JP7445053B1 - 太陽電池及びその製造方法、光起電力モジュール - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 128
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 83
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 83
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 82
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims abstract description 78
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 78
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 76
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 61
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 57
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims description 69
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 57
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 57
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 22
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 18
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 17
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 16
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 10
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N Nitric oxide Chemical compound O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 7
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 claims description 7
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- VQYHBXLHGKQYOY-UHFFFAOYSA-N aluminum oxygen(2-) titanium(4+) Chemical compound [O-2].[Al+3].[Ti+4] VQYHBXLHGKQYOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 5
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 5
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910000476 molybdenum oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N oxomolybdenum Chemical compound [Mo]=O PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 465
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 description 14
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 13
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 10
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 8
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 8
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 8
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 7
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 7
- 239000005360 phosphosilicate glass Substances 0.000 description 7
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 6
- 239000012945 sealing adhesive Substances 0.000 description 6
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical group [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 5
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 5
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 5
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ILAHWRKJUDSMFH-UHFFFAOYSA-N boron tribromide Chemical compound BrB(Br)Br ILAHWRKJUDSMFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 4
- 229910021424 microcrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 4
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 4
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000005536 corrosion prevention Methods 0.000 description 2
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 2
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 2
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 238000010329 laser etching Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005554 pickling Methods 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 2
- -1 polyethylene octene Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- INZDTEICWPZYJM-UHFFFAOYSA-N 1-(chloromethyl)-4-[4-(chloromethyl)phenyl]benzene Chemical compound C1=CC(CCl)=CC=C1C1=CC=C(CCl)C=C1 INZDTEICWPZYJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MGWGWNFMUOTEHG-UHFFFAOYSA-N 4-(3,5-dimethylphenyl)-1,3-thiazol-2-amine Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C=2N=C(N)SC=2)=C1 MGWGWNFMUOTEHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005997 Calcium carbide Substances 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910026551 ZrC Inorganic materials 0.000 description 1
