う中間電極と、
前記中間電極を覆う外部電極と、を備え、
前記保護膜は、下部保護膜と、前記下部保護膜の上に積層された上部保護膜と、を含み、
前記下部保護膜には、前記上部保護膜よりも熱衝撃に強い性質を有する材料が全体にわたって分布しており、
前記一対の上面電極の各々は、前記搭載面と同じ側を向く第1面および第2面を有し、
前記一対の上面電極が互いに離れる第1方向において、前記第2面は、前記第1面と前記第1部との間に位置しており、
前記第1面の全体は、前記下部保護膜に覆われており、
前記第2面の全体は、前記上部保護膜に覆われており、
前記第1面の前記第1方向の寸法は、前記第2面の前記第1方向の寸法よりも大であり、
前記一対の上面電極のいずれかの一部と、前記上部保護膜の一部と、は、前記第2部に覆われており、
前記平面視において、前記第2部、前記中間電極および前記外部電極は、いずれも前記下部保護膜に重なっている、チップ抵抗器。
a substrate having a mounting surface and a mounting surface facing in opposite directions and a side surface located between the mounting surface and the mounting surface;
A pair of upper surface electrodes disposed on both ends of the mounting surface;
a resistor mounted on the mounting surface between the pair of upper surface electrodes;
a protective film that covers the resistor and a portion of each of the pair of upper electrodes;
a side electrode having a first portion disposed on the side surface, a second portion overlapping the mounting surface in a plan view, and a third portion overlapping the mounting surface in a plan view , the side electrode being electrically connected to one of the pair of upper surface electrodes;
an intermediate electrode covering the side electrode;
an outer electrode covering the intermediate electrode;
the protective film includes a lower protective film and an upper protective film laminated on the lower protective film,
a material having a thermal shock resistance greater than that of the upper protective film is distributed throughout the lower protective film;
each of the pair of upper electrodes has a first surface and a second surface facing the same side as the mounting surface;
the second surface is located between the first surface and the first portion in a first direction in which the pair of upper surface electrodes are separated from each other,
the first surface is entirely covered with the lower protective film,
the second surface is entirely covered with the upper protective film,
a dimension of the first surface in the first direction is greater than a dimension of the second surface in the first direction;
a portion of either of the pair of upper electrodes and a portion of the upper protective film are covered by the second portion ,
In the plan view, the second portion, the intermediate electrode, and the external electrode all overlap the lower protective film.
前記下部保護膜は、ガラスを含む、請求項1に記載のチップ抵抗器。 The chip resistor according to claim 1, wherein the lower protective film includes glass. 前記上部保護膜は、エポキシ樹脂を含む、請求項1または2に記載のチップ抵抗器。 The chip resistor according to claim 1 or 2, wherein the upper protective film contains an epoxy resin. 前記実装面の両端に配置された一対の裏面電極をさらに備え、
前記側面電極は、前記一対の裏面電極のいずれかに導通している、請求項1ないし3のいずれかに記載のチップ抵抗器。
A pair of back electrodes are disposed on both ends of the mounting surface,
4. The chip resistor according to claim 1 , wherein the side electrode is electrically connected to one of the pair of rear electrodes .
前記一対の裏面電極のいずれかが前記中間電極に覆われている、請求項に記載のチップ抵抗器。 The chip resistor according to claim 4 , wherein one of the pair of rear electrodes is covered with the intermediate electrode . 前記抵抗体には、当該抵抗体を貫通するトリミング溝が形成されている、請求項1ないし5のいずれかに記載のチップ抵抗器。 6. The chip resistor according to claim 1, wherein the resistor element has a trimming groove formed therein and penetrating the resistor element . 前記中間電極および前記外部電極は、めっき層からなる、請求項1ないし6のいずれかに記載のチップ抵抗器。 The chip resistor according to claim 1 , wherein the intermediate electrode and the external electrodes are made of a plating layer . 前記中間電極は、Niめっき層からなる、請求項7に記載のチップ抵抗器。 The chip resistor according to claim 7 , wherein the intermediate electrode is made of a Ni plating layer . 前記外部電極は、Snめっき層からなる、請求項7または8に記載のチップ抵抗器。
The chip resistor according to claim 7 , wherein the external electrodes are made of a Sn plating layer .
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