- OTCHGXYCWNXDOA-UHFFFAOYSA-N [C].[Zr] Chemical compound [C].[Zr] OTCHGXYCWNXDOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- UFGZSIPAQKLCGR-UHFFFAOYSA-N chromium carbide Chemical compound [Cr]#C[Cr]C#[Cr] UFGZSIPAQKLCGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000005247 gettering Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- NFFIWVVINABMKP-UHFFFAOYSA-N methylidynetantalum Chemical compound [Ta]#C NFFIWVVINABMKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N nitrogen dioxide Inorganic materials O=[N]=O JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004437 phosphorous atom Chemical group 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 1
- 229910003468 tantalcarbide Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CLZWAWBPWVRRGI-UHFFFAOYSA-N tert-butyl 2-[2-[2-[2-[bis[2-[(2-methylpropan-2-yl)oxy]-2-oxoethyl]amino]-5-bromophenoxy]ethoxy]-4-methyl-n-[2-[(2-methylpropan-2-yl)oxy]-2-oxoethyl]anilino]acetate Chemical compound CC1=CC=C(N(CC(=O)OC(C)(C)C)CC(=O)OC(C)(C)C)C(OCCOC=2C(=CC=C(Br)C=2)N(CC(=O)OC(C)(C)C)CC(=O)OC(C)(C)C)=C1 CLZWAWBPWVRRGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003470 tongbaite Inorganic materials 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/022425—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
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- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers
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- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
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Abstract
Description
半導体基板と、前記半導体基板の後側表面に位置するトンネル層と、
前記トンネル層の表面に位置する水素バリア層と、
前記水素バリア層の表面に位置する軽ドープ導電層と、
前記軽ドープ導電層の少なくとも一部の表面に位置するグリッド状ドープ導電層であって、積層配置された重ドープ導電層及び金属バリア層を含む前記グリッド状ドープ導電層と、を含む。
半導体基板にテクスチャリング処理を行うステップと、
前記半導体基板の後側表面にトンネル層を形成するステップと、
前記トンネル層の表面に水素バリア層を堆積して形成するステップと、
前記水素バリア層の表面に第1ポリシリコン層を堆積して形成するステップと、
前記第1ポリシリコン層の表面にマスクを形成し、前記マスクに被覆されない領域にグリッド状第2ポリシリコン層を堆積して形成しながら、インサイチュドーピング処理を行って第2ドープ導電層を形成し、前記第2ドープ導電層の表面に金属バリア層を堆積して形成するステップと、
前記第1ポリシリコン層と前記第2ドープ導電層に対して二次ドーピング処理を行って、軽ドープ導電層及び重ドープ導電層を得るステップと、を含む。
本願において、太陽電池の後側表面に選択的パッシベーションコンタクト構造を形成することにより、電池充填因子効率を向上させることができ、かつトンネル層と軽ドープ導電層との間に水素バリア層が設けられ、水素バリア層によってアニール処理過程における水素のオーバーフローが回避され、アニール後のトンネル層界面の水素濃度を向上させ、パッシベーション効果を向上させ、グリッド状ドープ導電層に積層配置された重ドープ導電層及び金属バリア層を構築することで、金属バリア層によって、金属電極が重ドープ導電層を侵食することを回避することができ、さらに太陽電池のパッシベーションポリシリコン層全体の厚さを低減して、光電変換効率を向上させることができ、それによって、太陽電池は、選択的パッシベーションコンタクト構造、水素バリア層及び金属バリア層の相乗作用で、一般的なTOPCon電池に比べて、充填因子効率を向上させ、太陽エネルギー変換効率を向上させることができる。
半導体基板10と、
半導体基板の後側表面に位置するトンネル層20と、
トンネル層20の表面に位置する水素バリア層30と、
水素バリア層30の表面に位置する軽ドープ導電層40と、
軽ドープ導電層40の少なくとも一部の表面に位置するグリッド状ドープ導電層であって、積層配置された重ドープ導電層50及び金属バリア層60を含むグリッド状ドープ導電層と、を含む。
ステップS10であって、半導体基板にテクスチャリング処理を行うステップと、
ステップS20であって、半導体基板の後側表面にトンネル層を形成するステップと、
ステップS30であって、トンネル層の表面に水素バリア層を堆積して形成するステップと、
ステップS40であって、水素バリア層の表面に第1ポリシリコン層を堆積して形成するステップと、
ステップS50であって、第1ポリシリコン層の表面にマスクを形成し、マスクに被覆されない領域にグリッド状第2ポリシリコン層を堆積して形成しながら、インサイチュドーピング処理を行って第2ドープ導電層を形成し、第2ドープ導電層の表面に金属バリア層を堆積して形成するステップと、
ステップS60であって、第1ポリシリコン層と第2ドープ導電層に対して二次ドーピング処理を行って、軽ドープ導電層及び重ドープ導電層を得るステップと、を含む。
ステップS10では、半導体基板にテクスチャリング処理を行う。
テクスチャリング後の半導体基板の前側表面にドーピング処理を行い、ドーピング層を形成する。
いくつかの実施可能な実施形態において、オゾン酸化法、高温熱酸化法、硝酸酸化法、化学気相堆積法、低圧化学気相堆積法を用いて半導体基板に対して後側表面エッチングを行った後に処理を行い、トンネル層20を形成することができる。
二次ドーピングの後、高温アニール処理及び洗浄処理を行った。
ステップS70では、グリッド状ドープ導電層の表面に第1パッシベーション層を堆積して形成し、このとき、第1パッシベーション層81は、グリッド状ドープ導電層の間及びグリッド状ドープ導電層の表面に位置し、かつ、半導体基板の前側表面に第2パッシベーション層を形成する。
Claims (11)
- 太陽電池であって、
半導体基板と、
前記半導体基板の後側表面に位置するトンネル層と、
前記トンネル層の前記半導体基板から離間する表面に位置する水素バリア層と、
前記水素バリア層の前記半導体基板から離間する表面に位置する軽ドープ導電層と、
前記軽ドープ導電層の少なくとも一部の表面に位置するグリッド状ドープ導電層であって、積層配置された重ドープ導電層及び金属バリア層を含む前記グリッド状ドープ導電層と、を含み、
前記トンネル層は、酸化シリコン層、酸化アルミニウム層、酸窒化シリコン層、酸化モリブデン層、酸化ハフニウム層のうちの一種又は複数種の積層構造であり、
前記水素バリア層は、酸窒化シリコン層、酸化ハフニウム層及び酸化タンタル層のうちの少なくとも一つを含み、
前記水素バリア層の厚さが0.2nm~1nmであり、前記水素バリア層の誘電率が4.0~28であり、前記水素バリア層の屈折率が1.6~2.6である、ことを特徴とする太陽電池。 - 前記グリッド状ドープ導電層は、さらに前記金属バリア層の表面に位置する第3ドープ導電層を含む、ことを特徴とする請求項1に記載の太陽電池。
- 前記金属バリア層は、Mの窒化物、Mの酸化物、Mの炭化物、Mの窒素酸化物、M金属、炭化シリコン及び窒化シリコンのうちの少なくとも一つを含み、Mは、Ti、Al、Ta、Cr、Ca、Mo、V、Zr及びWから選択される少なくとも一つである、ことを特徴とする請求項1に記載の太陽電池。
- 前記太陽電池は、
(1)前記金属バリア層が、窒化タンタル層、窒化チタン層、炭化チタン層、炭化タングステン層、酸化チタンアルミニウム層及び炭化シリコン層のうちの少なくとも一つを含むことと、
(2)前記金属バリア層が、酸化チタンアルミニウム層と酸化チタン層との積層構造であることと、
(3)前記金属バリア層の厚さが0.5nm~5nmであることと、
(4)前記金属バリア層の抵抗率が1.5mΩ・cm未満であることとのうちの少なくとも一つを満たす、ことを特徴とする請求項1に記載の太陽電池。 - 前記軽ドープ導電層のドープ濃度は、0.8E20cm -3 ~4E20cm -3 であり、前記重ドープ導電層のドープ濃度は、4E20cm -3 ~2E21cm -3 である、ことを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の太陽電池。
- 前記重ドープ導電層の光学バンドギャップは、1.4eV~1.8eVであり、及び/又は、前記軽ドープ導電層と前記重ドープ導電層とのアニール後の結晶化率は、70%よりも大きい、ことを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の太陽電池。
- 前記グリッド状ドープ導電層の幅は、70μm~110μmであり、前記グリッド状ドープ導電層の総厚さは、20nm~50nmである、ことを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の太陽電池。
- 前記太陽電池は、さらに第1パッシベーション層及び第1電極を含み、前記第1パッシベーション層は、前記グリッド状ドープ導電層の間に位置し、前記第1電極は、少なくとも一部の前記グリッド状ドープ導電層とオーミックコンタクトを形成する、ことを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の太陽電池。
- 前記太陽電池は、さらに第1パッシベーション層及び第1電極を含み、前記第1パッシベーション層は、前記グリッド状ドープ導電層の間及び前記グリッド状ドープ導電層の表面に位置し、前記第1電極は、前記第1パッシベーション層を貫通して、少なくとも一部の前記グリッド状ドープ導電層とオーミックコンタクトを形成する、ことを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の太陽電池。
- 請求項1~4のいずれか一項に記載の太陽電池の製造方法であって、
半導体基板にテクスチャリング処理を行うステップと、
前記半導体基板の後側表面にトンネル層を形成するステップと、
前記トンネル層の表面に水素バリア層を堆積して形成するステップと、
前記水素バリア層の表面に第1ポリシリコン層を堆積して形成するステップと、
前記第1ポリシリコン層の表面にマスクを形成し、前記マスクに被覆されない領域にグリッド状第2ポリシリコン層を堆積して形成しながらインサイチュドーピング処理を行って第2ドープ導電層を形成し、かつ前記第2ドープ導電層の表面に金属バリア層を堆積して形成するステップと、
前記第1ポリシリコン層と前記第2ドープ導電層に対して二次ドーピング処理を行い、軽ドープ導電層及び重ドープ導電層を得るステップと、を含む、ことを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 光起電力モジュールであって、
前記光起電力モジュールは、複数の太陽電池ストリングを含み、前記太陽電池ストリングは、請求項1~4のいずれか一項に記載の太陽電池を含む、ことを特徴とする光起電力モジュール。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310119980.6A CN115881835B (zh) | 2023-02-08 | 2023-02-08 | 太阳能电池及其制备方法、光伏组件 |
CN202310119980.6 | 2023-02-08 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP7445053B1 true JP7445053B1 (ja) | 2024-03-06 |
JP2024112747A JP2024112747A (ja) | 2024-08-21 |
Family
ID=85761181
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023065822A Active JP7445053B1 (ja) | 2023-02-08 | 2023-04-13 | 太陽電池及びその製造方法、光起電力モジュール |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20240266447A1 (ja) |
EP (1) | EP4415058A1 (ja) |
JP (1) | JP7445053B1 (ja) |
CN (1) | CN115881835B (ja) |
AU (1) | AU2023201860B1 (ja) |
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CN210897294U (zh) | 2019-10-29 | 2020-06-30 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 太阳能电池 |
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CN115224159A (zh) | 2022-07-08 | 2022-10-21 | 中山大学 | 一种高效TOPCon太阳电池及其制备方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2023
- 2023-02-08 CN CN202310119980.6A patent/CN115881835B/zh active Active
- 2023-03-23 US US18/125,291 patent/US20240266447A1/en active Pending
- 2023-03-27 AU AU2023201860A patent/AU2023201860B1/en active Active
- 2023-03-28 EP EP23164626.6A patent/EP4415058A1/en active Pending
- 2023-04-13 JP JP2023065822A patent/JP7445053B1/ja active Active
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JP2022073810A (ja) | 2020-10-30 | 2022-05-17 | ジョジアン ジンコ ソーラー カンパニー リミテッド | 太陽電池 |
JP2022081367A (ja) | 2020-11-19 | 2022-05-31 | 晶科▲緑▼能(上海)管理有限公司 | 太陽電池及びその製造方法 |
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CN115224159A (zh) | 2022-07-08 | 2022-10-21 | 中山大学 | 一种高效TOPCon太阳电池及其制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AU2023201860B1 (en) | 2024-05-30 |
US20240266447A1 (en) | 2024-08-08 |
CN115881835B (zh) | 2024-05-14 |
JP2024112747A (ja) | 2024-08-21 |
CN115881835A (zh) | 2023-03-31 |
EP4415058A1 (en) | 2024-08-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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